TWI330195B - Cleaning agent composition and cleaning method - Google Patents

Description

13301.95 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域j 本發明係有關於一種清潔劑組成物及用於去除助熔 •劑、蠟、機械油等的清潔方法，尤其附著於電氣與電子元

.件、光學7C件、汽車零件、精密儀器零件與其它此類 * 之此等物質的複合髒污。 V 【先前技術】 傳統上，使用以氟碳為主的溶劑（例如三氟三氣乙 烷）、或以氯為主的溶劑（例如i，M—三氯乙烷、三氣乙 :、氯甲貌）做為清潔劑（cleaninga咖七），以清潔附著於 精密零件之助熔劑、壤、機械油等，然而，三氣三氯W 與1，1，卜三氣乙燒在1 995年末被禁止製造，由於此70 質會助長臭氧層的破裂。同樣地，三氯乙晞與二氯甲烷有 嚴重的毒性’且其釋放時會造成空氣與水污染，因此，上 述物質皆由法律嚴格地控管。 亦開始研究含有界面活性劑或無機驗鹽之水溶性 齊K例如磷酸鹽）與水性清_的❹，但 有、 較差的清纽果’且廢水處理之設備會佔用大量空 經濟的觀點來賴造此類清潔㈣不被看好。因此 者開始開發其它以栌盘士 Μ4 χ 破麥且右二， 清潔劑，其不會助長臭氧層的 2、，分解能力、低毒性、在常溫下不可燃而相當 由於該以烴為主的二;=的液體或以氣為主的液體， . 的Θ4為可燃之液體，故防火法案（Fire servlce Act)強加將其指定分量為危險物質。 317907 5 1330195 閃點至少為7 0 °C的烴使用起來才安全，但相反地它們 洛發很，這將造成一彳固問題，即它們在清潔過後要花長 時間去乾燥。此外’氫氟碳化物或氫氟醚（HFC/E)一直做為 •以烴清潔劑清洗過後的蒸氣清潔劑（vap〇r cieaning agent) ‘- 或冲洗劑（r ins i ng agent)。然而，由於煙清潔劑無法在 .HFC/E能充分地溶解，使HFC/E不能充分地取代該烴清潔 劑，有些含有髒污的烴清潔劑仍附著在該清潔過後的物 件，使該清潔效果令人不滿意。 •先前已提出一種清潔方法，其包含HFC/E與有機化合 物（例如與HFC/E相容之乙二醇醚或酯）之混合物的溫水浴 清潔步驟，與單獨以該HFC/E沖洗（見於專利文件丨）的步 驟。所提出的其它清潔物件的方法係以由11以几與有機化 口物（例如乙二醇醚、乙二醇醚醋酸酯或羥基羧酸酯）所組 成的均勻清潔劑清洗，以該HFC/E沖洗，使該經混合的髒 污成分與/或清潔劑成分藉由此沖洗步驟中該污損沖洗劑 _的穩定離去而分開’且已提出該清潔劑與該沖洗劑能再利 (見於專利文件2 )。然而，此等公開文件中所討論的乙 一醇醚不需要和烴一樣地能去除礦物油。 . 又=提出一種清潔裝置，以第一種其主要成分為以烴 •為主的溶劑之清潔液體清洗該待清洗之物件，然後以第二 種其主要成分為HFC之清潔液體沖洗並清潔該物件（見於 專利文件3)。已提出的其它清潔方法：一個充滿hFc/e與 有=合物（例如無法快速溶解於hfc/£的烴）其分成兩層 的/月冰L，以上層液體（主要含該有機化合物）清洗該待清 317907 以下層《(主要含該HFG/E)沖淋清潔該物

