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WO2002067293A3 - Dispositif a systeme micro-electromecanique (mems) - Google Patents

Dispositif a systeme micro-electromecanique (mems) Download PDF

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WO2002067293A3
WO2002067293A3 PCT/US2002/004824 US0204824W WO02067293A3 WO 2002067293 A3 WO2002067293 A3 WO 2002067293A3 US 0204824 W US0204824 W US 0204824W WO 02067293 A3 WO02067293 A3 WO 02067293A3
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analog
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actuator
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PCT/US2002/004824
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Jeffrey R Annis
Ernst H Dummermuth
Richard D Harris
Patrick C Herbert
Michael J Knieser
Robert J Kretschmann
Henric Larsson
Winfred L Morris
Jun J Yao
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Abstract

1) Production d'un isolateur analogique pour système micro-électromécanique (MEMS) dans lequel un actionneur, p. ex. moteur électrostatique, entraîne une barrette contre une force opposée produite, par exemple, par un autre moteur électrostatique. Le déplacement de la barrette peut être détecté par un capteur fixé sur celle-ci. La barrette elle-même est isolée électriquement entre les emplacements de l'actionneur et du capteur. Cette structure peut être incorporée dans des circuits intégrés pour assurer une isolation sur puce. 2) Production d'un isolateur numérique pour système micro-électromécanique (MEMS) dans lequel un actionneur, p. ex. moteur électrostatique, entraîne une barrette contre une force prédéfinie produite, par exemple, par un autre moteur électrostatique. Quand le seuil de la force opposée est dépassé, le déplacement de la barrette peut être détecté par un capteur fixé sur celle-ci. La barrette elle-même est isolée électriquement entre les emplacements de l'actionneur et du capteur. Cette structure peut être incorporée dans des circuits intégrés pour assurer une isolation sur puce. 3) Dans un dispositif MEMS utilisant une barrette reposant sur des bras transversaux, la flexion potentielle des bras transversaux produite par des processus de fabrication, par la température ou par un auto-échauffement local dû à des pertes par effet Joule, est assurée par des terminaisons souples desdits bras. Dans une autre forme de réalisation, la flexion est réglée de manière à fournir une sollicitation sélective à la barrette, ou un avantage mécanique dans la détection du déplacement de celle-ci. 4) Les systèmes micro-électromécaniques (MEMS) fabriqués à l'échelle microscopique à l'aide de techniques pour circuits intégrés peuvent servir à mesurer divers paramètres au moyen de signaux électriques produits par le déplacement de petites barrettes. On peut supprimer le bruit inertiel en dupliquant la structure de barrette afin de détecter l'accélération devant être soustraite d'une structure de barrette similaire servant à mesurer le paramètre voulu.
PCT/US2002/004824 2001-02-20 2002-02-20 Dispositif a systeme micro-electromecanique (mems) Ceased WO2002067293A2 (fr)

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US09/788,928 US6583374B2 (en) 2001-02-20 2001-02-20 Microelectromechanical system (MEMS) digital electrical isolator
US09/788,928 2001-02-20
US09/805,410 US6617750B2 (en) 1999-09-21 2001-03-13 Microelectricalmechanical system (MEMS) electrical isolator with reduced sensitivity to inertial noise
US09/805,410 2001-03-13
US09/804,817 US6798312B1 (en) 1999-09-21 2001-03-13 Microelectromechanical system (MEMS) analog electrical isolator
US09/804,817 2001-03-13
US10/001,412 2001-10-25
US10/001,412 US6803755B2 (en) 1999-09-21 2001-10-25 Microelectromechanical system (MEMS) with improved beam suspension

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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6690178B2 (en) * 2001-10-26 2004-02-10 Rockwell Automation Technologies, Inc. On-board microelectromechanical system (MEMS) sensing device for power semiconductors
JP4643192B2 (ja) * 2004-07-16 2011-03-02 アオイ電子株式会社 グリッパ
US7205867B2 (en) * 2005-05-19 2007-04-17 Robert Bosch Gmbh Microelectromechanical resonator structure, and method of designing, operating and using same
US7227432B2 (en) * 2005-06-30 2007-06-05 Robert Bosch Gmbh MEMS resonator array structure and method of operating and using same
CN120185330B (zh) * 2025-05-22 2025-08-19 启元实验室 集成磁传感器的电磁mems执行器的位移控制系统及制备方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5025346A (en) * 1989-02-17 1991-06-18 Regents Of The University Of California Laterally driven resonant microstructures
US5359893A (en) * 1991-12-19 1994-11-01 Motorola, Inc. Multi-axes gyroscope
US5536988A (en) * 1993-06-01 1996-07-16 Cornell Research Foundation, Inc. Compound stage MEM actuator suspended for multidimensional motion
US5959516A (en) * 1998-01-08 1999-09-28 Rockwell Science Center, Llc Tunable-trimmable micro electro mechanical system (MEMS) capacitor
US6060336A (en) * 1998-12-11 2000-05-09 C.F. Wan Incorporated Micro-electro mechanical device made from mono-crystalline silicon and method of manufacture therefore
US6094102A (en) * 1999-04-30 2000-07-25 Rockwell Science Center, Llc Frequency synthesizer using micro electro mechanical systems (MEMS) technology and method
US6144545A (en) * 1997-09-25 2000-11-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Microactuator and method for controlling resonant frequency thereof
US6307169B1 (en) * 2000-02-01 2001-10-23 Motorola Inc. Micro-electromechanical switch
US6384353B1 (en) * 2000-02-01 2002-05-07 Motorola, Inc. Micro-electromechanical system device

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5739686A (en) * 1996-04-30 1998-04-14 Naughton; Michael J. Electrically insulating cantilever magnetometer with mutually isolated and integrated thermometry, background elimination and null detection
JP4126833B2 (ja) * 1999-03-12 2008-07-30 株式会社デンソー 角速度センサ装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5025346A (en) * 1989-02-17 1991-06-18 Regents Of The University Of California Laterally driven resonant microstructures
US5359893A (en) * 1991-12-19 1994-11-01 Motorola, Inc. Multi-axes gyroscope
US5536988A (en) * 1993-06-01 1996-07-16 Cornell Research Foundation, Inc. Compound stage MEM actuator suspended for multidimensional motion
US6144545A (en) * 1997-09-25 2000-11-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Microactuator and method for controlling resonant frequency thereof
US5959516A (en) * 1998-01-08 1999-09-28 Rockwell Science Center, Llc Tunable-trimmable micro electro mechanical system (MEMS) capacitor
US6060336A (en) * 1998-12-11 2000-05-09 C.F. Wan Incorporated Micro-electro mechanical device made from mono-crystalline silicon and method of manufacture therefore
US6094102A (en) * 1999-04-30 2000-07-25 Rockwell Science Center, Llc Frequency synthesizer using micro electro mechanical systems (MEMS) technology and method
US6307169B1 (en) * 2000-02-01 2001-10-23 Motorola Inc. Micro-electromechanical switch
US6384353B1 (en) * 2000-02-01 2002-05-07 Motorola, Inc. Micro-electromechanical system device

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
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EP1386347A4 (fr) 2005-05-25

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