[go: up one dir, main page]

TWI314571B - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
TWI314571B
TWI314571B TW93100190A TW93100190A TWI314571B TW I314571 B TWI314571 B TW I314571B TW 93100190 A TW93100190 A TW 93100190A TW 93100190 A TW93100190 A TW 93100190A TW I314571 B TWI314571 B TW I314571B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
resin
epoxy
adhesive
conductive
sheet
Prior art date
Application number
TW93100190A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200417576A (en
Inventor
Toshio Enami
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sekisui Chemical Co Ltd filed Critical Sekisui Chemical Co Ltd
Publication of TW200417576A publication Critical patent/TW200417576A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI314571B publication Critical patent/TWI314571B/zh

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J9/00Adhesives characterised by their physical nature or the effects produced, e.g. glue sticks
    • C09J9/02Electrically-conducting adhesives
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J163/00Adhesives based on epoxy resins; Adhesives based on derivatives of epoxy resins
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J7/00Adhesives in the form of films or foils
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J7/00Adhesives in the form of films or foils
    • C09J7/10Adhesives in the form of films or foils without carriers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J7/00Adhesives in the form of films or foils
    • C09J7/20Adhesives in the form of films or foils characterised by their carriers
    • C09J7/22Plastics; Metallised plastics
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J7/00Adhesives in the form of films or foils
    • C09J7/30Adhesives in the form of films or foils characterised by the adhesive composition
    • C09J7/35Heat-activated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L2666/00Composition of polymers characterized by a further compound in the blend, being organic macromolecular compounds, natural resins, waxes or and bituminous materials, non-macromolecular organic substances, inorganic substances or characterized by their function in the composition
    • C08L2666/02Organic macromolecular compounds, natural resins, waxes or and bituminous materials
    • C08L2666/14Macromolecular compounds according to C08L59/00 - C08L87/00; Derivatives thereof
    • C08L2666/22Macromolecular compounds not provided for in C08L2666/16 - C08L2666/20
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L63/00Compositions of epoxy resins; Compositions of derivatives of epoxy resins
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2301/00Additional features of adhesives in the form of films or foils
    • C09J2301/30Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the chemical, physicochemical or physical properties of the adhesive or the carrier
    • C09J2301/314Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the chemical, physicochemical or physical properties of the adhesive or the carrier the adhesive layer and/or the carrier being conductive
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2463/00Presence of epoxy resin
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31511Of epoxy ether
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31511Of epoxy ether
    • Y10T428/31515As intermediate layer
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31511Of epoxy ether
    • Y10T428/31515As intermediate layer
    • Y10T428/31518Next to glass or quartz
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31511Of epoxy ether
    • Y10T428/31515As intermediate layer
    • Y10T428/31522Next to metal
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31511Of epoxy ether
    • Y10T428/31525Next to glass or quartz
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31511Of epoxy ether
    • Y10T428/31529Next to metal

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
  • Adhesive Tapes (AREA)
  • Conductive Materials (AREA)
  • Epoxy Resins (AREA)
  • Non-Insulated Conductors (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)