潔之物件； 件；以該Η] 驟中極有可此仍留在欲清洗之物件表面，而溶解於該溶 劑之辦污成分將污染該物件的表面，而造成該清潔效果令 人不滿意。 專利文件1 曰本專利公開號H1 0-36894 專利文件2 曰本專利公開號2001—334104 專利文件3 曰本專利公開號H6-328052 專利文件4 曰本專利公開號H10-192792 專利文件5 曰本專利公開號H10-202209 【發明内容】 本發_B j 欲 本發明係提供—種具有下述優點之清潔劑組成物及清 317907 7 潔方法： =清潔劑組成物及清潔方法不會發生如 思之清潔效果；不合迕志浐讲叫BS 人不滿 少有指定八曰μ 例如臭氧層破裂；極 加物質；減少由於蒸發時之損耗；可於 溶劑、壤仃:：¾i足的乾燥效果；回收簡單；及對於助 果。機械油荨钹合物的附著髒污展現充分的清潔效 問顳之手& 本發明的發明人鑽研結果發現飽 合物適合於各式種類的縣污Ά酉曰的此 氟峻中具有特定的溶解性質移除I在風鼠碳化物或氫 特疋言之’本發明之清潔劑組成物含有2 之彿點為20。至3501的飽和烴，。重” 醋。較佳地，該飽和煙的碳數為12、至^㈣的醋酸 酴。 厌数馮12至19，该醋酸酯為醋 …3-甲基|甲氧基丁醋，且該清潔劑組成物的閃點 =ash P〇int)至少為7〇°C °如果閃點低於⑽，則在正 ㈣於清潔之溫度範圍内將顯著地產生可燃蒸氣，其會降 氏女全程度，故組成物之閃點至少7〇t為較佳者。 —許多不同種類的髒污可藉由下列之方法完全地去除， /方法c括以該上述之清潔劑組成物浸濁清潔該待清洗之 物件，然後在氫氟碳化物或氫亂趟中浸潤沖洗。 化物^者：經如上述清洗物件後，藉由使該物件與氳就碳 化物或虱⑽之蒸氣接觸來蒸氣清洗該物件並乾燥之，其 中該清潔齡成物與氫氟碳化物錢_在蒸氣清潔中二 317907 8 、、中ή〜組成物’使該物件沖洗或蒸氣清潔，在 或氳氟_由二:;有:=成物之氧氟破化物 一路士# 「刀成兩層，而能輕易地回收兩層中之任 中該氫氟碳化物或氫_之沸點較佳為3〇 ^發明之#罢 何環^2 = _!^料^述#點：它不會造成任 P如臭乳層的破裂；該組成物中有極少因並 閃點至少為70t而被防火 另}夕口八 且因其呈有心弗^… “分量；蒸發損耗少 熱下進行清潔為可能者；及對 的：:、：劑、壤、機械油等複合物的附著髒污展現充分 转杲。本發明之清潔方法係利用該清潔劑組成物之 意即’在HCF/E的彿點附近發生相容地推合，及當

j下降時該溶解度顯著地降低。藉此，提供以該HCF/E 刀冲洗此經清潔過之物件’使該經清潔過之物件快速乾 =並且輕易分開並回收該清潔劑與該蒸氣清潔劑。 【貫施方式】 發明之最佳方# 本發明之清潔劑組成物含有2〇至6〇重量％之沸點為 200至35(TC的飽和烴。該飽和烴可為線型、分枝型或環 型，且彼等可早獨或以兩種或兩種以上之混合物予以使 用。較佳為飽和脂肪烴’特別較佳為線型飽和脂肪烴。從 女全㈣而言’彿點為20代以下之飽和脂肪烴較差，因 317907 9 1330195 ^具有較低之閃點。不期望，該清潔組成物之彿點超過35〇 ^因為該飽和烴將呈現出高黏度，而使清洗效果將變差， =餘和煙在清潔後無法快速地乾燥。較佳者為使用具有 至19之飽和脂肪煙，更佳者為使用具有碳數為 u之飽和脂肪烴，且特別較佳為使用正十二烷。 =發明之清潔劑組成物含有上述2()至6{)重量％的飽和 ::較佳為含有30至4〇重量%的飽和烴。不期望飽和烴含 里氏於2G重a：% ’因為對於確物油的清潔效果將受損。相 反地’亦不期望飽和煙含量高於6〇重量％，目為與卿^ 的相同性將降低’故當以/ρ、、由、土 # 、、初 肿0/£冲洗或瘵乱清潔時，該清 球知1]的置換將無法順利進行。 =發明之清潔劑組成物含有4q錢重量％的酷酸醋， 較佳為6 0至7 0重量％的醋酸醋。就該醋酸酉旨而言，較佳使 用醋酸與具有羥基的脂肪 ^ ,ε 日肪焱何生物之酯類，特別使用醋酸 之㈣’其中該醇類為二靖之一個氣原子以經 i H㈣㈣之碳數較佳為5至1G，特別較 至 8 ° 如果醋酸1日含1低於4Q重量％，則對於含有極性物質 (例如助㈣與㈤之癖污清潔效果將降低，且在HFC/E中 之 >谷解度也將下降。故當以、、由咮1 清潔劑的置換將無法順利進潔時，該 旦古认。non 明進订。同時，亦不期望醋酸醋含 里… “’因為去除礦物油的清潔效果將受損。 醋酸醋的實例包括乙二醇單乙基㈣酸酿、乙二醇單 丙基㈣酸酯、乙二醇單丁基驗錯酸醋、丙二醇單甲基醚 317907 10

