DE10297654T5

DE10297654T5 - Halteeinsatz und Handhabungsvorrichtung mit einem solchen Halteeinsatz für elektronische Bauelemente

Info

Publication number: DE10297654T5
Application number: DE10297654T
Authority: DE
Inventors: Noboru Saito
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2002-03-06
Filing date: 2002-03-06
Publication date: 2005-01-05
Anticipated expiration: 2022-03-07
Also published as: US7232328B2; US20060270265A1; CN1610832A; KR100769105B1; AU2002236231A1; US20050202716A1; WO2003075024A1; KR20040086849A; US7156680B2; CN100365422C; JPWO2003075024A1; DE10297654B4; JP3711283B2

Abstract

Führungskern (18) zur lösbaren Anbringung an einen Einsatzkörper (17), mit
einem Stützbereich (181), der in der Lage ist, eine äußere Anschlußfläche (23) eines elektronischen Bauelements (2) in Flächenarray-Bauweise so abzustützen, daß externe Kontakte (22) des Bauelements in Richtung auf Anschlußklemmen (44) eines Sockels (40) frei liegen, und
einer Hakenaufnahme (185), die in der Lage ist, lösbar mit einem an dem Einsatzkörper (17) ausgebildeten Hakenbereich (172a) in Eingriff zu treten.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Halter (Halteeinsatz) für elektronische Bauelemente, der in der Lage ist, ein zu prüfendes elektronisches Bauelement zu halten, während mit Hilfe eines Prüfgerätes eine Prüfung an dem elektronischen Bauelement vorgenommen wird, sowie eine Handhabungsvorrichtung für elektronische Bauelemente, die einen solchen Halteeinsatz aufweist.
STAND DER TECHNIK
Bei der Herstellung von Halbleiterelementen und dergleichen wird zur Prüfung der Leistung und Funktionen von integrierten Bauelementen (ICs) und anderen elektronischen Bauelementen ein Prüfgerät benötigt. Als ein Beispiel für ein Prüfgerät für elektronische Bauelemente als solches ist ein Prüfgerät bekannt, das eine Handhabungsvorrichtung für die elektronischen Bauelemente, eine Kontaktiervorrichtung für die elektronischen Bauelemente und ein Haupt-Prüfgerät aufweist.
Als ein Beispiel für die Handhabungsvorrichtung für elektronische Bauelemente ist eine Handhabungsvorrichtung für ICs bekannt, die als "Handler" bezeichnet wird und dazu dient, verschiedene Temperaturbeanspruchungen wie etwa eine niedrige Temperatur und eine hohe Temperatur auf ein zu prüfendes IC einwirken zu lassen, das Bauelement auf einem Sockel zu montieren und dann das zu prüfende IC in Übereinstimmung mit dem Prüfergebnis zu klassifizieren und abzulegen. Als ein Beispiel für die Kontaktiervorrichtung für elektronische Bauelemente ist eine Kontaktiervorrichtung für ICs bekannt, die dazu dient, ein zu prüfendes IC über einen Sockel und einen Prüfkopf mit einen Haupt-Prüfgerät in (elektrischen) Kontakt zu bringen.
Eine Prüfung eines ICs mit Hilfe des Handlers wird z. B. wie folgt ausgeführt. Das zu prüfende IC wird, nachdem es über einen Prüfkopf zugeführt wurde, der einen IC-Sockel aufweist, durch einen Stöße1 niedergedrückt, so daß es auf den IC-Sockel geladen wird. Dadurch werden Anschlußklemmen des IC-Sockels mit externen Kontak ten des zu prüfenden ICs in Berührung gebracht, und das zu prüfende IC wird über den IC-Sockel und den Prüfkopf elektrisch an das Haupt-Prüfgerät angeschlossen. Dann wird ein Prüfsignal, das dem Prüfkopf über ein Kabel vom Haupt-Prüfgerät hinzugeführt wird, an das zu prüfende IC-Bauelement (Prüfling) angelegt, und ein vom Prüfling gelesenes Antwortsignal wird durch den Prüfkopf an das Haupt-Prüfgerät übermittelt, so daß die elektrischen Eigenschaften des Prüflings gemessen werden.
Bei der Prüfung von ICs mit Hilfe eines Handlers sind die Prüflinge auf einem Tablar gehalten, das in das Innere des Handlers transportiert wird, und, nachdem die Prüfung abgeschlossen ist, werden die ICs in Übereinstimmung mit den jeweiligen Prüfergebnissen auf nach Kategorien getrennte Tablare umgeladen. Wenn der Typ eines Tablars, das dazu dient, die ICs vor und nach der Prüfung aufzunehmen (im folgenden auch als "Kundentablar" bezeichnet) von dem Typ eines Tablars verschieden ist, das im Inneren des Handlers umläuft (im folgenden auch als "Prüftablar" bezeichnet), werden die ICs vor und nach der Prüfung zwischen dem Kundentablar und dem Prüftablar umgeladen.
Auf dem Prüftablar sind mehrere Halter für elektronische Bauelemente angeordnet, die als Halteeinsätze bezeichnet werden, und die Prüflinge sind in den Halteeinsätzen auf dem Prüftablar gehalten und werden zum Prüfkopf transportiert und gegen den Prüfkopf angedrückt, während sie in den Halteeinsätzen gehalten sind. Durch Verwendung eines Prüftablars mit einer Vielzahl von Halteeinsätzen kann eine grolle Anzahl von ICs gleichzeitig gemessen werden.
Es gibt verschiedene Konfigurationen der Halteeinsätze entsprechend Gehäusetypen und dergleichen der Prüflinge. Wie z. B. in 19 gezeigt ist, ist an einem Einsatzkörper 17 des Halteeinsatzes 16 für elektronische Bauelemente vom Flächenarray-Typ, etwa ICs des Typs BGA, ein Führungsbereich 171a zum Führen des Prüflings 2 zu einem Führungskern 18 ausgebildet. Der Prüfling 2 wird durch den Führungsbereich 171a so geführt, daß er im Führungskern 18 gehalten wird. Am unteren Ende des Führungskerns 18 ist eine Öffnung 182 ausgebildet, so daß externe Kontakte 22 des Prüflings 2 zu Anschlußklemmen eines Sockels hin frei liegen. Eine äußere Kontaktfläche des Prüflings 2 (eine der äußeren Oberflächen des Gehäuses des Prüflings 2, auf der die externen Kontakte 22 angeordnet sind) liegt auf einem Rand der Öffnung 182 auf.
Der Halteeinsatz 16 ist außerdem mit einem Verriegelungsmechanismus versehen (wie z. B. in der ungeprüften japanischen Patentveröffentlichung Nr. 2001-33518 beschrieben wird), der verhindern soll, daß der auf dem Führungskern 18 gehaltene Prüfling 2 herausspringt und sich in seiner Position verlagert. Der Verriegelungsmechanismus weist einen Riegel 175 auf, bei dem an einem Ende ein Verriegelungsbereich 175b ausgebildet ist, mit dem Arme 175d und 175e verbunden sind, und der Arm 175d hat einen Abstützpunkt 175a. Der Arm 175b hat ein durchgehendes Loch 175f als Drehzentrum, und der Riegel 175 ist dadurch schwenkbar am Einsatzkörper 17 gehalten, daß ein Stift in das Loch 175f eingesteckt ist. Wenn bei dem Verriegelungsmechanismus eine äußere Kraft auf dem Abstützpunkt 175a wirkt, wenn eine Hebelplatte 19 sich dem Einsatzkörper 17 annähert, bewegt sich der Verriegelungsbereich 175b in eine Position (Schließstellung), in der er verhindert, daß der Prüfling 2 herausspringt oder sich verlagert, indem er auf einer oberen Oberfläche des Prüflings 2 aufliegt, der auf dem Führungskern 18 gehalten ist, wie in 19(a) gezeigt ist. Wenn die äußere Kraft auf den Abstützpunkt 175a aufgehoben wird, wenn sich die Hebelplatte 19 vom Einsatzkörper 17 entfernt, hebt sich der Verriegelungsbereich 175d von der oberen Oberfläche des auf den Führungskern gehaltenen Prüflings 2 ab und bewegt sich in eine Position (Öffnungstellung), in der er das Einlegen und Entnehmen des Prüflings 2 ermöglicht.
DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
Bei dem in 19 gezeigten Halteeinsatz 16 sind der Einsatzkörper 17 und der Führungskern 18 in einem Stück ausgebildet, und der Führungskern 18 kann nicht ausgewechselt werden. Die Größe eines Prüflings, der in dem Halteeinsatz 16 gehalten werden kann, ist durch die Konfiguration des Führungskerns 18 bestimmt, so daß die Größe des ICs, das in dem Halteeinsatz 16 gehalten werden kann, begrenzt ist, weil sich der Führungskern 18 nicht auswechseln läßt. Deshalb muß für jede Größe der ICs ein anderer Halteeinsatz 16 bereitgehalten werden. Da jedoch die Konfiguration des Halteeinsatzes 16 abgesehen von dem Führungskern 18 im wesentlichen die gleiche ist, unabhängig von der Größe des ICs, ist es ineffizient, unterschiedliche Halteeinsätze für jede Größe der ICs bereitzustellen.
In dem Fall, daß der Halteeinsatz 16 ICs unterschiedlicher Größe halten kann, wird außerdem ein Verriegelungsmechanismus benötigt, der in der Lage ist, die verschiedenen Größen der ICs zu handhaben, d. h., ein Verriegelungsmechanismus, bei dem der Verriegelungsbereich 175b einen großen Öffnungsweg hat (Weg bei der Bewegung zwischen der Öffnungstellung und der Schließstellung). Der Öffnungsweg des Verriegelungsbereichs 175b kann dadurch vergrößert werden, daß der Schwenkwinkel des Riegels 175 vergrößert wird. Da jedoch bei dem in 19 gezeigten Riegel 175 der Abstützpunkt 175a, auf den die Hebelplatte 19 einwirkt, an dem Arm 175d ausgebildet ist, wirkt die Hebelplatte 19, die dem Einsatzkörper 17 angenähert wird, nicht nur auf den Abstützpunkt 175a, sondern sie gerät auch in den Bewegungsbereich der Arme 175d und 175e und begrenzt so die Drehung der Arme 175d und 175e. Wenn die Drehung der Arme 175d und 175e begrenzt ist, so ist auch die Drehung des Verriegelungsbereichs 175b begrenzt, und der Schwenkwinkel des Verriegelungsbereichs 175b kann nicht vergrößert werden.
Deshalb ist es eine erste Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Führungskern zu schaffen, der lösbar am Einsatzkörper angebracht werden kann.
Eine zweite Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Einsatzkörper zu schaffen, an dem der Führungskern lösbar angebracht werden kann.
Weiterhin ist es eine dritte Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Einsatzkörper mit einem Verriegelungsmechanismus zu schaffen, der in der Lage ist, verschiedene Größen von ICs zu handhaben, wobei ein Führungskern lösbar angebracht werden kann und der Verriegelungsbereich einen großen Öffnungsweg hat.
Weiterhin ist es eine vierte Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Halteeinsatz mit dem obigen Führungskern und dem obigen Einsatzkörper sowie eine Handhabungsvorrichtung für elektronische Bauelemente mit diesem Halteeinsatz zu schaffen.
Zur Lösung dieser Aufgaben haben ein Führungskern, ein Einsatzkörper, ein Halteeinsatz und eine Handhabungsvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß der vorliegenden Erfindung die folgenden Merkmale.
(1) Ein Führungskern gemäß der vorliegenden Erfindung, der in der Lage ist, lösbar an einem Einsatzkörper angebracht zu werden, umfaßt einen Stützbereich, der in der Lage ist, eine äußere Kontaktfläche eines elektronischen Bauelements vom Flächenarray-Typ so zu halten, daß externe Kontakte des Flächenarray-Bauelements in Richtung auf Anschlußklemmen eines Sockels frei liegen, und eine Hakenaufnah me, die in der Lage ist, mit einem an dem Einsatzkörper ausgebildeten Hakenbereich lösbar in Eingriff zu treten.
In der vorliegenden Erfindung bedeutet "Halteeinsatz" einen Halter für elektronische Bauelemente, der in der Lage ist, ein zu prüfendes elektronisches Bauelement zu halten, während an diesem Bauelement mit einem Prüfgerät eine Prüfung vorgenommen wird, "Einsatzkörper" bedeutet ein Bauteil des Halteeinsatzes, an dem ein Führungskern angebracht werden kann und das in der Lage ist, das zu prüfende elektronische Bauelement zu dem an Einsatzkörper angebrachten Führungskern zu leiten, und "Führungskern" bedeutet ein Bauteil des Halteeinsatzes, das in der Lage ist, ein zu prüfendes elektronisches Bauelement so abzustützen, daß durch ein Prüfgerät eine Prüfung an dem elektronischen Bauelement vorgenommen werden kann. Es ist jedoch zu bemerken, daß die obigen Definitionen der Begriffe "Halteeinsatz", "Einsatzkörper" und "Führungskern" nicht die Funktionen des Halteeinsatzes, des Einsatzkörpers und des Führungskerns beschränken sollen.
Ein Führungskern gemäß der vorliegenden Erfindung wird an einem Einsatzkörper angebracht, und ein zu prüfendes elektronisches Bauelement wird durch den Einsatzkörper zu dem Führungskern geleitet, der an dem Einsatzkörper angebracht ist. Weiterhin wird das zu prüfende elektronische Bauelement durch einen Abstützbereich des Führungskerns so abgestützt, daß die externen Kontakte in Richtung auf Anschlußklemmen eines Sockels frei liegen. Infolge dessen können die externen Kontakte des zu prüfenden elektronischen Bauelements an die Anschlußklemmen des Sockels angeschlossen werden, um eine Prüfung an dem elektronischen Bauelement in einem Zustand vorzunehmen, in dem das elektronische Bauelement durch den Führungskern abgestützt ist.
Ein elektronisches Bauelement als ein Objekt des Führungskerns gemäß der vorliegenden Erfindung ist ein elektronisches Bauelement vom Flächenarray-Typ. Unter einem "elektronischen Bauelement vom Flächenarray-Typ" ist hier ein elektronisches Bauelement zu verstehen, bei dem externe Kontakte (z. B. in Matrixform) an einer äußeren Oberfläche eines Gehäuses des Bauelements angeordnet sind, und die Art des Bauelements ist nicht weiter beschränkt, und als repräsentative Beispiele können integrierte Bauelemente der Typen BGA (Ball Grid Array; Kugelgitter), LGA (Land Grid Array; Plateaugitter), PGA (Pin Grid Array; Stiftgitter), und CSP (Chip Size Package; Chipgehäuse), etc. genannt werden. Auch die Form der externen Kontakte des Flächenarray-Bauelements ist nicht besonders beschränkt, und als Beispiel kön nen externe Kontakte in der Form von Kugeln, Plateaus, Stiften und dergleichen genannt werden. Weiterhin bedeutet die "äußere Kontaktfläche eines Flächenarray-Bauelements" eine von mehreren äußeren Oberflächen eines Gehäuses des Flächenarray-Bauelements, auf der die externen Kontakte angeordnet sind.
Die Konfiguration des Abstützbereichs eines Führungskerns gemäß der vorliegenden Erfindung ist nicht besonders beschränkt, sofern die äußere Kontaktfläche eines Flächenarray-Bauelements so abgestützt werden kann, daß die externen Kontakte des Bauelements zu den Anschlußklemmen eines Sockels hin frei liegen. Als ein Beispiel für eine solche Konfiguration kann die Konfiguration genannt werden, die eine Öffnung aufweist, die die externen Kontakte des Flächenarray-Bauelements in Richtung auf die Anschlußklemmen eines Sockels frei läßt und bei der die äußere Kontaktfläche des Bauelements durch einen Rand der Öffnung abgestützt wird.
