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DE1022032B - Interferometer zu Messzwecken - Google Patents

Interferometer zu Messzwecken

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Publication number
DE1022032B
DE1022032B DEZ5378A DEZ0005378A DE1022032B DE 1022032 B DE1022032 B DE 1022032B DE Z5378 A DEZ5378 A DE Z5378A DE Z0005378 A DEZ0005378 A DE Z0005378A DE 1022032 B DE1022032 B DE 1022032B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring
marks
interferometer
interferometer according
strip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEZ5378A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Walter Kinder
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to DEZ5378A priority Critical patent/DE1022032B/de
Publication of DE1022032B publication Critical patent/DE1022032B/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/45Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Description

  • Interferometer zu Meßzwecken Die Erfindung betrifft ein Interferometer zu Meßzwecken, hei dem die Auswanderung der Meßstreifen zur Ermittlung der gesuchten Meßgröße dient, indem die Auswanderung entweder an einer vorgesehenen Skala abgelesen wird oder indem die Streifen durch einen Kompensator wieder in die Nullstellung geschoben werden und die Verschiebungsgröße den Meßwert ergibt.
  • Es ist ein Interferometer Bekanntgeworden, bei dem zwei Streifensystem erzeugt werd, en, welche sich in der Nullstellung ergänzen. Von diesen bleibt das eine Streifensystem bei der Messung fest und dient sozusagen als Ableseindex für das andere sich bei der Messung verschiebende System. Dieses Interferometer hat den Vorteil, daß es unempfindlich gegenüber Temperatureinflüssen, Berührung oder sonstige Verbåegungen des Gerätes ist, weil sich bei solchen Beeinflussungen d, es Strahlenganges beide Streifensysteme in gleicher Weise etwas verschieben, was, da sich die Streifen in der Nullstellung nach wie vor ergänzen, für die Ermittlung der meßgröße ohne bedeutung ist.
  • Ein Nachteil dieser Geräte ist jedoch der, daß mit ihm eine Einstellgenauigkeit von höchstens 1/50 Streifenbreite erzielt wird weil die Streifen selbst bei der Kompensation der Verschiebungsgröße nur annähernd genau in die Ausgangslage gebracht werden können Dies ist konstruktiv bedingt, weil die beiden Streifensysteme stets einen gewissen Abstand voneinander haben, ferner weil die Streifen des einen und des anderen Systems meist beine geraden Linien miteinander bilden, sondern sie sind oft leicht gekrümmt oder schräg, und schließlich weil die Streifen eine gewisse Diclte haken. Alle diese Eigenschaften tragen dazu bei, daß bei der I&oinzidenzeinstellung der Streifen der Eindurck im menschlichen Auge verfälscht wird.
  • Um diesen Nachteil zu vermeiden, sind Geräte bekanntgeworden, bei denen die Ermittlung der Verschiebungsgröße der Streifen durch eine Strichmarke erfolgt. Mit solchen Marken ist eine Ablesung bis z 1/1000Streifenbreite möglich, jedoch sind diese Geräte nicht unempfindlich gegen die obengenannten Temperatureinflüsse u. dgl., weil keine Möglichkeit der Kontrolle und Nachstellung des Nullpunktes während der Messung vorgesehen ist.
  • Erfindungsgemäß wird deshalb folgende Kombination gewählt: Das Interferometer erzeugt wenigstens zwei Streifensysteme. von denen eines auswandert und das andere fest bleibt; es ist jedem Streifensystem eine relativ zu den Streifensystemen verschiebbare Meßmarke zugeordnet, und die Meßmarken sind miteinander gekuppelt. Die Meßmarke im auswandernden . Streifensystem gestattet dann die Ermittlung des Meßwertes mit der den Strichinarken eigenen Genauigkeit, die zweite Strichmarke im beim Meßvorgang fest bleibenden Streifensystem gestattet bei Verschiebung beider Systeme zusammen durch die genannten Einflüsse das Nachstellen bdder meßmarken, denn diese sind miteinander gekuppelt. Wird deshalb die Marke im Vergelichsstreifensystem auf Null eingestellt, dann stellt sich die Marke im Mellstreifensystem ebenfalls auf Null ein. Diese Kombination besitzt also die Vorteile der beiden bekannten Geräte, vermeidet jedoch deren Nachteile.
