TWI261049B

TWI261049B - A scribing method, a cutter wheel, a scribing apparatus using the cutter wheel, and an apparatus for producing the cutter

Info

Publication number: TWI261049B
Application number: TW091104927A
Authority: TW
Inventors: Kiyoshi Takamatsu; Kazuya Maekawa; Noriyuki Ogasawara
Original assignee: Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd
Priority date: 2001-03-16
Filing date: 2002-03-15
Publication date: 2006-09-01
Also published as: CN1970266B; CN100361914C; US20040155085A1; KR100555329B1; US7975588B2; CN1496339A; US20090126551A1; US7523846B2; KR20030076719A; US20090179060A1; CN1970266A; EP1378495A4; WO2002074707A1; HK1065995A1; JP4038431B2; JPWO2002074707A1; EP1378495A1

Description

1261049 A7 發明説明q 技術領域本發明係關於：一種形成一割線以分離一易碎材料之方法，一種切刀輪，係一在易碎材料内形成一割線之劃割切刀輪’種劃割裝置’結合此一切刀輪；及一種切刀輪製造裝置’用於製造此一切刀輪。易碎材料包括使用於一玻璃基板或一接合玻璃基板之玻璃、半導體晶圓、陶材、等等。背景技藝圖1(a)至1(d)係截面圖，其以一步驟接著一步驟之方式，舉例說明一習知程序用於在一要求之切割位置切割一接合玻璃基板之第一分離方法，例如液晶母板。在以下之說明中’在一由一對玻璃基板形成之接合玻璃基板中，其為一液晶母板，為了方便說明，其中一玻璃基板稱為A侧玻璃基板’而另一玻璃基板稱為B側玻璃基板。 (1) 首先，如圖1(a)所示，接合玻璃基板1放置於一第一劃割裳置上’以致於A側玻璃基板疊於B側玻璃基板上，且a 側玻璃基板使用玻璃切刀輪2劃割以形成一割線Sa。 (2) 其次’在人側玻璃基板内形成割線Sa之接合玻璃基板1 係翻面’且運送至一第二劃割裝置。在此第二劃割裝置中 ’接合玻璃基板1之B側玻璃基板使用一玻璃切刀輪2劃割以形成一割線Sb ’且如圖1 (b)所示平行於割線sa。在此應該注意的是’在一液晶母板之例子中，複數液晶面板係由液晶母板構成’且在各液晶面板中，需在一玻璃基板内之一側緣部分處形成終端。因此，在許多例子中，形成於B側玻璃 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) 1261049 A7 B7

基板内之割線Sb之劃割位置及形成於A側玻璃基板内之割線 Sa之劃割位置係如圖丨（b)所示沿著一水平方向而相互變動。 (3) 其次，在A側玻璃基板及B側玻璃基板内分別形成割線 Sa、Sb之接合玻璃基板工係運送至一第一斷裂裝置且不翻面 ’亦即不交換A側玻璃基板與B側玻璃基板之位置。在第_ 斷裂裝置中，如圖1(c)所示，接合玻璃基板1係放置於一織塾4上’一斷裂棒3沿著A側玻璃基板内形成之割線Sa而推抵於接合玻璃基板1之B側玻璃基板，結果，一裂痕係自割線 Sa向上延伸，且據此，a側玻璃基板即沿著割線以而斷裂。 (4) 其次，A側玻璃基板已呈斷裂之接合玻璃基板1係翻面 ’以致於A側玻璃基板在B侧玻璃基板上，且運送至一第二斷裂裝置。在此第二斷裂裝置中，如圖l(d)所示，接合玻璃基板1放置於一織墊4上，一斷裂棒3沿著B側玻璃基板内形成之割線Sb而推抵於接合玻璃基板1之a側玻璃基板，結果，在下方之B側玻璃基板中，一裂痕係自割線sb向上延伸，且據此，B側玻璃基板即沿著割線Sb而斷裂。藉由依序執行上述步驟（1)至（4)，接合玻璃基板1即在要求位置分離為二。如上述步驟（3)、（4)所示，斷裂棒3推抵於上方之玻璃基板’精此下方之玻璃基板即斷裂。例如，如圖1 (c)所示，當斷裂棒3推抵於上方之B側玻璃基板時，A側玻璃基板及B側玻璃基板係在斷裂棒3之一推抵位置向下彎折，因此施力於 A側玻璃基板而加寬沿著A側玻璃基板内割線Sa之垂直方向形成之裂痕（垂直裂痕）。結果，垂直裂痕係向上延伸，以利 -5 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐)

裝訂

1261049 A7 B7 五、發明説明（3 ) 於到達A側玻璃基板之上方表面，使A側玻璃基板分離。另方面，在B側玻璃基板内形成之割線Sb中，在水平方向中自 B側玻璃基板二端朝向裂痕施力，且相反於下方玻璃基板内之施力方向，以利壓縮裂痕（垂直裂痕），因此，B側玻璃基板不致於斷裂。在步驟（3)、（4)執行之斷裂步驟中，當下方之a側玻璃基板之割線Sa之垂直裂痕係如圖丨（c)所示之淺狀時，則需施加一較大推力以斷裂A側玻璃基板。惟，當斷裂棒3施加之推力過強時，上方之B側玻璃基板會隨著A側玻璃基板同時斷裂。在此例子中，在下方之A側玻璃基板中，垂直裂痕係沿著一實質上呈垂直方向延伸，以斷裂下方之A側玻璃基板，亦即不發生問題。惟，由於在上方之B側玻璃基板中，斷裂棒3施力之位置不同於B側玻璃基板内形成之割線外位置，因此施力不發生在上方之B側玻璃基板斷裂方向。因此，裂痕會形成而相互接觸，使得瑕疵（水平裂痕）發生於該接觸位置。一具有此一分離面沿著一斜向延伸或此瑕疵之接合玻璃基板即無使用做為一液晶面板之商業價值。本申請案之申請人曾提出一種易碎基板之分離方法，其可解決日本經審查專利公告第卜48755號“接合玻璃基板之分離方法”揭露之問題。圖2⑷至2⑷係截面圖，其以一步驟接著一步驟之方式，說明上述申請案中用於分離一易碎材料之一第二分離方法文後此申明案中所述之方法即參考圖2(a)至2(d)說明於後。同樣在以下之說明中如叫)至1⑷中所示，在-由一 7公釐）

