DE19816834A1 - Waferträger - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Waferträger nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Bei der Bearbeitung von Wafern zu integrierten Schaltkreis­ chips sind allgemein verschiedene Schritte notwendig, in denen die Wafer wiederholt bearbeitet, gespeichert und transportiert werden. Aufgrund ihrer Zerbrechlichkeit und ihres großen Wertes ist es wichtig, daß sie während dieser Schritte geeignet geschützt werden. Es ist bekannt, hierzu Waferträger zu verwenden, die es außerdem ermöglichen, die Wafer in bezug auf Bearbeitungsgeräte genau zu positionieren, um ein Herausnehmen und Einsetzen der Wafer mittels Roboter vornehmen zu können. Außerdem dienen die Waferträger dazu, die Wafer während des Transports sicher zu halten.

Bekannte Waferträger bestehen aus einem einstückig gespritzten Teil, das im allgemeinen einen Frontabschnitt mit einem Quersteg als Ge­ räte-Anschlußstelle, eine Rückwand und Seitenwände aufweist, die Schlitze zur Aufnahme der Wafer tragen und nach unten aufeinander entsprechend der Krümmung der Wafer zulaufende Abschnitte aufweisen. Oben und unten ist der Waferträger offen. Diese Ausbildung führt zu Problemen sowohl bezüglich der Anpassungsfähigkeit als auch der Herstellung. Wenn eine Anpassung vorzunehmen ist, sind zumindest Teile derForm für den Waferträger nicht mehr verwendbar, müssen verschrottet werden, und eine neue Form muß erstellt werden. Die ungeänderten Abschnitte des Waferträgers können nicht separat gespritzt und zum weiteren Zusammenbau gelagert werden. Zusätzlich vergrößern ein größeres Volumen oder komplexere gespritzte Teile die Möglichkeit eines Verziehens, oder andere strukturelle Probleme können auftreten, die die Produktqualität und Reproduzierbarkeit beeinträchtigen.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, einen Waferträger nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 zu schaffen, um die Anpassungsfähigkeit und die Herstellung des Waferträger zu verbessern.

Diese Aufgabe wird entsprechend dem kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 gelöst.

Hierdurch wird nicht nur die Masse der einzelnen gespritzten Teile verringert, sondern es werden auch strukturelle Probleme, wie ein Verziehen, reduziert, wodurch die Qualität, Genauigkeit und Reproduzier­ barkeit der Waferträgerherstellung erhöht werden. Die Anpassungsfähig­ keit wird durch Verwendung entsprechend umgestalteter Seitenwände oder anderer Teile erreicht, ohne daß der gesamte Waferträger geändert werden müßte. Insbesondere wird ein Trägerrahmen verwendet, in den Seitenwand­ einsätze eingesetzt sind. Hierbei wird der Trägerrahmen aus einem Front­ teil, einer Rückwand und hierzwischen sich erstreckenden Streben gebil­ det, wobei die Seitenwandeinsätze insbesondere an den Streben gesichert werden können. Die Seitenwände besitzen eine Vielzahl von Schlitzen zum Halten der Wafer in dem Waferträger während des Transports und der Lage­ rung. Der Frontabschnitt kann mit einem Quersteg als Geräte-An­ schlußstelle versehen sein, um eine genaue Ausrichtung zum Einsetzen und Herausnehmen von Wafern durch Roboter zu ermöglichen. Eine zweite Gerä­ te-Anschlußstelle kann an der Rückwand angeordnet sein.

