TWI295659B - Transporting apparatus - Google Patents

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1295659 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 發明領域 本發明有關於運送裝置，該運送裝置具有朝向運送物 5 下面供給清淨空氣而以非接觸狀態支撐運送物的送風式支 撐機構、分別具有將運送方向之推進力授予前述運送物之 推進力授予機構的第1運送部與第2運送部、配置於連接前 述第1運送部與前述第2運送部之位置的中繼運送部。 【先前技術】 10 發明背景 上述運送裝置係用以運送液晶用玻璃基板等前述運送 物者，習知運送裝置係將推進力授予機構建構成對於與前 述運送物之運送方向正交之橫寬方向之兩端側授予推進力 的兩側驅動式，且建構成以水平姿勢或略水平姿勢運送前 15 述運送物（參照例如特開平2002 —321820號公報）。 又，變更前述運送物之運送方向之習知其他運送裝 置，係具有將前述運送物朝向第1運送方向運送的第1運送 部、將前述運送物朝向與前述第1運送方向交叉之第2運送 方向運送的第2運送部、將已朝向第1運送部之運送下面側 20 端部運送之前述運送物的運送方向，從第1運送方向變更成 第2運送方向而交付至第2運送部之運送上面側端部的中繼 運送部者(參照例如特開平2000 —62951號公報）。 建構成該中繼運送部具有保持前述運送物的保持機 構、使該保持機構以縱軸心旋轉的旋轉驅動部、使保持機 1295659 構昇降的氣缸，藉保持機構而保持已朝向第1運送部之運送 下面側端部運送之前述運送物，藉氣缸而使該保持機構上 昇，藉旋轉驅動部而於縱軸心周圍轉動並將前述運送物置 於第2運送部上方，藉氣缸而下降，使其交付至第2運送部 5 之運送上面側端部以將運送方向從第1運送方向變更為第2 運送方向。 【發明内容】 發明概要 發明所欲解決的課題 ίο 上述第1運送裝置係不能將前述運送物朝向與第1運送 労向交叉之第2運送方向運送者。 又，上述第2運送裝置有必要於中繼運送部具有保持機 構或氣缸、旋轉驅動部等，且要超過位於橫寬方向之下游 運送部側的機構而運送前述運送物，而形成構造為複雜的 15 裝置。又，此運送裝置具有使前述運送物以非接觸而支撐 的整體裝置在軌道上移動的構造。如此裝置因以非接觸來 支撐前述運送物，故要運送供給之空氣之管的長度有限 度，因此不適用於長運送路徑的使用。 本發明之目的在於提供具有對前述運送物接觸而授予 20 推進力之推進力授予機構者，且能變更前述運送物之運送 方向或運送姿勢之至少其中任何之一的運送裝置。 解決課題的手段 本發明之運送裝置係具有朝向運送物下面供給清淨空 氣而將前述運送物支撐成非接觸狀態的送風式支撐機構、 1295659 分別具有對前述運送物授予運送方向之推進力的推進力授 予機構的第1運送部與第2運送部、配置於連接前述第1運送 部與前述第2運送部之位置的中繼運送部。 依據第1樣態之特點，該運送裝置具有前述推進力授予機 5 構藉接觸前述送風式支撐機構所支撐之前述運送物下面而授 予前述推進力，且具有變更已到達前述中繼運送部之運送物的 運送方向或運送姿勢之至少其中任何一方，而將前述運送物交 付至下游側之運送部的機構。 藉此，能提供具有對前述運送物接觸而授予推進力之 10 推進力授予機構者，且能變更前述運送物之運送方向的運 送裝置。 依據第2樣態之特點，前述第1運送部將前述運送物朝 第1運送方向運送，前述第2運送部將前述運送物朝與第1運 送方向交叉之第2運送方向運送，前述中繼運送部將從前述 15 第1運送部接收之前述運送物的運送方向從第1運送方向變 更至第2運送方向而交接至前述第2運送部，前述變更之機 構設於前述中繼運送部，前述變更之機構具有構成對離開 與前述運送物之前述第1運送方向正交之橫寬方向之前述 第2運送部之側之橫寬一端部，授予前述第1運送方向之推 20 進力的單側驅動式的第1推進力授予部、構成對離開與前述 運送物之前述第2運送方向正交之前後寬方向之前述第1運 送部之側之前後寬一端部，授予前述第2運送方向之推進力 的單側驅動式的第2推進力授予部，變更前述運送物之運送 方向，以使藉前述第1推進力授予部而授予推進力並朝前述 1295659 第1運送方向運送之前述運送物，藉前述第2推進力授予部 授予推進力而朝前述第2運送方向運送。 藉此，位於前述運送物之橫寬方向之第2運送物之側益 推進力授予機構，前述運送物位於橫寬方向之第2運送物: 側呈可移動狀態。而且，位於前述運送物之前後寬方向之 第1運送物之側無推進力授予機構，前述運送物位於前後寬 方向之第1運送物之側呈可移動狀態。 見 亦即，構成第2推進力授予部對於_與前述運送物之 10 15 第2運送方向正交之前後寬方向之第1運送部之側之横宽一 端側:授予推進力，因此’藉第冰進力授予部將前述運 物朝第1運送方向運送之際，能不妨礙對於前料送物之前 後寬-端狀城鱗前後寬另1料料進力 而進行運送，而能交付至第2推進力授予部。又，構成幻 推進力授予部對於_與前述魏物之^運送方向正交 之橫寬方向之第2運送部之側之 — · 因此’藉第2推進力授予部將前述運送物朝第2運送方向運 运之際’ β妨礙對於前述運送物之橫寬_ ==授予推進力的構成而進行運送，而能朝第2 有接之特點’前述第2推進力料部之構成具 有=2迷運送物下面而授予推進力之接觸式之2驅 動和且自由昇降於將前述魏物射述第2 樓的支齡置、㈣避免前述運送物與前述第2驅動部之接 20 1295659 觸而退避於下方的退避位置。 即’由於第2推進力授予部構成自由昇降於支撐位置盘 錢位置，因^㈣冰進力㈣部減退独置的狀 5 10 15 20 二、、,而錯㈣進力好部授予推進力而使朝第1運送方向 運运之前述運送物與第2推進力授予部之驅動部 :免前《送物的鶴。藉第2推進力授予料 : 2之際，以將第2推進力授予部上昇至支樓位置的狀能 猎第2推進力授予部之第2 〜、亚 送物下面而-面運送前述運送物—面接觸支樓前述運 因此’依帛2推進力授予部料風式支 支揮前述運送物，藉此能以更穩定的狀態—面去^同而 运物而一面將前述運送物朝第2運送方向運送，牙—運 送物朝第1運送方向運送之 且將珂述運 進力授予部之第决動部的_^=^送物與第2推 物之破損而-面平順地運送運送物。"―面避免前述運送 依據第4樣態之特點，前述以推進 運送物授予與幻運送方向反方向之推又:可對前述 力授予部可對前述運送物授予與第2運逆方料第2推進 進力’藉此，前述中繼運送部構 向反方向之推 之前述運送狀料運送部接受 向而交接至前述第1運送部，前述”推進^更成第1運送方 有接觸支撐前《麵下㈣授予 力Μ部構成具 :動部，且自由昇降於將前述運送物藉前述ΐ接觸式之第1 撑的讀位置、心避免前述運it物與·動部接觸 J达第1驅動部之 1295659 接觸而退避於下方的退避位置。 关p ’料1推進力授予部對前述運送物授予朝向第嚷 第^推’藉第2推進力授予部對前述運送物授予朝向 運迗方向推進力，藉此，能將前述運送物從第丨運送部 :朝，弟2運送部側運送之順方向運送，又，藉第工推進力 予部對前述運送物授予與第说送方向反方向推進力，藉 =、推進力授予部對前述運送物授予與第2運送方向反方向 、、，，藉此，亦能將前述運送物從第2運送部側朝向第2 10 變佳 運1^側運送之反方向運送，而使運送裝置之制方便性 變佳。 15 、艮又，由於第1推進力授予部構成自由昇降於支撐位置與 ^避位置，因此以使第1推進力授予部位於退避位置的狀 2而错第2推進力授予部授予推進力而使朝與第2運送方 °反方向奴之前料杨與第冰進力授予部之驅動部 2觸’即使將前述料物減方向運制情形下亦能避 別述運送物的破損。藉第_進力授料運送前述運送物 γ以將第i推進力授予部上昇至切位置的狀態，並藉 隹進力授予部之第1驅動部而能_面接觸支撐前述運送 下面而_面運送前述運送物。 料，依第⑽進力授予部與送機構的協同而 =述運賴，藉此能以更穩定的狀態讀前述運送物 ^述運送物平順地朝第i運送方向運送，且將前述運送 運送方向運送之際，能避免前述運送物與第i推進 授予部之第2驅動部的接觸。 20 !295659 接於==_點，具有第1阻擋部，該第_部頂 之前前述第1推進力授Μ而授予推進力 的前述㈣，祿如料橫寬方向移動 ㈣運錢、第2阻擔部，該第2阻 私動 送物之前述第2抽、隹士頂接於藉前述運 -端部側之1 =_予_^ 送物。 巾阻私向《前後寬方向移動的前述運 10 則述送風式支撐機構可將前述運 運送用姿勢與第2運送用姿勢，該第味、关安勢為第1 橫寬方向之橫寬另一端側比藉前述第勢係呈前述 推進力之前述橫寬—端側更位 ：予部授予 运用姿勢係呈前述前後寬方向之前辑文勢、該第2運 上第2推進力授予部授予推進力之前述:後宽 1:比藉前述 上方的傾斜姿勢。 、、側更位於 15 即’將前述運送物朝第1運送方向運〜 支擇機構作為幻運送用姿勢 7适之際，以送風式 20 比藉第1推物彻⑽㈣寬另—端侧 於上方的傾斜姿勢，支擇前述運送物，此見—端側更位 運送物之自重而朝斜下方授予推進力，送物藉前述 之傾斜而向橫斜下方移動，藉第m擋部頂2前述運送物 側面而能阻擒前述運送物之朝向橫、於w述運送物 又’將前述運送物㈣2運送方向運送夕之動。 支撑機構作為第2運送用姿勢，以前後 $’以适風式 端側比藉第2推進力授切授見向之前後寬另- 進力切後横寬—端例 1295659 f位於μ的傾斜姿勢，支樓前述運送物，前述運送物藉 =述運达物之自重而朝斜下方料推進力，並沿著前述運 ，、斜而向錢斜下方移動，藉第2阻擒部頂接於前述 運达物侧面而能阻擋前述運送物之朝向前後斜下方移動。 5 將前述運送物朝第1運送方向運送之際，能藉第 物朝二限制前述運送物朝向橫斜下方移動，將前述運送 送物朝向向運送之際，能藉第2阻擔部而限制前述運 前述運、'^斜下方移動，並藉前述運送物之自重而能使 二：：寬另一端惻移動或能使前述運送物 ^w 端側移動，因此運送前述運送物之 平順地運送前朝向橫寬方向錯開或傾斜’而能 接於盘&之特點’具有第1限制部’該第1限制部頂 15力之前述橫官—述第1推進力授予部而授予推進 面，而阻拎一端部側呈反對側之橫寬另-端部側之側 部，該第:$運运物朝向前述橫寬方向移動、第2限制 授予部而授接"1 與藉前述運送物之前述第2推進力 後寬另一端邮γ 1之$述4後寬一端部側呈反對側之前 听。卩側之相,|而 20寬方向移動。 而阻擋前述運送物朝向前述前後 送物的運送、H，於運送於前述第2運送方向之前述運 寬另-端部伽h i❿構成自由變更位置於頂接前述橫 方向之前述運=== 用位置、及從運送於前述第2運送 置 的運适經過路徑退避的退避位 12 1295659 〜前述第2限制部位於運送於前述第丨運送方向之前述運 =的運送經過路徑，而構成自由變更位置於頂接前述前 後寬另-端部側之側面的作用仅置、及從運送於前述第蟪 5适方向之前述運送物的運送經過路徑退避的退避位置。 1卩’將月ij述運达物朝向第1運送方向運送之際，藉使第 制#交更位置於作用位置，藉第^制部而能限制前述 送物朝向從橫寬方向之第1推進力授予部離開之侧移 。將前述運送物朝向第2運送方向運送之際，藉使第隱 ι〇宽部變更位置於退避位置，而不會造成將前述運送物朝肖 鲁 2運送方向運送之際的阻礙。 2 又將别述運送物朝向第2運送方向運送之際，藉使第 、、制邵、又更位置於作用位置，藉第2限制部而能限制前述 、☆物朝向從前後寬方向之第2推進力授予部離開之側移 15動2將前述運送物朝向第1運送方向運送之際，藉使第2限 更位置於退避位置，而不會造成將前述運送物朝向 第1運送方向運送之際的阻礙。 々因此，藉第1限制部能以更穩定的狀態將前述運送物朝 謂 向第1運送方向運送，藉第2限制部能以更穩定的狀態將前 2述運送物朝向第2運送方向運送，且能將第i限制部及第2限 制邛構成不會造成運送前述運送物的阻礙。 ^依據第7樣態之特點，前述第1限制部及第2限制部構成 藉述作用位置下降而變更位置於前述退避位置，前述 送風式支撐機構具有位於前述退避位 置之前述第1限制部 及前述第2限制部進入的凹部。 13 丄295659 即，藉使弟1限制冑m2 更位置於退避位置制部從作用位置下降而變 , 使弟1限制部及第2限制部進入設於 ^風式支撐機構的凹部。藉 5 10 15 位於退避位置於中繼運送部不必要確保 成中繼部運送部。、1縣弟2限制部’因此能精簡地構 依據第8樣態之特點， 塵埃之除塵過渡器二式支樓機構構成將去除 面供給清淨空氣之送風式機構;過==運送物下 元，並列於前體地組裝的送風式單 廷k方向及W述第2運送方向。 元並2僅將送風|置與除塵過心—體地組裝之送風單 兀亚列於前述運送物〜風早 運送物下面供給清淨而能設置朝運送之前述 ήν#η ^ 二並非接觸狀態支撐前述運送物 的运風式支撐機構，因此以U勿 簡單者，替㉝彳H ~風式支㈣構之設置成 達到製作容易化之運送裝置。 依據第9樣態之特點 > 運送方向運送，前送部將運送物朝向第1 向交又之第2運m 運送物朝向與第1運送方 丨運、、， $ n前料繼運送部以沿著前述第 1運运方向運送運送物 、 嘗引迷弟 物、， 在則述第1運送部之間運送運逆 物，亚m前” _運= 送部之間運送運送物。 逆U仕則返乐2運 前述中繼運送部具右 式支樓機構，一;+、4/、e a $力授予機構與前述送風 且右桩s 中繼運送部之前述推進力授予機構構成 具有接觸支撐與運送物械構構成 向之兩端部之-對推進力;^1料方向正交之橫寬方 堤力杈予部的兩側驅動式。 20 l295659 前述要變更之機構設於前述中繼運送部，前述要變更 之機構藉著前述推進力授予機構與前述送風式支撐機構的 相％昇降，而切換使運送物接觸前述推進力授予機構的第丄 s運送狀態與使運送物對前述推進力授予機構呈非接觸狀態 5的第2運送狀態，於前述第1運送狀態藉前述推進力授予: 樽所造成之推進力而在前述第丨運送部與前述中繼運送部 之間運送運送物，且於前述第2運送狀態藉授予前述第：運 迗方向之推進力的輔助推進機構而在前述第2運送部與前 1述中繼運送部之間運送運送物，藉此變更運送物的運送方 1 〇向。 上述習知運送裝置於進行分岐運送之際，使送風式支 樓機構旋轉於位於旋轉板中心之縱轴心周圍，因此藉該旋 轉所造成之離心力會有使送風式支擇機構所支樓之^送 之姿勢破壞的可能性，-旦為了抑制該破壞而弄慢送風式 15支撐機構之旋轉速度，則會有不能迅速地進行分岐運送及 合流運送的缺點。 ~ 依據第9樣態之發明的目的，在於提供能抑制分岐運送 及合流運送之姿勢破壞的可能性且迅速進行運送的運送裝 置。 20 # ’藉中繼運送部進行分岐運送的情形下，藉推進力 授予機構所造成之推進力峨帛丨科料人料物，藉推 進力授予漏與送支撐機構之相料降峨^運送 狀態切換至第2運送狀態’藉輔助推進機構所造成之推進力 而將運入的運送物運出至第2運送部，又，藉中繼運送部進 15 1295659 订合流運运的情形下，藉輔助推進機構所造成之推進力而 攸第2運达部運入運送物，藉推進力授予機構與送風式支擇 機構之相對昇降而從第2運送狀態切換至第1運送狀態，^ 推進力授予機構所造成之推進力而將運人的運送物: 5 第1運送部。 藉推進力授予機構之-對推進力授予部而接觸支擇運 送物之橫寬方向之兩端部並授予推進力，藉此，能穩定運 送物之姿勢且確實地授予推進力而在與第丨運送部之 行運送運送物。 Φ 10 而且’提供一種運送裝置，該運送裝置係於分岐運送 或合流運送之際進行之與第i運送部之間的運送運送物、中 繼運送部之第1運送狀態與第2運送狀態的切換、在第2運送 部與中繼運送部之間的運送運送物之其中任何者，由於運 物係不旋轉者’因此不必要為了抑制藉旋轉所造成之離 15心力而會有運送物之姿勢破壞的可能性，而弄慢運送物之 運=速度或弄慢將中繼運送部切換第i運送狀態與第2運送 狀態的切換速度，能抑制運送物之分岐運送或合流運送（ · 安勢破壞的可能性且能以穩定的狀態迅速地進行運送。 、、依據第10樣態之特點，前述中繼運送部係構成將前述 ☆風式支撑機構設置成，以設於前述第1運送部之送風式支 撐機構及設於前述第2運送部之送風式支擇機構相同或略 ， 同门度支撐運送物的局度，且將前述推進力授予機構構成 於前述第1運送狀態中與設於前述第丨運 機構相同或略同高度位置之上方位置，且構成 16 上“5659 中比設於前述第2運送部之 置之下方位置，而設成自由昇降操作。料構更下方位 至與術购㈣構上昇操作 5置之上方位置，而 進力授予機構相同或略同高度位 推進力授予機構下^至第1運送狀態’藉將中繼運送部之 予機構更τ枝置=域設料2料料推進力授 ^ 下方位置，而切換至第2運送狀態。 '、P，精推進力授予機構之昇降操作而不使送 撑機構昇降操作而切大支 10此，對於、至弟1運达狀悲與弟2運送狀態，因 ☆在、繼運送部之送風式支撐機構之第1運送部或 第2運弟部之运風式支撐機構的高度在第1運送狀態與 不會變化’因此，在第1運送部與中繼運送部 二運达之際及在第2運送部與中繼運送部之間運送之隊 均能平順地運送運送物。 Τ' _ 15、、，依據第11樣態之特點，前述中繼運送部係構成將前述 =風^支樓機構設置成，以與設於前述第设送部之推進力 授:機構相同或略同高度且比設於前述第2運送部之推進 力授予機構低之高度的固定狀態，且將前述送風式支撑機 構構成於4述第！運送狀態中以與設於前述第^運送部之送 20風式支標機構相同或略同高度支撐運送物的下方位置，且 構成别述第2運送狀態中以與設於前述第2運送部之前述送 風式支撐機構相同或略同高度支撐運送物的上方位置，而 設成自由昇降操作。 即’將設於中繼運送部之送風式支撐機構位於與設於 17 1295659 第1運送4之送風式支撐機構相同或略同高度之下方位置 而作為下降操作以切換至第1運送狀態，將設於中繼運送部 之送風式支撐機構位於與設於第2運送部之送風式支撐機 構相同或略同高度之上昇位置而作為上昇操作以切換至、 5 2運送狀態。 、 10 15

