TWI888951B - 晶圓容器及將晶圓匣固定於容器內之方法 - Google Patents

Abstract

在晶圓容器中，提供一閂鎖機構以將一晶圓匣固定於該容器內。該閂鎖機構係由晶圓盒之圓頂之一內表面之間的接觸驅動以在設置於該晶圓匣中之一水平桿處接觸該晶圓匣。該閂鎖機構包含經構形以接觸該圓頂之該內表面之一圓頂接觸元件。該閂鎖機構進一步經構形以回縮且在不與該圓頂接觸時不與該水平桿重疊。該閂鎖機構被併入至門中或附接至門。

Description

晶圓容器及將晶圓匣固定於容器內之方法

本發明係關於用於特別藉由在水平桿處接觸晶圓匣而將該匣固定於晶圓容器內之閂鎖。

晶圓(諸如半導體晶圓)可儲存於匣中。匣被放置至包含一圓頂及一門之容器中。為減少或防止移動，可在圓頂上設置匣壓緊特徵或可在圓頂與匣之間安裝一或多個匣壓緊部件。圓頂之內部特徵及可藉由一壓緊裝置嚙合之匣上之特徵未經標準化且可在製造商、產品線、產品代及類似者之間顯著改變。

本發明係關於用於特別藉由在水平桿處接觸晶圓匣而將該匣固定於晶圓容器內之閂鎖。

藉由透過與一標準特徵(諸如晶圓匣之水平桿)接觸來固定匣，閂鎖機構可提供較少受到產品特定設計變化影響之一可更廣泛應用的解決方案。此外，根據實施例之閂鎖機構在圓頂及門經接合時自動延伸且在圓頂被移除時回縮。此促進包含具有自動化之閂鎖機構之晶圓容器之使用，此無需處置或考量潛在不同的匣壓緊結構。閂鎖機構進一步具有不干 擾晶圓匣內之晶圓儲存之一輪廓。藉由將閂鎖機構附接至晶圓容器之一門，閂鎖機構可進一步被併入至現有晶圓容器中。

在一實施例中，一種晶圓容器包含界定經構形以容納一晶圓匣之一空間之一圓頂，該圓頂包含一內表面及一門開口。該晶圓容器進一步包含經構形以被接納於該門開口中之一門，該門包含一閂鎖機構。該閂鎖機構包含一圓頂接觸件及一匣接觸件，且該閂鎖機構經構形使得在該圓頂之該內表面與該圓頂接觸件接觸時，該匣接觸件經驅動以接觸該晶圓匣，且在該圓頂之該內表面不接觸該圓頂接觸件時，該閂鎖不與該晶圓匣重疊。

在一實施例中，該圓頂接觸件係一輥元件。在一實施例中，該輥元件包含由一第一材料製成之一芯部及由一第二材料製成之一外部分，該第二材料比該第一材料相對更軟。

在一實施例中，該匣接觸件經構形以在包含於該晶圓匣中之一水平桿處接觸該晶圓匣。

在一實施例中，該閂鎖機構包含：一底座；一閂鎖臂，其中該圓頂接觸件安置於該閂鎖臂之一第一端處且該匣接觸件安置於該閂鎖臂之一第二端處；及複數個連桿，各連桿可旋轉地連接至該底座及該閂鎖臂之各者。在一實施例中，該底座經接合至該門。在一實施例中，該晶圓容器進一步包含經構形以接觸該閂鎖臂之一偏置彈簧。

在一實施例中，該閂鎖機構包含：一底座，其包含經構形以接納該圓頂接觸件之一通道；一閂鎖臂，其包含該匣接觸件；及一連桿，其可旋轉地連接至該底座及該閂鎖臂之各者。該底座包含經構形以與該閂鎖臂介接之一銷。在一實施例中，該閂鎖機構進一步包括一導引輥， 該導引輥安置於該通道中。

在一實施例中，該閂鎖機構包含：一底座，其界定一通道；一閂鎖臂，其包含該匣接觸件；一連桿，其中該圓頂接觸件附接至該連桿且該連桿可旋轉地連接至該底座及該閂鎖臂之各者；及一導引輥，該導引輥附接至該閂鎖臂，該導引輥經構形以在該通道內行進。

在一實施例中，該閂鎖機構包含：一底座；一驅動臂，其中該圓頂接觸件附接至該驅動臂；及一閂鎖臂，其可旋轉地連接至該底座。該閂鎖臂包含該匣接觸件。該驅動臂及該閂鎖臂係藉由一凸輪結構接合，該凸輪結構包含一突出部及一凹槽且經構形以便驅動該閂鎖臂在一未閂鎖位置與一閂鎖位置之間的旋轉。

在一實施例中，一種將一晶圓匣固定於一容器內之方法包含藉由一閂鎖機構之一圓頂接觸件與一圓頂之一內表面之間的接觸來驅動該閂鎖機構，使得一匣接觸件被帶至與該晶圓匣接觸。

在一實施例中，該方法進一步包含使該匣接觸件回縮，使得在該圓頂自與該圓頂接觸件之接觸移除時，該匣接觸件不與該晶圓匣重疊。

在一實施例中，該閂鎖機構係包含於該容器之一門中。

在一實施例中，該匣接觸件在包含於該晶圓匣中之一水平桿處接觸該晶圓匣。

在一實施例中，該閂鎖機構包含：一底座；一閂鎖臂，其中該圓頂接觸件安置於該閂鎖臂之一第一端處且該匣接觸件安置於該閂鎖臂之一第二端處；及複數個連桿。各連桿可旋轉地連接至該底座及該閂鎖臂之各者。

在一實施例中，該閂鎖機構包含：一底座，該底座包含經構形以接納該圓頂接觸件之一通道；一閂鎖臂，其包含該匣接觸件；及一連桿。該連桿可旋轉地連接至該底座及該閂鎖臂之各者。該底座包含經構形以與該閂鎖臂介接之一銷。在一實施例中，該閂鎖機構進一步包括安置於該通道中之一導引輥。

在一實施例中，該閂鎖機構包含：一底座，其界定一通道；一閂鎖臂，其包含該匣接觸件；一連桿；及導引輥。該圓頂接觸件附接至該連桿且該連桿可旋轉地連接至該底座及該閂鎖臂之各者。該導引輥附接至該閂鎖臂，該導引輥經構形以在該通道內行進。

在一實施例中，該閂鎖機構包含：一底座；一驅動臂，其中該圓頂接觸件附接至該驅動臂；及一閂鎖臂，其可旋轉地連接至該底座。該閂鎖臂包含該匣接觸件。該驅動臂及該閂鎖臂係藉由包含一突出部及一凹槽之一凸輪結構接合。該凸輪經構形以驅動該閂鎖臂在一未閂鎖位置與一閂鎖位置之間的旋轉。

