TW201407279A - 感光性樹脂組成物及其應用 - Google Patents
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Abstract
本發明係有關一種感光性樹脂組成物,其包含鹼可溶性樹脂(A)、含乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)、鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)、熱起始劑(E)以及溶劑(F)。藉由添加鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)與熱起始劑(E),可製得解析度與顯影時密著性佳的感光性樹脂組成物。其次,本發明更提供使用上述感光性樹脂組成物形成之間隙體或保護膜及其液晶顯示元件。
Description
本發明是有關於一種感光性樹脂組成物及使用該組成物所形成之間隙體或保護膜及其液晶顯示元件,且特別是有關於一種解析度與顯影時密著性佳的感光性樹脂組成物及使用該組成物所形成之間隙體或保護膜及其液晶顯示元件。
一般而言,彩色濾光層表面之彩色印刷的畫素與黑色矩陣會產生凹凸不平之處,一般係於彩色濾光層之表面形成保護膜,藉此隱藏不平之處,進而達到平坦化之要求。
然而,在製造液晶顯示元件或固態成像裝置等光學元件中,會遇到嚴苛條件下之處理程序,例如在基板表面以酸性溶劑或鹼性溶液浸泡之處理或以濺鍍(Sputtering)形成配線電極層時,會造成局部腐蝕或高溫的產生。因此,需於這些元件之表面上鋪設保護膜,以防止製造時元件受損。為使保護膜具有抵禦上述處理之特性,該保護膜需要與基板間具有優異之附著力、也需具有高透明度、高表面硬度與平滑的表面。而具高耐熱性與耐光性之保護膜亦可於長期使用下不會有變色、黃化或白化等變質情況發生。此外,該保護膜還需具有良好的耐水性、耐化性、耐溶劑性、耐酸性、耐鹼性等特性。
另一方面,在習知技術中,彩色液晶顯示元件中,為了維持兩個基板間固定之層間距(細胞間隙),係於整個基
板上隨機噴灑如聚苯乙烯珠或矽珠,其中該珠之直徑係為兩基板間之間距。然而,此習知方式因噴珠之位置及密度分佈並不均勻,造成背光源之光線受噴珠影響而散射,進一步使得顯示元件的對比度降低。因此,以光微影製程(photolithography)方式所開發出之間隙體用感光性組成物,遂成為業界之主流。該間隙體之形成方式,乃將該間隙體用之感光性組成物先塗佈至基板,再於基板與曝光源間放入一指定形狀光罩,可於曝光後再經顯影形成一間隙體。依據此方法,可於R、G、B畫素外的指定位置上形成間隙體,以解決習知技術之問題;細胞間隙也可利用感光性成分形成之塗膜厚度來控制,使細胞間隙的距離變得容易控制,具有精度高之優點。
由於該保護膜或間隙體係形成於彩色濾光片或是基板上,對透明度之要求極高。若保護膜或間隙體之透明度不佳,當應用於液晶顯示元件時,將造成液晶顯示元件之亮度不足,而影響液晶顯示元件之顯示品質。
為提高保護膜或間隙體之透明度,日本特開2010-054561號專利揭示一保護膜用之感光組成物,其包含(A)鹼可溶性黏結樹脂;(B)乙烯性不飽和基之化合物;(C)光起始劑;及(D)溶劑;其中該(B)乙烯性不飽和基之化合物中不飽和鍵之結合當量為介於90至450 g/eq,且(B)乙烯性不飽和基之化合物中,單一化合物之不飽和雙鍵為介於2至4個之間,及該(A)鹼可溶性黏結樹脂之重量平均分子量為介於10,000至20,000間。另一方面,日本特開2004-240241號專利揭示一感光組成物,其包含(A)共聚合
物,該共聚物係由乙烯性不飽合羧酸(酐)、具環氧基之乙烯性不飽合基之化合物及其他乙烯性不飽合基之化合物;(B)乙烯性不飽合基之聚合物所共聚合而得;及(C)光起始劑,其為2-丁二酮-[4-甲硫基苯]-2-(O-肟醋酸鹽)、1,2-丁二酮-1-(4-嗎啉基苯基)-2-(O-苯甲醯肟)、1,2-辛二酮-1-[4-苯硫基苯]-2-[O-(4-甲基苯甲醯)肟]或其類似物。然而此等感光性組成物雖可製得高透明性之保護膜或間隙體,但卻有解析度與顯影時密著性不佳之缺點。
有鑑於此,目前亟需發展一種解析度與顯影時密著性佳的間隙體或保護膜用感光性樹脂組成物,以克服習知保護膜或間隙體之上述種種問題。
因此,本發明之一態樣是在提供一種感光性樹脂組成物,該感光性樹脂組成物至少包含鹼可溶性樹脂(A)、含乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)、鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)、熱起始劑(E)以及溶劑(F)。
本發明之另一態樣是在提供一種間隙體,其係利用上述感光性樹脂組成物依序經預烤處理、曝光處理、顯影處理及後烤處理,而形成具有圖案之間隙體。
本發明之又一態樣是在提供一種間隙體,其係利用上述感光性樹脂組成物依序經預烤處理、曝光處理、顯影處理及後烤處理,而形成具有圖案之保護膜。
本發明之再一態樣是在提供一種液晶顯示元件,其係具備上述間隙體或保護膜,藉此改善習知之感光性樹脂組
成物無法得到解析度與顯影時密著性佳的間隙體或保護膜等缺點。
本發明之感光性樹脂組成物包括鹼可溶性樹脂(A)、含乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)、鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)、熱起始劑(E)以及溶劑(F),以下析述之。
惟需說明的是,本發明中,以(甲基)丙烯酸表示丙烯酸及/或甲基丙烯酸,同樣地,以(甲基)丙烯酸酯表示丙烯酸酯及/或甲基丙烯酸酯;以(甲基)丙烯醯表示丙烯醯及/或甲基丙烯醯。
本發明之鹼可溶性樹脂(A)係指可溶於鹼性水溶液中的樹脂,其構造並無特別限制,於本發明之一較佳具體例中,鹼可溶性樹脂(A)係指含羧酸基之樹脂、苯酚-酚醛清漆(phenol-novolac)樹脂等,更佳地,鹼可溶性樹脂(A)係由不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)、含環氧基之不飽和化合物(a2)及/或其他不飽和化合物(a3)在適當之聚合起始劑存在下於溶劑中所共聚合而得。
上述之不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)係指包含羧酸基或羧酸酐結構及聚合結合用之不飽和鍵之化合物,其結構並無特別限制,可包括但不限於不飽和單羧酸化合物、不飽和二羧酸化合物、不飽和酸酐化合物、多環型不飽和羧酸化合物、多環型不飽和二羧酸化合物、多環型不飽和酸酐化合物。
前述不飽和單羧酸化合物之具體例如:(甲基)丙烯酸、丁烯酸、α-氯丙烯酸、乙基丙烯酸、肉桂酸、2-(甲基)丙烯醯乙氧基丁二酸酯、2-(甲基)丙烯醯乙氧基六氫化苯二甲酸酯、2-(甲基)丙烯醯乙氧基苯二甲酸酯、omega-羧基聚己內酯多元醇單丙烯酸酯(商品名為ARONIX M-5300,東亞合成製)。前述不飽和二羧酸化合物之具體例如:馬來酸、富馬酸、甲基富馬酸、衣康酸、檸康酸等。於本發明之具體例中,不飽和二羧酸酐化合物為前述不飽和二羧酸化合物之酸酐化合物。前述多環型不飽和羧酸化合物之具體例如:5-羧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯。前述多環型不飽和二羧酸化合物之具體例如:5,6-二羧酸二環[2.2.1]庚-2-烯。前述多環型不飽和二羧酸酐化合物為前述多環型不飽和二羧酸化合物之酸酐化合物。
上述不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)之較佳具體例為丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸酐、2-甲基丙烯醯乙氧基丁二酸酯及2-甲基丙烯醯基乙氧基六氫化苯二甲酸。
上述不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)可單獨或混合複數種使用。基於不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)、含環氧基之不飽和化合物(a2)、其他不飽和化合物(a3)之合計使用量100重量份,不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)之使用量較佳為5重量份至50重量份。
上述含環氧基之不飽和化合物(a2)可包括但不限於含
環氧基之(甲基)丙烯酸酯化合物、含環氧基之α-烷基丙烯酸酯化合物、環氧丙醚化合物等。
前述含環氧基之(甲基)丙烯酸酯化合物之具體例如:(甲基)丙烯酸環氧丙酯、(甲基)丙烯酸2-甲基環氧丙酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧丁酯、(甲基)丙烯酸6,7-環氧庚酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯。前述含環氧基之α-烷基丙烯酸酯化合物之具體例如:α-乙基丙烯酸環氧丙酯、α-正丙基丙烯酸環氧丙酯、α-正丁基丙烯酸環氧丙酯、α-乙基丙烯酸6,7-環氧庚酯。前述環氧丙醚化合物之具體例如:鄰-乙烯基苯甲基環氧丙醚(o-vinylbenzylglycidylether)、間-乙烯基苯甲基環氧丙醚(m-vinylbenzylglycidylether)、對-乙烯基苯甲基環氧丙醚(p-vinylbenzylglycidylether)。
上述含環氧基之不飽和化合物(a2)之較佳具體例為甲基丙烯酸環氧丙酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯、甲基丙烯酸6,7-環氧庚酯、鄰-乙烯基苯甲基環氧丙醚、間-乙烯基苯甲基環氧丙醚及對-乙烯基苯甲基環氧丙醚。
