TWI720881B - 快拆式氣閥及應用其之基板容器 - Google Patents

Abstract

一種快拆式氣閥及應用其之基板容器，基板容器包括基座，基座包括蓋板及底板，快拆式氣閥用以供氣體進入或離開基板容器，並且包括快拆板(件)、墊圈套筒以及閥體。快拆件可拆卸地扣合於底板，且快拆件扣合於底板時至多等齊於底板。墊圈套筒設置於蓋板及底板之間，並具有氣流通道。閥體設置於氣流通道中，用以限制氣體之流動方向。當快拆件與底板處於扣合狀態時，快拆件用以固定墊圈套筒，避免其自基座脫出。當兩者處於未扣合狀態時，墊圈套筒用以自基座脫離。利用可拆卸式的快拆件來提升更換元件的便利性，可以節省時間、提昇工作效率。

Description

快拆式氣閥及應用其之基板容器

本發明是有關於一種快拆式氣閥，且特別是有關於一種應用於基板容器之快拆式氣閥。

隨著科技的進步，半導體製程相關技術亦突飛猛進，其中光學微影技術扮演著相當關鍵的角色。光學微影技術是將設計好的線路經圖案化製作在可透光之光罩上，再將光罩上的圖案通過光源投影至晶圓上，以在晶圓上曝光顯影出特定的圖案。在光學微影的過程中，任何附著在光罩上的微粒，都會造成投影成像品質劣化。尤其是近年來隨著線程的微縮化，業界係朝向更小、更高邏輯密度之晶片發展，微影設備使用的光波長業已推進到極紫外光(Extreme Ultraviolet Light,EUV)範圍，對於光罩上的微粒數量、粒徑，以致於光罩容器內的潔淨度，都有著更為嚴苛的要求。

為了在光罩容器內維持潔淨度，目前已知的作法是在光罩容器上設置數量不等的充氣閥，利用通以氣體之方式維持潔淨度。實際應用上，例如是經由充氣閥通以一定流量的氣體，維持光罩容器內氣體的置換率，來優化光罩存放的環境。光罩容器在充氣閥處設置有過濾膜，用來過 濾氣體中的微粒，在經過一定次數的使用之後，濾膜需要進行更換，以維持過濾的效果。

習知一種光罩容器中，是將濾膜、充氣閥或是其他與相關的元件，經由多個螺絲鎖固的方式組裝結合至光罩容器的基座中。當需要更換其中的元件時，例如需要更換濾膜時，必須依序卸除多個螺絲，將基座的底板整個拆卸後，才能進行濾膜的更換。而濾膜更換完畢之後，又必須重新安裝按裝底板，依序鎖上多個螺絲。如此裝卸底板及多個螺絲之方式相當耗費工時，使得濾膜或是其他必要元件的的更換非常缺乏效率。

有鑒於此，本發明提出一種快拆式氣閥及應用其之基板容器，利用可拆卸式的快拆板(件)來提升更換元件的便利性。

依據本發明之一方面，提出一種快拆式氣閥，應用於一基板容器，用以供一氣體進入或離開基板容器。基板容器包括一基座，基座包括一蓋板及一底板。快拆式氣閥包括一快拆件、一墊圈套筒以及一閥體。快拆件以可拆卸之方式扣合於底板之一第一開口中，且快拆件扣合於底板時至多等齊於底板。墊圈套筒設置於蓋板及底板之間，並具有一氣流通道貫通蓋板至底板。閥體設置於氣流通道中，用以限制氣體之流動方向。當快拆件與底板處於一扣合狀態時，快拆件用以固定墊圈套筒，避免墊圈套筒自基座脫出。當快拆件與底板處於一未扣合狀態時，墊圈套筒用以自基座脫離。

於一實施例中，快拆件包括一本體及一彈性臂。本體用以固 持於墊圈套筒之一側，彈性臂一端連接於本體，另一端用以卡扣於底板。本體具有一環狀結構，環狀結構係以圍繞墊圈套筒以及不遮蔽氣流通道之方式設置。墊圈套筒之外壁上凸設有一凸環，凸環之外徑大於本體之內徑。

