JP2010160471A - 感光性組成物及びソルダーレジスト組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】重合性炭化水素単量体(A)及び重合性炭化水素重合体(B)の内の少なくとも一方と、無機フィラー(C)とを含有し、無機フィラー(C)が、該無機フィラー(C)5gを純水100mLに加えた液を加熱し、5分間沸騰させた後、23℃に達するまで静置し、沸騰処理液を得、次に得られた沸騰処理液に、沸騰により蒸発した水量の水を加えて水量を100mLとした液のpHを測定したときに、pH6.8以上11以下の値を示す無機フィラーである感光性組成物。
【選択図】図1
Description
[{(第1の無機フィラーのモース硬度)×(硬化後の感光性組成物100体積%中の第1の無機フィラーの含有量(体積%))}+{(第2の無機フィラーのモース硬度)×(硬化後の感光性組成物100体積%中の第2の無機フィラーの含有量(体積%))}+・・・{(第nの無機フィラーのモース硬度)×(硬化後の感光性組成物100体積%中の第nの無機フィラーの含有量(体積%))}]≦4 ・・・(X)
本発明に係る感光性組成物は、溶剤をさらに含有し、溶剤の双極子モーメントが1Debye以上であることが好ましい。
上記重合性炭化水素単量体(A)としては、例えば、重合性不飽和基含有単量体又は重合性環状エーテル基含有単量体が挙げられる。
上記重合性炭化水素重合体(B)としては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂又はオレフィン樹脂が挙げられる。なお、「樹脂」は、固形樹脂に限定されず、液状樹脂及びオリゴマーも含む。
(b)カルボキシル基含有(メタ)アクリル共重合樹脂(b1)と、1分子中にオキシラン環及びエチレン性重合性不飽和二重結合を有する化合物(b2)との反応により得られるカルボキシル基含有樹脂
(c)1分子中にそれぞれ1個のエポキシ基及び重合性不飽和二重結合を有する化合物と、重合性不飽和二重結合を有する化合物との共重合体に、不飽和モノカルボン酸を反応させた後、生成した反応物の第2級の水酸基に飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂
(d)水酸基含有ポリマーに、飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させた後、生成したカルボン酸に、1分子中にそれぞれ1個のエポキシ基及び重合性不飽和二重結合を有する化合物を反応させて得られる水酸基及びカルボキシル基含有樹脂
レジスト膜の耐熱性をより一層高めることができるので、重合性炭化水素重合体(B)は、上記(b)カルボキシル基含有樹脂であることが好ましい。
本発明に係る感光性組成物に含有される無機フィラー(C)は、煮沸法により測定されたpHが6.8以上11以下である。pHが6.8よりも低い場合は、レジスト膜が黄変し、かつ切り出し加工しにくくなる。また、pHが11よりも高い場合には、感光性組成物のポットライフが悪くなることがある。レジスト膜の黄変をより一層抑制できるので、上記無機フィラー(C)の煮沸法により測定されたpHは7.0以上であることが好ましく、7.4以上であることがより好ましく、8.1以上であることがさらに好ましい。感光性組成物のポットライフをより一層良好にすることができるので、上記無機フィラー(C)の煮沸法により測定されたpHは10.0以下であることが好ましく、9.0以下であることがより好ましい。
上記無機フィラー(C)の塩基性を高めるために、感光性組成物は、無機フィラー(C)の酸性部位と反応可能な化合物を含有することが好ましい。上記無機フィラー(C)の酸性部位と反応可能な化合物として、無機フィラー(C)を表面処理するための上述した無機フィラー(C)の酸性部位と反応可能な化合物が好適に用いられる。上記無機フィラー(C)の酸性部位と反応可能な化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
感光性をより一層高めるために、本発明に係る感光性組成物は、光重合開始剤を含有することが好ましい。
本発明に係る感光性組成物は、LEDデバイスのレジスト膜を形成するのに好適に用いられ、ソルダーレジスト膜を形成するのにより好適に用いられる。