上述含環氧基之不飽和化合物(a2)可單獨或混合複數種使用。基於不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)、含環氧基之不飽和化合物(a2)、其他不飽和化合物(a3)之合計使用量100重量份,含環氧基之不飽和化合物(a2)之使用量較佳為10重量份至70重量份。
上述其他不飽和化合物(a3)可包括但不限於為(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸脂環族酯、(甲基)丙烯酸芳基
酯、不飽和二羧酸二酯、(甲基)丙烯酸羥烷酯、(甲基)丙烯酸酯之聚醚、芳香乙烯化合物及前述以外之其他不飽和化合物。
前述(甲基)丙烯酸烷基酯之具體例如:(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸二級丁酯、(甲基)丙烯酸三級丁酯。前述(甲基)丙烯酸脂環族酯之具體例如:(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基環己酯、三環[5.2.1.02,6]癸-8-基(甲基)丙烯酸酯(或稱為(甲基)丙烯酸雙環戊酯)、(甲基)丙烯酸二環戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸四氫呋喃酯。前述(甲基)丙烯酸芳基酯之具體例如:(甲基)丙烯酸苯基酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯。前述不飽和二羧酸二酯之具體例如馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯。前述(甲基)丙烯酸羥烷酯之具體例如:(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯。前述(甲基)丙烯酸酯之聚醚之具體例如:聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯。前述芳香乙烯化合物之具體例如:苯乙烯、α-甲基苯乙烯、間-甲基苯乙烯,對-甲基苯乙烯、對-甲氧基苯乙烯。前述以外之其他不飽和化合物之具體例如:丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯醯胺、甲基丙烯醯胺、乙烯乙酯、1,3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基1,3-丁二烯、N-環己基馬來醯亞胺、N-苯基馬來醯亞胺、N-芐基馬來醯亞胺,N-丁二醯亞胺基-3-馬來醯亞胺苯甲酸酯、N-丁二醯亞胺基-4-馬來醯亞胺丁酸酯、N-丁二醯亞胺
基-6-馬來醯亞胺己酸酯、N-丁二醯亞胺基-3-馬來醯亞胺丙酸酯、N-(9-吖啶基)馬來醯亞胺。
上述其他不飽和化合物(a3)之較佳具體例為(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸三級丁酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸雙環戊酯、(甲基)丙烯酸二環戊氧基乙酯、苯乙烯、對-甲氧基苯乙烯。
上述其他不飽和化合物(a3)可單獨或混合複數種使用。基於不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)、含環氧基之不飽和化合物(a2)、其他不飽和化合物(a3)之合計使用量100重量份,其他不飽和化合物(a3)之使用量較佳為0重量份至70重量份。
本發明之鹼可溶性樹脂(A)在製造時所使用溶劑可包括但不限於醇、醚、二醇醚、乙二醇烷基醚乙酸醋酸酯、二乙二醇、二丙二醇、丙二醇單烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸醋酸酯、丙二醇烷基醚丙酸酯、芳香烴、酮、酯。
前述醇之具體例如:甲醇、乙醇、苯甲醇、2-苯乙醇、3-苯基-1-丙醇。前述醚之具體例如:四氫呋喃。前述二醇醚之具體例如:乙二醇單丙醚、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚。前述乙二醇烷基醚醋酸酯之具體例如:乙二醇丁醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯、乙二醇甲醚醋酸酯。前述二乙二醇之具體例如:二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲乙醚。前述二丙二醇之具體例如:二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、
二丙二醇甲乙醚。前述丙二醇單烷基醚之具體例如:丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙醚、丙二醇單丁醚。前述丙二醇烷基醚醋酸酯之具體例如:丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丙醚醋酸酯、丙二醇丁醚醋酸酯。前述丙二醇烷基醚丙酸酯之具體例如:丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇丁醚丙酸酯。前述芳香烴之具體例如:甲苯、二甲苯。前述酮之具體例如:甲乙酮、環己酮、二丙酮醇。前述酯之具體例如:乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、羥乙酸甲酯、羥乙酸乙酯、羥乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羥基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酯、3-羥基丙酸丙酯、3-羥基丙酸丁酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲
酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯。
本發明之鹼可溶性樹脂(A)在製造時所使用溶劑之較佳具體例為二乙二醇二甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯。上述溶劑可單獨或混合複數種使用。
本發明之鹼可溶性樹脂(A)在製造時所使用之聚合起始劑,其具體例為偶氮化合物或過氧化物。前述偶氮化合物之具體例如:2,2'-偶氮二異丁腈、2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、2,2'-偶氮二(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、2,2'-偶氮二(2-甲基丁腈)、4,4'-偶氮二(4-氰基戊酸)、2,2'-偶氮二(二甲基-2-甲基丙酸酯)。前述過氧化物之具體例如:過氧化二苯甲醯、過氧化二月桂醯(dilauroyl peroxide)、第三丁基過氧化新戊酸酯(tert-butyl peroxypivalate)、1,1-二(第三丁基過氧化)環己烷(1,1-di(tert-butylperoxy)cyclohexane)、過氧化氫。上述聚合起始劑可單獨或混合複數種使用。
本發明之鹼可溶性樹脂(A)之重量平均分子量一般為3,000至100,000,較佳為4,000至80,000,更佳為5,000至60,000。本發明鹼可溶性樹脂(A)之分子量調整,可使用單一樹脂,亦可併用兩種或兩種以上不同分子量之樹脂來達成。
根據本發明之含乙烯性不飽和基的化合物(B)係指具有至少一個乙烯性不飽和基之化合物。
於本發明之具體例中,具有一個乙烯性不飽和基化合物為:丙烯醯胺、(甲基)丙烯醯嗎啉、(甲基)丙烯酸-7-氨基-3,7-二甲基辛酯、異丁氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸異冰片基氧乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、乙基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、第三辛基(甲基)丙烯醯胺、二丙酮(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸二甲氨基酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯氧乙酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、N,N-二甲基(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸四氯苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸四溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四溴苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-三氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸三溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-三溴苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥丙酯、乙烯基己內醯胺、N-乙烯基皮酪烷酮、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸五氯苯酯、(甲基)丙烯酸五溴苯酯、聚單(甲基)丙烯酸甘醇酯、聚單(甲基)丙烯酸丙二醇酯、(甲基)丙烯酸冰片酯、二乙二醇單乙基醚(甲基)丙烯酸酯、3-甲氧基(甲基)丙烯酸丁酯、2-(甲基)丙烯醯氧乙基-2-羥丙基酞酸酯、omega-羧基聚己內酯單丙烯酸酯、ARONIX M-101、M-111、M-114、M-5300(東亞合成製)、KAYARAD TC-110S、TC-120S(日本化藥製)、Viscoat 158、2311(大阪有機化學工業製)。
