WO2005088396A1 - ポジ型感光性樹脂組成物、それを用いたレリーフパターン、及び固体撮像素子 - Google Patents

Abstract

　露光前はアルカリ現像液にほとんど溶解せず、露光すると容易にアルカリ現像液に溶解し、微細パターンを解像することができ、光学素子に用いることができる高透明性で高屈折率でレンズ形状を作成できる組成物を提供する。　 　（ａ）アルカリ可溶性基を有するポリマー１００重量部に対して、（ｂ）露光波長の光を吸収するが、その光によって、退色しない化合物を１～３０重量部、（ｃ）キノンジアジド化合物を１～５０重量部、（ｄ）アルミニウム化合物、ケイ素化合物、スズ化合物、チタン化合物、ジルコニウム化合物から少なくとも１種選ばれる粒子径１ｎｍから３０ｎｍの無機粒子を５～５００重量部含有するポジ型感光性樹脂組成物を用いる。

Description

ポジ ， 、それを用 た タ 、

術分野

０００1 、 明性と高 折率、 状が要求される光学 の 導波路 や、 ンズなどに適した、紫外線で した部分がア カ 溶液に溶解するポジ型 の感光性 に関する。

０００2 した部分がア カ 像に 解するポジ型の感光性 としては、 ポジ型の ジスト 、ポジ型の感光性ボ 、ポジ型の感光 性ボ ベンゾ ゾ が既に開発されて ( えば

)。これらは、半導体 ン ドライ チング 程における スク として、 、加熱ある は適当な 熱性 とし、半導体 の

、 、有機 の に使用されて ( えば

2 )。これらを光学 ンズ等に適用する場合、この 、 屈折率に問題があり、これを解決するために、透明性の に 折率 子を導入したものが開発されて ( えば 3 )。

1 2 2 24 6

2 2 2 22 794

3 2 3 75997 報

発明の

明が解決しよ とする課題

０００3 し しながら、これらの 、光学 子である電荷 子の ンズ等に適用す る場合、昨今の ト ンドである 微細 の 点 ら、現状のものは屈折 率が十分とは言えず 題とな て 。また、現在は、組成 を用 タ ン 、熱 〒 ことに 、 ンズ 状を製作して るが、屈折率を向上さ るた めに、 折率 子を多 入する手法を用 場合、粒子の 果に 、熱処 、流動性が 害され、 折率と、良好な形状の ンズの 製を同時に達成す ることは困難であ た。

０００4 、露光前はア カ 像液にほとんど 解 ず、露光すると 易にア カ 像液に溶解し、微細 タ ンを解像することができ、光学 子に用 ることができ る 明性で高 折率で な形状の ンズを作製できる を提供することを 目的とする。

題を解決するための

０００5 すなわち 、 ( a )ア カ 溶性 を有するポ に対して、 ( b ) 光波長の光を吸収するが、その光によ て、退色しな 化合物を 3

( c )キノンジアジ 物を 5 、 ( d )ア ウム 合物、ケイ 物 、スズ 物、チタン 物、ジ ウム 物 ら少な とも 選ばれる粒子 ら の 子を 5 5 有することを特徴とするポジ 光 性 であり、また別な表現をすれば、 ( a )ア カ 溶性 を有するポ

に対して、 ( b ) 外線を吸収するが、その光によ ては退色しな 物を 3 、 ( c )キノンジアジド 合物を 5 、 ( d )ア ウム 物、ケイ 物、スズ 物、チタン 物、ジ ウム 物 ら少な とも 選ばれる粒子 ら 3 の 子を 5 5 有することを特徴 とするポジ 光性 、である。

０００6 そしてまた、 明の 熱性 タ ンは、 x のドット サイズ 、 ・ x 、チで 子状に配列された 熱性

タ ンであ て、 ドットは 4 における光線 あたり 8 上 であり、 、 ドットの 角が 55 以下であることを特徴とする 熱性

タ ン、である。

０００7 そしてまた、 の 態様を提案するものである。

明の

０００8 明によれば、ア カ 溶液で現像でき、 明性、高 折率のポジ型の感 光性 を得ることができる。また、電荷 子などの 子の ンズとして有用な 折率が高 、良好な ンズ 状を有した タ ンを得るこ とができる。

０００9 明の 光性 による ンズ 成過程の である。左の 絵は露 ・ タ ンの 状を示し 右の絵は該 タ ンを熱処理した 後の タ ンの ( ンズ )を示して る。

号の

００1０ 3

2

発明を実施するための 良の

００11 明における ( a ) 、現像液として られるア カ 溶液に可溶性であ ることが必要であり、これまでに用 られてきた一般的なア カ 溶性ボ であ れば ずれのものでも良 。ア カ 溶性ボ としては、ノボラック 脂、 ゾ 脂、 ノ 酸基またはカ ボ 基を有するうジカ 合性ボ 、ポ 、ポ 、ポ ベンゾ ゾ 体 ら選択されるポ である。これら前記ポ は分子中にア カ 溶性 を有することが望ま 。 ００12 ア カ 溶性 としてはカ ボ 、 ノ 酸基、ス ホン 基、チオ が挙げられる。

００13 記の ラック および ゾ の ノ 類の単 ある は それらの の 合物をホ ンなどのア デヒド類で公 の 法で重 合す ることにより得られる。

００14 ラック および ゾ 脂を構成する ノ 類としては、例えば ノ 、 ゾ 、 ゾ 、 ゾ 、 2 3 メチ ノ 、 2 4 メチ ノ 、 2 5 メチ ノ 、 2 6 メチ ノ 、 3 4 メチ ノ 、 3 5 メチ ノ 、 2 3 4 メチ ノ 、 2 3 5 ト メチ ノ 、 3 4 5 メチ ノ 、 2 4 5 メチ ノ 、 メチ ン ス ノ 、メチ ンビス ゾ 、 ン、カテ 、 2 メチ ン、 4 メチ ン、 ク ノ 、 ク ノ 、 ク ノ 、 2 3 ク ノ 、 トキ ノ 、 トキ 、 トキ ノ 、 ノ 、 ノ 、

ノ 、 2 3 ノ 、 2 5 ノ 、 ソプ ピ ノ 、 ト 、 ト などが挙げられ、これらは単独で、または複 数の 合物として ることができる。

００15 また、ア デヒド類としては、ホ ンの 、 ラホ ムア デヒド、アセトア デヒ ド、ベン ア デヒド、ヒド ア デヒド、ク トア デヒドなどが挙げ られ、これらは単独でまたは複数の 合物として ることができる。

００16 明の ノ 酸基またはカ ボ 基を有するラジカ 合性 ノ の 合体ポ および または 合性 ノ とそれ以外の他 のうジカ 合性 ノ の 重合体ポ としては、 ジカ 合開始 を用 て、 の 法で重合することにより得られる。

００17 ノ 酸基または 基を有するうジカ 合性 ノ として は、例えば、 キ スチ ン、 キ スチ ンおよび キ スチ ン 、ならびにこれらのア キ 、ア 、 ゲン、 ア キ 、 ト 、 アノ、ア ド、 ステ 、 キ 換体 キノン、 5 ガ 、 6 ガ 、 グ ノ 等の キ ビ ノ 類 息香酸、 息香酸、および 息香酸、ならびにこれ らのア キ 、ア 、 ゲン、 ト 、 アノ、ア ド、 ステ 換体、メタク およびアク 、ならびにこれらの 位の ア キ 、ア 、 ゲ ン、 ト 、 アノ 換体 イン 、無水 イン 、 、無水 、 ト ラ ン 、 ン 、イタ ン および 4 ク キセンジカ ボン の 価 の 飽和力 ボ 、ならびにこれらのメチ 、 チ 、プ ピ 、 プ ピ 、

、 s e 、 e 、 、 ト イ ステ お よび ア ドを好ま 祐のとして げることができる。これらの 、 キ スチ ン、 キ スチ ンおよび キ スチ ン、ならびにこれらのア キ 、ア キ 換体が タ ング時の感度、解像 、現像 の 、

、 、下地との 着性、 の 定性等の面 ら好まし れる。これらは または 2 以上一緒に用 ることができる。 また、上記その他のラジカ 合性 ノ としては、例えば チ ン、および チ ンの 位、 、 、または 位のア キ 、ア 、 ゲン、 ア キ 、 ト 、 アノ、ア ド、 ステ 換体 タ ン、イソプ ン、ク プ ン 等の ィン類 タク またはアク 酸のメチ 、 チ 、 プ ピ 、 プ ピ 、 、 s e 、 e 、ペンチ 、ネオペンチ 、イソア キ 、 ク 、アダ ンチ 、ア 、プ 、 、 、ア ラセ 、ア ラ 、 、サリ 、 ク 、ベ ジ 、 、ク 、グ ジ 、 ト オ チ 、 オ チ 、 オ プ ピ 、 オ プ ピ 、ト メチ 、ト ク