亦即’藉送風式支撐機構之昇降操作能不昇降操作推 進力授予機構而切換成第1運送狀態與第2運送狀態，因此 對於設在第1運送部或設在第2運送部之送風式支撐機構之 中繼運送部之推進力授予機構之高度在第1運送狀態與第2 運史狀態不會變化，因此，可容易構成設於前述各個裳置 ，推進力授予機構於一連串的傳動構造，而能抑制推進力 授予機構之傳動構造的複雜化。 依據第12樣態之特點 箓〇 别述輔助推進機構構成於前述 =運送㈣中制支撐運送物下面歸轉進力的驅動 ^體’且用以接觸支《述第境送㈣之運送物下 得觸支撐的自由昇降操作。

即’將運送物朝第2方向運送之際，能藉輔助推進 .i構之軸旋轉體而支撐運·下面，且能授予運送物第2 2〇 :向的推進力’因此能轉輔助推進機構之接觸支揮而 4疋姿勢的狀態將運送物朝第2運送方向運送。 槿依據第13樣態之特點1述輔助推進機構具有押壓機 傅’該押壓機構以頂接運送物 之月述運送方向之運送上方 ^側_狀態而向第2運送方向移動，藉此對運送物授予 ;則述第2運送方向之推進力者。 18 1295659 機構:二:係：運送物朝第2運送方向運送之際，藉押壓 之推進力的構^ 而’㈣運送物授予第2運送方向 5 10 15 實地將_====物刚動而能確 依據第14樣態之特點，設於 進力授予機構構成可授^ Λ “、，域送部之前述推 使運送物㈣前述第1運送方向

以沿著前述第2運送方向使運送物正反#移構動成―推進力 送：授運;部之第1運送方向兩側設置第1運 第2運逆方a 構刀咬運运之際使輔助推進機構沿著 ΐ使輔助1 料送物，授予推進力⑽合流運送之 際ΐ輔助推進機構沿著第2運送方向而反移動運送物，可構 成'進仃從-方的第i運送部運入運送物而將該運送物運 出f弟2運送部的分岐操作、及從第2運送部運入運送物而 將。亥運适物運出至另一方之第i運送部的合流操作等雙方 之便利的中繼運送部。

依據第15樣態之特點，前述送風式支撐機構構成將去 除塵埃之除塵過濾器、及透過該除塵過濾器朝前述運送物 下面t、〜月淨空氣之送風式機構予以一體地組裝的送風式 20單元，並列於前述第1運送方向及前述第2運送方向。 即，僅將送風裝置與除塵過濾器一體地組裝之送風單 元並列於第1運送方向及第2運送方向，而能設置朝要運送 之運送物下面供給清淨空氣並以非接觸狀態支撐運送物的 送風式支撐機構，因此，能使送風式支撐機構之設置成簡 19 1295659 10 15 20 單者’且能提供可達到製作Μ化 依據第16樣態之特點，前 I 運送運送物，前述帛2運"^相#1運送姿勢 丈、口弟1運送姿勢 轉於縱軸周圍之第2運送姿勢炎^、， 預疋角度疑 部在與前述第1運送部之間以及 < 中、、㈣运 運送物。 、ϋ㈣2運送部之間運送 前述要變更之機構設於前述 之機構藉設於前述中繼運送部之^運;^卩，前述要變更 述送風式支職構之相對昇降、〔推進力料機構與前 述推進力授予機構的運送用狀態與::==接觸前 !力?予機構呈非接觸狀態的旋轉狀態，於前二::: 悲，猎料減力料機構所造叙_力㈣前述第/運 达部與前述中繼運送部之間、以及前述中繼運送部盘 第2運送部之㈣送運送物，且於前輯她態，/著^以 使運达物在縱軸心周圍旋轉的姿勢變更機構而對 予旋轉力並切換成將運送物切換成前述第i運勢: 述第2運送姿勢。 勢〃月’J 習知運送裝置將運送物之姿勢從第工運送姿 ^運送絲之際，使切該運祕之姐歧料構旋轉 操作於位於旋轉板中心之縱軸心周圍，因此，將運' 至第,運送姿勢或第2運送姿勢之際，會有^ 的動力的缺點。 第16樣態之發明的目的在於提供將運送物之姿勢士換 至第1運送姿勢或第2運送姿勢之際不必要大的動_ =

20 1295659 裝置。 機槿I即’依據本發明之運送裝置，係構成使推進力授予 =式支揮機構相對昇降而將中繼 ==轉用狀態，對於以送風式支_支擇之運 送H勢錢機構授讀轉力而將運送物 迗安勢與第2運送姿勢。矣 A 币廷 物以送風式支浐機^切換姿勢之際的運送 才勢切換至第崎送姿勢 、物之 僅以姿勢❹㈣k 讀之際，對於運送物 ίο is 2〇 之姿勢切換至 微小的旋轉力即可，因此將運送物 動力的運送裝ϋ運运姿勢或第2運送姿勢之際不必要大的 二特點’係構成前述姿勢變更機構將用 心周圍m 下面之吸著部自由旋轉操作於縱轴 吸著邱％ “ A自由讀操作’於前猶制狀態以前述 及者4吸者保持前述運 解除對於前料以^ 讀，絲前親送用狀態 艮J乩連迗物之W述吸著部的接觸。 作轉用狀態藉吸著部吸著保持運送物而旋轉操 ===以將旋轉力授予運送物，__物而能將運 刀換至第1運送姿勢與第2運送姿勢，於運送用 、運、Ή於運送部之吸著部的接觸，因此能不妨礙吸著 冲而運送運送物。 Ir 構成3=:=、推進力授予機構及姿勢變更機構均 進力授予機構及姿=，能不將送風式支樓機構、推 勢又更機構分散於上下而整合配設於要 21 1295659 運送之運送物的下方，因此能構成將運送裝置精簡於 方向。 依據第I8樣態之特點，於前述中繼運送部設置姿勢修 正機構，該姿勢修正機構係從橫側方頂接於運送物，藉此 5將錯開冑述第1運送姿勢或前述第2運送姿勢之運送物:姿 勢修正成前述第1運送姿勢或前述第2運送姿勢。 文 即，以姿勢變更機構切換運送物之姿勢後，即使該姿 勢錯開第1運送姿勢或第2運送姿勢，亦可藉姿勢修正機= 從運送物之橫側方頂接而將運送物之姿勢修正為第丨運送 10姿勢或第2運送姿勢，而能將運送物之姿勢以適合於第1運 送部或第2運送部的姿勢運出運送物· 依據第19樣態之特點，前述中繼運送部之前述送風式 支撐機構以與設於前述第1運送部之送風式支推機構、以及 «又於别述弟2運送部之送風式支撲機構相同或略同的高产 15支擇運送物的高度來設置。 前述中繼運送部之前述推進力授予機構設成自由昇降 操作於前述第1運送狀態構成與設於前述第丨運送部之推進 力授予機構、以及設於前述第2運送部之推進力授予機構相 同或略同高度接觸支撐運送物的上方位置，且構成於前述 2〇第2運送狀態位於比設置於前述第1運送部之推進力授予機 構及設於前述第2運送部之推進力授予機構更下方的下方 位置。 即，藉送風式支撐機構之昇降操作能不昇降操作推進 力授予機構而切換第1運送狀態與第2運送狀態，因此設於 22 1295659 各第1運送部與第2運送部與中繼運送部之推進力授予機構 的高度關係在第1運送狀態或以運送狀態均不改變，而能 將設於前述各運送部之推進力授予機構構成一連串的傳動 構造，因此能抑制推進力授予機構之傳動構造的複雜化。 5 依據第20樣態之特點，前述送風式支撑機構構成將去 除塵埃之除塵過遽器、及透過該除塵過渡器朝前述運送物 I面供給m氣之送風式機料以—舰㈣的送風式 卓元’並列於前述運送方向。 10 15 20 即，僅將送風裝置與除塵過據器一體地組裝之送風單 元並列於前述運送物之運送方向，而能設置朝要運送之前 述運送物下面供給清衫氣並轉__切前述運适 物的送風式支撐機構，因此，能使送風式支樓機構之設置 成簡單者，且能提供可達到製作容易化之運送裝置。又 依據第叫篆態之特點，前述第！運送部將運^ 1運送方向運送，前述第2運送部將運送物朝向與第向英弟 向交又之第2運送方向運送。 迗方 ^ 又於丽述中龜運送部之前述推進力授予機播〜乂 第1運送料運送物運人前述巾繼運送部，保攸前述 前述中繼運送部之運送物上面“可將運杨到達 朝向爾述第2運送方向移送之移送機構， 外降及 廷物運出至前述第2運送部，藉此進行 '已運入之運 機

