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Technisches Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Prüfgerät
und eine elektronische Vorrichtung. Insbesondere bezieht sich die
vorliegende Erfindung auf ein Prüfgerät zum Prüfen
einer geprüften Vorrichtung und eine elektronische Vorrichtung,
die eine Prüfschaltung zum Prüfen einer geprüften
Schaltung enthält. Die vorliegende Anmeldung bezieht sich
auf eine US-Patentanmeldung Nr. 11/689,503, die am 21. März
2007 eingereicht wurde und deren Inhalt hier einbezogen wird, falls
dies in dem bezeichneten Staat anwendbar ist.
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Stand der Technik
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Es
ist ein Prüfgerät bekannt, das eine geprüfte
Vorrichtung (DUT) wie einen Halbleiter prüft. Das Prüfgerät
liefert ein Prüfsignal mit einem vorbestimmten logischen
Muster zu der DUT, erfasst ein von der DUT als Antwort auf das zugeführte
Prüfsignal ausgegebenes Signal und vergleicht das erfasste
Signal mit einem erwarteten Wert, um zu beurteilen, ob die DUT annehmbar
ist.
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Das
Prüfgerät enthält einen Mustergenerator zum
aufeinanderfolgenden Erzeugen eines Prüfmusters und eine
Prüfsignal-Ausgabeschaltung zum Ausgeben eines Prüfsignals
mit einem logischen Muster entsprechend dem Prüfmuster.
Der Mustergenerator liest aufeinanderfolgend einen Befehl aus Folgedaten
(eine Prüfbefehlsfolge), die in einem Speicher gespeichert
sind und führt den gelesenen Befehl aus. Der Mustergenerator
liest dann Musterdaten entsprechend dem ausgeführten Befehl
aus dem Speicher und gibt aufeinanderfolgend die gelesenen Musterdaten
als das Prüfmuster aus. Auf diese Weise kann das Prüfgerät
das Prüfsignal mit einem vorbestimmten logischen Muster
zu der DUT liefern.
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Der
Mustergenerator war in der Lage, einen Prüfbefehl auszuführen,
um ein Ergebnis des Vergleichs des Ausgangssignals der DUT mit dem
erwarteten Wert zu empfangen und eine nächste Operation
auf der Grundlage des empfangenen Vergleichsergebnisses zu bestimmen,
wie beispielsweise in den Veröffentlichungen Nr.
2004-264047 und Nr.
H07-73700 von ungeprüften
japanischen Patentanmeldungen offenbart ist. Jedoch hat der Mustergenerator
Schwierigkeiten bei der Speicherung der Ergebnisse von vielen bei
der DUT durchgeführten Prüfungen, um unterschiedliche
Prüfmuster für nachfolgende Prüfungen
mit Bezug auf die Ergebnisse der Prüfungen zu erzeugen
oder die DUT auf der Grundlage der Ergebnisse der Prüfungen
zu bewerten.
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Offenbarung der Erfindung
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Durch die Erfindung zu lösende
Probleme
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Angesichts
des vorstehenden ist es ein Vorteil, einige Ausführungsbeispiele
der vorliegenden Erfindung, ein Prüfgerät und
eine elektronische Vorrichtung vorzusehen, die das vorgenannte Problem lösen
können. Dieser Vorteil wird erzielt durch Kombinieren der
in den unabhängigen Ansprüchen beschriebenen Merkmale.
Die abhängigen Ansprüche definieren weitere wirksame
spezifische Beispiele der vorliegenden Erfindung.
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Mittel zum Lösen
der Probleme
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Ein
erstes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung sieht
ein Prüfgerät zum Prüfen einer geprüften
Vorrichtung vor. Das Prüfgerät enthält eine
Befehlsspeicherschaltung, die eine Prüfbefehlsfolge speichert,
eine Mustererzeugungsschaltung, die aufeinanderfolgend einen Befehl
aus der Prüfbefehlsfolge liest und ausführt und
ein mit dem ausgeführten Befehl assoziiertes Prüfmuster
ausgibt, eine Prüfsignal-Ausgabeschaltung, die ein Prüfsignal
gemäß dem Prüfmuster erzeugt und das
erzeugte Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung
liefert, und ein Ergebnisregister, das einen Wert mit einer vorbestimmten
Anzahl von Bits speichert. Hier speichert die Befehlsspeicherschaltung
die Prüfbefehlsfolge enthaltend einen Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl zum
Aktualisieren eines Werts einer bezeichneten Bitposition in dem
Ergebnisregister durch einen vorbestimmten Wert, und wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl
ausgeführt wird, aktualisiert die Mustererzeugungsschaltung
mit dem vorbestimmten Wert den Wert der Bitposition in dem Ergebnisregister,
der durch den Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl bezeichnet
ist.
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Ein
zweites Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung
sieht eine elektronische Vorrichtung vor, die eine geprüfte
Schaltung und eine Prüfschaltung, die die geprüfte
Schaltung prüft, enthält. Hier enthält
die Prüfschaltung eine Befehlsspeicherschaltung, die eine
Prüfbefehlsfolge speichert, eine Mustererzeugungsschaltung,
die aufeinanderfolgend einen Befehl aus der Prüfbefehlsfolge
liest und ausführt sowie ein mit dem ausgeführten
Befehl assoziiertes Prüfmuster ausgibt, eine Prüfsignal-Ausgabeschaltung,
die ein Prüfsignal gemäß dem Prüfmuster erzeugt
und das erzeugte Prüfsignal zu der geprüften Schaltung
liefert, und ein Ergebnisregister, das einen Wert mit einer vorbestimmten
Anzahl von Bits speichert. Hier speichert die Befehlsspeicherschaltung die
Prüfbefehlsfolge enthaltend einen Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl
zum Aktualisieren eines Werts einer bezeichneten Bitposition in
dem Ergebnisregister mit einem vorbestimmten Wert, und wenn der
Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl ausgeführt wird,
aktualisiert die Mustererzeugungsschaltung mit dem vorbestimmten
Wert den Wert der Bitposition in dem Ergebnisregister, der durch
den Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl bezeichnet ist.
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Ein
drittes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung
sieht ein Prüfverfahren zum Prüfen einer geprüften
Vorrichtung vor. Das Verfahren enthält: einen Befehlsspeicherschritt
zum Speichern einer Prüfbefehlsfolge; einen Mustererzeugungsschritt zum
aufeinanderfolgenden Lesen und Ausführen eines Befehls
aus der Prüfbefehlsfolge und zum Ausgeben eines mit dem
ausgeführten Befehl assoziierten Prüfmusters;
einen Prüfsignal-Ausgabeschritt zum Erzeugen eines Prüfsignals
gemäß dem Prüfmuster und zum Liefern
des erzeugten Prüfsignals zu der geprüften Schaltung;
und einen Speicherschritt zum Speichern einen Wert mit einer vorbestimmten Anzahl
von Bits. Hier enthält der Befehlsspeicherschritt das Speichern
der Prüfbefehlsfolge enthaltend einen Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl
zum Aktualisieren eines Werts einer bezeichneten Bitposition in
dem Ergebnisregister auf einen vorbestimmten Wert, und der Mustererzeugungsschritt
enthält, wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl ausgeführt
wird, das Aktualisieren des Werts der Bitposition in dem Ergebnisregister,
der durch den Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl bezeichnet
ist, auf den vorbestimmten Wert.
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Hier
sind nicht alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung
in der Zusammenfassung aufgeführt. Die Unterkombinationen
der Merkmale können die Erfindung werden.
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Wirkung der Erfindung
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Gemäß den
vorliegenden Ausführungsbeispielen ist es möglich,
die Ergebnisse von mehreren bei der geprüften Vorrichtung
durchgeführten Prüfungen zu speichern, so dass
verschiedene Prüfmuster gemäß solchen
Prüfergebnissen in nachfolgenden Prüfungen erzeugt
werden können und auch die Klassen der geprüften
Vorrichtungen gemäß den Prüfergebnissen
klassifiziert werden können. Daher ist es möglich,
zweckmäßig zu prüfen, ob die elektronische
Vorrichtung ihre wesentliche und beabsichtigte Operation ausführen
kann.
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Kurzbeschreibung der Zeichnungen
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1 illustriert
eine beispielhafte Konfiguration eines Prüfgeräts 200,
das sich auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung
bezieht.
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2 illustriert
eine beispielhafte Konfiguration eines Prüfmoduls 100.
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3 illustriert
als ein Beispiel eine in einem Musterlistenspeicher 14 gespeicherte
Musterliste sowie Folgedaten und Musterdaten, die in einem Hauptspeicher 40 gespeichert
sind.
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4 illustriert
eine beispielhafte Konfiguration einer Mustererzeugungsschaltung 70,
die sich auf das vorliegende Ausführungsbeispiel bezieht.
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5 illustriert
ein Beispiel für Folgedaten (eine Prüfbefehlsfolge),
die in einem Folgecachespeicher 310 gespeichert sind.
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6 illustriert
eine beispielhafte Konfiguration der Mustererzeugungsschaltung 70,
die sich auf ein modifiziertes Beispiel des vorliegenden Ausführungsbeispiels
bezieht.
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7 illustriert
ein Beispiel für Folgedaten (eine Prüfbefehlsfolge),
die von der Mustererzeugungsschaltung 70 ausgeführt
werden, gemäß dem modifizierten Beispiel.