温度計、攪拌機、滴下ロート及び還流冷却器を備えたフラスコに、溶剤としてエチルカルビトールアセテートと、触媒としてアゾビスイソブチロニトリルとを入れ、窒素雰囲気下で80℃に加熱し、メタクリル酸とメチルメタクリレートとを30:70のモル比で混合したモノマーを2時間かけて滴下した。滴下後、1時間攪拌し、温度を120℃に上げた。その後、冷却した。得られた樹脂の全てのモノマー単位の総量のモル量に対するモル比が10となる量のグリシジルアクリレートを加え、触媒として臭化テトラブチルアンモニウムを用い100℃で30時間加熱して、グリシジルアクリレートとカルボキシル基とを付加反応させた。冷却後、フラスコから取り出して、固形分酸価60mgKOH/g、重量平均分子量15,000、二重結合当量が1,000のカルボキシル基含有樹脂を50重量%(不揮発分)含む溶液を得た。以下、この溶液をアクリルポリマー1と呼ぶ。
温度計、攪拌機、滴下ロート及び還流冷却器を備えたフラスコに、溶剤としてエチルカルビトールアセテートと、触媒としてアゾビスイソブチロニトリルとを入れ、窒素雰囲気下で80℃に加熱し、メタクリル酸とメチルメタクリレートとベンジルメタクリレートとを30:30:40のモル比で混合したモノマーを2時間かけて滴下した。滴下後、1時間攪拌し、温度を120℃に上げた。その後、冷却した。得られた樹脂の全てのモノマー単位の総量のモル量に対するモル比が10となる量のグリシジルアクリレートを加え、触媒として臭化テトラブチルアンモニウムを用い100℃で30時間加熱して、グリシジルアクリレートとカルボキシル基とを付加反応させた。冷却後、フラスコから取り出して、固形分酸価60mgKOH/g、重量平均分子量15,000、二重結合当量が1,000のカルボキシル基含有樹脂を50重量%(不揮発分)含む溶液を得た。以下、この溶液をアクリルポリマー2と呼ぶ。
温度計、攪拌機、滴下ロート及び還流冷却器を備えたフラスコに、溶剤としてエチルカルビトールアセテートと、触媒としてアゾビスイソブチロニトリルとを入れ、窒素雰囲気下で80℃に加熱し、メタクリル酸とメチルメタクリレートとベンジルメタクリレートとを30:30:40のモル比で混合したモノマーを2時間かけて滴下した。滴下後、5時間攪拌し、温度を120℃に上げた。その後、冷却した。得られた樹脂の全てのモノマー単位の総量のモル量に対するモル比が10となる量のグリシジルアクリレートを加え、触媒として臭化テトラブチルアンモニウムを用い100℃で30時間加熱して、グリシジルアクリレートとカルボキシル基とを付加反応させた。冷却後、フラスコから取り出して、固形分酸価60mgKOH/g、重量平均分子量100,000、二重結合当量が1,000のカルボキシル基含有樹脂を50重量%(不揮発分)含む溶液を得た。以下、この溶液をアクリルポリマー3と呼ぶ。
温度計、攪拌機、滴下ロート及び還流冷却器を備えたフラスコに、溶剤としてエチルカルビトールアセテートと、触媒としてアゾビスイソブチロニトリルとを入れ、窒素雰囲気下で80℃に加熱し、メタクリル酸とメチルメタクリレートとベンジルメタクリレートとを15:35:50のモル比で混合したモノマーを2時間かけて滴下した。滴下後、1時間攪拌し、温度を120℃に上げた。その後、冷却した。得られた樹脂の全てのモノマー単位の総量のモル量に対するモル比が10となる量のグリシジルアクリレートを加え、触媒として臭化テトラブチルアンモニウムを用い100℃で30時間加熱して、グリシジルアクリレートとカルボキシル基とを付加反応させた。冷却後、フラスコから取り出して、固形分酸価15mgKOH/g、重量平均分子量14,000、二重結合当量が1,000のカルボキシル基含有樹脂を50重量%(不揮発分)含む溶液を得た。以下、この溶液をアクリルポリマー4と呼ぶ。
温度計、攪拌機、滴下ロート及び還流冷却器を備えたフラスコに、溶剤としてエチルカルビトールアセテートと、触媒としてアゾビスイソブチロニトリルとを入れ、窒素雰囲気下で80℃に加熱し、メタクリル酸とメチルメタクリレートとベンジルメタクリレートとを85:5:10のモル比で混合したモノマーを2時間かけて滴下した。滴下後、1時間攪拌し、温度を120℃に上げた。その後、冷却した。得られた樹脂の全てのモノマー単位の総量のモル量に対するモル比が10となる量のグリシジルアクリレートを加え、触媒として臭化テトラブチルアンモニウムを用い100℃で30時間加熱して、グリシジルアクリレートとカルボキシル基とを付加反応させた。冷却後、フラスコから取り出して、固形分酸価220mgKOH/g、重量平均分子量17,000、二重結合当量が1,000のカルボキシル基含有樹脂を50重量%(不揮発分)含む溶液を得た。以下、この溶液をアクリルポリマー5と呼ぶ。
温度計、攪拌機、滴下ロート及び還流冷却器を備えたフラスコに、溶剤としてエチルカルビトールアセテートと、触媒としてアゾビスイソブチロニトリルとを入れ、窒素雰囲気下で80℃に加熱し、メタクリル酸とメチルメタクリレートとベンジルメタクリレートとを22.5:37.5:40のモル比で混合したモノマーを2時間かけて滴下した。滴下後、1時間攪拌し、温度を120℃に上げた。その後、冷却した。得られた樹脂の全てのモノマー単位の総量のモル量に対するモル比が2.5となる量のグリシジルアクリレートを加え、触媒として臭化テトラブチルアンモニウムを用い100℃で30時間加熱して、グリシジルアクリレートとカルボキシル基とを付加反応させた。冷却後、フラスコから取り出して、固形分酸価60mgKOH/g、重量平均分子量18,000、二重結合当量が4,000のカルボキシル基含有樹脂を50重量%(不揮発分)含む溶液を得た。以下、この溶液をアクリルポリマー6と呼ぶ。
