WO2002074707A1

WO2002074707A1 - Scribing method, cutter wheel, scribing device using the cutter wheel, and cutter wheel manufacturing device for manufacturing the cutter wheel

Info

Publication number: WO2002074707A1
Application number: PCT/JP2002/002522
Authority: WO
Inventors: Kiyoshi Takamatsu; Kazuya Maekawa; Noriyuki Ogasawara
Original assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Current assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date: 2001-03-16
Filing date: 2002-03-15
Publication date: 2002-09-26
Anticipated expiration: 2003-09-16
Also published as: EP1378495A1; JPWO2002074707A1; EP1378495A4; KR20030076719A; US20090179060A1; JP4038431B2; TWI261049B; US20040155085A1; CN100361914C; HK1065995A1; US20090126551A1; US7523846B2; KR100555329B1; CN1496339A; CN1970266A; CN1970266B; US7975588B2

Description

明細書

スクライブ方法及びカッターホイ—ル並びにそのカッターホイールを用いたスクライブ装置、その力ッターホイールを製造するカッターホイ一ル製造装置

技術分野

本発明は、脆性材料を分断するためのスクライブラインを形成するスクライブ方法、及び脆性材料にスクライブラインを形成するために使用されるスクライブカツ夕—であるカッターホイール、並びに、このカッターホイールを装着したスクライブ装置、この力ッ夕ーホイ一ルを製造するための力ッターホイ一ル製造装置に関する。

脆性材料にはガラス基板、貼り合わせガラス基板に使用されるガラス、半導体ウェハー、セラミックス等が含まれる。

背景技術

図 1 ( a ) 〜（d ) は、それぞれ、液晶マザ一基板等の貼り合わせガラス基板を所望の裁断位置にて裁断する従来の手順の一例として、液晶マザ一基板の第 1 の分断方法を、工程毎に説明する断面図である。なお、以下の説明では、便宜上、液晶マザ一基板である一対のガラス基板を互いに対向して貼り合わせて形成される貼り合わせガラス基板の一方側のガラス基板を A面ガラス基板、他方側のガラス基板を B面ガラス基板とする。

( 1 ) まず、図 1 ( a ) に示すように、貼り合わせガラス基板 1の A面ガラス基板を上側にして、貼り合わせガラス基板 1を第 1のスクライブ装置上に載置し、 A面ガラス基板に対して、ガラスカッターホイール 2を用いてスクライブしてスクライブライン S aを形成する。

( 2 ) 次に、 A面ガラス基板にスクライブライン S aを形成した貼り合わせガラス基板 1の表裏を反転させて、第 2のスクライブ装置に搬送する。そして、この第 2のスクライブ装置にて、図 1 ( b) に示すように、貼り合わせガラス基板 1の B面ガラス基板に対して、ガラスカッターホイール 2を用いてスクライブして、スクライブライン S bをスクライブライン S aに平行に形成する。なお、液晶マザ一基板では、複数の液晶パネルが形成され、この各液晶パネルが形成される一方のガラス基板の側縁部上に端子を形成する必要があるために、 B面ガラス基板に形成されるスクライブライン S bは、 A面ガラス基板に形成されたスクライブライン S aと、水平方向にスクライブ位置が互いにずれるように形成されることが多い。

( 3 ) 次に、 A面ガラス基板及び B面ガラス基板のそれぞれにスクライブライン S a及び S bが形成された貼り合わせガラス基板 1を、 A面ガラス基板及び B 面ガラス基板の上下を反転させることなく、 B面ガラス基板を上側にして、第 1 のブレイク装置に搬送する。この第 1のブレイク装置では、図 1 ( c ) に示すように、貼り合わせガラス基板 1は、マット 4上に載置され、貼り合わせガラス基板 1の B面ガラス基板に対して、ブレイクパー 3を A面ガラス基板に形成されたスクライブライン S aに沿って押し付ける。これにより、下側の A面ガラス基板は、スクライブライン S aから上方に向かってクラックが伸長し、 A面ガラス基板は、スクライブライン S aに沿ってプレイクされる。

( 4 ) 次に、 A面ガラス基板がブレイクされた貼り合わせガラス基板 1を、 A 面ガラス基板及び B面ガラス基板の上下を反転させて、 A面ガラス基板を上側にして、第 2のブレイク装置に搬送する。この第 2のブレイク装置では、図 1 ( d ) に示すように、貼り合わせガラス基板 1は、マット 4上に載置され、貼り合わせガラス基板 1の A面ガラスに対して、ブレイクパ一 3を B面ガラス基板に形成されたスクライブライン S bに沿って押し付ける。これにより、下側の A面ガラス基板は、スクライブライン S bに沿ってブレイクされる。

上記（1 ) 〜（4) の各工程を実施することにより、貼り合わせガラス基板 1 は、所望の位置にて 2つに分断される。上記の工程（3 ) 及び（4 ) で示されているように、上側に位置するガラス基板にブレイクパー 3が押し付けられることによって、下側のガラス基板がブレイクされる。例えば、図 1 ( c ) に示すように、上側の B面ガラス基板に、ブレイクバ一 3を押し付けると、 A面ガラス基板及ぴ B面ガラス基板は、ブレイクパー 3の押し付けられた部分が下方に撓んだ状態になり、' A面ガラス基板に生じていたスクライブライン S aの垂直方向の亀裂（垂直クラック）を両側へ広げる向きに力が加わる。これにより、その垂直クラックが上方に伸長して、 A面ガラス基板の上部に達することにより、 A面ガラス基板が分断される。一方、上側の B面ガラス基板に形成されたスクライブライン S bには、下側のガラス基板の場合と反対に、亀裂（垂直クラック）を両側から抑え込む力が作用するため、上側の B 面ガラス基板はブレイクされない。 .

工程（3 )及び（4)にて実施されるブレイク工程において、例えば、図 1 ( c ) に示すように、下面側の A面ガラス基板のスクライブライン S aでの垂直クラックの深さが浅いと、 A面ガラス基板をブレイクするために比較的大きな押し付け力を加えることが必要と.なる。しかしながら、ブレイクパ一3による押し付け力が強過ぎる場合には、上側の B面ガラス基板が同時にブレイクされるおそれがある。この場合、下側の A面ガラス基板では、垂直クラックがほぼ垂直方向に延びてブレイクが進むため問題を生じないが、上側の B面ガラス基板では、ブレイクバー 3により押し付ける力が加えられる位置と、 B面ガラス基板に形成されたスクライブライン S bの位置とが異なっており、上側の B面ガラス基板をブレイクするような向きの力が作用しないため、斜め方向の分断面が形成されるおそれがある。また、亀裂の部分が互いに衝突して、その箇所に欠け（水平クラック）が生じるおそれもある。このような斜め方向の分断面、欠け等が発生した貼り合わせガラス基板は、液晶パネルとしての商品価値が消失する。

そこで、本願出願人は、特開平 6— 4 8 7 5 5号公報の「貼り合わせガラス基板の裁断方法」にて、このような問題を解決することのできる脆性基板の分断方法を提案した。

