DE3239039C2 - Verschmelzmaterial-Zusammensetzung aus einem Bleiboratglas und β-Eucryptit - Google Patents
Verschmelzmaterial-Zusammensetzung aus einem Bleiboratglas und β-EucryptitInfo
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Abstract
Verschmelzglas-Zusammensetzungen sind offenbart, die niedrige Verschmelztemperaturen haben und besonders zum Miteinanderverschmelzen von Keramikkomponenten, die in elektronischen Miniaturbausteinen verwendet werden, geeignet sind. Die Verschmelzglaszusammensetzungen sind gekennzeichnet als Gläser mit niedrigem Wärmeausdehnungskoeffizienten und hoher Chemikalienbeständigkeit, insbesondere gegenüber sauren Chemikalien. Gebildet aus einem Gemisch von einem Blei-Borat-Grundglas und beta-Eucryptit, besitzen die Verschmelzgläser nach der Erfindung hohe mechanische und Wärmeschock-Beständigkeit.
Description
der^-Eucryptit einen durchschnittlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten von — 123±5x 10~7 (0—300°C)
cm/cm/°C hat und in einer Menge von 8—12 Gew.-%, bezogen auf die Gesamtzusammensetzung, vorliegt;
und das Blei-Borat-Glas und der/?-Eucryptit in einer Partikelgröße von kleiner als 150 μπι vorliegen.
2. Verschmelzmaterial-Zusammensetzung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Blei-Borat-Glas
aus den nachstehend aufgeführten Bestandteilen in den angegebenen Mengen, ausgedrückt als Oxide
und bezogen auf das Gewicht der Gesamtzusammensetzung, besteht:
3. Verschmelzmaterial-Zusammensetzung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Blei-Borat-Glas
besteht, in Gewichtsprozent, aus: 83% PbO, 12,0% B2O3,3% Bi2O3,0,5% SiO2,1,G% ZnO und 0,5% BaO.
4. Verschmelzmaterial-Zusammensetzung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß 60 bis 70 Gew.-% der/?-Eucryptit-Partikel ein Sieb einer Maschenweite von 37,5 μπι passieren.
| Bestandteil | Gew.-% |
| PbO | 81,5 bis 85 |
| B2O3 | 11 bis 13 |
| Bi2O3 | 2,5 bis 3,5 |
| Al2O3 | 0 bis 0,5 |
| SiO2 | Obisl |
| ZnO | Obisl |
| BaO | Obisl |
| TeO2 | O bis 3 |
| As2O5 | Obisl |
Die Erfindung betrifft eine Verschmelzmaterial-Zusammensetzung bestehend aus einem Gemisch aus einem
pulverisierten Wismutoxid enthaltenden Blei-ßorat-Glas und kristallinem/?-Eucryptit.
Verschmelz- oder Lötglas-Zusammensetzungen sind bekanntlich zum Miteinanderverschmelzen von Teilen
aus Glas, Keramik, Metall und dergleichen gut geeignet, bringen aber eine Reihe von Problemen mit sich. So sind
viele Lötglaszusammensetzungen entwickelt worden, die bei Temperaturen erweichen und schmelzen, welche
deutlich unter der Deformationstemperatur der zu verschmelzenden Teile liegen, so daß sie während des
Heißverschmelzens nur minimale Beschädigung verursachen. Aber bei diesen Temperaturen sind die Verschmelzglaszusammensetzungen
nicht in der Lage, in innigem Kontakt auf der zu verschmelzenden Oberfläche aufzuschmelzen. — Häufig werden die Substratkomponenten, die mit Verschmelzmaterial-Zusammensetzungen
verschmolzen werden, zum Einkapseln von oder zum andersartigen Verbinden mit hauchdünnen wärmeempfindlichen
Teilen, wie elektronischen Einrichtungen, elektronischen Miniaturbausteinen und Kathodenlumineszenzflächen
verwendet. Für derartige Teile ist eine Temperaturerhöhung in ihrer Umgebung nachteilig. Außerdem
ist die Verwendung von Verschmelzgläsern wegen der notwendigen Temperaturerhöhung und der Dauer
des Verschmelzvorgangs, mit Temperatur/Zeit-Faktor bezeichnet, allgemein unwirtschaftlich.
