DE2130389A1

DE2130389A1 - Vorrichtung zum messen verschiedener kennwerte elektrischer bauelemente

Info

Publication number: DE2130389A1
Application number: DE19712130389
Authority: DE
Inventors: Rudolf Batora; Paul Hochschorner; Fritz Kielwein
Original assignee: Licentia Patent Verwaltungs GmbH
Current assignee: Licentia Patent Verwaltungs GmbH
Priority date: 1971-06-18
Filing date: 1971-06-18
Publication date: 1973-01-04
Also published as: DE2130389B2

Description

"Vorrichtung zum Messen verschiedener Kennwerte elektrischer Bauelemente" Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Messen verschiedener Kennwerte elektrischer Bauelemente, zu deren Messung unterschiedlich lange Meßzeiten benötigt werden.
Beispielsweise für die Messung dynamischer Kennwerte werden längere Meßzeiten als zur Feststellung der statischen Kennwerte benötigt. Bei den bisher bekannt gewordenen Meßautomaten richtet sich die Taktzeit des Automaten, wenn Meßwerte mit unterschiedlich langer Meßzeit ermittelt werden mußtenX nach der längsten vorkommenden Meßzeit.
Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Meßvorrichtung anzugeben, bei der sich die Taktzeit, d. h. die Zeit, die jeweils zwischen dem Ausstoß zweier aufeinanderfolgender Bauelemente vergeht, nach der kürzesten Meßzeit richtet.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß Einzelmeßköpfe für die Messung der Kennwerte mit der kürzesten Meßzeit vorgesehen sind, daß ferner für die Messung der Kennwerte mit längerer Meßzeit zumindest ein Mehrfachmeßkopf vorgesehen istt wobei die Taktzeit des Mehrfachmeßkopfes ein ganzzahliges Vielfaches der Taktzeit der Einzelmeßköpfe ist und dieses Vielfach der An zahl der im Mehrfachmeßkopf gleichzeitig meßbaren Bauelemente entspricht, und daß zumindest zwischen dem Mehrfachmeßkopf und den Einzelmeßköpfen ein Zwischenspeicher fur die zwischenzeitliche Aufnahme der elektrischen Bauelemente vorgesehen ist.
Die Taktzeit des jeveiligen Meßkopfes setzt sich dabei aus der reinen Meßzeit in diesem Meßkopf, der Kontaktierungs- und der Entkontaktierungszeit und der hinzuaddierten Transportzeit aus einem vorangehenden Meßkopf oder einem Zwischenspeicher in diesen Meßkopf zusammen.
Unter Mehrfachmeßkopf ist dabei eine Anordnung ;cu verstehen, die sich aus einer Anzahl von Meßaufnahmen und zugehörigen Meßfassungen zusasm-ns;etztS wobei gleichzeitig an allen im Mehtfachxeßkopf befindrchen Bauelementen der gleiche elektrische Meßwert ermittelt wird. In einem Einzelmeßkopf kann jeweils nur ein Bauelement gemessen werden.
Die vorliegende Erfindung findet bevorzugte Anwendung bei einem völlig neuartigen Pallschachtautomat, bei dem die zu messenden Bauelemente senkrecht von einer Meßposition zur nächsttieferen Meßposition fallen. Alle Meßköpfe sind dann senkrecht übereinander angeordnet.
Daneben kann die erfindungsgemäße Vorrichtung auch als Meßautomat mit umlaufenden Bauelementen ausgebildet sein.
Bei diesen Automaten werden die Bauelemente in der horizontalen Ebene von einer Meßposition zur nachfolgenden Position bzw. in ein Zwischenmagazin transportiert.