  • In besonderer Ausgestaltung der Erfindung können die Marken auf einer verschiebbaren Okularplatte angebracht sein, so daß dann zur Nullpunktjustierung diese Okularplatte verschoben wid. die Meßmarken können aber audl fest angeordnet sein. Zur Nullpunktjustierung müssen dann beide Streifensysten@e zusammen, d. h. um die gleichen Beträge, relativ zu den Marken verschiebbar sein.
  • Zu Justierzweicken bei der Montage des Gerätes in der Werkstatt sind vorteilhaft auch beide Marken relativ zueinander verschiebbar, oder es ist zusätzlich ein Streifensystem relativ zum anderen verschiebbar.
  • Nach dies'er Grundj ustierung sollen jedoch für den Benutzer des Gerätes die Marken nur noch gemeinsam verschiebbar sein.
  • Die Meßmarken sind zweckmäßig durch schräg liegende Fadenkreuze gebildet; denn es hat sich gezeigt, daß mit solchen Strickreuzen der Nullstreifen besonders genau fixiert werden kann. Bei den obengenannten Ausführungsbeispielen ist es gleichgültig, wo die beiden Streifensysteme liegen, d. h., diese könneu auch räumlich getrennt von, einander angeordnet sein.
  • Eine andere Ausführungsmöglichkeit besteht darin, daß das eine Streifensystem in der Nullstellung die Fortsetzung des anderen bildet und die Meßmarken durch einen über beide Systeme reichenden Strich gebildet sind, Insbesondere kann sich dann an dem Teil der N'IaHe im bei der Messung auswandernden Streifensystem eine Skala anschließn, so daß also die Auswanderung der Streifen auf der Skala direkt abgegesen werden kann.
  • Selbstverständlich ist aber auch jede andere Meßmarkenausbildung denkbar, z. B. auch dien Meßmarkensystem. welches aus einem geraden Strich und im anderen System aus einem schräg liegenden Fadenkreuz besteht.
  • Ist das Interferometer mit einer selbstregistrierenden Einrichtung verbunden, so wird die Meß marke im auswandernden Streifensystem zweckmäßig aus einem oder mehreren Spalten bestephen. Durch diese Spalten fällt Licht auf dien Photozelle, und wen das Meßstreifensystem aus der Nullstellung auswandert, wird durch den dann von der Photozelle erzeugten Photostrom Ciii Motor betrieben. Dieser kann beispielsweise einen Kompensator im Strahlengang des Interferometers so weit verstellen, bis das auswandernde Streifensystem in sein Nullstellung zurükgewender@ ist, d. h. der Nullichtstrom weider auf die Photozelle fällt. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist erfindungsgemäß der Spalt verschiebbar und mit der Marke im fest bleibenden Markensystem verbunden, so daß eine Justierung des Spaltes auf die Nullstelung leicht erfolgen kann.
  • In geänderter Ausgestaltung dieses letzten Ausführngsbeispeils der Erfindung ist sowohl die Meßmarke im auswandernden Streifensystem als auch die im fest bleibenden Streifensystem durch einen Spalt gebildet. In diesem Sonderfall brauchen die Spalte zur Nullpunktjustierung nicht verschiebbar zu sein; denn ordnet man hinter jedem Spalt eine Photozelle an und läßt die von ihnen erzeugten Photoströme auf einen Elektromotor wirken, derart, daß der Motor dann anläuft, wenn ungleiche Lichtströme auf die Photozellen fallen, dann kann der Motor wieder eine Sompensationseinrichtung betätigen, welche das auswandernde streifensystem in die Nullage zurückbringt. Verschiebungen beider $streifensystem zusammen. bei spielsweise durch Temperatureinflüsse, bewirken nur. daß beide Streifensystem relativ zu den Spalten in gleichem Maße auswandern; die auf beide Photozellen in der Nullstellung fallenden Lichtströme bleiben jedoch gleich, so daß der Motor den Kompensator nicht bestätigt.
  • In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt, und zwar zeigt Fig. 1 einen Längsschnitt durch ein Interferometer. wie es in Laboratorien Verwendung findet.
  • Fig. 2 die Draufsicht auf das Interferometer nach Fig. 1, ebenfalls im Schnitt, Fig. 3 a bis 3 d das Gesichtsfeld des Interferometers nach den Fig. 1 und 2 während eines Meßvorganges, Fig. 4 das Gesichtsfeld mit geänderten Marken, Fig. 5 einen Teil eines selbstriegtsrierende Interferometers.
  • Fig. 6 ein Schema zur Erläuterung der Wirkungsweise des selbstreigstrierenden Interferometers nach Fig. 5.