図 2 (a) 〜（d) は、それぞれ、この公報に記載された脆性材料を分断する第 2の分断方法について、工程毎に説明する断面図である。以下、図 2 (a) 〜 (d) に基づいて、この公報に記載された方法について説明する。なお、以下の説明では、上記図 1 (a) 〜（d) と同様、便宜上、液晶マザ一基板である一対のガラス基板を互いに対向して貼り合わせて形成される貼り合わせガラス基板の一方側のガラス基板を A面ガラス基板、他方側のガラス基板を B面ガラス基板とする。

(1) まず、図 2 (a) に示すように、貼り合わせガラス基板 1の A面ガラス基板を上側にして、第 1のスクライブ装置上に載置し、 A面ガラス基板に対して、ガラスカッターホイール 2を用いてスクライブライン S aを形成する。

(2) 次に、 A面ガラス基板にスクライブライン S aを形成した貼り合わせガラス基板 1の表裏を反転させて、第 1のブレイク装置に搬送する。この第 1のブレイク装置では、図 2 (b) に示すように、貼り合わせガラス基板 1は、マット 4上に載置され、貼り合わせガラス基板 1の B面ガラス基板に対して、ブレイクパー 3を A面ガラス基板に形成されたスクライブライン S aに沿って押し付ける。これにより、下側の A面ガラス基板では、スクライブライン S aから上方に向かつてクラックが伸長し、 A面ガラス基板はスクライブライン S aに沿ってブレイクされる。

(3) 次に、 A面ガラス基板がブレイクされた貼り合わせガラス基板 1を、 A 面ガラス基板及び B面ガラス基板の表裏を反転させることなく、第 2のスクライブ装置に搬送する。そして、この第 2のスクライブ装置にて、図 2 (c) に示すように、貼り合わせガラス基板 1の B面ガラス基板に対して、ガラスカツ夕一ホィ一ル 2を用いてスクライブして、スクライブライン S bをスクライブライン S aに平行に形成する。なお、液晶マザ一基板では、複数の液晶パネルが形成され、この各液晶パネルが形成される一方のガラス基板の側縁部上に端子を形成する必要があるために、 B面ガラス基板に形成されるスクライブライン S bは、 A面ガラス基板に形成されたスクライブライン S aと、水平方向にスクライブ位置が互いにずれるように形成されることが多い。

( 4 ) 次に、その貼り合わせガラス基板 1の表裏を反転させて、 A面ガラス基板を上側にして、第 2のブレイク装置へ搬送する。この第 2のブレイク装置では、図 2 ( d ) に示すように、貼り合わせガラス基板 1は、マット 4上に載置され、貼り合わせガラス基板 1の A面ガラス基板に対して、 B面ガラス基板に形成されたスクライブライン S bの対向する部分に、ブレイクバ一 3をスクライブライン S bに沿って押し付ける。これにより、下側の B面ガラス基板は、スクライブライン S bに沿ってブレイクされる。

上記（1 ) 〜（4 ) の各工程を実施することにより、貼り合わせガラス基板 1 は、所望の位置にて分断される。

この脆性材料の第 2の分断方法では、工程（2 )及び（4 )に示されるように、ブレイク工程時には、ブレイク対象となる下側のガラス基板にはスクライブラインが形成されているが、上側のガラス基板にはスクライブラインが存在しないため、下側のガラス基板と同時に、上側のガラス基板がブレイクされることはない。このため、前述の図 1 ( a ) 〜（d ) にて示す第 1の分断方法で問題となっている斜め方向の分断面、欠け等が発生するおそれは解消される。

図 3には、この第 1及び第 2の分断方法に使用されるガラス力ッターホイール 2の回転軸に直交する方向から見た側面図を示している。このガラスカッターホィール 2は、ホイール径、ホイール厚 Wのディスク状とされ、ホイールの周囲に鈍角の刃先角 αの刃先が形成されている。

本願出願人は、特開平 9— 1 8 8 5 3 4号公報の「ガラスカッターホイール」にて、上記図 3に示されるガラスカッターホイール 2を改良して、さらに、深い垂直クラックを形成することのできるガラスカッターホイールを開示している。図 4は、この公報に記載のガラス力ッターホイールの回転軸に沿う方向から見た側面図を示している。

このガラス力ッ夕一ホイール 5は、ホイールの周囲に形成された刃先の稜線部に凹凸を形成している。即ち、刃先の稜線部 5 aに、 U字状もしくは V字状の溝 5 bが形成されている。この溝 5 bは、平坦な稜線部 5 aから深さ hに、ピッチ P毎に切り欠くことにより形成されている。このような溝 5 bが形成されていることにより、高さ hの突起 jがピツチ Pの間隔毎に形成された形状を有している。また、図 4では、ガラスカッターホイールの稜線部に形成される溝を分かり易くするために、溝を大きくして描いているが、実際には、この溝は、肉眼で見ることができないミクロンオーダーのサイズである。

下記の表 1には、ホイール径 φ、ホイール厚 W等の具体的な数値を示しており、一例として、タイプ 1とタイプ 2の 2種類を示している。

表 1

このような稜線部に凹凸が形成されたガラスカツタ一ホイール 5は、スクライブ性能、即ち、垂直クラックを形成する能力を飛躍的に向上させることができ、このガラスカッターホイール 5を用いてスクライブを行えば、スクライブ時にガラス下面付近にまで到達するような深い垂直クラックを得ることができる。

上記した稜線部に凹凸が形成されたガラスカツ夕一ホイールは、従来のガラスカツ夕一ホイールに比較して、スクライブ性能を大幅に向上させることができるが、稜線部の全周にわたって、精密な凹凸を形成したものであるため、稜線部に凹凸を加工形成するために、長時間を要し、加工性に問題を有している。

また、上記のような、稜線部に凹凸が形成されたガラスカッターホイール 5を用いて、図 2に示す第 2の分断方法を行うと、工程（3 ) において、上側の B面ガラスをスクライブした時点で、この B面ガラス基板に深い垂直クラックのスクライブライン S bが形成されて、実質的に、貼り合わせガラス基板 1が分断された状態になる場合があり、そのため、工程（3 ) から工程（4) に移行するために、貼り合わせガラス基板 1を、吸引パッド等で吸引して第 2のブレイク装置に搬送する際に、分断された貼り合わせガラス基板 1の一方が、第 2のスクライブ装置に残される場合があり、さらには、貼り合わせガラス基板 1の搬送中に、分断された貼り合わせガラス基板 1の一方が落下する場合があり、貼り合わせガラス基板 1を分断するライン装置が正常に作動しなくなるおそれがある。

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、稜線部の全周にわたって凹凸が形成されたガラスカッターホイールの加工性の問題を解消し、さらに、ガラス基板を分断する際に、所望のスクライブ特性、すなわち、所望深さの垂直クラックのスクライブラインを形成することができるガラスカツ夕一ホイ一ル、及び、脆性材料を分断するためのスクライブを形成するスクライブ方法、並びに、このカッターホイールを装着したスクライブ装置、このカッターホイールを製造するためのカッターホイール製造装置を提供することを目的とする。発明の開示