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對玻璃基板形成之接合玻璃基板中，其為一液晶母板，為了方便說明’其中一玻璃基板稱為A側玻璃基板，而另一玻璃基板稱為B側玻璃基板。 (1) 首先’如圖2(a)所示，接合玻璃基板1放置於一第一劃割裝置上’以致於A側玻璃基板疊於B側玻璃基板上，且a 侧玻璃基板使用玻璃切刀輪2劃割以形成一割線Sa。 (2) 其次’在A側玻璃基板内形成割線以之接合玻璃基板1 係翻面，且運送至一第一斷裂裝置。在此第一斷裂裝置中 ’如圖2(b)所示，接合玻璃基板1係放置於一織墊4上，一斷裂棒3沿著A側玻璃基板内形成之割線Sa而推抵於接合玻璃基板1之B側玻璃基板，結果，在下方之a侧玻璃基板中，一裂痕係自割線Sa向上延伸，且據此，A側玻璃基板即沿著割線Sa而斷裂。 (3) 其次，A侧玻璃基板已呈斷裂之接合玻璃基板1係運送至一第二劃割裝置且不翻面，亦即不交換A側玻璃基板與B 側玻璃基板之位置。在此第二劃割裝置中，接合玻璃基板1 之B側玻璃基板使用一玻璃切刀輪2劃割以形成一割線Sb，且如圖2(c)所示平行於割線Sa。在此應該注意的是，在一液晶母板之例子中，複數液晶面板係由液晶母板構成，且在各液B曰面板中，需在一玻璃基板内之一側緣部分處形成終端。因此，在許多例子中，形成於A側玻璃基板内之割線Sa 之劃割位置及形成於B側玻璃基板内之割線sb之劃割位置係沿著一水平方向而相互變動。 (4) 其次，A側玻璃基板已呈斷裂之接合玻璃基板1係翻面本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 1261049

’以致於A側玻璃基板在b側玻璃基板上，且運送至一第二斷裂裝置。在第二斷裂裝置中，如圖2(d)所示，接合玻璃基板1放置於一織墊4上，一斷裂棒3對應於b側玻璃基板内形成之割線Sb而推抵於接合玻璃基板1之a側玻璃基板，結果 ’下方之B側玻璃基板即沿著割線Sb而斷裂。藉由依序執行上述步驟（1)至（4)，接合玻璃基板1即在要求位置分離為二。在一易碎材料之此第二分離方法中，如步驟（2)、（4)所示，在一斷裂步驟中，欲斷裂之下方玻璃基板具有一割線，而欲斷裂之上方玻璃基板則無割線，因此，上方玻璃基板不致於h著下方玻璃基板同時斷裂。因此，在圖1(a)至1(d) 所示第一分離方法中可能發生之問題即可避免，諸如一分離面沿著一斜向延伸、形成瑕疵等等。圖3係使用於第一及第二分離方法中之玻璃切刀輪2側視圖，其係沿著一垂直於玻璃切刀輪2旋轉軸線之方向所視。玻璃切刀輪2形成碟狀，其中$表示輪直徑及w表示輪厚度，及一具有刀刃角度α之刀刃係沿著輪周邊而形成。本申請案之申請人進一步改良圖3所示之玻璃切刀輪2，以取得一可以形成較深垂直裂痕之玻璃切刀輪，其揭露於曰本經審查專利公告第9_188534號“玻璃切刀輪，，内。圖4係此申請案揭露之一玻璃切刀輪側視圖，其係沿著玻璃切刀輪之旋轉軸線所視。 / 此玻璃切刀輪5具有凹部於輪周邊所形成之一刀刃之刀刃線部分處，亦即，U形或V形凹部5b形成於刀刃之刀刃線 -8 - ^張尺度適用中國國家標準^Γα4規格~------^ 1261049 五、發明説明（6 ) 部分5a，諸凹部5b係藉由一深度融且節距為P。藉由形：=於刀刀線度h之凸部j係以節距p形成。凹#5b，具有高在圖4中纟刀刀線部分开》成之凹部係知凹部。惟，凹部之實@ 斗、 Η，以利認 &寸’肉眼無法看清。 /下之表1揭不輪直徑《、輪厚度w、等等之特定费枯諸值揭示成二實例，即類型1及類型2。、，表1 類型1 I 頃型2 --—----_ 2.0 mm 2.0 mm 〇·65 mm 0.65 mm 125° 1250 125 110 5 μηι 10 μηι 63 μιη 63 μηι 3.6 Kgf 1.8 Kgf 300 mm/sec 400 mm/sec 輪直徑0 輪厚度W 刀刃角度α 凸部j之數量凸部j之高度h 節距P 刀刃負荷劃割速度具有凹部於刀刃線部分之玻璃切刀輪5具有大幅改盖割特徵，即形成-垂直裂痕之大幅改善能力。#由^用= 玻璃切刀輪5執行-劃割製程，可以在劃割製程内取得乎到達劃割玻璃板下方表面附近之深垂直裂痕。具有凹部於刀刃線部分之玻璃切刀輪5相較於習知破螭切刀輪而可具有大幅改善之劃割特徵，惟，由於精確之凹= 係沿著玻璃切刀輪5之刀刃線部分之全部周邊形成，刀刀線本紙張尺度適财賴家料(CNS) A4規格(210 X 297公嫠） -9- 1261049 ί、發明説明（7

部之製程及形成需要長製程時間，且在可處理性上存有若干問題。 A 若圖2所示之第-八她 ,. 一刀離方法係使用具有凹部於刀刃線部分之玻璃切刀輪5執扞，仃一冰垂直裂痕之割線Sb即形成於則則玻璃基板内，且在草此办丨 , 隹某些例子中，接合玻璃基板1係當上方8 =:f板已在步驟(3)劃割時呈實質分離。因此，當接合土反1係在步驟（3)、⑷之間之過渡期間使用一吸引墊或類似物運送至第二斷磬梦斷衮裝置時，其中一片分離之接合玻璃基板1可能留在第二查,丨完丨# 1 、、、， d d裝置内。此外，在接合玻璃基板 I之運送期間，其中一 g八片刀離之接合玻璃基板1可能自吸引

塾掉洛’在此例子中，田+人\ A ^ 〗于干用於分離接合玻璃基板1之生產線展置可能未以正常方式操作。本發明欲解決上述問題，本發明之—目的在提供：—種

玻璃切刀輪，可以觫、、叔+ L /、处里上之問題，即發生於一具有凹口F於刀刃線部分之全部周邊的玻璃切刀輪中，且可以取得 -要求之劃割特徵’即一具有要求深度之垂直裂痕之割線可在-玻璃基板分離製程中形成；一種劃割方法，用於形 f-割線以利-易碎材料之分離；一種劃割裝置，結合此一切刀輪；及—種切刀輪製造裝置，用於製造此-切刀輪。發明揭露本發明之一種使用一易碎材料分離輪之劃割方法，該分離輪在厚度方向具有一中央部分突伸於周邊方向，以利形成刀刃於輪之一刀刀線部分，及複數凹部具有一預定形狀，其係以一預定節距形成於刀刃線部分内，其特徵在劃 -10-