100:晶圓容器

102:圓頂/晶圓盒圓頂

104:門/晶圓盒門

106:晶圓匣

108:門開口

110:閂鎖機構

112:對準特徵/晶圓狹槽

114:水平桿

200:晶圓容器

202:圓頂

204:內表面

206:門

208:閂鎖機構

210:晶圓匣

212:水平桿

214:閂鎖臂

216:第二端

218:接觸表面

220:第一端

222:圓頂接觸保持器

224:閂鎖臂連桿連接件

226:圓頂接觸元件

228:底座

230:底座連桿連接件

232:偏置彈簧

234:連桿

300:晶圓容器

302:圓頂

304:內表面

306:門

308:閂鎖機構

310:晶圓匣

312:水平桿

314:閂鎖臂

316:第二端

318:接觸表面

320:第一端

322:圓頂接觸保持器

324:閂鎖臂連桿連接件

326:圓頂接觸元件

328:底座

330:底座連桿連接件

332:偏置彈簧

334:連桿

336:介面特徵

400:晶圓容器

402:圓頂

404:內表面

406:門

408:閂鎖機構

410:晶圓匣

412:水平桿

414:閂鎖臂

416:第二端

418:接觸表面

420:第一端

422:圓頂接觸保持器

424:圓頂接觸元件

426:臂連桿附接件

428:孔隙

430:底座

432:底座連桿附接件

434:偏置銷

436:突出部

438:彈簧

440:通道

442:連桿

500:晶圓容器

502:圓頂

504:內表面

506:門

508:閂鎖機構

510:晶圓匣

512:水平桿

514:閂鎖臂

516:第二端

518:接觸表面

520:第一端

522:圓頂接觸保持器

524:圓頂接觸元件/接觸圓頂接觸元件

526:導引輥/導引圓頂接觸元件

528:臂連桿附接件

530:孔隙

532:底座

534:底座連桿附接件

536:偏置銷

538:突出部

540:彈簧

542:通道

544:連桿

600:晶圓容器

602:圓頂

604:內表面

606:門

608:閂鎖機構

610:晶圓匣

612:水平桿

614:連桿

616:圓頂接觸元件

618:閂鎖臂

620:接觸表面

622:第二端

624:連桿附接件

626:第一端

628:導引輥

630:底座

632:通道

700:閂鎖機構

702:底座

704:底座本體

706:鉸鏈銷

708:偏置彈簧

710:偏置銷

712:閂鎖臂

714:接觸表面

716:鉸鏈孔隙

718:凸輪孔隙

720:驅動臂

722:凸輪突出部

724:偏置孔隙

726:輥保持件

728:圓頂接觸元件

730:芯部

732:軸突出部

734:接觸表面

圖1展示根據一實施例之一晶圓容器。

圖2A展示在根據一實施例之一閂鎖機構處於一未閂鎖位置中時一晶圓容器之一截面視圖。

圖2B展示在根據一實施例之閂鎖機構處於一閂鎖位置中時圖2A之晶圓容器之一截面視圖。

圖3A展示在根據一實施例之一閂鎖機構處於一未閂鎖位置中時一晶圓容器之一截面視圖。

圖3B展示在根據一實施例之閂鎖機構處於一閂鎖位置中時 圖3A之晶圓容器之一截面視圖。

圖4A展示在根據一實施例之一閂鎖機構處於一未閂鎖位置中時一晶圓容器之一截面視圖。

圖4B展示在根據一實施例之閂鎖機構處於一閂鎖位置中時圖4A之晶圓容器之一截面視圖。

圖5A展示在根據一實施例之一閂鎖機構處於一未閂鎖位置中時一晶圓容器之一截面視圖。

圖5B展示在根據一實施例之閂鎖機構處於一閂鎖位置中時圖5A之晶圓容器之一截面視圖。

圖6A展示在根據一實施例之一閂鎖機構處於一未閂鎖位置中時一晶圓容器之一截面視圖。

圖6B展示在根據一實施例之閂鎖機構處於一閂鎖位置中時圖6A之晶圓容器之一截面視圖。

圖7展示根據一實施例之一閂鎖機構之一分解視圖。

本發明係關於用於特別藉由在水平桿處接觸晶圓匣而將該匣固定於晶圓容器內之閂鎖。

圖1展示根據一實施例之一晶圓容器。晶圓容器100包含圓頂102、門104及晶圓匣106。

圓頂102經構形以界定能夠容納晶圓匣106之一內部空間。圓頂102具有經構形以接納門104，使得門104圍封圓頂102之內部空間之一門開口108。

門104經構形以被放置至門開口108中。門104包含一閂鎖 機構110。閂鎖機構110經構形使得在門104及圓頂102經組合時，圓頂102之一內表面接觸閂鎖機構110之部分，從而將閂鎖機構110自其不與晶圓匣106接觸或重疊之一未閂鎖狀態驅動至其接觸晶圓匣106以將晶圓匣之位置固定於晶圓容器100內之一閂鎖狀態。閂鎖機構100可在任何合適位置處接觸晶圓匣106，使得晶圓匣106可至少部分藉由此接觸固定。閂鎖機構110可在(例如)晶圓匣106之任何標準特徵、包含於晶圓匣106中之凸緣、突片、突出部或類似者處接觸晶圓匣106。在一實施例中，閂鎖機構110可在包含於晶圓匣106中之水平桿114處接觸晶圓匣。門104可進一步包含經構形以在晶圓容器100經組裝時接觸晶圓匣106之一或多個對準特徵112。

晶圓匣106經構形以儲存一或多個晶圓。晶圓匣106可包含一或多個晶圓狹槽112。一水平桿114可跨晶圓匣106(例如，在其之一底部處)延伸。

在使用時，晶圓匣106可被放置至門104上。晶圓匣106之放置可藉由門104上之一或多個對準特徵112導引。圓頂102接著可被放置至門104及晶圓匣106上，使得在門104被接納於門開口108內時，晶圓匣106在圓頂102之內部空間內。在圓頂102及門104經組合時，圓頂102之一內表面接觸閂鎖機構110。圓頂102與閂鎖機構110之接觸驅動閂鎖機構110以使一接觸表面與晶圓匣106接觸以固定晶圓匣106。在一實施例中，該接觸表面可與晶圓匣106之水平桿114進行接觸。當晶圓盒(pod)圓頂102與晶圓盒門104分離時，晶圓盒圓頂102之內表面不再接觸閂鎖機構110。當晶圓盒圓頂102不再接觸閂鎖機構110時，閂鎖機構110可經構形以返回至未閂鎖位置。

圖2A展示在根據一實施例之一閂鎖機構處於一未閂鎖位置中時一晶圓容器之一截面視圖。晶圓容器200包含具有內表面204之圓頂202及包含閂鎖機構208之門206。晶圓容器200進一步包含放置至門206上之晶圓匣210，晶圓匣210具有水平桿212。在圖2A中展示之視圖中，圓頂202與門206分開且閂鎖機構208處於其不與水平桿212重疊之一未閂鎖位置中。

閂鎖機構208包含一閂鎖臂214。閂鎖臂214包含其處設置一接觸表面218之一第二端216。閂鎖臂214進一步包含其處設置一圓頂接觸保持器222之一第一端220。複數個閂鎖臂連桿連接件224經設置於閂鎖臂214上。圓頂接觸元件226經固持於圓頂接觸保持器222中。閂鎖機構進一步包含一底座228。底座228包含底座連桿連接件230。偏置彈簧232經設置於底座228上。設置複數個連桿234，各連桿234連接至一閂鎖臂連桿連接件224及一底座連桿連接件230。

閂鎖臂214經構形以可在容許晶圓匣210容易地定位於門206上或自門206移除之一未閂鎖位置與其處閂鎖臂214藉由與晶圓匣210之水平桿212接觸來固定晶圓匣210之一閂鎖位置之間移動。閂鎖臂214具有包含接觸表面218之一第二端216。接觸表面218可與閂鎖臂214一體地形成或為附接至閂鎖臂214之第二端216之一額外元件。接觸表面218經構形以接觸水平桿212以固定晶圓匣210。接觸表面218可經構形以在任何合適位置(其中一個非限制性實例為水平桿212)處接觸晶圓匣210，使得晶圓匣210可經固定。閂鎖臂214進一步包含與第二端216相對之第一端220。一圓頂接觸保持器222安置於第一端220處。圓頂接觸保持器222可包含(例如)經構形以接納圓頂接觸元件226之突出部(諸如圓頂接觸元件226之 一軸)之一開口、凹部、凹槽或類似者。

臂連桿連接件224係沿著閂鎖臂214之一長度設置，以便容許閂鎖臂214連接至複數個連桿234之各者。臂連桿連接件可為容許一可旋轉連接之任何合適特徵。在圖2A及圖2B中展示之非限制性實例中，臂連桿連接件224包含閂鎖臂214中之開口及跨該等開口之圓柱形延伸部。該等圓柱形延伸部經設定大小使得設置於一連桿234之端部處之夾具可與圓柱形延伸部嚙合，因此在臂連桿連接件224處提供連桿234與閂鎖臂214之間的一可旋轉連接。