Durch Umkonstruktion der Seitenwände und Einsetzen von diesen in einen universellen Trägerrahmen läßt sich die Effizienz der Waferträ­ gerherstellung erhöhen. Außerdem kann die Verwendung von teuren Materia­ lien, wie Polyetheretherketon (PEEK), das ideal für die Abschnitte des Trägers geeignet ist, die mit den Wafern in Eingriff gelangen, auf die Seitenwände begrenzt werden, während andere billigere Materialien, wie Polypropylen (PP), Polybutylenterephthalat (PBT) und Polytetrafluorethy­ len (PTFE) für den Trägerrahmen verwendet werden können. Anstatt einen gesamten Waferträger wegwerfen zu müssen, wenn er die an ihn gestellten Spezifikationen nicht mehr erfüllt, ist es lediglich notwendig, die Sei­ tenwandeinsätze neu zu konstruieren, damit sie den neuen Anforderungen genügen, während der Trägerrahmen unverändert bleibt. Zusätzlich ergibt sich eine erhöhte Flexibilität in bezug auf das Testen von neuen Seiten­ wandmaterialien und -ausführungen, da diese ausgetauscht werden können. Dadurch, daß die Seitenwände separat gespritzt werden, sind diese genau­ er und mit geringerem Verzug herstellbar. Der Waferträger ist auch ent­ sprechend reparierbar, indem die separat hergestellten Teile austausch­ bar sind.

Ein gegebenenfalls im Trägerrahmen auftretender Verzug kann durch das Einsetzen der Seitenwandeinsätze korrigiert werden.

Zusätzliche Geräteanschlußstellen oder -flansche mit Griffen können zweckmäßigerweise an der Rückwand des Waferträgers angebracht und ausgewechselt werden. Bei einer zweiten gegenüberliegenden Maschinenan­ schlußstelle kann der Waferträger auf einem Gerät zum Wiederbringen von Wafern mit den Wafern entweder mit ihrer Oberseite aufwärts oder umge­ kehrt angeordnet werden.

Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind der nachfolgenden Beschreibung und den Unteransprüchen zu entnehmen.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von in den beigefügten Abbildungen dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert.

Fig. 1 zeigt perspektivisch einen Waferträger.

Fig. 2 zeigt den Waferträger von Fig. 1 von oben in Eingriff mit einem Bearbeitungsgerät.

Fig. 3. zeigt perspektivisch einen Trägerrahmen des Waferträ­ gers von Fig. 1.

Fig. 4 zeigt eine weitere Ausführungsform eines Trägerrahmens.

Fig. 5 zeigt perspektivisch eine Ausführungsform einer Seiten­ wand für einen Waferträger.

Fig. 6 zeigt perspektivisch eine Frontansicht des oberen Ab­ schnitts einer Seitenwand gemäß einer weiteren Ausführungsform.

Fig. 7 zeigt perspektivisch eine Frontansicht des unteren Ab­ schnitts einer Seitenwand einer anderen Ausführungsform.

Fig. 8 zeigt perspektivisch eine Seitenwand gemäß einer bevor­ zugten Ausführungsform.

Fig. 9 zeigt perspektivisch die obere Rückseite einer Seiten­ wand gemäß einer anderen bevorzugten Ausführungsform.

Fig. 10 zeigt perspektivisch den unteren Abschnitt einer Sei­ tenwand gemäß einer anderen bevorzugten Ausführungsform.

Fig. 11 zeigt perspektivisch eine Seitenwand gemäß einer wei­ teren Ausführungsform.

Fig. 12 zeigt perspektivisch die obere Rückseite einer weite­ ren Ausführungsform.

Fig. 13 zeigt perspektivisch die untere Rückseite einer Sei­ tenwand einer weiteren Ausführungsform.

Fig. 14 ist ein Schnitt längs der Linie 14-14 von Fig. 15.

Fig. 15 zeigt eine Seitenansicht eines zusammengesetzten Waf­ erträgers.

Fig. 16 ist ein Schnitt längs der Linie 16-16 von Fig. 17.

Fig. 17 ist eine Seitenansicht eines zusammengesetzten Wafer­ trägers.

Fig. 18 ist eine perspektivische Ansicht eines zusammengesetz­ ten Waferträgers einer zusätzlichen Ausführungsform.

Fig. 19 bis 21 zeigen perspektivisch eine Rückwand, ein Front­ teil und eine Seitenwand des Waferträgers von Fig. 18.

