TW202206627A - 濺鍍設備及其操作方法 - Google Patents

Abstract

一種濺鍍設備，適於對多個基板濺鍍，其中各基板包括相對兩主表面及連接兩主表面的多個側面，濺鍍設備包括一腔體、至少一靶材組及一承載匣。至少一靶材組設置於腔體內，各靶材組包括多個靶材，各組中這些靶材交錯地配置在一軸線的兩側。承載匣可移動地設置以進出腔體，且包括多個基板容置槽，這些基板適於放置於承載匣的這些基板容置槽，各基板適於伸出於承載匣，而使這些側面的至少一者位於承載匣之外，且伸出於承載匣的至少一側面朝向至少一靶材組。

Description

濺鍍設備及其操作方法

本發明是有關於一種濺鍍設備及其操作方法，且特別是有關於一種適於對多個基板濺鍍的濺鍍設備及其操作方法。

圖1A是以習知的方式濺鍍的基板的示意圖。請參閱圖1，一般而言，液晶面板(基板10)具有兩主表面12及連接兩主表面12的多個側面14。兩主表面12在靠近側面14的部位(也就是面內區以外的區域)設有多個接墊16(例如圖1A中靠近右側處有上下兩接墊16)。目前，上下兩接墊16主要是透過對基板10濺鍍的方式來電性連接於彼此。

現有的濺鍍程序是將單一片基板10放入濺鍍腔(未繪示)內，靶材(未繪示)位於主表面12上方，而對主表面12及這些側面14靠近此主表面12的部位濺鍍以形成上半部的鍍層20，其後再將基板10翻面，再對另一個主表面12及這些側面14靠近此主表面12的部位濺鍍以形成下半部的鍍層20，而如圖1A所示，鍍層20會包覆於整個基板10。後續再對實際上不需要鍍層的部位進行蝕刻，而形成連接於上下兩接墊16之間的線路。

然而，這樣一次僅能對單一片基板10濺鍍的方式相當費時。此外，由於所需的線路位置僅於上下兩接墊16之間，液晶面板的面內區並不需要鍍層，而造成材料浪費。另外，靶材朝向主表面12濺鍍會使得鍍層在接墊16旁且靠近側面14的部位(如圖1A中虛線框的區域)容易發生缺陷。圖1B是以顯微鏡觀察圖1A的基板10的局部區域的影像。請參閱圖1B，鍍層20在接墊16旁且靠近側面14處具有明顯的缺陷25。

本發明提供一種濺鍍設備及其操作方法，其可同時對多個基板濺鍍、可減少材料浪費且可降低鍍層發生缺陷的機率。

本發明的一種濺鍍設備，適於對多個基板濺鍍，其中各基板包括相對兩主表面及連接兩主表面的多個側面，濺鍍設備包括一腔體、至少一靶材組及一承載匣。至少一靶材組設置於腔體內，各靶材組包括多個靶材，各組中這些靶材交錯地配置在一軸線的兩側。承載匣可移動地設置以進出腔體，且包括多個基板容置槽，這些基板適於放置於承載匣的這些基板容置槽，各基板適於伸出於承載匣，而使這些側面的至少一者位於承載匣之外，且伸出於承載匣的至少一側面朝向至少一靶材組。

在本發明的一實施例中，上述的承載匣包括相對的兩第一側壁及相對的兩第二側壁，兩第二側壁連接於兩第一側壁，這些基板容置槽為兩第二側壁的至少一者上的多個槽縫，這些槽縫朝向至少一靶材組，這些基板穿出於這些槽縫。

在本發明的一實施例中，上述的這些基板容置槽形成於其中一個第二側壁上，這些基板容置槽為多個槽縫，至少一靶材組為一靶材組，這些槽縫朝向靶材組。

在本發明的一實施例中，上述的承載匣還包括兩定位座，沿著這些基板容置槽的一延伸方向可移動地設置於兩第一側壁之間，以調整兩定位座之間的距離。

在本發明的一實施例中，上述的兩定位座包括朝向兩第一側壁的多個凸柱，兩第一側壁包括沿著延伸方向延伸的多個溝槽，這些凸柱分別可移動地配置於這些溝槽。

在本發明的一實施例中，上述的濺鍍設備還包括一支撐柱，承載匣的兩第一側壁包括對應於彼此的兩第一開孔，支撐柱可拆卸地穿設於兩第一開孔。

在本發明的一實施例中，上述的承載匣的兩第一側壁還包括對應於彼此的兩第二開孔，兩第一開孔與具有至少一基板容置槽的第二側壁之間的距離不同於兩第二開孔與具有至少一基板容置槽的第二側壁之間的距離，支撐柱可選擇地穿設於兩第一開孔或是兩第二開孔。