Description

1314571 狄、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 著性ΐ!:係關於具有高可靠性之硬化性樹脂組成物、接 連接、接著性環氧樹脂片、導電連接糊、導電 包含「薄膜」。 ^月中所4之片」係 【先前技術】 ^對近年來之對半導體裝置的小型化與高性能化的要 '種的電子材料用接著劑一直在開發著。此 材料用接著劑須要灰古庐沾叮去t 屢子 要“度的可#性,為了確保此可靠性, 敢常使用者為硬化收縮少古 人W 1有南接著力、且種類豐富而配 …十各易的環氧樹脂。作為如此的環氧樹脂,由作業性 2方面考$ ’通常多使用例如雙紛A型液狀環氧樹脂與 又F型液狀環氧樹脂等之通用的液狀環氧樹脂。然而, 使用此等通用的液狀環氧樹脂的電子材料用接著劑,已難 以滿足現今之非常高可靠性的要求,故新的高性能的環氧 樹:仍-直在開發中。χ ’本發明中所謂之接著劑係包含 黏著劑。 作為現今之電子材料用接著劑所要求之對可靠性方面 之具體的要求性能’可列舉例如:耐熱性、耐濕性、耐冷 熱循環性、财熔焊性等,其中尤以財濕性及耐炫焊性,: 硬化之接著劑的低吸水率與低吸水量有關,而為必要者。' 理由在於:硬化後的接著劑之吸水率若高,則水容易侵入 到接著界面,而有界面的接著力降低的顧慮;又,硬化後 1314571 的接者叙吸水量若大,則達到2〇〇〜26代之炼焊溫度會 使水分^速地氣化,致電子元件有被破壞的顧慮之故。 曰另方面’為了提高耐冷熱循環性,通常係填充以多 ϊ的用以使線膨脹係數(線膨脹率)減小的無機填料。盆理 由在於:無機填料的線膨脹係數遠小於有機填料之故:、然 而’若多量填充無機填料,則雖線膨脹係數減小, =彈!模數卻增高,致硬化後的接著劑之應力緩變得 耐冷熱循淨1 Γ點所在°亦即’經由無機填料的填充以提高 狀二拉'奸。的方法有其限度。於使用將接著劑加工成片 著片的I片的場合,所填充的無機填料,會使硬化前的接 雷射:度降低’或是在使用於須有通孔的基板時,藉由 由射之加工變得困難, 問題點所在。 Μ精度间的通孔會有固難,是 ,二’有關耐冷熱循環性的提高,為使羞生的應力減低 夫昭心著添加丙稀酸橡膠等之橡膠聚合物的方法( > “,、例如曰本專利第3342703號公報)。 續朴ί而’若添橡勝聚合物,雖可提高耐冷熱循環性,卻 性盘=熱性降低的代價以使應力緩和,故欲兼顧高耐熱 高=濕性和高耐冷熱猶環性有其困難。亦即,為了達成 的耐冷熱循環性,使冷熱循環時所發生的應 尺必要的。 成為了緩和上述應力之效果,通常係使用對環氧樹脂以 綠炉目态或相分離的方式混合幾酸或縮水甘油基改質之聚 工、例如具有或纖等之宫能基之二婦系橡膠聚 1314571 〇〇腈橡膠、末端反應基矽酮、丙烯酸橡膠、苯乙烯系 彈f體等之可撓性賦予成分的方法。然而’當此等可撓性 Z予成分與作為基體樹脂之環氧樹脂相溶的場合,會使耐 :、、陡大巾田地降低,致無法發揮高溫時之高耐熱接著力。又 =p使疋此等可撓性賦予成分為相分離構造的場合,經由 =可撓性賦予成分與環氧樹脂的界面之部分相溶,有使耐
降低的傾向。上述相分離構造,對於溫度變化並非完 疋安定的’故有因溫度變化而成相溶狀態的情形。 h 過去J衣氧樹脂系的硬化性樹脂組成物多以酸酐 P4硬㈣’惟’會有硬化後的硬化物中殘存有未反應 的隋形。由於此未反應物經由吸濕等發生反應而成為酸 生或驗性’故g紐物f或驗性物f會流出到硬化物表面及 ' 而有引起鋁或銅等的電極金屬的腐蝕之問題存在。 會發生硬化物中經由水解等所產生的酸成為觸媒之氣 吸引反應致氣離子流出,而損及可靠性的問題。 另-方面’於液晶顯示器、個人電腦、行動式通訊器 -才等之電子製品的製造過程中,於使半導體元件等之小型 7L件與基板做電氣連接的場合中,須使微細的電極彼此作 對向連接。又,於玻璃電路基板的製造過程中,於汽車的 車燈部分等的玻璃表面設置導通電路之場合,必須使玻璃 表面與導通電路的電極面作對向連接。 、 作為連接此等電極的方法,通常係採用以焊料或導電 糊等來連接突塊(bump)或使對向的突塊直接壓合的方法。 了保濩連接後的電極,係採用以樹脂將連接後的電 1314571 極密封的方法。 然而’由於微細的電極之連接距離短,故在短時間内 =地注入樹脂進行密封有困難。又,於將玻璃表面與 路的電極面連接之場合,於使用焊 部位會達到過高溫度,是其問題。 連接 因此,為了解決這樣的問題點,以導電氣微粒子與絕 生的接者劑混合形成為片狀或糊狀的異向導電氣接著劑 μ檢討(參照例如日本專利第謂62號公報、及;2 7~73066號公報)。 然而’於過去之片狀的異向導電氣接著劑中,經由在 電極,突塊上藉加熱愿接來塵接導電氣微粒子而將電極密 / ☆“電極與導電氣微粒子之时殘存 劑,致連接可靠性降低,是問題所在。 ’接者 又,於糊狀的異向導電氣接著劑中,於糊塗佈之時, 良好的塗佈精度與塗佈效率等良好的塗佈性是必要的,過 去之多量填充無機填料的糊狀異向導電氣接著劑,由於流 動性未必充分’故塗佈性方面未能充分滿^,是其問題。 又’於以澆塑法製造異向導電氣接著片時,亦要求須有良 布法再者’由於導電氣微粒子未均一地分散於絕 緣性的接著劑中,玆邋φ $ 致導電乳被粒子彼此會凝集,使相鄰 電極發生短路,是其問題點。 因此本發明者等先前開發出在操作之時導電氣微粒 子可㈣於接著性樹脂片上並且導電氣微粒子的—部份會 自接著性樹脂片露出之導電連接片。由於此導電連接片於 1314571 導:氣微粒子間不會殘留絕緣性接著劑且微 曰凝集’ &可得到高連接可靠性(參照例如日本專利 2002 313143號公報)。 汗 子製!二本發明者等發現:此導電連接片使用於例如電 :匕的連接部分或汽車的車燈部分等的場合其使用中 二^於關力銷試驗⑽)為代表之高溫高㈣環境下, 人兼顧導電氣微粒子的保持與片材的形狀的保持會有困難 具體而言,在此導電連接片巾,若為了提高導電氣微 ;:的,持力而提高常溫下之硬化前片材對於導電氣微粒 /的接著&,則於硬化後在高溫高濕下片材也會軟化而使 形狀,持力降低’致產生連接可靠性降低之問題。又,若 以在高溫高濕下也不軟化的方式而提高片材的形狀保持力 ,則常溫下之片材對導電氣微粒子的接著性會降低,故會 發生導電氣微粒子的保持力降低的問題。 又’環氧樹脂系硬化性樹脂組成物雖可用作為絕緣基 板材料,但於多層印刷基板等所使用之絕緣基板須要求不 易對電氣特性造成影響、吸濕性低、具有容易用雷射進行 對位之透明性,再者,於熔焊時等之高溫處理之時的尺寸 變化小亦為強烈要求者。 又’環氧樹脂系硬化性樹脂組成物雖可用作為絕緣基 板材料’但於多層印刷基板等所使用之絕緣基板須要求不 易對電氣特性造成影響、吸濕性低、具有容易用光學系統 透鏡使各片材彼此對位之透明性,再者,於熔焊時等之高 1314571 溫處理之時的尺寸變化小亦為強烈要求者。 於用以使石夕晶片與金屬框架、多層板、增厚(buiid_ 叩)基板等之有機基板、陶究基板等接合之晶粒安裝(― attach)膜絕緣材料,亦要求著與上述相同的性能。再者, 作為附有晶粒安裝膜之石夕晶片,雖有在晶圓階段直接點貼 上薄膜之晶圓級與對單片化之石夕晶片個別地黏貼的方式, 惟’所要求的性能並無不同。 【發明内容】 鑑於上述之現狀及問題點,本發明之目的在於提供: 硬化後於機械強度、財熱性、耐濕性、可撓性、耐冷熱循 環1·生、财熔焊性、尺寸安定性等方面優異且可發揮高接著 可靠性與作為導通材料時之高導通可靠性的硬化性樹脂組 成:、及使用此硬化性樹脂組成物的接著性環氧樹脂糊、 接著性環氧樹脂片、導電連接糊、導電連接片、以及使用 此等之電子元件接合體。 依據申請專利範圍第1項的發明(以下,記為「第i本 發明」)之硬化性樹脂組成物係含有:環氧樹脂、具有可 與環氧基反應的官能基之固態聚合物、與環氧樹脂用硬化 劑;其特徵在於,將硬化物以重金屬染色,經由穿透型電 子顯微鏡觀察時’於樹脂所構成的基體中不會觀察到相分 離構造。 依據申請專利範圍第2項之發明之硬化性樹脂組成物 ’係於上述中請專利範圍第1項之硬化性樹脂組成物中, 其硬化物之黏彈性曲線測定之tand的峰值為單一者且 I3l4571 述峰值的溫度為120°c以上。 依據申請專利範圍第3項的發明之硬化性樹脂組成物 ’係於上述申請專利範圍第1或第2項之硬化性樹脂組成 物中’其硬化物於加熱到12〇。〇之二甲亞硼溶液中所測定 的膨潤率為50%以内。
依據申請專利範圍第4項的發明之硬化性樹脂組成物 ’係於上述申請專利範圍第1、2或3項之硬化性樹脂組成 物中’於將硬化物的溶出成分以1丨的熱水萃取時的萃 取水之pH為5. 0〜8. 5。 依據申請專利範圍第5項的發明之硬化性樹脂組成物 ,係於上述申請專利範圍第1、2、3或4項之硬化性樹脂 組成物中’於將硬化物的溶出成分以u 〇它的熱水萃取時 的萃取水之電導度為100/zS/Cm以下。 依據申請專利範圍第6項的發明之硬化性樹脂組成物 ’係於上述申請專利範圍第1、2、3、4或5項之硬化性樹 月曰組成物中’其硬化物的介電率為3.5以下,且介電損耗 因子為0.02以下。 依據申請專利範圍第7項的發明之硬化性樹脂組成物 係於申明專利範圍第1、2、3、4、5或6項之硬化性樹 曰、成物中環氧樹脂為主鏈上具有多環式烴骨架的環氧 樹月曰’具有可與環氧基反應之官能基的固態聚合物為具有 %氧基的间分子聚合物,且不含有無機填料。 依據申請專利範圍第8項的發明之硬化性樹脂組成物 ’係於上述申請專利範圍第7項之硬化性樹脂組成物中, 12 1314571 主鏈上具有多環式烴骨架的 加t 长乳樹脂為具有二環戊二烯骨 架的環減脂或具有射架的環氧樹脂。 依據申請專利範圍第9項 ^ 巧的發明之硬化性樹脂組成物 ,係於上述申請專利範圍第7 A 8項之硬化性樹脂組成物 ,具有環氧基的高分子聚合物 物之重篁平均分子量為1萬 以上。 依據申请專利範圍第1 〇項的疏 y 項的發明之硬化性樹脂組成物 ’係於上述申請專利範圍第7、 .,^ 8或9項之硬化性樹脂組成 物中,具有環氧基的高分子臂人 ^°物之環氧當量為200~1000 〇 依據申請專利範圍第1丨瑁 y 1項的發明之硬化性樹脂組成物 於上述申請專利範圍第7、8、9或H)項之硬化性樹脂 1 成物I,具有環氧基的高分子聚合物係藉由懸浮聚合法 所製造者。 依據^專利範圍第12項的發明之硬化性樹脂組成物 ’係於上述申請專利範圍第1、2、3、4、5、6、7、8、9 、10或11項之硬化性樹脂組成物中,進一步含有 之 彈性模數(G,)為1 X 1〇5〜1 1 X 1 〇 Pa的低彈性模數物 貝,該低彈性模數物質係對環氧樹脂及具有可與環氧基反 應之官能基的固態聚合物為不相溶且分散成島狀者。土 依據申請專利範圍第13項的發明(以下記為 發明」)之硬化性樹脂組成物,其特徵在於,係含有:由 具有二環戊二稀骨架的環氧樹月旨、具有蔡骨架的環氧樹脂 、與環軋樹脂用硬化劑所混合而得的環氧樹脂組成物,和 13 1314571 心。卩之玻璃轉化溫度為2〇°C以下、外殼之玻璃轉化溫度為 40 C以上的芯殼構造之橡膠粒子。 依據申請專利範圍第丨4項的發明(以下記為「第3本 發明」)之接著性環氧樹脂糊,其特徵在於,係由上述申 請專利範圍第 1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、n、u 或13項之硬化性樹脂組成物所構成。 依據申請專利範圍帛15項的發明(以下記為「第4本 發明」)之層間接著劑’其特徵在於,係由上述申請專利 範圍第14 $之接著性環氧樹脂糊所構成。 依據申請專利範圍第16項的發明(以下記為「第5本 發明」)之非導電氣糊,其特徵在於,係由上述申請 範圍第14項之接著性環氧樹脂糊所構成。 依據申凊專利範圍第17項的發明(以下記為「第6本 =」)之底填料,其特徵在於,係由上述申請專利範圍 第14項之接著性環氧樹脂糊所構成。
據申請專利範圍帛18項的發明(以下記為「第7 ^月」)之接著性環氧樹脂片,其特徵在於,係由 利範圍第1、2、q /1 r T 〇t 3、4、5、6、7、8、9、10、u、12 或 、之硬化性樹脂組成物成形為片狀所構成。 依據申請專利範圍第19項的發明之接著性 ,係於申請專利笳圍筮,。 乳料月曰 、 〗靶圍第18項之接著性環氧樹脂片中, ::昇溫速度45它/分進行昇溫使其加熱硬化之 的貯藏彈性模數(G'Ul χ 1Q3paa_^ 熱硬化 依據申凊專利範圍第2 0項的發明之接著性環氧樹脂 1314571 ,係於申請專利範圍第18或19項之接著性環氧樹脂片中 ,依據動黏彈性之tan 5的峰值溫度於硬化前為_2〇〜4〇它 的範圍’於硬化後為12〇°c以上。 依據申明專利範圍第21項的發明(以下記為「第8本 發明」)之非導電氣薄膜,其特徵在於,係由申請專利範 圍第18、項之接著性環氧樹脂片所構成。 依據申請專利範圍第22項的發明(以下記為「第9本 發明」)之晶粒安裝膜,其特徵在於,係由申請專利範圍 第18、19或20項之接著性環氧樹脂片所構成。 依據申請專利範圍第23項的發明(以下記為「第1〇本 發明」)之導電連接糊,其特徵在於,係於申請專利範圍 第14項之接著性環氧樹脂糊中含有導電氣微粒子所構成 〇 依據申請專利範圍第24項的發明(以下記為「第u本 毛明」)之異向性導電糊,其特徵在於,係由申請專利範 圍第23項之導電連接糊所構成。 依據申明專利範圍第25項的發明(以下記為「第丨2本 發明」)之導電連接片,其特徵在於,係由申請專利範圍 第18、19或20項之接著性環氧樹脂片、與導電氣微粒子 斤構成者’其特徵在於,該導電氣微粒子之至少一部份係 自該接著性環氧樹脂片露出著。 依據申清專利範圍第26項的發明(以下記為「第丨3本 心明)之導電連接片,其特徵在於,係於上述申請專利範 圍第18、1 9 $ 20項之接著性玉裒氧樹脂片巾埋設有較前述 15 1314571 接著性環氧樹脂片的厚度小的導電氣微粒子。 &依據申請專利範圍第27項的發明(以下記為「第14本 」)之異向性導電薄臈,其特徵在於,係由申請專利 範圍第26項之導電連接片所構成。
依據申叫專利範圍第28項的發明(以下記為「第15本 發月」)之導電連接片,係由黏著性樹腊片(為由含有經由 :力:可塑劑賦予黏著性之樹脂、及常溫下為液狀之具有萘 :架之%氧樹脂的黏著性樹脂組成物所構成者)與導電氣 U粒子所形成者;其特徵在於,該黏著性樹脂片,其依據 動黏彈性之tan5的峰值溫度於硬化前*_2〇~4(rc的範圍 於硬化後為1201以上,並且,於該黏著性樹脂片之任 思的位置配置有該導電氣微粒子,該導電氣微粒子之至少 一部份係自該黏著性樹脂片露出著。 依據申請專利範圍第2 9項的發明之導電連接片,係於 申請專利範圍第28項之導電連接片中,對硬化後之黏著 性樹脂片,於溫度12〇t、濕度85%RH、時間12小時的條 件下進行加壓鍋試驗後之硬化後的黏著性樹脂片之伸展率 為5%以下。 依據申請專利範圍第30項的發明(以下記為「第16本 Is明」)之覆晶膠帶,係由申請專利範圍第25、28或29項 之導電連接片所構成。 依據申請專利範圍第31項的發明(以下記為「第丨7本 發明」)之電子元件接合體,其特徵在於,係藉由上述申 請專利範圍第 1、2、3、4、5、6、7、8、9、1〇、11、I? 16 1314571 或13項之硬化性樹脂組成物、申請專利範圍第μ項之接 :性環氧樹脂糊、申請專利_ 15項之層間接著劑、 申明專利範圍第16項之非導電氣糊、中請專利範圍第Η =真料t明專利觀圍第23項之導電連接糊、申請 專^圍第24項之異向性導電糊、巾請專利範圍第Μ、 =20項之接著性環氧樹脂片、巾請專利範圍第η項之 :直電氣薄膜、申請專利範圍第22項之晶粒安裝… -專利範固第25、26、28或29項之導電連接片、"專 利範圍第27項之異向性導電莓 °專 項之覆晶膠帶之中的任一:電:膜電子或:請專利範圍第 雷^ z #使電子疋件的突塊狀的突起 電極二=的電極於導通的狀態下接合所構成者。 申明專利域第32項的發明(以下纪為「第料
」)之電子元件接合體,其特徵在 J ^化性樹脂组成物、巾請專利範圍第14 ^ 樹脂糊、申請專利範圍"項之 著二, 專利範圍…之導電連 第“項之異向性導電糊、申請專 申專:範圍 之接著性環氧樹 8、19或20項 薄膜、申請專利範圍第22 =”第21項之非導電氣 圍第25、26、28 + ^ 、 女聚膜、申請專利範 27項之異向性導;項::電連接片、申請專利範圍第 膠帶之中的任一者電,或申請專利範圍…之覆晶 者’使選自金屬引線框、陶究基板、樹月旨 17 1314571 基板、矽基板、化合物半導體基板及玻璃基板所構成群中 至少1種的電路基板進行接合所構成者。 申請專利範圍第33項的發明之電子元件接合體,係於 申請專利範圍帛32 g之電子元件接合體中,肖脂基板為 玻璃環氧基板、雙馬來酸野縮亞胺三嗪基板、或聚酿亞胺 基板。 登明之詳細福无
以下’就本發明加以揭示。 第1本發明之硬化性樹脂組成物,係含有:環氧樹脂 、具有可與環氧基反應的官能基之固態聚合物、與環氧樹 脂用硬化劑者;於將硬化物以重金屬染色,經由穿透型電 子顯微鏡觀察時,在由樹脂所構成的基體中不會觀察到相 分離構造。 Μ 將第1本發明之硬化性樹脂組成物以重金屬染色,經 由穿透型電子顯微鏡觀察時,在硬化物之樹脂基體中不會 觀察到相分離構造.藉由使用穿透型電子顯微鏡 (Transmission Electron Microscope: ΤΕΜ)可對高分子材 ;斗的内°卩進行觀察是公知的,此乃藉由對高分子材料以四 氧化锇、四氧化釕、磷鎢酸等之重金屬染色,以染色的潔 淡來觀察樹脂材料中的組成差異的方法。 又,於本說明書中,所謂之「硬化物」,係指將本發 明之硬化物於例如ntrc、30分鐘等之條件下加熱使其硬 化所得者。 、一 通常’對環氧樹脂添加聚合物成分係以賦予所得之樹 18 1314571 月曰:種機能為目的而進行’例如,於使上述樹脂組成物作 添力:片狀材料的場合,上述聚合物成分係作為造臈成分而 , 例如,於上述樹脂組成物係作成為糊狀材料的場合 ^聚合物成分係以硬化樹脂強度之提高及高 月匕,為目的而添加。然而’環氧樹脂與添加到該環氧樹 :之聚口 & &分之Μ,若硬化後的環氧樹脂與添加之聚合 成分之間的相溶性非極為相近則難以相溶。 σ
、生、、i由對帛氧樹脂添加聚合物成分得到之具有相分離構 :的樹月曰組成物’雖具有因添加之聚合物成分之應力緩和 _的:果,但由於聚合物成分本身並非溶入作為基體之環 _ ί Θ本身中,故於提高樹脂組成物的硬化物之強产
有其限度》 X W 第1本發明之硬化性樹脂組成物,將其硬化物用上述 穿=型電子顯微鏡觀察時,於樹脂基體中觀察不到相分離 構&亦即,吾人認為^第1本發明之硬化性樹脂組成物 中,樹脂成分係完全相溶的狀態。 所謂環氧樹脂與添加到該環氧樹脂的樹脂完全相溶者 必須為添加之上述聚合物在其構造中有環氧基本身,或 在其構造中有可與環氧基反應的官能基。 亦即,第1本發明之硬化性樹脂組成物為含有環氧樹 月曰和具有可與環氧基反應的官能基之固態聚合物者。 作為上述環氧樹脂,並無特別限定,以主鏈上具有多 環式T骨架的環氧樹脂為佳。理由在於:若含有主鏈上具 有多環式烃月架的環氧樹脂,則其硬化物為剛硬狀態可阻 19 1314571 礙分子的運動,可發揮優異的 性低,故可發揮優異的耐濕性之故。 ’、、、性且及水 作為上述主鏈上具有多環式炉 特別限定,可列舉例如:二環 “ &氧樹脂’並無 二稀骨架之《清漆環氧㈣氧㈣、有二環戊 it r r ^ τ r 之有一環戊二烯骨架的環 氧私U日(以下s己為「二環戊二稀 、丄甘讲〇处, 衣乳樹脂」);1-縮水甘 1基奈+水甘油基萘、U-二縮水甘油基萘、U-二 縮水甘油基奈、1,6 “二墙火廿、山甘纪 笼”… ^水甘油基萘、1,7-二縮水甘油基 疋、2, 7-一縮水甘油基禁、三縮水甘油基萘、u 縮水甘油基萘等之具有寧骨牟 ,,, 、 亦月本的環氧樹脂(以下記為蔡型 壤乳树脂卜吨基苯基乙院型環氧樹脂、 油 經苯基)乙烧、3’4-環氧基_6_甲某規?就田甘油基 β甲基環己基甲基~3,4-環氧基 甲基:己烧碳酸醋等。其中尤以使用二環戍二晞型環氧 Μ月曰或柰型%氧樹脂為較佳。此等之主鏈上具有多環式烴 骨架的環氧樹脂’可單獨使用,亦可至少2種併用。又,
上述一 Μ二婦型環氧_及萘型環氧_亦可單獨使用 ,或兩種併用。 上述主鏈上具有多環式烴骨架的環氧樹脂,分子量之 下限以500為佳,上限以1〇〇〇為佳,惟,並非特別限定於 此。主鏈上具有多環式煙骨架的環氧樹脂之分子量若未滿 500,則硬化性樹脂組成物的硬化物之機械強度、耐埶性、 财濕性等會有無法充分提高的情形,反之,若主鏈上且有 多環式烴骨架的環氧樹脂的分子量若超過1〇〇〇,則硬化性 樹脂組成物的硬化物會過於剛硬而會有變脆的情形。 20 1314571 口作為上述具有可與環氧基反應之官能基的固態聚合物 可列舉例如:具有胺基、胺基曱酸酯基、醯亞胺基、羥 土羧基、&氧基等之樹脂,惟,並非限定於此等,其中 己八以具有%氧基的高分子聚合物為佳。理由在於若含有 具有環氧基的高分子聚合物,則其硬化物可發揮優異的可 挽!生之故:亦即,第!本發明之硬化性樹脂组成物的硬化 1,由於兼具源自上述主鏈上具有多環式烴骨架的環氧樹 讀^ 優"的機械強度、優異的耐熱性、優異的耐濕性等盥 源自上述具有環氧基的高分子聚合物之優異的可撓性,i 耐=熱循環性、对熔焊性、尺寸安定性等皆優異,並可發 揮高接著可靠性與高導通可靠性。 作為上述具有環氧基的高分子聚合物,只要是在末端 及/或支鏈(側位)有環氧基的高分子聚合物皆可,可列舉例 如:含有環氧基之丙烯酸橡膠、含有環氧基之丁二稀橡膠 、5酚型高分子量環氧樹脂、含有環氧基之苯氧樹脂、含 2 %氧基之丙烯酸樹脂、含有環氧基之聚胺甲酸酯樹脂、 s有%氧基之聚酯樹脂等,惟,並非限定於此等,其中, 就可传到含有多量的環氧基之高分子聚合物、且第1本發 明之硬化性樹脂組成物的硬化物之機械強度與耐熱性為更 優異者考量,尤以使用含有環氧基之丙烤酸樹脂為較佳。 此等具有環氧基的高分子聚合物,可單獨使用,亦可至少 2種併用。 若只有上述雙酚型高分子量環氧樹脂,只在末端含有 環氧基,交聯點間距離變長甚乡,故硬化性樹脂組成物之 21 1314571 硬化物的機械強度與耐熱性無法充分提高。 又,通常丙烯酸系樹腊r 麻丨你盔人舫 s (丙烯醆系聚合物)係使用以溶 «J作為;丨處之溶液聚合法製 运為夕,於溶液聚合法中,於 生成向为子1的丙烯酸系樹 古,;έ· # + 曰時,溶液的黏度會極端地昇 问’有時甚至有膠化的顧岸, > m ^ ax W 難以製得两分子量的丙稀 西夂糸樹月曰。又,於溶液聚合 ^中,由於容易殘留未反應的 早體,故殘留的單體須與溶劑_ 別起除去,製程較繁雜。
例如’使用縮水甘油臬 ..^ 基甲基丙烯酸酯(GMA)作為具有環 氧基的丙烯酸系單體,在1 ΓΜ. 在八他的丙烯酸系單體中多量添加 =打溶液聚合,則藉由環氧基本身的凝集力,只能 y比較低分子量(未g1咖)的含有環氧基之丙烯酸樹 ^ 有環乳基之丙烯酸樹脂,則 谷易發生上述般的極端的黏度上昇與膠化的情形。 人 方面*使用上述GMA I,而以水或非溶劑作為 二質之懸浮聚合法來製造含有環氧基之丙婦酸樹脂,則會 2多量環乳基’且可製得高分子量的含有環氧基之丙烯 -樹月旨。此含有環氧基之丙稀酸樹脂,不但為幾乎無單體 ,留的純淨的樹脂’並且自聚合系的分離操作也容易,故 製程較簡單。 产亦即’第1本發明之硬化性樹月旨組成物中所用的具有 =氧基的高分子聚合物(尤以含有環氧基的丙婦酸樹脂為 )’以使用懸浮聚合法所製造的高分子聚合物為佳。藉 由使用以懸浮聚合法所製造之具有環氧基的高分子聚合: (尤以含有環氧基的丙烯酸樹脂為佳),第丨本發明之硬化 22 1314571 性樹脂組成物的硬化物,可發揮更優異的機械強度與耐熱 性。 上述具有環氧基的高分子聚合物(尤以含有環氧基的丙 稀樹脂為佳)的重量平均分子量& 1萬以上為佳。具有環 氧基=高分子聚合物(尤以含有環氧基的丙烯酸樹脂為佳) 的重量平均分子量若未滿i冑,則硬化性樹脂組成物的造 膜性不充分’致硬化性樹脂組成物之硬化物的可撓性無法 充分提高。 … 又上述具有丨衣氧基的高分子聚合物(尤以含有環氧基 的丙烯酸樹脂為佳),其環氧當量以下限為200、上限為 1000為佳具有%氧基的高分子聚合物(尤以含有環氧基 的丙烯酸樹脂為佳)的環氧當量若未滿200,則硬化性樹脂 組成物的可撓性無法充分提高,反之,環氧基的高分子聚 合物(尤以含有環氧基的丙烯酸樹脂為佳)的環氧當量若超 過1 000則硬化性樹脂組成物之硬化物的機械強度與耐熱性 會不理想。 第1本發明之硬化性樹脂組成物,以硬化物之黏彈性 曲線測定之tand的峰值為單一且前述峰值的溫度為12〇〇C 以上為佳。 如上述般’在環氧樹脂中添加聚合物成分所成之樹脂 組成物的樹脂基體之相分離構造之認定,可經由使用穿透 型電子顯微鏡(TEM)觀察加以確認,又,上述樹脂基體之相 分離之認定,經由硬化物的黏彈性曲線測定亦可容易地得 知。 23 1314571 亦即,此黏彈性的tan 5,於硬化物的樹脂基體為具 有相分離構造時並非顯示為單一的峰值,而是例如相構造 為2層的場合會顯現出2個峰值,相構造為3層的場合則 會顯現出3個峰值。 於本說明書中所謂之「ta以的峰值」係指與其他的部 分相比為特別突出的峰值。 又,上述tand的峰值的溫度若未滿12〇t:,則在傳統 的可靠性試驗所用的溫度區域(12(rc)前後會發生樹脂軟化 月形U,會成為導致水分透過、冷熱循環試驗時 的界面剝離的原因。