Fig. 22 zeigt perspektivisch eine Ausführungsform eines Trä­ gerrahmens.

Fig. 23 zeigt perspektivisch eine weitere Ausführungsform ei­ nes Waferträgers.

Fig. 24 zeigt eine auseinandergezogene Ansicht der Ausfüh­ rungsform von Fig. 23.

Fig. 25 zeigt eine Frontansicht einer weiteren Geräte-An­ schlußstelle.

Fig. 26 zeigt eine Draufsicht auf die Geräte-Anschlußstelle Fig. 25.

Fig. 27 zeigt eine Rückansicht der Geräte-Anschlußstelle von Fig. 25.

Fig. 28 ist ein Schnitt längs der Linie 28-28 von Fig. 26.

Der in Fig. 1 und 2 dargestellte Waferträger 30 umfaßt einen aufrecht stehenden Frontabschnitt 32 mit einer Geräte-Anschlußstelle 34 in Form eines Querstegs, einer aufrecht stehenden Rückwand 36, deren mittlerer Abschnitt als Wandung 38 ausgebildet ist, und Seitenwände 40 mit Schlitzen 46 zum Halten von Wafern W während der Lagerung, dem Transport und der Roboterhandhabung des Wafers 30. Der Waferträger 30 besitzt eine offene Oberseite 42 zum Einsetzen von Wafern W und einen offenen Boden 44.

Fig. 2 zeigt den Waferträger 30 angeschlossen an ein Verarbei­ tungsgerät 47. Die Wafer W sind in den Schlitz 46 ¹ und den Schlitz 46 ⁱ der Seitenwandung 40 eingesetzt. Die Anzahl von Schlitzen n, Schlitzab­ ständen S, der Abstand D der ersten Schlitzposition 46 in bezug auf ei­ ne Bezugsfläche A und die letzte Schlitzposition 46 ⁿ der Seitenwände 40 müssen den Anforderungen des Verarbeitungsgeräts 47 und der An­ schlußstelle 48 hiervon genügen.

Der Waferträger 30 umfaßt einen universellen Trägerrahmen 60, der Seitenwandeinsätze 41 aufnimmt und Befestigungsmittel 62 zum verrie­ gelnden Eingriff zwischen den Seitenwandeinsätzen 41 und dem Trägerrah­ men 60 aufweist. Der Trägerrahmen 60 ist vorzugsweise ein Plastikspritz­ teil, beispielsweise aus Polypropylen, während die Seitenwandeinsätze 41 aus einem anderen Material als dasjenige des Trägerrahmens 60 herge­ stellt sein können. Dementsprechend kann der Waferträger 30 ausgebildet sein, um an verschiedene Arten von Bearbeitungsgeräten angepaßt zu sein, die unterschiedliche Positionen für den ersten Schlitz 46 ¹, unterschied­ liche Anzahlen von Schlitzen n und Schlitzabständen S erfordern, indem lediglich geeignete Seitenwandeinsätze 41, die die entsprechenden Anfor­ derungen erfüllen, verwendet werden. Verschiedene Kombinationen von Sei­ tenwandeinsätzen 41, Konfigurationen von Trägerrahmen 60 und Befesti­ gungsmitteln 62 können verwendet werden, um den Waferträger 30 zu bil­ den.

Der in Fig. 3 dargestellte Trägerrahmen 60 umfaßt den Frontab­ schnitt 32, der mit einem Quersteg 64 versehen ist, die Rückwand 36 so­ wie zwei obere und zwei untere Streben 66, 67, 68 und 69 und ferner eine offene Oberseite 42 und einen offenen Boden 44. Rahmeneingriffsabschnit­ te 70' der Befestigungsmittel 62 sind als Schlitze ausgebildet. Der Quersteg 64 wird als Geräte-Anschlußstelle verwendet. Die oberen Streben 66, 67 erstrecken sich vom linken Abschnitt 50 und rechten Abschnitt 51 des Frontabschnitts 32 zum linken Abschnitt 52 und rechten Abschnitt 53 der Rückwand 36. Dies gilt auch für die unteren Streben 68, 69, so daß insgesamt eine allgemein rechteckige geschlossene Seitenwandeinsatzöff­ nung 73 bzw. 73.5 an jeder Seite gebildet wird. Die Seitenwandeinsätze 82, 102, die dem Trägerrahmen 60 und den Befestigungsmitteln 62 von Fig. 3 entsprechen, sind in den Fig. 5, 8 und 11 dargestellt.

