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DE112008001032T5 - Prüfgerät, Prüfverfahren und elektronische Vorrichtung - Google Patents

Prüfgerät, Prüfverfahren und elektronische Vorrichtung Download PDF

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DE112008001032T5
DE112008001032T5 DE112008001032T DE112008001032T DE112008001032T5 DE 112008001032 T5 DE112008001032 T5 DE 112008001032T5 DE 112008001032 T DE112008001032 T DE 112008001032T DE 112008001032 T DE112008001032 T DE 112008001032T DE 112008001032 T5 DE112008001032 T5 DE 112008001032T5
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
test
command
instruction
circuit
pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE112008001032T
Other languages
English (en)
Inventor
Tatsuya Yamada
Kiyoshi Murata
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
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Withdrawn legal-status Critical Current

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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/31813Test pattern generators
    • GPHYSICS
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    • G01R31/317Testing of digital circuits
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    • G01R31/3183Generation of test inputs, e.g. test vectors, patterns or sequences
    • GPHYSICS
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Abstract

Prüfgerät, das eine geprüfte Vorrichtung prüft, welches Prüfgerät aufweist:
einen Musterspeicher, der eine Prüfbefehlsfolge, die eine Prüffolge zum Prüfen der geprüften Vorrichtung definiert, in einem verdichteten Format speichert;
eine Dehnungsschaltung, die die aus dem Musterspeicher gelesene Prüfbefehlsfolge in eine in dem unverdichteten Format dehnt;
einen Befehlscachespeicher, der die durch die Dehnungsschaltung gedehnte Prüfbefehlsfolge cachespeichert;
eine Mustererzeugungsschaltung, die aufeinanderfolgend in dem Befehlscachespeicher gespeicherte Befehle liest und die Befehle ausführt, um ein Prüfmuster für den ausgeführten Befehl zu erzeugen; und
eine Signalausgabeschaltung, die ein Prüfsignal auf der Grundlage des Prüfmusters erzeugt und das Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung liefert.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Prüfgerät und eine elektronische Vorrichtung. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf ein Prüfgerät, das eine geprüfte Vorrichtung prüft, und eine elektronische Vorrichtung, die eine Prüfschaltung, die eine geprüfte Schaltung prüft, enthält. Die vorliegende Anmeldung bezieht sich auf eine US-Patentanmeldung Nr. 11/733 174, die am 9. April 2007 eingereicht wurde und deren Inhalt hier einbezogen wird, falls dies in dem bezeichneten Staat anwendbar ist.
  • STAND DER TECHNIK
  • Allgemein ist ein Prüfgerät, dass eine geprüfte Vor richtung wie einen Halbleiter prüft, bekannt. Das Prüfgerät liefert ein Prüfsignal mit einem vorbestimmten logischen Muster zu der geprüften Vorrichtung und erfasst ein von der geprüften Vorrichtung gemäß dem Prüfsignal ausgegebenes Signal. Dann bestimmt das Prüfgerät, ob die geprüfte Vorrichtung gut oder schlecht ist, durch Vergleich des erfassten Signals mit dem erwarteten Wert.
  • Das Prüfgerät enthält einen Mustergenerator, der aufeinanderfolgend Prüfmuster erzeugt, und eine Prüfsignal-Ausgabeschaltung, die ein Prüfsignal mit logischen Werten gemäß jedem der Prüfmuster, die beispielsweise im Patentdokument 1 offenbart sind, ausgibt. Der Mustergenerator liest aufeinanderfolgend Befehle aus Folgedaten (Prüfbefehlsfolge), die in dem Speicher gespeichert sind, und führt die gelesenen Befehle aus. Dann liest der Mustergenerator die Musterdaten entsprechend jedem der ausgeführten Befehle aus dem Speicher und gibt aufeinanderfolgend die gelesenen Musterdaten als Prüfmuster aus. Hierdurch kann das Prüfgerät das Prüfsignal mit einem vorbestimmten logischen Muster zu der geprüften Vorrichtung liefern.
    • Patentdokument 1: Japanische Patentanmeldungs-Veröffentlichung Nr. 2000-206210
  • OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
  • DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE PROBLEME
  • Die Gegenstände und der Inhalt der Prüfung werden zusammen mit der Verbesserung der Funktion der geprüften Vorrichtung erhöht, so dass die Anzahl von in den Folgedaten enthaltenen Befehlen erhöht wird. Daher kann die Kapazität des Speichers, in denen die Folgedaten in dem Prüfgerät gespeichert sind, vergrößert werden.
  • Es ist demgemäß ein Vorteil der Erfindung, ein Prüfgerät und eine elektronische Vorrichtung vorzusehen, die in der Lage sind, das vorgenannte Problem zu lösen. dieser Vorteil kann durch die Kombination von in den unabhängigen Ansprüchen der Erfindung beschriebenen Merkmalen erreicht werden. Abhängige Ansprüche hiervon spezifizieren bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung.
  • MITTEIL ZUM LÖSEN DER PROBLEME
  • Somit sieht ein erster Aspekt der vorliegenden Erfindung ein Prüfgerät vor, das eine geprüfte Vorrichtung prüft. Das Prüfgerät enthält: einen Musterspeicher, der eine Prüfbefehlsfolge speichert, die eine Prüffolge zum Prüfen der geprüften Vorrichtung in einem verdichteten Format definiert; eine Dehnungsschaltung, die die aus dem Musterspeicher gelesene Prüfbefehlsfolge in eine solche mit einem unverdichteten Format dehnt; ein Befehlscachespeicher, der die durch die Dehnungsschaltung gedehnte Prüfbefehlsfolge cachespeichert; eine Mustererzeugungsschaltung, die aufeinanderfolgend die in dem Befehlscachespeicher gespeicherten Befehle liest und die Befehle ausführt, um ein Prüfmuster für den ausgeführten Befehl zu erzeugen; und eine Signalausgabeschaltung, die ein Prüfsignal auf der Grundlage des Prüfmusters erzeugt und das Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung liefert.
  • Ein zweiter Aspekt der vorliegenden Erfindung sieht eine elektronische Vorrichtung enthaltend eine ge prüfte Schaltung und eine Prüfschaltung, die die geprüfte Schaltung prüft, vor. Die Prüfschaltung enthält: einen Musterspeicher, der eine Prüfbefehlsfolge speichert, die eine Prüffolge zum Prüfen der geprüften Schaltung in einem verdichteten Format definiert; eine Dehnungsschaltung, die die aus dem Musterspeicher gelesene Prüfbefehlsfolge in eine solche mit einem unverdichteten Format dehnt; einen Befehlscachespeicher, der die durch die Dehnungsschaltung gedehnte Prüfbefehlsfolge cachespeichert; eine Mustererzeugungsschaltung, die aufeinanderfolgend die in dem Befehlscachespeicher gespeicherten Befehle liest und die Befehle ausführt, um ein Prüfmuster für den ausgeführten Befehl zu erzeugen; und eine Signalausgabeschaltung, die ein Prüfsignal auf der Grundlage des Prüfmusters erzeugt und das Prüfsignal zu der geprüften Schaltung liefert.
  • Ein dritter Aspekt der vorliegenden Erfindung sieht ein Prüfverfahren zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vor. Das Verfahren enthält: Speichern einer Prüfbefehlsfolge, die eine Prüffolge zum Prüfen der geprüften Vorrichtung in einem verdichteten Format definiert; Dehnen der aus dem Musterspeicher gelesenen Prüfbefehlsfolge in eine solche mit einem unverdichteten Format; Cachespeichern der gedehnten Prüfbefehlsfolge; aufeinanderfolgendes Lesen der gespeicherten Befehle und Ausführen der Befehle, um ein Prüfmuster für den ausgeführten Befehl zu erzeugen; und Erzeugen eines Prüfsignals auf der Grundlage des Prüfmusters und Liefern des Prüfsignals zu der geprüften Vorrichtung.
  • Es ist festzustellen, dass die vorbeschriebene Zusammenfassung der Erfindung nicht notwendigerweise alle erforderlichen Merkmale der Erfindung beschreibt. Die Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorbeschriebenen Merkmale sein.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration eines Prüfgeräts 200 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
  • 2 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration eines Prüfmoduls 100;
  • 3 ist ein erläuterndes Diagramm, das ein Beispiel für in einem Musterlistenspeicher 14 gespeicherte Musterlisten und für in einem Hauptspeicher 40 gespeicherte Folgedaten und Musterdaten zeigt;
  • 4 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Mustererzeugungsschaltung 70 gemäß einem Ausführungsbeispiel zusammen mit dem Hauptspeicher 40 und der Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20;
  • 5 zeigt ein Beispiel für Folgedaten (Prüfbefehlsfolge), bevor sie verdichtet werden;
  • 6 zeigt ein Beispiel für die Folgedaten vor der Verdichtung, die Folgedaten in dem verdichteten Format durch Löschen des NOP-Befehls, und die durch Dehnen der Folgedaten erhaltenen Folgedaten;
  • 7 zeigt ein Beispiel für Folgedaten, enthaltend einen Anpassungssteuerbefehl (JFF-Befehl);
  • 8 zeigt ein Beispiel für Folgedaten, enthaltend einen Befehl zum Bezeichnen der Anzahl von Malen (STI-Befehl) und einen Schleifensprungbefehl (JNI-Befehl);
  • 9 zeigt ein Beispiel für Folgedaten enthaltend einen Brechungsbefehl (BRK-Befehl);
  • 10 zeigt ein Beispiel für Folgedaten enthaltend einen Iterationsbefehl (IDXI-Befehl); und
  • 11 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer elektronischen Vorrichtung 400 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
  • BESTE ART DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
  • Die Erfindung wird auf der Grundlage bevorzugter Ausführungsbeispiele beschrieben, die den Bereich der Erfindung nicht beschränken, sondern die Erfindung veranschaulichen sollen. Alle Merkmale und deren Kombinationen, die in den Ausführungsbeispielen beschrieben sind, sind nicht notwendigerweise wesentlich für die Erfindung.
  • 1 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration eines Prüfgeräts 200 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Das Prüfgerät 200 prüft geprüfte Vorrichtungen 300 wie Halbleiterschaltungen und enthält eine Systemsteuervorrichtung 110, mehrere Stationssteuervorrichtungen 130, einen Schalterkreis 140 und mehrere Prüfmodule 100.
  • Die Systemsteuervorrichtung 110 empfängt ein Prüfsteuerprogramm, Prüfprogrammdaten und Prüfmusterdaten, die von dem Prüfgerät 200 verwendet werden, um die geprüften Vorrichtungen 300 zu prüfen, durch ein externes Netzwerk und speichert dieselben. Die mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 sind über ein Kommunikationsnetzwerk mit der Systemsteuervorrichtung 110 verbunden.
  • Die Stationssteuervorrichtungen 130a–c führen eine Steuerung durch, um jede der geprüften Vorrichtungen 300 zu prüfen. Beispielsweise ist jede der mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 entsprechend jeder der geprüften Vorrichtungen 300 eins zu eins angeordnet. Jede der Stationssteuervorrichtungen 130 steuert die entsprechende geprüfte Vorrichtung 300.
  • Die Stationssteuervorrichtung 130a steuert die Prüfung der geprüften Vorrichtung 300a, und die Stationssteuervorrichtung 130b steuert die Prüfung der geprüften Vorrichtung 300b in 1. Alternativ können die mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 jeweils jede der mehreren geprüften Vorrichtungen 300 prüfen.
