TWI429050B - 堆疊式晶片封裝 - Google Patents
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Description
本發明通常涉及積體電路製造。更特定而言,本發明涉及將多個積體電路晶片包括於單一封裝中。
在積體電路技術中,令人期望將多個積體電路晶片包括於單一封裝中,例如用以減小封裝的佔用面積(footprint),並確保晶片經歷遭受相同的環境情況。達成這兩個目的的一種方法是將此等晶片堆疊在彼此之頂上。
通常,在一個方面中,本發明的特徵為一種積體電路封裝,其包括:包含第一電性接觸的基板;第一引線接合(wirebond)積體電路晶片,其機械地耦接到基板,並包括第二電性接觸,其藉由第一導電引線而電性耦接到基板的第一電性接觸;覆晶(flip-chip)積體電路晶片,其包括第三電性接觸,其藉由導電凸塊而電性耦接到第一引線接合積體電路晶片的第二電性接觸;以及第二引線接合積體電路晶片,其機械地耦接到覆晶積體電路晶片,並包括第四電性接觸,藉由第二導電引線而電性耦接到第一引線接合積體電路晶片的第二電性接觸、或電性耦接到基板的第一電性接觸,或電性耦接至兩者。
在某些實施例中,第一引線接合積體電路晶片包括再分佈層,該再分佈層包括跡線,其將導電凸塊電性耦接到第一引線接合積體電路晶片的第二電性接觸。在某些實施例中,第二引線接合積體電路晶片更包括:第五電性接觸,其置靠近第二引線接合積體電路晶片的第一邊緣;以及再分佈層,其包括設置於第二引線接合積體電路晶片的第二邊緣附近的第六電性接觸,與電性耦接第五和第六電性接觸的跡線;其中第四電性接觸設置靠近此第二引線接合積體電路晶片的第二邊緣;以及其中,第六電性接觸藉由第二導電引線,而電性耦接到第一引線接合積體電路晶片的第二電性接觸,或基板的第一電性接觸,或電性耦接到兩者。在某些實施例中,基板和第一引線接合積體電路晶片藉由第一黏著劑而機械地耦接;以及其中,覆晶積體電路晶片和第二引線接合積體電路晶片藉由第二黏著劑而機械地耦接。某些實施例包括密封劑,其圍繞第一引線接合積體電路晶片、覆晶積體電路晶片、第二引線接合積體電路晶片,及導電引線。在某些實施例中,第一引線接合積體電路晶片包括系統晶片(SoC)電路;其中覆晶積體電路晶片包括快閃記憶體;並且其中第二引線接合積體電路晶片包括同步動態隨機存取記憶體(SDRAM)。
通常,在一個方面中,本發明的特徵為一種用於製造積體電路封裝的方法,此方法包括:提供包括第一電性接觸的基板;提供包括第二電性接觸的第一引線接合積體電路晶片;將第一引線接合積體電路晶片機械地耦接到基板;使用第一導電引線將第一引線接合積體電路晶片的第二電性接觸電性耦接到基板的第一電性接觸;提供包括第三電性接觸的覆晶積體電路晶片;藉由使用導電凸塊,將覆晶積體電路晶片的第三電性接觸、電性耦接到第一引線接合積體電路晶片的第二電性接觸;提供包括第四電性接觸的第二引線接合積體電路晶片;將第二引線接合積體電路晶片機械地耦接到覆晶積體電路晶片;以及使用第二導電引線,將第二引線接合積體電路晶片的第四電性接觸、電性耦接到第一引線接合積體電路晶片的第二電性接觸,或基板的第一電性接觸,或電性耦接到兩者。
某些實施例包括在第一引線接合積體電路晶片上提供再分佈層,該再分佈層包括跡線,其將導電凸塊電性耦接到第一引線接合積體電路晶片的第二電性接觸。某些實施例包括:提供第五電性接觸,其設置靠近第二引線接合積體電路晶片的第一邊緣;提供再分佈層,其包括第六電性接觸、設置靠近第二引線接合積體電路晶片的第二邊緣,以及跡線,電性耦接第五和第六電性接觸;其中第四電性接觸設置靠近第二引線接合積體電路晶片的第二邊緣;並且藉由第二導電引線,將再分佈層的第六電性接觸電性耦接到第一引線接合積體電路晶片的第二電性接觸,或基板的第一電性接觸,或電性耦接到兩者。某些實施例包括:使用第一黏著劑機械地耦接基板與第一引線接合積體電路晶片;以及使用第二黏著劑機械地耦接覆晶積體電路晶片與第二引線接合積體電路晶片。某些實施例包括以密封劑圍繞第一引線接合積體電路晶片、覆晶積體電路晶片、第二引線接合積體電路晶片、及導電引線。在某些實施例中,第一引線接合積體電路晶片包括系統晶片(SoC)電路;其中覆晶積體電路晶片包括快閃記憶體;並且其中第二引線接合積體電路晶片包括同步動態隨機存取記憶體(SDRAM)。
在所附圖式與以下的描述中說明一或更多個實現方式的細節。根據說明書和附圖以及申請專利範圍,其他特徵將是顯而易見的。
在此說明書中使用的每個參考號碼的首位數字顯示該參考號碼在其中首次出現的圖式的編號。
本發明此等實施例所提供之積體電路封裝包括積體電路晶片之堆疊。根據某些實施例,此積體電路封裝包括:基板;在基板頂上的引線接合積體電路晶片;在引線接合積體電路晶片之上的覆晶積體電路晶片;以及在覆晶積體電路晶片之上的第二引線接合積體電路晶片。下部引線接合積體電路晶片的接觸被引線接合到基板的接觸。藉由導電凸塊將覆晶積體電路晶片的接觸連接到第一引線接合積體電路晶片的接觸,覆晶積體電路晶片的接觸可以是球格柵陣列(BGA)接觸。上部引線接合積體電路晶片的接觸被引線接合到下部引線接合積體電路晶片的接觸,或基板的接觸,或此兩種接觸。
