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TW201800856A - 負型感光性樹脂組成物、間隙體的製造方法、保護膜的製造方法以及液晶顯示元件 - Google Patents

負型感光性樹脂組成物、間隙體的製造方法、保護膜的製造方法以及液晶顯示元件 Download PDF

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TW201800856A
TW201800856A TW105120477A TW105120477A TW201800856A TW 201800856 A TW201800856 A TW 201800856A TW 105120477 A TW105120477 A TW 105120477A TW 105120477 A TW105120477 A TW 105120477A TW 201800856 A TW201800856 A TW 201800856A
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TW
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group
weight
alkali
resin composition
formula
Prior art date
Application number
TW105120477A
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Inventor
陳奕光
廖豪偉
Original Assignee
奇美實業股份有限公司
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Publication date
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Priority to US15/628,630 priority patent/US20180004086A1/en
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Priority to JP2017124006A priority patent/JP2018005231A/ja
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Abstract

一種負型感光性樹脂組成物，包括：鹼可溶性樹脂（A）、含乙烯性不飽和基之化合物（B）、光起始劑（C）、溶劑（D）、以及矽氧化合物（E）。其中，矽氧化合物（E）含有由式(E-1)所示的結構。

Description

負型感光性樹脂組成物、間隙體的製造方法、保護膜的製造方法以及液晶顯示元件
本發明是有關於一種負型感光性樹脂組成物、間隙體的製造方法、保護膜的製造方法以及液晶顯示元件，且特別是有關於一種能夠提供良好的耐濺鍍性的負型感光性樹脂組成物、由所述負型感光性樹脂組成物製得的間隙體或保護膜的製造方法以及包含所述間隙體或保護膜的液晶顯示元件。
一般而言，彩色濾光層表面之彩色印刷的畫素與黑色矩陣會產生凹凸不平之處，一般係於彩色濾光層之表面形成保護膜，藉此隱藏不平之處，進而達到平坦化之要求。
然而，在製造液晶顯示元件或固態成像裝置等光學元件中，會遇到嚴苛條件下之處理程序，例如在基板表面以濺鍍(Sputtering)形成配線電極層時，會造成局部腐蝕或高溫的產生。因此，需於這些元件之表面上鋪設保護膜，以防止製造時元件受損。為使保護膜具有抵禦上述處理之特性，該保護膜需要與基板間具有優異之附著力，以及高耐濺鍍性。
另一方面，在習知技術中，彩色液晶顯示元件中，為了維持兩個基板間固定之層間距(晶胞間隙)，係於整個基板上隨機噴灑如聚苯乙烯珠或矽珠，其中該珠之直徑係為兩基板間之間距。然而，此習知方式因噴珠之位置及密度分佈並不均勻，造成背光源之光線受噴珠影響而散射，進一步使得顯示元件的對比度降低。因此，以光微影製程(photolithography)方式所開發出之間隙體用感光性組成物，遂成為業界之主流。該間隙體之形成方式，乃將該間隙體用之感光性組成物先塗佈至基板，再於基板與曝光源間放入一指定形狀光罩，可於曝光後再經顯影形成一間隙體。依據此方法，可於紅(R)、綠(G)、藍(B)畫素外的指定位置上形成間隙體，以解決習知技術之問題；晶胞間隙也可利用感光性成分形成之塗膜厚度來控制，使晶胞間隙的距離變得容易控制，具有精度高之優點。
由於該保護膜或間隙體係形成於彩色濾光片或是基板上，對透明度之要求極高。若保護膜或間隙體之透明度不佳，當應用於液晶顯示元件時，將造成液晶顯示元件之亮度不足，而影響液晶顯示元件之顯示品質。為提高保護膜或間隙體之透明度，日本特開2004-240241號專利揭示一負型感光組成物，其包含(A)共聚合物，該共聚物係由乙烯性不飽合羧酸(酐)、具環氧基之乙烯性不飽合基之化合物及其他乙烯性不飽合基之化合物；(B)乙烯性不飽合基之聚合物所共聚合而得；及(C)光起始劑，其為2-丁二酮-[4-甲硫基苯]-2-(O-肟醋酸鹽)、1,2-丁二酮-1-(4-嗎啉基苯基)-2-(O-苯甲醯肟)、1,2-辛二酮-1-[4-苯硫基苯]-2-[O-(4-甲基苯甲醯)肟]或其類似物。
然而，在製作配線電極層時，上述負型感光性組成物所製得的間隙體或保護膜因處於低壓及濺鍍所施加的電漿環境中而導致膜厚降低及釋氣(outgassing)等問題的發生，故耐濺鍍性之提升實為目前亟欲解決的問題。
有鑑於此，本發明提供一種能夠提供良好的耐濺鍍性的負型感光性樹脂組成物，使用所述負型感光性樹脂組成物能夠解決負型感光性樹脂組成物的耐濺鍍性不佳的問題。
本發明提供一種負型感光性樹脂組成物，包括：鹼可溶性樹脂（A）、含乙烯性不飽和基之化合物（B）、光起始劑（C）、溶劑（D）、以及矽氧化合物（E）。其中，矽氧化合物（E）含有由式(E-1)所示的結構：
Figure TW201800856AD00001
式(E-1) 式(E-1)中，c為3至7的整數；L1 、L2 各自獨立表示含有環氧脂環基的一價基團或者烷基，多個L1 、L2 間可相同也可不同，且在c個L1 及L2 中至少一個基團為含有環氧脂環基的一價基團。
在本發明的一實施例中，上述的鹼可溶性樹脂（A）包括第一鹼可溶性樹脂（A-1），第一鹼可溶性樹脂（A-1）具有由式(A1-1)所示的重複單元：
Figure TW201800856AD00002
式(A1-1) 式(A1-1)中，R1 表示氫原子或烷基；R2 表示烷基、環烷基、烷氧基、烷氧基羰基、羧基、鹵素原子、羥基或氰基；R3 表示伸烷基、伸環烷基或其組合，當式(A1-1)中具有2個以上的R3 時，各個R3 可彼此相同或不同。Y表示單鍵、-O-、-COO-、-CONH-、-NHCOO-或-NHCONH-，當式(A1-1)中具有2個以上的Y時，各個Y可彼此相同或不同；X表示亞甲基、甲基亞甲基、二甲基亞甲基、伸乙基、-O-或-S-。m、n各自獨立表示0至4的整數，當n為2以上時，n個R2 可彼此相同或不同；*表示鍵結處。
在本發明的一實施例中，上述的第一鹼可溶性樹脂（A-1）具有乙烯性不飽和基。
在本發明的一實施例中，上述的負型感光性樹脂組成物更包括光酸產生劑（F）。
在本發明的一實施例中，基於鹼可溶性樹脂（A）的使用量為100重量份，含乙烯性不飽和基之化合物（B）的使用量為30~300重量份，光起始劑（C）的使用量為10~80重量份，溶劑（D）的使用量為500~3000重量份，矽氧化合物（E）的使用量為3~25重量份。
在本發明的一實施例中，基於鹼可溶性樹脂（A）的使用量為100重量份，第一鹼可溶性樹脂（A-1）的使用量為3~100重量份。
在本發明的一實施例中，基於鹼可溶性樹脂（A）的使用量為100重量份，光酸產生劑（F）的使用量為0.5~5重量份。
本發明也提供一種間隙體的製造方法，其是藉由上述的負型感光性樹脂組成物，依序施予預烤處理、曝光處理、顯影處理及後烤處理而製得具有圖案的間隙體。
本發明更提供一種保護膜的製造方法，其是藉由上述的負型感光性樹脂組成物，依序施予預烤處理、曝光處理、顯影處理及後烤處理而製得具有圖案的保護膜。
本發明又提供一種液晶顯示元件，包括由上述的間隙體的製造方法所製得的間隙體。
本發明又提供一種液晶顯示元件，包括由上述的保護膜的製造方法所製得的保護膜。
基於上述，本發明的負型感光性樹脂組成物因含有由式(E-1)所示的結構的矽氧化合物（E），故能夠解決負型感光性樹脂組成物的耐濺鍍性不佳的問題。
為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例作詳細說明如下。
＜ 負型感光性樹脂組成物 ＞ 本發明提供一種負型感光性樹脂組成物，包含：鹼可溶性樹脂（A）、含乙烯性不飽和基之化合物（B）、光起始劑（C）、溶劑（D）、以及含有由式(E-1)所示的結構的矽氧化合物（E）。此外，本發明的負型感光性樹脂組成物更可包含光酸產生劑（F）以及添加劑（G）。
以下將詳細說明用於本發明的負型感光性樹脂組成物的各個成分。
在此說明的是，以下是以（甲基）丙烯酸表示丙烯酸及/或甲基丙烯酸，並以（甲基）丙烯酸酯表示丙烯酸酯及/或甲基丙烯酸酯；同樣地，以（甲基）丙烯醯基表示丙烯醯基及/或甲基丙烯醯基。鹼可溶性 樹 脂（ A ）
鹼可溶性樹脂（A）包括第一鹼可溶性樹脂（A-1）以及其他鹼可溶性樹脂（A-2）。第一鹼可溶 性樹脂（ A-1 ）
第一鹼可溶性樹脂（A-1）是由單體混合物聚合而得。單體混合物包括由式(A1-2)所示之單體（a1-I）、具有一個或一個以上羧酸基之乙烯性不飽和單體（a1-II）以及其他可共聚合之乙烯性不飽和單體（a1-III）。因此，第一鹼可溶性樹脂（A-1）具有由式(A1-1)所示的重複單元：
Figure TW201800856AD00003
式(A1-1)
Figure TW201800856AD00004
式(A1-2) 式(A1-1)以及式(A1-2)中，R1 表示氫原子或烷基；R2 表示烷基、環烷基、烷氧基、烷氧基羰基、羧基、鹵素原子、羥基或氰基；R3 表示伸烷基、伸環烷基或其組合，當式(A1-1)或式(A1-2)中具有2個以上的R3 時，各個R3 可彼此相同或不同。Y表示單鍵、-O-、-COO-、-CONH-、-NHCOO-或-NHCONH-，當式(A1-1)或式(A1-2)中具有2個以上的Y時，各個Y可彼此相同或不同；X表示亞甲基、甲基亞甲基、二甲基亞甲基、伸乙基、-O-或-S-。m、n各自獨立表示0至4的整數，當n為2以上時，n個R2 可彼此相同或不同；*表示鍵結處。
本發明之第一鹼可溶性樹脂（A-1）之重量平均分子量只要根據目的、用途而適當設定即可，一般為2,000至50,000，較佳為3,000至40,000，更佳為4,000至30,000。式 (A1-2) 所示之單體 （ a1-I ）
由式(A1-2)所示之單體（a1-I）如下所示，式(A1-2)所示之單體（a1-I）可經由聚合反應形成如下述由式(A1-1)所示的重複單元：
Figure TW201800856AD00005
式(A1-1)
Figure TW201800856AD00006
式(A1-2) 式(A1-1)以及式(A1-2)中，R1 表示氫原子或烷基；R2 表示烷基、環烷基、烷氧基、烷氧基羰基、羧基、鹵素原子、羥基或氰基；R3 表示伸烷基、伸環烷基或其組合，當式(A1-1)或式(A1-2)中具有2個以上的R3 時，各個R3 可彼此相同或不同。Y表示單鍵、-O-、-COO-、-CONH-、-NHCOO-或-NHCONH-，當式(A1-1)或式(A1-2)中具有2個以上的Y時，各個Y可彼此相同或不同；X表示亞甲基、甲基亞甲基、二甲基亞甲基、伸乙基、-O-或-S-。m、n各自獨立表示0至4的整數，當n為2以上時，n個R2 可彼此相同或不同；*表示鍵結處。
以下表示上述由式(A1-2)所示之單體（a1-I）的具體例，但本發明並不限定於此。