於本發明之具體例中,具有2個或2個以上乙烯性不飽和基之化合物為:二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、三乙二醇
二丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥乙基)異氰酸酯二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥乙基)異氰酸酯三(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質之三(2-羥乙基)異氰酸酯三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、環氧乙烷(以下簡稱EO)改質之三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、環氧丙烷(以下簡稱PO)改質之三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,9-壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、雙(乙醇基苯氧基)芴二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、聚酯二(甲基)丙烯酸酯、聚甘醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質之二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質之二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、四(甲基)丙烯酸二三羥甲基丙酯、EO改質之雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、PO改質之雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、EO改質之氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、PO改質之氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、PO改質之甘油三丙酸酯、EO改質之雙酚F二(甲基)丙烯酸酯、酚醛聚縮水甘油醚(甲基)丙烯酸酯、三(2-(甲基)丙烯醯氧乙基)磷酸酯ARONIX M-210、M-240、M-6200、M-309、M-400、M-405、M-450、M-7100、M-8030、M-8060;TO-1450(東亞合成製)、KAYARAD HDDA、HX-220、R-604、DPHA、TMPTA、DPCA-20、DPCA-30、DPCA-60、DPCA-120(日本化藥製)、Viscoat 260、312、335H.P.、295、300、360、GPT、3PA、400(大阪有機化學工業製)。
具有9個或9個以上之乙烯性不飽和基之化合物為:係具有乙烯直鏈及脂肪環結構,例如將具二個以上之異氰酸酯基的化合物,與一分子內具有一或多個羥基且具有三、四或五個官能基之(甲基)丙烯酸酯化合物反應,而得之聚胺酯丙烯酸酯化合物。其具體例為New frontier R-1150(第一工業製藥製)、KAYARAD DPHA-40H(日本化藥製)。
較佳地,該含乙烯性不飽和基的化合物(B)為三丙烯酸三羥甲基丙酯、EO改質之三丙烯酸三羥甲基丙酯、PO改質之三丙烯酸三羥甲基丙酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、己內酯改質之二季戊四醇六丙烯酸酯、四丙烯酸二三羥甲基丙酯、PO改質之甘油三丙酸酯,該等含乙烯性不飽和基的化合物(B)可單獨一種或混合複數種使用。
本發明之含乙烯性不飽和基的化合物(B)之使用量可依需要調配,於本發明之一具體例中,以100重量份之鹼可溶性樹脂(A)為基準,本發明含乙烯性不飽和基之化合物(B)的使用量為20重量份至200重量份,較佳為25重量份至190重量份,更佳為30重量份至180重量份。
本發明之光起始劑(C)無特別限制,於本發明之一具體例中,其包含O-醯基肟系光起始劑、三氮雜苯系光起始劑、苯乙烷酮類化合物、二咪唑類化合物、二苯甲酮類化合物、α-二酮類化合物、酮醇類化合物、酮醇醚類化合物、醯膦
氧化物類化合物、醌類化合物、含鹵素類化合物、過氧化物等。
前述O-醯基肟系光起始劑之具體例為:1-[4-(苯基硫代)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、1-[4-(苯醯基)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙醯基肟)、1-[9-乙基-6-(3-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙醯基肟)、1-[9-乙基-6-苯醯基-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫吡喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫呋喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫吡喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫吡喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫呋喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫吡喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜戊環基)苯醯基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜戊環基)甲
氧基苯醯基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)等。
該O-醯基肟系光起始劑依需要可單獨一種或混合複數種使用。前述O-醯基肟系光起始劑,較佳者為1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜戊環基)甲氧基苯醯基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)等。
本發明中之三氮雜苯系光起始劑之具體例如乙烯基-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物、2-(萘并-1-取代基)-4,6-雙-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物及4-(對-胺基苯基)-2,6-二-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物等。
乙烯基-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物之具體例如:2,4-雙(三氯甲基)-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-3-(1-對-二甲基胺基苯基-1,3-丁二烯基)-s-三氮雜苯、2-三氯甲基-3-胺基-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯等。
2-(萘并-1-取代基)-4,6-雙-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物之具體例如:2-(萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-乙氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-丁氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-甲氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-乙氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-
雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-丁氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(2-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-甲氧基-5-甲基-萘并-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-甲氧基-萘并-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(5-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4,7-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-乙氧基-萘并-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4,5-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯等。