再分佈層可以使用於兩個引線接合積體電路晶片之一或二者的頂部上。再分佈層可以使用於下部引線接合積體電路晶片的頂部,而將導電凸塊連接到下部引線接合積體電路晶片上的引線接合墊。例如,當上部引線接合積體電路晶片太大,以致於只能從一個邊緣進行引線接合時,可在上部引線接合積體電路晶片的頂部上使用另一再分佈層,從而將上部引線接合積體電路晶片的一個邊緣將引線接合墊連接到另一邊緣上的引線接合墊。
可以使用黏著劑(adhesive)將下部引線接合積體電路晶片機械地耦接到基板,且將上部引線接合積體電路晶片機械地耦接至覆晶積體電路晶片。雖然可藉由導電凸塊達成下部引線接合積體電路晶片和覆晶積體電路晶片之間的機械耦接,但是可藉由採用黏著劑的底部填充(underfill)技術來增強該機械地耦接。黏著劑可包含銀環氧樹脂及類似物。可以使用密封劑以圍繞積體電路晶片的堆疊和引線接合引線。
在某些實施例中,下部引線接合積體電路晶片包括系統晶片(SoC)電路,覆晶積體電路晶片包括快閃記憶體,並且上部引線接合積體電路晶片包括同步動態隨機存取記憶體(SDRAM)。在其他實施例中,可使用其他的積體電路。
第1圖為側視圖,其顯示根據本發明的某些實施例的、並無須依比例繪製的包括三個積體電路晶片的堆疊的積體電路封裝100。積體電路封裝100包括基板102、引線接合積體電路晶片104、覆晶積體電路晶片106,以及引線接合積體電路晶片108。
基板102具有可連接到其他裝置、終端機或類似物的電性接觸110。引線接合積體電路晶片104具有藉由導電引線124A連接到基板102的電性接觸110的電性接觸(即,引線接合墊)112。導電引線124A可以用金線或類似物來執行。
覆晶積體電路晶片106具有藉由導電凸塊120連接到引線接合積體電路晶片104的引線接合墊112的電性接觸(即,焊球)114。在某些實施例中,再分佈層(RDL)122被用於將導電凸塊120連接到一些或全部的引線接合墊112。
第2圖顯示根據本發明的某些實施例的第1圖的再分佈層122的俯視圖。再分佈層122包含:電性接觸(即,凸塊墊)202,用於連接到覆晶積體電路晶片106的各個導電凸塊120;電性接觸204,用於連接到引線接合積體電路晶片104的各個引線接合墊112;以及導電跡線206,其連接各個凸塊墊202與電性接觸204。
再次參考第1圖,引線接合積體電路晶片108具有電性接觸(即,引線接合墊)116。引線接合墊116可以藉由導電引線124B而連接到基板102的電性接觸110,或藉由導電引線124C而連接到引線接合積體電路晶片104的引線接合墊112,或連接到以上兩者。導電引線124B-C可以用金線或類似物來執行。
在各種實施例中,引線接合積體電路晶片104上的一些或全部引線接合墊112被電性耦接到引線接合積體電路晶片104中的積體電路。然而在某些實施例中,一些引線接合墊112並未被耦接到積體電路,而是被提供用於積體電路封裝100的其他元件之間的連接。例如,可以使用某些引線接合墊112以提供覆晶積體電路晶片106的焊球114、與基板102的電性接觸110之間的連接。又如另一示例,在未使用導電引線124B的實施例中,可以使用某些引線接合墊112,以提供引線接合積體電路晶片108的引線接合墊116、與基板102的電性接觸110之間的連接。
可以藉由密封劑126而圍繞積體電路晶片104-108和導電引線124。
雖然第1圖描述每個積體電路晶片104-108的兩個邊緣上的連接,但是如第1圖所示,可以連接三個或更多邊緣。然而,在某些實施例中,最上面的引線接合積體電路晶片108是如此的大,以致於其一個或更多個邊緣不能被引線接合。在此等實施例中,使用在最上面的引線接合積體電路晶片108之頂上之再分佈層,而從其他邊緣連接電性接觸116。
第3圖為側視圖,其顯示根據本發明的某些實施例的、並無須依比例繪製的包括三個積體電路晶片的堆疊且在頂部晶片之上具有再分佈層的積體電路封裝300。如同可以從第3圖中看出,頂部晶片(即,引線接合積體電路晶片108)的左側邊緣伸出超過下部引線接合積體電路晶片104,以致於不能夠引線接合連接那個邊緣上的電性接觸116。在此種實施例中,使用再分佈層(RDL)302將左側邊緣上的引線接合墊116連接到右側邊緣上的某些引線接合墊116。
第4圖顯示根據本發明的某些實施例的第3圖的再分佈層302的俯視圖。再分佈層302包括:電性接觸402,用於連接到引線接合積體電路晶片108的左側邊緣上的各個引線接合墊116;電性接觸404,用於連接到引線接合積體電路晶片108的右側邊緣上的各個引線接合墊116;以及導電跡線406,連接各個電性接觸402與404。