圓頂接觸元件226係經構形以接觸圓頂202之內表面204之一元件。圓頂接觸元件226可為任何合適接觸元件，諸如包含一凸輪表面或一固定彎曲表面、一輥或類似者之一元件。圓頂接觸元件226可為(例如)一輥。在一實施例中，圓頂接觸元件226包含至少一個修圓表面，例如，為包含一修圓表面之圓形、橢圓形或任何其他形狀。在一實施例中，圓頂接觸元件226呈圓形形狀。在一實施例中，圓頂接觸元件226係一單件。在一實施例中，圓頂接觸元件226包含至少兩種不同材料，例如，包含一相對更硬及/或更剛性的芯部材料之一芯部及由一相對更軟及/或更可撓性的接觸表面材料製成之一接觸表面。在一實施例中，接觸表面可經包覆模製至芯部上。在一實施例中，接觸表面材料可自諸如熱塑性彈性體、聚矽氧或類似者之彈性體選擇。圓頂接觸元件226可經構形以被容納於圓頂接觸保持器222中或藉由圓頂接觸保持器222保持，例如，具有形成一軸之向外突出部，該軸容許圓頂接觸元件226保持於圓頂接觸保持器222中且容許圓頂接觸元件226在被保持時旋轉。在一實施例中，圓頂接觸元件226與閂鎖臂214一體地形成。

底座228經構形以將閂鎖機構208附接至門206。底座228可附接至門206，與門206一體地形成，或包含附接至門206之一些部分及與門206一體地形成之其他部分。底座228可經設定大小，使得閂鎖機構208在其上安置底座228之門206之一表面上方的一最大高度使得閂鎖機構208將不干擾放置於晶圓匣210中之晶圓。在一實施例中，底座228經設定大小使得閂鎖機構之一高度等於或小於0.8吋(近似2公分)。

底座連桿連接件230經設置於底座228上。底座連桿連接件可為跨設置於底座228中之一敞開空間延伸之圓柱形桿。圓柱形桿可經設定大小使得設置於連桿234上之夾具可與圓柱形桿嚙合以將一連桿234之一端附接至底座連桿連接件230之一者。連桿234至對應底座連桿連接件230之附接可使得連桿234能夠例如，回應於移動連桿234亦連接至之閂鎖臂214之力而旋轉。

偏置彈簧232經設置於底座228上。偏置彈簧232可為用於向閂鎖臂214施加一力之任何合適彈簧，諸如一彈簧臂、板片彈簧、螺旋彈簧或類似者。偏置彈簧232可為附接至底座228之一分開的元件，或與底座228一體地形成。偏置彈簧經構形以接觸閂鎖臂214。偏置彈簧經構形以將閂鎖臂214驅動至其中閂鎖臂214不與水平桿212重疊之一未閂鎖狀態。在圖2A中展示之實施例中，由偏置彈簧232施加之力向上驅動閂鎖臂214。閂鎖臂214之向上移動係藉由連桿234之固定長度及連桿234之旋轉部分轉化成閂鎖臂214向外移動進入未閂鎖狀態。

連桿234將閂鎖臂214接合至底座228。連桿234可在至閂鎖臂214及底座228之連接之各者處旋轉。在一實施例中，連桿234各包含在一第一端處之附接至臂連桿連接件224之一者之一第一夾具，及在連桿 234之一相對端處之附接至底座連桿連接件230之一者之一第二夾具。連桿234各具有一固定長度。連桿234之固定長度及可旋轉連接件控制閂鎖臂214相對於底座228之移動，使得閂鎖臂214可在閂鎖位置與未閂鎖位置之間移動。

圖2B展示在根據一實施例之閂鎖機構處於一閂鎖位置中時圖2A之晶圓容器之一截面視圖。在圖2B中所展示之閂鎖位置中，圓頂202之內表面204接觸圓頂接觸元件226。內表面204與圓頂接觸元件226之間的接觸向內驅動圓頂接觸元件226。圓頂接觸元件226至閂鎖臂214之連接導致閂鎖臂214亦被向內驅動。閂鎖臂214之內向移動引起連桿234旋轉，在閂鎖臂214向內移動時向下拉動閂鎖臂214。該力克服由偏置彈簧232提供之力，因此將接觸表面218帶至晶圓匣210之水平桿212上方並向下帶至晶圓匣210之水平桿212上。因此，接觸表面218將晶圓匣210之位置固定於門206上。當自門206移除圓頂202時，偏置彈簧向下驅動閂鎖臂214，引起藉由連桿234界定之旋轉移動，使得閂鎖臂214返回至其不與水平桿212重疊之未閂鎖位置且晶圓匣210可在不受閂鎖機構208干擾的情況下自門206移除。

圖3A展示在根據一實施例之一閂鎖機構處於一未閂鎖位置中時一晶圓容器之一截面視圖。晶圓容器300包含具有內表面304之圓頂302及包含閂鎖機構308之門306。晶圓容器300進一步包含放置至門306上之晶圓匣310，晶圓匣310具有水平桿312。在圖3A中展示之視圖中，圓頂302與門306分開且閂鎖機構308處於其不與水平桿312重疊之一未閂鎖位置中。

閂鎖機構308包含一閂鎖臂314。閂鎖臂314包含其處設置 一接觸表面318之一第二端316。閂鎖臂314進一步包含其處設置一圓頂接觸保持器322之一第一端320。複數個閂鎖臂連桿連接件324經設置於閂鎖臂314上。圓頂接觸元件326經固持於圓頂接觸保持器322中。閂鎖機構進一步包含一底座328。底座328包含底座連桿連接件330。偏置彈簧332經設置於底座328上。設置複數個連桿334，各連桿334連接至一閂鎖臂連桿連接件324及一底座連桿連接件330。

閂鎖臂314經構形以可在容許晶圓匣310容易地定位於門306上或自門306移除之一未閂鎖位置與其處閂鎖臂314藉由與晶圓匣310之水平桿312接觸來固定晶圓匣310之一閂鎖位置之間移動。閂鎖臂314具有包含接觸表面318之一第二端316。接觸表面318可與閂鎖臂314一體地形成或可為附接至閂鎖臂314之第二端316之一額外元件。接觸表面318可經構形以在任何合適位置處接觸晶圓匣310，使得晶圓匣310可經固定。在一實施例中，接觸表面318經構形以接觸水平桿312以固定晶圓匣310。接觸表面318可包含一斜面、一傾斜表面、一階狀部、肩部、凸緣或任何其他合適特徵，使得接觸表面318可有效地保持水平桿312，儘管在閂鎖臂314被驅動至閂鎖位置中時閂鎖臂314被向上移動。閂鎖臂314進一步包含與第二端316相對之第一端320。一圓頂接觸保持器322安置於第二端322處。圓頂接觸保持器可包含(例如)經構形以接納圓頂接觸元件326之突出部(諸如圓頂接觸元件326之一軸)之一開口、凹部、凹槽或類似者。

臂連桿連接件324係沿著閂鎖臂314之一長度設置，以便容許閂鎖臂314連接至複數個連桿334之各者。臂連桿連接件可為容許一可旋轉連接之任何合適特徵。在圖3A及圖3B中展示之非限制性實例中，臂連桿連接件324包含閂鎖臂314中之開口及跨該等開口之圓柱形延伸部。 該等圓柱形延伸部經設定大小使得設置於一連桿334之端部處之夾具可與圓柱形延伸部嚙合，因此在臂連桿連接件324處提供連桿334與閂鎖臂314之間的一可旋轉連接。

圓頂接觸元件326係經構形以接觸圓頂302之內表面304之一元件。圓頂接觸元件326可為任何合適接觸元件，諸如包含一凸輪表面或一固定彎曲表面、一輥或類似者之一元件。在一實施例中，圓頂接觸元件326包含至少一個修圓表面，例如，為包含一修圓表面之圓形、橢圓形或任何其他形狀。在一實施例中，圓頂接觸元件326呈圓形。在一實施例中，圓頂接觸元件326係一單件。在一實施例中，圓頂接觸元件326包含至少兩種不同材料，例如，包含一相對更硬及/或更剛性的芯部材料之一芯部及由一相對更軟及/或更可撓性的接觸表面材料製成之一接觸表面。在一實施例中，接觸表面可經包覆模製至芯部上。在一實施例中，接觸表面材料可自諸如熱塑性彈性體、聚矽氧或類似者之彈性體選擇。圓頂接觸元件326經構形以容納於圓頂接觸保持器322中或藉由圓頂接觸保持器322保持，例如，具有形成一軸之向外突出部，該軸容許圓頂接觸元件326保持於圓頂接觸保持器322中且容許圓頂接觸元件326在被保持時旋轉。