4-(對-胺基苯基)-2,6-二-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物之具體例如:4-[對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-甲基-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-甲基-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N,N-二(苯基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-氯乙基羰基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N-(對-甲氧基苯基)羰基胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氯-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、
4-[間-氟-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氯-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氟-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-溴-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氯-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氟-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-溴-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氯-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氟-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-溴-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氯-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氟-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-溴-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氯-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氟-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-溴-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氯-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氟-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-溴-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氯-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、
4-(鄰-氟-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-6-[3-溴-4-[N,N-雙(乙氧基羰基甲基)胺基]苯基]-1,3,5-三氮雜苯等。
該三氮雜苯系光起始劑依需要可單獨一種或混合複數種使用。該三氮雜苯系光起始劑較佳者為:4-[間-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯等。
其中,苯乙烷酮類化合物具體例如:對二甲胺苯乙烷酮、α,α’-二甲氧基氧化偶氮苯乙烷酮、2,2’-二甲基-2-苯基苯乙烷酮、對-甲氧基苯乙烷酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎福啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮。依需要可單獨一種或混合複數種使用。較佳者為:2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎福啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮。
二咪唑類化合物如:2,2’-雙(鄰-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-氟苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-甲基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-乙基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(對-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(2,2’,4,4’-四甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑等。依需要可單獨一種或混合複數種使用;較佳為2,2’-雙(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑。
二苯甲酮類化合物之具體例如:噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、噻噸酮-4-碸、二苯甲酮、4,4’-雙(二甲胺)二苯甲酮、4,4’-雙(二乙胺)二苯甲酮等。依需要可單獨一種或混合複數種使用;較佳為4,4’-雙(二乙胺)二苯甲酮。
α-二酮類化合物之具體例如:苯偶醯、乙醯基等;酮醇類化合物之具體例如:二苯乙醇酮;酮醇醚類化合物之具體例如:二苯乙醇酮甲醚、二苯乙醇酮乙醚、二苯乙醇酮異丙醚等;醯膦氧化物類化合物之具體例如:2,4,6-三甲基苯醯二苯基膦氧化物、雙-(2,6-二甲氧基苯醯)-2,4,4-三甲基苯基膦氧化物等;醌類化合物之具體例如:蒽醌、1,4-萘醌等;含鹵素類化合物之具體例如:苯醯甲基氯、三溴甲基苯碸、三(三氯甲基)-s-三氮雜苯等;過氧化物之具體例如:二-第三丁基過氧化物。依需要可單獨一種或混合複數種使用。
本發明之光起始劑(C)的使用量可依需要調配,於本發明之一具體例中,基於含乙烯性不飽和基之化合物(B)之使用量為100重量份,光起始劑(C)之使用量為10重量份至80重量份,較佳為12重量份至75重量份,更佳為15重量份至70重量份。
本發明之鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)沒有特別的限制,可選用一般所使用的。該鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)可為完全酯化或部份酯化的酯化物。較佳地,該鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)係由鄰萘醌二疊氮磺酸或其鹽類與羥基化合物反應所
製得。更佳地,該鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)係由鄰萘醌二疊氮磺酸或其鹽類與多元羥基化合物反應所製得。
前述之鄰萘醌二疊氮磺酸可包括但不限於鄰萘醌二疊氮-4-磺酸、鄰萘醌二疊氮-5-磺酸、鄰萘醌二疊氮-6-磺酸等。上述之鄰萘醌二疊氮磺酸的鹽類可包括但不限於鄰萘醌二疊氮磺酸鹵鹽。
前述之羥基化合物可單獨或混合使用,且該羥基化合物可包括但不限於:
羥基二苯甲酮類化合物之具體例可包括但不限於2,3,4-三羥基二苯甲酮、2,4,4'-三羥基二苯甲酮、2,4,6-三羥基二苯甲酮、2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮、2,4,2',4'-四羥基二苯甲酮、2,4,6,3',4'-五羥基二苯甲酮、2,3,4,2',4'-五羥基二苯甲酮、2,3,4,2',5'-五羥基二苯甲酮、2,4,5,3',5'-五羥基二苯甲酮、2,3,4,3',4',5'-六羥基二苯甲酮等。
在式(I)中,R1至R3表示氫原子或C1至C6的烷基;R4
至R9表示氫原子、鹵素原子、C1至C6的烷基、C1至C6的烷氧基(alkoxy)、C1至C6的脂烯基(alkenyl),或環烷基(cycloalkyl);R10及R11表示氫原子、鹵素原子及C1至C6的烷基;x、y及z表示1至3的整數;n表示0或1。