  • Insbesondere erwirbt die Stationssteuervorrichtung 130 das Prüfsteuerprogramm von der Systemsteuervorrichtung 110 und führt dasselbe aus. Als Nächstes erwirbt die Stationssteuervorrichtung 130 von der Systemsteuervorrichtung 110 die Prüfprogrammdaten wie später beschriebene Folgedaten und die Prüfmusterdaten als später beschriebene Musterdaten, die auf der Grundlage des Prüfsteuerprogramms zum Prüfen der entsprechenden geprüften Vorrichtung 300 verwendet werden. Nachfolgend werden die Prüfprogrammdaten und die Prüfmusterdaten allgemein als Prüfmusterreihen bezeichnet. Die Datenreihe kann aus Daten enthaltend zumindest die Prüfprogrammdaten oder die Prüfmusterdaten bestehen.
  • Zusätzlich speichert die Stationssteuervorrichtung 130 in einem oder mehreren Prüfmodulen 100, die zum Prüfen der geprüften Vorrichtungen 300 verwendet werden, durch den Schalterkreis 140. Als Nächstes weist die Stationssteuervorrichtung 130 die Prüfmodule 100 über den Schalterkreis 140 an, die Prüfung gemäß den Prüfprogrammdaten und den Prüfmusterdaten zu starten. Dann empfängt die Stationssteuervorrichtung 130 eine Unterbrechung von Prüfmodulen 100, die anzeigt, dass die Prüfung beendet ist, und bewirkt, dass die Prüfmodule 100 die nächste Prüfung auf der Grundlage des Prüfergebnisses durchführen.
  • Der Schalterkreis 140 verbindet jede der mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 mit den mehreren Prüfmodulen 100, die durch jede der mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 gesteuert werden, und überträgt die Kommunikation zwischen diesen. Hier kann eine vorbestimmte Stationssteuervorrichtung 130 den Schalterkreis 140 setzen, um jede der Stationssteuervorrichtungen 130 mit einem oder mehreren Prüfmodulen, die zum Prüfen der geprüften Vorrichtung 300 durch die Stationssteuervorrichtung 130 verwendet werden, auf der Grundlage des Befehls beispielsweise durch den Benutzer des Prüfgeräts 200 und des Prüfsteuerprogramms zu verbinden.
  • Beispielsweise wird die Stationssteuervorrichtung 130a gesetzt, um mit den mehreren Prüfmodulen 100a verbunden zu werden, und prüft die geprüfte Vorrichtung 300a durch Verwendung der mehreren Prüfmodule 100 in 1. Hier können die Konfiguration und die Arbeitsweise der anderen Stationssteuervorrichtungen 130 zum Prüfen der geprüften Vorrichtungen 300 durch Verwendung der Prüfmodule 100 dieselben wie diejenigen der Stationssteuervorrichtung 130a zum Prüfen der geprüften Vorrichtung 300a sein. Nachfolgend werden hauptsächlich die Konfiguration und die Arbeitsweise der Stationssteuervorrichtung 130a zum Prüfen der geprüften Vorrichtung 300a beschrieben.
  • Das Prüfmodul 100a erzeugt ein für die Erzeugung eines zum Prüfen der geprüften Vorrichtung 300a verwendeten Prüfsignals geeignetes Taktsignal auf der Grundlage des Befehls durch die Stationssteuervorrichtung 130a. Zusätzlich kann jedes der Prüfmodule 100a das Prüfergebnis des anderen Prüfmoduls 100a empfangen und bewirken, dass die mehreren Prüfmodule 100a die Folge entsprechend gut/schlecht des Prüfergebnisses ausführen.
  • Jedes der mehreren Prüfmodule 100a ist mit jedem von mehreren Anschlüssen verbunden, die in der geprüften Vorrichtung 300a enthalten sind, und prüft die geprüfte Vorrichtung 300a auf der Grundlage de Folgedaten und der Musterdaten, die in der Stationssteuervorrichtung 130a gespeichert sind. Beim Prüfen der geprüften Vorrichtung 300a erzeugen die Prüfmodule 100a Prüfsignale aus den Musterdaten auf der Grundlage der Folgedaten und der Musterdaten, die durch eine später beschriebene Musterliste bezeichnet sind, und liefern das Prüfsignal zu dem mit dem Prüfmodul 100a verbundenen Anschluss der geprüften Vorrichtung 300a.
  • Als Nächstes erwirbt jedes der Prüfmodule 100a ein Ausgangssignal als das Ergebnis, dass die geprüfte Vorrichtung 300a arbeitet, auf der Grundlage des Prüfsignals, und vergleicht dieses mit einem erwarteten Wert. Hier kann jedes der mehreren Prüfmodule 100a ein Prüfsignal auf der Grundlage von Zyklusperioden erzeugen, die sich voneinander unterscheiden, um die Zyklusperiode des Prüfsignals auf der Grundlage der Folgedaten und der Musterdaten dynamisch zu ändern.
  • Zusätzlich erzeugt das Prüfmodul 100a eine Unterbrechung bei der Stationssteuervorrichtung 130a, wenn ein Fehler während der Ausführung der Prüfprogrammdaten auftritt, wobei die Verarbeitung der Prüfprogrammdaten beendet wird. Die Unterbrechung wird der Stationssteuervorrichtung 130a entsprechend dem Prüfmodul 100a über den Schalterkreis 140 mitgeteilt, so dass ein in der Stationssteuervorrichtung 130a enthaltener Prozessor eine Unterbrechungsverarbeitung durchführt.
  • Hier ist das Prüfgerät 200 durch eine offene Architektur vorgesehen und kann verschiedene Module verwenden, die dem Standard der offenen Architektur genügen. Dann kann das Prüfgerät 200 das Modul wie das Prüfmodul 100 in jeden Verbindungsschlitz, der in dem Schalterkreis 140 enthalten ist, einsetzen.
  • In diesem Fall kann der Benutzer des Prüfgeräts 200 die Verbindungskonfiguration durch solche wie die Stationssteuervorrichtung 130a ändern und mehrere Module, die zum Prüfen der geprüften Vorrichtungen 300 verwendet werden, mit den Stationssteuervorrichtungen 130 verbinden, um die geprüften Vorrichtungen 300 zu prüfen. Hierdurch kann der Benutzer des Prüfgeräts 200 das geeignete Modul in Abhängigkeit von der Anzahl von Anschlüssen, der Anordnung von Anschlüssen, der Art von Anschlüssen oder der Art der Prüfung für jede der mehreren geprüften Vorrichtungen 300 auswählen und dieselbe in dem Prüfgerät 200 implementieren.
  • Zusätzlich kann das Prüfgerät 200 oder das Prüfmodul 100 eine Prüfschaltung sein, die in derselben elektronischen Vorrichtung vorgesehen ist, in der die ausgewählte geprüfte Schaltung vorgesehen ist. Die Prüfschaltung ist als eine solche wie eine BIST-Schaltung der elektronischen Vorrichtung vorgesehen und diagnostiziert die elektronische Vorrichtung durch Prüfen der geprüften Schaltung. Hierdurch kann die Prüfschaltung prüfen, ob eine Schaltung, die eine geprüfte Schaltung sein soll, die ursprüngliche Operation als eine elektronische Vorrichtung normal durchführen kann.
  • Zusätzlich kann das Prüfgerät 200 oder das Prüfmodul 100 eine Prüfschaltung sein, die auf derselben Platte oder in demselben Gerät vorgesehen ist, auf der/in dem eine geprüfte Schaltung vorgesehen ist. Eine derartige Prüfschaltung kann auch prüfen, ob die geprüfte Schaltung die ursprüngliche Operation als eine elektronische Vorrichtung normal durchführen kann.
  • 2 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration des Prüfmoduls 100. Das Prüfmodul 100 enthält eine Kanalsteuerschaltung 10 und mehrere Kanalschaltungen 50. Die Funktion und die Konfiguration von einer Kanalschaltung 50 werden in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel beschrieben. Jedoch können die anderen Kanalschaltungen dieselbe Funktion und Konfiguration haben.
  • Jede der Kanalschaltungen 50 kann mit einem Eingangs- und Ausgangsstift entsprechend der geprüften Vorrichtung 300 verbunden sein und ein Prüfsignal zu den Eingangs- und Ausgangsstiften liefern. Zusätzlich kann jede der Kanalschaltungen 50 ein Ausgangssignal von den Eingangs-/Ausgangsstiften messen. Hier können die Eingangs- und Ausgangsstifte der geprüften Vorrichtung 300 entweder der Eingangsstift oder der Ausgangsstift sein.
  • Die Kanalsteuerschaltung 10 steuert jede der Kanalschaltungen 50. Beispielsweise steuert die Kanalsteuerschaltung 10 jede der Kanalschaltungen 50, um ein Prüfsignal zu erzeugen. Zusätzlich steuert die Kanalsteuerschaltung 10 jede der Kanalschaltungen 50, um ein Ausgangssignal von der geprüften Vorrichtung 300 zu messen.
  • Zusätzlich kann die Kanalsteuerschaltung 10 die andere Kanalschaltung 50 auf der Grundlage des Messergebnisses von einer der Kanalschaltungen 50 steuern. Beispielsweise kann die Kanalsteuerschaltung 10 bewirken, dass zumindest eine der anderen Kanalschaltungen 50 iterativ eine vorbestimmte Operation durchführt, bis das Messergebnis von irgendeiner der Kanalschaltungen 50 einer vorbestimmten Bedingung genügt, und bewirken, dass die andere Kanalschaltung 50 die nächste geeignete Operation durchführt, vorausgesetzt, dass das Messergebnis, der vorbestimmten Bedingung genügt.
  • Die Kanalsteuerschaltung 10 enthält eine Schnittstellenschaltung 12, einen Musterlistenspeicher 14, einen Ergebnisspeicher 16, eine Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20, einen Hauptspeicher 40. eine Ratenerzeugungsschaltung 30 und eine Mustererzeugungsschaltung 70. Die Schnittstellenschaltung 12 überträgt die Daten zwischen den Stationssteuervorrichtungen 130 und den Prüfmodulen 100.
  • Der Hauptspeicher 40 speichert die mehreren Arten von Folgedaten und Musterdaten entsprechend den Folgedaten. Der Hauptspeicher 40 kann vorher die Folgedaten und die Musterdaten, die von den Stationssteuervorrichtungen 130 geliefert wurden, vor dem Prüfen der geprüften Vorrichtung 300 speichern. Zusätzlich kann der Hauptspeicher 40 die Folgedaten und die Musterdaten verdichten und speichern.
  • Beispielsweise kann die Stationssteuerschaltung 130 die Folgedaten, die Musterdaten und einen Befehl zum Speichern derartiger Daten an den bezeichneten Adressen des Hauptspeichers 40 in die Schnittstellenschaltung 12 eingeben. Die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 speichert diese Daten in dem Hauptspeicher 40 gemäß dem durch die Schnittstellenschaltung 12 empfangenen Befehl.
  • Die Folgedaten können beispielsweise Daten sein, die eine aufeinanderfolgend auszuführende Befehlsgruppe anzeigen. Hier kann ein Befehl in Folgedaten entsprechend den Prüfdaten sein, und mehrere Befehle können entsprechend den Prüfdaten sein.
  • Die Musterdaten sind Daten, die ein solches wie ein logisches Wertemuster anzeigen, und können in Verbindung mit mehreren Befehlen eins zu eins gespeichert sein. Beispielsweise können die Folgedaten eine Befehlsgruppe sein, die die Erzeugung eines Prüfmusters durch Ausgabe der jeweiligen Musterdaten in einer vorbestimmten Reihenfolge bewirken. Hier können die Daten für einen Befehl unter den Musterdaten entsprechend den Prüfdaten sein, und Daten für mehrere Befehle unter den Musterdaten können entsprechend den Prüfdaten sein.