在本發明的一實施例中，上述的承載匣的一移動方向平行於這些基板容置槽的一延伸方向。

在本發明的一實施例中，上述的濺鍍設備還包括多個轉動座，可轉動地配置於腔體內，且這些靶材設置於這些轉動座上，這些轉動座的轉動角度介於0-40度之間。

在本發明的一實施例中，上述的這些轉動座朝向軸線傾斜，且這些轉動座的轉動角度介於10-35度之間。

本發明的一種濺鍍設備的操作方法，包括將多個基板放入一濺鍍設備的一承載匣的多個基板容置槽，其中各基板包括相對兩主表面及連接兩主表面的多個側面，各基板伸出於承載匣，而使這些側面的至少一者位於承載匣之外；將承載匣連同所承載的這些基板一起放入濺鍍設備的一腔體內，其中濺鍍設備包括設置於腔體內的至少一靶材組，各靶材組包括多個靶材，各組中這些靶材交錯地配置在一軸線的兩側，各基板外露於承載匣的至少一側面朝向至少一靶材組；以及至少一靶材組對各基板的至少一側面濺鍍。

在本發明的一實施例中，上述的各基板的兩主表面上分別具有兩接墊，兩接墊靠近其中一個側面，側面及兩接墊外露於承載匣，且側面朝向靶材組，在靶材組對各基板的側面濺鍍的步驟之後，一鍍層形成於側面及兩主表面上靠近側面的部位，且鍍層覆蓋兩接墊。

在本發明的一實施例中，上述的這些靶材包括至少一第一靶材與至少一第二靶材，在對各基板的至少一側面濺鍍的步驟中，還包括移動承載匣至對應於至少一第一靶材的位置，以濺鍍至少一第一靶材至各基板的至少一側面，而在至少一側面上形成至少一第一鍍層；以及移動承載匣至對應於至少一第二靶材的位置，以濺鍍至少一第二靶材至至少一第一鍍層上，而形成至少一第二鍍層。

在本發明的一實施例中，上述在濺鍍至少一第二靶材至各基板的至少一側面之後，還包括再度移動承載匣至對應於至少一第一靶材的位置，以濺鍍至少一第一靶材至至少一第二鍍層上，而形成至少一第三鍍層。

在本發明的一實施例中，上述的承載匣包括相對的兩第一側壁及相對的兩第二側壁，兩第二側壁連接於兩第一側壁，這些基板容置槽為兩第二側壁的至少一者上的多個槽縫，這些槽縫朝向至少一靶材組，這些基板穿出於這些槽縫。

在本發明的一實施例中，上述的這些基板容置槽形成於其中一個第二側壁上，這些基板容置槽為多個槽縫，這些基板穿出於第二側壁的這些基板容置槽，至少一靶材組為一靶材組，穿出第二側壁的這些基板容置槽的這些側面朝向靶材組。

在本發明的一實施例中，上述的濺鍍設備還包括一支撐柱，承載匣的兩第一側壁包括對應於彼此的兩第一開孔及對應於彼此的兩第二開孔，兩第一開孔與具有至少一基板容置槽的第二側壁之間的距離不同於兩第二開孔與具有至少一基板容置槽的第二側壁之間的距離，在將這些基板放入濺鍍設備的承載匣的步驟之前，還包括:依據至少一基板的寬度，將支撐柱可拆卸地穿設於兩第一開孔或兩第二開孔。

在本發明的一實施例中，上述的承載匣還包括兩定位座，沿著這些基板容置槽的一延伸方向可移動地設置於兩第一側壁之間，以調整兩定位座之間的距離，在將這些基板放入濺鍍設備的承載匣的步驟之前，還包括: 調整兩定位座之間的距離至對應於這些基板的長度。

