[go: up one dir, main page]

DE112008000748T5 - Prüfgerät, elektrische Vorrichtung und Prüfverfahren - Google Patents

Prüfgerät, elektrische Vorrichtung und Prüfverfahren Download PDF

Info

Publication number
DE112008000748T5
DE112008000748T5 DE112008000748T DE112008000748T DE112008000748T5 DE 112008000748 T5 DE112008000748 T5 DE 112008000748T5 DE 112008000748 T DE112008000748 T DE 112008000748T DE 112008000748 T DE112008000748 T DE 112008000748T DE 112008000748 T5 DE112008000748 T5 DE 112008000748T5
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
test
value
result register
instruction
circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE112008000748T
Other languages
English (en)
Inventor
Tatsuya Yamada
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Publication of DE112008000748T5 publication Critical patent/DE112008000748T5/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31917Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
    • G01R31/31919Storing and outputting test patterns
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/3183Generation of test inputs, e.g. test vectors, patterns or sequences
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/31813Test pattern generators

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Test And Diagnosis Of Digital Computers (AREA)

Abstract

Prüfgerät zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche aufweist:
eine Befehlsspeicherschaltung, die eine Prüfbefehlsfolge speichert;
eine Mustererzeugungsschaltung, die aufeinander folgend einen Befehl aus der Prüfbefehlsfolge liest und ausführt und ein mit dem ausgeführten Befehl assoziiertes Prüfmuster ausgibt;
eine Prüfsignal-Ausgabeschaltung, die ein Prüfsignal gemäß dem Prüfmuster erzeugt und das erzeugte Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung liefert; und
ein Ergebnisregister, das einen Wert mit einer vorbestimmten Anzahl von Bits speichert, wobei die Befehlsspeicherschaltung die Prüfbefehlsfolge enthaltend einen Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl zum Aktualisieren eines Wertes einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister mit einem vorbestimmten Wert speichert, und wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl ausgeführt wird, die Mustererzeugungsschaltung den Wert der Bitposition in dem Ergebnisregister, die durch den Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl bezeichnet ist, mit dem vorbestimmten Wert aktualisiert.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Prüfgerät und eine elektronische Vorrichtung. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf ein Prüfgerät zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung und eine elektronische Vorrichtung, die eine Prüfschaltung zum Prüfen einer geprüften Schaltung enthält. Die vorliegende Anmeldung bezieht sich auf eine US-Patentanmeldung Nr. 11/689,503, die am 21. März 2007 eingereicht wurde und deren Inhalt hier einbezogen wird, falls dies in dem bezeichneten Staat anwendbar ist.
  • Stand der Technik
  • Es ist ein Prüfgerät bekannt, das eine geprüfte Vorrichtung (DUT) wie einen Halbleiter prüft. Das Prüfgerät liefert ein Prüfsignal mit einem vorbestimmten logischen Muster zu der DUT, erfasst ein von der DUT als Antwort auf das zugeführte Prüfsignal ausgegebenes Signal und vergleicht das erfasste Signal mit einem erwarteten Wert, um zu beurteilen, ob die DUT annehmbar ist.
  • Das Prüfgerät enthält einen Mustergenerator zum aufeinanderfolgenden Erzeugen eines Prüfmusters und eine Prüfsignal-Ausgabeschaltung zum Ausgeben eines Prüfsignals mit einem logischen Muster entsprechend dem Prüfmuster. Der Mustergenerator liest aufeinanderfolgend einen Befehl aus Folgedaten (eine Prüfbefehlsfolge), die in einem Speicher gespeichert sind und führt den gelesenen Befehl aus. Der Mustergenerator liest dann Musterdaten entsprechend dem ausgeführten Befehl aus dem Speicher und gibt aufeinanderfolgend die gelesenen Musterdaten als das Prüfmuster aus. Auf diese Weise kann das Prüfgerät das Prüfsignal mit einem vorbestimmten logischen Muster zu der DUT liefern.
  • Der Mustergenerator war in der Lage, einen Prüfbefehl auszuführen, um ein Ergebnis des Vergleichs des Ausgangssignals der DUT mit dem erwarteten Wert zu empfangen und eine nächste Operation auf der Grundlage des empfangenen Vergleichsergebnisses zu bestimmen, wie beispielsweise in den Veröffentlichungen Nr. 2004-264047 und Nr. H07-73700 von ungeprüften japanischen Patentanmeldungen offenbart ist. Jedoch hat der Mustergenerator Schwierigkeiten bei der Speicherung der Ergebnisse von vielen bei der DUT durchgeführten Prüfungen, um unterschiedliche Prüfmuster für nachfolgende Prüfungen mit Bezug auf die Ergebnisse der Prüfungen zu erzeugen oder die DUT auf der Grundlage der Ergebnisse der Prüfungen zu bewerten.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Durch die Erfindung zu lösende Probleme
  • Angesichts des vorstehenden ist es ein Vorteil, einige Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung, ein Prüfgerät und eine elektronische Vorrichtung vorzusehen, die das vorgenannte Problem lösen können. Dieser Vorteil wird erzielt durch Kombinieren der in den unabhängigen Ansprüchen beschriebenen Merkmale. Die abhängigen Ansprüche definieren weitere wirksame spezifische Beispiele der vorliegenden Erfindung.
  • Mittel zum Lösen der Probleme
  • Ein erstes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht ein Prüfgerät zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vor. Das Prüfgerät enthält eine Befehlsspeicherschaltung, die eine Prüfbefehlsfolge speichert, eine Mustererzeugungsschaltung, die aufeinanderfolgend einen Befehl aus der Prüfbefehlsfolge liest und ausführt und ein mit dem ausgeführten Befehl assoziiertes Prüfmuster ausgibt, eine Prüfsignal-Ausgabeschaltung, die ein Prüfsignal gemäß dem Prüfmuster erzeugt und das erzeugte Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung liefert, und ein Ergebnisregister, das einen Wert mit einer vorbestimmten Anzahl von Bits speichert. Hier speichert die Befehlsspeicherschaltung die Prüfbefehlsfolge enthaltend einen Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl zum Aktualisieren eines Werts einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister durch einen vorbestimmten Wert, und wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl ausgeführt wird, aktualisiert die Mustererzeugungsschaltung mit dem vorbestimmten Wert den Wert der Bitposition in dem Ergebnisregister, der durch den Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl bezeichnet ist.
  • Ein zweites Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht eine elektronische Vorrichtung vor, die eine geprüfte Schaltung und eine Prüfschaltung, die die geprüfte Schaltung prüft, enthält. Hier enthält die Prüfschaltung eine Befehlsspeicherschaltung, die eine Prüfbefehlsfolge speichert, eine Mustererzeugungsschaltung, die aufeinanderfolgend einen Befehl aus der Prüfbefehlsfolge liest und ausführt sowie ein mit dem ausgeführten Befehl assoziiertes Prüfmuster ausgibt, eine Prüfsignal-Ausgabeschaltung, die ein Prüfsignal gemäß dem Prüfmuster erzeugt und das erzeugte Prüfsignal zu der geprüften Schaltung liefert, und ein Ergebnisregister, das einen Wert mit einer vorbestimmten Anzahl von Bits speichert. Hier speichert die Befehlsspeicherschaltung die Prüfbefehlsfolge enthaltend einen Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl zum Aktualisieren eines Werts einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister mit einem vorbestimmten Wert, und wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl ausgeführt wird, aktualisiert die Mustererzeugungsschaltung mit dem vorbestimmten Wert den Wert der Bitposition in dem Ergebnisregister, der durch den Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl bezeichnet ist.
  • Ein drittes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht ein Prüfverfahren zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vor. Das Verfahren enthält: einen Befehlsspeicherschritt zum Speichern einer Prüfbefehlsfolge; einen Mustererzeugungsschritt zum aufeinanderfolgenden Lesen und Ausführen eines Befehls aus der Prüfbefehlsfolge und zum Ausgeben eines mit dem ausgeführten Befehl assoziierten Prüfmusters; einen Prüfsignal-Ausgabeschritt zum Erzeugen eines Prüfsignals gemäß dem Prüfmuster und zum Liefern des erzeugten Prüfsignals zu der geprüften Schaltung; und einen Speicherschritt zum Speichern einen Wert mit einer vorbestimmten Anzahl von Bits. Hier enthält der Befehlsspeicherschritt das Speichern der Prüfbefehlsfolge enthaltend einen Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl zum Aktualisieren eines Werts einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister auf einen vorbestimmten Wert, und der Mustererzeugungsschritt enthält, wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl ausgeführt wird, das Aktualisieren des Werts der Bitposition in dem Ergebnisregister, der durch den Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl bezeichnet ist, auf den vorbestimmten Wert.
  • Hier sind nicht alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung in der Zusammenfassung aufgeführt. Die Unterkombinationen der Merkmale können die Erfindung werden.
  • Wirkung der Erfindung
  • Gemäß den vorliegenden Ausführungsbeispielen ist es möglich, die Ergebnisse von mehreren bei der geprüften Vorrichtung durchgeführten Prüfungen zu speichern, so dass verschiedene Prüfmuster gemäß solchen Prüfergebnissen in nachfolgenden Prüfungen erzeugt werden können und auch die Klassen der geprüften Vorrichtungen gemäß den Prüfergebnissen klassifiziert werden können. Daher ist es möglich, zweckmäßig zu prüfen, ob die elektronische Vorrichtung ihre wesentliche und beabsichtigte Operation ausführen kann.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • 1 illustriert eine beispielhafte Konfiguration eines Prüfgeräts 200, das sich auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezieht.
  • 2 illustriert eine beispielhafte Konfiguration eines Prüfmoduls 100.
  • 3 illustriert als ein Beispiel eine in einem Musterlistenspeicher 14 gespeicherte Musterliste sowie Folgedaten und Musterdaten, die in einem Hauptspeicher 40 gespeichert sind.
  • 4 illustriert eine beispielhafte Konfiguration einer Mustererzeugungsschaltung 70, die sich auf das vorliegende Ausführungsbeispiel bezieht.
  • 5 illustriert ein Beispiel für Folgedaten (eine Prüfbefehlsfolge), die in einem Folgecachespeicher 310 gespeichert sind.
  • 6 illustriert eine beispielhafte Konfiguration der Mustererzeugungsschaltung 70, die sich auf ein modifiziertes Beispiel des vorliegenden Ausführungsbeispiels bezieht.
  • 7 illustriert ein Beispiel für Folgedaten (eine Prüfbefehlsfolge), die von der Mustererzeugungsschaltung 70 ausgeführt werden, gemäß dem modifizierten Beispiel.
  • 8 illustriert ein Beispiel für einen Fluss von Prozessen, die ausgeführt werden, wenn die in 7 gezeigte Prüfbefehlsfolge ausgeführt wird.
  • 9 illustriert eine beispielhafte Konfiguration einer elektronischen Vorrichtung 400, die sich auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezieht.
  • Beste Art der Ausführung der Erfindung
  • Nachfolgend wird ein Aspekt der vorliegenden Erfindung durch einige Ausführungsbeispiele beschrieben. Die Ausführungsbeispiele beschränken die Erfindung gemäß den Ansprüchen nicht, und alle Kombinationen der in den Ausführungsbeispielen beschriebenen Merkmale sind nicht notwendigerweise wesentlich für durch Aspekte der Erfindung vorgesehene Mittel.