2

5・ 2・ ・ デカン 8 イ ( 術分野の として ンク ペンタ と われて る。 )、 、 3 ( メチ ア ノ ) 、 3 メチ ア カ 、 、 の ステ 、メタク またはアク 酸の 、ア ド、または メチ 、 、 プ ピ 、 ソプ ピ 、アントラ ア ド、アク ト 、アク イン、メタク ト 、 、 ビ デン、 、 ビ デン、 ドン、ビ ジン、 ビ 、 イン 、 ( 4 ) イン 、 タク イ タ イ 、 アク イ タ イ 等を用 ることが できる。これらは または 2 以上 用することができる。これらの 、スチ ン、お よび チ ンの 位、 位、 、 位のア キ 、ア 、 ゲン、 ア キ 換体 タ ン、イソプ ンツタク 、またはアク 酸のメチ 、 チ 、 プ ピ 、 、グ ジ およびト ク 5 2 6

・ 2・ ・ デカン 8 の ステ 物が、 タ ング時の感度、解像 、現像 の 、 、 、下地との 着性、 の 定性 の 点 ら特に好適に用 れる。ア カ 溶性 として ノ 酸基を有するラジカ 合性 ノ とそれ以外の他のう 合性 ノ の 重合体を用 る場合、他のうジカ 合性 ノ の 共重合の 、 ノ 酸基を持 ラジカ 合性 ノ および他のう 合性 ノ との 計量に対して、好まし は 3 下、特に好まし は 5 2 である。また、ア カ 溶性 とし カ ボ 基を有するうジカ 合性 ノ とそれ以外の他のうジカ 合 性 ノ の 重合体を用 る場合、他のうジカ 合性 ノ の 共重 合の 、 基を有するうジカ 合性 ノ および他のうジカ 合性 ノ との 計量に対して、好まし は 9 下、特に好まし は 8 である。これらのラジカ 合性 ノ の 合が ノ 酸基 または 基を有するラジカ 合性 ノ に対して前述した割合を越 えるとア カ 像が困難となる場合がある。

００19 明に好適に用 られる一般 ( )で表される構造 位を主成分とするポ

としては、加熱ある は適当な により、 、オキ ゾ 、その他の環 造を有するポ となり得るものである。ここで、主成分とは構造 位として 5 上、好まし 7 上、さらに好まし は 9 上の場合を 。 造となることで、 熱性、 が飛躍 に向上する。すなわち、 明にお て 熱性 とは、このよ に加熱ある は適当な により環状 造を形成する ポ し は環状 造形成 ポ を指す。

００2０

００21 は 2 上の炭素原子を有する 2価 ら 8価の有 2

、 は、 2 上の炭 素原子を有す 3

る 2価 ら 6価の有 、 は水素、または 素数 ら 2 までの を示す。 は ら までの 、 は O ら 2までの 数、 、 は ら 4ま での 数を示す。ただし である。

００22 ( )は、水酸基を有した ア ド および または ア ド ステ を表しており、従 て、 であることが望ま 態様であることは明ら である 。この 酸基の 在のために、ア カ 溶液に対する 解性が水酸基を有さな ア ド よりも良好になる。特に、水酸基の中でも ノ 性の水酸基がア カ 溶液に対する 解性の点で好ま 。また、 ッ 原子を一般 ( ) 、すなわ ち一般 ( )で表される構造 位を主成分とするポ 子中、に

上 することで、ア カ 溶液で現像する際に、膜の界面に機 性が適度に出る ために、 面のしみこみなどが抑えられる。し しながら、 ッ 原子 有量が 2 越えると、ア カ 溶液に対する 解性が低下すること、熱処理により環状 造にしたポ の が低下すること、発煙硝酸に対する 解性が低 下するために好まし な 。このよ に、 ッ 原子は 上 2

まれることが好ま 。

００23 ( )の は 無水物の 造成分を表しており、この 無水物は芳 香 を含有し、 、水酸基を 4 した、 2 上の炭素原子を有する 2 8価の有 であることが好まし 、炭素数 6 3 の 3 または 4価の有 がさ らに好ま 。

００24 ( 2

(

００25 R、 は 素数 2 2 より選ばれる 2 4価の有 を示し、 は、炭素数 3 2 より選ばれる水酸基を有した 3 6価の有 を示し 8

、 、 は水素、および または 素数 2 までの を示す。 、 sは ら 2までの 数、 は 4まで の 数を示す。

００26 体的には、一般 ( 2 )に示され 6 るよ 構造のものが好まし 、この 合、 、 は 素数 2 2 より選ばれる 2 4価の有 を示して るが、得られるポ の 熱性の点 ら を含んだものが好まし 、その中でも特に好まし 構造と して メ ット 、ト ン 、 タ ント カ ボン のよ なものを挙げること ができる。また は 素数 3 2 より選ばれる水酸基を有した 3 6価の有 が 好まし 。さらに、水酸基はア ド 合と隣 合 た位置にあることが好まし 。このよ な例として、 ッ 原子を含んだ、ビス ( 3 ア ノ 4 ) キサ オ プ ン、ビス ( 3 キ 4 ア ノ ) キサ オ プ ン、 ッ 原子を含まな 、ビス ( 3 ア ノ 4 ン、ビス ( 3 キ 4 ア ノ ) ン、 3 3 ア ノ 4 4 キ ビ 、 3 3 ア ノ 4 4 キ ビ 、 2 4 ア ノ ノ 、 2 5 ア ノ フ ノ 、 4 ア ノ 2 5 ンゼンのア ノ基が結合したものなど を挙げることができる。

0027 また、一般 ( 2 )の 8

、 は水素、および または 素数 2 までの が 良 。 素数 2 より大き なるとア カ 像液に対する 解性が低下する。

0028 ( 2 の o、 sは 2の 数をあらわしており、 は 4までの 数を表して る。 が 5 上になると、得られる 熱性 の 性が低下する。

００29 ( 2 )で表される構造 位の中で 好まし 構造 位を具体的に例示すると 下記に示したよ 構造のものが挙げられる。し し、 はこれらに限定されるも のではな 。

００3０ 3

H

００31 また、ア カ に対する 解性、感光性能、 熱性を損なわな 範囲で、水酸基を して な テトラカ ボン 、ジカ ボン酸で変性することもできる。この としては 、 メ ット 、ベンゾ テトラカ ボン 、ビ テトラカ ボン 、ジ テ テトラカ ボン 、ジ ス テトラカ ボン酸などの テ トラカ ボン やそのカ ボ 2個をメチ チ 基にした ステ 物、 タンテトラカ ボン 、 ク ペンタンテトラカ ボン酸などの 肪族のテトラ カ ボン やそのカ ボ 2個をメチ チ 基にした ステ 物、テ タ 、イソ タ 、ジ テ ジカ ボ 、 タ ジカ ボン酸などの ジカ ボン 、アジピン酸などの 肪族ジカ ボン酸などを 挙げることができる。これらは、 分の 5 下の 性が好ま が、さらに 好まし は 3 下である。 5 より多 の 性を行 、ア カ に対する 解性、感光性が損なわれる恐れがある。

2

( )の は、ジア ン を表して る。この中で 2

、 の まし 例とし ては、得られるポ の 熱性より を有し、 酸基を有するものが好ま し 、具体的な例としては ッ 原子を有した、ビス (ア ノ ヒ キ ) キ サ オ プ ン、 ッ 原子を有さな 、ジア ノ ピ ジン、ジア ノ ジン、ヒド キ ジア ノ ピ ジン、ジア ノ ノ 、 ベ ンチ などの 物や一般 ( 3 ) ( 4 ) ( 5 )に示す 造のものをあげることができ る。

００33 4 （ 3 ）

（ 4

R 5 C N H R 6 )

w ００34 R、 は 素数 2 2 より選ばれる水酸基を有した 3 4価の有 を示し、 は 素数 2 3 より選ばれる 2価の有 を示す。 、 は ある は 2の 数を示 す。 、 は 素数 2 2 までの 2価の有 を示し、 は、炭素数 3 2 より 選ばれる水酸基を有した 3 6価の有 を示す。 は 4までの 数を示す。 は 素数 2 2 より選ばれる 2価の有 を示し、 は、炭素数 3 2 より選ば れる水酸基を有した 3 6価の有 を示す。 は 4までの 数を示す。

００35 この中で、一般 ( 3 )内の 、 、一般 ( 4 )内の 、一般 ( 5 )内の は、得 られるポ の 熱性より 、水酸基を有した有機 が好ま 。 ( 3 ) 一般 ( 4 ) 4

内の 内の 、 ( 5 )内の は、得られるポ の 熱性より を有した有機 が好ま 。また一般 ( 3 )の、 は ある は 2の 数を示し、一般 ( 4 )の 、一般 ( 5 )の は 4までの 数を示す。 ００36 ( 3 )で表される構造 位の中で、好ま 構造 位を具体的に例示すると 下記に示したよ 構造のものが挙げられる。 ００37 5