下述具體例中，R表示氫原子、可具有取代基的烷基，較佳為表示氫原子、甲基、羥甲基、乙醯氧基甲基。
Figure TW201800856AD00007
式(A1-1-1)
Figure TW201800856AD00008
式(A1-1-2)
Figure TW201800856AD00009
式(A1-1-3)
Figure TW201800856AD00010
式(A1-1-4)
Figure TW201800856AD00011
式(A1-1-5)
Figure TW201800856AD00012
式(A1-1-6)
Figure TW201800856AD00013
式(A1-1-7)
Figure TW201800856AD00014
式(A1-1-8) (R4 表示氫原子、甲基、羥甲基、或者全氟甲基。)
Figure TW201800856AD00015
式(A1-1-9)
Figure TW201800856AD00016
式(A1-1-10)
Figure TW201800856AD00017
式(A1-1-11)
Figure TW201800856AD00018
式(A1-1-12)
Figure TW201800856AD00019
式(A1-1-13)
Figure TW201800856AD00020
式(A1-1-14)
Figure TW201800856AD00021
式(A1-1-15)
Figure TW201800856AD00022
式(A1-1-16)
Figure TW201800856AD00023
式(A1-1-17)
Figure TW201800856AD00024
式(A1-1-18)
Figure TW201800856AD00025
式(A1-1-19)
Figure TW201800856AD00026
式(A1-1-20)
Figure TW201800856AD00027
式(A1-1-21)
Figure TW201800856AD00028
式(A1-1-22)
Figure TW201800856AD00029
式(A1-1-23)
Figure TW201800856AD00030
式(A1-1-24)
Figure TW201800856AD00031
式(A1-1-25)
Figure TW201800856AD00032
式(A1-1-26)
Figure TW201800856AD00033
式(A1-1-27)
Figure TW201800856AD00034
式(A1-1-28)具有一個或一個以上羧酸基之乙烯性不飽和單體 （ a1-II ）
具有一個或一個以上羧酸基之乙烯性不飽和單體（a1-II）可包含但不限於不飽和單羧酸單體、不飽和多羧酸單體、具有不飽和基及一個羧酸基之多環單體，或具有不飽和基及多個羧酸基之多環單體。
不飽和單羧酸單體可包含但不限於(甲基)丙烯酸、丁烯酸、α-氯丙烯酸、乙基丙烯酸、肉桂酸、2-(甲基)丙烯醯乙氧基丁二酸酯(2-methacryloyloxyethyl succinate monoester)、2-(甲基)丙烯醯乙氧基六氫化苯二甲酸酯、2-(甲基)丙烯醯乙氧基苯二甲酸酯或omega-羧基聚己內酯多元醇單丙烯酸酯等。該omega-羧基聚己內酯多元醇單丙烯酸酯可為東亞合成製造，型號為ARONIX M-5300之商品。
不飽和多羧酸單體可包含但不限於馬來酸、富馬酸、甲基富馬酸、衣康酸或檸康酸等。
具有不飽和基及一個羧酸基之多環單體可包含但不限於5-羧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯或5-羧基-6-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯等。
具有不飽和基及多個羧基的多環單體可例如5,6-二羧基二環[2.2.1]庚-2-烯等。
上述之不飽和羧酸單體可單獨一種或混合複數種使用。
較佳地，不飽和羧酸單體是選自於丙烯酸、甲基丙烯酸、2-甲基丙烯醯乙氧基丁二酸酯、2-甲基丙烯醯基乙氧基六氫化苯二甲酸酯，或上述單體之任意組合。
不飽和羧酸酐單體可包含但不限於不飽和羧酸酐單體或具有不飽和基與羧酸酐的多環單體。
不飽和羧酸酐單體可包含但不限於馬來酸酐、富馬酸酐、甲基富馬酸酐、衣康酸酐或檸康酸酐等。具有不飽和基及羧酸酐的多環單體可包含但不限於5,6-二羧酸酐二環[2.2.1]庚-2-烯等。
不飽和羧酸酐單體可單獨一種或混合複數種使用。
較佳地，不飽和羧酸酐單體為馬來酸酐、富馬酸酐、甲基富馬酸酐。其他可共聚合之乙烯性不飽和單體 （ a1-III ）
其他可共聚合之乙烯性不飽和單體（a1-III）可包含但不限於(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸脂環族酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、不飽和二羧酸酯、(甲基)丙烯酸羥烷酯、具有(甲基)丙烯酸酯基的聚醚、苯乙烯系單體或上述單體以外的不飽和單體。
(甲基)丙烯酸烷基酯可包含但不限於(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸第二丁基酯或(甲基)丙烯酸第三丁基酯等。
(甲基)丙烯酸脂環族酯可包含但不限於(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基環己酯、(甲基)丙烯酸雙環戊酯{或稱三環[5.2.1.02,6]癸-8-基(甲基)丙烯酸酯}、(甲基)丙烯酸二環戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯或(甲基)丙烯酸四氫呋喃酯等。
(甲基)丙烯酸芳基酯可包含但不限於(甲基)丙烯酸苯基酯或甲基丙烯酸苯甲酯等。
不飽和二羧酸酯可包含但不限於馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯或衣康酸二乙酯等。
(甲基)丙烯酸羥烷酯可包含但不限於(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯或(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯等。
具有(甲基)丙烯酸酯基的聚醚可包含但不限於聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯或聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯等。
苯乙烯系單體可包含但不限於苯乙烯、α-甲基苯乙烯、間-甲基苯乙烯，對-甲基苯乙烯或對-甲氧基苯乙烯等。
上述單體以外之不飽和單體可包含但不限於丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯醯胺、甲基丙烯醯胺、乙烯乙酯、1,3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基1,3-丁二烯、N-環己基馬來醯亞胺、N-苯基馬來醯亞胺、N-芐基馬來醯亞胺、N-丁二醯亞胺基-3-馬來醯亞胺苯甲酸酯、N-丁二醯亞胺基-4-馬來醯亞胺丁酸酯、N-丁二醯亞胺基-6-馬來醯亞胺己酸酯、N-丁二醯亞胺基-3-馬來醯亞胺丙酸酯或N-(9-吖啶基)馬來醯亞胺等。
其他可共聚合之乙烯性不飽和單體（a1-III）可單獨一種或混合複數種使用。
較佳地，該其他可共聚合之乙烯性不飽和單體（a1-III）是選自於(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸第三丁基酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸雙環戊酯、甲基丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸二環戊氧基乙酯、苯乙烯、對-甲氧基苯乙烯或上述單體之任意組合。
第一鹼可溶性樹脂（A-1）中，基於單體的混合物總量為100重量份，式(A1-2)所示單體的使用量為3~30重量份，較佳為4~28重量份，更佳為5~25重量份，該單體的混合物包括式(A1-2)所示之單體（a1-I）、具有一個或一個以上羧酸基之乙烯性不飽和單體（a1-II）及其他可共聚合之乙烯性不飽和單體（a1-III）。
上述聚合方法可根據目的或用途而適當選擇，例如：本體聚合、溶液聚合、乳化聚合等習知聚合之方法，較佳為溶液聚合，其分子量等之結構調整容易，故有利於工業上使用；再者，該聚合機制包括使用自由基聚合起始劑、陰離子聚合起始劑、陽離子聚合起始劑起始劑、配位聚合起始劑等習知聚合之方法。
作為上述單體成分之聚合起始方法，可採用習知方法進行，例如，自熱、電磁波（紅外線、紫外線、X射線等）或電子束等能量元將聚合所需知能量提供給單體成份即可，較佳為併用聚合起始劑，藉此可減少聚合起始所需能量且較易控制該反應。
作為控制上述分子量之方法可藉由控制聚合起始劑、聚和溫度、鏈轉移劑等習知之方法來進行調整。
當單體採取溶液聚合方法時，該聚合中所使用之溶劑只要根據所使用之單體之種類或量、聚合溫度、聚合濃度等聚合條件適當設定即可，並無特別限制。
該溶劑之具體例可包含但不限於單醇類，例如：甲醇、乙醇、異丙醇、正丁醇、2-丁醇等；醇類，例如：乙二醇、丙二醇等；環醚類，例如：四氫呋喃、二噁烷等；乙二醇單醚類，例如：乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丁醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丁醚、3-甲氧基丁醇等；乙二醇二醚類，例如：乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、乙二醇乙基甲基醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇乙基甲基醚、丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚等；乙二醇單醚基酯類，例如：乙二醇單甲基醚乙酸酯、乙二醇單乙醚醋酸酯、乙二醇單丁醚乙酸酯、二乙二醇單甲醚乙酸酯、二乙二醇單乙醚醋酸酯、二乙二醇單丁醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚醋酸酯、丙二醇單丁醚乙酸酯、二丙二醇單甲基醚乙酸酯、二丙二醇單乙醚乙酸酯、二丙二醇單甲基醚乙酸酯、3-甲氧基丁酸酯等；烷基酯類，例如：乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、異丙酯、乙酸丁酯、丙酸甲酯、丙酸乙酯、丙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯等；酮類，例如：丙酮、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、環己酮等；芳香烴類，例如：苯、甲苯、二甲苯、乙苯等；脂肪烴類，例如：正己烷、環己烷、辛烷等；醯胺類，例如：二甲基甲醯胺、二甲基乙醯胺、N-甲基吡咯烷酮等。上述之溶劑可單獨一種或混合複數種使用。
自由基聚合起始劑只要能供給熱能而產生自由基者即可，並無特別限制，其中，藉由熱而產生自由基之聚合起始劑較有利於工業上使用。
自由基聚合起始劑之具體例可包含但不限於異丙苯過氧化氫、二異丙基苯氫過氧化物、2-第三丁基過氧化物、過氧化月桂醯、過氧化苯甲醯、第三丁基過氧化異丙基碳酸酯、第三丁基過氧化-2-己酸乙酯、偶氮二異丁腈、1,1'-偶氮二（環己烷腈）、2,2'-偶氮雙（2,4-二甲基）、2,2'-偶氮二（2-甲基丙酸酯）、過氧化氫、過硫酸鹽等。上述之自由基聚合起始劑可單獨一種或混合複數種使用。同時，該自由基聚合起始劑可與過度金屬鹽類或胺類一起併用。
自由基聚合起始劑之使用量只要根據所使用之單體之種類或量、聚合溫度、聚合濃度等聚合條件適當設定即可，並無特別限制。
