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TWI512199B - 真空排氣裝置之連結構造及真空排氣系統 - Google Patents

真空排氣裝置之連結構造及真空排氣系統 Download PDF

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TWI512199B
TWI512199B TW100141988A TW100141988A TWI512199B TW I512199 B TWI512199 B TW I512199B TW 100141988 A TW100141988 A TW 100141988A TW 100141988 A TW100141988 A TW 100141988A TW I512199 B TWI512199 B TW I512199B
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TW
Taiwan
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vacuum
exhaust
end surface
outer casing
intake
Prior art date
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TW100141988A
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English (en)
Other versions
TW201233906A (en
Inventor
Toshio Suzuki
Tomonari Tanaka
Kouji Shibayama
Masatomo Okamoto
Original Assignee
Ulvac Inc
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Publication date
Application filed by Ulvac Inc filed Critical Ulvac Inc
Publication of TW201233906A publication Critical patent/TW201233906A/zh
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Description

真空排氣裝置之連結構造及真空排氣系統
本發明係有關於一種連結對真空室(chamber)等排氣對象機器進行減壓排氣之複數個真空排氣裝置之真空排氣裝置之連結構造，以及具備此連結構造之真空排氣系統(system)。
本申請案係依據2010年11月17日於日本提出申請之特願2010-357141號主張優先權，並在此引用該內容。
用以對真空室等排氣對象機器進行減壓排氣所使用之真空排氣裝置(真空幫浦(pump))，一般而言係進行因應用途氣體流通性地串聯連接複數個不同之真空排氣裝置而達成目的之性能。例如，採用機器增壓幫浦(mechanical booster pump)作為將排氣對象機器排氣至運作壓力並維持該壓力之主幫浦，並採用油旋轉幫浦以及乾式(dry)幫浦作為用以使真空系統自大氣壓排氣至主幫浦可運作壓力之粗略幫浦(rough pump)。藉由組合使用此等真空幫浦，而建構達成目的性能之真空排氣系統。真空幫浦之組合係不限於此且多樣化，亦有組合三台以上真空幫浦之情形。
如此之組合複數個真空幫浦之情形，通常係將各個真空幫浦設置於適當位置之情形下藉由連接配管等連接。例如一般而言係為將各個幫浦固定於預定之框架(frame)(設置台)，並藉由連接配管等連接主幫浦的排氣口及粗略幫浦的吸氣口等的連接構造。
例如於下述非專利文獻1中，係顯示藉由配管連接上幫浦的排氣口及下幫浦的吸氣口之真空排氣系統。再者，下述非專利文獻2係顯示於框架上及框架內設置真空幫浦，並以配管連接上下真空幫浦的排氣口及吸氣口之真空排氣系統。
再者，藉由如上述方法所連接之真空幫浦係大多採用劃分形成於單一外殼內之空間，藉由作成為複數個幫浦室而成為多段構造之多段魯式(Roots)真空幫浦。一般而言，於多段魯式真空幫浦中，各段幫浦室係以串聯方式連接。
(先前技術文獻)
(專利文獻)
專利文獻1：日本國特開2002-364569號公報
(非專利文獻)
非專利文獻1：「EDWARDS真空製品綜合型錄Revision3」，EDWARDS股份有限公司，P54
非專利文獻2：「真空技術與次世代概念之ULVAC：油旋轉幫浦排氣裝置YM-VD/YM-VS系列(series)(1580L/min~20000L/min)」，[online]，ULVAC股份有限公司，[2010年4月16日搜尋]，網址<URL：http：//www.ulvac.co.jp/products/compo/F020006.html>
然而，如上述之以往的真空排氣系統中，各個真空幫浦係除了排氣口及吸氣口之連接規格等一部份規格以外， 一般而言係分別個別地設計製造。於進行設置如此之真空幫浦之情形時，為了有效地使用有限之設置空間(space)，係要求儘可能縮小用以設置真空排氣系統之設置面積。再者，就用於設置之框架而言，係要求使用儘可能單純化並具有耐久性之框架。再者，為了使壓力損失抑制至最低限度，連接幫浦彼此之配管係要求連接成較短、較粗且不彎曲。
然而，主要由於成本(cost)問題，而難以同時符合此等要求。例如，若考慮成本，為了使框架對應於各種形狀之真空幫浦，必須做成為具有裕度之尺寸。再者，即便可將真空幫浦設計成小型，亦因設置面積依存框架而變大等，而無法有效地使用有限之設置空間。
本發明係為考慮上述之情事而研發者，其目的在於提供一種可實現省空間、低成本之真空排氣裝置。