本発明のスクライブ方法は、厚み方向の中央部が円周方向に突出して稜線部が形成されるディスク状ホイールの稜線部に刃先が形成されて、該稜線部に所定のピッチで所定形状の複数個の溝が形成されている脆性材料切断用ホイールを用いたスクライブ方法において、前記複数個の溝部が占める領域の長さの前記稜線部の全周に対する割合が 1未満のホイ一ルを用いてスクライブすることで、スクラィブ対象の脆性材料内部に形成される垂直クラックの深さを周期的に変化させることを特徴とするものである。

上記本発明のスクライブ方法において、前記複数個の溝部が占める領域の長さの前記稜線部の全周に対する割合が、 3 Z4以下のホイールを用いてスクライブすることが好ましい。

上記本発明のスクライブ方法において、前記複数個の溝部が占める領域の長さの前記稜線部の全周に対する割合が、 1 4以下のホイールを用いてスクライブすることが更に好ましい。

また、本発明のカッターホイールは、ディスク状ホイールの稜線部に刃先が形成されて、その稜線部に所定のピッチで所定形状の複数個の溝が形成された、脆性材料を切断するために用いられるカッターホイールであって、前記複数個の溝部が占める領域の長さの前記稜線部の全周に対する割合が 1未満であることを特徴とするものである。

上記本発明のカツ夕一ホイールにおいて、前記複数個の溝部が占める領域の長さの前記稜線部の全周に対する割合が、 1ノ 4より大きく 3ノ 4以下であることが好ましい。

上記本発明のカッターホイールにおいて、前記複数個の溝部が占める領域の長さの前記稜線部の全周に対する割合が、 1ノ 4以下であることが更に好ましい。上記本発明のカッターホイールにおいて、前記複数個にわたって形成されている各溝のピッチは、 1〜2 O mmのホイ一ル径に応じて 2 0〜2 0 0 であることが好ましい。

上記本発明のカッターホイールにおいて、前記複数個の溝の深さは、 1〜2 0 mmのホイール径に応じて、 2〜2 0 0 z mであることが好ましい。

上記本発明のカツ夕一ホイールにおいて、上記本発明のカツ夕一ホイ一ルを、該ホイ一ルに揷通させる軸と一体的に形成することが好ましい。上記本発明のカッターホイ一ルにおいて、前記稜線部に少なくとも 1つの溝部領域が形成され、各溝部領域の端部の溝から中央部の溝になるに従つて溝の深さが深くなるように、各溝の深さがそれぞれ異なっていることが好ましい。

また、本発明の他のカッターホイールは、稜線部の全周にわたって溝部が形成されており、順次溝の深さが深くなつている領域と順次溝の深さが浅くなつている領域とが連続していることを特徴とするものである。

また、本発明のスクライブ装置は、カツ夕一ヘッドが脆性材料が載置されているテーブルに対して相対的に X方向及び Zまたは Y方向に移動する機構を備えるスクライブ装置において、前記カッターへッドに上記本発明のカッターホイールを具備したことを特徴とするものである。

また、本発明の貼り合わせガラス基板の分断方法は、第 1のスクライブ工程、第 2のスクライプ工程およびブレイク工程からなり、前記第 2のスクライブ工程で上記本発明のガラスカツ夕一ホイールを使用することを特徴とするものである。また、本発明の貼り合わせガラス基板の分断方法は、第 1のスクライブ工程、第 1のブレイク工程、第 2のスクライブ工程および第 2のブレイク工程からなり、前記第 2のスクライプ工程で上記本発明のガラスカツターホイールを使用することを特徴とするものである。

また、本発明のカッターホイール製造装置は、上記本発明のカッターホイールを製造するためのカツ夕一ホイール製造装置であって、少なくとも 1つの回転可能に支持されたディスク状の研削部材と、研削対象となる少なくとも 1つのカツタ一ホイールを支持して、該研削部材に対して、該カツ夕一ホイールを接近及び離間する研削機構とを有し、該研削機構は、該カッターホイールの該研削部材による研削部分を、移動させる回転手段を有していることを特徴とするものである。上記本発明の力ッ夕一ホイール製造装置において、前記研削機構を前記研削部材に接近及び離間させる接近 ·離間手段と、該接近 ·離間手段及び前記回転手段を制御する制御手段とをさらに有していることが好ましい。上記本発明のカッターホイール製造装置において、前記制御手段は、前記カツ夕一ホイールの稜線部の全周の分割数及び領域数によって、前記回転手段を制御して、稜線部の所望の位置に溝部を形成することが好ましい。図面の簡単な説明

図 1は、貼り合わせガラスに対する一般的な分断手順を示した図である。

図 2は、貼り合わせガラスに対し、別の従来の分断手順を示した図である。図 3は、ガラスカッターホイ一ルの正面図である。

図 4は、刃先稜線部に溝が形成されたガラスカッターホイールの側面図である。図 5は、本発明の 1実施形態を示したガラスカッターホイールの側面図である。図 6は、本発明の別の実施形態を示したガラス力ッ夕ーホイ一ルの側面図である。

図 7は、本発明のガラス力ッタ一ホイ一ルでスクライブしたときの垂直クラックの様子を示した図である。

図 8は、本発明のガラスカッターホイールを具備したスクライブ装置による分断手順を示した図である。

図 9は、本発明のガラス力ッ夕一ホイールを具備したスクライブ装置による別の分断手順を示した図である。

図 1 0は、実施例 1のガラスカッターホイールを示す側面図である。

図 1 1は、実施例 2のガラスカッターホイールを示す側面図である。

図 1 2は、実施例 3のガラスカッターホイールを示す側面図である。

図 1 3は、実施例 4のガラスカッターホイールを示す側面図である。

図 1 4は、実施例 5のガラスカッターホイールを示す側面図である。

図 1 5は、実施の形態 2のガラスカッターホイール製造装置の概略構成を示す平面図である。

図 1 6は、ガラスカッターホイール製造装置の操作部に備えられるタツチパネルの一例を示す図である。

図 1 7は、ガラスカッターホイール製造装置に備えられるパトライトの一例を示す図である。

図 1 8は、ガラスカツ夕一ホイールの研削工程を説明するためのフローチヤ一トである。

図 1 9は、実施の形態 1に用いられるスクライブ装置の正面図である。

図 2 0は、実施の形態 1に用いられるスクライブ装置の側面図である。発明を実施するための最良の形態

図 5は、本実施の形態 1のガラスカッターホイール 6を示す側面図である。このガラスカッターホイール 6は、図 5に示すように、刃先稜線部を溝が形成された領域 Aと溝が形成されていない領域 Bとを有するものとしている。

このような溝が形成された領域 Aの稜線部の全周（A領域 + B領域）に対する比率（以下、全周に対する領域 Aの比率と称する）は、ガラスカッターホイ一ル 6の稜線に溝を形成する加工性を考慮すると、 3 4以下であることが好ましい。このような比率であれば、溝を形成するための加工に長時間を要することがなく、加工性に優れたものとすることができる。