  • 1 illustriert eine beispielhafte Konfiguration eines Prüfgeräts 200, das sich auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezieht. Das Prüfgerät 200 prüft geprüfte Vorrichtungen (DUTs) 300 wie Halbleiterschaltungen. Das Prüfgerät 200 enthält eine Systemsteuervorrichtung 110, mehrere Stationssteuervorrichtungen 130, einen Schalterkreis 140 und mehrere Prüfmodule 100.
  • Die Systemsteuervorrichtung 110 empfängt Prüfsteuerprogramme, Prüfprogramme, Prüfdaten und dergleichen, die von dem Prüfgerät 200 zum Prüfen der DUTs 300 verwendet werden, über ein externes Netzwerk oder dergleichen, und speichert die empfangenen Programme und Daten. Die Systemsteuervorrichtung 110 ist mit den mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 über ein Kommunikationsnetzwerk verbunden.
  • Die Stationssteuervorrichtungen 130a bis 130c steuern jeweils bei den DUTs 300 durchgeführte Prüfungen. Beispielsweise sind die mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 in einer 1:1-Entsprechung mit den mehreren DUTs 300 vorgesehen. Jede der Stationssteuervorrichtungen 130 steuert eine bei einer entsprechenden der DUTs 300 durchgeführten Prüfung.
  • Gemäß der beispielhaften, in 1 gezeigten Konfiguration steuert die Stationssteuervorrichtung 130a die bei der DUT 300a durchgeführte Prüfung, und die Stationssteuervorrichtung 130b steuert die bei der DUT 300b durchgeführte Prüfung. Als ein alternatives Beispiel kann jede der mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 die bei mehr als einer der DUTs 300 durchgeführten Prüfungen steuern.
  • Genauer gesagt, jede der Stationssteuervorrichtungen 130 erhält ein Prüfsteuerprogramm von der Systemsteuervorrichtung 110 und führt das erhaltene Prüfsteuerprogramm aus. Nachfolgend erhält auf der Grundlage des Prüfsteuerprogramms die Stationssteuervorrichtung 130 ein Prüfprogramm (z. B. später beschriebene Folgedaten) und prüft Daten (z. B. später beschriebene Musterdaten) zur Verwendung für eine Prüfung einer entsprechenden der DUTs 300 von der Systemsteuervorrichtung 110. Die Stationssteuervorrichtung 130 speichert über den Schalterkreis 140 das erhaltene Prüfprogramm und prüft Daten in einem oder mehreren Modulen (z. B. einem oder mehreren der Prüfmodule 100), die zum Prüfen der entsprechenden DUT 300 zu verwenden sind. Hiernach weist die Stationssteuervorrichtung 130 über den Schalterkreis 140 die Prüfmodule 100 an, die Durchführung einer Prüfung auf der Grundlage des Prüfprogramms und der Prüfdaten zu starten. Wenn sie eine Unterbrechung oder dergleichen, die die Beendigung der Prüfung anzeigt, von beispielsweise den Prüfmodulen 100 empfängt, weist die Stationssteuervorrichtung 130 die Prüfmodule 100 an, die nächste Prüfung auf der Grundlage des Ergebnisses der Prüfung durchzuführen.
  • Der Schalterkreis 140 verbindet jede der mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 mit einem oder mehreren entsprechenden der Prüfmodule 100, die durch die Stationssteuervorrichtung 130 gesteuert werden, und übermittelt die Kommunikation zwischen der Station und entsprechenden Prüfmodulen 100. Hier kann eine vorbestimmte der Stationssteuervorrichtungen 130 den Schalterkreis 140 auf der Grundlage des Befehls durch den Benutzer des Prüfgeräts 200, eines Prüfsteuerprogramms oder dergleichen so konfigurieren, dass jede der mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 mit einem oder mehreren der Prüfmodule 100, die von der Stationssteuervorrichtung 130 zum Prüfen einer entsprechenden der DUTs 300 verwendet werden, verbunden ist.
  • Gemäß der beispielhaften, in 1 gezeigten Konfiguration ist die Stationssteuervorrichtung 130a so ausgebildet, dass sie mit mehreren Prüfmodulen 100a verbunden ist und die Prüfmodule 100a zum Prüfen der DUT 300a verwendet. Hier sind die Konfiguration und die Operationen der Stationssteuervorrichtung 130a zum Prüfen der DUT 300a im Wesentlichen dieselben wie diejenigen der anderen Stationssteuervorrichtungen 130 zum Prüfen der entsprechenden DUTs 300 durch Verwendung der entsprechenden Prüfmodule 100. Die folgende Beschreibung erfolgt im Hinblick auf die Konfiguration und die Operationen der Stationssteuervorrichtung 130a zum Prüfen der DUT 300a.
  • Auf der Grundlage eines Befehls durch die Stationssteuervorrichtung 130a erzeugen die Prüfmodule 100a Taktsignale, die Zeitpunkte zum Erzeugen von Prüfsignalen, die für die Prüfung der DUT 300a zu verwenden sind, anzeigen. Eines der Prüfmodule 100a kann ein Ergebnis einer durch ein verschiedenes der Prüfmodule 100a durchgeführten Prüfung empfangen und bewirken, dass die Prüfmodule 100a Folgedaten entsprechend dem empfangenen Ergebnis der Prüfung ausführen.
  • Jedes der Prüfmodule 100a ist mit einigen der mehreren Anschlüsse der DUT 300a verbunden. Das Prüfmodul 100a führt eine Prüfung der DUT 300a auf der Grundlage der darin gespeicherten Folgedaten und Musterdaten durch die Stationssteuervorrichtung 130a durch. Das Prüfmodul 100a prüft die DUT 300a auf der Grundlage der durch eine Musterliste (wird später beschrieben) bezeichneten Folgedaten und der Musterdaten. Genauer gesagt, das Prüfmodul 100a erzeugt Prüfsignale auf der Grundlage der Musterdaten und liefert die erzeugten Prüfsignale zu den mit dem Prüfmodul 100a verbundenen Anschlüssen der DUT 300a.
  • Nachfolgend erhält das Prüfmodul 100a Ausgangssignale, die von der DUT 300a als ein Ergebnis von Operationen auf der Grundlage der zugeführten Prüfsignale ausgegeben werden, und vergleicht die erhaltenen Ausgangssignale mit erwarteten Werten. Hier kann, wenn die Prüfsignale auf der Grundlage der Folgedaten und der Musterdaten erzeugt werden, jedes der Prüfmodule 100a eine Gruppe von Prüfsignalen gemäß einer unterschiedlichen Zyklusrate so erzeugt, dass eine dynamisch unterschiedliche Zyklusrate für jede Gruppe der Prüfsignale erzielt wird.
  • Jedes der Prüfmodule 100a erzeugt eine Unterbrechung zu der Stationssteuervorrichtung 130a, wenn die Prozesse auf der Grundlage des Prüfprogramms beendet sind, eine anomale Bedingung während der Ausführung des Prüfprogramms auftritt, und dergleichen. Die Unterbrechung wird über den Schalterkreis 140 zu der Stationssteuervorrichtung 130a entsprechend dem Prüfmodul 100a gesendet, so dass der in der Stationssteuervorrichtung 130a vorgesehene Prozessor die Unterbrechung verarbeitet.
  • Bezugnehmend auf die vorbeschriebenen Konfigurationen wird das Prüfgerät 200 auf der Grundlage einer auf einer offenen Architektur realisiert. Das Prüfgerät 200 kann konfiguriert werden durch Verwendung verschiedener Module, die den Standards der offenen Architektur genügen. Wenn das Prüfgerät 200 verwendet wird, können Module wie die Prüfmodule 100 in einen Verbindungsschlitz des Schalterkreises 140 eingefügt werden.
  • In diesem Fall kann der Benutzer oder dergleichen des Prüfgeräts 200 beispielsweise über die Stationssteuervorrichtung 130a die durch den Schalterkreis 140 hergestellte Verbindung ändern, so dass die für eine Prüfung von einer der DUTs 300 zu verwendeten Module mit einer entsprechenden der Stationssteuervorrichtungen 130, die die bei der DUT 300 durchzuführende Prüfung steuert, verbunden sind. Mit dieser Konfiguration kann der Benutzer des Prüfgeräts 200 geeignete Module in Abhängigkeit von sich auf jede der DUTs 300 beziehenden Informationen wie der Anzahl der Anschlüsse, der Positionen der Anschlüsse und der Anschlusstypen sowie des Typs der Prüfung auswählen und die ausgewählten Module in dem Prüfgerät 200 befestigen.
  • Das Prüfgerät 200 oder die Prüfmodule 100 können als eine Prüfschaltung konfiguriert sein, die in einer elektronischen Vorrichtung vorgesehen ist, in der eine geprüfte Schaltung, die von der Prüfschaltung zu prüfen ist, ebenfalls vorgesehen ist. Die Prüfschaltung ist durch eine Ist-Schaltung oder dergleichen der elektronischen Vorrichtung ausgebildet. Die Prüfschaltung prüft die geprüfte Schaltung, um beispielsweise die Annehmbarkeit der elektronischen Vorrichtung zu beurteilen. Indem die Prüfung durchgeführt wird, kann die Prüfschaltung prüfen, ob die geprüfte Schaltung normale Operationen entsprechend dem ursprünglichen Zweck der elektronischen Vorrichtung realisieren kann.
  • Alternativ kann das Prüfgerät 200 oder die Prüfmodule 100 als eine in einer Baugruppe oder einem Gerät, in welchem eine geprüfte Schaltung, die von der Prüfschaltung zu prüfen ist, ebenfalls vorgesehen ist, vorgesehene Prüfschaltung ausgebildet sein. Eine derartige Prüfschaltung kann auch prüfen, ob die geprüfte Schaltung normale Operationen entsprechend dem ursprünglichen Zweck der Baugruppe oder des Geräts realisieren kann, ähnlich dem vorerwähnten Fall.
  • 2 illustriert eine beispielhafte Konfiguration von jedem der Prüfmodule 100. Das Prüfmodul 100 enthält eine Kanalsteuerschaltung 10 und mehrere Kanalschaltungen 50. Im Folgenden werden die Funktionen und Konfigurationen einer der Kanalschaltungen 50 beschrieben. Jedoch können alle Kanalschaltungen 50 dieselben Funktionen und Konfigurationen haben.
  • Jede der Kanalschaltungen 50 kann mit einem entsprechenden von Eingangs/Ausgangs-(E/A)-Stiften von ei ner der DUTs 300 verbunden sein und ein Prüfsignal zu dem entsprechenden E/A-Stift liefern. Die Kanalschaltung 50 kann ein von dem entsprechenden E/A-Stift ausgegebenes Ausgangssignal messen. Hier können die E/A-Stifte der DUT 300 jeweils entweder ein Eingangsstift oder ein Ausgangsstift sein.
  • Die Kanalsteuerschaltung 10 steuert die Kanalschaltungen 50. Beispielsweise steuert die Kanalsteuerschaltung 10 jede der Kanalschaltungen 50, um zu bewirken, dass die Kanalschaltung 50 ein Prüfsignal erzeugt. Auch steuert die Kanalsteuerschaltung 10 jede der Kanalschaltungen 50, um zu bewirken, dass die Kanalschaltung 50 das Ausgangssignal der DUT 300 misst.
  • Hier kann die Kanalsteuerschaltung 10 ein Ergebnis der von einer der Kanalschaltungen 50 durchgeführten Messung verwenden, um eine oder mehrere der anderen Kanalschaltungen 50 zu steuern. Beispielsweise kann, bis das Ergebnis der von einer der Kanalschaltungen 50 durchgeführten Messungen einer vorbestimmten Bedingung genügt, die Kanalsteuerschaltung 10 bewirken, dass zumindest eine der verbleibenden Kanalschaltungen 50 wiederholt eine vorbestimmte Operation durchführt. Wenn das Ergebnis der Messung der vorbestimmten Bedingung genügt, kann die Kanalsteuerschaltung 10 bewirken, dass die zumindest eine der verbleibenden Steuerschaltungen 50 die nächste Operation durchführt.
  • Die Kanalsteuerschaltung 10 enthält eine Schnittstellen (IF)-Schaltung 12, einen Musterlistenspeicher 14, einen Ergebnisspeicher 16, eine Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20, einen Hauptspeicher 40, eine Ratenerzeugungsschaltung 30 und eine Mustererzeugungsschaltung 70. Die Schnittstellenschaltung 12 tauscht Daten zwischen einer entsprechenden der Stationssteuervorrichtungen 130 und dem Prüfmodul 100 aus.
  • Der Hauptspeicher 40 speichert Stücke von Folgedaten verschiedener Typen und Stücke von Musterdaten entsprechend jedem Stück von Folgedaten. Der Hauptspeicher 40 kann die Folgedaten und Musterdaten, die von der entsprechenden Stationssteuervorrichtung 130 geliefert wurden, bevor die Prüfung der DUT 300 durchgeführt wird, speichern.