Bei einer komplexen Vorrichtung, bei der verschiedene Meßköpfe mit einer unterschiedlichen Anzahl von Meßaufnahmen verwendet werden müssen9 werden die unterschiedlichen Meßköpfe vorzugsweise so gewählt, daß jeder Meßkopf die doppelte Anzahl an Bauelementen wie der nächstkleinere Meßkopf aufnehmen kann, wobei dann die Taktzeit des größeren Meßkopfes gleichfells doppelt so groß ist, wie in dem nächstkleineren Meßkopf, Die Anzahl der Meßaufnahmen in den Meßköpfen nimmt somit in geometrischer Reihe zu, wenn sich die Gesamttaktsoit des Automaten mach der kleinsten benötigten Meßzeit richten soll. In der Praxis wird es da-@or Automaten mit 1-2-4-8-fach-Moßköpfem, 1-4-ß-fach-Meßköpfen, 1-3-6-fach-Meßköpfen usf. goben, deder Moßkopf, also auch ein Doppels oder Mehrfachmeßkopf, @@un selbstverständlich in einem Automaten mehrfach vertreten sein. Ein kleinerer Meßkopf wird, bezogen auf die Durchlaufrichtung der Bauelemente, vorzugsweise einem größeren Meßkopf nachgeordnet, so daß am Durchlaufende des Meßautomaten in der Regel die Einzelmeßköpfe angeordnet sind.
Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung führt zu jeder Meßposition ein Einfallschacht und von jeder Meßposition ins Zwischenmagazin ein Ausfallschacht. Einfallschacht und Ausfallschacht sind gegeneinander versetzt, so daß Störungen, die beispielsweise durch das Aufprellen der Bauelemente bzw.
der Bauelemententräger in der nächstfolgenden Meßposition auftreten könnten, mit Sicherheit vermieden werden.
Es werden außerdem keine gesteuerten, sondern nur feste Anschläge benötigt, die jeweils am unteren Ende eines Einfall- bzw. Ausfallschachtes angeordnet sind.
Der Zwischenspeicher ist so ausgebildet, daß er die Anzahl der im davor angeordneten Mehrfachmeßkopfe gleichzeitig gemessenen Bauelemente aufnehmen kanne Die er£induiigsgemäße Vorrichtung eignet sich besonders Zur Messung von Halbleiterbauelementen9 bei denen si>wohl die stavschen als auch die dynamischen Meßwerte festgehalten werden sollen. Die Vorrichtung ist insbesondere für die Messung von Transistoren, Dioden und Doppeldioden in Kleingehäusen geeignet, wobei die Bauelemente einzeln in Magazin-Trägerkörpern derart gefasst sind, daß die Anschlußzuleitungen der Bauelemente freiliegen, um bei der Messung jegliche, durch fremdes Material verursachte Störungen auszuschließen.
Bei diesen Bauelementen steht dann nur der Gehäusekopf des Bauelementes mit dem Magazin-Trägerkörper in mechanischer Verbindung.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung, ihre Funktionsweise und ihre weiters vorteilhafte Ausgestaltung soll im weiteren anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert werden.
Die figur 1 zeigt in einer perspektivischen Ansicht den gesamten Automaten mit ausnahme der elektrischen Auswert-und Speichereinheiten.
Aus der Figur 2 ergibt sich die räumliche Anordnung eines Doppelmeßkopfes, eines Zwischenspsichers und eines Einzelmeßkopfes.
Anhand der Figur 3 wird mittels Diagrammen der zeitliche Meßablauf erläutert.
Die Figur 4 zeigt in einer perspektivischen Ansicht eine Meßaufnahme für einen Magazin-Trägerkörper wobei die Außenwand der Meßaufnahme aus Anschaulichkeitsgründen teilweise durchsichtig gedacht ist.
Die Figur 5 zeigt einen Magazin-Trägerkörper im Detail.
Die Figur 6 zeigt in einer Schnittdarstellung eine Meßaufnahme und eine Meßfassung und den Steuermechanismus für diese Teile.
In der Figur l ist der mechanische Teil des Meßautomaten argessellt Es handelt sich hierbei »mm einen neuartigen Fallschachtautomat, bei dem die zu messenden Bauelemente von Meßposition zu Meßposition fallen0 Die Zauelementes beispielsweise Transistoren, sind vorzugsweise in Magazin Trägerkörpern angeordnet0 Diese bestückten Magain-Trägerkörper werden beispielsweise in Schienen in horizontaler Lagegestapelt. Die Schienen, aus denen die zu messenden Bauelemente dann in den Automat 26 fallen, sind vorzugsweise auf einer drehbaren Scheibe 27 auf der Oberseite des Meßautomaten befestigt. Jeweils eine dieser Schienen ist über dem Einfallschacht 5 angeordnet. Dieser Einfallschacht ist so geformt, daß in ihm die rahmenförmigen NagazinTrägerkörper von der horizontalen in die vertikale Lage übergeführt werden, in der sie durch den Meßautomat von Position zu Position fallen.