習知運送裝置之分岐運送用的運送部 I 構來支擇從第1運送部運人之運送物的下面②風式支樓 式支待機構移動並使運送物運出至第 ％使該送風 弟2私^進行分岐 23 1295659 岐運送的缺點 運送者。由於不能同時進行將運送物朝向中繼運送部運送 及朝向第2運送部的分岐運送’因此會有無法有效地進行分 5 第21樣態所記載之發明的 者’且其目的係在於提供能以 裝置者。 目的係鐘於上述實情而完成 N能力進行分岐運送的運送

亦即，可吸著保持被運入用以分岐運送之中繼運送部 之運送物上面’而以使該運送物上昇的狀態將其次的運送 物運入中繼運送部。又，如此—來即使之前的運送物的分 !〇岐運送結束之前預先將之後的運送物運入中繼運送部，移 送機構亦以苛著保持運送物上面的狀態使該運送物昇降以 及移送至第2運送方向，因此能吸著保持預先運入中繼運送 部之運送物上面而將該運送物運出第2運送部。 如上所述’於之前之運送物分岐運送結束之前能預先 15將其次的運送物運入分岐運送用的運送物，因此能提供有

效率地進行分岐運送而能以高能力進行分岐運送的運送裝 置。 依據第22樣態之特點，前述第2運送部藉著其所具有之 推《授予機構與送風式支擇機構的相對昇降而能切換成 使前述推進力授予機構接觸以前述送風式支撑機構支撐之 運达物下面的運送狀態、及使前述推進力授予機構對前述 送風式支撐機構所支撐之運送物呈非接接觸狀態的退避狀 態。 即，以移送機構將運送物運出至切換成退避狀態之第2 24 1295659 ’之後將第2運送部切換成運送狀態而以設於第2運 $ k推進力授予機構將推進力授予經運出之運送物，以 =觸運适物下面之推進力授予機構*能確實地將運送物運 、至第2運迗方向’且能防患將運送物運出至第2運送部之 1與推進力料機構頂接而造成運送物損壞於未 10 15 20 、依據第23樣態之特點，前述移送機構從前述第2運送部 :運物運人&述巾繼運送部，並以前述巾繼運送部之前 ，推★進力針機構將該運人之運送物運出至前述第1運送 部，藉此建構成可從前述第2運送部運人運送物而將經運入 之運送物運出至前述第1運送部的合流運送。 、、， π 運送部之第1運送方向兩側設置第1 运部，亚構成可將運送物朝向第2運送方向之正反方向 的移動機構，以推進力授予機構從運送上方側之第蟪 向運入中繼運送部，細移送機構將該運人之運送 繼運送部運出至第2運送邻而隹^八 w L相細分岐運$，叫送機構從 運运部運人巾卿送部，以推進力授予機構將該運入之 運送物從中繼運送部運出至運送下方側之第丨運送部而、 行合流運送’麟成可進行純料與合妓送 ^ 繼運送部。 又的中 依據第2樣恶之特點’前述巾繼運送部藉著其 之推進力射機構與送風式支撐機構的相料降㈣^有 成使前述《力授予機構接觸以前述送風式切機=換 之運送物下面的運送狀態、及使前述推進力^ 25 1295659 述送風式切機 狀態 構所支撐之運送物呈非接接觸狀態的退避 即，進行以推進力授予機構從運送上方側之第1運送部 將運送物運人 、、 、 、、， 至中繼運送部，而以移送機構將該誶入之運 以 ，物，中_送部運出第2運送部之分岐運送的情形下， 先 移运機構吸著保持經運出至巾繼運送部之運送物之際， :中、麈運送部切換至退避狀態，藉此，即使將用以吸著保 持運运物之料機構押壓於運送物上面，運送物亦不會被 10於未然 ;移C機構與推進力授予機構間而能防患將運送物損壞 例如進行以移送機構從第2運送部運入中繼運送 jil? 、 U ，以推進力授予機構從中繼運送部將該運入運送物運 出至運送下方側之第1運送部之合流運送的情形下，以移送 機構將運送物運出至切換成退避狀態的中繼運送部，之後 將中繼運送部切換成運送狀態而構成以設於中繼運送部之 推進力授予機構授予綞運出之運送物推進力，藉此，能確 貝地將運送物運送至第1運送方向，且能防患將運送物運出 至中繼運送部之際的運送物與推進力授予機構頂接而造成 運送物損壞於未然。 依據第25樣態之特點，前述送風式支撐機構建構成將 一體性地組裝可去除塵埃之除塵過濾器、及透過該除塵過 濾器而朝向運送物下面供給清淨空氣的送風機構的送風式 單元，並列於1前述第1運送方向及第2運送方向。 即，僅將一體性地組裝送風機構與除塵過濾器之送風 26 1295659 單元並列於第1運送方向及第2運送方向，即可設置朝向要 運送之運送物下面供給清淨空氣而以非接觸狀態支撐運送 物的送風式支撐機構，因此，可使送風式支撐機構之設置 簡單而能提供可達到製造容易的運送裝置。 5 圖式簡單說明 第1圖係第1實施樣態之運送裝置的俯視圖。 第2圖係第1實施樣態之第1運送部的立體圖。 第3圖係第1實施樣態之運送單元的前視剝面圖。 第4圖係第1實施樣態之運送單元之前視剝面的一部分 10 放大圖。 第5圖係第1實施樣態之運送單元的側面剝面圖。 第6圖係第1實施樣態之運送單元的俯視圖。 第7圖係第1實施樣態之收納框架的剝面圖。 第8圖係第1實施樣態之推進力授予機構的前視剝面 15 圖。 第9圖係第1實施樣態之推進力授予機構之一部分放大 側面圖。 第10圖係第1實施樣態之L型運送單元的立體圖。 第11圖係第1實施樣態之L型運送單元的右側面圖。 20 第12圖係第1實施樣態之L型運送單元的一部分放大右 側面圖。 第13圖係第1實施樣態之L型運送單元的背面剝面圖。 第14圖係第1實施樣態之L型運送單元的俯視圖。 第15(A)、（B)圖係第1實施樣態之L型運送單元的作用 1295659 圖。 第16圖係第1實施樣態之第2推進力授予部的剝面圖。 第17圖表示第1實施樣態之限制部的位置調節構造。 第18圖係第2實施樣態之運送裝置的俯視圖。 5 第19圖係第2實施樣態之運送單元的前視剝面圖。 第20圖係第2實施樣態之L型運送單元的右側面圖。 第21圖係第2實施樣態之L型運送單元的俯視圖。 第22圖係第2實施樣態之L型運送單元的立體圖。 第23(A)、（B)圖係第2實施樣態之L型運送單元的作用 馨 10 圖。 第24(A)、（B)圖係第2實施樣態之L型運送單元的作用 圖。 第25圖係第3實施樣態之L型運送單元的立體圖。 第26(A)、（B)圖表示第3實施樣態之玻璃基板的支撐狀 15 態。 第27(A)、(B)圖係其他實施樣態⑴之L型運送單元的作 用圖。

第28圖係其他實施樣態（1)之L型運送單元的作用圖。 I 第29圖係其他實施樣態(4)之L型運送單元的俯視圖。 20 第30圖係其他實施樣態(4)之L型運送單元的作用圖。 第31圖係其他實施樣態(4)之十型運送單元的俯視圖。 第32圖係其他實施樣態(4)之十型運送單元的俯視圖。 第33圖係第4實施樣態之運送裝置的俯視圖。 第34圖係第4實施樣態之中繼運送部的立體圖。 25 第35圖係第4實施樣態之中繼運送部的前視圖。 第36圖係第4實施樣態之中繼運送部的一部分放大圖。 第37(A)、（B)圖係第4實施樣態之中繼運送部的側面 28 1295659 圖 第38圖係第4實施樣態之輔助推進機構的側面圖。 第39圖係第4實施樣態之第1運送部的立體圖。 第40(A)、（B)圖表示第4實施樣態之中繼運送部之第1 5運送狀態與第2運送狀態的侧面圖。 第41(A)、（B)圖表示第4實施樣態之中繼運送部之第1 運送狀態與第2運送狀態的前視圖。 第42(A)、（B)圖係第5實施樣態之中繼運送部的側面 圖。 〇 第43圖係第1實施樣態之推進力授予機構的前視圖。 第44(A)、（B)圖表示第5實施樣態之中繼運送部之第i 運送狀態與第2運送狀態的側面圖。 第45(A)、（B)圖表示第5實施樣態之中繼運送部之第丄 運送狀態與第2運送狀態的前視圖。 5 第46圖係其他實施樣態（7)之運送裝置的俯視圖。 弟47(A)、（B)圖表示其他實施樣態⑺之中繼運送部之 第1運送狀態與第2運送狀態的前視圖。 第48圖表示其他實施樣態（7)之輔助推進機構與整風板 之高度關係。 0 从 ，49圖係其他實施樣態⑻之運送裝置的俯視圖。 第50圖係其他實施樣態⑻之運送裝置的俯視圖。 第51圖係依據實施樣態6所構成之運送裝置的俯視圖。 第52圖係依據實施樣態6所構成之中繼運送部的立體 圖。 29 1 第53圖係依據實施樣態6所構成之中繼運送部的前視 1295659 第54圖係依據實施樣態6所構成之中繼運送部之一部 分放大前視圖。 第55圖係依據實施樣態6所構成之中繼運送部的側面 圖。 5 第56圖係依據實施樣態6所構成之帶式推進力授予部 的側面圖。 第57(A)、（B)圖係依據實施樣態6所構成之運送用狀態 與旋轉用狀態的側面圖。 第58圖係其他實施樣態（13)之運送裝置的俯視圖。 10 · 第59圖係其他實施樣態（13)之兼用運送部的立體圖。 第60(A)、（B)圖表示其他實施樣態（13)之第1運送狀態 與第2運送狀態的前視圖。 第61圖係依據實施樣態7所構成之運送裝置的俯視圖。 第62圖係依據實施樣態7所構成之中繼運送部的立體 15 圖。 第63圖係依據實施樣態7所構成之中繼運送部的前視 圖。 第64圖係依據實施樣態7所構成之運入用運送部之一 部分放大前視圖。 20 第65(A)〜（D)圖係依據實施樣態7所構成之運送裝置 之分岐運送的作用圖。 第66圖係依據實施樣態7所構成之運送裝置的控制方 塊圖。 第67圖係其他實施樣態（16)所構成之運送裝置的俯視 25 圖。 第68圖係其他實施樣態（17)所構成之運送裝置的俯視 1295659 圖。 【實施方式】 較佳實施例之詳細說明 以下依據_ ^來說日林發明的實施例。於以下複數實 5施樣態中，具有相同或類似構造之元件則賦予相同元件標 號。又，於—個實施樣態所揭示之特徵與其他實施樣態所 揭示之特徵，只要是不會發生矛盾則能組合，而其組合亦 包含在本發明的範圍内。 [第1實施樣態] 10 15 20

如第1圖所示’魏裝置騎作為前述料物之玻璃基 板2向第1運送方向X運送，於運送途中將玻璃基板2之運送 方向從第1運送方向x變更成與此第1運送方向X正交之第2 運送方向Y，而將玻璃基板2朝第2運送方向運送。 亦P運达裝置H具有由複數的運送單元^所構成而將 玻璃，板2朝第丨運送方向又運送。上游側之第1運送部a、 及由複數的運运單元1所構成而將玻璃基板2朝向與第1運 、軍判1R X地乂又之第2運送方向¥運送之下游侧的第2 及將攸第1運送部iA接受之玻璃基板2之運送方 T弟1運送方吻90。變更玲運送方向γ而交接 運=机型運送單视(中繼運送部）。 =裝置Η藉由L型運送單元α而將被移載至位於運 ΐ單-^之運送單元1的玻璃基板2朝位於運送下方侧之運 运早兀1運送，、 $ 幻支樓且Γ送風式切機構3及L型賴式支推機構 進力授予機構4及L型推進力授予機構34授予 31 奶5659 、力而從運送上方側朝向運送下方側運送。 10 著橫軸心P周圍自由搖動。 如第3圖、第4圖所示，前述殼體7具有載置支撑送風式 支樓機構3之俯視為約長方形的單元用框體9、於單元用框 體9之橫寬方向兩側沿著運送方向設置之收納框架8、涵跨 兩側之收納框架8之上端部設置之運送覆罩2〇。 之、一圖所示，運送單元1構成上下二層，其上下二層 運=早7〇1並排於破璃基板2的運送方向。前述幻運送部 ⑺述第2運运部1B均沿著運送方向而並排複數的運送 如第3圖所不，於各運送單元1具有可朝向玻璃基板2 下面空氣而以略水平姿勢將玻璃基板2支撐成 非接觸狀的运風式支撑機構3、對於以該送風式支撐機構 3所支撐之玻璃基板2授巧送方向_進力的推進力授予 機構4、並排於此等送風式切機構3而可收納推進力授予 機構4的殼體7。又，運送單元1藉水平支樓框19而被支撐成 水平狀悲。又，上侧的運送單元i若為第i運送部U則朝第1 運送方向X ’若是第2運送方向_朝向第2運送方向而沿 15 20