於另一實施例中，快拆件包括一本體及一彈性臂。本體用以固持於墊圈套筒之一側，彈性臂一端連接於本體，另一端用以卡扣於底板。底板對應於第一開口處具有一凸緣及一卡槽。凸緣用以卡固本體於第一開口中之位置，卡槽供彈性臂卡扣，藉以將快拆件扣合至底板。

於又一實施例中，快拆件包括一本體及一彈性臂。本體用以固持於墊圈套筒之一側，彈性臂一端連接於本體，另一端用以卡扣於底板。墊圈套筒之另一側抵接於蓋板之一第二開口處，氣體係通過第一開口、氣流通道與第二開口進入或離開基板容器。蓋板具有一套接壁，圍繞於第二開口設置。墊圈套筒係以可滑動之方式套接或脫離套接壁。當墊圈套筒套接於套接壁時，套接壁與墊圈套筒之外壁間形成一氣密狀態。

依據本發明之另一方面，提出一種基板容器，包括一外盒組件及一內盒組件。外盒組件用以容置內盒組件，內盒組件用以容置一基板。外盒組件包括一基座以及一上蓋。基座包括一底板、一蓋板及一快拆式氣閥。底板具有一第一開口，快拆式氣閥用以供一氣體進入或離開基板容器。快拆式氣閥包括一快拆件、一墊圈套筒及一閥體。快拆件以可拆卸之方式扣合於第一開口中，且快拆件扣合於底板時至多等齊於底板。墊圈套筒設置於蓋板及底板之間，並具有一氣流通道貫通蓋板至底板。閥體設置於氣流通道中，用以限制氣體之流動方向。上蓋用以與基座對接，以於兩者間形成一密封狀態。當快拆件與底板處於一扣合狀態時，快拆件用以固定墊 圈套筒，避免墊圈套筒自基座脫出，當快拆件與底板處於一未扣合狀態時，墊圈套筒用以自基座脫離。

於一實施例中，基座更包括一過濾元件，設置於蓋板及墊圈套筒之間，用以過濾氣體。

本發明實施例之快拆式氣閥及應用其之基板容器，利用可拆卸式的快拆件固定墊圈套筒。當快拆件與底板處於未扣合狀態時，墊圈套筒可以從基座脫離，方便使用者更換元件，可以節省時間，提昇工作效率。另當快拆件扣合於底板時，快拆件並至多等齊於底板，使得基板容器底部維持平坦，方便基板容器的各種移送動作，同時亦有助於維持潔淨度。

10:基板容器

11:基座

12:第一部分

13:上蓋

14:第二部分

15:外盒組件

16:內盒組件

20:基板

110:底板

110a:第一開口

111:凸緣

112:卡槽

120:蓋板

120a:第二開口

121:套接壁

130:快拆式氣閥

131:快拆件

132:墊圈套筒

132a:氣流通道

133:閥體

140:過濾元件

150:鎖固件

160:鎖固件作動機構

1311:本體

1312:彈性臂

1321:凸環

A:平面

d1:內徑

d2:外徑

為讓本發明之上述以及其他特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖式之說明如下：

第1圖繪示依照本發明一實施例之基板容器之示意圖；

第2圖繪示第1圖之基座之另一視角之示意圖；

第3圖繪示第2圖之基座中對應一處快拆式氣閥之放大示意圖；

第4圖繪示第1圖中沿平面A之剖面圖；

第5a圖繪示依照本發明一實施例之快拆式氣閥之示意圖；

第5b圖繪示第5a圖之快拆式氣閥之爆炸圖；以及

第6圖繪示底板對應於一個第一開口處之示意圖。

本發明實施例之快拆式氣閥及應用其之基板容器中，快拆式氣閥用以供一氣體進入或離開基板容器。基板容器包括一基座，基座包括一蓋板及一底板。快拆式氣閥包括一快拆件、一墊圈套筒及一閥體。快拆件以可拆卸之方式扣合於底板之一第一開口中，且快拆件扣合於底板時至多等齊於底板。墊圈套筒設置於蓋板及底板之間，並具有一氣流通道貫通蓋板至底板。閥體設置於氣流通道中，用以限制氣體之流動方向。

