TW202530097A - 大型光罩容器 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種基板容器，其包含經構形以容納一大型光罩之一內盒及經構形以裝納且固定該內盒之一外盒。可使用設置於該外盒上之一夾具或特徵件將該內盒夾持在一起。該外盒之可夾持該內盒之特徵件包含凸緣、溝槽、成角度夾持表面、其他夾持特徵件或夾持機構。夾持機構可藉由實體、電及/或磁性特徵件致動，諸如一門在一外殼之一開口中之放置、一門閂鎖之操作或用於使用機械、電及/或磁力釋放該夾持機構之一工具之相互作用。

Description

大型光罩容器

本發明係關於經構形以儲存且保持大型光罩之基板容器。

光罩容器通常包含標準機械介面(SMIF)盒或組合盒，該等組合盒包含經塑形以容納一大致正方形光罩之一內盒及一外盒。

本發明係關於經構形以儲存且保持大型光罩之基板容器。

具有更大大小及/或不同縱橫比之光罩可提供優越微影效能。此等光罩將不符合當前光罩盒及/或用於處置此等光罩盒之相關自動化。本文中提供之大型基板容器可使用標準介面，同時將光罩固定地裝納在固定於外盒內之一內盒內。

在傳統光罩盒中，可藉由提起一盒圓頂及/或放下一盒門，因此在一垂直方向上打開而打開外盒。外盒之垂直打開及閉合可促進夾持以保持內盒之位置及閉合，且視情況進一步容許光罩自身被夾持。當使用適用於儲存大型光罩之一盒時，外盒可水平地打開。本文中提供之基板容器容許夾持內盒且在實施例中，透過外盒之適合設計及/或在其中包含夾持機構而夾持裝納在其中之一光罩。因此，即使在水平打開基板容器中仍可固定大型光罩。

在一實施例中，一種基板容器包含經構形以裝納一大型光罩之一內盒。該內盒包含一蓋及一底板。該基板容器進一步包含經構形以裝納該內盒之一外盒。該外盒具有在該外盒之一前側上之一開口。該外盒包含在相對側壁上之第一凸緣，該等第一凸緣經構形以支撐該內盒。

在一實施例中，該外盒包含在該等相對側壁上之第二凸緣，在各各自側壁上之該等各自第一凸緣及第二凸緣界定一溝槽，該溝槽經構形以接納該內盒而使得該蓋及該底板被夾持。在一實施例中，該等各自第一凸緣及第二凸緣相對於彼此成角度。在一實施例中，該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該外盒包含經構形以在該內盒插入該外盒中時致動該等光罩保持特徵件，使得一光罩被夾持於該內盒內之一或多個固定特徵件。

在一實施例中，一種基板容器包含經構形以裝納一大型光罩之一內盒。該內盒包含一蓋及一底板。該基板容器進一步包含經構形以裝納該內盒之一外盒。該外盒包含在該外盒之一前側上具有一開口之一外殼及經構形以經固定以便覆蓋該開口之一門。該外殼包含一第一成角度夾持表面且該門包含一第二成角度夾持表面。該第一成角度夾持表面及該第二成角度夾持表面經構形以在該門固定至該外殼時夾持該蓋及該底板。該第一成角度夾持表面及該第二成角度夾持表面經構形以在該內盒垂直定向或定向為與一水平方向成一角度時支撐該內盒。

在一實施例中，該第一夾持表面或該第二夾持表面之一者進一步包括經構形以在該內盒擱置於該第二成角度夾持表面上時維持該蓋與該底板之一對準之一內盒保持器。在一實施例中，該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該第一成角度夾持表面及該第二成角度夾持表面之至少一者經構形以與該一或多個光罩保持特徵件之至少一些介接，使得該一或多個光罩保持特徵件之該至少一些經致動以將一光罩夾持於該內盒內。

在一實施例中，一種基板容器包含經構形以裝納一大型光罩之一內盒。該內盒包含一蓋及一底板。該基板容器進一步包含經構形以裝納該內盒之一外盒。該外盒包含在該外盒之一前側上具有一開口之一外殼。該基板容器進一步包含一夾具，該夾具經構形以附接至該內盒，使得該夾具將該蓋夾持至該底板。

在一實施例中，該外盒包含一或多個支撐件，該一或多個支撐件經構形以接納該夾具之一或多個部分，使得當該夾具附接至該內盒且該內盒插入該外盒中時，該夾具被支撐。在一實施例中，該外盒包含一或多個支撐件，該一或多個支撐件經構形以接觸該內盒，使得當該夾具附接至該內盒且該內盒插入該外盒中時，該內盒藉由與該等支撐件之接觸而被支撐。在一實施例中，該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該夾具經構形以接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內。

在一實施例中，一種基板容器包含經構形以裝納一大型光罩之一內盒。該內盒包含一蓋及一底板。該基板容器進一步包含經構形以裝納該內盒之一外盒。該外盒包含在該外盒之一前側上具有一開口之一外殼及一門。該門包含一閂鎖、在該門之一面向外部側上之一閂鎖介面及在該門之一面向內部側上之一致動介面。該外殼含有一夾持機構，該夾持機構經構形以與該致動介面介接，使得當該門附接至該外殼且該閂鎖經操作以將該門固定至該外殼時，該夾持機構經驅動以將該內盒夾持於該外盒內。

在一實施例中，該致動介面係經構形以接納包含於該夾持機構中之一對應突部之一插口。在一實施例中，該致動介面係經構形以接納在包含於該夾持機構中之一插口中之一突部。在一實施例中，該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該夾持機構經構形以接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內。

在一實施例中，一種基板容器包含經構形以裝納一大型光罩之一內盒。該內盒包含一蓋及一底板。該基板容器進一步包含經構形以裝納該內盒之一外盒。該外盒包含在該外盒之一前側上具有一開口之一外殼及一門。該門包含一致動特徵件。該外殼含有一夾持機構，該夾持機構經構形以與該致動特徵件介接，使得當該門附接至該外殼時，該夾持機構經驅動以將該內盒夾持於該外盒內。

在一實施例中，該致動特徵件包含一第一磁體且該夾持機構包含一第二磁體，其中該夾持機構經驅動以至少部分藉由該第一磁體與該第二磁體之相互作用而夾持該內盒。在一實施例中，該致動特徵件包含經構形以接觸該夾持機構之一部分，使得該夾持機構經驅動以夾持該內盒之一致動表面。在一實施例中，該夾持機構包含經構形以在該門自該外殼移除時釋放該夾持機構之一偏置彈簧。在一實施例中，該夾持機構包含藉由一樞軸固定之一臂，其中一夾持表面設置於該臂之一端處。在一實施例中，該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該夾持機構經構形以接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內。

在一實施例中，一種基板容器包含經構形以裝納一大型光罩之一內盒。該內盒包含一蓋及一底板。該基板進一步包含經構形以裝納該內盒之一外盒。該外盒包含在該外盒之一底側上具有一開口之一外殼及一門。該外盒包含設置於該外盒之一前壁上之一或多個閂鎖控制件。該門包含一內盒支撐件，且該外殼包含一或多個夾持表面，使得當該內盒放置於該內盒支撐件上，且該門定位成接近該外殼之該底側上之該開口時，該光罩被夾持於該一或多個夾持表面與該內盒支撐件之間。

在一實施例中，該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該內盒支撐件及該一或多個夾持表面之至少一者經構形以接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內。

在一實施例中，一種基板容器包含經構形以裝納一大型光罩之一內盒。該內盒包含一蓋及一底板。該基板容器進一步包含經構形以裝納該內盒之一外盒。該外盒包含在該外盒之一前側上具有一開口之一外殼，該外殼包含一夾持機構。該夾持機構經構形使得在一擱置狀態中，該夾持機構經定位以將該內盒夾持於該外盒內，且當處於一經致動狀態中時，該夾持機構經定位使得該內盒可自該外盒移除。