在本發明的一實施例中，上述的兩定位座包括朝向兩第一側壁的多個凸柱，兩第一側壁包括沿著延伸方向延伸的多個溝槽，這些凸柱分別可移動地配置於這些溝槽。

在本發明的一實施例中，上述的承載匣的一移動方向平行於這些基板容置槽的一延伸方向。

在本發明的一實施例中，上述在對各基板的至少一側面濺鍍的步驟之前，還包括調整這些靶材的角度，其中濺鍍設備還包括多個轉動座，可轉動地配置於腔體內，且這些靶材設置於這些轉動座上，這些轉動座的轉動角度介於0-40度之間。

在本發明的一實施例中，上述的這些轉動座朝向軸線傾斜，且這些轉動座的轉動角度介於10-35度之間。

基於上述，相較於習知的濺鍍設備中靶材是對基板中較大面積的主表面濺鍍，一次僅能濺鍍一片，若要濺鍍多片基板需要重複多次工序，相當耗時。後續還需要移除主表面上的鍍層，造成浪費。再者，習知靶材朝向主表面濺鍍的設計會使得鍍層在接墊旁且靠近側面的部位容易發生缺陷。本發明的濺鍍設備與操作方法則是對基板中兩接墊之間的側面濺鍍。本發明的濺鍍設備中的承載匣可供多個基板的多個側面伸出於承載匣且朝向靶材組。因此，靶材組可同時對這些基板的這些側面濺鍍，相當節省工時與材料。另外，靶材朝向側面濺鍍的設計還可有效降低鍍層發生缺陷的機率。此外，在本發明的濺鍍設備與操作方法中，靶材組的這些靶材交錯地配置在軸線的兩側，而可略為錯開地對基板的側面濺鍍，進而提升鍍膜的均勻性。

在附圖中，為了清楚起見，放大了層、膜、面板、區域等的厚度。在整個說明書中，相同的附圖標記表示相同的元件。應當理解，當諸如層、膜、區域或基板的元件被稱為在另一元件上或連接到另一元件時，其可以直接在另一元件上或與另一元件連接，或者中間元件可以也存在。相反，當元件被稱為直接在另一元件上或直接連接到另一元件時，不存在中間元件。如本文所使用的，連接可以指物理及或電性連接。再者，電性連接或耦合係可為二元件間存在其它元件。

圖2是依照本發明的一實施例的一種濺鍍設備的示意圖。圖3是圖2的濺鍍設備的俯視示意圖。請參閱圖2與圖3，本實施例的濺鍍設備100適於同時對多個基板10濺鍍。濺鍍設備100包括一預載腔105、連接預載腔105的一腔體110、設置於腔體110內的靶材組120及可移動地設置以進出預載腔105與腔體110的一承載匣130。

靶材組120設置於腔體110內，靶材組120包括多個靶材122。具體地說，靶材組120包括多個第一靶材123與多個第二靶材124。第一靶材123例如是鉬，第二靶材124例如是銅，但靶材122的種類不以此為限制。

如圖3所示，這些第一靶材123與這些第二靶材124交錯地配置在一軸線A的兩側，而可略為錯開地對基板10的側面14濺鍍，進而提升鍍膜的均勻性。例如圖3中最下方的靶材122(第一靶材123)位於軸線A偏右的位置，由下方數來的第二個靶材122(第一靶材123)位於軸線A偏左的位置，由下方數來的第三個靶材122(第二靶材124)位於軸線A偏右的位置，最上方的靶材122(第二靶材124)位於軸線A偏左的位置。當然，靶材122的數量與位置不以此為限制。

承載匣130適於承載這些基板10，各基板10的其中一個側面14位於承載匣130之外。請回到圖2，承載匣130可從預載腔105沿著移動方向D2進入腔體110內，並通過這些第一靶材123與這些第二靶材124的下方，以使這些第一靶材123與這些第二靶材124對這些基板10的這些側面14濺鍍。

圖4是圖2的濺鍍設備的轉動座的示意圖。請參閱圖2與圖4，在本實施例中，濺鍍設備100(圖2)還包括多個轉動座125，可轉動地配置於腔體110(圖2)內，且這些靶材(圖2)設置於這些轉動座125上。轉動座125的轉動角度θ(圖4)可被調整，進而調整靶材的角度。轉動座125的轉動角度θ介於0-40度之間。在一較佳實施例中，轉動座125的轉動角度θ介於10-35度之間。