當快拆件與底板處於一扣合狀態時，快拆件用以固定墊圈套筒，避免墊圈套筒自基座脫出；當快拆件與底板處於一未扣合狀態時，墊圈套筒用以自基座脫離。快拆式氣閥利用可拆卸式的快拆件來提升更換元件的便利性，免去了傳統需要依序取下多個螺絲並將底板整片取下的繁瑣方式，提昇效率，縮短基板容器因更換元件而離開產線的時間。另外，藉由快拆件不凸出於底板之方式，使得基板容器底部維持平坦，方便基板容器的各種移送動作，同時亦有助於維持潔淨度。

請參照第1圖，其繪示依照本發明一實施例之基板容器之示意圖。基板容器10包括一外盒組件15及一內盒組件16。外盒組件15用以容置內盒組件16，內盒組件16用以容置一基板20。外盒組件15包括一基座11以及一上蓋13，上蓋13用以與基座11對接，於兩者之間形成一密封狀態，以隔離外盒組件15之內部與外部，從而使得外盒組件15內部可以達到符合特定半導體製程對於潔淨度的要求。內盒組件16包括相互配合的第一部分12及第二部分14，第一部分12及第二部分14相互對接時，兩者之間形成一容置空間，用於容置基板20。本實施例中，基板20例如是應用於高密度半導體圖案化製程之極紫外光光罩(EUV reticle)，然而在不同的實施例中，基板 20可以是其他具有高潔淨度要求並與半導體製程相關之板體元件。

請同時參照第1圖及第2圖，第2圖繪示第1圖之基座之另一視角之示意圖。本實施例中，基座11包括一蓋板120及一底板110以及一快拆式氣閥130。蓋板120及底板110係相互配合組裝，其中可以依據實際產品的需求設置鎖固件150、鎖固件作動機構160等元件，用來使基座11可以穩固地與上蓋13配合。快拆式氣閥130用以供一氣體進入或離開基板容器10。本實施例係以四個快拆式氣閥130為例進行說明(如第2圖中所示)，其中兩個用以供氣體進入基板容器10，另外兩個則是供氣體離開基板容器10。然而本發明之快拆式氣閥130並不以此為限制，其他數量及配置方式的快拆式氣閥130均可應用於本發明中。

請同時參照第3圖及第4圖，第3圖繪示第2圖之基座中對應一處快拆式氣閥之放大示意圖，第4圖繪示第1圖中沿平面A之剖面圖。本實施例之快拆式氣閥130包括一快拆件131、一墊圈套筒132以及一閥體133。底板110具有一第一開口110a，快拆件131以可拆卸之方式扣合於第一開口110a中，且快拆件131扣合於底板110時至多等齊於底板110(換言之，快拆件131不凸出於底板110)。墊圈套筒132設置於蓋板120及底板110之間，並具有一氣流通道132a貫通蓋板120至底板110。閥體133設置於氣流通道132a中，用以限制氣體之流動方向。當快拆件131與底板110處於一扣合狀態時(如第2圖、第3圖及第4圖中快拆件131與底板110之狀態)，快拆件131用以固定墊圈套筒132，避免墊圈套筒132自基座11脫出。當快拆件131與底板110處於一未扣合狀態時(未扣合狀態容後敘述)，墊圈套筒132用以自基座11脫離，以進行元件的更換動作。

