TWI559081B - 感光性樹脂組成物及其應用 - Google Patents
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Landscapes
- Materials For Photolithography (AREA)
Description
本發明係有關一種感光性樹脂組成物及其應用。特別是提供一種高溫及高濕條件下密著性佳且無殘渣之感光性樹脂組成物，以及使用該組成物所形成之液晶顯示元件的間隙體或保護膜。
一般而言，彩色濾光層表面所印刷之彩色畫素與黑色矩陣會產生凹凸不平，一般係於彩色濾光層之表面形成保護膜，藉此填平凹凸不平之處，以達到平坦化之要求。
然而，在製造液晶顯示元件或固態成像裝置等光學元件中，皆會遇到嚴苛條件下之處理程序，例如在基板表面以酸性溶劑或鹼性溶液浸泡處理，或著以濺鍍(Sputtering)形成配線電極層之處理。上述之處理步驟皆會造成局部腐蝕或產生高溫。因此，上述之保護膜需具有可抵禦此些處理之特性，包括耐熱性、耐溶劑性、耐酸性及耐鹼性等。
另一方面，在習知之彩色液晶顯示元件中，為了維持兩個基板間固定之層間距(細胞間隙)，係於整個基板上隨
機噴灑如聚苯乙烯珠或矽珠，其中該珠之直徑係為兩基板間之間距。然而，由於噴珠之位置及密度分佈並不均勻，而使得背光源之光線受噴珠影響而散射，進而降低顯示元件的對比度。因此，以光微影製程(photolithography)方式所開發出之間隙體用感光性組成物，遂成為業界之主流。
該間隙體之形成方式係先將該間隙體用感光性組成物塗佈於基板上，並於塗佈後之基板與曝光源間放入一具有指定形狀之光罩，而於曝光及顯影後形成一間隙體。依據此方法，可於紅色、綠色或藍色畫素外的指定位置上形成間隙體，以解決習知技術之問題。前述之細胞間隙也可利用感光性成分所形成之塗膜厚度來控制，而可容易控制細胞間隙的距離，進而具有較佳之精度。
由於該保護膜或間隙體係形成於彩色濾光片或是
基板上，對透明度之要求極高。若保護膜或間隙體之透明度不佳，當應用於液晶顯示元件時，將造成液晶顯示元件之亮度不足，而影響液晶顯示元件之顯示品質。
為提高保護膜或間隙體之透明度，日本專利特開第
2010-054561號專利揭示一種保護膜用感光性組成物，其包含鹼可溶性黏結樹脂(A)、乙烯性不飽和基之化合物(B)、光起始劑(C)及溶劑(D)，其中該乙烯性不飽和基之化合物(B)中的不飽和鍵之結合當量係介於90g/eq至450g/eq，且於乙烯性不飽和基之化合物(B)中，單一化合物之不飽和雙鍵係介於2個至4個之間，以及該鹼可溶性黏結樹脂(A)之重量平均分子量為介於10,000至20,000間。另一方面，日本專
利特開第2004-240241號專利揭示一種感光性組成物，其包含共聚合物(A)，該共聚物(A)係由乙烯性不飽合羧酸(酐)、具環氧基之乙烯性不飽合基之化合物及其他乙烯性不飽合基之化合物所共聚合而得、乙烯性不飽合基之聚合物(B)，以及光起始劑(C)，其為2-丁二酮-[4-甲硫基苯]-2-(O-肟醋酸鹽)、1,2-丁二酮-1-(4-嗎啉基苯基)-2-(O-苯甲醯肟)、1,2-辛二酮-1-[4-苯硫基苯]-2-[O-(4-甲基苯甲醯)肟]或其類似物。然而，此等感光性組成物雖可製得高透明性之保護膜或間隙體，但卻有高溫及高濕條件下密著性不佳及易產生殘渣之缺點。
有鑑於此，目前亟需發展一種高溫及高濕條件下密著性佳且無殘渣的間隙體或保護膜用感光性樹脂組成物，以克服習知保護膜或間隙體之上述種種問題。
因此，本發明之一態樣是在提供一種感光性樹脂組成物。此感光性樹脂組成物在高溫及高濕環境下具有良好之密著性且不易產生殘渣。
本發明之另一態樣是在提供一種形成薄膜於基板上之方法，其係對基板上前述之感光性樹脂組成物依序進行預烤處理、曝光處理、顯影處理及後烤處理。
本發明之又一態樣是在提供一種基板上之薄膜，其係利用前述之方法製得。
本發明之再一態樣是在提供一種液晶顯示元件，其
包含上述之薄膜。
根據本發明之上述態樣，提出一種感光性樹脂組成物，此感光性樹脂組成物包含鹼可溶性樹脂(A)、具有乙烯性不飽和基之化合物(B)、光起始劑(C)、醌二疊氮磺酸酯(D)及溶劑(E)，以下析述之。
本發明之鹼可溶性樹脂(A)包含具有乙烯性不飽和基之樹脂(A-1)。
在一實施例中，此具有乙烯性不飽和基之樹脂(A-1)係先將不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)與其他不飽和化合物(a2)進行雙鍵共聚合反應，以形成一聚合物，其中此聚合物之側鏈具有羧酸基。然後，此聚合物之側鏈中的羧酸基與具有環氧基之不飽和化合物(a3)進行開環反應，而製得具有乙烯性不飽和基之樹脂(A-1)。
在另一實施例中，此具有乙烯性不飽和基之樹脂(A-1)係先將其他不飽和化合物(a2)與具有環氧基之不飽和化合物(a3)進行雙鍵共聚合反應，以形成一聚合物，其中此聚合物之側鏈具有環氧基。然後，此聚合物之側鏈中的環氧基與不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)進行開環反應，而製得具有乙烯性不飽和基之樹脂(A-1)。
在又一實施例中，此具有乙烯性不飽和基之樹脂(A-1)係先將其他不飽和化合物(a2)與具有環氧基之不飽和化合物(a3)進行雙鍵共聚合反應，以形成一聚合物，其中此
聚合物之側鏈具有環氧基。然後，此聚合物之側鏈中的環氧基與不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)進行開環反應後，進一步與酸酐類化合物進行半酯化反應而製得具有乙烯性不飽和基之樹脂(A-1)。
不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)
該不飽和羧酸化合物可包含但不限於不飽和單羧酸化合物、不飽和多羧酸化合物、具有不飽和基及一個羧酸基之多環化合物，或具有不飽和基及多個羧酸基之多環化合物。
該不飽和單羧酸化合物可包含但不限於(甲基)丙烯酸、丁烯酸、α-氯丙烯酸、乙基丙烯酸、肉桂酸、2-(甲基)丙烯醯乙氧基丁二酸酯(2-methacryloyloxyethyl succinate monoester)、2-(甲基)丙烯醯乙氧基六氫化苯二甲酸酯、2-(甲基)丙烯醯乙氧基苯二甲酸酯或omega-羧基聚己內酯多元醇單丙烯酸酯等。該omega-羧基聚己內酯多元醇單丙烯酸酯可為東亞合成製造，型號為ARONIX M-5300之商品。
該不飽和多羧酸化合物可包含但不限於馬來酸、富馬酸、甲基富馬酸、衣康酸或檸康酸等。
該具有不飽和基及一個羧酸基之多環化合物可包含但不限於5-羧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯或5-羧基-6-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯等。
該具有不飽和基及多個羧基的多環化合物可例如5,6-二羧基二環[2.2.1]庚-2-烯等。
上述之不飽和羧酸化合物可單獨一種或混合複數種使用。
較佳地，該不飽和羧酸化合物是選自於丙烯酸、甲基丙烯酸、2-甲基丙烯醯乙氧基丁二酸酯、2-甲基丙烯醯基乙氧基六氫化苯二甲酸酯，或上述化合物之任意組合。
該不飽和羧酸酐化合物可包含但不限於不飽和羧酸酐化合物或具有不飽和基與羧酸酐的多環化合物。
該不飽和羧酸酐化合物可包含但不限於馬來酸酐、富馬酸酐、甲基富馬酸酐、衣康酸酐或檸康酸酐等。
該具有不飽和基及羧酸酐的多環化合物可包含但不限於5,6-二羧酸酐二環[2.2.1]庚-2-烯等。
該不飽和羧酸酐化合物可單獨一種或混合複數種使用。
較佳地，該不飽和羧酸酐化合物為馬來酸酐。
該其它不飽和化合物(a2)可包含但不限於(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸脂環族酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、不飽和二羧酸酯、(甲基)丙烯酸羥烷酯、具有(甲基)丙烯酸酯基的聚醚、苯乙烯化合物或上述化合物以外的不飽和化合物。
上述之(甲基)丙烯酸烷基酯可包含但不限於(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲
基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸第二丁基酯或(甲基)丙烯酸第三丁基酯等。
