DE2130389B2 - Vorrichtung zum Messen verschiedener Kennwerte elektrischer Bauelemente - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Messen verschiedener Kennwerte elektrischer Bauelemente, zu deren Messung unterschiedlich lange Meßzeiten benötigt werden.

Beispielsweise für die Messung dynamischer Kennwerte werden längere Meßzeiten als zur Feststellung eier statischen Kennwerte benötigt. Bei den bisher be" kanntgewordenen Meßautomaten richtet sich die Taktzeit des Automaten, wenn Meßwerte mit unterschiedlich langer Meßzeit ermittelt werden mußten, nach der längsten vorkommenden Meß^eii.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Meßvorrichtung anzugeben, bei der sich die Taktzeit, d. h. die Zeit, die jeweils zwischen dem Ausstoß zweier aufeinanderfolgender Bauelemente vergeht, nach der kürzesten Meßzeit richtet.

Aus der deutschen Auslegeschrift 1 237 205 isl dagegen eine Prüfvorrichtung bekannt, mit der größere Meßeinheiten überprüft werden sollen, wobei diese Prüfeinheiten eine Vielzahl von Funktionsweisen aufweisen. Das zu prüfende Gerät wird an die programmgesteuerte Elektronik angeschlossen und nun werden nacheinander die verschiedensten Meßgrößen abgefragt. An die Prüfeinheit kann das nächste Meßgerät erst dann angeschlossen v.erden, wenn das gesamte Meßprogramm beendet ist. Die Meß- oder die Taktzeit bestimmt sich somit bei der bekannten Vorrichtung aus der Summe aller Einzelmeßzeiten.

Tn der deutschen Offenlegungsschrift 1591868 wird eine Vorrichtung zur Messung von Widerständen beschrieben, bei der die Widerstände nur an einer einzigen Meßposition elektrisch erfaßt werden. Hierbei wird ein Datenspeicher für den elektrischen Kennwert des gemessenen Bauelementes eingesetzt, um nach diesem Speicherwert eine entsprechende Aussortierung des gemessenen Bauelementes vornehmen zu können.

Zur Lösung der genannten Aufgabe ist erfindungsgemäC vorgesehen, daß Einzelmeßköpfe für die Messung der Kennwerte mit der kürzesten Meßzeit vorgesehen sind, daß ferner für die Messung der Kennwerte mit längerer Meßzeit zumindest ein Mehrfachmeßkopf vorgesehen ist, wobei die Tsktzeit des Mehrfachmeßkopfes ein ganzzahliges Vielfaches der Taktzeit der Einzelmeßköpfe ist und dieses Vielfache der Anzahl der im Mehrfachmeßkopf gleichzeitig meßbaren Bauelemente entspricht, und daß zumindest zwischen dem Mehrfachmeßkopf und den Einzelmeßköpfen ein Zwischenspeicher für die zwischenzeitliche Aufnahme der elektrischen Bauelemente vorgesehen ist. Hierbei handelt es sich um einen mechanischen Zwischenspeicher, der in der Lage ist, Bauelemente zwischen verschiedenen Meßpositionen aufzunehmen.

Die Taktzeit des jeweiligen Meßkopfes setzt sich bei der vorliegenden Erfindung aus der reinen Meßzeit in diesem Meßkopf, der Kontaktierungs- und der Entkontaktierungszeit und der hinzuaddierten Trans-Dortzeit aus einem vorangehenden Meßkopf oder einem Zwischenspeicher in diesem Meßkopf zusammen.

Unter Mehrfachmeßkopf ist dabei eine Anordnung zu verstehen, die sich aus einer Anzahl von Meßaufnahmen und zugehörigen Meßfassungen zusammensetzt, wobei gleichzeitig an allen im Mehrfachmeßkopf befindlichen Bauelementen der gleiche elektrische Meßwert ermittelt wird. In einem Einzelmeßkopf kann jeweils nur ein Bauelement gemessen werden.

Die vorliegende Erfindung findet bevorzugte Anwendung bei einem völlig neuartigen Fallschachtautomat, bei dem die zu messenden Bauelemente senkrecht von einer Meßpositnn zur nächsttieferen Meßposition fallen. Alle Meßköpfe sind dann senkrecht übereinander angeordnet.