  • In Fig. 1 wird das von einer Glühlampe 1 dadurch einen Spalt 2 fallende und durch e-iii Kollimator objektiv 3 parallel gerichtete Lichtbündel von einer Doppelblende 4 gebeugt. Der obere Teil des Lichtes geht von hier aus durch eine Meß- und eine Vergelichskammer 5 und 5'. der unter Teil der Lichtes geht. wie auf Fig. 1 zu rsehen ist. an diesen Kammern vorbei. Beide Lichtanteile treten in ein Fernrohr 9, wo entsprechend den oberen und den unteren Lichtanteilen zwei Streifensysteme entstehen. Da untere Streifensystem wird von der Füllung oder Leerung der Meßkammer nicht berührt und bewarht immer seine feste lage und sein gleiches aussehen.
  • Das obere Streifensystem ist dagegen beweglcih. je nachdem wie groß der nterwchied im Lichtbrechungsvermögen der in den lieiden Isammerhälften 5 und 5' befindlichen Medien ist, tritt iii deii oberen Hälften der parallelen Lichtbündel eine Phasenvrschiebung ein, die einv Verschiebung des oberen Interferenzstreifensystems zur Folge hat. Tnl oberen Teil der parallelen Lichtbündel sind zwei Kompensatoplatten 6 und 7 angeordnet, von denen die Platte 7 fest und die Platte 6 durch ein Mikrometer 8 neigbar ist. Indem man dieSchräglage der Kompensatorplatte 6 ändert, wird der Lichtweg innerhalb derselben verlkürztoder verlängert und damit ein ausgleich für die Verschiebung des oberen Streifensystems herbeigeführt. Der Wert der Verstellung wird an den Teilungen des Mikromteters 8 abgelesen und stellt da Maß fiir den Brechungsmunterschied zwischen Vergleichsstoff und Probe dar.
  • Wie aus den Fig. 1 uiid 2 weiter zu erschen ist, ist in der Okularbildeben eine verschiebbare strichplatte 11 vorgesehen. Auf der Strichplatte 11 sind zwei Fadenkreuze 12 und 12' eingraviert (vgl. Fig. 3a bis 3 d). Das Fadenkreuz 12 dient zur Ermittlung der Meßgrö}e, das Faddenkreuz 12' zur Justierung des Nullpunktes.
  • Fig. 3 a zeigt die Grundstellung des Interferometers. Der Nullstreifen 13 des AIeßsystems liegt in der SIitte des Fadenkreuzes 12. der Nullstreifen 13' des Vergleichssystems in der Mitte des Fadeiikreuzes 12'.
  • Fig. 3b zeigt das gestichtsfeld in einer unjustierten WIeßstellung. Der Nullstreifen 13' des Vergleichssystems ist auf Grund von Temperatureinflüssen od. dgl. vom Fadenkreuz 12' aus nadi links gewandert.
  • Der Nullstreifen des Meßsystems ist um eine größere Strecke vom Fadenkreuz 12 fotgewandert. nämlich noch um eine zusätzliche Meßgröße. Um bei dieser Stellung den meßwert zu ermitteln, wird zunächst die Strichplatte 11 so weit verschoben. bis das Fadenkreuz 12' den Nullstreifen 13' einschließt. Diese Verschiebung hat das Fadenkruz 12 mitgemacht, und es ist im Meßstreifensystem auf Null justiert. Zur Ermittlung des Meßergebnisses wird nun das Mikrometer 8 und damit die Kiompensatoplatte 6 so weit gedreht. bis der Nullstreifen 13 des Meßstreifensystems mit dem Fadenkreuz 12 zur Deckung kommt (Fig. 3 d). In dieser Stellung kann am Mikrometer 8 der fehlerfreie Meßwert abgelesen werden.
  • Fig. 4 zeigt eine genderte Meßmarkenausbildung.
  • Die Meßarke im Vergleichssystem wird wieder durch ein schräg liegendes Fadenkreuz 12' gebildet.
  • Die meßmarke im Meßsystem besteht aus einem geraden Strich 14, an den sich nach rechts und links je eine Skala anschließt. Fig. 4 entspricht dem Bild der Fig. 3 c hinsichtlich des Meßvogranges. Der Nullstreifen 13'des Vergliechssystems liegt im Fadenkreuz 12', d. h., die Meßarke 14 ist auf Null justiert.