在聚合過程中必要時，可併用鏈轉移劑，其中當使用鏈轉移劑時，會有抑制反應中聚合物之分子量分布以避免其凝膠化之傾向。鏈轉移劑之具體例可包含但不限於巰基乙酸、3-巰基丙酸等巰基羧酸類；巰基乙酸甲酯、3-巰基丙酸甲酯、3-巰基丙酸-2-乙基己酯、3-巰基丙酸-n-辛酯、3-巰基丙酸甲氧基丁酯、3-巰基丙酸硬脂酯、三羥甲基丙烷三（3-巰基丙酸酯）、季戊四醇四（3-巰基丙酸酯）、二季戊四醇六（3-巰基丙酸酯）等巰基羧酸酯類；乙硫醇、第三丁基硫醇、n-十二烷基硫醇、1,2-二巰基乙烷等烷基硫醇類；2-巰基乙醇、4-巰基-1-丁醇等巰基醇類；苯硫醇、間-甲苯硫醇、對-甲苯硫醇、2-萘硫醇等芳香族硫醇類；三[（3-巰基丙醯氧基）-乙基]異氰脲酸酯等巰基異氰脲酸酯類。
作為上述鏈轉移劑，亦可使用具有硫基之化合物以外之鏈轉移劑，例如：2-羥基乙基二硫化物、四乙基秋蘭姆二硫化物(tetraethyl thiuram disulfide)等二硫化物；二乙基二芐等二硫代胺基甲酸酯類；α-甲基苯乙烯二聚物等單體二聚物類；四溴化碳等鹵代烷類。上述鏈轉移劑就獲取性、防交聯能力、降低聚合速度之程度較小等而言，較佳為巰基羧酸類、巰基羧酸酯類、烷基硫醇類、巰基醇類、芳香族硫醇類、巰基異氰脲酸酯類等具有巰基之化合物。鏈轉移劑可單獨一種或混合複數種使用。
鏈轉移劑之使用量只要根據所使用之單體之種類或量、聚合溫度、聚合濃度等聚合條件適當設定即可，並無特別限制。
聚合反應之進行溫度根據所使用之單體之種類或量、聚合起始劑等聚合條件適當設定即可，較佳為50至200℃，更佳為70至150℃。具有環氧基之乙烯性不飽和單體 （ a1-IV ）
於本發明之另一具體例中，第一鹼可溶性樹脂(A-1)可由式(A1-2)所示之單體（a1-I）、具有一個或一個以上羧酸基之乙烯性不飽和單體（a1-II）及以及其他可共聚合之乙烯性不飽和單體（a1-III）共聚合所得之共聚物，再與具有環氧基之乙烯性不飽和單體（a1-IV）進行開環反應而得。
具有環氧基之乙烯性不飽和單體（a1-IV）可包含但不限於具有環氧基的(甲基)丙烯酸酯單體、具有環氧基的α-烷基丙烯酸酯化合物或環氧丙醚單體等。
具有環氧基的(甲基)丙烯酸酯單體可包含但不限於(甲基)丙烯酸環氧丙酯、(甲基)丙烯酸2-甲基環氧丙酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧丁酯、(甲基)丙烯酸6,7-環氧庚酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己酯或(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯等。
具有環氧基的α-烷基丙烯酸酯單體可包含但不限於α-乙基丙烯酸環氧丙酯、α-正丙基丙烯酸環氧丙酯、α-正丁基丙烯酸環氧丙酯或α-乙基丙烯酸-6,7-環氧庚酯等。
環氧丙醚單體可包含但不限於鄰-乙烯基苯甲基環氧丙醚(o-vinylbenzylglycidylether)、間-乙烯基苯甲基環氧丙醚(m-vinyl benzylglycidylether)或對-乙烯基苯甲基環氧丙醚(p-vinylbenzyl glycidylether)等。
具有環氧基之乙烯性不飽和單體（a1-IV）可單獨一種或混合複數種使用。
較佳地，具有環氧基之乙烯性不飽和單體（a1-IV）是選自於甲基丙烯酸環氧丙酯、甲基丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯、甲基丙烯酸6,7-環氧庚酯、鄰-乙烯基苯甲基環氧丙醚、間-乙烯基苯甲基環氧丙醚、對-乙烯基苯甲基環氧丙醚或上述單體之任意組合。
當第一鹼可溶性樹脂(A-1)由式(A1-2)所示之單體（a1-I）、具有一個或一個以上羧酸基之乙烯性不飽和單體（a1-II）及以及其他可共聚合之乙烯性不飽和單體（a1-III）共聚合所得之共聚物，再與具有環氧基之乙烯性不飽和單體（a1-IV）進行開環反應時，則第一鹼可溶性樹脂(A-1)將具有乙烯性不飽和基，其可提升該負型感光性樹脂組成物的耐濺鍍性。舉例來說，若如下式所示，將甲基丙烯酸環氧丙酯與第一鹼可溶性樹脂中的甲基丙烯酸重複單元進行開環反應，則第一鹼可溶性樹脂(A-1)即具有乙烯性不飽和基。
Figure TW201800856AD00035
基於鹼可溶性樹脂（A）的使用量為100重量份，第一鹼可溶性樹脂（A-1）的使用量為0至100重量份，較佳為10至100重量份，且更佳為20至100重量份。
當負型感光性樹脂組成物中含有第一鹼可溶性樹脂（A-1）時，可進一步提升該負型感光性樹脂組成物的耐濺鍍性。其他鹼可溶性樹脂 （ A-2 ）
本發明之鹼可溶性樹脂（A）可進一步包含其他鹼可溶性樹脂（A-2），其他鹼可溶性樹脂（A-2）係由含一個或一個以上羧酸基之乙烯性不飽和單體，和其它可共聚合之乙烯性不飽和單體共聚合而得。基於共聚合用單體的總使用量100重量份，較佳地，該其他鹼可溶性樹脂（A-2）係由5重量份至50重量份之含一個或一個以上羧酸基之乙烯性不飽和單體和50重量份至95重量份之其它可共聚合之乙烯性不飽和單體共聚合而得。
含一個或一個以上羧酸基之乙烯性不飽和單體可單獨或混合使用，且含羧酸基之乙烯性不飽和單體包含但不限於丙烯酸、甲基丙烯酸(methacrylic acid，簡稱MAA)、丁烯酸、α-氯丙烯酸、乙基丙烯酸、肉桂酸、2-丙烯醯乙氧基丁二酸酯、或2-甲基丙烯醯乙氧基丁二酸酯(2-methacryloyloxyethyl succinate monoester，簡稱HOMS)等之不飽和一元羧酸類；馬來酸、馬來酸酐、富馬酸、衣康酸、衣康酸酐、檸康酸及檸康酸酐等之不飽和二元羧酸(酐)類；三個羧酸基以上之之不飽和多元羧酸(酐)類。較佳地，含羧酸基之乙烯性不飽和單體是選自丙烯酸、甲基丙烯酸、2-丙烯醯乙氧基丁二酸酯、或2-甲基丙烯醯乙氧基丁二酸酯。更佳地，含羧酸基之乙烯性不飽和單體是選自2-丙烯醯乙氧基丁二酸酯、或2-甲基丙烯醯乙氧基丁二酸酯，可以提高顏料分散性及增進顯影速度以及減少殘渣發生。
其它可共聚合之乙烯性不飽和單體可單獨或混合使用，且其它可共聚合之乙烯性不飽和單體包含但不限於苯乙烯(styrene，簡稱SM)、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對氯苯乙烯、甲氧基苯乙烯等之芳香族乙烯基化合物；氮-苯基馬來醯亞胺(N-phenylmaleimide，簡稱PMI)、氮-鄰-羥基苯基馬來醯亞胺、氮-間-羥基苯基馬來醯亞胺、氮-對-羥基苯基馬來醯亞胺、氮-鄰-甲基苯基馬來醯亞胺、氮-間-甲基苯基馬來醯亞胺、氮-對-甲基苯基馬來醯亞胺、氮-鄰-甲氧基苯基馬來醯亞胺、氮-間-甲氧基苯基馬來醯亞胺、氮-對-甲氧基苯基馬來醯亞胺、氮-環己基馬來醯亞胺等之馬來醯亞胺類；丙烯酸甲酯(methyl acrylate，簡稱MA)、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸正丙酯、甲基丙烯酸正丙酯、丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸異丙酯、丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸正丁酯、丙烯酸異丁酯、甲基丙烯酸異丁酯、丙烯酸第二丁酯、甲基丙烯酸第二丁酯、丙烯酸第三丁酯、甲基丙烯酸第三丁酯、丙烯酸2-羥基乙酯、甲基丙烯酸2-羥基乙酯、丙烯酸2-羥基丙酯、甲基丙烯酸2-羥基丙酯、丙烯酸3-羥基丙酯、甲基丙烯酸3-羥基丙酯、丙烯酸2-羥基丁酯、甲基丙烯酸2-羥基丁酯、丙烯酸3-羥基丁酯、甲基丙烯酸3-羥基丁酯、丙烯酸4-羥基丁酯、甲基丙烯酸4-羥基丁酯、丙烯酸烯丙酯、甲基丙烯酸烯丙酯、丙烯酸苯甲酯、甲基丙烯酸苯甲酯(benzyl methacrylate，簡稱BzMA)、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸三乙二醇甲氧酯、甲基丙烯酸三乙二醇甲氧酯、甲基丙烯酸十二烷基酯、甲基丙烯酸十四烷基酯、甲基丙烯酸十六烷基酯、甲基丙烯酸十八烷基酯、甲基丙烯酸二十烷基酯、甲基丙烯酸二十二烷基酯、丙烯酸雙環戊烯基氧化乙酯(dicyclopentenyloxyethyl acrylate，簡稱DCPOA)等之不飽和羧酸酯類；丙烯酸-氮,氮-二甲基胺基乙酯、甲基丙烯酸-氮,氮-二甲基胺基乙酯、丙烯酸-氮,氮-二乙基胺基丙酯、甲基丙烯酸-氮,氮-二甲基胺基丙酯、丙烯酸氮,氮-二丁基胺基丙酯、氮-甲基丙烯酸異-丁基胺基乙酯；丙烯酸環氧丙基酯、甲基丙烯酸環氧丙基酯等之不飽和羧酸環氧丙基酯類；乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯等之羧酸乙烯酯類；乙烯基甲醚、乙烯基乙醚、烯丙基環氧丙基醚、甲代烯丙基環氧丙基醚等之不飽和醚類；丙烯腈、甲基丙烯腈、α-氯丙烯腈、氰化亞乙烯等之腈化乙烯基化合物；丙烯醯胺、甲基丙烯醯胺、α-氯丙烯醯胺、氮-羥乙基丙烯醯胺、氮-羥乙基甲基丙烯醯胺等之不飽和醯胺；1,3-丁二烯、異戊二烯、氯化丁二烯等之脂肪族共軛二烯類。
較佳地，其他可共聚合之乙烯性不飽和單體是選自苯乙烯、氮-苯基馬來醯亞胺、丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸2-羥基乙酯、甲基丙烯酸2-羥基乙酯、丙烯酸苯甲酯、甲基丙烯酸苯甲酯、丙烯酸雙環戊烯基氧化乙酯、或此等組合。
於製備其他鹼可溶性樹脂（A-2）時，可使用溶劑，溶劑可單獨或混合使用，且溶劑包含但不限於乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇正丙醚、二乙二醇正丁醚、三乙二醇甲醚、三乙二醇乙醚、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、一縮二丙二醇甲醚、一縮二丙二醇乙醚、一縮二丙二醇正丙醚、一縮二丙二醇正丁醚、二縮三丙二醇甲醚、二縮三丙二醇乙醚等之(聚)亞烷基二醇單烷醚類；乙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯(propylene glycol methyl ether acetate，簡稱PGMEA)、丙二醇乙醚醋酸酯等之(聚)亞烷基二醇單烷醚醋酸酯類；二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇二乙醚、四氫呋喃等之其他醚類；甲乙烷酮、環己酮、2-庚酮、3-庚酮等之酮類；2-羥基丙酸甲酯、2-羥基丙酸乙酯等之乳酸烷酯類；2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯(ethyl 3-ethoxypropionate，簡稱EEP)、乙氧基乙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、乙酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、2-甲氧基丁酸乙酯等之其他酯類；甲苯、二甲苯等之芳香族碳氫化合物類；氮-甲基吡咯烷酮（NMP）、氮,氮-二甲基甲醯胺（DMF）、或氮,氮-二甲基乙醯胺（DMAC）等醯胺類等。較佳地，溶劑是選自丙二醇甲醚醋酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、或此等組合。(聚)亞烷基二醇單烷醚類是指亞烷基二醇單烷醚類或聚亞烷基二醇單烷醚類。(聚)亞烷基二醇單烷醚醋酸酯類是指亞烷基二醇單烷醚醋酸酯類或聚亞烷基二醇單烷醚醋酸酯類。
其他鹼可溶性樹脂（A-2）製備時所使用之起始劑一般為自由基型聚合起始劑，具體例如：2,2'-偶氮雙異丁腈、2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)、2,2'-偶氮雙(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、2,2'-偶氮雙-2-甲基丁腈(2,2'-azobis-2-methyl butyronitrile，簡稱AMBN)等之偶氮(azo)化合物；過氧化二苯甲醯等之過氧化合物。