Angestrebt wird auch, daß das Verschmelzglas eine gute Stabilität hat; es sollte während des Verschmelzens
und den folgenden Behandlungen des verschmolzenen Teiles nicht entglasen. Wenn das Substrat verschmolzen
ist, sollte das Glas gegenüber chemischen Angriffen, wie durch Wasser, insbesondere sauren wäßrigen Lösungen,
beständig sein.
Besonders wichtig wäre, daß die Verschmelzgläser einen Wärmeaustauschkoeffizienten hätten, der dem des
zu verschmelzenden Substrats möglichst nahe kommt. Wenn die Wärmeausdehnungskoeffizienten deutlich
verschieden sind, kann eine zufriedenstellende Bindung der hergestellten Verschmelzung nach dem Abkühlen
nicht beibehalten werden, sondern versagt bei späteren Temperaturschwankungen.
in der US-PS 32 50 63! ist eine ilici mi:.i;ii enigiasbare Verschmeizmaieriai-Zusammensetzung beschrieben,
deren Wärmeausdehnungskoeffizient herabgesetzt ist. Die Zusammensetzung kann dem Wärmeausdehnungskoeffizienten
des jeweiligen Substrats angepaßt werden, indem ihm eine ausreichende Menge inerten feuerfesten
Materials, insbesondere Oxid, zugesetzt wird, bis der Wärmeausdehnungskoeffizient des Lötglases in etwa
dem des Substrats entspricht, ohne daß Verschmelztemperatur, Fließeigenschaften oder Verschmelzeigenschaften
ungünstig beeinflußt werden. Diese Verschmelzmaterial-Zusammensetzung bedeutet für die Mikroelektronik
eine wesentliche Verbesserung gegenüber den bekannten Lötgläsern, die bisher zum Verschmelzen von
Keramik und insbesondere Aluminiumoxid-Substraten verwendet wurden. Doch muß das Verschmelzen mit
dieser Zusammensetzung bei Temperaturen von 425 bis 550" C 1 Stunde lang durchgeführt werden. Zum
Verschmelzen von elektronischen Miniaturbausteinen ist dieser Temperatur/Zeit-Faktor noch zu hoch. Außerdem
lassen sich Abdichtungen reproduzierbarer hoher Qualität mit Aluminiumoxid nicht erzielen.
Eine weitere Verschmelzmaterial-Zusammensetzung ist in der US-PS 37 78 242 offenbart, wobei hoch feuerfestes
Material und ein vorkristallisiertes Glas für die Herstellung eines kristallisierbaren Verschmelzglases
verwendet wird.
Eine Verschmelzmaterial-Zusammensetzung des eingangs, beschriebenen Typs, der aus der DE-PS 23 13 993
bekannt ist, besteht aus einem Blei-Borat-Glas und Hoch-Eucryptit der bekanntlich einen durchschnittlichen
Wärmeausdehnungskoeffizienten von —70 χ 10-' hat. (H. Salmang und H. Scholze, Keramik, 1982, Seite 211 bis
213). Dieses bekannte Glas kann noch Siliciumdioxid und/oder Aluminiumoxid sowie weitere, die niedere
Erweichungstemperatur von etwa 450° C oder darüber begünstigende oder zumindest nicht verschlechternde
Komponenten, nämlich Zinkoxid, Wismutoxid oder Bariumoxid enthalten. In dieser Druckschrift wird darauf
hingewiesen, daß sich Hoch-Eucryptit nicht zum Zumischen zu nicht-kristallisierbaren Verschmelzzusammensetzungen
eignet, weil er einen zu hohen Wärmeausdehnungskoeffizienten mit Bezug auf das Lötglas hat Beim
Abkühlen nach dem Lötvorgang treten unerträglich hohe mechanische Spannungen zwischen den Mischungspartikeln
auf, die bewirken, daß das Lötglas in Nachbarschaft zu den Hoch-Eucryptit-Körnern zerreißt Dieser
Nachteil wird gemäß der PS durch Verwendung eines kristallisierbaren Lötglases vermieden.