在一實施例中，該夾持機構經構形以藉由在一致動介面處施加機械力而被置於該經致動狀態。在一實施例中，該致動介面設置於該外殼之一側壁上。在一實施例中，該致動介面設置於該外殼之一底部上。在一實施例中，該致動介面設置於附接至該外殼之一底板上。在一實施例中，該致動介面設置於該外殼之一底部與附接至該外殼之一底板之間。

在一實施例中，該夾持機構包含一形狀記憶材料。

在一實施例中，該夾持機構經構形以藉由將電流施加至一致動表面而被置於該經致動狀態。在一實施例中，該致動表面電連接至一形狀記憶材料。在一實施例中，該致動表面定位於該外殼之一外部上。在一實施例中，該致動表面定位於由該外殼界定之一內部空間中。

在一實施例中，該夾持機構經構形以藉由將一磁場施加至一致動表面而被置於該經致動狀態中。在一實施例中，該致動表面包含一磁體。在一實施例中，該致動表面定位於該外殼之一外部上。在一實施例中，該致動表面定位於由該外殼界定之一內部空間中。

在一實施例中，該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該夾持機構經構形以接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內。

在一實施例中，一種基板容器包含經構形以裝納一大型光罩之一內盒，該內盒包含一蓋及一底板。該基板容器進一步包含經構形以裝納該內盒之一外盒，該外盒包含一外殼及一門。該門包含一接觸表面，且該外殼含有藉由一或多個樞軸連接至該外殼之一內盒支撐平台及一夾持表面。當該門附接至該外殼時，該門之該接觸表面接觸該內盒支撐平台以便驅動該內盒支撐平台以繞該一或多個樞軸移動，使得該內盒被夾持於該內盒支撐平台與該夾持表面之間。

在一實施例中，內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該內盒支撐平台及該夾持表面之一者或兩者包含經構形以在該門附接至該外殼時接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內之一或多個特徵件。

在一實施例中，一種基板容器包含經構形以裝納一大型光罩之一內盒，該內盒包含一蓋及一底板。該基板容器進一步包含經構形以裝納該內盒之一外盒，該外盒包含一外殼及一門。該門包含一斜坡內盒支撐件。該外殼包含一或多個內盒支撐件及一夾持表面。該一或多個內盒支撐件之各者包含一平坦部分及一斜坡部分。當該門附接至該外殼時，該門之該斜坡內盒支撐件經構形以支撐該內盒且沿著該外殼之該內盒支撐件之該斜坡部分驅動該內盒，使得該內盒抵著該夾持表面夾持。

在一實施例中，該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該夾持表面包含經構形以在該門附接至該外殼時接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內之一或多個特徵件。

本發明係關於經構形以儲存且保持大型光罩之基板容器。

如本文中使用，「內盒」係指經構形以裝納一光罩之一盒。

如本文中使用，「外盒」係指經構形以裝納一內盒之一盒。

如本文中使用，「大型光罩」係具有超出六吋×六吋之一標稱大小之一經增加大小之一光罩。在實施例中，大型光罩可具有一大體上正方形形狀。在實施例中，大型光罩可具有一矩形形狀。在一實施例中，矩形形狀可具有1.5：1與2.5：1之間之一縱橫比。

如本文中使用，「FOUP」係指一前開式晶圓盒。在實施例中，一FOUP可經構形以與一裝載埠(諸如一300毫米(300 mm)裝載埠)介接。

如本文中使用，「SMIF盒」係指一標準機械介面盒。

圖1展示根據一實施例之一基板容器。基板容器100包含：一外盒102，其包含一外殼104及一門106；及一內盒108，其包含一蓋110及一底板112。內盒108經構形以容納一大型光罩114。基板容器100係經構形以將大型光罩114固定地裝納於內盒108內且將內盒108固定地裝納於外盒102內之一基板容器。在一實施例中，外盒102經構形以與一標準300 mm裝載埠介接。在一實施例中，外盒102係例如根據本文中提供之實例實施例經修改以裝納用於保持內盒108之一或多個機構之一FOUP。在一實施例中，外盒102可為經修改以相對於外盒102之一前部，將門呈現在一頂側或底側上之一FOUP。在實施例中，基板容器100可為經修改使得大型光罩114可裝納於其中之一SMIF盒。門106可用於在內盒108裝納於其中時閉合外盒102。

圖2展示根據一實施例之一基板容器。以一截面視圖展示基板容器200。基板容器200包含外盒202，該外盒202包含外殼204及一門(未展示)。外殼204包含界定一溝槽208之凸緣206。外盒202可進一步包含經構形以在光罩保持特徵件214處與內盒212介接之一或多個固定特徵件210。內盒212亦包含蓋216、底板218。

基板容器200可為一經修改FOUP或任何其他適合盒設計。在一實施例中，基板容器200能夠與一300 mm裝載埠介接。基板容器200經構形以將一光罩保持於內盒212內部，在蓋216與底板218之間。在一實施例中，可提供光罩保持特徵件214以容許光罩在內盒212內之固定。作為一非限制性實例，光罩保持特徵件214可為經構形以在例如藉由設置於外盒202中之固定特徵件210與設置於光罩保持特徵件214上之一致動表面之間之接觸而致動時夾持光罩之一或多個可垂直移動銷。

外殼204包含凸緣206。凸緣206界定經構形以接納內盒212之一溝槽208。凸緣206可經間隔及/或成角度，使得溝槽208經構形以在內盒212插入溝槽208中時施加將蓋216及底板218驅動在一起之一夾持力。在一實施例中，界定溝槽208之凸緣206彼此平行。在一實施例中，界定溝槽208之凸緣206相對於彼此成角度，使得當自外盒202之開口朝向與該開口相對之一後壁移動時，溝槽208之寬度逐漸減小。

在其中內盒212包含光罩保持特徵件214之一實施例中，固定特徵件210可進一步設置於外盒202中。固定特徵件210可為例如自外殼204之頂壁、側壁或底壁延伸之突部。固定特徵件210可經構形以與光罩保持特徵件214介接，例如壓抵於光罩保持特徵件214上之致動表面以便驅動可移動銷，使得可移動銷施加夾持力以將光罩固定於內盒212內。在其中外盒202包含固定特徵件210之一實施例中，可省略凸緣206之一者。在此一實施例中，剩餘凸緣206可提供經構形以支撐內盒212之一架子。在此一實施例中，用於固定內盒212及裝納於其中之光罩之向下夾持力可由固定特徵件210與蓋216之間之接觸提供。

圖3A展示根據一實施例之一基板容器。基板容器300包含外殼302及門304。外殼302包含至少一個第一成角度夾持表面306。門304包含至少一個第二成角度夾持表面308。門304可進一步包含一內盒保持器310。內盒312包含蓋314及底板316。內盒312可進一步包含光罩保持特徵件318。

當內盒312待儲存於外殼302內時，內盒312可放置於設置於門304上之第二成角度夾持表面308上。在一實施例中，內盒保持器310可維持蓋314及底板316之相對位置，使得內盒312即使在歸因於擱置於第二成角度夾持表面308上而成角度時仍保持閉合。門304可接合至外殼302，其中內盒312及第二成角度夾持表面308經引導至由外殼302界定之內部空間中。門304可移動至其中門304及外殼302可彼此閂鎖之一位置。當門304經定位用於閂鎖時或當門304經閂鎖時，第一成角度夾持表面306可接觸內盒312。當外殼302與門304接合時第一成角度夾持表面306及第二成角度夾持表面308與內盒312之接觸可提供夾持以將內盒312固持閉合，同時容許門304在一水平方向上打開及移除。在實施例中，成角度夾持表面306及/或308之部分可與內盒312之光罩保持特徵件318介接。光罩保持特徵件318可為例如經構形以自內盒312之一外部致動且藉此移動以夾持裝納於內盒312內之光罩之可移動柱。當外殼302與門304接合時，成角度夾持表面306及/或308之部分與光罩保持特徵件318之介面可驅動光罩保持特徵件318夾持裝納於內盒312內之一光罩。

