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WO2004067243B1 - 基板分断装置および基板分断方法 - Google Patents

基板分断装置および基板分断方法

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WO2004067243B1
WO2004067243B1 PCT/JP2004/000780 JP2004000780W WO2004067243B1 WO 2004067243 B1 WO2004067243 B1 WO 2004067243B1 JP 2004000780 W JP2004000780 W JP 2004000780W WO 2004067243 B1 WO2004067243 B1 WO 2004067243B1
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Claims

補正書の請求の範囲
[2004年 7月 16日 （16.07.04) 国際事務局受理：出願当初の請求の範囲 1-7, 10及び 12-17 は補正された； 新しい請求の範囲 19が加えられた； 他の請求の範囲は変更なし。 ]
1 - (補正後〉 マザ一基板から複数の単位基板を分断する基板分断装置であつて、 前記マザ一基板にスクライブラインを形成するスクライプライン形成手段と、 前記マザ一基板を前記スクライブラインに沿ってブレイクするブレイク手段と を備え、
前記ブレイク手段は、 前記マザ一基板に形成された前記スクライブラインに蒸気を 吹きつけることにより、 前記蒸気が前記スクライブラインから延びた垂直クラックに 浸透し、 前記浸透した蒸気が体積膨張 fることで、 前記マザ一基板に曲げモーメント を加えることなく前記垂直クラックを前記マザ一基板の厚さ方向に伸展させる手段を 具備する、 基板分断装置。
2. (補正後） 前記スクライブラインは、 少なくとも第 1線部分と第 2線部分とを有 し、 前記第 1綠部分と前記第 2線部分とは、 互いに交差し、 かつ、 それぞれが直線ま たは曲線あるいはこれらめ組み合わせからなり、
俞記スクライブライン形成手段は、 前記スクライブライン形成手段が前記マザ一基 板から離間して、 前記第 1線部分を形成し、 前記第 2線部分を形成する、 請求項 1に 記載の基板分断装置。
3. 正後） 前記スクライブラインは、 第 1線部分と第 2線部分とを肴し、 前記第 1線部分と前記第 2線部分とは、 互いに交差し、 かつ、 それぞれが直線または曲線あ るいはこれらの組み合わせからなり、
' 前記スクライブライン形成手段は、 前記スクライブライン形成手段が前記マザ一基 板から離間することなく、 前記第 1線部分を形成し、 前記第 2線部分を形成する、 請 求項 1に記載の基板分断装置。 捕正された用紙 （条約第 19条)
40 •4. (補正後） 前記スクライブライン 、 前記第 1線部分の一端と前記第 2線部分の 一端とに滑らかにつながる曲線部分をさらに有し、
捕正された用紙 （条約第 19条) 前記第 1線部分の前記一端は前記第 2線部分の前記一端につながつており、 前記スクライブライン形成手段は、 前記第 1線部分を形成し、 前記曲線部分を形成 し、 前記第 2線部分を形成する、 請求項 3に記載の基板分断装置。 .
5. (補正後） 前記スクライブラインは、 第 3線部分と、 第 1曲線部分と、 第 2曲線 部分とをさらに有し、 前記第 1線部分と前記第 2線部分と前記第 3線部分とは、 交,差 し、 かつ、 それぞれが直線または曲線あるいはこれらの組み合わせからなり、 前記第 1線部分と前記第 2線部分と前記第 3線部分とは、 前記マザ一基板上の多角 形状である領域の少なくとも一部を定義し、
前記第 1線部分の前記一端は前記第 2線部分の前記一端につながつており、 前記第 2線部分の前記他端は前記第 3線部分の前記一端につながつており、 前記第 1曲線部分は、 前記第 1線部分の一端と前記第 2線部分の一端とに滑らかに つながる曲線部分であり、
前記第 2曲線部分は、 前記第 2直線部分の他端と前記第 3直線部分の一端とに滑ら かにつながる曲 部分であり、
捕正された用紙 （条約第 19条) 前記スクライブライン形成手段ば、 前記第 1線部分を形成し、 前記第 1曲線部分を 形成し、 前記第 2線部分を形成し、 前記第 2曲線部分を形成し、 前記第 3線部分を形 成する、 請求項 3に記載の 板分断装置。 '
6 . (補正後） 前記スクライブラインは、 第 3線部分と、 第 4線部分と、 第 1曲線部 分と、 第 2曲線部分と、 第 3曲線部分とをさらに有し、 前記第 1線部分と前記第 2線 部分と前記第 3線部分と前記第 4線部分とは、 交差し、 かつ、' それぞれが直線または 曲線あるいはこれらの組み合わせからなり、
前記第 1線部分と前記第 2線部分と前記第 3線部分と前記第 線部分とは、 前記マ ザ一基板上の長方形状である領域を定義し、 '
前記第 1線部分の前記一端は前記第 2線部分の前記一端につながつており、 前記第 2線部分の前記他端は前記第 3線部分の前記一端につながつており、 '前記第 3線部分の前記他端は前記第 4線部分の前記一端につながつており、 前記第 4線部分の前記他端は前記第 1泉部分の前記他端につながつており、 前記第 1曲線部分は、 .前記第 1線部分の一端と前記第 2線部分の一端とに滑らかに つながる曲線部分であり、 .