第。1本發明之硬化性樹脂組成物的硬化物,以在加熱 到120 c之一甲亞楓(DMS〇)溶液中不過度膨潤為佳。具體 =言,上述硬化物,以在加熱到12代之二甲亞楓(D_ 冷液中所測定的膨潤率為50%以内為佳。㈣率超過5⑽表 不在此溫度下的交聯是鬆散的,水分子及氧分子非常容易 透過1而,膨潤率若超過5G%,則作為帛ι本發明之硬 化性樹脂組成物的接著料之可#性會降低。 如上述般,第1本發明之硬化性樹脂組成物,由於其 硬化物的樹腊基體中無相分離構造,故在加㈣120t之 二甲亞楓溶液中所測定的膨潤率纟⑽以内。例如,於由 =氧樹脂與和該環氧樹脂為相分離之聚合物成分所構成的 =成物的場合’其硬化物的相構造係由環氧交聯相( 展乳樹脂相)與聚合物相所構成。但,上述環氧交聯相雖 可谷易地使玻璃轉化溫度(Tg)成$ 12代以上而不發生膨 24 1314571 潤情=,上述聚合物相,於其構造中雖具有交聯基卻未能 有夠多的數量’故為比較鬆散的交聯構造,因@,觀察其 在120°C附近的膨潤度時呈現出甚大的膨潤情形。’、’、 於第1本發明之硬化性樹脂組成物中,較佳者為:上 述環氧樹脂為上述主鏈上具有多環式烴骨架的環 上述具有可與環氧基反應之官能基的固態聚合物為上』具 有環氧基的高分子聚合物,且不含無機填料。 /、 曰k常,欲提高電子材料用接著劑等之可靠性,添加大 量的無機填料是必須的。經由添加此無機填料可提高吸口水 :垃:性模數、耐濕性能等是周知的,惟,於電極間的麗 2合時,電極間會填人無機填料粒子,尤其在進行 的電極間的接著時,會因上述無機填料 不良的情形❶ 霄玍接者 入 ㈣上述無機填料之常用者可舉出球狀二氧化矽 ,此球狀二氧化矽基本上為有粒徑分布 著具有非常粗大的粒子的可能性。尤1 “機旱上存在 J ^生尤其,於大量添加無機 填枓(球狀二乳化矽)時,含有 有非*粗大的粒子的機率很高 ,而谷易發生上述的不良情形。 有鑑於此等情形,笛彳士 n X八U 帛1本發明之硬化性樹脂組成物以 不含無機填料為佳。 又例如,只要是無機填料的粒徑分布非常集中 大粒徑非常小的無機填料, ” 最 ⑴戍乎不會發生上述的不良情 形。因而,若是這樣的無機填 丹针亦可添加到第1本發明 之硬化性樹脂組成物中。I體__ /、體而έ,較佳者為:無機填料 25 1314571 的最大粒徑為3#m以下,且以樹脂全部定為100重量份時 的添加量為30重量份以下。 右含有最大粒徑超過3/zm的無機填料,則於發生上述 、月开y之同時,將將第丨本發明之硬化性樹脂組成物使 用於居有通孔的基板時,雷射加工時的貫通孔的正圓度會 -且因上述無機填料會導致通孔的加工表面的平滑性 之喪失。 作為最大粒徑為以了之不含粗大的粒子之無機填 二可列舉例如:熱解法二氧化矽、膠體二氧化矽等之二 軋^矽、破璃纖維、氧化鋁微粒子等,惟,並非限定於此 八中尤以二氧化矽為較佳,尤其在表面施有疏水化處 ^欠性一氧化矽為更佳。此等無機填料,可單獨使用 至少2種併用。x,於第1本發明之硬化性樹脂組 ,只要是最大粒徑為以下,亦可含有由低分 的微粒子狀有機物所構叙有機填料。
本發明之硬化性樹脂組成物中含有上述最大粒 =\3 “m α下的無機填料的場纟,對於上述主鏈上具有 架的環氧樹脂與上述具有環氧基的高分子聚合 。叶量100重量份若超過30重量份’則於將第】本發 =化性樹脂組成物使用於須有通孔的基板時,雷射加 丨的貫通孔的正圓度會降低,^因上述無機填料而導致 ^ , 月性之喪失、或硬化性樹脂組成物的 澴度會過高致妨礙到塗佈性。 本發月之硬化性樹脂組成物,別。C之彈性模數 26 1314571 (G ’)為 1 X 1 〇5 〜1 x 1() Pa的低彈性模數物質在硬化 性樹脂組成物中以非 灶丄 相/合的方式做島狀分散為佳。
io8p '“使得2〇°C之彈性模數(G,)為1 x 105 ~ 1 X 的方切:彈性模數物質在硬化性樹脂組成物令以非相溶 的方式做島狀分散,筮 , 弟1本發明之硬化性樹脂組成物的硬 化物係形成為海-良Μ 耐熱性,與更優里的具更優異的機械強度、 強韌性者。 &性者,亦即,為可發揮更優異的 二述低彈性模數物質在抓之彈性模數(㈠若未滿! ^ 則硬化性樹脂組成物的硬化物之機械強度與耐 熱性會無法右八组古 4
r , 刀阿,反之,上述低彈性模數物質在20°C 之5早性模數((J / )甚相、風 ^ 1 X 1081^,則硬化性樹脂組成 :的可挽性會無法充分提高。又,上述低彈性模數物質若 :ΓΓ樹脂組成物相溶,由於在硬化性樹脂組成物的硬 不會形成海-島構造,故無法充分得到上述效果。 丁 ρ作為上述低彈性模數物質’ # 20t之彈性模數(G,)的 下限為1 y 1 η 5 ή &,上限為1 x l〇8Pa ,只要是與硬化性 埶曰、’且成物不相溶者之任何物質皆可,可舉出例如:各種 ’、’、塑丨生树脂、各種熱固性樹脂、各種橡膠(各種彈性體)等 准’並非限定於此等。此等低彈性模數物質,1單獨使 用,亦可至少2種併用。 第2本發明之硬化性樹脂組成物,係 二烯型環氣槲卟— 田一環戍 、人哀氧樹月曰、奈型環氧樹脂、與環氧樹脂用硬化劑所 混0而構成的環氧樹脂組成物,和芯部之玻璃轉化溫度為 27 1314571 2〇t以下、外殼之玻璃轉化溫度為抓以 橡膠粒子。 成稱w之 上述環氧樹脂組成物中所含右夕-搭* 脂,係由具有環氧基之二環稀型環氧樹 ^所構成的環氧樹脂 此一%戊二烯型環氧樹脂,由於富於疏水性 述環氧樹馳成物巾含有二環紅㈣環氧樹丨旨,第 =之硬化性樹脂組成物可被疏水化,而使其硬化物之吸 ^率m熱壓鋼試驗等所代表之高溫高濕的環境下可 發揮而的疏水性。 者為:述:!戊二稀型環氧樹脂’以聚合度及/或軟化點低 者為佳。經由使用此種二環戍二稀型環氧樹脂,於使 性樹脂組成物作為例如接著性環氧樹脂糊 的场合’糊的流動性可提高’又,於使用帛2本發明之硬 化性樹脂組成物作為例如接著性環氧樹脂片的場合,可賦 予硬化前的樹脂片適度的柔軟性,而不易破裂。
…作為上述二環戊二稀型環氧樹脂,可舉出例如:具有 广:戊:烯二氧化物或二環戊二烯骨架的酚醛清漆環氧樹 ,曰可”:心並非限定於此等。此等二環戊二烯型環氧樹脂 了早獨使用,亦可至少2種併用。 上述環氧樹脂組成物中所含有之萘型環氧樹脂,係由 1環氧基之萘骨架所構成之環氧樹脂,於第2本發明中 =佳之適用者為在常溫下為液狀的萘型環氧樹脂。由於 $環氧樹脂具有剛硬的蔡骨架,因此,於將第之本發明 之硬化性樹脂組成物作為例如接著性環氧樹脂片的場合, 28 1314571 可得到高的形狀保持 硬化後的樹脂片即使於高溫高濕下仍 性’並可發揮高的耐濕接著性。 於以第2本發明之硬化性樹脂組成物作為例如接著性 環氧樹脂錢用的場合’上述如環氧m黏度低者為 佳。又,於以第2本發明之硬化性樹脂組成物作為例如接 著性環氧樹脂片使用的場合,上賴型環氧樹脂,通常由 於含有異構物故嫁點成為常溫以下,因此,亦可使常加下
之樹脂片的柔軟性提高’硬化前的樹脂片不易破裂,:可 增進硬化速度。 作為上述常溫下為液狀的萘型環氧樹月旨,可舉出例如 :卜縮水甘油基萘、2'缩水甘油基萘、1>2_二縮水甘油基 萘、1,5-二縮水甘油基萘、丨,6—二縮水甘油基萘、17一二 縮水甘油錢、2’7-二縮水甘油基萘、三縮水甘油基蔡、 1,2, 5, 6-四縮水甘油基萘等,惟,並非特別限定於此等。 此等萘型環氧樹脂,可單獨使用,亦可至少2種併用。 上述二環戊二烯型環氧樹脂及萘型環氧樹脂中所含有 之環氧基的數目’以每i分子平均為!個以上為佳,而以 每1分子平均2個以上為更佳,.准’並非特別限定於此。 ,處’ 分子之環氧基的數目,可由二環戊二稀型環氧 樹脂十的環氧基之總數或萘型環氧樹脂中的環氧基之總數 除以二環戊二稀型環氧樹脂的分子之總數或萘型環氧樹脂 的分子之總數求出。 於上述環氧樹脂組成物中,必要時,亦可含有二環戊 二烯型環氧樹脂及蔡型環氧樹脂以外的環氧樹脂或含有環 29 1314571 氣基之化合物。 用丄' 广第2本發明之硬化性樹脂組成物含有環氧樹脂 =劑(以下’亦簡稱為「硬化劑」),該硬化劑係可和 上述主鏈上具有多環式烴骨架的環氧樹月旨中之環氧基、上 边具有環氧基的高分子聚合物中之環 =物中所含有之二環戍二焊型環氧樹脂中之環 ^壞氧樹I旨中之環氧基起仙,使得主鏈上 煙=的環氧樹脂、具有環氧基的高分子聚合物、二= 二婦型環氧樹脂、或禁型環氧樹脂發生硬化。 衣戊 第1本發明之硬化性樹脂組成物及第 性樹脂.成物之環氧樹脂組成物,由於含有上== :::劑’:,主鏈上具有多環式烴骨架的環氧樹脂、具 型環氧_宜在加熱下強固而迅二婦
本發明之硬化性樹脂組成物的硬化物,可成為於機械強度 耐熱性、耐濕性、可撓性、财冷熱循環性、耐炫谭性、 皆優異’且可發揮高接著可靠性與作為導通 材科時之兩導通可靠性者。 作為上述環氧樹脂用硬化劑,可舉出例如:二 :本一’酸酐等之熱固型酸酐系硬化劑、苯酚系硬化劑、 硬化劑、雙氰胺系硬化劑等潛在性硬化劑、陽離子系 :媒型硬化劑等,惟,並非特別限定於此。此等= 硬化劑,可單獨使用,亦可至少2種併用。 於上述環氧樹脂用硬化劑中,尤以常溫下為液狀的熱 30 1314571 固型硬化劑、與具有多官能基而以當量計之添加量少量即 可之雙氰胺等之潛在性硬化劑為較佳之適用者。藉由使用 此等硬化劑,於使用第1及第2本發明之硬化性樹脂組成 物於例如製作接著性環氧樹脂片的場合,可得到於硬化前 在*溫下為柔軟的,且操作性良好的樹脂片。相對於此, 在承下為固體以當量計之添加量較多的苯酚系硬化劑, 樹脂片本身之硬化前的玻璃轉化溫度(Tg)會相當地上昇, 成為易於在初期即發生破裂致操作性差的樹脂片,故非良 好。 作為上述常溫下為液狀的熱固型硬化劑的代表者,可 舉出例如:甲基四氫苯二甲酸酐、曱基六氫苯二甲酸酐、 F基納迪克酸酐(nadic anhydride)、三烷基四氫苯二?酸 酐等之酸酐系硬化劑,其中,就基於已成為疏水化的狀態 ,以甲基納迪克酸酐與三烷基四氫苯二曱酸酐為較佳之適 用者。相對於此,甲基四氫笨二甲酸酐、曱基六氫苯二甲 酸酐,由於耐水性差,並非良好。此等酸酐系硬化劑,可 單獨使用,亦可至少2種併用。 於本發明之第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物中 ’為了調整硬化速度與硬化物的物性等,亦可於上述環氧 樹脂用硬化劑中併用硬化促進劑。 上述硬化促進劑並無特別限定,可舉出例如咪唑系硬 化促進劑、3級胺系硬化促進劑等,其中,基於用以調整 硬化速度與硬化物的物性等之反應系的控制可容易進行, 較佳為使用咪唑系硬化促進劑。該等硬化促進劑可單獨使 31 1314571 用亦可併用2種以上。 上述咪唑系硬化促進劑並無特別限定,可舉出例如咪 唑之1位受到氰乙基保護之卜氰乙基_2_苯基咪唑或是以 二聚異氰酸保護鹼性之商品名r2MA_〇K」(四國化成工業公 司製造)等。該等咪唑系硬化促進劑可單獨使用亦可併用2 種以上。 於併用酸酐系硬化劑與例如咪唑系硬化促進劑等之硬 化促進劑的場合,酸酐系硬化劑的添加量以定為對環氧基 為理論上的必要的當量以下為佳。酸酐系硬化劑的添加量 若為必要量以上而過剩,則有易受水分的影響而自第1及 第2本發明之硬化性樹脂組成物的硬化物溶解出氣離子的 顧慮。例如,於第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物的 硬化物以熱水將溶出成分萃取時,萃取水的ρΗ低達4〜5的 程度’自環氧樹脂所脫離的氯離子會大量地溶出。 又,於併用胺系硬化劑與例如咪唑系硬化促進劑等之 硬化促進劑的場合,胺系硬化劑的添加量以定為對環氧基 為理論上的必要的當量以下為佳。胺系硬化劑的添加量若 為必要量以上而過剩,則有易受水分的影響而自第i及第 2本發明之硬化性樹脂組成物的硬化物溶解出氣離子的顧 慮。例如,於第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物的硬 化物以熱水將溶出成分萃取時,萃取水的pH會成為鹼性 ’自環氧樹脂脫離出的氯離子亦會大量地溶出。 第2本發明之硬化性樹脂組成物,係於上述環氧樹脂 中含有芯部(芯材)之玻璃轉化溫度為2(rc以下、殼部(外 32 1314571 λ又)之玻璃轉化溫度為4〇〇c以上的芯殼構造之橡膠粒子。 藉由含有此等橡膠粒子,第2本發明之硬化性樹脂組成物 的硬化物,卩形成為橡膠成分對&基體樹脂之環氧樹脂為 安定的相分離構造,既柔軟且可發揮應力緩和性。 上述橡膠粒子,具有由玻璃轉化溫度為2〇。匚以下之芯 部與玻璃轉化溫度^ 40。。以上之外殼所構成的芯殼構造。 ^述㈣粒子’只要是ώ 2層以上的複層構造所構成的芯 二# k 6¾¾子皆可’於自3層以上的複層構造所構成的芯 殼構造的粒子之場合,外殼係指最外殼。 上述橡膠粒子的芯部之玻璃轉化溫度若超過2(rc,則 =>2本發明之硬化性樹脂組成物的應力緩和性無法充分地 提同。又,上述橡膠粒子的外殼之玻璃轉化溫度若未滿4〇 C則橡膠粒子會彼此融合(凝集),致於環氧樹脂組成物 中發生分散不良的情形。又,上述橡膠粒子的外殼,較佳 者為與環氧樹脂為非相溶者,或經由部分地交聯而膠化致 不溶解於環氧樹脂中者。 作為此等構成橡膠粒子的樹脂成分,只要是芯部之玻 离轉化/皿度為2〇c以下,外殼之玻璃轉化溫度為4{rc以上 任何樹月曰成分皆可,基於玻璃轉化溫度的設計範圍寬 f考量,通常以使用丙烯㈣樹脂為佳,$,並非特別限 定於此。此等樹脂成分,可單獨使用,亦可至彡2種併用 〇 又,橡膠粒子的外殼亦可具有可和環氧樹脂中的環氧 基反應的官能基。作為可和環氧樹脂中的環氧基反應的官 33 1314571 能基:可舉出例如:胺基、胺基曱酸醋基、醯亞胺基、羥 基幾基、環氧基等,惟,並非限定於此等,其中,就於 常溫下不與環氧基反應4會導致第2本發明之硬化性樹 脂組成物的_性之降低與貯藏安定性之降低考量,以經 基與環氧基為較佳之適用者4等可和環氧基反應的官能 基,可單獨使用,亦可至少2種併用。 上述橡膠粒子以平均粒徑為3〇"m以下為佳,惟,並 非特別限定於此。橡膠粒子的平均粒徑若超過3〇以爪,則 第2本發明之硬化性樹脂組成物的應力緩和性無法充分地 提高。又’於以第2本發明之硬化性樹脂組成物作為例如 接著性環氧樹脂糊使用的場合,由於流動性不理想,會有 妨礙塗佈性與對於間隙部的填充性,又,於以第2本發明 之硬化性樹脂組成物作為例如接著性環氧樹脂片使用的場 合’薄膜的樹脂片的成形會有困難。 作為如此的橡膠粒子之市售品,可舉出例如:根上工 業公司製之商品名「派拉克龍RP-101」、「派拉克龍Rp_ 1〇3」、「派拉克龍RP-412」等之「派拉克龍」系列,岡 兹化成公司製之商品名「斯塔費洛伊德iM_101j 、「斯塔 、「斯塔費 「斯塔費洛 「斯塔費洛 「斯塔費洛 等之「斯塔 卜、翁F351」 費洛伊德IM-101」、「斯塔費洛伊德im-203 洛伊德IM-301」、「斯塔費洛伊德im-401」 伊德IM-601」、「斯塔費洛伊德AC-3355」 伊德AC-3364」 伊德AC-3832」 費洛伊德」系列 「斯塔費洛伊德AC-3816」 「斯塔費洛伊德AC-4030」 杰翁化成公司製之商品名r 34 1314571 c-“二翁」系列,三菱螺縈公司製之商品名「美塔普連 「美炊」、「美塔普連㈣…、「美塔普連C-215A」、 普連™Α」、「美塔普連㈠似」、「美塔普連 美塔普丄、「美塔普連㈠02」、「美塔普連™」、「 341」「C 2〇2」、「美塔普連E_901」、「美塔普連W- 美塔普連ίΐ普連,雇」、「美塔普連[45〇Α」、「
〇1」、「美塔普連SX—005」、「美塔普連 等,惟二美塔普連SRK200」、等之「美塔普連」系列 分散之P非特別限定於此等。又,作為預先使橡膠粒子 之==⑽市售品,可舉出例如:曰本觸媒公司製 之「〜m特m-828」、「艾波昔特BPF_m」等 膠粒列等,惟’並非特別限定於此。此等橡 戍刀散有橡膠粒子之環氧樹脂可單獨使用, 夕z種併用。 王
含有=要時,於第2本發明之硬化性樹縣成物中亦可 3有熱塑性樹脂或熱固性樹脂。 作為上逑熱塑性樹脂,可舉出例如:醋酸乙㈣ 曰、乙婦-醋酸乙稀醋系共聚物、丙烯酸系樹腊 ' 醇縮丁搭樹腊等之聚乙稀醇縮駿系樹脂、笨乙稀系樹稀 飽和聚酯系樹脂、熱塑性樹脂胺基甲酸酯系樹脂: 系樹脂、熱塑性聚醯亞胺系樹脂、酮系樹脂、降冰: 樹脂、苯乙埽-丁二烯系嵌段共聚物等,惟,並非特別;: 定於此等。此等熱塑性樹脂可單獨使 限 用。 2種併 35 1314571 作為上述_性_,可舉㈣如:尿素樹脂、 ^ -π辦服、三聚 氣::脂等之胺系樹脂、㈣系樹腊、不飽和聚醋系:脂 型環氧樹脂以外之環氧二:戍二烯型環氧樹脂及萘 胺基醇酸系樹脂等:=特^性聚醯亞胺系樹脂、 “ _並非特別限定於此等。此等埶固 I生樹應可車獨使用,亦可至少2種制。又,上述献塑性 樹月旨及熱固性樹脂可分別單獨使用,亦可兩者併用。 於以第2本發明之硬化性樹龍成物作為例 ^生環氧樹脂糊使料場合,上述熱塑性樹 發揮作為增黏劑的作用。此時,只要糊的黏度不變 •,端的间’上述熱塑性樹脂或熱固性樹脂的重量平均分 ::二無特別限定。又’需要時,亦可添加溶劑以調整I 的黏复。 ™ 於以第2本發明之硬化性樹脂組成物作為例如在分離 X離型片或離型紙)上成形為片狀之接著性環氧樹脂片使 广合’為了確保良好的形狀,上述熱塑性樹脂或埶固 '有較高的玻璃轉化溫度之高分子量聚合物為佳。 此牯上述熱塑性樹脂或熱固性樹脂以重量平均分子 1、萬以上為佳’而以!。萬以上為更佳,惟,並非特別限定 於此。熱塑性樹脂或熱固性樹脂的重量平均分子 1萬,則樹脂片本身的凝集力不足,容易將塗佈在樹= 上的接著劑或塗料等之塗佈物排開,於將分離物 發生滅集破壞的情形。 上述熱塑性樹脂或熱固性樹脂以具有可和環氧基反應 36 1314571 的官能基為佳。藉由使得熱塑性樹脂或熱固性樹脂且有可 和環氧基反應的宫能基,第2本發明之硬化性樹腊組成物 的硬化物可發揮更優異的機械強度與耐熱性。 作為可和上述環氧基反應的官能基,可舉出例如:胺 基、胺基甲酸酯基、酿亞胺基、經基、縣、環氧基等, 惟:並非特別限定於此。此等可和環氧基反應的官能基, 可單獨使用,亦可至少2種併用。 於以第2本發明之硬化性樹腊組成物作為以溶劑進行 黏度調整之接著性環氧樹脂糊使用、或作為藉由溶劑塑造 法成形之接著性環氧樹脂片使㈣場合,上 反應的官能基之中,較佳者宜估田巩土 敕佳者且使用.在用以使溶劑乾燥的 me的程度之溫度下不會與環氧樹脂反應,於c 、又之/皿度下可和環氧基進行反應之經基或環氧基。作 為具有經基或環氧基的樹月旨,可舉出例如:聚乙稀醇縮丁 few含有環氧基之丙稀酸樹脂等’惟,並非限定於此 〇 作為可和%氧基反應的官能基若使用胺基或叛基等, 則將第2本發明之硬化性樹脂組成物作為以溶劑進行黏度 調整之接著性環氧樹脂糊使用、或作為藉由溶劑洗塑法成 形之接著性環氧樹脂片使用的場合,由於在用以使溶劑乾 知之hoc的程度之溫度下會和環氧基反應,故於乾燥時 或成形時樹脂糊或樹脂片會成為半硬化狀態(B階段之狀態 )而會妨礙樹脂糊的塗佛性 7复怖性或對於樹脂糊或樹脂片的被 黏合物的密合性與耐濕接著性等有時會降低。 37 1314571 又’ 1種的熱塑性樹脂或熱固性樹脂所具有的可和環 氧基反應之官能基的當量以i萬以下為佳,尤以丨〇〇〇以下 更佳,惟’並非特別限定於此。藉由使用此當量之具有可 和環氧基反應的官能基之熱塑性樹脂或熱固性樹脂,第2 本發明之硬化性樹脂組成物的硬化物可形成高交聯密度的 網路。又,所謂之可和環氧基反應的官能基的當量,係將 熱塑性樹脂或熱固性樹脂的重量平均分子量除以可和熱塑 性樹脂或熱固性樹脂中所存在的環氧基反應的官能基的總 數所得之值。 於第1本發明之硬化性樹脂組成物中,於需要時,亦 可3有.第2本發明之硬化性樹脂組成物中所含有之上述 芯部的玻璃轉化溫度為2(rc以下、外殼的玻璃轉化溫度為 40C以上之芯殼構造的橡膠粒子,或在第2本發明之硬化 性樹脂組成物中所可含有之上述熱塑性樹脂或熱固性樹脂 〇 於第2本發明之硬化性樹脂組成物中,需要時,亦可 含有在帛1树明之硬化性樹脂組絲中所含有之上述具 有環氧基的高分子聚合物。又,帛2本發明之硬化性樹脂 組成物以不含平均粒徑超過3wm的填料為佳。 於第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物中,需要時 ’亦可添加例* :密合性增進劑' pH f周整劑、離子捕捉劑 、黏度調整劑、觸變性賦予劑、氧化防止劑、熱安定劑、 光安定劑、紫外線吸收劑、著色劑、脫水劑、難燃劑、靜 電防止劑、防霉劑、防腐劑 '溶劑等之各種添加劑的丄種 38 1314571 或至少2種。 作為上述密合性增進劑,較佳者可舉出例如:石夕燒偶 合劑、鈦偶合劑、銘偶合劑等,其中,尤以使用石夕烧偶合 ,為較佳,惟,並非特別限定於此。此等密合性增進劑可 單獨使用,亦可至少2種併用。 作為上述石夕烧偶合劑,可舉出例如:胺基石夕院偶合劑 、環氧基找偶合劑、轉切貌偶合劑、異氰酸时烧 偶合劑 '乙烯基石夕炫偶合劑、丙稀基石夕燒偶合劑、嗣亞胺 …Η — )魏偶合劑等,其中,就硬化速度與相對㈣ 乳樹脂的親和性的觀點考量,以使用胺基石夕貌偶合劑為佳 。此等矽烷偶合劑可單獨使用,亦可至少2種併用。 上述密合性增進劑的添加量以對於第1或第2本發明 ^硬化性樹脂組成物100重量份使用密合性增進劑20重量 伤以下為佳’惟’並非特別限定於此。對於第1或第2本 化性樹餘絲⑽重量份使用密合性增進劑的 例:::Γ過2°重量份,則在以硬化性樹脂組成物作為 二=環氧樹脂片使用的場合,硬化前的樹脂片的強 度/、凝集力有時會太弱。 料上述ΡΗ調整劑’可舉出例如:二氧切等之酸性 ㈢之驗性填料等,惟,並非特別限定^ 此專ΡΗ调整劑可單獨使用,亦可至少2種併用。 低者Π上捕捉劑’只要是可使離子性雜質的量減 ,^ +出例如:鋁矽酸鹽、水合氧化鈦、水合氧 化叙、填酸获、戌〇氧 。蛳酸鈦、水滑石、填酸錄翻、六氰合鋅、 39
1314571 有機系離子交換樹 捉劑之市售的東亞合成公「特;優異之離子捕 ’並非特別限定於此等。此等 广系列4,惟 可至少2種併用。 4離子捕捉劑可單獨使用,亦 之硬捕捉劑的添加量,以對於第1或帛2本發明 成物1GG重量份㈣離子捕捉劑10重量份 明麻淮’並非特別限定於此。對於第1或第2本發 量若超t性樹脂^成物⑽重量份使用離子捕捉劑的添加 1G 4量份,則硬化性樹脂組成物的硬化速度會 變成極端的慢。 曰 第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物的製造方法, ::例如:將均質分散機、萬用混合機、班伯里混合機 想你冑2 1昆3輥、擠壓機等之公知的各種混練機單 :使用=用’將各必要成分的各既定量、可含有之各成 刀的既足里、與可添加之各種添加劑#工種或至少 各既定量,在骨、、® 丁彳t此 在*恤下或加熱下,在常壓下、減壓下、加壓 下或惰性氣流下等之條件下均—地加以混練,來製造所要 勺更化!·生樹月曰組成物,惟,並非特別限定於此。又,於環 氧樹脂用硬化劑為熱固型硬化劑或潛在性硬化劑的場合, 可用上述的製造方法’而於環氧樹脂用硬化劑為常溫硬化 型硬化劑的場合’環氧樹脂用硬化劑的添加,以在欲使用 硬化性樹脂組成物或使用其之最終製品之前添加為佳。 如此付到之第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物, 將硬化物樹脂組成物的溶出成分a not:的熱+ h㈣ 1314571 萃取水之pH以5. 0〜8. 5為佳。 若第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物之硬化物的 溶出成分以11 (TC的熱水萃取時的萃取水之ρΗ未滿5. 〇或 是超過8. 5,則會於硬化物表面及附近流出酸性物質或鹼 性物質致引起鋁或銅等之電極的金屬之腐蝕,或在硬化物 引發以水解等所產生的酸為觸媒之脫氯反應而流出氣離子 致損及可靠性。 於將第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物的硬化物 |之溶出成分以11(TC的熱水萃取時的萃取水之電導度以j 〇〇 # S/cm以下為佳。超過1 〇〇 β s/cm以下係意味著尤其在濕 潤條件下放置的場合中樹脂中的導電氣會增加,於用第i 及第2本發明之硬化性樹脂組成物進行導電連接的場合, 會發生在電極間之漏電或絕緣破壞的情形。 又,第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物之硬化物 以介電率為3. 5以下且介電損耗因子為〇. 〇2以下為佳。介 電率若超過3.5且介電損耗因子超過〇〇2,則於現今的高 ••頻下之傳送特性會變差。 第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物的用途,適合 於使用於例如··加工成接著性環氧樹脂糊' 接著性環氧樹 脂片、導電連接糊、導電連接片等而用於電子材料之固定 等,惟,並非特別限定於此。又,亦可將上述硬化性樹脂 組成物加工作成為清漆,以旋塗等之塗佈方法在矽晶圓上 形成薄膜作為接著劑使用。 於第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物中亦可添加 41 1314571 以助炼劑(flux)。上述助熔劑,以去活性㈣㈣H i 述硬化性樹脂組成物由於不含平均粒徑大的填料,可用來 作為實質上之非填料型樹月旨糊或非填料型樹脂片,由於硬 化物係以使PH成為中性域的方式而設計,故亦適合作為 導電連接用之含有助熔劑的樹脂糊或含有助熔劑的樹脂片 第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物,若為顆粒狀 ’則可使用作為例如:+導體封裝用密封劑、QFN用密封 劑、-體成形CSP用密封劑等之密封劑。&,上述硬化性 樹脂組成物若為實質上的無填料型樹脂糊,可用網版印刷 法或旋塗法直接塗佈於具備再配線及外部電氣連接用金屬 柱(post)的晶圓上使其硬化後,經由研磨,於晶圓上將再 配線電路密封。再者,藉由使用印刷法直接塗佈於晶圓上 ,可在晶圓上作為保護劑。
