DE1279718B

DE1279718B - Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Elektronenroehre mit einer photoempfindlichen Schicht in einem Vakuumraum und nach diesem Verfahren hergestellte Elektronenroehre

Info

Publication number: DE1279718B
Application number: DEN28080A
Authority: DE
Inventors: Rene Legoux
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1965-02-23
Filing date: 1966-02-19
Publication date: 1968-10-10
Also published as: GB1143536A; US3353890A; FR1434292A; NL6602100A

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND

DEUTSCHES

PATENTAMT

AUSLEGESCHRIFT

Int. Cl.:

H04n

HOIj
Deutsche Kl.: 21 al-32/35

Nummer: 1279718

Aktenzeichen: P 12 79 718.1-31 (N 28080)

Anmeldetag: 19. Februar 1966

Auslegetag: 10. Oktober 1968

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Elektronenröhre mit einer sich durch Erhitzen leicht zersetzenden photoempfindlichen Schicht, bei dem der Zusammenbau in einem geschlossenen Vakuumraum erfolgt. Ein solches Verfahren ist bekannt.

Beim bekannten Verfahren wird die Röhre vollständig in einem Vakuumraum zusammengebaut, wodurch sich der Vorteil ergibt, daß die Röhre kein zuzuschmelzendes Entlüftungsrohr braucht. Dieses bekannte Verfahren wird in einer Vakuumglocke ausgeführt, die erhitzt wird, um die zusammenzusetzenden Röhrenteile soweit wie möglich zu entgasen.

Damit in einer Elektronenröhre, insbesondere einer Vidiconröhre, während des Zusammensetzens die sich leicht zersetzende photoempfindliche Schicht ihre photoelektrischen Eigenschaften beibehalten kann, darf diese Schicht nicht über etwa 100° C erhitzt werden. Dadurch entsteht der Nachteil, daß bei der verhältnismäßig niedrig zu haltenden Temperatur die Röhre im Vakuumraum nicht hinreichend entgast wird.

Die Erfindung bezweckt, ein Verfahren anzugeben, das sich besonders gut zur Herstellung von Vidiconröhren eignet, bei dem also einerseits die zusammenzusetzenden Röhrenteile hinreichend entgast werden und andererseits die betreffende photoempfindliche Schicht sich nicht zersetzt.

Das Verfahren nach der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß in einem Vakuumraum an zwei verschiedenen Stellen und bei verschiedenen Temperaturen einerseits ein mit einer photoempfindlichen Schicht versehener Tragkörper und andererseits die im wesentlichen aus zwei Teilen bestehende Hülle mit den übrigen Einzelteilen der Elektronenröhre durch Erhitzung entgast werden, worauf bei niedrigerer Temperatur der mit der photoempfindlichen Schicht versehene Tragkörper in einem der Hüllenteile befestigt wird und danach die beiden Hüllenteile durch an sich bekanntes Zusammenpressen unter Verwendung einer hierfür geeigneten Zwischenschicht vereinigt werden und dann die fertige Röhre aus dem Vakuumraum entfernt wird.

Bei diesem Verfahren nach der Erfindung besteht die Möglichkeit, in einem der Teile des Vakuumraums die Röhrenteile bei hoher Temperatur zu entgasen, während in dieser Zeit die photoempfindliche Schicht in dem Vakuum an einer entfernten Stelle gehalten und dort bei einer bedeutend niedrigeren Temperatur entgast wird. An dieser Stelle ist die Temperatur gerade derart gewählt, daß die photoempfindliche Schicht sich nicht zersetzt.

Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung
einer Elektronenröhre mit einer
photoempfindlichen Schicht in einem
Vakuumraum und nach diesem Verfahren
hergestellte Elektronenröhre

Anmelder:

N. V. Philips' Gloeilampenfabrieken,

Eindhoven (Niederlande)

Vertreter:

Dr.-Ing. H.-D. Zeller, Patentanwalt,

2000 Hamburg 1, Mönckebergstr. 7

Als Erfinder benannt:

Rene Legoux, Sceaux, Seine (Frankreich)

Beanspruchte Priorität:

Frankreich vom 23. Februar 1965 (6690)

Es ist an sich bekannt, Teile eines Speichersystems im Vakuum zusammenzubauen. Die Montage der Röhre, also das Zusammensetzen dieser Speichersystemteile mit den übrigen Teilen der Röhre, findet dabei jedoch nicht im gleichen Vakuum statt. Eine Entgasung bei verschiedenen Temperaturen ist denn auch nicht bekannt.

