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TWI562365B - Oxide semiconductor film and semiconductor device - Google Patents

Oxide semiconductor film and semiconductor device

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TWI562365B TW100144209A TW100144209A TWI562365B TW I562365 B TWI562365 B TW I562365B TW 100144209 A TW100144209 A TW 100144209A TW 100144209 A TW100144209 A TW 100144209A TW I562365 B TWI562365 B TW I562365B
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Masashi Tsubuku
Kengo Akimoto
Hiroki Ohara
Tatsuya Honda
Takatsugu Omata
Yusuke Nonaka
Masahiro Takahashi
Akiharu Miyanaga
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Semiconductor Energy Lab Co Ltd
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