TWI843171B - 置放模組及設有所述置放模組的定位裝置、檢查設備 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種置放模組及設有所述置放模組的定位裝置、檢查設備，該置放模組設有一置放座，該置放座上設有開設一吸附孔的一定位座，該置放座設有氣壓接頭可導入負壓經該置放座內部的氣道與該吸附孔相通；該置放座上表面的一側設有多數組分別各可在一滑軌上作位移的滑座，每一滑座上設有靠抵部，各靠抵部共同圍設一容置區間；該滑座連動一嵌抵件，各該嵌抵件共同圍設出一嵌抵區間；藉此使待檢查物件在一正確的定位進行檢視。
Description
本發明係有關於一種置放模組及設有所述置放模組的
定位裝置、檢查設備，尤指一種使用在物件進行影像檢查時，用以放置待檢查物件的置放模組及設有所述置放模組的定位裝置、檢查設備。
按，一般的電子元件經常在製作完成後會進行檢查，此類的檢查例如以CCD鏡頭作各面影像的外觀檢查，這些電子元件例如IC半導體的晶粒，或被動元件的晶粒，也可以是電子產品的微小器件；在進行搬送時，這些體積微小的物件常見以吸嘴進行搬送。
先前技術I578428「具有多面檢測能力之晶粒挑揀裝置及其方法」專利案中提出一種晶粒挑揀裝置包含有：一供應模組；一承接模組，其係相鄰於該供應模組；一旋轉模組，其係設於該承接模組的上方；一第一取放模組，其具有複數個取放單元，各取放單元係轉動地設於該旋轉模組；以及一邊檢測模組，其係設於該第一取放模組的一側；其中，該供應模組係供至少一晶粒設置；各取放單元係吸取一晶粒，各取放單元係轉動一設定角度，以使該邊檢測模組擷取該晶粒之複數個側邊影像，各取放單元所吸取的晶粒係放置於該承接模組。晶粒挑揀方法，包含有：擷取一晶粒之複數個側面影像，該晶粒移動至一側邊檢測模組，該側邊檢測模組係擷取該晶粒之各側邊影像；以及將該晶粒放置於一承接模組。
該先前技術I578428案利用旋轉模組將晶粒移動至承接模組的上方，承接模組係僅能夠呈一橫向移動，即進行一X軸向移動或一Y軸向移動或X軸向與Y軸向同時或依序移動，再以一第一視覺定位模組擷取承接模組頂端之影像，然後依據該影像，取放單元將晶粒放置於承接模組的方式，由於旋轉模組係在高速間歇性旋轉下搬送該晶粒，倘在搬送過程中發生晶粒方位偏移，該承接模組進行一X軸向移動或一Y軸向移動或X軸向與Y軸向同時或依序移動，並不能調整其角弧度的偏位，該第一視覺定位模組擷取的晶粒頂面之影像將存在偏差，故有待改善。
爰是，本發明的目的，在於提供一種解決先前技術至少一缺點的置放模組。
本發明的另一目的，在於提供一種設有所述置放模組的定位裝置。
本發明的又一目的，在於提供一種設有所述置放模組的檢查設備。
依據本發明目的之置放模組，設有一置放座，該置放座上設有開設一吸附孔的一定位座，該置放座設有氣壓接頭可導入負壓經該置放座內部的氣道與該吸附孔相通；該置放座上表面的一側設有多數組分別各可在一滑軌上作位移的滑座，每一滑座上設有靠抵部，各靠抵部共同圍設一容置區間；該滑座連動一嵌抵件，各該嵌抵件共同圍設出一嵌抵區間。
依據本發明另一目的之定位裝置，設有如所述置放模組，包括一嵌頂機構，該嵌頂機構設有可受驅動作位移的頂桿，該頂桿可被驅動嵌入該置放模組的該嵌抵區間，並撐推各該嵌抵件，以連動該滑座上該靠抵部位移遠離該吸附孔，使該容置區間擴大。
依據本發明又一目的之檢查設備，設有如所述置放模組，包括：一搬送裝置，設有一座架，該座架設有一搬送架，其可受驅動作間歇旋轉而提供具有多站間歇的一搬送流路，該搬送架設有多個取放機構分別各位於該搬送流路間歇旋轉的一站；一定位裝置，位於該搬送流路間歇旋轉的一站，並對應於一取放機構的下方；設有可供承受該取放機構搬送的物件落置定位的該置放模組；一檢視單元，對應位於該定位裝置上方，設有一檢視單元對應該置放模組，並可對其上的該物件進行取像。
