JP2010054561A - 保護膜用感光性組成物及びそれを用いたカラーフィルタ - Google Patents
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Abstract
【課題】着色層との密着性が良好で、透過率が高く、平坦性に優れ、また、透明電極を形成させる場合の耐性も良好な保護膜用感光性組成物、及びその保護膜を形成したカラーフィルタを提供する。
【解決手段】（Ａ）バインダー樹脂、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）溶剤からなる保護膜用感光性組成物において、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物のエチレン性不飽和結合当量が９０ｇ／ｅｑ以上４５０ｇ／ｅｑ以下であり、エチレン性不飽和結合を有する化合物１分子中のエチレン性不飽和二重結合の数が２個以上４個以下であり、（Ａ）バインダー樹脂はアルカリ可溶性樹脂であり、重量平均分子量が１００００以上２００００以下であること。
【選択図】図１
【解決手段】（Ａ）バインダー樹脂、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）溶剤からなる保護膜用感光性組成物において、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物のエチレン性不飽和結合当量が９０ｇ／ｅｑ以上４５０ｇ／ｅｑ以下であり、エチレン性不飽和結合を有する化合物１分子中のエチレン性不飽和二重結合の数が２個以上４個以下であり、（Ａ）バインダー樹脂はアルカリ可溶性樹脂であり、重量平均分子量が１００００以上２００００以下であること。
【選択図】図１
Description
本発明は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッセンスパネル、及びカラービデオカメラ等に使用されるカラーフィルタ、及びこのカラーフィルタに使用可能な保護膜用感光性組成物に関する。
カラー液晶表示装置はコンピュータ端末表示装置、テレビ画像表示装置を中心に急速に普及が進んでいる。カラーフィルタは液晶表示装置のカラー表示化には必要不可欠な重要な部品である。近年、この液晶表示装置には高画質化の要求が高く、高コントラスト化、高視野角、高速応答性を備える液晶表示装置が出現してきている。
その為、カラーフィルタの高コントラスト化や平坦性の向上が求められている。平坦性については、カラーフィルタを平坦化することで液晶の配向乱れを低減し、液晶パネルとしてのコントラストを向上させる狙いがある。カラーフィルタを作製する手法としては、感光性組成物に顔料分散液を混合した着色感光性組成物を用いることが知られている。着色感光性組成物を塗布し、乾燥、露光、現像して微細なパターンを形成しカラーフィルタを製造している。
着色感光性組成物を用いる場合、ブラックマトリクスを形成し、その後着色部をパターン形成して製造する為、ブラックマトリクスと着色画素のパターンで重畳する部分が生じる。その重畳部で段差が生じ、カラーフィルタの平坦性が失われる。その段差を低減させる方法として、ブラックマトリクスの膜厚を低くする、即ちブラックマトリクス用感光性組成物中の黒顔料濃度を高め、微細パターンを形成させる。また、ブラックマトリスクのパターン形状の制御、ブラックマトリクスと着色画素パターンとの重畳部の幅の制御などが挙げられる。
顔料濃度を高めた感光性組成物では、密着性、耐薬品性が低下してしまう。その為、特許文献１では平坦性、密着性、耐薬品性を兼ね備えたカラーフィルタとしてブラックマトリクスや着色画素上に保護膜を形成する方法が提案されている。特許文献２では、熱硬化型の保護膜が提案されている。しかし、熱硬化保護膜はパターン形成が出来ず、必要の無い箇所にも保護膜が形成されてしまうという問題がある。特許文献３では、光硬化型保護膜組成物中にエポキシ樹脂を配合した光硬化型保護膜組成物が提案されている。この提案では、密着性を向上させる為にエポキシ樹脂の添加量を多くすると現像性や平坦性が悪化する可能性がある。また、特許文献４では、保護膜用熱硬化組成物中のエチレン性不飽和基の量を規定することで、硬化後の膜の剥離性に優れた材料を設計している。保護膜の形成、欠陥検査後に保護膜の不良が発生させた場合に、速やかに剥離ができ、リペアが可能ということである。即ち、着色層との密着性を低下させ、更に耐薬品に対して弱くしている設計となる。
特許第３５７５０９５号
特開２００７−１８６５４２号公報
特許第３７３５９８４号
特開２００８−５２２４９号公報
本発明は、着色層との密着性が良好で、透過率が高く、平坦性に優れ、また、透明電極を保護層上に形成させる場合の耐性（耐シワの発生）も良好な保護膜用感光性組成物、及びその保護膜用感光性組成物を用いて保護膜を形成したカラーフィルタを提供することを課題とする。
本発明は、（Ａ）バインダー樹脂、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）溶剤からなる保護膜用感光性組成物において、
前記（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物のエチレン性不飽和結合当量が９０ｇ／ｅｑ以上４５０ｇ／ｅｑ以下であり、エチレン性不飽和結合を有する化合物１分子中のエチレン性不飽和二重結合の数が２個以上４個以下であり、前記（Ａ）バインダー樹脂はアルカリ可溶性樹脂であり、重量平均分子量が１００００以上２００００以下であることを特徴とする保護膜用感光性組成物である。
前記（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物のエチレン性不飽和結合当量が９０ｇ／ｅｑ以上４５０ｇ／ｅｑ以下であり、エチレン性不飽和結合を有する化合物１分子中のエチレン性不飽和二重結合の数が２個以上４個以下であり、前記（Ａ）バインダー樹脂はアルカリ可溶性樹脂であり、重量平均分子量が１００００以上２００００以下であることを特徴とする保護膜用感光性組成物である。
また、本発明は、上記発明による保護膜用感光性組成物において、前記（Ｃ）光重合開始剤がα−アミノケトン系開始剤であることを特徴とする保護膜用感光性組成物である。
また、本発明は、上記発明による保護膜用感光性組成物において、前記（Ｃ）光重合開始剤が保護膜感光性組成物固形分中に４％〜３０％含まれていることを特徴とする保護膜用感光性組成物である。
また、本発明は、上記発明による保護膜用感光性組成物において、前記（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物の粘度が５０ｍＰａ・ｓ／２５℃以上１０００ｍＰａ・ｓ／２５℃以下であることを特徴とする保護膜用感光性組成物である。
また、本発明は、上記発明による保護膜用感光性組成物において、請求項１〜４のいずれか１項に記載の保護膜用感光性組成物をカラーフィルタ上に１．０μｍ以上４．０μｍ以下に塗布し、乾燥、露光、現像、硬膜工程を経て保護膜を形成したことを特徴とするカラーフィルタである。
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記保護膜用感光性組成物をカラーフィルタ上に１．５μｍ塗布し、乾燥、露光、現像、硬膜工程を経て保護膜が形成された際の段差が０．３μｍ以下であることを特徴とするカラーフィルタである。
本発明の保護膜用感光性組成物を用いることで、下地着色層との密着性が良好で、同時に透過率、平坦性の良好な保護膜を提供することができる。また、耐薬品性においても良好な保護膜を提供できる。また、透明電極を保護層上に形成させる場合の耐性についても良好な保護層を提供することができる。
また、平坦性の良好なカラーフィルタを形成できることになり、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッセンスパネル、及びカラービデオカメラ等に使用されるカラーフィルタ及び、その周辺材料としても使用することができる可能性がある。更に、本発明によればＴＦＴアレイ素子を保護する層間絶縁膜としても使用でき、カラーフィルタ側とＴＦＴアレイ側の電気特性の差を低減でき、表示ムラなどの解消としても使用することが可能である。
また、平坦性の良好なカラーフィルタを形成できることになり、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッセンスパネル、及びカラービデオカメラ等に使用されるカラーフィルタ及び、その周辺材料としても使用することができる可能性がある。更に、本発明によればＴＦＴアレイ素子を保護する層間絶縁膜としても使用でき、カラーフィルタ側とＴＦＴアレイ側の電気特性の差を低減でき、表示ムラなどの解消としても使用することが可能である。
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
本発明は、上記の課題に対し、保護膜用感光性組成物中の（Ａ）バインダー樹脂、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物、及び（Ｃ）光重合開始剤に着目して鋭意研究を行った結果、達成されたものであり、上記課題を解決したものである。
本発明は、上記の課題に対し、保護膜用感光性組成物中の（Ａ）バインダー樹脂、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物、及び（Ｃ）光重合開始剤に着目して鋭意研究を行った結果、達成されたものであり、上記課題を解決したものである。
本発明の（Ａ）バインダー樹脂は、アルカリ可溶性樹脂である。アルカリ可溶性であるため、（Ａ）バインダー樹脂として、カルボン酸を有するアクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、ビニル安息香酸又は（メタ）アクリル酸のカプロラクトン付加物、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートに無水フタル酸などの酸無水物を付加させたものを含む共重合体が挙げられる。