Die Konfiguration der Hakenaufnahme an dem Führungskern gemäß der vorliegenden Erfindung ist nicht besonders beschränkt, soweit sie in der Lage ist, mit dem Hakenbereich an dem Einsatzkörper in Eingriff zu treten, so daß der Führungskern lösbar am Einsatzkörper befestigt wird. Auch die Position und Anzahl der Hakenaufnahmen sind nicht besonders beschränkt, sofern der Führungskern durch einen Eingriff des Hakenbereichs in die Hakenaufnahme an dem Einsatzkörper gehalten werden kann. Zum Beispiel kann der Führungskern der vorliegenden Erfindung dadurch in einem stabilen Zustand an dem Einsatzkörper angebracht werden, daß in einander entgegengesetzten Positionen am Rand des Abstützbereichs wenigstens eine Hakenaufnahme vorgesehen wird.
Der Führungskern gemäß der vorliegenden Erfindung wird dadurch am Einsatzkörper befestigt, daß der Hakenbereich des Einsatzkörpers in die Hakenaufnahme des Führungskerns eingreift, und er wird dadurch vom Einsatzkörper gelöst, daß der Eingriff des Hakenbereichs des Einsatzkörpers in die Hakenaufnahme des Führungskerns gelöst wird. Durch Verwendung des Führungskerns gemäß der vorliegenden Erfindung kann somit ein Halteeinsatz hergestellt werden, bei dem der Führungskern auswechselbar ist. Weiterhin können in einem Halteeinsatz, bei dem der Führungskern gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet wird, unterschiedliche Größen von elektronischen Bauelementen gehalten werden, indem einfach der Führungskern ausgewechselt wird.
(2) In einer vorteilhaften Ausführungsform des Führungskerns, der oben unter (1) beschrieben wurde, hat der Führungskern ein Einsteckloch, in das der Hakenbereich eingeführt werden kann, und die Hakenaufnahme kann mit dem Hakenbereich in Eingriff treten, der in das Einsteckloch eingeführt ist.
Das Einsteckloch an dem Führungskern gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist in seiner Form, Konfiguration, Größe und Position usw. nicht besonders beschränkt, sofern der am Einsatzkörper vorgesehene Hakenbereich eingeführt und in Übereinstimmung mit der Form, Konfiguration, Größe, Position und dergleichen des Hakenbereichs am Einsatzkörper geeignet gestaltet werden kann. Das Einsteckloch für den Hakenbereich kann z. B. ein konkaver Bereich oder ein durchgehendes Loch sein. Zum Beispiel kann wenigstens ein Einsteckloch in gegenüberliegenden Positionen an einem Flansch vorgesehen sein, der um den Abstützbereich herum angeordnet ist.
In dem Führungskern gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Position der Hakenaufnahme nicht besonders beschränkt, sofern die Hakenaufnahme mit dem in das Einsteckloch eingeführten Hakenbereich in Eingriff treten kann. Die Hakenaufnahme kann z. B. in der Nähe eines Auslasses des Einsteckloches vorgesehen sein, so daß sie mit einer inneren Oberfläche des Einsteckloches für den Haken verbunden ist.
Da bei dem Führungskern gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Hakenaufnahme so angeordnet ist, daß sie mit dem in das Einsteckloch eingeführten Hakenbereich in Eingriff treten kann, kann der Führungskern eng an dem Einsatzkörper angebracht werden. Infolgedessen kann ein elektronisches Bauelement von dem Einsatzkörper sicher zu dem Führungskern geleitet werden.
(3) In einer vorteilhaften Ausführungsform des oben unter (1) oder (2) beschriebenen Führungskerns kann der Führungskern ein Paßloch für einen Führungsschaft aufweisen, der den Führungskern mit dem Sockel ausrichten kann.
Bei dem Führungskern gemäß der vorliegenden Ausführungsform kann eine korrekte Positionierung des Führungskerns in Bezug auf den Sockel dadurch erreicht werden, daß der auf der Seite des Sockels (z. B. an einer Sockelführung) vorgesehene Führungsschaft in das Paßloch eingepaßt wird. Infolgedessen wird ein zu prüfendes Bauelement, das sich auf dem Führungskern abstützt, präzise mit dem Sockel aus gerichtet, und die externen Kontakte des Bauelements können mit den Anschlußklemmen des Sockels verbunden werden.
(4) Der Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Erfindung ist ein Einsatzkörper, der in einer lösbaren Weise mit dem in Abschnitt (1), (2) oder (3) beschriebenen Führungskern verbunden werden kann, mit einem Führungsbereich für das elektronische Bauelement, der einen Befestigungssockel aufweist, an dem der Führungskern angebracht ist, und einem Einlaß für das elektronische Bauelement, das so mit dem Befestigungssockel für den Führungskern verbunden ist, daß ein elektronisches Bauelement zu dem am Befestigungssockel angebrachten Führungskern geleitet werden kann, sowie mit einem Hakenbereich, der in der Lage ist, in einer lösbaren Weise mit einer an dem Führungskern vorgesehenen Hakenaufnahme in Eingriff zu treten.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Erfindung umfaßt der Führungsbereich für das elektronische Bauelement einen Befestigungssockel für den Führungskern und einen Einlaß für das elektronische Bauelement. Der Befestigungssockel und der Einlaß sind so miteinander verbunden, daß ein durch den Einlaß eintretendes elektronisches Bauelement zu dem Führungskern geleitet werden kann, der an dem Befestigungssockel angebracht ist.
Der Führungskern ist an dem Befestigungssockel des Einsatzkörpers gemäß der vorliegenden Erfindung angebracht, und ein zu prüfendes elektronisches Bauelement, das durch den Führungsbereich des Einsatzkörpers geführt wird, wird zu dem Führungskern geleitet, der an dem Befestigungssockel angebracht ist. Dann wird das zu prüfende elektronische Bauelement einer Prüfung mit einem Prüfgerät unterzogen, während des auf den Führungskern abgesetzt ist. Nach der Prüfung wird das elektronische Bauelement durch den Einlaß aus dem Einsatzkörper entnommen, wobei es durch den Führungsbereich geführt wird.
Die Konfiguration des Hakenbereichs des Einsatzkörpers gemäß der vorliegenden Erfindung ist nicht besonders beschränkt, sofern der Hakenbereich in der Lage ist, lösbar mit der am Führungskern vorgesehenen Hakenaufnahme in Eingriff zu treten, so daß der Führungskern lösbar am Einsatzkörper angebracht werden kann. Auch die Position und Anzahl der Hakenbereiche kann in Übereinstimmung mit der Position und Anzahl der Hakenaufnahmen am Führungskern geeignet bestimmt werden.
An dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Erfindung ist der Führungskern dadurch befestigt, daß der Hakenbereich des Einsatzkörpers in die Hakenaufnahme des Führungskerns eingreift, und der Führungskern wird dadurch vom Einsatzkörper gelöst, daß der Eingriff des Hakenbereichs des Einsatzkörpers in die Hakenaufnahme des Führungskerns aufgehoben wird. Die Verwendung des Einsatzkörpers gemäß der vorliegenden Erfindung kann somit ein Halteeinsatz hergestellt werden, der einen auswechselbaren Führungskern aufweist. Ein Halteeinsatz, bei dem der Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet wird, ist in der Lage, verschiedene Größen von zu prüfenden elektronischen Bauelementen aufzunehmen, indem einfach der Führungskern ausgewechselt wird.
(5) In einer vorteilhaften Ausführungsform des Einsatzkörpers, der oben unter (4) beschrieben wurde, kann der Hakenbereich in das an dem Führungskern vorgesehene Einsteckloch eingeführt werden und in den Zustand, in dem er in das Einsteckloch eingeführt ist, mit der Hakenaufnahme in Eingriff gebracht werden.
Die Form, Konfiguration, Größe, Position und dergleichen des Hakenbereichs an dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Erfindung sind nicht besonders beschränkt, sofern der Hakenbereich in der Lage ist, in ein Einsteckloch des Führungskerns eingeführt zu werden und in dem Zustand, in dem er in das Einsteckloch eingeführt ist, in die Hakenaufnahme einzugreifen, und sie können geeignet bestimmt werden in Übereinstimmung mit der Form, Konfiguration, Größe, Position und dergleichen des Einsteckloches und der Hakenaufnahme am Führungskern.
Da bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Erfindung der Hakenbereich so ausgebildet ist, daß er in einem Zustand, in dem er in das Einsteckloch eingeführt ist, in die Hakenaufnahme eingreifen kann, kann der Führungskern eng an dem Einsatzkörper angebracht werden. Folglich kann ein elektronisches Bauelement sicher von dem Einsatzkörper zu dem Führungskern geleitet werden.
Wenn die Hakenaufnahme in der Nähe eines Auslasses des Einsteckloches angeordnet ist, greift der Hakenbereich in einigen Fällen in einen Zustand in die Hakenaufnahme ein, in dem er aus dem Auslaß des Einsteckloches herausragt. Auch dieser Fall ist von der Bedingung umfaßt, daß der Hakenbereich "in einem Zustand, in dem er in das Einsteckloch eingeführt ist, in die Hakenaufnahme eingreift", sofern der Hakenbereich in einem Zustand in die Hakenaufnahme eingreift, in dem er durch einen Einlaß des Einsteckloches eingeführt ist.
(6) In einer vorteilhaften Ausführungsform des Einsatzkörpers, der oben unter (4) oder (5) beschrieben wurde, kann sich der Hakenbereich in der Richtung zum Eingriff mit der Hakenaufnahme bewegen.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Erfindung kann der Führungskern dadurch am Einsatzkörper befestigt werden, daß der Hakenbereich in der Richtung für den Eingriff mit der Hakenaufnahme bewegt wird, und der Führungskern kann dadurch vom Einsatzkörper gelöst werden, daß der Hakenbereich in der entgegengesetzten Richtung bewegt wird (in der Richtung zum Lösen des Eingriffs mit der Hakenaufnahme), so daß das Befestigen des Führungskerns an und das Lösen des Führungskerns vom Einsatzkörper (Auswechseln) einfach durchgeführt werden kann.
(7) In einer vorteilhaften Ausführungsform des oben unter (6) beschriebenen Einsatzkörpers kann sich der Hakenbereich auf einer Drehachse drehen.
Da sich bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform der Hakenbereich auf einer konstanten Umlaufbahn um die Drehachse dreht, kann der Hakenbereich einfach und sicher in der Richtung für den Eingriff mit der Hakenaufnahme und in der entgegengesetzten Richtung (der Richtung zum Lösen des Eingriffs mit der Hakenaufnahme) bewegt werden. Infolgedessen läßt sich die Befestigung des Führungskerns an dem Einsatzkörper und das Lösen des Führungskerns von dem Einsatzkörper (Auswechseln) einfach durchführen.
(8) In einer vorteilhaften Ausführungsform des oben unter (6) oder (7) beschriebenen Einsatzkörpers ist der Hakenbereich durch ein elastisches Element in der Richtung für den Eingriff mit der Hakenaufnahme vorgespannt.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind die Art des elastischen Elements und die Position, in der das elastische Element angeordnet ist, und dergleichen nicht besonders beschränkt, sofern das elastische Element den Hakenbereich in der Richtung für den Eingriff in die Hakenaufnahme vorspannen kann. Als elastisches Element kann eine Feder, z. B. eine Torsionsfeder verwendet werden.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird ein fester Eingriff des Hakenbereichs in die Hakenaufnahme durch die vorspannende Kraft des elastischen Elements erreicht, und der Führungskern kann in einem stabilen Zustand am Einsatzkörper angebracht werden.
(9) In einer vorteilhaften Ausführungsform des oben unter (8) beschriebenen Einsatzkörpers weist der Einsatzkörper einen Anschlag zur Begrenzung der Drehbewegung des Hakenbereichs in der Richtung zum Eingriff in die Hakenaufnahme auf.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform kann der Hakenbereich auch in einem Zustand, in dem der Führungskern nicht angebracht ist, an einem Anschlag gehalten werden.
Wenn bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform der Hakenbereich und die Hakenaufnahme in Eingriff gebracht werden, läßt man eine äußere Kraft auf den am Anschlag gehaltenen Hakenbereich wirken, um den Hakenbereich in der Richtung zum Lösen des Eingriffs mit der Hakenaufnahme zu bewegen oder zu drehen, dann wird der Führungskern auf den Befestigungssockel des Einsatzkörpers zu bewegt, und die äußere Kraft wird aufgehoben. Der von der äußeren Kraft befreite Hakenbereich bewegt sich oder dreht sich aufgrund der Kraft des elastischen Elements in der Richtung für den Eingriff mit der Hakenaufnahme und greift in die Hakenaufnahme ein. Dabei kommt der Hakenbereich mit der Hakenaufnahme in dem Stadium in Eingriff, bevor die Bewegung oder Drehung in der Richtung für den Eingriff in die Hakenaufnahme durch den Anschlag begrenzt wird, oder er greift in einem Zustand in die Hakenaufnahme ein, in dem die Bewegung oder Drehung in der Richtung für den Eingriff in die Hakenaufnahme durch den Anschlag begrenzt wird.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Konfiguration des Anschlagbereichs nicht besonders beschränkt, sofern er in der Lage ist, die Bewegung oder Drehung des Hakenbereichs zu begrenzen. Auch die Position des Anschlags ist nicht besonders beschränkt, sofern sie den Eingriff des Hakenbereichs in die Hakenaufnahme nicht behindert.
(10) In einer bevorzugten Ausführungsform des oben unter (9) beschriebenen Einsatzkörpers weist der Einsatzkörper eine Spannaufnahme auf, die mit dem Hakenbereich verbunden ist und den Hakenbereich in der Richtung zum Lösen des Eingriffs mit der Hakenaufnahme bewegen oder drehen kann, indem sie durch einen Druck von einer Spannvorrichtung beaufschlagt wird.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind die Form, Konfiguration und dergleichen der Spannaufnahme nicht besonders beschränkt, sofern der Hakenbereich dadurch in der Richtung zum Lösen des Eingriffs mit der Hakenaufnahme bewegt oder gedreht werden kann, daß er durch einen Druck von der Spannvorrichtung beaufschlagt wird. Auch die Form, Konfiguration und dergleichen der Spannvorrichtung sind nicht besonders beschränkt, sofern die Spannvorrichtung in der Lage ist, auf die Spannaufnahme zu drücken. Zum Beispiel kann eine Spannvorrichtung verwendet werden, die einen Schaft zur Druckausübung auf die Spannaufnahme aufweist.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Spannaufnahme mit dem Hakenbereich verbunden, und sie kann sich zusammen mit dem Hakenbereich bewegen oder drehen, und wenn von der Spannvorrichtung eine Andruckkraft auf die Spannaufnahme ausgeübt wird, bewegt sich oder dreht sich der Hakenbereich in der Richtung zum Lösen des Eingriffs mit der Hakenaufnahme. Wenn danach die Andruckkraft der Spannvorrichtung ausbleibt, bewegt sich oder dreht sich der Hakenbereich aufgrund der vorspannenden Kraft des elastischen Elements in der Richtung zum Eingriff mit der Hakenaufnahme. Somit kann bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Befestigung des Führungskerns an dem Einsatzkörper und das Lösen des Führungskerns von dem Einsatzkörper (Auswechseln) mit Hilfe der Spannvorrichtung einfach vorgenommen werden.