Bel .dem Ausführungsbeispiel der Figur i sind zwei Doppelmeßköpfe 2 und 5 Einzelmeßköpfe i vorgesehen. Die Meßköpfe können in Form von Einschüben in den Automaten 26 eingesetzt werden so daß die Zahl der Einfach- und Mehrfachmeßköpfe variabel ist0 In jedem Doppelmeßkopf wird ein elektrischer ICernweSt an zwei Bauelementen gleichzeitig gemessen. Hierbei handelt es sich um i4ßwerte, zu deren Feststellung eine längere Meßzeit erforderlien ist. Bei Transistoren wird hier beispielsweise die Rauschzahl ermittelt. Hierzu ist beispielsweise eine Meßzeit von 750 ms erforderlich, während zur Messung statischer Kennwerte nur eine reine Meßzeit von ca. 300 ms benötigt wird. Zu den Meßzeiten addieren sich selbstverständlich noch die Kontaktierungs und die Entkontaktierungszeiten sowie die Fallzeiten hinzu, um zu der benötigten Taktzeit zu gelangen.
In jedem Meßkopf ist für jedes zu messende Bauelement eine verschiebbare Meßaufnahme mit abgefederten Auflageflächen für die Elektrodenzuleitungen des elektrischen Bauelementes und als Gegenstück eine Meßfassung mit Kontaktstücken für die Kontaktierung der Elektrodenzuleitungen vorgesehen.
Ferner besitzt der Automat eine motorgetriebene Steuerwelle, die Hubkurven 15 antreibt. Eine solche Hubkurve, die eine mit Erhebungen versehene Randlinie aufweist, ist jedem Meßkopf zugeordnet. Diese Hubkurve 15 steuert über Lenker 16 und Kipphebel 17 das Zusammenfügen und Löip von Meßaufnahme und Meßfassung und damit den Kontaktierungs-bzw. Entkontaktierungsvorgang. Die Ausbildung der Hubkurve bestimmt somit die Taktzeit des ihr zugeordneten Meßkopfes.
In der Figur l ist für jede Meßaufnahme 10 eine gesonderte Hubkurve 15 vorgesehen. Bei Doppelmeßköpfen reicht jedoch, wie bereits angedeutet wurde, für beide im Meßkopf zusammengefassten Meßaufnahmen eine Hubkurve aus, da ja beide zu messenden Bauelemente gleichzeitig kontaktiert und wieder entkontaktiert werden müssen. An das untere Ende des Meßautomaten ist eine Auswurf- und Sortiervorrichtung 29 angeschlossen, mit deren Hilfe die Bauelemente entsprechend der Auswertung der Meßergebniss in einer angeschlossenen elektrischen Anlage in Sortiertächer 28 ausgeworfen werden.
Der Figur 2 läßt sich die räumliche Anordnung der Meßköpfe besser entnehmen. Die Figur 2 zeigt einen Doppelmeßkopf 2 mit 2 Meßaufnahmen 10. Jede Meßaufnahme kann über die angeschlossenen Kipphebel 17 in horizontaler Lage verschoben werden. Uber dem Doppelmeßkopf stehen zwei Magazin Träger körper i89 die je ein elektrisches Bauelement 3, beispielswie einen Transistor mit drei Elektrodenzuleitungen enthalten. Diese beiden Trägerkörper fallen über den Einfallschacht 6 zwischen die Meßaufnahmen 10 und die Meßfassung mit ihren Anschlußstücken 14. Dabei wird die Falltiefe durch einen Anschlag 8 begrenzt. Über die Kipphebel 17 werden die Meßaufnahmen bei einer entsprechenden Stellung der Hubkurven nach rechts verschoben wobei die Trägerkörper gleichfalls soweit nach rechX geschoben werden, bis die Elektrodenzuleitungen der Bauelemente gegen die Kontaktstücke 14 gepresst werden und die gegenüberliegenden Oberflächenseiten der Elektrodenzuleitungen auf den mit Federn 58 abgefederten Auflageflächen 11 der Meßaufnahme aufliegen. Da die Auflageflächen 11, die beispielsweise aus Keramik bestehen, alle einzeln abgefert sind, ist gewährleistet, daß alle