上式(I)所示的羥基芳基類化合物之具體例可包括但不限於三(4-羥基苯基)甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-2,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-2,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基苯基)-3-甲氧基-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基-6-甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基-6-甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基-6-甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基-6-甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基-4-甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基-4-甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基-4-甲基苯基)-3,4-二羥
基苯基甲烷、1-[1-(4-羥基苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(4-羥基苯基)乙基]苯、1-[1-(3-甲基-4-羥基苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(3-甲基-4-羥基苯基)乙基]苯等。
在式(II)中,R12及R13表示氫原子或C1至C6的烷基,而p及q表示1至3的整數。
上式(II)所示的(羥基苯基)烴類化合物之具體例可包括但不限於2-(2,3,4-三羥基苯基)-2-(2',3',4'-三羥基苯基)丙烷、2-(2,4-二羥基苯基)-2-(2',4'-二羥基苯基)丙烷、2-(4-羥基苯基)-2-(4'-羥基苯基)丙烷、雙(2,3,4-三羥基苯基)甲烷、雙(2,4-二羥基苯基)甲烷等。
其他芳香族羥基類化合物之具體例可包括但不限於苯酚、對-甲氧基苯酚、二甲基苯酚、對苯二酚、雙酚A、萘酚、鄰苯二酚、1,2,3-苯三酚甲醚、1,2,3-苯三酚-1,3-二甲基醚、3,4,5-三羥基苯甲酸、部份酯化或部份醚化的3,4,5-三羥基苯甲酸、4,4'-[1-[4[-1-(4-羥基苯基)-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚等。
較佳地,上述之羥基化合物是選自於由4,4'-[1-[4[-1-(4-羥基苯基)-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚、2,3,4-三羥基二苯甲酮、2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮、
2-(2,3,4-三羥基苯基)-2-(2',3',4'-三羥基苯基)丙烷以及上述之任意組合所組成之一族群。
前述之鄰萘醌二疊氮磺酸或其鹽類,與前述之羥基化合物的反應通常在二氧雜環己烷(dioxane)、氮-吡咯烷酮(N-pyrrolidone)、乙醯胺(acetamide)等有機溶媒中進行,同時在三乙醇胺、鹼金屬碳酸鹽或鹼金屬碳酸氫鹽等鹼性縮合劑存在下進行較有利。
較佳地,前述之鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)的酯化度在50%以上,亦即以前述之羥基化合物中的羥基總量為100莫耳百分比(mol%)計,該羥基化合物中有50mol%以上的羥基與鄰萘醌二疊氮磺酸或其鹽類進行酯化反應。更佳地,該醌二疊氮系化合物(B)的酯化度在60%以上。
基於鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)的使用量範圍為0.2重量份至15重量份,然以0.3重量份至10重量份為較佳,又以0.4重量份至6重量份為更佳。
在此說明的是,鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)可增加本發明之感光性樹脂組成物於後續處理形成之間隙體或保護膜之解析度。若無使用鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D),則所得之感光性樹脂組成物後續形成之間隙體或保護膜,會有解析度不佳的問題。
本發明之熱起始劑(E)包含但不限於偶氮化合物、過氧化物及過氧化氫化合物等。
前述之偶氮化合物之具體例可包括但不限於2,2'-偶氮二異丁腈[2,2'-azobis(isobutyronitrile)]、2,2'-偶氮二(2-甲基丁腈)[2,2'-azobis(2-methyl butyronitrile)]、1,1'-偶氮二(環己烷-2-甲腈)[1,1'-azobis(cyclohexane-1-carbonitrile)]、2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)[2,2'-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile)、1-[(1-氰基-1-甲基乙基)偶氮]甲醯胺{1-[(1-cyano-1-methylethyl)azo]formamide}、2,2-偶氮二{2-甲基-氮-[1,1-二(羥基甲基)-2-羥基乙基]丙醯胺{2,2-azobis{2-methyl-N-[1,1-bis(hydroxymethyl)-2-hydroxy ethyl]propionamide}、2,2'-偶氮二[氮-(2-丙烯基)-2-甲基丙醯胺]{2,2'-azobis[N-(2-propenyl)-2-methylpropionamide}、2,2'-偶氮二[氮-(2-丙烯基)-2-乙基丙醯胺]{2,2'-azobis[N-(2-propenyl)-2-ethyl propionamide}、2,2'-偶氮二(氮-丁基-2-甲基丙醯胺){2,2'-azobis(N-butyl-2-methylpropionamide)]、2,2'-偶氮二(氮-環己基-2-甲基丙醯胺)[2,2'-azobis(N-cyclohexyl-2-methyl propionamide)]、2,2'-偶氮二(二甲基-2-甲基丙醯胺)[2,2'-azobis(dimethyl-2-methyl propionamide)]、2,2'-偶氮二(二甲基-2-甲基丙酸酯)[2,2'-azobis(dimethyl-2-methylpropionate)]或2,2'-偶氮二(2,4,4-三甲基戊烯)[2,2'-azobis(2,4,4-trimethyl pentene)]等。
前述之過氧化物之具體例可包括但不限於過氧化苯甲醯、過氧化二第三丁基、過氧化二異丁醯(diisobutyryl
peroxide)、過氧化新癸酸異丙苯酯(cumyl peroxyneodecanoate)、過氧化二碳酸二丙酯(di-n-propyl peroxydicarbonate)、過氧化二碳酸二異丙酯(diisopropyl peroxydicarbonate)、過氧化二碳酸二第二丁酯(di-sec-butyl peroxydicarbonate)、1,1,3,3-四甲基丁基過氧化新癸酸酯(1,1,3,3-tetramethylbutyl peroxyneodecanoate)、二(4-第三丁基環己基)過氧化二碳酸酯[di(4-t-butyl cyclohexyl)peroxydicarbonate]、1-環己基-1-甲基乙基過氧化二碳酸酯(1-cyclohexyl-1-methylethyl peroxyneodecanoate)、雙(2-乙氧基乙基)過氧化二碳酸酯[di(2-ethoxy-ethyl)peroxydicarbonate]、雙(2-乙基己基)過氧化二碳酸酯[di(2-ethylhexyl)peroxydicarbonate]、過氧化新癸酸第三己酯(t-hexyl peroxyneodecanoate)、二甲氧基丁基過氧化二碳酸酯(dimethoxybutyl peroxydicarbonate)、第三丁基過氧化新癸酸酯(t-butyl peroxyneodecanoate)、第三己基過氧化新戊酸酯(t-hexyl peroxypivalate)、第三丁基過氧化新戊酸酯(t-butyl peroxypivalate)、過氧化二(3,5,5-三甲基己醯)[di(3,5,5-trimethyl hexanoyl)peroxide]、過氧化二辛醯(di-n-octanoyl peroxide)、過氧化二月桂醯(dilauroyl peroxide)、過氧化二硬脂酸(distearoyl peroxide)、2-乙基過氧化己酸-1,1,3,3-四甲基丁酯(1,1,3,3-tetramethylbutylperoxy-2-ethylhexanoate)、2,5-二甲基-2,5-二(2-乙基己酸過氧化)己烷[2,5-dimethyl-2,5-di(2-ethylhexanoylperoxy)hexane]、2-乙基過氧化己酸第三己酯(t-hexylperoxy-2-ethylhexanoate)、過氧化二(4-甲基苯甲醯)[di(4-methylbenzoyl)peroxide]、2-乙