(11) In einer bevorzugten Ausführungsform des oben unter (10) beschriebenen Einsatzkörpers weist der Einsatzkörper ein Einsteckloch auf, in das die Spannvorrichtung eingeführt werden kann, und die in das Einsteckloch eingeführte Spannvorrichtung kann auf die Spannaufnahme drücken.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform kann ein Druck auf die Spannaufnahme ausgeübt werden, indem die Spannvorrichtung in das Einsteckloch eingeführt wird, und der Druck auf die Spannaufnahme kann aufgehoben werden, indem die Spannvorrichtung aus dem Einsteckloch zurückgezogen wird. Somit kann bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Anbringung des Führungskerns an dem Einsatzkörper und das Lösen des Führungskerns von dem Einsatzkörper (Auswechseln) durch Einführen der Spannvorrichtung in das bzw. Herausziehen der Spannvorrichtung aus dem Einsteckloch einfach vorgenommen werden.
(12) In einer bevorzugten Ausführungsform des Einsatzkörpers, der oben unter (11) beschrieben wurde, kann die in das Einsteckloch eingeführte Spannvorrichtung dadurch Druck auf die Spannaufnahme ausüben, daß die in das Einsteckloch eingeführte Spannvorrichtung die Spannaufnahme berührt und auf der Spannaufnahme entlanggleitet.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Spannaufnahme so ausgebildet, daß sie z. B. in dem Zustand, in dem der Hakenbereich durch den Anschlag gehalten wird, beim Einführen der Spannvorrichtung in das Einsteckloch im Wege ist. Speziell ist die Spannaufnahme mit einer Fläche, die durch die Spannvorrichtung beaufschlagt wird, so angeordnet, daß sie sich quer über das Einsteckloch für die Spannvorrichtung erstreckt und dabei in der Richtung für den Eingriff des Hakenbereichs in die Hakenaufnahme geneigt ist. Die in das Einsteckloch eingeführte Spannvorrichtung trifft auf die Spannaufnahme und gleitet auf die Spannaufnahme auf, während sie in Bewegungsrichtung der Spannvorrichtung auf die Spannaufnahme drückt. Infolgedessen wird auf die Spannaufnahme eine Kraft in der Richtung zum Lösen des Eingriffs des Hakenbereichs mit der Hakenaufnahme ausgeübt, und der Hakenbereich bewegt sich oder dreht sich zusammen mit der Spannaufnahme in der Richtung zum Lösen des Eingriffs des Hakenbereichs mit der Hakenaufnahme. Wenn die Spannvorrichtung aus dem Einsteckloch zurückgezogen wird, so wird die von der Spannvorrichtung auf die Spannaufnahme ausgeübte Andruckkraft aufgehoben, und der Hakenbereich bewegt sich oder dreht sich aufgrund der vorspannenden Kraft des elastischen Elements in der Richtung für den Eingriff mit der Hakenaufnahme. Folglich kann bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Anbringung und das Lösen (Auswechseln) des Führungskerns an dem Einsatzkörper einfach und sicher mit Hilfe der Spannvorrichtung bewirkt werden.
(13) In einer bevorzugten Ausführungsform des Einsatzkörpers, der oben in irgendeinem der Abschnitte (4) bis (12) beschrieben wurde, weist der Einsatzkörper einen Verriegelungsmechanismus auf, mit einem Tastbereich, der sich durch Empfang einer Wirkung von einem Treiber, der sich auf den Einsatzkörper zu und von diesem weg bewegt, in der Richtung drehen kann, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu bewegt, einem Verriegelungsbereich, der sich zwischen einer Öffnungsstellung zum Überführen des Führungsbereichs für das elektronische Bauelement in einem offenen Zustand und einer Schließstellung zum Überführen desselben in einem geschlossenen Zustand bewegen kann, und mit einem Arm, der die Drehung des Tastbereiches mit der Drehung des Verriegelungsbereiches koppeln kann, und wenn der Treiber sich in der am weitesten abgerückten Position befindet, liegt der Tastbereich näher an dem Treiber als an einer Ebene, die eine Drehachse des Tastbereiches enthält und zu der Richtung senkrecht ist, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu und von ihm weg bewegt, und liegt nahe an einer Ebene, die die Drehachse des Tastbereiches enthält und zu der Richtung parallel ist, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu und von ihm weg bewegen kann, und der Treiber kann sich bewegen, ohne an dem Arm anzustoßen.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Erfindung ist ein Treiber z. B. so angeordnet, daß er sich auf eine Ladefläche des Einsatzkörpers zu und von dieser weg bewegt. Unter "Ladefläche" ist hier diejenige der äußeren Oberflächen des Einsatzkörpers zu verstehen, in der sich der Einlaß des Führungsbereichs für elektronische Bauelemente befindet. Wenn der Treiber so angeordnet ist, daß er sich auf die Ladefläche des Einsatzkörpers zu und von dieser weg bewegt, werden die Konfiguration, Position und dergleichen des Treibers so eingestellt, daß das Laden und die Entnahme der elektronischen Bauelemente durch den Einlaß nicht behindert werden. Zum Beispiel wird das Laden und die Entnahme der elektronischen Bauelemente durch den Einlaß dadurch ermöglicht, daß der Treiber mit einer Öffnung versehen ist, die mit dem Einlaß für elektronische Bauelemente verbunden ist. Zum Beispiel erhält der Treiber bei der Zufuhr des zu prüfenden elektronischen Bauelements zu dem Halteeinsatz eine Andruckkraft von einer Vorrichtung, die das zu prüfende elektronische Bauelement in den Halteeinsatz bringt, und bewegt sich dicht an dem Einsatzkörper heran. Der Treiber ist vorzugsweise durch eine Feder oder ein anderes elastisches Element in der Richtung vorgespannt, in der er sich von dem Einsatzkörper weg bewegt, so daß sich der Treiber von dem Einsatzkörper weg bewegen kann, wenn die Andruckkraft von der oben genannten Vorrichtung ausbleibt. Ein Zustand, in dem sich der Treiber in der am weitesten vom Einsatzkörper entfernten Position befindet, soll als "abgerückte Position des Treibers" bezeichnet werden.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform kann als ein spezielles Beispiel für den Treiber eine Hebelplatte genannt werden. Die Hebelplatte kann unmittelbar oder mittelbar über ein anderes Bauteil auf den Tastbereich wirken. Zum Beispiel kann die Hebelplatte einen Vorsprung aufweisen, der auf den Tastbereich wirkt.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform dreht sich der Tastbereich dadurch, daß er eine Wirkung vom Treiber empfängt, auf seiner Drehachse in der Richtung, in der sich der Treiber nahe an den Einsatzkörper heran bewegt. Der Tastbereich kann sich dadurch, daß er eine Wirkung vom Treiber empfängt, in der Richtung drehen, in der sich der Treiber vom Einsatzkörper weg bewegt.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform wirken die Drehbewegung des Tastbereiches und die Drehbewegung des Verriegelungsbereiches zusammen, und wenn sich der Tastbereich dadurch, daß er eine Wirkung von dem Treiber empfängt, in der Richtung dreht, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu bewegt, dreht sich der Verriegelungsbereich aus der Öffnungsstellung in die Schließstellung oder aus der Schließstellung in die Öffnungsstellung. Mit "Öffnungsstellung" ist hier die Position bezeichnet, in der sich der Führungsbereich für das elektronische Bauelement in einem offenen Zustand befindet, und der "offene Zustand" ist ein Zustand, in dem das elektronische Bauelement zu dem Führungskern zugeführt und davon abgenommen werden kann, wobei es durch den Führungsbereich geführt wird. Die "Schließstellung" bezeichnet eine Position, in der der Führungsbereich für das elektronische Bohrelement sich in einem geschlossenen Zustand befindet, und der "geschlossene Zustand" ist ein Zustand, in dem das elektronische Bauelement nicht geführt durch den Führungsbereich zu dem Führungskern zugeführt und von diesem abgenommen werden kann. Wenn sich der Verriegelungsbereich in der Öffnungsstellung befindet, kann das elektronische Bauelement geführt durch den Führungsbereich zu dem Führungskern zugeführt und geführt durch den Führungsbereich vom Führungskern abgenommen werden. Wenn sich der Verriegelungsbereich in der Schließstellung befindet, kann das elektronische Bauelement nicht durch den Führungsbereich geführt werden (d. h., das elektronische Bauelement kann nicht durch den Führungsbereich hindurchtreten), so daß sich verhindern läßt, daß das elektronische Bauelement, das sich auf dem Führungskern abstützt, der an dem Befestigungssockel des Einsatzkörpers angebracht ist, herausspringt. In dem Fall, daß ein Ende des Verriegelungsbereiches sich dreht, z. B. zwischen einer Position in der Nähe der Mitte des Befestigungssockels für den Führungskern und einer Position in der Nähe der inneren Oberfläche des Führungsbereichs, befindet sich der Verriegelungsbereich in dieser "Schließstellung", wenn das Ende des Verriegelungsbereichs in der Nähe der Mitte des Befestigungssockels liegt, und er befindet sich in der "Öffnungsstellung", wenn das Ende des Verriegelungsbereiches in der Nähe der Innenfläche des Führungsbereichs liegt.
Wenn sich bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform der Verriegelungsbereich in der Schließstellung befindet, ist das Ende des Verriegelungsbereiches vorzugsweise in der Lage, das elektronische Bauelement, das sich auf dem Führungskern abstützt, der an dem Befestigungssockel des Einsatzkörpers angebracht ist, in Richtung auf den Abstützbereich des Führungskerns zu drücken, und dadurch wird das elektronische Bauelement in einer vorbestimmten Position des Führungskerns gehalten, und eine Positionsabweichung des elektronischen Bauelements kann verhindert werden. Zum Beispiel kann eine Positionsabweichung des elektronischen Bauelements dadurch verhindert werden, daß das Ende des Verriegelungsbereiches auf eine äußere Oberfläche des elektronischen Bauelements drückt, das sich auf dem am Befestigungssockel des Einsatzkörpers angebrachten Führungskern abstützt, welche äußere Oberfläche in Richtung des Einlasses für das elektronische Bauelement weist. In dem Fall, daß das Ende des Verriegelungsbereiches in der Lage ist, auf das auf dem Führungskern abgestützte elektronische Bauelement zu drücken, wird die Drehbewegung des Verriegelungsbereiches begrenzt, weil das Ende des Verriegelungsbereiches an dem elektronischen Bauelement anstößt, und die Schließstellung des Verriegelungsbereiches, wenn das elektronische Bauelement nicht auf dem Führungskern abgestützt ist, und die Schließstellung des Verriegelungsbereiches, wenn das elektronische Bauelement auf dem Führungskern abgestützt ist, sind in manchen Fällen voneinander verschieden, doch soweit es sich um eine Position handelt, in der sich der Führungsbereich für das elektronische Bauelement in einem geschlossenen Zustand befindet, ist dies von dem Begriff "Schließstellung" umfaßt. In manchen Fällen kann die Schließstellung des Verriegelungsbereiches auch unterschiedlich sein infolge der Größe des auf den Führungskern abzustützenden elektronischen Bauelements, doch soweit es sich um eine Position handelt, in der sich der Führungsbereich für das elektronische Bauelement in einem geschlossenen Zustand befindet, fällt dies unter den Begriff "Schließstellung".
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform liegen die Drehachsen des Tastbereiches und des Verriegelungsbereiches z. B. an der inneren Oberfläche des Führungsbereichs für das elektronische Bauelement, vorzugsweise rechtwinklig oder annähernd rechtwinklig zu der Richtung, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu und von diesem weg bewegt. Die Drehachse des Tastbereiches und die Drehachse des Verriegelungsbereiches können auch verschieden sein, sind jedoch vorzugsweise dieselben (d. h., es ist bevorzugt, daß die Drehachse des Tastbereiches und die Drehachse des Verriegelungsbereiches identisch sind). Dadurch, daß beide Drehachsen gleich gemacht werden, können die Drehbewegungen der beiden Bauelemente durch einen einfachen Mechanismus gekoppelt werden. Wenn die beiden Drehachsen dieselben sind, kann die Drehbewegung z. B. dadurch gekoppelt werden, daß der Tastbereich und der Verriegelungsbereich durch einen Arm verbunden sind.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind die Konfiguration, die Anordnung und dergleichen des Armes so gewählt, daß das Einführen und die Entnahme des elektronischen Bauelements durch den Einlaß hindurch nicht behindert werden. Der Arm ist z. B. längs der Innenfläche des Führungsbereichs für das elektronische Bauelement angeordnet, wenn sich der Treiber in der abgerückten Position befindet.
Wenn sich bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform der Treiber in der abgerückten Position befindet, liegt der Tastbereich näher an dem Treiber als an einer Ebene, die die Drehachse des Tastbereiches enthält und zu der Richtung senkrecht ist, in der sich der Treiber auf den Einlaßkörper zu und von diesem weg bewegt, so daß der Tastbereich, der eine Einwirkung in der Richtung erfahren hat, in der sich der Treiber auf den Eingriffkörper zu bewegt, in Richtung auf die Ebene schwenkt, die die Drehachse des Tastbereiches enthält und senkrecht zu der Richtung verläuft, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu und von diesem weg bewegt. Wenn sich der Tastbereich in dieser Weise dreht, wird der Drehwinkel des Tastbereiches um so größer, je näher der Tastbereich zu dem Zeitpunkt, an dem sich der Treiber in der abgerückten Position befindet, an der Ebene liegt, die die Drehachse des Tastbereiches enthält und zu der Richtung parallel ist, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu und von diesem weg bewegt. Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist der Treiber in der Nähe der Ebene angeordnet, die die Drehachse des Tastbereiches enthält und zu der Richtung parallel ist, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu und von diesem weg bewegt, so daß der Drehwinkel des Tastbereiches groß wird. Die Drehbewegung des Verriegelungsbereiches ist mit der Drehbewegung des Tastbereiches gekoppelt, und je größer der Drehwinkel des Tastbereiches ist, desto größer ist der Drehwinkel des Verriegelungsbereiches, so daß bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform der Vrriegelungsbereich einen großen Drehwinkel hat. Folglich hat bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform der Verriegelungsbereich einen großen Öffnungsweg (der Weg zwischen der Öffnungsstellung und der Schließstellung), und es kann für verschiedene Größen der elektronischen Bauelemente verhindert werden, daß sie herausspringen oder sich in ihrer Position verlagern.
Da sich der Treiber so bewegt, daß er nicht an dem Arm anstößt, behindert der Treiber auch nicht die Arbeitsweise des Armes, und die Drehbewegung des Tastbereiches kann durch den Arm sicher mit der Drehbewegung des Verriegelungsbereiches gekoppelt werden. So kann ein großer Öffnungsweg des Verriegelungsbereiches sichergestellt werden.
(14) In einer bevorzugten Ausführungsform des oben unter (13) beschriebenen Einsatzkörpers ist der Tastbereich durch ein elastisches Element in der Richtung vorgespannt, in der sich der Treiber von dem Einsatzkörper weg bewegt.
Wenn sich bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform der Treiber von dem Einsatzkörper weg bewegt, erfährt der Tastbereich eine Wirkung von dem elastischen Element in der Richtung, in der sich der Treiber von dem Einsatzkörper weg bewegt, und der Tastbereich schwenkt in der Richtung entgegengesetzt zu der Drehrichtung, in der er durch die Annäherung des Treibers verschwenkt wird. Auch dabei ist der Verriegelungsbereich mit der Drehbewegung des Tastbereiches gekoppelt und schwenkt in der Richtung entgegengesetzt zu der Richtung in der er bei Annäherung des Treibers verschwenkt wird. Wenn der Verriegelungsbereich bei Annäherung des Treibers aus der Öffnungsstellung in die Schließstellung schwenkt, so schwenkt er bei Abrücken des Treibers aus der Schließstellung in die Öffnungsstellung. Wenn der Verriegelungsbereich bei Annäherung des Treibers aus der Schließstellung in die Öffnungsstellung schwenkt, so schwenkt er bei Abrücken des Treibers aus der Öffnungsstellung in die Schließstellung. Somit kann bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform durch Bewegung des Treibers auf den Einsatzkörper zu und von diesem weg der Verriegelungsbereich, der aus der Öffnungsstellung in die Schließstellung geschwenkt wurde, wieder in die Öffnungsstellung geschwenkt werden, oder der Verriegelungsbereich, der aus der Schließstellung in die Öffnungsstellung geschwenkt wurde, kann wieder in die Schließstellung geschwenkt werden.