Elektrodenzuleitungen mit gleichem oder nahezu gleichem Ax4>ressdruck gegen die Kontaktstücke 14 gepresst werden Nachdem die Messung im Doppelmeßkopf beendet ist, geht die Meßaufnahme wieder in die Ausgangslage zurück wobei die Magazin-Trägerkörper - über die Einfallposition hinaus - über den Ausfallschacht 7 mitgezogen werden. Sind die Trägerkörper über dem Ausfallschacht 7 angelangt, der gegen den Einfallschacht 6 seitlich versetzt ist, so fallen sie in den Zwischenspeicher 4, der an seinem unteren Ende gleichfalls durch einen Anschlag 9 begrenzt ist.
Die seitliche Versetzung der Ein- und Ausfallschächte hat den Vorteil, daß ein Verklemmen und Überholen-auf dem Fallwege der Trägerkörper im Meßautomaten praktisch ausgeschlossen ist0 Durch Aufprellen der Trägerkörper können bei der erfindungsgemäßen Anordnung keine Störungen auf die in den Meßpositionen liegenden Trägerkörper übertragen werden. Außerdem kann durch die Zwischenspeicher die in die Taktzeit eingehende Einfallzeit der Bauelemente verkürzt werden, da nun nur noch optimal kleine Fallwege vorkommen. Aus dem zuletzt angegebenen Grund werden auch zwischen die Einzelmeßköpfe Zwischenspeicher eingeschoben.
An der Unterseite des verschiebbaren Teils der Meßaufnahme ist ein Schieber 24 befestigt, der beim nächsten Kontaktierungsvorgang im Doppelmeßkopf die beiden im Zwischenspeicher befindlichen Bauelemente über den Einfallschacht des nachfolgenden Einzelmeßkopfes l schiebt, so daß das erste Bauelement dann in die Meßaufnahme des Einzelmeßkopfes nachfallen kann, wenn das dort gerade kontaktierte Element nach Abschluß des Meßvorganges durch den Ausfallschacht den Einzelmeßkopf verlassen hat. Da die Taktzeit des Einzelmeßkopfes nur die Hälfte der Taktzeit des Doppelmeßkopfes beträgt, ist der Zwischenspeicher wieder geräumt, wenn die nächsten beiden Bauelemente aus dem Doppelmeßkopf nachfallen. Der Meßablauf wird aus den Diagrammen der Fig. 3 besonders deutlich, bei denen die örtlichen Lagezustände über der Zeit aufgetragen sind.
Die beiden Diagramme unter a deuten die Lage zweier Magazinträgerkörper E1 und E2 im Vorratsbereich V an. Die örtlichen Lagen sind mit 30 und 31 bezeichnet. Sobald der Einfallschacht über dem Doppelmeßkopf DM frei gegeben wird, fallen die beiden Trägerkörper entsprechend den angedeuteten Kurven 32 und 33 in die beiden Meßaufnahmen des Doppelmeßkopfes.
Die Kurven 32 und 33 sind wieder an den Anfang der Diagramme b und c gesetzt, um eine Fortführung des räumlich-zeitlichen Meßvorganges in anschaulicher Form darstellen zu können. In den Positionen 34 und 35 werden die beiden kontaktierten Bauelemente während einer Zeit von beispielsweise 750>,ms gemessen. Diese Zeit wird beispielsweise benötigt, um die Rauschzahl bei Transistoren zu ermitteln.
Die angedeuteten Anstiegs- und Abstiegsflanken zu Beginn und am Ende der Meßzeit deuten die Kontaktierungs- und Ent kontaktierungszeiten an. Nach der Messung im Doppelmeßkopf werden die beiden Elemente E1 und E2 über den Zwischenspeicher gesogen. Der Fall in den Zwischenspeicher ZM ist mit den Kurven 36 und 37 angedeutet worden. Die Diagramme d und e geben die Besetzung des Zwischenspeichers an Zunächst liegt während einer Taktzeit des Automaten in beiden Positionen des Zwischenspeichers je ein Trägerkörper, wie mit den Ziffern 38 und 40 angedeutet wurde. Dann fällt nach einer Taktzeit, nach der der nachfolgende Einzelmeßkopf geräumt wurde, das erste Element E2 entsprechend der Kurve 43 in den Einzelmeßkopf und bleibt dort während der Meßzeit 42. Das Element E1 ist zugleich um eine Stufe im Zwischenspeicher heruntergefallen und liegt nun in der Position 39 unmittelbar über dem Einzelmeßkopf.
