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TWI865389B - 光罩緊迫裝置及其應用之光罩盒 - Google Patents

光罩緊迫裝置及其應用之光罩盒 Download PDF

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TWI865389B
TWI865389B TW113114561A TW113114561A TWI865389B TW I865389 B TWI865389 B TW I865389B TW 113114561 A TW113114561 A TW 113114561A TW 113114561 A TW113114561 A TW 113114561A TW I865389 B TWI865389 B TW I865389B
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TW113114561A
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TW202522120A (zh
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邱銘乾
潘詠晉
褚育辰
黃啟專
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家登精密工業股份有限公司
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Priority to KR1020240071560A priority patent/KR20250081690A/ko
Priority to JP2024091965A priority patent/JP7777187B2/ja
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
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    • H10P72/1902—
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Abstract

一種光罩緊迫裝置應用於光罩盒。光罩盒用以容置光罩。光罩緊迫裝置包含光罩壓板、緊迫器以及調整元件。緊迫器配置於光罩壓板。緊迫器包含推抵部。推抵部依據緊迫器朝向光罩壓板之移動幅度而相應推抵光罩壓板，使光罩壓板相對於緊迫器側向移動。調整元件設置於經緊迫器至光罩壓板中。調整元件用以調整緊迫器之移動幅度，使推抵部朝向光罩壓板推抵直至固定光罩，或調整緊迫器之推抵部遠離光罩並解除推抵力。

Description

光罩緊迫裝置及其應用之光罩盒
本揭露是有關於一種光罩緊迫裝置及其應用之光罩盒。
在半導體產業中，光罩在製程上扮演非常重要的角色。無論是傳統的黃光微影或蝕刻等技術，甚至到近年來的極紫外光刻(Extreme ultraviolet lithography,EUVL)製程，皆無法脫離光罩的使用。
在眾多半導體的直接或間接相關產業中，涉及光電相關的產業亦屬於相當重要的一塊。在製作大尺寸的面板時，其製程上所運用到的光罩尺寸亦隨著面板的尺寸改變。
然而，在光罩盒中承載大尺寸光罩的狀況下，伴隨的慣性運動也會越發嚴重。大尺寸光罩在搬運或傳送的過程中，也更容易因為運送精度不足的問題，更容易產生搖晃、撞擊甚至造成整個光罩容器發生傾倒，從而進一步導致大尺寸光罩的損壞。不僅如此，目前市場上 的大尺寸光罩盒對光罩的夾持方式會有鬆脫問題，因此會導致大尺寸光罩在運送過程中會在光罩盒內亂跳，進而產生會對光罩造成污染的微粒。再者，在光罩盒中使用的現有光罩緊迫裝置所包含的元件彼此獨立，因此在組裝與拆卸時需要使用者兩手並用(例如一手握穩裝置，另一手將螺絲經裝置鎖附於光罩盒上)，操作困難且不穩定。
