TWI379375B - - Google Patents

Description

1379375 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於最適合顯示裝置製造等 業的搬運系統。 【先前技術】 液晶顯示器（LCD )、電漿顯示器（ 光顯示器（ELD )等顯示裝置的製造，是 埃或水分的附著，因此需要潔淨環境。潔 對各作業，對於連結各作業間的搬運裝置 夠達到潔淨環境。 通常，爲了達到上述潔淨環境，利用 無麈室，具備：具有腔室可使空氣流動在 具有和天花板相同腔室的地板；及可連通 流的風管。再加上，無塵室又具有利用特 除微細塵埃及其他污染物質的送風裝置， 風裝置是設置在天花板。淨化後的空氣是 天花板流下，藉此使內部達到潔淨環境。 淨化程度，及爲了防止濾器變差，潔淨空 而是聚集在地板的腔室，通過上述風管回 室，重覆通過送風裝置的濾器。 無塵室，具有上述特別的構造，因此 此外，爲了天花板及地板的腔室，需要不 大閒置空間。如顯示裝置製造等龐大作業 需要潔淨環境作 PDP)、電致發 需要避免微細塵 淨環境並不只針 也是相同期望能 無塵室。典型的 內部的天花板； 兩腔室使空氣回 別濾器從空氣去 典型的例如該送 利用送風裝置從 爲了維持高標準 氣並未流出外部 流至天花板的腔 無法容易構築。 設有裝置的龐 的裝置及該作業 -5- 1379375 此氣密連結著，再加上，各面板5、7、9、11的上端氣密 覆蓋著天花面板13。此外，各面板5、7'9、11的下 端，構成爲對地板面接觸成氣密。或者，腔室3的地板面 側也可不開放，由地板面板封閉著。各面板彼此的連結也 可不需要爲永久性，而是能夠拆卸。特別是，天花面板 1 3是以可拆卸爲佳。 後面板7和前面板5，分別具有玻璃基板W搬入和搬 出用的開口 15、21。腔室3，又具備有開口 15、21分別 封閉用的後遮板17和前遮板23，該後遮板17和前遮板 23是分別利用缸筒1 9、25的上下驅動成爲可開閉操作。 此外，遮板17、23，也可以具有左右方向活動性來取代 上下方向活動性。遮板17、23位於封閉位置時，構成爲 可封閉開口 15、21成氣密。 即，腔室3是設置在地板面上當各開口 15、21由遮 板1 7、2 3封閉時在其內部圍成密閉空間。另，如以上所 述’當設有地板面板時，僅由面板圍成密閉空間，地板面 也可以不參與成爲密閉空間包圍要素。 上述腔室3內，設有從搬入用開口 15延伸至搬出用 開口 21的支撐框架27。支撐框架27上，設有沿著其形 成排列，包含複數浮上裝置47的搬運裝置29。複數浮上 裝置47是排列形成在前後方向及左右方向的雙方。 搬運裝置29是在支撐框架27上的左端及右端附近， 具有分別排列形成在玻璃基板W搬運方向的複數滾輪 31 °各滾輪31是分別透過旋轉軸使其和蝸輪35成一體連 -8- 1379375 結著’各滾輪31是由托座33支撐成旋轉自如。一對驅動 軸37是配備成貫通在支撐框架27的前後方向，各驅動軸 37具備有可和各蝸輪35咬合成驅動的蝸桿39。各驅動軸 的前端，透過聯結器等連結有可驅動的馬達41輸出軸。 如此一來，各滾輪31，就會承接馬達41的驅動力，以相 同的旋轉速度進行旋轉。如第1圖所示，上述各滾輪31 的上端部，比上述浮上裝置47的上面還要稍微突出上 方’配置成一致位於單一的面上。玻璃基板W，即使是於 浮上裝置47使其上浮的狀態，如第1圖所示，還是能夠 接觸於承接有驅動力的滾輪31。 馬達41可以不需設置成一對，兩驅動軸37也可透過 鏈條等適宜的結合手段連結於單一馬達。此外，也可取代 滾輪，將可驅動的箝位器或輸送帶等搬運手段應用在搬運 裝置29。 於支撐框架27上在左右端附近的滾輪31之間，設有 具複數貫通孔45的鋼板43。各浮上裝置47是分別對應 貫通孔45設置在鋼板43上，各貫通孔45是分別連通於 浮上裝置47的內部。浮上裝置47分別具備有貫通在上面 的噴出孔49。即，從貫通孔45流入的空氣是經由浮上裝 置47的內部從噴出孔49噴出。 貫通孔49，最好是形成如第2圖所示從上方看時成 矩形的環狀，但並不限於此。橢圓形的環狀，或環的一部 份爲封閉的形狀等其他各種的形狀都可應用在該貫通孔 49。爲了讓噴出孔的寬度形成爲相同，噴出孔內也可設有 -9- 1379375 構件或突起。此外，噴出孔49，至少是於浮上裝置47 上面附近，具有朝內方成例如45 °的傾斜。 鋼板43的下方，配備有朝上方供應潔淨空氣的複 送風裝置51。各個送風裝置51，具備有：可從空氣去 微細塵埃及其他污染物質的濾器；及可吹出潔淨空氣的 風機。複數送風裝置51是彼此隔著間隔或是成鄰接沿 浮上裝置47 (即沿著搬運裝置29)排列，透過托座53 定在支撐框架27。利用上述的構造，可使送風裝置51 入外殼3所包圍的密閉空間內部的空氣，經由濾器淨化 朝上方即朝搬運裝置29及浮上裝置47供應。浮上裝 47是透過貫通孔45取入該潔淨空氣，然後從噴出孔 朝上方噴出 送風裝置，也可以是如第4圖所示的變形例。即， 器55是透過托座57固定在支撐框架27。鼓風機59是 定在濾器5 5下方，吸取密閉空間內部的空氣朝濾器5 5 風。 爲了增強浮上裝置47賦予玻璃基板W的浮力，也 在送風裝置51和浮上裝置47之間設有追加送風裝置等 壓手段。此外，爲了浮力的控制等的目的，無塵搬運系 1也可追加設有能夠靜態以至動態控制送風裝置能力的 制手段。 無塵搬運系統1，也可具備有能夠使內部密閉空間 干增壓的增壓手段。透過增壓能夠防止外部的塵埃侵入 若能夠適當管理塵埃的侵入，則降低外殼3的氣密程度 的 數 除 鼓 著 固 吸 後 置 49 濾 固 送 可 增 統 控 若 〇 亦 •10- 1379375 無妨。 本實施形態的無塵搬運系統1，其動作如以下所述。 首先，是由遮板17 '23封閉搬入和搬出用的開口 15、21。接著，啓動送風裝置51，吸取外殻3所包圍的 密閉空間內的空氣’將空氣淨化後供應至上方。潔淨空氣 是通過浮上裝置47供應至密閉空間內。密閉空間內的潔 淨空氣回流進入送風裝置51’更加以淨化，因此密閉空 間內的空氣潔淨度會逐漸提昇。最好是能夠讓潔淨度充分 上昇，此外可能的話’最好是搬運系統連絡用的前後裝置 的內部潔淨度也可與此相同。 當潔淨度已充分上昇時，就由缸筒19驅動後遮板 1 7，開啓搬入用的開口 1 5。搬運流程中是從上游側的裝 置’將玻璃基板W搬入至無塵搬運系統1內，使其位於 搬運裝置29上的區域A。由於空氣是從浮上裝置47噴 出，因此玻璃基板就成爲上浮狀態。若有需要則盡可能短 時間驅動前遮板17封閉開口 15。 接著，驅動馬達41使驅動軸37同步旋轉。透過蝸輪 35和蝸桿39的咬合，驅動軸37的旋轉會傳至各滾輪 31。玻璃基板W，是透過接觸於旋轉的滾輪31，使其以 上浮狀態朝搬出用的開口 21搬運。 當玻璃基板W接近搬出用的開口 21時，就由缸筒25 驅動前遮板23，開啓搬出用的開口 21。然後玻璃基板W 就會被搬出在無麈搬運系統1外，若有需要則盡可能短時 間驅動後遮板23封閉開口 21。 -11 - 1379375 根據本實施形態時，即使房間不具有無塵室的特別構 造即天花板及地板具備有腔室，還是能夠簡單實現局限於 無塵搬運系統內的潔淨環境。由於能夠節省腔室造成的閒 置空間，因此對於裝置的平面配置就能夠提供較大的自由 度。由於潔淨空氣不流出至外部，因此能夠追求高潔淨度 空氣的同時，有利於省能效率。由於不需要附加設有空氣 回流用的裝置，因此能夠使裝置全體規模變小。此外，運 轉中幾乎全部的期間都會回流有潔淨度高的空氣，因此能 夠抑制濾器變差。 本發明是參照最佳實施形態進行了說明，但本發明並 不限於上述實施形態。根據上述揭示內容，具有本技術領 域之通常技術的人貢’都可透過實施形態的修正或變形來 實施本發明。 [產業上之可利用性] • 提供一種直接設置在地板面就能夠簡易構築’能夠回 流潔淨空氣的無塵搬運系統。 【圖式簡單說明】 第1圖爲本發明一實施形態無塵搬運系統的橫剖面 圖。 第2圖爲上述無塵搬運系統的平面剖面圖。 第3圖爲上述無塵搬運系統的縱剖面圖，圖中I·1剖 線爲表示第1圖的剖線’ Π-η爲第2圖的剖線。 -12- 1379375 第4圖爲無麈搬運系統變形例剖面圖。 . 【主要元件符號說明】 1 :無塵搬運系統 3 :外殼 5 :前面板 7 :後面板 Φ 9 :左面板 1 1 :右面板 13 :天花面板 1 5 :搬入用的開口 1 7 :後遮板 1 9 :缸筒 21 :搬出用的開口 23 :前遮板 ® 25 :缸筒 27 :支撐框架 . 29 :搬運裝置 31 :滾輪 33 :托座 35 :蝸輪 37 :驅動軸 39 :蝸桿 4 1 :馬達 -13- 1379375 4 3 :鋼板 45 :貫通孔 . 47 :浮上裝置 49 :噴出孔 51 :送風裝置 53 :托座 5 5 :濾器 # 57 :托座 59 :鼓風機 A :區域 FF :前方 FR :後方 L :左方 R :右方 W :玻璃基板 -14

Claims (1)

1379375 第097133742號專利申請案中文申請專利範圍修正本 民國101年5月1曰修正 十、申請專利範圍 1. 一種搬運系統，是設置在地板面上搬運對象物用 的搬運系統，其特徵爲，具備： 外殼，具有可操作成封閉的第1開口及可操作成封閉 的第2開口的面板，設置在上述地板面上，當上述第1開 口和上述第2開口封閉時藉著上述面板與上述地板面構成 可在內部圍成密閉空間； 搬運裝置，包含：設置在上述外殼內，構成爲從上述 第1開口朝第2開口搬運上述對象物的滾輪，及流體向上 方噴出使上述對象物上浮的浮上裝置；及 送風裝置’設置在上述外殼內，可淨化上述密閉空間 內的空氣，供應潔淨化空氣。 2. 如申請專利範圍第1項所記載的搬運系統，其 中’上述送風裝置是可從上述搬運裝置下側朝上側吹出上 述潔淨化空氣。 3. 如申請專利範圍第1項所記載的搬運系統，其 中’上述送風裝置是可從上述浮上裝置下側朝上側吹出上 述潔淨化空氣。 4·如申請專利範圍第1項所記載的搬運系統，其 中’上述浮上裝置，其噴出的上述流體爲上述送風裝置所 供應的上述潔淨化空氣。