また、その他の特性を調整する為に、第３成分のコモノマーを用いて３元あるいはそれ以上の多元共重合体としてもよい。そのようなコモノマーとしては、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、プロピルメタクリレート、ブチルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、ラウリルメタクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート、エトキシエチルメタクリレート、グリシジルメタクリレート、ジメチルアミノエチルメタクリレート、ベンジルアクリレート、メチルアクリレート、エチルアクリレート、ブチルアクリレート、ヒドロキシメチルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、ビニルアセテート、テトラヒドロフルフリルアクリレート、Ｎ−ビニルピロリドン、プロピルアクリレート、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート等が挙げられるが、この限りではなく、共重合可能であれば使用することができる。
また、Ｎ−置換マレイミドと酸性官能基を有するモノマーを含む共重合体を使用しても良い。Ｎ−置換マレイミドとしてはシクロヘキシルマレイミド、フェニルマレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、ｎ−ブチルマレイミド、ラウリルマイレミド等がある。中でも、シクロヘキシルマレイミドあるいはフェニルマレイミドが、透明基板との密着性、現像性、の点においても良好であることから特に好ましい。
本発明の（Ａ）バインダー樹脂の分子量（重量平均分子量）としては、１００００以上２００００以下が望ましい。１００００以下の分子量では、塗膜を形成する場合にピンホール（白抜け）や、膜均一性が悪くなる。更に、分子量の制御ということからも難しくなる。また、分子量が２００００を超えるとブラックマトリクスと着色層で出来た段差に追随し、平坦性が悪くなる。バインダー樹脂の分子量は１００００以上１５０００以下の範囲がより望ましい。
（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物としては、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルジアクリレート、EO変性ビスフェノールAジメタクリレート、メトキシ化シクロヘキシルジアクリレート、カプロラクトン変性ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコール変性トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸エステル類を挙げられるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。これらは、１種単独で、または、２種以上を併用することができる。
（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物の粘度は、５０ｍＰａ・ｓ／２５℃以上１０００ｍＰａ・ｓ／２５℃以下の範囲が望ましい。５０ｍＰａ・ｓ／２５℃以下では、塗布後の塗膜にタック性が生じ、異物が塗膜表面に付着し易くなる。更に、塗布後の塗膜に流動性が残り、プレベイクなどでムラなどが発生する。また、粘度が１０００ｍＰａ・ｓ／２５℃以上では、塗膜の流動性が悪く、ブラックマトリクスと着色層で出来た段差に追随し、平坦性が悪くなる。
更に、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物のエチレン性不飽和結合当量が９０ｇ／ｅｑ以上４５０ｇ／ｅｑ以下が最適に使用することができる。９０ｇ／ｅｑ以下では、エチレン性不飽和結合の数が多くなる為、露光工程やポストベイク後の膜収縮率が高くなり、保護膜と下地との密着性が低下する。エチレン性不飽和結合当量が４５０ｇ／ｅｑ以上では十分な硬化が進まず、膜硬度が低下する為、ＩＴＯ（インジウム・チン・オキサイド）などの透明導電膜を保護膜上に形成した場合に、透明導電膜の膜収縮に追随し、保護膜表面にシワが発生するという問題がある。
（Ｃ）光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン、２,２'−ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ジメチルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類、ベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、ｐ,ｐ'−ビスジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類、ベンジルジメチルケタール、チオキサンソン、２−クロロチオキサンソン、２,４−ジエチルチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、２−イソプロピルチオキサンソン等の硫黄化合物、２−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１,２−ベンズアントラキノン、２,３−ジフェニルアントラキノン等のアントラキノン類、２,４−トリクロロメチル−（４'−メトキシフェニル）−６−トリアジン、２,４−トリクロロメチル−（４'−メトキシナフチル）−６−トリアジン、２,４−トリクロロメチル−（ピペロニル）−６−トリアジン、２,４−トリクロロメチル−（４'−メトキシスチリル）−６−トリアジン等のトリアジン類、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキサイド、クメンパーオキシド等の有機過酸化物、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物等が挙げられるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。これらの光重合開始剤は、その１種単独で、または、２種以上を併用することもできる。透明性、光感度の点からα‐アミノアセトフェノンを用いる事が望ましい。
（Ｃ）光重合開始剤の含有量としては、保護膜用感光性組成物固形分中に４％〜３０％が最適である。光重合開始剤が４％以下では、十分な感度が不足し、パターンを形成することが出来なくなる。また、光重合開始剤が３０％30%以上では、開始剤による着色により、保護膜の透明性が失われる。
また、本発明の保護膜用感光性組成物には、必要により、公知の溶剤や公知の添加剤を含有させてもよい。
（Ｄ）溶剤としては、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどが挙げられるが必ずしもこれらに限定されるものではない。溶剤を使用する場合、溶剤の配合量（重量％）は、特に限定されないが、光硬化性樹脂組成物の固形分重量に基づいて、５０〜１０００％が好ましく、さらに好ましくは７０〜９００％、特に好ましくは８０〜８００％である。
（Ｄ）溶剤としては、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどが挙げられるが必ずしもこれらに限定されるものではない。溶剤を使用する場合、溶剤の配合量（重量％）は、特に限定されないが、光硬化性樹脂組成物の固形分重量に基づいて、５０〜１０００％が好ましく、さらに好ましくは７０〜９００％、特に好ましくは８０〜８００％である。
その他、例えば、熱重合禁止剤、無機顔料、シランカップリング剤、染料、蛍光増白剤、黄変防止剤、酸化防止剤、消泡剤、消臭剤、芳香剤、殺菌剤、防菌剤及び防かび剤溶剤等を必要に応じて使用できる。
ここでは、カラーフィルタ上に保護膜を形成する場合について、図１を例にして説明す
る。図１において、本発明のカラーフィルタ１は、透明基板２と、この基板２上に形成されたブラックマトリックス３、赤色画素（４−１）、緑色画素（４−２）、及び青色画素（４−３）からなる着色層４を備え、該着色層４の上に、本発明の保護膜用感光性組成物で保護膜５が形成され、その上に透明電極となる透明電極層６が形成されたものである。
る。図１において、本発明のカラーフィルタ１は、透明基板２と、この基板２上に形成されたブラックマトリックス３、赤色画素（４−１）、緑色画素（４−２）、及び青色画素（４−３）からなる着色層４を備え、該着色層４の上に、本発明の保護膜用感光性組成物で保護膜５が形成され、その上に透明電極となる透明電極層６が形成されたものである。
上記のカラーフィルタ１を構成する透明基板２としては、ガラス、プラスチック板、フィルム等を用いることができる。近年、透過性、耐薬品性に優れたプラスチック基板の提案もなされているが、一般的には熱膨張率が小さく、高温での寸法精度に優れている無アルカリガラスが広く用いられている。
透明基板としては、ガラス基板、シリコン基板、銅板、有機高分子フィルム等が挙げられる。有機高分子フィルムとしては、例えば、ポリエステル樹脂、ジアセテート樹脂、トリアセテート樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリイミド樹脂、セロハン、セルロイド等からなる合成樹脂フィルムが挙げられる。
透明基板としては、ガラス基板、シリコン基板、銅板、有機高分子フィルム等が挙げられる。有機高分子フィルムとしては、例えば、ポリエステル樹脂、ジアセテート樹脂、トリアセテート樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリイミド樹脂、セロハン、セルロイド等からなる合成樹脂フィルムが挙げられる。
複数の画素は、図１では赤色画素（４−１）、緑色画素（４−２）、及び青色画素（４−３）として示されている。また、必要に応じてブラックマトリックス３を設けることもできる。これらブラックマトリックス３と、赤色画素（４−１）、緑色画素（４−２）、及び青色画素（４−３）を合わせて、ここでは着色層４とする。
透明基板２上に設けられるブラックマトリックス３は、光漏れによるコントラストの低下を防ぐ目的で各色の画素間や着色層４の形成領域の外側に設けられている。このようなブラックマトリックス３は、クロム、酸化クロムの多層蒸着薄膜をパターニングして形成する方法や、カーボンブラック等の遮光性顔料を分散させた樹脂ＢＭレジストを用い、通常のフォトリソグラフィー法によって形成する方法等により形成することができる。