底座328經構形以將閂鎖機構308附接至門306。底座328可附接至門306，與門306一體地形成，或包含附接至門306之一些部分及與門306一體地形成之其他部分。底座328經設定大小及經構形以提供一敞開空間，閂鎖臂314可透過該敞開空間在閂鎖位置與未閂鎖位置之間行進。底座328可經設定大小，使得閂鎖機構308在其上安置底座328之門306之一表面上方的一最大高度使得閂鎖機構308將不干擾放置於晶圓匣310中之晶圓。在一實施例中，底座328經設定大小使得閂鎖機構之一高 度等於或小於0.8吋(近似2公分)。

底座連桿連接件330經設置於底座328上。底座連桿連接件可為跨設置於底座328中之一敞開空間延伸之圓柱形桿。圓柱形桿可經設定大小使得設置於連桿334上之夾具可與圓柱形桿嚙合以將一連桿334之一端附接至底座連桿連接件330之一者。連桿334至對應底座連桿連接件330之附接可使得連桿334能夠例如，回應於移動連桿334亦連接至之閂鎖臂314之力而旋轉。

偏置彈簧332經設置於底座328上。偏置彈簧332可為用於向閂鎖臂314施加一力之任何合適彈簧，諸如一彈簧臂、板片彈簧、螺旋彈簧或類似者。偏置彈簧332可為附接至底座328之一分開的元件，或與底座328一體地形成。偏置彈簧經構形以接觸閂鎖臂314。偏置彈簧經構形以將閂鎖臂314驅動至其中閂鎖臂314不與水平桿312重疊之一未閂鎖狀態。在圖3A中展示之實施例中，由偏置彈簧332施加之力將閂鎖臂314向外驅動至未閂鎖狀態。偏置彈簧332可在設置於閂鎖臂314上之一介面特徵336(諸如包含一突出部或一凹部之一突片、經構形以接納偏置彈簧332之一部分之一接觸表面，或容許偏置彈簧可靠地作用於閂鎖臂314上之另一合適特徵)處與閂鎖臂314介接。

連桿334將閂鎖臂314接合至底座328。連桿334可在至閂鎖臂314及底座328之連接之各者處旋轉。在一實施例中，連桿334各包含在一第一端處之附接至臂連桿連接件324之一者之一第一夾具，及在連桿334之一相對端處之附接至底座連桿連接件330之一者之一第二夾具。連桿334各具有一固定長度。連桿334之固定長度及可旋轉連接件控制閂鎖臂314相對於底座328之移動，使得閂鎖臂314可在閂鎖位置與未閂鎖位置 之間移動。

圖3B展示在根據一實施例之閂鎖機構處於一閂鎖位置中時圖3A之晶圓容器之一截面視圖。在圖3B中所展示之閂鎖位置中，圓頂302之內表面304接觸圓頂接觸元件326。內表面304與圓頂接觸元件326之間的接觸向內驅動圓頂接觸元件326。圓頂接觸元件326至閂鎖臂314之連接導致閂鎖臂314亦被向內驅動。閂鎖臂314之內向移動引起連桿334旋轉，在閂鎖臂314向內移動時向下拉動閂鎖臂314。該力克服由偏置彈簧332提供之力，因此將接觸表面318帶至晶圓匣310之水平桿312上方。因此，接觸表面318將晶圓匣310之位置固定於門306上。當自門306移除圓頂302時，偏置彈簧向上驅動閂鎖臂314，引起藉由連桿334界定之旋轉移動，使得閂鎖臂314返回至其不與水平桿312重疊之未閂鎖位置且晶圓匣310可在不受閂鎖機構308干擾的情況下自門306移除。

圖4A展示在根據一實施例之一閂鎖機構處於一未閂鎖位置中時一晶圓容器之一截面視圖。晶圓容器400包含含有內表面404之圓頂402、含有閂鎖機構408之門406，及含有水平桿412之晶圓匣410。閂鎖機構408包含一閂鎖臂414，該閂鎖臂414包含具有一接觸表面418之一第二端416。閂鎖臂414進一步包含具有圓頂接觸保持器422之一第一端420。圓頂接觸元件424在圓頂接觸保持器422處附接至閂鎖臂414。閂鎖臂414進一步包含一臂連桿附接件426及一孔隙428。閂鎖機構進一步包含含有一底座連桿附接件432之一底座430，及含有一突出部436及彈簧438之一偏置銷434。一連桿442連接至閂鎖臂414及底座430之各者。

閂鎖機構408包含閂鎖臂414，該閂鎖臂414包含具有一接觸表面418之一第二端416。接觸表面418經構形以在閂鎖機構處於閂鎖位 置中時接觸晶圓匣410。接觸表面418可經構形以在任何合適位置(其中一個非限制性實例為水平桿412)處接觸晶圓匣410，使得晶圓匣410可經固定。閂鎖機構408進一步包含一第一端420，圓頂接觸元件424附接於該第一端420處。在一實施例中，一圓頂接觸保持器422係在第一端420處。圓頂接觸元件424(例如)在圓頂接觸保持器422處附接至閂鎖臂414。圓頂接觸元件424可為任何合適接觸元件，諸如包含一凸輪表面或一固定彎曲表面、一輥或類似者之一元件。在一實施例中，圓頂接觸元件424包含至少兩種不同材料，例如，包含一更硬或更剛性的芯部材料之一芯部及一更軟或更可撓性的接觸表面。在一實施例中，接觸表面可包覆模製至芯部上。在一實施例中，接觸表面材料可自以下清單之彈性體之一或多者選擇：熱塑性彈性體、聚矽氧或類似者。

臂連桿附接件426經構形以容許連桿442附接至閂鎖臂414。臂連桿附接件426可為容許將連桿442機械附接至閂鎖臂414之任何合適結構(例如，由一開口圍繞之一圓柱體)，容許包含於連桿442中之一夾具附接至臂連桿附接件426。在一實施例中，臂連桿附接件426可為經構形以接納連桿442之一部分之一夾具或插口。臂連桿附接件426至連桿442之連接可使得連桿442及閂鎖臂414可相對於彼此旋轉。

閂鎖臂414包含孔隙428。孔隙428經構形以接納包含於偏置銷434中之突出部436。在一實施例中，孔隙428可具有修圓或斜面邊緣，(例如)以促進將偏置銷434之突出部436插入至孔隙428中。孔隙428經形成於閂鎖臂414中，使得偏置銷434之突出部436可向閂鎖臂414施加力，(例如)以在未藉由圓頂接觸元件424向閂鎖臂施加力時將閂鎖臂414驅動朝向未閂鎖狀態。

閂鎖機構408進一步包含底座430。底座430經設置於門406上。在一實施例中，底座430具有在門406上方0.8吋或更小之一最大高度。底座430界定通道440。通道440經構形使得圓頂接觸元件424附接件432，該附接件432可為容許連桿442至底座430之可旋轉連接之任何合適結構。底座連桿附接件432可為(例如)具有圍繞其之開口以容許附接一夾具、經構形以接納連桿442之一部分之一夾具或插口或類似者之一圓柱形部件。