為了達成上述目的，本發明係提供以下手段。
本發明之一態樣之真空排氣裝置之連結構造係為分別具備幫浦室、以及劃分前述幫浦室之外殼(casing)之真空排氣裝置之連結構造。
前述各真空排氣裝置係分別具備有連接於前述各外殼之馬達。
前述連結構造係具備形成於前述外殼之第一側之第一端面、以及形成於前述外殼之與前述第一側為相反側之第二側之第二端面。
以使設置於複數個真空排氣裝置中之第一真空排氣裝置之前述第二端面與設置於前述第二真空排氣裝置之第一端面相接之方式，將前述第一真空排氣裝置的前述外殼以及前述第二真空排氣裝置的前述外殼配置成直接重疊。
藉由將前述第一端面與前述第二端面予以固接，而將前述第一真空排氣裝置以及前述第二真空排氣裝置彼此連結成可使氣體流通於前述第一真空排氣裝置的前述外殼與前述第二真空排氣裝置的前述外殼之間。
前述複數個真空排氣裝置亦可具備吸氣部以及排氣部。
前述吸氣部係具有與前述幫浦室連通之至少一個吸氣口及吸氣部端面，並形成於前述外殼的前述第一側。
前述排氣部係具有與前述幫浦室連通之至少一個排氣口及排氣部端面，並形成於前述外殼的前述第二側。
以使前述吸氣部的前述吸氣部端面與前述排氣部的前述排氣部端面相連接並重疊之方式，將前述第一真空排氣裝置的前述外殼以及前述第二真空排氣裝置的前述外殼彼此配置成直接重疊。
藉由前述第一端面以及第二端面之固接，前述吸氣部端面與前述排氣部端面係直接連接，且前述吸氣口與前述排氣口係連通。
前述連結構造亦可復具備複數個台座部以及複數個腳部。
前述複數個台座部係分別包含前述第一端面，並形成 於前述外殼之前述第一側。
前述複數個腳部係分別包含前述第二端面，並形成於前述外殼之前述第二側。
前述複數個台座部與前述吸氣部亦可獨立地形成於前述外殼。再者，前述複數個腳部與前述排氣部亦可獨立地形成於前述外殼。
前述吸氣部的前述吸氣部端面與前述複數個台座部亦可形成於同一平面上。再者，前述排氣部的前述排氣部端面與前述複數個腳部亦可形成於同一平面上。
前述連結構造亦可復具備設置於前述吸氣部端面或前述排氣部端面且維持前述外殼內之氣密之密封構件。
前述連結構造亦可復具備設置於前述複數個台座部之前述第一端面或前述複數個腳部的前述第二端面且具有凹凸形狀之定位機構。
前述外殼亦可藉由可上下分割成二個之下側外殼與上側外殼所形成。
本發明之一態樣之真空排氣系統係為具備所連接之複數個真空排氣裝置之真空排氣系統，前述真空排氣裝置係分別具備幫浦室以及劃分前述幫浦室之外殼。
前述外殼係具有形成於前述外殼第一側之第一端面、以及形成於前述外殼之與前述第一側為相反側之第二側之第二端面。
以使設置於複數個真空排氣裝置中之第一真空排氣裝置之前述第二端面與設置於前述第二真空排氣裝置之前述 第一端面相接之方式，將前述第一真空排氣裝置的前述外殼以及前述第二真空排氣裝置的前述外殼係配置成直接重疊。
藉由將前述第一端面與前述第二端面予以固接，前述第一真空排氣裝置以及前述第二真空排氣裝置彼此係連結成可使氣體流通於前述第一真空排氣裝置的前述外殼以及前述第二真空排氣裝置的前述外殼之間。
前述真空排氣系統亦可復具備連接單元、以及至少設置於前述連接單元之冷卻機構。
前述連接單元(unit)係設置於前述複數個真空排氣裝置的各外殼之外部，且使前述複數個真空排氣裝置中之比連接於真空排氣對象機器之最前段的真空排氣裝置更後段之真空排氣裝置中之一個所具備之前述幫浦室、與前述複數個真空排氣裝置中最後段的真空排氣裝置的前述幫浦室連通。
前述複數個真空排氣裝置亦可具備吸氣部以及排氣部。
前述吸氣部係具有與前述幫浦室連通之至少一個吸氣口以及吸氣部端面，並形成於前述外殼之前述第一側。
前述排氣部係具有與前述幫浦室連通之至少一個排氣口以及排氣部端面，並形成於前述外殼之前述第二側。
以使前述吸氣部的前述吸氣部端面與前述排氣部的前述排氣部端面相接並重疊之方式，將前述第一真空排氣裝置的前述外殼以及前述第二真空排氣裝置的前述外殼彼此 直接重疊而配置。
藉由前述第一端面以及第二端面之固接，前述吸氣部端面與前述排氣部端面係直接連接，前述吸氣口與前述排氣口係相連通。
前述連接單元亦可包含吸氣側路徑形成構件、排氣側路徑形成構件以及配管構件。
前述吸氣側路徑形成構件係具有連通於前述第一真空排氣裝置的前述吸氣口之吸氣側路徑，並連接於前述第一真空排氣裝置的前述外殼。
排氣側路徑形成構件具有連通於前述第二真空排氣裝置的前述排氣口之排氣側路徑，並連接於前述第二真空排氣裝置的前述外殼。
前述配管構件具有連通於前述吸氣側路徑以及前述排氣側路徑之配管路徑，並連接至前述吸氣側路徑形成構件以及前述排氣側路徑形成構件。
前述冷卻機構亦可設置於前述排氣側路徑形成構件以及前述配管構件之至少其中一方。
前述複數個真空排氣裝置亦可以堆積之方式配置。於該情形下，前述排氣側路徑形成構件係配置於前述複數個真空排氣裝置中之屬於最下部之前述最後段真空排氣裝置之下部。
前述連接單元亦可使前述第一真空排氣裝置的前述幫浦室與前述第二真空排氣裝置的前述幫浦室連通。
前述複數個真空排氣裝置中至少一個真空排氣裝置係 為了於此至少一個真空排氣裝置的前述外殼內劃分複數個幫浦室，亦可具有形成於前述外殼內之間隔壁。前述冷卻機構亦可復設置於前述間隔壁。
依據本發明之態樣，由於不使用框架等即可使真空排氣裝置的外殼彼此直接連接，因此可提供一種能實現節省空間且低成本之真空排氣裝置。
再者，因真空排氣裝置之外殼彼此相連接，因此由複數個真空排氣裝置所構成之系統整體之剛性會提升，並且可使自真空排氣裝置所發出之熱分散。
 (第一實施形態)
以下，參照圖式詳細說明關於採用本發明第一實施形態之真空排氣裝置之連接構造之真空排氣系統10A。如第1圖所示，本實施形態的真空排氣系統10A係為使二個真空排氣裝置1A、1B連結之系統。此真空排氣系統10A係為藉由二個真空排氣裝置1A、1B將由連接於無圖示之真空室等排氣對象機器之真空排氣裝置1A的吸氣口所吸氣之氣體壓縮，並自真空排氣裝置1B之排氣口41B(參照第5圖)排氣之系統。