複数の画素は、各色とも顔料分散レジストを用い、フォトリソグラフィー法によって所定のパターン形状に形成することができる。即ち、所望の色を表現するように調整された顔料を含む感光性着色組成物を透明基板２上に塗布し、パターン露光、現像を行うことで、１色目のパターン形成を行う。これを所定の色数だけ順次繰り返すことによって目的とする画素を得ることが可能であり、ここでは赤色画素（４−１）、緑色画素（４−２）、青色画素（４−３）の３色が順次形成されている。
前記方法以外に、印刷法、インクジェット法、転写法、又は前述のフォトリソグラフィー法を含む方法を組み合わせて形成してもよい。
前記方法以外に、印刷法、インクジェット法、転写法、又は前述のフォトリソグラフィー法を含む方法を組み合わせて形成してもよい。
着色層に用いられる顔料としては、例えば、赤色用顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２５４（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「イルガーフォーレッド Ｂ−ＣＦ」）、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １７７（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「クロモフタールレッド Ａ２Ｂ」）；緑色用顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６（東洋インキ製造製「リオノールグリーン ６ＹＫ」）、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５０（バイエル社製「ファンチョンファーストイエロー Ｙ−５６８８」）；青色用顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５（東洋インキ製造製「リオノールブルーＥＳ」）、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２３（ＢＡＳＦ社製「パリオゲンバイオレット ５８９０」）等が挙げられる。
本発明の保護膜用感光性組成物を、基板上にロールコート、スピンコート、スプレーコート、スリットコート等、公知の方法によって均一に塗布し、乾燥させて保護膜を形成する。塗布装置としては、公知の塗布装置が使用でき、例えば、スピンコーター、エアーナイフコーター、ロールコーター、バーコーター、カーテンコーター、グラビアコーター及びコンマコーター等が挙げられる。ここではあ色層４上に形成する例について説明している。
着色層上に保護膜用感光性組成物を塗布した場合の乾燥温度としては、１０℃以上が好ましく、さらに好ましくは１２℃以上、特に好ましくは１５℃以上、最も好ましくは２０℃以上であり、また１００℃未満が好ましく、さらに好ましくは９０℃以下、特に好ましくは６０℃以下、最も好ましくは５０℃以下である。
乾燥時間は、３０秒以上が好ましく、さらに好ましくは１分以上、特に好ましくは２分以上であり、また１０分以下が好ましく、さらに好ましくは８分以下、特に好ましくは５分以下である。乾燥は、減圧、常圧どちらでもよいが、減圧の方が好ましい。また、空気中、不活性ガス中どちらで行ってもよいが、不活性ガス中が好ましい。
乾燥時間は、３０秒以上が好ましく、さらに好ましくは１分以上、特に好ましくは２分以上であり、また１０分以下が好ましく、さらに好ましくは８分以下、特に好ましくは５分以下である。乾燥は、減圧、常圧どちらでもよいが、減圧の方が好ましい。また、空気中、不活性ガス中どちらで行ってもよいが、不活性ガス中が好ましい。
次いで、所定のフォトマスクを介して活性光線により、塗膜への露光を行う。
露光に用いる活性光線としては、本発明の保護膜用感光性組成物を硬化させることができれば特に制限はない。活性光線としては、可視光線、紫外線、レーザー光線等が挙げられる。光線源としては、太陽光、高圧水銀灯、低圧水銀灯、メタルハライドランプ、半導体レーザー等が挙げられる。また、マスクを用いてパターン形成させる場合に、露光量としては、特に限定されないが、好ましくは２０〜３００ｍＪ／ｃｍ2 である。
露光に用いる活性光線としては、本発明の保護膜用感光性組成物を硬化させることができれば特に制限はない。活性光線としては、可視光線、紫外線、レーザー光線等が挙げられる。光線源としては、太陽光、高圧水銀灯、低圧水銀灯、メタルハライドランプ、半導体レーザー等が挙げられる。また、マスクを用いてパターン形成させる場合に、露光量としては、特に限定されないが、好ましくは２０〜３００ｍＪ／ｃｍ2 である。
また、フォトマスクを介して活性光線により、塗膜への露光を行う場合、フォトマスクの一部の開口部にＩＴＯ膜や金属薄膜を蒸着したハーフトーンマスクなど用いて、露光して形成しても良い。その場合、フォトマスクのハーフトーン部と非ハーフトーン部とに対応した部位間で膜厚差がある保護層となる。
続いて未露光部を現像液で除去し、現像を行う。ここで現像に用いる現像液としては、前述の有機溶剤、ＰＨ４〜１１の水等が挙げられるが、環境的な配慮から水あるいはアルカリ水溶液を用いることが好ましい。
アルカリ水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム等の無機塩の水溶液、ヒドロキシテトラメチルアンモニウム、ヒドロキシテトラエチルアンモニウム等の有機塩の水溶液を用いることができる。これらを単独又は２種以上組み合わせて用いることもでき、また、アニオン界面活性剤、カチオン界面活性剤、両性界面活性剤、ノニオン界面活性剤等の界面活性剤を添加して用いることもできる。
現像方法としては、ディップ方式とシャワー方式があるが、シャワー方式の方が好ましい。現像液の温度は、好ましくは２５〜４０℃で使用される。現像時間は、膜厚やレジストの溶解性に応じて適宜決定される。
アルカリ水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム等の無機塩の水溶液、ヒドロキシテトラメチルアンモニウム、ヒドロキシテトラエチルアンモニウム等の有機塩の水溶液を用いることができる。これらを単独又は２種以上組み合わせて用いることもでき、また、アニオン界面活性剤、カチオン界面活性剤、両性界面活性剤、ノニオン界面活性剤等の界面活性剤を添加して用いることもできる。
現像方法としては、ディップ方式とシャワー方式があるが、シャワー方式の方が好ましい。現像液の温度は、好ましくは２５〜４０℃で使用される。現像時間は、膜厚やレジストの溶解性に応じて適宜決定される。
また、より硬化を確実にするために、必要に応じて加熱（ベーク）を行ってもよい。ベークを行う場合、ベーク温度としては、好ましくは１００〜２５０℃、さらに好ましくは１５０〜２４０℃、特に好ましくは１８０〜２３０℃である。ベーク時間は５分〜６時間、好ましくは１５分〜４時間、特に好ましくは３０分〜３時間である。ベークは、減圧、常圧どちらでもよいが、減圧の方が好ましい。また、空気中、不活性ガス中どちらで行ってもよいが、不活性ガス中が好ましい。
保護膜５を形成した後に、透明電極層などをスパッタリング法、真空蒸着法等のＰＶＤ法、あるいは、ＣＶＤ法などの一般的な成膜方法により形成することができる。
保護膜５はカラーフィルタの平坦性を付与するもので、液晶パネルのコントラストの向上に大変重要な役割を果たす。保護膜用感光性組成物を１．５μｍで塗膜化した場合の４００ｎｍの光の透過率が９０％以上であることが望ましく、より好ましくは透過率が９５％以上であることである。４００ｎｍの透過率が９５％以下では、カラーフィルタの色相や明度の低下になる。
また、本発明の保護膜用感光性組成物をカラーフィルタ上に１．５μｍになるように塗布し、乾燥、露光、現像、ポストベイク工程を経て保護膜を形成した後のカラーフィルタの段差が０．３μｍ以下であることが好ましい。より好ましくは０．１μｍ以下の段差である。段差がより低くなることで、液晶パネルのコントラスは向上する。
カラーフィルタ上に本発明の保護膜用感光性組成物を用いて保護膜５を形成する場合の膜厚としては、１．０μｍ以上４．０μｍ以下が最適に使用することができる。１．０μｍ以下では、着色層で出来ているカラーフィルタの段差を十分に低減させることが出来ない。また、膜厚が４．０μｍ以上では、均一良く塗膜を塗布することが難しくなる。
カラーフィルタ上に本発明の保護膜用感光性組成物を用いて保護膜５を形成する場合、平坦性を向上させるために、複数積層してもよい。
また、ガスバリア性など必要に応じて、保護層の形成後に、スパッタリング法、真空蒸着法等のＰＶＤ法、又はＣＶＤ法によりガスバリア層を形成しても良い。
また、ガスバリア性など必要に応じて、保護層の形成後に、スパッタリング法、真空蒸着法等のＰＶＤ法、又はＣＶＤ法によりガスバリア層を形成しても良い。
ガスバリア層としては、例えば酸化ケイ素、酸化窒化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化タンタル、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化錫、酸化インジウム合金等の無機酸化物；窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化チタン、炭化窒化ケイ素等の無機窒化物；アルミニウム、銀、錫、クロム、ニッケル、チタン等の金属；などを用いることができる。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、同様な作用効果を奏するものは、本発明の技術的範囲に包含される。
以下、本発明について実施例により具体的に説明する。
＜実施例１＞
［アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）の合成］
内容量が２リットルの５つ口反応容器内に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＡｃ）８００ｇ、ベンジルメタクリレート（ＢｚＭＡ）１４０ｇ、メタクリル酸（ＭＡＡ）３０ｇ、ヒドロキシエチルメタクリレート（ＨＥＭＡ）３０ｇ、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）４ｇを加え窒素を吹き込みながら８０℃で６時間加熱し、（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）溶液を得た。