第5圖顯示根據本發明的實施例用於製造積體電路封裝的過程500。例如,可以使用過程500以製造第1圖的積體電路封裝100與第3圖的積體電路封裝300。為了清楚起見,參考第1圖的積體電路封裝100來討論過程500。雖然在所說明的實施例中,過程500的元件呈現於一配置中,然而對於相關技術領域中的技術人員而言,在閱讀此說明之後,其他實施例特徵之其他配置將是顯而易見的。
參考第5圖,過程500提供包括電性接觸110的基板102(步驟502)。過程500還提供包括引線接合墊112的引線接合積體電路晶片104(步驟504)。過程500例如藉由使用諸如銀環氧樹脂和類似物之類的黏著劑、將引線接合積體電路晶片104機械地耦接到基板102(步驟506)。過程500還藉由使用導電引線124A,將引線接合積體電路晶片104的引線接合墊112電性耦接到基板102的電性接觸110(步驟508)。
過程500亦提供包括焊球114的覆晶積體電路晶片106(步驟510),並藉由使用導電凸塊120將焊球114電性耦接到引線接合積體電路晶片104的引線接合墊112(步驟512)。如以上參考第2圖所詳細說明,在某些實施例中,使用再分佈層122將引線接合墊112電性耦接到導電凸塊120。
過程500亦提供包括引線接合墊116的引線接合積體電路晶片108(步驟514),並例如藉由使用諸如銀環氧樹脂和類似物之類的黏著劑,將引線接合積體電路晶片108機械地耦接到覆晶積體電路晶片106(步驟516)。過程500還藉由使用導電引線124C,將引線接合積體電路晶片108的引線接合墊116,電性耦接到引線接合積體電路晶片104的引線接合墊112(步驟518),或藉由使用導電引線124B,將引線接合墊116電性耦接到基板102的電性接觸110(步驟520),或電性耦接至此兩者。如以上參考第4圖所詳細說明,在某些實施例中,使用再分佈層302將引線接合積體電路晶片108的一個邊緣上的引線接合墊116、電性耦接到另一邊緣上的引線接合墊116。
最後,過程500用密封劑126圍繞積體電路晶片104-108和導電引線124(步驟522)。
以上已經描述本發明的若干實施方式。然而,應理解可做出各種修正而不會偏離本發明的精神和範圍。因此,其他的實施方式是在以下申請專利範圍之範圍中。
100...積體電路封裝
102...基板
104...引線接合積體電路晶片
106...覆晶積體電路晶片
108...引線接合積體電路晶片
110...電性接觸
112...引線接合墊
114...焊球
116...電性接觸
120...導電凸塊
122...再分佈層
124A...導電引線
124B...導電引線
124C...導電引線
126...密封劑
202...電性接觸
204...電性接觸
206...導電跡線
300...積體電路封裝
302...再分佈層
402...電性接觸
404...電性接觸
406...導電跡線
500...過程
502、504、506、508、510、512、514、516、518、522...步驟
第1圖顯示根據本發明的某些實施例的、並無須依比例繪製的包括三個積體電路晶片堆疊之的積體電路封裝的側視圖;第2圖顯示根據本發明的某些實施例的第1圖的再分佈層的俯視圖;第3圖顯示根據本發明的某些實施例的、並無須依比例繪製的包括三個積體電路晶片的堆疊並且在頂部晶片上具有再分佈層的積體電路封裝的側視圖;第4圖顯示根據本發明的某些實施例的第3圖的再分佈層的俯視圖;以及第5圖顯示根據本發明的實施例用於製造積體電路封裝的過程。
100...積體電路封裝
102...基板
104...引線接合積體電路晶片
106...覆晶積體電路晶片
108...引線接合積體電路晶片
110...電性接觸
112...引線接合墊
114...焊球
116...電性接觸
120...導電凸塊
122...再分佈層
124A...導電引線
124B...導電引線
124C...導電引線
126...密封劑
Claims (7)
- 一種積體電路封裝,包括:一基板,其包括第一電性接觸;一第一引線接合積體電路晶片,其機械地耦接到該基板,並包括第二電性接觸,其藉由第一導電引線電性耦接到該基板的第一電性接觸;一覆晶積體電路晶片,其包括第三電性接觸,其藉由導電凸塊電性耦接到該第一引線接合積體電路晶片的該等第二電性接觸;以及一第二引線接合積體電路晶片,其機械地耦接到該覆晶積體電路晶片,並包括第四電性接觸,其藉由第二導電引線電性耦接到該基板的該等第一電性接觸以及該第一引線接合積體電路晶片的該等第二電性接觸,其中,該第二引線接合積體電路晶片更包括一再分佈層,該再分佈層包括:第五電性接觸,其設置在靠近該第二引線接合積體電路晶片的第一邊緣;第六電性接觸,係電性耦接到該等第四電性接觸,並設置在靠近該第二引線接合積體電路晶片的第二邊緣;以及跡線,其電性耦接該等第五和第六電性接觸。
- 如申請專利範圍第1項所述之積體電路封裝,其中該第一引線接合積體電路晶片包括一再分佈層,該再分佈層包括跡線,該等跡線將該導電凸塊電性耦接到該第一引線接合積體電路晶片的該第二電性接觸。