Gemäß Fig. 14 und 15 umfassen die Rahmeneingriffsabschnitte 70' und die damit zusammenarbeitenden Seitenwandeingriffsabschnitte 70'' der Befestigungsmittel 62 eine Vielzahl von zusammenwirkenden Eingriffs­ abschnitten, um das Koppeln des Trägerrahmens 60 und der Seitenwandein­ sätze 41 zu erleichtern. Sie umfassen eine Schnappverriegelungsnase 75, eine Ausnehmung 77 hierfür sowie eine Klinke 79 für eine sichere mecha­ nische Verbindung zum verriegelnden Eingriff der Trägerrahmeneingriffs­ abschnitte 70' mit den Seitenwandeingriffsabschnitten 70'' an jeder Befe­ stigungsstelle.

Gemäß Fig. 3 und 8 umfassen die Befestigungsmittel 62 der Aus­ führungsform von Fig. 1 auch eine Vielzahl von sich von einer oberen ho­ rizontalen Befestigungsleiste 81.5 des Seitenwandeinsatzes 82 abwärts erstreckenden Zapfen 81. Die Zapfen 81 gelangen in Eingriff mit Ausneh­ mungen 81.7 in den oberen Streben 66, 67. Die Ausnehmungen 81.7 können Vertiefungen oder Löcher in den Streben 66, 67 sein. Bei dieser Ausfüh­ rungsform erstreckt sich die obere horizontale Verbindungsleiste 81.5 über die zugehörige Strebe 66, 67, während die Seitenwandeingriffsab­ schnitte 70'', die sich von den unteren Abschnitten der Seitenwandeinsät­ ze 82 erstrecken, in die Ausnehmungen 77 der unteren Streben 68, 69 ver­ riegeln. Der Verriegelungseingriff im Zusammenhang mit dem Positionieren der Seitenwandeinsätze 82 in die Fenster 73, 73.5 führt zu einer starren Konstruktion.

Fig. 4 zeigt einen Trägerrahmen 60 mit Rahmeneingriffsab­ schnitten 72 mit einem wechselnden Befestigungsmittel 72'. In den Fig. 6, 7, 9, 10, 12, 13 sind Abschnitte von Seitenwandeinsätzen dargestellt, die für den Trägerrahmen 60 von Fig. 4 geeignet sind. Die Seitenwandein­ sätze besitzen Schlitze 46, Zähne 96, einen oberen Abschnitt 84, einen unteren gekrümmten Abschnitt 86, obere Träger 92, untere Träger 94 und Seitenwandeingriffsteile 70'' der Befestigungsmittel 62. Die Seitenwand­ eingriffsmittel 70' sind an der Oberseite 98 und an der Bodenseite 100 des Seitenwandeinsatzes 82 angeordnet.

Die Schlitze 46 sind zwischen langgestreckten Zähnen 96, die parallel zueinander verlaufen, ausgebildet. Seitenwandbegrenzungen wer­ den definiert durch einen ersten Seitenwandzahn 96 ¹ und einen n-ten Sei­ tenwandzahn 96 ⁿ, die Oberseite 98 und die Bodenseite 100. Wafer W, die in die Schlitze 46 eingesetzt sind, werden während des Transports, der Roboterhandhabung und der Lagerung sicher gehalten. Die Anzahl n und der Abstand S der Schlitze 46 und die Stelle des Schlitzes 46 ¹ der ersten Position kann entsprechend dem Wafertyp und dem verwendeten Verarbei­ tungsgerät eingestellt werden.