因此，如何提出一種可解決上述問題的光罩緊迫裝置及光罩盒，是目前業界亟欲投入研發資源解決的問題之一。
有鑑於此，本揭露之一目的在於提出一種可有解決上述問題的光罩緊迫裝置及其應用之光罩盒。
為了達到上述目的，依據本揭露之一實施方式，一種光罩緊迫裝置應用於光罩盒。光罩盒用以容置光罩。光罩緊迫裝置包含光罩壓板、緊迫器以及調整元件。緊迫器配置於光罩壓板。緊迫器包含推抵部。推抵部依據緊迫器朝向光罩壓板之移動幅度而相應推抵光罩壓板，使光罩壓板相對於緊迫器側向移動。調整元件設置於經緊迫器至光罩壓板中。調整元件用以調整緊迫器之移動幅度，使推抵部朝向光罩壓板推抵直至固定光罩，或調整緊迫器之推抵部遠離光罩並解除推抵力。
於本揭露的一或多個實施方式中，推抵部包括彈 性部與耦接彈性部之傾斜面。緊迫器會依據調整元件之調整，使光罩壓板沿著傾斜面的傾斜角度被推抵朝向光罩或是遠離光罩，同時彈性部會隨著傾斜面的推抵力而彈性形變。
於本揭露的一或多個實施方式中，緊迫器沿著第一軸向朝向光罩壓板移動，使推抵部推抵光罩壓板沿著第二軸向相對於緊迫器側向移動。推抵部相對於第一軸向與第二軸向傾斜。
於本揭露的一或多個實施方式中，緊迫器進一步包含本體部。本體部耦接推抵部，並提供調整元件設置。推抵部包含彈性部。彈性部會隨著本體部的側向移動而彈性形變。
於本揭露的一或多個實施方式中，調整元件可轉動地耦接緊迫器。
於本揭露的一或多個實施方式中，緊迫器具有通孔。通孔具有相連通的擴孔部以及縮孔部。擴孔部的孔徑大於縮孔部的孔徑。調整元件置入擴孔部中，並朝向縮孔部耦接定位。
於本揭露的一或多個實施方式中，縮孔部內具有凸緣，用以耦接定位調整元件之環形卡合槽。
於本揭露的一或多個實施方式中，調整元件包含頭部、鎖固部以及柱體。頭部配置以抵靠緊迫器，並遠離光罩壓板的一側。鎖固部用以鎖固光罩盒，依據鎖固部的鎖固程度以調整緊迫器相對光罩壓板的移動幅度。 柱體的一端耦接頭部，另一端耦接鎖固部。柱體係設置於經緊迫器至光罩壓板中。
於本揭露的一或多個實施方式中，光罩壓板、緊迫器與調整元件耦接在一起。調整元件包含鎖固部。鎖固部用以鎖固光罩盒。在鎖固部自光罩盒上解鎖時，光罩壓板、緊迫器與調整元件可自光罩盒一併卸除。
於本揭露的一或多個實施方式中，光罩壓板具有安裝孔。安裝孔的兩側具有第一限位部。緊迫器包含安裝部。安裝部的兩側具有第二限位部。第二限位部對應配置第一限位部以彼此限位。
為了達到上述目的，依據本揭露之一實施方式，一種光罩盒包含盒體以及光罩緊迫裝置。盒體包含牆部。牆部的內側環設有多個平台部。每一平台部具有鎖固孔。光罩緊迫裝置配置於盒體內。盒體具有容置光罩的容置空間。光罩緊迫裝置包含光罩壓板、緊迫器以及調整元件。光罩壓板配置於平台部中之一者。緊迫器配置於光罩壓板。該緊迫器包含推抵部。推抵部依據緊迫器朝向光罩壓板之移動幅度而相應推抵光罩壓板，使光罩壓板相對於緊迫器側向移動。調整元件設置於經緊迫器至光罩壓板中。調整元件具有鎖固部。鎖固部用以鎖固於鎖固孔，依據鎖固部的鎖固程度以調整緊迫器對光罩壓板之移動幅度。
綜上所述，於本揭露的光罩緊迫裝置中，當調整元件朝向光罩壓板調整(鎖緊)時，隨著一起朝向光罩 壓板移動的緊迫器係以其傾斜面部推動光罩壓板側向移動，從而可達到使光罩壓板側向夾緊光罩的目的。在調整元件耦接於緊迫器的縮孔部的實施方式中，當調整元件旋轉時，光罩壓板會對緊迫器限位，使得緊迫器不會隨著調整元件一起轉動。在緊迫器具有用以卡合於光罩壓板的卡合部的實施方式中，配合調整元件與緊迫器的縮孔部之間的耦接關係，光罩壓板即可在調整元件由光罩盒的鎖固孔完整鬆脫後連同緊迫器一起隨著調整元件往上移動，從而可使光罩緊迫裝置整體自光罩盒上卸除(亦即可增加操作便利性)。
以上所述僅係用以闡述本揭露所欲解決的問題、解決問題的技術手段、及其產生的功效等等，本揭露之具體細節將在下文的實施方式及相關圖式中詳細介紹。
10:光罩盒
100:盒體
110:牆部
111:平台部
111a:鎖固孔
111b,211b:導引結構
200:光罩緊迫裝置