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8 illustriert
ein Beispiel für einen Fluss von Prozessen, die ausgeführt
werden, wenn die in 7 gezeigte Prüfbefehlsfolge
ausgeführt wird.
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9 illustriert
eine beispielhafte Konfiguration einer elektronischen Vorrichtung 400,
die sich auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezieht.
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Beste Art der Ausführung
der Erfindung
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Nachfolgend
wird ein Aspekt der vorliegenden Erfindung durch einige Ausführungsbeispiele
beschrieben. Die Ausführungsbeispiele beschränken die
Erfindung gemäß den Ansprüchen nicht,
und alle Kombinationen der in den Ausführungsbeispielen
beschriebenen Merkmale sind nicht notwendigerweise wesentlich für
durch Aspekte der Erfindung vorgesehene Mittel.
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1 illustriert
eine beispielhafte Konfiguration eines Prüfgeräts 200,
das sich auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung
bezieht. Das Prüfgerät 200 prüft
geprüfte Vorrichtungen (DUTs) 300 wie Halbleiterschaltungen.
Das Prüfgerät 200 enthält eine
Systemsteuervorrichtung 110, mehrere Stationssteuervorrichtungen 130,
einen Schalterkreis 140 und mehrere Prüfmodule 100.
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Die
Systemsteuervorrichtung 110 empfängt Prüfsteuerprogramme,
Prüfprogramme, Prüfdaten und dergleichen, die
von dem Prüfgerät 200 zum Prüfen
der DUTs 300 verwendet werden, über ein externes
Netzwerk oder dergleichen, und speichert die empfangenen Programme
und Daten. Die Systemsteuervorrichtung 110 ist mit den
mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 über
ein Kommunikationsnetzwerk verbunden.
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Die
Stationssteuervorrichtungen 130a bis 130c steuern
jeweils bei den DUTs 300 durchgeführte Prüfungen.
Beispielsweise sind die mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 in
einer 1:1-Entsprechung mit den mehreren DUTs 300 vorgesehen.
Jede der Stationssteuervorrichtungen 130 steuert eine bei einer
entsprechenden der DUTs 300 durchgeführten Prüfung.
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Gemäß der
beispielhaften, in 1 gezeigten Konfiguration steuert
die Stationssteuervorrichtung 130a die bei der DUT 300a durchgeführte
Prüfung, und die Stationssteuervorrichtung 130b steuert die
bei der DUT 300b durchgeführte Prüfung.
Als ein alternatives Beispiel kann jede der mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 die
bei mehr als einer der DUTs 300 durchgeführten
Prüfungen steuern.
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Genauer
gesagt, jede der Stationssteuervorrichtungen 130 erhält
ein Prüfsteuerprogramm von der Systemsteuervorrichtung 110 und
führt das erhaltene Prüfsteuerprogramm aus. Nachfolgend
erhält auf der Grundlage des Prüfsteuerprogramms
die Stationssteuervorrichtung 130 ein Prüfprogramm
(z. B. später beschriebene Folgedaten) und prüft
Daten (z. B. später beschriebene Musterdaten) zur Verwendung
für eine Prüfung einer entsprechenden der DUTs 300 von
der Systemsteuervorrichtung 110. Die Stationssteuervorrichtung 130 speichert über
den Schalterkreis 140 das erhaltene Prüfprogramm
und prüft Daten in einem oder mehreren Modulen (z. B. einem
oder mehreren der Prüfmodule 100), die zum Prüfen
der entsprechenden DUT 300 zu verwenden sind. Hiernach
weist die Stationssteuervorrichtung 130 über den
Schalterkreis 140 die Prüfmodule 100 an,
die Durchführung einer Prüfung auf der Grundlage
des Prüfprogramms und der Prüfdaten zu starten. Wenn
sie eine Unterbrechung oder dergleichen, die die Beendigung der
Prüfung anzeigt, von beispielsweise den Prüfmodulen 100 empfängt,
weist die Stationssteuervorrichtung 130 die Prüfmodule 100 an, die
nächste Prüfung auf der Grundlage des Ergebnisses
der Prüfung durchzuführen.
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Der
Schalterkreis 140 verbindet jede der mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 mit
einem oder mehreren entsprechenden der Prüfmodule 100,
die durch die Stationssteuervorrichtung 130 gesteuert werden,
und übermittelt die Kommunikation zwischen der Station
und entsprechenden Prüfmodulen 100. Hier kann
eine vorbestimmte der Stationssteuervorrichtungen 130 den
Schalterkreis 140 auf der Grundlage des Befehls durch den
Benutzer des Prüfgeräts 200, eines Prüfsteuerprogramms
oder dergleichen so konfigurieren, dass jede der mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 mit
einem oder mehreren der Prüfmodule 100, die von
der Stationssteuervorrichtung 130 zum Prüfen einer
entsprechenden der DUTs 300 verwendet werden, verbunden
ist.
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Gemäß der
beispielhaften, in 1 gezeigten Konfiguration ist
die Stationssteuervorrichtung 130a so ausgebildet, dass
sie mit mehreren Prüfmodulen 100a verbunden ist
und die Prüfmodule 100a zum Prüfen der
DUT 300a verwendet. Hier sind die Konfiguration und die
Operationen der Stationssteuervorrichtung 130a zum Prüfen
der DUT 300a im Wesentlichen dieselben wie diejenigen der
anderen Stationssteuervorrichtungen 130 zum Prüfen
der entsprechenden DUTs 300 durch Verwendung der entsprechenden
Prüfmodule 100. Die folgende Beschreibung erfolgt
im Hinblick auf die Konfiguration und die Operationen der Stationssteuervorrichtung 130a zum
Prüfen der DUT 300a.
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Auf
der Grundlage eines Befehls durch die Stationssteuervorrichtung 130a erzeugen
die Prüfmodule 100a Taktsignale, die Zeitpunkte
zum Erzeugen von Prüfsignalen, die für die Prüfung
der DUT 300a zu verwenden sind, anzeigen. Eines der Prüfmodule 100a kann
ein Ergebnis einer durch ein verschiedenes der Prüfmodule 100a durchgeführten Prüfung
empfangen und bewirken, dass die Prüfmodule 100a Folgedaten
entsprechend dem empfangenen Ergebnis der Prüfung ausführen.
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Jedes
der Prüfmodule 100a ist mit einigen der mehreren
Anschlüsse der DUT 300a verbunden. Das Prüfmodul 100a führt
eine Prüfung der DUT 300a auf der Grundlage der
darin gespeicherten Folgedaten und Musterdaten durch die Stationssteuervorrichtung 130a durch.
Das Prüfmodul 100a prüft die DUT 300a auf
der Grundlage der durch eine Musterliste (wird später beschrieben)
bezeichneten Folgedaten und der Musterdaten. Genauer gesagt, das Prüfmodul 100a erzeugt
Prüfsignale auf der Grundlage der Musterdaten und liefert
die erzeugten Prüfsignale zu den mit dem Prüfmodul 100a verbundenen Anschlüssen
der DUT 300a.
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Nachfolgend
erhält das Prüfmodul 100a Ausgangssignale,
die von der DUT 300a als ein Ergebnis von Operationen auf
der Grundlage der zugeführten Prüfsignale ausgegeben
werden, und vergleicht die erhaltenen Ausgangssignale mit erwarteten
Werten. Hier kann, wenn die Prüfsignale auf der Grundlage der
Folgedaten und der Musterdaten erzeugt werden, jedes der Prüfmodule 100a eine
Gruppe von Prüfsignalen gemäß einer unterschiedlichen
Zyklusrate so erzeugt, dass eine dynamisch unterschiedliche Zyklusrate
für jede Gruppe der Prüfsignale erzielt wird.
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Jedes
der Prüfmodule 100a erzeugt eine Unterbrechung
zu der Stationssteuervorrichtung 130a, wenn die Prozesse
auf der Grundlage des Prüfprogramms beendet sind, eine
anomale Bedingung während der Ausführung des Prüfprogramms
auftritt, und dergleichen. Die Unterbrechung wird über
den Schalterkreis 140 zu der Stationssteuervorrichtung 130a entsprechend
dem Prüfmodul 100a gesendet, so dass der in der
Stationssteuervorrichtung 130a vorgesehene Prozessor die
Unterbrechung verarbeitet.
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Bezugnehmend
auf die vorbeschriebenen Konfigurationen wird das Prüfgerät 200 auf
der Grundlage einer auf einer offenen Architektur realisiert. Das
Prüfgerät 200 kann konfiguriert werden durch
Verwendung verschiedener Module, die den Standards der offenen Architektur
genügen. Wenn das Prüfgerät 200 verwendet
wird, können Module wie die Prüfmodule 100 in
einen Verbindungsschlitz des Schalterkreises 140 eingefügt
werden.
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In
diesem Fall kann der Benutzer oder dergleichen des Prüfgeräts 200 beispielsweise über
die Stationssteuervorrichtung 130a die durch den Schalterkreis 140 hergestellte
Verbindung ändern, so dass die für eine Prüfung
von einer der DUTs 300 zu verwendeten Module mit einer
entsprechenden der Stationssteuervorrichtungen 130, die
die bei der DUT 300 durchzuführende Prüfung
steuert, verbunden sind. Mit dieser Konfiguration kann der Benutzer
des Prüfgeräts 200 geeignete Module in
Abhängigkeit von sich auf jede der DUTs 300 beziehenden
Informationen wie der Anzahl der Anschlüsse, der Positionen
der Anschlüsse und der Anschlusstypen sowie des Typs der
Prüfung auswählen und die ausgewählten
Module in dem Prüfgerät 200 befestigen.