圖3B展示根據一實施例之一基板容器。基板容器320包含外盒322。外盒322包含外殼324及門326。外殼324包含成角度內盒支撐件328。門326包含成角度夾持表面330。成角度內盒支撐件328經構形以支撐一內盒332，使得內盒相對於一水平方向成角度。當內盒332擱置於成角度內盒支撐件328上且門326附接至外殼324時，成角度夾持表面330可接觸內盒332以便抵著成角度內盒支撐件328夾持內盒332。內盒332可包含蓋334及底板336。內盒332之夾持可將蓋334及底板336保持在一起且維持其等之位置。在實施例中，內盒332可進一步包含光罩保持特徵件338。光罩保持特徵件338可為例如經構形以在被致動時夾持裝納於內盒332內之一光罩之可移動柱。光罩保持特徵件338可由設置於成角度內盒支撐件328及/或成角度夾持表面330之一者或兩者上之各自特徵件致動。

圖3C展示根據一實施例之一基板容器。基板容器340包含外盒342。外盒342包含外殼344及門346。外殼344包含垂直內盒支撐件348。門346包含一夾持表面350。垂直內盒支撐件348經構形以支撐一內盒352，使得內盒352之一主平面及/或裝納於其中之一光罩定向為一垂直方向。垂直內盒支撐件348可包含一或多個保持特徵件354以促進將內盒352保持為垂直定向，例如以防止內盒352之一蓋356及一底板358在處於垂直定向時分離。當內盒352擱置於垂直內盒支撐件348上且門346附接至外殼344時，夾持表面350可接觸內盒352以便抵著垂直內盒支撐件348夾持內盒352。內盒352之夾持可將蓋356及底板358保持在一起且維持其等之位置。在實施例中，內盒352可進一步包含光罩保持特徵件360。光罩保持特徵件360可為例如經構形以在被致動時夾持裝納於內盒352內之一光罩之可移動柱。光罩保持特徵件360可由設置於垂直內盒支撐件348及/或夾持表面350之一者或兩者上之各自特徵件致動。

圖4展示根據一實施例之一基板容器。基板容器400包含外盒402，該外盒402包含外殼404及一門(未展示)。外盒402包含支撐件406。基板容器400進一步包含一內盒408，該內盒408包含蓋410及底板412。進一步提供一夾具414。

外盒402可由外殼404界定。一或多個支撐件406可設置於由外殼406界定之內部空間中。支撐件406經構形以直接抑或藉由支撐夾具414將內盒408支撐於由外殼404界定之空間內。在一實施例中，支撐件406經構形以接納夾具414之一或多個特徵件以便在內盒408固持於夾具414內時支撐夾具414。在一實施例中，支撐件406係一或多個凸耳、凸緣、柱、支柱或能夠直接支撐內盒408之任何其他此適合特徵件。

內盒408包含經構形以裝納一大型光罩之蓋410及底板412。蓋410及底板412可藉由一或多個夾具414夾持在一起。夾具414包含至少一個蓋接觸表面416及至少一個底板接觸表面418。夾具414經構形使得蓋接觸表面416及底板接觸表面418彼此相對且隔開，使得夾具414可提供將蓋410及底板412保持在一起之夾持力。夾具414可由能夠變形以放置於蓋410及底板412上同時具有足夠彈性以施加夾持力之任何適合材料製成。作為非限制性實例，夾具414可為一金屬材料，諸如任何適合彈簧鋼或聚合物材料。夾具414可視情況包含額外特徵件，諸如例如經構形以接納於提供為外盒402之一或多個支撐件406之槽中之凸緣420。在一實施例中，額外特徵件可包含用於設置於內盒408上之光罩保持器424之致動表面422。作為一非限制性實例，光罩保持器424可為經構形以對內盒408內之光罩施加夾持力之可移動銷，且致動表面422可為夾具414之部分，該等部分經構形以接觸光罩保持器424以便相對於內盒408向內推動可移動銷，使得該夾持力被施加。

圖5展示根據一實施例之一基板容器。基板容器500包含外盒502，該外盒502包含外殼504及門506。門506包含在門506之一面向外部側上之閂鎖操作介面508及在門506之一面向內部側上之致動介面510。外盒502包含經構形以藉由由致動介面510傳送之旋轉而致動之一或多個保持元件512。基板容器500進一步包含內盒514，該內盒514包含蓋516、底板518及光罩保持特徵件520。

基板容器500經構形使得當門506閂鎖至外殼504時，門506之閂鎖藉由閂鎖操作介面508之操作亦提供蓋516至底板518之夾持。閂鎖操作介面508可為能夠藉由一裝載埠處之自動化操作之任何適合介面，諸如一突部、一把手、一插口或類似者。閂鎖操作介面508各經構形以提供用以操作門506之閂鎖之力且進一步向一或多個各自致動介面510提供力。在一實施例中，可在將力自閂鎖操作介面508傳送至各自致動介面510時使用一或多個凸輪、齒輪或其他適合機械連接。在一實施例中，閂鎖操作介面508可直接連接至致動介面510，使得閂鎖操作介面508之旋轉將各自致動介面510旋轉。一或多個保持元件512各包含經構形以與一各自致動介面510介接之一部分。致動介面510可將力傳送至各自保持元件512以便將保持元件512自一釋放位置驅動至一夾持位置且反之亦然。保持元件512可經構形成當門506自外殼504解除閂鎖時處於釋放位置中，且當門506閂鎖至外殼504時被驅動至夾持位置中。作為一非限制性實施例，保持元件512可包含：一突部，其經構形以接納在設置於各自致動介面510中之一插口中；及一橢圓形接觸部件，其具有經構形使得當閂鎖操作介面508經操作以將門506閂鎖至外殼504時，接觸部件接觸內盒之一長軸及經構形使得當閂鎖操作介面508經操作以將門506自外殼504解除閂鎖時，接觸部件不接觸內盒之一短軸。應理解，可代替性地使用任何適合機械連接或其等之組合(諸如齒輪、凸輪、槓桿臂、可移動元件及類似者)以提供一或多個保持元件512之一者，只要保持元件512可藉由由各自致動介面510傳送之力在夾持位置與釋放位置之間適合地驅動。在一實施例中，保持元件512之至少一些可包含經構形以與視情況設置於內盒514上之光罩保持特徵件520介接之特徵件，使得光罩保持特徵件(諸如可移動柱)經致動以夾持裝納於內盒514內之一光罩且藉此將光罩固定於內盒514內。

圖6展示根據一實施例之一基板容器。基板容器600包含外盒602，該外盒602包含外殼604及門606。門606或外殼604可包含一致動器608。外殼604包含內盒保持器610。內盒保持器610包含致動器介面612、臂614、樞軸616及內盒接觸件618。基板容器600進一步包含內盒620。內盒620包含蓋622、底板624及光罩保持特徵件626。