上述之(甲基)丙烯酸脂環族酯可包含但不限於(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基環己酯、(甲基)丙烯酸雙環戊酯{或稱三環[5.2.1.02,6]癸-8-基(甲基)丙烯酸酯}、(甲基)丙烯酸二環戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯或(甲基)丙烯酸四氫呋喃酯等。
上述(甲基)丙烯酸芳基酯可包含但不限於(甲基)丙烯酸苯基酯或甲基丙烯酸苯甲酯等。
該不飽和二羧酸酯可包含但不限於馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯或衣康酸二乙酯等。
該(甲基)丙烯酸羥烷酯可包含但不限於(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯或(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯等。
該具有(甲基)丙烯酸酯基的聚醚可包含但不限於聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯或聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯等。
該苯乙烯系化合物可包含但不限於苯乙烯、α-甲基苯乙烯、間-甲基苯乙烯，對-甲基苯乙烯或對-甲氧基苯乙烯等。
上述化合物以外之不飽和化合物可包含但不限於
丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯醯胺、甲基丙烯醯胺、乙烯乙酯、1,3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基1,3-丁二烯、N-環己基馬來醯亞胺、N-苯基馬來醯亞
胺、N-芐基馬來醯亞胺、N-丁二醯亞胺基-3-馬來醯亞胺苯甲酸酯、N-丁二醯亞胺基-4-馬來醯亞胺丁酸酯、N-丁二醯亞胺基-6-馬來醯亞胺己酸酯、N-丁二醯亞胺基-3-馬來醯亞胺丙酸酯或N-(9-吖啶基)馬來醯亞胺等。
該其他不飽和化合物(a2)可單獨一種或混合複數種使用。
較佳地，該其它不飽和化合物(a2)是選自於(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸第三丁基酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸雙環戊酯、甲基丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸二環戊氧基乙酯、苯乙烯、對-甲氧基苯乙烯或上述化合物之任意組合。
該具有環氧基之不飽和化合物(a3)可包含但不限於具有環氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物、具有環氧基的α-烷基丙烯酸酯化合物或環氧丙醚化合物等。
該具有環氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物可包含但不限於(甲基)丙烯酸環氧丙酯、(甲基)丙烯酸2-甲基環氧丙酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧丁酯、(甲基)丙烯酸6,7-環氧庚酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己酯或(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯等。
該具有環氧基的α-烷基丙烯酸酯化合物可包含但不限於α-乙基丙烯酸環氧丙酯、α-正丙基丙烯酸環氧丙酯、α-正丁基丙烯酸環氧丙酯或α-乙基丙烯酸-6,7-環氧庚
酯等。
該環氧丙醚化合物可包含但不限於鄰-乙烯基苯甲基環氧丙醚(o-vinylbenzylglycidylether)、間-乙烯基苯甲基環氧丙醚(m-vinylbenzylglycidylether)或對-乙烯基苯甲基環氧丙醚(p-vinylbenzylglycidylether)等。
該具有環氧基之不飽和化合物(a3)可單獨一種或混合複數種使用。
較佳地，該具有環氧基之不飽和化合物(a3)是選自於甲基丙烯酸環氧丙酯、甲基丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯、甲基丙烯酸6,7-環氧庚酯、鄰-乙烯基苯甲基環氧丙醚、間-乙烯基苯甲基環氧丙醚、對-乙烯基苯甲基環氧丙醚或上述化合物之任意組合。
當該具有乙烯性不飽和基之樹脂(A-1)係先將不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)與其他不飽和化合物(a2)進行雙鍵共聚合反應，並藉由所形成之聚合物的側鏈中之羧酸基與具有環氧基之不飽和化合物(a3)進行開環反應，以製得具有乙烯性不飽和基之樹脂(A-1)時，基於不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)及其他不飽和化合物(a2)之總使用量為100重量份，該不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)之使用量為5重量份至60重量份，較佳為10重量份至55重量份，更佳為15重量份至50重量份；該其他不飽和化合物(a2)之使用量為40重量份至95重量份，較佳為45重量份至90重量份，更佳為50重量份至85重量份；且基於不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)及其他不飽和
化合物(a2)之總使用量為100重量份，該具有環氧基之不飽和化合物(a3)之使用量為10重量份至40重量份，較佳為12重量份至35重量份，更佳為15重量份至30重量份。
基於鹼可溶性樹脂(A)之使用量為100重量份，具有乙烯性不飽和基之樹脂(A-1)的使用量為50重量份至100重量份，較佳為60重量份至100重量份，更佳為70重量份至100重量份。
當具有乙烯性不飽和基之樹脂(A-1)的使用量介於上述之範圍時，具有乙烯性不飽和基之樹脂(A-1)在曝光後，其不飽和鍵會與基板產生鍵結，而可提升高溫高濕條件下密著性。
若具有鹼可溶性樹脂(A)不使用具有乙烯性不飽和基之樹脂(A-1)時，所製得之感光性樹脂組成物會有高溫及高濕環境下密著性不佳之缺陷。
除前述具有乙烯性不飽和基的樹脂(A-1)以外，本發明之鹼可溶性樹脂(A)可選擇性的包含其他鹼可溶性樹脂(A-2)。
較佳地，該其他鹼可溶性樹脂(A-2)是由一混合物進行雙鍵共聚合反應所製得，且該混合物包含前述之不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)、其他不飽和化合物(a2)與具有環氧基之不飽和化合物(a3)。其中，該不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)、其他不飽和化合物(a2)與具有環氧基之不飽和化合物(a3)均如前所述，在此不另贅述。
具有乙烯性不飽和基之化合物(B)可包含直鏈狀二醇之二丙烯酸酯或二甲基丙烯酸酯(B-1)。
直鏈狀二醇之二丙烯酸酯或二甲基丙烯酸酯(B-1)具有兩個反應性不飽和官能基，且此些官能基之間係以不具有環狀結構之分子鏈鍵結。基於反應性之觀點，前述之分子鏈較佳為直鏈，且其碳數為2以上。基於互溶性之觀點，前述分子鏈的碳數較佳係12以下。
直鏈狀二醇之二丙烯酸酯或二甲基丙烯酸酯(B-1)較佳為乙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、1,4-丁二醇二丙烯酸酯、1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二甲基丙烯酸酯、1,9-壬二醇二丙烯酸酯或1,9-壬二醇二甲基丙烯酸酯。
基於鹼可溶性樹脂(A)為100重量份，直鏈狀二醇之二丙烯酸酯或二甲基丙烯酸酯(B-1)之使用量為10重量份至150重量份，較佳為20重量份至120重量份，更佳為30重量份至100重量份。
當本發明之具有乙烯性不飽和基的化合物包含直鏈狀二醇之二丙烯酸酯或二甲基丙烯酸酯(B-1)時，所製得之感光性樹脂組成物可進一步提升高溫高濕環境下之密著性。
除前述之直鏈狀二醇之二丙烯酸酯或二甲基丙烯酸酯(B-1)外，本發明具有乙烯性不飽和基之化合物(B)可選
擇性地包含其他乙烯性不飽和基之化合物(B-2)。