構成真空排氣系統10A之真空排氣裝置1A、1B係具有作為構成要素之大致相同外形之外殼。再者，對於真空排氣裝置1B(第二真空排氣裝置)，於符號E(參照第5圖)所示之平面係可直接堆疊真空排氣裝置1A(第二真空 排氣裝置)而配置。
再者，藉由對於真空排氣裝置1B將真空排氣裝置1A重疊配置成在上下方向(縱方向)堆積，而可不透過配管而直接連接上側真空排氣裝置1A的排氣口41A(參照第5圖)與下側真空排氣裝置1B的吸氣口31B。
以下，係詳細說明各個真空排氣裝置1A、1B。因真空排氣裝置1A與真空排氣裝置1B為大致相同之構成，因此說明關於真空排氣裝置1B。
如第2圖至第4圖所示，真空排氣裝置1B係為具有以下構件之魯式真空幫浦：由上側外殼25Ba與下側外殼25Bb所構成之外殼25B；二支旋轉軸81、81(參照第6圖)；分別收容於由外殼25B劃分之二個幫浦室21B、22B之繭型轉子(rotor)82a、82b；以及驅動旋轉軸81、81之馬達(motor)8。
轉子82a、82b係分別由一對轉子所構成，二個轉子係分別排列於旋轉軸81上，並收容於各幫浦室21B、22B。一對轉子係藉由於各自的轉子的旋轉軸81、81所設置之驅動齒輪(gear)85而互相朝相反方向同步旋轉。
外殼25B係劃分二個幫浦室21B、22B，並且形成真空排氣裝置1B之外形。再者，旋轉軸81、81係由軸承(bearing)83、84所支撐。
幫浦室21B與幫浦室22B係透過連接配管29直接連接於構成真空排氣裝置1B之外殼25B之內部。幫浦室21B係與形成於外殼25B之上部之吸氣口31B連通。幫浦室 22B係與形成於外殼25B之下部之排氣口41B連通。
接者，說明有關構成真空排氣裝置1B之外殼25B。外殼25B係為如下述之上下二等分割構造，於上部(第一側)形成具有吸氣口31B之吸氣部3，於下部(第二側)形成具有排氣口41B之排氣部4。再者，於外殼25B之上部(第一側)形成有四個台座部5，於下部(第二側)係形成有四個腳部6。
外殼25B係具有依存於幫浦室21B、22B形狀之橢圓圓筒形狀。吸氣部3、排氣部4、台座部5以及腳部6係與前述外殼25B一體成形。具體而言，此等係以藉由鑄造而一體成形者為佳。
真空排氣裝置1B係設置成使外殼25B的長邊方向(旋轉軸81之軸方向)為水平。並且，於以下之說明中，將包含二個旋轉軸81之平面稱為水平中心面(於第4圖中以D所示)。
外殼25B係二等分割為上側外殼25Ba與下側外殼25Bb。上側外殼25Ba與下側外殼25Bb係藉由螺栓/螺帽(bolt/nut)等固接構件而固接，並藉由組合上下外殼25Ba、25Bb而構成為可保持馬達8側之軸承箱(bearing case)86以及馬達相反側之軸承箱87。再者，藉由組合上下外殼25Ba、25Bb，即可使包含馬達相反側軸承84以及撈油板88之空間89密閉。並且，於本實施形態中，分割面係與前述水平中心面D大略一致。
吸氣部3係以朝上方向突出之方式，與外殼25B(上 側外殼25Ba)一體成形於外殼25B之上部。吸氣部3具有與前述水平中心面D平行之端面(吸氣部端面)3a，此端面3a係形成於外殼25B之長邊方向具有長邊之概略長方形形狀。
再者，於吸氣部3設置有吸氣口31B。吸氣口31B係於端面3a開口，並連通於幫浦室21B。並且，於吸氣部3之端面3a之約略內側，沿著端面3a外形之溝36。於溝36係嵌入有O環53(密封構件)。
排氣部4係以朝下方向突出之方式，與外殼25B(下側外殼25Bb)一體成形於外殼25B之下部，並與吸氣部3相同，具有與水平中心面平行之端面(排氣部端面)4a。於排氣部4係設置有排氣口41B。排氣口41B係於端面4a開口，並於幫浦室22B連通。
吸氣部3的端面3a與排氣部4之端面4a，於俯視時成為大致相同形狀。
台座部5係為外殼25B(上側外殼25Ba)之上部，且為於俯視時設置於最外部之四個位置之突起狀的台座。台座部5係具有朝真空排氣裝置1B之上方向突出之突起狀之形狀。四個台座部5之上端係分別形成面51(以下係稱為第一端面51)。四個第一端面51係於同一面上形成。
再者，台座部5的第一端面51與前述吸氣部3的端面3a係於同一面上形成。然而，台座部5係設置為與吸氣部3獨立。亦即，台座部5的第一端面51與吸氣部3的端面3a係隔開而形成。
腳部6係為外殼25B(下側外殼25Bb)之下部，且為於俯視時設置於最外部之四個位置之突起狀的腳。腳部6係具有朝真空排氣裝置1B之下方向突出之突起狀之形狀。再者，於俯視之位置係與前述台座部大致相同。四個腳部6之下端係分別形成面61(以下係稱為第二端面61)。四個第二端面61係於同一面上形成。
此外，腳部6的端面61與排氣部4的端面4a係於同一面上形成。然而，腳部6係設置為與排氣口4獨立。亦即，腳部6的端面61與排氣部4的端面4a係隔開而形成。
再者，台座部5與腳部6係形成為使側面為開口面之中空狀，於各自之端面51、61形成固接孔(定位孔)54、62。
再者，如第2、3圖所示，於台座部5設置有突起部52(定位機構)。對應於此，於腳部6形成有定位孔62(定位機構)。
並且，如第5圖所示，真空排氣裝置1A係除了幫浦室21A、22A之配置以外，為與真空排氣裝置1B大致相同之構成。
如第5圖所示，真空排氣系統10A係為於真空排氣裝置1B之上方直接重疊真空排氣裝置1A之系統。此時，真空排氣裝置1B的吸氣部3的端面3a與真空排氣裝置1A的排氣部4的端面4a係以抵接之方式重疊。再者，真空排氣裝置1A的排氣口41A與真空排氣裝置1B的吸氣口31B係於俯視時形成在大致相同位置。
依據上述實施形態，真空排氣裝置1A、1B係於符號E(參照第5圖)所示之平面可配置為在上下方向直接重疊，且以使真空排氣裝置1A的排氣口4的端面4a連接重疊於真空排氣裝置1B的吸氣部3的端面3a之方式，可於真空排氣裝置1B之正上方載置真空排氣裝置1A。藉此，可使真空排氣裝置1A的排氣口41A與真空排氣裝置1B的吸氣口31B氣體流通性地連通。