在本實施例中，這些轉動座125朝向軸線A(標示於圖3)傾斜，而可如圖2所示地從基板10的側面14的左上方或是右上方照向基板10的側面14，以提升鍍層的均勻性。

圖5是圖2的濺鍍設備的承載匣的示意圖。圖6是圖5的承載匣的第二側壁上移且基板設置於承載匣內的示意圖。圖7是基板設置於圖5的承載匣內的側視示意圖。圖8是多個基板設置於圖5的承載匣內的另一側視示意圖。要說明的是，圖5至圖7中僅以虛線繪示一個基板10為例，基板10的數量不以此為限制。

請參閱圖5至圖8，在本實施例中，承載匣130包括相對的兩第一側壁132及相對的兩第二側壁137，兩第二側壁137連接於兩第一側壁132。在本實施例中，兩第一側壁132例如是前壁與後壁，兩第二側壁137例如是底壁與頂壁，但不以此為限制。

在本實施例中，基板10例如是液晶面板、玻璃板或是其他板體，基板10的種類不以此為限制。基板10包括相對兩主表面12及連接兩主表面12的多個側面14。主表面12的面積大於側面14的面積。當基板10於放置於承載匣130時，基板10的主表面12會位於承載匣130的兩第一側壁132之間。

在本實施例中，承載匣130的第一側壁132的面積大於第二側壁137的面積，而使承載匣130呈現窄且高的形狀。當然，在其他實施例中，若承載匣130要承載基板10的數量很多時，承載匣130也可以加寬，而使兩第一側壁132之間的距離增加，在這樣的狀況下，第一側壁132的面積也可能會小於或等於第二側壁137的面積。

如圖6所示，承載匣130包括多個基板容置槽131，這些基板10適於放置於承載匣130的這些基板容置槽131。具體地說，在本實施例中，承載匣130還包括兩定位座140，這些基板容置槽131可形成於兩定位座140的多個凹槽144之間。

兩定位座140包括朝向兩第一側壁132的多個凸柱142，兩第一側壁132包括沿著延伸方向D1延伸的多個溝槽133，這些凸柱142分別可移動地配置於這些溝槽133，而使得兩定位座140可移動地設置於兩第一側壁132之間，以調整兩定位座140之間的距離。因此，操作者即可依據基板10的尺寸來調整兩定位座140之間的距離，以使兩定位座140能夠良好地夾持基板10。

此外，在本實施例中，這些基板容置槽131還包括第二側壁137上的多個槽縫138，這些槽縫138例如是朝上而朝向靶材組120(圖2)。基板10可穿出於承載匣130的槽縫138，而使側面14位於承載匣130之外且朝向靶材組120。在本實施例中，這些基板容置槽131的延伸方向D1平行於承載匣130的移動方向D2(圖3)。

在其他實施例中，承載匣130也可僅具有第二側壁137上的槽縫138來作為基板容置槽131，或者，承載匣130也可僅具有兩定位座140之間的溝槽133來作為基板容置槽131，基板容置槽131的形式不以此為限制。

請參閱圖6與圖7，承載匣130的兩第一側壁132包括對應於彼此的兩第一開孔134及對應於彼此的兩第二開孔135。兩第一開孔134與具有槽縫138的第二側壁137(上方的第二側壁137)之間的距離不同於(例如小於)兩第二開孔135與具有槽縫138的第二側壁137(上方的第二側壁137)之間的距離。

濺鍍設備100還包括一支撐柱150，支撐柱150可因應基板10的尺寸而可選擇地穿設於兩第一開孔134或是兩第二開孔135。在本實施例中，支撐柱150可用來支撐基板10的下方的側面14，以使基板10能穩定放置於承載匣130內。

另外，如圖8的放大區域所示，在本實施例中，基板10的兩主表面12上分別具有兩接墊16，兩接墊16靠近位於上方的側面14，位於上方的側面14及兩接墊16外露於承載匣130，且側面14會朝向靶材組120(圖2)。靶材組120可對基板10的側面14及兩主表面12外露於第二側壁137的部位濺鍍，以使兩接墊16電性連接於彼此。