該其他乙烯性不飽和基之化合物(B-2)可包含但不限於二(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥基乙基)異氰酸二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥基乙基)異氰酸三(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質之三(2-羥基乙基)異氰酸三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、環氧乙烷(簡稱EO)改質之三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、環氧丙烷改質(簡稱PO)之三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、聚酯二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質之二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質之二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、四(甲基)丙烯酸二三羥甲基丙酯[di(trimethylolpropane)tetra(meth)acrylate]、經環氧乙烷改質之雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧丙烷改質之雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧乙烷改質之氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧丙烷改質之氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧丙烷改質之甘油三(甲基)丙烯酸酯、經環氧乙烷改質之雙酚F二(甲基)丙烯酸酯、酚醛清漆聚縮水甘油醚(甲基)丙烯酸酯等。
前述其他乙烯性不飽和基之化合物(B-2)可單獨一種或混合複數種使用。
基於鹼可溶性樹脂(A)之使用量為100重量份，該具有乙烯性不飽和基之化合物(B)之使用量為30重量份至300重量份，較佳為40重量份至250重量份，更佳為50重量份至200重量份。
該光起始劑(C)可包含但不限於氧-醯基肟類化合物(O-acyloxime)或其它光起始劑。
為使所形成的薄膜具有更佳的密著性，該光起始劑(C)較佳包含氧-醯基肟類化合物。
該氧-醯基肟類化合物可包含但不限於如下式(I)所示的氧-醯基肟類化合物，或其它氧-醯基肟類化合物等：
於式(I)中，X1、X2、X3、X4、X5、X6、X7、X8及X9各自表示氫、鹵素、碳數為1至12之烷基、環戊基、環己基、苯基、芐基、苯甲醯基、碳數為2至12之烷醯基、碳數為2至12之烷氧羰基或苯氧基羰基；X10及X11各自表示氫、未被取代基取代且碳數為1至12之環烷基、被取代基取代且碳數為1至12環烷基、未被取代基取代且碳數為1至12個之直鏈烷基、被取代基取代且碳數為1至12之直鏈烷基、未被取代基取代且碳數為1至12之支鏈烷基、被
取代基取代且碳數為1至12之支鏈烷基、未被取代基取代之芳基、被取代基取代之芳基。其中，上述之取代基是選自於鹵素原子、碳數為1至6之烷氧基或芳基。
如式(I)所示之氧-醯基肟類化合物可包含但不限於1-[4-(苯基硫代)苯基]-丙烷-3-環戊烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、1-[4-(苯基硫代)苯基]-庚F烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)或1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)等。該1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮-2-(O-苯醯基肟)可為Ciba Specialty Chemicals公司製造，型號為OXE-01之商品。
上述之氧-醯基肟類化合物可單獨一種或混合複數種使用。
基於具有乙烯性不飽和基之化合物(B)的使用量為100重量份，如式(I)所示之氧-醯基肟化合物之使用量為5重量份至60重量份，較佳為8重量份至55重量份，更佳為10重量份至50重量份。
該其他氧-醯基肟類化合物可包含但不限於1-[4-(苯醯基)苯基]-庚烷-1,2-二酮-2-(氧-苯醯基肟)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮-1-(氧-乙醯基肟)、1-[9-乙基-6-(3-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮-1-(氧-乙醯基肟)、1-[9-乙基-6-苯醯基-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫吡喃基苯
醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫呋喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫吡喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫吡喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫呋喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫吡喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜戊環基)苯醯基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)或乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜戊環基)甲氧基苯醯基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)等。該1-[9-乙基-6-(2-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮-1-(O-乙醯基肟)可為Ciba Specialty Chemicals公司製造，型號為OXE-02之商品。
上述之氧-醯基肟類化合物可單獨一種或混合複數種使用。
該其它氧-醯基肟類化合物較佳係選自於1-[9-乙基-6-苯醯基-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮-1-(氧-乙醯基肟)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷
酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜戊環基)甲氧基苯醯基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)或上述材料之任意組合。
該其它光起始劑可包含但不限於三氮雜苯類化合物、苯乙烷酮類化合物、二咪唑類化合物、二苯甲酮類化合物、α-二酮類化合物、酮醇類化合物、酮醇醚類化合物、醯膦氧化物類化合物、醌類化合物、含鹵素類化合物或過氧化物等。
該三氮雜苯類化合物可包含但不限於乙烯基-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物、2-(萘并-1-取代基)-4,6-雙-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物或4-(對-胺基苯基)-2,6-二-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物等。
上述之乙烯基-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物可包含但不限於2,4-雙(三氯甲基)-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-3-(1-對-二甲基胺基苯基-1,3-丁二烯基)-s-三氮雜苯或2-三氯甲基-3-胺基-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯等。