  • Beispielsweise kann die Stationssteuervorrichtung 130 Folgedaten, Musterdaten und einen Befehl in die Schnittstellenschaltung 12 eingeben, um die Folgedaten und Musterdaten an einer bezeichneten Adresse des Hauptspeichers 40 zu speichern. Die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 speichert die Folgedaten und Musterdaten in dem Hauptspeicher 40 gemäß dem durch die Schnittstellenschaltung 12 empfangenen Befehl.
  • Die Folgedaten können beispielsweise eine Gruppe von aufeinanderfolgend auszuführenden Befehlen (eine Prüfbefehlsfolge) anzeigen. Die Musterdaten können beispielsweise ein logisches Wertemuster anzeigen. Die Stücke von Musterdaten können in einer 1:1-Entsprechung mit mehreren Befehlen gespeichert werden. Beispielsweise können die Folgedaten eine Befehlsgruppe zum Erzeugen von Prüfmustern durch Ausgeben der Stücke von Musterdaten in einer vorbestimmten Reihenfolge sein.
  • Wenn die Prüfmuster auf der Grundlage der Folgedaten erzeugt werden, kann jedes der Stücke von Musterdaten mehr als einmal verwendet werden. Hier können die Folgedaten beispielsweise einen Schleifenbefehl, einen Sprungbefehl und dergleichen enthalten. Indem derartige Folgedaten ausgeführt werden, erweitert die Kanalsteuerschaltung 10 die entsprechenden Stücke von Musterdaten derart, dass Prüfsignale entsprechend den Folgedaten und den Musterdaten erzeugt werden. Die Folgedaten und Musterdaten, die in dem Hauptspeicher 40 gespeichert sind, werden später mit Bezug auf 3 beschrieben.
  • Der Musterlistenspeicher 14 speichert eine Musterliste, die die Reihenfolge anzeigt, in der die Stücke von Musterdaten, die in dem Hauptspeicher 40 gespeichert sind, ausgeführt werden. Beispielsweise kann der Musterlistenspeicher 14 eine Musterliste speichern, die aufeinanderfolgend die Adresse in dem Hauptspeicher 40, an der auszuführende Folgedaten gespeichert sind, anzeigt. Der Musterlistenspeicher 14 kann die von der entsprechenden Stationssteuervorrichtung 130 gelieferte Musterliste speichern, bevor die Prüfung der DUT 300 durchgeführt wird, ähnlich dem Hauptspeicher 40. Die Musterliste kann ein Beispiel für das vorgenannte Prüfsteuerprogramm oder einen Teil des Prüfsteuerprogramms sein.
  • Wenn die Prüfung der DUT gestartet wird, liest die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 die Musterliste aus dem Musterlistenspeicher 14. Beispielsweise kann bei Empfang eines Befehls zum Starten einer Prüfung von der Stationssteuervorrichtung 130 die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 die Musterliste aus dem Musterlistenspeicher 14 lesen.
  • Die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 liest in dem Hauptspeicher 40 gespeicherte Folgedaten, und entsprechende Stücke von Musterdaten, die auch in dem Hauptspeicher 40 gespeichert sind, gemäß der durch die Musterliste angezeigten Reihenfolge. Die Muste rerzeugungs-Steuerschaltung 20 sendet die gelesenen Folgedaten zu einer Vektorerzeugungsschaltung 80 der Mustererzeugungsschaltung 70. Auch sendet die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 die gelesenen Stücke von Musterdaten zu einem Mustercachespeicher 90 in der Mustererzeugungsschaltung 70.
  • Wenn ein freier Raum einer vorbestimmten Größe in einem Cachespeicher, FIFO und dergleichen der Schaltungen der nachfolgenden Stufen geschaffen ist, kann die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 nächste Folgedaten und entsprechende Stücke von Musterdaten lesen und senden. In diesem Fall kann unter der Bedingung, dass einer vorbestimmten Größe in jeweils dem Cachespeicher, FIFO und dergleichen, die zum Speichern von Folgedaten und entsprechenden Stücken von Musterdaten ausgebildet sind, geschaffen ist, die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 die nächsten Folgedaten und entsprechende Stücke von Musterdaten lesen und die gelesenen Folgedaten und entsprechenden Stücke von Musterdaten zu dem Cachespeicher, FIFO und dergleichen senden.
  • Die Mustererzeugungsschaltung 70 erzeugt aufeinanderfolgend ein Prüfmuster auf der Grundlage einer Kombination aus den Folgedaten und entsprechenden Stücken von Musterdaten, die aufeinanderfolgend von der Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 empfangen werden. Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel enthält die Mustererzeugungsschaltung 70 die Vektorerzeugungsschaltung 80 und den Mustercachespeicher 90.
  • Wie vorstehend beschrieben ist, empfängt die Vektorerzeugungsschaltung 80 die Folgedaten von der Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20. Die Vektorerzeugungsschaltung 80 kann einen Folgecachespeicher 90 emp fängt die entsprechenden Stücke von Musterdaten von der Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 und speichert die empfangenen Stücke von Musterdaten jeweils an vorbestimmten Adressen.
  • Die Vektorerzeugungsschaltung 80 führt aufeinanderfolgend die Befehle der in dem Folgecachespeicher gespeicherten Folgedaten aus und bezeichnet aufeinanderfolgend eine Adresse in dem Mustercachespeicher 90. Beispielsweise kann jeder der die Folgedaten bildenden Befehle mit einer Adresse von Musterdaten, die für den Befehl zu entwerfen sind, assoziiert sein. Die Vektorerzeugungsschaltung 80 bezeichnet aufeinanderfolgend eine Adresse in dem Mustercachespeicher 90 entsprechend einem Schleifenbefehl, einem Sprungbefehl und dergleichen, die in den Folgedaten enthalten sind.
  • Der Mustercachespeicher 90 gibt an der aufeinanderfolgend bezeichneten Adresse gespeicherte Musterdaten aus. Mit den vorbeschriebenen Konfigurationen kann die Mustererzeugungsschaltung 70 Prüfmuster mit logischen Mustern auf der Grundlage der Folgedaten und entsprechender Stücke von Musterdaten erzeugen. Wenn die Ausführung der Folgedaten beendet ist, können die Speicherbereiche des Folgecachespeichers und Mustercachespeichers 90, in denen die Folgedaten und entsprechenden Stücke von Musterdaten gespeichert waren, freigegeben werden. Hier können die Folgedaten an dem Ende der Befehlsgruppe einen Endbefehl enthalten, der das Ende der Folgedaten anzeigt.
  • Jede der Kanalschaltungen 50 formt ein Prüfsignal auf der Grundlage des von der Mustererzeugungsschaltung 70 ausgegebenen Prüfmusters und gibt das Prüfsignal in die DUT 300 ein. Auch misst die Kanalschaltung 50 ein Ausgangssignal der DUT 300. Die Kanalschaltung 50 enthält eine Wellenform-Formumschaltung 52, einen Treiber 54, eine Takterzeugungsschaltung 56, einen Komparator 58, eine Zeitvergleichsschaltung 60, eine Beurteilungsschaltung 62 und einen Fangspeicher 64.
  • Die Wellenform-Formungsschaltung 52 formt das Prüfsignal auf der Grundlage des von der Mustererzeugungsschaltung 70 erzeugten Prüfmusters. Beispielsweise kann die Wellenform-Formungsschaltung 52 das Prüfsignal mit einem logischen Muster entsprechend dem Prüfmuster erzeugen. Die Wellenform-Formungsschaltung 52 kann das Prüfsignal gemäß einem zu dieser gelieferten Taktsignal erzeugen. Beispielsweise kann die Wellenform-Formungsschaltung 52 das Prüfsignal, dessen logischer Wert synchron mit dem zu dieser gelieferten Taktsignal übergeht, erzeugen.
  • Der Treiber 54 gibt das von der Wellenform-Formungsschaltung 52 erzeugte Prüfsignal in die DUT 300 ein. Der Treiber 54 kann den Pegel des Prüfsignals in den Pegel des in die DUT 300 einzugebenden Signals umwandeln durch Ausgeben einer Spannung eines vorbestimmten Pegels H, wenn das von der Wellenform-Formungsschaltung 52 erzeugte Prüfsignal den logischen Wert H anzeigt, und eine Spannung eines vorbestimmten Pegels L ausgeben, wenn das Prüfsignal den logischen Wert L anzeigt.
  • Der Komparator 58 kann das Ausgangssignal von der DUT 300 empfangen und den Spannungspegel des Ausgangssignals mit einem vorbestimmten Bezugspegel vergleichen, um das Ausgangssignal in ein binäres logisches Signal umzuwandeln. Beispielsweise kann der Komparator 58 den logischen Wert H ausgeben, wenn der Spannungspegel des Ausgangssignals höher als der Bezugspegel ist, und den logischen Wert L ausgeben, wenn der Spannungspegel des Ausgangssignals gleich dem oder niedriger als der Bezugspegel ist.
  • Die Zeitvergleichsschaltung 60 erhält den logischen Wert des von dem Komparator 58 ausgegebenen Signals synchron mit einem zu dieser gelieferten Strobesignal. Auf diese Weise kann die Zeitvergleichsschaltung 60 das logische Muster des Ausgangssignals erfassen.
  • Die Takterzeugungsschaltung 56 erzeugt das vorgenannte Taktsignal und das Strobesignal auf der Grundlage der Werte des vorher zu dieser gelieferten Zeitpunktsatzes. Beispielsweise kann die Takterzeugungsschaltung 56 das Taktsignal und das Strobesignal erzeugen durch Verzögern eines Ratensignals, das eine auf der Grundlage des Zeitpunktsatzes bestimmte Rate hat und von der Ratenerzeugungsschaltung 30 zu dieser geliefert wird, um eine gemäß dem zu dieser gelieferten Zeitpunktsatz bestimmte Zeitverzögerung.
  • Hier kann der Zeitpunktsatz zu der Ratenerzeugungsschaltung 30 und der Takterzeugungsschaltung 56 jedes Mal geliefert werden, wenn beispielsweise die Mustererzeugungsschaltung 70 einen der die Folgedaten bildenden Befehle ausführt. Die Daten des Zeitpunktsatzes können beispielsweise in dem Hauptspeicher 40 gespeichert werden, in einem Zustand, in welchem sie in den Stücken von Musterdaten entsprechend den Folgedaten enthalten sind. Jedes Mal, wenn die Mustererzeugungsschaltung 70 einen der die Folgedaten bildenden Befehle ausführt, kann die Mustererzeugungsschaltung 70 den Zeitpunktsatz entsprechend dem ausgeführten Befehl der Ratenerzeugungsschaltung 30 und der Takterzeugungsschaltung 56 zuweisen.
  • Die Beurteilungsschaltung 62 vergleicht das von der Zeitvergleichsschaltung 60 erfasste logische Muster mit einem erwarteten Wertemuster. Auf diese Weise kann die Beurteilungsschaltung 62 beurteilen, ob die DUT 300 annehmbar ist. Das erwartete Wertemuster kann von der Mustererzeugungsschaltung 70 erzeugt sein. Beispielsweise kann das erwartete Wertemuster dasselbe wie das logische Muster des in die DUT 300 eingegebenen Prüfsignals sein, das in dem von der Mustererzeugungsschaltung 70 erzeugten Prüfmuster enthalten ist. Die Beurteilungsschaltung 62 kann das Ergebnis der Beurteilung (gut oder schlecht) zu der Mustererzeugungsschaltung 70 liefern.
  • Der Fangspeicher 64 speichert das Ergebnis der von der Beurteilungsschaltung 62 durchgeführten Beurteilung. Beispielsweise kann der Fangspeicher 64 das Ergebnis der von der Beurteilungsschaltung 62 durchgeführten Beurteilung (gut oder schlecht) in Verbindung mit jedem Prüfmuster speichern. Der Fangspeicher 64 kann die Fehlergebnisse der Beurteilung durch die Beurteilungsschaltung 62 auswählen und speichern.
  • Der Ergebnisspeicher 16 der Kanalsteuerschaltung 10 speichert die Ergebnisse der von der Beurteilungsschaltung 62 durchgeführten Beurteilung von jeder der Kanalschaltungen 50. Der Ergebnisspeicher 16 kann das Ergebnis der von der Beurteilungsschaltung 62 durchgeführten Beurteilung (gut oder schlecht) in Bezug auf jedes Prüfmuster in Verbindung mit jeder der Kanalschaltungen 50 speichern. Der Ergebnisspeicher 16 kann die Fehlergebnisse der von der Beurteilungsschaltung 62 durchgeführten Beurteilung von jeder der Kanalschaltungen 50 auswählen und speichern.
  • Wie vorstehend beschrieben ist, kann der Fangspeicher 64 Fehlinformationen für jedes Prüfmuster in Verbindung mit der entsprechenden Kanalschaltung 50 speichern. Andererseits kann der Ergebnisspeicher 16 Fehlinformationen für jedes Stück von in dem Musterlistenspeicher 14 gespeicherten Folgedaten in Verbindung mit beispielsweise der entsprechenden DUT 300 speichern.