Wenn das Element E2 aus der Ebene des Diagramms f, in der gemessen wird, entsprechend der Kurve 44 in den nächstfolgenden Zwischenspeicher ZM (Diagramm g) gefallen ist, kann das Element E1 entsprechend der Kurve 41 in den Einzelmeßkopf nachrutschen und befindet sich dort während der Meßzeit in der Position 42. Wenn das Element Ei in den Einzelmeßkopf fällt, wird der Zwischenspeicher ZM, der auf den Doppelmeßkopf folgt, gleichzeitig wieder aus dem Doppelmeßkopf nachgefüllt (36, 37, 38, 40).
Wie aus der Figur 3 ersichtlich ist, beträgt die reine Meßzeit im Doppelmeßkopf ca. 700 - 750 ms, während im Einzelmeßkopf eine Meßzeit von ca. 300 - 350 ms benötigt wird. Hinzu kommen noch die Zeiten für die Kontaktierung und Entkontaktierung der Bauelemente in den Meßfassungen und die Fallzeiten. Hieraus ergibt sich eine kleinstmögliche Gesamttaktzeit des Automaten von etwa 500 ms. Die Taktzeit eines Einzelmeßkypfes beträgt somit, wenn die Einfall- und Ausfallzeiten mitberücksichtigt werden, 500 ms, und der Doppelmeßkopf ca. l sec. Damit verläßt alle 500 ms ein gemessenes Bauelement den Automaten, obgleich allein zur Messung eines Kennwertes 750 ms reine Meßzeit benötigt werden.
In der Figur 4 ist ein Magazin-Trägerkörper 18 kurz vor dem Einfall in die Meßaufnahme dargestellt. Die elektrischen Bauelemente; in der Figur 4 ist es ein Transistor, sind in je einem Magazin-Trägerkörper kraftschlüssig gehaltert0 Die Seitenränder des Magazin-Trägerkörpers 18 weisen, wie sich besonders deutlich aus der Figur 5 ergibt, Führungen 19 auf9 die mit ;entsprechenden Führungen 20 (Fig. 4) der Meßaufnahme 10 korrespondieren.
Der Magazin>Trägerkorper ist rahmenförmig ausgebildet. Im Hohlrahmen sind zwei Spannbacken 49 und 50 (Figur 5) angeordnet, von denen der eine fest und der andere beweglich ausgebildet ist. Zwischen diese beiden Spannbacken, die mittels einer Feder 51 zusammengepresst werden, wird der Gehäusekopf 25 des zu messenden elektrischen Bauelementes eingeklemmt. Die Elektrodenzuleitungen 12, die beispielsweise die Form von flachen Bändern aufweisen sind von zwei einander gegenüberliegenden Seiten frei mugänglich. Somit ist eine Beeinflussung der gemessenen elektrischen Kennwerte von Magazinteilen ausgeschlossen Bei der Kontaktierung werden die Elektrodenzuleitungen zwischen die Andruckstücke ll, die aus isolierendem Material bestehen, und die Kontaktstücke 14 der Messfassung gepresst.
Gemäß Figur 4 fällt der Magazin-Trägerkörper zwischen die Meßaufnahme 10 und die Messfassung mit ihren Kontaktstücken 14, wobei der Trägerkörper vom Anschlag 8 abgefangen wird. Der Trägerkörper kommt dabei vor die Mitnehmerklinke 23 der beiden ausschwenkbaren Seitenbacken 21 und 22 der Meßaufnahme in den Raum 55 zu liegen. Die räumliche Lage des Trägerkörpers in diesem Stadium ist in der herausgezeichneten gestrichelten Prinzipdarstellung der Figur 4a mit 46 bezeichnet. Diese Lage entspricht somit auch der geometrischen Lage des Einfallschachtes in den Meßkopf. Der Meßkopf wird danach über den Kipphebel 17 (Fig. 6) in die Kontaktierungsstellung gebracht. Dabei wird die Meßaufnahme 10 auf die fest angeordnete Meßfassung 13 (Figur 6) mit den Kontaktstücken 14 zubewegt.