210:光罩壓板
211:安裝孔
211a:第一限位部
220:緊迫器
221:本體部
221a:通孔
221a1:擴孔部
221a2:縮孔部
221a3:凸緣
222:推抵部
222a:傾斜面
222b:彈性部
223:安裝部
223a:第二限位部
224:卡合部
230:調整元件
231:柱體
231a:環形卡合槽
232:鎖固部
233:頭部
900:光罩
A1:第一軸向
A2:第二軸向
為讓本揭露之上述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖式之說明如下：
第1圖為繪示根據本揭露一實施方式的光罩緊迫裝置的立體組合圖。
第2圖為繪示第1圖中之光罩緊迫裝置的立體分解圖。
第3圖為繪示第1圖中之調整元件的立體圖。
第4圖為繪示第1圖中之緊迫器與調整元件的剖面圖。
第5圖為繪示第1圖中之緊迫器的立體圖。
第6圖為繪示根據本揭露一實施方式的光罩盒的立體圖。
第7圖為繪示第6圖中之盒體與光罩緊迫裝置的局部放大的立體分解圖。
第8圖為繪示第7圖中之盒體與光罩緊迫裝置的局部放大的立體組合圖。
第9圖為繪示第7圖中之盒體與光罩緊迫裝置的局部放大的另一立體組合圖。
第10圖為繪示第7圖中之盒體與光罩緊迫裝置的局部剖面圖。
以下將以圖式揭露本揭露之複數個實施方式，為明確說明起見，許多實務上的細節將在以下敘述中一併說明。然而，應瞭解到，這些實務上的細節不應用以限制本揭露。也就是說，在本揭露部分實施方式中，這些實務上的細節是非必要的。此外，為簡化圖式起見，一些習知慣用的結構與元件在圖式中將以簡單示意的方式繪示之。
請參照第1圖以及第2圖。第1圖為繪示根據本揭露一實施方式的光罩緊迫裝置200的立體組合圖。第2圖為繪示第1圖中之光罩緊迫裝置200的立體分解圖。如第1圖與第2圖所示，於本實施方式中，光罩緊迫裝 置200包含光罩壓板210、緊迫器220以及調整元件230。緊迫器220包含推抵部222。推抵部222配置以依據緊迫器220朝向光罩壓板210之移動幅度而相應推抵光罩壓板210，使光罩壓板210相對於緊迫器220側向移動。調整元件230設置於經緊迫器220至光罩壓板210中，並配置以調整緊迫器220之移動幅度，使推抵部222朝向光罩壓板210推抵直至固定光罩900(可先見第9圖)，或調整緊迫器220之推抵部222遠離光罩900並解除推抵力(可先見第8圖)。
舉例來說，如第2圖所示，調整元件230配置以將緊迫器220沿著第一軸向A1朝向光罩壓板210移動，使推抵部222推抵光罩壓板210沿著第二軸向A2相對於緊迫器220側向移動。具體來說，緊迫器220還包含本體部221。本體部221係提供調整元件230設置。推抵部222耦接本體部221。推抵部222包含彈性部222b以及耦接彈性部222b的傾斜面222a。傾斜面222a位於彈性部222b上，並位於彈性部222b遠離本體部221的一側。傾斜面222a相對於第一軸向A1與第二軸向A2傾斜。緊迫器220會依據調整元件230之調整，使光罩壓板210沿著傾斜面222a的傾斜角度被推抵朝向光罩900或是遠離光罩900，同時彈性部222b會隨著傾斜面222a的推抵力而彈性形變。由此可知，彈性部222b會隨著本體部221的側向移動而彈性形變。藉由可彈性變形的推抵部222，緊迫器220 可同時達到以本體部221抵靠光罩壓板210且以推抵部222側向推抵光罩壓板210的目的。
於一些實施方式中，傾斜面222a為相對於第一軸向A1與第二軸向A2傾斜的斜面，但本揭露並不以此為限。於實際應用中，傾斜面222a可為弧面。
於一些實施方式中，第一軸向A1與第二軸向A2相互垂直，但本揭露並不以此為限。
於一些實施方式中，調整元件230可轉動地耦接緊迫器220。舉例來說，請參照第3圖，其為繪示第1圖中之調整元件230的立體圖。如第2圖與第3圖所示，於本實施方式中，緊迫器220具有通孔221a。通孔221a具有相連的擴孔部221a1以及縮孔部221a2。擴孔部221a1的孔徑大於縮孔部221a2的孔徑。舉例來說，具有擴孔部221a1與縮孔部221a2的通孔221a的輪廓類似於葫蘆。調整元件230配置以置入擴孔部221a1中，並朝向縮孔部221a2耦接定位。