(15) In einer bevorzugten Ausführungsform des Einsatzkörpers, der oben unter (13) oder (14) beschrieben wurde, liegt der Tastbereich in der Nähe des Treibers, wenn sich der Treiber in der abgerückten Position befindet.
Da bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform der Weg, über den sich der Treiber bewegt, während er auf den Tastbereich einwirkt, lang wird, wird der Schwenkwinkel des Tastbereiches infolge der Einwirkung des Treibers eben falls groß, so daß auch der Schwenkwinkel des Verriegelungsbereiches, der sich zusammen mit dem Tastbereich dreht, groß wird. Folglich hat bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform der Verriegelungsbereich einen großen Öffnungsweg (Weg zwischen der Öffnungsstellung und der Schließstellung), so daß elektronische Bauelemente unterschiedlicher Größen daran gehindert werden können, herauszuspringen oder sich in der Position zu verlagern.
(16) Wenn in einer bevorzugten Ausführungsform des Einsatzkörpers, der oben in irgendeinem der Abschnitte (13) bis (15) beschrieben wurde, der Tastbereich durch Einwirkung des Treibers in der Richtung schwenkt, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu bewegt, sind die Drehung des Tastbereiches und die Drehung des Verriegelungsbereiches so gekoppelt, daß sich der Verriegelungsbereich aus der Schließstellung in die Öffnungsstellung drehen kann.
Wenn bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform ein zu testendes elektronisches Bauelement in den Halteeinsatz zugeführt wird, so wird eine Vorrichtung, die das zu prüfende elektronische Bauelement in den Halteeinsatz bringt, dicht an die Ladefläche heranbewegt, der Treiber wird durch diese Vorrichtung betätigt, und der Treiber wird dicht an die Ladefläche herangebracht, so daß der Verriegelungsbereich aus der Schließstellung in die Öffnungsstellung geschwenkt werden kann. Somit sind bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Betätigung der Vorrichtung zum Zuführen des zu prüfenden elektronischen Bauelements in den Halteeinsatz und die Drehbewegung des Verriegelungsbereiches miteinander gekoppelt, und wenn das zu prüfende elektronische Bauelement durch die Vorrichtung in den Halteeinsatz zugeführt wird, kann der Verriegelungsbereich in die Öffnungsstellung geschwenkt werden, so daß das elektronische Bauelement mit Hilfe der Vorrichtung sicher in den Halteeinsatz überführt werden kann.
(17) In einer bevorzugten Ausführungsform des Einsatzkörpers, der oben in einem der Abschnitte (13) bis (16) beschrieben wurde, sind die Drehachse des Tastbereiches und die Drehachse des Verriegelungsbereiches identisch.
Da bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Drehachsen des Tastbereiches und des Verriegelungsbereiches dieselben sind, kann die Konfiguration des Verriegelungsmechanismus vereinfacht werden.
(18) Wenn sich bei einer bevorzugten Ausführungsform des oben unter (17) beschriebenen Einsatzkörpers der Treiber in der abgerückten Position befindet, liegen der Tastbereich und der Verriegelungsbereich auf entgegengesetzten Seiten einer Ebene, die die Drehachse enthält und die zu der Richtung senkrecht ist, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu und von diesem wegbewegt.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Position des Verriegelungsbereiches zu dem Zeitpunkt, in dem sich der Treiber in der abgerückten Position befindet, die Schließstellung. Wenn der Tastbereich durch Einwirkung des Treibers in der Richtung schwenkt, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu bewegt, können somit die Drehbewegung des Tastbereiches und die Drehbewegung des Verriegelungsbereiches gekoppelt werden, so daß der Verriegelungsbereich aus der Schließstellung in die Öffnungsstellung schwenken kann.
(19) Bei einer bevorzugten Ausführungsform des Einsatzkörpers, der oben unter (17) oder (18) beschrieben wurde, liegt die Drehachse in der Nähe des Einlasses für das elektronische Bauelement, und wenn sich der Treiber in der abgerückten Position befindet, liegt ein Ende des Verriegelungsbereiches nahe an der Ebene, die die Drehachse enthält und zu der Richtung parallel ist, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper und von diesem wegbewegt, und das Ende des Verriegelungsbereiches liegt in der Nähe des Befestigungssockels für den Führungskern.
Da bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform ein Ende des Verriegelungsbereiches in der Schließstellung nahe an der Ebene liegt, die die Drehachse enthält und zu der Richtung parallel ist, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper und von diesem weg bewegt, und das Ende des Verriegelungsbereiches in der Nähe des Befestigungssockels für den Führungskern liegt, bewegt sich das Ende des Verriegelungsbereiches bei der Schwenkbewegung des Verriegelungsbereiches über einen langen Weg, so daß der Verriegelungsbereich einen großen Öffnungsweg hat.
(20) Wenn sich bei einer bevorzugten Ausführungsform des Einsatzkörpers, der oben in einem der Abschnitte (17) bis (19) beschrieben wurde, der Treiber in der abgerückten Position befindet, liegen der Tastbereich und der Arm auf entgegengesetzten Seiten einer Ebene, die zu der Drehachse senkrecht ist und parallel zu der Richtung liegt, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu und von diesem weg bewegt.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform liegen die Bewegungsbahn des Tastbereiches und die Bewegungsbahn des Armes, der bei der Bewegung des Treibers mitgenommen wird, auf entgegengesetzten Seiten einer Ebene, die zu der Drehachse senkrecht ist und parallel zu der Richtung liegt, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu und von diesem weg bewegt, so daß der Treiber sich bewegen kann, während er auf den Tastbereich wirkt aber nicht auf den Arm. Infolge dessen kann die Drehbewegung des Tastbereiches durch den Arm sicher mit der Drehbewegung des Verriegelungsbereiches gekoppelt werden, so daß ein großer Öffnungsweg des Verriegelungsbereiches sichergestellt werden kann.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform genügt es, wenn der Tastbereich und der Arm auf entgegengesetzten Seiten irgendeiner Ebene liegen, die die Bedingung erfüllt, daß sie "zu der Drehachse senkrecht ist und parallel zu der Richtung liegt, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu und von diesem wegbewegt.
Wenn sich bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform z. B. der Treiber in der abgerückten Position befindet und der Arm einen Vorsprung aufweist, dessen eines Ende zwischen dem Treiber und der Ladefläche liegt, so wird das Ende des an dem Arm gebildeten Vorsprungs zu einem Tastbereich, und der Tastbereich und der Arm liegen auf entgegengesetzten Seiten einer Ebene, die zu der Drehachse senkrecht ist und parallel zu der Richtung liegt, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu und von diesem weg bewegt.
(21) Bei einer bevorzugten Ausführungsform des Einsatzkörpers, der oben in einem der Abschnitte (4) bis (20) beschrieben wurde, weist der Einsatzkörper einen Halter auf, der in der Lage ist, den Tastbereich so zu halten, daß der Tastbereich schwenken kann, ohne daß er an dem Einsatzkörper anstößt.
Bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform kann der Halter z. B. als ein konkaver Bereich ausgebildet sein, der in der Lage ist, den Tastbereich am Rand des Einlasses für das elektronische Bauelement zu halten.
Da bei dem Einsatzkörper gemäß der vorliegenden Ausführungsform der Tastbereich in dem Halter des Einsatzkörpers gehalten ist, kann der Tastbereich schwenken, ohne daß er an dem Einsatzkörper anstößt. So kann eine weite Schwenkbewegung des Tastbereiches sichergestellt werden, so daß eine weite Schwenkbewegung des mit der Drehbewegung des Tastbereiches gekoppelten Verriegelungsbereiches sichergestellt werden kann.
(22) Der Halteeinsatz gemäß der vorliegenden Erfindung weist einen Führungskern auf, wie er in einem der obigen Abschnitte (1) bis (3) beschrieben wurde, und einen Einsatzkörper, wie er in einem der obigen Abschnitte (4) bis (21) beschrieben wurde.
Bei dem Halteeinsatz gemäß der vorliegenden Erfindung kann der Führungskern die in einem der obigen Abschnitte (1) bis (3) beschriebenen Wirkungen und der Einsatzkörper die in einem der obigen Abschnitte (4) bis (21) beschriebenen Wirkungen aufweisen.
(23) Bei einer bevorzugten Ausführungsform des oben unter (21) beschriebenen Halteeinsatzes ist der Halteeinsatz an einem Tablar angebracht, das dazu dient, ein zu prüfendes elektronisches Bauelement in einen Kontaktbereich eines Prüfkopfes eines Prüfgerätes für elektronische Bauelemente und aus diesem Kontaktbereich heraus zu bewegen.
Der Kontaktbereich des Prüfkopfes hat einen Sockel, an den das zu prüfende elektronische Bauelement angesetzt wird, wo das zu prüfende elektronische Bauelement einer Prüfung unterzogen wird.
Bei dem Halteeinsatz gemäß der vorliegenden Erfindung können die Zufuhr eines zu prüfenden elektronischen Bauelements zu dem Kontaktbereich, die Prüfung des elektronischen Bauelements an dem Kontaktbereich und das Überführen des elektronischen Bauelements nach der Prüfung aus dem Kontaktbereich heraus effizient ausgeführt werden. Indem mehrere Halteeinsätze an einem Tablar montiert werden, können auch mehrere elektronische Bauelemente gleichzeitig geprüft werden.
(24) Eine Handhabungsvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß der vorliegenden Erfindung ist eine Handhabungsvorrichtung zur Durchführung einer Prüfung an einem elektronischen Bauelement des Flächenarray-Typs durch Anschluß externer Kontakte des Flächenarray-Bauelements an Anschlußklemmen des Sockels in einem Zustand, in dem das Bauelement in einem Halteeinsatz gehalten ist, und dieser Einsatz ist so ausgebildet, wie oben unter (22) oder (23) beschrieben wurde.
Bei der Handhabungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung können die Wirkungen erzielt werden, die oben unter (22) oder (23) beschrieben wurden.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist eine Seitenansicht eines IC-Prüfgerätes gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
2 ist eine perspektivische Ansicht eines Handlers in dem IC-Prüfgerät;
3 ist ein Durchlaufdiagramm für ein Tablar, zur Illustration eines Verfahrens zur Handhabung von IC-Prüflingen;
4 ist eine perspektivische Ansicht der Konfiguration eines IC-Staplers in dem Prüfgerät;
5 ist eine perspektivische Ansicht eines Kundentablars in dem Prüfgerät;
6 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung eines Prüftablars, das in dem IC-Prüfgerät verwendet wird;
7 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung eines erfindungsgemäßen Halteeinsatzes in dem Prüfgerät;
8(a) zeigt einen Teil eines zu dem Halteeinsatz gehörenden Einsatzkörpers in der Draufsicht, und 8(b) ist ein Schnitt längs der Linie A-A in 8(a),
9(a) zeigt einen zu dem Halteeinsatz gehörenden Führungskern in der Draufsicht, und 9(b) ist ein Schnitt längs der Linie A-A in 9(a);
10 ist eine Schnittdarstellung zur Erläuterung eines Verfahrens zur Anbringung des Führungskerns an dem Einsatzkörper mit Hilfe eines Hakenmechanismus des Einsatzkörpers;
11(a) zeigt den Einsatzkörper in der Draufsicht, und 11(b) ist ein Schnitt längs der Linie A-A in 11(a);
12(a) ist ein Schnitt durch einen Verriegelungsmechanismus des Einsatzkörpers in einer Schließstellung (entsprechend 11(b)), und 12(b) ist eine Schnittdarstellung für den Fall, in dem sich der Verriegelungsmechanismus in der Öffnungsstellung befindet;
13 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung der Konfiguration in der Umgebung eines Sockels in einem Prüfkopf des Prüfgerätes;
14 ist ein Schnitt durch die Umgebung des Sockels in dem Prüfkopf des Prüfgerätes;
15 ist eine Seitenansicht einer Spannvorrichtung, die bei der Anbringung des Führungskerns an dem Einsatzkörper mit Hilfe eines Hakenmechanismus des Einsatzkörpers und beim Lösen des Führungskerns von dem Einsatzkörper mit Hilfe des Hakenmechnismus verwendet wird;
16 ist eine perspektivische Ansicht einer anderen Ausführungsform einer Feder in dem Hakenmechanismus;
17 ist eine perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform einer Feder in dem Hakenmechanismus;
18(a) ist eine Seitenansicht eines IC-Bauelements als Prüfling in dem Prüfgerät, und 18(b) zeigt das Bauelement in einer Ansicht von unten;
19(a) ist ein Teilschnitt durch einen herkömmlichen Halteeinsatz, bei dem sich ein Verriegelungsmechanismus in einer Öffnungsstellung befindet, und 19(b) ist ein Teilschnitt für den Fall, daß sich der Verriegelungsmechanismus in einer Schließste1-lung befindet.
BESTER WEG ZUR AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
Nachstehend werden bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert.
1 ist eine Gesamtansicht eines IC-Prüfgerätes als Ausführungsform eines Prüfgerätes zur Prüfung von elektronischen Bauelementen gemäß der vorliegenden Erfindung in einer Seitenansicht, 2 ist eine perspektivische Ansicht eines Handlers in dem IC-Prüfgerät, 3 ist eine Durchlaufdiagramm für ein Tablar, zur Illustration eines Verfahrens zur Handhabung eines Prüflings, 4 ist eine perspektivische Darstellung der Konfiguration eines IC-Staplers in dem Prüfgerät, 5 ist eine perspektivische Ansicht eines Kundentablars, das in dem IC-Prüfgerät verwendet wird, 6 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung eines Prüftablars, das in dem Prüfgerät verwendet wird, 7 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung eines Halteeinsatzes gemäß der vorliegenden Erfindung, der in dem Prüfgerät verwendet wird, 8(a) zeigt einen Teil eines Einsatzkörpers, der zu dem Halteeinsatz gehört, in der Draufsicht, 8(b) ist ein Schnitt längs der Linie A-A in 8(a), 9(a) zeigt einen zu dem Einsatzkörper gehörenden Führungskern in der Draufsicht, 9(b) ist ein Schnitt längs der Linie A-A in 9(a), 10 ist eine Schnittdarstellung zur Erläuterung eines Verfahrens zur Anbringung des Führungskerns an dem Einsatzkörper mit Hilfe eines Hakenmechanismus des Einsatzkörpers, 11(a) zeigt den Einsatzkörper in der Draufsicht, 11(b) ist ein Schnitt längs der Linie A-A in 11(a), 12(a) ist eine Schnittdarstellung eines Verriegelungsmechanismus des Einsatzkörpers in einer Schließstellung (entsprechend 11(b)), 12(b) ist eine Schnittdarstellung für den Fall, daß sich der Verriegelungsmechanismus in einer Öffnungsstellung befindet, 13 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung der Konfiguration in der Umgebung eines Sockels in einem Prüfkopf des IC-Prüfgerätes, 14 ist eine Schnittdarstellung der Konfiguration in der Umgebung des Sockels in dem Prüfkopf des Prüfgerätes, und 15 ist eine Seitenansicht einer Spannvorrichtung, die bei der Anbringung des Führungskerns an dem Einsatzkörper mit Hilfe eines Hakenmechanismus des Einsatzkörpers und beim Lösen des Führungskerns von dem Einsatzkörper mit Hilfe des Hakenmechanismus verwendet wird.