醋' 酸酉旨、丙二酿留7甘S； μ U 丙二祕一- 基醚醋酸酯、丙二醇單丙基醚醋酸酯、 醚-酸[ I醆酯、丁二醇單乙基醚醋酸酯、丁二醇單丙基 酸酉丁二醇單甲基越醋酸醋、二乙二醇單乙錢醋 妒日—乙—醇單丙基，醋酸g|、二乙二醇單甲基驗醋酸 』-丙一醇車乙基醚醋酸酯、二丙二醇單甲基醚醋酸醋、 二乙基鱗醋酸醋與三乙二醇單甲基_醋。對 二，、咼閃點而言，較佳為使用醋酸3甲基-3-甲氧基丁 為種丁 一醇單甲基醚醋酸酯。 亦可=危及本發明之目的’否則本發明之清潔劑組成物 〇 ^含其它煙、醋、醇、®I、内醯胺與其它彼等掺合成 =或=面活性劑、抗氧化劑、uv吸收劑、防鏽劑與其它此 =使用之添加劑。含此等成分之總量較佳為低於1〇 里％ ’特別較佳為低於2重量％。通常較佳為不添加水。 I面活J·生刻較佳為非離子界面活性劑，其實例包含聚 P婦院基喊、聚氧乙烯烧基苯基Μ、聚乙二醇月旨肪酸醋、 ^氧乙烯院基胺、山梨糖醇醋肪酸醋、山梨糖醇野脂肪酸 西曰、庶糖脂肪酸醋、以石夕為主之界面活性劑與以氣為主之 界面活性劑。 、、_ϋν吸收劑與抗氧化劑有助於增進穩定性，例如清潔劑 液體之長期儲存之穩定性。υν吸收劑之實例包括以苯并三 坐一苯甲酮或受阻胺（hindered amine)為主之UV吸收 j而抗氧化劑之實例包括以酚、胺、硫、或磷為主之抗 氧化，及可使用溶於本發明清潔劑組成物之任何物質。 特別車又佳為添加5〇至i〇〇0ppm用量之以酚為主之抗氧化 317907 11 13301.95 劑。 本發明之清潔劑组成物具有高柯點，但其低蒸發速率 題之所在，故較佳為使用帆/£做為蒸氣清潔劑以 、:、、热氣清潔之快速乾燥。特定言之，藉由在充滿肌/£ 之冲洗才曰中’冲洗掉任何附著於該經清潔物件之清潔劑， =明顯地增進該蒸發速率，然後使驗清潔物件安穩定置 。：HCF/E之飽和蒸氣層中。該眺/£之滞點介於3〇至⑽ ^間’特別較佳為使料點在扣幻阶之氫㈣卿）， ^呆仙便且與該清潔劑相容時，則考慮與此等清潔劑間 1之不同。胸之實例包括U，四氟乙基—庚氟丙基 醚（沸點：40〇c )、1 1 1 9 q q。— n 1，1，1，2, 3, 3-己齓-2-庚氟丙氧基_3_ 1，2, 2, 2-四氟乙氧基）_丙烷（沸點：1〇4 氣乙基切-三敦乙基咖:叫壬氣‘基甲基： '弗點.61 C )與壬氟丁基乙基酸（彿點：μ)。 片、般較佺之祭氣清潔為清潔劑與蒸氣清潔劑，在該蒸 乳清潔劑之沸點附近呈現相容。第（圖顯示醋酸3_曱基；： 曱基丁酯與正十二烷之混合物的溶解度，其為本發明 潔劑組成物，而U，2,2-四氟乙基-2,2,2 —三氟乙基鍵’ ；實例！至5與比較例i至3)，其為一種做為蒸氣 ，月潔劑之猶。本發明之清潔劑組成物在50。(：與HFE-1相 容’故充分地獲得蒸氣清潔效果。本發明之清潔劑組成物 ，HFE-1的溶解度隨著溫度下降而急驟地降低。因此，蒗 氣清潔劑與本發明之清潔劑組成物的混合物，兮/: 清潔劑之_附近呈㈣態，當在冷卻時將分;㈣^ 317907 12 丄 j 各成分可輕易地回收與再利用。 對本發明之渣、暫 土 _ :::::—並二===: 成物的海::二包括以充滿該清潔劑組 了增進读W τ χ卩該》月潔劑組成物浸潤與喷灑。為 合㈣：至㈣為在清潔時同時結 等例子中，空氣使其起泡等者。彼 至100kHz > I曰'、動為較佳者，因此振動頻率為20 入空氣使並^中升清^劑的振動輸出為10至贿。在打 =、起泡中’較佳以空氣/清潔劑體 氣泡通過該組成物，其使任何不溶於該清潔劑 氣泡升起而達到分離。在鳩潔中， ^力較佳為0.05至如。在任何例子令 15秒至2小時，特別妒估 時間為 若在此— ，奴佳之持，時間為30秒至20分鐘。 右在此時間範圍以下則清 足。相u — 會不足’而使得髒污移除不 ,^ 右在超過此時間範圍時則清潔效果盔顧著声 加。清潔溫度較佳為20 $ 1Qn> …”貝者曰 t門”、、 〇 C，加熱溫度到50至130 C間將明顯地增進清潔效果。 ^本發明之清潔方法中，藉由使用_/Ε之塞氣清潔 有^^去附著於該經清潔物件之清潔劑。如何完成並 Γ 的限制’且可使用任何熟知的方法。舉例而 物件/ 槽中’沖洗附著於該經清洗 Γ^Γ 後使該物件穩定安置於此_E之飽和 層中使蒸氣清潔該物件而獲得清潔之產物。該沖洗槽 317907 13 1330195 可為熱水浴或冷水浴之其中一者，或 μ田 馬了增進沖法 效杲，可附加攪拌器或超音波振盪器。最有效的方无 在熱水浴中沖洗，之後再以裝配有超音波振心的^水= 沖洗。在沖洗槽中將該經清潔的物件冷卻至低於卯^£沸 點之溫度，然後取出該物件並將該物件導入至卯WE , 和蒸氣層中，於是該HFC/E在該經清潔的物件表面上 並液化，並在沖洗槽中將含有無法去除之髒污的清潔^置 換而完成沖洗。如果HFC/E與本說明書的清潔劑間之=容 性太低，則此置換可能不夠充足，將會造成清潔劑仍然2 該經清潔物件的表面上，而導致污潰在此表面上。然而， 由於本發明之清潔劑組成物與該HFC/E在該hfc/e沸點附 近相容地摻合，因此就不會發生此等不充足的清潔。一旦 完成沖洗之後，該經清潔的物件表面只被該HFC/E沾濕， 而因此能快速乾燥。 慣例地施予蒸餾以從蒸氣清潔劑中分離出清潔劑成分 儀•或髒污成分。本發明之清潔劑組成物亦可利用蒸餾從蒸氣 /月’糸劑中分離出，然而問題在於蒸顧通常費時且昂貴。如 第1圖所示，該蒸氣清潔劑與本發明之清潔劑組成物之相 谷性明顯地受溫度影響，因此本發明之清潔方法亦包含分 離方法’其中冷卻蒸氣清潔劑之冷凝液或含有清潔劑之沖 洗槽以分離成兩層，並將各層再回收與再利用。本說明書 中’藉由蒸顧等將該清潔劑組成物與該髒污成分分離之 後’將該重新得到含有髒污成分的清潔劑再利用。 待清洗物件之實例包括電氣與電子零件、光學零件、 14 317907 / '、、機械零件、汽車零件與其它此等交 件之實例可著重於包括印刷二。電l電子元 等電路板；導線框n 、旬瓷電路板與其它彼 件;繼電-(二)=e)與其它此等半導體封袁構 ㈤ay)、連接器與其它彼 ::、：衆顯示器、與其它此等顯示器之零二 二之=它此等磁性健存零件;石 = 此等之壓電零件；馬達、 . 匕 鏡子r “…二 “ <槓在軸丞，與其它此等零件。 =於待清潔之物件之騎種類之實例包 =助：由鑛物油等所構成之機械油，植物油、 綱與助熔劑具劑:ΐ發明之清潔劑組成物 纽 、有❹㈣之繼容性。