００38 また、一般 ( 4 )で表される構造 位の中で 好まし 構造 位を具体的に例示 すると下記に示したよ 構造のものが挙げられる。

００39

００4０ また、一般 ( 5 )で表される構造 位の中で 好まし 構造 位を具体的に例示 すると下記に示したよ 構造のものが挙げられる。 ００41 7

００42 ( 3 )に示す 造にお て、 、 素数 2 2 より選ばれる水酸基を有 した 3 4価の有 を示しており、得られるポ の 熱性の点 らは芳香 を有したものが好ま 。 体的には 、

、ヒド チ 、 チ 、ヒド キ ビ 、 キ ビ 、ビス ( ) キサ オ プ ン 、ビス ( ) ン 、ビス ( ) ホン 、ヒド ジ

テ 、 ジ テ 基などを表す。また、ヒド ク

、 ク 基などの 肪族の基も使用することができる。 は 素数 2 3 までの 2価の有 を表して る。 られるポ の 熱性よりは芳 香 を有した 2価の基がよ 、このよ 例としては 、ビ 、ジ テ 、ジ キサ オ プ ン 、ジ プ ン 、ジ ス ホン基などをあげることができるが、これ以外にも 肪族の ク 基なども使用することができる。

００43 ( 4 )に示す 造にお て、 、 は 素数 2 2 までの 2価の有 を 表して る。 られるポ の 熱性よりは芳香 を有した 2価の基がよ 、この よ 例としては 、ビ 、ジ テ 、ジ キ サ オ プ ン 、ジ プ ン 、ジ ス ホン基などをあげるこ とができるが、これ以外にも 肪族の ク 基なども使用することができる。

、炭素数 3 2 より選ばれる水酸基を有した 3 6価の有 を示しており、 得られるポ の 熱性より を有したものが好ま 。 体的には

、 、ヒド チ 、 チ 、ヒド キ ビ 、 キ ビ 、ビス ( ) オ プ ン 、ビス ( ) ン 、ビス ( ) ホン 、ヒド ジ テ 、 ジ テ 基な どを表す。また、ヒド ク 、 ク 基などの 肪族の基も使用することができる。

００44 ( 5 )に示す 造にお て は 素数 2 2 より選ばれる 2価の有 を表 して る。 られるポ の 熱性 ら を有した 2価の基がよ 、このよ 例としては 、ビ 、ジ テ 、ジ キサ オ プ ン 、ジ プ ン 、ジ ス ホン基などをあげることがで きるが、これ以外にも 肪族の ク 基なども使用することができる。 は 素数 3 2 より選ばれる水酸基を有した 3 6価の有 を示しており、得られ るポ の 熱性より を有したものが好ま 。 体的には

、 、ヒド チ 、 チ 、ヒド キ ビ 、 キ ビ 、ビス ( ) キサ オ プ ン 、ビス ( ) ン 、ビス ( ) ホン 、ヒド ジ テ 、 ジ テ 基などを 表す。また、ヒド ク 、 ク 基などの 肪族 の基も使用することができる。

００45 また、 4 囲の、他の ン 分を用 て変性することもできる。こ れらの としては、 ンジア ン、ジア ノジ テ 、ア ノ

ンゼン、ジア ノジ メタン、ジア ノジ ス ホン、ビス (ト オ ある はこれらの ア キ ゲン 子で 換した 物などを挙げることができる。このよ な例として、 ンジア ン、ジア ノジ テ 、ア ノ ンゼン、ジア ノジ メタン、ジア ノジ ス ホン、ビス (ト オ メチ )ベンチジン、ビス (ア ノ ) ン、ビス (ア ノ ) ある はこれらの ア キ ゲ 子で 換した 物など、 肪族の ク ジア 、メチ ンビス ク などが挙げられる。このよ な ン 分を 4 範囲で共重合すると られるポ の 熱性が低下する。

００46 の 3

( ) は水素、または 素数 2 の を表して る。 られるポジ

3

光性 の 定性 らは、 は有機 が好ま が、ア カ 溶 液の 解性より見ると水素が好まし 。 明にお ては、水素原子とア キ 基を

3

混在さ ることができる。この の 素と有機基の量を制御することで、ア カ 溶 液に対する 度が変 するので、この 整により 度な溶解 度を有したポジ

3

光性 を得ることができる。 まし 範囲は、 の 9 水素 原子であることで 3

ある。 の 素数が 2 を越えるとア カ 溶液に溶解しな なる。 上 3

より は、炭素数 6までの 化水素 上 有し、その他は水素原 子であることが好まし 。

００47 また一般 ( )の は 基の数を示しており、 2までの 数を示して る。 ( )の は 明のポ の 位の り返し数を示しており、 の 囲であることが好まし 。

００48 ア ド 似の 熱性 分子前駆 として ア ドを ア ド酸の 代わりに使用することも出来る。このよ な ア ドの製 法としては、ビ スア ノ ノ 物とジカ ボン酸を縮合 さ ることで得ることが出来る。 体的には、 ンク カ ボ ( C C )のよ な 合剤と酸を反応 さ 、ここに ア ノ ノ 物を加える方法や などの 3 ア を加 えた ア ノ ノ 合物の ジカ ボン ク の 液を するな どがある。

００49 ア ドを使用する場合、ポ ア ドの トキノンジアジ ホン ステ のよ な感光 を加えることで、紫外線で した部分をア カ 溶液で除去できるポジ型の感光性 を得ることが出来る。

００5０ さらに、 との 着性を向上さ るために、 熱性を低下さ な 範囲で 一般

( )の 2

、 に キサン 造を有する 肪族の基を導入、具体的には キ サン 造を有する成分を共重合して 入、してもよ 。 体的には、ジア ン 分とし て、ビス ( 3 ア ノプ ピ テトラメチ キサン、ビス P ア ノ オクタ メチ ペンタ キサンなどを 重合したものなどがあげられる 明の ( )で表されるポ は、その 位のみ らなるものであ ても良 し、他の構 位との 重合体ある は ンド体であ ても良 。その 、一般 ( )で表される構造 位を 9 上 有して ることが好ま 。 重 合ある は ンドに用 られる構造 位の および量は最終 熱処理によ て 得られる 系ポ の 熱性を損なわな 範囲で選択することが好ま 。 ００51 明の ( )で表されるポ は、例えば、低温 テトラカ ボン 2 水物と 合物を反応さ る方法、テ ラカ ボ 2 水物とア とに よりジ ステ を得、その ア 合剤の で反応さ る方法、テトラカ ボ ン 2 水物とア とによりジ ステ を得、その りのジカ ボン酸を酸ク 、ア 反応さ る方法などで合成することができる。

００52 明で使用される ( b )の 、粒子を含有し、熱処理 の 動性が低下し た にお て、熱処理 の 動性には らず な ンズ 状を実現する ための 要な成分である。 処理 の 動性が低下した状態では、表面 力を利 用して ンズ 状を作成することが困難となること ら、 明の ( b )の化合物を導入 することによ て、 に示すよ に、露光 タ ン 状の が 6 。

5 下となるよ タ ンを 成し、その 、 3 C ら 4 C、好まし 7 C ら 4 Cの 処理によ て、組成 を熱 さ て、 熱性 膜の タ ン 状の 3が 55。 下となるよ ン 状を形成することができる ００53 に示すよ タ ンを形成するためには、 ( b )の 物である、露光波長の 光を吸収するが、その光によ て、退色しな 化合物を用 ることにより 成すること ができる。 光波長としては、一般的には 外線の 域が好適に用 られる。すなわ ち、 ( b )としては 外線の 域に吸収を有する 物であることが望ま 。 ( b )の 、 露光機 ら照射される 光波長を吸収する 物であるため、 光性 して タ ン 成を行 合、露光波長にお て大きな 収を生じ、 、その 長によ て退色しな ため、露光波長 として作用し、 膜 上部と底 にお て、露光によ て感光した感光 の 合が大き 変わり、すな わち、現像 度が膜の上部と下部で なることになるので、上記の 状の 容易に形成できるのである。

まし 明の ( b )の化合物は、一般的には、露光波長となる、 ( 365 )、 ( 4 )、 ( 436 ) ら選ばれる一種以上の光を吸収し、 、その 長 によ て分解、退色しな 化合物である。すなわち、 の 手が容易であるのでこ れら光線にお て 収を有するものが好適である。 然であるが、それら 外の 長城にお て 収を全 有さな 味ではな 。