Die bekannten Verschmelzmateria! -Zusammensetzungen sind zum Verschmelzen von elektronischen Miniaturbausteinen
in Keramik-Komponenten nicht befriedigend, insbesondere seit dem Aufkommen von Aluminiumoxid
als Keramikkomponente. Diese Keramiken haben allgemein sehr niedrige Wärmeausdehnungskoeffizienten.
Sie liegen im Bereich von 60 bis 8Ox 10~7 cm/cm/°C bei 0 bis 300°C. Außerdem werden wegen der
kleinen Größenabmessungen der Lötung und der erforderlichen hohen Festigkeit und Luftdichtigkeit ungewöhnlich
hohe Anforderungen an das Lötglas gestellt Hinzu kommt noch, daß elektronische Miniaturbausteine
sehr wärmeempfindlich sind, so daß der Temperatur/Zeit-Faktor eine besonders große Rolle spielt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine verbesserte Verschmelzmaterial-Zusammensetzung, insbesondere
für das Verschmelzen von Aluminiumoxid-Keramik in elektronischen Miniaturbausteinen, anzugeben,
die einen besonders günstigen Temperatur/Zeit-Faktor, hohe Festigkeit, gutes Abdichtvermögen, gute Chemikalienbeständigkeit
und Reproduzierbarkeit aufweist und einen sehr niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten
hat.
Die Aufgabe wird durch die Verschmelzmaterial-Zusammensetzung des Anspruches 1 gelöst. Bevorzugte
Ausfühiungsformen sind in den Unteransprüchen angegeben.
Durch die Erfindung werden Verschmelzmaterial-Zusammensetzungen bereitgestellt, die bei niedrigen Temperaturen,
d. h. bei 420° C oder darunter, verschmelzbar sind und niedrige Wärmeausdehnung, hohe Chemikalienbeständigkeit
und hohe Widerstandsfähigkeit gegenüber mechanischer Wärme-Schockbeanspruchung aufweisen.
Verschmelzmaterial-Zusammensetzungen bilden starke, hermetisch dichte, hochreproduzierbare Abdichtungen
und sind besonders gut geeignet, Aluminiumoxid-Keramik-Komponenten in elektronischen Miniaturbaüsteinen
miteinander zu verbinden. Es ist überraschend gefunden worden, daß die erhaltenen Abdichtungen
gegenüber Schwefelsäure, sogar bei erhöhten Temperaturen beständig sind. Darüber hinaus ist gefunden
worden, daß keine Abscheidungen von Sulfat-Nebenprodukten auf den Oberflächen auftreten, was bei den
üblichen Verschmelzgläsern häufig der Fall ist, wenn die abgedichteten Gehäuse schwefelsauren Lösungen
ausgesetzt werden.
Bei der Herstellung eingekapselter elektronischer Miniaturbausteine ist es üblich, den Metalleitern, die aus
dem einkapselnden Aluminiumoxidgehäuse herauskommen, Zinn aufzugalvanisieren. Vor dem Galvanisieren
wird das Gehäuse meist einer Reinigungs- oder Beizbehandlung durch Eintauchen in Schwefelsäure unterworfen.
Bei den Keramiken, die mit bekannten Verschmelzglas-Zusammensetzungen verschmolzen worden sind, ist
das der Schwefelsäure ausgesetzte Verschmelzglas empfindlich gegenüber der Säure und sauren Reaktionsprodukten;
es bilden sich gewöhnlich unlösliche Sulfate an den freien Verschmelzglasoberflächen. Dies führt zu
Schwierigkeiten, weil beim Galvanisieren das Zinn die Tendenz hat, sich auf dem ganzen abgeschiedenen Sulfat
niederzuschlagen. Dadurch entsteht ein Weg für den elektrischen Strom, was das normale Arbeiten des eingekapselten
Kreises stört oder unterbricht. Wegen ihrer Beständigkeit gegenüber Angriff durch Säure ist dieses
Problem durch die erfindungsgemäßen Verschmelzmaterial-Zusammensetzungen gelöst.