1261049 五、發明説明關於吏用一輪執行’即由複數凹部佔用之一區域之長戶相哥:刀刃線部分之全部周邊之比率係小w，藉此使得於；劃割易碎材料内之垂直裂痕之深度呈週期性變化/ 心：明之上述劃割方法中’較佳為劃割係使用 1 丁入/⑬數凹部佔用之-區域之長度相關於刀刀線部八之王部周邊之比率係等於或小於3/4。刀明之上述劃割方法中’最佳為劃割係使用二=數凹部佔用之一區域之長度相關於刀刀線部分之王口P周邊之比率係等於或小於1/4 〇本發明之—種用於分離—易碎材料之切刀輪，1中—刀刀形成於-碟狀輪之-刀轉部分内，及複數凹部且有— 預疋形狀，其係以一預定節距形成於刀刀線部分内 =在由複數凹部佔用之一區域之長度相關於刀刀線部之全部周邊之比率係小於1。在本發明之上述切刀輪中，較佳為由複數凹部佔用之一區域之長度相關於刀刀線部分之全部周邊之，且等於或小於3/4。 4 在本發明之上述切刀輪中，較佳為由複數凹部佔用之一區域之長度相關於刀刃線部分之全部周邊之比率係小於1/4。 Λ ^ 距ttr月之上述切刀輪中，較佳為複數凹部所形成之節距係依據1-20 mm之輪徑而為20-200 μιη。在本發明之上述切刀輪中，較佳為複數凹部之深度係依據1-20 mm之輪徑而為2-2〇〇 μιη。本紙張尺度適用巾國s家鮮(CNS) 格(21QX297公董） -11 - 五 1261049 發明説明（在本發明之上述切刀始_ φ，* 較佳為切刀輪係一體成型於一貫穿過輪之軸。於t本Γ月之上述切刀輪中，較佳為至少-凹部區域形成域^線部分内；及凹部具有不同深度，以致於在凹部區者:央部分内之凹部深度係較深於在凹部區域末端部分内本乂發明之另-種切刀輪特徵在凹部區域係形成於刀刀線刀之王邠周邊上；及連續地提供一凹部深度變深之區域及一凹部深度變淺之區域。本發明之一種劃割裝置，包括一機構用於相關於放置一易碎材料之桌面而沿著X方向及/或¥方向移動一切刀頭，里特徵在切刀頭備有本發明之上述切刀輪。 /、 A本發明之一種用於分離一接合玻璃基板之方法，包含一第y割步驟、一第二劃割步驟、及一斷裂步驟，其中本發明之上述玻璃切刀輪用於第二劃割步驟中。本發明之一種用於分離一接合玻璃基板之方法，包含一第一劃割步驟、一第一斷裂步驟、一第二劃割步驟、及一第二斷裂步驟，其中本發明之上述玻璃切刀輪係用於第二劃割步驟中。本發明之一種切刀輪製造裝置，用於製造本發明之切刀輪，其包括：至少一可旋轉地支持之碟狀研磨構件；及一研磨機構’其支持至少一欲研磨之切刀輪，且其令切刀輪行進及退縮往/回於研磨構件，其特徵在研磨機構具有旋轉組件’用於移動欲由研磨構件研磨之一部分切刀輪。 12- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐）

之其結合本發明之一其結合本發明 1261049

本發明之上述切刀輪製造裝置進一步包括：行進/退回組件用於行進/退回研磨機構往/回於研磨構件；及控制組件，用於控制行進/退回組件及旋轉組件。本毛月之上述切刀輪製造裝置中，較佳為控制組件根據切刀輪之一刀刃線部分之全部周邊上之區段數及區域數以控制方疋轉組件’以利於形成一凹部於刀刃線部分之一要求位置。圖式簡單說明圖1說月接合玻璃面板之習知分離程序。圖2 "兒明接合玻璃面板之另一習知分離程序。圖3係一玻璃切刀輪之前視圖。圖4係一玻璃切刀輪之側視圖，其中凹部形成於輪之一刀刃線部分内。回5係本發明貫施例之一玻璃切刀#之側視圖。圖6係本發明另_實施例之—玻璃切刀輪之側視圖。圖7揭示當使用本發明之_玻璃切刀輪執行㈣時一垂直裂痕。；圖8說明一使用劃割裝置之分離程序，玻璃切刀輪。圖9說明一使用劃割裝置之另一分離程序之一玻璃切刀輪。圖1(H系一側視圖，揭示實例丨之一玻璃切刀輪。圖U係一側視圖，揭示實例2之一玻璃切刀輪。圖U係一側視圖，揭示實例3之一玻璃切刀輪。

1261049 五、發明説明Q ) 圖1 3係一側視圖，圖14係一側視圖，圖1 5係一平面圖，大體結構。揭示貫例4之一破璃切刀輪。揭示貫例5之一玻填切刀輪。揭示實例2之一玻璃切刀輪製造裝置之圖16揭不一觸控式面板結合於一玻璃切刀輪製造裝置之操縱段之實例。 * σ、圖17係一偵測燈結合於一玻璃切刀輪製造裝置之實例。圖18係一流程圖，揭示一玻璃切刀輪之研磨製程之步驟。圖19係使用於實例i中之一劃割裝置前視圖。圖20係使用於實例1中之一劃割裝置側視圖。實施本發明之最佳模式圖5係側視圖，揭示本發明實施例丨之一玻璃切刀輪6。如圖5所示，此玻璃切刀輪6具有一區域A，其中凹部形成於刀刃線部分，及—區域B，其巾凹部未形成於刀刃線部分。在考慮到形成凹部於玻璃切刀輪6之刀刃線之可處理性，設有凹部之區域A之刀刃線部分相關於全部刀刃線部分（區域A +區域B)之比率（文後稱為區域A對全部周邊之比率）較佳為4或更小，藉由此一比率，形成凹部之一製程不必耗費長時間，且可取得良好之可處理性。、若區域A對全部周邊之比率為3/4或更小且大於1/4，則深度呈週期性變化之一垂直裂痕可以取得如圖7所示者且說明於後。若區域A對全部周邊之比率係在此範圍内，則需設定限制條件以利取得上述週期性裂痕。另者’若區域A對全部周邊之比率為1/4或更小，則深度