基板容器600經構形使得門606在設置於外殼604上之一開口中之定位驅動內盒保持器610將內盒620夾持於外盒602內之適當位置中。門606或外殼604可包含致動器608。致動器608經構形以作用於內盒保持器610之致動器介面612上以將內盒保持器610驅動至一夾持位置中。在一實施例中，致動器608係一機械致動器，諸如設置於門606之一內部上之經構形以與致動器介面612進行直接實體接觸之一接觸點或接觸表面。在一實施例中，致動器608係經構形以例如藉由包含於致動器608中之一磁體將磁力施加至致動表面612之一磁性致動器。在一實施例中，致動器608係設置於附接至外殼604之一柱塞之一端處之一磁體，其中柱塞可藉由與門606之接觸而移動。內盒保持器610可為經構形以藉由致動器608驅動，使得當門606定位於設置於外殼604上之開口處時內盒接觸件618接觸內盒620之任何機械配置。作為一非限制性實施例，內盒保持器610可包含安裝於一樞軸616上之一臂614，其中致動器介面612安置於臂614之一第一端處且內盒接觸件618安置於臂614之與第一端相對之一第二端處。當致動器608作用於致動器介面612時，臂614可經驅動以繞樞軸616旋轉，使得內盒接觸件618被帶至與內盒620接觸，藉此抵著設置於外殼604中之支撐特徵件夾持內盒620。內盒接觸件618可包含一單一接觸點或藉由一或多個樑連接之複數個接觸點。在包含複數個接觸點之一實施例中，接觸點可經定位使得內盒接觸件618與內盒620之間之接觸跨內盒620之一表面分佈。在一實施例中，可提供複數個內盒保持器610，其中複數個內盒保持器610之一或多者由包含於門606中之一各自致動器608驅動。在此一實施例中，複數個致動器608可設置於門606上。在一實施例中，臂614及經連接特徵件可經構形使得當致動器608不存在於致動器介面612處或附近時，重力引起臂614繞樞軸616旋轉以移動至一釋放狀態。在一實施例中，當致動器608不存在於致動器介面612處或附近時，可視情況提供一偏置彈簧628以至少輔助臂614繞樞軸616旋轉以移動至一釋放狀態。在一實施例中，內盒620包含光罩保持特徵件626，諸如可移動柱，其等經構形以經驅動以夾持裝納於內盒620內之一光罩。在一實施例中，內盒接觸件618可包含一或多個特徵件，該一或多個特徵件經構形以在內盒保持器610處於一夾持位置中時與一或多個光罩保持特徵件626介接，使得光罩特徵件626夾持裝納於內盒620內之光罩。

圖7展示根據一實施例之一基板容器。基板容器700包含外盒702，該外盒702具有一外殼704及一底側門706。外盒702包含前側安裝閂鎖介面708。內盒夾持表面710及光罩保持致動器712可包含於外盒702中，例如外殼704及底側門706之一者或兩者中。基板容器700進一步包含內盒714。內盒714包含蓋716、底板718及光罩保持特徵件720。

外盒702經構形使得當門706與外殼分離時，外殼704及門706可藉由外殼704及門706之一者或兩者之垂直移動而分離。內盒夾持表面710可經構形使得當門706固定至外殼704時，內盒714之蓋716及底板718被夾持在一起。基板容器700經構形以垂直地打開，使得內盒714之蓋716及底板718可在外盒702之打開及閉合期間藉由重力保持對準且保持在一起。前側安裝閂鎖介面708設置於外殼704之一前側上，經構形以與一裝載埠嚙合。前側安裝閂鎖介面708經構形以藉由裝載埠處之自動化嚙合，使得閂鎖經操作以固定門706或自外殼704釋放門706。前側安裝閂鎖介面708可為用於裝載埠自動化之任何適合介面，諸如經構形以嚙合且旋轉之突部、經構形以接納來自自動化之一突部之插口及類似者。前側安裝閂鎖介面708經構形以傳送由外殼704之一前側處之裝載埠自動化提供之力以操作經構形以保持或釋放面向底部之門706之一閂鎖。設置於裝載埠處之自動化可包含適合與FOUP一起使用之自動化及用於一FOUP之門閂鎖之操縱。

內盒714可視情況包含光罩保持特徵件720以將光罩夾持於內盒714內。作為一非限制性實例，光罩保持特徵件720可為可移動柱，其等可藉由與光罩保持致動器712之接觸而驅動以接觸光罩，藉此夾持光罩，使得光罩固定於內盒714內。光罩保持致動器712可為設置於適合位置及高度處之突部以在門706固定至外殼704時致動光罩保持特徵件720，使得光罩保持特徵件720夾持光罩。

圖8展示根據一實施例之一基板容器。基板容器800包含外盒802，該外盒802包含外殼804、一門(未展示)及一底板806。一內盒保持器808設置於外盒802中。提供一致動器介面810，其連接至內盒保持器808。基板容器800進一步包含內盒812。內盒812包含蓋814、底板816及光罩保持特徵件818。外盒802可為用於裝納內盒812之任何適合盒。在一實施例中，外盒802係一FOUP或一經修改FOUP。在一實施例中，外盒802經構形以與一裝載埠(諸如一300 mm裝載埠)相容。內盒保持器808經構形以在處於一非致動狀態中時例如藉由使用彈簧力來驅動一或多個保持元件接觸蓋814及底板816之至少一者而將內盒812之蓋814及底板816夾持在一起。在一實施例中，提供彈簧力之一彈簧可自由外殼804界定之內部空間之一頂面延伸。在一實施例中，提供彈簧力之彈簧可連接至設置於由外殼804界定之內部空間內之一彈簧支撐件。可藉由在致動器介面810處施加機械力而將內盒保持器808移動至一經致動狀態。在經致動狀態中，內盒保持器808可釋放內盒812，使得內盒812可自外盒802移除。致動器介面810可例如透過機械特徵件(諸如柱塞、接觸表面、槓桿臂及類似者)之任何適合組合實體地連接至內盒保持器808，使得施加至致動器介面810之力被傳送至內盒保持器808以便將內盒保持器808移動至其中內盒812被釋放之經致動狀態。致動器介面可由設置於與基板容器800一起使用之一工具(諸如經構形以操縱內盒812之一工具)上之一突部或其他適合相互作用特徵件接觸。在一實施例中，致動器介面810設置於底板806上。在一實施例中，致動器介面810可設置於底板806上之一保持特徵件處(例如一標準前側保持特徵件、一標準中心保持特徵件或類似者處)。在一實施例中，致動器介面設置於底板806與外殼804之間。在一實施例中，致動器介面810設置於外殼804上。在一實施例中，致動器介面810設置於外殼804之一頂壁、側壁或後壁上。在一實施例中，致動器介面810設置於外殼804之一底壁上且可透過設置於底板806中之一開口接取。在一實施例中，當在致動器介面810處不再施加力時，或當此力低於一臨限力時，內盒保持器808可返回至非致動狀態，夾持內盒812且藉此固定地保持內盒812。在一實施例中，在內盒812放置於外盒802內之後，內盒保持器808可藉由由工具執行之另一操作(例如藉由機械、電或磁性操縱)返回至經夾持狀態。在一實施例中，內盒保持器808之一或多個特徵件可經構形以與設置於內盒812上之一或多個光罩保持特徵件818介接。光罩保持特徵件818可經構形以例如藉由作為能夠經驅動以在與裝納於內盒812內之一光罩介接時夾持光罩之可移動柱而將一夾持力施加至該光罩。內盒保持器808與一或多個光罩保持特徵件818之介接可在內盒保持器808處於其中內盒保持器808夾持內盒812之非致動位置時發生。內盒保持器808與一或多個光罩保持特徵件818之介接可驅動光罩保持特徵件818將夾持力施加至光罩。