本發明實施例之置放模組及設有所述置放模組的定位裝置、檢查設備，由於該置放模組設有一置放座，該置放座上設有開設一吸附孔的一定位座，該置放座設有氣壓接頭可導入負壓經該置放座內部的氣道與該吸附孔相通；該置放座上表面的一側設有多數組分別各可在一滑軌上作位移的滑座，每一滑座上設有該靠抵部，各該靠抵部共同圍設一容置區間；該滑座連動一嵌抵件，各該嵌抵件共同圍設出一嵌抵區間；藉由待檢查的該物件置於該開設該吸附孔的該定位座，在各該滑座的各該靠抵部共同圍設的該容置區間與該滑座連動的各該嵌抵件共同圍設出的該嵌抵區間同步連動下，該待檢查的該物件容或有方位的偏差，將在各靠抵部相向朝靠使該容置區間縮小夾持定位下被導正，藉此使待檢查的該物件在一正確的定位被進行檢視。
請參閱圖1，本發明實施例以在圖中所示的一載盤P中
提取物件P1為例作說明，該載盤P在於一膜層P2周圍設有硬質材質的框體P3，膜層P2上表面具有黏性；該物件P1可為半導體的晶粒或被動元件的晶粒，亦可為一般電子元件的器件。
請參閱圖2，本發明實施例以在圖中所示的檢查設備
為例作說明，該檢查設備設有：
一搬送裝置A，設有一座架A1，該座架A1設有圓形的搬送架A2，其可受驅動作間歇旋轉而提供具有多站間歇的一搬送流路，該搬送架A2周緣等間距設有多個取放機構A3，分別各位於該搬送流路間歇旋轉的一站；
一定位裝置B，位於該搬送流路間歇旋轉的一站，並對應於一個取放機構A3的下方；設有可供承受該取放機構A3搬送的該物件P1落置定位的置放模組B1；
一檢視單元C，設於該搬送裝置A上並對應位於該定位裝置B上方，設有例如CCD鏡頭對應該置放模組B1，並可對其上的該物件P1進行取像。
請參閱圖3、4，該搬送裝置A的該座架A1，其設有位
於兩側呈立設的柱架A11，及位於兩柱架A11間上方懸空水平設置的一橫架A12，該橫架A12兩側分別各設有一固定座A13，每一該固定座A13上各設有一可受驅動作上、下位移的掣件A14，該掣件A14呈一倒設的叉狀，下方設有一壓座A141，該壓座A141呈一水平置設的ㄩ形，而具有相隔間距的二個壓抵部A142；該搬送裝置A的該搬送架A2，其以一固定座A21固設於該座架A11的該橫架A12下方，呈一環形並可受驅動作間歇旋轉，該搬送架A2周緣設有相隔間距的多個取放機構A3，可隨該搬送架A2間歇旋轉作圖1中該物件P1的提取及搬送。
請參閱圖5，該搬送架A2與該固定座A21間設有一推
移機構A4，該推移機構A4設有一凸輪板A41，該凸輪板A41可受驅動在一滑軌A42上作徑向水平位移，該凸輪板A41的弧形周緣寬度涵蓋三個取放機構A3所環設的距離，並設有位於弧形周緣中段部位的一推抵部A411、一位於該推抵部A411一側並位於該搬送架A2間歇旋轉流路相對前段的預推部A412、以及一位於該推抵部A411另一側並位於該搬送架A2間歇旋轉流路相對後段的緩退部A413。
請參閱圖6，該取放機構A3設有：
一固定件A31，呈矩形截面的桿狀，一端固設於該搬送架A2
的近圓周部位而呈水平朝該圓周外伸設；其一側設有一滑軌A311，該滑軌A311上設有一滑座A312，該滑座A312上設有與其連動的一滾輪A313，該滾輪A313並可受該推移機構A4的該凸輪板A41所推抵而連動該滑座A312位移；該滑座A312設有一連接件A314；該滑座A312與該固定件A31一端部所設的一固定件A315間設有一螺旋彈簧構成的彈性件A316，該彈性件A316提供該滑座A312沿該固定件A31軸向直線位移的反向回復力；
一軸座A32，設於該固定件A31下方，並位於該搬送架A2圓
周外，並供一氣壓接頭A321接設；
一旋轉件A33，設於該固定件A31上方，並位於該搬送架A2