下面介紹可以應用於圖2所示的濺鍍設備100的操作方法。圖9是依照本發明的一實施例的一種濺鍍設的操作方法的示意圖。請參閱圖9，本實施例的濺鍍設備的操作方法200包括下列步驟。

請同時參閱圖6與圖9，首先，步驟210，將多個基板10放入濺鍍設備100的承載匣130的多個基板容置槽131，其中各基板10包括相對兩主表面12及連接兩主表面12的多個側面14，各基板10伸出於承載匣130，而使這些側面14的至少一者位於承載匣130之外。

要提醒的是，在步驟210之前，操作者還可選擇地去調整濺鍍設備100的兩定位座140之間的距離至對應於這些基板10的長度，或/且依據至少一基板10的寬度，將支撐柱150可拆卸地穿設於兩第一開孔134或兩第二開孔135。

請同時參閱圖2與圖9，接著，進行步驟220，將承載匣130連同所承載的這些基板10一起放入濺鍍設備100的腔體110內，其中濺鍍設備100包括設置於腔體110內的至少一靶材組120，各靶材組120包括多個靶材，各組中這些靶材交錯地配置在軸線A(圖3)的兩側，各基板10外露於承載匣130的至少一側面14朝向至少一靶材組120。

再來，操作者還可選擇地包括調整這些靶材122的角度，使這些轉動座125的轉動角度介於0-40度之間，較佳地介於10-35度之間。

最後，步驟230，至少一靶材組120對各基板10的至少一側面14濺鍍。在步驟230之後，一鍍層20a(圖10)形成於側面14及主表面12上靠近側面14的部位，且鍍層20a覆蓋接墊16。

圖10是以顯微鏡觀察用本發明的濺鍍設備所濺鍍出來的鍍層與基板的局部區域的影像。請參閱圖10，在本實施例中，由於靶材122(圖2)朝向基板10的側面14濺鍍，可有效降低鍍層20a在接墊16旁且靠近側面14處發生缺陷的機率。此外，靶材122可轉動的設計也有助於降低鍍層20a的缺陷。

當然，步驟230中濺鍍的次數與順序可視需求調整，下面介紹其中一種濺鍍的程序。

圖11是基板被圖2的濺鍍設備的第一靶材濺鍍後的示意圖。請同時參閱圖2與圖11，首先，移動承載匣130至對應於第一靶材123的位置，以濺鍍第一靶材123至各基板10的側面14，而在側面14上形成第一鍍層21(圖11的放大區域)。

具體地說，承載匣130可先移動至圖2的最左方的第一靶材123的下方，以使第一靶材123對基板10的側面14及兩主表面12上靠近側面14的部位濺鍍。值得一提的是，最左方的第一靶材123會位於基板10的側面14的右上方，而較佳地對基板10的側面14及右側的主表面12濺鍍。

接著，承載匣130可移動至圖2的從左方數來第二個靶材122(第一靶材123)的下方，如圖11所示，此第一靶材123會位於基板10的側面14的左上方，而較佳地對基板10的側面14及左側的主表面12濺鍍，而使較均勻的第一鍍層21形成於側面14及兩主表面12上靠近側面14的部位，且第一鍍層21覆蓋兩接墊16。

圖12是圖11的基板被圖2的濺鍍設備的第二靶材濺鍍後的示意圖。請同時參閱圖2與圖12，承載匣130可移動至圖2的從左方數來第三個靶材122(第二靶材124)的下方，以濺鍍第二靶材124至第一鍍層21上。此第二靶材124會位於基板10的側面14的右上方，而較佳地對基板10的側面14及右側的主表面12濺鍍。

接著，承載匣130可移動至圖2最右方的靶材(第二靶材124)的下方，如圖12所示，此第二靶材124會位於基板10的側面14的左上方，而較佳地對基板10的側面14及左側的主表面12濺鍍，而在第一鍍層21上形成較均勻的第二鍍層22。

圖13是圖12的基板再被圖2的濺鍍設備的第一靶材濺鍍後的示意圖。請同時參閱圖2與圖13，操作者可再度移動承載匣130至圖2的最左方的第一靶材123的位置進行濺鍍，之後再移動承載匣130至圖2的左方第二個的第一靶材123的位置，以濺鍍第一靶材123至第二鍍層22上，而較均勻地形成如圖12所示的第三鍍層23。