  • Zu dieser Zeit können die Folgedaten die Prüfmuster durch mehrmaliges Verwenden der jeweiligen Musterdaten erzeugen. Beispielsweise können die Folgedaten einen Schleifenbefehl und einen JMP-Befehl enthalten. Wenn die Kanalsteuerschaltung 10 derartige Folgedaten ausführt, werden die entsprechenden Musterdaten gedehnt, um ein Prüfsignal entsprechend den Folgedaten und den Musterdaten zu erzeugen. Ein Beispiel für die Folgedaten und die Musterdaten, die in dem Hauptspeicher 40 gespeichert sind, wird später mit Bezug auf 3 beschrieben.
  • Der Musterlistenspeicher 14 speichert eine Musterliste, die eine geeignete Reihenfolge der Ausführung der in dem Hauptspeicher 40 gespeicherten Folgedaten anzeigt. Beispielsweise kann der Musterlistenspeicher 14 die Musterliste speichern, die aufeinanderfolgend Adressen der auszuführenden Folgedaten in dem Hauptspeicher 40 anzeigt. Der Musterlistenspeicher 14 kann die von den Stationssteuervorrichtungen 130 gelieferte Musterliste vor dem Prüfen der geprüften Vorrichtung 300 sowie der Hauptspeicher 40 speichern. Die Musterliste kann ein Beispiel für das vorbeschriebene Prüfsteuerprogramm und kann auch ein Teil des Prüfsteuerprogramms sein.
  • Die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 liest die Musterliste aus dem Musterlistenspeicher 14, wenn das Prüfgerät 200 beginnt, die geprüfte Vorrichtung 300 zu prüfen. Beispielsweise kann bei Empfang eines Befehls über den Start der Prüfung von der Stationssteuervorrichtung 130 die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 die Musterliste aus dem Musterlistenspeicher 14 lesen.
  • Die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 liest die Folgedaten und die entsprechenden Musterdaten, die in dem Hauptspeicher 40 gespeichert sind, in der Reihenfolge gemäß der Musterliste. Die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 überträgt die gelesenen Folgedaten zu einer Vektorerzeugungsschaltung 80 der Mustererzeugungsschaltung 70. Zusätzlich überträgt die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 die gelesenen Musterdaten zu einem Mustercachespeicher 90 der Mustererzeugungsschaltung 70.
  • Die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 kann die nächsten Folgedaten und Musterdaten lesen und diese übertragen, wenn ein vorbestimmter freier Bereich in einem solchen wie einem Cachespeicher und einem FIFO-Speicher einer nachfolgenden Schaltung vorhanden ist. in diesem Fall kann die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 die nächsten Folgedaten und Musterdaten lesen, vorausgesetzt, dass der vorbestimmte freie Bereich in allen Cachespeichern und FIFO-Speichern, die die Folgedaten und die Musterdaten speichern sollen, vorhanden ist, und diese zu dem Cachespeicher und dem FIFO-Speicher übertragen.
  • Die Mustererzeugungsschaltung 70 erzeugt aufeinanderfolgend Prüfmuster auf der Grundlage der Folgedaten und der Musterdaten, die aufeinanderfolgend von der Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 empfangen werden. Die Mustererzeugungsschaltung 70 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel enthält die Vektorerzeugungsschaltung 80 und den Mustercachespeicher 90.
  • Wie vorstehend beschrieben ist, empfängt die Vektorerzeugungsschaltung 80 die Folgedaten von der Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20. Die Vektorerzeugungsschaltung 80 kann einen Folgecachespeicher enthalten, der die empfangenen Folgedaten in einem vorbestimmten Cacheeintrag (nachfolgend als ein Eintrag bezeichnet) speichert. Der Mustercachespeicher 90 empfängt die Musterdaten von der Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 und speichert diese in dem vorbestimmten Eintrag. Der Eintrag kann ein Speicherbereich sein, der durch eine oder mehrere Adressen bezeichnet ist.
  • Die Vektorerzeugungsschaltung 80 führt aufeinanderfolgend die in dem Folgecachespeicher gespeicherten Folgedaten aus und bezeichnet aufeinanderfolgend die Adressen in dem Mustercachespeicher 90. Beispielsweise kann die gemäß den Befehlen zu bezeichnende Adresse der Musterdaten mit jedem der Befehle der Folgedaten assoziiert sein. Dann bezeichnet die Vektorerzeugungsschaltung 80 aufeinanderfolgend die Adressen in dem Mustercachespeicher 90 gemäß einem derartigen Schleifenbefehl und einem JMP-Befehl, die in den Folgedaten enthalten sind.
  • Der Mustercachespeicher 90 gibt die Musterdaten der aufeinanderfolgend bezeichneten Adressen aus. Hierdurch kann ein Prüfmuster mit einem logischen Muster gemäß den Folgedaten und den Musterdaten erzeugt werden. Zusätzlich können der Folgecachespeicher und der Mustercachespeicher 90 den Speicherbereich für die Folgedaten und die entsprechenden Musterdaten öffnen, nachdem die Folgedaten vollständig ausgeführt sind. Die Folgedaten können einen Beendigungsbefehl enthalten, der die Beendigung der Folgedaten am Ende der Befehlsgruppe anzeigt.
  • Jede der Kanalschaltungen 50 formt ein Prüfsignal auf der Grundlage des von der Mustererzeugungsschaltung ausgegebenen Prüfmusters und gibt dieses in die geprüfte Vorrichtung 300 ein. Zusätzlich misst jede der Kanalschaltungen 50 ein Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 300. Jede der Kanalschaltungen 50 enthält eine Wellenform-Formungsschaltung 52, einen Treiber 54, eine Takterzeugungsschaltung 56, einen Komparator 58, eine Taktvergleichsschaltung 60, eine Beurteilungsschaltung 62 und einen Fangspeicher 64.
  • Die Wellenform-Formungsschaltung 52 formt das Prüfsignal auf der Grundlage des von der Mustererzeugungsschaltung 70 erzeugten Prüfmusters.
  • Beispielsweise kann die Wellenform-Formungsschaltung 52 ein Prüfsignal mit einem logischen Muster gemäß Prüfmuster erzeugen. Zusätzlich kann die Wellenform-Formungsschaltung 52 ein Prüfsignal gemäß einem gegebenen Taktsignal erzeugen. Beispielsweise kann die Wellenform-Formungsschaltung ein Prüfsignal erzeugen, dessen logischer Wert gemäß dem gegebenen Taktsignal verändert wird.
  • Der Treiber 54 gibt das von der Wellenform-Formungsschaltung 52 erzeugte Prüfsignal in die geprüfte Vorrichtung 300 ein. Der Treiber 54 kann den Spannungspegel des Prüfsignals in den Signalpegel, der für die Eingabe in die geprüfte Vorrichtung 300 geeignet ist, umwandeln, indem die Spannung mit einem vorbestimmten Pegel H ausgegeben wird, wenn das von der Wellenform-Formungsschaltung 52 erzeugte Prüfsignal den logischen Wert H anzeigt, und indem die Spannung mit einem vorbestimmten Pegel L ausgegeben wird, wenn das Prüfsignal den logischen Wert L anzeigt.
  • Der Komparator 58 kann das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 300 empfangen und das Ausgangssignal in ein logisches Binärsignal umwandeln durch Vergleichen des Spannungspegels des Ausgangssignals mit einem voreingestellten Bezugspegel. Beispielsweise kann der Komparator 58 den logischen Wert H ausgeben, wenn der Spannungspegel des Ausgangssignals höher als der Bezugspegel ist, und den logischen Wert L ausgeben, wenn der Spannungspegel des Ausgangssignals niedriger als der Bezugspegel ist.
  • Die Taktvergleichsschaltung 60 erwirbt den logischen es von dem Komparator 58 ausgegebenen Signals gemäß einem gegebenen Strobesignal. Hierdurch kann das logische Muster des Ausgangssignals erfasst werden.
  • Die Takterzeugungsschaltung 56 erzeugt das Taktsignal und das vorbeschriebene Strobesignal gemäß einem Einstellwert einer vorbereiteten Takteinstellung. Beispielsweise kann die Takterzeugungsschaltung 56 ein Taktsignal und ein Strobesignal erzeugen, die durch Verzögern eines von der Ratenerzeugungsschaltung 30 gelieferten Ratensignals erhalten wurden, bei einer Periode entsprechend der Takteinstellung, um den Verzögerungsbetrag entsprechend der gegebenen Takteinstellung.
  • Die Takteinstellung kann zu der Ratenerzeugungsschaltung 30 und der Takterzeugungsschaltung 56 beispielsweise jedes Mal, wenn ein Folgedatenstück ausgeführt ist, geliefert werden. Der Hauptspeicher 40 kann die Daten der Takteinstellung beispielsweise als einen Teil der Musterdaten entsprechend den Folgedaten enthalten. Die Mustererzeugungsschaltung 70 kann die Takteinstellung entsprechend den Folgedaten zu der Ratenerzeugungsschaltung 30 und der Takterzeugungsschaltung 56 jedes Mal, wenn jedes Folgedatenstück ausgeführt wird, liefern.
  • Die Beurteilungsschaltung 62 vergleicht das von der Taktvergleichsschaltung 60 erfasste logische Muster mit einem Muster erwarteter Werte. Hierdurch kann gut/schlecht der geprüften Vorrichtung 300 beurteilt werden. Das Muster erwarteter Werte kann von der Mustererzeugungsschaltung 70 erzeugt werden. Beispielsweise kann das Muster erwarteter Werte gleich dem logischen Muster des in die geprüfte Vorrichtung 300 eingegebenen Prüfsignals sein, das in dem von der Mustererzeugungsschaltung 70 erzeugten Prüfmuster enthalten ist. Zusätzlich kann die Beurteilungsschaltung 62 erfassen, ob das von der Taktvergleichsschaltung 60 erfasste logische Muster dem erwarteten Wert entspricht. Hierdurch kann die Beurteilungsschaltung 62 erfassen, dass das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung dem vorbezeichneten Wert entspricht. Die Beurteilungsschaltung 62 kann ein Übereinstimmungssignal liefern, das anzeigt, dass das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 300 dem vorbezeichneten Wert entspricht, zu der Mustererzeugungsschaltung 70 liefern.
  • Der Fangspeicher 64 speichert das Ergebnis der Beurteilungsschaltung 62. Beispielsweise kann der Fangspeicher 64 das Ergebnis von gut (Übereinstimmung) und schlecht (Nichtübereinstimmung) durch die Beurteilungsschaltung 62 für jedes Prüfmuster speichern. Zusätzlich kann der Fangspeicher 64 das Ergebnis ”schlecht” der Beurteilungsschaltung 62 auswählen und dieses speichern.
  • Der Ergebnisspeicher 16 der Kanalsteuerschaltung 10 speichert das Ergebnis der Beurteilungsschaltung 62 in jeder Kanalschaltung 50. Der Ergebnisspeicher 16 kann das Ergebnis ”gut” (Übereinstimmung) und ”schlecht” (Nichtübereinstimmung) von jeder der Beurteilungsschaltungen 62 in Verbindung mit jedem Kanal für jedes Prüfmuster speichern. Der Ergebnisspeicher 16 kann das Ergebnis ”schlecht” von jeder der Beur teilungsschaltungen 62 auswählen und dieses speichern.
  • Wie vorstehend beschrieben ist, kann der Fangspeicher 64 für jede Kanalschaltung 50 die Schlechtinformationen für jedes Prüfmuster speichern. Der Ergebnisspeicher 16 kann für jede geprüfte Vorrichtung 300 die Schlechtinformationen für jedes in dem Musterlistenspeicher 14 gespeicherte Folgedatenstück speichern.