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）の重量平均分子量は１２０００であった。
＜実施例１＞
［アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）の合成］
内容量が２リットルの５つ口反応容器内に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＡｃ）８００ｇ、ベンジルメタクリレート（ＢｚＭＡ）１４０ｇ、メタクリル酸（ＭＡＡ）３０ｇ、ヒドロキシエチルメタクリレート（ＨＥＭＡ）３０ｇ、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）４ｇを加え窒素を吹き込みながら８０℃で６時間加熱し、（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）溶液を得た。
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）の重量平均分子量は１２０００であった。
［保護膜用感光性組成物（１）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
ＥＯ変性ビスフェノールＡメタクリレート（ＢＰＥ−５００：新中村化学社製）
（二重結合当量：４０２ｇ／ｅｑ、二重結合数：２、粘度：４００ｍＰａ・ｓ／２５℃）（Ｃ）光重合開始剤：１６重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（１）を得た。
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
ＥＯ変性ビスフェノールＡメタクリレート（ＢＰＥ−５００：新中村化学社製）
（二重結合当量：４０２ｇ／ｅｑ、二重結合数：２、粘度：４００ｍＰａ・ｓ／２５℃）（Ｃ）光重合開始剤：１６重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（１）を得た。
［各色顔料分散レジストの調製］
カラーフィルタの着色層の形成に用いる各色顔料分散レジスト（顔料を含む感光性着色組成物）を着色する着色剤には以下のものを使用した。
・着色剤
赤色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２５４（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「イルガーフォーレッド Ｂ−ＣＦ」）およびＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １７７（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「クロモフタールレッド Ａ２Ｂ」）
緑色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６（東洋インキ製造製「リオノールグリーン ６ＹＫ」）、およびＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５０（バイエル社製「ファンチョンファーストイエロー Ｙ−５６８８」）
青色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５（東洋インキ製造製「リオノールブルーＥＳ」）Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２３（ＢＡＳＦ社製「パリオゲンバイオレット ５８９０」）
［赤色顔料分散レジストの調製］
・分散体
下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径１ｍｍのガラスビースを用いて、サンドミルで５時間分散した後、５μｍのフィルタで濾過して赤色顔料の分散体を得た。
カラーフィルタの着色層の形成に用いる各色顔料分散レジスト（顔料を含む感光性着色組成物）を着色する着色剤には以下のものを使用した。
・着色剤
赤色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２５４（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「イルガーフォーレッド Ｂ−ＣＦ」）およびＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １７７（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「クロモフタールレッド Ａ２Ｂ」）
緑色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６（東洋インキ製造製「リオノールグリーン ６ＹＫ」）、およびＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５０（バイエル社製「ファンチョンファーストイエロー Ｙ−５６８８」）
青色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５（東洋インキ製造製「リオノールブルーＥＳ」）Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２３（ＢＡＳＦ社製「パリオゲンバイオレット ５８９０」）
［赤色顔料分散レジストの調製］
・分散体
下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径１ｍｍのガラスビースを用いて、サンドミルで５時間分散した後、５μｍのフィルタで濾過して赤色顔料の分散体を得た。
赤色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２５４・・・・１８重量部
赤色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １７７・・・・・・２重量部
アクリルワニス（固形分２０％）・・・・・・・・・・・・・１０８重量部
・赤色顔料分散レジスト
その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、５μｍのフィルターで濾過して赤色顔料分散レジストを得た。
赤色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １７７・・・・・・２重量部
アクリルワニス（固形分２０％）・・・・・・・・・・・・・１０８重量部
・赤色顔料分散レジスト
その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、５μｍのフィルターで濾過して赤色顔料分散レジストを得た。
上記分散体・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１５０重量部
トリメチロールプロパントリアクリレート・・・・・・・・・・１３重量部
（新中村化学社製「ＮＫエステルＡＴＭＰＴ」）
光重合開始剤・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３重量部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「Ｉｒｇａｃｕｒｅ９０７」）
増感剤（保土ヶ谷化学社製「ＥＡＢ−Ｆ」）・・・・・・・・・・１重量部
シクロヘキサノン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２５３重量部
［緑色顔料分散レジストの調製］
・分散体
組成がそれぞれ下記組成となるように，赤色分散体と同様の方法で作製した。
トリメチロールプロパントリアクリレート・・・・・・・・・・１３重量部
（新中村化学社製「ＮＫエステルＡＴＭＰＴ」）
光重合開始剤・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３重量部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「Ｉｒｇａｃｕｒｅ９０７」）
増感剤（保土ヶ谷化学社製「ＥＡＢ−Ｆ」）・・・・・・・・・・１重量部
シクロヘキサノン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２５３重量部
［緑色顔料分散レジストの調製］
・分散体
組成がそれぞれ下記組成となるように，赤色分散体と同様の方法で作製した。
緑色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６・・・１６重量部
黄色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５０・・・８重量部
アクリルワニス（固形分２０％）・・・・・・・・・・・・・１０２重量部
・緑色顔料分散レジスト
その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、５μｍのフィルターで濾過して緑色顔料分散レジストを得た。
黄色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １５０・・・８重量部
アクリルワニス（固形分２０％）・・・・・・・・・・・・・１０２重量部
・緑色顔料分散レジスト
その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、５μｍのフィルターで濾過して緑色顔料分散レジストを得た。
上記分散体・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１５０重量部
トリメチロールプロパントリアクリレート・・・・・・・・・・１４重量部
（新中村化学社製「ＮＫエステルＡＴＭＰＴ」）
光重合開始剤・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・４重量部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「Ｉｒｇａｃｕｒｅ９０７」）
増感剤（保土ヶ谷化学社製「ＥＡＢ−Ｆ」）・・・・・・・・・・２重量部
シクロヘキサノン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２５７重量部
［青色顔料分散レジストの調製］
・分散体
組成がそれぞれ下記組成となるように，青色分散体と同様の方法で作製した。
