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JP2513110B2 - フォトマスク用容器 - Google Patents

フォトマスク用容器

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JP2513110B2
JP2513110B2 JP26424392A JP26424392A JP2513110B2 JP 2513110 B2 JP2513110 B2 JP 2513110B2 JP 26424392 A JP26424392 A JP 26424392A JP 26424392 A JP26424392 A JP 26424392A JP 2513110 B2 JP2513110 B2 JP 2513110B2
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Japan
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photomask
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俊光 渡辺
優一 松澤
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Toppan Inc
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Toppan Printing Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフォトマスク用容器に関
し、特にフォトマスクの品質を損うことなく運搬かつ保
管することのできるフォトマスク用容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】フォトマスクは性質上精密度を要するた
め、その保管については厳密な注意が払われており、一
般に保管又は運搬のための収納容器として密閉性のもの
が用いられ、また複数枚のフォトマスクが互いに接触す
ることのないよう、形状面に種々の工夫がなされてい
る。
【０００３】このような収納容器としては、従来成形加
工性等の面からスチレン系樹脂又はアクリル系樹脂から
なるものが用いられている。特にスチレン系樹脂は透明
性に優れ、射出成形法による成形加工性が良好であるこ
となどからフォトマスク用容器として好ましく用いられ
ているが、一方でこのような容器は導電性がないため保
管中又は運搬中に容器に静電気が蓄積され、その結果、
容器とフォトマスク間で放電現象を生じフォトマスクの
パターンが破壊される恐れがあった。また、帯電した容
器は更に空気中の浮遊塵等を吸着し、これをそのままシ
リコンウエハ製造工程等に持ち込むと工程を汚染してし
まうという問題も生じる。
【０００４】上記の問題を改良するため、ポリメチルメ
タクリレート等のアクリル系樹脂に導電性アクリルゴム
を三次元網目状に分散させた樹脂を用いて導電性を付与
した容器も用いられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ようなアクリル系樹脂の場合、成形後の容器を構成する
樹脂中にアクリル酸メチルモノマー、メタクリル酸メチ
ルモノマー等のモノマー類が残留しており、これらの残
留モノマーが保管時又は運搬時に容器から遊離して、そ
の臭気が作業者等の健康を損なう恐れがあった。更に、
前記のような導電性アクリルゴムの架橋反応にはメタケ
イ酸ナトリウムを使用するため、成形された容器の保管
時又は運搬時に容器からナトリウムが溶出してフォトマ
スクに固着する場合があり、この結果、基板のガラスの
透明性が低下して、シリコンウエハ製造工程におけるレ
ジスト現像に悪影響を与えるとともに、フォトマスクを
シリコンウエハに密着させて露光する際に、シリコンウ
エハに溶出したナトリウムが移行して最終的なＩＣチッ
プ製品の品質が低下する恐れもあった。
【０００６】従って本発明の目的は、臭気の発生がな
く、導電性を有し、かつナトリウムの溶出のないフォト
マスク用容器を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記本発明の目的は、熱
可塑性樹脂を成形加工してなるフォトマスク用容器であ
って、上記熱可塑性樹脂がセルロースエステルからな
り、かつ成形加工後に表面をアルカリでケン化処理して
なるフォトマスク用容器、を提供することにより達成さ
れた。
【０００８】以下に本発明を更に詳細に説明する。
【０００９】本発明のフォトマスク用容器を形成するセ
ルロースエステルとは、セルロースの一部又は全部がエ
ステル化された化合物であり、例えばセルロースアセテ
ート、セルロースプロピオネート、セルロースブチレー