基過氧化己酸第三丁酯(t-butylperoxy-2-ethylhexanoate)、過氧化二苯甲醯(dibenzoyl peroxide)、過氧化異丁酸第三丁酯(t-butyl peroxyisobutyrate)、1,1-二(第三丁基過氧化)-2-甲基環己烷(1,1-di(t-butylperoxy)-2-methylcyclohexane)、1,1-二(第三丁基過氧化)-3,3,5-三甲基環己烷[1,1-di(t-hexyl peroxy)-3,3,5-trimethylcyclohexane]、1,1-二(第三己基過氧化)環己烷[1,1-di(t-hexyl peroxy)cyclohexane]、1,1-二(第三丁基過氧化)環己烷[1,1-di(t-butylperoxy)cyclohexane]、2,2-二[4,4-二(第三丁基過氧化)環己基]丙烷{2,2-di[4,4-di(t-butylperoxy)cyclohexyl]propane}、第三己基過氧化異丙基碳酸酯(t-hexyl peroxy isopropyl monocarbonate)、第三丁基過氧化馬來酸酯(t-butylperoxy maleate)、第三丁基過氧化-3,5,5-三甲基己酸酯(t-butyl peroxy-3,5,5-trimethyl hexanoate)、第三丁基過氧化月桂酸酯(t-butyl peroxy laurate)、2,5-二甲基-2,5-二(3-甲基苯甲醯過氧化)己烷[2,5-dimethyl-2,5-di-(3-methyl benzoyl peroxy)hexane]、第三丁基過氧化異丙基碳酸酯(t-butyl peroxy isopropyl monocarbonate)、第三丁基過氧化-2-乙基己基碳酸酯(t-butyl peroxy-2-ethylhexyl monocarbonate)、第三己基過氧化苯甲酸酯(t-hexyl peroxy benzoate)、2,5-二甲基-2,5-二(苯甲醯過氧化)己烷[2,5-dimethyl-2,5-di(benzoyl peroxy)hexane]、第三丁基過氧化醋酸酯(t-butyl peroxy acetate)、2,2-二(第三丁基過氧化)丁烷[2,2-di(t-butylperoxy)butane]、第三丁基過氧化苯甲酸酯(t-butyl peroxy benzoate)、丁基-4,4-二(第三丁基過氧化戊酸酯[n-butyl-4,4-di(t-butylperoxy)valerate]、二(2-第三丁基過氧
化異丙基)苯[di(2-t-butyl peroxy isopropyl)benzene]、過氧化異丙苯(dicumyl peroxide)、二第三己基過氧化物(di-t-hexyl peroxide)、2,5-二甲基-2,5-二(第三丁基過氧化)己烷[2,5-dimethyl-2,5-di(t-butyl peroxy)hexane]、二第三丁基過氧化物(di-t-butyl peroxide)、2,5-二甲基-2,5-二(第三丁基過氧化)己炔[2,5-dimethyl-2,5-di(t-butylperoxy)hexyne-3]、第三丁基三甲基過氧化矽烷(t-butyl trimethylsilyl peroxide)、二(3-甲基苯甲醯基)過氧化物[di(3-methylbenzoyl)peroxide]與苯甲醯基(3-甲基丙甲醯基)過氧化物[benzoyl(3-methylbenzoyl)peroxide]與二苯甲醯基過氧化物(dibenzoyl peroxide)的混合物等。
前述之過氧化氫化合物之具體例可包括但不限於萜烷過氧化氫(p-menthane hydroperoxide)、二異丙基苯過氧化氫[diisopropylbenzene hydroperoxide]、1,1,3,3-四甲基丁基過氧化氫(1,1,3,3-tetramethyl butyl hydroperoxide)、異丙苯過氧化氫(cumene hydroperoxide)、第三丁基過氧化氫(t-butyl hydroperoxide)等。
較佳地,熱起始劑(E)之具體例可包括但不限於2,2'-偶氮二異丁腈、2,2'-偶氮二(2-甲基丁腈)、2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、過氧化二異丁醯、過氧化二苯甲醯、過氧化異丁酸第三丁酯、異丙苯過氧化氫、過氧化新癸酸異丙苯酯、萜烷過氧化氫或二異丙基苯過氧化氫等。
熱起始劑(E)可單獨或混合複數種使用。基於鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,熱聚合起始劑(E)的使用量範圍為0.2重量份至10重量份,然以0.3重量份至9重量
份為較佳,又以0.4重量份至8重量份為更佳。
另需補充說明的是,熱起始劑(E)可於預烤處理時促進本發明之感光性樹脂組成物之密著程度。若無使用熱起始劑(E),則所得之感光性樹脂組成物後續進行顯影處理時,會有密著度不佳的問題。
本發明之溶劑(F)以可與其他有機成分完全溶解、且其揮發性必須高到在常壓下只需少許熱量便可使其從分散液中蒸發者為宜,因此,常壓下其沸點低於150℃之溶劑最常使用。適用的溶劑(F)包括芳香族系,如苯、甲苯、及二甲苯;醇系,如甲醇及乙醇;醚類系,如乙二醇單丙醚、二乙二醇二甲醚、四氫呋喃、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇丁醚;酯類系,如乙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丙醚醋酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯;酮系,如甲乙酮以及丙酮。其中,以二乙二醇二甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯及3-乙氧基丙酸乙酯單獨或兩者併用較佳,其對感光性樹脂組成物之儲存安定性較佳。基於鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,溶劑(F)的使用量範圍為500重量份至3000重量份,然以500重量份至2500重量份為較佳,又以500重量份至2000重量份為更佳。
另外,本發明之感光性樹脂組成物可依所需之物性及
化性進一步包含添加劑,此添加劑之選擇為本發明所屬技術領域中具通常知識者可決定者。於本發明之具體例中,添加劑可為填充劑、鹼可溶性樹脂(A)以外之高分子化合物、紫外線吸收劑、防凝集劑、界面活性劑、密著促進劑、保存安定劑、耐熱性促進劑。
上述填充劑之具體例如:玻璃、鋁。
上述鹼可溶性樹脂(A)以外的高分子化合物之具體例如:聚乙烯醇、聚乙二醇單烷基醚、聚氟丙烯酸烷酯。
上述紫外線吸收劑之具體例如:2-(3-第三丁基-5-甲基-2-羥基苯基)-5-氯苯基疊氮、烷氧基苯酮;及防凝集劑為聚丙烯酸鈉。
上述之界面活性劑可促進本發明之感光性樹脂組成物之塗佈性,其可包括但不限於含氟界面活性劑或有機矽界面活性劑。
前述之含氟界面活性劑於其末端、主鏈及側鏈至少包含氟烷基或氟烯基,其具體例如:1,1,2,2-四氟辛基(1,1,2,2-四氟丙基)醚、1,1,2,2-四氟辛基己基醚、八乙二醇二(1,1,2,2-四氟丁基)醚、六乙二醇(1,1,2,2,3,3-六氟戊基)醚、八丙二醇二(1,1,2,2-四氟丁基)醚、六丙二醇(1,1,2,2,3,3-六氟戊基)醚、全氟十二烷基硫酸鈉、1,1,2,2,8,8,9,9,10,10-十氟十二烷、1,1,2,2,3,3-六氟癸烷、氟烷苯磺酸鈉、氟烷磷酸鈉、氟烷羧酸鈉、氟烷聚氧乙烯醚、二丙三醇四(氟烷聚氧乙烯醚)、氟烷銨碘、氟烷甜菜鹼、氟烷聚氧乙烯醚、全氟烷聚氧乙烯醚、全氟烷基烷醇。於本發明之另一具體例中,該含氟界面活性劑為BM-1000、BM-1100(BM CHEMIE製)、
Megafac F142D、F172、F173、F183、F178、F191、F471、F476(大日本墨水及化學工業製)、Fluorad FC 170C、FC-171、FC-430、FC-431(住友化學製)、氯氟碳S-112、S-113、S-131、S-141、S-145、S-382、SC-101、SC-102、SC-103、SC-104、SC-105、SC-106(旭硝子製)、F Top EF301、303、352(新秋田化成製)、Ftergent FT-100、FT-110、FT-140A、FT-150、FT-250、FT-251、FTX-251、FTX-218、FT-300、FT-310、FT-400S(NEOSU製)。
前述有機矽界面活性劑之具體例如:Toray有機矽,其商品名如DC 3 Paint Additive(DC 3 PA)、DC 7 PA、SH 11 PA、SH 21 PA、SH 28 PA、SH 29 PA、SH 30 PA、SH 190、SH 193、SZ 6032、SF-8427、SF-8428、DC 57、DC 190(Dow Corning Toray Silicone製)、TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4446、TSF-4460、TSF-4452(Momentive Performance Materials Inc.製)。
前述之界面活性劑亦可使用上述之含氟界面活性劑或有機矽界面活性劑以外之界面活性劑,可包括但不限於聚氧乙烯烷基醚,如月桂醇聚氧乙烯醚、聚氧乙烯硬脂酸醚、聚氧乙烯油基醚;聚氧乙烯芳基醚,如聚氧乙烯正辛基苯醚、聚氧乙烯正壬基苯酚醚;聚氧乙烯二烷基酯,如聚氧乙烯二月桂酸、聚氧乙烯二硬脂酸;非離子界面活性劑,如KP341(信越化學製)、poly flow No.57、95(共榮社油脂化學工業製)。前述界面活性劑可單獨一種或混合複數種使用。
上述密著促進劑可用以提升基材之黏著力,其較佳為
官能性矽烷交聯劑,較佳地,該官能性矽烷交聯劑包含羧基、烯基、異氰酸酯基、環氧基、胺基、巰基或鹵素。