圖9展示根據一實施例之一基板容器。基板容器900包含外盒902，該外盒902包含外殼904、一門(未展示)及內盒保持器906。內盒保持器906可包含一磁性致動介面908。基板容器900包含內盒910。內盒910包含蓋912、底板914及光罩保持特徵件916。外盒902可為用於裝納內盒910之任何適合盒。在一實施例中，外盒902係一FOUP或一經修改FOUP。在一實施例中，外盒902經構形以與一裝載埠(諸如一300 mm裝載埠)相容。內盒保持器906經構形以在處於一非致動狀態中時例如藉由使用彈簧力來驅動一或多個保持元件接觸蓋912及底板914之至少一者而將內盒910之蓋912及底板914夾持在一起。在一實施例中，提供彈簧力之一彈簧可自由外殼904界定之內部空間之一頂面延伸。在一實施例中，提供彈簧力之彈簧可連接至設置於由外殼904界定之內部空間內之一彈簧支撐件。可藉由在磁性致動介面908處施加磁力而將內盒保持器906移動至一經致動狀態。在經致動狀態中，內盒保持器906可釋放內盒910，使得內盒910可自外盒902移除。在一實施例中，內盒保持器906之致動可透過使用一磁體而執行，該磁體用於排斥設置於磁性致動介面908中之另一磁體。磁性致動介面908可經構形以藉由一工具(諸如經構形以在門被移除且一工具之一部分延伸至由外殼904界定之內部空間中時處置內盒910之工具)操作。磁性致動介面908可包含一磁體，該磁體由設置於工具上之另一磁體排斥，藉此將內盒保持器906驅動至經致動狀態，釋放內盒910。在一實施例中，當工具上之磁體不再接近磁性致動介面908時，內盒保持器906可返回至非致動狀態，夾持內盒910且藉此固定地保持內盒910。在一實施例中，在內盒910放置於外盒902內之後，內盒保持器906可藉由由工具執行之另一操作(例如藉由機械、電/或磁性操縱)返回至經夾持狀態。在一實施例中，內盒保持器906之一或多個特徵件可經構形以與設置於內盒910上之一或多個光罩保持特徵件916介接。光罩保持特徵件916可經構形以例如藉由作為能夠經驅動以在與裝納於內盒910內之一光罩介接時夾持光罩之可移動柱而將一夾持力施加至該光罩。內盒保持器906與一或多個光罩保持特徵件916之介接可在內盒保持器906處於其中內盒保持器906夾持內盒910之非致動位置時發生。內盒保持器906與一或多個光罩保持特徵件916之介接可驅動光罩保持特徵件916將夾持力施加至光罩。

圖10展示根據一實施例之一基板容器。基板容器1000包含外盒1002，該外盒1002包含外殼1004、一門(未展示)及內盒保持器1006。內盒保持器1006可包含一電致動介面1008。基板容器1000包含內盒1010。內盒1010包含蓋1012、底板1014及光罩保持特徵件1016。外盒1002可為用於裝納內盒1010之任何適合盒。在一實施例中，外盒1002係一FOUP或一經修改FOUP。在一實施例中，外盒1002經構形以與一裝載埠(諸如一300 mm裝載埠)相容。內盒保持器1006經構形以在處於一非致動狀態中時例如藉由使用彈簧力來驅動一或多個保持元件接觸蓋1012及底板1014之至少一者而將內盒1010之蓋1012及底板1014夾持在一起。在一實施例中，提供彈簧力之一彈簧可自由外殼1004界定之內部空間之一頂面延伸。在一實施例中，提供彈簧力之彈簧可連接至設置於由外殼1004界定之內部空間內之一彈簧支撐件。可藉由在電致動介面1008處施加電流而將內盒保持器1006移動至一經致動狀態。在經致動狀態中，內盒保持器1006可釋放內盒1010，使得內盒1010可自外盒1002移除。在一實施例中，內盒保持器1006之致動可透過使用藉由在電致動介面1008處施加電流而操作之一電動致動器執行。在一實施例中，內盒保持器1006可包含經構形以當在電致動介面1008處供應電流時移動至一經致動狀態(以虛線展示)之一形狀記憶材料之至少一個元件。電致動介面1008可經構形以藉由一工具(諸如經構形以在門被移除且一工具之一部分延伸至由外殼1004界定之內部空間中時處置內盒1010之工具)接觸。電致動介面1008可包含其中工具可供應電力之接觸件，藉此將內盒保持器1006驅動至經致動狀態，釋放內盒1010。在一實施例中，當未提供電力時或當經施加電壓及/或電流降至一臨限值以下時，內盒保持器1006可返回至非致動狀態，夾持內盒1010且藉此固定地保持內盒1010。在一實施例中，在內盒1010放置於外盒1002內之後，內盒保持器1006可藉由由工具執行之另一操作(例如藉由機械、電或磁性操縱)返回至經夾持狀態。在一實施例中，內盒保持器1006之一或多個特徵件可經構形以與設置於內盒1010上之一或多個光罩保持特徵件1016介接。光罩保持特徵件1016可經構形以例如藉由作為能夠經驅動以在與裝納於內盒1010內之一光罩介接時夾持光罩之可移動柱而將一夾持力施加至該光罩。內盒保持器1006與一或多個光罩保持特徵件1016之介接可在內盒保持器1006處於其中內盒保持器1006夾持內盒1010之非致動位置時發生。內盒保持器1006與一或多個光罩保持特徵件1016之介接可驅動光罩保持特徵件1016將夾持力施加至光罩。

圖11展示根據一實施例之一基板容器。基板容器1100包含外盒1102。外盒1102包含外殼1104及門1106。外殼1104包含藉由一或多個樞軸1110支撐之一內盒支撐平台1108。內盒支撐平台1108進一步包含一門接觸件1112。外殼1104進一步包含定位於內盒支撐平台1108上方之一或多個夾持表面1114。門1106包含經構形以接觸內盒支撐平台1108之一接觸表面1116。內盒1118經構形以放置於內盒支撐平台1108上。內盒1118包含蓋1120及底板1122。內盒1118可進一步包含光罩保持特徵件1124，諸如可移動柱，其等經構形以在光罩保持特徵件1124被致動時將一光罩夾持於內盒1118內。當內盒1118擱置於內盒支撐平台1108上且門1106附接至外殼1104時，門接觸件1112可由設置於門1106上之接觸表面1116接觸，藉此驅動內盒支撐平台1108繞一或多個樞軸1110旋轉，藉此升高內盒支撐平台1108，使得內盒1118被夾持於內盒支撐平台1108與一或多個夾持表面1114之間。在一實施例中，內盒支撐平台1108及一或多個夾持表面1114之至少一者可包含經構形以與光罩保持特徵件1124介接以便致動光罩保持特徵件1124以將一光罩夾持於內盒1118內之一或多個特徵件。

圖12展示根據一實施例之一基板容器。基板容器1200包含外盒1202。外盒1202包含外殼1204及門1206。外殼1204包含各包含一斜坡部分1210之一或多個內盒支撐件1208。外殼1204進一步包含一或多個內盒夾持表面1212。門1206包含一斜坡內盒支撐件1214。基板容器1200進一步包含內盒1216，該內盒1216包含蓋1218及底板1220。內盒1216可進一步包含一或多個光罩保持特徵件1222。內盒支撐件1208可為自外殼1204延伸之經構形以將內盒1216支撐於由外殼1204界定之內部空間內之一架子、平台或一或多個凸緣。內盒支撐件1208及內盒夾持表面1212可隔開，使得內盒1216可擱置於內盒支撐件1208之一平坦部分上而不接觸內盒夾持表面1212，且可容易地放置於基板容器1200中或自基板容器1200移除。當內盒1216放置於內盒支撐件1208上且門1206附接至外殼1204時，斜坡內盒支撐件1214可向後推動內盒1216以沿斜坡部分1210上升，藉此將內盒1216在斜坡部分1210及斜坡內盒支撐件1214上提升，使得內盒1216抵著(若干)內盒夾持表面1212夾持。在一實施例中，外殼1204可含有經構形以在門1206附接至外殼1204時致動一或多個光罩保持特徵件1222以夾持裝納於內盒1216內之一光罩之一或多個特徵件。

態樣：

態樣1. 一種基板容器，其包括： 一內盒，其經構形以裝納一大型光罩，該內盒包含一蓋及一底板；及 一外盒，其經構形以裝納該內盒，該外盒在該外盒之一前側上具有一開口，該外盒包含在相對側壁上之第一凸緣，該等第一凸緣經構形以支撐該內盒。