現在將透過實例與比較例來詳 此等實例並非意圖限制本發明。 細地描述本發明，然 而 只例1至5與比較例1至1 〇 清潔劑之製備 根據表1所示之吾，g交丁， 。 將正十一烷（n-Cll ;沸點：ι71 C)、正十二烷(n-Cl2;沸點：2〇9。〇與醋酸3 曱基丁酯（MMBAC ;沸點.。广、仏人在丨 "、· 18 8 C )摻合以製備實例1至5虚 比較例1至10之清潔劑。 〃 317907 15 1330195 tt|$i列 10 Ο ' L〇 CO tfc$删 9 s CO CO t嫩列 8 S s 寸 CO 細列 7 S CO CD t嫩列 6 另 LO CO t嫩列 5 c=> <〇 τ—Η t嫩列 4 c? o LO tt|蝴 3 Q CO 罐列 2 § 1 Ο Ο 1—« oo CO § CO CO 實例 3 s CO 實例 2 S s oa § n-Cll (重量％) n-C12 (重量90 /-N O ^ 戔—l s Ή s^/ 閃點（°c) 16 317907 1330195 閃點 ，表1亦顯示實例1至5與比較例1至10中清潔劑之特 =杯式間點（TAG cl〇sed_CUp f lash p〇int)(JIS K2265)。 蒸氣清潔劑中之溶解度 发里測貫例1至5與比較例J至4之清潔劑在m2一 四氟乙基^^’仏三氣乙基峻咖⑴之溶解度^等結果 顯示於表2與第！目。本說明書溶解度量測之上限設定在 100克/100克HFE-1。實例i至5之清潔劑在阶與猶」 能相容地摻合’而當進行冷卻時則該相容性急驟地下降。 相反地，比較例1至3之清潔劑在5〇。〇於HFEq中有低的 溶解度’所以置換仍附著於零件上之清潔劑趨於困難。因 此’在實例1至5之相同條件下，當它們藉由蒸氣清潔 清潔時’則無法達到充分沖洗。由於比較例4之清潔劑 -l〇°C於HFE-1能完全相容地相容摻合，所以該清潔叫 蒸氣清潔劑⑽Η)無法分離，且當冷卻時不能各別地回μ 收。於表2中所附加之在50〇c溶於ημ—〗之各清潔 限為100克/100克HFE-1)於-HTC之回收速率，傲力、上 與回收之速率。 做為分離 317907 17 1330195