基於鹼可溶性樹脂（A）的使用量為100重量份，其他鹼可溶性樹脂（A-1）的使用量為0至100重量份，較佳為0至90重量份，且更佳為0至80重量份。
本發明之其他鹼可溶性樹脂（A-2）之重量平均分子量只要根據目的、用途而適當設定即可，一般為2,000至50,000，較佳為3,000至40,000，更佳為4,000至30,000。含乙烯性不飽和基之化合物（ B ）
含乙烯性不飽和基之化合物（B）可選自於具有1個乙烯性不飽和基之化合物（B-1）或具有2個以上乙烯性不飽和基之化合物（B-2）。具有 1 個乙烯性不飽和基之化合物（ B-1 ）
具有1個乙烯性不飽和基之化合物（B-1）可包含但不限於(甲基)丙烯醯胺((meth)acrylamide)、(甲基)丙烯醯嗎啉、(甲基)丙烯酸-7-胺基-3,7-二甲基辛酯、異丁氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸異冰片基氧乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、乙基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、第三辛基(甲基)丙烯醯胺、二丙酮(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸二甲基胺基乙酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、氮,氮-二甲基(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸四氯苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯[tetrahydrofurfuryl (meth)acrylate]、(甲基)丙烯酸四溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四溴苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-三氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸三溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-三溴苯氧基乙酯、2-羥基-(甲基)丙烯酸乙酯、2-羥基-(甲基)丙烯酸丙酯、乙烯基己內醯胺、氮-乙烯基吡咯烷酮、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸五氯苯酯、(甲基)丙烯酸五溴苯酯、聚單(甲基)丙烯酸乙二酯、聚單(甲基)丙烯酸丙二酯、(甲基)丙烯酸冰片酯等。具有1個乙烯性不飽和基之化合物（B-1）一般可單獨一種或混合複數種使用。具有 2 個以上乙烯性不飽和基之化合物（ B-2 ）
具有2個以上乙烯性不飽和基之化合物（B-2）包含但不限於乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三（2-羥基乙基）異氰酸二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥基乙基)異氰酸三(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質之三(2-羥基乙基)異氰酸三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、環氧乙烷(簡稱EO)改質之三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、環氧丙烷改質(簡稱PO)之三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、聚酯二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質之二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質之二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、四(甲基)丙烯酸二(三羥甲基丙酯) [di(trimethylolpropane) tetra(meth)acrylate]、經環氧乙烷改質之雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧丙烷改質之雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧乙烷改質之氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧丙烷改質之氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、經環氧丙烷改質之甘油三(甲基)丙烯酸酯、經環氧乙烷改質之雙酚F二(甲基)丙烯酸酯、酚醛清漆聚縮水甘油醚(甲基)丙烯酸酯等。具有2個以上乙烯性不飽和基之化合物（B-2）一般可單獨一種或混合複數種使用。
含乙烯性不飽和基之化合物（B）之具體例如：三丙烯酸三羥甲基丙酯、經環氧乙烷改質之三丙烯酸三羥甲基丙酯、經環氧丙烷改質之三丙烯酸三羥甲基丙酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、己內酯改質之二季戊四醇六丙烯酸酯、四丙烯酸二(三羥甲基丙酯)、經環氧丙烷改質之甘油三丙烯酸酯或上述之任意組合。
基於鹼可溶性樹脂（A）的使用量為100重量份，含乙烯性不飽和基之化合物（B）的使用量為30至300重量份，較佳為50至280重量份，且更佳為70至250重量份。光起始劑 （ C ）
光起始劑（C）並無特別限制，在本發明之一實施例中，其可包含但不限於O-醯基肟系化合物、三氮雜苯系化合物、苯乙烷酮類化合物、二咪唑類化合物、二苯甲酮類化合物、α-二酮類化合物、酮醇類化合物、酮醇醚類化合物、醯膦氧化物類化合物、醌類化合物、含鹵素類化合物、過氧化物等，以下分述之。
O-醯基肟系化合物之具體例為：1-[4-(苯基硫代)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、1-[4-(苯醯基)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(O-苯醯基肟)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙醯基肟)、1-[9-乙基-6-(3-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙醯基肟)、1-[9-乙基-6-苯醯基-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫吡喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫呋喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫吡喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫吡喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫呋喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫吡喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜戊環基)苯醯基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜戊環基)甲氧基苯醯基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)等。
O-醯基肟系化合物以1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮 2-(O-苯醯基肟) (例如Ciba Specialty Chemicals製之OXE 01)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙醯基肟)(例如Ciba Specialty Chemicals製之OXE 02)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜戊環基)甲氧基苯醯基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙醯基肟)等為較佳。O-醯基肟系化合物可單獨一種或混合複數種使用，端視實際需要而定。
三氮雜苯系化合物可包括但不限於乙烯基-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物、2-(萘并-1-取代基)-4,6-雙-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物及4-(對-胺基苯基)-2,6-二-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物等。
乙烯基-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物之具體例為：2,4-雙(三氯甲基)-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-3-(1-對-二甲基胺基苯基-1,3-丁二烯基)-s-三氮雜苯、2-三氯甲基-3-胺基-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯等。
2-(萘并-1-取代基)-4,6-雙-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物之具體例為：2-(萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-乙氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-丁氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-甲氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-乙氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-丁氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(2-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-甲氧基-5-甲基-萘并-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-甲氧基-萘并-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(5-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4,7-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-乙氧基-萘并-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4,5-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯等。