Die Verschmelzglaszusammensetzung nach der Erfindung besteht aus einer Glasmatrix aus Blei-Borat-Glas
und einem besonderen Füllstoff, nämlich einem neuen ß-Eucryptit. Er wird in fein zerteilter Form als Füllstoff für
ausgewählte Blei-Borat-Grundgläser verwendet, um ein entglasungsfreies Verschmelzglas zu erzeugen, das
besondere Eigenschaften und Kennzeichen aufweist, die für das Einkapseln von elektronischen Miniaturbausteinen
im Keramikgehäuse von besonderem Interesse sind.
Die Glasmatrix der Verschmelzmaterial-Zusammensetzung nach der Erfindung ist ein Wismutoxid enthaltendes
Blei-Borat-Glas, das im allgemeinen auch eine oder mehrere andere Glaskomponenten enthält wie Zink,
Aluminium, Siliciumoxid, Bai ium, Arsen und Tellur, welche gewöhnlich als in der Oxidform vorliegend angegeben
werden. Sie ist besonders zum Verbinden von Aluminiumoxid-Keramiken geeignet. Die Blei-Borat-Gläser
enthalten die nachstehend aufgeführten Bestandteile, ausgedrückt als Oxide, bezogen auf das Gesamtgewicht
der Zusammensetzung.
| 32 39 039 | |
| Bestandteil | Gew.-% |
| PbO | 78 bis 90 |
| B2O3 | 8 bis 16 |
| Bi2O3 | 2 bis 5 |
| .SiO2 | Obisl |
| Al2O3 | Obisl |
| ZnO | O bis 2 |
| BaO | Obisl |
| TeO2 | O bis 4 |
| As2O5 | O bis 2 |
Andere Oxide und Substanzen, die sich nicht schädlich auswirken, können als Verunreinigungen vorliegen,
abhängig von den eingesetzten Rohmaterialien.
Bevorzugte Grundglaszusammensetzungen enthalten die nachstehenden Bestandteile in den angegebenen
Mengenbereichen, ausgedrückt als Oxide und bezogen auf das Gewicht der Gesamtzusammensetzung:
| Bestandteil | Gew.-% |
| PbO | 81,5 bis 85 |
| B2O3 | 11 bis 13 |
| Bi2O3 | 2,5 bis 3,5 |
| Al2O3 | O bis 0,5 |
| SiO2 | Obisl |
| ZnO | Obisl |
| BaO | Obisl |
| TeO2 | O bis 3 |
| As2O5 | Obisl |
Der Füllstoff, der erfindungsgemäß zum Mischen mit dem Blei-Borat-Glasgemisch verwendet wird, ist ein
/-Eucryptit äußerst geringer Wärmeausdehnung, d. h. ein /2-Eucryptit eines durchschnittlichen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten
von —123±5 χ 10~7 cm/cm/"C (O bis 300°C). Dieser /?-Eucryptit und das Verfahren
zu seiner Herstellung sind in der deutschen Patentanmeldung Aktenzeichen P ... (Anwaltsakte: 33 309) der
Anmelderin beschrieben.
Allgemein sollte der Glasmatrix eine ausreichende Menge des/5"-Eucryptits extrem niedriger Wärmeausdehnung
zugegeben werden, so daß Glasmatrix und Füllstoff zusammen die erforderliche Wärmeausdehnungskoeffizienten-Anpassung,
Fließeigenschaften und dergleichen geben, und gleichzeitig eine starke, hermetisch dichte
und feuchtigkeitsbeständige Abdichtung gewährleistet ist.
Erfindungsgemäß sind dies 8 bis 12 Gew.-% ^-Eucryptit, Rest auf 100 Gew.-% Blei-Borat-Glas. Bei einer
besonders bevorzugten Ausführungsform liegt das/?-Eucryptit in einer Menge im Bereich von 9 bis 11% vor.