CXI 比較例 4 4cd o r*_< C5 〇 X 〇 〇 比較例 3 CO Cvl 03 1 < CO oo 〇 〇 X 〇 比較例 2 LO CO οα 03 1 ( s X X X 〇 比較例 1 οα 1 H LO X X X X 實施例 5 o o i—H CO (N1 oo CJi 〇 〇 〇 〇 實施例 4 c=> 〇 1 < un CO i 1 CD cr> 〇 〇 〇 〇 實施例 3 〇 <〇 卜 寸 CO CO 1—H cn 05 〇 〇 〇 〇 實施例 2 C? CQ oa C<I r—H s 〇 〇 〇 〇 賁施例 1 t—4 寸 CO 03 CO 〇 〇 〇 〇 50°C 40°C 30°C 20°C -10°C 分離與回收速率（％於 -10°C) 松香溶解度 助熔劑之移除 蠟之移除 植物油之移除 在HFE-1中之 溶解度 (克/100克） 18 317907 1330195 松香溶解度 將實例1至5與比較例1至4之渣、、智泡丨n 一 ν , Ν 潔劑進行松香（Kanro 如㈣溶解度試驗。混合㈣量％之各清潔劑與㈣量％ 之树脂’ t即’混合物中該清潔劑對樹脂之重量比為4〇 比60 ’於室溫下使該混合物暴露於超音波幅射（輸出 麵’頻率議Z)5分鐘，以肉眼檢測該產物以查驗是否 有任何不溶之部份。表2中，〇代表該成分完全相容地掺 合，而X表不出現不溶成分，即使該不溶成份為非常少量。 從彼等、、，σ果’瞭解到實例丨1 5之清潔劑展現高松香溶解 度，而比較例1至2之清潔劑之松香溶解度則較差。 助溶劑之移除 藉由清潔金屬片（厚度為〇· 03mm之50x50mm鋼片）並於 250 C回流30秒，來評估助熔劑移除程度，而該金屬片在 9個位置處塗覆含有以松香為主之助熔劑 (SQ-1 030SZM-1，由 Tamura Kaken 製造）的焊料（每一位置 有1毫克）。在充滿2 0 0 cm3清潔劑的清潔槽中，使欲清潔 之物件於液體溫度2〇°C下進行超音波（輸出1〇〇w，頻率 28kHz)以清潔1〇分鐘。清洗之後，檢測該金屬片是否有微 里之助熔劑，若未發現則以〇表示，若即使發現有少量則 以X表不。從此等結果瞭解到實例1至5之清潔劑展現高助 熔劑之移除。 蠟之移除 精由清潔金屬片（厚度為0. 〇3mm之50x50mm銅片）來評 估壞之移除之能力’而該金屬片塗覆含有以100毫克萜烯 19 317907 1330195 . 盼料月曰為主之蝶（Alcowax 542M，由Nikka Seiko製造）， $至溫下藉超音波幅射（輸出100W，頻率28kHz)來進行清 你30秒。在此項評估中，計算該蠟殘質的比（剩餘蠟對初 •始塗覆量之重量比«))，若該殘質比低於15%則以〇表 .示若該殘質比等於或高於15%則以X表示。從此等結果顯 .示出實例1至5之清潔劑展現蠟良好之移除。 ， 植物油之移除 藉由在至’·1111下使用超音波輕射（輸出100W，頻率28kHz) 60心，清洗塗覆含有3〇〇mg至4〇〇mg之蓖麻油（製造商： Kanto Kagaku)之薄層網狀金屬片（laminated脱汕sheet) (由不鏽鋼製成，其直徑為3〇丽而厚度為1〇mm),來評估 植物油移除之程度。在此項評估中，計算該植物油殘質的 比（剩餘植物油對初始塗覆量之重量比（％))，若該殘質比低 於15%則以〇表示’若該殘質比等於或高於15%則以X表 不攸此等結果中，了解到實施例i至5之清潔劑展現高 植物油之移除。 工業上之應用 本發明之清潔劑組成物不會帶來任何環境問題，例如 •臭氧層破裂，極少被指定分量為危險物質；減少由於蒸發 .:夺^貝耗’可於加熱下進行清潔；充足的乾燥效果；回收 簡單。因此，本發明有助於去除助熔劑、蠟、機械油等， 尤其是附著於電氣與電子零件、光學零件、汽車零件、精 密機械零件與其它彼等零件之此等物質的辭污複合物。 【圖式簡單說明】 317907 20 1330195 第1圖為表示本發明清潔劑組成物在1，1, 2, 2-四氟 乙基2, 2, 2-三氟乙基醚（為一種HFE)之溶解度的圖表。