  • 3 ist ein erläuterndes Diagramm, das ein Beispiel für in dem Musterlistenspeicher 14 gespeicherte Musterlisten sowie Folgedaten und Musterdaten, die in einem Hauptspeicher 40 gespeichert sind, zeigt. Wie vorstehend beschrieben ist, speichert der Hauptspeicher 40 mehrere Folgedatenstücke (Folgedaten 1, Folgedaten 2 ...) und die Musterdatenstücke, die jeweils jedem Folgedatenstück entsprechen.
  • Wie vorstehend beschrieben ist, enthalten die Folgedaten mehrere Befehle. Wenn jeder der Befehle ausgeführt wird, kann die Mustererzeugungsschaltung 70 die Musterdaten entsprechend jedem der Befehle ausgeben. Beispielsweise können die Folgedaten einen NOP-Befehl zum Ausgeben der entsprechenden Musterdaten und Verschieben des folgenden Befehls, einen JMP-Befehl zum Ausgeben der entsprechenden Musterdaten und weiterhin JMP zu dem Befehl an einer vorbestimmten Adresse, und einen LOOP-Befehl zum Ausgeben der entsprechenden Musterdaten und weiterhin zum Wiederholen des Befehls innerhalb des bezeichneten Adressenbereichs für eine vorbestimmte Anzahl von Malen enthalten.
  • Indem eine derartige Befehlsgruppe ausgeführt wird, wird jedes der Musterdatenstücke in Reihenfolge entsprechend den Folgedaten ausgegeben, und ein vorbe stimmtes Prüfmuster wird erzeugt. Wenn beispielsweise die Folgedaten 2 ausgeführt werden, gibt die Mustererzeugungsschaltung 70 iterativ die Musterdaten B- die Musterdaten C für eine Anzahl von Malen, die durch den LOOP-Befehl bezeichnet ist, nach der Ausgabe der Musterdaten A aus.
  • Der Hauptspeicher 40 kann die den mehreren Kanalschaltungen 50 gemeinsamen Folgedaten speichern. Zusätzlich kann der Hauptspeicher 40 die Musterdaten für jede der Kanalschaltungen 50 speichern. Beispielsweise kann der Hauptspeicher 40 die Musterdaten entsprechend den mehreren Kanalschaltungen für jeden der Befehle der Folgedaten speichern. Der Hauptspeicher 40 speichert die Musterdaten entsprechend jeder der Kanalschaltungen 50 an der Bitposition, deren Adresse in 3 voneinander verschieden ist.
  • Der Musterspeicher 14 speichert die Reihenfolge der auszuführenden Folgedaten. Der Musterlistenspeicher 14 speichert eine Musterliste zum aufeinanderfolgenden Bezeichnen der Folgedaten 2 und der Folgedaten 1 in 3.
  • Der Hauptspeicher 40, der die Folgedaten und die Musterdaten speichert, ist in dem in 2 gezeigten Ausführungsbeispiel in der Kanalsteuerschaltung 10 vorgesehen. Jedoch kann bei einem anderen Ausführungsbeispiel der Hauptspeicher 40, der die Folgedaten speichert, in der Kanalsteuerschaltung 10 vorgesehen sein, und ein Speicher, der die Musterdaten für jede der Kanalschaltungen 50 speichert, kann in jeder der Kanalschaltungen 50 vorgesehen sein.
  • In diesem Fall kann der Mustercachespeicher 90 in jeder der Kanalschaltungen 50 vorgesehen sein. Dann können die Adressen, die durch die Vektorerzeugungsschaltung 80 aufeinanderfolgend bezeichnet sind, zu dem in jeder der Kanalschaltungen 50 vorgesehenen Mustercachespeicher 90 verteilt werden.
  • 4 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Mustererzeugungsschaltung 70 gemäß einem Ausführungsbeispiel zusammen mit dem Hauptspeicher 40 und der Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20. Die Vektorerzeugungsschaltung 80 enthält einen primären Cachespeicher 312, eine Dehnungsschaltung 314, einen Befehlscachespeicher 316 und eine Befehlsausführungsschaltung 318.
  • Der Hauptspeicher 40 speichert die Prüfbefehlsfolge (Folgedaten), die die Prüffolge zum Prüfen der geprüften Vorrichtung 300 definiert. Der Hauptspeicher 40 speichert die Folgedaten in einem verdichteten Format. Darüber hinaus speichert der Hauptspeicher 40 die Prüfmusterfolge (Musterdaten) enthaltend das Prüfmuster, das mit jedem in den Folgedaten enthaltenen Befehl vor der Verdichtung assoziiert ist.
  • Der primäre Cachespeicher 312, der in der Vektorerzeugungsschaltung 80 enthalten ist, speichert die Folgedaten in dem verdichteten Format. Der primäre Cachespeicher 312 ist ein Beispiel für den Musterspeicher gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel. Der Mustercachespeicher 90 speichert die Musterdaten.
  • Die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 liest die in dem Hauptspeicher 40 gespeicherten Folgedaten gemäß der Beschreibung der Musterliste und schreibt diese in den primären Cachespeicher 312. Die Mustererzeugungs-Steuerschaltung 20 liest die in dem Hauptspeicher 40 gespeicherten Musterdaten gemäß der Muster liste und schreibt diese in den Mustercachespeicher 90.
  • Die Dehnungsschaltung 314 liest die Folgedaten aus dem primären Cachespeicher 312 und schreibt diese in den Befehlscachespeicher 316. In diesem Fall dehnt die Dehnungsschaltung 314 die Folgedaten in dem verdichteten Format, die aus dem Cachespeicher 312 gelesen wurden, in die Folgedaten in dem unverdichteten Format.
  • Der Befehlscachespeicher 316 cachespeichert die Folgedaten, die aus dem primären Cachespeicher 312 gelesen und die durch die Dehnungsschaltung 314 in das unverdichtete Format gedehnt wurden. Jeder in den Folgedaten enthaltene Befehl, der in dem Befehlscachespeicher 316 cachegespeichert wird, ist mit dem Prüfmuster assoziiert, das in den in dem Mustercachespeicher 90 gespeicherten Musterdaten enthalten ist.
  • Die Befehlsausführungsschaltung 318 liest aufeinanderfolgend die in den in dem Befehlscachespeicher 316 gespeicherten Folgedaten enthaltenen Befehle und führt diese aus. Hier wird die Versetzung, die den Ort jedes Befehls anzeigt, dem in den Folgedaten enthaltenen Befehl zugewiesen. Die Befehlsausführungsschaltung 316 führt iterativ die folgende Verarbeitung durch: Ausführen des Befehls; Spezifizieren der Versetzung des als Nächstes auszuführenden Befehls, der gemäß dem ausgeführten Befehls definiert ist, Lesen des Befehls mit der spezifizierten Versetzung aus dem Befehlscachespeicher 316 und Ausführen des gelesenen Befehls. Hierdurch kann die Befehlsausführungsschaltung 318 die durch die Folgedaten definierte Prüffolge ausführen.
  • Zusätzlich wandelt beim Ausführen des Befehls die Befehlsausführungsschaltung 318 die dem Befehl zugewiesene Versetzung in eine Vektoradresse um, um das Prüfmuster entsprechend dem Befehl zu bezeichnen. Die Befehlsausführungsschaltung 318 liefert die Vektoradresse zu dem Mustercachespeicher 90 und bewirkt, dass der Mustercachespeicher 90 das Prüfmuster entsprechend dem ausgeführten Befehl ausgibt. Der Mustercachespeicher 90 liefert das Prüfmuster zu der Kanalschaltung 50. Dann erzeugt die Kanalschaltung 50 ein Prüfsignal entsprechend dem gelieferten Prüfmuster und liefert dieses zu der geprüften Vorrichtung 300. Der Mustercachespeicher 90 liefert das Prüfmuster beispielsweise zu der Wellenform-Formungsschaltung 52, der Takterzeugungsschaltung 56 und der Beurteilungsschaltung 62.
  • Zusätzlich sind Zeiteinstellinformationen (TS) zum Bezeichnen einer Einstellung von Zeitpunkten für die Ausgabe des entsprechenden Prüfmusters mit jedem in den Folgedaten enthaltenen Befehl assoziiert. Bei der Ausführung des Befehls bewirkt die Befehlsausführungsschaltung 318, dass der Mustercachespeicher 90 die mit dem Befehl assoziierten Zeiteinstellinformationen, die dem von dem Mustercachespeicher 90 ausgegebenen Prüfmuster entsprechen, zu der Ratenerzeugungsschaltung 30 und der Takterzeugungsschaltung 56 ausgibt.
  • Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel enthält die Befehlsausführungsschaltung 318 ein Versetzungsregister 330, eine Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332, eine Mustererzeugungsschaltung 334, eine Übereinstimmungssignal-Eingabeschaltung 336 und einen Stapelspeicher 340. Das Versetzungsregister 330 speichert den als Nächstes durch die Vektorerzeugungs-Steuer schaltung 332 auszuführenden Befehl und die Versetzung des entsprechenden Prüfmusters.
  • Die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 liest aufeinanderfolgend die in dem Befehlscachespeicher 316 gespeicherten Befehle und führt diese aus. Insbesondere liest die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 den Befehl mit der durch das Versetzungsregister 330 bezeichneten Versetzung aus dem Befehlscachespeicher 316 und führt diesen aus. Darüber hinaus aktualisiert die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 den Wert des Versetzungsregisters 330 gemäß dem ausgeführten Befehl. Genauer gesagt, die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 erhöht den wert des Versetzungsregisters 330 jedes Mal, wenn die Befehle aufeinanderfolgend ausgeführt werden. Zusätzlich lädt, wenn ein Sprungbefehl ausgeführt wird, die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 die Versetzung des Befehls an einer JMP-Bestimmung in das Versetzungsregister 330.
  • Hier kann die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 den Befehl lesen durch Liefern der in dem Versetzungsregister 330 gespeicherten Versetzung, die synchron mit dem Taktzyklus ist, zu dem Befehlscachespeicher 316. Zusätzlich kann, wenn die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 den Befehl asynchron mit dem Taktzyklus liest, der Befehlscachespeicher 316 die Versetzung von dem Versetzungsregister 330 empfangen, ohne durch die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 zu gehen.
  • Die Mustererzeugungsschaltung 334 gibt das Prüfmuster entsprechend der in dem Versetzungsregister 330 gespeicherten Versetzung aus. Insbesondere wandelt die Mustererzeugungsschaltung 334 die in dem Versetzungsregister 330 gespeicherte Versetzung in eine Vektor adresse um und liefert diese zu dem Mustercachespeicher 90.
  • Die Übereinstimmungssignal-Eingabeschaltung 336 nimmt ein von der Zeitvergleichsschaltung 60 ausgegebenes Übereinstimmungssignal auf, das anzeigt, dass das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 300 entsprechend dem vorbezeichneten Wert ist. Dann speichert die Übereinstimmungssignal-Eingabeschaltung 336 das aufgenommene Übereinstimmungssignal in einem Register, das durch die Vektorerzeugungssteuerschaltung 332 gelesen werden kann.
  • Beim iterativen Durchführen eines Schleifenintervalls enthaltend einen oder mehrere Befehle speichert der Stapelspeicher 340 die Anzahl von Malen der Iteration für die Durchführung des Schleifenintervalls. Hier kann der Stapelspeicher 340 mehrfache eine Anzahl von Malen für die Iteration speichern. Der Stapelspeicher 340 speichert die Anzahl von Malen für die Iteration, die zuletzt an den Kopf hiervon geschoben ist, und dann wird die jeweilige Anzahl von Malen für die Iteration aufeinanderfolgend von einer, die zuletzt geschoben wurde, herausgeworfen.