亦即，自真空排氣裝置1A的吸氣口31A流入之氣體係由幫浦室21A以及22A壓縮，並自排氣口41A排氣。接著，氣體係透過真空排氣裝置1B的吸氣口31B由幫浦室21B、22B壓縮，並自排氣口41B排氣。於壓縮時，氣體被封閉於外殼25與轉子82之間的空間，並藉由轉子82之旋轉而排出至排氣側。
藉此，無須設置連結真空排氣裝置1A、1B彼此之配管，且被連結之幫浦室間之距離會變短，因此可抑制壓力損失。
由於構成真空排氣裝置1A、1B之外殼25A、25B彼此連接，因此由複數個真空排氣裝置所構成之系統整體之剛性會提升，同時可使自真空排氣裝置1A、1B發出之熱分散。
再者，於外殼25中，藉由組合上下外殼25A、25B而保持軸承箱86、87，且形成馬達相反側之空間89(作為蓋罩(cover)之功能)之構成。藉此，可刪減零件數量，同時為了以外殼25整體保持軸承箱86、87而抑制於排氣運 轉時之真空排氣裝置1A、1B之變形。
再者，由於台座部5的第一端面51與腳部6的第二端面61係於俯視時形成於大致相同之位置，因此藉由在上下方向配置真空排氣裝置1A與真空排氣裝置1B，可使台座部5的第一端面51與腳部6的第二端面61連接重疊。於此狀態下，藉由螺栓/螺帽等固接構件91固接台座部5與腳部6，即可確實地固定真空排氣裝置1A與真空排氣裝置1B。
藉由將O環(ring)53等密封構件配置在形成於吸氣部3的端面3a之溝36，即可提升於吸氣部3與排氣部4連接時之氣密狀態。
並且，此溝36並非設置於吸氣部3側，亦可設置於排氣部4側(此時，係為真空排氣裝置1A的外殼25A的排氣部側)。
於連結真空排氣裝置1A、1B時，藉由使台座部5的突起部52與腳部6的定位孔62嵌合，即可容易地進行定位。突起部52以及定位孔62係以設置於所有的腳部6以及台座部5為佳，惟至少設置於二個位置即可。
並且，於外殼25內部劃分之幫浦室之數量可為一個亦可為三個以上，可依規格自由設定。
再者，真空排氣裝置係不僅限於如上述之魯式型真空幫浦，若為於外殼具備有吸氣口以及排氣口而做成同樣構造之真空幫浦，則不論何種真空幫浦皆可採用。
再者，於本實施形態中，台座部5與腳部6係設置有 四個，惟不限於此，若台座部5可確實地支撐腳部6則不論何種構成皆可。
此外，若台座部5可確實地支撐腳部6，則台座部5的第一端面51與吸氣部3的端面3a亦可不隔開形成而成為一體成形。同樣地，關於腳部6的第二端面61與排氣部4的端面4a亦可為一體成形。
(第二實施形態)
接著，係參照圖式詳細說明有關本發明的第二實施形態之真空排氣系統10B。如第7圖所示，真空排氣系統10B係為藉由三個真空排氣裝置1C、1D、1E將自連接於無圖示之真空室等排氣對象機器之吸氣口11吸氣之氣體壓縮，並自總排氣口12排氣之系統。
如第7圖、第8圖所示，構成真空排氣系統10B之真空排氣裝置1C、1D、1E係可直接重疊配置。具體而言，可使構成真空排氣裝置1C、1D、1E之外殼彼此直接連接。
如第8圖所示，三個真空排氣裝置1C至1E中，最前段之真空排氣裝置1C係為於外殼內具有單一之幫浦室21C之機器增壓幫浦。真空排氣裝置1C係與無圖示之真空室等排氣對象機器連接。
較最前段更後段之真空排氣裝置1D、1E係為多段魯式真空幫浦，分別具備複數個幫浦室。再者，真空排氣裝置1D、1E係對於複數個幫浦室具備有複數個吸氣口以及排氣口。亦即，構成本實施形態的真空排氣裝置1D(1E)之複數個幫浦室，並非以串聯方式連接該等所有幫浦室。
換言之，複數個幫浦室中至少二個幫浦室並未與形成於相同外殼之其他幫浦室連接。再者，此等幫浦室係分別個別地具有吸氣口以及排氣口兩者。
真空排氣裝置1D的幫浦室21D並未與相同真空排氣裝置1D的其他幫浦室22D、23D連接，且透過與幫浦室21D直接連通之排氣口41D來與真空排氣裝置1E的幫浦室21E連接。
再者，真空排氣裝置1D與真空排氣裝置1E係不使用配管等而是於符號J所示之平面直接連結。
再者，真空排氣系統10B係具備補助真空排氣裝置1彼此之連接的連接單元7(分歧管，manifold)。連接單元7係分割成吸氣側路徑形成構件(第一連接構件)71、作為排氣側路徑形成構件(第二連接構件)之底座單元72、配管構件73以及閥(valve)單元74(閥集合體)。藉由使此等構件與真空排氣裝置1C至1E組合，完成連接構成真空排氣裝置1C至1E之複數個幫浦室的連接配管，並作為真空排氣系統10B發揮功能。
吸氣側路徑形成構件71係配置為介置於真空排氣裝置1C與真空排氣裝置1D之間之塊(block)形狀之構件。於吸氣側路徑形成構件71形成有連接真空排氣裝置1C的幫浦室21C與真空排氣裝置1D的幫浦室21D之路徑75(參照第8圖)，同時形成連接配管構件73與真空排氣裝置1D的幫浦室22D、23D之吸氣側路徑(連接路徑)76(參照第9圖)。配管構件73係連結於吸氣側路徑形成構 件71之側部，形成配管構件73內之配管路徑78係與吸氣側路徑76連接。吸氣側路徑76係由第8圖之符號76a、76b所示之二個路徑所構成。
第12圖係為由上方觀看真空排氣裝置1E(亦可為1D)之斜視圖。第13圖係為由下方觀看真空排氣裝置1E之斜視圖。真空排氣裝置1E的外殼與上述相同為上下分割構造，且具備上側外殼25Ea、下側外殼25Eb。於上側外殼25Ea設置有吸氣部103(參照第12圖)，於下側外殼25Eb設置有排氣部104。於吸氣部103的端面103a係除了嵌入有O環53以外，亦塗覆有未圖示之密封墊料(gasket)。密封墊料係為用以遮斷相鄰接之吸氣口31E、32E、33E彼此之連通之密封構件。