Die Verschmelzglas-Zusammensetzungen liegen in Pulverform vor und werden durch Vermischen fein zerteilter
Partikel von/-Eucryptit und Grundlötglas erhalten, wobei die Partikelgröße der Bestandteile kleiner als
150 μΐη ist. Besonders günstig ist, wenn etwa 50 Gew.-% aller Partikel kleiner als 44 μηι sind, aber weniger als
5 Gew.-% kleiner als 5 μΐη. Zu besten Ergebnissen führt insbesondere beim Verschmelzen von Aluminiumoxid-Keramik,
wenn wenigstens die Grundglaspartikel und vorzugsweise die /?-Eucryptit-Partikel so fein gemahlen
sind, daß 65 bis 70 Gew.-% kleiner als 37,5 μίτι aber weniger als 3,0 Gew.-% kleiner als 3 μιτι sind. Die
erforderlichen Partikelgrößen werden nach den bekannten Frittungs- und Mahlmethoden erhalten.
Die Verschmelzmaterial-Zusammensetzungen können nach irgendeiner der üblichen Techniken gemischt and
auf die Substrate aufgebracht werden. Beispiele für das Aufbringen sind Sprühen, Siebdrucken und pyrolisierbare
Streifen. Um die Zusammensetzungen in versprühbare Aufschlämmungen überzuführen, müssen sie in einem
flüssigen organischen Medium, wie Alkohol oder eine l'/2%ige Nitrocelluloselösung in Amylacetat, auf eine
versprühbare Viskosität gebracht werden. Zur Bildung einer Paste kann irgendein organischer pastenförmiger
Träger benutzt werden, übliche Bänder können ebenfalls eingesetzt werden. Wenn das Material aufgebracht ist,
wird es getrocknet und/oder nach den bekannten Techniken erhitzt um den Träger wegzubrennen, und dann
unter Bildung einer Abdichtung (Verschmelzung) gebrannt. Ein besonders bevorzugter Heizzyklus zur Bildung
einer Verschmelzung ist: eine Aufheizgeschwindigkeit von 50 bis 100°C/Min., ein Halt bei der Höchsttemperatur
wie angegeben und eine Abkühlgeschwindigkeit von 50 bis 60°C/Min. Ein solcher Heizzyklus stellt gewöhnlich
eine Abdichtung hoher Qualität sicher und während des Kühlens wird eine angemessene Minimierung der
Die folgenden Beispiele dienen zur Veranschaulichung der Erfindung, stellen aber keine Begrenzung dar.
Es wurde ein Grundglas aus den nachstehend aufgeführten Bestandteilen hergestellt, um ein Blei-Borat-Glas
zu erhalten, das die Komponenten, ausgedrückt in Gewichtsprozent der Oxide, bezogen auf die Gesamtzusammensetzung,
enthielt:
| Gew.-% | |
| PbO | 83,0 |
| B2O3 | 12,0 |
| Bi2O3 | 3,0 |
| ZnO | 1,0 |
| SiO2 | 0,5 |
| BaO | 0,5 |
Die rohen Glassatzbestandteile waren rotes Bleioxid, wasserfreie Borsäure, Wismutnitrat, Zinkoxid, Sand und is j
Bariumoxid. Sie wurden in einem Platintiegel bei 927° C in Luftatmosphäre eineinhalb Stunden geschmolzen. '■'
Nach dem Abkühlen wurde das Glas gefrittet und zu einer Partikelgröße gemahlen, das mehr als 70 Gew.-%
kleiner als 373 μπι waren.
Dieses Pulver wurde dann mit 11 Gew.-°/o des/?-Eucryptits extrem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten
unter Bildung des Verschmelzmaterials vermischt. Die gemischte Zusammensetzung sowie die Glasmatrix
wurden dann dem Block-Fließ-Test unterworfen, wie nachstehend beschrieben. 10 Gramm des Pulver werden
genommen und zu einem 1,91 cm Block gepreßt, der danach 30 Minuten auf verschiedene Temperaturen erhitzt
wird. Der Block-Fließ-Test ist in der einschlägigen Technik bekannt und stellt in der Industrie einen Standardtest
zur Bewertung der Fließeigenschaften dar.