トリメチロールプロパントリアクリレート・・・・・・・・・・１４重量部
（新中村化学社製「ＮＫエステルＡＴＭＰＴ」）
光重合開始剤・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・４重量部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「Ｉｒｇａｃｕｒｅ９０７」）
増感剤（保土ヶ谷化学社製「ＥＡＢ−Ｆ」）・・・・・・・・・・２重量部
シクロヘキサノン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２５７重量部
［青色顔料分散レジストの調製］
・分散体
組成がそれぞれ下記組成となるように，青色分散体と同様の方法で作製した。
青色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５・・・・５０重量部
紫色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２３・・・・２重量部
分散剤（ゼネカ社製「ソルスバーズ２００００」）・・・・・・・６重量部
アクリルワニス（固形分２０％）・・・・・・・・・・・・・２００重量部
・青色顔料分散レジスト
その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、５μｍのフィルターで濾過して青色顔料分散レジストを得た。
紫色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２３・・・・２重量部
分散剤（ゼネカ社製「ソルスバーズ２００００」）・・・・・・・６重量部
アクリルワニス（固形分２０％）・・・・・・・・・・・・・２００重量部
・青色顔料分散レジスト
その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、５μｍのフィルターで濾過して青色顔料分散レジストを得た。
上記分散体・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１５０重量部
トリメチロールプロパントリアクリレート・・・・・・・・・・１９重量部
（新中村化学社製「ＮＫエステルＡＴＭＰＴ」）
光重合開始剤・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・４重量部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「Ｉｒｇａｃｕｒｅ９０７」）
増感剤（保土ヶ谷化学社製「ＥＡＢ−Ｆ」）・・・・・・・・・・２重量部
シクロヘキサノン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２１４重量部
［カラーフィルタの作成］
得られた各色顔料分散レジストを用いて着色層を形成した。実施例１においては、ガラス基板に、赤色顔料分散レジストをスピンコートにより仕上り膜厚が１．８μｍとなるように塗布した。９０℃５分間乾燥の後、着色層形成用のストライプ状フォトマスクを通して高圧水銀灯の光を３００ｍＪ／ｃｍ2 照射し、アルカリ現像液にて６０秒間現像した。その後、２３０℃３０分焼成した。
トリメチロールプロパントリアクリレート・・・・・・・・・・１９重量部
（新中村化学社製「ＮＫエステルＡＴＭＰＴ」）
光重合開始剤・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・４重量部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「Ｉｒｇａｃｕｒｅ９０７」）
増感剤（保土ヶ谷化学社製「ＥＡＢ−Ｆ」）・・・・・・・・・・２重量部
シクロヘキサノン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２１４重量部
［カラーフィルタの作成］
得られた各色顔料分散レジストを用いて着色層を形成した。実施例１においては、ガラス基板に、赤色顔料分散レジストをスピンコートにより仕上り膜厚が１．８μｍとなるように塗布した。９０℃５分間乾燥の後、着色層形成用のストライプ状フォトマスクを通して高圧水銀灯の光を３００ｍＪ／ｃｍ2 照射し、アルカリ現像液にて６０秒間現像した。その後、２３０℃３０分焼成した。
次に、緑色顔料分散レジストも同様にスピンコートにより仕上り膜厚が１．８μｍとなるように塗布した。９０℃５分間乾燥した後、前述の赤色画素と隣接した位置にパターンが形成されるようにフォトマスクを通して露光し現像することで、緑色画素を得た。その後、２３０℃３０分焼成した。
さらに、赤色、緑色と全く同様にして、青色顔料分散レジストについても仕上り膜厚が１．８μｍで赤色、緑色画素と隣接した青色画素を得た。その後、２３０℃３０分焼成した。これで、ガラス基板上に赤、緑、青３色のストライプ状の着色画素で構成される着色層が得られた。
さらに、赤色、緑色と全く同様にして、青色顔料分散レジストについても仕上り膜厚が１．８μｍで赤色、緑色画素と隣接した青色画素を得た。その後、２３０℃３０分焼成した。これで、ガラス基板上に赤、緑、青３色のストライプ状の着色画素で構成される着色層が得られた。
なお、アルカリ現像液は以下の組成からなる。
炭酸ナトリウム・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１．５重量％
炭酸水素ナトリウム・・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．５重量％
陰イオン系界面活性剤（花王・ペリレックスＮＢＬ）・・・・８．０重量％
水・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・９０．０重量％
本発明の保護膜用感光性組成物（１）を上述の着色層が形成されたガラス基板上に膜厚が１．５μｍになるようにスピンコートし、９０℃で５分間乾燥した。保護膜形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を１５０ｍＪ／ｃｍ2 照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔（露光ギャップ）は１００μｍで露光した。その後、着色層の作製と同様の現像液を用いて現像をした。水洗を施したのち、２３０℃３０分焼成して保護膜を着色層上に形成した。
この上に透明電極層として酸化インジウム−スズ（ＩＴＯ）をスパッタリング法により１５００オングストロームとなるように形成し、本発明のカラーフィルタを得た。
炭酸ナトリウム・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１．５重量％
炭酸水素ナトリウム・・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．５重量％
陰イオン系界面活性剤（花王・ペリレックスＮＢＬ）・・・・８．０重量％
水・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・９０．０重量％
本発明の保護膜用感光性組成物（１）を上述の着色層が形成されたガラス基板上に膜厚が１．５μｍになるようにスピンコートし、９０℃で５分間乾燥した。保護膜形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を１５０ｍＪ／ｃｍ2 照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔（露光ギャップ）は１００μｍで露光した。その後、着色層の作製と同様の現像液を用いて現像をした。水洗を施したのち、２３０℃３０分焼成して保護膜を着色層上に形成した。
この上に透明電極層として酸化インジウム−スズ（ＩＴＯ）をスパッタリング法により１５００オングストロームとなるように形成し、本発明のカラーフィルタを得た。
＜実施例２＞
［アルカリ可溶性バインダー樹脂（２）の合成］
内容量が２リットルの５つ口反応容器内に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＡｃ）８００ｇ、グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）３０ｇ、ベンジルメタクリレート（ＢｚＭＡ）１１０ｇ、メタクリル酸（ＭＡＡ）３０ｇ、ヒドロキシエ
チルメタクリレート（ＨＥＭＡ）３０ｇ、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）４．０ｇを加え窒素を吹き込みながら８０℃で６時間加熱し、ＧＭＡのポリマー溶液を得た。
［アルカリ可溶性バインダー樹脂（２）の合成］
内容量が２リットルの５つ口反応容器内に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＡｃ）８００ｇ、グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）３０ｇ、ベンジルメタクリレート（ＢｚＭＡ）１１０ｇ、メタクリル酸（ＭＡＡ）３０ｇ、ヒドロキシエ
チルメタクリレート（ＨＥＭＡ）３０ｇ、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）４．０ｇを加え窒素を吹き込みながら８０℃で６時間加熱し、ＧＭＡのポリマー溶液を得た。
次に、得られたＧＭＡのポリマー溶液に、アクリル酸（ＡＡ）３６ｇ、メトキノン（ＭＱ）０．０５ｇ、トリフェニルフォスフィン（ＴＰＰ）０．５ｇを加え、空気を吹き込みながら１００℃で２４時間加熱し、ＧＭＡ樹脂のアクリル酸付加物（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（２）溶液を得た。（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（２）の重量平均分子量は１５０００であった。
［保護膜用感光性組成物（２）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（２）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
トリメチロールプロパントリアクリレート
（Ｖ＃２９５；大阪有機化学工業社製）