Es ist an sich weiterhin bekannt, bei der Montage von Vidiconröhren zuerst durch ein Kaltpreßverfahren eine Stirnplatte und den Röhrenkolben unter Verwendung einer geeigneten Zwischenschicht kalt zusammenzupressen. Erst nach diesem Verfahrensschritt wird der Kolben in einem gesonderten Ver- fahren gepumpt und am Pumpstengel zugeschmolzen. Eine geeignete Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß sie einen Hauptvakuumraum (Glasglocke) enthält, in dem die Röhre zu einem verschlossenen Ganzen montiert wird und einen mit dem Hauptvakuumraum in Verbindung stehenden Hilfsvakuumraum aufweist, und diese beiden Räume mit individuellen Erhitzungsmitteln, etwaigen Abkühlungsmitteln und mit Mitteln versehen sind, durch welche ein Tragkörper mit einer photoempfindlichen Schicht aus dem Hilfsvakuumraum zum Hauptvakuumraum (Glasglocke) beförderbar ist.

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Der Vakuumraum ist dabei in einen Hauptraum zum Vereinigen der beiden Hüllenteile und einen Nebenraum aufgeteilt, in dem der Tragkörper mit der photoempfindlichen Schicht zeitweilig untergebracht werden kann, während die weiteren Rohrenteile bei einer verhältnismäßig hohen Temperatur entgast werden.

Ein Ausführungsbeispiel nach der Erfindung wird an Hand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 die Vorrichtung nach der Erfindung teilweise in einer Seitenansicht und teilweise in einem Querschnitt,

Fig. 2 einen Schnitt entlang der Linie Π-Π nach Fig. 1, und einen "Mechanismus zum Verschieben eines Tragkörpers mit der photoempfindlichen Schicht,

F i g. 3 eine Vidiconröhre, die durch das Verfahren nach der Erfindung hergestellt ist und

F i g. 4 einen Tragkörper mit einer photoempfindlichen Schicht und Ansätzen zur Befestigung in einem der Teile der Röhrenhülle. ao

Die durch das erfindungsgemäße Verfahren herzustellenden Röhren werden im Innern eines zylindrischen, senkrecht" angeordneten Hauptvakuumraumes zusammengesetzt, der aus einem unteren Teill aus rostfreiem Stahl besteht, auf dem eine Glasglocke 2 "befestigt ist. Der Hauptvakuumraum steht mit einem seitlichen Hilf svakuum 18 in Verbindung.

Auf dem stählernen Teil 1 sind Mittel zum Festhalten der Röhrenteile und zum Ausführen von Bewegungen im Innern des Vakuumraums und zum Verschließen der Röhre angeordnet.

Das Vakuum in der Glocke 2 wird durch eine Pumpe 5, die in„ Verbindung mit dem stählernen TeE 1 steht, unterjZwischenfügung einer Metallklappe 6 aufrechterhalten.

Alle gemeinsam die Vakuumglocke und die Pumpe bildenden Einzelteile sind durch geeignete Metallverbindungen derart zusammengefügt, daß das Ganze bis zu Drücken νοη"Ι(Γ^ί0 Torr vakuumdicht ist.

Ein Kolben einer Röhre wird durch zwei zylindrische Teile gebildet, die mit metallenen Ringteilen

9 und 10 versehen sind, die durch die Wirkung einer Kraft verbunden werden können, welche diese Teile gegeneinander drückt. Die Verbindung wird durch das Zusammenpressen von zwei Metallteilen hergestellt, die aus dem gleichen Metall-niit hohen Flußeigenschaften bestehen. Zu diesem Zweck wird ein weiches Metall, z. B. Indium, benutzt. Dieses Metall wird in eine V-förmige Nut gebracht, die in dem unteren Teil 9 vorgesehen ist und die den einen der beiden Teile darstellt.

Der nach unten gerichtete Rand des oberen Teiles

10 dieser Verbindung wird mit einem weichen Metall verkleidet, indem dieser Rand in das in der V-Nut des Teiles 9 vorhandene Indiumschmelzbad getaucht wird.

Die Einzelteile der Vidiconröhre werden im Innern des Vakuumraumes montiert. Einer der Teile der Röhre, d. h. der Kragen der Röhre 19, der die Elektronenkanone und den Teil 10 enthält, wird durch zwei Säulen 12 gehalten, die parallel zur Achse der Glocke 2 liegen. Der zugehörende Röhrenteil, der das Vorderfenster 20 mit dem Teil 9 der Röhre bildet, ist auf einem Block 14 befestigt, der sich entlang der Säulen 12 bewegen kann. Dieser Block 14 ist mit einer Stange 4 einer hydraulischen Presse gekuppelt, die eine Kraft von einigen Tonnen ausüben kann.

Dieser Mechanismus muß selbstverständlich in bekannter Weise z. B. mit einem nicht dargestellten Vakuumbalg derart gekuppelt werden, daß während der Arbeit das Vakuum in der Glocke 2 aufrechterhalten bleibt.