如第4圖所示’各前述收納用框架8從運送方向來看係 建構成角筒狀，與單元用框體9連結之内壁_之相對侧係 建構成可卩·之收納覆罩8e。以單元龍體9與收納框架8 與運送覆罩2㈣形成運送空―，於㈣框架明形成收納 空間B。X ’前述單元用框體9係由組裝框架構件之支擇框 部分9a、及位於該支撐框部分％之更下方而具有將外部空 氣導入運送空間AM氣導入口前述運送物之略方形而: 32 1295659 板狀之板狀框部分9b所構成。於ι㈣轉8之下⑽且有將 收納空間B之线排出外部的外部排出⑽，且具財且有 送風機能與除塵機能之副送風單元23以閉塞此外部排出、口 2!，藉此副送風單元23而使收納空間B内的空氣排出外部。 5 #第3〜5圖所示，前述送風式支撐機構3設於運送單元 1之運送mA’將藉由殼體而—體性地組裝用以去除塵埃 之除塵過遽器12、及透過該除塵過濾器咖朝向玻璃基板2 下面2a供給清淨空氣之作騎風機構之賴風扇13的風扇 過濾器單元14，建構成並排於運送方向與及與運送方向正 10交之橫寬方向。如第6圖所示，將並排於橫寬方向之二個風 扇過濾器單元14於三列麟於運送方向3,因此於送風式支 撐機構3共計有六個風扇過濾器單元14。 若要詳述前述送風式支撐機構3,則如第3〜5圖所示， 月）述風扇過濾為單元14係將一個送風式扇13、覆蓋此一個 U風式扇13上方之一個除塵過遽器丨2予以一體性地組裝而 構成。位於此風扇過濾器單元14之上部側而進行對前述玻 璃基板2下面2a供給之清淨空氣予以整風的整風板（多孔 板）15 ’如第丨圖、第15圖所示具有覆蓋六個風扇過濾器單 兀14上方的構成。亦即，送風式支撐機構3以六個風扇過濾 2〇器單元14與一個整風板15所構成。在此說明所謂整風乃指 使從送風扇13來的風分散涵跨廣的範 圍而約均一地將空氣 送向前述運送物者。 送風扇13藉電動馬達而驅動，整風板15在風扇過濾器 單元之正上方位置以打孔所形成通氣孔15a。又，設於送風 33 1295659 式支撐機構3之六個送風扇13以相等的旋轉驅動，通過整風 板15而供給至玻璃基板2下面2a之清淨空氣的量不論是運 送方向或橫寬方向均約同量。 其次說明前述推進力授予機構4。如第3圖所示，對前 5述玻璃基板2授予運送方向之推進力的推進力授予機構镇 對玻璃基板2之杈覓方向兩端部授予推進力的兩側驅動 式此推進力授予機構4具有接觸支撐玻璃基板2下面而授 予推進力之作為接觸式驅動部的驅動滾子24。此驅動滾子 24如第4圖、第8圖所示具有分別頂接於玻璃基板2之橫寬方 1〇向的兩端部側面，而作為阻擋朝向橫寬方向移動之玻璃基 板2之阻擋部的大徑部24a。 進一步說明推進力授予機構4分別設於收納框架8。各 推進力授予機構4如第7〜9圖所示具備有電動馬達25、具有 與此電動馬達25之輸出齒輪咬合之平齒輪28的傳動軸27、 I5與設於此傳動軸27之輸出齒輪π咬合之輸入齒輪3〇的多數 輸出軸26。電動馬達25及傳動軸27配備於前述收納空間B 内鈾述輸出軸26分別以突出於收納空間]3側以及運送空間 A側的狀態而被支撐成自由旋轉於前述内壁。突出輸出軸 26之收納空間B的部分具有前述輸入齒輪3〇 ，突出於輸出軸 2〇 26之運送空間A的部分具有前述驅動滾子24。 爰此’藉送風式支撐機構3並以送風扇13的送風作用而 將由迗風扇13下方吸取的空氣，通過除塵過濾器12、整風 板15之通氣孔15a而將清淨空氣供給至玻璃基板2下面h， 藉該供給的清淨空氣而支撐玻璃基板2下面2a之略全區 34 1295659 3、山又藉推進力授予機構4而使玻璃基板2之橫寬方向之 兩端。卩下面以驅動滾子24接觸支撐。接觸支撐該玻璃基板2 〇 子24藉電動馬達25而驅動旋轉，藉此對玻璃基板2 I方向之兩端部授予朝向運送方向的推進力而 5璃基板2。 二/、久咩述前述L型運送單元1L，如第10圖、第1丨圖所 不、’、構成上下二層之L型運送單元1L具有L·型運送單元比用 (風式支#機構即L型送風式支樓機構33、㈣運送單元 10 ^用之推進力授予機構机型推進力授予機構34、L型運送 10早樣用之殼體即L型殼體37。又，L型運送單元儿亦藉水 、’支撐杧19而支撐成水平狀態。又，上側的L型運送單元 1L如第13圖所示自由搖動於沿著第成送方向X的橫轴⑽ 圍。 别述L型殼體37如第i!圖所示具有俯視觀看為略l字狀 而具備有載置支擇L型送風式支樓機構33之前述空氣導入 口 11的L型單元用框體39、設於沿紅型單元隸體39之玻 璃基板2之運送經過路徑之兩側的L型運送覆罩40。 前述L型收納框架38如第_、第14圖所示具有設成夾 於L型單框體39而呈對向的兩侧框體部分&設在對向 加於前述W運送部1A的位置以及對向於前述第2運送部m 之位置而僅設於L型單元用框體39之外方側的單側框體部 純。設在對向於單_體部分44之第2運送㈣之位置的 第1單側框體部分44a係相對於[型單元用框體39呈連結固 定。又，設在對向於單側框體部分44之第1運送部Μ之位置 35 1295659 的第2單側框體部分44b乃自由昇降。 說明前述第2單側框體部分44b，如第16圖所示連結乙 塑设體37之如述第2單側框體部分44b的部分連結固定固定 側壁42而閉塞運送空間A，前述第2單側框體部分4扑相對於 5此固定側壁42昇降。亦即，於固定側壁42的外面形成有齒 輪溝42b，昇降用馬達36之輸出齒輪36a咬合該齒輪溝而藉 著使昇降用馬達36正反旋轉而昇降第1單側框體部分44b。 又，固定側壁42形成有插通孔41a以使各第2單側框體部分 44b之輸出軸26為可昇降。 10 如第11圖〜第13圖所示，前述L·型送風式支樓機構33 設於L型運送單元1L之運送空間A。將前述除塵過濾器12與 前述送風扇13—體性地組裝之前述風扇過濾器單元14並排 配置於第1運送方向X與第2運送方向γ。如第14圖所示具有 將二個排列於橫寬方向之風扇過濾器單元14予以三列並排 15於運送方向的風扇過渡器單元群、及設於此風扇過濾、器單 元群之第2運送方向下方側之二個風扇過濾器單元14，[型 送風式支撐機構33合計具有八個風扇過濾器單元14。又， 與前述整風板15同樣構成之俯視觀看為l字形狀的l型整風 板41配置成覆蓋八個風扇過濾器單元14的上方。亦即l型送 2〇 、 風式支撐機構33以八個風扇過濾器單元η與一個l型整風 板41所構成。又，構成l型送風式支撐機構33，以使設於L 型送風式支撐機構33之八個風扇過濾器單元14以相等旋轉 速度驅動’供給至玻璃基板2下面2a之清淨空氣量於橫寬方 向或前述寬方向均供給約同量之清淨空氣。於L型整風板41 36 1295659 、正職同樣形成通氣孔4la。 說明前述L型麵力授予 L型推進力授予機構34 $ ^斤不，刚达 横寬-端《衫Γ 賴顯2之下面23之 5 10 15 20 進力之接觸以部而授予朝向第1運送方向X之推 ：1==^_W45、_切玻璃基板 第2運送方向之推造力後寬另一端部而授予朝向 又，物㈣、 的第2運送用驅動滾子46。 ^ 進力授予機構34之構成係由藉 兩側框體部分43之對向的 於對 動，而料㈣贫』 对推進力授予機構34的協 運送方向w 之橫寬兩端部或前後兩端部授予在第1 3運运方向¥之推進力之構成兩側驅動式的 ==_A、及藉，型推進力授予機構34, 方向tr之橫寬一端部或前後—端部授予在第1運送 推進力授予部灿。 之構成早侧驅動式的單側 第J?推進力授予部34B具有第1推進力授予部植 ^推進力授予部遞。此等第〗推進力授予部3術與第2 推進賴予部3傷設於可變更運送物之運送方向的機構。 弟^推進力授予部3伽係構成對於離開與玻璃基板乂 k方向X正父之仏見方向之第2運送部四之侧的橫寬 2和而授予第1運送方向X之推進力的單側驅動式。第2 2力授予部3働係構成對於離開與破璃基板2之第2 ^正交之前後寬方向之第1運送部1A之側的前後I 和而授予第2運送方向¥之推進力的單側驅動式。構成 37 1295659 變更玻璃基板2之運送方向，以將藉第1推進力授予部34Ba 而被授予推進力並被朝向第1運送方向X運送的玻璃基板 2,藉第2推進力授予部34Bb而授予推進力並朝向第2運送方 向Y運送。 5 前述第1推進力授予部34Ba具有作為接觸支撐玻璃基 板2之下面2a之橫寬一端部而授予推進力之接觸式之第1驅 動部的第1驅動滾子45A。前述第2推進力授予部34Bb具有 作為接觸支撐玻璃基板2之下面2a而授予推進力之接觸式 之第2驅動部的第2驅動滾子46A。亦即設於前述第1運送用 10驅動滾子45之中的第1推進力授予部34Ba的機構相當於第1 驅動滾子45A，設於前述第2運送用驅動滾子46之中的第2 推進力授予部34Bb的機構相當於第2驅動滾子46A。又，第 1推進力授予部34Ba設於前述第1單側框部分44a，第2推進 力授予部34Bb設於前述第2單側框部分44b。 15 於前述第1驅動滾子45A形成頂接於藉玻璃基板2之第i 推進力授予部34Ba被授予推進力之橫寬一端部之側面，且 作為阻擋朝向橫寬方向移動之玻璃基板2之第1阻擋部的第 1大徑部45a(參照第13圖）。於前述第2驅動滾子46A形成頂 接於藉玻璃基板2之第2推進力授予部34613被授予推進力之 2〇則後寬一端部之側面，且作為阻擋朝向前後寬方向移動之 玻璃基板2之第2阻擋部的第2大徑部46a(參照第12圖）。第工 推進力授予部34Ba以及第2推進力授予部3働均與前述推 進力授予機構4同樣地構成。 則述第2推進力授予部34Bb建構成可自由昇降於藉第2 38 1295659 運送用驅動滾子46而接觸支撐玻璃基板2的支擇位置、及用 以回避玻璃基板2與第2驅動滾子 牙,置及用 退避位置。亦即，如第_所…〜觸而退避至下側的 5 10 士第10圖、第14圖、第15圖所示，於L型運送單元匕 =有作為第！限制部之複數的第m制滾子47與

制部之複數的第2限制滾子48。第1限制滾子47頂接於與藉 玻璃基板2之第！推進力授予部紙而被授予推進力之橫寬 端。p相反側之％?寬另-端部的側面，而限制玻璃基板2朝 向橫寬方向移動。第2限制滾子48頂接於與藉玻璃基板& 第2推進力授予部34Bb而被授予推進力之前後寬—端部相 反侧之前後寬另-端部_面，而限制玻璃基板2朝向前後 寬方向務動。 15 如第15圖、第Π圖所示，第m制滾子47位於被朝第2