4-(對-胺基苯基)-2,6-二-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物之具體例為：4-[對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-甲基-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-甲基-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N,N-二(苯基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-氯乙基羰基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N-(對-甲氧基苯基)羰基胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氯-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氟-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氯-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氟-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-溴-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氯-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氟-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-溴-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氯-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氟-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-溴-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氯-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氟-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-溴-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氯-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氟-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-溴-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氯-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氟-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-溴-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氯-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氟-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-6-[3-溴-4-[N,N-雙(乙氧基羰基甲基)胺基]苯基]-1,3,5-三氮雜苯等。
三氮雜苯系化合物以4-[間-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯等為較佳。三氮雜苯系化合物可單獨一種或混合複數種使用，端視實際需要而定。
苯乙烷酮類化合物之具體例為：對二甲胺苯乙烷酮、α,α’-二甲氧基氧化偶氮苯乙烷酮、2,2’-二甲基-2-苯基苯乙烷酮、對-甲氧基苯乙烷酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎福啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮等。苯乙烷酮類化合物以2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎福啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮等為較佳。苯乙烷酮類化合物可單獨一種或混合複數種使用，端視實際需要而定。
二咪唑類化合物之具體例為：2,2’-雙(鄰-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-氟苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-甲基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-乙基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(對-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(2,2’,4,4’-四甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑等。二咪唑類化合物以2,2’-雙(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑為較佳。二咪唑類化合物可單獨一種或混合複數種使用，端視實際需要而定。
二苯甲酮類化合物之具體例為：噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、噻噸酮-4-碸、二苯甲酮、4,4’-雙(二甲胺)二苯甲酮、4,4’-雙(二乙胺)二苯甲酮等。二苯甲酮類化合物以4,4’-雙(二乙胺)二苯甲酮為較佳。二苯甲酮類化合物可單獨一種或混合複數種使用，端視實際需要而定。
α-二酮類化合物之具體例為：苯偶醯、乙醯基等。酮醇類化合物之具體例為：二苯乙醇酮。酮醇醚類化合物之具體例為：二苯乙醇酮甲醚、二苯乙醇酮乙醚、二苯乙醇酮異丙醚等。醯膦氧化物類化合物之具體例為：2,4,6-三甲基苯醯二苯基膦氧化物、雙-(2,6-二甲氧基苯醯)-2,4,4-三甲基苯基膦氧化物等。醌類化合物之具體例為：蒽醌、1,4-萘醌等。含鹵素類化合物之具體例為：苯醯甲基氯、三溴甲基苯碸、三(三氯甲基)-s-三氮雜苯等。過氧化物之具體例為：二-第三丁基過氧化物等。α-二酮類化合物、酮醇類化合物、酮醇醚類化合物、醯膦氧化物類化合物、醌類化合物、含鹵素類化合物、過氧化物等可單獨一種或混合複數種使用，端視實際需要而定。
基於鹼可溶性樹脂（A）的使用量為100重量份，光起始劑（C）的使用量為10至80重量份，較佳為12至75重量份，且更佳為15至70重量份。溶劑（ D ）
溶劑（D）必須可以完全溶解其他有機成分，而且其揮發性必須高到在常壓下只需少許熱量便可使其從分散液中蒸發。因此常壓下其沸點低於150°C之溶劑最常使用，這些溶劑包括芳香族系，如苯、甲苯、及二甲苯；醇系，如甲醇及乙醇；醚系，如乙二醇單丙醚、二乙二醇二甲醚、四氫呋喃、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇丁醚；酯系，如乙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丙醚醋酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯；酮系，如甲乙酮以及丙酮。其中以二乙二醇二甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯及3-乙氧基丙酸乙酯單獨或兩者並用較佳，其對負型感光性樹脂組成物之儲存安定性最佳。
基於鹼可溶性樹脂（A）的使用量為100重量份，溶劑（D）的使用量為500至3000重量份，較佳為700至2800重量份，且更佳為900至2600重量份。矽氧化合物（ E ）
矽氧化合物（E）含有由式(E-1)所示的結構：
Figure TW201800856AD00036
式(E-1) 式(E-1)中，c為3至7的整數；L1 、L2 各自獨立表示含有環氧脂環基的一價基團或者烷基，多個L1 、L2 間可相同也可不同，且在c個L1 及L2 中至少一個基團為含有環氧脂環基的一價基團。
作為矽氧化合物（E）的具體例，可列舉下列化合物，但並不限於下列具體例：2,4-雙[2-(3-{氧基雙環[4.1.0]庚基})乙基]-2,4,6,6,8,8-六甲基環四聚矽氧烷、4,8-雙[2-(3-{氧基雙環[4.1.0]庚基})乙基]-2,2,4,6,6,8-六甲基環四聚矽氧烷、2,4-雙[2-(3-{氧基雙環[4.1.0]庚基})乙基]-6,8-二丙基-2,4,6,8-四甲基環四聚矽氧烷、4,8-雙[2-(3-{氧基雙環[4.1.0]庚基})乙基]-2,6-二丙基-2,4,6,8-四甲基環四聚矽氧烷、2,4,8-三[2-(3-{氧基雙環[4.1.0]庚基})乙基]-2,4,6,6,8-五甲基環四聚矽氧烷、2,4,8-三[2-(3-{氧基雙環[4.1.0]庚基})乙基]-6-丙基-2,4,6,8-四甲基環四聚矽氧烷、2,4,6,8-四[2-(3-{氧基雙環[4.1.0]庚基})乙基]-2,4,6,8-四甲基環四聚矽氧烷、2,4,6,8,10-五[2-(3-{氧基雙環[4.1.0]庚基})乙基]-2,4,6,8,10-五甲基環五聚矽氧烷、2,4,6,8,10,12,14-七[2-(3-{氧基雙環[4.1.0]庚基})乙基]-2,4,6,8,10,12,14-七甲基環七聚矽氧烷或具有脂環式環氧基的半矽氧烷(silsesquioxane)等矽氧化合物。
更具體而言，矽氧化合物（E）的具體例也可為下列式(E-1-1)至式(E-1-9)所示的矽氧化合物：
Figure TW201800856AD00037
式(E-1-1)
Figure TW201800856AD00038
式(E-1-2)
Figure TW201800856AD00039
式(E-1-3)
Figure TW201800856AD00040
式(E-1-4)
Figure TW201800856AD00041
式(E-1-5)
Figure TW201800856AD00042
式(E-1-6)
Figure TW201800856AD00043
式(E-1-7)
Figure TW201800856AD00044
式(E-1-8)
Figure TW201800856AD00045
式(E-1-9)
基於鹼可溶性樹脂（A）的使用量為100重量份，矽氧化合物（E）的使用量為3至25重量份，較佳為3至22重量份，且更佳為3至20重量份。
當負型感光性樹脂組成物中不含有矽氧化合物（E）時，該負型感光性樹脂組成物的耐濺鍍性不佳。光酸產生劑（ F ）
光酸產生劑（F）是一種照射光之後可產生酸的化合物。具體而言，光酸產生劑（F）例如是鎓鹽化合物、含鹵化合物、碸化合物、磺酸化合物、磺醯亞胺化合物或上述化合物之組合。