圓周外，其受固設於該固定件A31上的一ㄇ形的限制件A331所限位，該旋轉件A33設有一樞扣部A332；該樞扣部A332與該滑座A312的該連接件A314樞扣並可在該滑座A312位移時，連動該旋轉件A33作水平旋轉一預設弧度；
一軸桿A34，穿經該旋轉件A33、該固定件A31及該軸座A32
，其上端設有與其連動的一承壓部A341，下端設有與其連動的一吸附部A342；該旋轉件A33的旋轉位移與該軸桿A34旋轉連動，該軸桿A34上下位移及旋轉則與該承壓部A341、該吸附部A342上下位移及旋轉連動；其中，該承壓部A341呈一「I」形板狀，並與該軸桿A34的中心軸向呈垂直，設有相隔間距分別位於該軸桿A34頂端兩側的二個受壓部A343，二個受壓部A343的寬度大於二個該壓抵部A142間的寬度，且分別各對應圖2中該掣件A14的該二個壓抵部A142下方；該承壓部A341下方與該限制件A331間的該軸桿A34外徑樞套一螺旋彈簧構成的彈性件A344；該吸附部A342下端設有一吸嘴A345，其與該軸座A32上的該氣壓接頭A321相通，可被導入負壓，該吸附部A342與該軸座A32間設有一螺旋彈簧構成的彈性件A346，該彈性件A346的中心軸線與該軸桿A34相隔間距地偏置。
請參閱圖7，該推移機構A4設有一槽口朝下的上槽座
A43 及一槽口朝上的下槽座A44，該上槽座A43與固定座A21固設連動，該下槽座A44與該滑軌A42固設連動；該滑軌A42設有相隔間距並相互平行的二個，每一個該滑軌A42分別各設於該凸輪板A41上所固設連動的一滑座A421上，二個該滑軌A42間設有呈立設於該凸輪板A41上表面呈圓桿狀的一導引件A414；該上槽座A43的一槽間A431內固設出力方向與該滑軌A42軸向呈垂直方向的一氣壓缸構成的驅動件A45；該下槽座A44的一槽間A441內設可作與該滑軌A42軸向呈垂直方向滑動位移的一滑件A46，及於該槽間A441底部設有與該滑軌A42軸向呈平行方向鏤空槽溝狀的一第一導溝A442；該滑件A46上設有鏤空槽溝狀並呈傾斜方位的一第二導溝A461及一聯動部A462，該第二導溝A461設有位於一端的後退定位部A463及位於另一端的前進定位部A464，其中該前進定位部A464具有一段與該滑軌A42軸向呈垂直方向的部份，該聯動部A462與該驅動件A45的氣壓缸的缸桿聯結並受其驅動，使該滑件A46可在該槽間A441內作與該滑軌A42軸向呈垂直方向的往復滑動位移；該導引件A414穿經該下槽座A44的該第一導溝A442並凸伸於該滑件A46的該第二導溝A461中，該滑件A46被驅動在該槽間A441內作與該滑軌A42軸向呈垂直方向的往復滑動位移時，該第二導溝A461將引導使該導引件A414由該後退定位部A463移動至該前進定位部A464，並連動與該導引件A414所固設的該凸輪板A41在該滑軌A42上作相對位移。
請參閱圖8，該定位裝置B的該置放模組B1設於一驅
動座B2的一轉盤B21上，該驅動座B2設於一台架B3的一台面B31上；該轉盤B21可受該驅動座B2驅動作間歇旋轉，該置放模組B1設有多數個(本實施例為四個)以相隔間距環列水平設於該轉盤B21近周緣，該轉盤B21中央設有一旋轉接頭B22，該旋轉接頭B22包括位於上方的上接座B221及位於下方的下接座B222，該上接座B221與該下接座B222可相對旋轉，其中該上接座B221上端受該台架B3的該台面B31上一固定件B32一端所固設而無法轉動，該下接座B222下端固設於該轉盤B21上，可隨該轉盤B21轉動；該旋轉接頭B22設有對應該置放模組B1數量的多數組氣壓接頭組B23，每一個該氣壓接頭組B23各包括一個位於該上接座B221的上接頭B231及一個位於該下接座B222的下接頭B232，該上接頭B231與氣壓源連通，該上接頭B231與該下接頭B232經由該旋轉接頭B22內部的氣道相通。
請參閱圖9，每一個置放模組B1設有一置放座B11，