  • 5 zeigt ein Beispiel für Folgedaten (Prüfbefehlsfolge) vor der Verdichtung. Beispielsweise können die Folgedaten vor der Verdichtung einen NOP(keine Operation)-Befehl, einen Sprungbefehl (JMP-Befehl), einen Iterationsbefehl (IDXI-Befehl) und einen Austrittsbefehl (EXIT-Befehl) enthalten.
  • Der NOP-Befehl ist ein Befehl, der die Prüffolge nicht ändert und auch nicht expliziert den Registerwert in dem Prüfgerät 200 ändert. Bei der Ausführung des NOP-Befehls spezifiziert die Befehlsausführungs schaltung 318 den Befehl, dem die auf den NOP-Befehl folgende Versetzung zugewiesen ist, als den als Nächstes auszuführenden Befehl.
  • Wenn keine Daten der bezeichneten Bedingung entsprechen (oder entsprechend dieser), bewirkt der JMP-Befehl, dass der vor dem JMP-Befehl ausgeführte Befehl als der als Nächstes auszuführende Befehl bezeichnet wird. Hierdurch kann die Befehlsausführungsschaltung 318 die Verarbeitung wieder zu dem ausgeführten Befehl zurückführen, um eine Wiederholung von dem ausgeführten Befehl bis zu dem JMP-Befehl durchzuführen. Wenn Daten der bezeichneten Bedingung entsprechen (oder dieser nicht entsprechen), bewirkt der JMP-Befehl, dass der Befehl, dem die dem JMP-Befehl folgende Versetzung zugewiesen ist, als der als Nächstes auszuführende Befehl zu bezeichnen ist. Hierdurch kann die Befehlsausführungsschaltung 318 aus der Schleifenverarbeitung heraustreten und zu der Verarbeitung des folgenden Befehls weitergehen.
  • Der IDXI-Befehl ist ein Befehl zum iterativen Ausgeben der entsprechenden Musterdaten für die bezeichnete Anzahl von Malen. Bei der Ausführung des IDXI-Befehls verschiebt die Befehlsausführungsschaltung 318 die Verarbeitung nicht zu dem folgenden Befehl, bis der bezeichnete Zyklus seit der Ausführung des IDXI-Befehls gezählt ist. Dann bezeichnet die Befehlsausführungsschaltung 318, nachdem der bezeichnete Zyklus während der Ausführung des IDXI-Befehls verstrichen ist, den Befehl, dem die dem IDXI-Befehl folgende Versetzung zugewiesen ist, als den als nächstes auszuführenden Befehl.
  • Der EXIT-Befehl ist ein Befehl zum Verlassen der Ausführung der Folgedaten. Bei der Ausführung des EXIT- Befehls bezeichnet die Befehlsausführungsschaltung 318 den als Nächstes auszuführenden Befehl nicht und verlässt die Ausführung der Folgedaten. Dann verschiebt die Befehlsausführungsschaltung 318 die Verarbeitung zu den anderen Folgedaten, die als Nächstes auszuführen sind.
  • 6 zeigt ein Beispiel für die Folgedaten vor der Verdichtung, die Folgedaten in dem verdichteten Format durch Löschen des NOP-Befehls und die durch Dehnen der Folgedaten erhaltenen Folgedaten. Der Hauptspeicher 40 und der primäre Cachespeicher 312 speichern die verdichteten Folgedaten. Die verdichteten Folgedaten, die eine geringe Datenmenge als die der Folgedaten mit allen Befehlen zum Definieren der Prüffolge haben, werden beschrieben.
  • Der Hauptspeicher 40 und der primäre Cachespeicher 312 können die Folgedaten in dem verdichteten Format beispielsweise durch Verdichten einer vorbestimmten Art von Befehl speichern. Die vorbestimmte Art von Befehl kann beispielsweise der NOP-Befehl sein. Der Hauptspeicher 40 und der primäre Cachespeicher 312 können beispielsweise jeden in den Folgedaten enthaltenen Befehl in dem verdichteten Format durch Löschen des NOP-Befehls speichern, so dass der Befehl, der nicht für die Verdichtung einbezogen wird, gespeichert wird. D. h., der Hauptspeicher 40 und der primäre Cachespeicher 312 können die Folgedaten enthaltend den DXI-Befehl, den JMP-Befehl und den EXIT-Befehl mit Ausnahme des NOP-Befehls enthalten.
  • Darüber hinaus speichern der Hauptspeicher 40 und der primäre Cachespeicher 312 die Versetzung des Prüfmusters entsprechend jedem Befehl, der nicht für die Verdichtung herangezogen wird. D. h., der Hauptspei cher 40 und der primäre Cachespeicher 312 speichern die Versetzung entsprechend jedem Befehl, der nicht für die Verdichtung herangezogen wird, mit Ausnahme des NOP-Befehls, wo jedem Befehl in einem unverdichteten Zustand die Versetzung zugewiesen wurde.
  • Die Dehnungsschaltung 314 dehnt die aus dem primären Cachespeicher 312 gelesenen Folgedaten in Daten in einem unverdichteten Format. Wenn die Folgedaten in dem primären Cachespeicher 312 in dem verdichteten Format durch Verdichten einer vorbestimmten Art von Befehl gespeichert sind, dehnt die Dehnungsschaltung 314 die verdichtete vorbestimmte Art von Befehl in den aus dem primären Cachespeicher 312 gelesenen Folgedaten in Daten in dem unverdichteten Format und schreibt diese in den Befehlscachespeicher 316.
  • Wenn beispielsweise die Folgedaten in dem primären Cachespeicher 312 in dem verdichteten Format durch Löschen des NOP-Befehls gespeichert sind, stellt die Dehnungsschaltung 314 den NOP-Befehl wieder her und schreibt die Folgedaten in dem unverdichteten Format enthaltend den NOP-Befehl in den Befehlscachespeicher 316. Insbesondere stellt, wenn der Versetzung des ersten Befehls der aus dem primären Cachespeicher 312 gelesenen Folgedaten nicht die Versetzung des gespeicherten zweiten Befehls folgende dem ersten Befehl in dem primären Cachespeicher 312 folgt, die Dehnungsschaltung 314 den NOP-Befehl entsprechend jeder Versetzung von einem folgend dem ersten Befehl bis zu einem dem zweiten Befehl vorhergehenden wieder her.
  • Beispielsweise sind alle Befehle vor dem vierten Befehl NOP-Befehle, und alle Befehle zwischen dem IDXI-Befehl mit der fünften Versetzung und dem JMP-Befehl mit der neunten Versetzung sind NOP-Befehle, wie in 6 gezeigt ist.
  • D. h., die in dem Hauptspeicher 40 und dem primären Cachespeicher 312 gespeicherten Folgedaten enthalten den IDXI-Befehl mit der vierten Versetzung und den JMP-Befehl mit der neunten Versetzung und enthalten nicht die NOP-Befehle mit der ersten bis vierten Versetzung und der sechsten bis achten Versetzung.
  • In diesem Fall stellt die Dehnungsschaltung 314 die NOP-Befehle mit der ersten bis vierten Versetzung und die NOP-Befehle mit der fünften bis neunten Versetzung wieder her. Hierdurch kann die Dehnungsschaltung 314 die Folgedaten in dem verdichteten Format in die Folgedaten in dem unverdichteten Format, die durch die Befehlsausführungsschaltung 318 ausgeführt werden können, umwandeln.
  • Wie vorstehend beschrieben ist, kann die Mustererzeugungsschaltung 70 die Folgedaten mit der Datenmenge gemäß dem verdichteten Format in dem Hauptspeicher 40 und dem primären Cachespeicher 312 speichern. Hierdurch kann die Mustererzeugungsschaltung 70 die Kapazität jeweils des Hauptspeichers 40 und de primären Cachespeichers 312 verringern.
  • Hier setzt bei der Wiederherstellung des gelöschten NOP-Befehls die Dehnungsschaltung 314 den NOP-Befehl für den ENOP-Befehl ein, der denselben Inhalt wie der NOP-Befehl hat, und schreibt diesen in den Befehlscachespeicher 316 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ein.
  • Zusätzlich setzt bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel beim Lesen des IDXI-Befehls aus dem primären Cachespeicher 312 die Dehnungsschaltung 314 den IDXI- Befehl für den EIDXI-befehl ein, der denselben Inhalt wie der IDXI-Befehl hat, zu dem Befehlscachespeicher 316. Darüber hinaus setzt bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel beim Lesen des JMP-Befehls aus dem primären Cachespeicher 312 die Dehnungsschaltung 314 den JMP-Befehl für den EJMP-Befehl mit demselben Inhalt wie dem des JMP-Befehls zu dem Befehlscachespeicher 316 ein.
  • 7 zeigt ein Beispiel für Folgedaten enthaltend einen Übereinstimmungssteuerbefehl (JFF-Befehl). Die Folgedaten können vor der Verdichtung zumindest einen kontinuierlichen NOP-Befehl (aufeinanderfolgendes Ausführen des Intervalls) und den Übereinstimmungssteuerbefehl (JFF-Befehl) folgend dem aufeinanderfolgend ausführenden Intervall enthalten, wie in 7-A gezeigt ist.
  • Der JFF-Befehl führt einen Sprung der Steuerung zu dem NOP-Befehl an dem Kopf des aufeinanderfolgend ausführenden Intervalls durch, vorausgesetzt, dass das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 300 nicht einem vorbezeichneten Wert entspricht, bei der Ausführung jedes NOP-Befehls, der in dem aufeinanderfolgend ausführenden Intervall enthalten ist, und des JFF-Befehls (jeder Befehl in dem Schleifenintervall). Zusätzlich verschiebt der JFF-Befehl die Steuerung zu der Versetzung folgend dem JFF-Befehl bei der Ausführung jedes Befehls, vorausgesetzt, dass das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 300 einem vorbestimmten Wert entspricht, bei der Ausführung jedes in dem Schleifenintervall enthaltenen NOP-Befehls.
  • Beispielsweise kann der JFF-Befehl zu dem NOP-Befehl am Kopf des Schleifenintervalls springen, vorausgesetzt, dass die Übereinstimmungssignal-Eingabeschal tung 336 nicht irgendein Übereinstimmungssignal bei der Ausführung jedes Befehls in dem Schleifenintervall aufnimmt. Zusätzlich kann der JFF-Befehl beispielsweise die Steuerung zu dem Befehl folgend dem JFF-Befehl verschieben, vorausgesetzt, dass die Übereinstimmungssignal-Eingabeschaltung 336 das Übereinstimmungssignal bei der Ausführung jedes Befehls in dem Schleifenintervall aufnimmt. Ein derartiger JFF-Befehl kann die Ausführung der Prüfung in dem Schleifenintervall in einem Wartezustand halten, bis ein vorbestimmtes Ausgangssignal von der geprüften Vorrichtung 300 ausgegeben wird, und die Prüfung wieder aufnehmen, vorausgesetzt, dass das vorbestimmte Ausgangssignal von der geprüften Vorrichtung 300 ausgegeben wird.
  • Hier enthält der JFF-Befehl den Wert zum Bezeichnen des Befehls an dem Sprungbestimmungsort (jeder Befehl in dem Schleifenintervall) als einen Operanden. Der Operand des in den verdichteten Folgedaten enthaltenen JFF-Befehls wird angezeigt durch die Differenz zwischen der Versetzung des JFF-Befehls und der des Befehls an dem Sprungbestimmungsort (des NOP-Befehls am Kopf des Schleifenintervalls). D. h., der Operand des JFF-Befehls wird durch die Versetzung des Befehls an dem Sprungbestimmungsort (des NOP-Befehls an dem Kopf des Schleifenintervalls) relativ zu dem JFF-Befehl angezeigt.