また、全周に対する領域 Aの比率 3ノ 4以下であって、 1ノ4より大きい範囲であると、後述の図 7に示すような、周期的に深さが変化する垂直クラックが得られる。ただし、全周に対する領域 Aの比率がこのような範囲である場合には、上記の周期的なクラックを得るためには、限られた条件にすることが必要になる。これに対して、全周に対する領域 Aの比率が 1 Z4以下の範囲にすると、広い条件で安定して周期的に深さが変化する垂直クラックが得られる。全周に対する領域 Aの比率が、この範囲に設定されていると、スクライブラインを形成した脆性基板を搬送する場合に、搬送途中で分断して落下等の問題が生じることを防ぐために適している。稜線部の A領域に形成される溝 6 bは、ミクロンオーダーで意図的に周期的に加工されたものであり、刃先稜線を形成する研削加工の際に、必然的に形成されるサブミクロンオーダーの研磨条痕とは区別される。

図 6は、実施の形態 1のガラスカッターホイールの他の例を示しており、（a) は、刃先全周を 6領域に区分して、領域 Aと領域 Bとが交互に形成されるように設定したものである。（b) は、刃先全周を 8領域に区分して、領域 Aと領域 B とを交互に形成されるように設定したものである。

図 6 (b) では、溝が形成された領域 Aが A 1〜A4の複数の領域にわたって形成され、溝が形成されていない領域 Bが B 1〜B 4の複数の領域にわたって形成されている。各領域 A1〜A4及び B 1〜B4の長さは、例えば、

A 1 =A2=A3=A4 A 1 + A 2 + A 3 + A 4 = A B 1=B 2=B 3=B4 B 1 + B 2 + B 3 + B 4 = B

A/B= 1

となるように設定される。この場合、各領域 A 1〜A 4が全て等しく、また、 B 1〜； B 4が全て等しくなつている。また、 1となっているので、領域 A の全周に対する比率は、 2ノ 4となっている。

また、別の例では、

A 1 =A2≠A3≠A4 A 1 + A 2 + A 3 + A 4 = A B 1=B 2≠B 3≠B4 B 1 +B 2+B 3+B4=B A/B== 1

となるように設定される。この場合、各領域 A1〜A4及び B 1~B4で、 A3 及び A 4が、 A 1及び A 2と異なっており、また、 83及び84が、 B1及び B 2と異なっている。また、全体として、 AZB= 1となっているので、領域 Aの全周に対する比率は、 2/4となっている。

さらに他の例では、

A 1 =A2≠A3≠A4 A 1 + A 2 + A 3 +A 4 = A B 1 =B 2≠B 3≠B 4 B 1 + B 2 + B 3 + B 4 = B となるように設定される。この場合、各領域 A 1〜A 4及び B 1 ~B 4で、 A 3 及び A 4が、 A 1及び A 2と異なっており、また、 B 3及び B 4が、 B 1及び B 2と異なっている。また、全体として、 3 / 1となっているので、領域 Aの全周に対する比率は、 3 4となっている。

このガラスカツ夕一ホイール 6は、このホイ一ル 6に挿通される軸と一体的に形成されてもよい。一体的に形成する方法としては素材よりホイールと軸とを一体に研削加工する方法、刃先と軸とを接着および Zまたはロー付けする方法等が用いられる。

図 7は、上記のガラス力ッタ一ホイール 6を用いてガラス基板にスクライブラィンを形成した塲合にガラス基板に発生する垂直クラックを概略的に示す模式図である。

ガラスカツ夕一ホイール 6を用いたスクライブにより生じるスクライブラインは、ガラスカッターホイールの稜線部において、溝が形成された A領域により形成されたスクライプライン S _Aと、溝が形成されていない B領域により形成されたスクライブライン S _Bとで、垂直クラックの深さが異なっており濃淡が確認された。即ち、クライブライン S _Aでは、稜線部に形成された凹凸により深い垂直クラック D_Aが形成され、スクライブライン S _Bでは、稜線 ¾5に凹凸が形成されていないため、浅い垂直クラック D _Bが形成されることが確認された。

このように、本実施形態 1のガラスカッターホイール 6を用いたスクライブでは、垂直クラックの深さが周期的に変化していることから、本実施の形態 1では、そのスクライブ性能は、図 2の従来のガラスカツ夕一ホイール 2におけるスクライブ性能と図 4のガラスカッターホイール 5におけるスクライブ性能との中間になることがわかる。さらに、ガラスカッターホイールの全周に対して、溝が形成され領域 Aと溝が形成されていない領域 Bとの比率を適宜変更することにより、所望のスクライブ特性を得ること、すなわち、ガラス基板を分断するための所望の垂直クラックのライン（スクライブライン）が得られる。

以下、本実施の形態 1のガラス力ッターホイールの具体例を示す実施例 1〜 5 について説明する。

(実施例 1 )

図 1 0に実施例 1のガラスカツ夕一ホイールの形態を示し、下記の表 2には、本実施例 1のガラスカッターホイールのホイール径等の寸法を示している。表 2

本実施例 1のガラスカッターホイール 6は、稜線部の全周長さの 1ノ1 0 ( 8 分割 Z 8 0分割）の部分に一箇所、同じ深さの溝（7 ^m) が連続して形成されるように設定している。

このガラスカッターホイール 6を用いて、厚み 0. 7 mmの無アルカリガラスに対して、刃先荷重 0 . 1 6〜0 . 4 0 M P a、スクライブ速度 4 0 0 mm, s として、スクライブを行った。この実施例 1のガラスカッターホイール 6を用いたスクライブでは、図 7に示すように、垂直クラックの深さが周期的に変化するスクライブラインが形成され、 0 . 1 8 MP aの荷重を用いた場合、図 7の深い垂直クラック D_Aは、約 4 0 0 m、浅い垂直クラック D _Bは、約 1 0 0 となつた。

(実施例 2 )

図 1 1に実施例 2のガラスカツ夕一ホイ一ル 6の形態を示し、下記の表 3には、図 3のガラス力ッターホイールのホイ一ル径等の寸法を示している。表： 3

ホイール佳 2.0 mm

ホイール厚 w 0.6o mm

刃先角度 135°

溝深さ 7 im 本実施例 2のガラスカツ夕一ホイール 6は、稜線部の全周長さの 1Z10 (8 分割 /80分割）の長さに、二箇所にわたって、同じ深さの溝（7 m) が連続して形成された領域 A 1及び A 2を設けている。各溝が形成された領域は A 1及び A 2は、ガラス力ッ夕一ホイール 6の中心軸を挟んで反対側になるように設定されている。

このガラスカツ夕一ホイ一ル 6を用いて、厚み 0. 7mmの無アルカリガラスに対して、刃先荷重 0. 16〜0. 40MPa、スクライブ速度 400 mm/ s として、スクライブを行った。この実施例 2のガラスカッターホイ一ル 6を用いたスクライブでは、図 7に示すように、垂直クラックの深さが周期的に変化するスクライブラインが形成され、 0. 20 MP aの荷重を用いた場合、図 7の深い垂直クラック D_Aは、約 400 m、浅い垂直クラック D_Bは、約 100 mとなつた。