（二重結合当量：９８．８ｇ／ｅｑ、二重結合数：３、粘度：７５〜１２５ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：２．５重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（２）を得た。
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（２）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
トリメチロールプロパントリアクリレート
（Ｖ＃２９５；大阪有機化学工業社製）
（二重結合当量：９８．８ｇ／ｅｑ、二重結合数：３、粘度：７５〜１２５ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：２．５重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（２）を得た。
保護膜形成方法は、実施例１同様に行った。
＜実施例３＞
［保護膜用感光性組成物（３）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
ネオペンチルグリコール変性トリメチロールプロパンジアクリレート（ＫＡＹＡＲＡＤ Ｒ−６０４、日本化薬社製）
（二重結合当量：１６３ｇ／ｅｑ、二重結合数：２、粘度：２００〜４００ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：２．５重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（３）を得た。
［保護膜用感光性組成物（３）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
ネオペンチルグリコール変性トリメチロールプロパンジアクリレート（ＫＡＹＡＲＡＤ Ｒ−６０４、日本化薬社製）
（二重結合当量：１６３ｇ／ｅｑ、二重結合数：２、粘度：２００〜４００ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：２．５重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（３）を得た。
保護膜形成方法は、実施例１同様に行った。
＜実施例４＞
［保護膜用感光性組成物（４）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
グリセリンＰＯ付加トリアクリレート（Ｖ＃ＧＰＴ：大阪有機化学工業社製）
（二重結合当量：１４７．５ｇ／ｅｑ、二重結合数：３、粘度：５０〜１００ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：２．５重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（４）を得た。
［保護膜用感光性組成物（４）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
グリセリンＰＯ付加トリアクリレート（Ｖ＃ＧＰＴ：大阪有機化学工業社製）
（二重結合当量：１４７．５ｇ／ｅｑ、二重結合数：３、粘度：５０〜１００ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：２．５重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（４）を得た。
保護膜形成方法は、実施例１同様に行った。
＜実施例５＞
［保護膜用感光性組成物（５）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
ＥＯ変性ビスフェノールＡメタクリレート（ＢＰＥ−５００：新中村化学社製）（二重結合当量：４０２ｇ／ｅｑ、二重結合数：２、粘度：４００ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：２．５重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（５）を得た。
［保護膜用感光性組成物（５）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
ＥＯ変性ビスフェノールＡメタクリレート（ＢＰＥ−５００：新中村化学社製）（二重結合当量：４０２ｇ／ｅｑ、二重結合数：２、粘度：４００ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：２．５重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（５）を得た。
保護膜形成方法は、実施例１同様に行った。
＜実施例６＞
［アルカリ可溶性バインダー樹脂（３）の合成］
内容量が２リットルの５つ口反応容器内に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＡｃ）８００ｇ、ベンジルメタクリレート（ＢｚＭＡ）１４０ｇ、メタクリル酸（ＭＡＡ）３０ｇ、ヒドロキシエチルメタクリレート（ＨＥＭＡ）３０ｇ、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）２ｇを加え窒素を吹き込みながら８０℃で６時間加熱し、（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（３）溶液を得た。
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（３）の重量平均分子量は１９０００であった。
［アルカリ可溶性バインダー樹脂（３）の合成］
内容量が２リットルの５つ口反応容器内に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＡｃ）８００ｇ、ベンジルメタクリレート（ＢｚＭＡ）１４０ｇ、メタクリル酸（ＭＡＡ）３０ｇ、ヒドロキシエチルメタクリレート（ＨＥＭＡ）３０ｇ、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）２ｇを加え窒素を吹き込みながら８０℃で６時間加熱し、（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（３）溶液を得た。
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（３）の重量平均分子量は１９０００であった。
［保護膜用感光性組成物（６）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（３）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物（Ｂ）：２０重量部
トリメチロールプロパントリアクリレート
（Ｖ＃２９５；大阪有機化学工業社製）
（二重結合当量：９８．８ｇ／ｅｑ、二重結合数：３、粘度：７５〜１２５ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：２．５重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（６）を得た。
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（３）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物（Ｂ）：２０重量部
トリメチロールプロパントリアクリレート
（Ｖ＃２９５；大阪有機化学工業社製）
（二重結合当量：９８．８ｇ／ｅｑ、二重結合数：３、粘度：７５〜１２５ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：２．５重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（６）を得た。
保護膜形成方法は、実施例１同様に行った。
＜実施例７＞
［保護膜用感光性組成物（７）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート
（二重結合当量：１１７８ｇ／ｅｑ、二重結合数：４、粘度：７５２ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：２．５重量部
イルガキュアー３６９（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（７）を得た。
［保護膜用感光性組成物（７）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート
（二重結合当量：１１７８ｇ／ｅｑ、二重結合数：４、粘度：７５２ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：２．５重量部
イルガキュアー３６９（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（７）を得た。
保護膜形成方法は、実施例１同様に行った。
＜実施例８＞
実施例１の保護膜用感光性組成物（１）を用いて、着色層が形成されたガラス基板上に膜厚が２．５μｍになるようにスピンコートして、保護層を形成した。それ以外は、実施例１同様に行った。
実施例１の保護膜用感光性組成物（１）を用いて、着色層が形成されたガラス基板上に膜厚が２．５μｍになるようにスピンコートして、保護層を形成した。それ以外は、実施例１同様に行った。
＜実施例９＞
実施例１の保護膜用感光性組成物（１）を用いて、着色層が形成されたガラス基板上に膜厚が３．８μｍになるようにスピンコートして、保護層を形成した。それ以外は、実施例１同様に行った。
実施例１の保護膜用感光性組成物（１）を用いて、着色層が形成されたガラス基板上に膜厚が３．８μｍになるようにスピンコートして、保護層を形成した。それ以外は、実施例１同様に行った。
＜比較例１＞
［アルカリ可溶性バインダー樹脂（４）の合成］
内容量が２リットルの５つ口反応容器内に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＡｃ）８００ｇ、ベンジルメタクリレート（ＢｚＭＡ）２８０ｇ、メタクリル酸（ＭＡＡ）６０ｇ、ヒドロキシエチルメタクリレート（ＨＥＭＡ）６０ｇ、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）４ｇを加え窒素を吹き込みながら８０℃で６時間加熱し、（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（４）溶液を得た。