請同時參照第5a圖及第5b圖，第5a圖繪示依照本發明一實施例之快拆式氣閥之示意圖，第5b圖繪示第5a圖之快拆式氣閥之爆炸圖。本實施例之快拆式氣閥130中，快拆件131係包括一本體1311及一彈性臂1312。本體1311用以固持於墊圈套筒132之一側，亦即墊圈套筒132係可抵接於本體1311而被固定位置。本實施例中本體1311具有一環狀結構，環狀結構以圍繞墊圈套筒132以及不遮蔽氣流通道132a之方式設置，使得本體1311在固持墊圈套筒132的同時，不會影響到氣體的流動。

請同時參照第4圖、第5a圖及第5b圖，彈性臂1312之一端連接於本體1311，另一端用以卡扣於底板110。本實施例中以兩個相對設置的彈性臂1312為例，兩彈性臂1312分別位於本體1311相對兩側，用以穩固地將快拆件131扣合至底板110。彈性臂1312具有一彎折部，用來供結構發生彈性變形以發揮彈性卡扣的功能。彎折部係朝向基座11內部凹設，讓彈性臂1312之結構至多等齊於底板110之底面(換言之，彈性臂1312不凸出於底板110)，整體而言使得基板容器10底部維持平坦(基板容器10如第1圖所示)，方便基板容器10的各種移送動作，同時平坦的底部亦有助於維持潔淨度。

本實施例之快拆式氣閥130中，墊圈套筒132具有一凸環1321，凸設於墊圈套筒132之外壁上。凸環1321之外徑d2大於快拆件131之本體1311之內徑d1，使得墊圈套筒132無法穿過環狀結構之本體1311，讓本體1311可以有效地固持墊圈套筒132。

本實施例之快拆式氣閥130中，閥體133係為單向閥，防止氣體逆流。如第5b圖中所示之閥體133，讓氣體僅能沿著由下往上的方向流動進入基板容器10內部(如第1圖所示)。

請同時參照第3圖、第5b圖及第6圖，第6圖繪示底板對應於一個第一開口處之示意圖。第6圖中顯示快拆件131與底板110處於未扣合狀態，亦即底板110未與快拆件131扣接。底板110對應於第一開口110a處具有一凸緣111及一卡槽112，凸緣111用以卡固本體1311於第一開口110a中之位置，卡槽112供彈性臂1312卡扣，用以將快拆件131扣合至底板110。本實施例中，底板110具有多個沿著第一開口110a周圍設置的凸緣111，藉以由多個方向夾置並卡固本體1311。此外，卡槽112之數量對應於彈性臂1312的數量，藉以讓每一個彈性臂1312都可以對應與一個卡槽112卡扣。

請繼續參照第4圖及第5b圖。根據前述，墊圈套筒132之一側係抵接於快拆件131之本體1311。而本實施例中，墊圈套筒132之另一側則抵接於蓋板120之一第二開口120a處。氣體是通過第二開口120a、氣流通道132a以及第一開口110a，流動進入或離開基板容器10。

本實施例中，蓋板120具有一套接壁121，圍繞於第二開口120a設置，墊圈套筒132係以可滑動之方式套接或脫離套接壁121。當墊圈套筒132套接於套接壁121時，套接壁121與墊圈套筒132之外壁間形成一氣密狀態，避免氣體流動至蓋板120與底板110之間而發生漏氣的狀況。

本實施例中，基座11更包括一過濾元件140，設置於蓋板120及墊圈套筒132之間，用以過濾氣體。當快拆件131與底板110處於未扣合狀態時，墊圈套筒132可以滑動脫離套接壁121，讓墊圈套筒132自基座11完全脫離。墊圈套筒132脫離基座11後，便可以進行過濾元件140的更換，利用更換新的或乾淨的過濾元件140，維持氣體的潔淨度。過濾元件140可以例如是濾紙，或是其他編織或不織布料，其他可以過濾微粒的多孔性材料亦 可應用於本發明中。利用可拆卸式的快拆件131，可以快速地取下墊圈套筒132，以便更換過濾元件140或其他部件。以此方式可以提升更換元件的便利性，提升工作效率，並讓基板容器10(如第1圖所示)可以在短時間內回到產線中繼續執行容置、承載或移送基板20(如第1圖所示)等工作。