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Das
Prüfgerät 200 oder die Prüfmodule 100 können
als eine Prüfschaltung konfiguriert sein, die in einer
elektronischen Vorrichtung vorgesehen ist, in der eine geprüfte
Schaltung, die von der Prüfschaltung zu prüfen
ist, ebenfalls vorgesehen ist. Die Prüfschaltung ist durch
eine Ist-Schaltung oder dergleichen der elektronischen Vorrichtung
ausgebildet. Die Prüfschaltung prüft die geprüfte
Schaltung, um beispielsweise die Annehmbarkeit der elektronischen Vorrichtung
zu beurteilen. Indem die Prüfung durchgeführt
wird, kann die Prüfschaltung prüfen, ob die geprüfte
Schaltung normale Operationen entsprechend dem ursprünglichen
Zweck der elektronischen Vorrichtung realisieren kann.
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Alternativ
kann das Prüfgerät 200 oder die Prüfmodule 100 als
eine in einer Baugruppe oder einem Gerät, in welchem eine
geprüfte Schaltung, die von der Prüfschaltung
zu prüfen ist, ebenfalls vorgesehen ist, vorgesehene Prüfschaltung
ausgebildet sein. Eine derartige Prüfschaltung kann auch
prüfen, ob die geprüfte Schaltung normale Operationen
entsprechend dem ursprünglichen Zweck der Baugruppe oder
des Geräts realisieren kann, ähnlich dem vorerwähnten
Fall.
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2 illustriert
eine beispielhafte Konfiguration von jedem der Prüfmodule 100.
Das Prüfmodul 100 enthält eine Kanalsteuerschaltung 10 und
mehrere Kanalschaltungen 50. Im Folgenden werden die Funktionen
und Konfigurationen einer der Kanalschaltungen 50 beschrieben.
Jedoch können alle Kanalschaltungen 50 dieselben
Funktionen und Konfigurationen haben.
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Jede
der Kanalschaltungen 50 kann mit einem entsprechenden von
Eingangs/Ausgangs-(E/A)-Stiften von ei ner der DUTs 300 verbunden
sein und ein Prüfsignal zu dem entsprechenden E/A-Stift
liefern. Die Kanalschaltung 50 kann ein von dem entsprechenden
E/A-Stift ausgegebenes Ausgangssignal messen. Hier können
die E/A-Stifte der DUT 300 jeweils entweder ein Eingangsstift
oder ein Ausgangsstift sein.
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Die
Kanalsteuerschaltung 10 steuert die Kanalschaltungen 50.
Beispielsweise steuert die Kanalsteuerschaltung 10 jede
der Kanalschaltungen 50, um zu bewirken, dass die Kanalschaltung 50 ein Prüfsignal
erzeugt. Auch steuert die Kanalsteuerschaltung 10 jede
der Kanalschaltungen 50, um zu bewirken, dass die Kanalschaltung 50 das
Ausgangssignal der DUT 300 misst.
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Hier
kann die Kanalsteuerschaltung 10 ein Ergebnis der von einer
der Kanalschaltungen 50 durchgeführten Messung
verwenden, um eine oder mehrere der anderen Kanalschaltungen 50 zu
steuern. Beispielsweise kann, bis das Ergebnis der von einer der
Kanalschaltungen 50 durchgeführten Messungen einer
vorbestimmten Bedingung genügt, die Kanalsteuerschaltung 10 bewirken,
dass zumindest eine der verbleibenden Kanalschaltungen 50 wiederholt
eine vorbestimmte Operation durchführt. Wenn das Ergebnis
der Messung der vorbestimmten Bedingung genügt, kann die
Kanalsteuerschaltung 10 bewirken, dass die zumindest eine
der verbleibenden Steuerschaltungen 50 die nächste
Operation durchführt.
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Die
Kanalsteuerschaltung 10 enthält eine Schnittstellen
(IF)-Schaltung 12, einen Musterlistenspeicher 14,
einen Ergebnisspeicher 16, eine Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20,
einen Hauptspeicher 40, eine Ratenerzeugungsschaltung 30 und eine
Mustererzeugungsschaltung 70. Die Schnittstellenschaltung 12 tauscht Daten
zwischen einer entsprechenden der Stationssteuervorrichtungen 130 und
dem Prüfmodul 100 aus.
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Der
Hauptspeicher 40 speichert Stücke von Folgedaten
verschiedener Typen und Stücke von Musterdaten entsprechend
jedem Stück von Folgedaten. Der Hauptspeicher 40 kann
die Folgedaten und Musterdaten, die von der entsprechenden Stationssteuervorrichtung 130 geliefert
wurden, bevor die Prüfung der DUT 300 durchgeführt
wird, speichern.
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Beispielsweise
kann die Stationssteuervorrichtung 130 Folgedaten, Musterdaten
und einen Befehl in die Schnittstellenschaltung 12 eingeben,
um die Folgedaten und Musterdaten an einer bezeichneten Adresse
des Hauptspeichers 40 zu speichern. Die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 speichert die
Folgedaten und Musterdaten in dem Hauptspeicher 40 gemäß dem
durch die Schnittstellenschaltung 12 empfangenen Befehl.
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Die
Folgedaten können beispielsweise eine Gruppe von aufeinanderfolgend
auszuführenden Befehlen (eine Prüfbefehlsfolge)
anzeigen. Die Musterdaten können beispielsweise ein logisches
Wertemuster anzeigen. Die Stücke von Musterdaten können
in einer 1:1-Entsprechung mit mehreren Befehlen gespeichert werden.
Beispielsweise können die Folgedaten eine Befehlsgruppe
zum Erzeugen von Prüfmustern durch Ausgeben der Stücke
von Musterdaten in einer vorbestimmten Reihenfolge sein.
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Wenn
die Prüfmuster auf der Grundlage der Folgedaten erzeugt
werden, kann jedes der Stücke von Musterdaten mehr als
einmal verwendet werden. Hier können die Folgedaten beispielsweise
einen Schleifenbefehl, einen Sprungbefehl und dergleichen enthalten.
Indem derartige Folgedaten ausgeführt werden, erweitert
die Kanalsteuerschaltung 10 die entsprechenden Stücke
von Musterdaten derart, dass Prüfsignale entsprechend den
Folgedaten und den Musterdaten erzeugt werden. Die Folgedaten und
Musterdaten, die in dem Hauptspeicher 40 gespeichert sind,
werden später mit Bezug auf 3 beschrieben.
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Der
Musterlistenspeicher 14 speichert eine Musterliste, die
die Reihenfolge anzeigt, in der die Stücke von Musterdaten,
die in dem Hauptspeicher 40 gespeichert sind, ausgeführt
werden. Beispielsweise kann der Musterlistenspeicher 14 eine
Musterliste speichern, die aufeinanderfolgend die Adresse in dem
Hauptspeicher 40, an der auszuführende Folgedaten
gespeichert sind, anzeigt. Der Musterlistenspeicher 14 kann
die von der entsprechenden Stationssteuervorrichtung 130 gelieferte
Musterliste speichern, bevor die Prüfung der DUT 300 durchgeführt wird, ähnlich
dem Hauptspeicher 40. Die Musterliste kann ein Beispiel
für das vorgenannte Prüfsteuerprogramm oder einen
Teil des Prüfsteuerprogramms sein.
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Wenn
die Prüfung der DUT gestartet wird, liest die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 die Musterliste
aus dem Musterlistenspeicher 14. Beispielsweise kann bei
Empfang eines Befehls zum Starten einer Prüfung von der
Stationssteuervorrichtung 130 die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 die
Musterliste aus dem Musterlistenspeicher 14 lesen.
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Die
Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 liest in dem Hauptspeicher 40 gespeicherte
Folgedaten, und entsprechende Stücke von Musterdaten, die auch
in dem Hauptspeicher 40 gespeichert sind, gemäß der
durch die Musterliste angezeigten Reihenfolge. Die Muste rerzeugungs-Steuerschaltung 20 sendet
die gelesenen Folgedaten zu einer Vektorerzeugungsschaltung 80 der
Mustererzeugungsschaltung 70. Auch sendet die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 die
gelesenen Stücke von Musterdaten zu einem Mustercachespeicher 90 in
der Mustererzeugungsschaltung 70.
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Wenn
ein freier Raum einer vorbestimmten Größe in einem
Cachespeicher, FIFO und dergleichen der Schaltungen der nachfolgenden
Stufen geschaffen ist, kann die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 nächste
Folgedaten und entsprechende Stücke von Musterdaten lesen
und senden. In diesem Fall kann unter der Bedingung, dass einer
vorbestimmten Größe in jeweils dem Cachespeicher, FIFO
und dergleichen, die zum Speichern von Folgedaten und entsprechenden
Stücken von Musterdaten ausgebildet sind, geschaffen ist,
die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 die nächsten
Folgedaten und entsprechende Stücke von Musterdaten lesen und
die gelesenen Folgedaten und entsprechenden Stücke von
Musterdaten zu dem Cachespeicher, FIFO und dergleichen senden.