3 ist eine Darstellung zur Erläuterung eines Verfahrens zur Handhabung von Prüflingen in dem IC-Prüfgerät gemäß der vorliegenden Ausführungsform und zeigt in einer Draufsicht Teile von Elementen, die in Wirklichkeit in vertikaler Richtung ausgerichtet sind. Deshalb wird die mechanische (dreidimensionale) Struktur mit Bezug auf 2 erläutert werden.
Zunächst soll der Gesamtaufbau des Prüfgerätes gemäß der vorliegenden Ausführungsform erläutert werden.
Wie in 1 gezeigt ist, umfaßt ein Prüfgerät 10 gemäß der vorliegenden Ausführungsform einen Handler 1, einen Prüfkopf 5 und ein Haupt-Prüfgerät 6. Der Handler führt die folgenden Operationen aus: Transportieren von Prüflingen (ICs), also von zu prüfenden elektronischen Bauelementen, zu Sockeln eines Kontaktbereiches 9 auf der Oberseite des Prüfkopfes 5, Sortieren der geprüften IC-Bauelemente anhand der Prüfergebnisse und Speichern derselben auf vorbestimmten Tablaren. Bei den im Prüfgerät 10 zu prüfenden Bauelementen handelt es sich um BGA-, LGA-, PGA-, CSP- und andere IC-Bauelemente vom Flächenarray-Typ.
Die Sockel des Kontaktbereiches 9 sind durch den Prüfkopf 5 und ein Kabel 7 elektrisch mit dem Haupt-Prüfgerät 6 verbunden, und die lösbar auf den Sockeln montierten IC-Bauelemente werden durch den Prüfkopf 5 und das Kabel 7 elektrisch mit dem Haupt-Prüfgerät verbunden. Die auf den Sockeln montierten IC-Bauelemente erhalten elektrische Prüfsignale von dem Haupt-Prüfgerät, Antwortsignale, die aus den IC-Bauelementen ausgelesen werden, werden durch das Kabel 7 an das Haupt-Prüfgerät 6 übermittelt, und dadurch werden die Leistung, die Funktionen und dergleichen der IC-Bauelemente geprüft.
In einem unteren Teil des Handlers 1 ist ein Steuergerät eingebaut, das in der Hauptsache zur Steuerung des Handlers 1 dient, und ein Teil hiervon bildet einen Freiraum 8. Der Prüfkopf 5 ist in frei auswechselbarer Weise in diesem Freiraum 8 angeordnet, und IC-Bauelemente können durch in dem Handler 1 ausgebildete Löcher auf die Sockel des Kontaktbereiches 9 auf der Oberseite des Prüfkopfes 5 aufgesetzt und davon gelöst werden.
Das Prüfgerät 10 ist ein Gerät zum Prüfen von IC-Bauelementen in einem Zustand erhöhter Temperatur (bei hoher Temperatur) und in einem Temperaturzustand (bei niedrigerer Temperatur), in dem die Temperatur kleiner ist als eine Normaltemperatur, und der Handler 1 hat eine Kammer 100 mit einer Thermostatkammer 101, einer Prüfkammer 102 und einer Abklingkammer 103, wie in 2 und 3 gezeigt ist. Der Kontaktbereich 9 auf der Oberseite des Prüfkopfes 5, der in 1 gezeigt ist, wird in das Innere der Prüfkammer 102 gebracht, wo eine Prüfung an den ICs vorgenommen wird.
Wie in 2 und 3 gezeigt ist, umfaßt der Handler 1 in dem Prüfgerät 10 ein IC-Magazin 200 zum Halten von ungeprüften ICs und zum KIassifizieren und Halten von geprüften ICs, einen Ladeabschnitt 300 zum Überführen von zu prüfenden ICs, die vom IC-Magazin 200 zugeführt werden, in die Kammer 100, die den Kopfkopf 5 enthaltene Kammer 100 und einen Entladeabschnitt 400 zum Klassifizieren und zur Entnahme der in der Kammer 100 geprüften ICs. Die ICs sind auf dem Prüftablar gehalten, während sie in den Handler 1 zugeführt werden.
Eine große Anzahl von IC-Bauelementen sind, bevor sie vom Handler 1 aufgenommen werden, auf dem in 5 gezeigten Kundentablar KST gehalten, werden in diesem Zustand zu dem IC-Magazin 200 des in 2 und 3 gezeigten Handlers 1 zugeführt, wo die ICs von dem Kundentablar KST auf das Prüftablar TST (siehe 6) umgeladen werden, die im Handler 1 transportiert werden. Wie in 3 gezeigt ist, werden die ICs im Inneren des Handlers 1 in einem Zustand, in dem sie auf das Prüftablar TST aufgegeben sind, bewegt, einer thermischen Beanspruchung bei hoher Temperatur oder niedriger Temperatur ausgesetzt, um zu prüfen (zu untersuchen) ob sie einwandfrei arbeiten oder nicht, und in Abhängigkeit vom Prüfergebnis sortiert. Nachstehend wird das Innere des Handlers 1 im einzelnen erläutert werden.
Zunächst wird der Teil erläutert, der sich auf das IC-Magazin 200 bezieht.
Wie in 2 gezeigt ist, hat das IC-Magazin 200 einen Prätest-Stapler 201 zum Halten der ICs vor der Prüfung und einen Post-Test-Stapler 202 zum Halten von ICs, die in Übereinstimmung mit den Prüfergebnissen klassifiziert wurden.
Der Prätest-Stapler 201 und der Post-Test-Stapler 202 umfassen, wie in 4 gezeigt ist, ein rahmenförmiges Stützgestell 203 für Tablare und eine Hubvorrichtung 204, die in der Lage ist, von unterhalb des Stützgestells 203 einzutreten und sich nach oben zu bewegen. Das Stützgestell 203 nimmt eine Vielzahl von gestapelten Kundentablaren KST auf, und nur die gestapelten Kundentablare KST werden durch die Hubvorrichtung 204 auf und ab bewegt.
Der in 2 gezeigte Prätest-Stapler 201 hält gestapelte Kundentablare KST, auf denen die zu prüfenden ICs liegen, während der Post-Test-Stapler 202 gestapelte Kundentablare KST hält, auf denen die geprüften ICs klassifiziert sind.
Da der Prätest-Stapler 201 und der Post-Test-Stapler 202 gleich oder im wesentlichen gleich aufgebaut sind, kann ein Prätest-Stapler 201 als Post-Test-Stapler 202 verwendet werden und umgekehrt. Folglich können die Anzahlen der Prätest-Stapler 201 der Post-Test-Stapler 202 je nach Bedarf leicht geändert werden.
Wie in 2 und 3 gezeigt ist, sind in der vorliegenden Ausführungsform zwei Stapler SKT-B als Prätest-Stapler 201 vorgesehen, und daneben sind zwei leere Stapler SKT-E als Post-Test-Stapler 202 vorgesehen, die in den Entladeabschnitt 400 zu überführen sind. Weiterhin sind daneben acht Stapler SKT-1, SKT-2,..., SKT-8 als Post-Test-Stapler 202 angeordnet und so konfiguriert, daß sie in der Lage sind, IC-Bauelemente zu halten, die entsprechend den Prüfergebnissen in maximal acht Klassen einsortiert sind. Das heißt, neben der Klassifizierung der ICs als gut oder schadhaft ist es möglich, die guten ICs zu unterteilen in solche, die mit hohen Arbeitsgeschwindigkeiten arbeiten, solche, die mit mittleren Arbeitsgeschwindigkeiten arbeiten und solche, die mit niedrigen Arbeitsgeschwindigkeiten arbeiten, und die schadhaften ICs können unterteilt werden in solche, die eine Nachprüfung erfordern, usw.
Als zweites wird ein Teil erläutert werden, der sich auf den Ladeabschnitt 300 bezieht.
Das Kundentablar KST, das auf dem Stützgestell 203 des in 4 gezeigten Prätest-Staplers 201 gehalten ist, wird durch einen Transferarm 205, der zwischen dem IC-Magazin 200 und einer Bühne 105 angeordnet ist, von unterhalb der Bühne 105 zu einer Öffnung 306 des Ladeabschnitts 300 transportiert, wie in 2 gezeigt ist. Im Ladeabschnitt 300 werden dann die auf dem Kundentablar KST liegenden IC-Bauelemente einmal durch einen X-Y-Förderer 304 auf einen Ausrichter 305 überführt, um die gegenseitigen Positionen der zu prüfenden ICs zu korrigieren, und dann werden die auf den Ausrichter 305 überführten ICs wieder mit Hilfe des X-Y-Förderers 304 auf das Prüftablar TST geladen, das im Ladeabschnitt 300 anhält.
Der X-Y-Förderer 304 zum Umladen von zu prüfenden ICs von einem Kundentablar KST auf ein Prüftablar TST umfaßt, wie in 2 gezeigt ist, zwei über die Bühne 105 verlaufende Schienen 301, einen beweglichen Arm 302, der in der Lage ist, sich entlang dieser beiden Schienen 301 zwischen dem Prüftablar TST und dem Kundentablar KST vor und zurück zu bewegen (diese Richtung wird als die Y-Richtung bezeichnet), und einen beweglichen Kopf 303, der an dem beweglichen Arm 302 gehalten ist und in der Lage ist, sich in der X-Richtung längs des beweglichen Arms 302 zu bewegen.
An dem beweglichen Kopf 303 des X-Y-Förderers 304 sind nach unten weisende Saugköpfe angebracht. Die Saugköpfe bewegen sich, während Luft angesaugt wird, um die zu prüfenden ICs vom Kundentablar KST aufzunehmen, und laden die zu prüfenden ICs auf das Prüftablar TST um. Zum Beispiel sind an dem beweglichen Kopf 303 acht Saugköpfe angeordnet, so daß es möglich ist, acht zu prüfende ICs gleichzeitig auf das Prüftablar TST umzuladen.
Als drittes wird ein Teil erläutert werden, der sich auf die Kammer 100 bezieht.
Das oben erläuterte Prüftablar TST wird im Ladeabschnitt 300 mit zu prüfenden ICs beladen und dann zu der Kammer 100 überführt, wo die jeweiligen ICs in dem Zustand geprüft werden, in dem sie auf dem Prüftablar TST liegen.
Wie in 2 und 3 gezeigt ist, hat die Kammer 100 eine Thermostatkammer 101, die dazu dient, die auf dem Prüftablar TST liegenden ICs einer thermischen Beanspruchung mit einer bestimmten hohen Temperatur oder einer niedrigen Temperatur auszusetzen, eine Prüfkammer 102, in der die ICs in dem Zustand thermischer Beanspruchung, in den sie in der Thermostatkammer 101 gebracht wurden, auf Sockeln auf dem Prüfkopf montiert werden, und eine Abklingkammer 103, in der die thermische Beanspruchung der in der Prüfkammer 102 geprüften ICs abklingen kann.
In der Abklingkammer 103 werden die ICs durch Ventilation wieder auf Zimmertemperatur abgekühlt, wenn sie in der Thermostatkammer 101 einer hohen Temperatur ausgesetzt waren, und sie werden, wenn sie in der Thermostatkammer 101 einer niedrigen Temperatur ausgesetzt waren, durch Erhitzung mit Heißluft oder einer Heizung oder dergleichen wieder auf eine Temperatur gebracht, die so hoch ist, daß keine Kondensation verursacht wird. Wenn die ICs dann wieder auf Normaltemperatur gebracht worden sind, werden sie zu dem Entladeabschnitt 400 ausgetragen.
Wie in 2 gezeigt ist, sind die Thermostatkammer 101 und die Abklingkammer 103 der Kammer 100 so angeordnet, daß sie gegenüber der Prüfkammer 102 nach oben vorstehen. Die Thermostatkammer 101 hat außerdem einen Vertikalförderer, der schematisch in 3 gezeigt ist, und mehrere Prüftablare TST sind durch den Vertikalförderer gehalten um zu warten, bis die Prüfkammer 102 frei wird. Die zu prüfenden ICs werden hauptsächlich in der Zeit, in der sie hier warten, der thermischen Beanspruchung mit hoher Temperatur oder niedriger Temperatur ausgesetzt.
Der Prüfkopf 5 ist in einem unteren mittleren Bereich in der Prüfkammer 102 angeordnet, und das Prüftablar TST wird auf den Prüfkopf 5 überführt, wo alle Prüflinge 2 (IC-Bauelemente), die auf dem in 6 gezeigten Prüftablar TST gehalten sind, nacheinander in elektrischen Kontakt mit dem Prüfkopf 5 gebracht werden und alle Prüflinge 2 auf dem Prüftablar TST geprüft werden. Andererseits läßt man für das Prüftablar TST, das die Prüfung abgeschlossen hat, die thermische Beanspruchung in der Abklingkammer 103 abklingen, um die Prüflinge 2 auf Zimmertemperatur zu bringen und sie dann zu dem in 2 und 3 gezeigten Entladeabschnitt 400 auszutragen.
Wie in 2 gezeigt ist, sind außerdem ein oberer Bereich der Thermostatkammer 101 und der Abklingkammer 103 mit einer Einlaßöffnung zur Übernahme des Prüftablars TST von der Bühne 105 bzw. einer Auslaßöffnung zur Ausgabe des Prüftablars TST auf die Bühne 105 ausgebildet. Auf der Bühne 105 sind Prüftablarförderer 108 zum Zu- und Abführen der Prüftablare TST zu und von den Öffnungen angebracht. Der Prüftablarförderer 108 weist z. B. eine Transportrolle und dergleichen auf. Das aus der Abklingkammer 103 entnommene Prüftablar TST wird durch den auf der Bühne 105 angeordneten Prüftablarförderer 108 über den Entladeabschnitt 400 und den Ladeabschnitt 300 zur Thermostatkammer 101 zurückgeführt.
Wie in 6 gezeigt ist, weist das Prüftablar TST einen rechteckigen Rahmen 12 auf, der eine Vielzahl von parallel in gleichmäßigen Abständen angeordneten Stegen 13 aufweist. Auf beiden Seiten der Stege 13 und an den Innenseiten der Schenkel 12a des Rahmens 12, die parallel zu den Stegen 13 verlaufen, sind mehrere vorspringende Montagezungen 14 in Längsrichtung in gleichmäßigen Abständen angeordnet. Unter den vielen Montagezungen 14, die zwischen den Stegen 13 und zwischen den Stegen und den Schenkeln 12a angeordnet sind, bilden jeweils zwei einander gegenüberliegende Montagezungen 14 ein Einsatzmagazin 15.
Jedes der Einsatzmagazine 15 dient zur Aufnahme eines Halteeinsatzes 16. An beiden Enden des Halteeinsatzes 16 befindet sich ein Montageloch 21 für die Montagezunge 14, und der Halteeinsatz 16 wird mit Hilfe einer Fixiereinrichtung in einem einem schwimmenden Zustand (einem Zustand, in dem er in drei Dimensionen etwas beweglich ist) an den beiden Montagezungen 14 befestigt. Für ein Prüftablar TST sind z. B. 4 × 16 Halteeinsätze 16 vorgesehen, und das Prüftablar TST wird dadurch mit Prüflingen beladen, das die Prüflinge in den Halteeinsätzen 16 aufgenommen werden.
Wenn die Prüflinge in 4 Zeilen und 16 Spalten angeordnet sind, wie in 6 gezeigt ist, werden z. B. die Prüflinge, die in jeder dritten Spalte in den jeweiligen Zeilen angeordnet sind, gleichzeitig geprüft. Beim ersten Prüfvorgang werden gleichzeitig 16 Prüflinge geprüft, die in der ersten, fünften und neunten und zwölften Spalte in den jeweiligen Zeilen angeordnet sind, und beim zweiten Prüfvorgang wird das Prüftablar TST um eine Spalte bewegt, und die Prüflinge in der zweiten, sechsten, zehnten und fünfzehnten Spalte werden gleichzeitig geprüft. Durch Wiederholung dieses Vorgangs werden alle Prüflinge geprüft (16 Messungen auf einmal). Das Ergebnis der Prüfung wird unter einer Adresse abgelegt, die z. B. durch eine dem Prüftablar TST zugewiesene Identifikationsnummer und eine den Prüflingen auf dem Prüftablar TST zugewiesenen Nummer bestimmt ist.