ト等が用いられる。これらのセルロースエステル樹脂に
は必要に応じ可塑剤、安定剤、充填剤等を添加したもの
も用いられる。
【００１０】本発明のフォトマスク用容器としては、成
形加工後に表面をアルカリにてケン化処理して導電性を
付与したものが用いられる。このようなケン化処理は、
例えば、本発明の容器を水酸化カリウム、水酸化ナトリ
ウム等のアルカリの５〜15重量％水溶液に40〜80℃の温
度で５〜 100分間浸漬することによって行なうことがで
きる。
【００１１】本発明のフォトマスク用容器は上記の如き
材料から形成されているものであれば、本発明の目的を
特に損わない限りその形状には特に制限はないが、例え
ば、図１に示す如く、フォトマスク１を互いに接触させ
ることなく多数枚収納可能な内部ケース２、内部ケース
２を収納する外部ケース３及び必要に応じフォトマスク
を固定する部材を備えた上蓋４からなる密閉可能な容器
が挙げられる。このような容器においては、少なくと
も、フォトマスクを保持するため、これと直接接触する
内部ケースは本発明のセルロースエステルからなり、ケ
ン化処理を施した材料から形成されることが必要であ
り、好ましくは外部ケース及び上蓋も上記のような材料
を用いて形成する。
【００１２】
【作用】本発明の如く、容器を形成する熱可塑性樹脂と
してセルロースエステルを用いることにより、従来問題
となっていた臭気の発生及びナトリウムの溶出を防止で
きる。また、更に容器を成形加工した後にアルカリで表
面をケン化処理することにより、容器に導電性を付与す
ることが可能となる。
【００１３】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を更に具体的に
説明する。 実施例 セルロースプロピオネート樹脂（商品名：テナイト・プ
ロピオネート３０７，イーストマン・ケミカル社製）を
射出成形法により、図１に示すような形状に成形した。
次いでＫＯＨ水溶液に浸漬することにより、表面にケン
化処理を施して得られた容器を試料１とする。
【００１４】試料１の作製において、ケン化処理を施さ
ない以外は同様にして試料２を作製した。
【００１５】更に、試料１の作製において、セルロース
プロピオネート樹脂にかえてポリスチレン樹脂を用いた
以外は同様にして試料３を作製した。
【００１６】また、試料１の作製において、セルロース
プロピオネート樹脂にかえて、ＰＭＭＡに導電性アクリ
ルゴムを三次元網目状に分散させた樹脂を用いた以外は
同様にして試料４を作製した。
【００１７】上記得られた試料１〜４の各々について下
記の評価を行なった。 臭気官能テスト 各容器について、臭気を感じるか否かを調べた。
【００１８】帯電圧テスト 各容器について、下記条件にて帯電圧Ｖmax 、半減期τ
1/2 、及び印加電圧を切って１分後の減衰電圧Ｄv をそ
れぞれ測定した。 測定機 ；スタチックオネストメーター（宍戸商会製） 印加電圧；８ＫＶ 印加時間；６０秒 印加電極・試料間距離；２０mm 検出電極・試料間距離；１０mm
【００１９】不純物濃度テスト 各容器について原子吸光分光光度計により不純物濃度を
測定した。
【００２０】以上の評価の結果を表１に示す。
【００２１】
【表１】 本発明の容器試料１は臭気、不純物、特にナトリウムの
溶出及び導電性のいずれにおいても優れていることがわ
かる。
【００２２】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明フォ
トマスク用容器は、臭気の発生がないので、運搬中や保
管中に作業者の健康を損うことがない。
【００２３】また、容器からのナトリウムの溶出が極め
て少ないので、フォトマスクにナトリウムが固着してガ
ラスの透明性が低下し、シリコンウエハ製造工程におけ
るレジスト現像に悪影響を及ぼすことがなく、シリコン
ウエハにナトリウムが移行してＩＣチップ製品の品質が
低下することを防止することができる。
【００２４】更にフォトマスクを収納する容器が導電性
を有するため、帯電によるフォトマスクのクロムのパタ
ーンの静電破壊を防止することができ、また運搬中や保
管中に空気中の浮遊塵を吸着することも防止することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のフォトマスク用容器の一例を示す概略
斜視図である。 １ フォトマスク ２ 内部容器 ３ 外部容器 ４ 上蓋

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 熱可塑性樹脂を成形加工してなるフォト
    マスク用容器であって、上記熱可塑性樹脂がセルロース
    エステルからなり、かつ成形加工後に表面をアルカリで
    ケン化処理してなるフォトマスク用容器。
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