本紙張尺輕ϋϋ鮮(CNS) A4規格(“: :297公釐) 1261049 A7 --------------------- - B7 五、發明説^7~T~ " =週期性變化之一垂直裂痕可以在較寬廣條件下穩定地取知。將區域A對全部周邊之比率設定於此範圍内可適用於在已幵7成割線之易碎基板運送期間發生問題，諸如運送期間分離之一片易碎基板掉落。形成於刀刃線部分之區域A内之凹部6b係有計劃地以微米度置呈週期性形成，諸凹部6b應該視為不同於次微米度量之研磨條紋，條紋係在形成一刀刃線之研磨製程期間無可避免地形成。圖6揭示實施例丨之一玻璃切刀輪之另一實例。在圖6(句中，全部刀刃係區分成六個區域，以致於區域A及區域B交替地形成。在圖6(b)中，全部刀刃係區分成八個區域，以致於區域A及區域B交替地形成。在圖6(b)中，設有凹部之區域a係形成複數區域A1至A4，且未設有凹部之區域B係形成複數區域B1至B4，區域八1至 A4及區域B1至B4各者之長度例如設定以滿足以下關係： A1==A2=:A3=A4 ； A1+A2+A3 + A4=A ; B1二B2=B3=B4 ; B1+B2 + B3+B4=B ;及 A/B = l 在此例子中，區域A1至A4之長度皆相等，且區域B1至B4之長度皆相等。此外，由於滿足A/B = l，所以區域A對全部周邊之比率為2/4。在一變換實例中，區域A1至A4及區域B1至B4各者之長度例如設定以滿足以下關係： A1 = A2 4 A3 ¥ A4， Α1+Α2 + Α3 + Α4:::::Α ί -15- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 x 297公釐) 1261049 A7 ___ B7__ 五、發明説明（η ) B1=B2#B3#B4 ; B1+B2 + B3 + B4 = B ;及 A/B = l 在此例子中’針對區域A1至A4及區域B1至B4，區域A3之長度及區域A4之長度不同於區域A1之長度及區域A2之長度 ’且區域B3之長度及區域B4之長度不同於區域B1之長度及區域B2之長度。此外，針對全部周邊，由於滿足a/b = 1，所以區域A對全部周邊之比率為2M。在另一變換實例中，區域A1SA4及區域B1至B4各者之長度例如設定以滿足以下關係： A1=A2^ A3^A4 ； A1+A2+A3+A4=A ； B1=B2 关 B3 关 B4 ; B1+B2+B3+B4=B ;及 A/B=3/l 在此例子中’針對區域八丨至A4及區域B1SB4,區域八3之長度及區域A4之長度不同於區域A1之長度及區域A2之長度，且區域B3之長度及區域B4之長度不同於區域⑴之長度及區域B2之長度。此外，針對全部周邊，由於滿足Α/Β=3/ι，所以區域A對全部周邊之比率為3/4。此玻璃切刀輪6可以一體成型地設有一插入輪6内之軸，針對一體地形成玻璃切刀輪6之方法，可以採用一體地研磨輪6與軸之方法及利用黏著劑及/或溶接以接附一刀刃與一軸之方法等。圖7係簡不圖，大體上揭示當一割線係利用上述玻璃切刀輪6而形成於玻璃基板内時，玻璃基板内產生之一垂直裂痕。在一利用玻璃切刀輪6劃割玻璃而形成之割線中，一垂直 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐） 1261049 五、發明説明（ 14 一由具有凹部之區域A形成之割線Sa内及在裂〜因二::内:割線、中，-深垂直線S由刀刀線部分内之凹部而形成，而在割分内V :淺垂直裂痕Db係因為未形成於割線〜刀刀線部刀内之凹部而形成。 1 深度係在使用實施例1之玻璃切刀 ^執仃劃割之例子中呈週期性變化，玻璃切刀輪6之劃割 :即在圖2之習知玻璃切刀輪2之劃割能力與圖4之玻璃切之劃割能力之間。再者，藉由相關於玻璃切刀輪之全

部周邊而適當改變設有凹部之區域A與未設有凹部之區域B 、、率要求之劃割特徵即可取得，亦即，可取得一要求之垂直裂痕線（即割線）以供分離一玻璃基板。文後揭述貫施例1之玻璃切刀輪特定實例之實例丨_5將說明之。 (實例1) 圖10揭不實例1之一玻璃切刀輪實施例，以下之表2揭示實例1之玻璃切刀輪尺寸，諸如一輪直徑或類此者。表2 輪直徑0 2.0 mm 輪厚度W 0.65 mm 刀刃角度α 1350 凹部深度 7 μιη 實例1之玻璃切刀輪6係設計以致於具有相同深度（7 μ m) 17 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 x 297公釐) 1261049 A7

也形成於刀刀線部分之全部周長之謂分(8 此玻璃切刀輪6你n y & φΙ ^ 係以〇 16至0·4〇 MPa刀刃負荷及400 mm/s 劃割速度，用於劃割一且右 m 』八有0.7 mm厚度之無鹼玻璃板。在使用貫例1之玻璃π认、輪6之剡割製程中，垂直裂痕之深度呈週期性變化之_宝,丨綠及 d線係形成如圖7所示者。在使用〇. ；[ 8 MPa負荷之例子中，圖7所示之深垂直裂痕DA大約4〇〇 ,，且圖7所示之淺垂直裂痕DB大約1〇〇陣。 (實例2) 囷11揭示貫例2之一玻璃切刀輪6實施例，以下之表3揭示圖3所示玻璃切刀輪之尺寸，諸如-輪直徑或類此者。表3 輪直徑0 p 2.0 mm 輪厚度w 0.65 mm 刀刃角度α 1350 凹部深度 7 μηι 貫例2之玻璃切刀輪6具有二區域Ai、A2於玻璃切刀輪6周邊中之二分離位置，各在刀刃線部分之全部周長之1/10部分（8區段/80區段），其中具有相同深度（7 μιη)之凹部係連續地形成。設有凹部之區域Al、Α2係相關於玻璃切刀輪6之中心軸線而提供於玻璃切刀輪6之相對立側。此玻璃切刀輪6係以〇_ 16至0.40 MPa刀刃負荷及400 mm/s 劃割速度，用於劃割一具有〇·7 mm厚度之無鹼玻璃板。在使用實例2之玻璃切刀輪6之劃割製程中，垂直裂痕之深度 -18- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) 1261049 A7