該置放座B11上設有開設一吸附孔B111的一定位座B112，該置放座B11一側設有氣壓接頭B12，該氣壓接頭B12與該旋轉接頭B22的該下接頭B232連接，並可導入負壓經該置放座B11內部的氣道與該吸附孔B111相通；該置放座B11上表面的一側設有多數組分別各可在一滑軌B13上作直線滑動位移的滑座B14，每一滑座B14上設有與該滑座B14連動並朝靠該定位座B112上該吸附孔B111周側的靠抵部B141，各靠抵部B141一端共同圍設位於該吸附孔B111周側及該定位座B112上方的一容置區間B142；該定位座B112位於滑座B14一端並形成該滑座B14向該端滑動位移的止擋，該置放座B11一側設有可供限制該滑座B14往另一端滑動位移的一止擋部B113，該止擋部B113與該滑座B14間設有螺旋彈簧構成的彈性件B114，該彈性件B114提供該滑座B14朝該定位座B112方向的驅力。
請參閱圖9、10，該滑座B14設有朝下伸設經該置放
座B11一長槽狀的鏤空區間B115而凸伸至下表面的一連動部B143，該連動部B143於該置放座B11下表面下方設有與其連動並朝靠該置放座B11下表面中央的一嵌抵件B144，該嵌抵件B144靠該置放座B11下表面中央的一端設呈一傾斜面狀的嵌抵部B145，各滑座B14連動的該嵌抵件B144的該嵌抵部B145間共同圍設出一嵌抵區間B146，該嵌抵區間B146在朝靠該置放座B11下表面的一側較窄，相對遠離該置放座B11下表面的另一側較寬。
請參閱圖8、10，該置放座B11一部份固定在該轉盤
B21近周緣，另一部份懸空設於該轉盤B21周緣外，其中，該嵌抵區間B146位於該轉盤B21周緣外。
請參閱圖2、8，該轉盤B21被驅動連動其上的各該置
放組B1作逆時針方向的間歇旋轉，在該間歇旋轉的流路上，其中一個該置放模組B1對應位於該取放機構A3下方，另其中一個該置放模組B1對應位於該檢視單元C下方；在該間歇旋轉的流路上，該檢視單元C下方對應的該置放模組B1前一站的該置放模組B1，即該取放機構A3下方對應的該置放模組B1，其與該檢視單元C下方對應的該置放模組B1後一站的該置放模組B1，分別各於下方對應設有一嵌頂機構B4，該嵌頂機構B4設於該台架B3的該台面B31上。
請參閱圖9、10，該嵌頂機構B4設有可受驅動作上下
位移的頂桿B41，該頂桿B41頂端設有一段錐部B411，該頂桿B41被驅動上昇時可嵌入該置放模組B1的該嵌抵區間B146，並撐推各該嵌抵件B144的該嵌抵部B145，以連動該滑座B14上該靠抵部B141位移遠離該吸附孔B111，並壓縮該彈性件B114使該容置區間B142擴大；該頂桿B41被驅動下移時，該彈性件B114伸張的回復力將使該滑座B14朝該定位座B112方向移靠，使該容置區間B142縮小。
請參閱圖1〜10，本發明實施例在實施時，圖1中該載
盤A可被一輸送流道搬送或被置放一定位，該搬送裝置A以該掣件A14被驅動而以該壓座A141的二個壓抵部A142下壓該取放機構A3的該承壓部A341，使該軸桿A34連動該吸附部A342下移對該物件P1進行提取，該取放機構A3在吸附該物件P1的情況下，隨該搬送架A2受驅動作間歇旋轉的多站位移搬送，當取放機構A3被位移來到該凸輪板A41的該預推部A412處時，該推移機構A4將驅動使該凸輪板A41朝該搬送架A2的徑向，並依搬送架A2的旋轉中心與該推抵部A411連成的直線方向而向外位移，此時該取放機構A3上的該滾輪A313將被該凸輪板A41的該預推部A412抵觸，而在該取放機構A3被位移至下一站的弧形路徑中，該凸輪板A41將持續推移朝外，使該滾輪A313被推抵而連動該滑座A312滑動位移，在使該彈性件A316被壓縮下，以該連接件A314扣推該旋轉件A33作撥轉，該旋轉件A33的旋轉位移與該軸桿A34旋轉連動，使該承