  • Beim Lesen des JFF-Befehls aus dem primären Cachespeicher 312 setzt die Dehnungsschaltung 314 den JFF-Befehl für einen Vorwärtssprungbefehl (EMTAIL-Befehl) ein und bewirkt, dass der Befehlscachespeicher 316 diesen cachespeichert, wie in 7-C gezeigt ist. Der EMTAIL-Befehl führt einen Sprung der Steuerung zu dem Befehl am Kopf des Schleifenintervalls durch, vo rausgesetzt, dass das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 300 nicht einem vorbezeichneten Wert bei der Ausführung des EMTAIL-Befehls entspricht. Zusätzlich verschiebt der EMTAIL-Befehl die Steuerung zu dem Befehl mit der Versetzung folgend dem EMTAIL, vorausgesetzt, dass das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 300 dem vorbezeichneten Wert der geprüften Vorrichtung 300 bei der Ausführung des EMTAIL-Befehls entspricht.
  • Der EMTAIL-Befehl enthält den Wert zum Bezeichnen des Befehls an dem Sprungbestimmungsort (des Befehls am Kopf des Schleifenintervalls) als einen Operanden. Der Operand des in den unverdichteten Folgedaten enthaltenen EMTAIL-Befehls wird durch die absolute Versetzung des Befehls an dem Sprungbestimmungsort (des Befehls an dem Kopf des Schleifenintervalls) angezeigt. D. h., der Operand des EMTAIL-Befehls wird durch den absoluten Ort des Befehls an dem Sprungbestimmungsort (des Befehls an dem Kopf des Schleifenintervalls) in den Folgedaten angezeigt. Somit wandelt die Dehnungsschaltung 314 die relative Versetzung an dem Sprungbestimmungsort für den aus dem primären Cachespeicher 312 gelesenen JFF-Befehl in die absolute Versetzung um und bewirkt, dass der Befehlscachespeicher 316 diese cachespeichert.
  • Dann lädt die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 die durch den Operanden des EMTAIL-Befehls bezeichnete absolute Versetzung in das Versetzungsregister 330, vorausgesetzt, dass das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 300 nicht einem vorbezeichneten Wert bei der Ausführung des EMTAIL-Befehls entspricht. Hierdurch kann die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 in dem Versetzungsregister 330 die Versetzung des Befehls an dem Kopf des Schleifeninter valls speichern, so dass die Steuerung zu dem Befehl an dem Kopf des Schleifenintervalls zurückgeführt werden kann.
  • Darüber hinaus erhöht die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 den Wert des Versetzungsregisters 330, vorausgesetzt, dass das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 300 einem vorbezeichneten Wert bei der Ausführung des EMTAIL-Befehls entspricht. Hierdurch kann die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 die Versetzung des Befehls folgend dem EMTAIL-Befehl in dem Versetzungsregister 330 speichern, so dass die Steuerung zu dem Befehl folgend dem EMTAIL-Befehl zurückgeführt werden kann.
  • Beim Lesen des JFF-Befehls aus dem primären Cachespeicher 312 dehnt die Dehnungsschaltung 314 jeden NOP-Befehl, der dem JFF-Befehl vorausgeht, der in dem aufeinanderfolgend ausgeführten Intervall enthalten ist. In diesem Fall setzt die Dehnungsschaltung 314 jeden in dem aufeinanderfolgend ausgeführten Intervall enthaltenen NOP-Befehl für den Rückwärts-Sprungsbefehl (EMBODY-Befehl) ein und bewirkt, dass der Befehlscachespeicher 316 diesen cachespeichert, wie in 7C gezeigt ist. Der EMBODY-Befehl führt einen Sprung der Steuerung zu dem Befehl folgend dem EMTAIL-Befehl durch, vorausgesetzt, dass das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 300 einem vorbezeichneten Wert bei der Ausführung des EMBODY-Befehls entspricht. Zusätzlich verschiebt der EMBODY-Befehl zu dem dem EMBODY-Befehl folgenden Befehl, vorausgesetzt, dass das Ausgangssignal nicht einem vorbezeichneten Wert bei der Ausführung des EMBODY-Befehls entspricht.
  • Der EMBODY-Befehl ist ein Beispiel für einen Befehl, der bewirkt, dass die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 identifiziert, dass der EMBODY-Befehl in der den JFF-Befehl enthaltenden Schleife ist. Zusätzlich enthält der EMBODY-Befehl den Wer zum Bezeichnen des Befehls an dem Sprungbestimmungsort (des Befehls folgend dem EMTAIL-Befehl) als einem Operanden. Der Operand des in den unverdichteten Folgedaten enthaltenen EMBODY-Befehls wird durch die absolute Versetzung des Befehls an dem Sprungbestimmungsort (des Befehls folgend dem EMTAIL-Befehl) angezeigt.
  • Die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 erhöht den Wert des Versetzungsregisters 330, vorausgesetzt, dass das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 300 nicht einem vorbezeichneten Wert bei der Ausführung des EMBODY-Befehls entspricht. Hierdurch kann die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 aufeinanderfolgend die Versetzung des Befehls folgend jedem EMBODY-Befehl in dem Versetzungsregister 330 speichern, so dass jeder Befehl in dem aufeinanderfolgend ausgeführten Intervall aufeinanderfolgend ausgeführt werden kann.
  • Darüber hinaus lädt die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 die durch den Operanden des EMBODY-Befehls bezeichnete absolute Versetzung in das Versetzungsregister 330, vorausgesetzt, dass das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 300 einem vorbezeichneten Wert bei der Ausführung des EMBODY-Befehls entspricht. Hierdurch kann die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 die Versetzung des Befehls folgend dem EMTAIL-Befehl in dem Versetzungsregister 330 speichern, so dass ein Sprung der Steuerung zu dem dem EMTAIL-Befehl folgenden Befehl durchgeführt werden kann.
  • Wie vorstehend beschrieben ist, ist der EMTAIL-Befehl in den unverdichteten Folgedaten enthalten, so dass die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 iterativ jeden Befehl von dem Befehl am Kopf des Schleifenintervalls bis zum EMTAIL-Befehl ausführen kann, bis das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 300 einem vorbezeichneten Wert entspricht. Darüber hinaus ist auch der EMBODY-Befehl in den unverdichteten Folgedaten enthalten, so dass die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 aufeinanderfolgend jeden Befehl in dem aufeinanderfolgend ausgeführten Intervall ausführen kann, bis das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 300 einem vorbezeichneten Wert entspricht.
  • Hier hat die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 innerhalb eines Taktzyklus eine Verarbeitungsreihe auszuführen, die enthält: Lesen eines Befehls aus dem Befehlscachespeicher 316; Ausführen des Befehls; und Erzeugen der Versetzung für den folgenden Befehl, um ein Prüfmuster für jeden Taktzyklus zu erzeugen. Zusätzlich ist bevorzugt, dass die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 ein Prüfmuster mit einem kürzeren Taktzyklus erzeugen kann. Wenn jedoch der Befehl an dem Sprungbestimmungsort durch die absolute Versetzung bezeichnet wird, muss die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 die absolute Versetzung von der Versetzung eines Sprungbefehls bei der Ausführung des Sprungbefehls subtrahieren, um die Versetzung für den Befehl an dem Sprungbestimmungsort zu erzeugen.
  • Die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 führt den EMTAIL-Befehl und den EMBODY-Befehl mit jeweils der absoluten Versetzung für den Befehl an dem Sprungbestimmungsort als einen Operanden bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel aus. Daher kann die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 den Operandenwert direkt in das Versetzungsregister 330 bei der Ausführung des EMTAIL-Befehls und des EMBODY-Befehls laden, um die Sprungverarbeitung ohne die Subtraktionsverarbeitung durchzuführen. Hierdurch kann die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 die Verarbeitung bei der Ausführung des Sprungbefehls verringern und ein Prüfmuster mit einem kürzeren Taktzyklus erzeugen.
  • Darüber hinaus setzt die Dehnungsschaltung 314 jeden NOP-Befehl in dem aufeinanderfolgend ausgeführten Intervall für den EMBODY-Befehl bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ein. Hierdurch kann die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 die Sprungverarbeitung nicht nur an dem Ende des Schleifenintervalls, sondern auch in der Mitte des Schleifenintervalls durchführen, so dass die Ansprechzeit von dem Zeitpunkt, zu dem das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 300 einem vorbezeichneten Wert entspricht, bis zum Wiederstarten der Prüfung verkürzt werden kann. Zusätzlich können jeweils der JFF-Befehl und der EMTAIL-Befehl eine unendliche Schleife bilden, bei der die Anzahl von Malen des Schleifendurchlaufs nicht definiert ist, oder eine endliche Schleife, bei der die Anzahl von Malen des Schleifendurchlaufs vorher definiert ist.
  • Darüber hinaus kann der Sprungbefehl zu sich selbst oder zu dem vorhergehenden Befehl springen, vorausgesetzt, dass das Ausgangssignal nicht dem vorbezeichneten Wert entspricht. Wenn der JFF-Befehl zu sich selbst springt (d. h., der Operand ist 0), setzt die Dehnungsschaltung 314 den JFF-Befehl für den EMTAIL-Befehl ein und bewirkt, dass der Befehlscachespeicher 316 diesen cachespeichert, aber bewirkt nicht, dass der Befehlscachespeicher 316 den EMBODY-Befehl cachespeichert.
  • Dann lädt die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 den Operanden (0) des EMTAIL-Befehls in das Versetzungsregister 330, vorausgesetzt, dass das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung 300 einem vorbezeichneten Wert bei der Ausführung des EMTAIL-Befehls entspricht. Hierdurch kann die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 die Verarbeitung bei der Ausführung des Sprungbefehls verringern.
  • 8 zeigt ein Beispiel für Folgedaten enthaltend einen Befehl zum Bezeichnen der Anzahl von Malen (STI-Befehl) und einen Schleifensprungbefehl (JNI-Befehl). Die Folgedaten vor der Verdichtung können einen Befehl zum Bezeichnen der Anzahl von Malen (STI-Befehl) und einen Schleifensprung-Befehl (JNI-Befehl) enthalten, wie beispielsweise in 8-A gezeigt ist.
  • Der STI-Befehl bezeichnet die Anzahl von Malen der Iteration zum wiederholten Durchführen des Schleifenintervalls enthaltend einen oder mehrere Befehle. Insbesondere bezeichnet der STI-Befehl die Anzahl von Malen der Iteration des durch den JNI-Befehl gebildeten Schleifenintervalls. Der STI-Befehl enthält die Anzahl von Malen der Iteration beispielsweise als einen Operanden. Der STI-Befehl befindet sich vor dem Schleifenintervall in den Folgedaten.
  • Der JNI-Befehl befindet sich an dem Ende des einen oder mehr Befehle enthaltenden Schleifenintervalls. Hier kann das Schleifenintervall nur einen JNI-Befehl enthalten. In diesem Fall sind der Kopf und das Ende des Schleifenintervalls dasselbe. Der JNI-Befehl führt einen Sprung der Steuerung zu dem Befehl am Kopf des Schleifenintervalls durch, vorausgesetzt, dass die Anzahl von Malen der Ausführung des Schleifenintervalls nicht die Anzahl von Malen der Iteration, die durch den letzten STI-Befehl bezeichnet ist, erreicht. Zusätzlich verschiebt der JNI-Befehl die Steuerung zu dem dem JNI-Befehl folgenden Befehl, vorausgesetzt, dass die Anzahl von Malen der Ausführung des Schleifenintervalls die Anzahl von Malen der Iteration, die durch den letzten STI-Befehl bezeichnet ist, erreicht.