底座430進一步包含經構形以在其他力未作用於閂鎖臂414上時將閂鎖臂414返回至未閂鎖位置之一偏置銷434。偏置銷434包含一突出部436及彈簧438。突出部436經構形以被接納於設置於閂鎖臂414上之孔隙428中。突出部436安置於彈簧438上。彈簧438經構形以在其他力經施加時(例如，在圓頂402接觸圓頂接觸元件424時)容許突出部436之偏轉，且提供將突出部436返回至其處閂鎖臂414處於一未閂鎖位置中之一位置之力。彈簧438可為任何合適彈簧，例如，一或多個彈簧臂。彈簧438可為附接至底座430之一分開的彈簧或與底座430一體地形成。突出部436可為與彈簧438分開且附接至其之一元件，或與彈簧438一體地形成。在一實施例中，底座430、彈簧438及突出部436全部彼此一體地形成。在一替代實施例中，孔隙428及突出部436之相對位置可反轉，其中突出部436自閂鎖臂414延伸且孔隙428在附接至彈簧438或沿著彈簧438包含之材料中界定。在另一替代實施例中，彈簧438可替代性地包含於閂鎖臂414中，其中突出部436或界定孔隙428之材料之一者安置於彈簧438上，而突出部436或界定孔隙428之材料之另一者設置於底座430上之一固定位置中。

連桿442在臂連桿附接件426處可旋轉地附接至閂鎖臂414且在底座連桿附接件432處可旋轉地附接至底座430。連桿442經構形以在藉由圓頂402與圓頂接觸元件424之間的接觸及/或藉由偏置銷434向閂鎖臂414施加力時控制閂鎖臂414相對於底座430之移動。連桿442可為剛性的且具有一固定長度。連桿442至閂鎖臂414及底座430之附接可在連桿442之相對端處。連桿442可包含用以與臂連桿附接件426及底座連桿附接件432嚙合且可旋轉地附接至臂連桿附接件426及底座連桿附接件432之任何合適結構，諸如夾具、插口或對應嚙合特徵(諸如一球形接頭、具有相鄰開口之一圓柱形部分或類似者)。

圖4B展示在根據一實施例之閂鎖機構處於一閂鎖位置中時圖4A之晶圓容器之一截面視圖。當圓頂402附接至門406時，內表面404與圓頂接觸元件424進行接觸，驅動圓頂接觸元件424在通道440內移動且因此亦向內驅動閂鎖臂414。使閂鎖臂414移動之力克服由彈簧438施加於突出部436上之力，因此引起突出部436至少部分移出孔隙428且容許閂鎖臂414之移動。閂鎖臂414之向內移動係由連桿442控制，使得接觸表面418向內及向下移動以接觸水平桿412。接觸表面418與水平桿412之接觸將晶圓匣410固定至門406。當移除圓頂402時，由彈簧438施加於突出部436上之力將突出部436驅動回至孔隙428中且使閂鎖臂414回至其不與水平桿412重疊之一未閂鎖位置且可在不受閂鎖機構408干擾的情況下自門406移除晶圓匣410。

圖5A展示在根據一實施例之一閂鎖機構處於一未閂鎖位置中時一晶圓容器之一截面視圖。晶圓容器500包含含有內表面504之圓頂502、含有閂鎖機構508之門506，及含有水平桿512之晶圓匣510。閂鎖機 構508包含一閂鎖臂514，該閂鎖臂514包含具有一接觸表面518之一第二端516。接觸表面518可經構形以在任何合適位置(其中一個非限制性實例為水平桿512)處接觸晶圓匣510，使得晶圓匣510可經固定。閂鎖臂514進一步包含具有圓頂接觸保持器522之一第一端520。圓頂接觸元件524及導引輥526各可在圓頂接觸保持器522處附接至閂鎖臂514。閂鎖臂514進一步包含一臂連桿附接件528及一孔隙530。閂鎖機構進一步包含界定通道542之一底座532。底座532可包含一底座連桿附接件534，及含有一突出部538及彈簧540之一偏置銷536。一連桿544連接至閂鎖臂514及底座532之各者。

閂鎖機構508包含一閂鎖臂514，該閂鎖臂514包含具有一接觸表面518之一第二端516。接觸表面518經構形以在閂鎖機構處於閂鎖位置中時接觸晶圓匣510。閂鎖機構508進一步包含一第一端520，圓頂接觸元件524附接於該第一端520處。在一實施例中，一圓頂接觸保持器522係在第一端520處。圓頂接觸元件524(例如)在圓頂接觸保持器522處附接至閂鎖臂514。圓頂接觸元件524可為任何合適接觸元件，諸如包含一凸輪表面或一固定彎曲表面、一輥或類似者之一元件。在一實施例中，圓頂接觸元件524包含至少兩種不同材料，例如，包含一更硬或更剛性的芯部材料之一芯部及一更軟或更可撓性的接觸表面。在一實施例中，接觸表面可包覆模製至芯部上。在一實施例中，接觸表面材料可自以下清單之彈性體之一或多者選擇：熱塑性彈性體、聚矽氧或類似者。

導引輥526附接至閂鎖臂514。導引輥526可幫助導引閂鎖臂514自閂鎖位置至未閂鎖位置之移動。導引輥526可經設定大小，使得其當在閂鎖位置與未閂鎖位置之間行進時僅接觸門506。導引輥526包含 至少兩種不同材料，例如，包含一更硬或更剛性的芯部材料之一芯部及一更軟或更可撓性的接觸表面。在一實施例中，接觸表面可包覆模製至芯部上。在一實施例中，接觸表面材料可自以下清單之彈性體之一或多者選擇：熱塑性彈性體、聚矽氧或類似者。

臂連桿附接件528經構形以容許連桿544附接至閂鎖臂514。臂連桿附接件528可為容許將連桿544機械附接至閂鎖臂514之任何合適結構(例如，由一開口圍繞之一圓柱體)，容許包含於連桿544中之一夾具附接至臂連桿附接件528。在一實施例中，臂連桿附接件528可為經構形以接納連桿544之一部分之一夾具或插口。臂連桿附接件528至連桿544之連接可使得連桿544及閂鎖臂514可相對於彼此旋轉。

閂鎖臂514包含孔隙530。孔隙530經構形以接納包含於偏置銷536中之突出部538。在一實施例中，孔隙530可具有修圓或斜面邊緣，(例如)以促進將偏置銷536之突出部538插入至孔隙530中。孔隙530經形成於閂鎖臂514中，使得偏置銷536之突出部538可向閂鎖臂514施加力，(例如)以在未藉由圓頂接觸元件524向閂鎖臂施加力時將閂鎖臂514驅動朝向未閂鎖狀態。

閂鎖機構508進一步包含底座532。底座532經設置於門506上。在一實施例中，底座532具有在門506上方0.8吋或更小之一最大高度。底座532界定通道542。通道542經構形使得圓頂接觸元件524可與門506同平面地移動通過通道542。通道542可經設定大小使得在圓頂接觸元件524行進通過通道時，圓頂接觸元件524僅接觸通道542之內部之至多一個表面。通道542可經設定大小使得導引輥526在其行進通過通道時，僅接觸通道542之內部之一個表面。導引輥526及通道542可經構形使得導引 輥526沿著門506及/或底座532滾動，而不與設置於通道542中任何其他表面摩擦。底座532包含可為容許連桿544至底座532之可旋轉連接之任何合適結構之一底座連桿附接件534。底座連桿附接件534可為(例如)具有圍繞其之開口以容許附接一夾具、經構形以接納連桿544之一部分之一夾具或插口或類似者之一圓柱形部件。

底座532進一步包含經構形以在其他力未作用於閂鎖臂514上時將閂鎖臂514返回至未閂鎖位置之一偏置銷536。偏置銷536包含一突出部538及彈簧540。突出部538經構形以被接納於設置於閂鎖臂514上之孔隙530中。突出部538安置於彈簧540上。彈簧540經構形以在其他力經施加時(例如，在圓頂502接觸圓頂接觸元件524時)容許突出部538之偏轉，且提供將突出部538返回至其處閂鎖臂514處於一未閂鎖位置中之一位置之力。彈簧540可為任何合適彈簧，例如，一或多個彈簧臂。彈簧540可為附接至底座532之一分開的彈簧或與底座532一體地形成。突出部538可為與彈簧540分開且附接至其之一元件，或與彈簧540一體地形成。在一實施例中，底座532、彈簧540及突出部538全部彼此一體地形成。在一替代實施例中，孔隙530及突出部538之相對位置可反轉，其中突出部538自閂鎖臂514延伸且孔隙530在附接至彈簧540或沿著彈簧540包含之材料中界定。在另一替代實施例中，彈簧540可替代性地包含於閂鎖臂514中，其中突出部538或界定孔隙530之材料之一者安置於彈簧540上，而突出部538或界定孔隙530之材料之另一者設置於底座532上之一固定位置中。