壓部A341、該吸附部A342同步旋轉連動，而使該吸附部A342下方所吸附的該物件P1作偏轉；在該取放機構A3被位移至下一站時，該滾輪A313已沿該凸輪板A41滾動抵觸到該推抵部A411，此時該凸輪板A41朝外的推移到達前死點，該吸附部A342下方所吸附的該物件P1也已偏轉一角度(在本實施例為九十度)到達定位，若該物件P1偏轉的目的是為改變方向後置放物件P1，則此時該座架A1上的該掣件A14將被驅動以該壓座A141具有相隔間距的二個壓抵部A142下壓該取放機構A3的該承壓部A341，並壓縮該彈性件A344，由於該承壓部A341呈一「I」形板狀，且二個受壓部A343的寬度大於二個該壓抵部A142間的寬度，故該承壓部A341雖相對二個該壓抵部A142呈傾斜，仍可被二個該壓抵部A142壓抵到，使該承壓部A341連動該軸桿A34，使軸桿A34下端的該吸附部A342下移，並壓縮彈性件A346，將其上所吸附已偏轉一角度到達定位的該物件P1置於預設定位，並解除負壓吸附。
在本發明實施例中，該取放機構A3上的該物件P1被
置於該定位裝置B中該轉盤B21間歇旋轉的流路上，並位於該檢視單元C下方對應的該置放模組B1前一站的該置放模組B1中，在該取放機構A3將該物件P1置入前，該嵌頂機構B4先驅動該頂桿B41上昇嵌入該置放模組B1的該嵌抵區間B146使該容置區間B142擴大，以便該物件P1置入該容置區間B142並被該吸附孔B111中的負壓吸附；然後該頂桿B41被驅動下移時，使該容置區間B142縮小，並藉相對夾靠的各該滑座B14上的靠抵部B141將該物件P1導正、定位及夾持。
完成導正、定位及夾持的該物件P1在該置放模組B1
被該轉盤B21的間歇旋轉搬送下，而位移至該檢視單元C的該檢視單元C1下方，供該檢視單元C1對該物件P1上表面進行取像，完成取像後，該置放模組B1被該轉盤B21的間歇旋轉搬送至下一站，在該嵌頂機構B4驅動該頂桿B41上昇嵌入該置放模組B1的該嵌抵區間B146使該容置區間B142擴大後，該物件P1可被下一製程提取進行後續作業。
本發明實施例置放模組及設有所述置放模組的定位裝
置、檢查設備，由於該置放模組B1設有一置放座B11，該置放座B11上設有開設一吸附孔B111的一定位座B112，該置放座B11設有氣壓接頭B12可導入負壓經該置放座B11內部的氣道與該吸附孔B111相通；該置放座B11上表面的一側設有多數組分別各可在一滑軌B13上作位移的滑座B14，每一滑座B14上設有該靠抵部B141，各該靠抵部B141共同圍設一容置區間B142；該滑座B14連動一嵌抵件B144，各該嵌抵件B144共同圍設出一嵌抵區間；藉由待檢查的該物件P1置於該開設該吸附孔B111的該定位座B112，在各該滑座B14的各該靠抵部B141共同圍設的該容置區間B142與該滑座B14連動的各該嵌抵件B144共同圍設出的該嵌抵區間B146同步連動下，該待檢查的該物件P1容或有方位的偏差，將在各靠抵部相向朝靠使該容置區間B142縮小夾持定位下被導正，藉此使待檢查的該物件P1在一正確的定位被進行檢視。
惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。
A:搬送裝置
A1:座架
A11:柱架
A12:橫架
A13:固定座
A14:掣件
A141:壓座
A142:壓抵部
A2:搬送架
A21:固定座
A3:取放機構
A31:固定座
A311:滑軌
A312:滑座
A313:滾輪
A314:連接件
A315:固定件
A316:彈性件
A32:軸座
A321:氣壓接頭
A33:旋轉件
A331:限制件
A332:樞扣部
A34:軸桿
A341:承壓部
A342:吸附部
A343:受壓部
A344:彈性件
A345:吸嘴
A346:彈性件
A4:推移機構