態樣2. 根據態樣1之基板容器，其中該外盒包含在該等相對側壁上之第二凸緣，在各各自側壁上之該等各自第一凸緣及第二凸緣界定一溝槽，該溝槽經構形以接納該內盒而使得該蓋及該底板被夾持。

態樣3. 根據態樣2之基板容器，其中該等各自第一凸緣及第二凸緣相對於彼此成角度。

態樣4. 根據態樣1至3中任一項之基板容器，其中該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該外盒包含經構形以在該內盒插入該外盒中時致動該等光罩保持特徵件，使得一光罩被夾持於該內盒內之一或多個固定特徵件。

態樣5. 一種基板容器，其包括： 一內盒，其經構形以裝納一大型光罩，該內盒包含一蓋及一底板；及 一外盒，其經構形以裝納該內盒，該外盒包含在該外盒之一前側上具有一開口之一外殼及經構形以經固定以便覆蓋該開口之一門，該外殼包含一第一成角度夾持表面且該門包含一第二成角度夾持表面，其中該第一成角度夾持表面及該第二成角度夾持表面經構形以在該門固定至該外殼時夾持該蓋及該底板，其中該第一成角度夾持表面及該第二成角度夾持表面經構形以在該內盒垂直定向或定向為與一水平方向成一角度時支撐該內盒。

態樣6. 根據態樣5之基板容器，其中該第一夾持表面或該第二夾持表面之一者進一步包括經構形以在該內盒擱置於該第二成角度夾持表面上時維持該蓋與該底板之一對準之一內盒保持器。

態樣7. 根據態樣5至6中任一項之基板容器，其中該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該第一成角度夾持表面及該第二成角度夾持表面之至少一者經構形以與該一或多個光罩保持特徵件之至少一些介接，使得該一或多個光罩保持特徵件之該至少一些經致動以將一光罩夾持於該內盒內。

態樣8. 一種基板容器，其包括： 一內盒，其經構形以裝納一大型光罩，該內盒包含一蓋及一底板； 一外盒，其經構形以裝納該內盒，該外盒包含在該外盒之一前側上具有一開口之一外殼；及 一夾具，其經構形以附接至該內盒，使得該夾具將該蓋夾持至該底板。

態樣9. 根據態樣8之基板容器，其中該外盒包含一或多個支撐件，該一或多個支撐件經構形以接納該夾具之一或多個部分，使得當該夾具附接至該內盒且該內盒插入該外盒中時，該夾具被支撐。

態樣10. 根據態樣8之基板容器，其中該外盒包含一或多個支撐件，該一或多個支撐件經構形以接觸該內盒，使得當該夾具附接至該內盒且該內盒插入該外盒中時，該內盒藉由與該等支撐件之接觸而被支撐。

態樣11. 根據態樣8至10中任一項之基板容器，其中該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該夾具經構形以接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內。

態樣12. 一種基板容器，其包括： 一內盒，其經構形以裝納一大型光罩，該內盒包含一蓋及一底板；及 一外盒，其經構形以裝納該內盒，該外盒包含在該外盒之一前側上具有一開口之一外殼及一門， 其中該門包含一閂鎖、在該門之一面向外部側上之一閂鎖介面及在該門之一面向內部側上之一致動介面，且 其中該外殼含有一夾持機構，該夾持機構經構形以與該致動介面介接，使得當該門附接至該外殼且該閂鎖經操作以將該門固定至該外殼時，該夾持機構經驅動以將該內盒夾持於該外盒內。

態樣13. 根據態樣12之基板容器，其中該致動介面係經構形以接納包含於該夾持機構中之一對應突部之一插口。

態樣14. 根據態樣12之基板容器，其中該致動介面係經構形以接納在包含於該夾持機構中之一插口中之一突部。

態樣15. 根據態樣12至14中任一項之基板容器，其中該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該夾持機構經構形以接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內。

態樣16. 一種基板容器，其包括： 一內盒，其經構形以裝納一大型光罩，該內盒包含一蓋及一底板； 一外盒，其經構形以裝納該內盒，該外盒包含在該外盒之一前側上具有一開口之一外殼及一門， 其中該門包含一致動特徵件，且 其中該外殼含有一夾持機構，該夾持機構經構形以與該致動特徵件介接，使得當該門附接至該外殼時，該夾持機構經驅動以將該內盒夾持於該外盒內。

態樣17. 根據態樣16之基板容器，其中該致動特徵件包含一第一磁體且該夾持機構包含一第二磁體，其中該夾持機構經驅動以至少部分藉由該第一磁體與該第二磁體之相互作用而夾持該內盒。

態樣18. 根據態樣16至17中任一項之基板容器，其中該致動特徵件包含經構形以接觸該夾持機構之一部分，使得該夾持機構經驅動以夾持該內盒之一致動表面。

態樣19. 根據態樣16至18中任一項之基板容器，其中該夾持機構包含經構形以在該門自該外殼移除時釋放該夾持機構之一偏置彈簧。

態樣20. 根據態樣16至19中任一項之基板容器，其中該夾持機構包含藉由一樞軸固定之一臂，其中一夾持表面設置於該臂之一端處。

態樣21. 根據態樣16至20中任一項之基板容器，其中該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該夾持機構經構形以接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內。

態樣22. 一種基板容器，其包括： 一內盒，其經構形以裝納一大型光罩，該內盒包含一蓋及一底板； 一外盒，其經構形以裝納該內盒，該外盒包含在該外盒之一底側上具有一開口之一外殼及一門，其中該外盒包含設置於該外盒之一前壁上之一或多個閂鎖控制件， 其中該門包含一內盒支撐件，且該外殼包含一或多個夾持表面，使得當該內盒放置於該內盒支撐件上，且該門定位成接近該外殼之該底側上之該開口時，該光罩被夾持於該一或多個夾持表面與該內盒支撐件之間。

態樣23. 根據態樣22之基板容器，其中該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該內盒支撐件及該一或多個夾持表面之至少一者經構形以接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內。

態樣24. 一種基板容器，其包括： 一內盒，其經構形以裝納一大型光罩，該內盒包含一蓋及一底板； 一外盒，其經構形以裝納該內盒，該外盒包含在該外盒之一前側上具有一開口之一外殼，該外殼包含一夾持機構，該夾持機構經構形使得在一擱置狀態中，該夾持機構經定位以將該內盒夾持於該外盒內，且當處於一經致動狀態中時，該夾持機構經定位使得該內盒可自該外盒移除。

態樣25. 根據態樣24之基板容器，其中該夾持機構經構形以藉由在一致動介面處施加機械力而被置於該經致動狀態。

態樣26. 根據態樣25之基板容器，其中該致動介面設置於該外殼之一側壁上。

態樣27. 根據態樣25之基板容器，其中該致動介面設置於該外殼之一底部上。

態樣28. 根據態樣25之基板容器，其中該致動介面設置於附接至該外殼之一底板上。

態樣29. 根據態樣25之基板容器，其中該致動介面設置於該外殼之一底部與附接至該外殼之一底板之間。

態樣30. 根據態樣24至29中任一項之基板容器，其中該夾持機構包含一形狀記憶材料。

態樣31. 根據態樣24之基板容器，其中該夾持機構經構形以藉由將電流施加至一致動表面而被置於該經致動狀態。

態樣32. 根據態樣31之基板容器，其中該致動表面電連接至一形狀記憶材料。

態樣33. 根據態樣31至32中任一項之基板容器，其中該致動表面定位於該外殼之一外部上。

態樣34. 根據態樣31至32中任一項之基板容器，其中該致動表面定位於由該外殼界定之一內部空間中。

態樣35. 根據態樣24之基板容器，其中該夾持機構經構形以藉由將一磁場施加至一致動表面而被置於該經致動狀態中。

態樣36. 根據態樣35之基板容器，其中該致動表面包含一磁體。

態樣37. 根據態樣35至36中任一項之基板容器，其中該致動表面定位於該外殼之一外部上。

態樣38. 根據態樣35至36中任一項之基板容器，其中該致動表面定位於由該外殼界定之一內部空間中。

態樣39. 根據態樣24至38中任一項之基板容器，其中該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該夾持機構經構形以接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內。