連桿544在臂連桿附接件528處可旋轉地附接至閂鎖臂514且在底座連桿附接件534處可旋轉地附接至底座532。連桿544經構形以在 藉由圓頂502與圓頂接觸元件524之間的接觸及/或藉由偏置銷536向閂鎖臂514施加力時控制閂鎖臂514相對於底座532之移動。連桿544可為剛性的且具有一固定長度。連桿544至閂鎖臂514及底座532之附接可在連桿544之相對端處。連桿544可包含用以與臂連桿附接件528及底座連桿附接件534嚙合且可旋轉地附接至臂連桿附接件528及底座連桿附接件534之任何合適結構，諸如夾具、插口或對應嚙合特徵(諸如一球形接頭、具有相鄰開口之一圓柱形部分或類似者)。

圖5B展示在根據一實施例之閂鎖機構處於一閂鎖位置中時圖5A之晶圓容器之一截面視圖。當圓頂502附接至門506時，內表面504與接觸圓頂接觸元件524進行接觸，驅動接觸圓頂接觸元件524及導引圓頂接觸元件526在通道542內移動且因此亦向內驅動閂鎖臂514。接觸圓頂接觸元件524可沿著通道542之一上表面滾動，且導引圓頂接觸元件可沿著通道542之一下表面滾動。在一實施例中，接觸圓頂接觸元件524不接觸通道542之下表面，且導引圓頂接觸元件526不接觸通道542之上表面。此可減少或消除由圓頂接觸元件524、526沿著通道542之一表面滑動而引起之粒子產生。使閂鎖臂514移動之力克服由彈簧540施加於突出部538上之力，因此引起突出部538至少部分移出孔隙530且容許閂鎖臂514之移動。閂鎖臂514之向內移動係由連桿544控制，使得接觸表面518向內及向下移動以接觸水平桿512。接觸表面518與水平桿512之接觸將晶圓匣510固定至門506。當移除圓頂502時，由彈簧540施加於突出部538上之力將突出部538驅動回至孔隙530中且使閂鎖臂514回至其不與水平桿512重疊之一未閂鎖位置且可在不受閂鎖機構508干擾的情況下自門506移除晶圓匣510。

圖6A展示在根據一實施例之一閂鎖機構處於一未閂鎖位置中時一晶圓容器之一截面視圖。晶圓容器600包含具有內表面604之圓頂602、含有閂鎖機構608之門606，及含有水平桿612之晶圓匣610。閂鎖機構608包含一連桿614。一圓頂接觸元件616附接至連桿614。連桿614亦附接至一閂鎖臂618。閂鎖臂618包含在一第二端622處之一接觸表面620、一連桿附接件624及一第一端626，以及一導引輥628。連桿614亦附接至一底座630。底座630界定一通道632。

連桿614在一第一附接點處接合至底座630且在一第二附接點處接合至閂鎖臂618。附接經構形使得連桿614可相對於底座630旋轉且使得閂鎖臂618可相對於連桿614旋轉。連桿614包含圓頂接觸元件616。在一實施例中，圓頂接觸元件616直接固定至連桿614(例如，與連桿614一體地形成)。在一實施例中，圓頂接觸元件616係附接至連桿614之一分開的元件，例如，藉由一保持器附接至連桿614之一輥。圓頂接觸元件616可為任何合適接觸元件，諸如包含一凸輪表面或一固定彎曲表面、一輥或類似者之一元件。在一實施例中，圓頂接觸元件616具有一相對剛性的芯部及一相對可撓性的接觸表面。在一實施例中，連桿614呈三角形形狀，其中連桿614至閂鎖臂618之附接在三角形之第一點處，連桿614至底座630之附接在三角形之第二點處，且圓頂接觸元件616在三角形之第三點處。連桿614之形狀可使得在連桿614處於靜止狀態而無其他力作用於連桿614上時，連桿614之質量分佈導致連桿614至閂鎖臂618之附接為連桿614之相對最低點。

閂鎖臂618附接至連桿614。閂鎖臂618在第二端622處包含接觸表面620。接觸表面620可經構形以在任何合適位置(其中一個非限制 性實例為水平桿612)處接觸晶圓匣610，使得晶圓匣610可經固定。連桿附接件624經設置於與第二端622相對之第一端626處。連桿附接件可為用於將閂鎖臂618附接至連桿614，使得閂鎖臂618可相對於連桿614旋轉之任何合適特徵。一導引輥628係沿著閂鎖臂618設置。閂鎖臂618可設置於與第一端626相比更靠近第二端622之一點處，使得導引輥628朝向第一端626之側上之質量超過導引輥628朝向第二端622之側上之質量。閂鎖臂618之質量相對於導引輥628之分佈可使得在無其他力作用於連桿614或閂鎖臂618上的情況下，第一端626將傾向於藉由重力向下拉動。此外，在一實施例中，一彈簧經構形以在其他力經施加時(例如，在圓頂602接觸圓頂接觸元件616時)容許導引輥628之側之偏轉，且將導引輥628之側返回至其處閂鎖臂618處於一未閂鎖位置中之一位置。

底座630經設置於門606上之一固定位置中。底座630可與門606一體地形成或可為藉由任何合適構件(諸如一機械連接件、黏合劑、焊接或類似者)固定至門606之一分開的元件。在一實施例中，底座630經焊接至門606。底座630可具有在門606之表面上方0.8吋或更小之一高度。底座630可界定一通道632，該通道632經構形以容許導引輥628在通道632內行進。在一實施例中，導引輥628及通道632經設定大小使得導引輥628僅接觸通道632之內部之一個表面且可沿著該表面滾動，而不抵著設置於通道632中之任何其他表面摩擦。底座630可經構形以容許連桿614可旋轉地附接至底座，例如，藉由提供一夾具、由開口圍繞之一圓柱形區域，或對應於設置於連桿614上之一附接特徵之任何其他合適特徵。

圖6B展示在根據一實施例之閂鎖機構處於一閂鎖位置中時圖6A之晶圓容器之一截面視圖。當圓頂602之內表面604接觸圓頂接觸元 件616時，連桿614經驅動以圍繞其至底座630之連接旋轉且將閂鎖臂618向內驅動朝向閂鎖位置。連桿614之旋轉亦提升連桿附接件624，在閂鎖臂618圍繞導引輥628旋轉時升高第一端626且降低第二端622。因此，使接觸表面620向內及向下以接觸水平桿612，因此將晶圓匣610保持於晶圓容器600內。當移除圓頂602且不再由內表面604接觸圓頂接觸元件616時，閂鎖臂618及連桿614之重量引起連桿附接件624及連桿614之經附接部分下降，其中連桿614之所得旋轉將閂鎖臂618牽拉至其不與水平桿612重疊之未閂鎖位置且容許第二端622藉由閂鎖臂618圍繞導引輥628之旋轉而升高。

圖7展示根據一實施例之一閂鎖機構之一分解視圖。閂鎖機構700可用作一晶圓容器(諸如上文所描述且圖1中所展示之晶圓容器100)中之閂鎖機構。閂鎖機構700包含底座702。底座702包含底座本體704、鉸鏈銷706、偏置彈簧708及偏置銷710。閂鎖機構700進一步包含閂鎖臂712。閂鎖臂712包含接觸表面714、鉸鏈孔隙716及凸輪孔隙718。閂鎖機構700亦包含驅動臂720。驅動臂720包含一凸輪突出部722、偏置孔隙724及輥保持件726。包含芯部730、軸突出部732及接觸表面734之一圓頂接觸元件728可保持於輥保持件726中。