具體來說，調整元件230包含柱體231以及頭部233。頭部233配置以抵靠緊迫器220，並遠離光罩壓板210的一側。柱體231的一端耦接頭部233。柱體231係設置於經緊迫器220至光罩壓板210中。通孔221a的尺寸不適於供頭部233通過。舉例來說，擴孔部221a1為圓孔的一部分(但不以此為限)，且其孔徑等於或大於柱體231的外徑，因此擴孔部221a1可供柱體231穿過。
請參照第4圖，其為繪示第1圖中之緊迫器220與調整元件230的剖面圖。如第3圖與第4圖所示，於本實施方式中，調整元件230配置以可轉動地耦接於通孔221a的縮孔部221a2。具體來說，縮孔部221a2內具有凸緣221a3。另外，調整元件230的柱體231具有環形卡合槽231a。凸緣221a3用以耦接定位環形卡合槽231a。舉例來說，縮孔部221a2為圓孔的一部分，且其孔徑等於或大於環形卡合槽231a的外徑且小於柱體231的外徑，因此凸緣221a3可轉動地卡合於環形卡合槽231a。
於一些實施方式中，縮孔部221a2的輪廓略大於半圓，且原本位於擴孔部221a1的柱體231可以環形卡合槽231a藉由擠壓而進入縮孔部221a2。因此，在凸緣221a3可轉動地卡合於環形卡合槽231a的情況下，調整元件230即可相對於緊迫器220自轉。藉此，在調整元件230旋轉時，緊迫器220不會隨著調整元件230一起轉動。
請參照第5圖，其為繪示第1圖中之緊迫器220的立體圖。如第2圖與第5圖所示，於本實施方式中，光罩壓板210具有安裝孔211。緊迫器220穿過安裝孔211，並配置以沿著安裝孔211滑動。其中，推抵部222上的傾斜面222a係推抵安裝孔211的內緣，以使光罩壓板210相對於緊迫器220側向移動。具體來說，安裝孔211例如沿著第二軸向A2延伸，且安裝孔211 的兩側具有相對的兩第一限位部211a。緊迫器220進一步包含安裝部223。緊迫器220的本體部221配置以抵靠光罩壓板210的一側(如光罩壓板210於第2圖中的頂側)。安裝部223連接本體部221，並穿過安裝孔211。安裝部223的兩側具有相對的兩第二限位部223a。兩第二限位部223a配置以分別抵靠兩第一限位部211a。藉此，在緊迫器220穿過安裝孔211且沿著安裝孔211滑動期間，安裝孔211的兩第一限位部211a會對安裝部223的兩第二限位部223a進行限位，以防止緊迫器220繞著第一軸向A1相對於光罩壓板210轉動。由此可知，在調整元件230旋轉時，被光罩壓板210限制轉動的緊迫器220即不會隨著調整元件230一起轉動。
進一步來說，如第2圖與第5圖所示，於本實施方式中，緊迫器220進一步包含兩卡合部224。兩卡合部224分別連接安裝部223的兩第二限位部223a，並相對於安裝部223反向凸出。兩卡合部224配置以卡合於光罩壓板210的另一側(如光罩壓板210於第2圖中的底側，並可先參照第10圖)，致使光罩壓板210限位於緊迫器220的本體部221與兩卡合部224之間。於實際組裝時，可使緊迫器220以安裝部223穿過光罩壓板210的安裝孔211。在安裝部223穿過安裝孔211期間，安裝孔211的兩第一限位部211a會與兩卡合部224相互擠壓。待擠壓通過安裝孔211之後，兩 卡合部224即可卡合於光罩壓板210的另一側。
根據前述結構配置，除了調整元件230與緊迫器220的縮孔部221a2之間的耦接關係之外，再配合緊迫器220的卡合部224與光罩壓板210之間的卡合關係，光罩壓板210即可連同緊迫器220一起隨著調整元件230移動，因此可增加光罩緊迫裝置200的操作便利性。
如第5圖所示，於本實施方式中，卡合部224呈卡勾狀，但本揭露並不以此為限。