態樣40. 一種基板容器，其包括： 一內盒，其經構形以裝納一大型光罩，該內盒包含一蓋及一底板； 一外盒，其經構形以裝納該內盒，該外盒包含一外殼及一門， 其中該門包含一接觸表面，且 其中該外殼含有藉由一或多個樞軸連接至該外殼之一內盒支撐平台及一夾持表面， 其中當該門附接至該外殼時，該門之該接觸表面接觸該內盒支撐平台以便驅動該內盒支撐平台以繞該一或多個樞軸移動，使得該內盒被夾持於該內盒支撐平台與該夾持表面之間。

態樣41. 根據態樣40之基板容器，其中該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該內盒支撐平台及該夾持表面之一者或兩者包含經構形以在該門附接至該外殼時接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內之一或多個特徵件。

態樣42. 一種基板容器，其包括： 一內盒，其經構形以裝納一大型光罩，該內盒包含一蓋及一底板； 一外盒，其經構形以裝納該內盒，該外盒包含一外殼及一門， 其中該門包含一斜坡內盒支撐件，且 其中該外殼包含一或多個內盒支撐件及一夾持表面，該一或多個內盒支撐件之各者包含一平坦部分及一斜坡部分， 其中當該門附接至該外殼時，該門之該斜坡內盒支撐件經構形以支撐該內盒且沿著該外殼之該內盒支撐件之該斜坡部分驅動該內盒，使得該內盒抵著該夾持表面夾持。

態樣43. 根據態樣42之基板容器，其中該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該夾持表面包含經構形以在該門附接至該外殼時接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內之一或多個特徵件。

本申請案中揭示之實例應在全部方面被視為闡釋性且非限制性。本發明之範疇係由隨附發明申請專利範圍而非由前文描述指示；且落在發明申請專利範圍之等效物之意義及範圍內之全部改變旨在涵蓋在其中。

100:基板容器 102:外盒 104:外殼 106:門 108:內盒 110:蓋 112:底板 200:基板容器 202:外盒 204:外殼 206:凸緣 208:溝槽 210:固定特徵件 212:內盒 214:光罩保持特徵件 216:蓋 218:底板 300:基板容器 302:外殼 304:門 306:第一成角度夾持表面 308:第二成角度夾持表面 310:內盒保持器 312:內盒 314:蓋 316:底板 318:光罩保持特徵件 320:基板容器 322:外盒 324:外殼 326:門 328:成角度內盒支撐件 330:成角度夾持表面 332:內盒 334:蓋 336:底板 338:光罩保持特徵件 340:基板容器 342:外盒 344:外殼 346:門 348:垂直內盒支撐件 350:夾持表面 352:內盒 354:保持特徵件 356:蓋 358:底板 360:光罩保持特徵件 400:基板容器 402:外盒 404:外殼 406:支撐件 408:內盒 410:蓋 412:底板 414:夾具 416:蓋接觸表面 418:底板接觸表面 420:凸緣 422:致動表面 424:光罩保持器 500:基板容器 502:外盒 504:外殼 506:門 508:閂鎖操作介面 510:致動介面 512:保持元件 514:內盒 516:蓋 518:底板 520:光罩保持特徵件 600:基板容器 602:外盒 604:外殼 606:門 608:致動器 610:內盒保持器 612:致動器介面 614:臂 616:樞軸 618:內盒接觸件 620:內盒 622:蓋 624:底板 626:光罩保持特徵件 628:偏置彈簧 700:基板容器 702:外盒 704:外殼 706:底側門 708:前側安裝閂鎖介面 710:內盒夾持表面 712:光罩保持致動器 714:內盒 716:蓋 718:底板 720:光罩保持特徵件 800:基板容器 802:外盒 804:外殼 806:底板 808:內盒保持器 810:致動器介面 812:內盒 814:蓋 816:底板 818:光罩保持特徵件 900:基板容器 902:外盒 904:外殼 906:內盒保持器 908:磁性致動介面 910:內盒 912:蓋 914:底板 916:光罩保持特徵件 1000:基板容器 1002:外盒 1004:外殼 1006:內盒保持器 1008:電致動介面 1010:內盒 1012:蓋 1014:底板 1016:光罩保持特徵件 1100:基板容器 1102:外盒 1104:外殼 1106:門 1108:內盒支撐平台 1110:樞軸 1112:門接觸件 1114:夾持表面 1116:接觸表面 1118:內盒 1120:蓋 1122:底板 1124:光罩保持特徵件 1200:基板容器 1202:外盒 1204:外殼 1206:門 1208:內盒支撐件 1210:斜坡部分 1212:內盒夾持表面 1214:斜坡內盒支撐件 1216:內盒 1218:蓋 1220:底板 1222:光罩保持特徵件

圖1展示根據一實施例之一基板容器。

圖2展示根據一實施例之一基板容器。

圖3A展示根據一實施例之一基板容器。

圖3B展示根據一實施例之一基板容器。

圖3C展示根據一實施例之一基板容器。

圖4展示根據一實施例之一基板容器。

圖5展示根據一實施例之一基板容器。

圖6展示根據一實施例之一基板容器。

圖7展示根據一實施例之一基板容器。

圖8展示根據一實施例之一基板容器。

圖9展示根據一實施例之一基板容器。

圖10展示根據一實施例之一基板容器。

圖11展示根據一實施例之一基板容器。

圖12展示根據一實施例之一基板容器。

100:基板容器

102:外盒

104:外殼

106:門

108:內盒

110:蓋

112:底板

Claims (43)