- 如申請專利範圍第1項所述之積體電路封裝,其中該等第四電性接觸設置靠近該第二引線接合積體電路晶片的該第二邊緣;以及藉由該第二導電引線以及該第一導電引線將該等第四電性接觸電性耦接到該等第一電性接觸。
- 如申請專利範圍第1項所述之積體電路封裝,其中,該基板和該第一引線接合積體電路晶片藉由一第一黏著劑而機械地耦接;以及該覆晶積體電路晶片和該第二引線接合積體電路晶片藉由一第二黏著劑而機械地耦接。
- 如申請專利範圍第1項所述之積體電路封裝,更包括一密封劑,其圍繞該第一引線接合積體電路晶片、該覆晶積體電路晶片、該第二引線接合積體電路晶片以及該等導電引線。
- 如申請專利範圍第1項所述之積體電路封裝,其中,該第一引線接合積體電路晶片包括一系統晶片(SoC)電路;該覆晶積體電路晶片包括一快閃記憶體;以及該第二引線接合積體電路晶片包括一同步動態隨機存取記憶體(SDRAM)。
- 如申請專利範圍第1項所述之積體電路封裝,其中該等第四電性接觸藉由第二導電引線電性耦接到該等第二電性接觸,並藉由第三導電引線電性耦接到該等第一電性接觸。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US81377806P | 2006-06-15 | 2006-06-15 | |
| US11/801,317 US7535110B2 (en) | 2006-06-15 | 2007-05-09 | Stack die packages |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW200807670A TW200807670A (en) | 2008-02-01 |
| TWI429050B true TWI429050B (zh) | 2014-03-01 |
Family
ID=38666964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW096121889A TWI429050B (zh) | 2006-06-15 | 2007-06-15 | 堆疊式晶片封裝 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US7535110B2 (zh) |
| EP (1) | EP2033220B1 (zh) |
| JP (1) | JP5320611B2 (zh) |
| CN (1) | CN101506975B (zh) |
| TW (1) | TWI429050B (zh) |
| WO (1) | WO2007146307A2 (zh) |
Families Citing this family (51)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5388422B2 (ja) * | 2007-05-11 | 2014-01-15 | スパンション エルエルシー | 半導体装置及びその製造方法 |
| US7677109B2 (en) * | 2008-02-27 | 2010-03-16 | Honeywell International Inc. | Pressure sense die pad layout and method for direct wire bonding to programmable compensation integrated circuit die |
| US8310051B2 (en) | 2008-05-27 | 2012-11-13 | Mediatek Inc. | Package-on-package with fan-out WLCSP |
| US8093722B2 (en) * | 2008-05-27 | 2012-01-10 | Mediatek Inc. | System-in-package with fan-out WLCSP |
| US8896126B2 (en) | 2011-08-23 | 2014-11-25 | Marvell World Trade Ltd. | Packaging DRAM and SOC in an IC package |
| US8253231B2 (en) | 2008-09-23 | 2012-08-28 | Marvell International Ltd. | Stacked integrated circuit package using a window substrate |
| US9009393B1 (en) | 2008-09-23 | 2015-04-14 | Marvell International Ltd. | Hybrid solid-state disk (SSD)/hard disk drive (HDD) architectures |