(実施例 3 )

図 12に実施例 3のガラス力ッターホイール 6の形態を示し、下記の表 4には、本実施例 3のガラスカッターホイール 6のホイール径等の寸法を示している。表 4

本実施例 3のガラスカッターホイール 6は、稜線部の全周長さの 1/10 (8 分割 80分割）の長さに、三箇所にわたって、同じ深さの溝（7 im) が連続して形成された領域 A 1及び A 2及び A 3を設けている。領域 A 1及び A 2及び A 3は、それぞれ、均等な間隔となるように設定されている。

このガラスカッターホイール 6を用いて、厚み 0. 7 mmの無アルカリガラスに対して、刃先荷重 0. 16〜0. 40 MP a、スクライブ速度 400 mmZ s として、スクライブを行った。この実施例 3のガラスカッターホイール 6を用いたスクライブでは、図 7に示すように、垂直クラックの深さが周期的に変化するスクライブラインが形成され、 0. 20 MP aの荷重を用いた場合、図 7の深い垂直クラック D_Aは、約 400 fini 浅い垂直クラック D_Bは、約 100 mとなつた。

(実施例 4)

図 13に実施例 4のガラスカツターホイール 6の形態を示し、下記の表 5には、本実施例 4のガラス力ッ夕一ホイ一ル 6のホイ一ル径等の寸法を示している。

表 5

本実施例 4のガラスカッターホイール 6は、稜線部の全周、長さの 1/10 (8 分割/ 80分割）の長さに、一箇所にわたって、連続して溝が形成された領域 A 1を設けている。この領域 Aには、 7つの溝が形成されており、各溝の深さはそれぞれ異なっており、順に、 3、 5、 7、 7、 7、 5、 3 になるように設定されている。

このガラスカッターホイール 6を用いて、厚み 0. 7mmの無アルカリガラスに対して、刃先荷重 0. 16〜0. 40 MP a、スクライブ速度 400 mmZ s として、スクライブを行った。この実施例 4のガラスカッターホイール 6を用いたスクライブでは、図 7に示すように、垂直クラックの深さが周期的に変化するスクライブラインが形成され、 0. 22 MP aの荷重を用いた場合、図 7の深い垂直クラック D_Aは、約 400 im、浅い垂直クラック D_Bは、約 100 となつた。

(実施例 5 )

図 14に実施例 5のガラスカッターホイール 6の形態を示し、下記の表 6には、本実施例 5のガラス力ッターホイ一ル 6のホイール径等の寸法を示している。表 6

本実施例 5のガラスカツ夕一ホイール 6は、稜線部の全周を 106分割して、全周にわたって、 3、 5、 7、 7、 7、 5、 3 mの深さの溝が、この順に、繰り返して形成されるように設定されている。

このガラスカツ夕^ホイール 6を用いて、厚み 0. 7mmの無アルカリガラスに対して、刃先荷重 0. 16〜0. 40 MP a、スクライブ速度 400 mmZ s として、スクライブを行った。この実施例 5のガラスカッターホイール 6を用いたスクライブでは、図 7に示すように、垂直クラックの深さが周期的に変化するスクライブラインが形成され、 0. 29 MP aの荷重を用いた場合、図 7の深い垂直クラック D_Aは、約 400 μπι、浅い垂直クラック D_Bは、約 100 /xmとなつた。

さらに、上記実施例 1〜5の結果により、複数個にわたって形成されている各溝のピッチは、 1〜20 mmのホイ一ル径に応じて 20〜200 mであることが好ましく、また、複数個の溝の深さは、 1〜20mmのホイール径に応じて、 2 ~ 2 0 0 imであることが好ましいことが明らかになつている。

上記した本発明のカッターホイールの説明に用いた図においては、カッターホィールの稜線に形成される溝を分かり易くするために、溝を大きく描いているが、実際には、この溝は、肉眼で見ることができないミクロンオーダのサイズである。次に、本実施の形態 1のガラスカッターホイール 6を備えた分断装置を用いて貼り合わせガラス基板 1を分断する方法について説明する。なお、以下の説明にて使用されるスクライブ装置は、ガラス板が載置されるテーブルが 0回転し、かつカッターへッドに対して相対的に X方向及び Zまたは Y方向に移動する機構を備えるスクライブ装置を用いている。

図 1 9及び図 2 0に一例として、テーブルが 0回転し、かつ、 Y方向に移動し、カッターヘッドが X方向に移動するスクライブ装置を示しており、図 1 9は、その正面図、図 2 0は、その側面図である。

図 1 9及び図 2 0に示すように、このスクライブ装置は、ガラス板を載置するテーブル 4 1を有している。このテ一ブル 4 1は、回転テーブル 4 2により、水平方向に回転可能に支持されていると共に、ボールネジ 4 4を回転させることにより、 Y方向（図 1 9中、左右方向）に移動可能になっている。また、上記の本発明のガラスカッターホイール 1 1を回転自在に軸着したカツ夕一へッド 4 6が、レール 4 7に沿って、 X方向（図 2 0中、左右方向）に移動可能に支持されている。

このスクライブ装置を用いてスクライブを行う際には、テーブル 4 1を所定ピツチで Y方向に移動させる毎に、カツ夕一へッド 4 6を X方向に移動させることにより、テーブル 4 1に載置されたガラス板は、 X方向にスクライブされる。この後、回転テーブル 4 2によりテーブル 4 1を 9 0 ° 回転させて、同じようにスクライブを行えば、ガラス板は、先に形成されたスクライブに直交するスクライブを形成することができる。

なお、上記のスクライブ装置において、 4 3は、テーブル 4 1を Y方向に移動させるためのテ一ブル送りモー夕、 4 5は、回転テ一ブル 4 2を Y方向移動可能に支持するためのレール、 4 8は、回転可能に支持されたガラスカッターホイ一ル 1 1を回転させるためのカッター軸モータ、 4 9及び 5 0は、テーブル 4 1上でスクライブされるガラス基板をモニタするための C C Dカメラ、 5 1は、その C C Dカメラ 4 9及び 5 0を支持するカメラ支持金具を、それぞれ示している。図 8 ( a ) 〜（c ) は、それぞれ、本実施の形態 1のガラスカツタ一ホイール 6を備えた分断装置を用いて貼り合わせガラス基板 1を分断する方法を、工程毎に説明する断面図である。なお、以下の説明では、便宜上、液晶マザ一基板である一対のガラス基板を互いに対向して貼り合わせて形成される貼り合わせガラス基板の一方側のガラス基板を A面ガラス基板、他方側のガラス基板を B面ガラス基板とする。

( 1 ) まず、図 8 ( a ) に示すように、貼り合わせガラス基板 1の A面ガラス基板を上側にして、貼り合わせガラス基板 1を第 1のスクライブ装置上に載置し、 A面ガラス基板に対して、ガラスカツ夕一ホイール 5を用いてスクライブしてスクライブライン S aを形成する。この第 1のスクライブ装置は、図 4に示した全周に溝を有するガラスカッターホイール 5を使用しており、このガラスカッターホイール 5を用いて形成されるスクライブライン S aは、図中 V aで示すように、 A面ガラスの下面付近にまで到達するような深い垂直クラックが形成されている。

