JP1639761S - 基板保持リング - Google Patents
基板保持リングInfo
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- JP1639761S JP1639761S JP2018026877F JP2018026877F JP1639761S JP 1639761 S JP1639761 S JP 1639761S JP 2018026877 F JP2018026877 F JP 2018026877F JP 2018026877 F JP2018026877 F JP 2018026877F JP 1639761 S JP1639761 S JP 1639761S
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- JP
- Japan
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- retaining ring
- substrate retaining
- substrate
- polishing
- wafer
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Abstract
本物品は、ウエハ等の基板の面を研磨するために用いる基板研磨装置に用いられる基板保持リングである。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018026877F JP1639761S (ja) | 2018-12-10 | 2018-12-10 | 基板保持リング |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018026877F JP1639761S (ja) | 2018-12-10 | 2018-12-10 | 基板保持リング |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP1639761S true JP1639761S (ja) | 2019-08-26 |
Family
ID=82750134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018026877F Active JP1639761S (ja) | 2018-12-10 | 2018-12-10 | 基板保持リング |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP1639761S (ja) |
-
2018
- 2018-12-10 JP JP2018026877F patent/JP1639761S/ja active Active
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