底座702經構形以接合至一晶圓容器之一門。在一實施例中，底座702可與晶圓容器之門一體地形成。在一實施例中，底座702藉由焊接接合至晶圓容器之門。底座702包含底座本體704。底座本體704經構形以界定能夠容納驅動臂720之一通道。底座702進一步包含一鉸鏈銷706。鉸鏈銷706係自底座本體704延伸且經設定大小以被接納於閂鎖臂712之鉸鏈孔隙716中之一銷。在一實施例中，鉸鏈銷706可由一孔隙代替 且鉸鏈孔隙716可由一銷代替，使圖7中所展示之鉸鏈銷706及鉸鏈孔隙716之配置反轉。鉸鏈銷706及鉸鏈孔隙716經構形以容許閂鎖臂712接合至底座702，使得閂鎖突片可在鉸鏈銷706之軸線上在一未閂鎖位置與一閂鎖位置之間旋轉。底座702包含偏置彈簧708及偏置銷710。偏置銷710沿著偏置彈簧708安置或接合至偏置彈簧708，使得偏置彈簧提供力以定位偏置銷710。偏置銷710係經構形以被接納於形成於驅動臂720中之偏置孔隙724中之一突出部。偏置彈簧708可經構形使得在(例如)藉由接觸圓頂接觸元件728之一圓頂向閂鎖臂施加力時，偏置銷710可經偏轉。彈簧708接著可將偏置銷710返回至當無其他力施加至驅動臂720時，偏置銷710在其處將驅動臂720帶至未閂鎖位置中之一位置。

閂鎖臂712經構形以延伸及回縮以分別保持或釋放一晶圓匣之一水平桿。閂鎖臂712包含接觸表面714，該接觸表面714經構形以在閂鎖臂712旋轉至一閂鎖位置中時在能夠固定晶圓匣之任何合適位置中接觸晶圓匣。在一實施例中，接觸表面714經構形以接觸包含於晶圓匣中之一水平桿。閂鎖臂712包含一鉸鏈孔隙716，該鉸鏈孔隙716經構形以接納鉸鏈銷706，使得閂鎖突片可相對於底座702旋轉。閂鎖臂712進一步包含凸輪孔隙718。凸輪孔隙718經設定大小及經塑形使得驅動臂720之凸輪突出部722可被接納於凸輪孔隙718內，且凸輪突出部722可在與閂鎖臂712同平面之至少一個方向上在凸輪孔隙718內滑動。

驅動臂720經構形以將閂鎖臂712驅動至閂鎖或未閂鎖位置中。閂鎖臂在驅動臂720之一端處包含凸輪突出部722。凸輪突出部722經構形以被接納於凸輪孔隙718內，使得凸輪突出部722可在凸輪孔隙718內滑動以使閂鎖臂712延伸或回縮。閂鎖臂偏置孔隙724沿著驅動臂720之長 度安置。閂鎖臂偏置孔隙724經構形以接納偏置銷710。閂鎖臂偏置孔隙724經定位使得在偏置銷710被接納於閂鎖臂偏置孔隙724中且彈簧708處於一中性位置中時，驅動臂720處於未閂鎖位置中。閂鎖臂偏置孔隙724可包含一修圓或斜面邊緣。驅動臂720可包含一圓頂接觸元件728。圓頂接觸元件728可為用於接觸一晶圓容器之一圓頂，使得可藉由該圓頂與圓頂接觸元件728之接觸來驅動驅動臂720之任何合適元件。在圖7中所展示之實施例中，圓頂接觸元件728係經固持於輥保持件726內之一輥。在圖7中所展示之實施例中，用作圓頂接觸元件728之輥包含芯部730、軸突出部732及接觸表面734。芯部730可由一相對更剛性的材料製成，而在接觸表面734中使用一相對更可撓性的材料。在一實施例中，接觸表面734經包覆模製至芯部730上。軸突出部732可被接納於輥保持件726內以將圓頂接觸元件728接合驅動臂720。

當包含閂鎖機構700之一晶圓容器經組裝時，該晶圓容器之圓頂與圓頂接觸元件728之間的接觸將驅動臂720相對於晶圓容器向內驅動。施加至圓頂接觸元件728之力克服由偏置彈簧708施加至偏置銷710之力，且偏置銷離開偏置孔隙724，容許驅動臂720向內移動。在驅動臂720向內移動時，凸輪突出部722在凸輪孔隙718內移動，驅動閂鎖臂712圍繞鉸鏈銷706旋轉至閂鎖位置中，在該閂鎖位置處，接觸表面714與一晶圓匣之一水平桿重疊。因此，接觸表面714可將晶圓匣保持於包含閂鎖機構700之晶圓容器內。當自包含閂鎖機構700之晶圓容器之門移除圓頂時，圓頂不再向圓頂接觸元件施加力且偏置銷710可藉由偏置彈簧708驅動至偏置孔隙724中，使驅動臂720向外移動，使凸輪突出部722在凸輪孔隙718內移動以便使閂鎖臂712回縮至其不與晶圓匣之水平桿重疊之未閂 鎖位置中。

態樣：

應理解，態樣1至11中任一項可與態樣12至20中任一項組合。

態樣1. 一種晶圓容器，其包括：一圓頂，其界定經構形以容納一晶圓匣之一空間，該圓頂包含一內表面及一門開口；及一門，其經構形以被接納於該門開口中，該門包含一閂鎖機構，其中該閂鎖機構包含一圓頂接觸件及一匣接觸件，且該閂鎖機構經構形使得在該圓頂之該內表面與該圓頂接觸件接觸時，該匣接觸件經驅動以接觸該晶圓匣，且在該圓頂之該內表面不接觸該圓頂接觸件時，該閂鎖不與該晶圓匣重疊。

態樣2. 如態樣1之晶圓容器，其中該圓頂接觸件係一輥元件。

態樣3. 如態樣2之晶圓容器，其中該輥元件包含由一第一材料製成之一芯部及由一第二材料製成之一外部分，該第二材料比該第一材料相對更軟。

態樣4. 如態樣1至3中任一項之晶圓容器，其中該匣接觸件經構形以在包含於該晶圓匣中之一水平桿處接觸該晶圓匣。

態樣5. 如態樣1至4中任一項之晶圓容器，其中該閂鎖機構包含：一底座；一閂鎖臂，其中該圓頂接觸件安置於該閂鎖臂之一第一端處且該匣 接觸件安置於該閂鎖臂之一第二端處；及複數個連桿，各連桿可旋轉地連接至該底座及該閂鎖臂之各者。

態樣6. 如態樣5之晶圓容器，其中該底座經接合至該門。

態樣7. 如態樣5至6中任一項之晶圓容器，其進一步包括經構形以接觸該閂鎖臂之一偏置彈簧。

態樣8. 如態樣1至4中任一項之晶圓容器，其中該閂鎖機構包含：一底座，該底座包含經構形以接納該圓頂接觸件之一通道；一閂鎖臂，其包含該匣接觸件；及一連桿，該連桿可旋轉地連接至該底座及該閂鎖臂之各者，其中該底座包含經構形以與該閂鎖臂介接之一銷。

態樣9. 如態樣8之晶圓容器，其中該閂鎖機構進一步包括一導引輥，該導引輥安置於該通道中。

態樣10. 如態樣1至4中任一項之晶圓容器，其中該閂鎖機構包含：一底座，該底座界定一通道；一閂鎖臂，其包含該匣接觸件；一連桿，其中該圓頂接觸件附接至該連桿且該連桿可旋轉地連接至該底座及該閂鎖臂之各者；及一導引輥，該導引輥附接至該閂鎖臂，該導引輥經構形以在該通道內行進。

態樣11. 如技術方案1之晶圓容器，其中該閂鎖機構包含： 一底座；一驅動臂，其中該圓頂接觸件附接至該驅動臂；及一閂鎖臂，其可旋轉地連接至該底座，該閂鎖臂包含該匣接觸件，其中該驅動臂及該閂鎖臂係藉由一凸輪結構接合，該凸輪結構包含一突出部及一凹槽且經構形以便驅動該閂鎖臂在一未閂鎖位置與一閂鎖位置之間的旋轉。

態樣12. 一種將一晶圓匣固定於一容器內之方法，其包括藉由一閂鎖機構之一圓頂接觸件與一圓頂之一內表面之間的接觸來驅動該閂鎖機構，使得一匣接觸件被帶至與該晶圓匣接觸。