運送方向運送之玻璃基板2的運送經過路徑，且建構成自由 k更位置於頂接橫寬另一端部側之側面的作用位置、及由 此作用位置下降而攸被朝弟2運送方向運送之玻璃基板2的 運送經過路徑退避的退避位置。又，第2限制滾子仙位於被 20朝第1運送方向運送之玻璃基板2的運送經過路徑，且建構 成自由變更位置於頂接前後寬另一端部側之側面的作用位 置、及由此作用位置下降而從被朝第丨運送方向運送之玻璃 基板2的運送經過路徑退避的退避位置。 其次說明第1限制滾子47及第2限制滾子48之變更位置 39 1295659 構造，由於第m制滾子47與第2限制滾子48之變更位 造_，因此說明第道制滾子47之變更位置構造而省 明第2限制滾子48之變更位置構造。 如第η圖所示，各第！限制滚子们在滾子支標框49之上 5端部被自由旋轉地支撐於縱軸心周圍，該滚子支撐框49藉 破載置支推於L型單元用框體39之電動式馬達5〇而能朝: 下方向移動。 藉馬達50而使滾子支樓框49朝向上下方向昇降移動， 藉此，第m制滾子47可朝向上下方向調節位置並㈣作用 位置與退避位置昇降移動。 於前述L型送風式支撑機構33形成有位於退避位置之 第1限制滾子4?或第2限制滾子仙要進入的凹部仏、及前述 滾子支揮框34要貫穿的貫穿孔33b。又，依據風扇過遽器單 兀14之大小或被運送之玻璃基板2的大小等，會僅有第適 15制滚子47或第2限制滾子48的一部分進入而無必要形成貫 穿孔33b的情形。 其次說明運送L型運送單元1L中的玻璃基板2的次序。 如第15(A)圖所不，預先使第2推進力授予部34Bb下降 至退避位置以使玻璃基板2不會頂接於第2推進力授予部 2〇 3働，亚使第1限制滾子47上昇至作用位置以穩定的狀態以 將玻璃基板2朝第1運送方向χ運送，而且使第2限制滾子下 降至退避位置以使玻璃基板2朝向第丨運送方向线送之際 不會造成阻礙。 以L型送風式支撐機構33所供給之清淨空氣來支撐破 40 1295659 璃基板2之下面2a約全區域，藉L型推進力授予機構34之兩 側推進力授予部ΜΑ而以第丨運送用驅動滾子β來接觸支樓 玻璃純2之橫寬方向的兩端部的下面2a，第说送用驅^ 滚子45藉電動馬達25而驅動旋轉，藉此，玻璃基板2朝向第 5 1運C方向X運送。藉此兩側推進力授予部運送之際， 玻璃基板2藉橫寬方向兩側之第〗運送用驅動滾子45的第^ 大徑部453而-邊限制玻璃基板2朝向橫寬方向的錯開且一 邊運送。 之後，藉L型推進力授予機構34之單側推進力授予部 10 34B之第i推進力授予部而以第i驅動滚子接觸支撐玻 璃基板2之檢寬-端側之下面2a，第成動滾子45A藉電動馬 達25而被驅動旋轉，藉此，玻璃基板2被朝第1運送方向x 運送。藉此第1推進力授予部34Ba運送玻璃基板2之際，玻 璃基板2藉橫寬一方側之第丨驅動滾子45八之第丨大徑部45& 15與橫寬另一方側之第1限制滾子47的協動能一邊限制玻璃 基板2朝向橫寬方向的錯開而一邊進行運送。 一旦玻璃基板2被運送至第丨運送方向終端，則如第 15(B)圖所不’使第2推進力授予部34Bb上昇至支撐位置以 使其藉第2驅動滾子46而接觸支撐玻璃基板2之前後寬一端 20側的下面2a，並使第1限制滾子47下降至退避位置以將玻璃 基板2朝第2運送方向運送之際不會造成阻礙，為以穩定狀 悲將玻璃基板2朝第2運送方向γ運送而使第2限制滾子48上 计至作用位置，並將玻璃基板2之運送方向從第丨運送方向 變更至第2運送方向。 41 1295659 以藉L型送風式支撐機構33所供給之清淨空氣而支撐 玻璃基板2之下面2a的約全區域，藉l型推進力授予機構34 之單側推進力授予部34B之第2推進力授予部34Bb而以第2 驅動滾子46A接觸支撐玻璃基板2之前後寬一端側之下面 5 2a，第2驅動滾子46A藉電動馬達25而被驅動旋轉，藉此， 玻璃基板2被朝第2運送方向γ運送。藉此第2推進力授予部 34Bb運送玻璃基板2之際，玻璃基板2藉前後寬一方側之第2 驅動滚子46A之第2大徑部46a與前後寬另一方側之第2限制 滾子48的協動能一邊限制玻璃基板2朝向前後寬方向的錯 10 開而一邊進行運送。 之後，藉L型推進力授予機構34之兩側推進力授予部 3/而以帛2料_紐子46賴續玻雜板2之前後 寬方向之兩端部之下面2a’第2運朝鶴滾子46藉電動馬 達25而被驅動旋轉，藉此，玻璃基板2被朝第2運送方向γ 運送。藉此兩侧推進力授予部34A運送玻璃基板2之際，玻 璃基板2藉前後寬兩側之第2運送用驅動滚子奶之第2大徑 部46a而限制玻璃基板2朝向橫寬方向的錯開而一邊進行運 送。 [第2實施樣態] 20 上述第1貫施樣恶係以部分性而單侧驅動式構成L型推 進力授予機構’惟亦可將L型推進力授予機構整體構成翠側 驅動式。又，對於與第丨實施樣態相同構成者賦予與第磺 施樣態相同標號而省略說明。有關以下的實施樣態亦相同、。 如第19圖所示，運送單元1之單側殼體52具有俯視其載 42 1295659 置支撐送風式支撐機構3為約長方_單框體9、於單 兀用框體9之橫寬方向之運送經過路徑外側而沿著運送方 向认置之收雜木8、沿著單元用框體9之橫寬方向之運送 5 π過路仕内側而叹置的殼體侧壁53、從收納框體8之上端部 函跨级體側，53之上端部而設置的運送覆罩沈。因此，運 运工間Α以早tl用框體9與收納框架8與殼體側壁53 覆罩20而形成。 ^ 10 15 20 運达早7L1藉傾斜用支撐框51而於橫寬方向具有位求 收納框架8之側下方位置而找成傾斜狀態，運送單元㈣ 支撑成傾斜狀態而使送風式支撐機構3亦以傾斜姿勢被等 元用框體9支撐。又，第19圖中為便於瞭解單側殼體52之倾 斜，乃以圖式將運送單元1從運送方向觀看具有位於收納框 架8之側於τ綠置*切成5。傾斜，㈣施本削之際運 送單元1之傾斜僅以0.5。傾斜即可。 其次說明前述推進力授傾構4，推進力授予機構4設 於-個收__而構成單側_式。以魏風式支揮機構 3所供給之清淨空氣而支撐玻璃基板2之下面^之約全區 域。又，以推進力授予機構而藉驅動滾子24接觸支撐玻璃 基板2之橫寬方向之橫寬一端側部之下面2a。 其次說明前述L型運送單元1L。

2第20圖所示，L型運送單元1L之前述L型單侧殼體^ 具有前述㈣單元用框體39、沿著L型單元用框體39之玻璃 基板2之運送經過路徑外側而設置的L型單側收納框架％、 沿著L型單元用框體39之玻璃基板2之運送經過路徑内側而 43 1295659 认置的L型殼體側壁56、從L型單側收納框架55之上端部涵 跨L型叙體側壁56之上端部而設置的l型覆罩仙。 5 10 15 20 尘送風式支撐機構33可使玻璃基板2變更姿勢為第1 運送用姿勢與第2運送用姿勢，該第1運送用姿勢係可使破 璃基板2呈前述橫寬另_端側比藉前述幻推進力授予部 Ba授予推進力之橫寬一端側更位於上方位置的傾斜姿 勢j第2運$用姿勢係可使玻璃基似呈前後寬另一端側 比糟則述第2推進力授予部3働授予推進力之前後寬 側更位於上方位置的傾斜姿勢。 、亦即’L型運送單元1乙藉傾斜姿勢變更用框體58而支^ 成可、文更傾斜姿勢，傾斜姿勢變更用框㈣之複數伸縮部 58a可伸縮，如第23⑻圖所示，從第工運送方向觀看朝具 L型單側收納框架55之側朝下方位置呈傾斜狀態，從第捷 、方向反方向觀看為水平狀態，藉各伸縮部娜之伸縮而能 將L型送風式支撐機構％設成第i運送用姿勢。又，從第 1 運运方向觀看為水平狀態，如第24(B)圖所示，從第2運、关 方向f看朝具有L型單側收納框架55之側朝下方位置呈= 斜狀恶，藉各伸縮部58a之伸縮而能紅型送風 33設成第2運送用姿勢。 牙錢構 詳細說明前述L型單側收納框架55，如第21圖、 圖所示L型單側收納框架％僅以僅設於L型單μ樞體= 外方側的單側框體部分44來構成。位於與單側框體部分料 之第1運送部1A對向之位置的第2單側框體部分Μ : 4 自由昇降。 構成可 44 1295659 丨】祝明刖述L型推進力授予機構34，如第2ι圖所示前述l ，進力授予機構34僅以設於前述單側框體部分 單側驅動式之單娜進力授料細來構成。 5 10 20

一將沿著單側推進力授予部34B之前述幻運送方向χ之 '述第1單側框體部分咏而設置之部分設為_進力授 =P34Ba’將沿著單侧推進力授予部細之前述第2運送方 二之前述第2單側框體部分她而設置之部分設為第緣進 ^予434Bb。前述第2推進力授予部3働與第㉖施樣態 5樣構成可自由昇降於支撐位置與退避位置。 部^於第2實施樣態中，L型運送單元1L不具有第1限制 弟—。目此亦未形成前述L魏風式支撐機構33 之凹部33a及貫穿孔33b。 其次說明運送L型運送單元1L中的玻璃基板2的順序。 、、先女S23(A)圖所示使第2推進力授予部规匕下降至 k避位置以使玻璃基板2不會頂接第2推進力授予部鳩b，

^第23⑻圖所示為了以穩定的狀態將玻璃基板2朝第i ^方向X運$，乃先將㈣送風錢撐機㈣變更姿勢 弟1運送用姿勢。 糟L型送風式支撐機構33所供給的清淨空氣而支撐知 土板2下面2a之約全區域，藉L型推進力授予機構％之第 j力授予部施，以第1運送用驅動滾子45而接觸支如 二反之也气寬方向之兩端部之下面以電動馬達^而顯 方^轉第1運送用驅動滾子45,藉此將玻璃基板2朝第蟪运 方向X運送。藉此第丨推進力授予部34Ba運送之際，玻璃基 45 1295659 朝向帙見一方側之移動係被第1運送用驅動滾子45之第 1大棱部45_限制，玻璃基板2朝向橫寬另—端側的移動係 、离基板2之自重而以不易移動的狀態來運送。 5 旦玻璃基板2被運送至第1運送方向終端，則如第 々（j圖所T使第2推進力授予部34Bb上昇至支撐位置以藉 第2驅動滾子46而接觸支樓玻璃基板2之前後寬-端側之下 々且如第24(B)圖所示為了以穩定的狀態將玻璃基板2 第2運送方向γ運送，乃將L型送風式支撐機構％變更姿 勢為第2運送用姿勢，且將玻璃基板2之運送方向從第1運送 10方向變更為第1運送方向。 藉L型送風式支撐機構33所供給的清淨空氣而支撐玻 璃基板2下面2a之約全區域，藉L型推進力授予機構34之第2 推進力授予部3働，以第2運送用驅動滾子姑而接觸支撐玻 璃基板2之前後寬方向之一端部之下面&以電動馬達^而 驅動旋轉第2運送用驅動滾子46，藉此將玻璃基板2朝第^運 送方向γ運送。藉此第2推進力授予部34Bb運送之際，玻璃 基板2朝向前後寬—方側之移動係被第2運送用驅動滾子扣 之第2大徑部46a而限制，朝向前後寬另一端側的移動係以 玻璃基板2之自重而以不易移動的狀態來運送。 20 [第3實施樣態] 上述第1實施樣態及第2實施樣態係為了回避朝向第i 運送方向運送之玻璃基板2與第2推進力授予部接觸，而構 成將第2推進力授予部自由下降至退避位置，然而，亦可不 下降第2推進力授予部而構成使玻璃基板2上昇。又，由於 46 1295659 運送單元與第2實施樣態相同構成而省略其說明，關於1型 運运單凡亦與第1實施樣態及第2實施樣態相同構成的情 形，乃賦予與第1實施樣態及第2實施樣態相同的標號而省 略其說明。 5 關於L型運送單元1L，基本上與上述實施樣態2相同構 成，以下的二點與上述第2實施樣態構成不同。 如第25圖所示，將二個排列於橫寬方向之風扇過濾器 單元14予以二列排列於運送方向之風扇過濾器單元群之第 1運送方向下方側之二個風扇過濾器單元14，乃構成供給至 10玻璃基板2之下面2a之清淨空氣之量能比其他六個風扇過 濾為單元更供給多量的可變風扇過濾器單元 14A。 没於與單側框體部分44b之第丨運送部1A對向之位置之 第2單側框體部分44b，構成相對於L型單元用框體39自由昇 藉水平用支撐框19而支撐成水平狀態。 洋細說明可變風扇過濾器單元14a，將設於可變風扇過 ;慮為單U4A之可變風扇13a構成可變更為與包含設於風扇 過;慮杰單το群之第2運送方向下方側之二個風扇過濾、器單 加凡14之其他六個風扇過渡器單元μ之送風式扇㈣速旋轉 速度及比此六個風扇過濾器單元14之送風扇13之旋轉速 度f生决的回速疑轉速度。因此，以將可變風扇…設成等速 疋轉速度’而使可變風扇過濾器單元Μ能將與其他風扇過 慮-單το 14約同1之清淨空氣供給至玻璃基板2之下面 a以將可&風扇13a設成高速旋轉速度，而使可變風扇過 47 Ϊ295659 濾器單元14A能將比其他風扇過濾器單元14多量之清淨空 氣供給至玻璃基板2之下面2a。 '工 其次說明輯L型運送單元狀玻板2的順序。 $上預先將可變風扇過濾器單元14A之可變送風扇仏設成 向速旋轉速度以使玻璃基板2不會頂接第2推進力授予部 3伽’為了以穩定狀態將玻璃基板2朝第】運送方向運送， 先將L型送風式支樓機構％予以變更姿勢為第1運送用姿 勢。 1〇 肖風式支撐機構33所供給的清淨空氣而支撐玻 璃基板2下面2a之約全區域，藉[型推進力授予機構从之第工 推進力授予部34Ba，以第1運送用驅動滾子45而接觸支撐玻 离基板2之檢寬方向之兩端部之下面&以電動馬達^而驅 動疑轉第1運㈣驅動滾子Μ，藉此將玻璃基板2朝第丄運送 方向X運达。藉此第1推進力授予部3伽運送之際，玻璃基 15板2朝向橫寬—方側之移動係被第1運送用驅動滾子45之第 1大徑部4域限制，玻璃基板2朝向橫寬另一端側的移動係 以玻璃絲2之自重而以不易移動的狀態來運送。 :第運方向X之終端部附近，藉可變風扇過濾器單 元HA而對玻璃基板2之下面以供給多量的清淨空氣，構成 2〇朗基板2之前後寬一端側之運送下方側端部會被大幅地 1爰此如第％⑻圖所示，以將玻璃基板2之運送下 方側端^大巾田地昇起而能_邊回避玻璃基板2頂接第2推進 授予^3. ’且能一邊將玻璃基板2朝第1運送方向運送 板之鈾後覓一端部側位於第2推進力授予部34Bb 48 1295659 5 10 15 之弟2驅動滚子46上。 如第23圖所示’-旦玻璃基板2被運送至第味送方向 終端：則如第26(A)圖所示’將可變風扇過濾器單元⑽之 可變送風扇設料速_速度以藉第2_滾子仏而接 =支擇玻璃基板2之前後[端側之下面2a，為了以穩定狀 悲將玻璃基板2朝第2運送方向γ運送，乃將L型送風式支樓 機構33予以變更姿勢為第田-欠拙 … 文又以巧弟2運运用安勢，而將玻璃基板2之 運送方向從第1運送方向變更至第2運送方向。 藉L型送風式支揮機構33所供給的清淨空氣而支樓玻 璃基板2下面2a之約全區域，藉L型推進力授予機構34之第2 推進力授予部34Bb，以第2運送用驅動滾子奶而接觸支撐玻 璃基板2之前後寬方向之—端部之下面&，以電動馬達加 驅動旋轉第2運送用驅動滾子46，藉此將玻璃基板2朝第2運 达方向Υϋ送。藉此第2推進力針部34Bb運送之際，玻璃 基^朝向前後寬-方侧之移動係被第2運送⑽動滾子46 之第2大徑部4知而限制，朝向前後寬另—端侧的移動係以 玻璃基板2之自重而以不易移動的狀態來運送。 [第4實施樣態]