根據本發明前述實施例之快拆式氣閥及應用其之基板容器，快拆式氣閥用以供氣體進入或離開基板容器。基板容器包括基座，基座包括蓋板及底板。快拆式氣閥包括快拆件、墊圈套筒以及閥體。快拆件以可拆卸之方式扣合於底板之第一開口中，且快拆件扣合於底板時至多等齊於底板。墊圈套筒設置於蓋板及底板之間，並具有氣流通道貫通蓋板至底板。閥體設置於氣流通道中，用以限制氣體之流動方向。當快拆件與底板處於扣合狀態時，快拆件用以固定墊圈套筒，避免墊圈套筒自基座脫出；當快拆件與底板處於未扣合狀態時，墊圈套筒用以自基座脫離。快拆式氣閥利用可拆卸式的快拆件來提升更換元件的便利性，可以節省時間並且提昇工作效率。另外，藉由快拆件至多等齊於底板之方式，使得基板容器底部得以維持平坦，方便基板容器的各種移送動作，同時亦有助於維持潔淨度。

雖然本發明已以多個實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明。任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附申請專利範圍所界定者為準。

130:快拆式氣閥

131:快拆件

132:墊圈套筒

132a:氣流通道

133:閥體

1311:本體

1312:彈性臂

1321:凸環

d1:內徑

d2:外徑

Claims (10)

1. 一種快拆式氣閥，應用於一基板容器，用以供一氣體進入或離開該基板容器，該基板容器包括一基座，該基座包括一蓋板及一底板，該快拆式氣閥包括：一快拆件，以可拆卸之方式扣合於該底板之一第一開口中；以及一墊圈套筒，設置於該蓋板及該底板之間，並具有一氣流通道貫通該蓋板至該底板，該快拆件用以固定該墊圈套筒，避免該墊圈套筒自該基座脫出。
2. 如申請專利範圍第1項所述之快拆式氣閥，其中該快拆件包括一本體及一彈性臂，該本體用以固持於該墊圈套筒之一側，該彈性臂之一端連接於該本體，該彈性臂之另一端用以卡扣於該底板。
3. 如申請專利範圍第2項所述之快拆式氣閥，其中該本體具有一環狀結構，該環狀結構係以圍繞該墊圈套筒以及不遮蔽該氣流通道之方式設置。
4. 如申請專利範圍第3項所述之快拆式氣閥，其中該墊圈套筒之外壁上凸設有一凸環，該凸環之外徑大於該本體之內徑。
5. 如申請專利範圍第2項所述之快拆式氣閥，其中該彈性臂具有一彎折部，朝向該基座之內部凹設。
6. 如申請專利範圍第2項所述之快拆式氣閥，其中當該快拆件與該底板處於一扣合狀態時，該快拆件用以固定該墊圈套筒，該墊圈套筒之另一側抵接於該蓋板之一第二開口處，該氣體係通過該第一開口、該氣流通道與該第二開口進入或離開該基板容器。
7. 如申請專利範圍第6項所述之快拆式氣閥，其中該蓋板具有一套接壁，圍繞於該第二開口設置，該墊圈套筒係以可滑動之方式套接或脫離該套接壁。
8. 如申請專利範圍第1項所述之快拆式氣閥，其中更包括一單向閥體，設置於該氣流通道中，用以限制該氣體之流動方向。
9. 一種基板容器，包括：一基座，包括一底板及一蓋板，該底板具有一開口；一快拆件，以可拆卸之方式扣合於該開口中，用以避免設置於該底板及該蓋板間之一物件自該基座脫出；以及一上蓋，用以與該基座對接，以於兩者間形成一密封狀態。
10. 如申請專利範圍第9項所述之基板容器，其中該快拆件包括一本體及一彈性臂，該底板對應於該開口處具有一凸緣及一卡槽，該凸緣用以卡固該本體於該開口中之位置，該卡槽供該彈性臂卡扣，藉以將該快拆件扣合至該底板。

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