Ein Beispiel für Prüflinge, die in dem Halteeinsatz 16 gehalten sind, ist in 18 gezeigt. 18(a) ist eine Seitenansicht des Prüflings, und 18(d) zeigt den Prüfling in einer Ansicht von unten. Wie in 18 gezeigt ist, handelt es sich bei dem Prüfling 2 um ein IC-Bauelement vom Typ BGA mit externen Kontakten 22 in der Form von Lötkugeln, die in einer Matrix an einer unteren Oberfläche 23 des Gehäuses 21 angeordnet sind. Die untere Oberfläche 23 des Gehäuses 21, auf der die externen Kontakte 22 angeordnet sind, bildet eine externe Anschlußfläche des IC-Bauelements.
Wie in 7 gezeigt ist, weist der Halteeinsatz 16 gemäß der vorliegenden Ausführungsform einen Einsatzkörper 17, einen Führungskern 18 und eine Hebelplatte 19 auf.
Der Einsatzkörper 17 umfaßt einen Hauptkörper 171, einen Hakenmechanismus F und einen Verriegelungsmechanismus L, wie in 7 gezeigt ist. Etwa in der Mitte des Hauptkörpers 171 des Einsatzkörpers 17 ist ein Führungsbereich 171a vorgese hen, der sich in vertikaler Richtung öffnet, wie in 7 und 8 gezeigt ist. Der Führungsbereich 171a hat am oberen Ende einen Einlaß 171b und am unteren Ende einen Befestigungssockel 171c für einen Führungskern, wie in 8 gezeigt ist. Der Einlaß 171b und der Befestigungssockel 171c für den Führungskern sind so miteinander verbunden, daß ein IC-Bauelement, das durch den Einlaß 171b eintritt, zu dem Führungskern 18 geleitet werden kann, der an den Befestigungssockel 171c angebracht ist. Folglich werden Prüflinge, die durch den X-Y-Förderer 304 von einem Kundentablar KST zu einem Prüftablar TST überführt wurden, durch den Führungsbereich 171a geführt und auf den Führungskern 18 geleitet, der an dem Befestigungssockel 171c angebracht ist. Ebenso werden nach der Prüfung der ICs die geprüften ICs durch den Führungsbereich 171a so geführt, daß sie aus dem Einlaß 171b ausgetragen werden. Auf der Oberseite des Hauptkörpers 171 des Einsatzkörpers 17 ist die Hebelplatte 19 mit Hilfe einer Druckfeder 194 angebracht, die in 7 gezeigt ist. Die Hebelplatte 19 ist durch die Druckfeder 194 nach oben vorgespannt (in der Richtung, in der sich die Hebelplatte 19 vom Hauptkörper 171 des Einsatzkörpers 17 weg bewegt), bewegt sich nach unten, wenn sie eine abwärts gerichtete Kraft erfährt (in der Richtung, in der sich die Hebelplatte 19 auf den Hauptkörper 171 des Einsatzkörpers 17 zu bewegt) und bewegt sich aufgrund der Vorspannung der Druckfeder 194 nach oben, wenn die Andruckkraft aufgehoben wird. Bei der Aufwärtsbewegung der Hebelplatte 19 wird der Hubweg der Hebelplatte 19 dadurch gesteuert, daß an der Hebelplatte 19 ausgebildete Vorsprünge 191 in konkave Bereiche 171d eingreifen, die am Hauptkörper 171 des Einlaßkörpers 17 ausgebildet sind.
Wie 7 zeigt, ist etwa in der Mitte der Hebelplatte 19 eine Öffnung 192 ausgebildet, so daß der Einlaß 171b des Hauptkörpers 171 des Einlaßkörpers 17 frei gehalten wird. Die Öffnung 192 der Hebelplatte 19 ist etwas größer als der Einlaß 171b, so daß die Zufuhr und die Entnahme eines IC-Bauelements durch den Einlaß 171b nicht behindert wird, ebenso wenig wie die Drehung eines später beschriebenen Riegels 175. Außerdem hat die Hebelplatte 19 durchgehende Löcher 193, die mit Klammerhaltern 171e verbunden sind, die am Hauptkörper 171 des Einlaßkörpers 17 vorgesehen sind, wie in 7 gezeigt ist, so daß Schäfte GF einer in 15 gezeigten Spannvorrichtung G durch die Löcher 193 der Hebelplatte 19 hindurch in die Klammerhalter 171e eintreten können.
An der Unterseite des Hauptkörpers 171 des Einsatzkörpers 17 ist der Führungskern 18 angebracht, wie in 7 gezeigt ist. Wie in 7 und 9 gezeigt ist, weist der Führungskern 18 einen Stützbereich 181 auf, der gebildet wird durch eine Bodenplatte, eine Seitenplatte, die von der Bodenplatte aufragt, und einen Flansch 183 am oberen Rand der Seitenplatte des Stützbereiches 181. Etwa in der Mitte der Bodenplatte des Stützbereiches 181 ist eine Öffnung 182 ausgebildet, wie in 7 und 9 gezeigt ist, und die Bodenplatte des Stützbereiches 181 kann mit dem Rand 188 der Öffnung 182 eine externe Anschlußfläche eines ICs abstützen. Die externen Kontakte des auf dem Stützbereich 181 abgestützten ICs liegen durch die Öffnung 182 in Richtung auf Anschlußklemmen eines Sockels frei.
Wie in 7 und 9 gezeigt ist, weist der Führungskern 18 am oberen Ende eine Führungsöffnung 184 auf, und wenn der Führungskern 18 am Befestigungssockel 171c des Einsatzkörpers 17 angebracht ist, ist die Öffnung 182 des Führungskerns durch die Führungsöffnung 184 mit dem Führungsbereich 171a des Einsatzkörpers 17 verbunden. Infolgedessen kann ein IC von dem Führungsbereich 171a des Einsatzkörpers 17 zu dem Stützbereich 181 des Führungskerns 18 geleitet werden. Der Flansch 183 ist an seiner inneren Oberfläche in der in 7 und 9 gezeigten Weise verjüngt, so daß das IC-Bauelement sicher zu dem Stützbereich 181 geleitet werden kann.
Wie 7 und 9 zeigen, hat der Flansch 183 zwei einander (rechts und links in 9) gegenüberliegende Einstecklöcher 186 für Haken. Das Einsteckloch 186 weist eine Hakenaufnahme 185 auf, die mit der inneren Oberfläche des Einsteckloches 186 verbunden ist, wie 9 zeigt, und ein Hakenbereich 172a des Einsatzkörpers 17 kann in einem Zustand, in dem er in das Einsteckloch 186 eingesteckt ist, mit der Hakenaufnahme 185 in Eingriff gebracht werden, und wenn der Eingriff mit der Hakenaufnahme 185 gelöst wird, kann der Hakenbereich 172a sich aus dem Einsteckloch 186 zurückziehen. Wie in 7 und 9 gezeigt ist, hat der Flansch 183 außerdem Paßlöcher 187 zur passenden Aufnahme von Führungsschäften 413 einer Sockelführung 41 (siehe 13 und 14). Durch Einstecken der Führungsschäfte 413 in die Paßlöcher 187 kann der Führungskern 18 präzise mit einem Sockel 40 ausgerichtet werden.
Wie in 7 gezeigt ist, weist der Hauptkörper 171 des Einsatzkörpers 17 Hakenmechanismen F auf, die jeweils eine Klammer 172, eine Torsionsfeder 173 und eine Welle 174 umfassen. Die Klammer 172 umfaßt gemäß 7 zwei Hakenbereiche 172a, die in die gleiche Richtung weisen, und eine flache, plattenförmige Spannaufnahme 172b, die die beiden Hakenbereiche 172a verbindet. Wie 7 zeigt, hat die Klammer 172 im oberen Bereich jeder der beiden Hakenbereiche 172a ein durchge hendes Loch 172c. Da die Welle 174 durch durchgehende Löcher 171m des Hauptkörpers 171 des Eingriffskörpers 17 (siehe 8) und durch die Löcher 172c der Klammer 172 hindurchgesteckt ist, wird die Klammer 172 schwenkbar am Hauptkörper 171 des Einsatzkörpers 17 gehalten.
Da die Welle 174 an dem Hauptkörper 171 des Einsatzkörpers 17 im wesentlichen rechtwinklig zu der Richtung verläuft, in der die Hakenbereiche 172a in die Hakenaufnahme 185 eingreifen, kann der Hakenbereich 172a in der Richtung schwenken, in der er in die Hakenaufnahme 185 eingreift, und in der Richtung, in der er aus der Hakenaufnahme 185 austritt. Außerdem ist die Position der Welle 174 so gewählt, daß der Hakenbereich 172a tiefer liegt als der Befestigungssockel 171c für den Führungskern (siehe 10), und der Hakenbereich 172a kann in das Einsteckloch 186 des Führungskerns 18 eintreten, das an dem Befestigungssockel 171c angebracht ist.
Wie in 7 und 8 gezeigt ist, sind im Hauptkörper 171 des Einsatzkörpers 17 auf beiden Seiten des Führungsbereiches 171a die Klammerhalter 171e vorgesehen, die sich in vertikaler Richtung öffnen, und die Klammern 172 sind in den Klammerhaltern 171e gehalten. Wie in 8 gezeigt ist, umfaßt der Klammerhalter 171e eine Anschlagfläche 171f die im wesentlichen rechtwinklig zu der Richtung verläuft, in der der Hakenbereich 172a in die Hakenaufnahme 185 eingreift, und eine der Anschlagfläche 171f gegenüberliegende Befestigungsfläche 171g für die Torsionsfeder. In das durchgehende Loch 172d der in dem Klammerhalter 171e gehaltenen Klammer 172 ist ein Ende 173a der Torsionsfeder 173 eingesteckt, wie in 7 und 10(a) gezeigt ist, und das andere Ende 173b der Torsionsfeder ist an der Befestigungsfläche 171g gehalten, wie in 10(a) gezeigt ist. Da die Torsionsfeder 173 dabei im verdrillten Zustand gehalten ist, spannt sie den Hakenbereich 172a in die Richtung für den Eingriff in die Hakenaufnahme 185 vor, doch wird die Schwenkbewegung des Hakenbereichs 172a in der Richtung für den Eingriff in die Hakenaufnahme 185 durch die Anschlagfläche 171f begrenzt, wie in 10(a) gezeigt ist.
Bei der Anbringung des Führungskerns 18 am Einsatzkörper 17 wird der durch die Anschlagfläche 171f gehaltene Hakenbereich 172a durch die nachstehend beschriebene Prozedur mit der Hakenaufnahme 185 des Führungskerns 18 in Eingriff gebracht. Zunächst wird der Schaft DF der in 15 gezeigten Spannvorrichtung G von der Öffnung am oberen Ende des Klammerhalters 171e her in den Klammerhalter 171e eingeführt. Da die Hebelplatte 19 das durchgehende Loch 193 aufweist, das mit dem Klammerhalter 171e in Verbindung steht, kann der Schaft GF der Spannvorrichtung G auch in dem Zustand in den Klammerhalter 171e eingeführt werden, in dem die Hebelplatte 19 an der Oberseite des Hauptkörpers 171 des Einsatzkörpers 17 angebracht ist. Wenn der Hakenbereich 172a an der Anschlagfläche 171f gehalten ist, neigt sich die flache, plattenförmige Spannaufnahme 172b abwärts in der Richtung, in der der Hakenbereich 172a in die Hakenaufnahme 185 eingreift (d. h., in der Richtung von der Befestigungsfläche 171g zu der Anschlagfläche 171f), wie in 10(a) gezeigt ist, und nimmt eine solche Position ein, daß der Eintritt des Schaftes GF der Spannvorrichtung G versperrt wird. Somit läuft der Schaft GF der Spannvorrichtung G, der von der Öffnung am oberen Ende des Klammerhalters 171e her eingeführt wird, auf die Spannaufnahme 172b auf und gleitet an der Spannaufnahme 172b entlang, so daß die Spannaufnahme 172b nach unten gedrückt wird. Dadurch schwenkt die Spannaufnahme 172b in Richtung auf die Befestigungsfläche 171g für die Torsionsfeder, wie in 10(b) gezeigt ist. Wenn die Spannaufnahme 172b schwenkt, so schwenkt der Hakenbereich 172a in der Richtung, in der er aus der Hakenaufnahme 185 austritt, und gelangt in einen Zustand, in dem er mit der Hakenaufnahme 185 in Eingriff gebracht (oder daraus gelöst) werden kann. Wenn der Schaft GF der Spannvorrichtung G aus dem Klammerhalter 171e zurückgezogen wird, nachdem der Hakenbereich 172a in diesem Zustand in das Einsteckloch 186 des Führungskerns 18 eingeführt worden ist, so wird die auf die Spannaufnahme 172b wirkende Andruckkraft aufgehoben, und der Hakenbereich 172a schwenkt aufgrund der Vorspannkraft der Torsionsfeder in der Richtung, in der er in die Hakenaufnahme 185 eingreift, wie in 10(c) gezeigt ist. Infolgedessen greift der Hakenbereich 172a in die Hakenaufnahme 185 ein und der Führungskern 18 ist am Einsatzkörper 17 befestigt.
Die gleiche Prozedur wird ausgeführt, wenn der am Einsatzkörper 17 angebrachte Führungskern 18 vom Einsatzkörper 17 gelöst wird. Wenn nämlich der Schaft GF der Spannvorrichtung G von der Öffnung am oberen Ende des Klammerhalters 171e her in den Klammerhalter 171e eingeführt wird, schwenkt der Hakenbereich 172a in der Richtung zur Aufhebung des Eingriffs mit der Hakenaufnahme 185, gemeinsam mit der Schwenkbewegung der Spannaufnahme 172b, so daß er in einen Zustand gelangt, in dem er von der Hakenaufnahme 185 gelöst werden kann. Wenn man den Hakenbereich 172 in diesem Zustand aus dem Einsteckloch 186 des Führungskerns 18 zurückzieht, ist der Eingriff des Hakenbereichs 172a in die Hakenaufnahme 185 aufgehoben, und der Führungskern 18 ist vom Einsatzkörper 17 gelöst.
Wie in 7 und 11 gezeigt ist, weist der Hauptkörper 171 des Einsatzkörpers 17 einen Verriegelungsmechanismus L mit Riegeln 175, Torsionsfedern 176 und Wellen 177 auf.
Der Riegel 175 umfaßt, wie in 7 und 11 gezeigt ist, einen Tastbereich 175a, auf den die Hebelplatte einwirkt, einen Verriegelungsbereich 175b und einen Arm 175c, der den Tastbereich 175a mit dem Verriegelungsbereich 175b verbindet.
Der Arm 175c ist zusammengesetzt aus einem zweiten Arm 175e und zwei ersten Armen 175d, die einander gegenüberliegend an beiden Enden des zweiten Armes 175e angeordnet sind, wie in 7 und 11 gezeigt ist, und wenn der zweite Arm 175e so im Inneren des Führungsbereiches 171a gehalten ist, daß er an der längsverlaufenden inneren Oberfläche des Führungsbereiches 171a entlang verläuft, wie in 11 gezeigt ist, sind die ersten Arme 175d so im Inneren des Führungsbereiches 171a gehalten, daß sie an den kürzeren Seiten der inneren Oberfläche des Führungsbereiches 171a entlang laufen.