Langgestreckte Zähne 96 sind vertikal im oberen Abschnitt 84 und allgemein einwärts gekrümmt im unteren Abschnitt 86 angeordnet. Eine bevorzugte Ausführungsform des unteren Abschnitts 86 ist das allgemein gekrümmte Profil gemäß den Fig. 5, 8 und 11 in Anpassung an den Durch­ messer der Wafer W. Obere Leisten 92 und untere Leisten 94 halten die Zähne 96 in Position bei den mit Waschschlitzen versehenen Ausfüh­ rungsformen und sind derart angeordnet, daß ein Fluid zwischen der In­ nenseite 88 und der Außenseite 90 strömen kann.

Fig. 5 und 11 zeigen die Innenseite 88 bzw. die Außenseite 90 eines Seitenwandeinsatzes 102, der mit dem Seitenwandeinsatz 82 der Aus­ führungsform von Fig. 8 außer in bezug auf den starren massiven oberen ebenen Abschnitt 104 und den massiven unteren gekrümmten Abschnitt 106 identisch ist, die sich auf der Rückseite 90 befinden und die oberen und unteren Leisten 92 und 94 ersetzen. Der obere ebene Abschnitt 104 und der untere gekrümmte Abschnitt 106 halten langgestreckte Zähne 96 und schließen die Waschschlitze so daß ein Durchgang von Fluid zwischen der Innenseite 88 und der Außenseite 90 verhindert wird.

Fig. 11 zeigt einen Seitenwandeinsatz 102 mit Seitenwandein­ griffsabschnitten 70' der Sicherungsmittel 70. Fig. 12 und 13 zeigen den Seitenwandeinsatz 102 mit den Seitenwandeingriffsabschnitten 72' der Si­ cherungsmittel 72.

Andere Ausführungsformen des universellen Trägerrahmens können die eine oder andere obere Strebe 66 und untere Strebe 68 aufweisen und Sicherungsmittel 70 oder 72, wie etwa in Fig. 24 gezeigt, verwenden. Die Seitenwandeinsätze 82 sind derart gestaltet, daß sie zu Trägerrahmen passen, indem geeignete entsprechende Sicherungsmittel 72 zum verrie­ gelnden Ineingriffbringen des Seitewandeinsatzes in den Trägerrahmen verwendet werden.

Eine weitere Ausführungsform eines Waferträgers 116 ist in Fig. 18 mit einem entspechenden Frontabschnitt 118, einer Rückwand 120 und Seitenwandeinsätzen 122, die in den Fig. 20, 19 bzw. 21 dargestellt sind, gezeigt. Bei dieser Ausführungsform besitzt der Waferträger 116 die folgenden getrennt geformten Teile: frontseitige Querstrebe 118, Rückwand 120 und ein spiegelbildliches Paar von Seitenwandeinsätzen 122. Der Frontabschnitt 118 besitzt eine Geräte-Anschlußstelle 119, die zwi­ schen einem linken Abschnitt 124 und einem rechten Abschnitt 126 des Frontabschnitts 118 angeordnet ist. Die Geräte-Anschlußstelle 119 umfaßt einen Quersteg 128. Die Rückwand 120 umfaßt eine Wandung 130, die zwi­ schen einem linken Abschnitt 132 und einem rechten Abschnitt 134 der Rückwand 120 angeordnet ist.