又,第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物,若成形 為片狀,可使用來作為半導體晶月固定用之接著片。 第3本發明之接著性環氧樹脂糊,係由第丨或第2本 發明之硬化性樹脂組成物所構成。第〗及第2本發明之硬 化性樹脂組成物,由於原本即具有接著性,故可容易地作 成本發明之接著性環氧樹脂糊。第3本發明的接著性環氧 樹脂糊,於第1或第2本發明之硬化性樹脂組成物的製造 ’藉由在需要時使用黏度調整劑與觸變性賦予劑等,將 硬化性樹脂組成物加工成糊狀,可容易地製得。 第4本發明之層間接著劑,第5本發明之非導電氣糊 42 1314571 第6本發明之底填料 接著性環氧樹脂糊所構成。 由第3本發明之 發明第7本發明之接著性環氧樹脂片’係由第1或第2本 之硬化性樹脂組成物成形為片狀所構成。
片狀It使第1或第2本發明之硬化性樹脂組成物成形成 法,可舉出例如:使用擠壓機之擠壓成形法;將 :树脂組成物以溶劑稀釋調製成硬化性樹脂組成物溶 液’:此溶液洗注於分離物上之後使溶劑乾燥之 二量惟非特別限定於此,其中,以不須要高溫的觀點 考量楚以使用溶液繞塑法為佳。惟,並非特別限定於此。 7、本發明之接著性環氧樹脂片,於使接著性環氧樹 ^以速度45t/分進行昇溫時所呈現的貯藏彈性模 貯藏彈為佳。接著性環氧樹脂片之上述 m之;^(G’)若為1 X 1G3pa以下,則於接著性環氧 接著界面^,、硬化時,在接著性環氧樹脂片與被接著物的 接者界面會產生空孔(void)。 第7本發明之接著性環氧樹脂片,其依據動態黏彈性 ⑽的峰值溫度,以於硬化前為He的範圍^ 硬化後為12。(:以上為佳,而以於硬化前$。〜阶的範圍 ’:=!為16°。。以上為更佳。此處,所謂之「―」 ’係=由動態黏彈性測定(測定頻率:刚Z、昇溫速度: 刀广所求出之力學上的介電耗損因子表示的值。又 :::“之硬化則」’係指藉由加熱至既定的溫度以 使接者性環氧樹脂片熱硬化之前的狀態;所謂之「硬化 43 1314571 後」,係指接著性環氧樹脂片之熱硬化後的狀態。又第4 本發明之接著性環氧樹脂片,通常於2G〜的溫度範圍 中熱硬化。 藉由具有此種tan 5的峰值溫度,第7本發明之接著 性環氧樹脂片,於常溫下為柔軟的,且操作性優異,並且 於常派下為有黏著性者,不須熱麼即能於常溫下使被黏著 物彼此黏合’並且’藉由熱烘箱等施行加熱硬化(後熟化 可發揮高的接著可靠性。亦即,第7本發明之接著性環氧 =揮由於硬化前在常溫下具有黏著性且經由加熱= ^ 異的物性,故能以具有黏著性的片材進行黏合 薯六笑或暫㈣疋’並且藉由後續的加熱可發揮優異的接 性。# &而可發揮作為接著性片之充分的接著可靠 氧樹脂片的硬化前之加㈣峰值溫度若未 易自I由於接著性環氧樹脂片的凝集力 性環L °又’於使後述的導電氣微粒子進入接著 入用以配=中1'製作導電連接片之時’環氧樹脂會有流 埋的情形。反Z乳❹子=設置的貫通孔中而將貫通孔填 峰值溫户-扣、接著性環氧樹脂片的硬化前t ta“的 氧樹脂:中。㉟40 C,則於將導電氣微粒子加入接著性環 K W Λ曰片中以製作 導電氣微粒子之黏著性之時’由於在常溫下之對於 有困難。 * 不充刀,致欲保持導電氣微粒子會 溫 又’接著性環氧樹脂片的硬化後《化以的峰值 1314571 若未滿120t, 境下,已硬化之 降低。 則j U熱壓鍋試驗等所代表的高溫高濕環 接著|±環氧樹脂片t軟化,纟接著可靠性 第7本發明之接著性環氧樹脂片,硬化後之線膨脹係 數之下限以10卿rc為佳,上限則以200卿A:為佳’而 以下限為20Ppm"C、上限為15〇ppm/t更佳,尤以下限為 30ppm/C、上限為 1 〇〇ppm/°c 為特佳。 · 接著性環氧樹脂片之硬化後的線膨脹係數若未滿 1 Oppm/ c,於將導電氣微粒子加入接著性環氧樹脂片中以 製作導電連接片之時,接著性環氧樹脂片與導電氣微粒子 之線膨脹係數的差會變大,於對導電連接片施行熱循環試 驗等的場合,會無法追隨到導電氣微粒子的線膨脹’欲維 持高導通可靠性會有困難,反之,接著性環氧樹脂片之硬 化後的線膨脹係數若超過2〇〇ppm/°c,則將導電氣微粒子 加入接著性環氧樹脂片中以製作導電連接片之時,於施行 熱循環試驗的場合,相對向的電極間距離會過度拉大致使 導電氣微粒子自電極分離,而成為導通不良的原因。 第8本發明之非導電氣薄膜,及第9本發明之晶粒安 裝膜,係由第7本發明之接著性環氧樹脂片所構成。 第1 0本發明之導電連接糊,係於第3本發明之接著性 環氧樹脂糊中含有導電氣微粒子而構成。 第11本發明之異向性導電糊,係由第1 〇本發明之導 電連接糊所構成。 第12本發明之導電連接片,係於上述第7本發明之接 45 1314571 著性環氧樹脂片中含入導電氣微粒子所構成,且上述導電 氣微粒子的至少一部份為自接著性環氧樹脂片露出的狀態 〇 ^第13本發明之導電連接片,係於上述第7本發明之接 著性環氧樹脂片中埋設較樹脂片的厚度小的導電氣微粒子 所構成。
作為第10本發明之導電連接糊、第u本發明之導電 連接糊、及第12與第13本發明之導電連接片中所使用之 導電氣微粒子’只要是具有導電氣的微粒子皆τ,可舉出 例如:由金屬、碳黑等之導電氣無機物、4電氣高分:所 構成者、由樹脂所構成的高分子量聚合物'藉由鍵敷處理 專方法在非導電氣無機物或非導電氣高分子等之最外層嗖 置導電被覆膜者、在導電氣無機物或導電氣高分子等之最 外層進-步設置導電被覆膜者等,惟,並非特別限定於此 ,其中’由容易得到適當的彈性、柔軟性、形狀回復性等 之球狀物考量’較佳之可使用者為由高分子量聚合物所構 成的d (芯材)的表面形成有導電被覆膜所成的導電氣微 粒子。此等導電氣微粒子,可單獨使用,亦可至少2種併 用0 上述導電被覆膜,以由金屬所構成者為佳,惟,並非 限定於此。作為導電被覆膜形成用的金屬,可舉出例如: 錄、金,、銀、紹、鋼、锡、焊料等,惟,並非限定於此等 此等導電被覆膜’若就與電極間的接觸電阻、導電氣及 不發生氧化惡化等考量’則以最外層使用金的導電被覆膜 46 1314571 為佳。又,導電被覆臈,以具有複層化用保護層或用以增 進芯部與金屬間的密合性的鎳層為佳。 上述導電被覆臈的厚度只要有能㈣料通且不致剝 離的程度之皮膜強度即可’以0 4"m以上為佳,而以^ m以上更佳尤以2 /z m以上為特佳,惟,並非特別限定於 此。又’芯部的直徑,只要是不會使芯部的特性喪失之程 度皆可,以導電氣微粒子的直徑之1/5以下為佳,惟, 並非特別限定於此。 作為上述作成為導電氣微粒子的芯部之高分子量聚合 物,較佳者可使用例如:尿素樹脂、三聚氰胺樹脂等之胺 系樹脂、酚醛系樹脂、丙烯酸系樹脂、乙烯—醋酸乙烯酯 系共聚物、苯乙烯-丁二烯系嵌段共聚物、聚酯系樹脂、 醇酸系樹脂、聚醯亞胺系樹脂、胺基甲酸酯系樹脂、環氧 系樹脂等之熱塑性樹脂與熱固性樹脂、交聯樹脂、有機無 機混成聚合物等,惟,並非特別限定於此,其中,就耐熱 性優異方面考量,以使用交聯樹脂為佳。此等高分子量聚 合物,於需要時,亦可含有填充物。又,此等高分子量聚 合物,可單獨使用,亦可至少2種併用。 上述導電氣微粒子,以平均粒徑、粒徑的長寬比、粒 徑的CV值(變動係數)、t阻值、壓缩回復率、線膨服係數 及K值分別在下述的範圍内為佳,,准,並非特別限定於此 〇 作為上述導電氣微粒子的平均粒徑,於以上述導電氣 微粒子混入於樹脂中而使用的場合,以下限為丨"m、上限 1314571 為為佳。尤以下限為2μπι為更佳。 又,於以上述導電氣微粒子使用於樹脂片中而成為導 電氣微粒子外露的場合,上料電氣微粒子的平均好, 固然依樹脂片的厚度而異,而以下限為心m、上限為_ “為佳。右未滿1〇"m,則由於電極與基板的平滑性的精 度的問題’致導電氣微粒子與電極不易接觸而引起導通不 良,若超過_"m’則無法因應於微細間隔的電極,致使
鄰接電極短路。而以下附泛Η 叩从下限為15ym、上限為30〇/Zm為佳, 以下限為30ym、上限兔ιςη// 限為150" m為更佳,尤以下限為5〇# m、上限為80/zm為特佳。 又’上述導電氣微粒子的平均粒徑可經由對任意的 100個導電氣微粒子以顯微鏡觀察進行測定。 上述導電氣微粒子的粒徑的長寬比以未滿13為佳, 而以未滿1.1更佳,尤以未滿1〇5為特佳。又,導電氣微 粒子的粒徑的長寬比,係由導電氣微粒子的平均長徑除以 平均短徑所求出的值。 、i述導電氣微粒子的粒徑的長寬比若為h3以上,由 於導電氣微粒子不齊一 ’故短徑部分無法到達電極致發生 導通不良的情形。通常,導電氣微粒子以粒徑的長寬比高 者為多,故本發明中所使用的導電氣微粒子係在可變形的 狀態下經由利用表面張力等的方法施行球形化處理而作成 者為佳。 上述導電氣微粒子的粒徑 下為佳,而以2%以下更佳,尤 的CV值(變動係數)以5%以 以1 %以下為特佳。又,所謂 48 1314571 3 =粒子粒徑…,如下述算式所示般,係由 ' :皁偏差除以平均粒徑再乘以1〇〇所求出的值。
粒4CVi(%) = (粒徑的標準偏差/平均粒徑)X 100 =導電氣微粒子的粒㈣cv值若超過⑽,由於粒 背幸又小的導電氣微粒子無法觸及電極致會有發生 ^不良的情形。通常的導電氣微粒子,由於粒徑的cv 2大’本發明中所用的導電氣微粒子以經由分級使粒徑齊 佳。尤其欲使粒徑以良好的精度分級為20—以下 分級等為佳,心合進行篩分級、氣流分級、濕式 上述導電氣微粒子,於壓縮達平均粒徑的10%時,其 電阻且Α 1Ω以下’而以0.扣以下為佳,以G.G5Q以下 更佳,尤以〇. 〇1 Ω以下為特佳。
上述導電氣微粒子的電阻值若超過1Ω’欲確保充分 的電流值會有困難,欲耐高電壓亦有困難,故元件會有I 法正常進行動作的情形。又,導電氣微粒子的電阻值若為 0.05Ω以下,則即使是電流驅動型的元件亦可在確保、 通可靠性之下動作,可顯著地提高效果。 " 上述導電现微粒子的屢縮回復率宜$ 5%以上,以㈣ 以上為佳@以50%以上更佳,尤以8〇%以上為特佳。又, 此處所w之導f氣微粒子的壓縮回復率,係於啊的環 氣氛下1 (U的;1縮變形狀態下的形狀回復率,係依據特公 平7_95165號公報中所記載的方法,用微小㈣試驗器^ 如,島摩製作所公司製的商品名「PCT-200」)’以鑽石製 49 1314571 的直徑50p的圓柱的平滑端面,對導電氣微粒子以壓縮 速度0. 28mN/秒、原點負荷值!· 〇mN、翻轉負荷值的 條件進行壓縮,至翻轉點為止的移位差的比以%表示之值 〇 上述導電氣微粒子的壓縮回復率若未滿5%,則對向的 電極間因衝擊#而瞬間拉大距離時,導電氣微粒子會無法 追隨跟上,致會發生瞬間性的導通不良的情形。 上述導電氣微粒子的線膨脹係數以下限為丨〇ppm/(>c、 上限為200卿/。(:為佳’而以下限為2〇ppm/t、上限為 :5〇PPm/t為更佳,尤以下限為3〇ppm/t、上限為⑽一 C為特佳。又,導電氣微粒子的線膨脹係數可經由公知的 方法測定。 上述導電氣微粒子的線膨脹係數若未滿1〇ppm/t,則 將導電氣微粒子加入例如第4本發明之接著性環氧樹脂片 中,作成為第6或第7本發明之導電連接片之時,由於導 電氣微粒子與接著性環氧樹脂片的線膨脹係數的差增大, 於施行熱循環等之時會難以追隨接著性環氧樹脂片的伸長 而會導致導通不安定;反之,若導電氣微粒子的線膨脹 係數若超過200ppm/t,則於導電連接片經由黏著而接合 於基板上的場合,於施行熱循環等之時,電極間距離會過 度拉大,致使經由黏著的接合部分受到破壞使得應力集中 於電極連接的部分,而會導致導通不良的情形。 上述導電氣微粒子的K值,以下限為400N/mm2 '上限 為150〇〇N/mm2為佳,而以下限為1〇〇〇N/mm2、上限為 50 1314571 ι〇〇〇〇_為更佳,以下限為2〇_職2、上限為 又更佳’尤以下限為咖N/mm2、上限為讓 mm為特佳。又,導電氣微粒子的κ值,如特公平卜 ι=165號公報中所記載般’係定義為(3/,2).卜s_3/2.『
1/2(單位為N/mm2),係對球體的硬度做普遍且定量的表示 之值。具體而t,係依據上述公報中所記載的方法,用微 小壓縮試驗器(例如,島津製作所公司製的商品名「PCT_ 2〇〇」),以鑽石製的直徑5〇em的圓柱的平滑端面,對導 電氣微粒子以壓縮硬度〇.27N/秒、最大試驗負冑叫的條 件進仃壓縮所算出的值。此處,F為丨壓縮變形之負荷值 (N) ’ S為10%壓縮變形之壓縮移位(mm),R為半徑(龍^ 上述導電氣微粒子的κ值若未滿400N/mm2,則由於相 對向的電極間無法充分地含入導電氣微粒子,於電極表面
發生氧化的場合會無法導通,或接觸電阻增大致導通可靠 性降低,反之,導電氣微粒子的κ值若超過15〇〇〇N/mm2, 則以相對向電極包夾之時,會對電極局部性地施加過大的 壓力致使元件破壞,或電極間的間距僅由粒徑較大的導電 氣微粒子所決定致粒徑較小的導電氣微粒子無法觸及電極 而成為導通不良的原因。 第10本發明之導電連接糊,可經由對第3本發明之接 著性環氧樹脂糊添加既定量的上述導電氣微粒子進行均一 的混練而製作。 第12及第13本發明之導電連接片’可在第7本發明 之接著性環氧樹脂片中含入、配置或埋設既定量的上述導 51 1314571 電氣微粒子而製作。 上述導電連接片的製作中所使用之接著性環氧樹脂片 的厚度,以導電氣微粒子的平均粒徑的1/2〜2倍為佳 以2/3〜】.5倍為更佳,以更佳,尤以 4/5〜1.2倍數為特佳。 又,於上述導電連接片中,於作成為在樹脂片中有導 電風粒子露出的構成之場合,接著性環氧樹脂片的厚声若 未達導電氣微粒子的平均粒㈣1/2@,則接著性環^ 月旨片難以支持電極基板,反之,接著性環氧樹月旨片的厚声 ^超過導電氣微粒子的平均粒徑的2倍,則導電氣微粒^ …、法觸及電極而成為導通不良的原因。尤其是在元件及基 板上有突塊的場合,接著性環氧樹脂片: 粒子的平均粒徑的i 微 上為佳,反之,在元件及基板上 塊的場合’接著性環氧樹脂片的厚度以導電氣微粒 子的平均粒徑的1倍以下為佳。
於上述導電連接片的製作中所使用的接著性環氧樹脂 ’以设置有用以配置導電氣微粒子的貫通孔為佳。嗲 :上述貫通孔的位置’可依導通對象的基板或晶片而適當 也選擇,可任意地設置在與所要導通的對向基板的電極之 相同位置上,惟,並非限定於此。 上述貫通孔’其平均孔徑、孔徑的長宽比及孔徑的a 值,以分別在下述的範圍内為佳,惟,並非特別限定於此 0 貫通孔的平均Μ ’以導電氣微粒子的平均粒徑的 52 1314571 1/2〜2倍為佳,而以2/3〜h3倍更佳,以4/5].2倍更佳 ,尤以1料龍。貫職时均孔徑若未達導電 氣微粒子的平均粒徑的1/2或超過其2倍,則埋設之導電 氣微粒子容易自貫通孔脫離。 貫通孔的孔徑之長寬比,以未滿2為佳,而以15以 下為佳,以1 · 3以下更祛,屮ιν ϊ t _ 卜更隹尤以hl以下為特佳。貫通孔 =孔徑之長寬比若為2以上,载置之導電氣微粒子會容 易自貫通孔脫離。又,所謂夕骨 入所明之貫通孔的孔徑之長寬比,係 由孔控的平均長徑除以平均短徑~求出的值。 ^孔的孔徑的CV值’以⑽以下為佳,而以5%以下 η ηΓ 2%以下又更佳,尤以1%以下為特佳。貫通孔的 粒:會自/^若超過10%,則孔徑不齊一,配置之導電氣微 會自貫通孔脫離。又,所謂之貫通孔的孔徑之cv值 :::下述的算式般,經由以孔徑的標準偏差除 瓜再乘以100而求出的值。 的^值(%)=(孔徑的標準偏差/平均粒徑)X m n t述導電連接片之製作中所用的接著性環氧樹脂片 於二+ :貫通孔,在此貫通孔配置導電氣微粒子之時, 通孔的周圍的黏著性,可得到對…“藉由此貝 而可確保在m Γ 氣微粒子之接著性, 又,範圍附近之高導電氣微粒子的保持性。 導雷、作為在設置於接著性環氧樹脂片的貫通孔中配置 等電瑕*微粗子的古、土 π谢 Τ I直 氣微粒子的方半出例如:通過貫通孔吸引導電 /、在貫通孔上壓抵導電氣微粒子的方法等。 53 1314571 第12本發明之導電連接片’係在 壤氧樹脂片中使導電氣微粒子含人 接著性 明之接著性環氧樹脂片中的任意的位置1 = 微粒子所構成,且導電氣微粒子之至少白 亂 環氧樹脂片露出。 ^係自接著性 藉由前述構成之導電連接片’於使微細的對向
,日’鄰接.的電極間不會漏電’可在短 行高可靠性的導通。 ]門谷易地進 至少又=導電氣微粒子的位置,可使導電氣微粒子的 至部份露出於接著性環氧樹脂片的一 的 亦可#莫Φ々微I )方式配置, m吏導電鳴子的至少一部份露出於接 片的兩面的方式配置。 衣氧樹知 第13本發明之導電連接片,係於 環氧樹脂片中埋設有較噹樹 之接著性 。於第7太膝 度小的導電氣微粒子 、第7本發明之導電連接片中,較樹脂 電軋微粒子之至少一卹、 又】的導 面m 口户伤可露出於接著性環氧樹脂片的一 面或兩面’亦可不露出。 _於未在接著性環氧樹脂片上設置貫通孔的場合 經由將厚度較樹脂片小 ° '、11 樹脂片上而埋設該導電接著性環氧 氧樹W本身心㈣性之場合,藉由 氣微粒子以安定的保持狀態加以埋設…:::= 樹脂片的點著性較弱的場合,可進 性^者性壤乳 ^ ^ V. . ^ J進仃接者性核氧樹脂片未 ’ #度之加熱以提高接著性環氧樹脂片的 54 1314571 又’所埋設之導電氣微粒子’以在接著性環氧樹脂片的内 部有重心為佳。藉此,可使導電氣微粒子以安定的狀態埋 設。 第14本發明之異向性導電薄膜,係由第以發明之 導電連接片所構成。
第15本發明之導電連接片’係由黏著性樹脂片(為由 含有經由添加可塑劑而被賦予黏著性之樹脂、及常溫下為 液狀之具有萘骨架之環氧樹脂所成的黏著性樹脂組:物所 構成者)與導電氣微粒子所形成者;該黏著性樹脂片,依 據動黏彈性之taU的峰值溫度於硬化前為魯机的範 圍,於硬化後為12(TC以上,並且,於該黏著性樹脂片之 任意的位置配置有該導電氣微粒子,該導電氣微粒子之至 ) 邛伤係自該黏著性樹脂片露出著。 作為藉由上述黏著性樹脂組成物中所含有的可塑叫之 =加而賦予黏著性的樹脂’可舉出例如:醋酸乙稀醋系樹 =、乙烯-醋酸乙稀醋系共聚物、丙烯酸系樹脂、聚乙烯 '缩丁醛樹脂等之聚乙烯醇縮醛系樹脂、#乙烯系樹脂、 ::聚酯系樹脂、熱塑性樹脂聚胺基甲酸酯 ,脂、熱塑性聚酿亞按系樹脂、嗣系樹脂、降冰= 限j知*乙烯一丁二稀系嵌段共聚物等,惟,並非特別 疋於此。此等樹脂,欲使其具有高耐熱性且經由可塑劑 添加而冑予勒著性,以具有肖高的玻璃轉化溫度的高分 子置聚合物為佳。又’此等樹脂,可單獨使用,亦可至 2種併用。 主夕 55 1314571 作為上述黏著性樹脂組成物中所含有之可塑劑,可使 用在常溫下.為液狀的萘型環氧樹月旨。所謂之上述蔡型環氧 +樹脂係指由具有環氧基m所構成的環氧樹脂。上述 奈型環氧樹脂,由於具有剛硬的萘骨架,故第8本發明之 2電連接片,其硬化後的樹脂片即使在高溫高濕的環境下 亦可得到高的形狀保持性。 〜上述萘型環氧樹脂,通常,由於含有異構物故溶點為 下’因此’帛8本發明之導電連接片,即使於低溫 ^ :可具有黏著性。亦即’對具有比較高的玻璃轉化 、:;:南分子f聚合物賦予黏著性的場合,藉由使用在常 -‘,·、液狀的奈型環氧樹脂,可發揮優異的可塑化效果, !::到兼具於低溫下操作對導電氣微粒子有黏著性且於 環境下可有形狀保持性的黏著性樹脂片乃至於導 :乍為上述在常溫下為液狀的萘型環氧樹脂,可舉 =1、州油基萘、2'縮水甘油基萘…縮水甘油 土 ^r;、l,5~二縮水甘油其兹 1 _ 二'…油基萘、2,7二:水甘水甘油基萘、U- 細水甘油基柰、三縮水甘油基萘 丄’ Z,5,6 -四縮水甘油其兹铉 , 油基柰專,惟,並非特別限定於此。 ⑷辰氧樹脂,可單獨使用,亦可至少2種併用。 基的it在常溫下為液狀的蔡型環氧樹脂中所含有之環氧 :子、’以1分子單位之平均為1個以上為佳,而以丨 。 之平均S 2個以上更佳’惟’並非特別限定於此 56 1314571 於上述黏著性樹脂組成物中,以含有用以使在常溫下 為液狀的奈型環氧樹脂硬化的環氧樹脂用硬化劑為佳。 作為上述環氧樹脂用硬化劑,可為與上述第1及第2 本發明之硬化性樹脂組成物中作為必須成分而含有者相同 的硬化劑,可舉出例如:三烷基四氫苯二甲酸酐等之酸酐 系硬化劑、苯酚系硬化劑、胺系硬化劑、雙氰胺系硬化劑 等潛在性硬化劑、陽離子系觸媒型硬化劑等,惟,並非特 別限定於此;其中尤以上述在常溫下為液狀的熱固型硬化 ’劑與多官能基而以當量計添加量少量即可的雙氮胺等之潛 在性硬化劑為較佳之可使用者。此等環氧樹脂用硬化劑', 可單獨使用,亦可至少2種併用。 又,於上述黏著性樹脂組成物中,為了硬化速度與硬 化物的物性等之調整,亦可與上述環氧樹脂用硬化劑併用 硬化促進劑。 作為上述硬化促進劑,可為與上述第丨及第2本發明 之硬化性樹脂組成物中所可併用者相同的硬化促進劑,可 舉出例如:咪嗅系硬化促進劑、3級胺系硬化促進劑等, 准並非特別限定於此,|中就用以調整硬化速度與硬化 物之物性等的反應系之控制較容易的觀點考量,尤以上述 味哇系硬化促進劑為較佳之可使用者。此等硬化促進劑, 可單獨使用,亦可至少2種併用。 於上述黏著性樹脂組成物中,必要時,亦可含有:即 f添加可塑劑(柰型環氧樹脂)也不會賦予黏著性的高分子 里聚。物、或例如二環戊二烯型環氧樹脂等之萘型環氧樹 57 1314571 月旨以外的環氧樹脂、或含有環氧基的化合物。 例如/…述黏著丨生树脂組成物中,必要時’亦可添加 密14密合性增進劑、pH調整劑、離子捕 ::二變性賊予谢、氧化防止劑、熱安定劑、光安定 劑、防黴1丨及收劑、者色劑、脫水劑、難燃劑、靜電防止 2種。.防腐齊j、溶齊丨等之各種添加劑的1種或至少 :為將上述黏著性樹脂組成物成形為片狀以製作黏著 1 Θ片的方法’可舉出例如:使用擠壓機之擠壓成形法 物、=化性樹脂組成物以溶劑稀釋調製成硬化性樹脂組成 ::液,將此溶液洗注於分離物上之後使溶劑乾燥之溶液 並非特別㈣於此,其中,以不須要高溫的 考里’以使用溶液澆塑法為佳…淮,並非特別限定於 此。 、 如此製侍之黏著性樹脂片,其依據上述動態黏彈性測 ••疋(測定頻率·· 1〇Hz、昇溫速度:3t/分)所求出之以力學 上:介電耗損因子所表示之以以的蜂值溫度必須為於硬 匕别j-20〜40°C的範圍’於硬化後為12〇t以上,而以於 硬化别為0〜35°C的範圍,於硬化後為160°C以上為佳。 士匕藉由具有如此的tan5的峰值溫度,使用上述黏著性 树脂片所製作的第15本發明之導電連接片為在常溫下為 柔孝人的且操作性良好者,並且於常溫下為有黏著性者,不 須熱麼即能於常溫下使被黏著物彼此黏合,並且,藉由熱 烘箱等施行加熱硬化(後熟化)可發揮高的接著可靠性與高、 58 1314571 導通可靠性。亦即,使用上述黏著性樹脂片所製作的第i5 本發明之導電連接片,由於硬化前在常溫下具有黏著性且 經由加熱硬化後可發揮優異的物性,故能以具有黏著性的 樹脂片進行黏合、定位與暫時固冑,並且藉由後續的加熱 可發揮優異的接著力與優異的導通性等之物性,而可發揮 作為導電連接片之充分的接著可靠性與導通可靠性。 黏著性樹脂片之硬化前的tand的峰值溫度若未達_2〇 c,則由於黏著性樹脂片的凝集力不充分,故第15本發 明之導電連接片不易自分離物剝離,或發生黏著性樹脂組 成物流入在黏著性樹脂片所設置之用以配 粒子之貫通孔中的情形;反之,黏著性樹脂片的 的峰值溫度若超過4〇t,則將導電氣微粒子加入黏 著性樹脂片中以製作導電連接片之時,由於在常溫下之對 於導電氣微粒子之黏著性不充分,致欲保持導電氣微粒子 會有困難。 又,上述黏著性樹脂片,以對於硬化後的黏著性樹脂 片在恤度120 C、濕度85%RH、時間12小時的條件下施行 熱壓鍋試驗後之黏著性樹脂片的伸長率為5%以下為佳。 把行上述熱壓鋼試驗後之硬化後的黏著性樹脂片的伸 長率若超過5%,則使用上述黏著性樹脂片所製作之第15 本發明之導電連接片的接著可靠性與導通可靠性會不理想 〇 作為第15本發明之導電連接片中所用之導電氣微粒子 ,可為與第10本發明之導電連接糊、第u本發明之異向 59 ί314571 性導電糊、帛12及第13本發明之導電連接片中所含有之 相同的導電氣微粒子,可舉出例如:由金屬、碳黑等之導 電氣無機物、導電氣高分子所構成者,由樹脂所構成的高 分子量聚合物,藉由鍍敷處理等方法在非導電氣無機物或 非導電“分子等之最外層設置導電被覆膜者,在導電氣 無機物或導電氣高分子等之最外層進一步設置導電被覆膜 者等,惟’並非特別限定於此’其令,由容易得到適當的
彈性、柔軟性、形狀回復性等之球狀物考量,較佳之可使 ==子量聚合物所構成的芯部(芯材)的表 二導電被覆膜所成的導電氣微粒子。此等導電氣微粒子, 可早獨使用,亦可至少2種併用。 含有I:二發明之導電連接片,係於上述黏著性樹脂片中 2上述導電氣微粒子所構成,亦即,係於黏著性樹脂片 中的任意的位置配晋容趣_ Μ道_币^产 〜L 導電氣微粒子所構成,且導雷 ^粒子之至少_部份係自黏著性樹脂片露出著。 1由上述構成之導電連接片’於使微細的對向電 、之軒,鄰接的電極間不會漏電, 行高可靠性的導通。 了㈣時間内容易地進 至少電乳微粒子的位置,可使導電氣微粒子的 使導電著性樹脂片的一面的方式配置’亦可 的方式配置’。部份露出於黏著性樹脂片的兩面 氣微樹脂片中之任意的位置配置多數的導電 製作導電連接片的方法,可使用與製作第12 1314571 本發明之導電連接片之相同的方法。 第3本發明之接著性環氧樹脂糊及第^ q本發明之導電 連接糊(以下亦簡稱為「糊」),由於係糊狀,異於片狀者 ’不須依1C晶片或電子元杜笙 电卞7C件專之尺寸的大小預先對片材 進行裁切、加工,且不馆魟人从典m 肩黏合作業用的裝置,故極適於多 種類少量生產方面。 又,上述糊由於是糊狀,異於片狀者,不會有黏合時