  • Der Nullstreifen des Meßsystems 13 ist nach links ausgewandert. die Größe der Auswanderung kann hier direkt mit Hilfe der sich an dcii Strich 14 anschließenden Skala abgelesen werden. Eine Drehung der Kompensatorplatte 6 ist in diesem Fall nicht notwendig. so daß der Kompensator entbehrt werden kann.
  • In Fig. 5 sind in der Okularibildebene zwei Spalte 15 untl 15' vorgesehen. Durch diese beiden Spalte fällt gemäß Fig. 6 Licht auf zwei Photozellen 16 und 16'. Die Photozellen sind einmal mit einem Widerstand 17 verbunden und zum anderen mit einem Motor 18. Der Motor 18 ist ferner mit dem Weiderstand, wie in der Fig. 6 dargestellt, verbunden. Fallen auf die Photozellen 16 und 16' gleich starke Lichtströme. dann ist der Widerstand 17 ohne Spannung, und der Motor 18 kann dort keine Spannung angreifen, er bleibt in Ruhe. Fallen jedoch auf die Photozellen 16 und 16'ungleiche Lichtströme, so entsteht im Widerstand 17 ein Spannungsabfall, der Motor 18 wird unter Spannung gesetzt und setzt sich in Tätigkeit.
  • Mit dem Motor 18 ist die Kompensatorplatte 6 nach den Fig. 1 und 2 verbunden. Die Kompensatorplatte 6 wird so lange gedreht. bis wieder gleiche Lichtströme auf die Photozellen 16 und 16' fallen. Die Größe der Drehung der KOmpensatorplatte kann am Nil Mikrometer 8 abgelesen werden oder durch einen Schreiber aufgezeichnet werden. Sie ist wieder ein Maß für das Äießergebnis. Wie aus Fig. 5 zu ersehen ist, ist es bei dieser Ausbildung nicht notwelldig, daß die Platte 11 zur Justierung des Nullpunktes Verschiebbar ist, denn wandern beide Steifensysteme infolge von Temperatureinflüssen, Verbiegungen od. dgl. nach rechts oder links um gleiche Beträge etwas aus, dann fallen nach wie vor gleiche Lichtanteile auf die Photozellen 16 und 16'. Nur wenn ein Streifen, system relativ zum anderen wandert, tritt der Motor 18 in Tätigkeit.

Claims (11)

  1. PATENTANSPRÜCHE 1. Interferometer zu Meßzwecken, bei dem die Auswanderung der Meßstreifen zur Vermittlung der gesuchten Meßgröße dient. dadurch gelsemlzeichnet daß das Interferometer wenigstens zwei Streifensysteme erzeugt. von denen eines auswandert und das andere fest bleibt-, daß jedem dieserStreifensysteme eine relativ zu denStreifensystemen verschiebbare Meßmarke zugeordnet ist und daß die Marken miteinander gekuppelt sind.
  2. 2. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß beide Meßmarken auf einer verschiebbaren Okul arplatte angeordnet sind.
  3. 3. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßmarken fest angeordnet sind und die Streifensysteme zur Nullpunktjustierung um gleiche Beträge verschiebbar sind.
  4. 4. Interferometer nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß zum Zwecke der gegenseitigen Justierung der Marken zusätzlich eine Marke relativ zur anderen verschiebbar fest.
  5. 5. Interferometer nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß zum Zwecke der gegenseitigen Justierung der Marken zusätzlich ein Streifensystem relativ zum anderen verschiebbar ist.
  6. 6. Interferometer nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, daß die Meßmarken aus schräg liegenden Fadenkreuzen bestehen.
  7. 7. Interferometer nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, daß in der Nullstellung ein Streifensystem die Fortsetzung des anderen bildet und die Meßmarken durch einen über beide Streifensysteme reichenden Strich gebildet sind.
  8. 8. Interferometer nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß sich an den Teil der Marke im bei der Messung auswandernden Streifensystem eine Skala anschließt.
  9. 9. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßmarken in einem System durch einen geraden Strich und im anderen System durch ein schräg liegendes Fadenkreuz gebildet sind.
  10. 10. Interferometer nach Anspruch 1. dadurch gkeiennziechnet, daß das Interferometer mit einer selbstregistreierenden Einrichtung verbunden ist und d,ie Meßmarken aus einem oder mehreren Spalten bestehen.
  11. 11. Interferometer nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß nur die Meßmarke im auswandernden Streifensystem aus einem oder mehreren Spalten besteht.
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