Die Seitenwandeinsätze 122 sind zwischen dem Frontabschnitt 118 und der Rückwand 120 angeordnet und besitzten ähnliche Merkmale wie die Seitenwandeinsätze 41 und zusätzlich einen frontseitigen Abschnitt 136, einen rückseitigen Abschnitt 138 und zusammenwirkende aufrechte Verbindungswandungen 140, wie in Fig. 21 gezeigt. Wie ferner in Fig. 21 dargestellt ist, umfaßt der Seitenwandeinsatz 122 einen oberen soliden ebenen Abschnitt 104 und einen unteren gekrümmten soliden Abschnitt 106, Waschschlitze zu verschließen und das Hindurchströmen von Fluid zwischen der Innenseite 88 und der Außenseite 90 zu verhindern. Der frontseitige Abschnitt 136 des Seitenwandeinsatzes 122 ist mit einem entsprechenden linken Abschnitt 124 bzw. rechten Abschnitt 126 des Frontabschnitts 118 verbunden. Der rückseitige Abschnitt 138 jedes Sei­ tenwandeinsatzes 122 ist mit dem entsprechenden linken Abschnitt 132 oder rechten Abschnitt 134 der Rückwand 120 verbunden.

Die Befestigungsmittel der Fig. 18 bis 21 verwenden Verbin­ dungswandungen 140, die an dem linken Abschnitt 124, dem rechten Ab­ schnitt 126, dem linken Abschnitt 132, dem rechten Abschnitt 134 und vorder- und rückseitigen Abschnitten der Seitenwandeinsätze 122 befe­ stigt sind. Gemäß Fig. 18 könnten die Verbindungswandungen 140 durch Nieten 141, Schweißpunkte 142, Schrauben und Muttern 143 oder ähnliche Befestigungsmittel befestigt sein. Unter "Befestigungsmitteln" werden diese und andere bekannte Mittel zum Befestigen verstanden.

In Fig. 1 wird durch gestrichelte Linien eine alternative Aus­ führungsform dargestellt, die einen Trägerrahmen verwendet, der aus den Seitenwänden 40, der Rückwand 36 und dem Frontabschnitt 32 und einem in den Trägerrahmen einsetzbaren Geräte-Anschlußstellenabschnitt 34 be­ steht. Die gestrichelte Linie 150 von Fig. 1 deutet eine geeignete Tei­ lung zwischen dem Frontabschnitt 32 und dem Geräte-Anschlußstellenab­ schnitt 34 und dem Rest des Trägerrahmens 152 an. Bei dieser Ausfüh­ rungsform können verschiedene spezifische Anschlußstellenabschnitte 48 durch Verwendung entsprechender Formen hierfür eingesetzt werden, wäh­ rend die gleichen Seitenwände 40 beibehalten werden. Befestigungsmittel, wie sie oben beschrieben wurden, können verwendet werden, um den Front­ abschnitt 32 oder die Geräte-Anschlußstellenabschnitte 34 an dem Träger­ rahmen zu befestigen.

Bei den in den Fig. 23 bis 28 gezeigten Ausführungsformen be­ sitzt der Waferträger 230 zusätzlich Bügel 234, die sich vom Frontab­ schnitt 136 von dessen linkem Abschnitt 238 und dessen rechtem Abschnitt 240 erstrecken. Der Waferträger 230 besitzt eine offene Oberseite 246, einen offenen Boden 248 und eine Geräte-Anschlußstelle 252 als Teil des Frontabschnitts 236 mit einem Quersteg 254 zwischen dem linken und dem rechten Abschnitt des Frontabschnitts 238. Die Seitenwände 260, 262 um­ fassen Seitenwandeinsätze 268, 270, die jeweils einen oberen, im wesent­ lichen vertikalen Abschnitt 272 und einen unteren, einwärts laufenden Abschnitt 274 aufweisen. Eine Vielzahl von vertikalen Schlitzen 276 er­ streckt sich vertikal abwärts zum Halten von Wafern W.

Die Seitenwandeinsätze 268, 270 besitzen jeweils ein Paar von abwärts gerichteten Nasen 280 zum Eingriff mit Ausnehmungen 282 als Teil von Paaren von zusammenwirkenden Eingriffsabschnitten 284. Die Seiten­ wandeinsätze 268, 270 besitzen vertikal aufrechte Nasen 288, die in Ein­ griff mit Schlitzen oder Ausnehmungen 290 im Trägerrahmen gleiten. Die Seitenwandeinsätze 268, 270 können durch geeignet angebrachte Klinken 292, wie sie auf den Nasen 280 gezeigt sind, verriegelt werden.