當然，濺鍍的次數、靶材122的數量與種類不以此為限制。操作者可依需求調整。

圖14是依照本發明的另一實施例的一種承載匣的示意圖。請參閱圖14，圖14的承載匣130a與圖5的承載匣130的主要差異在於，在本實施例中，承載匣130a不具有圖5的承載匣130中位於上方的第二側壁137(圖5)。也就是說，在本實施例中，這些基板10僅靠位於兩定位座140之間的這些凹槽144定位。

同樣地，本實施例的承載匣130a可使基板10的側面140朝向上方的靶材122(圖2)，在本實施例中，操作者可在基板10的兩主表面12上不欲被濺鍍的部位貼膜，靶材122便可對基板10的側面140與兩主表面12中靠近側面的部位濺鍍，待濺鍍完成後再將膜撕開即可。

圖15是依照本發明的另一實施例的一種承載匣的示意圖。請參閱圖15，圖15的承載匣130b與圖5的承載匣130的主要差異在於，在本實施例中，承載匣130b不具有圖5的承載匣130的兩第二側壁137，且承載匣130b為橫放。各基板10的左右側面14直接外露，且兩靶材122位於承載匣130b的兩側而直接朝向各基板10的左右兩側面14。同樣地，在本實施例中，操作者可在基板10的兩主表面12上不欲被濺鍍的部位貼膜，待濺鍍完成後再將膜撕開即可。

當然，在其他未繪示的實施例中，也可以是承載匣的兩第二側壁上對稱地形成有多個基板容置槽(槽縫)，兩靶材組分別位於兩第二側壁旁，且兩第二側壁上的這些基板容置槽(槽縫)朝向兩靶材組。兩靶材組便可對伸出於這些基板容置槽(槽縫)的這些側面濺鍍。

綜上所述，相較於習知的濺鍍設備中靶材是對基板中較大面積的主表面濺鍍，一次僅能濺鍍一片，若要濺鍍多片基板需要重複多次工序，相當耗時。後續還需要移除主表面上的鍍層，造成浪費。再者，習知靶材朝向主表面濺鍍的設計會使得鍍層在接墊旁且靠近側面的部位容易發生缺陷。本發明的濺鍍設備與操作方法則是對基板中兩接墊之間的側面濺鍍。本發明的濺鍍設備中的承載匣可供多個基板的多個側面伸出於承載匣且朝向靶材組。因此，靶材組可同時對這些基板的這些側面濺鍍，相當節省工時與材料。另外，靶材朝向側面濺鍍的設計還可有效降低鍍層發生缺陷的機率。此外，在本發明的濺鍍設備與操作方法中，靶材組的這些靶材交錯地配置在軸線的兩側，而可略為錯開地對基板的側面濺鍍，進而提升鍍膜的均勻性。

θ:轉動角度 A:軸線 D1:延伸方向 D2:移動方向 10:基板 12:主表面 14:側面 16:接墊 20、20a:鍍層 21:第一鍍層 22:第二鍍層 23:第三鍍層 25:缺陷 100:濺鍍設備 105:預載腔 110:腔體 120:靶材組 122:靶材 123:第一靶材 124:第二靶材 125:轉動座 130、130a、130b:承載匣 131:基板容置槽 132:第一側壁 133:溝槽 134:第一開孔 135:第二開孔 137:第二側壁 138:槽縫 140:定位座 142:凸柱 144:凹槽 150:支撐柱 200:濺鍍設備的操作方法 210~230:步驟