( 2 ) 次に、 A面ガラス基板にスクライブライン S aを形成した貼り合わせガラス基板の表裏を反転させて、第 2のスクライブ装置に搬送する。そして、この第 2のスクライブ装置にて、図 8 ( b ) に示すように、貼り合わせガラス基板 1 の B面ガラスに対して、ガラスカッターホイ一ル 6を用いてスクライブして、スクライブライン S aに平行に、スクライブライン S bを形成する。この第 2のスクライブ装置は、実施例 1〜 5のいずれかに記載されたガラスカツ夕一ホイール 6を使用しており、このガラスカッターホイール 6を用いて形成されるスクライブライン S bは、浅く形成された部分と深く形成された部分が交互に周期的に変化する垂直クラック V bが形成される。なお、液晶マザ一基板では、複数の液晶パネルが形成され、この各液晶パネルが形成される一方のガラス基板の側縁部上に端子を形成する必要があるために、 B面ガラス基板に形成されるスクライブライン S bは、 A面ガラス基板に形成されたスクライブライン S aと、水平方向にスクライブ位置が互いにずれるように形成されることが多い。

( 3 ) 次に、 A面ガラス基板及び B面ガラス基板のそれぞれにスクライブライン S a及び S bが形成された貼り合わせガラス基板 1を、 A面ガラス基板及び B 面ガラス基板の上下を反転させて、 A面ガラス基板を上側にして、プレイク装置に搬送する。このブレイク装置では、図 8 ( c ) に示すように、貼り合わせガラス基板 1は、マット 4上に載置され、貼り合わせガラス基板 1の A面ガラス基板に対して、ブレイクパ一 3を B面ガラス基板に形成されたスクライブライン S b に沿って押し付ける。これにより、下側の B面ガラス基板は、スクライプライン S bから上方に向かってクラックが伸長し、 B面ガラス基板は、スクライブライン S bに沿ってブレイクされる。

上記（1 )〜（3 )の工程を順次行うことにより、貼り合わせガラス基板 1は、分断される。

既述したように本発明のガラスカツ夕一ホイール 6によるスクライブでは、浅く形成された部分と深く形成された部分が交互に周期的に変化する垂直クラック V が形成され、垂直クラック V bがガラス基板の厚み方向に完全に貫通した状態とはならない。このため、上記の工程 ( 2 ) において、第 2のスクライブ装置からブレイク装置に、貼り合わせガラス基板 1を搬送する途中で、 A面ガラス基板が完全に分断された状態になっていても、 A面ガラス基板が、 B面ガラス基板に貼り合わされた状態になっているため、貼り合わせガラス基板 1が分離するおそれはない。

図 9 ( a ) 〜（d ) は、それぞれ、本実施の形態 1のガラスカッターホイール

6を備えた分断装置を用いて貼り合わせガラス基板 1を分断する第 2の方法を、工程毎に説明する断面図である。なお、以下の説明では、便宜上、液晶マザ一基板である一対のガラス基板を互いに対向して貼り合わせて形成される貼り合わせガラス基板の一方側のガラス基板を A面ガラス基板、他方側のガラス基板を B面ガラス基板とする。

( 1 ) まず、図 9 ( a ) に示すように、貼り合わせガラス基板 1の A面ガラス基板を上側にして、貼り合わせガラス基板 1を第 1のスクライブ装置上に載置し、 A面ガラス基板に対して、ガラスカツ夕一ホイール 2を用いてスクライブしてスクライブライン S aを形成する。このガラスカツ夕一ホイールを用いて形成される垂直クラック V aは、ガラス基板の下面近傍に達するような深い垂直クラックとはならない。

( 2 ) 次に、 A面ガラス基板にスクライブライン S aを形成した貼り合わせガラス基板 1の表裏を反転させて、第 1のブレイク装置に搬送する。この第 1のブレイク装置では、図 9 ( b) に示すように、貼り合わせガラス基板 1は、マット 4上に載置され、貼り合わせガラス基板 1の B面ガラス基板に対して、ブレイクパー 3を A面ガラス基板に形成されたスクライブライン S aに沿って押し付ける。これにより、下側の A面ガラス基板は、スクライブライン S aから上方に向かつてクラックが伸長し、 A面ガラス基板は、スクライブライン S aに沿ってに沿つてブレイクされる。

( 3 ) 次に、 A面ガラス基板が分断された貼り合わせガラス基板 1を、 A面ガラス基板及び B面ガラス基板の表裏を反転させることなく、第 2のスクライブ装置に搬送する。そして、この第 2のスクライブ装置にて、図 9 ( c ) に示すように、貼り合わせガラス基板の B.面ガラス基板に対して、ガラスカッターホイール 6を用いてスクライブして、スクライブライン S bをスクライブライン S aに平行に形成する。なお、液晶マザ一基板では、複数の液晶パネルが形成され、この各液晶パネルが形成される一方のガラス基板の側縁部上に端子を形成する必要があるために、 B面ガラス基板に形成されるスクライブライン S bは、 A面ガラス基板に形成されたスクライプライン S aと、水平方向にスクライブ位置が互いにずれるように形成されることが多い。

( 4 ) 次に、その貼り合わせガラス基板 1の表裏を反転させて、 A面ガラス基板を上側にして、第 2のブレイク装置に搬送する。この第 2のブレイク装置では、図 9 ( d ) に示すように、貼り合わせガラス基板は、マット 4上に載置され、貼り合わせガラス基板 1の A面ガラス基板に対して、ブレイクパー 3を B面ガラス基板に形成されたスクライブライン S bに沿って押し付ける。これにより、下側の B面ガラス基板は、スクライブライン S bから上方に向かってクラックが伸長し、 B面ガラス基板は、スクライブライン S bに沿ってに沿ってブレイクされる。工程（3 ) での B面ガラス基板へのスクライブライン S bの形成による垂直クラックを、図 9 ( d ) において、 V bで示している。

上述のように、本発明のガラスカッターホイール 6によるスクライブでは、浅く形成された部分と深く形成された部分が交互に周期的に変化する垂直クラック V bが形成され、垂直クラック V bがガラス基板の厚み方向に完全に貫通した状態とはならない。このため、上記の工程（4 ) において、第 2のスクライブ装置から第 2のブレイク装置に、貼り合わせガラス基板 1を搬送する途中で、 A面ガラス基板が完全に分断された状態になっていても、 B面ガラス基板が分断された状態にはならず、貼り合わせガラス基板 1が分断するおそれはない。

上記においては、貼り合わせガラス基板のスクライブ方法について説明したが、特別な場合として、他の脆性材料を本願発明のスクライブ方法を用いてスクライブしてもよく、この場合においても、他の脆性材料に浅い形成された部分と深く形成された部分とが周期的に変化するように垂直クラックを形成することができる。そして、このような周期的に深さが異なる垂直クラックを形成することで、脆性材料を搬送途中に完全分断が生じることなく、次工程に送ることが可能になる。