In einem gewissen Abstand von dem Fenster 20 des Vidicons muß ein Tragkörper 21 mit der photoempfindlichen Schicht befestigt werden. Dieser Tragkörper 21 wird zunächst innerhalb des Hilfsvakuums 18 auf einem bekannten Mittel 22 befestigt. Mittels eines Rades 23 und eines Pantographen 24, die durch einen Balg 25 wirksam sind (siehe auch Fig.2), kann der Tragkörper 21 durch Translation horizontal bewegt werden und gerade in die richtige Endlage in der Achse des Fensters 20 der Röhre gebracht werden.

Nach Beendigung aller Vorgänge wird die Glocke 2 verschlossen, entlüftet und die montierten Röhrenteile werden daraufhin entgast.

Zu diesem Zweck wird das Fenster 20 bis in die Nähe des Ansatzes 19 der Röhre hochgeführt und danach bei einer Temperatur von 350° C gemeinsam mit den anderen Einzelteilen entgast.

Während dieser Zeit ist der Tragkörper 21 in Richtung auf die Mitte des seitlichen Hilfsvakuums 18 weggeklappt, in dem bei einer Temperatur von nur 100 bis 110° C entgast wird.

Nach der Entgasungszeit wird die Verbindung zwischen den Röhrenteilen zum endgültigen Verschließen vorbereitet.

Zu diesem Zweck wird der Block 14 hochbewegt, bis der metallene obere Rand des Teiles 10 in das Bad mit dem geschmolzenen weichen Metall getaucht wird. Dieses Bad ist in der V-förmigen Nut des Teiles 9 vorhanden. Das weiche Metall überzieht innerhalb einiger Minuten den Metallrand des Teiles 10. Darauf werden die zwei Teile voneinander wegbewegt, indem der Block 14 bis auf eine hinreichende Höhe derart abgesenkt wird, daß der Körper 21 zwischen die Teile 9 und 10 gelangen kann.

Nach der Beendigung der Wärmebehandlungen bei hohen Temperaturen wird die Temperatur des Ganzen auf Zimmertemperatur verringert.

Darauf wird die Röhre durch ein bekanntes Aktivierungsverfahren empfindlich gemacht. Nach Beendigung dieses Verfahrens wird das Fenster 20 abwärts bewegt, so daß der Körper 21, der durch das Bad 23 in die richtige Stellung geführt wird, an dem Fenster 20 befestigt werden kann.

Wenn der Körper 21 gegenüber dem Fenster 20 liegt, werden die sphärischen Ansätze 26 des Körpers (F i g. 4) bei dem Hochbewegen des Blockes 14 ergriffen, die in entsprechende Einsparungen des Fensters 20 eindringen können.

Dann wird der Mechanismus 24 in den seitlichen Hilfsvakuumraum 18 zurückgezogen und die Röhre wird durch Ausüben einer Kraft mittels einer hydraulischen Presse verschlossen, die die Teile 9 und 10 derart zusammenpreßt, daß zwischen diesen Teilen ein intermetallischer Kontakt hergestellt wird.

Schließlich wird die Glasglocke 2 entfernt und die erhaltene Vidiconröhre wird herausgenommen.

Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zur Herstellung einer Elektronenröhre mit einer sich durch Erhitzen leicht zersetzenden photoempfindlichen Schicht, bei dem der Zusammenbau in einem geschlossenen Vakuum-

raum erfolgt, dadurch gekennzeichnet, daß in einem Vakuumraum an zwei verschiedenen Stellen (2,18) und bei verschiedenen Temperaturen einerseits ein mit einer photoempfindlichen Schicht versehener Tragkörper (21) und andererseits die im wesentlichen aus zwei Teilen (19, 20) bestehende Hülle mit den übrigen Einzelteilen der Elektronenröhre durch Erhitzung entgast werden, worauf bei niedrigerer Temperatur der mit der photoempfindlichen Schicht versehene Tragkörper (21) in einem der Hüllenteile (20) befestigt wird und danach die beiden Hüllenteile durch an sich bekanntes Zusammenpressen unter Verwendung einer hierfür geeigneten Zwischenschicht vereinigt werden und dann die fertige Röhre aus dem Vakuumraum (2) entfernt wird.

2. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie einen Hauptvakuumraum (Glasglocke 2) enthält, in dem die Röhre zu einem verschlossenen Ganzen montiert wird und einen mit dem Hauptvakuumraum (2) in Verbindung stehenden Hilfsvakuumraum (18) aufweist, und diese beiden Räume mit individuellen Erhitzungsmitteln, etwaigen Abkühlungsmitteln und mit Mitteln (23, 24) versehen sind, durch welche ein Tragkörper (21) mit einer photoempfindlichen Schicht aus dem Hilfsvakuumraum (18) zum Hauptvakuumraum (Glasglocke 2) beförderbar ist.

3. Durch das Verfahren nach Anspruch 1 hergestellte Elektronenröhre, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektronenröhre eine Vidiconröhre ist.

In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Auslegeschriften Nr. 1055 584,
463;

Patentschrift Nr. 34 317 des Amtes für Erfindungsao und Patentwesen in Ost-Berlin.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen