TWI355364B - - Google Patents

Description

1355364 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明’是關於使用壓縮空氣等之流體，使對象物上 浮的上浮式裝置以及一面使之上浮一面進行搬運的上浮式 搬運裝置。 【先前技術】 使用壓縮空氣等之流體，一面使對象物上浮而一面進 行搬運的上浮式搬運裝置已被提案有數個。此等之上浮式 搬運裝置’在典型上，爲具備有複數個：各別具備可使空 氣等流體通過之噴出孔的上浮式裝置。噴出於上浮式裝置 與對象物之間的空氣等之流體產生壓力，對象物藉由此壓 力而上浮，並受到由搬運裝置產生的驅動力而被搬運。關 連之技術，係揭示於日本特開2006-182563號公報。 【發明內容】 本發明，其目的在於提供一種即便對精度的要求較低 ，且爲更簡略的構造，但能實現均等壓力產生的上浮式裝 置及上浮式搬運裝置。 依據本發明之第1樣態，提供一種藉由流體使具有下 表面的對象物上浮的上浮式裝置。上述上浮式裝置，係具 備有：將上述流體通過的氣室予以劃分的基部；及具有上 表面、以及與上述氣室連通而於上述上表面呈開口之一個 以上的噴嘴，並以覆蓋上述氣室之方式所配置的板塊；以 -4- 1355364 及具有朝向上端變狹窄的內面’並使上述內面與上述板塊 的上述上表面以可將連通於上述噴嘴而於上方呈開放的空 虛空間予以包圍之方式，配置在上述板塊之上方的框構件 〇 依據本發明之第2樣態，提供一種用以藉由流體使具 有下表面之對象物上浮而進行搬運之上浮式搬運裝置。上 述上浮式搬運裝置’具備有：上浮式裝置、流體供給裝置 、以及搬運裝置，上述上浮式裝置’，係具備有：將上述流 體通過的氣室予以劃分的基部；及具有上表面、以及與上 述氣室連通而於上述上表面呈開口之一個以上的噴嘴，並 以覆蓋上述氣室之方式所配置的板塊；以及具有朝向上端 變狹窄的內面，並使上述內面與上述板塊的上述上表面以 可將連通於上述噴嘴而於上方呈開放的空虛空間予以包圍 之方式’配置在上述板塊之上方的框構件，上述流體供給 裝置’爲將上述流體施予壓力使之朝向上述氣室進行供給 ’上述搬運裝置，是用以搬運上述對象物。 較佳爲’上述噴嘴，是包含沿著由長方形、橢圓形、 以及長圓形所成的群組所選擇出之任一種形狀的周圍且隔 以間隔而排列之由圓形孔、矩形孔' 以及狹縫所成的群組 所選擇出之任一種的貫通孔。 【實施方式】 參照圖面說明本發明之實施形態於以下。於本專利說 明書、申請專利範圍、以及圖面所說明之前方、後方、左 -5- 1355364 方、以及右方，係於圖面中分別以標記爲FF、 及R之方向來定義。有關此定義是爲了說明上 發明並非受此所限定。 依據本發明之實施形態的上浮式搬運裝置 讓對象物w上浮於垂直方向並搬運於水平之 例如後方FR )的裝置。作爲對象物W者，係 面狀之比較薄的物體，例如，適合於LCD (液 所用的玻璃基板等之薄板。對象物W，並不是 性爲平面狀才可以，只要其下表面之至少一部 即可。爲了使其上浮，故例如利用諸如空氣等丨 對象物W ’若爲LCD所用之薄的玻璃基 在無塵潔淨的環境下進行搬運之物品時，上述 裝置1則要使用在無塵室內等之無塵潔淨的環J 上浮式搬運裝置1，如第1圖所示，係具 於前後方向的基台3、在基台3上於前後方向 裝置5、以及在基台3上於前後方向及左右方 列的複數個上浮式裝置21。於上浮式裝置21 有圖示出之供給壓縮空氣的空氣供給裝置來作 流體之流體供給裝置。也可以利用氮氣或氬氣 、或是液體等其他流體來取代壓縮空氣。 搬運裝置5，在基台3上的左端及右端附 有於對象物W的搬運方向成列的複數個輥子： ，分別經由旋轉軸7 s與蝸輪1 1 一體地連結著 架9旋轉自如地被支持。將基台3貫通於前後 FR、L、以 的方便，本 1 ’是用以 搬運方向（ 整體性爲平 晶顯7K器） 非得要整體 分爲平面狀 商體。 板等之必須 上浮式搬運 竟下。 備有：延伸 成列的搬運 向之兩方成 ，連結著沒 爲用以供給 等其他氣體 近，分別具 〜各輥子7 ，並藉由托 方向之方式 -6 - 1355364 地具備有一對驅動軸13，各驅動軸13具備有能夠驅動地 與各蝸輪11咬合的蝸桿15。於各驅動軸13的前端’經由 聯軸器等可驅動地連結於馬達17的輸出軸17s。藉此’各 輥子7，受到馬達17的驅動力，而成爲能夠以相同的旋轉 速度旋轉。如第2圖所示，上述各輥子7的上端部’僅比 上述上浮式裝置21的上表面些微地突出於上方地，以一 同齊平於單一平面上之方式來配置。對象物W，即使在呈 上浮的狀態下，如第2圖所示，也可以接觸於須接受到驅 動力的輕子7。 馬達1 7並不必須要有一對，兩驅動軸1 3也可以經由 鏈條等之適切的結合手段而連結於單一的馬達。又，也可 以將能夠驅動的夾持器（clamper )或輸送帶等之搬運手 段應用在搬運裝置5中來取代輥子。 參照第3圖及第4圖，各個上浮式裝置21，係具備有 基部23’各基部23’是夾介托架25而被固定在基台3上 。各基部2 3，係於其內側’劃分有：使由空氣供給裝置所 供給的壓縮空氣暫時性通過的氣室（chamber ) 27。氣室 27係於其上部具有開口，平板狀的板塊29覆蓋著該開口 。於板塊29的上方’相對於基部23固定有框構件33。框 構件33係如圖示地亦可以將板塊29夾持在與基部23之 間’或是直接接觸於基部23亦可。 板塊29 ’係具有與氣室27連通，並於其上表面呈開 口的複數個噴嘴31。噴嘴31，如第5圖所示，爲沿著長 方形的周圍排列的圓形孔。亦可以適用橢圓形、或是長圓 1355364 形等之其他的形狀來取代長方形。並且，取代圓形孔，也 可以適用矩形孔、或是如第6圖所示之貫通的狹縫。如第 5圖及第6圖所示’噴嘴31’從正上方觀察，是以配置排 列在圖面中比以兩點鎖線所示之框構件3 3之上部的開口 還位於外側’且比框構件之內面的下端還要內側爲佳。亦 即，於水平投影面上’噴嘴3 1是排列在框構件3 3之內面 之正投影的區域。藉此’從噴嘴31所噴出之壓縮空氣， 首先碰撞於框構件3 3的內面，然後沿著內面朝向上方被 引導。或者是，使噴嘴31分別朝向框構件3 3的內面、或 是朝向內側傾斜亦可。以上皆有助於使壓縮空氣朝向內側 推壓。 回到第3圖及第4圖，框構件33，係具有：具有開口 之接觸於板塊29(或是基部23)的下端、以及朝向大致 爲平面之頂上表面呈開口的上端，而爲上下的開口彼此連 通之長方形的框。其內面3 3 a爲傾斜，朝向上端變爲狹窄 。亦即，其下端是藉由接觸於板塊2 9 (或是基部2 3 )， 使內面33a及板塊29的上表面，包圍於上方呈開放的空 虛空間，從上述噴嘴31所噴出的壓縮空氣，通過該空間 而能朝向上方噴出。此時，壓縮空氣被引導朝向上方變狹 窄的內面3 3 a而朝向內側被推壓。朝向內側之壓縮空氣的 流動，有助於在框部3 3與對象物W的下表面之間產生均 等的壓力。雖然傾斜愈大的話此一傾向愈爲顯著，不過由 於過大的話，框構件3 3之製作上有困難，因此傾斜例如 以45°爲佳，但並非僅限於此。 -8 - 1355364 較佳爲’複數個上浮式裝置21，其框構件33之頂上 表面彼此以成爲單一平面之方式一起齊平。此乃有利於將 對象物W的上浮高度予以安定化。板塊29並不限於平板 狀，如第7圖所示，亦可具備大致於中央的突起35。並以 可殘留下框構件33包圍之空虛空間的方式，使突起35的 局度比框構件33還低爲佳。 各上浮式裝置21的各氣室27，是藉由沒有圖示出的 配管而相互地連通’然後進一步地連通於空氣供給裝置。 空氣供給裝置’經由配管並能夠控制地將壓縮空氣供給至 各上浮式裝置21。作爲空氣供給裝置，雖以具備有：電氣 性地接連於換流器電源的送風機馬達、以及藉由送風機馬 達所驅動的送風機，爲適切，但並非受此所限定。空氣供 給裝置’亦可以具備：適宜讀取對象物W之資訊的讀取 裝置、或是控制空氣流量的控制器等。 當從空氣供給裝置將壓縮空氣朝向各氣室2 7供給時 ，從各噴嘴31噴出壓縮空氣。所噴出的壓縮空氣，如第3 、4、7圖所示，在框構件33劃分的空間與對象物W的下 表面之間的空間，形成產生使上述壓縮空氣爲均等壓力的 空間S。藉由在具有均等壓力之空間S所支撐，對上述對 象物W施予浮力而使之上浮。另一方面，藉由驅動一對 的馬達17’使一對的驅動軸〗3同步地旋轉。藉由蝸輪π 與蝸桿1 5的咬合，驅動軸1 3的旋轉傳動給各輥子7。被 搬入於上浮式搬運裝置1上的對象物W，藉由接觸於旋轉 的輥子7而在上浮的狀態下被搬運。 -9- 1355364 本實施形態，係不需要如同由島構件及包圍該島構件 的框構件所劃分出之狹窄狹縫的噴出孔，而僅藉由具有朝 向上方並具有狹窄內面的框構件便可以形成產生均等壓力 的空間s。而藉由狹縫之情形時，爲了使其寬幅均等，對 於島構件及框構件之兩者要有較高度的加工精度，且必須 精密地維持該等的位置關係。本實施形態，並不需要那麼 高的加工精度，也不需要島構件本身。 Φ 以上參照適合於本發明之實施形態進行了說明，但本 發明並不受上述實施形態所限定。具有本技術領域之通常 技術者，可依據上述所揭示的內容，藉由對實施形態之修 正乃至於變形來實施本發明。 〔產業上之可利用性〕 本發明’提供一種即便對精度的要求較低，且爲更簡 略的構造，但能實現均等壓力產生的上浮式裝置及上浮式 φ 搬運裝置。 【圖式簡單說明】 第1圖，是本發明之實施形態之上浮式搬運裝置的部 分上視圖。 第2圖，是沿著第1圖之II-II線截取後的部分斷面 圖。 第3圖’是將本發明之實施形態之上浮式裝置予以橫 向方向剖斷後的斷面圖。 -10- 1355364 第4圖，是將上述上浮式裝置予以縱向方向剖斷後的 斷面圖。 第5圖，是對應於第3圖之V-V線之上述上浮式裝置 之板塊的上視圖。 第6圖，是對應於第3圖之V-V線之變形例之板塊的 上視圖。 第7圖，是其他之實施形態之上浮式裝置的斷面圖。 _ 【主要元件符號說明】 1 :上浮式搬運裝置 3 :基台 5 :搬運裝置 7 :輥子 7s :旋轉軸 9 :托架 # 1 1 :蝸輪 13 :驅動軸 15 :蝸桿 21 :上浮式裝置 23 :基部 25 :托架 27 :氣室 29 :板塊 3 1 :噴嘴 -11 - 1355364 3 3 :框構件 3 3a :內面 35 ： 突起 FF :前方 FR :後方 L :左方 R :右方 S:壓縮空氣爲均等壓力的空間 W :對象物

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Claims (1)

1355364 十、申請專利範圍 1· 一種上浮式裝置，爲藉由流體使具有下表面的對 象物上浮的上浮式裝置，其特徵爲： 具備有： 將上述流體通過的氣室予以劃分的基部；及 具有上表面、以及與上述氣室連通而於上述上表面呈 開口之一個以上的噴嘴，並以覆蓋上述氣室之方式所配置 的板塊/以及 具有朝向上端變狹窄的內面，並使上述內面與上述板 塊的上述上表面以可將連通於上述噴嘴而於上方呈開放的 空虛空間予以包圍之方式，配置在上述板塊之上方的框構 忤。 2. 如申請專利範圍第1項之上浮式裝置，其中上述 噴嘴，是包含沿著由長方形、橢圓形、以及長圓形所成的 群組所選擇出之任一種形狀的周圍且隔以間隔而排列之由 圓形孔、矩形孔、以及狹縫所成的群組所選擇出之任一種 的貫通孔。 3. —種上浮式搬運裝置，爲用以藉由流體使具有下 表面之對象物上浮而進行搬運之上浮式搬運裝置，其特徵 爲： 具備有：上浮式裝置、流體供給裝置、以及搬運裝置 > 上述上浮式裝置’係具備有：將上述流體通過的氣室 予以劃分的基部；及 -13- 1355364 具有上表面、以及與上述氣室連通而於上述上表面呈 開口之一個以上的噴嘴，並以覆蓋上述氣室之方式所配置 的板塊：以及 具有朝向上端變狹窄的內面，並使上述內面與上述板 塊的上述上表面以可將連通於上述噴嘴而於上方呈開放的 空虛空間予以包圍之方式，配置在上述板塊之上方的框構 件， φ 上述流體供給裝置，爲將上述流體施予壓力使之朝向 上述氣室進行供給， 上述搬運裝置，是用以搬運上述對象物。 4.如申請專利範圍第3項之上浮式搬運裝置，其中 上述噴嘴’是包含沿著由長方形、橢圓形、以及長圓形所 成的群組所選擇出之任一種形狀的周圍且隔以間隔而排列 之由圓形孔、矩形孔、以及狹縫所成的群組所選擇出之任 一種的貫通孔。 -14-