  • Hier enthält der JNI-Befehl den Wert zum Bezeichnen des Befehls an dem Sprungbestimmungsort (dem Kopf des Befehls in dem Schleifenintervall) als einen Operanden, wie in 8-B gezeigt ist. Wenn das Schleifenintervall nur einen JNI-Befehl enthält, enthält der JNI-Befehl den Wert zum Bezeichnen selbst als den Operanden. Der Operand für den JNI-Befehl, der in den verdichteten Folgedaten enthalten ist, wird durch die Differenz zwischen der Versetzung für den JIN-Befehl und der für den Befehl an dem Sprungbestimmungsort (Befehl am Kopf des Schleifenintervalls) angezeigt. D. h., der Operand für den JNI-Befehl wird durch die Versetzung relativ zu dem Befehl an dem Sprungbestimmungsort (Befehl am Kopf des Schleifenintervalls) angezeigt.
  • Beim Lesen des STI-Befehls aus dem primären Cachespeicher 312 setzt die Dehnungsschaltung 314 den STI-Befehl für den ESTI-Befehl ein, der ein Befehl zum Bezeichnen der Anzahl von Malen ist, und der derselbe wie der STI-Befehl ist und bewirkt, dass der Befehlscachespeicher 316 diesen cachespeichert. Zusätzlich setzt beim Lesen des JNI-Befehls die Dehnungsschaltung 314 den JNI-Befehl für den EJNI-Befehl ein und bewirkt, dass der Befehlscachespeicher 316 diesen cachespeichert. Der EJNI-Befehl führt den Sprung der Steuerung zu dem Befehl an dem Kopf des Schleifenintervalls durch, vorausgesetzt, dass die Anzahl von Malen der Ausführung des Schleifenintervalls nicht die Anzahl von Malen der Iteration, die durch den letzten ESTI-Befehl bezeichnet ist, erreicht. Zusätzlich verschiebt der EJNI-Befehl die Steuerung zu dem Befehl folgend dem EJNI-Befehl, vorausgesetzt, dass die Anzahl von Malen der Durchführung des Schleifenintervalls die Anzahl der Iteration, die durch den letzten ESTI-Befehl bezeichnet ist, erreicht.
  • Der EJNI-Befehl den Wert zum Bezeichnen des Befehls an dem Sprungbestimmungsort (Befehl an dem Klopf des Schleifenintervalls) als einen Operanden. Der Operand für den in den unverdichteten Folgedaten enthaltenen ESTI-Befehl wird bezeichnet durch die absolute Versetzung für den Befehl an dem Sprungbestimmungsort (Befehl an den Kopf des Schleifenintervalls. Daher wandelt die Dehnungsschaltung 314 die relative Versetzung an dem Sprungbestimmungsort des aus dem primären Cachespeicher 312 gelesenen JNI-Befehls in die absolute Versetzung um und bewirkt, dass der Befehlcachespeicher 316 diese cachespeichert. Hierdurch kann die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 die Sprungverarbeitung nur durch direkten Laden des Operandenwerts in das Versetzungsregister 330 bei der Ausführung des EJNI-Befehls durchführen.
  • Die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 schiebt in dem Stapelspeicher 340 die Anzahl von Malen der Iteration, die durch den ESTI-Befehl bezeichnet ist, bei der Ausführung des ESTI-Befehls. Hierdurch kann der Stapelspeicher 340 die Anzahl von Malen der Iteration, die durch den ESTI-Befehl bezeichnet ist, an dem Kopf hiervon speichern.
  • Die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 verringert die Anzahl von Malen der Iteration, die an dem Kopf des Stapelspeichers 340 aufgezeichnet ist, vorausgesetzt, dass die an dem Kopf des Stapelspeichers 340 aufgezeichnete Anzahl von Malen der Iteration nicht 0 ist, bei der Ausführung des EJNI-Befehls. In diesem Fall lädt die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 die absolute Versetzung, die durch den Operanden des EJNI-Befehls bezeichnet ist, in das Versetzungsregister 330. Hierdurch kann die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 die Verarbeitung zu dem Kopf des Schleifenintervalls zurückführen. Zusätzlich wirft die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 die Anzahl von Malen der Iteration aus dem Stapelspeicher 340, vorausgesetzt, dass die Anzahl von Malen der Iteration an dem Kopf des Stapelspeichers 340 gleich 0 ist, und schiebt die Steuerung zu dem folgenden Befehl. Hierdurch kann die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 die Steuerung zu dem folgenden Befehl in dem Schleifenintervall als Antwort darauf, dass das Schleifenintervall für die bezeichnete Anzahl von Malen der Iteration durchgeführt wurde, schieben.
  • 9 zeigt ein Beispiel für einen Brechbefehl (BRK-Befehl) enthaltende Folgedaten. Beispielsweise können die Folgedaten vor der Verdichtung einen Brechbefehl (BRK-Befehl) in dem durch den JNI-Befehl gebildeten Schleifenintervall enthalten, wie in 9-A gezeigt ist.
  • Der BRK-Befehl gibt die Anweisung, die Schleife durch den JNI-Befehl zu beenden. Insbesondere bewirkt der BRK-Befehl den Austritt aus der Verarbeitung innerhalb des Schleifenintervalls und schiebt die Steuerung zu dem dem JNI-Befehl folgenden Befehl bei der Ausführung des dem BRK-Befehl folgenden JNI-Befehls.
  • Beim Lesen des BRK-Befehls aus dem primären Cachespeicher 312 setzt die Dehnungsschaltung 314 den BRK-Befehl für den EBRK-Befehl ein, der derselbe Brechbefehl wie der BRK-Befehl ist, und bewirkt, dass der Befehlscachespeicher 316 diesen cachespeichert. Die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 steuert die Anzahl von Malen der Iteration, die an dem Kopf des Stapelspeichers 340 aufgezeichnet ist, bei der Ausführung des EBRK-Befehls auf 0. Dann führt die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 nach der Ausführung jedes Befehls nach dem EBRK-Befehl (d. h., jedes Befehls von dem EBRK-Befehl bis zu dem EJNI-Befehl) den dem EJNI-Befehl folgenden Befehl aus. Hierdurch kann die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 die Schleife zwangsweise beenden ungeachtet der durch den STI-Befehl bezeichneten Anzahl von Malen der Iteration.
  • 10 zeigt ein Beispiel für die Folgedaten enthaltend einen Iterationsbefehl (IDXI-Befehl). Beispielsweise können die Folgedaten vor der Verdichtung den IDXI-Befehl enthalten, wie in 10-A gezeigt ist.
  • Beim Lesen des IDXI-Befehls aus dem primären Cachespeicher 312 setzt die Dehnungsschaltung 314 den IDXI-Befehl für den NOP-Befehl ein und bewirkt, dass der Befehlscachespeicher 316 diesen cachespeichert, als Antwort auf die Erfassung, dass die Anzahl von Malen der Iteration, die durch den IDXI-Befehl bezeichnet ist, einmal ist. Die Dehnungsschaltung 314 setzt den IDXI-Befehl zum Bezeichnen einer einmaligen Iteration für den ENOP-Befehl ein und bewirkt, dass der Befehlscachespeicher 316 diesen cachespeichert.
  • Hier hat, wenn der IDXI-Befehl ausgeführt wird, die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung die Verarbeitung in nerhalb eines Taktzyklus auszuführen, die enthält: Lesen der gegenwärtigen Anzahl von Malen der Iteration aus dem Register; Bestimmen, ob die gelesene Anzahl von Malen der Iteration gleich 0 ist; und Verringern des Registers, vorausgesetzt, dass die gelesene Anzahl von Malen der Iteration nicht gleich 0 ist. Zusätzlich hat die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 eine Verarbeitung des Ladens der bezeichneten Anzahl von Malen der Iteration in das Register vor der vorbeschriebenen Verarbeitung bei der Ausführung des ersten Zyklus des IDXI-Befehls durchzuführen.
  • Es wird sichergestellt, dass die Anzahl von Malen der Iteration, die durch den IDXI-Befehl bezeichnet ist, bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel gleich oder größer als 2 ist. Daher braucht die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 nur den Ladevorgang durchzuführen, ohne den Lese-, Bestimmungs- und Verringerungsvorgang bei der Ausführung des ersten Zyklus des IDXI-Befehls durchzuführen. Daher kann die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 die Anzahl der in dem ersten Zyklus des IDXI-Befehls auszuführenden Verarbeitungsschritte herabsetzen. Hierdurch kann die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung 332 die Verarbeitung bei der Ausführung des IDXI-Befehls reduzieren und ein Prüfmuster innerhalb eines kürzeren Taktzyklus erzeugen.
  • 11 zeigt ein Beispiel für eine elektronische Vorrichtung 400 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Die elektronische Vorrichtung 400 enthält eine geprüfte Schaltung 410, eine Prüfschaltung 420, einen Eingabe-/Ausgabestift 430 und einen BIST-Stift 440. Die geprüfte Schaltung 410 kann eine Schaltung sein, die arbeitet, wenn die elektro nische Vorrichtung 400 tatsächlich arbeitet. Die geprüfte Schaltung 410 arbeitet gemäß einem von dem Eingabe-/Ausgabestift 430 gelieferten Signal, wenn die elektronische Vorrichtung tatsächlich arbeitet.
  • Beispielsweise kann für den Fall, dass die elektronische Vorrichtung 400 eine Speichervorrichtung ist, die geprüfte Schaltung 410 eine Schaltung enthaltend eine Speicherzelle der elektronischen Vorrichtung 400 sein. Beispielsweise kann die geprüfte Schaltung 410 eine Speicherzelle und eine Steuerschaltung, die die Speicherzelle steuert, sein. Die Steuerschaltung kann eine Schaltung sein, die das Schreiben von Daten in die Speicherzelle und das Lesen von Daten aus der Speicherzelle steuert.
  • Die Prüfschaltung 420 ist auf einem Halbleiterchip vorgesehen, auf dem die geprüfte Schaltung 410 ebenfalls vorgesehen ist, und prüft die geprüfte Schaltung 410. Die Prüfschaltung 420 kann dieselbe Konfiguration wie diejenige des mit Bezug auf 1 bis 9 beschriebenen Prüfmoduls 100 haben. Zusätzlich kann die Prüfschaltung 410 einen Teil der Konfiguration des Prüfmoduls 100 haben. Darüber hinaus kann die Prüfschaltung 420 eine Schaltung sein, die einen Teil der Funktion des Prüfmoduls 100 durchführt. Beispielsweise benötigt die Prüfschaltung 420 nicht notwendigerweise den Ergebnisspeicher 16. Dann können die Ratenerzeugungsschaltung 30 und die Takterzeugungsschaltung 56 der Prüfschaltung 420 durch einen Einstellwert der festen Zeiteinstellung arbeiten.
  • Darüber hinaus kann die Prüfschaltung 420 die geprüfte Schaltung 410 prüfen, wenn ein Signal, das anzeigt, dass eine Selbstprüfung der geprüften Schaltung 410 durchgeführt wird, von einem externen Prüf gerät über den BIST-Stift 440 geliefert wird. Es ist bevorzugt, dass der BIST-Stift 440 nicht verwendet wird, wenn die elektronische Vorrichtung 400 tatsächlich arbeitet. Dann kann die Prüfschaltung 420 das Prüfergebnis der geprüften Schaltung 410 von dem BIST-Stift 440 zu dem externen Prüfgerät ausgeben.