21 317907

Claims (1)

1. 叫〇195

   -------— ϋ/)正本 申請專利範圍…: ,-第*95406542號專利申請案 :八 (99¾]^ 15 a) .一種清潔劑組成物，‘括2〇至6〇重量％之沸點為2〇〇 至350°C的飽和烴，與4〇至8〇重量％的具有羥基的脂 肪烴衍生物與醋酸之酯類，其中該清潔劑組成物之閃點 至少為7(TC。 如申明專範圍第1項之清潔劑組成物，其中該餘和烴 之碳數為12至19。 ·.如申請專利範圍帛1項或第2項之清潔劑組成物，其中 該醋酸酯為醋酸3-甲基-3—甲氧基丁酯。 :·—種清潔方法’包括藉由使用中請專利範圍第1至3 項中任-項之清潔劑組成物浸潤清潔待清洗之物件，隨 後於氫氟碳化物或氫氟驗中浸潤沖洗。 .種清潔方法，包括如下之步驟·· 錯由申請專利範圍第4項之清潔方法清潔待清潔 之物件；

   …藉由使該物件與氫氟碳化物或氫氟_之蒸氣接觸 以条氣清洗該物件；及 使該物件乾燥； 其中該清潔劑組成物與該氫氟碳化物 該蒸氣清潔t相容地摻合，因此在該經清潔之物件表在面 ^的該清潔劑組成物將以氫氟碳化物或氫氟驗來置 氟複清潔後’含有該清潔劑組成物之該氫 :::物或㈣醚藉由冷卻分成兩層，且能回收該兩層 317907修正版 22 1330195 第95106542號專利申請案 (99年1月15曰） 6.如申請專利範圍第4或5 .項之清潔方法，其中該氫氟碳 化物或氫氟醚之閃點4 30至15(TC。 23 317907修正版