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（４）の重量平均分子量は２５０００であった。
［アルカリ可溶性バインダー樹脂（４）の合成］
内容量が２リットルの５つ口反応容器内に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＡｃ）８００ｇ、ベンジルメタクリレート（ＢｚＭＡ）２８０ｇ、メタクリル酸（ＭＡＡ）６０ｇ、ヒドロキシエチルメタクリレート（ＨＥＭＡ）６０ｇ、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）４ｇを加え窒素を吹き込みながら８０℃で６時間加熱し、（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（４）溶液を得た。
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（４）の重量平均分子量は２５０００であった。
［保護膜用感光性組成物（８）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（４）：５０重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
トリメチロールプロパントリアクリレート
（Ｖ＃２９５；大阪有機化学工業社製）
（二重結合当量：９８．８ｇ／ｅｑ、二重結合数：３、粘度：７５〜１２５ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：１２重量部
ＯＸＥ−０２（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２５０重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（８）を得た。
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（４）：５０重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
トリメチロールプロパントリアクリレート
（Ｖ＃２９５；大阪有機化学工業社製）
（二重結合当量：９８．８ｇ／ｅｑ、二重結合数：３、粘度：７５〜１２５ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：１２重量部
ＯＸＥ−０２（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２５０重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（８）を得た。
保護膜形成方法は、実施例１同様に行った。
＜比較例２＞
［アルカリ可溶性バインダー樹脂（５）の合成］
内容量が２リットルの５つ口反応容器内に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＡｃ）８００ｇ、ベンジルメタクリレート（ＢｚＭＡ）１０５ｇ、メタクリル酸（ＭＡＡ）２２．５ｇ、ヒドロキシエチルメタクリレート（ＨＥＭＡ）２２．５ｇ、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）8ｇを加え窒素を吹き込みながら８０℃で６時間加熱し、（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（５）溶液を得た。
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（５）の重量平均分子量は８０００であった。
［アルカリ可溶性バインダー樹脂（５）の合成］
内容量が２リットルの５つ口反応容器内に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＡｃ）８００ｇ、ベンジルメタクリレート（ＢｚＭＡ）１０５ｇ、メタクリル酸（ＭＡＡ）２２．５ｇ、ヒドロキシエチルメタクリレート（ＨＥＭＡ）２２．５ｇ、アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）8ｇを加え窒素を吹き込みながら８０℃で６時間加熱し、（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（５）溶液を得た。
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（５）の重量平均分子量は８０００であった。
［保護膜用感光性組成物（９）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（５）：１３３重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
トリメチロールプロパントリアクリレート
（Ｖ＃２９５；大阪有機化学工業社製）
（二重結合当量：９８．８ｇ／ｅｑ、二重結合数：３、粘度：７５〜１２５ｍＰａ・ｓ／
２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：１２重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：１８０重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（９）を得た。
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（５）：１３３重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
トリメチロールプロパントリアクリレート
（Ｖ＃２９５；大阪有機化学工業社製）
（二重結合当量：９８．８ｇ／ｅｑ、二重結合数：３、粘度：７５〜１２５ｍＰａ・ｓ／
２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：１２重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：１８０重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（９）を得た。
保護膜形成方法は、実施例１同様に行った。
＜比較例３＞
［保護膜用感光性組成物（１０）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
ペンタエリスリトールアクリレート（ＫＡＹＡＲＡＤ ＰＥＴ−３０：日本化薬社製）
（二重結合当量：９８．８ｇ／ｅｑ、二重結合数：３、粘度：８００〜１３００ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：１２重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｃ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（１０）を得た。
＜比較例３＞
［保護膜用感光性組成物（１０）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
ペンタエリスリトールアクリレート（ＫＡＹＡＲＡＤ ＰＥＴ−３０：日本化薬社製）
（二重結合当量：９８．８ｇ／ｅｑ、二重結合数：３、粘度：８００〜１３００ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：１２重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｃ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（１０）を得た。
保護膜形成方法は、実施例１同様に行った。
＜比較例４＞
［保護膜用感光性組成物（１２）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＫＡＹＡＲＡＤ ＰＥＴ−３０：日本化薬社製）
（二重結合当量：９１．６ｇ／ｅｑ、二重結合数：６、粘度：５５００〜７５００ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：１２重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（１２）を得た。
保護膜形成方法は、実施例１同様に行った。
＜比較例５＞
［保護膜用感光性組成物（１３）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
フェノキシジエチレングリコールアクリレート
（ＫＡＹＡＲＡＤ Ｒ−５６４：日本化薬社製）
（二重結合当量：２４９ｇ／ｅｑ、二重結合数：１、粘度：１０〜３５ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：１２重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（１３）を得た。
＜比較例４＞
［保護膜用感光性組成物（１２）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＫＡＹＡＲＡＤ ＰＥＴ−３０：日本化薬社製）
（二重結合当量：９１．６ｇ／ｅｑ、二重結合数：６、粘度：５５００〜７５００ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：１２重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（１２）を得た。
保護膜形成方法は、実施例１同様に行った。
＜比較例５＞
［保護膜用感光性組成物（１３）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
フェノキシジエチレングリコールアクリレート
（ＫＡＹＡＲＡＤ Ｒ−５６４：日本化薬社製）
（二重結合当量：２４９ｇ／ｅｑ、二重結合数：１、粘度：１０〜３５ｍＰａ・ｓ／２５℃）