呈週d II交化之一割線係形成如圖7所示者。在使用0.20 MPa負荷之例子中，圖7所示之深垂直裂痕A大約彻㈣，且圖7所不之淺垂直裂痕％大約ι 〇〇 ,。 (實例3) —圖揭示貫例3之一玻璃切刀輪6實施例，以下之表4揭示貫例3之玻璃切刀輪6尺寸，諸如一輪直徑或類此者。表4 輪直徑0 2.0 mm 輪厚度W 0.65 mm 刀刃角度α 1350 凹部深度 7 μιη 裝

實例3之玻璃切刀輪6具有區域A1、A2、八3於玻璃切刀輪 6周邊中之三分離位置，各在刀刃線部分之全部周長之1/1〇部分（8區段/80區段），其中具有相同深度（7 μιη)之凹部係連續地形成。區域A1、Α2、Α3係以均一間距提供。此玻璃切刀輪6係以〇·16至0.40 MPa刀刃負荷及400 mm/s 劃割速度，用於劃割一具有〇·7 mm厚度之無鹼玻璃板。在使用實例3之玻璃切刀輪6之劃割製程中，垂直裂痕之深度呈週期性變化之一割線係形成如圖7所示者。在使用〇·2〇 MPa負荷之例子中，圖7所示之深垂直裂痕Da大約4〇〇 μηι，且圖7所示之淺垂直裂痕db大約100 μιη。 (實例4) 圖13揭示實例4之一玻璃切刀輪6實施例，以下之表5揭示實例4之玻璃切刀輪6尺寸，諸如一輪直徑或類此者。 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公爱) 1261049

表5 ----_-_ --—---- 輪直徑0 2.0 mm 輪厚度w 〇·65 mm 刀刃角度α 1350 凹部深度 7，7，5，3 μ-m

貝例4之玻璃切刀輪6具有區域八丨於玻璃切刀輪6周邊中之位置’即在刀刀線部分之全部周長之一 ι/ι〇部分(8區段 /80區段）在區域A1中形成7個凹部，諸凹部係設計以具有不同深度，依序為3, 5, 7, 7, 7, 5, 3 μιη。裝町此玻璃切刀輪6係以〇」6至〇 4〇 Mpa刀刃負荷及4〇〇 mm/s 劃割速度，用於劃割一具有〇·7 mm厚度之無驗玻璃板。在使用實例4之玻璃切刀輪6之劃割製程中，垂直裂痕之深度呈週期性變化之一割線係形成如圖7所示者。在使用〇 22 MPa負荷之例子中，圖7所示之深垂直裂痕Da大約4〇〇 μηι，且圖7所示之淺垂直裂痕Db大約1〇〇 μιη。 (實例5)

圖14揭不實例5之一玻璃切刀輪6實施例，以下之表6揭示實例5之玻璃切刀輪6尺寸，諸如一輪直徑或類此者。表6 輪直徑0 2.0 mm 輪厚度w 0.65 mm 刀刃角度α 140° 區段數 106 凹部深度 3，5，7，7, 7, 5, 3 μπι -20- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公董) 1261049

在實例5之玻璃切刀於、刀輪6中’刀刃線部分之全部周長係區分為106區段’以致於呈古又W具有3, 5, 7, 7, 7, 5, 3 μηι長度之凹部依此順序沿著全部周I & & 互王口丨周長而重覆地形成。此玻璃切刀輪6传>1 糸以〇·16至0.40 MPa刀刃負荷及400 mm/s 里J 口J，度於劃割一具有〇·7咖厚度之無驗玻璃板。在使用貝例5之玻璃切刀輪6之劃割製程中，垂直裂痕之深度呈週』f生炎化之一割線係形成如圖7所示者。在使用Ο·” MPa負荷之例子中，圖7所示之深垂直裂痕A大約4〇〇 _，且圖7所示之淺垂直裂痕Db大約1〇〇_。一從實例1-5之上述結果可知，經發現依據卜劝㈤爪之輪直 &則連續地形成之複數凹部之-節距較佳為20, μιη，且依據1-20 mm之輪直徑則複數凹部之深度較佳為2_2〇〇卜扭。在用於說明本發明上述切刀輪之圖式中，形成於切刀輪刀刃線處之凹部係以放大表示，以利清楚認識凹部。惟，凹部之實際尺寸為微米尺寸，肉眼無法看清。人’種使用具有上述實施例1玻璃切刀輪6之分離裝置以分離接合玻璃基板丨之方法說明於後，文後說明中所用之劃割裝置具有一機構，用於達成一供玻璃板安裝之桌面旋轉Θ度，及用於相關於一切刀頭而沿著χ方向及/或丫方向移動桌面。圖19、20揭示一劃割裝置實例，其中一桌面執行旋轉$ 度及沿著Υ方向移動，及一切刀頭沿著X方向移動，圖19係劃割裝置之前視圖，及圖20係劃割裝置之側視圖。如圖19、20所示，此劃割裝置具有一桌面41供一玻璃板 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X297公釐）