請參照第6圖，其為繪示根據本揭露一實施方式的光罩盒10的立體圖。如第6圖所示，於本實施方式中，光罩盒10包含盒體100以及複數個光罩緊迫裝置200。盒體100包含牆部110。牆部110環繞形成容置空間。牆部110的內側環設有複數個平台部111。光罩緊迫裝置200配置以組裝於平台部111上。
請參照第7圖、第8圖以及第9圖。第7圖為繪示第6圖中之盒體100與光罩緊迫裝置200的局部放大的立體分解圖。第8圖為繪示第7圖中之盒體100與光罩緊迫裝置200的局部放大的立體組合圖。第9圖為繪示第7圖中之盒體100與光罩緊迫裝置200的局部放大的另一立體組合圖。組裝人員可依照第7圖至第9圖的順序將光罩緊迫裝置200安裝於盒體100上，並以光罩緊迫裝置200固持位於牆部110的容置空間內的光罩900。
如第7圖所示，於本實施方式中，牆部110的每一平台部111具有鎖固孔111a。如前所述，藉由調整元件230與緊迫器220的縮孔部221a2之間的耦接關係以及緊迫器220的卡合部224與光罩壓板210之間的卡合關係，組裝人員可以僅藉由抓持調整元件230即可將光罩緊迫裝置200整體移動至平台部111上方。
如第8圖所示，並配合參照第3圖，於本實施方式中，調整元件230進一步包含鎖固部232。鎖固部232設置於柱體231遠離頭部233的一端。鎖固部232位於光罩壓板210遠離緊迫器220的一側。抓持調整元件230的組裝人員可將光罩緊迫裝置200整體朝向平台部111移動而使鎖固部232接觸鎖固孔111a，以使光罩緊迫裝置200與平台部111初步對位。依據鎖固部232的鎖固程度，可調整緊迫器220相對光罩壓板210的移動幅度。
如第9圖所示，於本實施方式中，調整元件230的鎖固部232配置以沿著第一軸向A1鎖固至鎖固孔111a。組裝人員可藉由轉動調整元件230的頭部233而使鎖固部232向下鎖固至鎖固孔111a。在鎖固部232完整鎖固至鎖固孔111a期間，調整元件230的頭部233係將緊迫器220沿著第一軸向A1朝向光罩壓板210推抵，致使推抵部222的傾斜面222a推抵光罩壓板210，使得光罩壓板210沿著第二軸向A2相對 於緊迫器220側向移動而遠離牆部110且固持光罩900。當鎖固部232完整鎖固至鎖固孔111a時，緊迫器220的本體部221與光罩壓板210會夾持於平台部111與調整元件230的頭部233之間。
當組裝人員欲拆卸光罩緊迫裝置200以釋放光罩900時，可反向地依序進行由第9圖進展至第7圖的程序，在此恕不贅述。如前所述，光罩壓板210、緊迫器220與調整元件230耦接在一起。在鎖固部232自光罩盒10上解鎖時，光罩壓板210、緊迫器220與調整元件230可自光罩盒10一併卸除。
請參照第10圖，其為繪示第7圖中之盒體100與光罩緊迫裝置200的局部剖面圖。如第10圖所示，於本實施方式中，平台部111進一步具有導引結構111b。導引結構111b配置以導引光罩壓板210沿著第二軸向A2移動。具體來說，平台部111的導引結構111b為凸塊。凸塊沿著第二軸向A2延伸。另外，光罩壓板210的底部亦對應地具有導引結構211b。光罩壓板210的導引結構211b為兩凸肋。兩凸肋沿著第二軸向A2延伸。凸塊可滑動地耦接於兩凸肋之間，藉以導引光罩壓板210沿著第二軸向A2相對於平台部111移動。
於一些實施方式中，平台部111的導引結構111b與光罩壓板210的導引結構211b可相互對調，同樣可達到相互導引的功效。
由以上對於本揭露之具體實施方式之詳述，可以明顯地看出，於本揭露的光罩緊迫裝置中，當調整元件朝向光罩壓板調整(鎖緊)時，隨著一起朝向光罩壓板移動的緊迫器係以其傾斜部推動光罩壓板側向移動，從而可達到使光罩壓板側向夾緊光罩的目的。在調整元件耦接於緊迫器的縮孔部的實施方式中，當調整元件旋轉時，光罩壓板會對緊迫器限位，使得緊迫器不會隨著調整元件一起轉動。在緊迫器具有用以卡合於光罩壓板的卡合部的實施方式中，配合調整元件與緊迫器的縮孔部之間的耦接關係，光罩壓板即可在調整元件由光罩盒的鎖固孔完整鬆脫後連同緊迫器一起隨著調整元件往上移動，從而可使光罩緊迫裝置整體自光罩盒上卸除(亦即可增加操作便利性)。