  • 3 illustriert als ein Beispiel die in dem Musterlistenspeicher 14 gespeicherten Musterliste, die Folgedaten und die Musterdaten, die in dem Hauptspeicher 40 gespeichert sind. Wie vorstehend erwähnt ist, speichert der Hauptspeicher 40 mehrere Stücke von Folgedaten (Folgedaten 1, Folgedaten 2, ....) und Stücke von Musterdaten entsprechend jedem Stück von Folgedaten.
  • Wie vorstehend beschrieben ist, enthält ein Stück von Folgedaten mehrere Befehle. Wenn jeder der Befehle ausgeführt wird, kann die Mustererzeugungsschaltung 70 Musterdaten entsprechend dem ausgeführten Befehl ausgeben. Beispielsweise können die Folgedaten einen NOP-Befehl, einen JMP-Befehl, einen LOOP-Befehl und dergleichen enthalten. Wenn der NOP-Befehl ausgeführt wird, gibt die Mustererzeugungsschaltung 70 entsprechende Musterdaten aus und bewegt sich zu dem nächsten Befehl. Wenn der JMP-Befehl ausgeführt wird, gibt die Mustererzeugungsschaltung 70 entsprechende Musterdaten aus und springt zu einem Befehl an einer vorbestimmten Adresse. Wenn der LOOP-Befehl ausgeführt wird, gibt die Mustererzeugungsschaltung 70 entsprechende Musterdaten aus und führt wiederholt einen oder mehrere Befehle in einem bezeichneten Bereich von Adressen eine vorbestimmte Anzahl von Malen aus.
  • Indem eine Gruppe der vorbeschriebenen Befehle ausgeführt wird, gibt die Mustererzeugungsschaltung 70 die entsprechenden Stücke von Musterdaten in der durch die Folgedaten bestimmten Reihenfolge aus, wodurch vorbestimmte Prüfmuster erzeugt werden. Beispielsweise gibt, wenn die Folgedaten 2 ausgeführt werden, die Mustererzeugungsschaltung 70 zuerst Musterdaten A aus und gibt dann wiederholt Stücke von Musterdaten von den Musterdaten B zu den Musterdaten C für eine bestimmte Anzahl von Malen, die durch den LOOP-Befehl bezeichnet ist, aus.
  • Hier kann der Hauptspeicher 40 Folgedaten entsprechend mehr als einer Kanalschaltung 50 ausgeben. Der Hauptspeicher 40 kann Musterdaten entsprechend jeder der Kanalschaltungen 50 speichern. Beispielsweise kann der Hauptspeicher 40 Musterdaten entsprechend jeder der Kanalschaltungen 50 in Verbindung mit jedem der die Folgedaten bildenden Befehle speichern. Gemäß dem in 3 gezeigten Beispiel speichert der Hauptspeicher 40 Musterdaten entsprechend jeder der Kanalschaltungen 50 an einer verschiedenen Bitposition an jeder der Adressen.
  • Der Musterlistenspeicher 14 speichert die Reihenfolge des Ausführens der Stücke von Folgedaten. Gemäß dem in 3 gezeigten Beispiel speichert der Musterlistenspeicher 14 eine Musterliste, die anzeigt, dass die Folgedaten 2 zuerst ausgeführt werden und dann die Folgedaten 1 ausgeführt werden.
  • Gemäß der in 2 gezeigten beispielhaften Konfiguration ist der Hauptspeicher 40 zum Speichern von Folgedaten und Musterdaten in der Kanalsteuerschaltung 10 vorgesehen. Bei anderen Ausführungsbeispielen jedoch kann der in der Kanalsteuerschaltung 10 vorgesehene Hauptspeicher 40 die Folgedaten speichern, und ein verschiedener Speicher kann in jeder der Kanalschaltungen 50 zum Speichern von Musterdaten für die entsprechende Kanalschaltung 50 vorgesehen sein.
  • Wenn dies der Fall ist, kann der Mustercachespeicher 90 in jeder der Kanalschaltungen 50 vorgesehen sein. Die Adresse, die aufeinanderfolgend durch die Vektorerzeugungsschaltung 80 bezeichnet ist, kann zu dem in jeder der Kanalschaltungen 50 vorgesehenen Mustercachespeicher 90 geliefert werden.
  • 4 illustriert eine beispielhafte Konfiguration der sich auf das vorliegende Ausführungsbeispiel beziehenden Mustererzeugungsschaltung 70. Die Vektorerzeugungsschaltung 80 enthält einen Folgecachespeicher 310, eine Befehlsausführungsschaltung 320 und ein Ergebnisregister 340. Der Folgecachespeicher 310 empfängt die Folgedaten (die Prüfbefehlsfolge) von der Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 und speichert die empfangenen Folgedaten. Der Folgecachespeicher 310 ist ein Beispiel für eine sich auf die vorliegende Erfindung beziehende Befehlsspeicherschaltung gezeigt.
  • Die Befehlsausführungsschaltung 320 liest aufeinanderfolgend einen Befehl aus der Folgecachespeicher 310 gespeicherten Prüfbefehlsfolge und führt den gelesenen Befehl aus. Hier ist jeder der die Prüfbefehlsfolge bildenden Befehle mit einer Versetzung versehen, die die Position des Befehls innerhalb der Prüfbefehlsfolge anzeigt.
  • Wenn der Befehl ausgeführt wird, wandelt die Befehlsausführungsschaltung 320 die dem ausgeführten Befehl zugewiesene Versetzung in eine Adresse in dem Mustercachespeicher 90, in welchem mit dem ausgeführten Befehl assoziierte Musterdaten gespeichert sind, um. Die Befehlsausführungsschaltung 320 liefert die Adresse zu dem Mustercachespeicher 90 und bewirkt, dass der Mustercachespeicher 90 die mit dem ausgeführten Befehl assoziierten Musterdaten ausgibt. Hier liefert der Mustercachespeicher 90 die Musterdaten zu jeder der Kanalschaltungen 50 als das Prüfmuster. Die Kanalschaltung 50 erzeugt ein Prüfsignal gemäß dem zu dieser gelieferten Prüfmuster und liefert das erzeugte Prüfsignal zu der DUT 300. Der Mustercachespeicher liefert das Prüfmuster beispielsweise zu der Wellenform-Formungsschaltung 52, der Takterzeugungsschaltung 56 und der Beurteilungsschaltung 62.
  • Hier ist jeder der die Folgedaten bildenden Befehle assoziiert mit Takteinstellinformationen (TS), die eine Kombination von Zeitpunkten für die Ausgabe des entsprechenden Prüfmusters bezeichnen. Wenn der Befehl ausgeführt wird, bewirkt die Befehlsausführungsschaltung 320, dass der Mustercachespeicher 90 die Zeitpunkteinstellinformationen, die mit dem ausgeführten Befehl assoziiert sind, zu der Ratenerzeugungsschaltung 30 und der Takterzeugungsschaltung 56 in Verbindung mit dem von dem Mustercachespeicher 90 ausgegebenen Prüfmuster ausgibt. Die Befehlsausführungsschaltung 320 führt die die Prüfbefehlsfolge bildenden Befehle von dem anfänglichen Befehl in der durch die Prüfbefehlsfolge definierten Reihenfolge aus. Hier führt die Befehlsausführungsschaltung 320 wiederholt eine Operation des Ausführens eines Befehls durch, identifiziert die Versetzung des auszuführenden nächsten Befehls, der durch den ausgeführten Befehl bestimmt ist, liest den Befehl, dem die identifizierte Versetzung von der in dem Folgecache speicher 310 gespeicherten Prüfbefehlsfolge zugeteilt ist und führt den gelesenen Befehl aus.
  • Das Ergebnisregister 340 speichert einen Wert mit einer vorbestimmten Anzahl von Bits. Das Ergebnisregister 340 kann beispielsweise einen 24-Bit-Wert speichern. Die Befehlsausführungsschaltung 320 kann den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert lesen. Die entsprechende Stationssteuervorrichtung 130 kann auch den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert lesen.
  • Die Befehlsausführungsschaltung 320 kann den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert aktualisieren. Die Befehlsausführungsschaltung 320 kann den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert in Einheiten von Bits aktualisieren. Die Befehlsausführungsschaltung 320 kann zum Aktualisieren des in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wertes in Einheiten von Wörtern ausgebildet sein.
  • 5 illustriert ein Beispiel für die in dem Folgekarspeicher 310 gespeicherten Folgedaten (die Prüfbefehlsfolge). Beispielsweise enthalten die Folgedaten einen NOP-Befehl, einen Sprungbefehl (einen JMP-Befehl), einen Bereitschaftsbefehl (einen IDXI-Befehl), einen Endbefehl (einen EXIT-Befehl), einen Resultatsregister-Aktualisierungsbefehl (einen SRB-Befehl und einen RRB-Befehl), einen Ergebnisregister-Eingabebefehl (einen SR-Befehl), und einen Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl (einen IfFail(SRB)-Befehl und einen IfFail(RRB)-Befehl).
  • Wenn der NOP-Befehl ausgeführt wird, identifiziert die Befehlsausführungsschaltung 320 als den auszuführenden nächsten Befehl einen Befehl, dem eine Verset zung zugeteilt ist, die unmittelbar der Versetzung, die dem ausgeführten NOP-Befehl zugeteilt ist, folgt. Wenn der Sprungbefehl (der JMP-Befehl) ausgeführt wird, identifiziert die Befehlsausführungsschaltung 320 als den auszuführenden nächsten Befehl einen Befehl, dem eine durch den ausgeführten JMP-Befehl bezeichnete Versetzung zugeteilt ist.
  • Der Bereitschaftsbefehl (der IDXI-Befehl) ist ein Befehl zum Bewirken, dass entsprechende Musterdaten wiederholt mit der bezeichneten Anzahl von Malen auszugeben sind. Wenn der IDXI-Befehl ausgeführt wird, verarbeitet die Befehlsausführungsschaltung 320 den nächsten Befehl nicht, bis die Anzahl von Zyklen die bezeichnete Anzahl nach der Ausführung des IDXI-Befehls durch die Befehlsausführungsschaltung 320 erreicht hat. Wenn der IDXI-Befehl ausgeführt wird, identifiziert die Befehlsausführungsschaltung 320 als den auszuführenden nächsten Befehl einen Befehl, dem eine Versetzung zugeteilt ist, die unmittelbar der Versetzung des ausgeführten IDXI-Befehls folgt, nachdem die Anzahl von Zyklen die bezeichnete Anzahl erreicht hat.
  • Der Endbefehl (der EXIT-Befehl) ist ein Befehl zum Beenden der Ausführung der Hauptprüf-Befehlsfolge. Wenn der EXIT-Befehl ausgeführt wird, identifiziert die Befehlsausführungsschaltung 320 nicht den auszuführenden nächsten Befehl und beendet die Ausführung der Hauptprüf-Befehlsfolge.
  • Der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl (der SRB-Befehl und der RRB-Befehl) ist ein Befehl zum Aktualisieren eines Wertes einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister 340 mit einem vorbestimmten Wert. Wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl (der SRB-Befehl und der RRB-Befehl) ausgeführt wird, aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 mit einem vorbestimmten Wert den Wert der Bitposition in dem Ergebnisregister 340, der durch den ausgeführten Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl bezeichnet ist. Wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl (der SRB-Befehl und der RRB-Befehl) ausgeführt wird, identifiziert die Befehlsausführungsschaltung 320 als den auszuführenden nächsten Befehl einen Befehl, dem eine Versetzung zugeteilt ist, die unmittelbar der Versetzung des ausgeführten Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehls folgt.
  • Der SRB-Befehl ist ein Beispiel für den Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl. SRB-Befehl ist ein Befehl zum Setzen des Wertes einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister 340 auf „1”. Der Operand des SRB-Befehls sind beispielsweise Daten, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das zu setzen ist, einen Wert „1” hat, und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das nicht zu ändern ist, einen Wert „0” hat. Wenn der SRB-Befehl ausgeführt wird, aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert durch Berechnen einer logischen ODER-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert und Daten, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das zu setzen ist, einen Wert „1” hat, und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das nicht zu ändern ist, einen Wert „0” hat.