Daneben kann die erfindungsgemäße Vorrichtung auch als Meßautomat mit r'nlaufenden Bauelementen ausgebildet sein.

Bei diesen Automaten werden die Bauelemente in der horizontalen Ebene von einer Meßposition zur nachfolgenden Position bzw. in ein Zwischenmagazin tr :nsportiert.

Bei einer komplexen Vorrichtung, bei der verschiedene Meßköpfe mit einer unterschiedlichen Anzahl von Meßaufnahmen verwendet werden müssen, werden die unterschiedlichen Meßköpfe vorzugsweise so gewählt, daß jeder Meßkopf die doppelte Anzahl an Bauelementen wie der nächstkleinere Meßkopf aufnehmen kann, wobei dann die Taktzeit des größeren Meßkopfes gleichfalls doppelt so groß ist, wie in dem nächstkleineren Meßkopf. Die Anzahl der Meßaufnahmen in den Meßköpfen nimmt somit in geometrischer Reihe zu, wenn sich die Gesamttaktzeit des Automaten nach der kleinsten benötigten Meßzeit richten soll. In der Praxis wird es daher Automaten mit 1-2-4-Sfach-Meßköpfen, 1-4-Sfach-Meßköpfen, 1-3-öfach-Meßköpfen usf. geben. Jeder Meßkopf, also auch ein Doppel- oder Mehrfachmeßkopf, kann selbstverständlich in einem Automaten mehrfach vertreten sein. Ein kleinerer Meßkopf wird, bezogen auf die Durchlaufrichtung der Bauelemente, vorzugsweise einem größeren Meßkopf nachgeordnet, so daß am Durchlaufende des Meßautomaten in der Regel die Einzelmeßköpfe angeordnet sind.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung führt zu jeder Meßposition ein Einfallschacht und von jeder Meßposition ins Zwischenmagazin ein Ausfallschacht. Einfallschacht und Ausfallschacht sind gegeneinander versetzt, so daß Störungen, die beispielsweise durch das Aufprellen der Bauelemente bzw. der Bauelemententräger in der nächstfolgenden Meßposition auftreten könnten, mit Sicherheit vermieden werden.

Es werden außerdem keine gesteuerten, sondern nur feste Anschläge benötigt, die jeweils am unteren Ende eines Einfall- bzw. Ausfallschachtes angeordnet sind.

Der Zwischenspeicher ist so ausgebildet, daß er die Anzahl der im davor angeordneten Mehrfachmeßköpfe gleichzeitig gemessenen Bauelemente aufnehmen kann. Die erfindungsgemäße Vorrichtung eignet sich besonders zur Messung von Halbleiterbauelementen, bei denen sowohl die statischen als auch die dynamischen Meßwerte festgehalten werden sollen. Die Vorrichtung ist insbesondere für die Messung von Transistoren, Dioden und Doppeldioden in

Kleingehäusen geeignet, wobei die Bauelemente ein- gen des elektrischen Bauelementes und als Gegen-

zeln in Magazin-Trägerkörpern derart gefaßt sind, stück eine Meßfassung mit Kontaktstücken für die

daß die Anschlußzuleitungen der Bauelemente frei- Kontaktierung der Elektrodenzuleitungen vorgese-

liegen, um bei der Messung jegliche, durch fremdes hen. Ferner besitzt der Automat eine motorgetrie-

Material verursachte Störungen auszuschließen. Bei 5 bene Steuerwelle, die Hubkurven 15 antreibt. Eine

diesen Bauelementen steht dann nur der Gehäuse- solche Hubkurve, die eine mit Erhebungen versehene

kopf des Bauelementes mit dem Magazin-Trägerkör- Randlinie aufweist, ist jedem Meßkopf zugeordnet,

per in mechanischer Verbindung. Diese Hubkurve 15 steuert über Lenker 16 und

Die erfindungsgemäße Vorrichtung, ihre Funk- Kipphebel 17 das Zusammenfügen und Lösen von

tionsweise und ihre weitere vorteilhafte Auseestal- io Meßaufnahme und Meßfassung und damit den Kon-

tung soll im weiteren an Hand eines Ausführungs- taktierungs- bzw. Entkontaktierungsvorgang. Die

beispieles näher erläutert werden. Ausbildung der Hubkurve bestimmt somit die Takt-

Die F i g. 1 zeigt in einer perspektivischen Ansicht zeit des ihr zugeordneten Meßkopfes. In der F ί g. 1 den gesamten Automaten mit Ausnahme der elektri- ist für jede Meßaufnahme 10 eine gesonderte Hübschen Auswert- und Speichereinheiten. 15 kurve 15 vorgesehen. Bei Doppelmeßköpfen reicht

Aus der Fig.2 ergibt sich die räumliche Anord- jedoch, wie bereits angedeutet wurde, für beide im

nung eines Doppelmeßkopfes, eines Zwischenspei- Meßkopf zusammengefaßten Meßaufnahmen eine

chers und eines Einzelmeßkopfes. Hubkurve aus, da ja beide zu messenden Bauele-

An Hand der F i g. 3 wird mittels Diagrammen der mente gleichzeitig kontaktiert und wieder entkontak-

zeitliche Meßablauf erläutert. ao tiert werden müssen. An das untere Ende des Meß-

Die F i g. 4 zeigt in einer perspektivischen Ansicht automaten ist eine Auswurf- und Sortiervorrichtung

eine Meßaufnahme für einen Magazin-Trägerkörper, 29 angeschlossen, mit deren Hilfe die Bauelemente

wobei die Außenwand der Meßaufnahme aus An- entsprechend der Auswertung der Meßergebnisse in

schaulichkeitsgründen teilweise durchsichtig gedacht einer angeschlossenen elektrischen Anlage in Sortitr-

ist. as fächer 28 ausgeworfen werden.

Die F i g. 5 zeigt einen Magazin-Trägerkörper im Der F i g. 2 läßt sich die räumliche Anordnung der

Detail. Meßköpfe besser entnehmen. Die F i g. 2 zeigt einen

Die Fig. 6 zeigt in einer Schnittdarstellung eine Doppelmeßkopf 2 mit 2 Meßaufnahmen 10. Jede Meliaufnahme und eine Meßfassung und den Steuer- Nicßauiiiähnie kann über die angeschlossenen Kippmechanismus für diese Teile. 30 hebel 17 in horizontaler Lage verschoben werden.

In der F i g. 1 ist der mechanische Teil des Meß- Über dem Doppelmeßkopf stehen zwei Magazinautomaten dargestellt. Es handelt sich hierbei um Trägerkörper 18, die je ein elektrisches Baueleeinen neuartigen Fallschachtautomat, bei dem die zu ment 3, beispielsweise einen Transistor mit drei Elekmessenden Bauelemente von Meßposition zu Meßpo- trodenzuleitungen enthalten. Diese beiden Trägersition fallen. Die Bauelemente, beispielsweise Transi- 35 körper fallen über den Einfallschacht 6 zwischen die stören, sind vorzugsweise in Magazin-Trägerkörpern Meßaufnahmen 10 und die Meßfassung mit ihren angeordnet. Diese bestückten Magazin-Trägerkörper Anschlußstücken 14. Dabei wird die Fallliefe durch werden beispielsweise in Schienen in horizontaler einen Anschlage begrenzt. Über die Kipphebel 17 Lage gestapelt. Die Schienen, aus denen die zu mcs- werden die Meßaufnahmen bei einer entsprechenden senden Bauelemente dann in den Automat 26 fallen, 40 Stellung der Hubkurven nach rechts verschoben, wosind vorzugsweise auf einer drehbaren Scheibe 27 auf bei die Trägerkörper gleichfalls so weit nach rechts der Oberseite des Meßautomaten befestigt. Jeweils geschoben werden, bis die Elektrodenzuleitungen der eine dieser Schienen ist über dem Einfallschacht 5 Bauelemente gegen die Kontaktstücke 14 gepreßt angeordnet. Dieser Einfallschacht ist so geformt, daß werden und die gegenüberliegenden Oberflächenseiin ihm die rahmenförmigen Magazin-Trägerkörper 45 ten der Elektrodenzuleitungen auf den mit Federn 53 von der horizontalen in die vertikale Lage überge- abgefederten Auflageflächen 11 der MeP~ufnahme führt werden, in der sie durch den Meßautomat von aufliegen. Da die Auflageflächen 11, die beispiels-Position zu Position fallen. weise aus Keramik bestehen, alle einzeln abgefedert

Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1 sind zwei sind, ist gewährleistet, daß alleElektrodenzuleitungen Doppelmeßköpfe 2 und 5 Einzelmeßköpfe 1 vorgese- 50 mit gleichem oder nahezu gleichem Anpreßdruck gehen. Die Meßköpfe können in Form von Einschüben gen die Kontaktstücke 14 gepreßt werden. Nachdem in den Automaten 26 eingesetzt werden, so daß die die Messung im Doppelmeßkopf beendet ist, geht die Zahl der Einfach- und Mehrfachmeßköpfe variabel Meßaufnahme wieder in die Ausgangslage zurück ist. In jedem Doppelmeßkopf wird ein elektrischer wobei die Magazin-Trägerkörper — über die Einfall-Kennwert an zwei Bauelementen gleichzeitig gemes- 55 position hinaus — über den Ausfallschacht 7 mitgezosen. Hierbei handelt es sich um Meßwerte, zu deren gen werden. Sind die Trägerkörper über dem AusFeststellung eine längere Meßzeit erforderlich ist. Bei fallschacht 7 angelangt, der gegen den Einfall-Transistoren wird hier beispielsweise die Rauschzahl schacht 6 seitlich versetzt ist, so fallen sie in den ermittelt. Hierzu ist beispielsweise eine Meßzeit von Zwischenspeicher 4, der an seinem unteren Ende 750 ms erforderlich, während zur Messung statischer 60 gleichfalls durch einen Anschlag 9 begrenzt ist.
Kennwerte nur eine reine Meßzeit von etwa 300 ms Die seitliche Versetzung der Ein- und Ausfallbenötigt wird. Zu den Meßzeiten addieren sich schächte hat den Vorteil, daß ein Verklemmen und selbstverständlich noch die Kontaktierungs- und die Überholen auf dem Fallwege der Trägerkörper im Entkontaktierungszeiten sowie die Fallzeiten hinzu, Meßautomaten praktisch ausgeschlossen '«st Durch um zu der benötigten Taktzeit zu gelangen. 65 Aufprellen der Trägerkörper können bei der erfin-In jedem Meßkopf ist für jedes zu messende Bau- dungsgemäßen Anordnung keine Störungen auf die in element eine verschiebbare Meßaufnahme mit abge- den Meßpositionen liegenden Trägerkörper übertrafederten Aufiageflächen für die Elektrodenzuieitun- gen werden. Außerdem kann durch die Zwischen-

speicher die in die Taktzeit eingehende Einfallzeit Meßzeit im Doppelmeßkopf etwa 700 bis 750 ms, der Bauelemente verkürzt werden, da nun nur noch während im Einzelmeßkopf eine Meßzeit von etwa aptimal kleine Fallwege vorkommen. Aus dem zu- 300 bis 350 ms benötigt wird. Hinzu kommen noch letzt angegebenen Grund werden auch zwischen die die Zeiten für die Kontaktierung und Entkontaktie-Einzelmeßköpfe Zwischenspeicher eingeschoben. 5 rung der Bauelemente in den Meßfassungen und die

Ar: der Unterseite des verschiebbaren Teils der Fallzeiten. Hieraus ergibt sich eine kleinstmögliche Meßaurnahme ist ein Schieber 24 befestigt, der beim Gesamttaktzeit des Automaten von etwa 500 ms. Die nächsten Kontaktierungsvorgang im Doppelmeßkopf Taktzeit eines Einzelmeßkopfes beträgt somit, wenn die beiden im Zwischenspeicher befindlichen Bauele- die Einfall- und Ausfallzeiten mitberücksichtigt wermente über den Einfallschacht des nachfolgenden io den, 500 ms, und der Doppelmeßkopf etwa 1 see. Einzelmeßkopfes 1 schiebt, so daß das erste Bauele- Damit verläßt alle 500 ms ein gemessenes Bauelement dann in die Meßaufnahme des Einzelmeßkop- ment den Automaten, obgleich allein zur Messung fes nachfallen kann, wenn das dort gerade kontak- eines Kennwertes 750 ms reine Meßzeit benötigt tierte Element nach Abschluß des Meßvorgauge* werden.

durch den Ausfallschacht den Einzelmeßkopf verlas- 15 In der F i g. 4 ist ein Magazin-Trägerkörper 18 sen hat. Da die Taktzeit des Einzelmeßkopfes nur die kurz vor dem Einfall in die Meßaufnahme darge-Hälfte der Taktzeit des Doppelmeßkopfes beträgt, ist stellt. Die elektrischen Bauelemente; in der F i g. 4 ist der Zwischenspeicher wieder geräumt, wenn die es ein Transistor, sind in je einem Magazin-Trägernächsten beiden Bauelemente aus dem Doppelmeß- körper kraftschlüssig gehaltert. Die Seitenränder des kopf nachfallen. Der Meßablauf wird aus den Dia- 20 Magazin-Trägerkörpers 18 weisen, wie sich besongrammen der F i g. 3 besonders deutlich, bei denen ders deutlich aus der F i g. 5 ergibt, Führungen 19 die örtlichen Lagezustände über der Zeit aufgetragen auf, die mit entsprechenden Führungen 20 (F i g. 4) sind. der Meßaufnahme 10 korrespondieren.

Die beiden Diagramme unter α deuten die Lage Der Magazin-Trägerkörper ist rahmenförmig aus-

zweier Magazinträgerkörper E₁ und E₂ im Vorrats- as gebildet. Im Hohlrahmen sind zwei Spannbacken 49 bereich V an. Die örtlichen Lagen sind mit 30 und 31 und 50 (F i g. 5) angeordnet, von denen der eine fest bezeichnet. Sobald der Einfallschacht über dem Dop- und der andere beweglich ausgebildet ist. Zwischen peluießkopf DM freigegeben wird, fallen die beiden diese beiden Spannbacken, die mittels einer Feder 51 Trägerkörper entsprechend den angedeutetenJKurven zusammengepreßt werden, wird der Gehäusekopf 25 32 und 33 in die beiden Meßaufnahmen des Doppei- 30 des zu messenden elektrischen Bauelementes cingcmeßkopfes. Die Kurven 32 und 33 sind wieder an klemmt. Die Elektrodenzuleitungen 12, die beispielsden Anfang der Diagramme b und c gesetzt, um eine weise die Form von flachen Bändern aufweisen, sind Fortführung des räumlich-zeitlichen Meßvorganges von zwei einander gegenüberliegenden Seiten frei zuin anschaulicher Form darstellen zu können. In den gänglich. Somit ist eine Beeinflussung der gemesse-Positionen 34 und 35 werden die beiden kontaktier- 35 nen elektrischen Kennwerte von Magazinteilen austen Bauelemente während einer Zeit von beispieh- geschlossen. Bei der Kontaktierung werden die Elekweise 750 ms gemessen. Diese Zeit wird beispiels- trodenzuleitungen zwischen die Andruckstücke 11, weise benötigt, um die Rauschzahl bei Transistoren die aus isolierendem Material bestehen, und die Konzu ermitteln. Die angedeuteten Anstiegs- und Ab- taktstücke 14 der Meßfassung gepreßt. Stiegsflanken zu Beginn und am Ende der Meßzeit 40 Gemäß Fig.4 fällt der Magazin-Trägerkörper deuten die Kontaktierungs- und Entkontaktierungs- zwischen die Meßaufnahme 10 und die Meßfassung zeiten an. Nach der Messung im Doppelmeßkopf mit ihren Kontaktstücken 14, wobei der Trägerkörwerden die beiden Elemente E₁ und E₂ über den Zwi- per vom Anschlag 8 abgefangen wird. Der Trägerschenspeicher gezogen. Der Fall in den Zwischen- körper kommt dabei vor die Mitnehmerklinke 23 der speicher ZM ist mit den Kurven 36 und 37 angedeu- 45 beiden ausschwenkbaren Seitenbacken 21 und 22 der tet worden. Die Diagramme d und e geben die Beset- Meßaufnahme in den Raum 55 zu liegen. Die räumzung des Zwischenspeichers an. Zunächst liegt wäh- liehe Lage des Trägerkörpers in diesem Stadium ist rend einer Taktzeit des Automaten in beiden Positio- in der herausgezeichneten gestrichelten Prinzipdarnen des Zwischenspeichers je ein Trägerkörper, wie stellung der F i g. 4 a mit 46 bezeichnet. Diese Lage mit den Ziffern 38 und 40 angedeutet wurde. Dann 50 entspricht somit auch der geometrischen Lage des fällt nach einer Taktzeit, nach der der nachfolgende Einfallschachtes in den Meßkopf. Der Meßkopf wird Einzelmeßkopf geräumt wurde, das erste Element E₂ danach über den Kipphebel 17 (F i g. 6) in die Konentsprechend der Kurve 43 in den Einzelmeßkopf taktierungsstellung gebracht. Dabei wird die Meßauf- und bleibt dort während der Meßzeit 42. Das EIe- nähme 10 auf die fest angeordnete Meßfassung 13 ment E₁ ist zugleich um eine Stufe im Zwischenspei- 55 (Fig. 6) mit den Kontaktstücken 14 zubewegt, eher heruntergefallen und liegt nun in der Position Die Andruckstücke 45 der Meßaufnahme schieben

39 unmittelbar über dem Einzelmeßkopf. Wenn das den Magazin-Trägerkörper in die Position 47 (gestri-Element E₂ aus der Ebene des Diagramms /, in der chelte Darstellung F i g. 4 a), in der gemessen wird, gemessen wird, entsprechend der Kurve 44 in den Zugleich rutscht der Trägerkörper über die Mitnehnächstfolgenden Zwischenspeicher ZM (Diagramm g) 60 merklinken 23 der nach außen ausweichenden Seigefallen ist, kann das Element E₁ entsprechend der tenbacken 21 und 22 in den Raum 20. Die beiden Kurve 41 in den Einzelmeßkopf nachrutschen und Seitenbacken 21 und 22 werden durch eine Feder 54 befindet sich dort während der Meßzeit in der Posi- (F i g. 6) zusammengehalten, die zugleich das seittion 42. Wenn das Element E₁ in den Einzelmeßkopf liehe Ausweichen dieser Backen gestattet. Im Konfällt, wird der Zwischenspeicher ZM, der auf den 65 taktierungszustand, der auch in der F i g. 6 dargestellt Doppelmeßkopf folgt, gleichzeitig wieder aus dem ist, liegen die Elektrodenzuleitungen 12 fest auf den Doppelmeßkopf nachgefüllt (36, 37, 38, 40). einzeln abgefederten Andruckstücken 11 und mit der

Wie aus der F i g. 3 ersichtlich ist, beträgt die reine gegenüberliegenden Oberfläche auf den festen Kon-

taktstücken 14, die mit den elektrischen Meßgeräten verbunden sind, auf.

Bei der Entkontaktierung geht der Kipphebel 17 zurück und zieht die Meßaufnahme wieder in die Ausgangsstellung. Dabei sorgen die Mitnehmerklinken 23 dafür, daß der Trügerkörper über die Ausgangslage (46) hinaus über den Ausfallschacht gezogen wird. Die Auswurflage ist in der gestrichelten Prinzipdarstellung der F i g. 4 a mit der Ziffer 48 bezeichnet und stimmt mit der räumlichen Lage des Ausfallsch.ichtes überein. Die Prinzipdarstellung der F i g. 4 a zeigt sehr deutlich die drei verschiedenen Lagen 46, 47 und 48, die das Bauelement bzw. der Magazin- Trägerkörper beim Einwurf in den Meßkopf, bei der Kontaktierung und beim Auswurf einnimmt.

In der F i g. 4 ist auch der Schieber 24 erkennbar, der an der Unterseite des beweglichen Teiles der Meßaufnahme 10 befestigt ist. Mit diesem Schieber wird der Magazin-Trägerkörper aus dem Zwischenspeicher beim nächsten Kontaktierungsvorgang des Meßkopfes über den Einfallschacht des nächsten Meßkopfes geschoben.