其次說明第4實施樣態。 如第33圖所示，運送裝置H設有將玻璃基板2朝第丨運送 方向運运之第1運送部1A、將玻璃基板2朝與第1運送方向正 父之第2運送方向運送之第2運送部1β、以及位於第〗運送部 1A與第2運送部1B之連接位置而以將玻璃基板2沿著第1運 运方向運送而在與第〗運送部1A之間運送玻璃基板2，並以 49 1295659 運送部1B之 將玻璃基板2沿著第2運送方向運送而在 間運送玻璃基板2的中繼運迸部1D。 、 5 10 15 20 如弟34圖、第所示，各運送部 之送風式切機構3與以接觸狀態切 觸狀悲支$ 來支樓玻璃基板2,建構成藉著前述推=力授予機構 運送方向之推進力俨子兮.由± ^ 拽予機構4而ί 板料麵料2而將玻璃; 板2朝運衫向，料送私支 機構4收納於殼體7。 彝及推進力权-

又，第1運送部1Α建構成將一個或複 沿著第!運送方向設置，第2運送部 二= 個第2運送單元f著第2、重、、,士^ &將-個或複數 μ 运方向設置，中繼運送部1D以- =繼運送單元來構成。亦即，運送裝置η·合第【運送 早讀第2運送單元與中繼運送單元而構成。 說明中繼運送部1D。

如弟34圖、第35®所示，巾繼運送部m具有設於中繼 =部取前述賴式切韻3、設於基板如 運运方向之推進力之切運送部1D的前述推進力授予機構 授予玻璃基板2第2運送方向之推進力的輔助推進機構 6A ,又於收納此等送風式支撐機構3、推進力授予機構*及 輔助推進機構6A之中繼運送部1D的殼體7。 如第35圖、第36圖所示，設於中繼運送部1D之前述殼 體7具有載置支撐送風式支撐機構3之俯視為約矩形狀之單 兀用框體9、於單元用框體9之橫寬方向兩側沿著運送方向 石又置成固定狀態的收納框架8。 50 1 1295659 中繼運送部瓜設有四個風扇過遽器單元。又，該整風 极(多孔板)15形減財床卿成之通纽⑸、及使前述 補助推進機構6A能比送風式支撐機構3更向上方突出而形 成的昇降用孔15b。 5 >第37圖所示風扇過遽器單元Η的下面設置用以昇降 操作此風扇過遽器單元Η之電動式之支樓機構用馬達16, 此支撐機構用馬達16之輸出齒輪16a與形成在單元用框體9 之支撐框部分9_©的齒輪溝9e咬合。因此，藉使支撐機 構用馬達16向正反方向旋轉驅動而能昇降拖作設於中繼運 °送部1D之送風式支撐機構3。 中繼運送部1D之推進力授予機構4如第34圖、第35圖所 不具有制支射絲板2之料方向之料部之一對推 進賴予部4a轉成兩_動式，推進力奸部⑽開設 於前述一對收納框架8。 15 20

其次說明輔助推進機構从。如第㈣、第·所示，

南助推進機構6A之構成係具有位於第2運送方向之上方側 而藉電動式之_馬達32旋轉驅動的驅動輪64、位於運送 =方側之自由旋轉的從動輪65、涵跨此等驅動輪从與從動 回的前述正時皮⑽(驅動旋轉體之—例）、由内周 牙叫皮帶66之運送_路㈣分_支樓輪π、 及支樓上述構件的支撐框70。 4千你卬補助推進機構6A之 式的推進機構用馬達69，此推進機構用馬達的之輸出 心、形成在風扇過㈣單元14之側面的錄溝…咬 51 1295659 因此，以將推進機構用馬達69朝正反方向驅動旋轉而能昇 降操作輔助推進機構6a。 " 說明前述第1運送部1A。如第39圖所示第丨運送部1Ai 構成係具有設於第1運送部1A之前述送風式支撐機構3、設 5於授予玻璃基板2第1運送方向之推進力之第1運送部丨八的 刖述推進力授予機構4、設於收納此等送風式支撐機構3以 及推進力授予機構4之第丨運送部丨八的殼體7。 如第40圖所示，第i運送部丨八不具有設於中繼運送部 1D之輔助推進機構6八，設於第丨運送部1At送風式支撐機 10構3被固定支撐於單元用框體9之支撐框部分而建構成無法 昇降操作。 又，在第1運送部1A之推進力授予機構4接觸支撐玻璃 基板2之橫寬方向的兩端部，而第2運送部1B之推進力授予 機構4接觸支撐玻璃基板2之前後方向的兩端部的關係上， 15係建構成第1運送部1A與第2運送部1B橫寬不相同，除此之 外乃構成相同而省略說明。 如第40圖所示，中繼運送部1D與第i運送部1A設成相 同或約同高，如第41圖所示，第2運送部1B設在比中繼運送 部1D高的位置。 20 亦即，設於前述中繼運送部1D之推進力授予機構4如第 40圖所示以固定狀態設在與設於前述第1運送部丨A之推進 力授予機構4相同或約相同高度，且如第41圖所示設在比設 在於前述第2運送部1B之推進力授予機構4低的高度。又， 設於中繼運送部1D之送風式支撐機構3建構成以自由昇降 52 1295659 操作地設在如第41(A)圖所示之以設於第丨運送部1A之送風 式支撐機構3相同或約相同高度支撐玻璃基板2的下方位 置、或如第41(B)圖所示之以設於第2運送部1B之送風式支 撐機構3相同或約相同高度支撐玻璃基板2的上方位置。 5 運送裝置Η具有檢測玻璃基板是否存在之圖式未顯示 的才双測感測器、依據此檢測結果而控制昇降操作推進力产 予機構4之電動馬達25、輔助推進機構6Α之驅動馬達32、昇 降操作送風式支撐機構3之推進機構用馬達69及昇降操作 辅助推進機構6Α之支撐機構用馬達16之動作之圖式未顯示 10 的控制機構。 其次說明中繼運送部1D之第1運送狀態與第2運送狀態 的切換。 如前述一般，設於中繼運送部1D之送風式支撐機構3 被支撐成自由昇降操作於前述單元用框體9，中繼運送部 15藉著使設於中繼運送部ID之送風式支撐機構3下降至前述 下方位置，而使相同下降之玻璃基板2接觸並被支撐於設在 中繼運送部1D之推進力授予機構4的第1運送狀態，藉著使 設於中繼運送部1£>之送風式支撐機構3上昇至上方位置，而 使相同上昇之玻璃基板2相對於設在中繼運送部iD之推進 2〇力授予機構4呈非接觸狀態的第2運送狀態。 於第1運送狀態，以設於中繼運送部1D之推進力授予機 構4所造成之推進力而在與第1運送部1A之間運送玻璃基板 2 ’且於第2運送狀態，以輔助推進機構6A所造成在第2運送 方向之推進力而在與第2運送部1B之間運送玻璃基板2。 53 1295659 又’辅助推進機構6A亦如前述那般被支撐成自由昇降 操作於前述單元用框體9,輔助推進機構6A建構成自由昇降 操作以藉昇降操作而藉前述正時皮帶66接觸支撐在前述第 2運送狀態中之玻璃基板2之下面2a並使其上昇，而用以解 5 除在第1運送狀態中之玻璃基板2之下面2a的接觸支撐。 又’於第2運送狀態，以設在中繼運送部id之送風式支 撐機構3所支撐的玻璃基板2,其下面2a比設於中繼運送部 1D之推進力授予機構4之上端高，且比設於中繼運送部10 之收納框架8之上端高，而建構成將玻璃基板2原原本本地 10朝第2運送方向運送亦不會干擾到推進力授予機構4及收納 框架8。 其次說明如第33圖之箭頭A所示從運送上方側之第1運 送部1A將玻璃基板2運入中繼運送部1D，以不改變該運入 之玻璃基板2的運送方向而運出至運送下方側之第丨運送部 15 1A的第1運送、如箭頭b所示從第1運送部ία將玻璃基板2 運入中繼運送部1D，將該運入之玻璃基板2之運送方向從第 1運送方向切換至第2運送方向而將玻璃基板2運出至第2運 送部1B的分岐運送、如箭頭C所示從第2運送部^將玻璃基 板2運入中繼運送部10，將該運入之玻璃基板2之運送方向 2〇從第2運送方向切換至第1運送方向而將玻璃基板2運出至 第1運送部1A的合流運送。 首先’進行箭頭A所示之第1運送的情形下，如第4〇(A) 圖、第41(A)圖所示，使設於中繼運送部1£)之送風式支撐機 構3下降至下方位置而將中繼運送部1D設為第χ運送狀態， 54 1295659 為了解除輔助推進機構6A接觸支撐玻璃基板2之下面2&而 預先下降辅助推進機構6A。以此狀態而使設於第1運送部 1A之推進力授予機構4與設於中繼運送部1D之推進力授予 機構4運作而將第1運送方向之推進力授予玻璃基板2，藉 5 此’從運送上方側之第1運送部1A運入中繼運送部iD，以 不變更該已運入之玻璃基板2的運送方向而運出至運送下 方侧的第1運送部1A。 又’如箭頭B所示進行分岐運送的情形下，如第4〇(A) 圖、第41(A)圖所示，使設於中繼運送部1£)之送風式支撐機 構3下降至下方位置而將中繼運送部1D設為第1運送狀態， 為了解除輔助推進機構6A接觸支撐第丨運送狀態之玻璃基 板2之下面2a而預先下降輔助推進機構6A。以此狀態而使設 於第1運送部1A之推進力授予機構4與設於中繼運送部1D 15之推進力授予機構運作而將第1運送方向之推進力授予玻 离基板2，將破璃基板2從第1運送部ία運入中繼運送部 1D ’一旦以W述感測器檢測到該已運入之玻璃基板2被運送 至中繼運送部1D之預定位置，則停止推進力授予機構4的運 作。 2〇立之後，如第40(B)圖、第41(B)圖所示，使設於中繼運送 MD之送風式支撐機構3上昇至上方位置而將中繼運送部 〇口又成第2運送狀態。此時之輔助推進機構从於上昇送風 式支撐機構3之珂上昇，將第j運送狀態中藉送風式支撐機 構3而被支擇成非接觸狀態之玻璃基板2與推進力授予機構 4協動地賴切。用轉持對_基板2之下面2a之接觸 55 1295659 支撐而配合送風式支撐機構3的上昇也使輔助推進機構6A 上昇，藉第2運送狀態之送風式支撐機構3而將支揮成非接 觸狀態之玻璃基板2僅以輔助推進機構6A接觸支標。 於此第2運送狀態使輔助推進機構6A與設於第2運送 5 1B之推進力授予機構4運作而對玻璃基板2授予第2運送方 向的推進力，而從中繼運送部1D將玻璃基板2運出至第2運 送部1B。 最後，進行箭頭c所示之合流運送的情形下，如第4〇(b) 圖、第41(B)圖所示使設於中繼運送部ID之送風式支撑機構 10 3上昇至上昇位置而將中繼運送部1D設成第2運送狀態，為 了使輔助推進機構6A接觸支撐玻璃基板2之下面2a而預先 上汁輔助推進機構6A。以此狀態而使輔助推進機構6a與設 於第2運送部1B之推進力授予機構4運作而將第2運送方向 之推進力授予玻璃基板2並將玻璃基板2從第2運送部^運 15入中繼運送部1D，一旦以前述檢測感測器檢測到已運入之 玻璃基板2被運送至中繼運送部1D之預定位置，則停止輔助 推進機構6A的運作。 之後，如第40(A)圖、第41(A)圖所示，使設於中繼運 送部1D之送風式支撐機構3下降至下方位置而將中繼運送 2〇部1D設成第1運送狀態。此時之輔助推進機構6A用以維持 對玻璃基板2之下面2a之接觸支撐而配合送風式支撐機構3 的下降也使輔助推進機構6A下降，藉第i運送狀態之送風式 支標機構3而將支#成非接觸㈣之玻璃基板2與推進力授 予機構4協動地接觸支樓。使輔助推進機構6八更下降而解^ 56 !295659 當，助推進機構之玻璃基板2之下面㈣接觸切 基板2僅綱騎態的玻璃 5構jltT"稱顧於第鳴糾之推進力授予機 錢中繼運送脚之推進力授予機構4運 =第1運送方向的推進力，將破一中：】 W1D運出至第2運送部1B。 [第5實施樣態]

、依據®式來制藉著昇降操作設於巾繼運送部1D之推 進力，予機構^進行中繼運送部1〇之第丨運送狀態與第2運 送狀悲之切換的情形。 、、、， 固所示，框架用馬達位於一對收納框架8之第2