また、 明の ( b )の 、更には 3 C ら 4 C、好まし は 7 C ら 4 Cの 処理で、波長 4 ら 7 の 域における 来の 収が増 加しな 物を用 ることが望ま 。 明の な用途は光学 子であるため、 3 C ら 4 C、好まし 7 C ら 4 Cの 処理 、 4 7 にお ても 明性が重要となる。それ故、熱処理 合物が 発して飛散または、分 解しても、 4 7 に化合物 来の 収が増加しな 化合物であることが 好ま 。 4 7 の 収が増加する 物を用 た場合、熱処理 の 膜に、着色などの 象が発生し、光学 料として使用するのに好まし な ことがある 明における ( b )の 物の としては、好まし は、ポ に 対して、 部 ら 3 であり、特に好まし は、 2 部 ら 25 であ る。すなわち、下限として 上であり、好まし 2 上であり、また、上 限として 3 下であり、好まし 25 である。 を下回ると、現像 タ ン 状にお て 角が 6 。

5 を上回る場合が生じて る場合があり 、また、 3 を上回ると タ ン 、感度が極端に低下し、 上に問 題が生じて る場合がある。

タ ン 状として、 を 65。 下の タ ンを得るためには 、 明のポジ 光性 、波長 365 36 、代表的には波長 3 、好まし は 光波長、における ・ 燥後の 光性 の ・ 2 あたりの が重要となる。これを満足するためには、 ( b )の 物の 類にもよるが、好まし は 2 7 であり、特に好まし は 3 7 。にする必要があ る。 2 下回ると、 タ ン 、感度が極端に低下し、使用に問 が生じて る場合がある。 方、 7 上回ると、 タ ン 状の 角が 65 。 を超えることがあり、例えば 3 C 4 C、好まし 7 C ら 4 Cの 囲での 処理 の 状として、 ン 状が形成できな なる場合がある。 を達 成するためには ( b )の として上述の とすることが重要である。

００58 これらの 性を満足する ( b )の 物としては、たとえば、ク ン 導体、ベンゾト アゾ 導体、ヒド ベンゾ ノン 導体 挙げることができる。ク ン 導体としては、ク ン、ク ン ( 上 品名、 ア ド ッチ ン (株 ) )、 4 キ ク ン、 7 キ ク ン ( 上、東京 (株 ) )、ベ ンゾト アゾ 導体としては、ス ソ 2 、ス ソ 25 、ス ソ 32 、ス ソ 34 、ス ソ 35 ( 上、商品名、住友 工業 (株 ) )、ヒド ベン ゾ ノン 導体としては、ス ソ 3 、ス ソ 4 ( 上 品名、住友 工 業 (株 ) )、ジスライザ 、ジスライザ ( 品名、三協 (株 ) )、 ソ 3 ( プ (株 ) )等が挙げられる。これらの 、 ( b )の 物が、 3 C 4 C、好まし 7 C 4 Cの 処理で飛散する 物を選択する、ある は、飛散しな 場合、分解し、 4 7 の 収が、熱処理前と比較して増 加しな ものを選択することが望ま 。 ( b )の化合物が飛散するためには、 物の 35 の 囲が好まし られる。

００59 これら好ま ( b )の 物としては、ク ン、ク ン 4 4 キ ク ン、 7 キ ク ン、ス ソ 3 、ス ソ 2 、ジスライザ 、ジスライザ 等が好ま 。 下に好ま 化合物の を示した。

8 ００6０ 8

。

4 7

００61 明に用 られる ( c )のキノンジアジ 物としては、 ノ 酸基を有 する 物に トキノンジアジ の ホン酸が ステ で結合した 物が好ま し 。ここで用 られる ノ 酸基を有する 物としては、例えば、 s Z s C Z s P P Z s P C P s 26 X Z s P Z s C P Z s O C C P s P Z s P Z s 26 X C P s P P Z s P P Z s C P Z s O C P P Z s O P P C P s 26 X P Z s O P C P e P 4 P (テトラ P ) s P P s P P s O P Z s S 2 P s P G 26 X s S 3 P s O C O C P s P C O C P s 25 X C P s 26 X C P s O C P O C s 236 C P チ ント ス

C s S 26 X s S O C P ( 上、商品名、本川 工業 (株 ) )、 O C P P C P C P P P C P P C 4 P P C P P ( 上、商品名、旭 機材工業 (株 ) )、 4 4 ス ジ ノ ( (株 ) )、 P ( 品名、 J (株 ) )が挙 げられる。 ００62 これらの ち、好まし ノ 酸基を有する 物としては、たとえば、 s Z s P Z e P 4 P s P P s P P s O C P Z s P Z s P P Z s P P Z s C P P Z s P C P s S 2 P s S 3 P s P C P チ ント ス C s S 26 X P P C P C P P P C 等が挙げられる。これらの ち、特に好まし ノ 酸基を有する 合物としては、たとえば、 s Z e P 4 P s P P s P P s S 2 P s S 3 P P C P P P C 4 4 ス ジ ノ 、 P である。これら ノ 酸基を有する 物に 4 トキノンジアジ ホン ある は 5 トキノンジアジ ホン 酸を ステ 合で 入したものが好ま 屹のとして例示することが出来るが、これ 以外の 物を使用することもできる。この ( c )キノンジアジ 物の 有量として は前記のア カ 溶性 するポ に対して 5 である ００63 また、 明で用 る トキノンジアジ 合物の より大き なると 、その後の熱処理にお て トキノンジアジ 物が十分に熱 解しな ために 、得られる膜の耐熱性が低下したり、機械 性が低下したり、接着性が低下したりす るなどの 題が生じる可能，注がある。このよ な観点より見ると、好まし トキノン ジアジ 物の 3 ら である。さらに好まし は、 35 ら 8 で、 ある。このよ な トキノンジアジ 物の としては、前記のア カ 溶性 するポ に対して、好まし は ら 5 である。 ００64 また、上に示した ノ 酸基を有する 物を現像 の の

度を小さ する目的で 加することも可能である。

００65 まし ノ 酸基を有する 物としては、たとえば、 s Z s P Z e P 4 P s P P s P P s C P Z s P Z s P P Z s P P Z s O C P P Z s P C P s S 2 P s S 3 P s P C P チ ント ス C s S 26 X P P C P C P P P C 等が挙げられる。これらの ち、特に好まし ノ 酸基を有 する 物としては、たとえば、 s Z e P 4 P s P P s P P s S 2 P B s S 3 P P C P P P C 4 4 ス ジ ノ 、 P であるが、これ以外の ノ 酸基を有する 物 を使用することもできる。

００66 ノ 酸基を有する 物の としては、前記のア カ 溶性 するポ に対して、好まし は を超え、

であり、特に好まし は、 を超え、 3 である。 ポ

に対して を超え、 である場合、 ノ 酸 基を有する 物により感光性 ア カ に対する 解性が向上し、現 像 の 解性を向上さ ることができる。 方、 が前記のポ

に対して 上である場合、感光性 ア カ に対する 解性が良 なりすぎるため タ ン 工が困難になることがある。

００67 明に用 る ( d ) 分の 、ア ウム 物、ケイ 化合物、スズ 物、チタン 物、ジ ウム 物 ら少な とも 選ばれる粒子 ら 3 の 子である。 体的には、ア ウム 体、酸化ア ウム 子、酸 スズ ア ウム 子、酸 ケイ ア ウム 子、 酸化ジ ウム 酸化ア ウム 子、酸 スズ ケイ 子、酸 化ジ ウム 酸化ケイ 、スズ 体、酸 スズ 子、酸化ジ ウ ム スズ 、チタン 体、酸 チタン 子、酸 スズ チタン 子、酸 ケイ チタン 子、酸化ジ ウム チタン

、ジ ウム 体、酸化ジ ウム があげられる。 まし は、 スズ チタン 子、酸 ケイ 酸化チタン 子、酸化チタン 子、酸化ジ ウム 酸化スズ 子、酸化ジ ウム ケイ 子、酸化ジ ウム 子である。

００68 これらの ザ ・ により 定された無機 子の 、 ら 3 が好まし 、特に好まし は、 ら 5 である。 、 ら 3 の 合、組成 として 光により所定の タ ンを解像することができる程 度の 光性を得ることができる。 方、 3 を越えると、露光に使用する光が 子 により乱反射し、所定の タ ンを解像することができず としての 光性は に得られな 。また、これら無機 子の としては、ポ に対 して、 5 5 、好まし は 5 部 ら 5 であり、特に好ま し は、 6 部 ら 3 ０ である。すなわち、ポ に対して、 下限として 5 上であり、好まし 5 上であり、さらに好まし 6

上であり、上限として 5 下であり、好まし 3 下である。 ポ に対して、 5 5 、好まし は 5 部 ら 5 である場合、屈折率と透過 (特に 4 )共に向上することが確 認される。 方、 5 より少な と、透明性と 折率が共に上がらな 場合や、 5 を越えると、透明性と 折率は共に向上するが、 タ ン 工が全 難 となり感光性を有しな 場合が生じることがある。