Die Andruckstüche 45 der Meßaufnahme schieben den Magazin-Trägerkorper in die Position 47 (gestrichelte Darstellung Fig. 4a), in der gemessen wird. Zugleich rutscht der Trägerkörper über die Mitnehmerklinken 23 der nach außen ausweichenden Seitenbacken 21 und 22 in den Raum 20. Die beiden Seitenbacken 21 und 22 werden durch eine Feder 54 (Figur 6) zusammengehalten, die zugleich das seitliche Ausweichen dieser Backen gestattet.^ Kontaktierungszustand, der auch in der Figur 6 dargestellt ist, liegen die Elektrodenzuleitungen 12 fest auf den einzeln abgefederten Andruckstücken 11 und mit der ge¢enüberliegenden Oberfläche auf den festen Kontakt stücken 14, die mit den elektrischen Meßgeräten verbunden sind, auf.
Bei der Entkontaktierung geht der Kipphebel 17 zurück und zieht die Meßaufnahme wieder in die Ausgangsstellung. Dabei sorgen die Mitnehmerklinken 23 dafür, daß der Trägerkörper über die Ausgangslage (46) hinaus über den Ausfallschacht ; gesogen wird0 Die Auswurflage ist in der gestrichelten Prinzipdarstellung der Figur 4a mit der Ziffer 48 bezeichnet und stimmt mit der räumlichen Lage des Ausfallschachtes überein. Die Prinzipdarstellung der Figur 4a zeigt sehr deutlich die drei verschiedenen Lagen 46, 47 und 48, die das Bauelement bzwe der Magazin-Trägerkörper beim Einwurf in den Meßkopf, bei der Kontaktierung und beim Auswurf einnimmt.
In der Figur 4 ist auch der Schieber 24 erkennbar, der an der Unterseite des beweglichen Teiles der Meßaufnahme 10 befestigt ist. Mit diesem Schieber wird der Magazin-Trägerkörper aus dem Zwischenspeicher beim nächsten Kontaktierungsvorgang des Meßkopfes über den Einfalßschacht des nächsten Meßkopfes geschoben.
Aus der Figur 6 ergibt sich besonders deutlich die Lage des Magazin-Trägerkörpers 18 in der Kontaktierungsstellung. Bei einer entsprechenden Lage der Hubkurve kann der Lenker 16 wieder nach unten ausweichen und der Kipphebel 17 wird mit Hilfe der Peder 56 in seine Ausgangs'tellung zurückgeholt, wobei er den angeschlossenen beweglichen Teil der Meßaufnahme in die Entkontaktierungsstellung bzw. Auswurfstellung mitnimmt, In der Figur 6 ist gestrichelt die Lage eingetragen, die der Trägerkörper 18 nach der Entkontaktierung einnimmt. In dieser Lage fällt der Trägerkörper nach unten weg in den Zwischenspeicher. Die Meßaufnahme ist in einem festen Teil 53 mechanisch gehalterte Die Meßfassung besteht im wesentlichen aus einem Isolierstoffplättchen mit Zentrierbacken 57, die die Seitenränder des Gehäusekopfes des zu messenden Bauelementes erfassen und in die richtige Lage gegenüber der Meßaufnahme bringen. Durch das Isolierstoffplättchen sind isoliert voneinaüder die drei Kontaktstücke 14 geführt. Die Zahl der Kontaktstücke ist selbstverständlich von der Art der zu messenden Bauelemente abhängig.
Sie kann bei Einzeldioden auf zwei reduziert und bei Mehrfachdioden oder bei anderen elektrischen Bauelementen je nach Bedarf vergrößert werden.
Die erfindungsgemäße Meßvorrichtung kann auch zur Messung von Bauelementen verwendet werden, die nicht in Magazin-Trägerkörpern untergebracht sind0 In diesem Fall wird die Vorrichtung mit entsprechenden Führungen den jeweiligen Bedürfnissen angepasstO Die erfindungsgemäße Vorrichtung zeichnet sich durch extrem kurze Taktzeiten aus und ermöglicht die Messung einer optimalen Zahl von elektrischen Bauelementen in der Zeiteinheit. Durch die Verknüpfung der kombinierten Mehrfach- und Einzelmeßköpfe mit dem völlig neuartigen Fallschachtprinzip konnten Transportmechanismen eingespart und die zwischen einzelnen Meßvorgängen benötigten Transportzeiten extrem klein gehalten werden. Durch die gegeneinander versetzten Einfall- und Ausfallschächte wurde die Anlage störungssicher gemacht. Die erfindungsgemäße Meßvorrichtung zeichnet sich somit durch Wirtschaftlichkeit und einfache Bauweise aus.