次に、図 5に示すような刃先稜線部に凹凸が形成されたガラス力ッターホイ一ル 6を製造するためのガラスカツ夕一ホイール製造装置について説明する。図 1 5は、本実施の形態 2のガラスカツ夕一ホイール製造装置の概略構成を示す平面図である。

このガラスカッターホイール製造装置 1 0は、稜線部に刃先が形成されたガラスカッターホイール対して、刃先の稜線部を研削することにより、刃先に凹凸を形成するための構成を備えている。

このガラスカツ夕一ホイール製造装置 1 0は、スピンドルモータ 1 1によって回転自在に支持されて固定されている砥石 1 2が配置されたハウジング 1 3を有し、このハウジング 1 3の前面には、研削対象となるガラスカッターホイールを搬出入するために開放可能になっている扉部 1 4が設けられている。この扉部 1 4は、安全扉になっており、ガラスカッターホイールの研削中に、開放された場合には、研削工程が中断するような安全制御装置（図示しない）が設けられている。

このハウジング 1 3の内部には、砥石 1 2に対して、接近または離間することができるように、研削機構 1 5が設けられている。研削機構 1 5の抵石 1 2に対する接近及び離間は、送り用モータ 1 8によって操作される。この送り用モータ 1 8は、図示しないポールネジを回転させることによって、研削機構 1 5を所定の位置に送り及び戻しを調整することができるようになつている。

研削機構 1 5は、研削時にガラスカツ夕一ホイ一ルを支持するホイール支持部 1 9を有している。このホイール支持部 1 9の後部には、ガラスカツ夕一ホイ一ルを予め設定された角度回転させる刃先回転用モータ 2 0が設けられている。また、研削機構 1 5には、水平方向ァライメント用ハンドル 2 1及び垂直方向ァラィメント用八ンドル 2 2が設けられており、これらによって、水平方向及び垂直方向のァライメントが手動または図示しない制御機構にて自動で調整される。ハウジング 1 3の外部には、研削機構 1 5の位置及び動作を制御するための制御装置 2 5が設けられている。また、この制御装置 2 5には、研削機構 1 5によるガラスカツ夕一ホイ一ルの研削条件を指定するための操作部 2 6が設けられる。この操作部 2 6には、例えば、図 1 6に示すような夕ツチパネル 3 0が形成される。図 1 6に一例として示す夕ツチパネル 3 0では、装置全体の各種運転モード、設定条件、警報等の指定条件等が表示される夕ツチパネル操作部 3 1が設けられており、下部には、制御電源の投入及び停止を操作する電源スィッチ 3 2、運転準備に入ることを指定する照光式押しポタンスィッチ 3 3、警報情報を発するための警報ブザー 3 4、非常時に運転を停止指示するための非常停止押しボタンスィッチ 3 5が設けられている。

また、ハウジング 1 3の上部には、異常発生中であること、自動運転中であること、扉開閉しても問題がないこと等のハウジング内の状態を示す表示灯であるシグナル夕ヮ一 4 0が設けられている。図 1 7には、このシグナルタワー 4 0の一例を示しており、この例では、ハウジング 1 3内が異常発生中であることを表示する「赤色」表示灯 4 1、 Λウジング 1 3内が自動運転中であることを表示する「緑色」表示灯 4 2、扉を開閉しても問題がない状態であることを表示する「黄色」表示灯 4 3が設けられている。

次に、上記構成のガラスカッターホイール製造装置 1 0の動作について説明する。

まず、操作部 2 6を操作して、研削対象となるガラスカツ夕一ホイールの研削条件についての初期設定を行う。

この初期設定としては、例えば、次の条件が入力される。

•第 1番目の領域の回転角度数割合；溝の深さ、 D u、 ···、 D _{l n}

'第 2番目の領域の回転角度数割合 F ₂；溝の深さ、 D _{2 1}、 ···、 D 2 n 第 m番目の領域の回転角度数割合 F_m ;溝の深さ、 D_{m l}、

ループ回数： L

1領域当たりの分割数 N •溝の深さ： D 1、 D 2、 ···、 D n

•領域数 R

初期設定の入力が終了すると、ガラス力ッ夕ーホイールの研削工程が開始される。図 1 8は、このガラスカツ夕一ホイールの研削工程を説明するためのフローチャートである。以下、このフローチャートに基づいてガラスカッターホイ一ルの研削工程について説明する。

まず、ステップ 1によって、分割数 n = 0を設定し、続いて、ステップ 2によつて、領域数 r = lを設定する。

次に、ステップ 3によって、研削対象となるガラスカツ夕一ホイールをホイ一ル支持部 1 9に取り付ける。

次に、操作部 2 6を操作して、研削機構 1 5の自動運転を開始させる。

次に、砥石 1 2の先端がガラスカッターホイールの刃先に接触する位置を検出する。この接触位置の検出には、光学的手段、機械的手段、電気的手段が用いられる。このガラスカッターホイールの刃先の砥石 1 2に対する接触の検出は、刃先が砥石に接触する毎に検出される。

砥石 1 2の先端が刃先に接触する位置が検出されると、ステップ 6において、送り用モータ 1 8によって、研削機構 1 5を待機位置に戻す。

次に、ステップ 7によって、刃先回転用モ一夕 2 0を回転させて、ホイ一ル支持部 1 9に保持されたガラス力ッタ一ホイ一ルを所定の角度回転させる。

次に、ステップ 8にて、分割数 nに 1を加えて（n + 1 ) に更新する。

次に、ステップ 9にて、研削機構 1 5〜1 7を刃先が砥石 1 2に接触するように砥石 1 2の方向に移動させて、第 n番目の溝を深さ Dmnの深さに加工する。このステップ 9では、第 m番目の領域 Rにおける第 n番面の溝の深さについて、予め、上記初期設定にて設定された入力値の溝の深さ D_mnになるように、各溝が形成される。また、同様に、第 m番目の領域 Rの回転角度数についても、上記初期設定にて設定された入力値の回転角度数割合 Fmによって、予め、設定されて形成される。

次に、ステップ 10にて、研削機構 15〜17を待機位置に移動させる。次に、ステップ 11にて、分割数 nと分割数 Nとを比較して、 nく Nであるか否かを判定する。 n<Nである場合には、ステップ 12に進み、 n<Nでない場合にはステップ 13に進む。

n<Nであると判定されてステップ 12に進むと、ステップ 12にて、刃先回転用モータ 20を微小角度だけ回転させる。続いて、ステップ 7に戻り、微小角度回転させた刃先の位置にて、研削加工を行う。

ステップ 11にて、 n<Nでないと判断された場合には、分割数 nが予め設定されている分割数 Nに達していることを意味しており、ステップ 13に進み、このステップ 13にて、 rく Rであるか否かを判定する。

ステップ 13にて、 r<Rであると判定された場合には、ステップ 14に進み、このステップ 14にて、刃先回転用モータ 20によって設定角度だけ刃先が回転される。