於製造此真空排氣系統10B時，於將例如膏(paste)狀之密封墊料塗覆於吸氣部103的端面103a後，藉由使該外殼25E之端面103a與真空排氣裝置1D的外殼的排氣部的端面抵接，而將該等端面予以連接。就密封墊料之材料而言，係使用矽(silicon)系、氟系等耐腐蝕性之橡膠，惟不限於此等。
如此，藉由使用塗覆式之密封墊料般簡易之密封構件，即可減低成本，且可於狹窄之吸氣部103內確保儘可能具有較廣開口面積之吸氣口31E、32E、33E。使用如此之簡易密封構件，即使在相鄰接之吸氣口彼此有氣體洩漏(leak)之情形，若該洩漏之程度為相對於排氣速度足夠小之洩漏速度則沒有問題。
以上之說明係以於吸氣部103的端面103a塗覆密封墊料為例子說明，惟當然亦可塗覆於排氣部104的端面104a。
例如端面103a以及104a的平面度較高之情形時，若氣體之洩漏速度足夠小，則不需要此塗覆式之密封墊料。
底座單元72係以連結於真空排氣裝置1E之底面、亦即其下部之方式配置，並與構成真空排氣系統1E之幫浦室、配管構件73以及閥單元74連接。於底座單元72連接有真空排氣裝置1C的幫浦室與配管構件73，同時形成有連接真空排氣裝置1E的幫浦室與閥單元74之排氣側路徑(連接路徑)77(參照第9圖)。真空排氣裝置1E、配管構件73及閥單元74皆係連接在底座單元72之上表面，且成為底座單元72支撐真空排氣系統10B整體之構造。
排氣側路徑77係具有：連接於配管構件73的配管路徑78之二個路徑77a、77b(參照第8圖)；以及連接與真空排氣裝置1E的幫浦室24E連通之排氣口43E及閥單元74之路徑77c之三個路徑。
配管構件73係為配管形狀之構件，於其內部形成有連接真空排氣裝置1E的排氣口與真空排氣裝置1D的吸氣口之上述配管路徑78。配管路徑78係對應於與吸氣側路徑形成構件71的路徑76a、76b(參照第8圖)對應之二個路徑，依據沿著長邊方向之分割面而二等分割。
第10圖係為由底座單元72之上方觀看之剖面圖。第11圖係為第10圖所示之L-L線剖面圖。於底座單元72的區塊725之上表面形成有：連接於真空排氣裝置1E的外 殼之幫浦連接部721；連接於配管構件73之配管連接部722；以及連接於閥單元74之閥單元連接部723。在分別形成於此等幫浦連接部721、配管連接部722、閥單元連接部723之周圍的周狀溝係分別嵌入有O環等之密封構件721d、722d、723d。
於幫浦連接部721係以排列方式形成有三個連通口721a、721b、721c。此等三個連通口721a、721b、721c係分別與真空排氣裝置1E的排氣口41E、42E、43E連通。於配管連接部722形成有二個連通口722a、722b，此等連通口722a、722b係與配管構件73的配管路徑78連通。再者，在閥單元連接部723係以排列方式形成有三個連通口723a、723b、723c。
連通口721a、722a、723a皆係與排氣側通路77中之路徑77a連通。連通口721b、722b、723b皆係與排氣側路徑中之路徑77b連通。連通口721c、723c皆係與排氣側路徑中之路徑77c連通。此等之構成若亦參照第9圖則較容易理解。
閥單元74係具有作為真空排氣系統10B整體排氣口之總排氣口12。如第11圖的剖面圖所示，在閥單元74設置有複數個閥79(止回閥)。藉此，可由作為構成真空排氣裝置1E之幫浦室之與排氣口41E、42E、43E直接連接之幫浦室21E、22E、23E中任意的幫浦室排氣。
藉由設置閥單元74，即可防止因幫浦造成之過壓縮，並抑制因馬達8造成之動力傳達之損失。
複數個閥79係可為球(ball)狀亦可為可將壓力調整為個別值之調整閥。各閥79為可調整成個別壓力之調整閥時，係適當設定該壓力，而可擴大使用者(user)所使用之壓力範圍。
如此，底座單元72以及閥單元74係配置於最後段之真空排氣裝置1E之下部、亦即配置於真空排氣系統10B之最下部。藉此，可使真空排氣系統10B之重心儘可能配置於下方，且可提高由上下積層而成之多段真空排氣系統10B之配置穩定性。
接著，參照第8圖說明有關構成本實施形態之各真空排氣裝置之複數個幫浦室之構成，以及幫浦室之連接順序。
位於最上段之真空排氣裝置1C係為具有一個幫浦室21C之機器增壓幫浦，且幫浦室21C係具備吸氣口11、以及排氣口41C。
真空排氣裝置1D具有三個幫浦室21D、22D、23D。三個幫浦室21D、22D、23D係分別具有上述三個吸氣口31D、32D、33D以及三個排氣口41D、42D、43D。
真空排氣裝置1E具備有四個幫浦室21E、22E、23E、24E，並具備有三個吸氣口31E、32E、33E以及三個排氣口41E、42E、43E。真空排氣裝置1E的四個幫浦室中之二個幫浦室23E、24E係透過連接配管29於構成真空排氣裝置1E之外殼內部直接連接。
連接單元7係與吸氣側路徑形成構件7、底座單元72以及配管構件73共同作用，且構成為與真空排氣裝置1E 的排氣口41E以及真空排氣裝置1D的吸氣口32D連接。同樣地，連接單元7係構成為與真空排氣裝置1E的排氣口42E以及真空排氣裝置1D的吸氣口33D連接。
再者，連接單元7係構成為與真空排氣裝置1E的排氣口43E與閥單元74連接。
接著，參照第8圖說明實際氣體之流動。
首先，自吸氣口11流入至真空排氣裝置1C之氣體係由幫浦室21C壓縮，並自排氣口41C排氣。接著，氣體係流入真空排氣裝置1D的幫浦室21D，且被壓縮。接著，氣體係流入至與幫浦室21D直接連接之真空排氣裝置1E的幫浦室21E。自幫浦室21E排氣之氣體係流入至形成於底座單元72之排氣側路徑77的路徑77a。以上氣體之流動係以第8圖之箭號F1所示。
流入至底座單元72之氣體係經由配管構件73，流入至真空排氣裝置1D的幫浦室22D。於第9圖中，係顯示氣體自底座單元72經由配管構件73回到真空排氣裝置1D的其他幫浦室之流動(箭號F4)。
流入幫浦室22D之氣體係如第8圖之箭號F2所示，於通往底座單元72之路徑被壓縮。接著，於第8圖的箭號F3所示之路徑被壓縮之氣體，最後係被引導至閥單元74，並由排氣口12排氣。