Claims

P a t e n t a n s p r ü c h e

1) Vorrichtung zum Messen verschiedener Kennwerte elektrischer Bauelemente, zu deren Messung unterschiedlich lange Meßzeiten benötigt werden, dadurch gekennzeichnet, daß Einzelmeßkopfe (i) für die Messung der Kennwerte mit der kürzesten Meßzeit vorgesehen sind, daß ferner für die Messung der Kennwerte mit längerer Meßzeit zumindest ein Mehrfachmeßkopf (2) vorgesehen ist, wobei die Taktzeit des Mehrfachmeßkopfes ein ganzzahliges Vielfaches der Taktzeit der Einzelmeßköpfe ist und dieses Vielfache der Anzahl der im Nehrfachmeßkopf gleichzeitig meßbaren Bauelemente entspricht, und daß zumindest zwischen dem Mehrfachmeßkopf und den Finzelmeßkopfen ein Zwischenspeicher (4) für die zwischenzeitliche Aufnahme der elektrischen Bauelemente vorgesehen ist0

2) Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Verwendung von verschiedenen Mehrfachmeßköpfen, die sich in der Zahl der gleichzeitig meßbaren Bauelemente und in der Taktzeit voneinander unterscheiden, jeder Meßkopf die doppelte Anzahl an Bauelementen wie der nächstkleinere Meßkopf aufnehmen kann, wobei dann die Taktzeit dieses Meßkopfes gleichfalls doppelt so groß ist, wie die des nächstkleineren Meßkopfes.

3) Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß alle Meßköpfe (1, 2) senkrecht übereinander angeordnet sind und daß zumindest ein Schacht (5) vorgesehen ist, in dem die Bauelemente (3) von einer Meßposition zur nächsttieferen Meßposition fallen.

4) Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß bei jeder Meßposition, die mit einem Einzel- oder einem MehrfachmeMkopf (1, 2) bestuckt ist, der Einfallschacht (6) durch den die Bauelemente in die Meßposition fallen, gegen den Ausfallschacht (7), durch den die Bauelemente nach der-Messung in den Zwischenspeicher (4) bzw. zur nächstfolgenden Meßposition fallen, versetzt ist.

5) Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl der Einfall als auch der Ausfallschacht an seinem unteren Ende durch einen Anschlag (8 bzw. 9) begrenzt ist.

6) Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßköpfe (1, 2) so angeordnet sind, daß während des Meßvorgangs die Bauelemente vom Mehrfachmeßkopf (-2) zu den Einzelmeßköpfen (1) bzw0 von einem Mehrfachmeßkopf zu dem nächst kleineren Mehrfachmeßkopf mit einer geringeren Anzahl gleichzeitig meßbarer Bauelemente gelangen,

7) Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Mehrfachmeßkopf ein Doppel-oder ein Vierfachmeßkopf ist und die nachfolgenden Meßköpfe Einzelmeßköpfe oder bei einem vorausgehenden Vier facbmeßkopf auch Doppelmeßköpfe sind0

8) Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Zwisch'enspticher (4) so ausgebildet ist, daß er die Anzahl der im davor angeordneten Mehrfachmeßkopf gleichzeitig gemessenen Bauelemente aufnehmen kann.

9) Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnetg daß in jedem Meßkopf fur jedes zu messende Bauelement eine verschiebbare Meßaufnahme (10) mit abgefederten auflageflächen (11) für die Elektrodenzuleitungeu (12) des zu messenden elektrischen Bauelementes (3) und als Gegenstück eine Meßfassung (13) mit Kontakt stucken (i4) für die Kontaktierung der Elektrodenzuleitungen vorgesehen ist, daß ferner eine motorgetriebene Steuerwelle mit Hubkurven (15) vorhanden ist, wobei die Hubkurven, von denen jeweils eine jedem Meβkopf zugeordnet ist, über Lenker (16) mit Kipphebel (17) an die Meßaufnahme(n) des Meßkopfes angeschlossen sind, das Zusammenfügen und Losen von Meßaufnahme und Meßfassung verursachen.

to) Vorrichtung nach einem der vorangehnden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zu messenden elektrischen Bauelemente in je einem Magazin-Trägerkörper (18) kraftschlüssig gehaltert sind, dessen Seitenränder mit Führungen (19) versehen sind, die mit entsprechenden Führungen (20) der Meßaufnahme (10) korrespondieren.

11) Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Bauelemente in den Magazin-Trägerkörper derart gehaltert sind, daß die Elektrodenzuleitungen (12) von zwei einander gegenüberliegenden Seiten frei zugänglich sind.

12) Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß jede Meßaufnahme (10) zwei federnd ausschwenkbare Seitenbacken (21, 22) aufweist, zwischen denen im Meßzustand der Magazin-Trägerkörper angeordnet ist, daß diese Seitenbacken mit Mitnehmerklinken (23) versehen sind, hinter die der Magazin-Trägerkörper (18) beim Zusammenfügen der Meßaufnahme und der Meßfassung gepresst wird und durch die beim Lösen der Meßaufnahme von der Meßfassung der Magazin-Trägerkörper über den Ausfallschacht (7) gezogen wird.

13) Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßaufnahmen mit einem Schieber (24) versehen sind, durch den die im Ausfallschacht bzw.

Zwischenspeicher befindlichen Bauelemente beim Zusammenfügen der Meßaufnahme und der Meßfassung über den Einfallschacht des nächstfolgenden Meßkopfes geschoben werden.

14) Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ihre Verwendung zur Messung von Halbleiterbauelementen.

15) Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dakennzeichnet durch ihre Verwendung zur Messung von Transistoren und Dioden und Doppeldioden in Kleingehäusen, die einzeln in Magazin-Trägerkorpern derart gefasst sind, daß die Anschlusszuleitungen der Bauelemente frei liegen und daß nur deren Gehäuse (25) mit dem Magazln¢Trägerkörper in mechanischer Verbindung steht,

16) Vorrichtung nach einem der vorangehdnen Ansprüche, gekennzeichnet durch ihre Verwendung bei umlaufenden Meßautomaten mit einem Horizontaltransport der zu messenden Bauelemente.

17) Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ihre Verwendung. zur Messung statischer und dynamischer Kennwerte.

L e e r s e i t e