圖1A是以習知的方式濺鍍的基板的示意圖。 圖1B是以顯微鏡觀察圖1A的基板的局部區域的影像。 圖2是依照本發明的一實施例的一種濺鍍設備的示意圖。 圖3是圖2的濺鍍設備的俯視示意圖。 圖4是圖2的濺鍍設備的轉動座的示意圖。 圖5是圖2的濺鍍設備的承載匣的示意圖。 圖6是圖5的承載匣的第二側壁上移且基板設置於承載匣內的示意圖。 圖7是基板設置於圖5的承載匣內的側視示意圖。 圖8是多個基板設置於圖5的承載匣內的另一側視示意圖。 圖9是依照本發明的一實施例的一種濺鍍設備的操作方法的示意圖。 圖10是以顯微鏡觀察用本發明的濺鍍設備所濺鍍出來的鍍層與基板的局部區域的影像。 圖11是基板被圖2的濺鍍設備的第一靶材濺鍍後的示意圖。 圖12是圖11的基板被圖2的濺鍍設備的第二靶材濺鍍後的示意圖。 圖13是圖12的基板再被圖2的濺鍍設備的第一靶材濺鍍後的示意圖。 圖14是依照本發明的另一實施例的一種承載匣的示意圖。 圖15是依照本發明的另一實施例的一種承載匣的示意圖。

D1:延伸方向

D2:移動方向

10:基板

14:側面

100:濺鍍設備

105:預載腔

110:腔體

120:靶材組

122:靶材

123:第一靶材

124:第二靶材

125:轉動座

130:承載匣

Claims (22)