無機フィラー1〜11の詳細を下記の表1に示す。
後述の実施例、比較例及び参考例では、下記の表2に示す成分を適宜用いた。表2に、各成分の比重を併せて示す。
アクリルポリマー1を15重量部と、DPHA(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート)5重量部と、D−918(ルチル型酸化チタン、堺化学社製)40重量部と、光重合開始剤(TPO、光ラジカル発生剤、日本シイベルヘグナー社製)2重量部と、828(ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ジャパンエポキシレジン社製)8重量部と、エチルカルビトールアセテート30重量部とを配合し、混合機(練太郎SP−500、シンキー社製)にて3分間混合した後、3本ロールにて混合し、混合物を得た。その後、SP−500を用いて、得られた混合物を3分間脱泡することにより、感光性組成物としてのレジスト材料を得た。
使用した材料の種類及び配合量を下記の表3〜表9に示すように変更したこと以外は、実施例1と同様にして、レジスト材料を得た。
(1)測定サンプルの調製
80mm×90mm、厚さ0.8mmのFR−4からなる基板を用意した。この基板上に、スクリーン印刷法により、100メッシュのポリエステルバイアス製の版を用いて、ベタパターンでレジスト材料を印刷した。印刷後、80℃のオーブン内で20分間乾燥させ、レジスト材料層を基板上に形成した。次に、所定のパターンを有するフォトマスクを介して、紫外線照射装置を用い、レジスト材料層に波長365nmの紫外線を、照射エネルギーが400mJ/cm2となるように100mW/cm2の紫外線照度で4秒間照射した。その後、未露光部のレジスト材料層を除去して、パターンを形成するために、炭酸ナトリウムの1重量%水溶液にレジスト材料層を浸漬して現像し、基板上にレジスト膜を形成した。その後、150℃のオーブン内で1時間加熱しレジスト膜を後硬化させることにより、測定サンプルとしてのレジスト膜を得た。得られたレジスト膜の厚みは20μmであった。
測定サンプルを加熱オーブン内に入れ、270℃で5分間加熱した。
UV照射機を用いて、365nmの波長の光を、照射エネルギーが100J/cm2となるように、測定サンプルに照射した。
シャーリングを用いて、(1)で作成した測定サンプルをカットした後、270℃で5分間加熱した。加熱後の測定サンプルのエッジの割れ及び欠け状態を目視で確認した。切り出し加工性を下記の評価基準で判定した。
○:割れ及び欠けが目視で、全く確認されない
△:割れ又は欠けが目視で、カット部において部分的に確認される
×:割れ又は欠けが目視で、カット部の全範囲で確認される
(5)ポットライフ
作製した直後のレジスト材料と、1日放置した後のレジスト材料との粘度(25℃)をV型粘度計で測定し、粘度の変化比を求めた。変化比から、ポットライフを下記の評価基準で判定した。
○:変化比が1.1未満
△:変化比が1.1以上1.5未満
×:変化比が1.5以上
(6)現像性
測定サンプルの現像パターンを目視で確認し、現像性を下記の評価基準で判定した。
○:目視でパターンが確認される
×:目視でパターンが確認されない
結果を下記の表3〜9に示した。
2…基板
2a…上面
3…レジスト膜
3a…上面
4a,4b…電極
7…LEDチップ
7a…下面
8a,8b…端子
9a,9b…はんだ
Claims (25)
- 重合性炭化水素単量体(A)及び重合性炭化水素重合体(B)の内の少なくとも一方と、無機フィラー(C)とを含有し、
無機フィラー(C)が、無機フィラー(C)5gを純水100mLに加えた液を加熱し、5分間沸騰させた後、23℃に達するまで静置し、沸騰処理液を得、次に得られた沸騰処理液に、沸騰により蒸発した水量の水を加えて水量を100mLとした液のpHを測定したときに、pH6.8以上11以下の値を示す無機フィラーである、感光性組成物。 - 無機フィラー(C)のエネルギーバンドギャップが、2.5eV以上7eV以下である、請求項1に記載の感光性組成物。
- 無機フィラー(C)の465nmでの屈折率が1.8以上であり、かつ無機フィラー(C)が白色フィラーである、請求項1または2に記載の感光性組成物。
- 無機フィラー(C)がルチル型酸化チタンである、請求項3に記載の感光性組成物。