再者，藉由操作設置於閥單元74之複數個閥79，即可自真空排氣裝置1E的幫浦室21E或22E排氣。
依據上述實施形態，藉由連接所連結之複數個真空排 氣裝置中之配置於一端側之真空排氣裝置1D的吸氣口32D、33D與配置於另一端側之真空排氣裝置1E的排氣口41E、42E，而做成使自配置於另一端側之真空排氣裝置1E排氣之氣體流入至配置於一端側之真空排氣裝置1D之構成。
藉此，於連接具有複數個幫浦室之複數個真空排氣裝置並進行氣體壓縮時，因幫浦室之配置自由度會變高，因此除了第一實施形態之效果以外，亦可建構更有效率之真空排氣系統。
再者，藉由將閥單元74直接連接於底座單元72，而容易自任意之幫浦室排氣，因此不需要繁雜之配管連接而可同時達成裝置之最佳化及小型化。
(第三實施形態)
第14圖係為顯示本發明第三實施形態之真空排氣系統之剖面圖。第15圖係為顯示該真空排氣系統的連接單元一部份之側面圖，且為由與各真空排氣裝置的轉子之旋轉軸垂直之方向觀看之圖。本實施形態之真空排氣系統10C與例如上述第二實施形態之真空排氣系統10B之不同點，係在於真空排氣系統10C具備有冷卻機構。
冷卻機構係為例如使冷媒流通之冷卻管15。冷卻管15係設置於真空排氣系統10C之各外殼25C、25D、25E之複數個位置、馬達8之馬達箱(motor housing)8a、或第15圖所示之配管構件173。設置於外殼25C、25D、25E之冷卻管15係設置成插通至例如軸承附近及間隔壁16 等。間隔壁16係於真空排氣裝置1D(1E)中，具有於一個外殼25D(25E)內劃分複數個幫浦室21D至23D(21E至23E)之功能。藉由如此之冷卻機構，效率良好地冷卻真空排氣系統10C。
尤其，藉由於間隔壁16設置冷卻管15，即可冷卻至不易冷卻之外殼內部。
如第15圖所示，於配管構件173之側面連接有保持冷卻管15一部份之保持箱(box)173a。冷卻管15係於此保持箱173a內形成一次迴轉之U字形狀。然而，冷卻管15係不限於U字形狀，該形狀與長度之設計係可變更。
並且，如上所述設置於複數個部位之冷卻管15係如以具有各一個入口及出口之一支管來連接，亦即亦可構成為一系統之流路。或者，冷卻管15亦可為以複數個系統之流路來構成之方式由複數個管來構成。
(第四實施形態)
第16圖係為用以說明本發明第四實施形態之圖，且為顯示真空排氣系統之一部份構造之剖面圖。此為於上述第二實施形態之底座單元72附加冷卻機構之底座單元172。
此冷卻機構係除了冷卻管15以外，亦具有分別設置於排氣側路徑177a、177b、177c之冷卻翼片(fin)115。冷卻翼片115係以一體成形形成在例如此底座單元172的區塊。冷卻管15係配置於該等排氣側路徑177a、177b、177c之下部，並插通至底座單元172之區塊來設置。
於真空排氣系統中，係於排氣側壓縮氣體，因此與吸 氣側相比排氣側較高溫。藉由於作為真空排氣系統之排氣側之底座單元設置冷卻機構，可有效率地冷卻因氣體壓縮所產生之熱。
於本實施形態中係設置冷卻翼片115作為冷卻機構，惟此係非必要。
本技術係不限於以上說明之實施形態，亦可實現其他各種實施形態。
外殼25之外形狀係不僅限於橢圓圓筒形狀，尤其，若為小排氣量之真空幫浦，亦可做成為非依存幫浦室形狀之形狀，例如方塊形狀。
於上述實施形態中，複數個真空排氣裝置係在縱方向堆積而配置，惟亦可在橫方向堆積，亦可在縱方向及橫方向之兩方來配置。
上述實施形態之真空排氣系統雖係具備二個或三個真空排氣裝置，惟亦可具備排列在縱方向及/或橫方向而連接之四個以上之真空排氣裝置。
於如上所述設置三個以上或四個以上真空排氣裝置之形態，套用上述第二(或第三、四)實施形態之情形時，為了使該等四個以上真空排氣裝置中相鄰接之二個真空排氣裝置的外殼互相連接，亦可連接如配管構件73之具有外部配管功能之配管構件。或者，為了使該等四個以上排氣裝置中之非相鄰接之二個真空排氣裝置之外殼互相連接，亦可連接如配管構件73之具有外部配管功能之配管構件。
於真空排氣系統具備四個以上真空排氣裝置之情形， 亦可設置複數個例如配管構件73之具有外部配管功能之配管構件。
第16圖所示之冷卻機構係例如第8圖或第14圖所示，亦可設置於最前段之真空排氣裝置1C與其下一段之真空排氣裝置1D之間。
第16圖所示之冷卻機構所設置之冷卻翼片，亦可形成於上述間隔壁16。
1A、1B、1C、1D、1E‧‧‧真空排氣裝置
3、103‧‧‧吸氣部
3a、4a、51、61、103a、104a‧‧‧端面
4、104‧‧‧排氣部
5‧‧‧台座部
6‧‧‧腳部
7‧‧‧連接單元
8‧‧‧馬達
8a‧‧‧馬達箱
10A、10B、10C‧‧‧真空排氣系統
11、31B、31D、32D、33D、31E、32E、33E‧‧‧吸氣口
12‧‧‧總排氣口
15‧‧‧冷卻管
16‧‧‧間隔壁
21A、21B、21C、21D、21E‧‧‧幫浦室
22A、22B、22D、22E、23D、23E、24E‧‧‧幫浦室
25A、25B、25C、25D、25E‧‧‧外殼
25Ba、25Ea‧‧‧上側外殼
25Bb、25Eb‧‧‧下側外殼
29‧‧‧連接配管
31A‧‧‧吸入口
36‧‧‧溝
41A、41B、41C、41D、41E、42D、42E、43D、43E‧‧‧排氣口
52‧‧‧突起部
53‧‧‧O環
54‧‧‧固接孔
62‧‧‧定位孔
71‧‧‧吸氣側路徑形成構件
74‧‧‧閥單元
75、76a、76b、77a、77b、77c‧‧‧路徑
76‧‧‧吸氣側路徑
78‧‧‧配管路徑
79‧‧‧閥
81‧‧‧旋轉軸
85‧‧‧驅動齒輪
82、82a、82b‧‧‧轉子
83、84‧‧‧軸承
86、87‧‧‧軸承箱
88‧‧‧撈油板
89‧‧‧空間
91‧‧‧固接構件
115‧‧‧冷卻翼片
172、72‧‧‧底座單元
173、73‧‧‧配管構件
173a‧‧‧保持箱