上述之2-(萘并-1-取代基)-4,6-雙-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物可包含但不限於2-(萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-乙氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-丁氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-甲氧基乙基)-萘并-1-取代
基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-乙氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-丁氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(2-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-甲氧基-5-甲基-萘并-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-甲氧基-萘并-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(5-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4,7-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-乙氧基-萘并-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯或2-(4,5-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯等。
上述之4-(對-胺基苯基)-2,6-二-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物可包含但不限於4-[對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-甲基-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-甲基-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N,N-二(苯基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-氯乙基羰基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N-(對-甲氧基苯基)羰基胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二
(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氯-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氟-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氯-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氟-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-溴-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氯-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氟-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-溴-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氯-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氟-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-溴-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氯-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氟-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-溴-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氯-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氟-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-溴-對-N-氯乙基
胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氯-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氟-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-溴-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氯-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氟-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯或2,4-雙(三氯甲基)-6-[3-溴-4-[N,N-雙(乙氧基羰基甲基)胺基]苯基]-1,3,5-三氮雜苯等。上述之三氮雜苯類化合物可單獨一種或混合複數種使用。
較佳地，該三氮雜苯類化合物係選自於4-[間-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯或上述化合物之任意組合。
該苯乙烷酮類化合物可包含但不限於對二甲胺苯乙烷酮、α,α’-二甲氧基氧化偶氮苯乙烷酮、2,2’-二甲基-2-苯基苯乙烷酮、對-甲氧基苯乙烷酮、2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮或2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮等。上述之苯乙烷酮類化合物可單獨一種或混合複數種使用。
上述之2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮可為Ciba Specialty Chemicals公司製造，型號為IRGACURE 907之商品。上述之2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮可為Ciba Specialty Chemicals公司製造，型號為IRGACURE 369之商品。較佳地，該苯乙烷酮
類化合物係選自於2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮或上述化合物之任意組合。
該二咪唑類化合物可包含但不限於2,2’-雙(鄰-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-氟苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-甲基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-乙基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(對-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(2,2’,4,4’-四甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑或2,2’-雙(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑等。上述之二咪唑類化合物可單獨一種或混合複數種使用。較佳地，該二咪唑類化合物為2,2’-雙(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑。