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Die
Mustererzeugungsschaltung 70 erzeugt aufeinanderfolgend
ein Prüfmuster auf der Grundlage einer Kombination aus
den Folgedaten und entsprechenden Stücken von Musterdaten,
die aufeinanderfolgend von der Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 empfangen
werden. Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
enthält die Mustererzeugungsschaltung 70 die Vektorerzeugungsschaltung 80 und
den Mustercachespeicher 90.
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Wie
vorstehend beschrieben ist, empfängt die Vektorerzeugungsschaltung 80 die
Folgedaten von der Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20.
Die Vektorerzeugungsschaltung 80 kann einen Folgecachespeicher 90 emp fängt
die entsprechenden Stücke von Musterdaten von der Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 und
speichert die empfangenen Stücke von Musterdaten jeweils
an vorbestimmten Adressen.
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Die
Vektorerzeugungsschaltung 80 führt aufeinanderfolgend
die Befehle der in dem Folgecachespeicher gespeicherten Folgedaten
aus und bezeichnet aufeinanderfolgend eine Adresse in dem Mustercachespeicher 90.
Beispielsweise kann jeder der die Folgedaten bildenden Befehle mit
einer Adresse von Musterdaten, die für den Befehl zu entwerfen
sind, assoziiert sein. Die Vektorerzeugungsschaltung 80 bezeichnet
aufeinanderfolgend eine Adresse in dem Mustercachespeicher 90 entsprechend
einem Schleifenbefehl, einem Sprungbefehl und dergleichen, die in
den Folgedaten enthalten sind.
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Der
Mustercachespeicher 90 gibt an der aufeinanderfolgend bezeichneten
Adresse gespeicherte Musterdaten aus. Mit den vorbeschriebenen Konfigurationen
kann die Mustererzeugungsschaltung 70 Prüfmuster
mit logischen Mustern auf der Grundlage der Folgedaten und entsprechender
Stücke von Musterdaten erzeugen. Wenn die Ausführung
der Folgedaten beendet ist, können die Speicherbereiche
des Folgecachespeichers und Mustercachespeichers 90, in
denen die Folgedaten und entsprechenden Stücke von Musterdaten
gespeichert waren, freigegeben werden. Hier können die
Folgedaten an dem Ende der Befehlsgruppe einen Endbefehl enthalten,
der das Ende der Folgedaten anzeigt.
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Jede
der Kanalschaltungen 50 formt ein Prüfsignal auf
der Grundlage des von der Mustererzeugungsschaltung 70 ausgegebenen
Prüfmusters und gibt das Prüfsignal in die DUT 300 ein.
Auch misst die Kanalschaltung 50 ein Ausgangssignal der DUT 300.
Die Kanalschaltung 50 enthält eine Wellenform-Formumschaltung 52,
einen Treiber 54, eine Takterzeugungsschaltung 56,
einen Komparator 58, eine Zeitvergleichsschaltung 60,
eine Beurteilungsschaltung 62 und einen Fangspeicher 64.
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Die
Wellenform-Formungsschaltung 52 formt das Prüfsignal
auf der Grundlage des von der Mustererzeugungsschaltung 70 erzeugten
Prüfmusters. Beispielsweise kann die Wellenform-Formungsschaltung 52 das
Prüfsignal mit einem logischen Muster entsprechend dem
Prüfmuster erzeugen. Die Wellenform-Formungsschaltung 52 kann
das Prüfsignal gemäß einem zu dieser
gelieferten Taktsignal erzeugen. Beispielsweise kann die Wellenform-Formungsschaltung 52 das
Prüfsignal, dessen logischer Wert synchron mit dem zu dieser
gelieferten Taktsignal übergeht, erzeugen.
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Der
Treiber 54 gibt das von der Wellenform-Formungsschaltung 52 erzeugte
Prüfsignal in die DUT 300 ein. Der Treiber 54 kann
den Pegel des Prüfsignals in den Pegel des in die DUT 300 einzugebenden
Signals umwandeln durch Ausgeben einer Spannung eines vorbestimmten
Pegels H, wenn das von der Wellenform-Formungsschaltung 52 erzeugte Prüfsignal
den logischen Wert H anzeigt, und eine Spannung eines vorbestimmten
Pegels L ausgeben, wenn das Prüfsignal den logischen Wert
L anzeigt.
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Der
Komparator 58 kann das Ausgangssignal von der DUT 300 empfangen
und den Spannungspegel des Ausgangssignals mit einem vorbestimmten
Bezugspegel vergleichen, um das Ausgangssignal in ein binäres
logisches Signal umzuwandeln. Beispielsweise kann der Komparator 58 den
logischen Wert H ausgeben, wenn der Spannungspegel des Ausgangssignals
höher als der Bezugspegel ist, und den logischen Wert L
ausgeben, wenn der Spannungspegel des Ausgangssignals gleich dem
oder niedriger als der Bezugspegel ist.
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Die
Zeitvergleichsschaltung 60 erhält den logischen
Wert des von dem Komparator 58 ausgegebenen Signals synchron
mit einem zu dieser gelieferten Strobesignal. Auf diese Weise kann
die Zeitvergleichsschaltung 60 das logische Muster des
Ausgangssignals erfassen.
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Die
Takterzeugungsschaltung 56 erzeugt das vorgenannte Taktsignal
und das Strobesignal auf der Grundlage der Werte des vorher zu dieser
gelieferten Zeitpunktsatzes. Beispielsweise kann die Takterzeugungsschaltung 56 das
Taktsignal und das Strobesignal erzeugen durch Verzögern
eines Ratensignals, das eine auf der Grundlage des Zeitpunktsatzes
bestimmte Rate hat und von der Ratenerzeugungsschaltung 30 zu
dieser geliefert wird, um eine gemäß dem zu dieser
gelieferten Zeitpunktsatz bestimmte Zeitverzögerung.
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Hier
kann der Zeitpunktsatz zu der Ratenerzeugungsschaltung 30 und
der Takterzeugungsschaltung 56 jedes Mal geliefert werden,
wenn beispielsweise die Mustererzeugungsschaltung 70 einen
der die Folgedaten bildenden Befehle ausführt. Die Daten
des Zeitpunktsatzes können beispielsweise in dem Hauptspeicher 40 gespeichert
werden, in einem Zustand, in welchem sie in den Stücken
von Musterdaten entsprechend den Folgedaten enthalten sind. Jedes
Mal, wenn die Mustererzeugungsschaltung 70 einen der die
Folgedaten bildenden Befehle ausführt, kann die Mustererzeugungsschaltung 70 den
Zeitpunktsatz entsprechend dem ausgeführten Befehl der
Ratenerzeugungsschaltung 30 und der Takterzeugungsschaltung 56 zuweisen.
-
Die
Beurteilungsschaltung 62 vergleicht das von der Zeitvergleichsschaltung 60 erfasste
logische Muster mit einem erwarteten Wertemuster. Auf diese Weise
kann die Beurteilungsschaltung 62 beurteilen, ob die DUT 300 annehmbar
ist. Das erwartete Wertemuster kann von der Mustererzeugungsschaltung 70 erzeugt
sein. Beispielsweise kann das erwartete Wertemuster dasselbe wie
das logische Muster des in die DUT 300 eingegebenen Prüfsignals
sein, das in dem von der Mustererzeugungsschaltung 70 erzeugten
Prüfmuster enthalten ist. Die Beurteilungsschaltung 62 kann
das Ergebnis der Beurteilung (gut oder schlecht) zu der Mustererzeugungsschaltung 70 liefern.
-
Der
Fangspeicher 64 speichert das Ergebnis der von der Beurteilungsschaltung 62 durchgeführten Beurteilung.
Beispielsweise kann der Fangspeicher 64 das Ergebnis der
von der Beurteilungsschaltung 62 durchgeführten
Beurteilung (gut oder schlecht) in Verbindung mit jedem Prüfmuster
speichern. Der Fangspeicher 64 kann die Fehlergebnisse
der Beurteilung durch die Beurteilungsschaltung 62 auswählen
und speichern.
-
Der
Ergebnisspeicher 16 der Kanalsteuerschaltung 10 speichert
die Ergebnisse der von der Beurteilungsschaltung 62 durchgeführten
Beurteilung von jeder der Kanalschaltungen 50. Der Ergebnisspeicher 16 kann
das Ergebnis der von der Beurteilungsschaltung 62 durchgeführten
Beurteilung (gut oder schlecht) in Bezug auf jedes Prüfmuster
in Verbindung mit jeder der Kanalschaltungen 50 speichern.
Der Ergebnisspeicher 16 kann die Fehlergebnisse der von
der Beurteilungsschaltung 62 durchgeführten Beurteilung
von jeder der Kanalschaltungen 50 auswählen und
speichern.
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Wie
vorstehend beschrieben ist, kann der Fangspeicher 64 Fehlinformationen
für jedes Prüfmuster in Verbindung mit der entsprechenden
Kanalschaltung 50 speichern. Andererseits kann der Ergebnisspeicher 16 Fehlinformationen
für jedes Stück von in dem Musterlistenspeicher 14 gespeicherten Folgedaten
in Verbindung mit beispielsweise der entsprechenden DUT 300 speichern.