177a、177b、177c、77‧‧‧排氣側路徑
721‧‧‧幫浦連接部
721a、721b、721c、722a、722b、723a、723b、723c‧‧‧連通口
721d、722d、723d‧‧‧密封構件
722‧‧‧配管連接部
723‧‧‧閥單元連接部
725‧‧‧區塊
F1、F2、F3、F4‧‧‧箭號
第1圖係為由上方觀看本發明第一實施形態之真空排氣系統之斜視圖；第2圖係為由上方觀看第一實施形態之真空排氣裝置之斜視圖；第3圖係為由下方觀看第一實施形態之真空排氣裝置之斜視圖；第4圖係為沿著第2圖之C-C線之真空排氣裝置之剖面圖；第5圖係為沿著第1圖之A-A線之真空排氣系統之剖面圖；第6圖係為沿著第1圖之B-B線之真空排氣系統之剖面圖；第7圖係為由上方觀看本發明第二實施形態之真空排氣系統之斜視圖；第8圖係為沿著第7圖之G-G線之真空排氣系統之剖面圖； 第9圖係為由第7圖之H方向觀看之真空排氣系統之側面圖；第10圖係為由底座單元之上方觀看之剖面圖；第11圖係為第10圖所示之L-L線剖面圖；第12圖係為由上方觀看真空排氣裝置之斜視圖；第13圖係為由下方觀看第12圖所示之真空排氣裝置之斜視圖；第14圖係為顯示本發明第三實施形態之真空排氣系統之剖面圖；第15圖係為顯示構成該真空排氣系統的連接單元之一部份之配管構件之側面圖；第16圖係為用以說明設置於本發明第四實施形態之真空排氣系統之冷卻機構之圖。
1A、1B‧‧‧真空排氣裝置
10A‧‧‧真空排氣系統
25A、25B‧‧‧外殼
31A‧‧‧吸入口

Claims (7)

  1. 一種連結構造，係為分別具備幫浦室及劃分前述幫浦室之外殼之複數個真空排氣裝置之連結構造，其特徵在於：前述複數個真空排氣裝置分別具備有連接於前述各外殼之馬達；前述連結構造係具備：第一端面，係形成於前述外殼的第一側；第二端面，係形成於前述外殼的與第一側為相反側之第二側；複數個台座部，係分別包含前述第一端面，並形成於前述外殼的前述第一側；以及複數個腳部，係分別包含前述第二端面，並形成於前述外殼的前述第二側；藉由前述複個真空排氣裝置之各者的前述複數個台座部與前述複數個腳部的連結，使設置於複數個真空排氣裝置中之第一真空排氣裝置之前述第二端面與設置於前述第二真空排氣裝置之前述第一端面相接，而將前述第一真空排氣裝置的前述外殼以及前述第二真空排氣裝置的前述外殼直接重疊配置；藉由前述第一端面與前述第二端面之固接，前述第一真空排氣裝置以及前述第二真空排氣裝置彼此係連結成，使氣體可流通於前述第一真空排氣裝置的前述外殼以及前述第二真空排氣裝置的前述外殼之間。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之連結構造，其中，前述複數個真空排氣裝置係具備：吸氣部，具有與前述幫浦室連通之至少一個吸氣口、以及吸氣部端面，並形成於前述外殼之前述第一側；以及排氣部，具有與前述幫浦室連通之至少一個排氣口、以及排氣部端面，並形成於前述外殼之前述第二側；藉由前述複個真空排氣裝置之各者的前述複數個台座部與前述複數個腳部之連結，使前述吸氣部的前述吸氣部端面與前述排氣部的前述排氣部端面相接，而將前述第一真空排氣裝置的前述外殼以及前述第二真空排氣裝置的前述外殼彼此直接重疊配置；藉由前述第一端面以及第二端面之固接，前述吸氣部端面與前述排氣部端面係直接連接，前述吸氣口與前述排氣口係相連通。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之連結構造，其中，前述複數個台座部與前述吸氣部係獨立地形成在前述外殼；前述複數個腳部與前述排氣部係獨立地形成於前述外殼。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之連結構造，其中，前述吸氣部的前述吸氣部端面與前述複數個台座部係形成於同一平面上； 前述排氣部的前述排氣部端面與前述複數個腳部係形成於同一平面上。
  5. 如申請專利範圍第2項至第4項中任一項所述之連結構造，復具備：設置於前述吸氣部端面或前述排氣部端面，且維持前述外殼內之氣密之密封構件。
  6. 如申請專利範圍第2項至第4項中任一項所述之連結構造，復具備：定位機構，係設置於前述複數個台座部的前述第一端面或前述複數個腳部的前述第二端面，並具有凹凸形狀。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之連結構造，其中，前述外殼係由可上下分割成二個之下側外殼與上側外殼所形成。
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Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2500603A (en) * 2012-03-26 2013-10-02 Edwards Ltd Vacuum pump stators and vacuum pumps
JP6441660B2 (ja) * 2014-03-17 2018-12-19 株式会社荏原製作所 除害機能付真空ポンプ
WO2017031807A1 (zh) * 2015-08-27 2017-03-02 上海伊莱茨真空技术有限公司 一种多驱动腔非共轴真空泵
KR101659517B1 (ko) * 2016-03-15 2016-09-23 (주)브이텍 진공 펌프를 포함하는 진공 그리퍼 유닛
GB201701000D0 (en) * 2017-01-20 2017-03-08 Edwards Ltd Multi-stage vacuum booster pump coupling
CN107084135A (zh) * 2017-06-29 2017-08-22 德耐尔节能科技（上海）股份有限公司 一种干式螺旋真空泵