続いて、ステップ 15に進み、このステップ 15にて、設定された領域数 rに

1を加えて、領域数（r + 1)に更新する。ステップ 15による領域数の更新後、ステップ 7に戻り、研削加工を引き続いて行う。

ステップ 13にて、 r<Rでないことが判定されると、領域数 rが初期設定された領域数 Rに達していることを示しており、ステップ 16に進み、研削機構 1 5〜17を原点位置に戻す。

次に、ステップ 17により、刃先が研削されたガラスカツ夕一を取り出し、研削加工が終了する。

以上に説明した本実施の形態 2のガラス力ッ夕一ホイ一ル製造装置 10を用いれば、刃先全周の所望の位置に、所望の深さの溝を、良好な精度に形成することが可能である。

なお、図 15に示すカッターホイール製造装置では、砥石 12に対して、一つの研削機構 1 5を設けているが、八ウジングの中央付近に砥石を配置して、その砥石の周辺を取り囲むように複数の研削機構を設ける構成にしてもよい。このようにすれば、設置される研削機構の数に比例して、カッターホイールの加工効率を大幅に向上することができる。

さらに、複数の砥石を縦に積み重ねて設置し、それぞれの砥石に加工対象となる複数のカッターホイールの刃先が各砥石に対向して配置するようにしてもよい。また、研削機構における一つのカッターホイール支持部に、複数のカツ夕一ホイールを取り付け可能として、一回の研削工程で、複数個のカッターホイールを同時に研削できる構成にしてもよい。このようにすれば、さらに、カッターホイ一ルの加工効率を向上することができる。産業上の利用可能性

以上説明したように、本発明は、ディスク状ホイールに刃先を形成してなるガラスカッターホイールにおいて、刃先全周の 3 / 4以下に対し、刃先稜線部に所定のピッチで所定形状の溝を形成しており、刃先全周に溝部を形成したガラス力ッターホイールに比較して、加工性は良好である。

また、ガラスカッターホイールにおいて、刃先全周の ΓΖ 4以下に対して、所定のピツチで溝部を形成しており、基板の下面近傍にまで達するような垂直クラックが形成されることを防止することができる。全周長さに対する溝部の割合を変化させることにより、所望のスクライブ特性を得ることができる。そのため、スクライブ特性を変化させることにより、ガラス基板の搬送時に、スクライブラィンの箇所で分断して落下するといったようなことを未然に防止することが可能になる。

Claims

請求の範囲

1 . 厚み方向の中央部が円周方向に突出して稜線部が形成されるディスク状ホイールの稜線部に刃先が形成されて、該稜線部に所定のピッチで所定形状の複数個の溝が形成されている脆性材料切断用ホイールを用いたスクライブ方法において、前記複数個の溝部が占める領域の長さの前記稜線部の全周に対する割合が 1未満のホイールを用いてスクライブすることで、スクライブ対象の脆性材料内部に形成される垂直クラックの深さを周期的に変化させることを特徴とするスクライブ方法。

2 . 前記複数個の溝部が占める領域の長さの前記稜線部の全周に対する割合が、 3 Z 4以下のホイ—ルを用いてスクライブすることを特徴とする請求の範囲第 1 項記載のスクライブ方法。

3 . 前記複数個の溝部が占める領域の長さの前記稜線部の全周に対する割合が、 1 4以下のホイールを用いてスクライブすることを特徴とする請求の範囲第 1 項記載のスクライブ方法。

4. ディスク状ホイールの稜線部に刃先が形成されて、その稜線部に所定のピッチで所定形状の複数個の溝が形成された、脆性材料を切断するために用いられるカッターホイールであって、

前記複数個の溝部が占める領域の長さの前記稜線部の全周に対する割合が 1未満であることを特徴とするカッターホイール。

5 . 前記複数個の溝部が占める領域の長さの前記稜線部の全周に対する割合が、 1 4より大きく 3 4以下であることを特徴とする請求の範囲第 4項記載の力ッ夕ーホイ一 Jレ。

6 . 前記複数個の溝部が占める領域の長さの前記稜線部の全周に対する割合が、 1 / 4以下であることを特徴とする請求の範囲第 4項記載の力ッターホイール。

7 . 前記複数個にわたって形成されている各溝のピッチは、 l〜2 0 mmのホイ —ル径に応じて 2 0〜2 0 0 i mである請求の範囲第 4〜6項のいずれかに記載のカッターホイール。

8 . 前記複数の溝の深さは、 1〜2 0 mmのホイール径に応じて、 2〜2 0 0 mである請求の範囲第 4から 6項のいずれかに記載のカッターホイール。

9 . 請求の範囲第 4〜8項のいずれかに記載のカッターホイールを、該ホイールに挿通させる軸と一体的に形成したことを特徴とするカツ夕一ホイ一ル。

1 0 . 前記稜線部に少なくとも 1つの溝部領域が形成され、各溝部領域の端部の溝から中央部の溝になるに従って溝の深さが深くなるように、各溝の深さがそれぞれ異なっていることを特徴とする請求の範囲第 4〜 6項のいずれかに記載の力ッターホイ一 _レ。

1 1 . 稜線部の全周にわたって溝部が形成されており、順次溝の深さが深くなつている領域と順次溝の深さが浅くなつている領域とが連続していることを特徴とするカッターホイール。

1 2 . カツ夕一ヘッドが脆性材料が載置されているテ一ブルに対して相対的に X 方向及び Zまたは Y方向に移動する機構を備えるスクライブ装置において、前記カツ夕一ヘッドに請求の範囲第 4〜1 1項のいずれかに記載のカッターホィ一ルを具備したことを特徴とするスクライブ装置。

1 3 . 第 1のスクライブ工程、第 2のスクライブ工程およびブレイク工程からなり、前記第 2のスクライブ工程で請求の範囲第 4〜1 1項のいずれかに記載のガラスカッターホイールを使用することを特徴とする貼り合わせガラス基板の分断方法。

1 4. 第 1のスクライブ工程、第 1のブレイク工程、第 2のスクライブ工程および第 2のブレイク工程からなり、前記第 2のスクライブ工程で請求の範囲第 4〜 1 1項のいずれかに記載のガラス力ッターホイールを使用することを特徴とする貼り合わせガラス基板の分断方法。

1 5 . 請求の範囲第 4〜1 1項のいずれかに記載のカッターホイールを製造するためのカッターホイール製造装置であって、少なくとも 1つの回転可能に支持されたディスク状の研削部材と、研削対象となる少なくとも 1つのカツ夕一ホイールを支持して、該研削部材に対して、該カッターホイ一ルを接近及び離間する研削機構とを有し、

該研削機構は、該カッターホイ一ルの該研削部材による研削部分を、移動させる回転手段を有していることを特徴とするカッターホイール製造装置。

1 6 . 前記研削機構を前記研削部材に接近及び離間させる接近 ·離間手段と、該接近 ·離間手段及び前記回転手段を制御する制御手段とをさらに有している、請求項 1 5に記載のカッターホイール製造装置。

1 7 . 前記制御手段は、前記カツ夕一ホイ一ルの稜線部の全周の分割数及び領域数によって、前記回転手段を制御して、稜線部の所望の位置に溝部を形成する、請求の範囲第 1 6項に記載のカッターホイール製造装置。