００69 これらの 、単体 子としても、複合 子としても利用できる。さらに、これ らの 、 以上を混合して られることもできる。

００7０ 販されて る 物としては、 スズ チタン 子の ト イク

5 2 、 ト イク 5 4 、 ケイ チタン 子の ト イク 5 3 、 チタン 子の ト イク 5 5 、 ト イク 、 ト イク 、 ト イク 4 、 ト イク ( 上、商 品名、 (株 ) )、酸化ジ ウム ( (株 ) 研究所 )、 スズ 酸化ジ ウム ( (株 ) )、 スズ ( (株 ) 研究所 )等が挙げられる。

００71 また、必要に応じて上記、感光性 と基 との れ性を向上さ る目的 で 、乳酸 チ プ ピ ング メチ テ ア テ トな どの ステ 類、 タノ などのア 類、 ク キサノン、メチ

などの トン類、テトラ ド ラン、 キサンなどの テ 類を混合しても 良 。また、その他の無 子、ある は の 末などを添加することもできる ００72 さらに ンウ などの との 着性を高めるために、 ラン プ ング 剤などを感光性 に ・ 5 ら 加したり、下地 をこ のよ 理したりすることもできる。 ００73 に添加する場合、メチ メタク トキ ラン、 3 ア ノプ ピ ト トキ ラン、などの ランカップ ング 、ア ト剤を ス中のポ に対 して ・ 5 ら 加する。

００74 を処理する場合、上記で述 た プ ング剤を ソプ ノ 、 タノ 、メタノ 、水、テトラ ド ラン、プ ピ ング メチ テ ア テ ト、プ ピ ング メチ テ 、乳酸 チ 、アジ ジ な どの ・ 5 ら 2 解さ た 液をスピン ト、 、スプ 布、 理などで表面 理をする。 合によ ては、その 5 C ら 3 Cまでの 度を けることで、 カップ ング との 応を進行さ る。

００75 次に、 明の 光性 を用 て タ ンを形成する方法に

て説明する。

００76 感光性 を基 上に 布する。 としては ンウ 、セラ ックス 類、ガ ウム 素などが用 られるが、これらに限定されな 。 法としてはスピン を用 た回転 布、スプ 布、 ティン などの 法がある。また、 、 法、組成 の 度、粘度などによ て異なるが通常、乾燥 後の 、 ・ ら 5 4 になるよ に 布される。

００77 次に感光性 を塗布した して、感光性 得る。

オ ン、ホットプ ト、赤外線などを使用し、 5 C ら 5 Cの 囲で 分 ら数時間 のが好ま 。

００78 次に、この 光性 の 方 ら所望の タ ンを有する スクを通して を照射し、露光する。 光に用 られる としては 外線、可視 、電 子 、 X線などがあるが、 明では水銀 の ( 365 )、 ( 4 5 )、 ( 4 36 )を利用することが好ま 。

００79 で、露光 、現像液を用 て現像し、感光性 タ ンを形成する。 像 液としては、テトラメチ アン ウムの 溶液、ジ タノ ア ン、ジ チ ア ノ タノ 、水酸 ナト ウム、水酸 カ ウム、炭酸ナト ウム、炭酸カ ウム、ト チ ア ン、ジ チ ア ン、メチ ア ン、 メチ ア ン、 メチ ア ノ 、 メチ ア ノ タノ 、 メチ ア ノ チ メタク ト、 ク ン、 、 キサ チ ンジア などのア カ 性を示す 物の 溶液が 好ま 。また場合によ ては、これらのア カ 溶液に メチ 2 ドン、 メチ ホ ムア ド、 メチ ア ア ド、 メチ ス 、 ラク ン、 メチ アク ア ドなどの 、メタノ 、 タノ 、イソ プ ノ などのア 類、乳酸 チ 、プ ピ ング メチ テ ア テ トなどの ステ 類、 ク ペンタノン、 ク キサノン、イソ ト ン、メチ などの トン類などを単独ある は数 を組み合わ たも のを添加してもよ 。 後は水にて ンス 理をする。ここでも タノ 、イソプ ピ ア などのア 類、乳酸 チ 、プ ピ ング メチ テ ア テ トなどの ステ 類などを水に加えて ンス 理をしても良 。 ( a ) 分として、 ノ 酸基またはカ ボ 基を有するう 合性 ノ の 合体 し はこれらの 重合体、または前記 ノ 酸基または カ ボ 基を有するラジカ 合性 ノ とそれ以外の他のうジカ 合性 ノ の 重合体ポ 、ノボラック 脂、 ゾ 脂を用 た場合は、現像

2 2

、紫外線を O c ら 4 c 射し、 7 C ら 3 Cの 度を加えて 熱性を向上した 熱性 に変換して使用する。 方、 ( a ) 分が、一般 ( )で表される構造 位を主成分とするポ である場合も、現 像 、紫外線を 2

O c ら 4 2

c 射し、 2 C ら 4 Cの 度を加えて 熱性 に変換して使用する。この、加熱処理前の紫外 線照射によ て、 明のポジ 光性 に残留する ( c )の 物が 光分解され、その後の熱処理で変換して得られた 熱性 、 4 7 にお て、光学 料として必要な、 あたり、 8 上の透 を発現す る。 方、紫外線を照射しな 場合は、残留する (。 )の 物が熱 解し、特に 4 に吸収を示し、透過 8 下回り、好まし な 。また、チタン 分を 含有した無機 子を用 た場合は、光触媒 応も手伝 て、少量の 外線量で ( c ) の 物を分解することができるので好ま 。

００8０ また ( b )の 物にお て、 3 C ら 4 C、好まし 7 C 4 Cの 処理 で 4 7 に吸収が生じる 物を用 た場合、 熱性 に変換すると 料として不具合が生じ まし な 。

００81 この 熱性 に変換する 処理は温度を選び、段階的に昇 する 、ある 囲を選び 続的に昇 しながら 5分 ら 5 間実施する。 例としては、 7 C 2 C 3 Cで 3 処理する。ある は室温より 4 Cまで 2 間 け て直線的に昇 するなどの 法が挙げられる。これらの 、好まし 処理条件と しては、光学 途であることを考慮した場合、窒素 囲気 にお て、ホットプ を用 て、 3 C 4 C、好まし 7 C 4 Cの 度で、 5 5 理する方法が挙げられる。

００82 明の 光性 、上で説明したとおり 折率が高 な ンズ 状を得ることができるので、光学 の 折率 イク ンズなどの 途に用 られる。また、好まし 態様にお ては、ポ を熱処理や 当な に よ て処理することにより 熱性 変換することができる。このよ 明の 徴を活 した イク ン としては例えば、 ら の トサイズで、 ・ ら 、

・ チで 子状に配列されたものが挙げられる。すなわち、微細で し 列された、また ドットは好まし その 角が 55 以下である な ンズ 状を有した、 タ ンとして得ることができる。 明の を用 れば れた 性も得られること ら、好まし にお て 4 における光線 算で 8 上である。この 8 上 であると透過 の 色が問題となることもな 、例えば、固体 子として使用され 、カラ ィ タ が配されたときにお て ランスに悪影響を及ぼすことがな 。 ００83 なお、固体 規則的に配列された電荷 子 らの 度とその 報を演算することで像を電子 する素子であるが、 明によれば 子の の 面に前記の タ ンの ドットが対応するよ に配さ れることで、電荷 子 の 光を高めることが可能となる。その 果、固体 子としても高感度 ある は 子を することによ て 成できる を果たすことが可能となる。

００84 により 明を具体的に説明するが、 はこれらの例によ て されるものではな 。なお、本実施 な し比較 中の 光性 物などの 以下の 法により行 た。

００85 感光性 の

6インチ ンウ 上及び 6インチガラス 、ポジ 光性 ( 呼ぶ )を、下記の の 定方法に基 て ベ ク後の膜 ・ 2 となるよ に 布し、 で トプ ト (大日本スク ン製 (株 ) C W 636 )を用 て、 2 Cで 3 プ ベ クすることにより、感光性 得た ００86 の 定方法

大日本スク ン製 (株 ) ラム S 6 2を使用し、屈折率 ・ 64で 感光樹脂 の の 定を行 た。

００87 感光性 の の

上 作製した 6インチガラス 上に感光性 の

、紫外 度計 S e c ( 津製作所 (株 ) )を用 て 定した。

００88

6インチ ンウ 6インチガラス 上に作製したポジ 光性

、露光 ( (株 ) ン ステッ S 755 7 )に、 タ ンの られた をセット 、露光量 3 c ( 365 における強度 )で 光 を行 た。

００89

6インチ ンウ 6インチガラス 上に作製した ポジ 光性 、東京 クト ン (株 ) R 7の 置を用 、 5 転 で水酸 テトラメチ アン ウムの 2・ 38 溶液を した。この 、 転で 4 、次 で 4 転で水にて ンス 理、さらに 3 転で り切り した。

００9０ 感光性の 認、

に作製した 光、現像 ポジ 光性 、 5 スク アが開口して ることを、上記 の 定で用 た S 6 2を用 て にて、感光性を確認した。

００91 の 光性 タ ンの 角の測

上記のよ に 6インチ ンウ 上に作製した現像 の 光性

タ ン ラインアンドスペ ス タ ンを選択し、ダイア ンドカッタ タ ンを切断し、その 面を (株 ) イテクノ ジ ズ S 48 S を用 、 ( 明するまでもな が、 面における、 面と タ ンによる曲面の との における 線とがなす として定義される )を測定し た。