置偏移,且料配線部分的凹凸大的基板或配線以外 之^分的凹凸大的基板也會 卜X座生二孔。又,片狀者的場 〇 ,於片材黏合時會有片絲拙且+齡匕本丨 ,月材伸長或斷裂的顧慮,相較於此 ,於糊狀時,則盔此艏由 m _ 、、此顧慮。因而,對於尺寸小的1C晶片 或電子元件等、或凹A 士 凸大的基板,較片狀者於使用上更為 百利。 I月之接著性環氧樹脂糊及第1G本發明之導電 連接糊,只要县裀於+ ” 13成以配料器等之塗佈裝置可進行塗佈 的《,則可為以溶劑稀釋成者,亦可為無溶劑型者。又 二述:,可塗…晶片或電子元件等,亦可塗佈於 基板。亦即,涂& # + 塗佈量卜且 ;谷易塗佈的一方即可。又,通常,就 、乂谷易調節考量,以預先塗佈於基板為佳。 至少一方:糊以溶劑稀釋的場合,可於塗佈於被黏著物的 孰二後’以使其不致出現硬化的方式在低溫下進行 ‘、,、發’由糊狀往B階段變化,進行π曰η弋 電子元件等之定朴% 進仃1C日日片或 糊乂覆晶連接等方法接合。又,上述 糊為無溶劑型者的 者的%合,亦可同樣地進行IC晶片或電子 61 1314571 元件等之定位後,以覆晶連接等方法做接合。 上述糊,亦可只對欲接著的部分以配料器、輥、壓印 機等進行局部性的塗佈。又,為提高接著可靠性與導通可 靠性,亦可經由加熱作成為流動的糊,以覆晶連接時之加 熱將基板的凹凸填埋。
第3本發明之接著性環氧樹脂糊及第1〇本發明之導電 連接糊的用途,可適用於例如:電路基板的接著與導通連 接、電子元件的突塊狀之突起電極與另一方的電極之導 通連接等之電子材料的㈣#,$,並非制限定於此。 另一方面,第7本發明之接著性環氧樹脂片及第& 13、15本發明之導電連接片,由於是片狀,與糊狀者相異 驗Ie晶片或電子元件等之尺寸的大小預先對片 仃裁切、加工,須黏合作業用的裝置,但由於在生產 線上可冋迷生產,故極適於少數種類多量生產方面。 第12、13、15本發明之導電連接片的用途,可適用於 例如.液晶顯示器、個人電腦、行動通訊器材等之電子製 :體疋件等小型零件與基板的電氣連接、基板彼 軋連接之方法中之使微細的電極對向進行電氣連 ^ _並非特別限定於此。作為實際製品,可舉 出例如:記憶卡、1C卡笼 v . 4。又,亦適用於:玻璃電路基板 的製le過程之汽車的車燈 早觝。卩刀荨之玻璃表面上設置導通電 路:法中’使玻璃表面與導通電路的電極面相對向而進 行連接之用途。如并,叮 乍成為電子元件接合體。又,上 迷導電連使用於單層的基板,亦可使用於以 62 1314571 導電氣微粒子作為上下導通材之由複數的層所構成之基板 第16本發明之覆晶膠帶,係由第12或15本發明之導 電連接片所作成。 第12、13、15本發明之導電連接片,特別適用於裸晶 的接合用。通常,於進行裸晶接合之時使用覆晶的場合須 有突塊,而使用上述導電連接片的場合,由於導電氣微粒 子可發揮作為突塊的作用,故可不使用突塊而進行連接。 %因此,可省略突塊製作之繁複的製程,是甚大的優點。又 ,導電氣微粒子為具有上述般的較佳的κ值或cv值等之場 σ,即使疋鋁電極等之容易氧化的電極,亦可破壞其氧化 膜而進行連接。 作為第12、13、15本發明之導電連接片與上述基板或
無突塊之晶片的連接方法,可舉出例如下述的方法。其為 :在表面形成有電極的基板或晶片上,使導電氣微粒子到 達電極的位置的方式載放導電連接片,再使另—方之具有 電極面的基板或晶片以使電極對位的方式置放。經由在此 狀態下進行加熱或加㈣透過導電連接片進行連接。又, 加熱或加Μ ’以使㈣有加熱器㈣合機或接合機等為佳 作為上述接合條件,基於可確實地達成導通考量(亦即 2電極料電氣微粒子可確實地接觸考量),以施加溫 若未確實㈣,則在電極與導電氣微粒子未接觸 怨下’因熱致樹脂流動’ 一者’樹脂流入電極與導電 63 1314571 氣微粒子之間致導通不良。二者’由於不存在著限制導電 氣微粒子的力量’故於樹脂流動之同時,導電氣微粒子會 自電極的位置移動開,致無法得到確實的導通。具體而士 ’先在未施加溫度的狀態下,以高壓加壓,經由一邊監測 電阻值以確認電極彼此接觸之後,將壓力降低到導電氣微 粒子不存在破裂的領域後再進行加熱,藉此,導電氣微粒 子藉由與電極間的摩擦力而不致因樹脂的流動而移動,且 在電極與導電氣微粒子之間不會咬入樹脂而可確實地得到 %導通連接。因而,壓力條件係採取由高壓往低壓之二階段 的歷程(prof i le)。 又’此時以陶瓷加熱器一舉昇溫之時,於樹脂中或接 著界面處會有產生空孔的情形。此乃於高溫時(2〇(rc的程 度)所產生之例如水分等之揮發成分發泡而引起密合不良 所致。為了防止此情形,有對樹脂中的揮發成分本身加以 抑制的方法。然而,於使用有機基板作為被黏著體之時, 鲁即使怎麼減少樹脂中的揮發成分的量,自被黏著體所產生 _的揮發成分有時仍會成為發泡的原因。基於此情形,吾人 認為:藉由使加熱之時的樹脂彈性模數保持於特定的彈性 模數以上可抑制此種發泡現象。 作為此種考量的方法,有通常所使用之β階段化(半硬 化)的方法。藉此可抑制樹脂的流動性,且可抑制發泡。 然而’此方法在本質上係使樹脂往間隙的流動不易發生, 致使對於接著性(尤其是水容易集中存在於界面處之耐濕 接者丨生)有不良的影響。因而,Β階段化的方法,若就整體 1314571 的均衡性能考量,並非好的方法。 、、為對流動性影響不大而使樹脂的彈性 =程度:上的方法。其較佳者可使用微小的無= ' 通吊作為增黏劑使用的微粉(粒徑為1 # m以下
不米等級)之一氧化石夕等。尤其是在不使用上述B階段 化的方法,而是藉由提高彈性模數來抑制空孔的發生心 ^的。上述者雖係針對導電氣微粒子^點配置於片材的任 '、位置上所構成的導電連接片做說明,惟即使 粒子埋設於片材中所構成的導電連接片,亦可用相同= 法使用於導電連接材料用途。 万 使用第12、13、15本發明之導電連接片進行連接之 電:接構造體,為了避免發生自片材的連接端面之水分等 的侵入之不良情形,亦可將片材的周圍密封。作為密封所 用的㈣材,較佳者可使用I,可舉出例如:環氧樹脂; 、3樹月日紛酸樹脂、聚醯亞胺樹脂、無機材料等,惟, 並非特別限定於此。 第Π本發明之電子元件接合體,係利用下述之任—者 之材料使電子元件的突塊狀的突起電極與另一方的電極在 導通的狀態下接合所作成。其等材料包括:第1或第2本 發明,硬化㈣餘成物、帛3本發明之接著性環氧樹脂 糊第4本發明之層間接著劑、第5本發明之非導電氣糊 6本發明之底填料、第7本發明之接著性環氧樹脂片 、第8本發明之非導電氣薄膜、帛9本發明之晶粒安裝膜 、第1。本發明之導電連接糊、第u本發明之異向性導電 65 1314571 糊、第12、13或15本發明之導電連接片、帛“本發明之 異向性導電薄膜、或第16本發明之覆晶膠帶。 又,第18本發明之電子元件接合冑,係利用下述任一 者之材料,使選自由金屬㈣框、陶究基板、樹脂基板、 矽基板、化合物半導體基板及玻璃基板所構成群中至少^ 種的電路基板進行接合所作成。其等材料包括:第1或第 2本發明之硬化性樹脂組成物、帛3本發明之接著性環氧 樹脂糊、帛4本發明之層間接著劑、第5本發明之非導電 氣糊、第6本發明之底填料、第7本發明之接著性環氧樹 脂片、第8本發明之非導電氣薄膜、"本發明之晶粒安 裝膜、第10本發明之導電連接糊、第發明之異向性 導電糊、第12、13或15本發明之導電連接片、第14本發 明之異向性導電薄膜、或第〗6本發明之覆晶膠帶。 上述樹脂基板,以玻璃環氧基板、雙馬來酸酐縮亞胺 二_基板、或聚醯亞胺基板為佳。 第1本發明之硬化性樹脂組成物,由於係含有:環氧 樹脂、具有可與環氧基反應的官能基之聚合物、與環氧樹 月曰用硬化劑,以重金屬染色,經由穿透型電子顯微鏡觀察 之硬化物的樹脂基體中觀察不到相分離構造之故,硬化後 於機械強度、耐熱性、耐濕性、可撓性、耐冷熱循環性、 耐熔焊性 '尺寸安定性等方面皆優異,並可發揮高接著可 靠性與作為導通材料時之高導通可靠性。 第2本發明之硬化性樹脂組成物,由於係在含有由具 有二環戊二稀骨架的環氧樹脂、具有萘骨架的環氧樹脂、 66 1314571 與環氧樹脂用硬化劑所混合而構成的環氧樹脂組成物中, 含有芯部之玻璃轉化溫度為2{rc以下、外殼之玻璃轉化抑 度為40C以上的芯殼構造之橡膠粒子之故,硬化後於機: 強度、时熱性、耐濕性、可撓性、耐冷熱循環性、耐 定性等方面皆優異’並可發揮高接著可靠性鱼 作為導通材料時之高導通可靠性。 、 D本發明之接著性環氧樹脂糊及第7本發明之
:%戰樹脂片’由於係由上述第〗或第2本發明之硬化性 =組成:所構成之故’硬化後於機械強度、耐熱性、財 :,、可撓性、耐冷熱循環性、耐熔焊性、尺寸安定 方面皆優異,並可發揮高接荽叮土 # & 女疋性荨 高導通可靠性。罪性與作為導通材料時之 由於第4本發明之層間接著劑、第5本發明之 二及第6本發明之底填料,係由第3本發 核乳樹月曰糊所構成,·第8本發明之非導電氣 本發明之晶粒安裝膜,係由苐7太=電氣4膜、及第9 片所構成之故,硬化後=二本發明之接著性環氧樹脂 繞性、耐冷熱循環性、耐熔烊性、尺寸二性=:可 異’並可發揮高接著可靠性與高導通可靠性。 由於第10本發明之導電連接糊係於上述 接著性環氧樹脂糊中含有導電氣微粒子; 13本發明之導電連接片係於上述第7本發明U ^第 樹月旨片中配置或埋設導電氣微粒子之故,任—者^^氧 於機械強度、耐埶性、#w A 者於硬化後 耐錢、可撓性、耐冷熱循環性、 67 1314571 耐炼焊性、尺寸安定性等方面 靠性與高導通可靠性。 皆優異,並可發揮高接著可 第11本發明之里而祕播_ 八 丨生導電糊,由於係由第1 〇本發明 之導電連接糊所構成之妗 ^ 、 再风芝故,硬化後於機械強度、耐熱性、 才濕性彳撓性、耐冷熱猶環性、耐熔焊性、尺寸安定性 等方面皆優異’並可發揮高接著可靠性與高導通可靠性。 第14本發明之異向性導電薄膜,由於係由第】3本發 月之導電連接片所構成之故,硬化後於機械強度、耐熱性 、对濕性、可撓性、耐冷熱循環性、耐料性、尺寸安定 !·生等方面白優異’並可發揮高接著可靠性與高導通可靠性 第15本發明之導電連接片’由於係由黏著性樹脂片( 為由含有經由添加可塑劑而被賦予黏著性之樹脂、及常溫 下為液狀之具有萘骨架之環氧樹脂所成的黏著性樹脂组: 物所構成者)與導電氣微粒子所形成,該黏著性樹脂片, 依據動黏彈性之tand的峰值溫度於硬化前為_2〇〜4〇1的 飞範圍,於硬化後為12(rcajL,並且,於該黏著性樹脂片 之任意的位置配置有該導電氣微粒子,所以硬化後於機械 5金度、财熱性、耐濕性、可撓性、耐冷熱循環性、咐炫焊 性、尺寸安定性等方面皆優異,並可發揮高接著可靠性與 高導通可靠性。 ^ 第16本發明之覆晶膠帶,由於係由第12或第ΐ5本發 明之導電連接片所構成之故,硬化後於機械強度、耐熱性 、耐濕性、可撓性、耐冷熱循環性、耐熔焊性、 — 68 !314571 性等方面皆優異 並可發揮高接著可靠性與高導通可靠性 第17及第18本發明之電子元件接合體,由於係使用 :1或第2本發明之硬化性樹脂組成物、帛3本發明之接 著性環氧樹脂糊、帛4本發明之層間接著劑、第5本發明 之非導電氣糊、第6本發明之底填料、第7本發明之接著 性1哀氧樹脂片、帛8本發明之非導電氣薄膜、帛9本發明 之曰曰粒安裝膜、第1 〇本發明之導電連接糊、第丨丨本發明 ,異向性導電糊、第12、13或15本發明之導電連接片、 第14本發明之異向性導電薄臈、或第丨6本發明之覆晶膠 帶所製作,故可發揮高接著可靠性及高導通可靠性。 【實施方式】 以下’揭示實施例就本發明更詳細地加以說明,惟, 本發明並非僅限定於此等實施例。 於本實施例中’除了特別表示的場合之外,係使用下 述的原材料。 1 ·環氧樹脂 (1) 二環戊二烯型固態環氧樹脂(商品名「exa_7200HH 」、大曰本油墨化學工業公司製) (2) 奈型液狀環氧樹脂(商品名「Hp_4〇32D」、大曰本 油墨化學工業公司製) (3) 雙酚A型液狀環氧樹脂(商品名「EP828」、日本環 氧樹脂公司製) 2.具有環氧基的高分子 69 1314571 (1) 含有環氧基之丙稀酸樹脂-a (商品名「麻普爾夫 G-2050M」、懸浮聚合法、環氧當量:34〇、重量平均分子 量:20萬、玻璃轉化溫度:8{rc、日本油脂公司製) (2) 含有環氧基之丙烯酸樹脂-b (商品名「卜連瑪CP-15 」 、懸浮聚合法、環氧當量:500、重量平均分子量:1 萬、玻璃轉化溫度:8 0 °C、曰本油脂公司製)
(3) 含有環氧基之丙烯酸橡膠_c (使丙婦酸乙酯99重 量份與縮水甘油基甲基丙烯酸酯1重量份在醋酸乙酯中經 由熱自由基法進行溶液聚合所成者,環氧當量:8〇〇〇、重 量平均分子量:20萬、玻璃轉化溫度:1(rc ) (4) 含有環氧基之丙烯酸樹脂_d (商品名「Nipp〇1 AR_ 42W」、曰本杰翁公司製) 3.高分子量聚合物 (1)聚乙烯醇縮丁醛樹脂(商品名:「ΒΧ_5Ζ」、積水化 學工業公司製)
4.環氧樹脂用硬化劑 (1)三烷基四氫苯二甲酸酐(商品名 環氧樹脂公司製) Γ YH-307 j 曰本 (2) 雙氰胺(商品名「EH-3636AS」旭電化工業公司製) (3) 脈吖η秦(guanazine)化合物(商品名「DX147」曰本 環氧樹脂公司製) 5 ·硬化促進劑 (1)三聚異氰酸改質固體分散型咪唑(商品名「2MAOK-PWj 、四國化成公司製) 1314571 (2) 1 —氮乙基-2 -苯基π米唾 (3) 2 -乙基_4_甲基咪σ坐 6. 接著性賦予劑 (1) 咪嗤矽烷偶合劑(商品名「SP_10〇〇」、曰礦材料) (2) 胺基矽烷偶合劑(商品名r S32〇」、吉索公司製) 7. 填料
(1) 表面疏水化熱解法二氧化矽(商品名「雷歐羅矽爾 MT-10」'平均粒徑:1 “ m以下,德山公司製) (2) 球狀二氧化矽(平均粒徑:5 # m) 8 ·應力緩和性賦予劑 「斯塔 「杰翁 、信越 (1) 含有羥基之芯殼型丙稀酸橡膠粒子(商品名 費洛伊德AC-4030」、岡茲化成公司製) (2) 含有羧基之芯殼型丙稀酸橡膠粒子(商品名 F451」、曰本杰翁公司製) (3) 末端環氧基改質矽酮油(商品名「灯-丨的」 化學工業公司製) 」 9.溶劑 (1)醋酸乙酯 (實施例1)
使用二質分,拌機’使二環戊二婦型固態環I 量知、萘型液狀環氧樹脂20重量 这技 之丙烯酸樹脂-a4重量份、^仏、含有環氧; 量份、m 氫笨二甲酸肝6〇 貌偶合劑2重量份均一地混後,…8重讀及咪心 汁練冑製成接著性環氧樹脂糊 71 1314571 (實施例2〜4及比較例1〜2) 除了將接著性環氧樹脂糊的配方組成改為表i所示之 組成之外,其餘係與實施例丨的場 ^ # α相问,調製成接著性 鳅虱樹脂糊。 就實施例1 ~ 4、及比較例1、2中斛锣今t ^甲所侍之接著性環氧樹 月曰糊的性能(1.膠化率、2.初期接著力A g . 伢耆刀-A、3.於20(TC之發 泡狀態)以下述的方法進行評價。結果示如表工。 1.膠化率
使接著性環氧樹脂糊在爐中以l7〇ti分鐘及17〇它2 分鐘的2條件下進行加熱硬化。然後,將硬化物浸潰於常 溫的醋酸乙㈣24小時後’將不溶成分滤除,經充分乾 燥後,求出醋酸乙醋浸潰前後的硬化物的重量比(浸潰後 的重量/浸潰前的重量),算出膠化率(重量%)。
2.初期接著力-A 將接著性環氧樹脂糊们㈣FR_4之玻璃帛氧基板上 ’在其周圍放i 5職見方的分離物,在其上貼上具有抓 鈍化膜之i〇fflm見方的石夕晶片後,在17(rc下加熱硬化3〇 分鐘,製作成接合體。然後’在所得之接合體的上下裝上 夾具,以5mm/分的拉伸速度進行上下拉伸,求出最大破裂 強度(N/25mm2),以其作為初期接著力。 3_ 200°C之發泡狀態 將接著性環氧樹脂糊置入2〇(rc的爐中,i分鐘後取出 ’以目視觀察發泡狀態,經由下述基準作2〇〇 t之發泡狀 態之評價。 72 Ϊ314571 [判斷基準] 〇:未看到發泡的情形。 X :出現發泡。 表1
實:& _ ^比較例 1 2 3 4 1 〇 一環戊—烯型固態環氧樹脂 76 78 76 48 76 — 48 組 茶型液狀環氧樹脂 20 20 30 50 20 50 成 含有環氧基之丙稀酸樹脂-β 4 2 - — • 含有環氧基之丙烯酸樹脂-b - - 4 2 重 二烷基四氫苯二甲酸酐 60 60 60 52 60 52 二聚異氰酸改質固體分散型咪唑 8 8 8 8 8 — 8 份 Φ 坐矽烷偶合劑 2 2 2 0.5 2 0 5 表@疏水化熱解法二氧化砂 - 4 4 4 4~~ 4 - - 5 5 5 5 評 膠化率 170°C1分鐘硬化 100 100 58 55 35 15 (重量%) 17〇〇C2分鐘硬化 100 100 100 100 100 100 價 初期接著性 ~A (N/25mm2) 412 441 588 568 304 343 於2 cure之發泡狀態 〇 〇 〇 〇 X X
由表1可知:於實施例卜4中所得之接著性環氧樹脂 糊,任_者之膠化率皆高,硬化性良好或優異,且不但初 1期接著力-A優異並且於20(TC未看到發泡情形,可抑制空 孔的產生。 相對於此,於未含有具有環氧基之高分子聚合物(含有 環氧基之丙烯酸樹脂)的比較例1、2中所得之接著性環氧 樹脂糊’任一者皆於1 70°c 1分鐘硬化時的膠化率低,硬化 性差’且,不但初期接著力-A差並且於2001:出現發泡的 情形。 73 1314571 (實施例5) 使一環戊二烯型固態環氧樹脂7 6重量份、萘型液狀環 氧樹脂20重量份、含有環氧基之丙烯酸樹脂_a 1〇重量份 、三烷基四氫苯二甲酸酐5〇重量份、三聚異氰酸改質固 體分散型咪唑8重量份、胺基矽烷偶合劑2重量份、及表 面疏水化熱解法二氧化矽4重量份溶解於醋酸乙酯中,用 均質分散型攪拌機,以揽拌速度3 〇 〇 〇 rpm的條件下均一地 攪拌混合,調製成固態成分為5〇重量%之硬化性樹脂組成 物的醋酸乙酯溶液。 然後,將上述所得之硬化性樹脂組成物的醋酸乙酯溶 液,以使乾燥後的厚度成為5〇//m的方式,用棒塗機塗佈 於表面施有離型處理之厚度5〇//m的聚對苯二曱酸乙二醇 酯(PET)片的離型處理面上,之後,在i 1〇。〇下進行乾燥3 分鐘’製作成接著性環氧樹脂片。 (實施例6) 除了將接著性環氧樹脂片(硬化性樹脂組成物)的配方 組成改為表2所示之組成之外,其餘係與實施例5的場合 同樣的做法,製作成硬化性樹脂組成物的醋酸乙酯溶液°( 固態成分50重量%)及接著性環氧樹脂片。 就貫施例5及貫施例6、及比較例3所得之接著性環 氧樹知片的性能(4·穿透型電子顯微鏡觀察、5•硬化物之玻 璃轉化概度、6·初期接著力-B、7. PCT100小時後的接著力 )以下述的方法進行評價。結果示如表2。 4.穿透型電子顯微鏡(TEM)觀察 74 !314571 、將在170°C經過30分鐘熟化硬化的接著性環氧樹脂片 以切片機(microtome)裁切成薄膜,對其使用四氧化餓染色 。對此試樣以穿透型電子顯微鏡觀察(倍率10萬倍),觀察 其經由此等染色之相分離構造。藉由此等染色來觀察相分 離構造。 5. 硬化物之玻璃轉化溫度 /使接著性環氧樹月旨片在17(rc下進行3〇分鐘加熱硬化 後’。以昇溫速度3°C/分、拉伸模式的條件下進行硬化物的 點彈性之測定,以tan 5的♦值溫度作為玻璃轉化溫度 )°
6. 初期接著力-B 將裁切成5咖見方的接著性環氧樹脂片黏合到fr_4之 破璃環氧基板上,在其上黏合具#叫缝膜切晶片, 進行加壓使其密合後,在17(rc下進行3()分鐘加熱硬化, 製作成接合體。然後,在接合體的上下裝上夾具,以5難/
分的拉伸速度進行上下拉伸,求屮 甲水出最大破裂強度(N/25mm2) ’作為初期接著力-B。 7.PCT100小時後的接著力 使得與測定初期接著力-B的場合同樣的做法㈣Μ 的接合體的熱壓銷試驗⑽)於i2『C—漏Η之條 1〇〇小時後,將接合體取出,以與 兴b·的场合之相同的做法 丄求出最大破裂強度(N/25mm2),作為p㈣G小時後㈣ 著力。 75 1314571 表2 m _ 比較例 5 6 3 組 成 重 暈 份 二環戊二烯型固態環氧樹月旨 76 50 50 萘型液狀環氧樹脂 20 20 20 含有環氧基之丙烯酸樹脂-a 10 - — 含有環氧基之丙烯酸樹脂-b - 30 - 含有環氧基之丙烯酸橡膠-c - - 30 三院基四氫苯二甲酸酐 50 45 40 三聚異氰酸改質固體分散型咪唑 8 8 8 " 胺基矽烷偶合劑 2 2 2 表面疏水化熱解法二氧化矽 4 4 4 — 評 價 穿透型電子顯微鏡觀察 相溶 相溶 相分離 硬化物的玻璃轉化M rc) 178 180 25,173 初期接著性-B (N/25mm2) 441 510 225 PCT100小時後的接著力(N/25mm2) 392 451 20
由表2可知:於實施例5、6中所得之接著性環氧樹脂 片,其硬化物之玻璃轉化溫度皆高,並顯示出樹脂相中之 相分離構造,故初期接著力_B優異並且pcn〇〇小時後之 接著力亦降低甚少。 相對於此,以含有以溶液聚合法所製作成的含有環氧 基之丙烯酸橡膠-C代替含有環氧基之丙烯酸樹脂的比較例 3所得之接著性環氧樹脂片,由於硬化物 低’於低溫下顯…的峰值,顯示出相分離=1 :初期接著力-B差,並且PCT1⑽小時後的接著 地降低。 崎 (實施例7) 使用,質分散型授拌機,使二環戊二稀型固態環氧^ 重臺伤萘型液狀環氧樹脂4 5重量份、含有環氧g 76 1314571 之丙烯酸樹脂-a 10重量份、三烷基四氫苯二甲酸酐50重 量份、1-氰乙基-2-苯基咪唑4重量份、胺基石夕院偶合劑2 重量份、表面疏水化熱解法二氧化石夕4重量份溶解到醋酸 乙酯中’以攪拌速度3000rpm的條件均一地攪拌混練,調 製成固態成分為60重量%之硬化性樹脂組成物的醋酸乙酯 溶液。 然後,將所得之硬化性樹脂組成物的醋酸乙酯溶液, 以乾燥後的厚度成為4〇em的方式,用棒塗機塗佈於表面 施有離型處理之厚度的聚對苯二曱酸乙二醇酯(ρΕτ) 片的離型處理面上,之後,在11〇t下進行乾燥3分鐘, 形成接著性環氧樹脂片。 (實施例8〜12及比較例4〜7) 除了將接著性環氧樹脂片(硬化性樹脂組成物)的配方 組成改為纟3所示之組成之外’其餘係以與實施例7同樣
勺仅法製作成硬化性樹脂組成物的醋酸乙酯溶液(固態 成分40%)、接著性環氧樹脂片。 ^ 月旨片的性能(7以TEM作光 者^環氧4 .TEM作木色時相分離構造觀察(穿透 子顯微鏡觀察)、8.黏彈性恤3的峰值溫度觀察、 °C二甲亞楓膨潤比例測定、1〇.萃取水PH測定、U離子: 導度測定…取氯離子雜質測定、13.介電率:: 低:^耗因子測定、15.雷射加工性―融二 合體PCT導通例/二發生之有無測定、1Μ 導通心、19·接合體TCT導通測定)以下述的; 77 1314571 法進行評價。結果示如表3。 7_穿透型電子顯微鏡觀察 將在烘箱中於170°C經過30分鐘熟化硬化的接著性環 氧樹脂片以切片機裁切成薄膜,對其使用四氧化餓染色。 對此試樣以穿透型電子顯微鏡觀察(倍率1〇萬倍),觀察其 經由此等染色之相分離構造。 8.黏彈性tan δ的峰值溫度觀察 在烘箱中於1701下進行30分鐘加熱硬化之接著性環 ^ 氧樹脂片,用拉伸型黏彈性測定裝置,以昇溫速度3 °C /分 、測定溫度-1(TC〜29(TC的範圍中進行測定。觀察所得之圖 ’於tan 5的峰值溫度為2個以上的場合,亦不遺漏地記 下。 9· 120°C二甲亞硼膨潤比例測定
測定經17(TC下30分鐘硬化之接著片的重量,將其浸 入加熱至120t的二曱亞碾(DMS〇)中5分鐘。5分鐘後將此 片材取出,於溶劑妥為擦除之後,以天秤再度測定其重量 DMS0的膨潤比(%)=(浸潰後重量—初期重量)χ j (初期重量) 1 〇.萃取水pH測定 使接著性環氧樹脂片在not的棋箱中加熱硬化3〇分 鐘後’秤取⑽性環氧樹Μ的硬化物約卜織,將此 硬化物裁切成細片置入玻璃製的試管Φ „ ^ 中,添加蒸餾水1〇各 ’乂噴燒器(burner)將試管封閉,在n 110 C的烘箱中於間 78 1314571 用pH計測定萃取 歇的振動下進# 12小時的加熱萃取後 水的pH。 2上料取水用離子傳導㈣定機來敎萃取水的離 子傳導度Us/Cm)。 12.萃取氣離子雜質測定 用離子色譜儀,就上述所得之萃取水中的氯離子雜質 里(ppm)進行測定0
13.介電率ε,測定、14.介電損耗因子測定 、〜對在170t下進行30分鐘硬化後的試樣,以頻率職 進行介電率及介電損耗因子的測定。 15.雷射加工性 t用二氧化碳雷射,對上下附有PET片之接著性環氧樹 月曰片靶仃圓孔加工(約100#m直徑)後,以顯微鏡對孔形狀 加以觀察,依據下述基準就雷射加工性進行評價。 [判斷基準]
〇:孔形狀及貫通孔的平滑性皆良好。 X :孔形狀已破壞。