、迖方向之下方側位置，而自由昇降操作地支撐於單元用 7體9亦即，於一側之收納框架8之下部設置著用以昇降 卞作此收、、、内框架8之電動式的框架用馬達^，此框架用馬達 之輸出回輪31a與形成在單元用框體9之支撐框部分9a之 彳面的uj輪溝叹合。因此’以將框架用馬達Η朝向正反方 向驅動疑轉而昇降_側的收納框架8，並昇降操作設於該收 、内杧采8之推進力授予機構4之一側的推進力授予機構4a。 2〇 Λ·Λ·* 又，如第42圖所示中繼運送部1D之送風式支撐機構3 固定支撐於單元用框體9。 如第44圖、第45圖所示，中繼運送部1D與第1運送部1A 與第2運送部1B設於相同或約相同高度。 亦即，如第44圖、第45圖所示將設於前述中繼運送部 57 I295659 ID之送風式支撐機構3與設於第1運送部ία之送風式支^ 機構3及設於第2運送部1B之送風式支撐機構3相同或約相 同高度設於支撐玻璃基板2的高度，且於第1運送狀態如第 44(A)圖所示將設於中繼運送部1D之推進力授予機構4(一 5側之推進力授予部4a)設於與設在第1運送部1A之推進力浐 予機構4相同或約同高度的上方位置，於第2運送狀態如第 45(B)圖所示設於與設在第2運送部1β之推進力授予機構* 更下側的下側位置而構成自由昇降操作。 其次說明中繼運送部1D之第丨運送狀態與第2運送狀態 10 的切換。 心 如前述情形，設於中繼運送部1D之推進力授予機構4 又成自由幵降操作，中繼運送部1D藉使前述推進力授予機 構4之前述一側之推進力授予機構如上昇至前述上昇位 1置，而構成接觸支撐設於中繼運送部1D之送風式支撐機構3 所支撐之_基板2之下—的第送狀態，藉使前述推 進力授予機構4下降至前述下側位置而對於設在中繼運送 ^ 1D之:¾風式支撐機構3所支撐之玻璃基板2之下面2峨成 非接觸狀態（-側的推進力授予機構如非接觸而另一側之 推進力授予部為接觸狀態）的第2運送狀態。 八人次明進行如第33圖之箭頭所示之第丨運送

、箭頭B 所示之分岐運送、箭頭c所示之合流運送的情形。 首先，進仃前頭A所示運送玻璃基板2的情形下，如第 (、„)圖第45(A)圖所*，使設於中繼運送部1D之送風式 支擇栈構3上昇至上方位置而將巾繼運送部1D設為第i運送 58 1295659 狀怨，為了解除輔助推進機構6A接觸支撐玻璃基板2之下面 2a而預先下降輔助推進機構6A。以此狀態而使推進力授予 機構4運作而將第1運送方向之推進力授予玻璃基板2，將玻 璃基板2從運送上方側之第丨運送部丨八運入中繼運送部 5 1D，以不變更該已運入之玻璃基板2的運送方向而運出至運 送下方側的第1運送部1A。 又’如箭頭B所示運送玻璃基板2的情形下，如第44(A) 圖、弟45(A)圖所示，使設於中繼運送部id之推進力授予機 構4上昇至上昇位置而將中繼運送部丨d設為第丨運送狀態， 10為了解除辅助推進機構6A接觸支撐第1運送狀態之玻璃基 板2之下面2a而預先下降輔助推進機構6A。以此狀態而使設 於第1運送部1A之推進力授予機構4與設於中繼運送部1D 之推進力授予機構4運作而將第1運送方向之推進力授予玻 璃基板2 ’將玻璃基板2從第1運送部1 a運入中繼運送部 15 1D，一旦以前述感測器檢測到該已運入之玻璃基板2被運送 至中繼運送部1D之預定位置，則停止推進力授予機構4的運 作。 之後，使輔助推進機構6A上昇，藉輔助推進機構6八接 觸支撑第1運送狀態之玻璃基板2之下面2a，而於第1運送狀 20恶將藉著送風式支撐機構3支撐成非接觸狀態之玻璃基板2 以推進力授予機構4與輔助推進機構6A來接觸支撐。使設於 中繼運送部1D之推進> 授予機構4下降至下方位置而解除 對於推進力授予機構4之玻璃基板2之下面2a的接觸支樓， 將中繼運送部1D設成如第44(B)圖、第45(B)圖所示之第2運 59 1295659 送狀態，於第2運送狀態將藉著送風式支撐機構3支撐成非 接觸狀態之玻璃基板2之下面2a以其他推進力授予機構4與 輔助推進機構6A來接觸支撐。 於此第2運送狀態使輔助推進機構6A與設於第1運送部 5 1A之推進力授予機構4運作而對玻璃基板2授予第2運送方 向的推進力，而從中繼運送部1D將玻璃基板2運出至第1運 送部1A。 最後，進行箭頭C所示運送玻璃基板2的情形下，如第 44(B)圖、第45(B)圖所示使設於中繼運送部id之推進力授 10 予機構4下降至下降位置而將中繼運送部id設成第2運送狀 態，為了使輔助推進機構6A接觸支撐玻璃基板2而預先上昇 輔助推進機構6A。以此狀態而使輔助推進機構6A與設於第 2運送部1B之推進力授予機構4運作而將第2運送方向之推 進力授予玻璃基板2並將玻璃基板2從第2運送部1B運入中 15繼運送部1D，一旦以前述檢測感測器檢測到已運入之破璃 基板2被運送至中繼運送部1D之預定位置，則停止辅助推進 機構6A的運作。 之後，如第44(A)圖、第45(A)圖所示，使設於中繼運 送部1D之推進力授予機構4上昇至上昇位置而將中繼運送 2〇部1D設成第1運送狀態。以推進力授予機構4與辅助推進機 構6A來接觸支撐被送風式支撐機構3支撐成非接觸收能之 玻璃基板2。使輔助推進機構6A下降而解除對辅助推進機構 6A之玻璃基板2之下面2a的接觸支撐，使藉第丨運送狀能之 送風式支撐機構3支撐成非接觸狀態的玻璃基板2僅以推進 1295659 5 10 15 20 力授予機構4接觸支樓。 於此第1運送狀態使設於第 構4與設於中繼運送部1D 之推進力授予機 基板2授予請送方向 ^7料機構4運作而對玻璃 部出運出至第2運适部1Ββ力’將玻璃基板2從中繼運送 [第6實施樣態] 其次說明設置有變更運送^ 明的第6實施樣態。 适文勢之機構之本發如第51圖所示，運送裝置板之長邊方向沿著第料^ 具有以將玻璃基 送部1Α、使玻似板2 的第1運送姿勢運送的第1運 Α使玻璃基板2以從第i運送姿勢例如9 %轉於縱如周_第2料姿 =角度 ，第戰部u與第2運送部1B之連接=運=盘 運达部1A之間以及與第2運送部1B之門 ” 中繼運送部m。 ^1B之間運运玻璃基板2的=第52圖所示各運送部以非接觸狀較撐職較叙推進力料機構4來續玻璃基 運逆nr㈣力授讀構4料較叙玻璃基板2 、关方向_進力㈣麵基板2朝向運送方向運送，此等 k風式支撐機構3及推進力授予機構饿納於收納殼體7。 帛冑卩1A建構成將—個或複數個第1運送單元 構成第2運运部四建構成將—個或複數個第2運送 Γ排列而構成，中繼運送部則—個中繼運送單元來構 亦即，運送裝置扮系组合第1運送單元與第2運送單元與

61 1295659 中繼運送單元而構成。 說明中繼運送部JR。 士第52圖、第53圖所示，中繼運送部1R具有設於中繼 運送部1R之前述送風式支撲機構3、設於授予玻璃基板2之 5運运方向之推進力之中繼運送部1R的前述推進力授予機構 4、將玻璃基板2切換至第丨運送姿勢與第2運送姿勢之姿勢 臺更機構6B修正破璃基板2之姿勢偏移的姿勢修正機構 71、設於收納此等送風式支撐機構3、推進力授予機構4姿 勢變更機構6B以及姿勢修正機構71之中繼運送部m的殼 10 體7。 迗風式支撐機構3具有將二個風扇過濾器單元14排列 於月後方向，且於橫寬方向排列三個之合計六個風扇過濾 器單兀。排列於橫寬方向之二個風扇過渡器單元設成橫方 向，运風式支撐機構3之中心部形成可昇降前述姿勢變更機 15構6B的空間，又，前述整風板15形成有前述姿勢變更機構 6B形成可比送風式支撐機構3更向上方突出之變更機構用 孔 15e 〇 又，於整風板15除了形成前述姿勢變更機構6β之外， 也形成以沖壓形成之通氣孔15a及使前述推進力授予機構4 20可比运風式支撐機構3更向上方突出而形成之授予機構用 15d女勢修正機構？！之一部分進入之凹部。 其次說明設於中繼運送部1R之推進力授予機構4。如第 5·、第53圖所示，前述推進力授予機構鍵構成具有接觸 支撐破璃基板2之橫寬方向之兩端敎_對帶式推進力授 62 1295659 、（推進力授予部之一例)4b而構成兩側驅動式。此一對帶 式^進力授予部4b如第53圖所示，將風扇過濾器單元M分 開叹於Μ三個排列於橫寬方向而形成之二個前後方向的間 ^支撐横寬窄的第丨運送姿勢之玻璃基板2的情形下，係 ^撐破璃基板2之兩端部的靠外端，支撐橫寬寬的第2運送 文勢之破壤基板2的情形下，係支撐玻璃基板2之兩端部之 靠中央。 各V式推進力授予機構4b具有位於運送方向之上方侧 而藉兒動式之驅動馬達32旋轉的驅動輪64、位於運送上方 4之自由旋轉的從動輪65、涵跨此等驅動輪从與從動輪& 而卷回並接觸支撐玻璃基板2之下面2a而授予推進力的前 述正日守皮帶66、由内周面側支撐正時皮帶的之運送經過路 仁邛刀的内支撐輪67、及支撐上述構件的支撐框70。 如第54圖、第55圖所示，於支撐框7〇設置用以昇降操 I5作f式推進力授予機構扑之電動式的昇降用馬達，此昇 降用馬達69A之輸出齒輪69a與形成在風扇過濾器單元14之 側面的齒輪溝14b咬合。因此，以將昇降用馬達朝正反 方向驅動旋轉而能昇降操作帶式推進力授予部4b。 其—人說明安勢變更機構6B。如第53圖所示姿勢變更機 2〇構6B載置支撐於單元用框體…於旋轉部刚勺上面設有自由 旋轉操作於縱轴心周圍且自由昇降操作之自由吸著保持玻 璃基板2之下面2a之複數的吸著墊8(吸著劑之一例）。 亦即，姿勢變更機構6B如第53圖所示係具有被載置支 樓於單元用框體9而以内裝之氣虹機構m先由伸縮於上下 63 1295659 方向所構成的伸縮部17、設於此伸縮部17之上端而以 用馬達18a自由旋轉的旋轉部18、前述吸著塾s。差此 著旋轉部18旋轉而旋轉操作吸著墊S，藉著伸縮部17伸㈣ 昇降操作吸著墊S。 ' 〃以吸者保持玻璃基板2的狀態而旋轉操作吸著塾以將 旋轉力授T «基板2，並將玻赫板2娜為前述第味 姿勢與前述第2運送姿勢。 、 其次說明前述姿勢修正機構71。如第54圖所示姿勢修 正機構71以自由移動於中繼運送部1R之内外方向之一對修 10 ^機構72所構成，此—對修正機構構成以從橫側方定 著的狀態來頂接玻璃基板2之斜對向的角部。修正機構”之 構成具有可分別頂接於玻璃基板2之前後方向之一方的側 面與左右方向之側面之一對的押壓構件73、連結支撐一對 押壓構件73的本體部74、使本體部74朝向前述内外方向移 15動操作的驅動機構78。藉驅動機構78而使本體部74朝向前 述内外方向移動，並以合計四個押壓構件73從橫側方向夾 著以頂接破璃基板2，藉此，可將偏移了第2運送姿勢之玻 璃基板2的姿勢修正為第2運送姿勢。 第1運送部1A與第2運送部1B除了橫寬不同之點外，其 20他構成約相同，其構造與上述實施樣態所揭示者相同。 況明第1運送部、第2運送部及中繼運送部之送風式支 樓機構及推進力授予機構的高度關係，如第57圖所示，設 於第1運送部1A之送風式支撐機構3與設於第2運送部1B之 达風式支撑機構3與設於中繼運送部1R之送風式支撑機構3 64 1295659 乃設成以相同或約相同高度來支撐運送物。 設於中繼運送部1R之推進力授予機構4自由昇降操作 地設於以相同或約相同設於第1運送部1A之推進力授予機 構4及設於第2運送部1B之推進力授予機構4之高度來接觸 5 支撐玻璃基板2的上方位置、或比設於第1運送部1A之推進 力授予機構4及設於第2運送部1B之推進力授予機構4下方 的下方位置。 運送裝置Η設有檢測玻璃基板2之存在與否之圖式未顯 示的檢測感測器、及依據此檢測結果而控制推進力授予機 10 構4、姿勢變更機構6Β及姿勢修正機構71之動作之圖式未顯 示的控制機構。 其次說明中繼運送部1R之運送物之運送姿勢的切換。 如前述一般，設於中繼運送部1R之推進力授予機構4 建構成自由昇降操作，如第57圖所示中繼運送部1R建構成 15藉使推進力授予機構4上昇至前述上方位置而使玻璃基板2 接觸推進力授予機構4的運送狀態，藉使推進力授予機構4 下降至前述下方位置而使玻璃基板2相對於推進力授予機 構4呈非接觸狀態的旋轉用狀態。 於運送狀態藉推進力授予機構4所構成之推進力而在 與第1運送部1A之間運送玻璃基板2以將玻璃基板2從第蟪 送部1A運入，在與第2運送部1β之間運送運送物以將該已 運二玻璃基板2運出第2運送部1B，而且建構成於旋轉用 狀悲糟著用以使玻璃基板2旋轉於縱軸心周圍而設置之前 述安勢變更機構6B而授予玻璃基板2旋轉力，以將玻璃基板 65 1295659 2從第1運送㈣婦㈣2運送姿勢 二:==:= 送部的動作 5 ^"先如第57(A)圖所示’使推進力授予機構4上昇至上 昇位置而將破璃基板2設成以送風式支撐機構3與推進力授 予機構4來支標之前述運送用狀態。於此狀態使姿勢變更機