００92 熱性 の

上記のよ に露光、現像された 6インチ ンウ 上のポジ 光性

膜及び、 6インチガラス 上のポジ 光性 、露光 (キヤノン ( 株 ) ンタクトアライナ P 5 用 て、紫外線 5 W c ( 365 )で 3 間、紫外線 ( 365 4 5 436 )を行 、その 、ホットプ ト ( ワン (株 ) P Cデジタ ホットプ ト 722 用 て、任意の 度で 5 間熱処理し、 熱性 得た。なお、 熱性 の 、全実施 および にお て であ た。

００93 熱性 タ ンの 角の測

上記のよ に 6インチ ンウ 上に作製した 熱性 タ ン ら 2 ラインアンドスペ ス タ ンを選択し、ダイア ンドカッタ タ ンを切断し、 その 面を (株 ) イテクノ ジ ズ S 48 S を用 、 角を測定した

熱性 の 折率の 定方法

6インチガラス 上に作製した上記 熱性 に て、プ ズムカプラ

2 ( C O (株 ) )を用 て、室温 22 Cでの 長が 632 8 ( e e ザ )、 6インチガラス の 折率 ・ 4696、測定 折 率 ・ 46 ・ 86にお て、 に対して 直方向の 折率 ( )を測定した。 ００94 熱性 の の 記のよ に 6インチガラス 上に作製した 熱性 に て、紫外 度計 S e c ( 津製作所 (株 ) )を用 て 4 および 65 の を測定した。

００95 水物 ( a )の

、 2 2 ビス ( 3 ア ノ 4 ) キサ オ プ ン ( ) 8 3 ( 5 ) グ ジ テ 34 2 ( ・ 3 )を ガン クトン O O に溶解さ 、 5 Cに冷却した。ここにガン

5 に溶解さ た無水ト メ ット ク 22 ( ・ )を反応 の 度が でを越えな よ に した。 了後、 Cで 4 さ た。この 液を タ ポ タ で して、ト ン 投入して 水物 ( a )を得た。

００96

( a

0097 2 ( b )の

8 3 ( 5 )を 、プ ピ オキ 7 4 ( ・ 3 )に溶解さ 、 5 Cに冷却した。ここに 4 ト ベンゾイ ク 2 4 (

)を に溶解さ た 液を した。 了後、 5 Cで 4 さ 、その 室温に戻した。 出した白色 体を 、 5 Cで真空 した。 0098 3 を 3 のステン スオ トク に入れ、メチ 25 に 分散さ 、 5 ラジウム 素を 2 えた。ここに水素を風船で 入して、 応を 行 た。 2 間後、風船がこれ以上しぼまな ことを確認して反応を終 了さ た。 了後、 して触媒である ラジウム 合物を除き、 タ ポ タ で 、ジア ( b )を得た。 られた 体をそのまま 応に使 用した。 ００99 1０

０1００ 3 ン ( c )の

2 ア ノ 4 ト ノ 5 4 ( ・ )を トン 5 、プ ピ オキ 3 ( 34 )に溶解さ 。

、 5 Cに冷却した。ここに タ ク ・ 2 ( 55 )を トン 6 に溶解さ た 液を徐 に した。 了後、 5 Cで 4 さ た。その 、室温に戻して生成して る 過で集めた ０1０1 この ガン クトン 2 1に溶解さ て、 5 ラジウム 3 を加 えて、激し した。ここに水素ガスを入れた風船を取り付け、室温で水素ガスの がこれ以上 まな 状態になるまで 続け、さらに 2 ガスの 船を取 り付けた状態で した。 了後、 過で ラジウム 物を除き、 液を タ ポ タ で半量になるまで した。ここに タノ を加えて、 を行 、 目的の 合物の を得た。

０1０2

０1０3 4

ン ( d )の

2 ア ノ 4 ト ノ 5・ 4 ( ・ )を O O 、プ ピ オキ 7 。

・ 4 ( ・ 3 )に溶解さ 、 5 Cに冷却した。ここに 4 ト ベンゾイ ク 2 4 ( ・ )を に溶解さ た 液を徐 に した。 了後、 5 Cで 4 さ た。その 、室温に戻して生成して る 過で集めた。この 、合成 2 同様にして目的の 合物の を得た。

０1０4

０1０5 5 キノンジアジ 合物 ( )の

、 2 ト 7・ 2 ( 5 )と 5 トキノンジアジ ク 3 43 ( 5 )を 4 キサン 45 に溶解さ 、室温に した。ここに、 4 キサン 5 混合さ たト チ ア 5・ 6 を した。

了後、室温で 2 さ た後、ト チ ア ン塩を濾過し 液を水に投 入さ た。その 、 出した 過で集めた。この を真空 で乾燥さ 、キノンジアジ ( )を得た。

０1０6 3

Q =

０1０7 6 キノンジアジ 合物 ( 2 )の

、 s P P ( 品名、本州 工業 (株 ) )、 5・ 3 ( 5 )と 5 トキノンジアジ ク 4 28 ( ・ 5 )を 4 キサン 45 に溶解さ 、室温にした。ここに、 4 キサン 5 混合さ たト チ ア 5・ 8 を用 、合成 5 同様にしてキノンジアジ ( 2 )を 得た。 ０1０8 14

。 2

０1０9 7 キノンジアジ 合物 ( 3 )の

、 4 ソプ ピ ノ 6・ 8 ( 5 )と 5 トキノン ジアジ ク 3 43 ( 5 )を 4 キサン 45 に溶解 さ 、室温にした。ここに、 4 キサン 5 混合さ たト チ ア 5・ 6 を用 、合成 5 同様にしてを用 キノンジアジ ( 3 )を得た。

０11０ 5

Q 3

０111 8 キノンジアジ ( 4 )の

、ビス ノ ・ 4 ( 5 )と 5 トキノンジアジ ク 26 86 ( ・ )を 4 キサン 45 に溶解さ 、室 温にした。ここに、 4 キサン 5 混合さ たト チ ア ・ 2 を用 、合成 8 同様にしてキノンジアジ ( 4 )を得た。

０112 16

Q

4

０113 、比較 に使用した の 光波長 ( えば、 、 または 線を輝線 3 として 外線 )にお て 収を有する および ノ 酸基を有す る 物を下記に示した。

０114 7

H 9 H Q

X 00

0 5

、 4 4 ア ノジ テ 4・ ( 2 5 )、 3 ビス ( 3 ア ノプ ピ )テトラメチ キサン ・ 24 ( 5 )を メチ 2 ドン ( P ) 5 に溶解さ た。ここに キ 水物 ( a ) 2 4 ( 3 )を P 4 とともに加えて、 2 Cで さ 、次 で 5 Cで 4 さ た。その 、 メチ ホ ムア ド メチ ア タ 7・ 4 ( ・ 6 )を P 5 で希釈した 液を けて した。 、 5 Cで 3 した。

0 6 られた 4 に上記に示した トキノンジアジ ( ) 2 、ク ン ( 品名、 ア ド ッジ ン (株 ) ) 6 、粒子 5 の ト イク 5 2 ( 品名、 (株 ) 、ガン クトン 、固形 度 2 5 を加えてポジ 光性 ス を得た。 られた を 用 て前記のよ に、 ンウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作 製、露光、現像、 28 Cで熱処理し、ワ の 光性、感光性 および 熱性 の 、 角に て評価を行 た。 ０117 2

、合成 2の ン ( b ) 3 6 ( 225 )、末端 とし て、 4 ン ( 品名 P C、富士写真 イ ム (株 ) ) 29 ( ・ 25 )を メチ 2 ドン ( P ) 5 に溶解さ た。ここに キ 水物 ( a ) 7 5 ( 25 )を 3 とともに加えて、 6 Cで 6 さ た。 了後、 液を水 21に投入して、ポ 体の 過で 集めた。ポリ 体を 8 Cの 2 した。

０118 このよ にして得たポ の を 、上記に示した トキノンジアジド 合物 ( 2 ) 2 、ビ ト トキ ラン 、ジスライザ ( (株 ) ) 59と 、粒子 の ト イク 5 2 ( 品名、 (株 ) 、ガン クトン 、固形 度 2 5 ガン クトン 3 に溶解さ てポジ 光性 ス を得た。 られた を用 て前記のよ に、 ンウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作製、露光、現像、 35 Cで熱処理し、ワ の 光性、感光性 および 熱性