（Ｃ）光重合開始剤：１２重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（１３）を得た。
保護膜形成方法は、実施例１同様に行った。
＜比較例６＞
［保護膜用感光性組成物（１５）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
ペンタエリスリトールテトラアクリレート
（二重結合当量：８８ｇ／ｅｑ、二重結合数：４、粘度：１２００ｍＰａ・ｓ／２５℃）（Ｃ）光重合開始剤：２４重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（１５）を得た。
保護膜形成方法は、実施例１同様に行った。
＜比較例７＞
［保護膜用感光性組成物（１６）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
ＥＯ変性ビスフェノールＡメタクリレート（ＢＰＥ−９００：新中村化学社製）
（二重結合当量：５５６ｇ／ｅｑ、二重結合数：２、粘度：４９０ｍＰａ・ｓ／２５℃）（Ｃ）光重合開始剤：１．２重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（１６）を得た。
保護膜形成方法は、実施例１同様に行った。
＜比較例６＞
［保護膜用感光性組成物（１５）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
ペンタエリスリトールテトラアクリレート
（二重結合当量：８８ｇ／ｅｑ、二重結合数：４、粘度：１２００ｍＰａ・ｓ／２５℃）（Ｃ）光重合開始剤：２４重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（１５）を得た。
保護膜形成方法は、実施例１同様に行った。
＜比較例７＞
［保護膜用感光性組成物（１６）の調製］
（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂（１）：１００重量部
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物：２０重量部
ＥＯ変性ビスフェノールＡメタクリレート（ＢＰＥ−９００：新中村化学社製）
（二重結合当量：５５６ｇ／ｅｑ、二重結合数：２、粘度：４９０ｍＰａ・ｓ／２５℃）（Ｃ）光重合開始剤：１．２重量部
イルガキュアー９０７（チバスペシャリティーケミカルズ社製）
（Ｄ）シクロヘキサノン：２００重量部
を以上の比率で調製し保護膜用感光性組成物（１６）を得た。
保護膜形成方法は、実施例１同様に行った。
＜比較例８＞
実施例１の保護膜用感光性組成物（１）を用いて、着色層が形成されたガラス基板上に膜厚が０．８μｍになるようにスピンコートして、保護層を形成した。それ以外は、実施例１同様に行った。
実施例１の保護膜用感光性組成物（１）を用いて、着色層が形成されたガラス基板上に膜厚が０．８μｍになるようにスピンコートして、保護層を形成した。それ以外は、実施例１同様に行った。
＜比較例９＞
実施例１の保護膜用感光性組成物（１）を用いて、着色層が形成されたガラス基板上に膜厚が５．０μｍになるようにスピンコートして、保護層を形成した。それ以外は、実施例１同様に行った。
実施例１の保護膜用感光性組成物（１）を用いて、着色層が形成されたガラス基板上に膜厚が５．０μｍになるようにスピンコートして、保護層を形成した。それ以外は、実施例１同様に行った。
表１は、上記実施例１〜７における、（Ａ）アルカリ可溶性バインダー樹脂の種類、分子量、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物の当量、二重結合数、（Ｃ）光重合開始剤の種類、配合量など、及び保護膜の性能評価を表したものである。また、表１は、上記比較例１〜７について表したものである。
《密着性評価》
−密着性評価用基板作製―
実施例１記載のカラーフィルタの着色層の形成に用いる各色顔料分散レジストを用いて、カラス基板上に各色顔料分散レジストをスピンコートにより仕上り膜厚が１．８μｍとなるように塗布した。９０℃５分間乾燥の後、フォトマスクを使用せず、高圧水銀灯の光を３００ｍＪ／ｃｍ2 照射し、アルカリ現像液にて６０秒間現像した。その後、２３０℃３０分焼成した。
その後、本発明の保護膜用感光性組成物を上述の着色層が形成されたガラス基板上に膜厚が１．５μｍになるようにスピンコートし、９０℃で５分間乾燥した。
フォトマスクを使用せず、高圧水銀灯の光を１５０ｍＪ／ｃｍ2 照射した。その後、着色層の作製と同様の現像液を用いて現像をした。水洗を施したのち、２３０℃３０分焼成し
て保護層を着色層上に形成した。
着色層と保護層を積層した基板を１００マス試験法（ＪＩＳ−Ｋ５４００）で評価した。カッターで碁盤目状に刃を入れ、碁盤目にセロハンテープを貼り付け、剥離後の塗膜を確認し、着色層と保護層でハガレが発生しない物を○、ハガレが発生するものを×と評価した。
この際、カッターの切込みで発生する切込み周辺部のハガレについても、ハガレが発生した場合は、×と評価した。
《平坦性》
実施例１で作製した基板の段差を測定し、０．５μｍ以上の段差があるものを×、０．３μｍ以上０．５μｍ以下のものを△、０．３μｍ以下のものを○と評価した。
実施例１で作製した基板の段差を測定し、０．５μｍ以上の段差があるものを×、０．３μｍ以上０．５μｍ以下のものを△、０．３μｍ以下のものを○と評価した。
《感度》
本発明の保護膜用感光性組成物をガラス基板上に膜厚が１．５μｍになるようにスピンコートし、９０℃で５分間乾燥した。フォトマスク開口５０μｍのパターンマスクを用いて、高圧水銀灯の光を１００ｍＪ／ｃｍ2 照射した。その後、着色層の作製と同様の現像液を用いて現像をした。その際に、露光後の膜厚から現像後の残膜の割合が７５％以下のものを×、７５％以上のものを○と評価した。
本発明の保護膜用感光性組成物をガラス基板上に膜厚が１．５μｍになるようにスピンコートし、９０℃で５分間乾燥した。フォトマスク開口５０μｍのパターンマスクを用いて、高圧水銀灯の光を１００ｍＪ／ｃｍ2 照射した。その後、着色層の作製と同様の現像液を用いて現像をした。その際に、露光後の膜厚から現像後の残膜の割合が７５％以下のものを×、７５％以上のものを○と評価した。
《ＩＴＯシワ》
密着性評価用と同様に基板を作製し、その着色層と保護膜の積層膜基板上の全面にＩＴＯ（酸化インジウム−スズ）をスパタリング法で１５００オングストロームとなるように形成した。その際に、基板上にシワの発生有無で評価した。ナトリウムランプの反射で確認できるものを×、顕微鏡観察でシワが確認できるものを△、シワが無いものを○と評価した。
密着性評価用と同様に基板を作製し、その着色層と保護膜の積層膜基板上の全面にＩＴＯ（酸化インジウム−スズ）をスパタリング法で１５００オングストロームとなるように形成した。その際に、基板上にシワの発生有無で評価した。ナトリウムランプの反射で確認できるものを×、顕微鏡観察でシワが確認できるものを△、シワが無いものを○と評価した。
《透過率》
ガラス基板上に保護膜感光性組成物を１．５μｍになるように塗布し、実施例１同様の条件で保護膜層を形成し、その保護膜層の波長４００ｎｍにおける透過率をオリンパス（株）製：顕微分光光度計ＯＳＰ−２００を用いて測定した。
透過率が９０％以下を×、９０％以上９５％以下を△、９５％以上を○と評価した。
ガラス基板上に保護膜感光性組成物を１．５μｍになるように塗布し、実施例１同様の条件で保護膜層を形成し、その保護膜層の波長４００ｎｍにおける透過率をオリンパス（株）製：顕微分光光度計ＯＳＰ−２００を用いて測定した。
透過率が９０％以下を×、９０％以上９５％以下を△、９５％以上を○と評価した。
表３に実施例８、９、比較例８、９の保護膜形成したカラーフィルタの塗布性と平坦性について評価した。
ガラス基板のサイズを７３０ｍｍ×９２０ｍｍの基板に実施例１同様の着色層を設けたカラーフィルタ上に、保護膜感光性組成物を実施例８、９、比較例８、９の膜厚で塗布し、保護層を形成した基板のムラの確認を行った。ナトリウムランプの反射で見えるムラのものを×、ムラの無いものを○と評価した。
１・・・本発明によるカラーフィルタ
２・・・透明基板（ガラス基板）
３・・・ブラックマトリクス
４・・・着色層
４−１・・・赤色画素
４−２・・・緑色画素
４−３・・・青色画素
５・・・保護膜
６・・・透明電極層
２・・・透明基板（ガラス基板）
３・・・ブラックマトリクス
４・・・着色層
４−１・・・赤色画素
４−２・・・緑色画素
４−３・・・青色画素
５・・・保護膜
６・・・透明電極層
Claims (6)
- （Ａ）バインダー樹脂、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）溶剤からなる保護膜用感光性組成物において、
前記（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物のエチレン性不飽和結合当量が９０ｇ／ｅｑ以上４５０ｇ／ｅｑ以下であり、エチレン性不飽和結合を有する化合物１分子中のエチレン性不飽和二重結合の数が２個以上４個以下であり、前記（Ａ）バインダー樹脂はアルカリ可溶性樹脂であり、重量平均分子量が１００００以上２００００以下であることを特徴とする保護膜用感光性組成物。 - 前記（Ｃ）光重合開始剤がα−アミノケトン系開始剤であることを特徴とする請求項１に記載の保護膜用感光性組成物。
- 前記（Ｃ）光重合開始剤が保護膜感光性組成物固形分中に４％〜３０％含まれていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の保護膜用感光性組成物。
- 前記（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物の粘度が５０ｍＰａ・ｓ／２５℃以上１０００ｍＰａ・ｓ／２５℃以下であることを特徴とする請求項１、請求項２、又は請求項３に記載の保護膜用感光性組成物。
- 請求項１〜４のいずれか１項に記載の保護膜用感光性組成物をカラーフィルタ上に１．０μｍ以上４．０μｍ以下に塗布し、乾燥、露光、現像、硬膜工程を経て保護膜を形成したことを特徴とするカラーフィルタ。
- 前記保護膜用感光性組成物をカラーフィルタ上に１．５μｍ塗布し、乾燥、露光、現像、硬膜工程を経て保護膜が形成された際の段差が０．３μｍ以下であることを特徴とする請求項５に記載のカラーフィルタ。
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