  • Als ein alternatives Beispiel können der Operand des SRB-Befehls Daten sein, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das zu setzen ist, einen Wert „0” hat, und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das nicht zu ändern ist, einen Wert „1” hat. Wenn dies der Fall ist, aktualisiert, wenn der SRB-Befehl ausgeführt wird, die Befehlsausführungsschaltung 320 den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert durch Berechnen einer logischen ODER-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert und Daten, die durch Invertieren jedes Bits der Daten, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das zu setzen ist, einen Wert „0” hat, und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das nicht zu ändern ist, einen Wert „1” hat, erzeugt wurden.
  • Der RRB-Befehl ist ein Beispiel für den Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl. Der RRB-Befehl ist ein Befehl zum Zurücksetzen des Wertes einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister 340 auf „0”. Der Operand des RRB-Befehls sind beispielsweise Daten, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das zurückzusetzen ist, einen Wert „1” hat, und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das nicht zu ändern ist, einen Wert „0” hat. Wenn der RRB-Befehl ausgeführt wird, aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert durch Berechnen einer logischen UND-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert und Daten, die durch Invertieren jedes Bits von Daten, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das zurückzusetzen ist, einen Wert „1” hat, und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das nicht zu ändern ist, einen Wert „0” hat, erzeugt wurden.
  • Als ein alternatives Beispiel können der Operand des RRB-Befehls Daten sein, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das zurückzusetzen ist, einen Wert „0” hat, und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das nicht zu ändern ist, einen Wert „1” hat. Wenn dies der Fall ist, aktualisiert, wenn der RRB-Befehl ausgeführt wird, die Befehlsausführungsschaltung 320 den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert durch Berechnen einer logischen UND-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert und Daten, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das zurückzusetzen ist, einen Wert „0” hat, und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das nicht zu ändern ist, einen Wert „1” hat.
  • Der Ergebnisregister-Eingabebefehl (der SR-Befehl) ist ein Befehl zum Speichern eines bezeichneten Wertes in dem Ergebnisregister 340. Wenn der Ergebnisregister-Eingabebefehl (der SR-Befehl) ausgeführt wird, speichert die Befehlsausführungsschaltung 320 einen Wert, der beispielsweise durch den Operanden des ausgeführten SR-Befehls bezeichnet ist, in dem Ergebnisregister 340. Wenn der SR-Befehl ausgeführt wird, identifiziert die Befehlsausführungsschaltung 320 als den auszuführenden nächsten Befehl einen Befehl, dem eine Versetzung zugeteilt ist, die unmittelbar der Versetzung des ausgeführten SR-Befehls folgt.
  • Der Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl(der IfFail(SRB))-Befehl und der IfFail(RRB)-Befehl) ist ein Befehl zum Aktualisieren des Wertes einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister 340 mit einem vorbestimmten Wert, unter der Bedingung, dass ein vorbestimmtes Prüfergebnis erhalten wird. Wenn beispielsweise der Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl ausgeführt wird, kann die Befehlsausführungsschaltung 320 den Wert der bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister 340 mit einem vorbestimmten Wert aktualisieren, unter der Bedingung, dass das durch die Beurteilungsschaltung 62 erhaltene Prüfergebnis ein Versagen anzeigt.
  • Wenn der Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl ausgeführt wird, aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 den Wert einer Bitposition in dem Ergebnisregister 340, der durch den ausgeführten Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl bezeichnet ist, mit einem vorbestimmten Wert unter der Bedingung, dass ein vorbestimmtes Prüfergebnis erhalten wird. Wenn der Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl ausgeführt wird, identifiziert die Befehlsausführungsschaltung 320 als den auszuführenden nächsten Befehl einen Befehl, dem eine Versetzung zugeteilt ist, die unmittelbar der Versetzung des ausgeführten SR-Befehls folgt.
  • Der IfFail(SRB)-Befehl ist ein Befehl zum Ausführen desselben Prozesses, wie wenn der SRB-Befehl ausgeführt wird, unter der Bedingung, dass das durch die Beurteilungsschaltung 62 erhaltene Prüfergebnis ein Versagen anzeigt. Wenn der IfFail(SRB)-Befehl ausgeführt wird, führt die Befehlsausführungsschaltung 320 denselben Prozess durch, wie wenn der SRB-Befehl ausgeführt wird, unter der Bedingung, dass das durch die Beurteilungsschaltung 62 erhaltene Prüfergebnis ein Versagen anzeigt.
  • Der IfFail(RRB)-Befehl ist ein Befehl zum Ausführen desselben Prozesses, wie wenn der RRB-Befehl ausgeführt wird, unter der Bedingung, dass das durch die Beurteilungsschaltung 62 erhaltene Prüfergebnis ein Versagen anzeigt. Wenn der IfFail(RRB)-Befehl ausgeführt wird, führt die Befehlsausführungsschaltung 320 denselben Prozess durch, wie wenn der RRB-Befehl ausgeführt wird, unter der Bedingung, dass das durch die Beurteilungsschaltung 62 erhaltene Prüfergebnis ein Versagen anzeigt.
  • Wie vorstehend beschrieben ist, kann die Befehlsausführungsschaltung 320 den Wert einer gewünschten Bitposition in dem Ergebnisregister 340 aktualisieren gemäß dem zu dieser gelieferten Befehl. Diese Konfiguration ermöglicht, dass die Befehlsausführungsschaltung 320 die Ergebnisse von durchgeführten Prüfungen in dem Ergebnisregister 340 speichert.
  • Hier können die Folgedaten einen Befehl zum Aktualisieren des Wertes einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister 340 mit einem vorbestimmten Wert nur dann enthalten, wenn ein anderer Parameter als das Prüfergebnis einer vorbestimmten Bedingung genügt. Beispielsweise können die Folgedaten einen Befehl zum Aktualisieren des Wertes einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister 340 mit einem vorbestimmten Bitwert, wenn ein Ergebnis der Beurteilung, die normalerweise an einem Verzweigungspunkt erfolgt, einer vorbestimmten Bedingung genügt, enthalten, beispielsweise unter der Bedingung, dass der Registerwert auf einen vorbestimmten Wert geändert ist, das Flag einen vorbestimmten Wert anzeigt oder das Flag einen vorbestimmten Wert nicht anzeigt. Wenn ein derartiger Befehl ausgeführt wird, führt die Befehlsausführungsschaltung 320 denselben Prozess aus, wie wenn der SRB-Befehl oder der RRB-Befehl ausgeführt wird, wenn einer vorbestimmten Bedingung genügt ist.
  • 6 illustriert eine beispielhafte Konfiguration der Mustererzeugungsschaltung 70, die sich auf ein modifiziertes Beispiel des vorliegenden Ausführungsbeispiels bezieht. Die Mustererzeugungsschaltung 70 gemäß dem vorliegenden Modifikationsbeispiel hat im Wesentlichen dieselben Bestandteile und Funktionen wie die Mustererzeugungsschaltung 70, die sich auf das in 4 gezeigte Ausführungsbeispiel bezieht. Daher wird die folgende Beschreibung nur im Hinblick auf die Unterschiede gemacht.
  • Die Vektorerzeugungsschaltung 80 kann weiterhin ein Aktualisierungsregister 350 enthalten. Das Aktualisierungsregister 350 speichert einen Wert, der eine Bitposition in dem Ergebnisregister 340 bezeichnet, deren Wert zu aktualisieren ist.
  • Der in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherte Wert ist durch die Befehlsausführungsschaltung 320 lesbar. Der in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherte Wert wird durch die Befehlsausführungsschaltung 320 hierin eingegeben. Beispielsweise kann das Aktualisierungsregister 350 Daten mit derselben Anzahl von Bits wie die in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Daten speichern. In den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Daten hat ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das zu aktualisieren ist, einen vorbestimmten Wert, und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das nicht zu ändern ist, hat einen unterschiedlichen Wert.
  • Gemäß dem vorliegenden Modifikationsbeispiel aktualisiert, wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl ausgeführt wird, die Befehlsausführungsschal tung 320 den Wert einer Bitposition in dem Ergebnisregister 340, die durch den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Wert bezeichnet ist, mit einem vorbestimmten Wert. Beispielsweise kann das Aktualisierungsregister 350 Daten speichern, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das zu setzen ist, einen Wert „1” hat, und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das nicht zu ändern ist, einen Wert „0” hat. Wenn der SRB-Befehl ausgeführt wird, aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert durch Berechnen einer logischen ODER-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert und den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Daten. Auf diese Weise kann die Befehlsausführungsschaltung 320 den Wert der Bitposition in dem Ergebnisregister 340, die durch den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Wert bezeichnet ist, auf „1” setzen.
  • Als ein alternatives Beispiel kann das Aktualisierungsregister 350 Daten speichern, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das zu setzen ist, einen Wert „0” hat, und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das nicht zu ändern ist, einen Wert „1” hat. In diesem Fall aktualisiert, wenn der SRB-Befehl ausgeführt wird, die Befehlsausführungsschaltung 320 den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert durch Berechnen einer logischen ODER-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert und durch Invertieren jedes Bits der in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Daten erzeugten Daten.
  • Als ein anderes Beispiel kann das Aktualisierungsregister 350 Daten speichern, in denen ein Bit entspre chend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das zurückzusetzen ist, einen Wert „1” hat, und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das nicht zu ändern ist, einen Wert „0” hat. Wenn der RRB-Befehl ausgeführt wird, aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert durch Berechnen einer logischen UND-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert und durch Invertieren jedes Bits der in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Daten erzeugten Daten. Auf diese Weise kann die Befehlsausführungsschaltung 320 den Wert der Bitposition in dem Ergebnisregister 340, die durch den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Wert bezeichnet ist, auf „0” zurücksetzen.
  • Als ein anderes Beispiel kann das Aktualisierungsregister 350 Daten speichern, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das zurückzusetzen ist, einen Wert „0” hat, und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das nicht zu ändern ist, einen Wert „1” hat. In diesem Fall aktualisiert, wenn der RRB-Befehl ausgeführt wird, die Befehlsausführungsschaltung 320 den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert durch Berechnen einer logischen UND-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert und den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Daten.
  • 7 illustriert ein Beispiel für Folgedaten (eine Prüfbefehlsfolge), die von der Mustererzeugungsschaltung 70 ausgeführt werden, gemäß dem vorliegenden Modifikationsbeispiel. Der Folgekarspeicher 310 kann Folgedaten speichern, die beispielsweise einen Speicherbefehl 500, eine erste Prüfbefehlsfolge 510, ei nen ersten Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl 520, einen ersten Schiebebefehl 530, eine zweite Prüfbefehlsfolge 540, einen zweiten Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl 550 und eine dritte Prüfbefehlsfolge 560 enthalten.