該二苯甲酮類化合物可包含但不限於噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、噻噸酮-4-碸、二苯甲酮、4,4’-雙(二甲胺)二苯甲酮或4,4’-雙(二乙胺)二苯甲酮等。該二苯甲酮類化合物可單獨或混合使用。較佳地，該二苯甲酮類化合物為4,4’-雙(二乙胺)二苯甲酮。
該α-二酮類化合物可包含但不限於苯偶醯或雙乙醯等之化合物。上述之α-二酮類化合物可單獨一種或混合複數種使用。
該酮醇類化合物可包含但不限於二苯乙醇酮。該酮
醇類化合物可單獨或混合使用。
該酮醇醚類化合物可包含但不限於二苯乙醇酮甲醚、二苯乙醇酮乙醚，或二苯乙醇酮異丙醚等。該酮醇醚類化合物可單獨一種或混合複數種使用。
該醯膦氧化物類化合物可包含但不限於2,4,6-三甲基苯醯二苯基膦氧化物或雙-(2,6-二甲氧基苯醯)-2,4,4-三甲基苯基膦氧化物等。該醯膦氧化物類化合物可單獨一種或混合複數種使用。
該醌類化合物可包含但不限於蒽醌或1,4-萘醌等。該醌類化合物可單獨一種或混合複數種使用。
該含鹵素類化合物可包含但不限於苯醯甲基氯、三溴甲基苯碸，或三(三氯甲基)-s-三氮雜苯等。該含鹵素類化合物可單獨一種或混合複數種使用。
該過氧化物可包含但不限於二-第三丁基過氧化物等。該過氧化物可單獨一種或混合複數種使用。
基於鹼可溶性樹脂(A)之使用量為100重量份，該光起始劑(C)之使用量為10重量份至60重量份，較佳為13重量份至55重量份，更佳為15重量份至50重量份。
本發明之醌二疊氮磺酸酯(D)並無特別限制。在本發明之一實施例中，醌二疊氮磺酸酯(D)可為完全酯化或部份酯化的酯化物，然以由鄰萘醌二疊氮磺酸或其鹽類與羥基化合物反應所製得者為較佳，又以由鄰萘醌二疊氮磺酸或其鹽類與多元羥基化合物反應所製得者為更佳。
上述之鄰萘醌二疊氮磺酸可包含但不限於鄰萘醌二疊氮-4-磺酸、鄰萘醌二疊氮-5-磺酸或鄰萘醌二疊氮-6-磺酸等。上述鄰萘醌二疊氮磺酸之鹽類可包含但不限於鄰萘醌二疊氮磺酸鹵鹽。
上述之羥基化合物可包含但不限於羥基二苯甲酮類化合物、羥基芳基類化合物、(羥基苯基)烴類化合物或其他芳香族羥基類化合物，以下析述之。
上述之羥基二苯甲酮類化合物可包含但不限於2,3,4-三羥基二苯甲酮、2,4,4’-三羥基二苯甲酮、2,4,6-三羥基二苯甲酮、2,3,4,4’-四羥基二苯甲酮、2,4,2’,4’-四羥基二苯甲酮、2,4,6,3’,4’-五羥基二苯甲酮、2,3,4,2’,4’-五羥基二苯甲酮、2,3,4,2’,5’-五羥基二苯甲酮、2,4,5,3’,5’-五羥基二苯甲酮或2,3,4,3’,4’,5’-六羥基二苯甲酮等。
羥基芳基類化合物可包含但不限於如下式(II)所示之羥基芳基類化合物：
在式(II)中，R1至R3分別為相同或不同之氫原子或低級之烷基；R4至R9分別為相同或不同之氫原子、鹵素原子、碳數為1至6之烷基、碳數為1至6之烷氧(alkoxy)基、碳數為1至6之脂烯(alkenyl)基以及環烷(cycloalkyl)基；R10
及R11分別為相同或不同之氫原子、鹵素原子及碳數為1至6之烷基；x、y及z代表1至3的整數；而k代表0或1。如式(II)所示之羥基芳基類化合物的具體例可包含但不限於三(4-羥基苯基)甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-2,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-2,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基苯基)-3-甲氧基-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基-6-甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基-6-甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基-6-甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基-6-甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基-4-甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基-4-甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基-4-甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、1-[1-(4-羥基苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(4-羥基苯
基)乙基]苯(本州化學工業製造，型號為TrisP-PA)或1-[1-(3-甲基-4-羥基苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(3-甲基-4-羥基苯基)乙基]苯等。
(羥基苯基)烴類化合物可包含但不限於如下式(III)所示之(羥基苯基)烴類化合物：
在式(III)中，R12及R13分別為相同或不同之氫原子或碳數為1至6之烷基；a及b代表1至3的整數。如式(III)所示之(羥基苯基)烴類化合物之具體例可包含但不限於2-(2,3,4-三羥基苯基)-2-(2',3',4'-三羥基苯基)丙烷、2-(2,4-二羥基苯基)-2-(2',4'-二羥基苯基)丙烷、2-(4-羥基苯基)-2-(4'-羥基苯基)丙烷、雙(2,3,4-三羥基苯基)甲烷或雙(2,4-二羥基苯基)甲烷等。
其他芳香族羥基類化合物可包含但不限於苯酚、對-甲氧基苯酚、二甲基苯酚、對苯二酚、雙酚A、萘酚、鄰苯二酚、1,2,3-苯三酚甲醚、1,2,3-苯三酚-1,3-二甲基醚、3,4,5-三羥基苯甲酸、部份酯化之3,4,5-三羥基苯甲酸或部份醚化之3,4,5-三羥基苯甲酸等。
上述之羥基化合物可單獨一種或混合複數種使用。
較佳地，前述之羥基化合物可為2,3,4-三羥基二苯甲酮、1-[1-(4-羥基苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(4-羥基苯基)乙基]苯或2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮。
前述之鄰萘醌二疊氮磺酸或其鹽類與羥基化合物之反應通常在二氧雜環己烷(dioxane)、氮-吡咯烷酮(N-pyrrolidone)或乙醯胺(acetamide)等有機溶媒中進行。較佳係同時使用三乙醇胺、鹼金屬碳酸鹽或鹼金屬碳酸氫鹽等鹼性縮合劑進行反應。
前述之醌二疊氮磺酸酯(D)之酯化度以在50%以上為較佳，亦即以前述之羥基化合物中之羥基總量為100mol%，羥基化合物中有50mol%以上之羥基與鄰萘醌二疊氮磺酸或其鹽類進行酯化反應。更佳地，前述之醌二疊氮磺酸酯(D)之酯化度係不低於60%。
基於前述之鹼可溶性樹脂(A)的使用量為100重量份，醌二疊氮磺酸酯(D)的使用量為0.1重量份至5重量份，較佳為0.15重量份至4.5重量份，更佳為0.2重量份至4重量份。倘若感光性樹脂組成物不包含醌二疊氮磺酸酯(D)，所製得之感光樹脂組成物會有容易產生殘渣之缺點。
該溶劑(D)可包含但不限於芳香族系化合物、醇系化合物、醚系化合物、酯系化合物或酮系化合物等。
該芳香族系化合物可包含但不限於苯、甲苯或二甲苯等。該醇系化合物可包含但不限於甲醇或乙醇等。該醚系化合物可包含但不限於乙二醇單丙基醚、二乙二醇二甲基醚、四氫呋喃、乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、二乙二醇甲基醚、二乙二醇乙基醚或二乙二醇丁基醚等。該酯系化合物可包含但不限於乙二醇甲基醚醋酸酯、乙二醇
乙基醚醋酸酯、丙二醇甲基醚醋酸酯、丙二醇乙基醚醋酸酯、丙二醇丙基醚醋酸酯或3-乙氧基丙酸乙酯等。該酮系化合物可包含但不限於甲乙酮或丙酮等。
上述之溶劑(D)可單獨一種或混合複數種使用。
該溶劑(D)較佳是選自於二乙二醇二甲基醚、丙二醇甲基醚醋酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯或上述溶劑之任意組合。
基於鹼可溶性樹脂(A)之使用量為100重量份，該溶劑(E)之使用量為200重量份至2000重量份，較佳為300重量份至1800重量份，更佳為400重量份至1500重量份。
在不影響本發明功效的前提下，本發明之感光性樹脂組成物可選擇性地包含增感劑(F)，且增感劑(F)可為具羥基之化合物。