-
3 illustriert
als ein Beispiel die in dem Musterlistenspeicher 14 gespeicherten
Musterliste, die Folgedaten und die Musterdaten, die in dem Hauptspeicher 40 gespeichert
sind. Wie vorstehend erwähnt ist, speichert der Hauptspeicher 40 mehrere Stücke
von Folgedaten (Folgedaten 1, Folgedaten 2, ....) und Stücke
von Musterdaten entsprechend jedem Stück von Folgedaten.
-
Wie
vorstehend beschrieben ist, enthält ein Stück
von Folgedaten mehrere Befehle. Wenn jeder der Befehle ausgeführt
wird, kann die Mustererzeugungsschaltung 70 Musterdaten
entsprechend dem ausgeführten Befehl ausgeben. Beispielsweise
können die Folgedaten einen NOP-Befehl, einen JMP-Befehl,
einen LOOP-Befehl und dergleichen enthalten. Wenn der NOP-Befehl
ausgeführt wird, gibt die Mustererzeugungsschaltung 70 entsprechende
Musterdaten aus und bewegt sich zu dem nächsten Befehl.
Wenn der JMP-Befehl ausgeführt wird, gibt die Mustererzeugungsschaltung 70 entsprechende
Musterdaten aus und springt zu einem Befehl an einer vorbestimmten
Adresse. Wenn der LOOP-Befehl ausgeführt wird, gibt die
Mustererzeugungsschaltung 70 entsprechende Musterdaten
aus und führt wiederholt einen oder mehrere Befehle in einem
bezeichneten Bereich von Adressen eine vorbestimmte Anzahl von Malen
aus.
-
Indem
eine Gruppe der vorbeschriebenen Befehle ausgeführt wird,
gibt die Mustererzeugungsschaltung 70 die entsprechenden
Stücke von Musterdaten in der durch die Folgedaten bestimmten
Reihenfolge aus, wodurch vorbestimmte Prüfmuster erzeugt
werden. Beispielsweise gibt, wenn die Folgedaten 2 ausgeführt
werden, die Mustererzeugungsschaltung 70 zuerst Musterdaten
A aus und gibt dann wiederholt Stücke von Musterdaten von
den Musterdaten B zu den Musterdaten C für eine bestimmte Anzahl
von Malen, die durch den LOOP-Befehl bezeichnet ist, aus.
-
Hier
kann der Hauptspeicher 40 Folgedaten entsprechend mehr
als einer Kanalschaltung 50 ausgeben. Der Hauptspeicher 40 kann
Musterdaten entsprechend jeder der Kanalschaltungen 50 speichern. Beispielsweise
kann der Hauptspeicher 40 Musterdaten entsprechend jeder
der Kanalschaltungen 50 in Verbindung mit jedem der die
Folgedaten bildenden Befehle speichern. Gemäß dem
in 3 gezeigten Beispiel speichert der Hauptspeicher 40 Musterdaten
entsprechend jeder der Kanalschaltungen 50 an einer verschiedenen
Bitposition an jeder der Adressen.
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Der
Musterlistenspeicher 14 speichert die Reihenfolge des Ausführens
der Stücke von Folgedaten. Gemäß dem
in 3 gezeigten Beispiel speichert der Musterlistenspeicher 14 eine
Musterliste, die anzeigt, dass die Folgedaten 2 zuerst ausgeführt werden
und dann die Folgedaten 1 ausgeführt werden.
-
Gemäß der
in 2 gezeigten beispielhaften Konfiguration ist der
Hauptspeicher 40 zum Speichern von Folgedaten und Musterdaten
in der Kanalsteuerschaltung 10 vorgesehen. Bei anderen
Ausführungsbeispielen jedoch kann der in der Kanalsteuerschaltung 10 vorgesehene
Hauptspeicher 40 die Folgedaten speichern, und ein verschiedener
Speicher kann in jeder der Kanalschaltungen 50 zum Speichern
von Musterdaten für die entsprechende Kanalschaltung 50 vorgesehen
sein.
-
Wenn
dies der Fall ist, kann der Mustercachespeicher 90 in jeder
der Kanalschaltungen 50 vorgesehen sein. Die Adresse, die
aufeinanderfolgend durch die Vektorerzeugungsschaltung 80 bezeichnet ist,
kann zu dem in jeder der Kanalschaltungen 50 vorgesehenen
Mustercachespeicher 90 geliefert werden.
-
4 illustriert
eine beispielhafte Konfiguration der sich auf das vorliegende Ausführungsbeispiel
beziehenden Mustererzeugungsschaltung 70. Die Vektorerzeugungsschaltung 80 enthält
einen Folgecachespeicher 310, eine Befehlsausführungsschaltung 320 und
ein Ergebnisregister 340. Der Folgecachespeicher 310 empfängt
die Folgedaten (die Prüfbefehlsfolge) von der Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 und
speichert die empfangenen Folgedaten. Der Folgecachespeicher 310 ist
ein Beispiel für eine sich auf die vorliegende Erfindung
beziehende Befehlsspeicherschaltung gezeigt.
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Die
Befehlsausführungsschaltung 320 liest aufeinanderfolgend
einen Befehl aus der Folgecachespeicher 310 gespeicherten
Prüfbefehlsfolge und führt den gelesenen Befehl
aus. Hier ist jeder der die Prüfbefehlsfolge bildenden
Befehle mit einer Versetzung versehen, die die Position des Befehls
innerhalb der Prüfbefehlsfolge anzeigt.
-
Wenn
der Befehl ausgeführt wird, wandelt die Befehlsausführungsschaltung 320 die
dem ausgeführten Befehl zugewiesene Versetzung in eine Adresse
in dem Mustercachespeicher 90, in welchem mit dem ausgeführten
Befehl assoziierte Musterdaten gespeichert sind, um. Die Befehlsausführungsschaltung 320 liefert
die Adresse zu dem Mustercachespeicher 90 und bewirkt,
dass der Mustercachespeicher 90 die mit dem ausgeführten
Befehl assoziierten Musterdaten ausgibt. Hier liefert der Mustercachespeicher 90 die
Musterdaten zu jeder der Kanalschaltungen 50 als das Prüfmuster.
Die Kanalschaltung 50 erzeugt ein Prüfsignal gemäß dem
zu dieser gelieferten Prüfmuster und liefert das erzeugte Prüfsignal
zu der DUT 300. Der Mustercachespeicher liefert das Prüfmuster
beispielsweise zu der Wellenform-Formungsschaltung 52,
der Takterzeugungsschaltung 56 und der Beurteilungsschaltung 62.
-
Hier
ist jeder der die Folgedaten bildenden Befehle assoziiert mit Takteinstellinformationen
(TS), die eine Kombination von Zeitpunkten für die Ausgabe
des entsprechenden Prüfmusters bezeichnen. Wenn der Befehl
ausgeführt wird, bewirkt die Befehlsausführungsschaltung 320,
dass der Mustercachespeicher 90 die Zeitpunkteinstellinformationen,
die mit dem ausgeführten Befehl assoziiert sind, zu der Ratenerzeugungsschaltung 30 und
der Takterzeugungsschaltung 56 in Verbindung mit dem von
dem Mustercachespeicher 90 ausgegebenen Prüfmuster ausgibt.
Die Befehlsausführungsschaltung 320 führt die
die Prüfbefehlsfolge bildenden Befehle von dem anfänglichen
Befehl in der durch die Prüfbefehlsfolge definierten Reihenfolge
aus. Hier führt die Befehlsausführungsschaltung 320 wiederholt
eine Operation des Ausführens eines Befehls durch, identifiziert
die Versetzung des auszuführenden nächsten Befehls, der
durch den ausgeführten Befehl bestimmt ist, liest den Befehl,
dem die identifizierte Versetzung von der in dem Folgecache speicher 310 gespeicherten
Prüfbefehlsfolge zugeteilt ist und führt den gelesenen
Befehl aus.
-
Das
Ergebnisregister 340 speichert einen Wert mit einer vorbestimmten
Anzahl von Bits. Das Ergebnisregister 340 kann beispielsweise
einen 24-Bit-Wert speichern. Die Befehlsausführungsschaltung 320 kann
den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert lesen.
Die entsprechende Stationssteuervorrichtung 130 kann auch
den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert lesen.
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Die
Befehlsausführungsschaltung 320 kann den in dem
Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert aktualisieren.
Die Befehlsausführungsschaltung 320 kann den in
dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert in Einheiten
von Bits aktualisieren. Die Befehlsausführungsschaltung 320 kann
zum Aktualisieren des in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten
Wertes in Einheiten von Wörtern ausgebildet sein.
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5 illustriert
ein Beispiel für die in dem Folgekarspeicher 310 gespeicherten
Folgedaten (die Prüfbefehlsfolge). Beispielsweise enthalten
die Folgedaten einen NOP-Befehl, einen Sprungbefehl (einen JMP-Befehl),
einen Bereitschaftsbefehl (einen IDXI-Befehl), einen Endbefehl (einen
EXIT-Befehl), einen Resultatsregister-Aktualisierungsbefehl (einen SRB-Befehl
und einen RRB-Befehl), einen Ergebnisregister-Eingabebefehl (einen
SR-Befehl), und einen Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl (einen
IfFail(SRB)-Befehl und einen IfFail(RRB)-Befehl).