  • Der Speicherbefehl 500 ist ein Befehl zum Speichern anfänglicher Daten in dem Aktualisierungsregister 350. Die erste Prüfbefehlsfolge 510 enthält mehrere Befehle, die eine Prüffolge für eine erste Prüfung bestimmen. Der erste Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl 520 ist ein Befehl zum Setzen des Wertes einer Bitposition in dem Ergebnisregister 340, die durch den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Wert bezeichnet ist, auf „1”, unter der Bedingung, dass die erste Prüfung ein vorbestimmtes Ergebnis zeigt (z. B. Versagen).
  • Der erste Schiebebefehl 530 ist ein Befehl zum Verschieben des in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Wertes um ein Bit. Die zweite Prüfbefehlsfolge 540 enthält mehrere Befehle, die eine Prüffolge für eine zweite Prüfung, die nach der ersten Prüfung durchzuführen ist, bestimmen. Der zweite Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl 550 ist ein Befehl zum Setzen des Wertes einer Bitposition in dem Ergebnisregister 340, die durch den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Wert bezeichnet ist, auf „1”, unter der Bedingung, dass die zweite Prüfung ein vorbestimmtes Ergebnis zeigt (z. B. Versagen). Die dritte Prüfbefehlsfolge 560 enthält mehrere Befehle, die eine Prüffolge für eine dritte Prüfung, die nach der ersten und der zweiten Prüfung durchzuführen ist, bestimmen.
  • 8 illustriert ein Beispiel für einen Fluss von Prozessen, die durchgeführt werden, wenn die in 7 gezeigte Prüfbefehlsfolge ausgeführt wird. Am Anfang liest die Befehlsausführungsschaltung 320 den Speicherbefehl 500 und speichert anfängliche Daten, die eine Bitposition in dem Ergebnisregister 340 bezeichnen, in dem Aktualisierungsregister 350, bevor die erste Prüfung durchgeführt wird (Schritt S1001). Hier speichert die Befehlsausführungsschaltung 320 in dem Aktualisierungsregister 350 als anfängliche Daten solche Daten, in denen ein Bit entsprechend einem Bit (einem ersten Bit) in dem Ergebnisregister 340, das das Ergebnis der ersten Prüfung zu speichern hat, einen Wert „1” hat, und die anderen Bits haben den Wert „0”.
  • Nachfolgend liest die Befehlsausführungsschaltung 320 die erste Prüfbefehlsfolge 510, um die erste Prüfung durchzuführen (Schritt S1002). Bei Beendigung der ersten Prüfung liest die Befehlsausführungsschaltung 320 dann den ersten Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl 520 und beurteilt, ob das Ergebnis der ersten Prüfung ein Versagen anzeigt (Schritt S1003). Wenn das Ergebnis der ersten Prüfung ein Versagen anzeigt (Schritt S1003: JA), aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 den Wert des Ergebnisregisters 340 durch Berechnen einer logischen ODER-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert und den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Daten (Schritt S1004). Auf diese Weise kann die Befehlsausführungsschaltung 320 den Wert des ersten Bits in dem Ergebnisregister 340 setzen, das ausgebildet ist zum Speichern des Ergebnisses der ersten Prüfung als „1”. Wenn das Ergebnis der ersten Prüfung nicht ein Versagen anzeigt (Schritt S1004: NEIN), aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 nicht den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert und führt nachfolgend einen Schritt S1005 durch.
  • Hiernach liest die Befehlsausführungsschaltung 320 den ersten Schiebebefehl 530, um den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Wert um beispielsweise ein Bit zu verschieben (S1005). Als ein Ergebnis dieser Operation wird in den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Daten der Wert „1” von dem Bit entsprechend dem ersten Bit (das Bit zum Speichern des Ergebnisses der ersten Prüfung) zu einem verschiedenen Bit verschoben. Daher werden als ein Ergebnis der Bitschiebeoperation die in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Daten in Daten umgewandelt, in denen ein Bit entsprechend einem Bit (ein zweites Bit) zum Speichern des Ergebnisses der zweiten Prüfung den Wert „1” hat, und die anderen Bits haben den Wert „0”.
  • Diesem folgend liest die Befehlsausführungsschaltung 320 die zweite Prüfbefehlsfolge 540, um die zweite Prüfung durchzuführen (Schritt S1006). Bei Beendigung der zweiten Prüfung liest die Befehlsausführungsschaltung 320 nachfolgend den zweiten Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl 550 und beurteilt, ob das Ergebnis der zweiten Prüfung ein Versagen anzeigt (Schritt S1007). Wenn das Ergebnis der zweiten Prüfung ein Versagen anzeigt (Schritt S1007: JA), aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert durch Berechnung einer logischen ODER-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert und den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Daten (Schritt S1008). Auf diese Weise kann die Befehlsausführungsschaltung 320 den Wert des zweiten Bits in dem Ergebnisregister 340, das ausgebildet ist zum Speichern des Ergebnisses der zweiten Prüfung, auf „1” setzen. Wenn das Ergebnis der zweiten Prüfung nicht ein Versagen anzeigt (Schritt S1007: NEIN), aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 nicht den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert und führt nachfolgend einen Schritt S1009 durch.
  • Hiernach liest die Befehlsausführungsschaltung 320 den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert und wählt die Durchführung der nächsten Prüfung aus auf der Grundlage der Ergebnisse der ersten und der zweiten Prüfung (Schritt S1009). Nachfolgend liest die Befehlsausführungsschaltung 320 die dritte Prüfbefehlsfolge 560, um die dritte Prüfung entsprechend der ausgewählten Prüfung durchzuführen (Schritt S1010).
  • Wie vorstehend beschrieben ist, kann die Befehlsausführungsschaltung 320 die Ergebnisse der ersten und der zweiten Prüfung in dem Ergebnisregister 340 speichern. Mit dieser Konfiguration kann die Befehlsausführungsschaltung 320 die dritte Prüfung durchführen, die auf der Grundlage der Ergebnisse der ersten und der zweiten Prüfung ausgewählt ist, nachdem die erste und die zweite Prüfung durchgeführt wurden. Auch kann die Befehlsausführungsschaltung 320 die DUT 300 in Bezug auf die Qualität auf der Grundlage der Ergebnisse der ersten und der zweiten Prüfung bewerten.
  • Hier kann die Befehlsausführungsschaltung 320 eine andere Prüfung in derselben Weise wie in den Schritten S1005 bis S1008 zwischen den Schritten S1008 und S1009 durchführen. Mit dieser Konfiguration kann die Befehlsausführungsschaltung 320 in dem Ergebnisregis ter 340 die Ergebnisse von drei oder mehr Prüfungen speichern.
  • 9 illustriert eine beispielhafte Konfiguration einer elektronischen Vorrichtung 400, die sich auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezieht. Die elektronische Vorrichtung 400 enthält eine geprüfte Schaltung 410, eine Prüfschaltung 420, einen Eingabe-/Ausgabe-Stift 430 und einen BIST-Stift 440. Die geprüfte Schaltung 410 kann eine Schaltung sein, die arbeitet, wenn die elektronische Vorrichtung 400 befestigt ist. Die geprüfte Schaltung 410 arbeitet gemäß einem von dem Eingabe-/Ausgabe-Stift 430 zugeführten Signal, wenn die elektronische Vorrichtung 400 befestigt ist.
  • Wenn die elektronische Vorrichtung 400 beispielsweise eine Speichervorrichtung ist, kann die geprüfte Schaltung 410 eine Schaltung enthaltend eine Speicherzelle der elektronischen Vorrichtung 400 sein. Beispielsweise kann die geprüfte Schaltung 410 die Speicherzelle und eine Steuerschaltung zum Steuern der Speicherzelle enthalten. Die Steuerschaltung kann eine Schaltung zum Steuern des Schreibens von Daten in die Speicherzelle und des Lesens von Daten aus der Speicherzelle sein.
  • Die Prüfschaltung 420 ist auf demselben Halbleiterchip wie die geprüfte Schaltung 410 vorgesehen. Die Prüfschaltung 420 prüft die geprüfte Schaltung 410. Die Prüfschaltung 420 kann dieselben Bestandteile wie das mit Bezug auf die 1 bis 8 beschriebene Prüfmodul 100 haben. Alternativ kann die Prüfschaltung 420 einige der Bestandteile des Prüfmoduls 100 haben. Die Prüfschaltung 420 kann eine Schaltung sein, die einige der Funktionen des Prüfmoduls 100 hat. Beispielsweise braucht die Prüfschaltung 420 nicht den Ergebnisspeicher 16 zu enthalten. Weiterhin können die Ratenerzeugungsschaltung 30 und die Takterzeugungsschaltung 56 der Prüfschaltung 420 gemäß den feste Werte enthaltenden Takteinstellungen arbeiten.
  • Wenn sie mit einem Signal, das anzeigt, dass eine Selbstprüfung für die geprüfte Schaltung 410 über den BIST-Stift 440 von einem externen Prüfgerät durchzuführen ist, kann die Prüfschaltung 420 die geprüfte Schaltung 410 prüfen. Der BIST-Stift 440 ist vorzugsweise ein Stift, der nicht verwendet wird, wenn die elektronische Vorrichtung 400 befestigt ist. Die Prüfschaltung 420 kann das Ergebnis der Prüfung der geprüften Schaltung 410 über den BIST-Stift 440 zu dem externen Prüfgerät ausgeben.
  • Das externe Prüfgerät kann in derselben Weise wie die mit Bezug auf 1 beschriebenen Stationssteuervorrichtungen 130 arbeiten. Mit anderen Worten, das externe Prüfgerät kann die Prüfsteuerprogramme, Prüfprogramme, Prüfdaten und dergleichen zu der Prüfschaltung 420 liefern, um zu bewirken, dass die Prüfschaltung 420 in derselben Weise wie das mit Bezug auf die 1 bis 8 beschriebene Prüfmodul 100 arbeitet.
  • Während ein Aspekt der vorliegenden Erfindung in den Ausführungsbeispielen beschrieben wurde, ist der technische Bereich der Erfindung nicht auf die vorbeschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Es ist für den Fachmann augenscheinlich, dass verschiedene Änderungen und Verbesserungen zu den vorbeschriebenen Ausführungsbeispielen hinzugefügt werden können. Es ist auch anhand des Bereichs der Ansprüche ersicht lich, dass die Ausführungsbeispiele, denen derartige Änderungen oder Verbesserungen hinzugefügt sind, in dem technischen Bereich der Erfindung enthalten sein können.
  • Zusammenfassung
  • Es ist ein Prüfgerät zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vorgesehen. Das Prüfgerät enthält eine Befehlsspeicherschaltung, die eine Prüfbefehlsfolge speichert, eine Mustererzeugungsschaltung, die aufeinander folgend einen Befehl aus der Prüfbefehlsfolge liest und ausführt und ein mit dem ausgeführten Befehl assoziiertes Prüfmuster ausgibt, eine Prüfsignal-Ausgabeschaltung, die ein Prüfsignal gemäß dem Prüfmuster erzeugt und das erzeugte Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung liefert, und ein Ergebnisregister, das einen Wert mit einer vorbestimmten Anzahl von Bits speichert. Hier speichert die Befehlsspeicherschaltung die Prüfbefehlsfolge enthaltend einen Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl zum Aktualisieren eines Wertes einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister mit einem vorbestimmten Wert, und wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl ausgeführt wird, aktualisiert die Mustererzeugungsschaltung den Wert der Bitposition in dem Ergebnisregister, die durch den Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl bezeichnet ist, mit dem vorbestimmten Wert.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - JP 2004-26047 [0004]
    • - JP 07-73700 [0004]