前述密著促進劑之具體例如:對-羥基苯基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、乙烯三乙醯氧基矽烷、乙烯三甲氧基矽烷、乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯基三(2-甲氧乙氧基)矽烷、γ-異氰酸酯丙基三乙氧基矽烷、3-環氧丙氧基丙基三甲氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己烷基)乙基三甲氧基矽烷、3-環氧丙氧基二甲基甲氧基矽烷、3-胺丙基三甲氧基矽烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基三甲氧基矽烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二甲氧基矽烷、3-巰丙基三甲氧基矽烷、3-氯丙基三甲氧基矽烷、3-氯丙基甲基二甲氧基矽烷。前述之密著促進劑可單獨一種或混合複數種使用。
上述之保存安定劑可包括但不限於硫、醌、氫醌、聚氧化物、胺、亞硝基化合物或硝基,其具體例如:4-甲氧基苯酚、(N-亞硝基-N-苯基)羥胺鋁、2,2-硫代雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)、2,6-二-第三丁基苯酚。
上述之耐熱性促進劑可包括但不限於N-(烷氧基甲基)甘脲化合物、N-(烷氧基甲基)三聚氰胺。
前述之N-(烷氧基甲基)甘脲化合物的具體例如:N,N,N',N'-四(甲氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(乙氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(正丙氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(異丙氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(正丁氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(第三丁氧基甲基)甘脲,然以為N,N,N',N'-四(甲氧基甲基)甘脲較佳。前述之N-(烷氧基甲基)三聚氰胺的
具體例如:N,N,N',N',N",N"-六(甲氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N",N"-六(乙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N",N"-六(正丙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N",N"-六(異丙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N",N"-六(正丁氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N",N"-六(第三丁氧基甲基)三聚氰胺,然以N,N,N',N',N",N"-六(甲氧基甲基)三聚氰胺為較佳。市售品如NIKARAKKU N-2702、MW-30M(三和化學製)。
本發明之添加劑使用量係為本發明所屬技術領域中具有通常知識者可決定者。較佳地,基於鹼可溶性樹脂(A)為100重量份,該添加劑的使用量為0至10重量份,然以0重量份至6重量份為較佳,又以0重量份至3重量份為更佳。
本發明之感光性樹脂組成物,一般係將上述鹼可溶性樹脂(A)、含乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)、鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)、熱起始劑(E)以及溶劑(F)放置於攪拌器中攪拌,使其均勻混合成溶液狀態,必要時可添加填充劑、鹼可溶性樹脂(A)以外之高分子化合物、紫外線吸收劑、防凝集劑、界面活性劑、密著促進劑、保存安定劑、耐熱性促進劑等添加劑。
本發明亦提供一種於基板上形成薄膜之方法,其包含
使用本發明之感光性樹脂組成物施予基板上;較佳地,該薄膜係為間隙體或保護膜。
在本發明之一具體例中,該間隙體或保護膜之製造方法至少包含下列步驟:(a)將本發明之感光性樹脂組合物於基板上形成薄膜;(b)以放射線照射該薄膜之至少一部份;(c)於放射線照射後進行顯影;(d)於顯影後進行加熱。
茲依序說明如下:
步驟(a)將本發明之感光性樹脂組合物於基板上形成薄膜。在形成保護膜時,先將由紅色、綠色及藍色著色層組成之畫素層形成於一透明基板上,再將本發明之感光性樹脂組合物形成於該畫素層上。於形成間隙體時,在已形成有保護膜及畫素層之透明基板上,形成一透明導電膜,再於該透明導電膜上形成本發明之感光性樹脂組合物之薄膜。
在本發明之具體例中,該透明基板為玻璃基板或樹脂基板等,較佳為玻璃基板,例如鈉鈣玻璃及無鹼玻璃。該樹脂基板之具體例為聚對苯二甲酸乙二酯、聚丁烯對苯二甲酸酯、聚醚碸、聚碳酸酯及聚醯亞胺。
該透明導電基板為於透明基板之具體例為全部表面包含具有氧化錫(SnO2)之NESA膜(美國PPG®)或具有氧化銦-氧化錫(In2O3-SnO2)之ITO膜等。
膜之形成方法可使用塗佈法或乾膜法。
以塗佈法形成膜之方法為將本發明之感光性樹脂組合
物之溶液塗佈於前述之透明導電膜或透明基板上,此膜較佳係先將塗佈面加熱(預烤)。應用於塗佈法之組成物溶液之固形物濃度以5至50 wt%為宜,然以10至40 wt%為較佳,又以15至35 wt%為更佳。塗佈法可包括但不限於噴塗法、輥塗、旋塗法、縫模塗佈法、棒塗佈法、噴墨塗佈法,其中以旋塗法或縫模塗佈法為較佳。
另一方面,以乾膜法形成膜之方法為將包含本發明之感光性樹脂組合物之感光乾膜(簡稱感光乾膜)堆疊於一基膜上。
於一乾膜上,前述之感光乾膜可堆疊並於移除溶劑後形成感光膜。應用於乾膜法之本發明之感光性樹脂組合物其固形物濃度以5 wt%至50 wt%為宜,以10 wt%至50 wt%為較佳,然以20 wt%至50 wt%為更佳,又30 wt%至50 wt%為更佳。該感光乾膜之基膜之具體例為聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚乙烯、聚丙烯、聚碳酸酯、聚氯乙烯等。該感光乾膜之基膜之厚度較佳為15 μm至125 μm;更佳為1 μm至30 μm。
當感光乾膜不使用時,該感光乾膜亦可堆疊並以覆蓋膜保存。本發明之覆蓋膜以具有離型性為宜,以使在不使用時不分離但在使用時可輕易分離。具有前述特性之覆蓋膜之具體例為將有機矽脫模劑塗佈或印刷於合成樹脂膜上,例如PET薄膜、聚丙烯薄膜、聚乙烯薄膜、聚氯乙烯薄膜、聚胺酯薄膜。該覆蓋膜之厚度較佳為約5至30 μm。該等覆蓋膜亦可為積層二獲三層覆蓋膜。
以乾膜法堆疊該膜之方法之具體例為在透明基膜上熱
壓黏合透明感光乾膜。
於前述之方法中,該膜較佳係以塗佈法製造,其次為使用乾膜法,且較佳為實施預烤。該預烤之條件可依成分及混合比例而有所不同,較佳為1至15分鐘加熱70至120℃。
於預烤後之膜之厚度較佳為0.5至10 μm;更佳為1.0至7.0 μm。
步驟(b)以放射線照射該膜之至少一部份。當照射該膜之一部分時,可使用例如具有預定圖案之光罩照射。
使用作為曝光之放射線之具體例為可見光、紫外光或遠紅外光。其中該放射線之波長較佳為250至550 nm之包含紫外光之範圍,較佳為包含365 nm。
放射劑量(曝光量)係於波長365 nm以照度計(OAI model 356,Optical Associates Inc.)量測放射線強度。較佳為100至5,000 J/m2;更佳為200至3,000 J/m2。
步驟(c)於放射線照射後進行顯影,以去除不需要之部分並形成一預定之圖案。
顯影用之顯影液之具體例為無機鹼,如氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、矽酸鈉、偏矽酸酸鈉、和氨;第一級脂肪胺,如乙胺、正丙胺;第二級脂肪胺,如二乙胺、正丙胺;第三級脂肪胺,如三甲胺、二乙胺甲基、二甲基乙基胺、三乙胺;第三級脂肪環酸,如吡咯、哌啶、N-甲基哌啶、N-甲基1,8-二氮雜雙環[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-二氮雜雙環[4.3.0]-5-壬烯;第三級芳香胺,如吡啶、甲基嘧啶、二甲基吡啶、喹啉;第四級銨鹽鹼性化合物,如四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨之水溶液。水溶性有機溶劑及/或
表面活性劑,如甲醇、乙醇,亦可視需要添加於上述鹼性化合物中。
該顯影之方法,例如浸漬法、含浸法或淋浴法,較佳係於室溫至180℃顯影約10秒。
所欲之圖案於顯影後進行蒸氣清洗30至90秒,並經由壓縮空氣或氮氣風乾。
步驟(d)於顯影後進行加熱。將所得之具有圖案之膜以適當之加熱器,例如加熱板或烘箱進行加熱至如100至250℃進行30至180分中(後烤)。
前述所製造之具有所欲圖案配置之間隙體或保護膜具有優異之性質,例如抗壓強度、液晶配向膜之耐磨強度、基板之黏著力。
本發明亦提供一種液晶顯示元件,其包含前述之薄膜。
本發明之液晶顯示元件以利用上述感光性樹脂組合物形成間隙體,並於至少一側形成保護膜為宜;較佳為兩側。
本發明之液晶顯示元件可由下列兩方法製造。
(1)於至少一側具有透明導電膜之第一(電極)透明基板之一側或兩側將本發明之感光性樹脂組成物利用前述之方法形成一個保護膜或間隙體。之後,將具有液晶配向性之配向膜形成於具有間隙體及/或保護膜之透明導電膜上。這些基材,以配向膜所形成側做為內面,使各種配向膜的液晶排列方向成反方向平行或垂直方向並通過一定間隙(細胞間隙)反向配置,在以基材表面(配向膜)及間隔所區劃之