Diese Ausführungsform des Waferträgers 230 kann einen zusätz­ lichen Geräte-Anschlußstellenabschnitt oder -flansch 300 umfassen, der an der Rückwand 302 befestigt ist. Auch diese Verbindung wird mit Hilfe eines Paars von zusammenwirkenden Eingriffsabschnitten 306 bewirkt. Der­ artige zusammenwirkende Eingriffsabschnitte können als Nasen 308 ausge­ bildet sein, die sich in Ausnehmungen oder Schlitze 310 an der Rückwand 302 erstrecken. Federvorgespannte Verriegelungsnasen 314, die eine Klin­ ke 316 umfassen, können verwendet werden, um den Geräte-Anschlußstellen­ abschnitt 300 an seinem Platz zu verriegeln. Die Klinken 316 greifen in Ausnehmungen 320 ein, die durch vorstehende Strukturen 322 auf dem Gerä­ te-Anschlußstellenabschnitt 300 gebildet werden.

Der in Fig. 26, 27 und 28 dargestellte Geräte-Anschlußstellen­ flansch 300 umfaßt einen Handgriff 330, der das manuelle Aufnehmen des Waferträgers erleichtert, aber vor allem als Aufnahmehandgriff für einen Roboter geeignet ist.

Bei den Ausführungsformen der Fig. 23 bis 28 können die Sei­ tenwandeinsätze 268, 270 in Aufnahmeschlitze 334 eingesetzt werden, wo­ durch der Trägerrahmen eine wesentlich vergrößerte Festigkeit zusätzlich zu seiner bereits aufgrund der vielen Streben starren Struktur erhält.

Die Verwendung von getrennt ausgebildeten Teilen ermöglicht die Verwendung von Kohlenstoffasern als Füller in variierenden Mengen, um unterschiedliche dissipative Eigenschaften hinsichtlich statischer Elektrizität zu erhalten, wie sie für jede spezifische unabhängig ge­ formte Komponente gewünscht ist. Beispielsweisen können die Geräte-An­ schlußstellenabschnitte höhere Leitfähigkeiten besitzen, um irgendeine Ladung auf den Waferträger zu entladen, während die Seitenwände eine ge­ ringere Leitfähigkeit aufweisen sollten, um das Potential von elektro­ statischen Entladungen in der Nähe der Wafer zu minimieren. Als Kohlen­ stoffüller können Kohlenstoffasern oder Kohlenstoffpulver verwendet wer­ den.

Die zusammenwirkenden Eingriffsabschnitte, die für einige der Ausführungsformen verwendet werden, liefern Befestigungsmittel ohne äußere Befestiger. Dies erleichtert das Zusammensetzen und minimiert den Kontakt zwischen zwei Flächen anders als Punkt- oder Linienkontakt und ermöglicht es der Anordnung, durch Schnappverbindungen verbunden zu wer­ den. Eine derartige Ausführungsform ist zum Reinigen und Trocknen des zusammengesetzten Waferträgers dienlich.

Obwohl in den Figuren Geräte-Anschlußstellenabschnitte in Form Querstreben und Roboterhandgriffen dargestellt sind, können auch üb­ liche kinematische Kupplungen verwendet werden, die drei umfangsmäßig verteilte Nuten aufweisen, oder andere geeignete Geräte-Anschlußstellen­ abschnitte.

Die Geräte-Anschlußstellen 34, 300 können so gestaltet sein, daß der Waferträger vorwärts bzw. rückwärts drehbar ist, um die entspre­ chende Geräte-Anschlußstelle 34, 300 auf dem Gerät anzuordnen und gege­ benenfalls die Achsen der ausgerichteten Wafer W im wesentlichen verti­ kal zu positionieren.