Am Ende jedes der beiden einander gegenüberliegenden ersten Arme 175d ist der Tastbereich 175a so ausgebildet, daß er sich in der der Erstreckungsrichtung der zweiten Arme 175e entgegengesetzten Richtung erstreckt, wie in 7 und 11 gezeigt ist. Außerdem hat jeder der einander gegenüberliegenden beiden Arme in einer Position, die näher an dem Tastbereich 175a als an dem Bereich des zweiten Armes 175e liegt, ein durchgehendes Loch 175f, durch das die Welle 177 hindurchgesteckt ist, wie in 7 und 11 gezeigt ist. Außerdem ist etwa in der Mitte des zweiten Armes 175e der Verriegelungsbereich 175b vorgesehen, der sich in einer Richtung erstreckt, die mit der Erstreckungsrichtung des ersten Armes 175d einen spitzen Winkel bildet, wie in 7 und 11 gezeigt ist.
Ein Ende der Welle 177 ist durch das Loch 175f jedes der einander gegenüberliegenden beiden ersten Arme 175d gesteckt, wie in 7 gezeigt ist, und da das andere Ende der Welle 177 durch ein Wellenlager 171i des Hauptkörpers 171 des Einsatzkörpers 17 gehalten ist, wird der Riegel 175 schwenkbar am Hauptkörper 171 des Einsatzkörpers 17 gehalten. Die beiden in dieser Weise gelagerten Riegel 175 liegen einander am Hauptkörper 171 des Einsatzkörpers 17 gegenüber, wie in 7 und 11 gezeigt ist.
Die Wellenlager 171i sind als konkave Bereiche ausgebildet, die in der Lage sind, die Enden der Wellen 177 auf Randbereichen der kürzeren Seiten des Einlasses 171b zu halten, wie in 7 und 8 gezeigt ist. Jede der Wellen 177 ist durch das Wellenlager 171i so gelagert, daß es in der Nähe des Einlasses 171b liegt. Außerdem sind die beiden durch die Löcher 175f der einander gegenüberliegenden Arme 175d gesteckten Wellen 177 so in den Wellenlagern 171i gehalten, daß die Schwenkachsen zusammenfallen und etwa rechtwinklig zu der Richtung (Vertikalrichtung) verlaufen, in der sich die Hebelplatte 19 auf den Einsatzkörper 17 zu und von diesem weg bewegt. Die Riegel 175 haben als Schwenkachse die Wellen 177, die in der oben beschriebenen Weise gelagert sind. Der Tastbereich 175a und der Verriegelungsbereich 175b können um die Welle 177 als Schwenkachse schwenken, und die Schwenkbewegung des Tastbereiches 175a ist durch den Arm 175c mit der Schwenkbewegung des Verriegelungsbereiches 175b gekoppelt.
Der Führungsbereich 171a weist an der längsverlaufenden inneren Oberfläche im unteren Bereich einen Sockel 171k auf, wie in 7, 8 und 11 gezeigt ist, und die Abwärts-Schwenkbewegung des zweiten Armes 175e wird dadurch begrenzt, daß der zweite Arm 175e auf dem Sockel 171k aufliegt. Wenn der Riegel 175 nicht durch die Wirkung der Hebelplatte 19 beeinflußt wird (z. B. wenn die Hebelplatte sich in ihrer am weitesten vom Einsatzkörper 17 abgerückten Position befindet), wird der Riegel somit in dem in 11 gezeigten Zustand gehalten.
Wenn der Riegel 175 in dem in 11 gezeigten Zustand gehalten ist, liegt der Tastbereich 175a näher an der Hebelplatte 19 als an einer Ebene H1 (siehe 12), die die Drehachse der Welle 177 enthält und zu der Richtung (Vertikalrichtung) senkrecht ist, in der sich die Hebelplatte 19 auf den Einsatzkörper zu und von ihm wegbewegt (d. h., der Tastbereich 175a liegt höher als die Welle 177). Der Tastbereich 175a schwenkt somit in Richtung auf die Ebene H1 (d. h. der Tastbereich 175a schwenkt abwärts), wenn die Hebelplatte 19 in der Richtung (abwärts) auf ihn einwirkt, in der sich die Hebelplatte 19 auf den Einsatzkörper 17 zu bewegt.
Wenn sich der Riegel 175 in dem in 11 gezeigten Zustand befindet, liegt der Tastbereich 175a außerdem näher an einer Ebene H2 (siehe 12), die die Drehachse der Welle 177 enthält und die zu der Richtung (Vertikalrichtung) parallel ist, in der sich die Hebelplatte 19 auf den Einsatzkörper 17 zu und von diesem weg bewegt (d. h., wie in 12 gezeigt ist, der Abstand X zwischen dem Tastbereich 175a und der Ebene H2 wird klein.) Wenn sich der Riegel 175 in dem in 11 gezeigten Zu stand befindet, liegt der Tastbereich 175a auch nahe der Hebelplatte 19 in ihrer abgerückten Position (in dem Zustand, in dem sie am weitesten vom Einsatzkörper 17 entfernt ist). Folglich wird der Weg, den die Hebelplatte 19 zurücklegt, während sie auf den Tastbereich 175a einwirkt, lang, und der Winkel, um den der Tastbereich 175a infolge der Einwirkung der Hebelplatte 19 schwenken kann, wird groß.
Wenn der Riegel 175 in dem in 11 gezeigten Zustand gehalten ist, befindet sich außerdem der Verriegelungsbereich 175b in einer Position, in der er den Führungsbereich 171a verschließt (Schließstellung). Das heißt, der Verriegelungsbereich 175b ist so positioniert, daß er sich von der längsverlaufenden inneren Oberfläche des Führungsbereiches 171a her quer über den Führungsbereich 171a bis etwa in die Mitte des Befestigungssockels 175c für den Führungskern erstreckt, so daß das IC-Bauelement nicht durch den Führungsbereich 171a hindurchtreten kann, und es wird ein Zustand erreicht, in dem das IC-Bauelement nicht durch den Führungsbereich 171a hindurch in den Führungskern 18 zugeführt oder daraus entnommen werden kann.
Wenn sich der Riegel 175 in dem in 11 gezeigten Zustand befindet, liegen au-ßerdem der Tastbereich 175a und der Verriegelungsbereich 175b auf entgegengesetzten Seiten der Ebene H1. Wenn der Tastbereich 175a nach unten schwenkt, so schwenkt folglich der Verriegelungsbereich 175b aufwärts (d. h., der Verriegelungsbereich 175b geht aus der Schließstellung in die Öffnungsstellung über).
Wenn sich der Riegel 175 in dem in 11 gezeigten Zustand befindet, liegt außerdem das Ende des Verriegelungsbereiches 175b in der Nähe der Ebene H2 und in der Nähe des Befestigungssockels 171c für den Führungskern. Dadurch, daß das Ende des Verriegelungsbereiches 175b in der Schließstellung diese Lage hat, wird der Verstellweg des Endes des Verriegelungsbereiches 175b groß (d. h., der Schließweg des Verriegelungsbereiches 175b ist groß).
Wenn der Tastbereich 175a eine Wirkung von der Hebelplatte 19 erfährt, bewegt sich der Verriegelungsbereich 175b aufgrund des nachfolgend beschriebenen Mechanismus aus der Schließstellung (siehe 12a) in die Öffnungsstellung (siehe 12b). Wenn sich die Hebelplatte 19 abwärts bewegt, berührt die Hebelplatte 19 den Tastbereich 175a und drückt den Tastbereich 175a nach unten. Der Tastbereich 175a schwenkt aufgrund der abwärts gerichteten Andruckkraft der Hebelplatte 19 nach unten. Der Tastbereich 175a schwenkt weiter, bis er in einem konkaven Be reich 171p gehalten wird, der am Rand des Einlasses 171b ausgebildet ist. Dadurch, daß der Tastbereich 175a in dem konkaven Bereich 171p gehalten ist, kann er schwenken, ohne daß er am Hauptkörper 171 des Einsatzkörpers 17 anstößt. Der erste Arm 175d schwenkt infolge der Schwenkbewegung des Tastbereiches 175a, und der zweite Arm 175e schwenkt infolge der Schwenkbewegung des ersten Armes 175d in der Richtung (nach oben), die der Schwenkrichtung des Tastbereiches 175a entgegengesetzt ist. Bei der Schwenkbewegung des zweiten Armes 175e schwenkt der Verriegelungsbereich 175b ebenfalls nach oben. Dabei dreht sich das Ende des Verriegelungsbereiches 175b aus der Position etwa in der Mitte des Befestigungssockels 171c für den Führungskern in Richtung auf die längsverlaufende innere Oberfläche des Führungsbereiches 171a, bis es in einem Halter 171r gehalten wird, der an dem Sockel 171k im unteren Bereich der inneren Oberfläche ausgebildet ist. Auf diese Weise bewegt sich der Verriegelungsbereich 175b in eine Position, in der er den Führungsbereich 171a in einem offenen Zustand hält (Öffnungsstellung), wie in 12(b) gezeigt ist. Das IC-Bauelement kann dann durch den Führungsbereich 171a hindurchtreten, und es wird ein Zustand erreicht, in dem das IC in den Führungskern 18 eingelegt und daraus entnommen werden kann, wobei es durch den Führungsbereich 171a geführt wird. Bei dem in 12 gezeigten Beispiel kann eine Abwärtsbewegung der Hebelplatte 19 um 1,5 mm in eine Öffnungs/Schließbewegung des Verriegelungsbereiches 175b um 4,7 mm übersetzt werden.
Wenn der Riegel 175 in dem in 11 gezeigten Zustand gehalten ist, liegen der Tastbereich 175a einerseits und die ersten und zweiten Arme 175d, 175e andererseits auf entgegengesetzten Seiten einer Ebene H3 (siehe 11), die rechtwinklig zur Drehachse der Welle 177 und parallel zu der Richtung ist, in der sich die Hebelplatte 19 auf den Einsatzköper 17 zu und von diesem weg bewegt, so daß die Bewegungbahn des Tastbereiches 175a und die Bewegungsbahnen der ersten und zweiten Arme 175d, 175e, die durch die Bewegung der Hebelplatte 19 bewirkt werden, auf entgegengesetzten Seiten der Ebene H3 liegen. Somit kann die Hebelplatte 19 ausschließlich auf den Tastbereich 175a wirken, ohne mit dem Randbereich der Öffnung 192, die etwas weiter ist als der Einlaß 171b, auf den Arm 175c zu wirken. Wenn sich die Hebelplatte 19 dem Einsatzkörper 17 annähert, bewegt sich daher der Arm 175c aus dem Inneren des Führungsbereiches 171a durch den Einlaß 171b hindurch nach außen (über den Einlaß 171b) hinaus, doch stößt die Hebelplatte 19 nicht an dem Arm 175c an. Die Schwenkbewegung des Tastbereiches 175a und die Schwenkbewegung des Verriegelungsbereiches 175b sind durch den Arm 175c zuverlässig gekoppelt.
An der inneren Oberfläche des Führungsbereiches 171a ist in Richtung der kürzeren Seite im unteren Bereich ein Federhalter 171j ausgebildet, wie in 7, 8 und 11 gezeigt ist, und der Tastbereich 175a wird durch die Torsionsfeder 176, die an dem Federhalter 171j befestigt ist, nach oben vorgespannt. Wenn sich die Hebelplatte 19 nach oben bewegt und keine abwärts gerichtete Kraft mehr auf den Tastbereich 175a ausübt, wird daher der Tastbereich 175a durch die Torsionsfeder 176 nach oben vorgespannt und nach oben geschwenkt. Infolge dessen schwenkt der Verriegelungsbereich aus der Öffnungsstellung in die Schließstellung.
Wenn ein zu prüfendes IC-Bauelement durch einen Saugkopf des X-Y-Förderers 304 von einem Kundentablar KST auf ein Prüftablar TST umgeladen wird, drückt der Saugkopf die Hebelplatte 19 nach unten (in der Richtung, in der sich die Hebelplatte 19 auf den Einsatzkörper 17 zu bewegt). Infolge dessen bewegt sich die Hebelplatte 19 nach unten und drückt den Tastbereich 175a abwärts. Der Tastbereich 175a schwenkt unter der Wirkung der Hebelplatte 19 nach unten, und der Verriegelungsbereich 175b schwenkt dabei aus der Schließstellung in die Öffnungsstellung. Infolge dessen nimmt das zu prüfende IC einen Zustand an, in dem es durch den Führungsbereich 171a geführt und auf den Führungskern 18 überführt werden kann, und das zu prüfende, vom Saugkopf des X-Y-Förderers 304 aufgenommene IC wird in den Führungskern 18 eingesetzt. Nachdem das zu prüfende IC im Führungskern 18 abgesetzt worden ist, fährt der Saugkopf des X-Y-Förderers 304 vom Einsatzkörper 17 weg. Folglich wird die Andruckkraft des Saugkopfes auf die Hebelplatte 19 aufgehoben, und die Hebelplatte 19 bewegt von dem Einsatzkörper 17 weg. Somit wird die Andruckkraft der Hebelplatte auf den Tastbereich 175a aufgehoben. Der Tastbereich 175a schwenkt durch die vorspannende Kraft der Torsionsfeder 176 nach oben, und der Verriegelungsbereich 175b bewegt sich dabei aus der Öffnungsstellung in die Schließstellung. Dadurch wird verhindert, daß das zu prüfende, durch den Führungskern 18 abgestützte IC aus dem Halteeinsatz herausspringt. Außerdem drückt das Ende des Verriegelungsbereiches 175b in der Schließstellung auf eine obere Oberfläche des zu prüfenden, in dem Führungskern 18 abgestützten ICs, so daß eine Positionsabweichung des zu prüfenden ICs verhindert wird.
Wie in 13 und 14 gezeigt ist, sind auf beiden Seiten des Halteeinsatzes 16 Führungslöcher 20 ausgebildet, in die ein Führungsstift 32 eines Stößels 30 von oben und eine Führungsbuchse 411 der Sockelführung 41 von unten eingeführt wird, und in Eckbereichen auf beiden Seiten des Halteeinsatzes 16 sind Montagelö cher 21 für die Montagelaschen 14 des Prüftablars TST ausgebildet. Dabei ist zu bemerken, daß in 13 und 14 der Aufbau des Halteeinsatzes 16 vereinfacht ist.
Wie in 13 und 14 gezeigt ist, dienen die Führungslöcher 20 des Halteeinsatzes 16 zur Ausrichtung. Wenn z. B. das Führungsloch 20 auf der linken Seite in der Zeichnung zur Ausrichtung benutzt wird und sein innerer Durchmesser kleiner gemacht wird als der des Führungsloches 20 auf der rechten Seite, wird der Führungsstift 32 des Stößelsockels 34 zu Ausrichtzwecken in die obere Hälfte des Führungsloches 20 auf der linken Seite eingeführt, und die Führungsbuchse 411 der Sockelführung 41 wird zu Führungszwecken in die untere Hälfte dieses Führungsloches eingeführt. Andererseits steht das Führungsloch 20 auf der rechten Seite in der Zeichnung mit dem Führungsstift 32 des Stößels 30 und der Führungsbuchse 411 der Sockelführung 41 in losem Eingriff.
Wie 13 zeigt, ist an dem Prüfkopf eine Sockelplatine 50 angeordnet. Die Anordnung der Sockelplatine 50 kann der Anzahl der Prüflinge 2 entsprechen, z. B. insgesamt vier Spalten in jeder dritten Spalte in Zeilenrichtung (4 Zeilen × 4 Spalten) auf dem in 6 gezeigten Prüftablar TST, alternativ, wenn die Größe jeder Sockelplatine 50 klein gemacht werden kann, können die Sockelplatinen 50 in 4 Zeilen × 16 Spalten auf dem Prüfkopf 5 angeordnet werden, so daß alle Prüflinge 2, die auf dem in Figur gezeigten Prüftablar TST gehalten sind, auf einmal geprüft werden können.