裝玎

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安裝，桌面41係由一旋轉桌面42支持，以利於沿著一水平方向旋轉’且可藉由一球形螺絲44之旋轉而沿著γ方向移動 (即圖19中之朝左/朝右方向）。再者，一切刀頭牝係供本發明之上述玻璃切刀輪丨丨可旋轉地接附，以致於玻璃切刀輪 11可以繞著其軸旋轉，切刀頭可沿著一軌道47支持地移動 ’以利於沿著X方向移動（即圖2〇中之朝左/朝右方向）。在使用此劃割裝置執行劃割之例子中，每次桌面41沿著γ 方向移動一預定節距時，切刀頭46即沿著χ方向移動，藉此使一安裝於桌面41上之玻璃板沿著X方向劃割。隨後，桌面 41由旋轉桌面42旋轉90。，且以相同於上述方式執行劃割，藉此使一以直角相交於先前形成割線之割線可以形成於玻璃板上。在上述劃割裝置中，參考編號43表示一桌面進給馬達，使桌面41沿著γ方向移動；參考編號45表示一軌道，用於支持旋轉桌面42以致於旋轉桌面42可沿著Y方向移動；參考編號48表示一切刀軸馬達，用於旋轉可旋轉地支持之玻璃切刀輪11 ;參考編號49、50表示CCD攝影機，用於監視一在桌面41上劃割之玻璃基板；及參考編號51表示一攝影機支持金屬構件，用於支持CCD攝影機49、50。圖8(a)至8(c)係截面圖，其以一步驟接著一步驟之方式，說明一種使用結合實施例1玻璃切刀輪6之分離裝置以分離一接合玻璃基板1之方法。在以下之說明中，在一由一對玻璃基板形成之接合玻璃基板中，其為一液晶母板，為了方便說明，其中一玻璃基板稱為A側玻璃基板，而另一坡璃基 -22- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 1261049 A7 _ B7 五、發明説明（20~~Γ ~~~ ............ ~ 板稱為B侧玻璃基板。 (1) 首先，如圖8(a)所示，接合玻璃基板1放置於一第一劃割裝置上，以致於A側玻璃基板疊於b側玻璃基板上，且A 側玻璃基板使用玻璃切刀輪5劃割以形成一割線sa。第一劃割裝置使用圖4所示之玻璃切刀輪5，其具有沿著全部周邊而設之凹部。在使用此玻璃切刀輪5形成之割線Sa中，形成一到達A側玻璃基板底表面附近且由圖内之va表示之深垂直裂痕。 (2) 其次，在A側玻璃基板内形成割線Sa之接合玻璃基板1 係翻面，且支持於一第二劃割裝置。在此第二劃割裝置中，接合玻璃基板1之B側玻璃基板使用玻璃切刀輪6劃割以形成一割線Sb，且如圖8(b)所示平行於割線Sa。第二劃割裝置使用實例1-5任一者内之玻璃切刀輪6，在使用此玻璃切刀輪6而形成之割線Sb中，其形成一變換地包括週期性淺部分與深部分之垂直裂痕Vb。在此應該注意的是，在一液晶母板之例子中，複數液晶面板係由液晶母板構成，且在各液晶面板中，需在一玻璃基板内之一側緣部分處形成終端。因此’在許多例子中，形成於A側玻璃基板内之割線Sa之劃割位置及形成於B側玻璃基板内之割線sb之劃割位置係沿著一水平方向而相互變動。 (3) 其次’在A側玻璃基板及B側玻璃基板内分別形成割線 Sa、Sb之接合玻璃基板1係翻面，以致於a側玻璃基板在B 側玻璃基板上，且運送至一斷裂裝置。在此斷裂裝置中，如圖8(c)所不’接合玻璃基板1係放置於一織塾4上，一斷裂 -23- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐） 1261049 A7 ____ B7_ 五、發明説明（21 ) 棒3沿著B側玻璃基板内形成之割線Sb而推抵於接合玻璃基板1之A侧玻璃基板，結果，在下方之b側玻璃基板中，一裂痕係自割線Sb向上延伸，且據此，B側玻璃基板即沿著割線Sb而斷裂。藉由依序執行上述步驟（1)至（3)，接合玻璃基板1即分離。如上所述，在使用本發明玻璃切刀輪6之劃割製程中，其形成變換地包括週期性淺部分與深部分之垂直裂痕Vb，因此垂直裂痕Vb不致於完全貫穿玻璃基板之厚度方向。因此，即使當A側玻璃基板1係在步驟（2)中自第二劃割裝置運送至斷裂裝置期間完全分離時，接合玻璃基板1亦不致於分離 ’因為A側玻璃基板保持接合於b側玻璃基板。圖9(a)至9(d)係截面圖，其以一步驟接著一步驟之方式，說明一種使用結合實施例1玻璃切刀輪6之分離裝置以分離一接合玻璃基板1之方法。在以下之說明中，在一由一對玻璃基板形成之接合玻璃基板中，其為.一液晶母板，為了方便說明，其中一玻璃基板稱為A側玻璃基板，而另一玻璃基板稱為B側玻璃基板。 (1) 首先，如圖9(a)所示，接合玻璃基板1放置於一第一割割裝置上，以致於A側玻璃基板疊於B側玻璃基板上，且a 側玻璃基板使用玻璃切刀輪2劃割以形成一割線sa。使用此玻璃切刀輪所形成之垂直裂痕Va不致於產生一到達玻璃基板底表面附近之深垂直裂痕。 (2) 其次，在A側玻璃基板内形成割線sa之接合玻璃基係翻面，且運送至一第一斷裂裝置。在此第一斷裂裝置中 -24 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐） 1261049

’如圖9(b)所示，接合玻璃基板1係放置於一織墊4上，一斷裂棒3沿著A側玻璃基板内形成之割線sa而推抵於接合玻璃基板1之B側玻璃基板，結果，在下方之a側玻璃基板中，一裂痕係自割線Sa向上延伸，且據此，a側玻璃基板即沿著割線Sa而斷裂。 0)其次，A側玻璃基板已呈分離之接合玻璃基板1係運送至一第二劃割裝置且不翻面，亦即不交換A側玻璃基板與b 側玻璃基板之位置。在此第二劃割裝置中，接合玻璃基板i 之B側玻璃基板使用一玻璃切刀輪6劃割以形成一割線Sb，且如圖9(c)所示平行於割線Sa。在此應該注意的是，在一液晶母板之例子中，複數液晶面板係由液晶母板構成，且在各液晶面板中’需在一玻璃基板内之一側緣部分處形成終端。因此，在許多例子中，形成於B側玻璃基板内之割線sb 之劃割位置及形成於A側玻璃基板内之割線sa之劃割位置係沿著一水平方向而相互變動。 (4)其-人’生成之接合玻璃基板1係翻面，以致於a側玻璃基板在B側玻璃基板上，且運送至一第二斷裂裝置。在此第二斷裂裝置中，如圖9(d)所示，接合玻璃基板1係放置於一織墊4上’斷裂棒3沿著B側玻璃基板内形成之割線sb而推抵於接合玻璃基板1之A側玻璃基板，結果，在下方之b側玻璃基板中，一裂痕係自割線Sb向上延伸，且據此，B側玻璃基板即沿著割線Sb而斷裂。在步驟（3)中形成於b側玻璃基板内之割線Sb形成時之一垂直裂痕係以圖9(d)中之vb表示。如上所述，在使用本發明玻璃切刀輪6之劃割製程中，其 -25- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐)

裝訂

1261049 A7 B7

五、發明説明（形成變換地包括週期性淺部分與深部公刀 < 垂直裂痕Vb，因此垂直裂痕Vb不致於完全貫穿玻璃基板手度方向。因此 ’即使當A側玻璃基板i係❹驟⑷中自第二刻割至第二斷«置期間完全分離時，接合玻璃基板W於分離，因為B側玻璃基板並未完全分離。、