| US20100213588A1 (en) * | 2009-02-20 | 2010-08-26 | Tung-Hsien Hsieh | Wire bond chip package |
| US8236607B2 (en) * | 2009-06-19 | 2012-08-07 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit packaging system with stacked integrated circuit and method of manufacture thereof |
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| TWI501380B (zh) * | 2010-01-29 | 2015-09-21 | 財團法人國家實驗研究院國家晶片系統設計中心 | 多基板晶片模組堆疊之三維系統晶片結構 |
| KR101683814B1 (ko) | 2010-07-26 | 2016-12-08 | 삼성전자주식회사 | 관통 전극을 구비하는 반도체 장치 |
| US9490003B2 (en) * | 2011-03-31 | 2016-11-08 | Intel Corporation | Induced thermal gradients |
| US9658678B2 (en) | 2011-03-31 | 2017-05-23 | Intel Corporation | Induced thermal gradients |
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| US8502390B2 (en) | 2011-07-12 | 2013-08-06 | Tessera, Inc. | De-skewed multi-die packages |
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| US8823165B2 (en) | 2011-07-12 | 2014-09-02 | Invensas Corporation | Memory module in a package |
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- 2007-06-13 JP JP2009515464A patent/JP5320611B2/ja active Active
- 2007-06-13 CN CN2007800304876A patent/CN101506975B/zh active Active
- 2007-06-13 WO PCT/US2007/013821 patent/WO2007146307A2/en not_active Ceased
- 2007-06-13 EP EP07809502.3A patent/EP2033220B1/en active Active
- 2007-06-15 TW TW096121889A patent/TWI429050B/zh active
-
2009
- 2009-05-01 US US12/434,264 patent/US7825521B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2007146307A2 (en) | 2007-12-21 |
| EP2033220B1 (en) | 2019-10-16 |
| US20090212410A1 (en) | 2009-08-27 |
| CN101506975A (zh) | 2009-08-12 |
| JP2009540606A (ja) | 2009-11-19 |
| TW200807670A (en) | 2008-02-01 |
| WO2007146307A3 (en) | 2008-03-06 |
| US7535110B2 (en) | 2009-05-19 |
| US20080006948A1 (en) | 2008-01-10 |
| JP5320611B2 (ja) | 2013-10-23 |
| US7825521B2 (en) | 2010-11-02 |
| CN101506975B (zh) | 2011-04-06 |
| WO2007146307B1 (en) | 2008-05-22 |
| EP2033220A2 (en) | 2009-03-11 |
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