前記第 2曲線部分は、 前記第 2線部分の他端と前記第.3線部分の一端とに滑らかに つながる曲線部分であり、 .
前記第 3曲線部分は、 前記第 3線部分の他端と前記第 4線部分の一端と〖こ滑らかに つながる曲線部分であり、 .
辅正された用紙 （条約第 I9条)
43 • 前記スクライブライン形成手段は、 前記第 1線部分を形成し、 前記第 1曲線部分を 形成し、 前記第 2線部分を形成し、 前記第 2曲線部分を形成し、 前記第 3線部分を形 成し、 前記第 3曲線部分を形成し、 前記第 4線部分を形成する、 請求項 3に記載の基 板分断装置。
7 . (補正後） 前記スクライブライン形成手段は、 ディスク状のスクライブカツ夕一 であり、
前記スクライブ力ッターの外周面には、 前記マザ一基板の表面を転接する刃先が形 成された、 請求項 1に記載の基板分断装置。
8 . 前記刃先には、 所定のピッチで複数の突起が形成されている、 請求項 7に記載の 基板分断装置。
9 . 前記基板分断装置は、 前記スクライブラインを加熱する加熱手段をさらに備えた、 請求項 1〖こ記載の基¾ ^断装置。
1 0. (補正後） 前記曲線部分を形成する際に前記スクライブライン形成手段によつ て前記マザ一基板に与えられる圧力は、 前記第 1線部分および前記第 2線部分のうち の少なくとも 1つを形成する際に前記スクライブライン形成手段によって前記マザ一 基板に与えられる圧力より低い、 請求項 4に記載の基板分断装置。
1 1 . 前記基板分断装置は、 前記スクライブライン形成手段を鉛直軸回りに回転
捕正された用紙 （条約第 19条)
44 させる回転駆動手段をさらに備えた、 請求項 1に記載の基板分断装置。
1 2. (補正後） マザ一基板から複数の単位基板を分断する基板分断方法であって、 前記マザ一基板にスクライプラインを形成するスクライブライン形成工程と、 前記マザ一基板を前記スクライブラインに沿つてブレイクするブレイク工程と を包含し、
前記ブレイク工程は、 前記マザ一基板に形成された前記スクライブラインに蒸気を 吹きつけることにより、 前記蒸気が前記スクライブラインから延びた垂直クラックに 浸透し、 前記浸透した蒸気が体樹彭張することで、 前記マザ一基板に曲げモーメント を加えることなく前記垂直クラックを前記マザ一基板の厚さ方向に伸展させる工程を 含む、 基板分断方法。 '
1 3. (補正後） 前記スクライブラインは、 少なくとも第 1線部分と第 2線部分とを 有し、 前記第 1線部分と前記第 2線部分とは、 互いに交差し、 かつ、 それぞれが直線 または曲線あるいはこれらの組み合わせからなり、
前記スクライブライン形成工程は、 前記マザ一基板にスクライブラインを形成する 手段によって実行され、 '
前記スクライブライン形成工程は、
前記第 1線部分を形成する工程と、 .
前記第 1線部分を形成した後、 前記手段が前記マザ一基板から離間して、 前記第 2 線部分を形成する工程ど
を含む、 請求項 1 2に記載の基板分断方法。
1 4. (補正後） 前記スクライブラインは、 第 1線部分と第 2線部分とを有し、 前記 第 1線部分と前記第 2線部分とは、 互いに交差し、 かつ、 それぞれが直線または曲線 あるいはこれらの組み合わせからなり、 捕正された用紙 （条約第 I9条）
45 前記スクライブライン形成工程は、 前記マザ一基板にスクライブラインを形成する 手段によって実行され、
捕正された用紙 （条約第 19条)
46 前 スクライブライン形成工程は、
前記第 1線部分を形成する工程と、 . 前記第 1線部分を形成した後、 前記手段が前記マザ一基板から離間することなく、 前記第 2線部分を形成する工程と
. を含む、 請求項 1 2に記載の基板分断方法。
1 5. (裤正後） 前記スクライブラインは、 前記第 1線部分の一端と前記第 2線部分 の一端とに滑らかにつながる曲線部分をさらに有し、
•前記第 1線部分の前記一端は前記第 2線部分の前記一端につながつており、 前記スクライブライン形成工程は、
前記第 1線部分を形成する工程と、 .