16.熔融時之最低貯藏彈性模數G,測定 、將接著性環氧樹脂片(硬化前)以熱積層機進行積層作 成為約600 #m的厚度之後,使其以昇溫速度45t/分由託 C昇溫到20(TC,就以頻率i〇〇rad/秒裁斷時的彈性模數 (。)進行測定。此時,接著性環氧樹脂片的熔融與硬化會 同時發生,讀取此時所顯示的最低值的彈性模數作為最低 彈性模數{(G,)Pa}。 _ 79 I314571 17.空孔發生之有無的測定 以破螭環氧基板與矽晶片(lcm見方)夾著接著性環氧 全月3片在200°c下進行3〇秒鐘熱塵來接著,用超音波剝 、探測裝置就此時之空孔發生之有無加以確認。 18·接合體PCT導通測定 卩尺 述環氧樹月曰片黏合到如下述構成之玻璃/環氧系 / 4曰基板上,該基板係由:透過ic晶片做電氣連接時與 ^ B片内的金屬配線以成為菊鏈(daisy chain)的方式進 •行配線(在18“厚的銅箱上鍍上鎳5ym、金〇.3㈣之 2,m X 20ιηιη X i.0mra厚度者所構成。然後,透過此樹 月曰片’將後述之ic晶片與電極基板以78N/cm2的負荷下, 依序進行U(rcl5秒、23(rcl5秒之加熱而進行接合,之 後’在125 C下進行熟化!小時,製作成導通接合體。該 K晶片為尺寸i〇mmX 1〇mm之預先以引線接合所製作的金 桂犬塊(尺寸為100“、高度約5〇^m)172個配置於 所成者。 % 肖得到之導通接合體經確認其在常溫下全部的電極皆 有高的導通電阻安定性之後,將導通接合體移入埶壓鍋試 驗(PCT)環境下(12(TC、85%RH),就PCT環境下之全體導通 電阻值改變達10%所要的時間加以測定。 19.接合體TCT導通測定 以與上述的場合之相同的方法製作導通接合體,對其 使用冷熱循環試驗機卜40。(:《>125。(:,各1〇分鐘)進行冷熱 循環試驗(TCT),於適當的循環數取出,對導通電阻值進行 確認,就導通電阻值改變1 〇%以上的循環數作測定。 1314571 Φ % ε« 比較例 Ι> L〇 寸 ΙΛ 寸 1 1 ο Η 1 m 幽 in Η CN 1 1 1 1 丨相分離1 92220 1 rH σ\ 350 173 LO ro 05 Ο Ο 〇 1 塘 300 >1000 VD LT) in 寸 〇 Η Ο ro 1 ο LO 1 寸 OQ J 1 1 相分離 -25170 in 00 卜 S LT) 1 I 〇 1 進 <100 500 in m 啼 in 寸 〇 if) 1 ο lo 1 1 OJ 寸 1 1 1 1相分離1 -25173 ο in in I> (N r- rH 1 1 〇 1 摧 <200 >1000 寸 in 邙 in 寸 1 IT) ί ο If) 1 1 CN 1 1 100 \ 1 相分離 -20175 in in i (N r- 1 1 X m ο <100 >1000 實施例 H L〇 in 寸 〇 Η 1 1 00 in 1 ^0 1 Οί 寸 1 1 1 相溶 172 1 寸 140 146 1 1 〇 1 * 1 1 rH rH m U) 寸 Ο Η 1 ί ο If) 1 1 V0 CN 1 1 1 幽 相溶 185 1 寸 I> in in vo 1 1 〇 1 壊 >400 >1000 〇 rH Lf) m 呀 Ο rH 1 1 ο in 1 1 寸 (Ν 寸 1 1 1 相溶 178 | 1 00 o 寸 ro 1 1 〇 1 摧 >400 >1000 Q\ m 邙 in 寸 Ο rH t 1 ο LD 1 1 U5 寸 1 1 〇 1—ί 1 182 ! in (N σ\ ο <N 寸 If) rH ro 0.016 〇 1 >350 >1000 CO m 邙 in 叻 Ο Η 1 1 Ο in 1 1 oa 奪 L0 1 1 178 o ro (Ν in m ro iH Γ0 0.015 〇 LT) 樣 >400 >1000 m ID 〇 t-1 1 1 ο in 1 1 (N 1 1 1 1 相溶 178 00 (N 卜 o m rH Γ0 0.015 〇 ro 摧 >400 900 蔡型環氧樹脂 二環戊二烯型環氧樹脂 含有環氧基之丙烯酸樹脂-a 含有環氧基之丙烯酸橡膠-d 聚乙烯醇縮丁醛樹脂 三烷基四氫苯二甲酸酐 雙氰胺 2-乙基-4-甲基咪唑 1-氰乙基-2-苯基咪唑 胺基矽烷偶合劑 表面疏水化熱解法二氧化矽(平均粒徑l〇nm,最大12nm) 球狀二氧化矽(平均粒徑5 μm,最大< 15卩ΙΠ) 含有羥基之芯殼型丙烯酸橡膠粒子 含有羧基之芯殼型丙烯酸橡膠粒子 以ΤΕΜ觀察之染色時相分離構造 黏彈性tan 5的峰値溫度(°C) 12〇°CDMS〇膨潤比例⑴ 萃取水pH 離子傳導度("S/cm) 萃取氯離子雜質(W>m) 介電率ε, 介電損耗因子tan δ 雷射加工性能 熔融時之最低貯藏彈性模數G' (103/Pa) 空孔發生之有無 PCT導通(h) TCT導通(循環數)
18
_ /IV 链®_ 1314571 由表3可看出:於實施例7〜11所得之接著性環氧樹脂 片中’未顯示出相分離構造,由此可知高溫時DMs〇膨潤比 非常低。 另一方面,於顯示出相分離構造之比較例4刊中,可 觀測到有2個tan 5的峰值,且DMS〇膨潤比變成非常高。 由此可知PCT性能較實施例差。於萃取水pH非為中性附近 之實施例12與比較例7所得之接著性環氧樹脂片中,離子 傳導度較高,此乃由於游離的離子溶出之故。此時,與電 絕緣性及電極腐钮有相當關連之氣離子雜質量變成非常多 。又’於比㈣7中所得之接著性環氧樹脂片,其介電= 要介電損耗因子皆顯示高的數值,於物性值上是不良的結 果。 關於炼融時的最低貯藏彈性模數,於比較例 接著性環氧樹脂片為非常低的數值 = 起因於揮發成分的發泡, :去充刀抑制
成為接者树脂相夾雜著空孔的 ° ,於實施例了所得之接著性環氧樹 施例8所得之接著性環氧樹^相較之下,不^實 =㈣加有芯殼型橡膠粒子之實施例:性 %軋樹脂片之TCT循環 按者性 粒子之應六 美同。吾人認為此乃與橡膠 于之應力緩和硬化有關連。 又’以實施例7〜9所咿制AA工 乙醋溶液作為層間接著:,調上的:化性樹脂組成物 作成評價用的半導體封裝體。彳晶圓經由下述的方法製 首先,用旋塗機將層間接著劑以硬化後的厚度成為25 82 I314571 以m的方式塗佈到在周邊配置有η〇μιη χ 、高別 ㈣的銅突塊& 8对石夕晶圓上。塗佈後,,經晶圓放置到熱 風乾燥爐中進行乾燥11(rc x50分鐘+12〇〇c χ6〇分鐘,使 層間接著劑硬化。然後,將硬化之層間接著劑的表層部分 用磨削機進行磨削,使鋼突塊露出。 σ刀 、用公知的光微影法,以使封裝體的裝載焊球用銅柱位 置成為配置區域的方式形成再配線銅電路圖案。於形成再 配線銅電路圖案後,用公知的光微影法形成銅柱,使用公 知的晶圓級焊球裝g己機,作成裝載有焊球的晶圓級封裝體 。然後’對裝載著焊球的晶圓進行切割,製作成個別的 1C(尺寸:l〇mm X 10mm、配置有172個突塊成區域狀), 作為評價用半導體封裝體。 用所得之評價料半導體封裝體,就焊料耐熱性、Μ 環境下之導通可靠性、及TCT it ΊΓ > s ' 丄以%境下之導通可靠性進行評 價之下,4認焊㈣熱性為5次以上,PCT可靠性彻小
時、TCT可靠性1 000循環以上。 由上述,讀認實施例Μ所調製之硬化性樹脂組成物 的醋酸乙酯溶液作為層間接著劑亦為有用者。 又,此處作為評價用的半 導體晶圓再配線封裝體基板, 場合亦相同。 (實施例13) 導體封裝體,雖係製造成半 惟’於增厚印刷線路板等之 使用均質分散型攪拌機,侈_ 使一環戊二烯型固態環氧樹 脂45重量份、萘型液狀環氧樹 π辦知45重量份、含有環氧基 83 1314571 之丙烯酸樹脂(平均分子量1萬,環氧當量500)4重量份、 二烧基四氫苯二曱酸酐50重量份、1-氰乙基-2-苯基咪唑 4重量份、胺基石夕烧偶合劑2重量份均一地混練,得到接 著性環氧樹脂糊,以其作為非導電氣糊。 (實施例14〜21、及比較例8、9 ) 除了將樹脂糊的配方組成改為表4中所示之組成之外 ’係以與實施例13的場合之相同的做法製作成非導電氣 糊(實施例14〜16)或異向性導電糊(實施例ι7~21、比較例 8、9) 〇 對實施例13〜21及比較例8、9所得之非導電氣糊或異 向性導電糊的性能(萃取水之pH、氣離子雜質量、使用tem 觀察之染色時相分離構造、黏彈性測定之tan δ的峰值溫 度 '離子傳導度、介電率(ε,)及介電損耗因子“抓占)) 以上述的方法進行評價。 、9所得之異向性導電 又’用實施例17〜21、比較例
封包。 糊、1C晶片及基板,以下述的方法製作成評價用的半導體 X 10mm),係使用預先以
,一屬配線以成為菊鏈的方
作為IC晶片(尺寸:1 〇mn] X 引線接合所製作的 m ) 1 7 2個配置於外 片於電氣連接時與 式進行配線(在一 m)之 20mm X 84 1314571 首先’使基板在熱風乾燥爐中以12Q<t χ6小時 乾,將基板中的水分去除。 其次,將實補17〜2卜比較例8、9中所得之異向性 導電糊填充到注射器(武藏工程公司製)中。於此注 前端安裝上精密喷嘴(武藏工程公司製,喷嘴前端 〇.3_),用分散裝置,以使在乾燥完成後之基板的ic晶片工 接合區域内之異向性導電糊的塗佈量成為約細的方 行塗佈。 將經塗佈的基板之電極部分與IC晶片的電極部分以覆 晶接合機(溫谷工業公司製’ DB刚)’進行覆晶連接。連接 條件係定為78N/cm2、19(TC X15秒+23(TC X15秒。然後, 於熱風乾燥爐中進行12n:xl小時的乾燥,使樹脂^全硬 化’製作成評價用半導體封裝體。
用製作成的半導體封裝體,以下述的方法,進行2〇 焊料財熱性之評價,及以上述的方法,進彳m環境下之 導通可靠性、TCT m境下之導通可靠性之評價。結果示如 表4。又’於表4中’ W「-」所表示之處所係未進行測定 者0 2 0 ·焊料耐熱性 將評價料半導n封裝體,以乾燥條件125。〔 χ6小時 、溼潤條件3(TC/80%X48小時進行處理後再進行25(rc X30秒的炼焊之處理,對處理後之電極的導通及電阻值變 化 '及層間的剝離進行確認。將熔焊後的試樣再度以濕潤 條件3(TC/mx4M、時進行處理後,再進行25代謂秒 85 1314571 的熔焊處㊣_經溶烊處理2次後之電極的導通及電阻值 變=、及制的行確認。施行本處理縛焊次數到 5 -人為止,作焊料耐熱性之評價。又,即使有導通的場合 若電阻值之變化與初期的電阻值比較之變化達10%以上 者係判定為不良。層間之剝離係以超音波探測影像装置 立建機精讼技術公司製,mi-scope hyper II)進行確認
86 1314571
比較例 σ\ m VD m CN 1 L0 L0 寸 CN I 1 I 〇 CN 1 1 1 相分離 1 -15173 I m 寸 1 140 1 L0 rH ro 1 0.015 1 3 00」 >1000 η 00 in 寸 ID 寸 1 〇 LT) 05 1 1 I 〇 CN 1 1 1 |相分離| | -15178] id VD rH ο 卜 rH m 0.015 200 >1000 η 實施例 r~i CN LO 寸 m 寸 S 04 i m ί I ί ο r〇 1 1 182 Ch Ln CM 寸 rH cn 0.016 >400 >1000 〇 LTl 寸 LD 寸 寸 〇 If) 1 寸 CM m ο (Ν 1 1 1 178 1 H 卜 寸 CN ro !—1 ro 0.015 >400 >1000 in σ\ Η m 寸 m 寸 ο in 1 寸 CN if) 〇 CN 1 1 1 —178_ (N 卜 Γ0 m ro Η Γ0 0.015 >400 >1000 LO 00 Γ-Η Ln 寸 m 寸 ο LO 1 寸 03 I 1 1 Ο CN 1 180 rH I> 寸 o n rH Γ0 0.015 300 〇 ON L〇 rH If) 寸 m 寸 ο LD 1 寸 CN \ \ 〇 (Ν 1 1 178 卜 if) o 寸 γΗ Γ〇 0.015 300 〇 〇0 m KD rH If) 寸 in 寸 寸 ο in 1 CN 1 寸 If) 1 1 1 1 182 o\ in CN 寸 γΗ ΓΟ 0.016 >400 >1000 in in H LD 寸 If) 寸 CN ο in 1 寸 CN 1 if) 1 1 1 178 CN 卜 m ID ro ιΗ Γ0 0.015 >400 >1000 in 寸 t-H LT) VD in 寸 in m 1 CN 相溶 185 rH 卜 寸 〇 Γ0 rH Γ0 0.015 300 〇 g iS) ΓΟ rH if) in o in 1 寸 CN 1 1 相溶 178 If) o γΗ ΓΟ 0.015 300 ο οο Ln 萘型環氧樹脂 二環戊二烯型環氧樹脂 含有環氧基之丙烯酸樹脂-b I三烷基四氫苯二甲酸酐 含有環氧基之丙烯酸橡膠-d 1-氰乙基-2-苯基咪唑 胺基矽烷偶合劑 球狀二氧化矽(平均粒徑5 // τη,最大< 15 " m) 表面疏水化熱解法二氧化矽(平均粒徑l〇nm,最大12nm) 含有羥基之芯殼型丙烯酸橡膠粒子 Ag粒子(平均粒徑7jum) Ni粒子(平均粒徑7//m) 樹脂芯部鍍金粒子(平均粒徑3 "π〇 絕緣被覆處理樹脂芯部鑛金粒子(平均粒徑2 /m) 以TEM觀察之染色時相分離構造(只於樹脂層) 黏彈性tan 5的峰値溫度(°C) 萃取水pH 萃取氣離子雜質(ppm) 離子傳導度(JUS/cm) 介電率ε, 介電損耗因子tan δ PCT導通(h)(電阻値10%以內變化) 1 TCT導通(循環數)(電阻値Ι(η以內變化) 焊料耐熱性(次數> (電阻値10*以內變化) Φ i ml 4 ζ
1314571 氯離3質4甚可ΓΓ實施例17〜21所得之異向性導電糊之 於蔡型環負谢ls - ώ .—衣戊二烯型環氧樹脂及對 環氧樹月曰顯不出相溶性的 的實施例Π所得之異向性導 :乳基之丙烯酸樹脂 環氧榭+ + 糊、及由ΤΕΜ觀察未觀察到 展她曰基體中有相分離的情 得之異向性導雷i 力實施例17〜21所 广I·生導電糊之任一者的離子傳導度皆低。又,使用 、施例17~21所得之異向性導 封梦俨導電糊所製作之評價用半導體 可靠以 性、PCT環境下& TCT環境下之導通 “憂異。再者,使用含有低彈性粒子(芯殼型 酸橡膠粒子)之竇祐你丨1CU91 a 卞丙烯 、_ 中所得之異向性導電糊所製作 0平^貝用半導體封裝體,較使用兀人^楚 钗便用不含此等之實施例17、18 m向性導電糊所作成之半導體封裝體,力ρα環境下及 CT環境下之導通可靠性為更優異者。 ,對於此’含有對奈型環氧樹脂及相對於二環戊二稀 !環氧樹脂為非相溶的含有環氧基之丙烯酸橡膠之比較例 “9中所付之異向性導電糊,其硬化物於經由ΤΕΜ觀察時 可觀察到s氧樹脂基體中有相 > 離構造,離子傳導度亦高 〇 又,以實施例13〜15所得之接著性環氧樹脂糊作為底 填料樹脂使用,將半導體晶片與基板經由下述的方法連接 ’製作成半導體封裝體。 以玻璃環氧樹脂基材FR-4之相當品作為基材,對完成 Cu線路製程、貫通孔鍍敷、及防焊製程的基板(4層板)之 s曰片搭载部,將附有高熔點焊料突塊之半導體晶片(尺寸 88
1314571 ·’ 1 Omm X i 〇mm,將尺寸 A 一 — 办成 人寸為100_、高度約l〇〇#m之172個 犬塊配置於外圍),传I公要 使其女置於覆晶接合機上,使該晶片 面朝下而將谭料突塊部與對向的基板端子部調整好位置, ◎ΟΙ加M力陶、加㈣間5秒進行正式麼合。此 ^焊料突塊與基板端子部之接合、及晶片表面與基板之 接著同時d焊料突塊被拉伸成柱狀獲得確認。 然後,用通常的1R炼焊爐,以23(TC、20秒的條件使 焊料熔焊。藉由經過此製程,可修正面朝下接合時的位置 偏差,且可確認維持著柱狀的突塊形狀。 然後,將本發明之底填料樹脂填充到武藏工程公司製 之=射器中,於此注射器的前端安裝上武藏工程公司製之 精密噴嘴(噴嘴前端口徑〇. 3mm),用分散裝置,自晶片的 端部將樹脂填充到晶片與基板的間隙中。 然後,以1251 X 1小時的條件,於熱風乾燥爐中使樹 月曰το全硬化後,用密封劑(日立化成工業公司製,環氧樹 脂模鑄化合物CEL92〇〇)以通常之轉印模具(成形溫度i8〇<;c 、成形壓力1. 5kN/cm2)製得將晶片内面之全面完全被覆的 密封品。然後’用焊球形成設備,在基板内面形成陣列狀 之焊球’得到評價用之半導體封裝體。 對得到之評價用封裝體進行_45。(:〜125°C的溫度循環試 驗之評價之下,即使於丨000循環後的試樣之導通情形亦無 異常’且未發現焊料突塊的斷裂之情形。將試驗後的評價 用半導體封裝體裁斷,對焊料突塊部周邊進行觀察之下, 確認各焊料突塊的周邊全面及半導體晶片的外圍部皆無龜 89 1314571 裂等之情形。又,以3(TC、80%RH的條件下進行48小時的 吸濕後,將經浸焊料(280t、30秒)者以超音波缺陷探測 設備進行觀察,亦未見到在密封樹脂與晶片鈍化層表面的 界面處之剝離或龜裂的存在。再者,於施行高溫高濕試驗 (120C/85%RH、500小時)後,導通情形亦無異常,且未看 到焊料突塊的斷裂。再將高溫高濕試驗的評價用半導體封 裝體裁斷,對焊料突塊部周邊進行觀察之下,確認各焊料 突塊的周邊全面及半導體晶片的外圍部皆無龜裂等之情形 。基於此等事實,可確認得知··實施例13〜15所得之接著 性環氧樹脂糊亦可良好地作為底填料使用。 (實施例22) 使二環戊二烯型固態環氧樹脂45重量份、萘型液狀環 氧樹脂45重量份、含有環氧基之㈣酸樹脂-a 10重量份 、三烷基四氫笨二甲酸酐5。重量份、卜氰乙基_2_苯基: 2 4重量份、胺基料偶合劑2重量份、及銀粒子(平均粒 瓜7/zm)20重量份溶解於醋酸乙酯中,用均質分散型授摔 機,以攪拌速度30〇〇rpm的條件下均一地撥掉混練,調製 成固態成分為40重量%之硬化性樹脂組成物的醋酸乙酯溶 液。又’上述銀粒子’係以清漆的狀態使用。 …、:後將所彳于之硬化性樹脂組成物的醋酸乙酯溶液, 以使乾燥後的厚度成為42“的方式,用棒塗機塗佈於表 面施有離型處理之厚度5〇”的聚對苯二甲酸乙二醇醋 cm)片的離型處理面上’之後’在^代下進行乾燥3分 鐘形成接著性壤氧樹腊層。將2片形成有接著性環氧樹
3 " m(積水化學工業 I314571 月旨層的PET片,以使接著性環氧樹脂 啊月日層相向的方式在801 下進行積層加工,製作成接著性環也卜 衣乳樹脂片。得到之接著 性環氧樹脂片,係成為在2片的PPT u , 幻PET片之間包夾著接著性 裱氧樹脂層的狀態。 (實施例2 3〜2 6 ’及比較例1 q、11) 除了將配方組成改為表5所千+么, 取3所不之組成之外,係以與實 施例22的場合的相同做法,製作士 Α _ ^ 衣作成未露出導電氣微粒子 的導電連接片(實施例22^26、比鲂你丨1Λ 父例1〇、11)與露出導電 氣微粒子之導電連接片(實施例27)。 又’作為表5中之導電氣微粒子,係使用下述者於清 漆的狀態下混合到樹脂中。 銀粒子:平均粒徑7 # m 鎳粒子:平均粒徑7 # m 樹脂芯部之鍍金粒子:平均粒徑 公司製「米克羅帕爾AU」) 絕緣被覆之樹脂芯部之鑛金粒子:將平均粒徑之 積水化學工業公司製「米克羅帕_ AU」以熱塑性樹脂被覆 所成者 (實施例27) 得之長2em、寬2cm的接著性環氧樹脂片,以與 晶片的電極進行對位之方式,使用〇)2雷射設置用以在 母1cm見方形& 172接腳的電極端子所須之排列成複數列 。為l2〇"m、者面為85#m的錐狀的貫通孔,此列的 3約為4mm各列之各貫通孔係以2 〇 〇 /z m的間距並排, 91
1314571 各貫通孔之孔徑的cv值為 徑)為1. 04。 2%,長寬比(孔的長徑/孔的短
蓋且環氧樹脂片的内側,以將全數的貫通孔覆 幻万式,以直锉8mm的吸引口抿住,以_ 面ΓΓ 一邊進行吸引一邊對在接著性環氧樹脂片 的表面側之導電氣微粒子(平均粒徑105“,表層施有02 鍍鎳、並進一步祐古^ Λ 有2.3/zm鐘金之導電氣微粒子)進 行數秒鐘的吸附。此時,於吸引口處安裝有用以支持接著 性環氧樹脂片0"〇"m網目的鋼製篩網,進一步於一邊去 除靜電之了 if以在接著性環氧樹脂片的貫通孔以外之處 不致吸附導電氣微粒子的方式進行吸引。#由導電氣微粒
子的吸引使導電氣微粒子在接著性環氧樹脂片的各貫通 孔剛好各埋設丨個之後,停止吸引,製作成導電連接片。 又於吸引後,為了慎重起見,使用柔軟的毛刷將導電連 接片表面的雜物去除。又,在此階段的導電連接片是未硬 化的狀態。 對實施例23〜27及比較例1 〇、11中所得之導電連接片 的性能(萃取水的pH、氯離子雜質量、以TEM觀察之染色 時相分離構造、黏彈性之tan 5的峰值溫度、離子傳導度 >>|電率(ε ')及介電損耗因子(t an 6)),以上述的方法 進行評價。又,藉由上述的方法,使用實施例23~27及比
較例1 0、11中所得之導電連接片製作成半導體封裝體,對 此半導體封裝體之焊料耐熱性、pCT環境下之導通可靠性 、及TCT環境下之導通可靠性進行評價。結果示如表5。 92 1314571
sw 比較例 rH γΗ in 寸 Lf) 寸 1 Ο rH ο VD 寸 (N 1 ο (Ν 1 1 1 1 相分離 -20175 iTi 寸 130 L0 Η m 0.015 200 >1000 Γ0 Ο ι—1 in 寸 in 寸 1 Ο pH Ο ID 1 1 Ο (Ν ί 1 1 f 相分離 -20175 ! lo vo 寸 Η 〇 Η Γ〇 0.015 200 >1000 實施例 卜 CN If) 寸 If) 寸 〇 rH 1 Ο If) 寸 CN If) I 1 1 1 配置型 1 178 Γ〇 IT) Γ0 Η m 0.015 >400 >1000 IT) VO (N in 寸 in 寸 〇 rH 1 Ο IT) VD 05 If) 1 1 1 〇 Γ0 1 > 182 σ\ r- LO (N 寸 rH Γ0 0.016 >400 >1000 in Lf) CN ID 寸 in 寸 Ο τ—1 1 Ο m 寸 <N LO 1 1 ο fNJ 1 1 1 178 ' rH 卜 寸 Γ0 γΗ ΓΟ 0.015 >400 >1000 m 寸 ΟΪ in 寸 in 寸 Ο rH 1 ο in CN 寸 IT) 1 ο <Ν 1 1 1 1 178 (Ν > η ID Γ0 Η ΓΟ 0.015 >400 >1000 in Γ0 (N in 寸 m 寸 Ο γΗ 1 ο in 寸 <N 1 1 1 Ο (Ν 1 1 1 相溶 180 i-l 寸 〇 m γΗ ΓΟ 0.015 300 900 If) OQ CN Lf) 寸 m Ο γΗ 1 ο in CN 1 1 ο (Ν 1 1 l 1 相溶 178 in ο 寸 γΗ ΓΟ 0.015 1 300 800 in 萘型環氧觀旨 二環戊二烯型環氧樹脂 含有環氧基之丙烯酸樹脂-a 含有環氧基之丙烯酸橡膠-d 三院基四氫苯二甲酸酐 1-氰乙基-2-苯基咪唑 胺基矽烷偶合劑 表面疏水化熱解法二氧化矽(平均粒徑10nm,最大12nm) 含有羥基之芯殼型丙烯酸橡膠粒子 Ag粒子(平均粒徑7"π〇 Ni粒子(平均粒徑7 m) 樹脂芯部鑛金粒子(平均粒徑3 "in) 絕緣被覆處理樹脂芯部鍍金粒子(平均粒徑2 "π〇 樹脂芯部鍍金粒子(平均粒徑100 以TEM觀察之染色時相分離構造(只於樹脂層> 黏彈性tan <5的峰値溫度(°C) 萃取水pH 萃取氯離子雜質(ρρπ0 離子傳導度("S/cm) 介電率ε, 介電損耗因子tan <5 pct導通(h)(電阻値ίο%以內變化) TCT導通(循環數)(電阻値10%以內變化) 焊料耐熱性(次數)(電阻値10%以內變化) ts 鄭 m 鹏 m 1314571 由表5可知.於實施例23~27所 粒子未露出型、料鉍2f <等电埂接月U攻 fe-f7 露出型)係與使用未填入導電氣微 ,π ., ,, _ 斤製作之接著性環氧樹脂片的接合方 式同樣地,可得到高接合可靠性。 產業上可利ϋ 本發明之硬化性樹脂組成物,硬化後於機械強度、耐 熱性、_濕性、可撓性、料熱循環性、耐熔焊性、尺寸 女疋!·生^優異’並可發揮高接著可靠性與作為導通材料 之時的冋導通可靠性’故甚適合使用於接著性環氧樹脂糊 用、接著性環氧樹脂片肖、導電連接糊用、導電連接片用 等之各種工業用途中。
又,本發明之接著性環氧樹脂糊及接著性環氧樹脂片 ,由於係使用上述本發明之硬化性樹脂組成物所製作,故 硬化後於機械強度、耐熱性、耐濕性、可撓性、耐冷熱循 環性、耐熔焊性、尺寸安定性等皆優異,並可發揮高接著 可靠性,而可適用於各種電子元件的接合用途。 又,本發明之導電連接糊及導電連接片,由於係使用 上述本發明之接著性環氧樹脂糊及接著性環氧樹脂片所製 作’故硬化後於機械強度、财熱性、耐濕性、可撓性、耐 冷熱循環性、耐熔焊性、尺寸安定性等皆優異,並可發揮 高接著可靠性,而可適用於各種電子元件的導通接合用途 又,本發明之層間接著劑、非導電氣糊、底填料、非 導電氣薄膜及晶粒安裝膜,由於係使用上述本發明之接著 94
1314571 性環氧樹脂糊及接著 械強度、耐孰性、❹樹脂片所製作’故硬化後於機 焊性、尺寸;:二:、可挽性、耐冷熱循環性、耐熔 又’本發明之異向性逡 膠帶,由於係使… 導電薄膜及覆晶 性環氣榭1H、 本發明之接著性環氧樹脂糊及接著 2氧樹脂片所製作,故硬化後於機械強度、耐熱性、耐 / 了撓性、耐冷熱循環性、耐熔焊性、尺 皆優異,並可發揮高接士疋 用於各種電子元件的導通接合用途。 了適 再者’本發明之電子元# 人 之硬化性樹脂組成物、接著性環使用上述本發明 非導電氣薄膜、晶粒安裝膜、異向性:===、 ΐ:靠:覆晶膠帶所製作’故可發揮高接著可靠性及高: 95