Claims (8)

  1. Prüfgerät zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche aufweist: eine Befehlsspeicherschaltung, die eine Prüfbefehlsfolge speichert; eine Mustererzeugungsschaltung, die aufeinander folgend einen Befehl aus der Prüfbefehlsfolge liest und ausführt und ein mit dem ausgeführten Befehl assoziiertes Prüfmuster ausgibt; eine Prüfsignal-Ausgabeschaltung, die ein Prüfsignal gemäß dem Prüfmuster erzeugt und das erzeugte Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung liefert; und ein Ergebnisregister, das einen Wert mit einer vorbestimmten Anzahl von Bits speichert, wobei die Befehlsspeicherschaltung die Prüfbefehlsfolge enthaltend einen Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl zum Aktualisieren eines Wertes einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister mit einem vorbestimmten Wert speichert, und wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl ausgeführt wird, die Mustererzeugungsschaltung den Wert der Bitposition in dem Ergebnisregister, die durch den Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl bezeichnet ist, mit dem vorbestimmten Wert aktualisiert.
  2. Prüfgerät nach Anspruch 1, bei dem die Mustererzeugungsschaltung, wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl ausgeführt wird, den in dem Ergebnisregister gespeicherten Wert aktualisiert durch Berechnen einer logi schen ODER-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister gespeicherten Wert und Daten, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister, das zu setzen ist, einen Wert „1” hat, und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister, das nicht geändert werden soll, einen Wert „0” hat.
  3. Prüfgerät nach Anspruch 1, bei dem die Mustererzeugungsschaltung, wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl ausgeführt wird, den in dem Ergebnisregister gespeicherten Wert aktualisiert durch Berechnen einer logischen UND-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister gespeicherten Wert und Daten, die erzeugt wurden durch Invertieren jedes Bits von Daten, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister, das zurückzusetzen ist, einen Wert „1” hat, und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister, das nicht geändert werden soll, einen Wert „0” hat.
  4. Prüfgerät nach Anspruch 1, bei dem die Befehlsspeicherschaltung die Prüfbefehlsfolge enthaltend einen Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl zum Aktualisieren eines Werts einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister mit einem vorbestimmten Wert unter einer Bedingung, dass ein vorbestimmtes Prüfergebnis erhalten wird, speichert, und die Mustererzeugungsschaltung, wenn der Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl ausgeführt wird, den Wert der Bitposition in dem Ergebnisregister, die durch den Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl bezeichnet ist, unter der Bedingung, dass das vorbestimmte Prüfergebnis erhalten wird, mit dem vorbestimmten Wert aktualisiert.
  5. Prüfgerät nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend ein Aktualisierungsregister, das einen Wert speichert, der eine Bitposition in dem Ergebnisregister, deren Wert zu Aktualisieren ist, bezeichnet, wobei die Mustererzeugungsschaltung, wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl ausgeführt wird, einen Wert einer Bitposition in dem Ergebnisregister, die durch den Aktualisierungsregister gespeicherten Wert bezeichnet ist, mit dem vorbestimmten Wert aktualisiert.
  6. Prüfgerät nach Anspruch 5, bei dem die Befehlsspeicherschaltung speichert: eine erste Prüfbefehlsfolge zum Durchführen einer ersten Prüfung; eine zweite Prüfbefehlsfolge zum Durchführen einer zweiten Prüfung nach der ersten Prüfung; einen ersten Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl zum Aktualisieren eines Wertes einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister unter einer Bedingung, dass die erste Prüfung ein vorbestimmtes Ergebnis zeigt, mit einem vorbestimmten Wert; und einen zweiten Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl zum Aktualisieren eines Wertes einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister unter einer Bedingung, dass die zweite Prüfung ein vorbestimmtes Ergebnis zeigt, mit einem vorbestimmten Wert, wobei der zweite Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl nach dem ersten Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl ausgeführt wird, das Aktualisierungsregister den eine Bitposition in dem Ergebnisregister bezeichnenden Wert vor der ersten Prüfung speichert, und die Mustererzeugungsschaltung: wenn der erste Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl ausgeführt wird, den Wert der Bitposition in dem Ergebnisregister, die durch den in dem Aktualisierungsregister gespeicherten Wert bezeichnet ist, und mit der ersten Prüfung assoziiert ist, unter der Bedingung, dass die erste Prüfung das vorbestimmte Ergebnis zeigt, mit einem Wert, der das Ergebnis der ersten Prüfung anzeigt, aktualisiert; den in dem Aktualisierungsregister gespeicherten Wert so verschiebt, dass eine Bitposition in dem Ergebnisregister, die mit der zweiten Prüfung assoziiert ist, verschoben wird; und wenn der zweite Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl ausgeführt wird, den Wert der Bitposition in dem Ergebnisregister, die durch den in dem Aktualisierungsregister gespeicherten Wert bezeichnet ist, und mit der zweiten Prüfung assoziiert ist, unter einer Bedingung, dass die zweite Prüfung das vorbestimmte Ergebnis zeigt, mit einem Wert, der das Ergebnis der zweiten Prüfung anzeigt, aktualisiert.
  7. Elektronische Vorrichtung, welche aufweist: eine geprüfte Schaltung; und eine Prüfschaltung, die die geprüfte Schaltung prüft, worin die Prüfschaltung enthält: eine Befehlsspeicherschaltung, die eine Prüfbefehlsfolge speichert; eine Mustererzeugungsschaltung, die aufeinander folgend einen Befehl aus der Prüfbefehlsfolge liest und ausführt und ein mit dem ausgeführten Befehl assoziiertes Prüfmuster ausgibt; eine Prüfsignal-Ausgabeschaltung, die ein Prüfsignal gemäß dem Prüfmuster erzeugt und das erzeugte Prüfsignal zu der geprüften Schaltung liefert; und ein Ergebnisregister, das einen Wert mit einer vorbestimmten Anzahl von Bits speichert, wobei die Befehlsspeicherschaltung die Prüfbefehlsfolge enthaltend einen Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl zum Aktualisieren eines Wertes einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister mit einem vorbestimmten Wert speichert, und die Mustererzeugungsschaltung, wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl ausgeführt wird, den Wert der Bitposition in dem Ergebnisregister, die durch den Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl bezeichnet ist, mit dem vorbestimmten Wert aktualisiert.
  8. Prüfverfahren zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welches aufweist: einen Befehlsspeicherschritt zum Speichern einer Prüfbefehlsfolge; einen Mustererzeugungsschritt zum aufeinander folgenden Lesen und Ausführen eines Befehls aus der Prüfbefehlsfolge, und zum Ausgeben eines mit dem ausgeführten Befehl assoziierten Prüfmusters; einen Prüfsignal-Ausgabeschritt zum Erzeugen eines Prüfsignals gemäß dem Prüfmuster und zum Zuführen des erzeugten Prüfsignals zu der geprüften Schaltung; und einen Speicherschritt zum Speichern eines Wertes mit einer vorbestimmten Anzahl von Bits, wobei der Befehlsspeicherschritt das Speichern der Prüfbefehlsfolge enthaltend einen Ergebnisregis ter-Aktualisierungsbefehl zum Aktualisieren eines Wertes einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister auf einen vorbestimmten Wert enthält, und der Mustererzeugungsschritt, wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl ausgeführt wird, das Aktualisieren des Wertes der Bitposition in dem Ergebnisregister, die durch den Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl bezeichnet ist, auf den vorbestimmten Wert enthält.
DE112008000748T 2007-03-21 2008-03-12 Prüfgerät, elektrische Vorrichtung und Prüfverfahren Withdrawn DE112008000748T5 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/689,503 US7657812B2 (en) 2007-03-21 2007-03-21 Test apparatus for updating a value of the bit position in result register by executing a result register update instruction with predetermined value to generate test pattern
US11/689,503 2007-03-21
PCT/JP2008/054542 WO2008114671A1 (ja) 2007-03-21 2008-03-12 試験装置、電子デバイスおよび試験方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE112008000748T5 true DE112008000748T5 (de) 2010-04-29