鎓鹽化合物例如是碘鹽(iodonium salt)、鋶鹽(sulfonium salt)、鏻鹽(phosphonium salt)、重氮鹽(diazonium salt)、吡啶鹽(pyridinium salt)或其類似物。鎓鹽化合物的具體例包括二苯基碘三氟甲烷磺酸鹽(diphenyliodonium trifluoromethanesulfonate)、二苯基碘對甲苯磺酸鹽(diphenyliodonium p-toluenesulfonate)、二苯基碘六氟銻酸鹽(diphenyliodonium hexafluoroantimonate)、二苯基碘六氟磷酸鹽(diphenyliodonium hexafluorophosphate)、二苯基碘四氟硼酸鹽(diphenyliodonium tetrafluoroborate)、三苯基鋶三氟甲烷磺酸鹽(triphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate)、三苯基鋶對甲苯磺酸鹽(triphenylsulfonium p-toluenesulfonate)、三苯基鋶六氟銻酸鹽(triphenylsulfonium hexafluoroantimonate)、4-第三丁基苯基二苯基鋶三氟甲烷磺酸鹽(4-t-butylphenyldiphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate)、4-第三丁基苯基二苯基鋶對甲苯磺酸鹽(4-t-butylphenyldiphenylsulfonium p-toluenesulfonate)、4,7-二正丁氧基萘基四氫噻吩鎓三氟甲烷磺酸鹽(4,7-di-n-butoxy naphthyltetrahydrothiophenium trifluoromethanesulfonate)或上述化合物之組合。
此外，鎓鹽化合物也可以是環己基甲基(2-側氧基環己基) 鋶三氟甲烷磺酸鹽(cyclohexylmethyl(2-oxocyclohexyl)sulfonium trifluoromethanesulfonate)、二環己基(2-側氧基環己基)鋶三氟甲烷磺酸鹽(dicyclohexyl(2-oxocyclohexyl)sulfoniumtrifluoromethane sulfonate)、(2-側氧基環己基)(2-降冰片烷基)鋶三氟甲烷磺酸鹽(2-oxocyclohexyl)(2-norbornyl)sulfoniumtrifluoromethanesulfonate)、2-環己基碸基環己酮 (2-cyclohexylsulfonyl cyclohexanone)、二甲基(2-側氧基環己基)鋶三氟甲烷磺酸鹽(dimethyl (2-oxocyclohexyl)sulfonium trifluoromethanesulfonate)、N-羥基丁二醯亞胺三氟甲烷磺酸鹽(N-hydroxy succinimide trifluoro methanesulfonate)、苯基對甲苯磺酸鹽(phenyl p-toluenesulfonate)或上述化合物之組合。
含鹵化合物例如是含有鹵烷基的碳氫化合物(haloalkyl-containing hydrocarbon compound)或含有鹵烷基的雜環化合物(haloalkyl-containing heterocyclic compound)。含鹵化合物的具體例包括1,10-二溴正癸烷(1,10-dibromo-n-decane)、1,1-雙(4-氯苯基)-2,2,2-三氯乙烷(1,1-bis(4-chlorophenyl)-2,2,2- trichloroethane)、苯基-雙(三氯甲基)-s-三嗪(phenyl-bis(trichloro methyl)-s-triazine)、4-甲氧基苯基-雙(三氯甲基)-s-三嗪(4-methoxyphenyl bis(trichloromethyl)-s-triazine)、苯乙烯基雙(三氯甲基)-s-三嗪)(styryl bis(trichloromethyl)-s-triazine)、萘基雙(三氯甲基) -s-三嗪(naphthyl bis(trichloromethyl)-s-triazine)、2,4-雙(三氯甲基)-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三嗪(2,4-bis(trichloromethyl) -6-p-methoxystyryl-s-triazine, TAZ-110)或類似之s-三嗪，或上述化合物之組合。
此外，含鹵化合物也可以是三(2,3-溴丙基)磷酸酯(tris(2,3-dibromopropyl)phosphate)、三(2,3-二溴-3-氯丙基)磷酸酯(tris(2,3-dibromo-3-chloropropyl) phosphate)、四溴氯丁烷(tetrabromochlorobutane)、2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲烷)-s-三嗪(2-[2-(3,4-dimethoxyphenyl)ethenyl]-4,6-bis (trichloromethyl)-s-triazine)、2-[2-(4-甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲烷)-s-三嗪(2-[2-(4-methoxypheny)ethenyl]-4,6-bis(trichloro methyl)-s-triazine)、六氯苯(hexachlorobenzene)、六溴苯(hexabromobenzene)、六溴環十二烷(hexabromocyclododecane)、六溴環十二烯(hexabromocyclododecene)、六溴聯苯(hexabromobiphenyl)、丙烯基三溴苯基醚(allyltribromophenyl ether)、四氯雙酚A (tetrachlorobisphenol A)、四溴雙酚A (tetrabromobisphenol A)、四氯雙酚A的雙(氯乙基)醚(bis(chloroethyl)ether of tetrachlorobisphenol A)、四溴雙酚A的雙(溴乙基)醚(bis(bromoethyl)ether of tetrabromobisphenol A)、雙酚A 的雙(2,3-二氯丙基)醚(bis(2,3-dichloropropyl)ether of bisphenol A)、雙酚A 的雙(2,3-二溴丙基)醚(bis(2,3-dibromopropyl)ether of bisphenol A)、四氯雙酚A 的雙(2,3-二氯丙基)醚(bis(2,3-dichloro propyl)ether of tetrachlorobisphenol A)、四溴雙酚A 的雙(2,3-二溴丙基)醚(bis(2,3-dibromopropyl)ether of tetrabromobisphenol A)、四氯雙酚S的雙(氯乙基)醚(bis(chloroethyl)ether of the tetrachloro bisphenol S)、四溴雙酚S (tetrabromobisphenol S)、四氯雙酚S(tetrachlorobisphenol S)、四溴雙酚S的雙(溴乙基)醚(bis(bromoethyl)ether of tetrabromobisphenol S)、雙酚S的雙(2,3-二氯丙基)醚(bis(2,3-dichloropropyl)ether of the bisphenol S)、雙酚S的雙(2,3-二溴丙基)醚(bis(2,3-dichloro propyl)ether of the bisphenol S)、三(2,3-二溴丙基)三聚氰酸酯(tris(2, 3-dibromopropyl) isocyanurate)、2,2-雙(4-羥基-3,5-二溴苯基)丙烷(2,2-bis(4-hydroxy -3,5-dibromophenyl)propane)、2,2-雙(4-(2-羥基乙氧基)-3,5-二溴苯基)丙烷(2,2-bis(4-(2-hydroxyethoxy)-3,5-dibromophenyl)propane)或其類似物的鹵素系阻燃劑(halogen series flame retardant)。
碸化合物例如是β-酮碸化合物(β-ketosulfone compounds)、碸基化合物(β-sulfonyl sulfone compounds)或上述這些化合物的α-重氮化合物(α- diazocompound)。碸化合物的具體例包括4-三苯甲醯甲基碸(4-trisphenacyl sulfone)、2,4,6-三甲苯基苯甲醯甲基碸(mesityl phenacyl sulfone)、雙(苯甲醯甲基碸基)甲烷(bis(phenacylsulfonyl)methane)或上述化合物之組合。
磺酸化合物例如是烷基磺酸酯類(alkylsulfonic acid ester)、鹵烷基磺酸酯類(haloalkylsulfonic acid ester)、芳基磺酸酯類(arylsulfonic acid ester)或亞胺基磺酸酯類(iminosulfonate)。磺酸化合物的具體例包括安息香甲苯磺酸酯(benzoin tosylate)、五倍子酚三(三氟甲烷磺酸酯)(pyrogalloltris(trifluoromethane sulfonate))、鄰硝基苯基三氟甲烷磺酸酯(o-nitrobenzyl trifluoromethanesulfonate)、鄰硝基苯基對甲苯磺酸酯(o-nitrobenzyl p-toluenesulfonate)或上述化合物之組合。
磺醯亞胺化合物的具體例包括N-(三氟甲基碸基氧基)丁二醯亞胺(N-(trifluoromethylsulfonyloxy)succinimide)、N-(三氟甲基碸基氧基)酞醯亞胺(N-(trifluoromethylsulfonyloxy) phthalimide)、N-(三氟甲基碸基氧基)二苯基馬來醯亞胺(N-(trifluoromethyl sulfonyloxy) diphenylmaleimide)、N-(三氟甲基碸基氧基)-雙環[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基亞醯胺(N-(trifluoromethylsulfonyloxy)bicyclo[2.2.1]hept-5-ene-2,3-dicarboxyimide)、N-(三氟甲基碸基氧基)萘二甲醯亞胺(N-(trifluoromethyl sulfonyloxy) naphthylimide，NAI-105)或上述化合物之組合。
前述之光酸產生劑（F）較佳為2,4-雙(三氯甲基)-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三嗪(2,4-bis(trichloromethyl)-6-p-methoxy styryl-s-triazine, TAZ-110)、N-(三氟甲基碸基氧基)萘二甲醯亞胺(N-(trifluoromethyl sulfonyloxy) naphthylimide, NAI-105)、三苯基鋶三氟甲烷磺酸鹽(triphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate) 或上述化合物之組合。
光酸產生劑（F）可單獨使用或組合多種來使用。
基於鹼可溶性樹脂（A）的使用量為100重量份，光酸產生劑（F）的使用量為0.5至5重量份，較佳為0.5至4重量份，且更佳為0.5至3重量份。
當負型感光性樹脂組成物中含有光酸產生劑（F）時，可進一步提升該負型感光性樹脂組成物的耐濺鍍性。添加劑（ G ）
較佳地，本發明之負型感光性樹脂組成物可依所需之物性及化性進一步包含添加劑（G），添加劑（G）之選擇為本發明所屬技術領域中具通常知識者可決定者。於本發明之具體例中，添加劑（G）例如是填充劑、鹼可溶性樹脂（A）以外之高分子化合物、紫外線吸收劑、防凝集劑、界面活性劑、密著促進劑、保存安定劑或耐熱性促進劑。
於本發明較佳之具體例中，填充劑例如是：玻璃、鋁；鹼可溶性樹脂（A）以外之高分子化合物例如是聚乙烯醇、聚乙二醇單烷基醚、聚氟丙烯酸烷酯。