前記曲線部分を形成する工程と、
前記第 2線部分を形成する工程と '
を含む、 請求項 1 4に記載の基板分断方法。
1 6. (補正後） 前記スクライブラインは、 第 3直線部分と、 第 1曲線部分と、 第 2 曲線部分とをさらに有し、 前記第 1線部分と前記第 2線部分と前記第 3線部分とは、 交差し、 かつ、 それぞれが直線または曲線あるいはこれらの組み合わせからなり、 前記第 1線部分と前記第 2線部分と前記第 3線部分とは、 前記マザ一基板上の多角 形状である領域の少なくとも一部を定義し、
前記第 1線部分の前記一端は前記第 2線部分の前記一端につながつており、 前記第 2線部分の前記他端は前記第 3線部分の前記一端につながつており、 前記第 1曲線部分は、 前記第 1線部分の一端と前記第 2線部分の一端とに滑ら
捕正された用紙 （条約第 19条)
47 かにつながる曲線部分であり、
前記第 2曲線部分は、 前記第 2線部分の他端と前記第 3線部分の一端とに滑らかに つながる曲線部分であり、—
前記スクライブライン形成工程は、
前記第 1線部分を形成する工程と、'
前記第 1曲線部分を形成する工程と、
前記第 2線部分を形成する工程と、 ， . .
前記第 2曲線部分を形成する工程と、
前記第 3線部分を形成する工程と
を含む、 請求項 1 4に記載の基板分断方法。. ' -
1 7. (補正後） 前記スクライブラインは、 第 3線部分と、 第 4線部分と、 第 1曲線 部分と、 第 2曲線部分と、 第 3曲線部分とをさらに有し、 前記第 1線部分と前記第 2 線部分と前記第 3線部分と前記第 4線部分とは、 交差し、 かつ、 それぞれが直線また は曲線あるいはこれらの組み合わせからなり、 .
前記第 1線部分と前記第 2線部分と前記第 3線部分と前記第 4線部分とは、 前記マ ザ一基板上の長方形状である領域を定義し、
前記第 1線部分の前記一端は前記第 2線部分の前記一端につながつており、
捕正された用紙 （条約第 19条)
48 前記第 2線部分の前記他端は前記第 3線部分の前記一端につながつており、 前記第 3線部分の前記他端は前記第 線部分の前記一端につながつており、
. 前記第 4線部分の前記他端は前記第 1線部分の前記他端につながつており、
. 前記第 1曲線部分は、 前記第 1線部分の一端と前記第 2線部分の一端とに滑らかに つながる曲線部分であり、 - 前記第 2曲線部分は、 前記第 2線部分の他端と前記第 3線部分の一端とに滑らかに つながる曲線部分であり、 .
前記第 3曲線部分は 前記第 3線部分の他端と前記第 4線部分の一端とに滑らかに つながる曲線部分であり、
前記スクライブライン形成工程は、
前記第 1線部分を形成する工程と、
前記第 1曲線部分を形成する工程と、
前記第 2線部分を形成する工程と、 .
前記第 2曲線部分を形成する工程と、
前記第 3線部分を形成する工程と、 .
捕正された用紙 （条約第 I9条)
49 前記第 3曲線部分を形成する工程と、
前記第 4線部分を形成する工程と、
を含む、 請求項 1 4に記載の基板分断方法。 .
1 8 . 前記基板分断方法は、 前記スクライブラインを加熱する加熱工程をさらに包含 する、 請求項 1 2に記載の基板分断方法。
1 9. (追加） 前記曲線部分を形成する際に前記手段によって前記マザ一基板に与え られる圧力は、 前記第 1線部分および前記第 2線部分のうちの少なくとも 1つを形成 する際に前記手段によって前記マザ一基板に与えられる圧力より低い、 請求項 1 5に 記載の基板分断方法。
捕正された用紙 （条約第 19条)
50
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