Die Ergebnisse der Block-Fließ-Teste sind nachstehend aufgeführt:
Physikalische Eigenschaften des Grundglases
Fließwert/Durchmesser des Blocks bei 380°C/30 Min. 2,74 cm
Differential-Thermal-Analyse-Erweichungstemperatur 345°C 30 f
Gradienten-Test (30 Min.): ί
Sinterrand 3350C
Kristallisationsrand 419° C
Wiedereinschmelzrand 444° C ,
35 Physikalische Eigenschaften des Gemisches
Füllstoff:/?-Eucryptit 11 Gew.-%
Fließwert-Durchmesser des Blocks
bei380°C/30Min. 2,04 cm
bei 400°C/30 Min. 2.789 cm
Stabbeanspruchung (Kompression im Lötglas)
gegen Stabglas A3004 (alpha = 84 χ 10~7):
gegen Stabglas A3004 (alpha = 84 χ 10~7):
380°C/30Min. 17.15MPa
400° C/30 Min. 14,35MPa
Das Pulvergemisch wurde dann zu einer Druckpaste durch Vermischen mit einem organischen Träger,
bestehend aus einem organischen Binder und einem flüssigen Lösungsmittel dafür, verarbeitet. Dieses sind
bekannte Materialien und es können irgendwelche geeignete Substanzen für diesen Zweck verwendet werden.
In der Paste ist beispielsweise das Gewichtsverhältnis von Pulver zu Träger 6,5 :1. Die resultierende Paste
wurde dann auf eine Grundfläche und auf einen Aufsatz aus Aluminiumoxid unter Anwendung von Standardtechniken
unter Verwendung eines Siebes von 175 μπι Maschenweite siebgedruckt.
Die aufgedruckten Überzüge wurden tür kurze Zeit auf eine Temperatur unter 300° C erhitzt um das organische
Lösungsmittel zu entfernen, und danach bei 360°C für wenige Minuten eingebrannt, um den Vorgang des
Glasierens zu vervollständigen.
Das Grundteil des Aluminiumoxidgehäuses, das glasiert worden ist, wurde mit üblichen Rahmen aus metallischem
Blei versehen. Das glasierte Aufsatzteil des Gehäuses wurde daraufgesetzt, um eine Schichtkonstruktion
zu bilden. Das zusammengefügte Gehäuse wurde mit einer Geschwindigkeit von 50 bis 100°C/Min. auf eine
Höchsttemperatur von 400 bis 420°C erhitzt und 6 bis 10 Minuten bei dieser Temperatur gehalten, um die
Abdichtung zu bilden. Das Gehäuse wurde dann durch Abkühlen auf Raumtemperatur mit einer Geschwindigkeit
von bis zu 60°C/Min. vervollständigt
In der nachstehenden Tabelle sind Zusammensetzungen aufgeführt, die repräsentativ für die Blei-Borat-Gläser
sind, die als Grundglas zur Vermischung mit dem /?-Eucryptit extrem niedriger Wärmeausdehnung geeignet
sind, um die Verschmelzmaterial-Zusammensetzungen nach der Erfindung zu erzeugen.