1. 一種基板容器，其包括： 一內盒，其經構形以裝納一大型光罩，該內盒包含一蓋及一底板；及 一外盒，其經構形以裝納該內盒，該外盒在該外盒之一前側上具有一開口，該外盒包含在相對側壁上之第一凸緣，該等第一凸緣經構形以支撐該內盒。
2. 如請求項1之基板容器，其中該外盒包含在該等相對側壁上之第二凸緣，在各各自側壁上之該等各自第一凸緣及第二凸緣界定一溝槽，該溝槽經構形以接納該內盒而使得該蓋及該底板被夾持。
3. 如請求項2之基板容器，其中該等各自第一凸緣及第二凸緣相對於彼此成角度。
4. 如請求項1之基板容器，其中該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該外盒包含經構形以在該內盒插入該外盒中時致動該等光罩保持特徵件而使得一光罩被夾持於該內盒內之一或多個固定特徵件。
5. 一種基板容器，其包括： 一內盒，其經構形以裝納一大型光罩，該內盒包含一蓋及一底板；及 一外盒，其經構形以裝納該內盒，該外盒包含在該外盒之一前側上具有一開口之一外殼及經構形以經固定以便覆蓋該開口之一門，該外殼包含一第一成角度夾持表面且該門包含一第二成角度夾持表面，其中該第一成角度夾持表面及該第二成角度夾持表面經構形以在該門固定至該外殼時夾持該蓋及該底板，其中該第一成角度夾持表面及該第二成角度夾持表面經構形以在該內盒垂直定向或定向為與一水平方向成一角度時支撐該內盒。
6. 如請求項5之基板容器，其中該第一夾持表面或該第二夾持表面之一者進一步包括經構形以在該內盒擱置於該第二成角度夾持表面上時維持該蓋與該底板之一對準之一內盒保持器。
7. 如請求項5之基板容器，其中該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該第一成角度夾持表面及該第二成角度夾持表面之至少一者經構形以與該一或多個光罩保持特徵件之至少一些介接，使得該一或多個光罩保持特徵件之該至少一些經致動以將一光罩夾持於該內盒內。
8. 一種基板容器，其包括： 一內盒，其經構形以裝納一大型光罩，該內盒包含一蓋及一底板； 一外盒，其經構形以裝納該內盒，該外盒包含在該外盒之一前側上具有一開口之一外殼；及 一夾具，其經構形以附接至該內盒，使得該夾具將該蓋夾持至該底板。
9. 如請求項8之基板容器，其中該外盒包含一或多個支撐件，該一或多個支撐件經構形以接納該夾具之一或多個部分，使得當該夾具附接至該內盒且該內盒插入該外盒中時，該夾具被支撐。
10. 如請求項8之基板容器，其中該外盒包含一或多個支撐件，該一或多個支撐件經構形以接觸該內盒，使得當該夾具附接至該內盒且該內盒插入該外盒中時，該內盒藉由與該等支撐件之接觸而被支撐。
11. 如請求項8之基板容器，其中該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該夾具經構形以接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內。
12. 一種基板容器，其包括： 一內盒，其經構形以裝納一大型光罩，該內盒包含一蓋及一底板；及 一外盒，其經構形以裝納該內盒，該外盒包含在該外盒之一前側上具有一開口之一外殼及一門， 其中該門包含一閂鎖、在該門之一面向外部側上之一閂鎖介面及在該門之一面向內部側上之一致動介面，且 其中該外殼含有一夾持機構，該夾持機構經構形以與該致動介面介接，使得當該門附接至該外殼且該閂鎖經操作以將該門固定至該外殼時，該夾持機構經驅動以將該內盒夾持於該外盒內。
13. 如請求項12之基板容器，其中該致動介面係經構形以接納包含於該夾持機構中之一對應突部之一插口。
14. 如請求項12之基板容器，其中該致動介面係經構形以接納在包含於該夾持機構中之一插口中之一突部。
15. 如請求項12之基板容器，其中該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該夾持機構經構形以接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內。
16. 一種基板容器，其包括： 一內盒，其經構形以裝納一大型光罩，該內盒包含一蓋及一底板； 一外盒，其經構形以裝納該內盒，該外盒包含在該外盒之一前側上具有一開口之一外殼及一門， 其中該門包含一致動特徵件，且 其中該外殼含有一夾持機構，該夾持機構經構形以與該致動特徵件介接，使得當該門附接至該外殼時，該夾持機構經驅動以將該內盒夾持於該外盒內。
17. 如請求項16之基板容器，其中該致動特徵件包含一第一磁體且該夾持機構包含一第二磁體，其中該夾持機構經驅動以至少部分藉由該第一磁體與該第二磁體之相互作用而夾持該內盒。
18. 如請求項16之基板容器，其中該致動特徵件包含經構形以接觸該夾持機構之一部分，使得該夾持機構經驅動以夾持該內盒之一致動表面。
19. 如請求項16之基板容器，其中該夾持機構包含經構形以在該門自該外殼移除時釋放該夾持機構之一偏置彈簧。
20. 如請求項16之基板容器，其中該夾持機構包含藉由一樞軸固定之一臂，其中一夾持表面設置於該臂之一端處。
21. 如請求項16之基板容器，其中該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該夾持機構經構形以接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內。
22. 一種基板容器，其包括： 一內盒，其經構形以裝納一大型光罩，該內盒包含一蓋及一底板； 一外盒，其經構形以裝納該內盒，該外盒包含在該外盒之一底側上具有一開口之一外殼及一門，其中該外盒包含設置於該外盒之一前壁上之一或多個閂鎖控制件， 其中該門包含一內盒支撐件，且該外殼包含一或多個夾持表面，使得當該內盒放置於該內盒支撐件上，且該門定位成接近該外殼之該底側上之該開口時，該光罩被夾持於該一或多個夾持表面與該內盒支撐件之間。
23. 如請求項22之基板容器，其中該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該內盒支撐件及該一或多個夾持表面之至少一者經構形以接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內。
24. 一種基板容器，其包括： 一內盒，其經構形以裝納一大型光罩，該內盒包含一蓋及一底板； 一外盒，其經構形以裝納該內盒，該外盒包含在該外盒之一前側上具有一開口之一外殼，該外殼包含一夾持機構，該夾持機構經構形使得在一擱置狀態中，該夾持機構經定位以將該內盒夾持於該外盒內，且當處於一經致動狀態中時，該夾持機構經定位使得該內盒可自該外盒移除。
25. 如請求項24之基板容器，其中該夾持機構經構形以藉由在一致動介面處施加機械力而被置於該經致動狀態。
26. 如請求項25之基板容器，其中該致動介面設置於該外殼之一側壁上。
27. 如請求項25之基板容器，其中該致動介面設置於該外殼之一底部上。
28. 如請求項25之基板容器，其中該致動介面設置於附接至該外殼之一底板上。
29. 如請求項25之基板容器，其中該致動介面設置於該外殼之一底部與附接至該外殼之一底板之間。
30. 如請求項24之基板容器，其中該夾持機構包含一形狀記憶材料。
31. 如請求項24之基板容器，其中該夾持機構經構形以藉由將電流施加至一致動表面而被置於該經致動狀態。
32. 如請求項31之基板容器，其中該致動表面電連接至一形狀記憶材料。
33. 如請求項31之基板容器，其中該致動表面定位於該外殼之一外部上。
34. 如請求項31之基板容器，其中該致動表面定位於由該外殼界定之一內部空間中。
35. 如請求項24之基板容器，其中該夾持機構經構形以藉由將一磁場施加至一致動表面而被置於該經致動狀態中。
36. 如請求項35之基板容器，其中該致動表面包含一磁體。
37. 如請求項35之基板容器，其中該致動表面定位於該外殼之一外部上。
38. 如請求項35之基板容器，其中該致動表面定位於由該外殼界定之一內部空間中。
39. 如請求項24之基板容器，其中該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該夾持機構經構形以接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內。
40. 一種基板容器，其包括： 一內盒，其經構形以裝納一大型光罩，該內盒包含一蓋及一底板； 一外盒，其經構形以裝納該內盒，該外盒包含一外殼及一門， 其中該門包含一接觸表面，且 其中該外殼含有藉由一或多個樞軸連接至該外殼之一內盒支撐平台及一夾持表面， 其中當該門附接至該外殼時，該門之該接觸表面接觸該內盒支撐平台以便驅動該內盒支撐平台以繞該一或多個樞軸移動，使得該內盒被夾持於該內盒支撐平台與該夾持表面之間。
41. 如請求項40之基板容器，其中該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該內盒支撐平台及該夾持表面之一者或兩者包含經構形以在該門附接至該外殼時接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內之一或多個特徵件。
42. 一種基板容器，其包括： 一內盒，其經構形以裝納一大型光罩，該內盒包含一蓋及一底板； 一外盒，其經構形以裝納該內盒，該外盒包含一外殼及一門， 其中該門包含一斜坡內盒支撐件，且 其中該外殼包含一或多個內盒支撐件及一夾持表面，該一或多個內盒支撐件之各者包含一平坦部分及一斜坡部分， 其中當該門附接至該外殼時，該門之該斜坡內盒支撐件經構形以支撐該內盒且沿著該外殼之該內盒支撐件之該斜坡部分驅動該內盒，使得該內盒抵著該夾持表面夾持。
43. 如請求項42之基板容器，其中該內盒包含一或多個光罩保持特徵件，且該夾持表面包含經構形以在該門附接至該外殼時接觸該一或多個光罩保持特徵件，使得該一或多個光罩保持特徵件經致動以將一光罩夾持於該內盒內之一或多個特徵件。