CN108194353B (zh) * 2018-02-02 2019-12-13 中山市天元真空设备技术有限公司 一种成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵
FR3089261B1 (fr) * 2018-12-03 2022-05-13 Pfeiffer Vacuum Groupe de pompage
US11815095B2 (en) * 2019-01-10 2023-11-14 Elival Co., Ltd Power saving vacuuming pump system based on complete-bearing-sealing and dry-large-pressure-difference root vacuuming root pumps
WO2020234947A1 (ja) * 2019-05-17 2020-11-26 樫山工業株式会社 真空ポンプ
FR3098869B1 (fr) * 2019-07-17 2021-07-16 Pfeiffer Vacuum Groupe de pompage
US11313368B2 (en) * 2020-03-05 2022-04-26 Elivac Company, Ltd. Multistage pump assembly with at least one co-used shaft
CN115692275B (zh) * 2021-07-29 2025-12-12 北京北方华创微电子装备有限公司 半导体工艺设备及其晶片传输系统
CN118582387A (zh) * 2024-06-05 2024-09-03 苏州新大陆精密科技股份有限公司 一种集成式真空系统

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03145594A (ja) * 1989-10-30 1991-06-20 Anlet Co Ltd 多段型ルーツ式真空ポンプの冷却装置
JP2004100594A (ja) * 2002-09-10 2004-04-02 Toyota Industries Corp 真空ポンプ装置

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5911871Y2 (ja) * 1980-06-20 1984-04-11 安立電気株式会社 筐体の積み重ね構造
US4971529A (en) * 1987-12-24 1990-11-20 Tecumseh Products Company Twin rotary compressor with suction accumulator
GB8808608D0 (en) * 1988-04-12 1988-05-11 Boc Group Plc Dry pump with booster
JPH01113183U (zh) * 1988-05-25 1989-07-31
JP2528430Y2 (ja) * 1991-08-30 1997-03-12 アンリツ株式会社 筐体の積重ね構造
DE4233142A1 (de) 1992-10-02 1994-04-07 Leybold Ag Verfahren zum Betrieb einer Klauenvakuumpumpe und für die Durchführung dieses Betriebsverfahrens geeignete Klauenvakuumpumpe
JP2000186686A (ja) * 1998-12-22 2000-07-04 Unozawa Gumi Iron Works Ltd 高温ガスを取扱うロータリ形多段真空ポンプ装置
JP4747437B2 (ja) * 2001-05-08 2011-08-17 株式会社豊田自動織機 真空ポンプにおける油洩れ防止構造
JP2002364569A (ja) 2001-06-01 2002-12-18 Ulvac Japan Ltd 多段ルーツ真空ポンプ
JP4201522B2 (ja) * 2002-04-15 2008-12-24 樫山工業株式会社 多段ルーツポンプ
JP2004293420A (ja) * 2003-03-27 2004-10-21 Aisin Seiki Co Ltd ドライポンプの潤滑油シール構造
JP4218756B2 (ja) * 2003-10-17 2009-02-04 株式会社荏原製作所 真空排気装置
JP5121826B2 (ja) 2007-06-13 2013-01-16 樫山工業株式会社 ルーツ式ポンプおよびルーツ式ポンプ製造方法
JP2010138725A (ja) * 2008-12-09 2010-06-24 Toyota Industries Corp 真空ポンプ装置
JP5410824B2 (ja) 2009-04-23 2014-02-05 ホーチキ株式会社 警報器

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03145594A (ja) * 1989-10-30 1991-06-20 Anlet Co Ltd 多段型ルーツ式真空ポンプの冷却装置
JP2004100594A (ja) * 2002-09-10 2004-04-02 Toyota Industries Corp 真空ポンプ装置

Also Published As

Publication number Publication date
US9273568B2 (en) 2016-03-01
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