1. 一種濺鍍設備，適於對多個基板濺鍍，其中各該基板包括相對兩主表面及連接該兩主表面的多個側面，該濺鍍設備包括： 一腔體； 至少一靶材組，設置於該腔體內，各該靶材組包括多個靶材，各組中該些靶材交錯地配置在一軸線的兩側；以及 一承載匣，可移動地設置以進出該腔體，且包括多個基板容置槽，該些基板適於放置於該承載匣的該些基板容置槽，各該基板適於伸出於該承載匣，而使該些側面的至少一者位於該承載匣之外，且伸出於該承載匣的該至少一側面朝向該至少一靶材組。
2. 如請求項1所述的濺鍍設備，其中該承載匣包括相對的兩第一側壁及相對的兩第二側壁，該兩第二側壁連接於該兩第一側壁，該些基板容置槽為該兩第二側壁的至少一者上的多個槽縫，該些槽縫朝向該至少一靶材組，該些基板穿出於該些槽縫。
3. 如請求項2所述的濺鍍設備，其中該些基板容置槽形成於其中一個該第二側壁上，該些基板容置槽為多個槽縫，該至少一靶材組為一靶材組，該些槽縫朝向該靶材組。
4. 如請求項2所述的濺鍍設備，其中該承載匣還包括兩定位座，沿著該些基板容置槽的一延伸方向可移動地設置於該兩第一側壁之間，以調整該兩定位座之間的距離。
5. 如請求項4所述的濺鍍設備，其中該兩定位座包括朝向該兩第一側壁的多個凸柱，該兩第一側壁包括沿著該延伸方向延伸的多個溝槽，該些凸柱分別可移動地配置於該些溝槽。
6. 如請求項2所述的濺鍍設備，還包括一支撐柱，該承載匣的該兩第一側壁包括對應於彼此的兩第一開孔，該支撐柱可拆卸地穿設於該兩第一開孔。
7. 如請求項6所述的濺鍍設備，其中該承載匣的該兩第一側壁還包括對應於彼此的兩第二開孔，該兩第一開孔與具有該至少一基板容置槽的該第二側壁之間的距離不同於該兩第二開孔與具有該至少一基板容置槽的該第二側壁之間的距離，該支撐柱可選擇地穿設於該兩第一開孔或是該兩第二開孔。
8. 如請求項1所述的濺鍍設備，其中該承載匣的一移動方向平行於該些基板容置槽的一延伸方向。
9. 如請求項1所述的濺鍍設備，還包括多個轉動座，可轉動地配置於該腔體內，且該些靶材設置於該些轉動座上，該些轉動座的轉動角度介於0-40度之間。
10. 如請求項9所述的濺鍍設備，其中該些轉動座朝向該軸線傾斜，且該些轉動座的轉動角度介於10-35度之間。
11. 一種濺鍍設備的操作方法，包括： 將多個基板放入一濺鍍設備的一承載匣的多個基板容置槽，其中各該基板包括相對兩主表面及連接該兩主表面的多個側面，各該基板伸出於該承載匣，而使該些側面的至少一者位於該承載匣之外； 將該承載匣連同所承載的該些基板一起放入該濺鍍設備的一腔體內，其中該濺鍍設備包括設置於該腔體內的至少一靶材組，各該靶材組包括多個靶材，各組中該些靶材交錯地配置在一軸線的兩側，各該基板外露於該承載匣的該至少一側面朝向該至少一靶材組；以及 該至少一靶材組對各該基板的該至少一側面濺鍍。
12. 如請求項11所述的濺鍍設備的操作方法，其中各該基板的該兩主表面上分別具有兩接墊，該兩接墊靠近其中一個該側面，該側面及該兩接墊外露於該承載匣，且該側面朝向該靶材組，在該靶材組對各該基板的該側面濺鍍的步驟之後，一鍍層形成於該側面及該兩主表面上靠近該側面的部位，且該鍍層覆蓋該兩接墊。
13. 如請求項11所述的濺鍍設備的操作方法，其中該些靶材包括至少一第一靶材與至少一第二靶材，在對各該基板的該至少一側面濺鍍的步驟中，還包括： 移動該承載匣至對應於該至少一第一靶材的位置，以濺鍍該至少一第一靶材至各該基板的該至少一側面，而在該至少一側面上形成至少一第一鍍層；以及 移動該承載匣至對應於該至少一第二靶材的位置，以濺鍍該至少一第二靶材至該至少一第一鍍層上，而形成至少一第二鍍層。
14. 如請求項13所述的濺鍍設備的操作方法，其中在濺鍍該至少一第二靶材至各該基板的該至少一側面之後，還包括： 再度移動該承載匣至對應於該至少一第一靶材的位置，以濺鍍該至少一第一靶材至該至少一第二鍍層上，而形成至少一第三鍍層。
15. 如請求項11所述的濺鍍設備的操作方法，其中該承載匣包括相對的兩第一側壁及相對的兩第二側壁，該兩第二側壁連接於該兩第一側壁，該些基板容置槽為該兩第二側壁的至少一者上的多個槽縫，該些槽縫朝向該至少一靶材組，該些基板穿出於該些槽縫。
16. 如請求項15所述的濺鍍設備的操作方法，其中該些基板容置槽形成於其中一個該第二側壁上，該些基板容置槽為多個槽縫，該些基板穿出於該第二側壁的該些基板容置槽，該至少一靶材組為一靶材組，穿出該第二側壁的該些基板容置槽的該些側面朝向該靶材組。
17. 如請求項15所述的濺鍍設備的操作方法，其中該濺鍍設備還包括一支撐柱，該承載匣的該兩第一側壁包括對應於彼此的兩第一開孔及對應於彼此的兩第二開孔，該兩第一開孔與具有該至少一基板容置槽的該第二側壁之間的距離不同於該兩第二開孔與具有該至少一基板容置槽的該第二側壁之間的距離，在將該些基板放入該濺鍍設備的該承載匣的步驟之前，還包括:依據該至少一基板的寬度，將該支撐柱可拆卸地穿設於該兩第一開孔或該兩第二開孔。
18. 如請求項15所述的濺鍍設備的操作方法，其中該承載匣還包括兩定位座，沿著該些基板容置槽的一延伸方向可移動地設置於該兩第一側壁之間，以調整該兩定位座之間的距離，在將該些基板放入該濺鍍設備的該承載匣的步驟之前，還包括: 調整該兩定位座之間的距離至對應於該些基板的長度。
19. 如請求項18所述的濺鍍設備的操作方法，其中該兩定位座包括朝向該兩第一側壁的多個凸柱，該兩第一側壁包括沿著該延伸方向延伸的多個溝槽，該些凸柱分別可移動地配置於該些溝槽。
20. 如請求項11所述的濺鍍設備的操作方法，其中該承載匣的一移動方向平行於該些基板容置槽的一延伸方向。
21. 如請求項11所述的濺鍍設備的操作方法，其中在對各該基板的該至少一側面濺鍍的步驟之前，還包括： 調整該些靶材的角度，其中該濺鍍設備還包括多個轉動座，可轉動地配置於該腔體內，且該些靶材設置於該些轉動座上，該些轉動座的轉動角度介於0-40度之間。
22. 如請求項21所述的濺鍍設備的操作方法，其中該些轉動座朝向該軸線傾斜，且該些轉動座的轉動角度介於10-35度之間。

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