の 、 角に て評価を行 た。

０119 3

、合成 3の ( c ) 2 78 ( 55 )、 、 3 ビ ス ( 3 ア ノプ ピ )テトラメチ キサン ・ 24 ( 5 )を P 5 に 溶解さ た。ここに 3 3 4 4 ジ テ テトラカ ボン 水物 3・ 9 5 ( 45 )を P 2 とともに加えて、 2 Cで さ 、次 で 5 C で 2 さ た。 5 Cで 2 、 メチ ホ ムア ド チ ア タ 4 7 ( ・ )を P 5 で希釈した 液を けて した。 、 5 Cで 3 した。

０12０ られた 3 に上記に示した トキノンジアジ 合物 ( 3 ) 6 、ス ソ

3 ( 工業 (株 ) ) 2 と、粒子 O の ト イク 5 5 ( 品 名、 (株 ) 、ガン クトン 、固形 度 2 ) 85 を 解さ てポジ 光性 ス Cを得た。 られた を用 て前 記のよ に、 ンウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作製、露光 、現像、 3 Cで熱処理し、ワ の 光性、感光性 および 熱性 の 、 角に て評価を行 た。

０121 4

、合成 4の ( d ) 6 8 ( 25 )と 4 4 ア ノジ テ 4・ 2 ( 2 )、 3 ビス ( 3 ア ノプ ピ )テトラ メチ キサン ・ 8 6 ( 325 )を P 7 に溶解さ た。

水物 ( a ) 24 99 ( 35 )、 3 3 4 4 ビ テトラカ ボン 2 水物 4・ 4 ( 5 )を P 25 とともに加え、そのまま 間、その 5 Cで 2 した。 で、グ ジ メチ テ 7 6 ( ・ 2 )を P O で希釈した 液を加え、 7 Cで 6 した。

０122 ポ 4 に上記に示した トキノンジアジ ( 4 ) 2 5 、ス ソ

2 ( 品名、住友 工業 (株 ) ) 6 と、粒子 の ト イク 5 3 ( 品名、 (株 ) 、ガン クトン 、固形 度 2 5 を 解さ てポジ 光性 ス を得た。 られた を用 て前記のよ に、 ンウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作製、露光、現像、 4 Cで熱処理し、ワ の 光性、感光性

および 熱性 の 、 角に て評価を行 た。

０123 5

、 2 2 ビス ( 3 ア ノ 4 ) キサ オ プ ン 6 93 ( 4625 )を メチ 2 ドン ( P ) 5 、グ ジ メ チ テ 26 4 ( ・ 3 )に溶解さ 、 の 度を 5 Cまで冷却した。こ こにジ テ ジカ ボン ク 7・ 38 ( 25 )、イソ タ ク 5・ 8 ( 25 )をガン クトン 25 に溶解さ た 液を内部 の 度が Cを越えな よ に した。 了後、 6 5 Cで 続けた 。 了後、 液を水 31に投入して 色の を集めた。この 過で集め て、水で 3 した後、 8 Cの 2 した。

０124 このよ にして得られたポ に上記に示した トキノンジアジ

( 2 ) 2 、 4 4 ス ジ ノ ( 品名、和光 (株 ) ) 、ク ン ( 品名、 ア ド ッジ ン (株 ) ) 2 と、粒子 の ト イク 5 4 ( 品名、 (株 ) 、ガン クトン 、固形 度 2 O O を P 3 に溶解さ てポジ 光性 ス を得 た。 られた を用 て前記のよ に、 ンウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作製、露光、現像、 Cで熱処理し、ワ の 光性、感光性 および 熱性 の 、 角に て評価を行 た。

０125 6

、合成 2の ン ( b ) 3 6 ( 225 )、末端 とし て、 4 ( 3 ア ノ ) 2 メチ 3 2 オ ( 品名 P C 、富士写真 イ ム (株 ) ) 44 ( 25 )を メチ 2 ドン ( P ) 5 に溶解さ た。ここに キ 水物 ( a ) 7 5 ( 25 )を 3 とともに加えて、 6 Cで 6 さ た。 了後、 液を水 21に 投入して、ポ 体の 過で集めた。ポ 体を 8 Cの

2 した。

０126 このよ にして得たポ の を 、上記に示した トキノンジアジ

( 2 ) 2 、ビ ト トキ ラン 、ク ン 4 ( 品名、 ア ド ッジ ン (株 ) ) 2 5 と、粒子 5 の ト イク 5 4 ( 品名、 (株 ) 、ガン クトン 、固形 度 2 O をガン クトン 3 に溶解さ てポジ 光性 ス を得た。 られ た を用 て前記のよ に、 ンウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作製、露光、現像、 3 Cで熱処理し、ワ の 光性、感光性 および 熱性 の 、 角に て評価を行 た。 ０127 7

の 5 の ト イク 5 2 ( 品名、 (株 ) 、ガン クト 、固形 度 2 5 の ジ ウ ム ( (株 度化学研究所社製、固形 度 46 7 に変更 、ク ン ( 品名、 ア ド ッジ ン (株 ) ) 6 を ン 4 ( 品名、 ア ド ッジ ジャ ン (株 ) ) 3 に変更 、他は実施 同様に行 、 ポジ 光性 ス Gを得た。 られた を用 て前記のよ に、 ンウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作製、露光、現像、 32 でで熱処理し、ワ の 光性、感光性 および 熱性 の 、 角に て評価を行 た。

０128 8

3の O の ト イク 5 ( 品名、 (株 ) 、ガン クトン 、固形 度 2 の スズ 酸 化ジ ウム ( (株 ) 、ガン クトン 、 固形 度 8・ 5 変更 、他は実施 3 同様に 、ポジ 光性

ス を得た。 られた を用 て前記のよ に、 ンウ 上及び ガラス 上にポジ 光性 作製、露光、現像、 Cで熱処理し、ワ の 光性、感光性 および 熱性 の 、 角に て評価を行 た。

０129 9

2の 5 の ト イク 5 2 ( 品名、 (株 ) 、ガン クトン 、固形 度 2 5 ア ウ ム チタン ( 度 )に変更 、加えて、ジスライザ ( 品名、三協 (株 ) ) 59を ン ( 品名、 ア ド ッジ ジャ ン (株 ) ) に変更した他は実施 2 同様に 、ポジ 光性

ス 1を得た。 られた を用 て前記のよ に、 ンウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作製、露光、現像、 28 Cで熱処理し、ワ の 光 性、感光性 および 熱性 の 、 角に て 評価を行 た。

０13０

5の 2 2 ビス ( 3 ア ノ 4 ) キサ オ プ ン 6 93 を 8 3 ( 5 )に変更 、さらに 5 の ト イク 5 4 ( 品名、 (株 ) 、ガン クトン 、固形 度 2 O の スズ ( (株 ) 研究所 、ガン クトン 、固形 度 2 に変更 、加えて、ク ン ( 品名、 ア ド 、 ン (株 ) ) 2 を ン 4 ( 品名、 ア ド ッジ ン (株 ) ) に変更した他は、実施 5 同様に行 、ポジ 光性

ス Jを得た。 られた を用 て前記のよ に、 ンウ 上及びガラス 上 にポジ 光性 作製、露光、現像、 3 Cで熱処理し、ワ の 光性、 感光性 および 熱性 の 、 角に て評 価を行 た。

０131

、メタ ゾ ( ・ 6 )、 ラ ゾ 38 ( ・ 4 )、 ホ ムア デヒド 溶液 75 5 (ホ ムア デヒド ・ 93 )、 ウ 水和 ・ 63 ( 5 )、メチ トン 264 を仕込んだ後、油 に浸し、反応 流さ ながら、 4 応を行 た。その 、油 の 度 を 3 間 けて 、その後に、 ラス 内の圧力を 3 まで減圧し、 を除去し、 解して る、 脂を 温まで冷却して、ア 溶性の ボラ、 ポ 85 を得た。

０132 このよ にして得た ラック を 、上記に示した トキノンジアジ

( 2 ) 2 、ビ ト トキ ラン 、ス ソ 3 ( 品名、住友 工業 (株 ) ) ス ソ 4 ( 品名、住友 工業 (株 ) ) と、粒子 5 の ト イク 5 2 ( 品名、 (株 ) 、ガン クトン 、固形 度 2 5 ガン クトン 3 に溶解さ てポジ 光性 ス を得た。 られた を用 て前記のよ に、 ンウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作製、露光、現像、 22 Cで熱処理し 、ワ の 光性、感光性 および 熱性 の 、

角に て評価を行 た。

０133 2

、 2 2 ビス ( 2 4 メチ ト ) 5 、プ ピ ング メチ テ ア テ ト 2 、 ラ キ メチ スチ ン 2 6

25 、アク 4 、ト ク 5 2 デカン 8 イ アク ト 3 を仕込み 解さ 、 7 Cで 4 さ た。 了後、ア カ 溶性ラジカ ポ 液を、 キサン O O に投入して、ポ 体の 過で集めた 。ポ 体を 8 Cの 2 した。