增感劑(F)可為羥基二苯甲酮類化合物、羥基芳基類化合物、(羥基苯基)烴類化合物或其他芳香族羥基類化合物，以下析述之。
上述之羥基二苯甲酮類化合物可包含但不限於2,3,4-三羥基二苯甲酮、2,4,4’-三羥基二苯甲酮、2,4,6-三羥基二苯甲酮、2,3,4,4’-四羥基二苯甲酮、2,4,2’,4’-四羥基二苯甲酮、2,4,6,3’,4’-五羥基二苯甲酮、2,3,4,2’,4’-五羥基二苯甲酮、2,3,4,2’,5’-五羥基二苯甲酮、2,4,5,3’,5’-五羥基二苯甲酮或2,3,4,3’,4’,5’-六羥基二苯甲酮等。
羥基芳基類化合物可包含但不限於如下式(IV)所
示之羥基芳基類化合物：
在式(IV)中，Y1至Y3分別為相同或不同之氫原子或低級之烷基；Y4至Y9分別為相同或不同之氫原子、鹵素原子、碳數為1至6之烷基、碳數為1至6之烷氧(alkoxy)基、碳數為1至6之脂烯(alkenyl)基以及環烷(cycloalkyl)基；Y10及Y11分別為相同或不同之氫原子、鹵素原子及碳數為1至6之烷基；m、n及q代表1至3的整數；而r代表0或1。如式(IV)所示之羥基芳基類化合物的具體例可包含但不限於三(4-羥基苯基)甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-2,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-2,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基苯基)-3-甲氧基-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙
(3-環己基-4-羥基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基-6-甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基-6-甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基-6-甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基-6-甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基-4-甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基-4-甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基-4-甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、1-[1-(4-羥基苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(4-羥基苯基)乙基]苯(本州化學工業製造，型號為TrisP-PA)或1-[1-(3-甲基-4-羥基苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(3-甲基-4-羥基苯基)乙基]苯等。
(羥基苯基)烴類化合物可包含但不限於如下式(V)所示之(羥基苯基)烴類化合物：
在式(V)中，Y12及Y13分別為相同或不同之氫原子或碳數為1至6之烷基；s及t代表1至3的整數。如式(V)所示之(羥基苯基)烴類化合物之具體例可包含但不限於2-(2,3,4-三羥基苯基)-2-(2',3',4'-三羥基苯基)丙烷、2-(2,4-二羥基苯基)-2-(2',4'-二羥基苯基)丙烷、2-(4-羥基苯基)-2-(4'-羥基苯基)丙烷、雙(2,3,4-三羥基苯基)甲烷或雙
(2,4-二羥基苯基)甲烷等。
其他芳香族羥基類化合物可包含但不限於苯酚、對-甲氧基苯酚、二甲基苯酚、對苯二酚、雙酚A、萘酚、鄰苯二酚、1,2,3-苯三酚甲醚、1,2,3-苯三酚-1,3-二甲基醚、3,4,5-三羥基苯甲酸、部份酯化或部份醚化之3,4,5-三羥基苯甲酸等之化合物。
該具羥基之化合物以2,3,4-三羥基二苯甲酮、1-[1-(4-羥基苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(4-羥基苯基)乙基]苯、2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮2-(2,3,4-三羥基苯基)-2-(2',3',4'-三羥基苯基)丙烷為較佳。
上述之增感劑(F)可單獨一種或混合複數種使用。
當本發明之感光性樹脂組成物包含增感劑(F)時，基於前述鹼可溶性樹脂(A)之使用量為100重量份，增感劑(F)之使用量為0.2重量份至5重量份，較佳為0.4重量份至4重量份，更佳為0.6重量份至3重量份。
當本發明之感光性樹脂組成物包含增感劑(F)時，增感劑(F)可提升前述醌二疊氮磺酸酯(D)產生光酸之能力，以增加顯影性，而可進一步改善前述殘渣之缺陷。
在不影響本發明功效的前提下，本發明之感光性樹脂組成物更可選擇性地進一步添加添加劑(G)。添加劑(G)可包含但不限於界面活性劑、填充劑、密著促進劑、架橋劑、抗氧化劑、防凝集劑或鹼可溶性樹脂(A)以外之其他能增加各種性質(如機械性質)的聚合物。
上述之界面活性劑可選自於由陽離子系、陰離子系、非離子系、兩性、聚矽氧烷系、氟原子系界面活性劑或上述之任意組合所組成之一族群。進而言之，前述之界面活性劑可包含但不限於聚乙氧基十二烷基醚、聚乙氧基硬酯醯醚或聚乙氧基油醚等之聚乙氧基烷基醚類；聚乙氧基辛基苯基醚或聚乙氧基壬基苯基醚等之聚乙氧基烷基苯基醚類；聚乙二醇二月桂酸酯或聚乙二醇二硬酸酯等之聚乙二醇二酯類；山梨糖醇酐脂肪酸酯類；脂肪酸改質之聚酯類；三級胺改質之聚胺基甲酸酯類。該界面活性劑可單獨一種或混合複數種使用。
適合之界面活性劑的具體例，如：信越化學工業公司製造，型號為KP之商品、Toray Dow Corning Silicon公司製造，型號為SF-8427、共榮社油脂化學工業公司製造，型號為Polyflow、Tochem Product公司製造，型號為F-Top、大日本INK化學工業公司製造，型號為Megafac、住友3M公司製造，型號為Fluorade、旭硝子公司製造，型號為Asahi Guard或Surflon之商品，或中日合成化學公司製造，型號為SINOPOL E8008之商品等。
適合之填充劑的具體例如：玻璃或鋁等。
適合之密著促進劑的具體例如：乙烯基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)矽烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二甲氧基矽烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基三甲氧基矽烷、3-胺丙基三乙氧基矽烷、3-環氧丙醇丙基三甲氧基矽烷、3-環氧丙醇丙基甲基二
乙氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己基)乙基三甲氧基矽烷、3-氯丙基甲基二甲氧基矽烷、3-氯丙基三甲氧基矽烷、3-甲基丙醯氧基丙基三甲氧基矽烷或3-巰丙基三甲氧基矽烷等。
適合之抗氧化劑的具體例如：2,2-硫代雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)或2,6-二-第三丁基苯酚等。
適合之防凝集劑的具體例如：聚丙烯酸鈉等。
適合之架橋劑的具體例如：日本環氧樹脂公司製造，型號為1031S或157S-70等之環氧化合物或環氧樹脂。
基於前述鹼可溶性樹脂(A)之使用量為100重量份，添加劑(G)中的填充劑、密著促進劑、抗氧化劑、防凝集劑或鹼可溶性樹脂(A)以外之聚合物的使用量不超過10重量份，較佳係不超過6重量份。
基於鹼可溶性樹脂(A)的使用量為100重量份，前述添加劑(G)中之界面活性劑的使用量不超過6重量份，較佳係不超過4重量份。
基於前述鹼可溶性樹脂(A)之使用量為100重量份，前述添加劑(G)中之架橋劑的使用量不超過100重量份，較佳係不超過80重量份。
本發明之感光性樹脂組成物一般係將上述之鹼可溶性樹脂(A)、具有乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)、醌二疊氮磺酸酯(D)及溶劑(E)放置於攪拌器中攪拌，使其均勻混合成溶液狀態，必要時亦可添加增感劑(F)及界