  • Das externe Prüfgerät kann ebenso gut wie die vorstehend mit Bezug auf 1 beschriebene Stationssteuervorrichtung 130 arbeiten. D. h., das Prüfsteuerprogramm, die Prüfprogrammdaten und die Prüfmusterdaten usw. können zu der Prüfschaltung 420 geliefert werden, um die Prüfschaltung 420 sowie das Prüfmodul 100, das vorstehend mit Bezug auf 110 beschrieben wurde, zu betreiben.
  • Während die Erfindung im Wege von Ausführungsbeispielen beschrieben wurde, ist darauf hinzuweisen, dass der Fachmann viele Änderungen und Substitutionen durchführen kann, ohne den Geist und den Bereich der Erfindung zu verlassen. Es ist aus der Definition der angefügten Ansprüche ersichtlich, dass die Ausführungsbeispiele mit derartigen Modifikationen auch zu dem Bereich der Erfindung gehören.
  • Zusammenfassung:
  • Es ist ein Prüfgerät, das eine geprüfte Vorrichtung prüft, vorgesehen. Das Prüfgerät enthält: einen Musterspeicher, der eine Prüfbefehlsfolge, um eine Prüffolge zum Prüfen der geprüften Vorrichtung zu definieren, in einem verdichteten Format speichert; eine Dehnungsschaltung, die die aus dem Musterspeicher gelesene Prüfbefehlsfolge in ein unverdichtetes Format dehnt; einen Befehlscachespeicher, der die durch die Dehnungsschaltung gedehnte Prüfbefehlsfolge cachespeichert; eine Mustererzeugungsschaltung, die aufeinanderfolgend in dem Befehlscachespeicher gespeicherte Befehle liest und die Befehle ausführt, um ein Prüfmuster für den ausgeführten Befehl zu erzeugen; und eine Signalausgabeschaltung, die ein Prüfsignal auf der Grundlage des Prüfmusters erzeugt und das Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung liefert.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - JP 2000-206210 [0003]

Claims (12)

  1. Prüfgerät, das eine geprüfte Vorrichtung prüft, welches Prüfgerät aufweist: einen Musterspeicher, der eine Prüfbefehlsfolge, die eine Prüffolge zum Prüfen der geprüften Vorrichtung definiert, in einem verdichteten Format speichert; eine Dehnungsschaltung, die die aus dem Musterspeicher gelesene Prüfbefehlsfolge in eine in dem unverdichteten Format dehnt; einen Befehlscachespeicher, der die durch die Dehnungsschaltung gedehnte Prüfbefehlsfolge cachespeichert; eine Mustererzeugungsschaltung, die aufeinanderfolgend in dem Befehlscachespeicher gespeicherte Befehle liest und die Befehle ausführt, um ein Prüfmuster für den ausgeführten Befehl zu erzeugen; und eine Signalausgabeschaltung, die ein Prüfsignal auf der Grundlage des Prüfmusters erzeugt und das Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung liefert.
  2. Prüfgerät nach Anspruch 1, bei dem der Musterspeicher in dem verdichteten Format, das eine vorbestimmte Art von Befehl in der Prüfbefehlsfolge verdichtet, speichert, und die Dehnungsschaltung die verdichtete vorbestimmte Art von Befehl in der aus dem Musterspeicher gelesenen Prüfbefehlsfolge in einen Befehl in dem unverdichteten Format dehnt und den gedehnten Befehl in den Befehlscachespeicher schreibt.
  3. Prüfgerät nach Anspruch 2, bei dem die vorbestimmte Art von Befehl einen NOP(keine Operation)-Befehl enthält, der die Prüffolge nicht ändert und auch nicht explizit einen Registerwert in dem Prüfgerät ändert.
  4. Prüfgerät nach Anspruch 3, bei dem der Musterspeicher weiterhin ein Prüfmuster zum Prüfen der geprüften Vorrichtung speichert, jeden in der Prüfbefehlsfolge enthaltenen Befehl, der nicht für die Verdichtung in dem nicht den NOP-Befehl enthaltenden verdichtenden Format herangezogen wird, speichert und eine Versetzung des Prüfmusters entsprechend jedem Befehl, der nicht für die Verdichtung herangezogen wird, speichert, und die Dehnungsschaltung einen NOP-Befehl entsprechend jeder Versetzung anhand der einem ersten Befehl folgenden Versetzung bis zu der einem zweiten Befehl vorhergehenden Versetzung wieder herstellt, wenn die Versetzung für den ersten Befehl in der aus dem Musterspeicher gelesenen Prüfbefehlsfolge nicht bis zu der Versetzung für den zweiten Befehl, der dem ersten Befehl folgend gespeichert ist, fortgesetzt wird.
  5. Prüfgerät nach Anspruch 4, bei dem die Mustererzeugungsschaltung enthält: eine Vektorerzeugungs-Steuerschaltung, die aufeinanderfolgend die in dem Befehlscachespeicher gespeicherten Befehle liest und die Befehle ausführt, um den Wert eines Versetzungsregisters, das den ausgeführten Befehl und die Versetzung für das entsprechende Prüfmuster speichert, zu aktualisieren; und einen Mustergenerator, der das Prüfmuster entsprechend der in dem Versetzungsregister der Vektorerzeugungs-Steuerschaltung gespeicherten Versetzung ausgibt, wobei die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung die Versetzung jedes Mal erhöht, wenn jeder Befehl aufeinanderfolgend ausgeführt wird, und die Versetzung für den Sprungbestimmungsort in das Versetzungsregister lädt, wenn ein Sprungbefehl ausgeführt wird.
  6. Prüfgerät nach Anspruch 5, bei dem die Prüfbefehlsfolge zumindest einen NOP-Befehl und einen Übereinstimmungssteuerbefehl folgend dem zumindest einen NOP-Befehl enthält, der zu einem Kopf des zumindest einen NOP-Befehls springt, vorausgesetzt, dass ein Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung nicht einem vorbezeichneten Wert bei der Ausführung des zumindest einen NOP-Befehls entspricht, und die Dehnungsschaltung, wenn der Übereinstimmungssteuerbefehl aus dem Musterspeicher gelesen wird, den zumindest einen NOP-Befehl, der dem Übereinstimmungssteuerbefehl vorhergeht, dehnt und bewirkt, dass der Befehlscachespeicher den gedehnten Befehl als einen Befehl cachespeichert, wodurch die Mustererzeugungsschaltung identifizieren kann, dass der Befehl innerhalb einer Schleife enthaltend den Übereinstimmungssteuerbefehl ist.
  7. Prüfgerät nach Anspruch 6, bei dem die Dehnungsschaltung bewirkt, dass der Befehlscachespeicher jeden Befehl innerhalb der Schleife enthaltend den Übereinstimmungssteuerbefehl, mit dem die Versetzung des dem Übereinstimmungs steuerbefehl folgenden Befehls assoziiert ist, cachespeichert, und die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung zu dem Befehl folgend dem Übereinstimmungssteuerbefehl springt durch Laden der mit dem NOP-Befehl assoziierten Versetzung in das Versetzungsregister, vorausgesetzt, dass das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung dem vorbezeichneten Wert bei der Ausführung des Befehls innerhalb der den Übereinstimmungssteuerbefehl enthaltenden Schleife entspricht.
  8. Prüfgerät nach Anspruch 5, bei dem die Prüfbefehlsfolge einen Übereinstimmungssteuerbefehl enthält, der zu sich selbst oder dem vorhergehenden Befehl springt, vorausgesetzt, dass ein Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung nicht dem vorbezeichneten Wert entspricht, die Dehnungsschaltung eine relative Versetzung an dem Sprungbestimmungsort für den aus dem Musterspeicher gelesenen Übereinstimmungssteuerbefehl in eine absolute Versetzung umwandelt und bewirkt, dass der Befehlscachespeicher die absolute Versetzung cachespeichert, und die Mustererzeugungsschaltung die absolute Versetzung in das Versetzungsregister lädt, vorausgesetzt, dass ein Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung nicht dem vorbezeichneten Wert bei der Ausführung des Übereinstimmungssteuerbefehls entspricht.
  9. Prüfgerät nach Anspruch 5, bei dem die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung die Anzahl von malen der Iteration, die durch einen Befehl zum Bezeichnen der Anzahl von Malen bezeichnet ist, bei der Ausführung des Befehls zum Bezeichnen der Anzahl von Malen der wiederholten Aus führung eines Schleifenintervalls enthaltend einen oder mehr Befehle in einen Stapelspeicher schiebt, die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung die Anzahl von Malen der Iteration, die an einem Kopf des Stapelspeichers aufgezeichnet ist, verringert, vorausgesetzt, dass die an dem Kopf des Stapelspeichers aufgezeichnete Anzahl von Malen nicht gleich 0 ist, bei der Ausführung eines Schleifensprungbefehls an einem Ende des Schleifenintervalls, zu dem Kopf des Schleifenintervalls springt und die Anzahl von Malen der Iteration aus dem Stapelspeicher herauswirft, um die Steuerung zu dem folgenden Befehl zu schieben, vorausgesetzt, dass die an dem Kopf des Stapels aufgezeichnete Anzahl von Malen der Iteration gleich 0 ist, und die Vektorerzeugungs-Steuerschaltung die Anzahl von Malen der Iteration an dem Kopf des Stapels auf 0 steuert in einem Fall, dass ein Brechbefehl die Beendigung in einer Mitte des Schleifenintervalls anweist, und den Befehl folgend dem Schleifensprungbefehl nach jedem dem Brechbefehl nachfolgenden Befehl innerhalb des Schleifenintervalls ausführt.
  10. Prüfgerät nach Anspruch 4, bei dem die Dehnungsschaltung einen Iterationsbefehl für den NOP-Befehl einsetzt und bewirkt, dass der Befehlscachespeicher den NOP-Befehl cachespeichert, als Antwort auf die Erfassung, dass die Anzahl von Malen der Iteration einmal ist, in einem Fall, dass der durch die bezeichnete Anzahl von Malen der Iteration ausgeführte Iterationsbefehl aus dem Musterspeicher gelesen wird.
  11. Elektronische Vorrichtung, die eine geprüfte Schaltung und eine Prüfschaltung, die die geprüfte Schaltung prüft, aufweist, wobei die Prüfschaltung enthält: einen Musterspeicher, der eine Prüfbefehlsfolge speichert, die eine Prüffolge zum Prüfen der geprüften Schaltung in einem verdichteten Format definiert; eine Dehnungsschaltung, die die aus dem Musterspeicher gelesene Prüfbefehlsfolge in eine in dem unverdichteten Format dehnt; einen Befehlscachespeicher, der die durch die Dehnungsschaltung gedehnte Prüfbefehlsfolge cachespeichert; eine Mustererzeugungsschaltung, die aufeinanderfolgend in dem Befehlscachespeicher gespeicherte Befehle liest und die Befehle ausführt, um ein Prüfmuster für den ausgeführten Befehl zu erzeugen; und eine Signalausgabeschaltung, die ein Prüfsignal auf der Grundlage des Prüfmusters erzeugt und das Prüfsignal zu der geprüften Schaltung liefert.
  12. Prüfverfahren zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welches aufwest: Speichern einer Prüfbefehlsfolge, die eine Prüffolge zum Prüfen der geprüften Vorrichtung in einem verdichteten Format definiert; Dehnen der aus einem Musterspeicher gelesenen Prüfbefehlsfolge in eine in einem unverdichteten Format; Cachespeichern der gedehnten Prüfbefehlsfolge; aufeinanderfolgendes Lesen von gespeicherten Befehlen und Ausführen der Befehle, um ein Prüfmuster für den ausgeführten Befehl zu erzeugen; und Erzeugen eines Prüfsignals auf der Grundlage des Prüfmusters und Liefern des Prüfsignals zu der geprüften Vorrichtung.
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