０134 このよ にして得たポ の を 、上記に示した トキノンジアジ

( ) 2 、ス ソ 2 ( 品名、住友 工業 (株 ) ) 、粒子 O の ト イク 5 5 ( 品名、 (株 ) 、ガン クトン 、固形 度 2 7 を加えてポジ 光性 ス を得た。 られた を用 て前記のよ に、 ンウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作製、露光、現像、 2 Cで熱処理し、ワ の 光性、感光性 および 熱性 の 、 角に て評価を行 た ０135 3

、 3 5 ア ノベンゾ ク 、 ( (株 ) ) 3 42 ( ・ 225 )、末端 として、 4 ン ( 品名、 P P C、富士 写真 イ ム (株 ) ) 29 ( 25 )を メチ 2 ドン ( P ) 5 O に溶解さ た。ここに キ 水物 ( a ) 7 5 ( 25 )を

3 とともに加えて、 6 Cで 6 さ た。 了後、 液を水 21に投入し て、ポ 体の 過で集めた。ポ 体を 8 Cの 2 した。

０136 このよ にして得たポ の を 、上記に示した トキノンジアジ

( 2 ) 2 、ビ ト トキ ラン 、ク ン ( 品名、 ア ド ッジ ン (株 ) ) と、粒子 の ト イク 5 2 ( 品名、

(株 ) 、ガン クトン 、固形 度 2 5 ガン クトン 3 に溶解さ てポジ 光性 ス を得た。 られた を用 て前記のよ に、 ンウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作製、露光、現像、 Cで熱処理し、ワ の 光性、感光性

および 熱性 の 、 角に て評価を行 た。 ０137 4

2のス ソ 2 ( 品名、住友 工業 (株 ) ) を用 ず、 ( 工業 (株 ) ) 2 に変更 、他は実施 2 同様に行 、ポジ 光性 ス Sを得た。 られた を用 て前記のよ に、 ン ウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作製、露光、現像、 2 Cで熱 処理し、ワ の 光性、感光性 および 熱性 の 、 角に て評価を行 た。

０138 タ ンにお て 色が見られたが、良好な ンズ 状として得ることができ た。

０139 5

2の スライザ ( (株 ) ) 59を ・ 2 に変更 、他は実施 2 同様に行 、ポジ 光性 ス を得た。 られた を用 て前記のよ に、 ンウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作製 、露光、現像、 2 Cで熱処理し、ワ の 光性、感光性 および 熱性 の 、 角に て評価を行 た。

０14０

の ト イク 5 、および ンを用 な 他は、実施 同様 に行 、ポジ 光性 ス を得た。 られた を用 て前記 のよ に、 ンウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作製、露光、 現像、 28 Cで熱処理し、ワ の 光性、感光性 および 熱性 の 、 角に て評価を行 た。

０141 2

2の スライザ ( 品名、三協 (株 ) ) 5 を ン ( 品名、 ア ド ッジ ジャ ン (株 ) ) 5 に変更 、他は実施 2 同様に行 、ポジ 光性 ス を得た。 られた を用 て前記のよ に、 ンウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作製、露光、現像、 35 Cで熱処理し、ワ の 光性、感光性 および 熱性

の 、 角に て評価を行 た。 ０142 3

3のス ソ 3 ( 品名、住友 工業 (株 ) ) 2 をジスライザ ( 品名、三協 (株 ) ) 5 に変更した他は実施 3 同様に行 、ポジ 光性 ス Pを得た。 られた を用 て前記のよ に、 ンウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作製、露光、現像、 3 Cで 熱処理し、ワ の 光性、感光性 および 熱性 の 、 角に て評価を行 た。

０143 4

の O の スズ ( (株 ) 研究所社製、ガン クトン 、固形 度 2 O O ら O O に変更して、他は実施 同様に行 、ポジ 光性 ス Qを得た。 られた を 用 て前記のよ に、 ンウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作 製、露光、現像、 3 Cで熱処理し、ワ の 光性、感光性 および 熱性 の 、 角に て評価を行 た。

０144 5

4のス ソ 2 ( 品名、住友 工業 (株 ) )を用 な 他は実施 4 同様に行 、ポジ 光性 ス を得た。 られた を用 て前記のよ に、 ンウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作製 、露光、現像、 4 Cで熱処理し、ワ の 光性、感光性 および 熱性 の 、 角に て評価を行 た。

０145 6

3の ン 4 ( 品名、 ア ド ッジ ジャ ン (株 ) ) を用 な 他は実施 3 同様に行 、ポジ 光性 ス を得た。 られた を用 て前記のよ に、 ンウ 上及びガラス 上にポジ 光性 作製、露光、現像、 Cで熱処理し、ワ の 光性、感光性

および 熱性 の 、 角に て評価を行 た。 ０146 5、比較 6の 成に ては および 2に、評価 果に ては 3に示した。

０148 2

０ 49 3

上の利用 ，

０15０ 明のポジ 光性 、光学 子に好適な高 明性で高 折率な ンズ 状を作成することに適用できる。

Claims

求の

( a )ア カ 溶性 を有するポ に対して、 ( b ) 光波長の光を吸 収するが、その光によ て、退色しな 化合物を 3 、 ( c )キノンジアジド 合物を 5 、 ( d )ア ウム 物、ケイ 化合物、スズ 物、チタン 物、ジ ウム 物 ら少な とも 選ばれる粒子 ら 3 の 子を 5 5 有することを特徴とするポジ 光性 。 2 ( a )ア カ 溶性 を有するポ に対して、 ( b ) 外線を吸収する が、その光によ ては退色しな 物を 3 、 ( c )キノンジアジ 物 を 5 、 ( d )ア ウム 合物、ケイ 物、スズ 物、チタン 物、ジ ウム 合物 ら少な とも 選ばれる粒子 ら 3 の 子を 5 5 有することを特徴とするポジ 光性 。

3 ( b )の 物が ( 365 )、 ( 4 5 )および ( 436 ) らなる群 ら選 ばれる少な とも一種を吸収する 物であることを特徴とする または 2 載 のポジ 光性 。

4 ( a ) 分が、ノボラック および または ゾ である または 2 載 のポジ 光性 。

5 ( a ) 分が、 ノ 酸基またはカ ボ 基を有するうジカ 合性 ノ の 合体 し はこれらの 重合体、または前記 ノ 酸基また はカ ボ 基を有するうジカ 合性 ノ とそれ以外の他のう 合 性 ノ の 重合体である または 2 載のポジ 光性 。 6 ( a ) 分が、一般 ( )で表される構造 位を主成分とするポ である

または 2 載のポジ 光性 。 1

2

( は 2 上の炭素原子を有する 2価 ら 8価の有 、 は、 2 上の炭 素原子を有する 2価 ら 6価の有 3

、 は水素、または 素数 ら 2 までの を示す。 は ら までの 、 は O ら 2までの 数、 、 は ら 4ま での 数を示す。ただし である。

7 ( )の ( ) が、一般 ( 2 )で表される または 2 載 のポジ 光性 。

2 2 )

、 は 素数 2 2 より選ばれる 2 4価の有 を示し、 は、炭素数 3 2 より選ばれる水酸基を有した 3 6価の有 を示し 8

、 は水素、および ま たは 素数 2 までの を示す。 、 sは から 2までの 数、 は 4までの 数を示す。

8 ( )の ( ) が、一般 ( 3 ) ( 5 )で表わされる少な とも 種である

または 2 載のポジ 光性 。

3

4

R 5 C N H ( )

、 は 素数 2 2 より選ばれる水酸基を有した 3 4価の有 を示し、 は 素数 2 3 より選ばれる 2価の有 を示す。 、 は ある は 2の 数を示す 。 、 は 素数 2 2 までの 2価の有 を示し、 は、炭素数 3 2 より選 ばれる水酸基を有した 3 6価の有 を示す。 は 4までの 数を示す。 5 は 素数 2 2 より選ばれる 2価の有 を示し、 は、炭素数 3 2 より選ばれ る水酸基を有した 3 6価の有 を示す。 は 4までの 数を示す。

9 ( b ) 分が、 3 C ら 4 Cの 処理で、 4 ら O O における

来の 収が増加しな ことを 物であることを特徴とする または 2 載の ポジ 光性 。

０ ( b ) 分が、ク ン 導体、ベンゾト アゾ 導体、ヒド ベンゾ ノン 導体 ら選ばれた 以上の 物である または 2 載のポジ 光性 。

365 436 における感光性 の ・ 2 あたり 2 7 であることを特徴とする または 2 載のポジ 光性 。

2 の ずれ に記載のポジ 光性 外線を照射した後 、加熱して 成された感光性 タ ン。

3 の トサイズ 、 ・ O 、チで 子状に配列さ れた 熱性 フ タ ンであ て ドットは 4 における光線 あたり 8 上であり、 、 ドットの 角が 55 以下であるこ とを特徴とする 熱性 タ ン。

4 2 載の 光性 タ ンを用 た 。

3 載の 熱性 タ ンを用 た 。