在前文中，已揭露接合玻璃基板之劃割方法，特別是， -不同之易碎材料可以使用本發明之劃割方法劃割，同樣在此例子中，變換地包括週期性淺部分與深部分2一垂直裂痕可以形成於不同之易碎材料中。藉由形成此一具= 期性變化深度之垂直裂痕，易碎材料可以運送至下一步驟 ’而不造成在運送期間完全分離。 ^ ~ 其次’揭露一種玻璃切刀輪製造裝置，輪且凹部係如圖5所示形成於一刀刃部分。圖1 5係平面圖，揭示本發明實施例2之一裝置之大體結構。用於製造一切刀玻璃切刀輪製造裝訂此玻璃切刀輪製造裝置10具有一結構供研磨一破璃切刀輪之一刀刃之刃線部分，以利形成凹部於刀刃内。玻璃切刀輪製造裝置10具有一殼體13，供放置一磨刀石 12於其内且由一心軸馬達u可旋轉地支持及固定。在殼體 13之一前正面中，一門部分14係提供用於開啟，以導送或去除一欲研磨之玻璃切刀輪。門部分14使用做為一安全門，其中備有一安全控制裝置（圖中未示），可在玻璃切刀輪之研磨期間而斤開門時用於中斷一研磨步驟。在殼體13内，提供一研磨機構15以朝磨刀石12行進及退 -26- 本紙張尺度適用中關家標準(CNS) Μ規格(⑽χ 297公董）

1261049 A7 B7 五、發明説明（24 回，研磨機構15往/回於朝磨刀石12之行進/退回係由一進給馬達18達成，進給馬達18可以藉由旋轉一球形螺絲（圖中未示）而調整研磨機構15往/回於一特定位置之移動。

研磨機構1 5具有一輪支持部分19，用於在研磨期間支持一玻璃切刀輪。在輪支持部分19之一後方部分，一刀刃旋轉馬達20提供用於旋轉玻璃切刀輪一預定角度。此外，研磨機構15具有一握柄21以在水平方向對準，及一握柄^以在垂直方向對準。藉由諸握柄，水平方向及垂直方向之對準可做手動調整，或以一控制機構（圖中未示）做自動調整。裝- 在殼體13外，提供一控制裝置25以控制研磨機構”之位置與操作，此外，控制裝置25具有一操縱段％，以針對研磨機構15研磨一玻璃切刀輪而設定研磨條件。

’僉在操縱段26中’例如提供一如圖16所示之觸控式面板3〇。在圖16所示實例之觸控式面板对，提供—觸控式面板操縱部分3卜其上呈現針對整個裝置之多項操作模式、設定條件、警報、等等。在觸控式面板3〇之下方部分中，提供-電力開關32用於操縱一操作電力源之通電及斷電、一發光型按鍵開關33用於設定操作備便之啟始、—蜂鳴器34 用於發出警報資訊、及一緊急停止按鍵開關35用於提供一命令以緊急停止操作。此外，-信號塔40提供於殼體13上，信號塔的為一指燈’指示殼體U内之狀態，例如發生不正常現象、裝置自動操作中、開/關門益誤、莖楚 ^ ]”、、决專專。圖17揭示信號塔40之實例，在此例子中，其提供一 ‘‘ έ ^ 紅色指示燈41以指出殼 -27-

^61049

'内發生不正常現象、_“綠色，，相執行之操作為自動、及_ “黃色t 士这、 1日 42以指出殼體13 不燈43以指出開/關門内 M. 其久，揭露一具有上述結構操作情形。坡螭切刀輪製造裝置10之首先，操縱段26係操縱以執行一條件之初期設定。人研磨破璃切刀輪研磨在此初期設定中，例如，輸入以下條件：方向中之旋轉角度比Fl;凹部之深度D"、.. 任第-方向中之旋轉角度比F2;凹部之深度〜、

•在第m區域中之旋轉角度比Fm; •圈數：L

凹部之深度DT 丨1、

Din 〇2η - — — •一區域中之區段數：N •凹部之深度·· Dl、D2、…、Dn •區域數：R 輸入初期設定值後，一研磨玻璃切刀輪之步驟即開始。圖1 8係流程圖，說明研磨一玻璃切刀輪之步驟。文後，研磨一玻璃切刀輪之步驟即依此流程圖揭述。首先，在步驟1，區段數設定為〇(n=〇)，及隨後在步驟2，區域數設定為1(Γ =1)。其次’在步驟3，一欲研磨之玻璃切刀輪接附於輪支持部分19〇其次，操縱段26操縱以開始研磨機構15之自動操作。 -28- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐) 1261049 A7 ___ B7 五、發明説明（26 ) 其-人，偵測磨刀石12尖端接觸於玻璃切刀輪刀刃之一位置，在偵測接觸位置時，可以使用光學裝置、機械裝置、或電氣裝置。玻璃切刀輪刀刃與磨刀石12接觸之偵測係在每次刀刃接觸於磨刀石12時執行。當偵測到磨刀石12尖端接觸於刀刃之一位置時，研磨機構1 5即在步驟6利用進給馬達！ 8移回到一備便位置。其次，在步驟7,刀刃旋轉馬達2〇旋轉使得由輪支持部分 19支持之玻璃切刀輪旋轉一預定角度。其次，在步驟8，區段數!^σ1於η而更新為（n+1)。其次，在步驟9，研磨機構15移向磨刀石丨2，以致於刀刃接觸於磨刀石12’且處理第n凹部以具有深度Dmil。在步驟9，凹部係形成以致於第m區域R内之第n凹部具有深度Dmn，其對應於在上述初始設定步驟中事先設定之一輸入值。同樣地，第m區域R内之旋轉角度根據第m區域内之方疋轉角度比Fm而預先設定，此為上述初始設定步驟中設定之一輸入值，用於凹部之形成。其次’在步驟10，研磨機構1 5移至備便位置。其次，在步驟11，區段數η及區段數n進行比較以檢查是否滿足η < Ν。若滿足η < Ν，製程即進行至步驟丨2。若未滿足η < N，製程則進行至步驟13。當確認滿足η < Ν，且製程進行至步驟12時，刀刃旋轉馬達20即在步驟12旋轉一極小角度。隨後，製程回到步驟6，且研磨處理係在旋轉極小角度之一刀刃位置處執行。當在步驟11確認未滿足η<Ν時，此意指當區段數η已達到 -29- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐) 1261049