-
Wenn
der NOP-Befehl ausgeführt wird, identifiziert die Befehlsausführungsschaltung 320 als
den auszuführenden nächsten Befehl einen Befehl,
dem eine Verset zung zugeteilt ist, die unmittelbar der Versetzung,
die dem ausgeführten NOP-Befehl zugeteilt ist, folgt. Wenn
der Sprungbefehl (der JMP-Befehl) ausgeführt wird, identifiziert
die Befehlsausführungsschaltung 320 als den auszuführenden
nächsten Befehl einen Befehl, dem eine durch den ausgeführten JMP-Befehl
bezeichnete Versetzung zugeteilt ist.
-
Der
Bereitschaftsbefehl (der IDXI-Befehl) ist ein Befehl zum Bewirken,
dass entsprechende Musterdaten wiederholt mit der bezeichneten Anzahl
von Malen auszugeben sind. Wenn der IDXI-Befehl ausgeführt
wird, verarbeitet die Befehlsausführungsschaltung 320 den
nächsten Befehl nicht, bis die Anzahl von Zyklen die bezeichnete
Anzahl nach der Ausführung des IDXI-Befehls durch die Befehlsausführungsschaltung 320 erreicht
hat. Wenn der IDXI-Befehl ausgeführt wird, identifiziert
die Befehlsausführungsschaltung 320 als den auszuführenden nächsten
Befehl einen Befehl, dem eine Versetzung zugeteilt ist, die unmittelbar
der Versetzung des ausgeführten IDXI-Befehls folgt, nachdem
die Anzahl von Zyklen die bezeichnete Anzahl erreicht hat.
-
Der
Endbefehl (der EXIT-Befehl) ist ein Befehl zum Beenden der Ausführung
der Hauptprüf-Befehlsfolge. Wenn der EXIT-Befehl ausgeführt
wird, identifiziert die Befehlsausführungsschaltung 320 nicht
den auszuführenden nächsten Befehl und beendet
die Ausführung der Hauptprüf-Befehlsfolge.
-
Der
Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl (der SRB-Befehl und der RRB-Befehl)
ist ein Befehl zum Aktualisieren eines Wertes einer bezeichneten Bitposition
in dem Ergebnisregister 340 mit einem vorbestimmten Wert.
Wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl (der SRB-Befehl
und der RRB-Befehl) ausgeführt wird, aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 mit
einem vorbestimmten Wert den Wert der Bitposition in dem Ergebnisregister 340,
der durch den ausgeführten Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl
bezeichnet ist. Wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl
(der SRB-Befehl und der RRB-Befehl) ausgeführt wird, identifiziert
die Befehlsausführungsschaltung 320 als den auszuführenden
nächsten Befehl einen Befehl, dem eine Versetzung zugeteilt
ist, die unmittelbar der Versetzung des ausgeführten Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehls
folgt.
-
Der
SRB-Befehl ist ein Beispiel für den Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl.
SRB-Befehl ist ein Befehl zum Setzen des Wertes einer bezeichneten
Bitposition in dem Ergebnisregister 340 auf „1”. Der
Operand des SRB-Befehls sind beispielsweise Daten, in denen ein
Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340,
das zu setzen ist, einen Wert „1” hat, und ein
Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340,
das nicht zu ändern ist, einen Wert „0” hat.
Wenn der SRB-Befehl ausgeführt wird, aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 den
in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert durch Berechnen
einer logischen ODER-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten
Wert und Daten, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das
zu setzen ist, einen Wert „1” hat, und ein Bit
entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das
nicht zu ändern ist, einen Wert „0” hat.
-
Als
ein alternatives Beispiel können der Operand des SRB-Befehls
Daten sein, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das
zu setzen ist, einen Wert „0” hat, und ein Bit
entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das
nicht zu ändern ist, einen Wert „1” hat.
Wenn dies der Fall ist, aktualisiert, wenn der SRB-Befehl ausgeführt
wird, die Befehlsausführungsschaltung 320 den in
dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert durch Berechnen
einer logischen ODER-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten
Wert und Daten, die durch Invertieren jedes Bits der Daten, in denen
ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340,
das zu setzen ist, einen Wert „0” hat, und ein
Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340,
das nicht zu ändern ist, einen Wert „1” hat,
erzeugt wurden.
-
Der
RRB-Befehl ist ein Beispiel für den Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl.
Der RRB-Befehl ist ein Befehl zum Zurücksetzen des Wertes
einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister 340 auf „0”.
Der Operand des RRB-Befehls sind beispielsweise Daten, in denen
ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340,
das zurückzusetzen ist, einen Wert „1” hat,
und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340,
das nicht zu ändern ist, einen Wert „0” hat.
Wenn der RRB-Befehl ausgeführt wird, aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 den
in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert durch Berechnen
einer logischen UND-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten
Wert und Daten, die durch Invertieren jedes Bits von Daten, in denen
ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340,
das zurückzusetzen ist, einen Wert „1” hat,
und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340,
das nicht zu ändern ist, einen Wert „0” hat,
erzeugt wurden.
-
Als
ein alternatives Beispiel können der Operand des RRB-Befehls
Daten sein, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das
zurückzusetzen ist, einen Wert „0” hat,
und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340,
das nicht zu ändern ist, einen Wert „1” hat.
Wenn dies der Fall ist, aktualisiert, wenn der RRB-Befehl ausgeführt
wird, die Befehlsausführungsschaltung 320 den
in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert durch Berechnen
einer logischen UND-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten
Wert und Daten, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das
zurückzusetzen ist, einen Wert „0” hat,
und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340,
das nicht zu ändern ist, einen Wert „1” hat.
-
Der
Ergebnisregister-Eingabebefehl (der SR-Befehl) ist ein Befehl zum
Speichern eines bezeichneten Wertes in dem Ergebnisregister 340. Wenn
der Ergebnisregister-Eingabebefehl (der SR-Befehl) ausgeführt
wird, speichert die Befehlsausführungsschaltung 320 einen
Wert, der beispielsweise durch den Operanden des ausgeführten SR-Befehls
bezeichnet ist, in dem Ergebnisregister 340. Wenn der SR-Befehl
ausgeführt wird, identifiziert die Befehlsausführungsschaltung 320 als
den auszuführenden nächsten Befehl einen Befehl,
dem eine Versetzung zugeteilt ist, die unmittelbar der Versetzung
des ausgeführten SR-Befehls folgt.
-
Der
Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl(der IfFail(SRB))-Befehl
und der IfFail(RRB)-Befehl) ist ein Befehl zum Aktualisieren des
Wertes einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister 340 mit
einem vorbestimmten Wert, unter der Bedingung, dass ein vorbestimmtes
Prüfergebnis erhalten wird. Wenn beispielsweise der Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl ausgeführt
wird, kann die Befehlsausführungsschaltung 320 den
Wert der bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister 340 mit
einem vorbestimmten Wert aktualisieren, unter der Bedingung, dass
das durch die Beurteilungsschaltung 62 erhaltene Prüfergebnis
ein Versagen anzeigt.
-
Wenn
der Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl ausgeführt
wird, aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 den
Wert einer Bitposition in dem Ergebnisregister 340, der
durch den ausgeführten Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl
bezeichnet ist, mit einem vorbestimmten Wert unter der Bedingung,
dass ein vorbestimmtes Prüfergebnis erhalten wird. Wenn
der Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl ausgeführt wird,
identifiziert die Befehlsausführungsschaltung 320 als
den auszuführenden nächsten Befehl einen Befehl,
dem eine Versetzung zugeteilt ist, die unmittelbar der Versetzung
des ausgeführten SR-Befehls folgt.
-
Der
IfFail(SRB)-Befehl ist ein Befehl zum Ausführen desselben
Prozesses, wie wenn der SRB-Befehl ausgeführt wird, unter
der Bedingung, dass das durch die Beurteilungsschaltung 62 erhaltene
Prüfergebnis ein Versagen anzeigt. Wenn der IfFail(SRB)-Befehl
ausgeführt wird, führt die Befehlsausführungsschaltung 320 denselben
Prozess durch, wie wenn der SRB-Befehl ausgeführt wird,
unter der Bedingung, dass das durch die Beurteilungsschaltung 62 erhaltene
Prüfergebnis ein Versagen anzeigt.
-
Der
IfFail(RRB)-Befehl ist ein Befehl zum Ausführen desselben
Prozesses, wie wenn der RRB-Befehl ausgeführt wird, unter
der Bedingung, dass das durch die Beurteilungsschaltung 62 erhaltene
Prüfergebnis ein Versagen anzeigt. Wenn der IfFail(RRB)-Befehl
ausgeführt wird, führt die Befehlsausführungsschaltung 320 denselben
Prozess durch, wie wenn der RRB-Befehl ausgeführt wird,
unter der Bedingung, dass das durch die Beurteilungsschaltung 62 erhaltene
Prüfergebnis ein Versagen anzeigt.
-
Wie
vorstehend beschrieben ist, kann die Befehlsausführungsschaltung 320 den
Wert einer gewünschten Bitposition in dem Ergebnisregister 340 aktualisieren
gemäß dem zu dieser gelieferten Befehl. Diese
Konfiguration ermöglicht, dass die Befehlsausführungsschaltung 320 die
Ergebnisse von durchgeführten Prüfungen in dem
Ergebnisregister 340 speichert.