A41:凸輪板
A411:推抵部
A412:預推部
A413:緩退部
A414:導引件
A42:滑軌
A421:滑座
A43:上槽座
A431:槽間
A44:下槽座
A441:槽間
A442:第一導溝
A45:驅動件
A46:滑件
A461:第二導溝
A462:聯動部
A463:後退定位部
A464:前進定位部
B:定位裝置
B1:置放模組
B11:置放座
B111:吸附孔
B112:定位座
B113:止擋部
B114:彈性件
B115:鏤空區間
B12:氣壓接頭
B13:滑軌
B14:滑座
B141:靠抵部
B142:容置區間
B143:連動部
B144:嵌抵件
B145:嵌抵部
B146:嵌抵區間
B2:驅動座
B21:轉盤
B22:旋轉接頭
B221:上接座
B222:下接座
B23:氣壓接頭組
B231:上接頭
B232:下接頭
B3:台架
B31:台面
B32:固定件
B4:嵌頂機構
B41:頂桿
B411:錐部
C:檢視單元
P:載盤
P1:物件
P2:膜層
P3:框體
本發明其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中：
圖1是一個立體圖，說明本發明實施例中的待提取的物件置於一載盤中；
圖2是一個立體圖，說明本發明實施例中的檢查設備；
圖3是一個立體圖，說明本發明實施例中搬送裝置的座架及搬送架的關係；
圖4是一個部份的立體圖，說明本發明實施例中的搬送架及取放機構、掣件的關係；
圖5是一個部份的立體圖，說明本發明實施例中的搬送架及取放機構的關係；
圖6是一個立體分解圖，說明本發明實施例中的推移機構；
圖7是一個部份的立體圖，說明本發明實施例中的取放機構；
圖8是一個立體圖，說明本發明實施例中的定位裝置；
圖9是一個立體圖，說明本發明實施例中的置放模組及嵌頂機構；
圖10是一個立體分解圖，說明本發明實施例中的置放模組及嵌頂機構。
B1:置放模組
B11:置放座
B111:吸附孔
B112:定位座
B113:止擋部
B114:彈性件
B12:氣壓接頭
B13:滑軌
B14:滑座
B141:靠抵部
B142:容置區間
B4:嵌頂機構
Claims (10)
- 一種置放模組，設有一置放座，該置放座上設有開設一吸附孔的一定位座，該置放座設有氣壓接頭可導入負壓經該置放座內部的氣道與該吸附孔相通；該置放座上表面的一側設有多數組分別各可在一滑軌上作位移的滑座，每一滑座上設有靠抵部，各靠抵部共同圍設一容置區間；一物件可置入該容置區間並被該容置區間中該吸附孔中的負壓吸附；該滑座連動一嵌抵件，各該嵌抵件共同圍設出一嵌抵區間。
- 如請求項1所述置放模組，其中，該定位座位於滑座一端並形成該滑座向該端滑動位移的止擋，該置放座一側設有可供限制該滑座往另一端滑動位移的一止擋部，該止擋部與該滑座間設有彈性件，該彈性件提供該滑座朝該定位座方向的驅力。
- 如請求項1所述置放模組，其中，該滑座設有朝下伸設經該置放座一鏤空區間而凸伸至下表面的一連動部，該連動部於該置放座下表面下方設有與其連動並朝靠該置放座下表面中央的該嵌抵件。
- 如請求項1所述置放模組，其中，該嵌抵件靠該置放座下表面中央的一端設呈一傾斜面狀的嵌抵部，該嵌抵區間在朝靠該置放座下表面的一側較窄，相對遠離該置放座下表面的另一側較寬。
- 一種定位裝置，設有如請求項1~4任一項所述置放模組，包括一嵌頂機構，該嵌頂機構設有可受驅動作位移 的頂桿，該頂桿可被驅動嵌入該置放模組的該嵌抵區間，並撐推各該嵌抵件，以連動該滑座上該靠抵部位移遠離該吸附孔，使該容置區間擴大。
- 如請求項5所述定位裝置，其中，該置放模組設於一驅動座的一轉盤上，該轉盤可受驅動作間歇旋轉，該置放模組設有多數個以相隔間距環列設於該轉盤，該置放座一部份固定在該轉盤近周緣，另一部份懸空設於該轉盤周緣外，其中，該嵌抵區間位於該轉盤周緣外。