12
13
14
15
16
PbO
B2O3
Bi2O3
AI2O3
SiO2
B2O3
Bi2O3
AI2O3
SiO2
ίο ZnO
BaO
TeO2
As2O5
BaO
TeO2
As2O5
83.7 82,4 81,9 83,5 84 84 81,5 82 83 83 83 83,2 83,0 84,1 81,5 81,93
12.8 12,6 12,6 12 11,5 11 12,5 12,5 12,5 12,5 12,5 12,4 12 12,9 12,5 12,57
0,5
0,5
| 3 | 3 | 3 | 4 | 4 | 3 |
| υ,5 | 0,5 | 0,5 | 0,5 | ||
| 0,5 | 0,5 | 1 | 1 | 0,5 | 0,5 |
| 0,5 | 0,5 | 0,5 | 0,5 | 0,5 | |
| 0,5 | 0,5 | 0.5 |
3,2
0,5 1
0,5
| 0,5 | 0,5 |
| 0,4 | 1 |
| 0,3 | 0,5 |
0,5 2
Es wurde eine Anzahl von Mischungen aus dem vorstehend beschriebenen Grundglas und dem ^-Eucryptit
extrem niedriger Wärmeausdehnung (BE) hergestellt und die resultierenden Verschmelzmaterial-Zusammensetzungen
nach dem Block-Fließ-Test und dem Stab-Belastungstest bewertet. Die bei diesen Testen erhaltenen
Werte zeigen, daß die Zusammensetzungen sehr zweckmäßig sind, die einen Block-Fließ-Wert von 2,032 cm und
darüber bei 4000C und 30 Minuten und einen Stabbelastungswert von mindestens 12,5 MPa Kompression (C) bei
400°C und 30 Minuten haben.
Verschmelzglaszusammensetzungen (Bewertung)
| Grundglas | 3 |
| Menge/BE | 10% |
| Fließwert (cm) | |
| 380°C, 30 Min. | 2,220 |
| 400°C, 30 Min. | 2,929 |
| Stabbelastung (M Pa) | |
| 380°C, 30 Min. | 12,61 |
| 400°C, 30 Min. |
12%
16,968 C 16,975
12%
2,522
3,345
12%
2,451
18,375 16,975
8%
2,339 10,85OC
10%
2,278 13,083 C
Tabelle III Verschmelzglaszusammensetzungen
3 V1) 4V
5V
6V
7 V
Grundglas Füllstoffmenge
Fließwert (cm) 38O0C, 30 Min.
400°C, 30 Min.
Stabbeanspruchung 380° C, 30 Min.
400°C, 30 Min.
10% BE (mit Ton hergestellt)
2,212
10,01OC
11% BE
2,253 2,639
15,715 C 11,991 C
3
37.6*·)
37.6*·)
1,933
2,276
2,276
3 3 3
11,6%*) 5,8% BE® 5,5% BE 5,5% BE®
18,8% 5,3%*·) 5,8%
Cordierit
2,129
2,136
2,243 2,649
2,164 2,408
3,899 T 6,846 T 4,97OT 9,415 C 7,007 C
*) gewöhnlicher/f-Eucryptit, nach Keramik-Verfahren hergestellt
*·) Bleititanat
Tabelle III (Fortsetzung)
8V
10
12
13
Grundglas Füllstoffmenge
Fließwert (cm) 380° C, 30 Min.
4000C, 30 Min.
Stabbeanspruchung 380° C, 30 Min.
400° C, 30 Min.
11,6% Cordierit
1,948
12% BE
1,948
10% BE
2,070 2,791
10,031 T 19,67OC 12,95OC
| 9 11% BE |
11 11% BE |
9 9,2 BE® 9,2% Bleititanat |
| 2,040 2,789 |
1,918 2,563 |
2,510 |
| 17,143 C 14392 C |
16,541 C 14,511 C |
18,361 C |
') Die mit V gekennzeichneten Beispiele sind Vergleichsbeispiele
Bei manchen Anwendungen ist es erwünscht. Färbemittel in die Verschmelzmaterial-Zusammensetzungen
einzuarbeiten, wie in der einschlägigen Technik bekannt. Die erfindungsgemäßen Verschmelzmaterial-Zusammensetzungen
eignen sich zum Vermischen mit üblichen Färbemitteln in gebräuchlichen Mengen.