Family

ID=39765779

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE112008000748T Withdrawn DE112008000748T5 (de) 2007-03-21 2008-03-12 Prüfgerät, elektrische Vorrichtung und Prüfverfahren

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7657812B2 (de)
JP (1) JP5183622B2 (de)
KR (1) KR20090129481A (de)
DE (1) DE112008000748T5 (de)
TW (1) TW200846687A (de)
WO (1) WO2008114671A1 (de)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8706439B2 (en) * 2009-12-27 2014-04-22 Advantest Corporation Test apparatus and test method
US8850266B2 (en) * 2011-06-14 2014-09-30 International Business Machines Corporation Effective validation of execution units within a processor
JP5186587B1 (ja) * 2011-09-29 2013-04-17 株式会社アドバンテスト 試験装置および試験方法
JP2013113665A (ja) * 2011-11-28 2013-06-10 Advantest Corp 試験パターン生成装置、試験プログラム生成装置、生成方法、プログラム、および試験装置
US8930760B2 (en) 2012-12-17 2015-01-06 International Business Machines Corporation Validating cache coherency protocol within a processor
CN111856258B (zh) * 2020-07-24 2023-05-09 北京百度网讯科技有限公司 用于芯片的测试的方法、设备、存储介质和相应的芯片

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0773700A (ja) 1993-09-03 1995-03-17 Advantest Corp フラッシュメモリ試験装置
JP2004026047A (ja) 2002-06-26 2004-01-29 Kasai Kogyo Co Ltd セパレーションネットの張設構造

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5737512A (en) * 1996-05-22 1998-04-07 Teradyne, Inc. Fast vector loading for automatic test equipment
JP3523979B2 (ja) 1997-03-21 2004-04-26 三菱電機株式会社 障害トレース方法
JP4156712B2 (ja) 1998-07-24 2008-09-24 株式会社アドバンテスト 半導体試験装置の試験方法
US7174492B1 (en) * 2001-04-12 2007-02-06 Cisco Technology, Inc. AC coupled line testing using boundary scan test methodology
JP3484181B1 (ja) * 2002-09-02 2004-01-06 沖電気工業株式会社 半導体テスト回路
US6941232B2 (en) 2003-01-28 2005-09-06 Texas Instruments Incorporated Method and apparatus for performing multi-site integrated circuit device testing
JP4282334B2 (ja) 2003-02-04 2009-06-17 株式会社アドバンテスト 試験装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0773700A (ja) 1993-09-03 1995-03-17 Advantest Corp フラッシュメモリ試験装置
JP2004026047A (ja) 2002-06-26 2004-01-29 Kasai Kogyo Co Ltd セパレーションネットの張設構造

Also Published As

Publication number Publication date
WO2008114671A1 (ja) 2008-09-25
TW200846687A (en) 2008-12-01
US20080235498A1 (en) 2008-09-25
TWI364548B (de) 2012-05-21
JPWO2008114671A1 (ja) 2010-07-01
KR20090129481A (ko) 2009-12-16
JP5183622B2 (ja) 2013-04-17
US7657812B2 (en) 2010-02-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69124170T2 (de) Automatisches Prüfausrüstungssystem, das eine Stiftscheibenarchitektur verwendet
DE3903835C2 (de)
DE69115776T2 (de) Prüfvorrichtung für integrierte schaltungen
DE2914128C2 (de) Verfahren zur Fehlerortung in einer digitalen Schaltung und Prüfgerät zur Durchführung des Verfahrens
DE10010043C2 (de) Halbleitervorrichtung-Simulationseinrichtung und zugehörige Halbleitertestprogramm-Debugging-Einrichtung
DE102004023407B4 (de) Testvorrichtung und Verfahren zum Testen eines eingebetteten Speicherkerns sowie zugehöriger Halbleiterchip
DE69506337T2 (de) Von einem LSI-Prüfer mit einer verminderten Anzahl von Stiften testbare integrierte Halbleiterschaltung
DE112008001032T5 (de) Prüfgerät, Prüfverfahren und elektronische Vorrichtung
DE10056160A1 (de) Halbleiterprüfsystem
DE19950821A1 (de) Bewertungssystem für integrierte Halbleiterschaltungen
DE112007002970T5 (de) Prüfvorrichtung und Vorrichtungsschnittstelle
DE112008001172T5 (de) Prüfgerät und Prüfverfahren
DE10150056A1 (de) Externe Prüfhilfsvorrichtung zur Verwendung zum Testen einer Halbleitereinrichtung und Verfahren zum Testen einer Halbleitereinrichtung unter Verwendung der Vorrichtung
DE112008000748T5 (de) Prüfgerät, elektrische Vorrichtung und Prüfverfahren
DE10123154B4 (de) Halbleitervorrichtungs-Prüfvorrichtung und Verfahren zum Prüfen einer Halbleitervorrichtung
DE112008000937T5 (de) Prüfgerät und elektronische Vorrichtung
DE19700513A1 (de) Mit CAD-Daten verknüpftes Halbleiterprüfsystem
DE3938826C2 (de)
DE19955380A1 (de) Prüfmustergenerator, Prüfvorrichtung und Verfahren zum Erzeugen mehrerer Prüfmuster
DE19807237C2 (de) Halbleiterbauelement-Testgerät
DE10150058A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Testen einer integrierten Halbleiterschaltung
DE3587620T2 (de) Logikanalysator.
DE112007003412T5 (de) Prüfgerät und elektronische Vorrichtung
DE602004007906T2 (de) Testeinrichtung und einstellverfahren
DE10297426T5 (de) Halbleiterprüfgerät

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20111001