Claims (1)

  1. 料利申請利範圍替換太— \^年^)月()曰修 正本 係含為:環氣樹月、 申請專利範圍: 一種硬化性樹脂組成物 :均分子量為1萬以上之含有環氧基的丙烯酸樹脂、以及 環氧樹脂用硬化劑者;其特徵在於, 將硬化物以重金屬染色’經由穿透型電子顯微鏡觀察 時,於樹脂所構成的基體中不會觀察到相分離構造。 2. 如申請專利範圍帛μ之硬化性樹脂組成物,直硬 化物之黏彈性曲線測U ta以的峰值為單—者且該峰值 的溫度為120°C以上。 3. 如申請專利範圍第1JS之硬化性樹脂組成物,其硬 物於加熱到120 c之二甲亞颯溶液中所測定的膨潤率為 4·如申請專利範圍第!項之硬化性樹脂組成物,其中 ,將硬化物的溶出成分α "代的熱水萃取時,該萃取水 之pH為5.0〜8.5。 5.如申請專利範圍第i項之硬化性樹脂組成物,其中 ,將硬化物的溶出成分卩"(TC的熱水萃取時 之電導度為以下。 卒取水 1項之硬化性樹脂組成物,其硬 且介電損耗因子為〇_〇2以下。 6.如申請專利範圍第 化物的介電率為3·5以下, 73㈣W範圍第卜2'3、4、5或6項之硬化性 二且成物丨中,竦氧樹脂為主鏈上具有多環式烴骨架 的裱氧樹脂,且不含有無機填料。 8·如申請專利範圍第7項之硬化性樹脂組成物,其中 96 1314571 烯ΐ =具有多環式烴骨架的環氧樹脂,為具有二環戊二 木的%氧樹脂或具有萘骨架的環氧樹脂。 9暑如申請專利範圍第Μ之硬化性樹脂組成物,其中 之分子量& 1萬以上之含有環氧基的丙稀酸樹脂 之$哀氧當量為200〜100()。 中,^請專利範圍第1項之硬化性樹脂組成物,其 量平均分子5為1萬以上之含有環氧基的丙烯酸樹 曰係糟由懸浮聚合法所製造而得者。 u_如中請專利㈣第i項之硬化性樹脂組成物,其 料―步含有2代之彈性模數㈣為! X 1G5〜i x 的低彈性模數„,該低彈性模數物f係對環氧樹 月曰及重量平均分子量為i萬以上之含有環氧基的丙烯酸樹 脂為不相溶且分散成島狀者。 12·如中請專利範圍第!項之硬化性樹脂組成物,其 進-步含有芯部之玻璃轉化溫度&抓以下、外殼之玻璃 轉化溫度為40°C以上的芯殼構造之橡膠粒子。 13· -種接著性環氧樹脂糊,其特徵在於,係由申靖 專利範圍第卜 2、3、4、5、6'7、8、9、i〇、mi2 項之硬化性樹脂組成物所構成。 14. -種層間接著劑,其特徵在於,係"請專利範 圍第1 3項之接著性環氧樹脂糊所構成。 15. 種非導電氣糊,其特徵在於,係由申請專利範 圍第13項之接著性環氧樹脂糊所構成。 種底填料,其特徵在於,係由申請專利範圍第 97 1314571 1 3項之接著性環氧樹脂糊所構成。 1 7. —種接著性環氧樹脂 專利範圍第1、2、3、4、5、6、特徵在於’係由申請 項之硬化性樹脂組成物成形為片二:寻二1。、U、或12 18. 如申請專利範圍第17 以昇溫速度价/分進行昇溫之^性環氧樹脂片’其 貯藏彈性模數(G,)為i χ 硬化之加熱硬化物的 19. 如申請專利範圍第 片,其依據動黏彈性之_的峰值'、二環氧樹脂 °C的範圍,於硬化後為12〇〇c以上。X、月為-20〜40 」〇. -種非導電氣薄膜,其特徵在於,係由 摩巳圍苐17、18或19項之接著性環氧樹脂片所構成。 圍二了膜,其特徵在於,係由申 圍第18或19項之接著性環氧樹脂片所構成。 22. -種導電連接糊,其特徵在於,係於申請 =第13項之接著性環氧樹脂糊中含有導電氣微粒子所得 種異向性導電糊’其特徵在於’係由申請專利 範圍第22項之導電連接糊所構成。 種導電連接片’其特徵在於,係由申請專利範 1 8或19項之接著性環氧樹脂片、與導電氣微粒 子所構成者’其特徵在於’該導電氣微粒子之至少一部份 係自該接著性環氧樹脂片露出著。 25· —種導電連接片,其特徵在於,係於申請專利範 98 1314571 圍第17、18或19項之接著性環氧樹脂片中埋設有較該接 著性環氧樹脂片的厚度小的導電氣微粒子。 26. —種異向性導電薄膜,其特徵在於,係由申請專 利範圍第25項之導電連接片所構成。 27· —種導電連接片,係由黏著性樹脂組成物(含有經 由添加可塑劑而被賦予黏著性之樹脂、及常溫下為液狀之 具有萘骨架之環氧樹脂)所構成之黏著性樹脂片與導 粒子所形成者;其特徵在於, 札微 該黏著性樹脂片,依據動黏彈性之tan占的峰值溫度 於硬化前為-20〜40。(:的範圍,於硬化後為12(rc以上,並 且,於該黏著性樹脂片之任意的位置配置有該導電氣微粒 子,該導電氣微粒子之至少一部份係自該黏著性樹脂片 出著。 28.如申請專利範圍第27項之導電連接片,其中,對 硬化後之黏著性樹脂片’於溫度12(rc、濕度85%rh、時 間12小時的條件下進行壓力鍋試驗後,該硬化後的黏著 性樹脂片之伸展率為5 %以下。 29. —種覆晶膠帶,其特徵在於,係由申請專利範屢 第24、27或28項之導電連接片所構成。 30. —種電子元件接合體,其特徵在於,係藉由申— 專利範圍第卜 2、3、4、5、6、7、8、9、1〇、u91 ; ,,硬化性樹脂組成物、申請專利範圍第13項之接著七 環氧樹脂糊、申請專利範圍第14項之層間接著劑、申♦ 專利範圍帛15項之料電氣糊、巾請專利範圍第i6項j 1314571 底填料、申請專利範圍第 範圍第”…項之導電連接糊、申請專利 —之/向性導電糊、申請專利範圍帛17、18或 μ之接著性環氧樹脂片、巾請專利範圍第2()項之非導 電氣薄膜、申請專利範圍笛ο _ 第21項之晶粒安裝膜、申請專 利fe圍第24、25、27戋28馆,, 寻 次 項之導電連接片、申請專利範 固第26項之異向性|雷锋 導電'專膜、或申請專利範圍第29項之 覆晶膠帶中一者,佶 乂 仗1:子tl件的突塊狀的突起電極與另一 方的電極於導通的狀態下接合所得者。
    3 1.種電子7L件接合體,其特徵在於,係藉由 專利範圍第1、2、3、4 4 5、6、7、8、9、1〇、11、或 12
    硬化性樹脂組成物、中請專利範圍第Η #之接著性 $氧樹月日_中明專利範圍帛14項之層間接著劑、申請 專利1&圍第1 5項之非導電氣糊、中請專利範圍第1 6項之 j填料t凊專利範圍第22項之導電連接糊、申請專利 範圍第23項之異向性導電糊、申請專利範圍第17、18或 b項之接著性環氧樹脂片、巾請專利範圍第μ項之非導 電氣薄膜、中請專利範圍第21 $之晶粒安裝膜、申請專 利範圍第24、25、27或28項之導電連接片、中請專利範 圍第26項之異向性導電薄膜、或中請專利範圍第29項之 覆曰曰膠帶中者,來接合選自由金屬引線框、陶瓷基板、 樹脂基板、發基板、化合物半導體基板及玻璃基板所構成 群中至少1種的電路基板而成者。 32.申請專利範圍第3 1項之電子元件接合體,其中, Ο月θ基板為玻璃環氧基板、雙馬來酸酐縮亞胺三嗪基板、 100 1314571 或聚醯亞胺基板。 拾壹、圖式:
TW93100190A 2003-01-07 2004-01-06 Curing resin composition, adhesive epoxy resin paste, adhesive epoxy resin sheet, conductive connection paste, conductive connection sheet, and electronic component joined body TW200417576A (en)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003001276 2003-01-07
JP2003083588 2003-03-25
JP2003177221 2003-06-20
JP2003177222 2003-06-20
JP2003338284 2003-09-29
JP2003403703A JP4238124B2 (ja) 2003-01-07 2003-12-02 硬化性樹脂組成物、接着性エポキシ樹脂ペースト、接着性エポキシ樹脂シート、導電接続ペースト、導電接続シート及び電子部品接合体

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW200417576A TW200417576A (en) 2004-09-16
TWI314571B true TWI314571B (zh) 2009-09-11

Family

ID=32719682

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW93100190A TW200417576A (en) 2003-01-07 2004-01-06 Curing resin composition, adhesive epoxy resin paste, adhesive epoxy resin sheet, conductive connection paste, conductive connection sheet, and electronic component joined body

Country Status (8)

Country Link
US (1) US7645514B2 (zh)
EP (1) EP1584657A4 (zh)
JP (1) JP4238124B2 (zh)
KR (2) KR20070106039A (zh)
CN (1) CN100587002C (zh)
AU (1) AU2003296145A1 (zh)
TW (1) TW200417576A (zh)
WO (1) WO2004060996A1 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI488745B (zh) * 2010-12-29 2015-06-21 Cheil Ind Inc 雙層各向異性導電膜和包括該導電膜的裝置
TWI550651B (zh) * 2012-09-21 2016-09-21 第一毛織股份有限公司 各向異性導電膜及包含該各向異性導電膜之半導體裝置

Families Citing this family (136)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006022194A (ja) * 2004-07-07 2006-01-26 Sekisui Chem Co Ltd 硬化性樹脂フィルム、接着性エポキシ樹脂フィルム、非導電性フィルム及びダイアタッチフィルム
TW200613493A (en) * 2004-08-09 2006-05-01 Sumitomo Chemical Co Acrylic resin composition
US20060110600A1 (en) * 2004-11-19 2006-05-25 3M Innovative Properties Company Anisotropic conductive adhesive composition
EP1671670A1 (fr) * 2004-12-14 2006-06-21 STX Sprl Appareil pour l'electro-inhibition des muscles de la face
JP4947905B2 (ja) * 2005-02-04 2012-06-06 株式会社日本触媒 光半導体封止用樹脂組成物
US7999994B2 (en) 2005-02-23 2011-08-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US8519945B2 (en) 2006-01-06 2013-08-27 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US9082353B2 (en) 2010-01-05 2015-07-14 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US8159428B2 (en) 2005-02-23 2012-04-17 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US8482496B2 (en) 2006-01-06 2013-07-09 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling MEMS display apparatus on a transparent substrate
US9261694B2 (en) 2005-02-23 2016-02-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US9229222B2 (en) 2005-02-23 2016-01-05 Pixtronix, Inc. Alignment methods in fluid-filled MEMS displays
US20070205969A1 (en) 2005-02-23 2007-09-06 Pixtronix, Incorporated Direct-view MEMS display devices and methods for generating images thereon
US8310442B2 (en) 2005-02-23 2012-11-13 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US9158106B2 (en) 2005-02-23 2015-10-13 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
WO2006100833A1 (ja) * 2005-03-23 2006-09-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. 複合誘電体シートおよびその製造方法ならびに積層型電子部品
US20060289500A1 (en) * 2005-05-11 2006-12-28 Naohisa Okumura Semiconductor memory card comprising semiconductor memory chip
JP2007012378A (ja) * 2005-06-29 2007-01-18 Fujikura Kasei Co Ltd 導電性微粒子
JP2007016126A (ja) * 2005-07-07 2007-01-25 Sekisui Chem Co Ltd 熱硬化性樹脂組成物及び電子部品
JP2007056209A (ja) * 2005-08-26 2007-03-08 Sumitomo Electric Ind Ltd 回路接続用接着剤
JP2007091959A (ja) * 2005-09-30 2007-04-12 Sumitomo Electric Ind Ltd 異方導電性接着剤
JP2007112949A (ja) * 2005-10-24 2007-05-10 Sumitomo Electric Ind Ltd 異方導電性接着剤
JP4970767B2 (ja) * 2005-10-26 2012-07-11 リンテック株式会社 導電接合シート用の絶縁シート、導電接合シート、導電接合シートの製造方法および電子複合部品の製造方法
WO2007059152A1 (en) * 2005-11-14 2007-05-24 World Properties, Inc. Circuit material, multi-layer circuits, and methods of manufacture thereof
US20070116961A1 (en) * 2005-11-23 2007-05-24 3M Innovative Properties Company Anisotropic conductive adhesive compositions
CN101361411A (zh) * 2006-01-20 2009-02-04 富士通株式会社 芯片部件的安装构造、安装方法以及电子装置
US8526096B2 (en) 2006-02-23 2013-09-03 Pixtronix, Inc. Mechanical light modulators with stressed beams
US20090311502A1 (en) * 2006-07-24 2009-12-17 Mccutcheon Jeffrey W Electrically conductive pressure sensitive adhesives
US20080029214A1 (en) * 2006-08-04 2008-02-07 Zephyros, Inc. Multiple or single stage cure adhesive material and method of use
US7732936B2 (en) * 2006-09-06 2010-06-08 Intel Corporation Buffer coating having a physical mixture of high toughness polymer and a low shrinkage polymer
US20080152921A1 (en) * 2006-12-20 2008-06-26 3M Innovative Properties Company Thermally B-Stageable Composition for Rapid Electronic Device Assembly
JP5000309B2 (ja) * 2007-01-10 2012-08-15 京セラケミカル株式会社 電子部品の実装方法および電子部品モジュールの製造方法
US9176318B2 (en) 2007-05-18 2015-11-03 Pixtronix, Inc. Methods for manufacturing fluid-filled MEMS displays
US20090230568A1 (en) * 2007-04-10 2009-09-17 Hiroyuki Yasuda Adhesive Film for Semiconductor and Semiconductor Device Therewith
US20100140556A1 (en) * 2007-06-13 2010-06-10 Hitachi Chemical Company, Ltd. Filmy adhesive for circuit connection
US20090014852A1 (en) * 2007-07-11 2009-01-15 Hsin-Hui Lee Flip-Chip Packaging with Stud Bumps
US9388311B2 (en) * 2007-08-02 2016-07-12 Dow Global Technologies Llc Amphiphilic block copolymers and inorganic nanofillers to enhance performance of thermosetting polymers
JP5446864B2 (ja) * 2007-08-28 2014-03-19 住友ベークライト株式会社 多層プリント配線板用絶縁樹脂組成物、基材付き絶縁樹脂シート、多層プリント配線板及び半導体装置
JP5464314B2 (ja) * 2007-10-01 2014-04-09 山栄化学株式会社 無機フィラー及び有機フィラー含有硬化性樹脂組成物、並びにレジスト膜被覆プリント配線板及びその製造方法
US9201299B2 (en) 2007-10-01 2015-12-01 San-Ei Kagaku Co., Ltd. Inorganic filler and organic filler-containing curable resin composition, resist film coated printed wiring board, and method for producing the same
DE102008045424B4 (de) * 2007-10-01 2018-03-22 San-Ei Kagaku Co. Ltd. Einen anorganischen Füllstoff und einen organischen Füllstoff enthaltende härtbare Kunstharzmischung und Verwendung derselben
CN102850982A (zh) * 2007-10-05 2013-01-02 日立化成工业株式会社 粘接剂组合物和使用该组合物的电路连接膜,以及电路部件的连接方法和电路连接体
JP2009096851A (ja) * 2007-10-15 2009-05-07 Three M Innovative Properties Co 非導電性接着剤組成物及び非導電性接着フィルム、並びにそれらの製造方法及び使用方法
KR100924531B1 (ko) * 2007-12-31 2009-11-02 주식회사 효성 솔-젤법을 이용한 극미세 피치용 이방성 도전 필름의제조방법
KR101023843B1 (ko) * 2008-01-11 2011-03-22 주식회사 엘지화학 점착제 조성물, 상기를 포함하는 편광판 및 액정표시장치
JP2009170753A (ja) * 2008-01-18 2009-07-30 Panasonic Corp 多層プリント配線板とこれを用いた実装体
CN101959922B (zh) * 2008-02-28 2013-08-07 积水化学工业株式会社 固化性环氧组合物、各向异性导电材料以及连接结构体
WO2009116618A1 (ja) * 2008-03-21 2009-09-24 積水化学工業株式会社 硬化性組成物、異方性導電材料及び接続構造体
JP5499448B2 (ja) * 2008-07-16 2014-05-21 デクセリアルズ株式会社 異方性導電接着剤
JP2010077305A (ja) * 2008-09-26 2010-04-08 Yokohama Rubber Co Ltd:The エポキシ樹脂組成物
JP5485523B2 (ja) * 2008-08-19 2014-05-07 積水化学工業株式会社 スクリーン印刷用接着剤
US8169679B2 (en) 2008-10-27 2012-05-01 Pixtronix, Inc. MEMS anchors
US8482931B2 (en) * 2008-12-24 2013-07-09 Panasonic Corporation Package structure
CN101515486B (zh) * 2009-03-27 2011-08-17 彩虹集团公司 一种光热固化导电浆料的制造方法
WO2010118359A2 (en) * 2009-04-10 2010-10-14 Saint-Gobain Performance Plastics Corporation Acoustic damping composition having elastomeric particulate
TWI408169B (zh) * 2009-04-10 2013-09-11 Saint Gobain Performance Plast 聲阻尼組合物
JP5792924B2 (ja) * 2009-04-30 2015-10-14 住友電気工業株式会社 接着性樹脂組成物並びにこれを用いた積層体及びフレキシブル印刷配線板
JP2010260924A (ja) * 2009-04-30 2010-11-18 Sumitomo Electric Ind Ltd 接着性樹脂組成物並びにこれを用いた積層体及びフレキシブル印刷配線板
WO2010147070A1 (ja) * 2009-06-15 2010-12-23 味の素株式会社 樹脂組成物及び有機電解液電池
CN102471651B (zh) * 2009-07-08 2013-07-17 汉高股份有限及两合公司 导电粘合剂
JP5635748B2 (ja) * 2009-08-26 2014-12-03 積水化学工業株式会社 半導体チップ接合用接着剤
CN102484326B (zh) * 2009-08-26 2014-12-10 积水化学工业株式会社 各向异性导电材料、连接结构体及连接结构体的制造方法
JP5526750B2 (ja) * 2009-12-09 2014-06-18 横浜ゴム株式会社 エポキシ樹脂組成物
JP2011132310A (ja) * 2009-12-22 2011-07-07 Nippon Zeon Co Ltd エポキシ基含有シクロペンタジエン系樹脂からなる硬化性樹脂組成物
WO2011087477A1 (en) * 2009-12-22 2011-07-21 Dow Global Technologies Llc Substantially solvent-free epoxy formulations
WO2011090038A1 (ja) * 2010-01-21 2011-07-28 積水化学工業株式会社 熱硬化性樹脂組成物、フリップチップ実装用接着剤、半導体装置の製造方法、及び、半導体装置
CN102834763B (zh) 2010-02-02 2015-07-22 皮克斯特罗尼克斯公司 用于制造填充冷密封流体的显示装置的方法
EP2531997A1 (en) 2010-02-02 2012-12-12 Pixtronix Inc. Circuits for controlling display apparatus
JP4804596B1 (ja) * 2010-03-17 2011-11-02 積水化学工業株式会社 導電性粒子、導電性粒子の製造方法、異方性導電材料及び接続構造体
KR101567131B1 (ko) * 2010-03-19 2015-11-06 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 경화성 조성물, 다이싱-다이본딩 테이프, 접속 구조체 및 점접착제층을 갖는 반도체 칩의 제조 방법
JP5619466B2 (ja) * 2010-04-13 2014-11-05 デクセリアルズ株式会社 硬化性樹脂組成物、接着性エポキシ樹脂ペースト、ダイボンド剤、非導電性ペースト、接着性エポキシ樹脂フィルム、非導電性エポキシ樹脂フィルム、異方性導電ペースト及び異方性導電フィルム
JP5654293B2 (ja) * 2010-09-03 2015-01-14 積水化学工業株式会社 半導体チップの実装方法及び半導体装置
KR101679657B1 (ko) * 2010-09-29 2016-11-25 삼성전자주식회사 유리섬유를 이용한 웨이퍼 레벨 몰드 형성방법 및 그 방법에 의한 웨이퍼 구조
CN102034720B (zh) 2010-11-05 2013-05-15 南通富士通微电子股份有限公司 芯片封装方法
CN102034721B (zh) * 2010-11-05 2013-07-10 南通富士通微电子股份有限公司 芯片封装方法
DE102011077757A1 (de) * 2010-11-24 2012-05-24 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Aushärtung eines elektrisch leitfähigen Klebstoffs und Kontaktstelle zwischen zwei Fügepartnern
JP5850621B2 (ja) * 2011-01-17 2016-02-03 積水化学工業株式会社 異方性導電ペースト、接続構造体及び接続構造体の製造方法
JP2012169263A (ja) * 2011-01-24 2012-09-06 Sekisui Chem Co Ltd 異方性導電材料、接続構造体の製造方法及び接続構造体
JP5438783B2 (ja) * 2011-02-01 2014-03-12 積水化学工業株式会社 異方性導電材料及び接続構造体
TWI608062B (zh) * 2011-05-31 2017-12-11 住友電木股份有限公司 樹脂組成物、使用它之半導體裝置及半導體裝置之製造方法
JP2011181525A (ja) * 2011-06-09 2011-09-15 Sony Chemical & Information Device Corp 異方性導電材料
CN103636068B (zh) * 2011-07-07 2017-09-08 日立化成株式会社 电路连接材料和电路基板的连接结构体
KR20140048252A (ko) * 2011-08-22 2014-04-23 미쓰이 가가쿠 가부시키가이샤 시트상 에폭시 수지 조성물 및 이를 포함하는 봉지용 시트
US9525189B2 (en) * 2011-09-26 2016-12-20 Sumitomo Chemical Company, Limited Adhesive resin composition for secondary battery
JP2013149466A (ja) * 2012-01-19 2013-08-01 Sekisui Chem Co Ltd 異方性導電材料、接続構造体及び接続構造体の製造方法
JP2013149467A (ja) * 2012-01-19 2013-08-01 Sekisui Chem Co Ltd 異方性導電フィルム、接続構造体及び接続構造体の製造方法
JP2013175546A (ja) * 2012-02-24 2013-09-05 Dexerials Corp アンダーフィル材、及びそれを用いた半導体装置の製造方法
WO2013150907A1 (ja) * 2012-04-02 2013-10-10 株式会社スリーボンド 導電性組成物
TWI600701B (zh) * 2012-07-19 2017-10-01 長瀨化成股份有限公司 A semiconductor sealing epoxy resin composition and a method of manufacturing the semiconductor device
CN110699024A (zh) 2012-08-03 2020-01-17 Lg化学株式会社 粘合膜和使用该粘合膜的有机电子装置封装产品
US9840058B2 (en) * 2012-10-31 2017-12-12 Dunlop Sports Co. Ltd. Fiber-reinforced epoxy resin material, prepreg and, tubular body made of fiber-reinforced epoxy resin material
KR101551758B1 (ko) * 2012-12-11 2015-09-09 제일모직주식회사 이방 도전성 필름용 조성물 및 이방 도전성 필름
US9134552B2 (en) 2013-03-13 2015-09-15 Pixtronix, Inc. Display apparatus with narrow gap electrostatic actuators
JP6456027B2 (ja) * 2013-03-27 2019-01-23 日東電工株式会社 封止シート、封止シートの製造方法及び電子部品パッケージの製造方法
JP6131087B2 (ja) * 2013-04-04 2017-05-17 協立化学産業株式会社 電池のタブリード封止用液状組成物及び電池の製造方法
US20140299268A1 (en) * 2013-04-09 2014-10-09 The Boeing Company Thermally Curable Bonding Film Adhesive with Uniform Thickness
KR101676527B1 (ko) * 2013-06-25 2016-11-16 제일모직주식회사 이방성 도전 필름, 이를 포함하는 영상 표시 장치 및 반도체 장치
CN104250525B (zh) * 2013-06-25 2016-04-20 第一毛织株式会社 各向异性导电膜、图像显示器及半导体装置
RU2550383C2 (ru) * 2013-08-06 2015-05-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственный центр автоматики и приборостроения имени академика Н.А. Пилюгина" (ФГУП "НПЦАП") Склеивающая прокладка сфг
JP6408759B2 (ja) * 2013-11-08 2018-10-17 デクセリアルズ株式会社 接着剤組成物、及びフィルム巻装体
CN103555245B (zh) * 2013-11-18 2015-01-14 湖南固特邦土木技术发展有限公司 一种铰缝修复加固用环氧胶粘剂及其应用
TWI688971B (zh) * 2015-03-30 2020-03-21 日商則武股份有限公司 加熱硬化型導電性糊
EP3277369B1 (en) 2015-03-30 2019-12-25 CEFALY Technology Sprl Device for the transcutaneous electrical stimulation of the trigeminal nerve
JP6624545B2 (ja) 2015-03-31 2019-12-25 パナソニックIpマネジメント株式会社 熱硬化性樹脂組成物、金属張積層板、絶縁シート、プリント配線板、プリント配線板の製造方法及びパッケージ基板
EP3824916A1 (en) * 2015-09-30 2021-05-26 Jichi Medical University Viscoelastic composition
CN108028477A (zh) 2015-10-07 2018-05-11 迪睿合株式会社 各向异性导电膜和连接结构体
JP6566027B2 (ja) * 2016-03-17 2019-08-28 東レ株式会社 感光性導電ペーストおよび導電パターン付基板の製造方法
JP6672953B2 (ja) * 2016-03-29 2020-03-25 味の素株式会社 樹脂シート
CN105702170A (zh) * 2016-04-05 2016-06-22 京东方科技集团股份有限公司 胶材、柔性模组、显示设备及柔性模组的制作方法
US10400072B2 (en) 2016-04-25 2019-09-03 3M Innovative Properties Company Composite particles for curing epoxy resin compositions and curable and cured epoxy resin compositions prepared using the particles
JP2018035286A (ja) * 2016-09-01 2018-03-08 パナソニックIpマネジメント株式会社 導電性樹脂組成物及びそれを用いた電子回路部材
JP6530734B2 (ja) * 2016-09-28 2019-06-12 株式会社タムラ製作所 熱硬化性フラックス組成物および電子基板の製造方法
JP6452659B2 (ja) * 2016-09-28 2019-01-16 株式会社タムラ製作所 熱硬化性フラックス組成物および電子基板の製造方法
JP6894221B2 (ja) * 2016-12-02 2021-06-30 ククド ケミカル カンパニー リミテッド 異方性導電フィルム、これを含む積層フィルム、およびこれらの製造方法
US10629557B2 (en) * 2016-12-30 2020-04-21 Intel Corporation Improving mechanical and thermal reliability in varying form factors
TWI778041B (zh) * 2017-03-31 2022-09-21 日商日鐵化學材料股份有限公司 纖維強化複合材料用環氧樹脂組成物、纖維強化複合材料及成形體
DE202018001803U1 (de) 2017-05-19 2018-06-27 Cefaly Technology Sprl Externe Trigeminusnervenstimulation für die Akutbehandlung von Migräneattacken
KR102097800B1 (ko) * 2017-06-21 2020-04-06 삼성에스디아이 주식회사 정제 상의 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물 및 이를 사용하여 밀봉된 반도체 장치
JP6596611B1 (ja) * 2017-12-25 2019-10-23 ペルノックス株式会社 熱硬化性組成物及びペースト
US10739712B2 (en) * 2018-03-22 2020-08-11 Canon Kabushiki Kaisha Fixing member, fixing device, and electrophotographic image forming apparatus
CN108682475A (zh) * 2018-03-22 2018-10-19 衢州顺络电子有限公司 导电浆料及导电干膜制备方法
CN112243454B (zh) 2018-06-14 2022-03-22 3M创新有限公司 处理表面的方法、表面改性的磨料颗粒和树脂粘结磨具制品
US11168237B2 (en) 2018-06-14 2021-11-09 3M Innovative Properties Company Adhesion promoters for curable compositions
TWI853851B (zh) 2018-11-15 2024-09-01 中國商深圳華大智造科技有限公司 微流體裝置與其製備方法
CN113454151A (zh) 2018-12-20 2021-09-28 艾利丹尼森公司 具有高填料含量的粘合剂
WO2020157805A1 (ja) * 2019-01-28 2020-08-06 日立化成株式会社 接着剤組成物、フィルム状接着剤、接着シート、及び半導体装置の製造方法
KR102287235B1 (ko) * 2019-10-30 2021-08-06 에스케이씨솔믹스 주식회사 가교도가 조절된 연마패드 및 이의 제조방법
EP3838981A1 (de) * 2019-12-18 2021-06-23 Hilti Aktiengesellschaft Reaktivharzkomponente, diese enthaltendes reaktivharzsystem und deren verwendung
CN111234753B (zh) * 2020-04-03 2022-02-25 世晨材料技术(上海)有限公司 一种具有高玻璃化转变温度的胶粘剂组合物及其应用
US20230078492A1 (en) * 2020-05-08 2023-03-16 Lintec Corporation Wiring sheet
WO2022123498A1 (en) 2020-12-10 2022-06-16 3M Innovative Properties Company Crosslinked polymer particles and related compositions and processes
TWI894427B (zh) * 2021-01-20 2025-08-21 日商積水化學工業股份有限公司 非導電性助焊劑、連接構造體及連接構造體之製造方法
KR20230115323A (ko) * 2021-03-26 2023-08-02 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 접속 필름 및 접속 구조체의 제조 방법
CN113376217A (zh) * 2021-06-24 2021-09-10 哈尔滨理工大学 一种用于固化与测量环氧基复合材料电导率的模具及方法
TW202444786A (zh) 2023-03-09 2024-11-16 日商拓自達電線股份有限公司 導電性組成物
CN116970131B (zh) * 2023-09-11 2024-12-13 广州境好新材料有限公司 一种超低酸值醇酸树脂水分散体及其制备方法

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59230068A (ja) 1983-06-14 1984-12-24 Asahi Chem Ind Co Ltd 新規な粉体塗料用エポキシ樹脂組成物
US4940740A (en) 1989-04-21 1990-07-10 Basf Aktiengesellschaft Single phase toughened heat-curable resin systems exhibiting high strength after impact
JP2541367Y2 (ja) 1990-03-12 1997-07-16 ホシザキ電機株式会社 ラック受渡し装置
JPH04332722A (ja) 1991-05-07 1992-11-19 Toagosei Chem Ind Co Ltd エポキシ樹脂組成物
JP3114162B2 (ja) 1991-07-14 2000-12-04 ソニーケミカル株式会社 電気的接続方法
US5392951A (en) * 1993-05-20 1995-02-28 Lionville Systems, Inc. Drawer operating system
JP3655646B2 (ja) * 1993-05-24 2005-06-02 日産自動車株式会社 エポキシ樹脂用接着補強剤及び該補強剤を含有する自動車用エポキシ樹脂系構造接着性組成物
IL109921A (en) 1993-06-24 1997-09-30 Quickturn Design Systems Method and apparatus for configuring memory circuits
KR970703380A (ko) 1995-03-14 1997-07-03 나가세 히로시 오르가노폴리실록산 유도체(organopolysiloxane derivative)
US6223429B1 (en) * 1995-06-13 2001-05-01 Hitachi Chemical Company, Ltd. Method of production of semiconductor device
TW340967B (en) * 1996-02-19 1998-09-21 Toray Industries An adhesive sheet for a semiconductor to connect with a substrate, and adhesive sticking tape for tab, an adhesive sticking tape for wire bonding connection, a substrate for connecting with a semiconductor and a semiconductor device
DE69716270T2 (de) * 1996-07-15 2003-07-10 Hitachi Chemical Co., Ltd. Klebefilm zum verbinden einer schaltung und einer leiterplatte
US6309502B1 (en) * 1997-08-19 2001-10-30 3M Innovative Properties Company Conductive epoxy resin compositions, anisotropically conductive adhesive films and electrical connecting methods
GB9718469D0 (en) 1997-09-02 1997-11-05 Ciba Geigy Ag Epoxy resin compositions
JP2000248052A (ja) 1999-03-04 2000-09-12 Nippon Kayaku Co Ltd 透明薄膜用樹脂組成物及びその硬化物
ATE316560T1 (de) * 1999-06-18 2006-02-15 Hitachi Chemical Co Ltd Klebstoff, klebstoffgegenstand, schaltungssubstrat für halbleitermontage mit einem klebstoff und eine halbleiteranordnung die diesen enthält
JP2001323246A (ja) 2000-03-07 2001-11-22 Sony Chem Corp 電極接続用接着剤及びこれを用いた接着方法
KR100894207B1 (ko) * 2000-03-31 2009-04-22 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 접착제 조성물, 그의 제조 방법, 이것을 사용한 접착 필름,반도체 탑재용 기판 및 반도체 장치
JP3711842B2 (ja) * 2000-06-01 2005-11-02 ソニーケミカル株式会社 異方性導電接続材料及び接続構造体
JP2002060467A (ja) 2000-08-15 2002-02-26 Jsr Corp 熱硬化性樹脂組成物およびその硬化物
JP3847095B2 (ja) 2001-02-16 2006-11-15 住友ベークライト株式会社 半導体用樹脂ペースト及び半導体装置
JP2002313143A (ja) 2001-04-18 2002-10-25 Sekisui Chem Co Ltd 微粒子配置導電接続フィルム、微粒子配置導電接続フィルムの製造方法及び導電接続構造体

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI488745B (zh) * 2010-12-29 2015-06-21 Cheil Ind Inc 雙層各向異性導電膜和包括該導電膜的裝置
US9173303B2 (en) 2010-12-29 2015-10-27 Cheil Industries, Inc. Anisotropic conductive film and apparatus including the same
TWI550651B (zh) * 2012-09-21 2016-09-21 第一毛織股份有限公司 各向異性導電膜及包含該各向異性導電膜之半導體裝置
US10504866B2 (en) 2012-09-21 2019-12-10 Kudko Chemical Co., Ltd. Semiconductor device connected by anisotropic conductive film

Also Published As

Publication number Publication date
EP1584657A4 (en) 2007-03-21
EP1584657A1 (en) 2005-10-12
US7645514B2 (en) 2010-01-12
CN1735660A (zh) 2006-02-15
US20060154078A1 (en) 2006-07-13
KR20070106039A (ko) 2007-10-31
AU2003296145A1 (en) 2004-07-29
CN100587002C (zh) 2010-02-03
KR20050101168A (ko) 2005-10-20
JP4238124B2 (ja) 2009-03-11
KR100932045B1 (ko) 2009-12-15
WO2004060996A1 (ja) 2004-07-22
JP2005126658A (ja) 2005-05-19
TW200417576A (en) 2004-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI314571B (zh)
TWI583766B (zh) 接著膜、切割片一體型接著膜、背面硏磨膠帶一體型接著膜、背面硏磨膠帶兼切割片一體型接著膜、疊層體、疊層體之硬化物、半導體裝置及半導體裝置之製造方法
TWI593774B (zh) 各向異性導電膜及藉由其所黏合的半導體裝置
JP2009041019A (ja) 硬化性樹脂組成物、接着性エポキシ樹脂ペースト、接着性エポキシ樹脂シート、導電接続ペースト、導電接続シート及び電子部品接合体
TWI452110B (zh) A circuit-connecting material, a connecting structure using it, and a method of temporarily pressing
JP2011157529A (ja) 接着剤組成物、半導体装置の製造方法、及び、半導体装置
JP4449325B2 (ja) 半導体用接着フィルム、半導体装置、及び半導体装置の製造方法。
TW201131587A (en) Conductive connection material and method for forming a connection between terminals by using such material
TWI455152B (zh) 電路連接用接著膜及其用途、電路連接構造體及其製造方法、以及電路構件的連接方法
TW201904007A (zh) 半導體用膜狀接著劑、半導體裝置的製造方法及半導體裝置
JP5866851B2 (ja) 半導体装置の製造方法、フィルム状接着剤及び接着剤シート
CN101016402A (zh) 固化性树脂组合物、粘接性环氧树脂膏、粘接性环氧树脂薄片、导电连接膏、导电连接薄片和电子器件接合体
TWI606110B (zh) 異向導電性接著劑組成物、膜狀接著劑、連接結構體、連接結構體的製造方法以及半導體裝置
JP2017132919A (ja) 異方導電性接着剤組成物、フィルム状接着剤、接続構造体及び半導体装置
JP2006022195A (ja) 硬化性樹脂組成物、接着性エポキシ樹脂シート及び回路基板接合体
TW201235395A (en) Film-like resin composition for sealing and filling semiconductor, method for manufacturing semiconductor device, and semiconductor device
TWI554162B (zh) 電路連接用接著膜及其用途、電路連接構造體及其製造方法、以及電路構件的連接方法
JP2018174069A (ja) 異方導電フィルム、接続構造体及び接続構造体の製造方法
JP7622368B2 (ja) ダイシング・ダイボンディング一体型フィルム、ダイボンディングフィルム、及び半導体装置の製造方法
TW200842173A (en) Adhesive film, and connection structure and connecting method for circuit member
JP2010239106A (ja) 半導体チップ接合用接着剤
JP2009167385A (ja) 封止充てん用樹脂組成物、並びに半導体装置及びその製造方法
JP5103870B2 (ja) 半導体用接着組成物、それを用いた半導体装置および半導体装置の製造方法
JP2022126264A (ja) 樹脂組成物、硬化物、及び半導体装置
TWI452103B (zh) 電路連接用接著膜及其用途、電路連接構造體及其製造方法、以及電路構件的連接方法

Legal Events

Date Code Title Description
MK4A Expiration of patent term of an invention patent