面活性劑、填充劑、密著促進劑、架橋劑、抗氧化劑、防凝集劑與鹼可溶性樹脂(A)以外之其他能增加各種性質(如機械性質)的聚合物等之添加劑(G)，予以均勻混合後，便可調製得呈溶液狀態之感光性樹脂組成物。
基於鹼可溶性樹脂(A)之使用量為100重量份，具有乙烯性不飽和基之化合物(B)的使用量為30重量份至300重量份，光起始劑(C)之使用量為10重量份至60重量份，醌二疊氮磺酸酯(D)之使用量為0.1重量份至5重量份，且溶劑(E)之使用量為200重量份至2000重量份。
於本發明之一具體例中，間隙體或保護膜之製造方
法至少包含下列步驟：(a)將本發明之感光性樹脂組成物塗佈於一基板上，而形成膜；(b)以放射線照射膜之至少一部份；(c)於放射線照射後進行顯影；以及(d)於顯影後進行加熱，以下析述之。
步驟(a)係將本發明之感光樹脂組合物於基板上形
成一膜。於形成保護膜時，先將由紅色、綠色及藍色著色層組成之畫素層形成於一透明基板上，再將本發明之感光性樹脂組成物形成於該畫素層上。於形成間隙體時，在已形成有保護膜及畫素層之透明基板上，形成一透明導電膜，再於該透明導電膜上形成本發明之感光性樹脂組成物的膜。
於本發明之具體例中，該透明基板為玻璃基板或樹
脂基板等，較佳為玻璃基板，例如鈉鈣玻璃及無鹼玻璃。該樹脂基板之具體例為聚對苯二甲酸乙二酯、聚丁烯對苯二甲酸酯、聚醚碸、聚碳酸酯及聚醯亞胺。
該透明導電基板可為於透明基板之全部表面上具有氧化錫(SnO2)所形成之NESA膜(美國PPG®)或具有氧化銦-氧化錫(In2O3-SnO2)所形成之ITO膜等。
膜之形成方法可使用塗佈法或乾膜法。
以塗佈法形成膜之方法係將本發明之感光性樹脂組成物的溶液塗佈於前述之透明導電膜上，此膜較佳係先將塗佈面加熱(預烤)。應用於塗佈法之感光性樹脂組成物的溶液之固形物濃度為5wt%至50wt%，較佳為10wt%至40wt%，更佳為15wt%至35wt%。塗佈法舉例但不限於噴塗法、輥塗法、旋塗法、縫模塗佈法、棒塗佈法或噴墨塗佈法；較佳為旋塗法或縫模塗佈法。
另一方面，以乾膜法形成膜之方法為將包含本發明之感光性樹脂組成物的感光性乾膜堆疊於一基膜上。
前述之感光性乾膜可堆疊並於移除溶劑後形成感
光膜。進行乾膜法時，本發明之感光性樹脂組成物的固形物濃度為5wt%至50wt%，較佳為10wt%至50wt%，更佳為20wt%至50wt%，尤佳為30wt%至50wt%。該感光性乾膜之基膜的具體例可為聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚乙烯、聚丙烯、聚碳酸酯或聚氯乙烯。該感光性乾膜之基膜的厚度較佳為15μm至125μm，更佳為1μm至30μm。
當感光性乾膜不使用時，該感光性乾膜亦可堆疊並
以覆蓋膜保存。本發明之覆蓋膜較佳係具有離型性，以使感光性乾膜不使用時，感光性乾膜與覆蓋膜不分離，但感光性乾膜欲使用時，感光性乾膜與覆蓋膜可輕易分離。具有前述特性之覆蓋膜的具體例係將有機矽脫模劑塗佈或印刷於合成樹脂膜上，例如PET薄膜、聚丙烯薄膜、聚乙烯薄膜、聚氯乙烯薄膜或聚胺酯薄膜。該覆蓋膜之厚度較佳為約5μm至30μm。前述之覆蓋膜亦可為積層二層或三層之覆蓋膜。
以乾膜法堆疊該膜之方法的具體例係在透明基膜上熱壓黏合透明感光性乾膜。
於前述之方法中，該膜較佳係以塗佈法製造，其次為使用乾膜法製造，且較佳係對該膜進行預烤處理。該預烤處理之條件可依成分及混合比例而有所不同，較佳係於70℃至120℃下加熱1分鐘至15分鐘。
於預烤處理後，膜之厚度較佳為0.5μm至10μm；更佳為1.0μm至7.0μm。
步驟(b)係以放射線照射該膜之至少一部份。當照
射該膜之一部分時，可使用具有預定圖案之光罩覆蓋。
前述用以曝光之放射線的具體例可為可見光、紫外
光或遠紅外光。其中該放射線之波長較佳為250nm至550nm，較佳為365nm。
放射劑量(曝光量)係於波長為365nm時，以照度計
(Optical Associates公司製造，型號為OAI model 356之商品)量測放射線強度。較佳為100J/m2至5,000J/m2；更佳為
200J/m2至3,000J/m2。
步驟(c)於放射線照射後進行顯影，以去除不需要之部分並形成一預定之圖案。
顯影用之顯影液的具體例為無機鹼，如氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、矽酸鈉、偏矽酸酸鈉或氨；第一級脂肪胺，如乙胺或正丙胺；第二級脂肪胺，如二乙胺或正丙胺；第三級脂肪胺，如三甲胺、二乙胺甲基、二甲基乙基胺或三乙胺；第三級脂肪環酸，如吡咯、哌啶、N-甲基哌啶、N-甲基1,8-二氮雜雙環[5.4.0]-7-十一碳烯或1,5-二氮雜雙環[4.3.0]-5-壬烯；第三級芳香胺，如吡啶、甲基嘧啶、二甲基吡啶或喹啉；第四級銨鹽鹼性化合物，如四甲基氫氧化銨或四乙基氫氧化銨之水溶液。水溶性有機溶劑及/或表面活性劑，如甲醇或乙醇，亦可視需要添加於上述鹼性化合物中。
該顯影之方法，例如浸漬法、含浸法或淋浴法，較佳係於室溫至180℃顯影約10秒。
所欲之圖案於顯影後進行蒸氣清洗30秒至90秒，並經由壓縮空氣或氮氣風乾。
步驟(d)係於顯影後進行加熱。將所製得具有圖案之膜以適當的加熱器(例如：加熱板或烘箱)加熱至100℃至250℃進行30至180分中(後烤)。
前述所製具有所欲圖案配置之間隙體或保護膜具
有優異之性質，例如抗壓強度、液晶配向膜之耐磨強度及基板之黏著力。
本發明之液晶顯示元件包含前述之薄膜。本發明之液晶顯示元件較佳係將感光性樹脂組成物形成間隙體，並於至少一側形成保護膜，較佳係於間隙體之兩側形成保護膜。
本發明之液晶顯示元件可藉由下述之兩種方法製造，以下析述之。
第一種方法係將前述之感光性樹脂組成物藉由前述之方法形成於至少一側具有透明導電膜之第一(電極)透明基板之一側或兩側上。然後，將具有液晶配向性之配向膜形成於具有間隙體及/或保護膜之透明導電膜上。前述之基材中，配向膜所形成之一側稱為內面，使各種配向膜之液晶排列方向成反方向並通過一定間隙(細胞間隙)反向配置。接著，在以基材表面(配向膜)及間隔所區劃之細胞間隙內填充液晶化合物，並封裝充填孔，以形成液晶單元。因此內外之液晶單元可由黏接垂直偏光板或排列於一個基板表面之液晶偏振方向，形成內外表面之配向方向一致之液晶顯示元件。
第二種方法係於至少一側具有透明導電膜之第一
透明基板之一側或兩側將根據本發明之感光性樹脂組成物利用類似前述第一種方法形成保護膜或間隙體。之後，沿基板之端點利用紫外光硬化型之黏著劑塗佈於其上。然後，利用液晶分配器將微小液晶化合物滴於基板上，並於
真空下堆疊基板。接著，在紫外光之照射下封合，並將液晶內外之偏光板貼合即可得液晶顯示元件。
本發明之液晶化合物的具體例可為向列型液晶或層列型液晶，較佳為向列型液晶，例如：Shiff鹼型液晶、氧化偶氮型液晶、聯苯型液晶、苯基環乙烷型液晶、酯型液晶、三聯苯型液晶、聯苯環己烷型液晶、嘧啶型液晶、二惡烷聚環辛烷型液晶、二環辛烷型液晶、五環辛烷型液晶、氯化物型液晶、膽固醇碳酸鹽或膽甾液晶之膽固醇型液晶。前述之液晶化合物亦可包含手性劑，例如：p-癸氧基苯亞甲基-p-胺基-2-甲基丁基肉桂酸酯(默克公司製造，型號為C-15或CB-15之商品)的強誘電型液晶。
於液晶顯示元件之外側可使用偏光板、聚乙烯醇之配向延伸膜、可吸收碘之「H膜」或夾於纖維醋酸保護膜及偏光板間之「H膜」。
以下利用數個實施方式以說明本發明之應用，然其並非用以限定本發明，本發明技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾。
以下係根據第1及2表製備合成例A-1-1至A-1-5及A-2-1至A-2-3之具有乙烯性不飽和基之樹脂。
在一四頸錐瓶上設置攪拌器、溫度計、冷凝管及氮氣入口，並導入氮氣。然後，加入135重量份之丙二醇單甲醚乙酸酯，並將溫度升溫至100℃。接著，將50重量份之甲基丙烯酸(簡稱為MAA)、10重量份之甲基丙烯酸雙環戊酯(簡稱為FA-513M)、40重量份之甲基丙烯酸苯甲酯(簡稱為BzMA)及2.6重量份之偶氮二異丁腈溶於100重量份之丙二醇單甲醚乙酸酯中，並將此混合溶液於2小時內逐滴滴入四頸錐瓶中。於100℃反應5小時後，將40重量份之甲基丙烯酸環氧丙酯(簡稱為GMA)加至充滿氮氣之四頸錐瓶中，並將溫度上升至110℃。反應6小時後，即可製得合成例A-1-1之具有乙烯性不飽和基的樹脂。
合成例A-1-2至A-1-5係使用與合成例A-1-1之具有乙烯性不飽和基的樹脂之製作方法相同的製備方法，不同之處在於合成例A-1-2至A-1-5係改變具有乙烯性不飽和基的樹脂中原料的種類及使用量，且其配方如第1表所示，在此不另贅述。