- 如請求項6所述定位裝置，其中，該置放模組其中一個對應位於一取放機構下方，一個對應位於一檢視單元下方。
- 如請求項6所述定位裝置，其中，該間歇旋轉的流路上，該檢視單元下方對應的該置放模組前一站的該置放模組，即該取放機構下方對應的該置放模組，其與該檢視單元下方對應的該置放模組後一站的該置放模組，分別各於該嵌抵區間下方對應設有該嵌頂機構，該嵌頂機構設於一台架的一台面上。
- 如請求項6所述定位裝置，其中，該轉盤中央設有一旋轉接頭，該旋轉接頭包括位於上方的上接座及位於下方的下接座，該上接座與該下接座可相對旋轉，其中該上接座上端受該台架的該台面上一固定件一端所固設而無法轉動，該下接座下端固設於該轉盤上，可隨該轉盤轉動；該旋轉接頭設有多數組氣壓接頭組，每一個該氣壓接頭組各包括一個位於該上接座的上接頭及一個位於該 下接座的下接頭，該上接頭與氣壓源連通，該上接頭與該下接頭經由該旋轉接頭內部的氣道相通。
- 一種檢查設備，使用如請求項1~4任一項所述置放模組，包括：一搬送裝置，設有一座架，該座架設有一搬送架，其可受驅動作間歇旋轉而提供具有多站間歇的一搬送流路，該搬送架設有多個取放機構分別各位於該搬送流路間歇旋轉的一站；一定位裝置，位於該搬送流路間歇旋轉的一站，並對應於一取放機構的下方；設有可供承受該取放機構搬送的物件落置定位的該置放模組；一檢視單元，對應位於該定位裝置上方，設有一檢視單元對應該置放模組，並可對其上的該物件進行取像。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW111129964A TWI843171B (zh) | 2022-08-10 | 2022-08-10 | 置放模組及設有所述置放模組的定位裝置、檢查設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW111129964A TWI843171B (zh) | 2022-08-10 | 2022-08-10 | 置放模組及設有所述置放模組的定位裝置、檢查設備 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW202407834A TW202407834A (zh) | 2024-02-16 |
| TWI843171B true TWI843171B (zh) | 2024-05-21 |
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ID=90822730
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| TW111129964A TWI843171B (zh) | 2022-08-10 | 2022-08-10 | 置放模組及設有所述置放模組的定位裝置、檢查設備 |
Country Status (1)
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Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW202221737A (zh) * | 2020-11-27 | 2022-06-01 | 萬潤科技股份有限公司 | 電子元件背膜方法及設備 |
-
2022
- 2022-08-10 TW TW111129964A patent/TWI843171B/zh active
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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