Keramiken, die mit den Verschmelzmaterial-Zusammensetzungen nach der Erfindung verschmolzen sind,
haben eine bessere Säurebeständigkeit wie weiter oben schon erwähnt. Um diese Eigenschaft zu testen, wurden
folgende Bewertungstests durchgeführt. Aluminiurnoxid-Keramikteile wurden mit den Verschmelzmaterial-Zusammensetzungen
nach der Erfindung unter Anwendung des bekannten Siebdruck- und Einbrenn-Verfahrens
überglast. Die überglasten Teile wurden nach dem gleichen Temperaturprofil eingebrannt, das beim Verschmelzen
von elektronischen Miniaturbaustein-Gehäusen angewandt wird. Die überglasten Teile wurden in Wasser
gewaschen und gescheuert, in Aceton gespült und bei 110°C getrocknet. Die einzelnen Proben wurden in saure
Lösung getaucht. Nach dem Test wurden die Proben wieder gespült, gereinigt und getrocknet, bevor sie
gewogen wurden, um Änderungen im Gewicht festzustellen. Die Eigenschaften des Verschmelzglases nach der
Erfindung im Vergleich zu einem bekannten Glas werden nachstehend gezeigt:
15
Glas nach der Typisches Glas Erfindung des Handels
50% H2SO4/Wasser 0,88 8,6
95° C, IStd.
50% H2SO4 + 1,50 2,37
25% HNCVWasser
25°C, 5 Min.
40% H2SO4/Wasser 0,2 3,6
700C, 1 Std.
6,3% HNO3/Wasser 58,3 78,5
25°C, 5 Min.
Zusätzlich zu dem Unterschied im Gewichtsverlust, den die Gehäuse, die mit den Verschmelzmaterial-Zusammensetzungen
nach der Erfindung verschmolzen worden sind, zeigten diese Verschmelzgläser keinen weißen
Rückstand von unlöslichem Sulfat, während bei allen anderen Gläsern, die ebenso getestet worden sind, Sulfatniederschläge
erzeugt wurden.
Wenn gewünscht, können die Eigenschaften der Verschmelzgläser nach der Erfindung durch Ersetzen eines
Teils des /?-Eucryptits durch einen anderen Füllstoff weiter abgewandelt werden. Cordierit und Bleititanat
können deshalb als Sekundärfüllstoffe zugefügt werden. Tertiäre Füllstoffe können auch in kleinen Mengen
zugegeben werden um das Verschmelzglas nach der Erfindung weiter zu modifizieren. Materialien wie Sand und
Zirkon können wegen ihres zu erwartenden Effekts in kleinen Mengen, gewöhnlich nicht mehr als 3 bis 4
Gew.-%, bezogen auf die Gesamtzusammensetzung, eingearbeitet werden.
Claims (1)
1. Verschmelzmaterial-Zusammensetzung bestehend aus einem Gemisch aus einem pulverisierten Wismutoxid
enthaltenden Blei-Borat-Glas und kristallinem^-Eucryptit, dadurch gekennzeichnet, daß
das Blei-Borat-Glas ein entglasungsfestes Glas ist und folgende Zusammensetzung, in Gewichtsprozent, hat:
78-90% PbO,2-5% Bi2O3,8-16% B2O3,
0-1 % SiO2,0-2,0% ZnO, 0-1 % BaO,
0-1 % Al2O3,0-4% TeO2 und 0-2% As2O3;
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19823239039 DE3239039C2 (de) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | Verschmelzmaterial-Zusammensetzung aus einem Bleiboratglas und β-Eucryptit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19823239039 DE3239039C2 (de) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | Verschmelzmaterial-Zusammensetzung aus einem Bleiboratglas und β-Eucryptit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3239039A1 DE3239039A1 (de) | 1984-04-26 |
| DE3239039C2 true DE3239039C2 (de) | 1986-10-16 |
Family
ID=6176275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19823239039 Expired DE3239039C2 (de) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | Verschmelzmaterial-Zusammensetzung aus einem Bleiboratglas und β-Eucryptit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE3239039C2 (de) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4017968A1 (de) * | 1990-06-05 | 1991-12-12 | Heraeus Sensor Gmbh | Temperatur-sensor mit einer in einem metallmantel angeordneten mineralisolierten zuleitung |
-
1982
- 1982-10-22 DE DE19823239039 patent/DE3239039C2/de not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3239039A1 (de) | 1984-04-26 |
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