Aus der F i g. 6 ergibt sich besonders deutlich die Lage des Magazin-Trägerkörpers 18 in der Kontaktierungsstellung. Bei einer entsprechenden Lage der Hubkurve kann der Lenker 16 wieder nach unten ausweichen und der Kipphebel 17 wird mit Hilfe der Feder 56 in seine Ausgangsstellung zurückgeholt, wobei er den angeschlossenen beweglichen Teil der Meßaufnahme in die Entkontaktierungsstellung bzw. Auswurfstellung mitnimmt. In der F i g. 6 ist gestrichelt die Lage eingetragen, die der Trägerkörper 18 nach der Entkontaktierung einnimmt. In dieser Lage fällt der Trägerkörper nach unten weg in den Zwischenspeicher. Die Meßaufnahme ist in einem festen Teil 53 mechanisch gehaltert.

Die Meßfassung besteht im wesentlichen aus einem Isolierstoffplättchen mit Zentrierbacken 57, die die Seitenränder des Gehäusekopfes des zu messenden Bauelementes erfassen und in die richtige Lage gegenüber der Meßaufnahme bringen. Durch das Isolierstoffplättchen sind isoliert voneinander die

ίο drei Kontaktstücke 14 geführt. Die Zahl der Kontaktstücke ist selbstverständlich von der Art der zu messenden Bauelemente abhängig. Sie kann bei Einzeldioden auf zwei reduziert und bei Mehrfachdioden oder bei anderen elektrischen Bauelementen je nach Bedarf vergrößert werden.

Die erfindungsgemäße Meßvorrichtung kann auch zur Messung von Bauelementen verwendet werden, die nicht in Magazin-Trägerkörpern untergebracht sind. In diesem Fall wird die Vorrichtung mit ent-

ao sprechenden Führungen den jeweiligen Bedürfnissen angepaßt. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zeichnet sich durch extrem kurze Taktzeiten aus und ermöglicht die Messung einer optimalen Zahl von elektrischen Bauelementen in der Zeiteinheit. Durch die

»5 Verknüpfung der kombinierten Mehrfach- und Einzelmeßköpfe mit dem völlig neuartigen Fallschachtprinzip konnten Transportmechanismen eingespart und die zwischen einzelnen Meßvorgängen benötigten Transportzeiten extrem klein gehalten werden.

Durch die gegeneinander versetzten Einfall- und Ausfallschächte wurde die Anlage störungssicher gemacht. Die erfindungsgemäße Meßvorrichtung zeichnet sich somit durch Wirtschaftlichkeit und einfache Bauweise aus.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (17)

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zum Messen verschiedener Kennwerte elektrischer Bauelemente, zu deren Messung unterschiedlich lange MeP^eiten benötigt werden, dadurch gekennzeichnet, daß Einzelmeßköpfe (1) für die Messung der Kennwerte mit der kürzesten Meßzeit vorgesehen sind, daß ferner für die Messung der Kennwerte mit längerer Meßzeit zumindest ein Mehrfachmeßkopf (2) vorgesehen ist, wobei die Taktzeit des Mehrfachmeßkopfes ein ganzzahliges Vielfaches der Taktzeit der Einzelmeßköpfe "ist und dieses Vielfache der Anzahl der im 'Mehrfachmeßkopf gleichzeitig meßbaren Bauelemente entspricht, und daß zumindest zwischen dem Mehrfachmeßkopf und den Einzelmeßköpfen ein Zwischenspeicher (4) für die zwischenzeitliche Aufnahme de/ elektrischen Bauelemente vorgesehen ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Verwendung von verschiedenen Mehrfachmeßköpfen, die sich in der Zahl der gleichzeitig meßbaren Bauelemente und in der Taktzeit voneinander unterscheiden, jcucr Meßkopf die doppelte Anzahl an Bauelementen wie der nächstkleinere Meßkopf aufnehmen kann, wobei dann die Taktzeit dieses Meßkopfes gleichfalls doppelt so groß ist, wie die des nächstkJeineren Meßkopfes.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß alle Meßköpfe (1.2) senkrecht übereinander angeordnet sind und daß zumindest ein Schacht (5) vorgesehen ist, in dem die Bauelemente (3) von einer Meßposition zur nächsttieferen Meßposition fallen.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß bei jeder Meßposition, die mit einem Einzel- oder einem Mehrfachmeßkopf (1,2) bestückt ist, der Einfallschacht (6) durch den die Bauelemente in die Meßposition fallen, gegen den Ausfallschacht (7), durch den die Bauelemente nach der Messung in den Zwischenspeicher (4) bzw. zur nächstfolgenden Meßposition fallen, versetzt ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl der Einfall- als auch der Ausfallschacht an seinem unteren Ende durch einen Anschlag (8 bzw. 9) begrenzt ist.

6. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßköpfe (1,2) so angeordnet sind, daß während des Meßvorgangs die Bauelemente vom Mehrfachmeßkopf (2) zu den Einzelmeßkönfen (1) bzw. von einem Mehrfachmeßkopf zu dem nächst kleineren Mehrfachmeßkopf mit einer geringeren Anzahl gleichzeitig meßbarer Bauelemente gelangen.

7. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Mehrfachmeßkopf ein Doppel- oder ein Vierfachmeßkopf ist und die nachfolgenden Meßköpfe Einzelmeßköpfe oder bei einem vorausgehenden Vierfachmeßkopf auch Doppelmeßköpfe sind.

8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Zwischenspeicher (4) so ausgebildet ist, daß er die Anzahl der im davor angeordneten Mehrfachmeßkopf gleichzeitig ge messenen Bauelemente aufnehmen kann.

9. Vorrichtung nach einem der vorangehender Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in je dem Meßkopf für jedes zu messende Bauelemen eine verschiebbare Meßaufnahme (10) mit abge federten Auflageflächen (11) für die E'ektroden-Zuleitungen (12) des zu messenden elektrischer Bauelemente£ (3) und als Gegenstück eine Meß fassung (13) mit Kontaktstücken (14) für die Kontaktierung der Elektrodenzuleitungen vorgesehen ist. daß ferner eine motorgetriebene Steuerwelie mit Hubkurven (15) vorhanden ist, wobei die Hubkurven, von denen jeweils eine jedem Meßkopf zugeordnet ist, über Lenker (16) mit Kipphebel (17) an die Meßaufnahme(n) des Meßkopfes angeschlossen sind, das Zusammenfügen und Lösen von Meßaufnahme und Meßfassung verursachen.

10. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zu messenden elektrischen Bauelemente in je einem Magazin-Trägerkörper (18) kraftschlüssig gehaltert sind, dessen Seitenränder mit Führungen (19) versehen sind, die mit entsprechenden Führungen (20) der Meßaufnahme (10) korrespondieren.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Bauelemente in dem Magazin-Trägerkörper derart gehaltert sind, daß die Elektrodenzuleitungen (12) von zwei einander gegenüberliegenden Seiten frei zugänglich sind.

12. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß jeae Meßaufnahme (10) zwei federnd ausschwenkbare Seitenbacken (21, 22) aufweist, zwischen de--en im Meßzustand der Magazin-Trägerkörper angeordnet ist, daß diese Seitenbacken mit Mitnehmerklinken (23) versehen sind, hinter die der Magazin-Trägerkörper (18) beim Zusammenfügen der Meßaufnahme und der Meßfassung gepreßt wird und durch die beim Lösen der Meßaufnahme von der Meßfassung der Magazin-Trägerkörper über den Ausfallschacht (7) gezogen wird.

13. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßaufnahmen mit einem Schieber (24) versehen sind, durch cien die im Ausfallschacht bzw. Zwischenspeicher befindlichen Bauelemente beim Zusammenfügen der Meßaufnahme und der Meßfassung über den Einfallschacht des nächstfolgenden Meßkopfes geschoben werden.

14. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ihre Verwendung zur Messung von Halbleiterbauelementen.

15. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ihre Verwendung zur Messung von Transistoren und Dioden und Doppeldioden in Kleingehäusen, die einzeln in Magazin-Trägerkörpern derart gefaßt sind, daß die Anschlußzuleitungen der Bauelemente frei liegen, und daß nur deren Gehäuse (25) mit dem Magazin-Trägerkörper in mechanischer Verbindung steht.

16. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ihre Verwendung bei umlaufenden Meßautomaten mit

einem Horizontaltransport der zu messenden Bauelemente.

17. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ihre Verwendung zur Messung statischer und dynamischer Kennwerte.