-
Hier
können die Folgedaten einen Befehl zum Aktualisieren des
Wertes einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister 340 mit
einem vorbestimmten Wert nur dann enthalten, wenn ein anderer Parameter
als das Prüfergebnis einer vorbestimmten Bedingung genügt.
Beispielsweise können die Folgedaten einen Befehl zum Aktualisieren
des Wertes einer bezeichneten Bitposition in dem Ergebnisregister 340 mit
einem vorbestimmten Bitwert, wenn ein Ergebnis der Beurteilung,
die normalerweise an einem Verzweigungspunkt erfolgt, einer vorbestimmten
Bedingung genügt, enthalten, beispielsweise unter der Bedingung,
dass der Registerwert auf einen vorbestimmten Wert geändert
ist, das Flag einen vorbestimmten Wert anzeigt oder das Flag einen
vorbestimmten Wert nicht anzeigt. Wenn ein derartiger Befehl ausgeführt
wird, führt die Befehlsausführungsschaltung 320 denselben
Prozess aus, wie wenn der SRB-Befehl oder der RRB-Befehl ausgeführt
wird, wenn einer vorbestimmten Bedingung genügt ist.
-
6 illustriert
eine beispielhafte Konfiguration der Mustererzeugungsschaltung 70,
die sich auf ein modifiziertes Beispiel des vorliegenden Ausführungsbeispiels
bezieht. Die Mustererzeugungsschaltung 70 gemäß dem
vorliegenden Modifikationsbeispiel hat im Wesentlichen dieselben
Bestandteile und Funktionen wie die Mustererzeugungsschaltung 70, die
sich auf das in 4 gezeigte Ausführungsbeispiel
bezieht. Daher wird die folgende Beschreibung nur im Hinblick auf
die Unterschiede gemacht.
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Die
Vektorerzeugungsschaltung 80 kann weiterhin ein Aktualisierungsregister 350 enthalten. Das
Aktualisierungsregister 350 speichert einen Wert, der eine
Bitposition in dem Ergebnisregister 340 bezeichnet, deren
Wert zu aktualisieren ist.
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Der
in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherte Wert ist
durch die Befehlsausführungsschaltung 320 lesbar.
Der in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherte Wert
wird durch die Befehlsausführungsschaltung 320 hierin
eingegeben. Beispielsweise kann das Aktualisierungsregister 350 Daten
mit derselben Anzahl von Bits wie die in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten
Daten speichern. In den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten
Daten hat ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340,
das zu aktualisieren ist, einen vorbestimmten Wert, und ein Bit
entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das
nicht zu ändern ist, hat einen unterschiedlichen Wert.
-
Gemäß dem
vorliegenden Modifikationsbeispiel aktualisiert, wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl
ausgeführt wird, die Befehlsausführungsschal tung 320 den
Wert einer Bitposition in dem Ergebnisregister 340, die
durch den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten
Wert bezeichnet ist, mit einem vorbestimmten Wert. Beispielsweise kann
das Aktualisierungsregister 350 Daten speichern, in denen
ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340,
das zu setzen ist, einen Wert „1” hat, und ein
Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340,
das nicht zu ändern ist, einen Wert „0” hat.
Wenn der SRB-Befehl ausgeführt wird, aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 den
in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert durch Berechnen
einer logischen ODER-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten
Wert und den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten
Daten. Auf diese Weise kann die Befehlsausführungsschaltung 320 den
Wert der Bitposition in dem Ergebnisregister 340, die durch
den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Wert
bezeichnet ist, auf „1” setzen.
-
Als
ein alternatives Beispiel kann das Aktualisierungsregister 350 Daten
speichern, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340,
das zu setzen ist, einen Wert „0” hat, und ein
Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das
nicht zu ändern ist, einen Wert „1” hat.
In diesem Fall aktualisiert, wenn der SRB-Befehl ausgeführt wird,
die Befehlsausführungsschaltung 320 den in dem
Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert durch Berechnen
einer logischen ODER-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten
Wert und durch Invertieren jedes Bits der in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten
Daten erzeugten Daten.
-
Als
ein anderes Beispiel kann das Aktualisierungsregister 350 Daten
speichern, in denen ein Bit entspre chend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das
zurückzusetzen ist, einen Wert „1” hat,
und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340,
das nicht zu ändern ist, einen Wert „0” hat.
Wenn der RRB-Befehl ausgeführt wird, aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 den
in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert durch Berechnen einer
logischen UND-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten
Wert und durch Invertieren jedes Bits der in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten
Daten erzeugten Daten. Auf diese Weise kann die Befehlsausführungsschaltung 320 den
Wert der Bitposition in dem Ergebnisregister 340, die durch
den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Wert
bezeichnet ist, auf „0” zurücksetzen.
-
Als
ein anderes Beispiel kann das Aktualisierungsregister 350 Daten
speichern, in denen ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340, das
zurückzusetzen ist, einen Wert „0” hat,
und ein Bit entsprechend einem Bit in dem Ergebnisregister 340,
das nicht zu ändern ist, einen Wert „1” hat.
In diesem Fall aktualisiert, wenn der RRB-Befehl ausgeführt
wird, die Befehlsausführungsschaltung 320 den
in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert durch Berechnen
einer logischen UND-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten
Wert und den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten
Daten.
-
7 illustriert
ein Beispiel für Folgedaten (eine Prüfbefehlsfolge),
die von der Mustererzeugungsschaltung 70 ausgeführt
werden, gemäß dem vorliegenden Modifikationsbeispiel.
Der Folgekarspeicher 310 kann Folgedaten speichern, die
beispielsweise einen Speicherbefehl 500, eine erste Prüfbefehlsfolge 510,
ei nen ersten Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl 520,
einen ersten Schiebebefehl 530, eine zweite Prüfbefehlsfolge 540,
einen zweiten Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl 550 und
eine dritte Prüfbefehlsfolge 560 enthalten.
-
Der
Speicherbefehl 500 ist ein Befehl zum Speichern anfänglicher
Daten in dem Aktualisierungsregister 350. Die erste Prüfbefehlsfolge 510 enthält
mehrere Befehle, die eine Prüffolge für eine erste
Prüfung bestimmen. Der erste Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl 520 ist
ein Befehl zum Setzen des Wertes einer Bitposition in dem Ergebnisregister 340,
die durch den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten
Wert bezeichnet ist, auf „1”, unter der Bedingung,
dass die erste Prüfung ein vorbestimmtes Ergebnis zeigt
(z. B. Versagen).
-
Der
erste Schiebebefehl 530 ist ein Befehl zum Verschieben
des in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten Wertes
um ein Bit. Die zweite Prüfbefehlsfolge 540 enthält
mehrere Befehle, die eine Prüffolge für eine zweite
Prüfung, die nach der ersten Prüfung durchzuführen
ist, bestimmen. Der zweite Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl 550 ist
ein Befehl zum Setzen des Wertes einer Bitposition in dem Ergebnisregister 340,
die durch den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten
Wert bezeichnet ist, auf „1”, unter der Bedingung,
dass die zweite Prüfung ein vorbestimmtes Ergebnis zeigt
(z. B. Versagen). Die dritte Prüfbefehlsfolge 560 enthält
mehrere Befehle, die eine Prüffolge für eine dritte
Prüfung, die nach der ersten und der zweiten Prüfung
durchzuführen ist, bestimmen.
-
8 illustriert
ein Beispiel für einen Fluss von Prozessen, die durchgeführt
werden, wenn die in 7 gezeigte Prüfbefehlsfolge
ausgeführt wird. Am Anfang liest die Befehlsausführungsschaltung 320 den
Speicherbefehl 500 und speichert anfängliche Daten,
die eine Bitposition in dem Ergebnisregister 340 bezeichnen,
in dem Aktualisierungsregister 350, bevor die erste Prüfung
durchgeführt wird (Schritt S1001). Hier speichert die Befehlsausführungsschaltung 320 in
dem Aktualisierungsregister 350 als anfängliche
Daten solche Daten, in denen ein Bit entsprechend einem Bit (einem
ersten Bit) in dem Ergebnisregister 340, das das Ergebnis
der ersten Prüfung zu speichern hat, einen Wert „1” hat,
und die anderen Bits haben den Wert „0”.
-
Nachfolgend
liest die Befehlsausführungsschaltung 320 die
erste Prüfbefehlsfolge 510, um die erste Prüfung
durchzuführen (Schritt S1002). Bei Beendigung der ersten
Prüfung liest die Befehlsausführungsschaltung 320 dann
den ersten Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl 520 und
beurteilt, ob das Ergebnis der ersten Prüfung ein Versagen
anzeigt (Schritt S1003). Wenn das Ergebnis der ersten Prüfung
ein Versagen anzeigt (Schritt S1003: JA), aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 den
Wert des Ergebnisregisters 340 durch Berechnen einer logischen
ODER-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten
Wert und den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten
Daten (Schritt S1004). Auf diese Weise kann die Befehlsausführungsschaltung 320 den Wert
des ersten Bits in dem Ergebnisregister 340 setzen, das
ausgebildet ist zum Speichern des Ergebnisses der ersten Prüfung
als „1”. Wenn das Ergebnis der ersten Prüfung
nicht ein Versagen anzeigt (Schritt S1004: NEIN), aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 nicht
den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert und
führt nachfolgend einen Schritt S1005 durch.