區段數N時，製程進行至步驟13，且在步驟13檢查是否滿足 r< R 〇田在步驟1 3確認滿足r < R時，製程進行至步驟丨4。在步驟14 ’刀刃係由刀刃旋轉馬達20旋轉一設定角度。隨後，製程進行至步驟15。在步驟15，設定之區域數rMi 而更新為（r+l)。在步驟15更新區域數後，製程回到步驟6, 且再次執行研磨處理。當在步驟13確認未滿足r<R時，此意指當區域數r已達到初始^又疋之區域數R時，製程進行至步驟丨6，且研磨機構工5 移回到其原始位置。其次，在步驟17 ,刀刃已經過研磨之玻璃切刀輪係自殼體13移開，且研磨處理結束。藉由使用實施例2之上述玻璃切刀輪製造裝置1〇，一具有要求深度之凹部可以令人滿意之準確度形成於一刀刃全部周邊之要求位置。在圖15所示之玻璃切刀輪製造裝置中，一研磨機構。提供用於磨刀石12，惟，亦可採用一磨刀石定位於大約殼體中央處且備有複數研磨機構以致於磨刀石由研磨機構圍繞之結構，藉由此一結構，一切刀輪之處理效率可以相較於所提供之研磨機構數而顯著增加。另者’複數磨刀石可以沿垂直方向堆疊及配置，以致於複數切刀輪之刀刃面向各別磨刀石。另者，可以採用一以複數切刀輪接附於一研磨機構之切刀輪支持部分且複數切刀輪同時在一研磨步驟中研磨之結構，藉由此一結構，一 -30- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐） 1261049

、發明説明（ 28 切刀輪之處理效率可以顯著增加。工業上之實用性切刀私依本發明所示，在一形成碟輪狀刀刃之玻璃，具有預定形狀之凹部係以刀刃全部周邊之3/4或 ,、線°卩刀之預定節距形成，此玻璃切刀輪相較於將理性!"成於刀77全部周邊上之玻璃切刀輪而有良好之可處 =刀全部周邊之1/4或更小部分之預定節距形成之另一刀刀輪可以防止形成-到達基板下方表面附近之垂直，痕。藉由改變凹部相關於全部周邊長度之比率，即可取 :一要求之劃割特徵’因此’藉由改變劃割特徵，即可避玻璃基板運送期間可能發生㈣位置處之麵基板分離及分離狀玻璃基板掉落。 •31 -

本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X297公釐)

Claims

I26l°0 104927號專利申請案中文申清專利範圍替換本(％年9月六申請專利範圍、〜一____„ iu____ % S07 曰修(更)正替換頁j 2。 3. 4. 5 ‘ 6 · 7. 一種劃割方法，使用一易碎材产方hit ^ 枓刀離輪，該分離輪在厚度方向具有一中央部分突伸於於站，甲於周邊方向，以形成-刀刀箱—一, ’預疋形狀之複數個凹部以預疋郎距形成於稜線部部分，其中劃割係使用一輪執行 — ▽ Α ρ θ輪之稷數凹部佔用之一 :或之長度相對於稜線部部分之全部周邊之比率係等於 =小謂’藉此使得形成於一劃割易碎材料聲痕之深度呈週期性變化。 &衣如申請專利範圍第1項之割宝彳方、、木 -j d方法，其中劃割係使用— 輪執行’該輪之複數凹部佔用一 &域之長度相對於稜線4部分之全部周邊之比率係等於或小於1/4。-種切刀輪’用於分離一易碎材料，其中一刀刀形成於 -碟狀輪之-稜線部部分内，有具有預定形狀之複數個凹部以預定節距形成於稜線部部分内，、其中由硬數凹部佔用之-區域之長度相對於稜線部部 y刀之全部周邊之比率係等於或小於3/4。如^請專利範圍第3項之切刀輪，其中由複數凹部佔之一區域之長度相對於稜線部部分之全部周邊之比率專於或小於1 /4。如申請專利範圍第3或4項之切刀輪，其中複數凹部所成之喊距係依據1-20 mm之輪徑而為20-200 μΐΊα。如申請專利範圍第3或4項之切刀輪，其中複數凹部之度係依據1-20 mm之輪徑而為2-200 μηι。如申請專利範圍第3或4項之切刀輪，其中切刀輪係 -裝訂用係形深體 # 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Μ規格(2ι〇 χ 297公爱） 1261049

曰修㊉)正替換頁1 申請專利範 10. 成型於一貫穿過輪之軸。如申請專利範圍第5項之切刀輪型於一貫穿過輪之軸。如申凊專利範圍第6項之切刀輪型於一貫穿過輪之軸。其中切刀輪係一體成其t切刀輪係一體成如申請專利範圍第區域形成於稜線部在凹部區域中央部末端部分内者。 3或4項之切部分内；及分内之凹部刀輪，其中：至少一凹部凹部具有不同深度，以於深度係較深於在凹部區域 11. 12. 一裡切刀輪，其中：凹部區域部R、4 u I匕$係形成於稜線部部分之 4周邊上；且連續地提供一心丨/衣度變深之區域及一 4沬度變淺之區域。種里彳割裝置’包括一機構，用於士叹再用於相關於放置一易碎枓之桌面而沿著X方向及/或丫方向移動一切刀頭，其中切刀頭備有如申請專利範圍第3至丨丨項中任一之切刀輪。、

裝玎 m 1 3 ·種用於分離一接合玻璃基板之方法，包含一第一劃割步驟、一第二劃割步驟、及一斷裂步驟，其中使用如申請專利範圍第3至11項中任一項之玻璃切刀輪於第二劃割步驟中。 14. 種用於分離一接合玻璃基板之方法，包含____第一割宝,j 步驟、一第一斷裂步驟、一第二劃割步驟、及一第二斷裂步驟’其中使用如申請專利範圍第3至丨丨項中任一項之玻璃切刀輪於第二劃割步驟中。 -2- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4规格（210 X 297公釐） 1261049

15. 16. 輪製造裝置，用於製造如中請專利範圍第3至碟广項之切刀輪’包含：至少-可旋轉地支持之 '研磨構件；及一研磨機構，其支持至少一欲研廇切刀鈐，n廿a / 奴研磨之且其令切刀輪接近及退縮往/回於研磨構件， =中研磨機構具有旋轉組件’用於移動欲由研磨構件研磨之一部分切刀輪。如申請專利範圍第15項之切刀輪製造裝置，進_步包含 “接近/退回組件，用於使研磨機構往/回地接近/退回研磨構件，及控制組件，用於控制接近/退回組件及旋轉組件 17·如申凊專利範圍第16項之切刀輪製造裝置，其中控制組件根據切刀輪之一稜線部部分之全部周邊上之區段數及區域數以控制旋轉組件，以形成一凹部於稜線部部分之一要求位置。本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格（210 X 297公釐）