細胞間隙內填充液晶,封裝充填孔構成液晶單元。因此內外之液晶單元可由黏接垂直偏光板或排列於一個基板表面之液晶偏振方向,形成內外表面之配向方向一致之液晶顯示元件。
(2)於至少一側具有透明導電膜之第一透明基板之一側或兩側將本發明之感光性樹脂組成物利用類似前述(1)之方法形成保護膜或間隙體。之後,沿基板之端點利用紫外光硬化型之黏著劑塗佈於其上,之後再將微小液晶利用液晶分配器滴於基板上,接著於真空下堆疊基板,並在可發射紫外光之高壓水銀燈照射下封合。最後將液晶內外之偏光板貼合即可得液晶顯示元件。
本發明之液晶顯示元件可應用之具體例為向列型液晶或層列型液晶;較佳為向列型液晶,例如Shiff鹼型液晶、氧化偶氮型液晶、聯苯型液晶、苯基環乙烷型液晶、酯型液晶、三聯苯型液晶、聯苯環己烷型液晶、嘧啶型液晶、二惡烷聚環辛烷型液晶、二環辛烷型液晶、五環辛烷型液晶、氯化物型液晶、如膽固醇碳酸鹽或膽甾液晶之膽固醇型液晶;亦可添加手性劑如p-癸氧基苯亞甲基-p-胺基-2-甲基丁基肉桂酸酯(C-15、CB-15,默克製)之強誘電型液晶。
於液晶之外側可使用偏光板、聚乙烯醇之配向延伸、可吸收碘之「H膜」、或夾於纖維醋酸保護膜及偏光板間之H膜。
以下利用數個實施方式以說明本發明之應用,然其並非用以限定本發明,本發明技術領域中具有通常知識者,在不脫離本發明之精神和範圍內,當可作各種之更動與潤
飾。
以下係根據第1表製備合成例1至3之鹼可溶性樹脂(A-1)。
在一容積1000毫升之四頸錐瓶上設置氮氣入口、攪拌器、加熱器、冷凝管及溫度計,導入氮氣後,添加30重量份的甲基丙烯酸(以下簡稱MAA)、25重量份的甲基丙烯酸環氧丙酯(以下簡稱GMA)、25重量份的甲基丙烯酸三級丁酯(以下簡稱TBMA)、20重量份的苯乙烯(以下簡稱SM)、2.4重量份的2,2'-偶氮二(2-甲基丁腈)(以下簡稱AMBN)以及240重量份的二乙二醇二甲醚(以下簡稱Diglyme)溶劑。接著,緩慢攪拌上述成份使溶液昇溫至85℃,並於此溫度下聚縮合5小時。然後,將溶劑脫揮後,可得鹼可溶性樹脂(A-1)。
在一容積1000毫升之四頸錐瓶上設置氮氣入口、攪拌器、加熱器、冷凝管及溫度計,導入氮氣後,添加35重量份的2-甲基丙烯醯乙氧基丁二酸酯(以下簡稱HOMS)、20重量份的甲基丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯(以下簡稱EC-MAA)、5重量份的甲基丙烯酸2-羥基乙酯(以下簡稱HEMA)、20重量份的甲基丙烯酸雙環戊酯(以下簡稱FA-513M)、20重量份的SM、2.4重量份的2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)(以下簡稱ADVN)以及240重量份的丙二醇甲醚醋酸酯(以下簡稱PGMEA)溶劑。接著,緩慢攪拌上述成
份使溶液昇溫至80℃,並於此溫度下聚縮合6小時。然後,將溶劑脫揮後,可得鹼可溶性樹脂(A-2)。
在一容積1000毫升之四頸錐瓶上設置氮氣入口、攪拌器、加熱器、冷凝管及溫度計,導入氮氣後,添加30重量份的MAA、20重量份的GMA、5重量份的EC-MAA、10重量份的HEMA、10重量份的FA-513M、25重量份的甲基丙烯酸苯甲酯(以下簡稱BzMA)、3.0重量份的AMBN、200重量份的Diglyme以及40重量份的PGMEA。接著,緩慢攪拌上述成份使溶液昇溫至85℃,並於此溫度下聚縮合5小時。然後,將溶劑脫揮後,可得鹼可溶性樹脂(A-3)。
以下係根據第2表製備實施例1至7以及比較例1至3之感光性樹脂組成物。
取100重量份的鹼可溶性樹脂(A-1)、20重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯(B-1)、10重量份的1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)(C-1)以及0.2重量份的4,4'-[1-[4[-1-(4-羥基苯基)-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚與鄰萘醌二疊氮-5-磺酸所形成的鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D-1)、1重量份的過氧化新癸酸異丙苯酯(E-2)加以混合,再以500重量份的丙二醇甲醚醋酸酯(F-1)加以溶解,即可調製成實施例1之感光性樹脂組成物。之後,檢測此感光性樹脂組成物形成之間隙體的感度與後烤圖案形狀,其
中解析度與顯影時密著性的檢測方法容後再述。
同實施例1感光性樹脂組成物的製作方法,不同處在於實施例2至7係改變感光性樹脂組成物中原料的種類及使用量,其配方及檢測結果如第2表所示。
同實施例1感光性樹脂組成物製作方法,不同處在於比較例1至3係改變感光性樹脂組成物中原料的種類及使用量,其配方及檢測結果如第2表所示。
將實施例1至7以及比較例1至3所製得之各種感光性樹脂組成物,以旋轉塗佈方式分別塗佈在100×100×0.7 mm的素玻璃基板上,在90℃下預烤2分鐘至3分鐘,可得到約6 μm之預烤塗膜。然後將此預烤塗膜介於所指定之光罩圖案間,利用能量100 mJ/cm2之紫外光(曝光機型號AG500-4N;M&R Nano Technology製)照射,以進行曝光製程。之後,將曝光後的塗膜浸於0.05%氫氧化鉀(KOH)水溶液中45秒,除去未曝光的部分後,以純水洗淨,再以235℃後烤30分鐘,即可於素玻璃基板上形成間隙體膜或保護膜,其具有藉由指定之光罩圖案所形成之圓柱。
前述製得之間隙體膜或保護膜可根據以下步驟進
行解析度與顯影時密著性之檢測,以評估其效能。
將上述素玻璃基板上之間隙體膜或保護膜,以顯微鏡(例如Eclipse 50i,Nikon製)及掃描式電子顯微鏡(SEM)(例如S-3000N,Hitachi製)觀察間隙體膜或保護膜之圓柱的可成形最小直徑。
○:圓柱的可成形最小直徑≦15 μm
△:15 μm≦圓柱的可成形最小直徑<20 μm
×:20 μm<圓柱的可成形最小直徑
將上述預烤塗膜介於所指定之光罩圖案間,利用能量100 mJ/cm2之紫外光(曝光機型號AG500-4N;M&R Nano Technology製)照射,以進行曝光製程。之後,將曝光後的塗膜浸於0.05% KOH水溶液中45秒,除去未曝光的部分後,顯影出100個直徑為15 μm的圓柱。以純水洗淨後,再以顯微鏡(例如Eclipse 50i,Nikon製)觀察可顯影之圓柱數量。
○:小於10個圓柱出現破損
×:大於或包含10個圓柱出現破損
由第2表之結果可知,當感光性樹脂組成物中添加鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)以及熱起始劑(E),所製得的間隙體膜或保護膜會表現較佳的解析度與顯影時密著性,故確實
可達到本發明之目的。
需補充的是,本發明雖以特定的化合物、組成、反應條件、製程、分析方法或特定儀器作為例示,說明本發明之感光性樹脂組成物及其應用,惟本發明所屬技術領域中任何具有通常知識者可知,本發明並不限於此,在不脫離本發明之精神和範圍內,本發明之感光性樹脂組成物及其應用亦可使用其他的化合物、組成、反應條件、製程、分析方法或儀器進行。
雖然本發明已以實施方式揭露如上,然其並非用以限定本發明,本發明所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離本發明之精神和範圍內,當可作各種之更動與潤飾,因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
Claims (9)
- 一種感光性樹脂組成物,包含:鹼可溶性樹脂(A);含乙烯性不飽和基的化合物(B);光起始劑(C);鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D);熱起始劑(E);以及溶劑(F)。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物,其中該鹼可溶性樹脂(A)係由不飽和羧酸單體(a1)、含環氧基之不飽和單體(a2)及其他不飽和單體(a3)所共聚合而得。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物,其中基於該鹼可溶性樹脂(A)為100重量份,該含乙烯性不飽和基的化合物(B)的使用量為20重量份至200重量份,該鄰萘醌二疊氮磺酸酯(D)的使用量為0.2重量份至15重量份,該熱起始劑(E)的使用量為0.2重量份至10重量份,且該溶劑(F)的使用量為500重量份至3000重量份。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物,其中基於該含乙烯性不飽和基的化合物(B)為100重量份,該光起始劑(C)的使用量為10重量份至80重量份。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物,其中該熱起始劑(E)係選自由偶氮化合物、過氧化物、過氧化氫所組成之一族群的至少一種。
- 一種間隙體,其係由對如申請專利範圍第1項至第5項任一項所述的感光性樹脂組成物,依序施予預烤處理、曝光處理、顯影處理及後烤處理而製得具有一圖案之該間隙體。
- 一種保護膜,其係由對如申請專利範圍第1項至第5項任一項所述的感光性樹脂組成物,依序施予預烤處理、曝光處理、顯影處理及後烤處理而製得具有一圖案之該保護膜。
- 一種液晶顯示元件,其包含如申請專利範圍第6項所述之間隙體。
- 一種液晶顯示元件,其包含如申請專利範圍第7項所述之保護膜。
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