Wie in 13 gezeigt ist, ist auf der Sockelplatine 50 der Sockel 40 vorgesehen, und wie in 13 und 14 gezeigt ist, ist die Sockelführung 41 so auf dem Sockel 40 befestigt, daß Anschlußklemmen 44 des Sockels 40 frei liegen. Bei den Anschlußklemmen 44 des Sockels 40 handelt es sich um Prüfstifte, deren Anzahl und Positionen den externen Kontakten 22 des Prüflings 2 entsprechen und die durch eine nicht gezeigte Feder nach oben vorgespannt sind. Auf beiden Seiten der Sockelführung 41 sind die Führungsbuchsen 411 vorgesehen, in welche die an dem Stößel ausgebildeten Führungsstifte 32 eingeführt werden, um die Sockelführung mit den Führungsstiften 32 auszurichten.
Der in 13 und 14 gezeigte Stöße1 30 ist in einer Anzahl, die der Anzahl der Sockel 40 entspricht, auf der Oberseite des Prüfkopfes 5 angeordnet und ist in der Lage, sich in Richtung der Z-Achse mit Hilfe eines nicht gezeigten Z-Achsen-Antriebs (z. B. eines Fluiddruckzylinders) auf und ab zu bewegen. Wie in 13 und 14 gezeigt ist, ist ein etwa in der Mitte des Stößels 30 liegender Teil als Druckglied 31 zum Andrücken des Prüflings 2 ausgebildet, und auf beiden Seiten davon befinden sich die Führungsstifte 32, die in die Führungslöcher 20 des Halteeinsatzes 16 und die Führungsbuchsen 411 der Sockelführung 40 einzuführen sind. Wie in 13 und 14 gezeigt ist, ist außerdem zwischen dem Druckglied 31 und dem Führungsstift 32 eine Anschlagführung die zum Einstellen der unteren Grenze vorgesehen, wenn der Stößel durch den Z-Achsen-Antrieb abgesenkt wird, und dadurch, daß die Anschlagführung 34 die Anschlagfläche 412 der Sockelführung 40 berührt, wird die untere Endlage des Stößels 30 bestimmt, in der der Stößel mit einer geeigneten Andruckkraft auf den im Halteeinsatz 16 gehaltenen Prüfling drückt, ohne diesen zu zerbrechen.
Als viertes wird ein Teil erläutert werden, der sich auf den Entladeabschnitt 400 bezieht.
Der in 2 und 3 gezeigte Entladeabschnitt 400 hat einen X-Y-Förderer 404 mit dem gleichen Aufbau wie der X-Y-Förderer 304 im Ladeabschnitt 300. Geprüfte ICs werden vom Prüftablar TST, das zu dem Entladeabschnitt 400 ausgetragen wurde, mit Hilfe des X-Y-Förderers 404 auf ein Kundentablar KST umgeladen.
Wie 2 zeigt, hat die Bühne 105 des Entladeabschnitts 400 zwei Paare von Fenstern 406, die so angeordnet sind, daß die zum Entladeabschnitt 400 zugeführten Kundentablare KST von unten herangeführt werden können.
Weiterhin ist, obgleich nicht gezeigt, unter der jeweiligen Öffnung 406 ein Hubtisch zum Anheben oder Absenken eines Kundentablars KST angeordnet. Ein Kundentab-lar KST, das nach dem Beladen mit geprüften ICs voll gelaufen ist, wird hier abgesetzt und abgesenkt, und das volle Tablar wird an den Transferarm 205 übergeben.
Die oben erläuterten Ausführungsformen wurden beschrieben, um das Verständnis der vorliegenden Erfindung zu erleichtern, und sollen die Erfindung nicht beschränken. Demgemäß umfassen die in den obigen Ausführungsformen dargestellten Elemente alle konstruktiven Abwandlungen und Äquivalente im technischen Rahmen der vorliegenden Erfindung.
Bei den obigen Ausführungen können die folgenden Abwandlungen vorgenommen werden.
Zum Beispiel kann die in 7 gezeigte Torsionsfeder 173 in dem Hakenmechanismus F durch eine Blattfeder 173' ersetzt werden, die in Verbindung mit der Klammer 172 ausgebildet ist, wie in 16 gezeigt ist. Auch die Torsionsfeder 176 im Verriegelungsmechanismus L, der in 7 gezeigt ist, kann durch eine Blattfeder 176' ersetzt werden, wie sie in 17 gezeigt ist. Auch die Richtung, in der bei dem Hakenmechanismus F der Hakenbereich 172a in die Hakenaufnahme 185 eingereift, kann in eine beliebige Richtung geändert werden. Auch ist das Prüfgerät 10 nicht auf den oben beschriebenen Typ mit Kammern beschränkt, sondern kann z. B. auch ein Gerät ohne Kammern oder mit Heizplatten sein.
Industrielle Anwendbarkeit
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird zunächst ein Führungskern geschaffen, der lösbar an einem Einsatzkörper angebracht ist. Zweitens wird gemäß der vorliegenden Erfindung ein Einsatzkörper geschaffen, an dem ein Führungskern lösbar angebracht ist. Drittens wird gemäß der vorliegenden Erfindung ein Einsatzkörper mit einem Verriegelungsmechanismus geschaffen, dessen Verriegelungsbereich einen gro-ßen Öffnungsweg aufweist und in der Lage ist, IC-Bauelemente mit unterschiedlichen Größen zu handhaben. Viertens wird gemäß der Erfindung ein Halteeinsatz geschaffen, der den oben beschriebenen Führungskern und den obigen Einsatzkörper aufweist, sowie eine Handhabungsvorrichtung mit einem solchen Halteeinsatz.
ZUSAMMENFASSUNG
Um einen Führungskern (18) zu schaffen, der lösbar an einem Einsatzkörper (17) angebracht werden kann, sowie einen Einsatzkörper (17), an dem der Führungskern (18) lösbar angebracht werden kann, schafft die Erfindung einen Führungskern (18), der in der Lage ist, lösbar an dem Einsatzkörper (17) angebracht zu werden, mit einem Stützbereich zur Abstützung einer äußeren Anschlußfläche eines elektronischen Bauelements in Flächenbauweise derart, daß externe Kontakte des Bauelements in Richtung auf Anschlußklemmen eines Sockels frei liegen, und einer Hakenaufnahme, die in der Lage ist, lösbar mit einem an dem Einsatzkörper ausgebildeten Hakenbereich (172a) in Eingriff zu treten, und einen Einsatzkörper (17), an dem der Führungskern (18) lösbar anzubringen ist, mit einem Führungsbereich (171a) für das elektronische Bauelement, der einen Befestigungssockel zur Anbringung des Führungskerns und einen Einlaß für das elektronische Bauelement aufweist, welcher Einsatz so mit dem Befestigungssockel verbunden ist, daß ein elektronisches Bauelement zu dem an dem Befestigungssockel angebrachten Führungskern geleitet werden kann, und mit einem Hakenbereich (172a), der lösbar mit der Hakenaufnahme an dem Befestigungssockel in Eingriff zu bringen ist.
(7)

Claims

Führungskern (18) zur lösbaren Anbringung an einen Einsatzkörper (17), mit einem Stützbereich (181), der in der Lage ist, eine äußere Anschlußfläche (23) eines elektronischen Bauelements (2) in Flächenarray-Bauweise so abzustützen, daß externe Kontakte (22) des Bauelements in Richtung auf Anschlußklemmen (44) eines Sockels (40) frei liegen, und einer Hakenaufnahme (185), die in der Lage ist, lösbar mit einem an dem Einsatzkörper (17) ausgebildeten Hakenbereich (172a) in Eingriff zu treten.
Führungskern nach Anspruch 1, mit einem Einsteckloch (186), in das der Hakenbereich (172a) einführbar ist, wobei die Hakenaufnahme (185) mit dem in das Einsteckloch (186) eingeführten Hakenbereich (172a) in Eingriff treten kann.
Führungskern nach Anspruch 1 oder 2, mit einem Paßloch (187) für einen Führungsschaft (413) zur Ausrichtung des Führungskerns (18) mit dem Sockel (40).
Einsatzkörper (17), an dem ein Führungskern nach einem der Ansprüche 1 bis 3 lösbar zu befestigen ist, mit einem Führungsbereich (171a) für das elektronische Bauelement (2), der einen Befestigungssockel (171c), an dem der Führungskern (18) angebracht ist, und einen Einlaß (171b) aufweist, der mit dem Befestigungssockel verbunden ist, so daß ein elektronisches Bauelement (2) zu dem am Befestigungssockel (171c) angebrachten Führungskern (18) geleitet werden kann, und einem Hakenbereich (172a) für den lösbaren Eingriff in eine am Führungskern (18) vorgesehene Hakenaufnahme (185).
Einsatzkörper nach Anspruch 4, bei dem der Hakenbereich (172a) in ein Einsteckloch (186) des Führungskerns (18) einführbar ist und in einem Zustand, in dem er in das Einsteckloch eingeführt ist, mit der Hakenaufnahme (185) in Eingriff treten kann.
Einsatzkörper nach Anspruch 4 oder 5, bei dem der Hakenbereich (172a) sich in der Richtung für den Eingriff in die Hakenaufnahme (185) bewegen kann.
Einsatzkörper nach Anspruch 6, bei dem der Hakenbereich (172a) um eine Achse schwenkbar ist.
Einsatzkörper nach Anspruch 6 oder 7, bei dem der Hakenbereich durch ein elastisches Element (173) in die Richtung für den Eingriff in die Hakenaufnahme (185) vorgespannt ist.
Einsatzkörper nach Anspruch 8, mit einem Anschlag ( 171f ) zur Begrenzung der Schwenkbewegung des Hakenbereichs (172a) in der Richtung für den Eingriff in die Hakenaufnahme (185).
Einsatzkörper nach Anspruch 9, mit einer Spannaufnahme (172b), die mit dem Hakenbereich (172a) verbunden ist und den Hakenbereich in der Richtung zum Lösen des Eingriffs mit der Hakenaufnahme (185) bewegen oder schwenken kann, indem sie eine Kraft von einer Spannvorrichtung (G) erfährt.
Einsatzkörper nach Anspruch 10, mit einer Öffnung (171e), in welche die Spannvorrichtung (G) so einführbar ist, daß sie auf die Spannaufnahme (172b) drückt.
Einsatzkörper nach Anspruch 11, bei dem die Spannvorrichtung (G), wenn sie in die Öffnung (171e) eingeführt ist, auf die Spannaufnahme (172b) drückt, indem sie an der Spannaufnahme entlang gleitet.
Einsatzkörper nach einem der Ansprüche 4 bis 12, mit einem Verriegelungsmechanismus (F), der aufweist: einen Tastbereich (175a), der durch die Kraft eines Treibers (19), der sich auf den Einsatzkörper (17) zu und von diesem weg bewegt, in der Richtung schwenkbar ist, in der sich der Treiber (19) auf den Einsatzkörper (17) zu bewegt, einen Verriegelungsbereich (175b), der schwenkbar ist zwischen einer Öffnungsstellung, in der er den Führungsbereich (171a) für das elektronische Bauelement (2) offen hält, und einer Schließstellung, in der er den Führungsbereich (171a) geschlossen hält, und einen Arm (177c), der die Schwenkbewegung des Tastbereichs (175a) mit der Schwenkbewegung des Verriegelungsbereichs (175d) koppelt, wobei, wenn sich der Treiber (19) in der abgerückten Position befindet, der Tastbereich (175a) näher an dem Treiber (19) als an einer Ebene (H1) liegt, die die Schwenkachse des Tastbereichs (175a) enthält und zu der Richtung senkrecht ist, in der sich der Treiber (19) auf den Einsatzkörper zu und von diesem weg bewegt, und in der der Tastbereich nahe einer Ebene (H2) liegt, die die Schwenkachse des Tastbe reiches enthält und zu der Richtung parallel ist, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu und von diesem weg bewegt, wobei sich der Treiber (19) bewegen kann, ohne an dem Arm (175c) anzustoßen.
Einsatzkörper nach Anspruch 13, bei dem der Tastbereich (175a) durch ein elastisches Element (176; 176') in der Richtung vorgespannt ist, in das sich der Treiber vom Einsatzkörper (17) weg bewegt.
Einsatzkörper nach Anspruch 13 oder 14, bei dem der Tastbereich (175a) in der Nähe des Treibers (19) liegt, wenn dieser sich in der abgerückten Position befindet.
Einsatzkörper nach einem der Ansprüche 13 bis 15, bei dem der Tastbereich (175a) durch Einwirkung des Treibers (19) in der Richtung schwenkt, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper (17) zu bewegt, wobei die Schwenkbewegung des Tastbereiches (175a) und die Schwenkbewegung des Verriegelungsbereiches (175b) so gekoppelt sind, daß der Verriegelungsbereich aus der Schließstellung in die Öffnungsstellung schwenkt.
Einsatzkörper nach einem der Ansprüche 13 bis 16, bei dem die Schwenkachse des Tastbereiches (175a) und die Schwenkachse des Verriegelungsbereiches (175b) identisch sind.
Einsatzkörper nach Anspruch 17, bei dem, wenn sich der Treiber (19) in der abgerückten Position befindet, der Tastbereich (175a) und der Verriegelungsbereich (175b) auf entgegengesetzten Seiten einer Ebene (H1) liegen, die die Schwenkachse enthält und zu der Richtung senkrecht ist, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu und von diesem weg bewegt.
Einsatzkörper nach Anspruch 17 oder 18, bei dem die Schwenkachse in der Nähe des Einlasses (171b) für das elektronische Bauelement (2) liegt und wenn sich der Treiber (19) in der abgerückten Position befindet, ein Ende des Verriegelungsbereiches (175b) nahe an einer Ebene (H2), die die Schwenkachse enthält und zu der Richtung parallel ist, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu und von diesem weg bewegt, und in der Nähe des Befestigungssockels (171c) für den Führungskern (18) liegt.
Einsatzkörper nach einem der Ansprüche 17 bis 19, bei dem, wenn sich der Treiber (19) in der abgerückten Position befindet, der Tastbereich (175a) und der Arm (175c) auf entgegengesetzten Seiten einer Ebene (H3) liegen, die zu der Schwenkachse senkrecht ist und parallel zu der Richtung ist, in der sich der Treiber auf den Einsatzkörper zu und von diesem weg bewegt.
Einsatzkörper nach einem der Ansprüche 4 bis 20, mit einem Halter (171p), der in der Lage ist, den Tastbereich (175a) so zu halten, daß der Tastbereich schwenken kann, ohne am Einsatzkörper (17) anzustoßen.
Halteeinsatz (16) mit einem Führungskern (18) nach einem der Ansprüche 1 bis 3 und einem Einsatzkörper (17) nach einem der Ansprüche 4 bis 21.
Halteeinsatz nach Anspruch 22, der an einem Tablar (TFT) zur Zufuhr eines zu prüfenden elektronischen Bauelements (2) zu und von einem Kontaktbereich eines Prüfkopfes (5) eines Prüfgerätes (10) für elektronische Bauelemente angebracht ist.
Handhabungsvorrichtung für elektronische Bauelemente (2), zur Ausführung einer Prüfung an einem elektronischen Bauelement (29 in Flächenarray-Bauweise, durch Verbindung externer Kontakte (22) des Bauelements (2) mit Anschlußklemmen (44) eines Sockels (40) in einem Zustand, in dem das Bauelement in einem Halteeinsatz (16) gehalten ist, mit dem Halteeinsatz (16) nach Anspruch 22 oder 23.