Claims (15)

1. Waferträger zur Aufnahme einer Vielzahl von axial ausge­ richteten, kreisförmigen Wafern (W), deren Achse im wesentlichen hori­ zontal verläuft, mit einem aufrecht stehenden Frontabschnitt (32), der eine Geräte-Anschlußstelle (34) zum Anschluß an ein Gerät (47) umfaßt, einer aufrecht stehenden Rückwand (36) und zwei sich zwischen dem Front­ abschnitt (32) und der Rückwand (36) erstreckenden Seitenwänden (40), die jeweils einen vertikalen oberen und einen einwärts geneigten unteren Abschnitt sowie eine Vielzahl von im wesentlichen vertikalen Schlitzen (46) für die Wafer (W) aufweisen, dadurch gekennzeich­ net, daß der Frontabschnitt (32) und/oder die beiden Seitenwände (40) und/oder die Rückwand (36) und/oder die Geräte-Anschlußstelle (34) ge­ trennt vom übrigen Waferträger ausgebildet und an diesem über Paare von in verriegelnden Eingriff bringbaren Abschnitten (62) angebracht sind.

2. Waferträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die in verriegelnden Eingriff bringbaren Abschnitte (62) positionierend und/oder auswechselbar sind.

3. Waferträger nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Geräte-Anschlußstelle (34) einen Quersteg (64) zwischen zwei Ab­ schnitten des Frontabschnitts (32) umfaßt.

4. Waferträger nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß jede Seitenwand (40) einen Seitenwandeinsatz (41) auf­ weist und für jeden Seitenwandeinsatz (41) ein Paar von sich zwischen dem Frontabschnitt (32) und der Rückwand (36) und sich entlang des Sei­ tenwandeinsatzes (41) erstreckenden Streben (66, 68) vorgesehen ist.

5. Waferträger nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Seitenwandeinsatz (41) und die zugehörigen Streben (66, 68) wenig­ stens ein Paar von miteinander in gesicherten Eingriff bringbaren Ab­ schnitten aufweisen.

6. Waferträger nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Frontabschnitt (32) und/oder die Rückwand (302) einen getrennt hiervon ausgebildeten und damit über wenigstens eine Paar von in Eingriff bringbaren Abschnitten verbundenen Geräte-Anschlußstel­ lenabschnitt (34, 300) aufweisen.

7. Waferträger nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Geräte-Anschlußstellenabschnitt (34, 300) ein Flansch zum Anheben durch einen Roboter ist.

8. Waferträger nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das oder die getrennt ausgebildeten Teile (32, 34, 36, 40) Spritzgußteile sind, aus einem Plastikmaterial und einem Kohlen­ stoff-Füller bestehen und bezüglich statischer Elektrizität dissipativ sind.

9. Waferträger nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die dissipative Eigenschaft des getrennt ausgebildeten Teils (32, 34, 36, 40) verschieden von derjenigen von wenigstens einem anderen Teil des Waferträgers ist.

10. Waferträger nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch ge­ kennzeichnet, daß ein einstückiger Trägerrahmen (60) vorgesehen ist, der darin eingesetzte Seitenwandeinsätze (41) aufweist.

11. Waferträger nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Trägerrahmen (60) jeweils eine untere und eine oberen Strebe (66, 68) Halten der Seitenwandeinsätze (41) aufweist.

12. Waferträger nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Paare von in verriegelnden Eingriff bringbaren Ab­ schnitten (62) aus Schnappnasen und Ausnehmungen hierfür bestehen.

13. Waferträger nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Abschnitte (62) an der Unterseite des Seitenwandeinsatzes (41) und einer unteren Strebe des Trägerrahmens (60) angebracht sind.

14. Waferträger nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch ge­ kennzeichnet, daß in Eingriff bringbare Zapfen (81) und zugehörige Aus­ nehmungen (81.7) an den Seitenwandeinsätzen (41) und am Trägerrahmen (60) vorgesehen sind.

15. Waferträger nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Zapfen (81) an einer oberen oder seitlichen Leiste des Seitenwand­ einsatzes (41) angeordnet sind.