將1重量份的2,2’-偶氮雙異丁腈、240重量份的丙二醇甲醚醋酸酯、50重量份的甲基丙烯酸(簡稱為MAA)、20重量份的甲基丙烯酸雙環戊酯(簡稱為FA-513M)、30重量份的甲基丙烯酸苯甲酯(簡稱為BzMA)置於一裝有攪拌
器及冷凝器之圓底燒瓶中，並使該燒瓶內部充滿氮氣。然後，緩慢攪拌並升溫至80℃，使各反應物均勻混合並進行聚合反應4小時。接著，再將其升溫至100℃，並添加0.5重量份的2,2’-偶氮二異丁腈。進行聚合反應1小時後，即可製得合成例A-2-1之其它鹼可溶性樹脂。
合成例A-2-2係使用與合成例A-2-1之其他鹼可溶性樹脂之製作方法相同的製備方法，不同之處在於合成例A-2-2係改變其他鹼可溶性樹脂中原料的種類及使用量，且其配方如第2表所示，在此不另贅述。
將1重量份的2,2’-偶氮雙異丁腈、240重量份的丙二醇甲醚醋酸酯、30重量份的甲基丙烯酸(簡稱為MAA)、30重量份的甲基丙烯酸雙環戊酯(簡稱為FA-513M)、30重量份的甲基丙烯酸苯甲酯(簡稱為BzMA)、10重量份的甲基丙烯酸環氧丙酯(簡稱為GMA)置於一裝有攪拌器及冷凝器之圓底燒瓶中，並使該燒瓶內部充滿氮氣。然後，緩慢攪拌並升溫至80℃，使各反應物均勻混合並進行聚合反應4小時。接著，再將其升溫至100℃，並添加0.5重量份的2,2’-偶氮二異丁腈。進行聚合反應1小時後，即可製得合成例A-2-3之其它鹼可溶性樹脂。
以下係根據第3與4表製備實施例1至7及比較例1至5之感光性樹脂組成物。
將100重量份之前述合成例A-1-1製得的鹼可溶性樹脂、10重量份之1,4-丁二醇酯(簡稱為B-1-1)、20重量份之二季戊四醇六丙烯酸酯(簡稱為B-2-1)、5重量份1-[9-乙基-6-(2-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮-1-(O-乙醯基肟)(簡稱為C-2)、5重量份之2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮(簡稱為C-3)、0.2重量份之鄰萘醌二疊氮磺酸酯(簡稱為D-1)，且此鄰萘醌二疊氮磺酸酯係由1-[1-(4-羥基苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(4-羥基苯基)乙基]苯與鄰萘醌二疊氮-5-磺酸所形成、200重量份之丙二醇甲醚醋酸酯(簡稱為E-1)及0.2重量份之1-[1-(4-羥基苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(4-羥基苯基)乙基]苯(簡稱為F-1)，以搖動式攪拌器形成均勻溶液狀態，即可製得實施例1之感光性樹脂組成物。所得之感光性樹脂組成物以下列之評價方式進行評價，其結果如第3表所示，其中高溫高濕下密著性及殘渣之檢測方法容後再述。
實施例2至7及比較例1至5係使用與實施例1之感光性樹脂組成物的製作方法相同之製備方法，不同之處在於實施例2至7及比較例1至5係改變感光性樹脂組成物中原料的種類及使用量，且其配方及評價結果如第3與4表所示，在此不另贅述。
將前述實施例1至7及比較例1至5所製得之感光性樹脂組成物以旋轉塗佈之方式塗佈於尺寸為100mm×100mm×0.7mm之玻璃上，而製得厚度為6μm之塗膜。接著，將所製得之塗膜以90℃進行預烤。經過2至3分鐘後，將塗膜放置於指定之光罩圖案下，並以曝光機(M&N Nano Technology公司製造，型號為AG500-4N)進行曝光，其中曝光機之紫外光的能量為100mJ/cm2。然後，將塗膜浸置於濃度為0.05%之KOH水溶液中。經過45至90秒後，去除未曝光之部份。以清水沖洗，且於235℃之溫度下進行後烤。經過30分鐘後，即可製得間隙體或保護膜。
將上述實施例1至7及比較例1至5所製得之保護膜浸泡於60℃之熱水中。經過30分鐘後，根據JIS.5400(1900)8.5密著性試驗法中的8.5.2的基盤目法，將上述之保護膜以小刀切割成100個基盤目，以膠帶沾黏後撕下，觀察基盤目殘留的情形，並依據下述基準進行評價：
◎：5B。
○：4B。
△：3B至2B。
×：1B至0B。
其中，5B：無任何基盤目脫落。
4B：0%≦脫落的基盤目數量≦5%。
3B：5%≦脫落的基盤目數量≦15%。
2B：15%≦脫落的基盤目數量≦35%。
1B：35%≦脫落的基盤目數量≦65%。
0B：65%≦脫落的基盤目數量≦100%。
將指定之光罩圖案(msak)貼緊上述實施例1至7及比較例1至5所製得之預烤圖膜，並利用曝光機(Canon製造，型號為PLA-501F)以100mJ/cm2的紫外光之光量照射。然後，將曝光後之預烤圖膜浸漬於23℃之顯影液中。經過1分鐘後，去除基板上尚未曝光之部分，並以純水洗淨。接著，以235℃之溫度後烤80分鐘，即可在玻璃基板上形成所要之感光性樹脂圖案。之後，以顯微鏡觀察感光性樹脂圖案，確定未曝光之部分是否有殘渣存在，並依據下述基準進行評價：
◎：無殘渣。
○：輕微殘渣。
△：少許殘渣。
×：殘渣很多。
由第3與4表之結果可知，當感光性樹脂組成物併用具有乙烯性不飽和基的樹脂(A-1)及醌二疊氮磺酸酯(D)時，所製得之感光性樹脂組成物於高溫高濕之條件下具有良好之密著性，且不產生殘渣。
其次，當感光性樹脂組成物具有增感劑(F)時，增感劑(F)可進一步減少感光性樹脂組成物之殘渣。
再者，當感光性樹脂組成物具有不具有乙烯性不飽和基(A-2)時，所製得之感光性樹脂組成物不具有良好之高溫高濕下密著性，且感光性樹脂組成物不包含醌二疊氮磺酸酯時，所製得之感光性樹脂組成物容易產生殘渣。
需補充的是，本發明雖以特定的化合物、組成、反應條件、製程、分析方法或特定儀器作為例示，說明本發明之感光性樹脂組成物及其應用，惟本發明所屬技術領域中任何具有通常知識者可知，本發明並不限於此，在不脫離本發明之精神和範圍內，本發明之感光性樹脂組成物及其應用亦可使用其他的化合物、組成、反應條件、製程、分析方法或儀器進行。
雖然本發明已以實施方式揭露如上，然其並非用以限定本發明，在本發明所屬技術領域中任何具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
Claims (10)
- 一種感光性樹脂組成物，包含：鹼可溶性樹脂(A)，包含一具有乙烯性不飽和基之樹脂(A-1)；一具有乙烯性不飽和基之化合物(B)；一光起始劑(C)，選自於由氧-醯基肟類化合物、三氮雜苯類化合物、苯乙烷酮類化合物、二咪唑類化合物、二苯甲酮類化合物、α-二酮類化合物以及上述之任意組合所組成之一族群；醌二疊氮磺酸酯(D)；以及一溶劑(E)。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其中該具有乙烯性不飽和基之樹脂(A-1)係由不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)及其他不飽和化合物(a2)所共聚合而得之共聚合物與具有環氧基之不飽和化合物(a3)反應而得。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其中該具有乙烯性不飽和基之化合物(B)包含具有直鏈狀二醇之二丙烯酸酯或二甲基丙烯酸酯(B-1)，其中該直鏈狀二醇之碳數為2至12。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其中基於該鹼可溶性樹脂(A)之使用量為100重量份，該具 有乙烯性不飽和基之樹脂(A-1)之使用量為50重量份至100重量份，該具有乙烯性不飽和基之化合物(B)之使用量為30重量份至300重量份，該具有直鏈狀二醇之二丙烯酸酯或二甲基丙烯酸酯(B-1)之使用量為10重量份至150重量份，該光起始劑(C)之使用量為10重量份至60重量份，該醌二疊氮磺酸酯(D)之使用量為0.1重量份至5重量份，且該溶劑(E)之使用量為200重量份至2000重量份。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，更包含一增感劑(F)。
- 如申請專利範圍第5項所述之感光性樹脂組成物，其中基於該鹼可溶性樹脂(A)之使用量為100重量份，該增感劑(F)之使用量為0.2重量份至5重量份。
- 一種於基板上形成薄膜之方法，其係對基板上之如申請專利範圍第1至6項中之任一項所述的感光性樹脂組成物依序進行預烤處理、曝光處理、顯影處理及後烤處理。
- 一種基板上之薄膜，其係利用如申請專利範圍第7項所述之方法製得。
- 如申請專利範圍第8項所述之薄膜，其中該薄膜為一液晶顯示元件用之一保護膜或一間隙體。
- 一種液晶顯示元件，其係包含如申請專利範圍第8或9項所述之薄膜。
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