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Hiernach
liest die Befehlsausführungsschaltung 320 den
ersten Schiebebefehl 530, um den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten
Wert um beispielsweise ein Bit zu verschieben (S1005). Als ein Ergebnis
dieser Operation wird in den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten
Daten der Wert „1” von dem Bit entsprechend dem
ersten Bit (das Bit zum Speichern des Ergebnisses der ersten Prüfung)
zu einem verschiedenen Bit verschoben. Daher werden als ein Ergebnis
der Bitschiebeoperation die in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten
Daten in Daten umgewandelt, in denen ein Bit entsprechend einem
Bit (ein zweites Bit) zum Speichern des Ergebnisses der zweiten
Prüfung den Wert „1” hat, und die anderen
Bits haben den Wert „0”.
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Diesem
folgend liest die Befehlsausführungsschaltung 320 die
zweite Prüfbefehlsfolge 540, um die zweite Prüfung
durchzuführen (Schritt S1006). Bei Beendigung der zweiten
Prüfung liest die Befehlsausführungsschaltung 320 nachfolgend
den zweiten Ergebnisregister-Bedingungsaktualisierungsbefehl 550 und
beurteilt, ob das Ergebnis der zweiten Prüfung ein Versagen
anzeigt (Schritt S1007). Wenn das Ergebnis der zweiten Prüfung
ein Versagen anzeigt (Schritt S1007: JA), aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 den
in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert durch Berechnung
einer logischen ODER-Verknüpfung zwischen dem in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten
Wert und den in dem Aktualisierungsregister 350 gespeicherten
Daten (Schritt S1008). Auf diese Weise kann die Befehlsausführungsschaltung 320 den
Wert des zweiten Bits in dem Ergebnisregister 340, das
ausgebildet ist zum Speichern des Ergebnisses der zweiten Prüfung,
auf „1” setzen. Wenn das Ergebnis der zweiten
Prüfung nicht ein Versagen anzeigt (Schritt S1007: NEIN),
aktualisiert die Befehlsausführungsschaltung 320 nicht
den in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert und
führt nachfolgend einen Schritt S1009 durch.
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Hiernach
liest die Befehlsausführungsschaltung 320 den
in dem Ergebnisregister 340 gespeicherten Wert und wählt
die Durchführung der nächsten Prüfung
aus auf der Grundlage der Ergebnisse der ersten und der zweiten
Prüfung (Schritt S1009). Nachfolgend liest die Befehlsausführungsschaltung 320 die
dritte Prüfbefehlsfolge 560, um die dritte Prüfung
entsprechend der ausgewählten Prüfung durchzuführen
(Schritt S1010).
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Wie
vorstehend beschrieben ist, kann die Befehlsausführungsschaltung 320 die
Ergebnisse der ersten und der zweiten Prüfung in dem Ergebnisregister 340 speichern.
Mit dieser Konfiguration kann die Befehlsausführungsschaltung 320 die
dritte Prüfung durchführen, die auf der Grundlage
der Ergebnisse der ersten und der zweiten Prüfung ausgewählt ist,
nachdem die erste und die zweite Prüfung durchgeführt
wurden. Auch kann die Befehlsausführungsschaltung 320 die
DUT 300 in Bezug auf die Qualität auf der Grundlage
der Ergebnisse der ersten und der zweiten Prüfung bewerten.
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Hier
kann die Befehlsausführungsschaltung 320 eine
andere Prüfung in derselben Weise wie in den Schritten
S1005 bis S1008 zwischen den Schritten S1008 und S1009 durchführen.
Mit dieser Konfiguration kann die Befehlsausführungsschaltung 320 in
dem Ergebnisregis ter 340 die Ergebnisse von drei oder mehr
Prüfungen speichern.
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9 illustriert
eine beispielhafte Konfiguration einer elektronischen Vorrichtung 400,
die sich auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezieht.
Die elektronische Vorrichtung 400 enthält eine
geprüfte Schaltung 410, eine Prüfschaltung 420, einen
Eingabe-/Ausgabe-Stift 430 und einen BIST-Stift 440.
Die geprüfte Schaltung 410 kann eine Schaltung
sein, die arbeitet, wenn die elektronische Vorrichtung 400 befestigt
ist. Die geprüfte Schaltung 410 arbeitet gemäß einem
von dem Eingabe-/Ausgabe-Stift 430 zugeführten
Signal, wenn die elektronische Vorrichtung 400 befestigt
ist.
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Wenn
die elektronische Vorrichtung 400 beispielsweise eine Speichervorrichtung
ist, kann die geprüfte Schaltung 410 eine Schaltung
enthaltend eine Speicherzelle der elektronischen Vorrichtung 400 sein.
Beispielsweise kann die geprüfte Schaltung 410 die
Speicherzelle und eine Steuerschaltung zum Steuern der Speicherzelle
enthalten. Die Steuerschaltung kann eine Schaltung zum Steuern des Schreibens
von Daten in die Speicherzelle und des Lesens von Daten aus der
Speicherzelle sein.
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Die
Prüfschaltung 420 ist auf demselben Halbleiterchip
wie die geprüfte Schaltung 410 vorgesehen. Die
Prüfschaltung 420 prüft die geprüfte Schaltung 410.
Die Prüfschaltung 420 kann dieselben Bestandteile
wie das mit Bezug auf die 1 bis 8 beschriebene
Prüfmodul 100 haben. Alternativ kann die Prüfschaltung 420 einige
der Bestandteile des Prüfmoduls 100 haben. Die
Prüfschaltung 420 kann eine Schaltung sein, die
einige der Funktionen des Prüfmoduls 100 hat.
Beispielsweise braucht die Prüfschaltung 420 nicht
den Ergebnisspeicher 16 zu enthalten. Weiterhin können
die Ratenerzeugungsschaltung 30 und die Takterzeugungsschaltung 56 der
Prüfschaltung 420 gemäß den
feste Werte enthaltenden Takteinstellungen arbeiten.
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Wenn
sie mit einem Signal, das anzeigt, dass eine Selbstprüfung
für die geprüfte Schaltung 410 über
den BIST-Stift 440 von einem externen Prüfgerät
durchzuführen ist, kann die Prüfschaltung 420 die
geprüfte Schaltung 410 prüfen. Der BIST-Stift 440 ist
vorzugsweise ein Stift, der nicht verwendet wird, wenn die elektronische
Vorrichtung 400 befestigt ist. Die Prüfschaltung 420 kann
das Ergebnis der Prüfung der geprüften Schaltung 410 über
den BIST-Stift 440 zu dem externen Prüfgerät
ausgeben.
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Das
externe Prüfgerät kann in derselben Weise wie
die mit Bezug auf 1 beschriebenen Stationssteuervorrichtungen 130 arbeiten.
Mit anderen Worten, das externe Prüfgerät kann
die Prüfsteuerprogramme, Prüfprogramme, Prüfdaten
und dergleichen zu der Prüfschaltung 420 liefern,
um zu bewirken, dass die Prüfschaltung 420 in
derselben Weise wie das mit Bezug auf die 1 bis 8 beschriebene
Prüfmodul 100 arbeitet.
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Während
ein Aspekt der vorliegenden Erfindung in den Ausführungsbeispielen
beschrieben wurde, ist der technische Bereich der Erfindung nicht
auf die vorbeschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt.
Es ist für den Fachmann augenscheinlich, dass verschiedene Änderungen
und Verbesserungen zu den vorbeschriebenen Ausführungsbeispielen
hinzugefügt werden können. Es ist auch anhand des
Bereichs der Ansprüche ersicht lich, dass die Ausführungsbeispiele,
denen derartige Änderungen oder Verbesserungen hinzugefügt
sind, in dem technischen Bereich der Erfindung enthalten sein können.
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Zusammenfassung
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Es
ist ein Prüfgerät zum Prüfen einer geprüften
Vorrichtung vorgesehen. Das Prüfgerät enthält eine
Befehlsspeicherschaltung, die eine Prüfbefehlsfolge speichert,
eine Mustererzeugungsschaltung, die aufeinander folgend einen Befehl
aus der Prüfbefehlsfolge liest und ausführt und
ein mit dem ausgeführten Befehl assoziiertes Prüfmuster
ausgibt, eine Prüfsignal-Ausgabeschaltung, die ein Prüfsignal
gemäß dem Prüfmuster erzeugt und das
erzeugte Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung
liefert, und ein Ergebnisregister, das einen Wert mit einer vorbestimmten
Anzahl von Bits speichert. Hier speichert die Befehlsspeicherschaltung
die Prüfbefehlsfolge enthaltend einen Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl zum
Aktualisieren eines Wertes einer bezeichneten Bitposition in dem
Ergebnisregister mit einem vorbestimmten Wert, und wenn der Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl
ausgeführt wird, aktualisiert die Mustererzeugungsschaltung
den Wert der Bitposition in dem Ergebnisregister, die durch den
Ergebnisregister-Aktualisierungsbefehl bezeichnet ist, mit dem vorbestimmten
Wert.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - JP 2004-26047 [0004]
- - JP 07-73700 [0004]