紫外線吸收劑例如是2-(3-第三丁基-5-甲基-2-羥基苯基)-5-氯苯基疊氮、烷氧基苯酮；防凝集劑例如是聚丙烯酸鈉。
界面活性劑可促進根據本發明之組成物之塗佈性，於本發明之具體例中，界面活性劑可使用含氟界面活性劑或有機矽界面活性劑。
含氟界面活性劑中，其末端、主鏈及側鏈至少包含一氟烷基或一氟烯基。於本發明之具體例中，含氟界面活性劑例如是1,1,2,2-四氟辛基(1,1,2,2-四氟丙基)醚、1,1,2,2-四氟辛基己基醚、八乙二醇二(1,1,2,2-四氟丁基)醚、六乙二醇(1,1,2,2,3,3-六氟戊基)醚、八丙二醇二(1,1,2,2-四氟丁基)醚、六丙二醇(1,1,2,2,3,3-六氟戊基)醚、全氟十二烷基硫酸鈉、1,1,2,2,8,8,9,9,10,10-十氟十二烷、1,1,2,2,3,3-六氟癸烷、氟烷苯磺酸鈉、氟烷磷酸鈉、氟烷羧酸鈉、氟烷聚氧乙烯醚、二丙三醇四(氟烷聚氧乙烯醚)、氟烷銨碘、氟烷甜菜鹼、氟烷聚氧乙烯醚、全氟烷聚氧乙烯醚、全氟烷基烷醇。於本發明之另一具體例中，含氟界面活性劑例如是BM-1000、BM-1100(BM CHEMIE製)、Megafac F142D、F172、F173、F183、F178、F191、F471、F476(大日本墨水及化學工業製)、Fluorad FC 170C、FC-171、FC-430、FC-431(住友化學製)、氯氟碳S-112、S-113、S-131、S-141、S-145、S-382、SC-101、SC-102、SC-103、SC-104、SC-105、SC-106(旭硝子製)、F Top EF301、303、352(新秋田化成製)、Ftergent FT-100、FT-110、FT-140A、FT-150、FT-250、FT-251、FTX-251、FTX-218、FT-300、FT-310、FT-400S (NEOSU製)。
有機矽界面活性劑例如是TORE有機矽DC3PA、DC7PA、SH11PA、SH21PA、SH28PA、SH29PA、SH30PA、SH-190、SH-193、SZ-6032、SF-8427、SF-8428、DC-57、DC-190 (Dow Corning Toray Silicone製)、TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4446、TSF-4460、TSF-4452(GE東芝有機矽製)。
除前述之含氟界面活性劑或有機矽界面活性劑外，該界面活性劑也可為聚氧乙烯烷基醚，如月桂醇聚氧乙烯醚、聚氧乙烯硬脂酸醚、聚氧乙烯油基醚；聚氧乙烯芳基醚，如聚氧乙烯正辛基苯醚、聚氧乙烯正壬基苯酚醚；聚氧乙烯二烷基酯，如聚氧乙烯二月桂酸、聚氧乙烯二硬脂酸；或非離子界面活性劑，如KP341 (信越化學製)、poly flow No.57、95(共榮社油脂化學工業製)。
界面活性劑可單獨或混合使用。
密著促進劑可用以提升基材之黏著力，其較佳為官能性矽烷交聯劑，較佳地，矽烷交聯劑包含羧基、烯基、異氰酸酯基、環氧基、胺基、巰基或鹵素。於本發明之具體例為對-羥基苯基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、乙烯三乙醯氧基矽烷、乙烯三甲氧基矽烷、乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯基三(2-甲氧乙氧基)矽烷、γ-異氰酸酯丙基三乙氧基矽烷、3-環氧丙氧基丙基三甲氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己烷基)乙基三甲氧基矽烷、3-環氧丙氧基丙基二甲基甲氧基矽烷、3-胺丙基三甲氧基矽烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基三甲氧基矽烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二甲氧基矽烷、3-巰丙基三甲氧基矽烷、3-氯丙基三甲氧基矽烷、3-氯丙基甲基二甲氧基矽烷。另一方面，包含但不限於商品名SZ 6030(Dow Corning Toray Silicone製)以及商品名KBE-903、KBE-603、KBE-403與KBM-403(信越化學製)等密著促進劑。密著促進劑可單獨或混合使用。
保存安定劑可為硫、醌、氫醌、聚氧化物、胺、亞硝基化合物或硝基化合物。其具體例為4-甲氧基苯酚、(N-亞硝基-N-苯基)羥胺鋁、2,2-硫代雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)、2,6-二-第三丁基苯酚。
耐熱性促進劑可為N-(烷氧基甲基)甘脲化合物、N-(烷氧基甲基)三聚氰胺。N-(烷氧基甲基)甘脲化合物具體例為N,N,N',N'-四(甲氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(乙氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(正丙氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(異丙氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(正丁氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(第三丁氧基甲基)甘脲；較佳為N,N,N',N'-四(甲氧基甲基)甘脲。N-(烷氧基甲基)三聚氰胺之具體例為N,N,N',N',N'',N''-六(甲氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N'',N''-六(乙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N'',N''-六(正丙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N'',N''-六(異丙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N'',N''-六(正丁氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N'',N''-六(第三丁氧基甲基)三聚氰胺；較佳為N,N,N',N',N'',N''-六(甲氧基甲基)三聚氰胺。市售品如NIKARAKKU N-2702、MW-30M(三和化學製)。＜ 負型感光性樹脂組成物的製造方法 ＞
負型感光性樹脂組成物的製造方法例如：將鹼可溶性樹脂（A）、含乙烯性不飽和基之化合物（B）、光起始劑（C）、溶劑（D）以及矽氧化合物（E）放置於攪拌器中攪拌，使其均勻混合成溶液狀態，必要時亦可添加光酸產生劑（F）以及添加劑（G），予以均勻混合後，便可獲得溶液狀態的負型感光性樹脂組成物。
又，負型感光性樹脂組成物的製造方法沒有特別的限制。負型感光性樹脂組成物的製造方法例如是先將一部分的鹼可溶性樹脂（A）及含乙烯性不飽和基之化合物（B）分散於一部分的溶劑（D）中，以形成分散溶液；並且接著混合其餘的鹼可溶性樹脂（A）、含乙烯性不飽和基之化合物（B）、光起始劑（C）、溶劑（D）、矽氧化合物（E）、光酸產生劑（F）以及添加劑（G）。＜ 保護膜 與間隙體 的形成 ＞
本發明提供一種保護膜的製造方法與一種間隙體的製造方法，其是藉由對上述的負型感光性樹脂組成物，依序施予預烤處理、曝光處理、顯影處理及後烤處理而製得具有圖案的保護膜或間隙體。以下詳細說明其製造方法。
本發明的保護膜的製造方法是先將由紅色、綠色及藍色著色層組成的畫素層形成於透明基板上，再將本發明的負型感光性樹脂組成物塗佈在前述形成紅、綠、藍等畫素著色層之基板上後，進行預烤、曝光、顯影以及後烤等步驟，藉此去除其中的溶劑，以形成彩色濾光層保護膜。
本發明的間隙體的製造方法是先在已形成有保護膜及畫素層的透明基板上，形成透明導電膜，再將本發明的負型感光性樹脂組成物塗佈在前述透明導電膜上，接著，進行預烤、曝光、顯影以及後烤等步驟，藉此去除其中的溶劑，以形成間隙體。
換言之，若欲形成保護膜，是將負型感光性樹脂組成物塗佈於基板上的畫素層上；而若欲形成間隙體，則是將負型感光性樹脂組成物塗佈於基板上的透明導電膜上。
上述之塗佈方法可例如為噴灑(spray)法、輥式(roller)塗佈法、旋轉塗佈(spin coating)法、桿式(bar)塗佈法或噴墨印刷(ink jet)法等。上述之塗佈方法可採用旋轉塗佈機(spin coater)、非旋轉式塗佈機(spin loess coating machine)以及狹縫式塗佈機(slit-die coating machine)等進行塗佈為較佳。
上述預烤(pre-bake)之條件，依各成分之種類，配合比率而異，通常預烤乃在70℃至90℃溫度下進行1分鐘至15分鐘。預烤後，預烤塗膜之厚度為0.15 μm至8.5 μm，然以0.15 μm至6.5 μm為較佳，又以0.15 μm至4.5 μm為更佳。可以理解的是，上述預烤塗膜之厚度是指去除溶劑後之厚度。
上述預烤塗膜形成後，再以熱板或烘箱等加熱裝置進行加熱處理。加熱處理的溫度通常為150至250℃，其中，使用熱板之加熱時間為5分鐘至30分鐘，使用烘箱之加熱時間為30分鐘至90分鐘。
當上述硬化性樹脂組成物使用光起始劑時，倘若有需要，可在將硬化性樹脂組成物塗佈在基板表面上，並以預烤方式去除溶劑而形成預烤塗膜後，對所述預烤塗膜進行曝光處理。
上述之曝光處理所使用之光線可例如可見光、紫外線、遠紫外線、電子束(electron beam)、X射線等，然以波長為190nm至450nm之含有紫外線的光為較佳。
上述之曝光處理之曝光量以100 J/m2 至20,000 J/m2 為宜，然以150 J/m2 至10,000 J/m2 為較佳。
在上述曝光處理後，可選擇性利用熱板或烘箱等加熱裝置進行加熱處理。加熱處理的溫度通常為150至250℃，其中，使用熱板之加熱時間為5分鐘至30分鐘，使用烘箱之加熱時間為30分鐘至90分鐘。
本發明的保護膜及間隙體並不限定於形成於畫素層或透明導電膜上，而可以形成於基板上或基板上的各種元件上。＜ 彩色濾光片 的製造方法 ＞
具體而言，彩色濾光片的製造方法例如是：在形成紅、綠、藍等畫素著色層及保護膜後，在溫度介於220℃至250℃之間的真空環境下，於保護膜層的表面上進行濺鍍，而形成ITO保護膜，必要時，對ITO保護膜進行蝕刻，並進行佈線，然後在ITO保護膜表面上塗布配向膜，便能製造出包含將本發明的負型感光性樹脂組成物硬化而成的硬化物的彩色濾光片。＜ 液晶顯示元件的製造方法 ＞
首先，將藉由上述彩色濾光片的製造方法所形成的彩色濾光片以及設置有薄膜電晶體的基板作對向配置，並且在上述兩者之間設置間隙(晶胞間隔，cell gap)。接著，以黏著劑貼合彩色濾光片與上述基板的周圍部分並且留下注入孔。然後，在基板表面以及黏著劑所分隔出的間隙內由注入孔注入液晶，最後封住注入孔來形成液晶層。隨後，藉由在彩色濾光片中接觸液晶層的另一側與基板中接觸液晶層的另一側提供偏光板來製作液晶顯示裝置。上述所使用的液晶，亦即液晶化合物或液晶組成物，此處並未特別限定。惟，可使用任何一種液晶化合物及液晶組成物。
此外，於製作彩色濾光片中所使用的液晶配向膜是用來限制液晶分子的配向，並且沒有特別的限制，舉凡無機物或有機物任一者均可，並且本發明並不限於此。
以下將列舉實施例詳細說明本發明，但本發明並不侷限於這些實施例所揭露的內容。＜ 實施例 ＞ 第一鹼可溶性樹脂 （ A-1 ）的合成例
以下說明第一鹼可溶性樹脂（A-1）的合成例A-1-1至合成例A-1-8：