雖然本揭露已以實施方式揭露如上，然其並不用以限定本揭露，任何熟習此技藝者，在不脫離本揭露的精神和範圍內，當可作各種的更動與潤飾，因此本揭露的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。
200:光罩緊迫裝置
210:光罩壓板
211:安裝孔
211a:第一限位部
220:緊迫器
221:本體部
221a:通孔
221a1:擴孔部
221a2:縮孔部
222:推抵部
222a:傾斜面
222b:彈性部
223:安裝部
224:卡合部
230:調整元件
231:柱體
232:鎖固部
233:頭部
A1:第一軸向
A2:第二軸向

Claims (11)

  1. 一種光罩緊迫裝置，應用於一光罩盒，該光罩盒用以容置一光罩，該光罩緊迫裝置包含：一光罩壓板；一緊迫器，配置於該光罩壓板，該緊迫器包含一推抵部，該推抵部依據該緊迫器朝向該光罩壓板之移動幅度而相應推抵該光罩壓板，使該光罩壓板相對於該緊迫器側向移動；以及一調整元件，設置於經該緊迫器至該光罩壓板中，該調整元件用以調整該緊迫器之移動幅度，使該推抵部朝向該光罩壓板推抵直至固定該光罩，或調整該緊迫器之該推抵部遠離該光罩並解除推抵力。
  2. 如請求項1所述之光罩緊迫裝置，其中該推抵部包括一彈性部與耦接該彈性部之一傾斜面，該緊迫器會依據該調整元件之調整，使該光罩壓板沿著該傾斜面的傾斜角度被推抵朝向該光罩或是遠離該光罩，同時該彈性部會隨著該傾斜面的推抵力而彈性形變。
  3. 如請求項1所述之光罩緊迫裝置，其中該緊迫器沿著一第一軸向朝向該光罩壓板移動，使該推抵部推抵該光罩壓板沿著一第二軸向相對於該緊迫器側向移動，且該推抵部相對於該第一軸向與該第二軸向傾斜。
  4. 如請求項1所述之光罩緊迫裝置，其中該緊迫器進一步包含一本體部，該本體部耦接該推抵部，並提供該調整元件設置，其中該推抵部包含一彈性部，該彈性部會隨著該本體部的側向移動而彈性形變。
  5. 如請求項1所述之光罩緊迫裝置，其中該調整元件可轉動地耦接該緊迫器。
  6. 如請求項1所述之光罩緊迫裝置，其中該緊迫器具有一通孔，該通孔具有相連通的一擴孔部以及一縮孔部，該擴孔部的孔徑大於該縮孔部的孔徑，該調整元件置入該擴孔部中，並朝向該縮孔部耦接定位。
  7. 如請求項6所述之光罩緊迫裝置，其中該縮孔部內具有一凸緣，用以耦接定位該調整元件之一環形卡合槽。
  8. 如請求項1所述之光罩緊迫裝置，其中該調整元件包含：一頭部，配置以抵靠該緊迫器，並遠離該光罩壓板的一側；一鎖固部，用以鎖固該光罩盒，依據該鎖固部的鎖固程度以調整該緊迫器相對該光罩壓板的移動幅度；以及 一柱體，其一端耦接該頭部，另一端耦接該鎖固部，該柱體係設置於經該緊迫器至該光罩壓板中。
  9. 如請求項1所述之光罩緊迫裝置，其中該光罩壓板、該緊迫器與該調整元件耦接在一起，該調整元件包含一鎖固部，該鎖固部用以鎖固該光罩盒，在該鎖固部自該光罩盒上解鎖時，該光罩壓板、該緊迫器與該調整元件可自該光罩盒一併卸除。
  10. 如請求項1所述之光罩緊迫裝置，其中：該光罩壓板具有一安裝孔，該安裝孔的兩側具有第一限位部；以及該緊迫器包含一安裝部，該安裝部的兩側具有第二限位部，該第二限位部對應配置該第一限位部以彼此限位。
  11. 一種光罩盒，包含：一盒體，包含一牆部，該牆部的內側環設有多個平台部，每一該些平台部具有一鎖固孔；以及一光罩緊迫裝置，配置於該盒體內，該盒體具有容置一光罩的容置空間，該光罩緊迫裝置包含：一光罩壓板，配置於該些平台部中之一者；一緊迫器，配置於該光罩壓板，該緊迫器包含一推抵部，該推抵部依據該緊迫器朝向該光罩壓板之 移動幅度而相應推抵該光罩壓板，使該光罩壓板相對於該緊迫器側向移動；以及一調整元件，設置於經該緊迫器至該光罩壓板中，該調整元件具有一鎖固部，該鎖固部用以鎖固於該鎖固孔，依據該鎖固部的鎖固程度以調整該緊迫器對該光罩壓板之移動幅度。
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