態樣13. 如態樣12之方法，其進一步包括使該匣接觸件回縮，使得在該圓頂自與該圓頂接觸件之接觸移除時，該匣接觸件不與該晶圓匣重疊。

態樣14. 如態樣12至13中任一項之方法，其中該閂鎖機構係包含於該容器之一門中。

態樣15. 如態樣12至14中任一項之方法，其中該匣接觸件在包含於該晶圓匣中之一水平桿處接觸該晶圓匣。

態樣16. 如態樣12至15中任一項之方法，其中該閂鎖機構包含：一底座；一閂鎖臂，其中該圓頂接觸件安置於該閂鎖臂之一第一端處且該匣接觸件安置於該閂鎖臂之一第二端處；及複數個連桿，各連桿可旋轉地連接至該底座及該閂鎖臂之各者。

態樣17. 如態樣12至15中任一項之方法，其中該閂鎖機 構包含：一底座，該底座包含經構形以接納該圓頂接觸件之一通道；一閂鎖臂，其包含該匣接觸件；及一連桿，該連桿可旋轉地連接至該底座及該閂鎖臂之各者，其中該底座包含經構形以與該閂鎖臂介接之一銷。

態樣18. 如態樣17之方法，其中該閂鎖機構進一步包括安置於該通道中之一導引輥。

態樣19. 如態樣12至15中任一項之方法，其中該閂鎖機構包含：一底座，該底座界定一通道；一閂鎖臂，其包含該匣接觸件；一連桿，其中該圓頂接觸件附接至該連桿且該連桿可旋轉地連接至該底座及該閂鎖臂之各者；及一導引輥，該導引輥附接至該閂鎖臂，該導引輥經構形以在該通道內行進。

態樣20. 如態樣12至15中任一項之方法，其中該閂鎖機構包含：一底座；一驅動臂，其中該圓頂接觸件附接至該驅動臂；及一閂鎖臂，其可旋轉地連接至該底座，該閂鎖臂包含該匣接觸件，其中該驅動臂及該閂鎖臂係藉由一凸輪結構接合，該凸輪結構包含一突出部及一凹槽，該凸輪經構形以驅動該閂鎖臂在一未閂鎖位置與一閂鎖位置之間的旋轉。

本申請案中所揭示之實例應在所有方面皆被視為闡釋性而非限制性的。本發明之範圍係由隨附發明申請專利範圍而非由前文描述指示；且在發明申請專利範圍之等效含義及範圍內之所有變化皆旨在涵蓋於其中。

100:晶圓容器 102:圓頂/晶圓盒圓頂 104:門/晶圓盒門 106:晶圓匣 108:門開口 110:閂鎖機構 112:對準特徵/晶圓狹槽 114:水平桿

Claims (20)

1. 一種晶圓容器，其包括： 一圓頂，其界定經構形以容納一晶圓匣之一空間，該圓頂包含一內表面及一門開口；及 一門，其經構形以被接納於該門開口中，該門包含一閂鎖機構， 其中該閂鎖機構包含一圓頂接觸件及一匣接觸件，且該閂鎖機構經構形使得在該圓頂之該內表面與該圓頂接觸件接觸時，該匣接觸件經驅動以接觸該晶圓匣，且在該圓頂之該內表面不接觸該圓頂接觸件時，該閂鎖不與該晶圓匣重疊。
2. 如請求項1之晶圓容器，其中該圓頂接觸件係一輥元件。
3. 如請求項2之晶圓容器，其中該輥元件包含由一第一材料製成之一芯部及由一第二材料製成之一外部分，該第二材料比該第一材料相對更軟。
4. 如請求項1之晶圓容器，其中該匣接觸件經構形以在包含於該晶圓匣中之一水平桿處接觸該晶圓匣。
5. 如請求項1之晶圓容器，其中該閂鎖機構包含： 一底座； 一閂鎖臂，其中該圓頂接觸件安置於該閂鎖臂之一第一端處且該匣接觸件安置於該閂鎖臂之一第二端處；及 複數個連桿，各連桿可旋轉地連接至該底座及該閂鎖臂之各者。
6. 如請求項5之晶圓容器，其中該底座經接合至該門。
7. 如請求項5之晶圓容器，其進一步包括經構形以接觸該閂鎖臂之一偏置彈簧。
8. 如請求項1之晶圓容器，其中該閂鎖機構包含： 一底座，該底座包含經構形以接納該圓頂接觸件之一通道； 一閂鎖臂，其包含該匣接觸件；及 一連桿，該連桿可旋轉地連接至該底座及該閂鎖臂之各者， 其中該底座包含經構形以與該閂鎖臂介接之一銷。
9. 如請求項8之晶圓容器，其中該閂鎖機構進一步包括一導引輥，該導引輥安置於該通道中。
10. 如請求項1之晶圓容器，其中該閂鎖機構包含： 一底座，該底座界定一通道； 一閂鎖臂，其包含該匣接觸件； 一連桿，其中該圓頂接觸件附接至該連桿且該連桿可旋轉地連接至該底座及該閂鎖臂之各者；及 一導引輥，該導引輥附接至該閂鎖臂，該導引輥經構形以在該通道內行進。
11. 如請求項1之晶圓容器，其中該閂鎖機構包含： 一底座； 一驅動臂，其中該圓頂接觸件附接至該驅動臂；及 一閂鎖臂，其可旋轉地連接至該底座，該閂鎖臂包含該匣接觸件，其中該驅動臂及該閂鎖臂係藉由一凸輪結構接合，該凸輪結構包含一突出部及一凹槽且經構形以便驅動該閂鎖臂在一未閂鎖位置與一閂鎖位置之間的旋轉。
12. 一種將一晶圓匣固定於一容器內之方法，其包括藉由一閂鎖機構之一圓頂接觸件與一圓頂之一內表面之間的接觸來驅動該閂鎖機構，使得一匣接觸件被帶至與該晶圓匣接觸。
13. 如請求項12之方法，其進一步包括使該匣接觸件回縮，使得在該圓頂自與該圓頂接觸件之接觸移除時，該匣接觸件不與該晶圓匣重疊。
14. 如請求項12之方法，其中該閂鎖機構係包含於該容器之一門中。
15. 如請求項12之方法，其中該匣接觸件在包含於該晶圓匣中之一水平桿處接觸該晶圓匣。
16. 如請求項12之方法，其中該閂鎖機構包含： 一底座； 一閂鎖臂，其中該圓頂接觸件安置於該閂鎖臂之一第一端處且該匣接觸件安置於該閂鎖臂之一第二端處；及 複數個連桿，各連桿可旋轉地連接至該底座及該閂鎖臂之各者。
17. 如請求項12之方法，其中該閂鎖機構包含： 一底座，該底座包含經構形以接納該圓頂接觸件之一通道； 一閂鎖臂，其包含該匣接觸件；及 一連桿，該連桿可旋轉地連接至該底座及該閂鎖臂之各者， 其中該底座包含經構形以與該閂鎖臂介接之一銷。
18. 如請求項17之方法，其中該閂鎖機構進一步包括安置於該通道中之一導引輥。
19. 如請求項12之方法，其中該閂鎖機構包含： 一底座，該底座界定一通道； 一閂鎖臂，其包含該匣接觸件； 一連桿，其中該圓頂接觸件附接至該連桿且該連桿可旋轉地連接至該底座及該閂鎖臂之各者；及 一導引輥，該導引輥附接至該閂鎖臂，該導引輥經構形以在該通道內行進。
20. 如請求項12之方法，其中該閂鎖機構包含： 一底座； 一驅動臂，其中該圓頂接觸件附接至該驅動臂；及 一閂鎖臂，其可旋轉地連接至該底座，該閂鎖臂包含該匣接觸件，其中該驅動臂及該閂鎖臂係藉由一凸輪結構接合，該凸輪結構包含一突出部及一凹槽，該凸輪經構形以驅動該閂鎖臂在一未閂鎖位置與一閂鎖位置之間的旋轉。