合成例A-1-1 在一四頸錐瓶上設置攪拌器、溫度計、冷凝管及氮氣入口，並導入氮氣。然後，加入100重量份之丙二醇甲醚醋酸酯（簡稱為PGMEA），並將溫度升溫至100℃。接著，將3重量份之單體(a-1-1)、10重量份之甲基丙烯酸（簡稱為MAA）、37重量份之甲基丙烯酸雙環戊酯（簡稱為FA-513M）、30重量份之甲基丙烯酸異冰片酯（簡稱為IBOMA）及20重量份之苯乙烯（簡稱為SM）及4重量份之2,2'-偶氮雙-2-甲基丁腈（簡稱為AMBN）溶於100重量份之丙二醇甲醚醋酸酯（簡稱為PGMEA）中，並將此混合溶液於2小時內逐滴滴入四頸錐瓶中，於100℃反應6.5小時後，即可製得合成例A-1-1之第一鹼可溶性樹脂(A-1-1)。
合成例A-1-2至合成例A-1-3 合成例A-1-2至合成例A-1-3的鹼可溶性樹脂是以與合成例A-1-1相同的步驟來製備，並且其不同處在於：改變鹼可溶性樹脂的成分種類及其使用量、反應時間以及反應溫度(如表1所示)。
合成例A-1-4 在一四頸錐瓶上設置攪拌器、溫度計、冷凝管及氮氣入口，並導入氮氣。然後，加入100重量份之3-乙氧基丙酸乙酯(簡稱為EEP)，並將溫度升溫至105℃。接著，將20重量份之單體(a-1-4)、20重量份之甲基丙烯酸（簡稱為MAA）、10重量份之丙烯酸（簡稱為AA）、50重量份之甲基丙烯酸雙環戊酯（簡稱為FA-513M）及4重量份之2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)（簡稱為ADVN）溶於100重量份之3-乙氧基丙酸乙酯（簡稱為EEP）中，並將此混合溶液於2小時內逐滴滴入四頸錐瓶中。於105℃反應6.5小時後，將3重量份之甲基丙烯酸環氧丙酯（簡稱為GMA）加至充滿氮氣之四頸錐瓶中，並將溫度上升至110℃。反應6小時後，即可製得合成例A-1-4之第一鹼可溶性樹脂(A-1-4)。
合成例A-1-5至合成例A-1-8 合成例A-1-5至合成例A-1-8的鹼可溶性樹脂是以與合成例A-1-4相同的步驟來製備，並且其不同處在於：改變鹼可溶性樹脂的成分種類及其使用量、反應時間以及反應溫度(如表1所示)。其他鹼可溶性樹脂 （ A-2 ）的合成例
以下說明其他鹼可溶性樹脂（A-2）的合成例A-2-1至合成例A-2-6：
合成例A-2-1 將4重量份的2,2'-偶氮雙-2-甲基丁腈(簡稱為AMBN)、240重量份的丙二醇甲醚醋酸酯(簡稱為PGMEA)、50重量份的甲基丙烯酸(簡稱為MAA)、20重量份的甲基丙烯酸雙環戊酯(簡稱為FA-513M)、20重量份的甲基丙烯酸異冰片酯(簡稱為IBOMA)及10重量份的苯乙烯(簡稱為SM)置於一裝有攪拌器及冷凝器之圓底燒瓶中，並使該燒瓶內部充滿氮氣。然後，緩慢攪拌並升溫至80℃，使各反應物均勻混合並進行聚合反應4.5小時。接著，再將其升溫至100℃，並添加0.5重量份的2,2’-偶氮二異丁腈(簡稱為AMBN)。進行聚合反應1小時後，即可製得其他鹼可溶性樹脂(A-2-1)。
合成例A-2-2至合成例A-2-5 合成例A-2-2至合成例A-2-5的鹼可溶性樹脂是以與合成例A-2-1相同的步驟來製備，並且其不同處在於：改變鹼可溶性樹脂的成分種類及其使用量、反應時間以及反應溫度(如表2所示)。
合成例A-2-6 將5重量份的2,2'-偶氮雙-2,4-二甲基戊腈(簡稱為ADVN)、200重量份的乙二醇甲基乙基醚置於一裝有攪拌器及冷凝器之圓底燒瓶中，再置入20重量份的甲基丙烯酸(簡稱為MAA)、45重量份的甲基丙烯酸縮水甘油酯、10重量份的苯乙烯(簡稱為SM)、以及25重量份的(甲基)丙烯酸雙環戊酯並使該燒瓶內部充滿氮氣。然後，緩慢攪拌並升溫至70℃，使各反應物均勻混合並進行聚合反應5小時，即可製得其他鹼可溶性樹脂(A-2-6)。其他鹼可溶性樹脂(A-2-6)的濃度為33.3重量%，其重量平均分子量為9,000。
另外，表1、表2中的簡稱所對應的化合物如下所示。
Figure TW201800856AD00046
[表1]
Figure TW201800856AD00047
[表2]
Figure TW201800856AD00048
 負型感光性樹脂組成物的實施例
以下說明負型感光性樹脂組成物的實施例1至實施例16以及比較例1至比較例5：
實施例1 將100重量份合成例A-2-1的鹼可溶性樹脂(以下簡稱為A-2-1)、60重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯(以下簡稱為B-1)、60重量份的1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮 2-(O-苯醯基肟)(以下簡稱為C-1)、60重量份的2,4-雙[2-(3-{氧基雙環[4.1.0]庚基})乙基]-2,4,6,6,8,8-六甲基環四聚矽氧烷(以下簡稱為E-1)加入700重量份的丙二醇甲醚醋酸酯(以下簡稱為D-1)中，並且以搖動式攪拌器(shaking type stirrer)攪拌均勻後，即可製造得實施例1的負型感光性樹脂組成物。將所製得的負型感光性樹脂組成物以後述評價方式進行評價，其結果如表3所示。
實施例2至實施例16 實施例2至實施例16的負型感光性樹脂組成物是以與實施例1相同的步驟來製備，並且其不同處在於：改變負型感光性樹脂組成物的成分種類及其使用量(如表3、表4所示)。將所製得的負型感光性樹脂組成物以後述評價方式進行評價，其結果如表3、表4所示。
比較例1至比較例4 比較例1至比較例4的負型感光性樹脂組成物是以與實施例1相同的步驟來製備，並且其不同處在於：改變負型感光性樹脂組成物的成分種類及其使用量(如表4所示)。將所製得的負型感光性樹脂組成物以後述評價方式進行評價，其結果如表4所示。
比較例5
將100重量份合成例A-2-6的鹼可溶性樹脂、20重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯、80重量份的二季戊四醇五丙烯酸酯、20重量份的1,2-丁二酮-1-[4-（甲硫基）苯基] 2-(O-乙醯基肟)以及5重量份的1-[4-（甲硫基）苯基] -2-甲基-2-嗎啉-1-酮以使固體濃度為35重量%的比例加入丙二醇甲醚醋酸酯中，並且以搖動式攪拌器(shaking type stirrer)攪拌均勻後，以孔徑0.2 μm的微孔過濾器進行過濾，即可製造得比較例5的負型感光性樹脂組成物。將所製得的負型感光性樹脂組成物以後述評價方式進行評價，其結果為╳。另外，表3、表4中的簡稱所對應的化合物如下所示。
Figure TW201800856AD00049
 評價 方式
耐濺鍍性 將上述負型感光性樹脂組成物以絲網印刷機（東遠精技製，AT-45PA）在100 mm x 100 mm之矩形玻璃基板上塗佈一80 mm x 80 mm之塗膜。後烤後光阻膜厚為2.2~2.3 μm，以電漿清洗機於輸出功率600 W、15分鐘，100 mtorr壓力下，使用氧氣(流量為100 sccm)進行ITO鍍膜，並測量濺鍍後膜厚，再根據下式進行耐濺鍍性之評價。 耐濺鍍性=（濺鍍後膜厚/後烤後膜厚）*100% 耐濺鍍性評價標準如下： ※：耐濺鍍性≧90% ◎：85%≦耐濺鍍性＜90% ○：80%≦耐濺鍍性＜85% △：75%≦耐濺鍍性＜80% ╳：耐濺鍍性＜75%
[表3]
Figure TW201800856AD00050
[表4]
Figure TW201800856AD00051
 評價結果
由表3及表4得知，與含有由式(E-1)所示的結構的矽氧化合物（E）的負型感光性樹脂組成物(實施例1至16)相比，比較例1至4的負型感光性樹脂組成物的耐濺鍍性評價不佳。
另一方面，比較例5的負型感光性樹脂組成物的耐濺鍍性評價亦不佳。
又，當負型感光性樹脂組成物中的鹼可溶性樹脂（A）包括具有由式(A1-1)所示的重複單元的第一鹼可溶性樹脂（A-1）(實施例3、4、9、10、13至15)時，負型感光性樹脂組成物的耐濺鍍性評價較佳。
此外，使用具有乙烯性不飽和基的第一鹼可溶性樹脂（A-1）的負型感光性樹脂組成物(實施例9、13至15)的耐濺鍍性評價更佳。
另外，當負型感光性樹脂組成物中更含有光酸產生劑（F）(實施例5、6、9、11、13至15)時，負型感光性樹脂組成物的耐濺鍍性評價也較佳。
綜上所述，本發明的負型感光性樹脂組成物因含有由式(E-1)所示的結構的矽氧化合物（E），故能夠解決負型感光性樹脂組成物的耐濺鍍性不佳的問題。
另一方面，若本發明的負型感光性樹脂組成物中更含有具有由式(A1-1)所示的重複單元的第一鹼可溶性樹脂（A-1）或光酸產生劑（F）時，能夠進一步提升其耐濺鍍性。此外，若本發明的負型感光性樹脂組成物中更含有具有乙烯性不飽和基的第一鹼可溶性樹脂（A-1）時，能夠更進一步提升其耐濺鍍性。
雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。
無

Claims (11)

  1. 一種負型感光性樹脂組成物，包括： 鹼可溶性樹脂（A）； 含乙烯性不飽和基之化合物（B）； 光起始劑（C）； 溶劑（D）；以及 矽氧化合物（E）， 其中，所述矽氧化合物（E）含有由式(E-1)所示的結構：
    Figure TW201800856AC00001
    式(E-1) 式(E-1)中，c為3至7的整數；L1 、L2 各自獨立表示含有環氧脂環基的一價基團或者烷基，多個L1 、L2 間可相同也可不同，且在c個L1 及L2 中至少一個基團為含有環氧脂環基的一價基團。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的負型感光性樹脂組成物，其中，所述鹼可溶性樹脂（A）包括第一鹼可溶性樹脂（A-1），所述第一鹼可溶性樹脂（A-1）具有由式(A1-1)所示的重複單元：
    Figure TW201800856AC00002
    式(A1-1) 式(A1-1)中，R1 表示氫原子或烷基； R2 表示烷基、環烷基、烷氧基、烷氧基羰基、羧基、鹵素原子、羥基或氰基；R3 表示伸烷基、伸環烷基或其組合，當所述式(A1-1)中具有2個以上的R3 時，各個R3 可彼此相同或不同； Y表示單鍵、-O-、-COO-、-CONH-、-NHCOO-或-NHCONH-，當所述式(A1-1)中具有2個以上的Y時，各個Y可彼此相同或不同；X表示亞甲基、甲基亞甲基、二甲基亞甲基、伸乙基、-O-或-S-； m、n各自獨立表示0至4的整數，當n為2以上時，n個R2 可彼此相同或不同；*表示鍵結處。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的負型感光性樹脂組成物，其中，所述第一鹼可溶性樹脂（A-1）具有乙烯性不飽和基。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的負型感光性樹脂組成物，其中更包括光酸產生劑（F）。
  5. 如申請專利範圍第1項所述的負型感光性樹脂組成物，其中基於所述鹼可溶性樹脂（A）的使用量為100重量份，所述含乙烯性不飽和基之化合物（B）的使用量為30~300重量份，所述光起始劑（C）的使用量為10~80重量份，所述溶劑（D）的使用量為500~3000重量份，所述矽氧化合物（E）的使用量為3~25重量份。
  6. 如申請專利範圍第2項所述的負型感光性樹脂組成物，其中基於所述鹼可溶性樹脂（A）的使用量為100重量份，所述第一鹼可溶性樹脂（A-1）的使用量為0~100重量份。
  7. 如申請專利範圍第4項所述的負型感光性樹脂組成物，其中基於所述鹼可溶性樹脂（A）的使用量為100重量份，所述光酸產生劑（F）的使用量為0.5~5重量份。
  8. 一種間隙體的製造方法，其是藉由對如申請專利範圍第1項至第7項中任一項所述的負型感光性樹脂組成物，依序施予預烤處理、曝光處理、顯影處理及後烤處理而製得具有圖案的間隙體。
  9. 一種保護膜的製造方法，其是藉由對如申請專利範圍第1項至第7項中任一項所述的負型感光性樹脂組成物，依序施予預烤處理、曝光處理、顯影處理及後烤處理而製得具有圖案的保護膜。
  10. 一種液晶顯示元件，包括由如申請專利範圍第8項所述的間隙體的製造方法所製得的間隙體。
  11. 一種液晶顯示元件，包括由如申請專利範圍第9項所述的保護膜的製造方法所製得的保護膜。
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