- 無機フィラー(C)の含有量が3重量%以上80重量%以下である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の感光性組成物。
- 少なくとも1種の無機フィラー(C)が、塩基性金属酸化物又は塩基性金属水酸化物により被覆されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の感光性組成物。
- 塩基性金属酸化物又は塩基性金属水酸化物を構成する金属元素が、マグネシウム、ジルコニウム、セリウム、ストロンチウム、アンチモン、バリウム及びカルシウムからなる群から選択された少なくとも1種である、請求項6に記載の感光性組成物。
- 無機フィラー(C)が、酸化ジルコニウムを含む被覆材料により被覆されている、請求項6または7に記載の感光性組成物。
- 無機フィラー(C)の酸性部位と反応可能な化合物をさらに含有する、請求項1〜8のいずれか1項に記載の感光性組成物。
- 無機フィラー(C)が、無機フィラー(C)の酸性部位と反応可能な化合物により表面処理されている、請求項1〜9のいずれか1項に記載の感光性組成物。
- 無機フィラー(C)の酸性部位と反応可能な化合物が、塩基性化合物である、請求項9または10に記載の感光性組成物。
- 塩基性化合物が、多価アルコール、アルカノールアミン及びアルコキシシランからなる群から選択された少なくとも1種である、請求項11に記載の感光性組成物。
- 重合性炭化水素単量体(A)は、2個以上の重合性不飽和基を有し、アセトニトリル:水=1:1(体積比)溶液で質量分析付き液体クロマトグラフィー(LC/MS)による測定を行った際、質量分析のフラグメントピークが500以下の成分によるピーク面積が、全ピーク面積の30%以上である、請求項1〜12のいずれか1項に記載の感光性組成物。
- 重合性炭化水素単量体(A)の重量平均分子量が700以下である、請求項1〜13のいずれか1項に記載の感光性組成物。
- 環状エーテル骨格を有する化合物(D)をさらに含有し、環状エーテル骨格を有する化合物(D)の含有量が重合性炭化水素単量体(B)100重量部に対して、0.1重量部以上50重量部以下である、請求項1〜14のいずれか1項に記載の感光性組成物。
- 環状エーテル骨格を有する化合物(D)が、環状エーテル骨格を有し、かつ直鎖エーテル骨格を有さないエポキシ化合物である、請求項15に記載の感光性組成物。
- 環状エーテル骨格が、シクロヘキセンオキシド骨格である、請求項15または16に記載の感光性組成物。
- ルイス塩基性部位を有する酸化防止剤をさらに含有する、請求項1〜17のいずれか1項に記載の感光性組成物。
- 酸化防止剤が、フェノール系酸化防止剤、リン系酸化防止剤及びアミン系酸化防止剤からなる群から選択された少なくとも1種である、請求項18に記載の感光性組成物。
- 重合性炭化水素単量体(A)及び重合性炭化水素重合体(B)の少なくとも一方が、1個以上の重合性不飽和基及び2個以上のカルボキシル基を含有し、
重合性炭化水素単量体(A)及び重合性炭化水素重合体(B)の全体として、重量平均分子量が5,000〜50,000であり、固形分酸価が30〜150mgKOH/gであり、かつ二重結合当量が50〜2,000g/eqである、請求項1〜19のいずれか1項に記載の感光性組成物。 - 重合性炭化水素単量体(A)及び重合性炭化水素重合体(B)の合計100重量%中、重合性炭化水素単量体(A)の含有量が5重量%以上50重量%以下である、請求項1〜20のいずれか1項に記載の感光性組成物。
- 重合性炭化水素単量体(A)100重量%中、アルコール性水酸基を有する重合性炭化水素単量体の含有量が15重量%以下である、請求項1〜21のいずれか1項に記載の感光性組成物。
- 無機フィラー(C)が下記式(X)を満たす、請求項1〜22のいずれか1項に記載の感光性組成物。
[{(第1の無機フィラーのモース硬度)×(硬化後の感光性組成物100体積%中の第1の無機フィラーの含有量(体積%))}+{(第2の無機フィラーのモース硬度)×(硬化後の感光性組成物100体積%中の第2の無機フィラーの含有量(体積%))}+・・・{(第nの無機フィラーのモース硬度)×(硬化後の感光性組成物100体積%中の第nの無機フィラーの含有量(体積%))}]≦4 ・・・(X) - 溶剤をさらに含有し、溶剤の双極子モーメントが1Debye以上である、請求項1〜23のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項1〜24のいずれか1項に記載の感光性組成物である、ソルダーレジスト組成物。
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