下卜以對於吸著墊s所運送之玻璃基板2解除接觸， 並先使姿勢修正機構71朝向前述内外方向之外側移動並退 1〇避以使姿勢修正機構71不會頂接玻璃基板2。以此狀態使設

於第1運送部1A之推進力授予機構4與設於中繼運送部1R 之推進力授予機構4動作而授予玻璃基板如運送方向的 推進力，一旦珂述檢測感測器檢測到玻璃基板2被運送至中 繼運送部1R之預定位置，則停止此轉進力授錢構4的動 15 作。

之後如第57(B)圖所示，使推進力授予機構4下降至前 述下降位置而僅以送風式支撐機構3以非接觸狀態來支撐 玻璃基板2的旋轉狀態。姿勢變更機構6B使伸縮部17伸長而 使吸著墊上昇，以此吸著墊s吸著保持玻璃基板2之下面 〇 2a，使旋轉部18旋轉而將玻璃基板2從第丨運送姿勢變更姿 勢成第2運送姿勢。之後，解除吸著墊S所構成之吸著保持， 使伸縮部17縮短而下降吸著墊s，並解除對吸著墊3之玻璃 基板2的接觸。 姿勢修正機構71使修正機構72移動至前述内外方向的 66 1295659 内側，並使從橫側方夾著狀態來頂接玻璃基板2之斜對向的 角部，以將偏移了第2運送姿勢之玻璃基板2的姿勢修正為 弟2運送安勢。 、 將玻璃基板2的姿勢切換至第2運送姿勢之後，使推進 5力授予機構4上昇至前述上方位置而設成前述運送用狀 悲，而使玻璃基板2朝向前述内外方向之外側移動並退避以 使安勢修正機構71不會頂接被運送的玻璃基板2。 以此狀態使設於中繼運送部1R之推進力授予機構斗與 。又於第2運达部1B之推進力授予機構4動作而授予玻璃基板 1〇 2運送方向的推進力，而將玻璃基板2運出至第2運送部1B。 [第7實施樣態] ^其次况明藉著第62圖之移送機構而將已到達中繼運送 4之運送物父付至第2運送部的第7實施樣態。 15 20

―如第61®所示’運送裝置之運送部設有將玻璃基板2 朝弟1運送方向運送的第1運送部1A、將玻璃基板2朝與第】 方向父又之第2運送方向運送的第2運送部、及位於 弟1運送部1A與第2運送部1B之連接位置而將從第丨運送部 運入之該經運送之破璃基板2運出至第2運送部把的中 矣k運运部1S。 支fH62圖所示’各運送部㈣制狀1支撐之送風式 ^構3與接觸狀態切之推進力授予機構4來支撐玻璃 而顧㈣進力授錢構料該被支叙玻璃基板 此等、方向的推進力’而將玻璃基板2朝運送方向運送， 、Η式支撐機構3及推進力授予機構4收納於殼體7。 67 1295659 如第第66圖所示，具有控制裝置E，該裝置依據設於檢 測在運送經過路徑上是否存在玻璃基板2之中繼運送部ls 之在物感測器T的檢測結果，而控制設於反運送部之推進力 授予機構4、吸著保持玻璃基板2之上面2a而昇降玻璃基板2 5並可移送至弟2運送方向之移送機構6C等的運轉。 又，第1運送部1A係排列一個或複數個第丨運送單元而 構成，第2運送部1B係排列一個或複數個第2運送單元而構 成，中繼運送部1S係以一個中繼運送單元而構成。亦即， 運送裝置Η係組合第1運送單元與第2運送單元與中繼運送 10單元而構成。 如第62圖、第63圖所示，中繼運送部1S係由已說明之 送風式支撐機構3、設於授予玻璃基板2運送方向之推進力 之中繼運送部1S的推進力授予機構4、前述在物感測器τ、 ΐ5此等迗風式支撐機構3、設於收納推進力授予機構4及在物 5感測器Τ之中繼運送部is的殼體7。 除了第2運送部1Β之運入用第2運送部1ΒΑ的部分與第 1運送部1Α橫寬不同，然而其他部分與第i運送部ια相同。 如第61圖所示，於第2運送部1Β設有用以從中繼運送部^ 運入玻璃基板2之運入用第2運送部1ΒΑ。 2〇 ^如第64圖所示，運入用第2運送部1ΒΑ具有設於運入用 弟2運送部1ΒΑ之送風式支撐機構3、設於授予玻璃基板2第 2運送方向之推進力之運入用第2運送部1βΑ的推進力授予 機構4、設於收納此等送風式支撐機構3及推進力授予機構* 之運入用第2運送部1ΒΑ的殼體7。 1295659 運入用第2運送部1BA藉著昇降操作設於此之推進力 授予機構4，而能切換為使推進力授予機構4接觸以送風式 支撐機構3支撐之玻璃基板2之下面2a的運送狀態、及相對 於以送風式支撐機構3支撐之玻璃基板2將推進力授予機構 5 4設成非接觸狀態的退避狀態。 說明設於運入用第2運送部1BA之推進力授予機構4之 昇降操作，一對收納框架8之各收納框架被單元用框體9支 撑成自由昇降操作。亦即，各收納框架8之下部設有用以昇 降操作此收納框8之電動式的框架用馬達31，此框架用馬達 10 Μ之輸出齒輪31 a與形成在單元用框體9之支撐框部分9a的 側面的齒輪溝9c咬合。因此，以使一對框架用馬達31分別 向正反方向驅動旋轉而使一對收納框架8之各收納框架昇 降，並昇降操作設於該一對收納框架8之推進力授予機構 4。又，第64圖表示將運入用第2運送部1BA切換至退避狀 15 態的狀態。 其次說明前述移送機構6C。如第62圖、第63圖、第65 圖所示，移送機構6C具有將玻璃基板2之上面2b吸著保持於 支撐部6Cb之下面的吸著墊6Ca，以圖外的驅動機構而昇降 才呆作吸著墊6Ca以及自由移動操作於第1運送部1人上與第2 2〇運送部^上。爰此，以吸著保持玻璃基板2之上面2b的狀態 而昇降操作吸著墊6Ca以及朝向第2運送方向移動，藉此可 昇降玻璃基板2並朝向第2運送方向移送。 其-人說明將第61圖之箭頭所示之玻璃基板2從運送上 方側之第1運送部1A運入中繼運送部15，不變更該已運入之 69 1295659 玻璃基板2的運送方向而運出至運送下方側之第1運送部1A 的第1運送、以及如箭頭B所示將玻璃基板2從第1運送部1A 運入中繼運送部IS，將該已運入之玻璃基板2的運送方向從 第1運送方向切換至第2運送方向而將玻璃基板2運出至第2 5運送部1B的分岐運送的情形。 進行第61圖之箭頭a所示之第1運送的情形下，用以對 玻璃基板2授予第1運送方向之推進力而使設於第1運送部 1A之推進力授予機構4及設於中繼運送部is之推進力授予 機構4動作，從運送上方側之第1運送方向將玻璃基板2運入 10中繼運送部1S，而將已運入之玻璃基板2運出至運送下方側 的第1運送部1A。 又，進行第61圖之箭頭B所示之分岐運送的情形下，首 先用以對玻璃基板2授予第1運送方向之推進力而使設於第 1運送部1A之推進力授予機構4及設於中繼運送部ls之推進 15力授予機構4動作，從運送上方側之第1運送方向將玻璃基 板2運入中繼運送部1S，而在前述在物感測器τ檢測到已運 入之玻璃基板2已被運送至中繼運送部18之預定位置時，停 止設於第1運送部1A之推進力授予機構4及設於中繼運送部 1S之推進力授予機構4的動作。又，此狀態如第65(A)圖所 20示，係以送風式支撐機構3及推進力授予機構4來支樓下面 2a 〇 以移送機構6C將已運入中繼運送部1S之玻璃基板2運 出至第2運送部1B之運入用第2運送部1BA。詳細將此玻璃 基板2運出至運入用第2運送部ιΒΑ之際的移送機構6(：的動 70 1295659 作’使移送機構6C下降而將吸著墊6Ca押頂於被運入中繼運 送部1S之玻璃基板2的上面2b，以口及著墊…吸著保持玻璃 基板2之上面2b，上昇操作該吸著墊心而如第65(B)圖所示 上昇玻璃基板2。之後，使吸著墊6Ca朝第2運送方向移動而 5將玻璃基板2移送至運入用第2運送部1BA上，直至以送風 式支撐機構3吸著保持之玻璃基板2之下面2a被支撐而如第 64圖、第65(C)圖所示之狀態將吸著墊6Ca下降操作之後， 解除對玻璃基板2的吸著保持。 將此玻璃基板2運出運入用第2運送部1BA之際，下昇 10操作設於運入用第2運送部1BA1之推進力授予機構4而使 運入用第2運送部1BA切換至退避狀態，建構成以吸著墊 6Ca吸著保持之玻璃基板2與設於運入用第2運送部1BA之 推進力授予機構4不會接觸。玻璃基板2被運出至運入用第2 運送部1BA而吸著墊6Ca退避至上方之後，上昇操作推進力 15授予機構4而使運入用第2運送部1BA切換至運送狀態，以 推進力授予機構4授予玻璃基板2第2運送方向之推進力而 運送至運送下方側的第2運送部1B。 設於使動作停止之第丨運送部1A之推進力授予機構4及 設於中繼運送部1S之推進力授予機構4, 一旦以移送機構6(： 20如第65(B)圖所示將玻璃基板2上昇，則再開始動作。 如上所述接著進行分岐運送之玻璃基板2之其次運送 之下一個破璃基板2朝第1運送方向運送，若是此下一個坡 璃基板2進行第1運送的話，以在物感測器丁檢測後亦繼續推 進力授予機構4的動作而運出至運送下方側的第丨運送部 71 1295659 1A ’若是下^— 部 個玻璃基板2進行分岐運送的話，一旦以在物 感測器檢測到則停止推進力授讀構的動作，而先在中繼 運运部18上待機以使移送機構將麵基板蹲出至第2運送 5亦即，狀前玻璃絲2結束分岐運《可預先將進行 分岐運送之下-個_基板2運人中繼運送軸，而於之前 的玻璃基板2結束分岐運送之際如第咖)圖所示，一旦下

一個玻璃基板2預先被運人中繼運送和，則如第65⑻圖 所示能連續進行分岐運送。 10 [其他實施樣態] ⑴上述第1至第3實施樣態係建構成僅將玻璃 第！運送部Μ上方側朝向第2運送部1B之下方側運土送，且 亦可將玻璃基板2從第2運送部1B朝向第丨運送部ia之上方 側即反方向運送。 15 20

亦即，將L型運送單元建構成藉幻推進力授予部她 可對玻璃基板2授予與第1運送方向又反方向之推進力，而藉 第2推進力授予部34Bb可對玻璃基板2授予與第2運送方^ γ反方向之推進力，將從第2運送部1B接受之破熟H 運送方向從第2運送方向γ變更為第丨運送方向又而土交接至 第1運送部1A。亦即，將包钟型推進力授予機構^推進 力授予機構4對於運送方向可進行正反方向運送。 於第1實施樣態或第2實施樣態所構成之運送裝置，第1 推進力授予部34Ba構成可使玻璃基板2自由昇降於藉第^辱區1 動滾子45而接觸支撐的支撐位置、及用以避免破螭^板2與 72 1295659 第1驅動滾子45之接觸而退避至下方的退避位置。即，前述 第1單側框體部分44a亦構成與前述第2單側框體部分4扑同 樣也自由昇降，以使支撐第1推進力授予部之第丨單側 框體部分44a昇降而使第1推進力授予部3他昇降於支擇位 5 置與退避位置。 10 15 20 , 心"丨〜丈达衮置，於L型送風式j 擇機構之人個風扇贼n單元14，除了位於上述風扇過分 器單元群之第设送方向下方側之二個，另加上在風扇㈣ 器單元群之橫寬-端側從幻運送方向上方側算起第二布 而合計三個風扇過遽器單元構成可變風扇過滤器單元 說明於第！實施樣態或第2實施樣態所構成之運送菜 置構成將上述之L型推進力授予機構34對運送方向可朝正 ^方向運送㈣形下之第丨推進力好部娵及第2推進力 技予部34Bb的昇降動作。又，說明將玻璃基板2朝向虚第2 運送方向反方向運送之際的昇降動作，將玻璃基板2朝向運 送方向運送之際因僅將將動作之餐設成相反故省略說 明。又’第27圖表示與第實施樣態同樣構成的情形下之以 限制滾子47及第2限制滾子48之位置變更，依據此第27圖來 說明。省略與第2實施樣態同樣構成的情形下社型送風式 支撐機構33之姿勢變更的圖式。 首先’如第27(A)圖所示，使第1推進力授予部遍下 降至退避位置以使玻璃基板2不會頂接於第丨推進力於予部 使第2推進力授予部3価上昇至支撐位置以使藉第2 驅動滾子46接觸讀_基板2之橫寬-端側的下面2a，而

73 1295659 將玻璃基板2朝向第2運送方向丫的反方向運送。 一旦玻璃基板2被運送至第丨運送方向終端，則如第 二⑻圖所示使第i推進力授予部胤上昇至支撐位置以使 藉第1驅動滾子45而接觸支撑_基板2之橫寬—端側的下 5面2a，以使第2推進力授予部3伽下降至退避位置的狀態而 使玻璃基板2不會頂接第2推進力授予部3働而將玻璃基板 2朝向第1運送方向之反方向運送。 其次說明於第3實施樣態所構成之運送裝置，可將上述 之L型推進力授予機構34相對於運送方向正反方向運送之 1〇構成之三個可變風扇過濾器單元14Λ的旋轉速度變更調 節。又，說明將玻璃基板2朝向與運送方向反方向運送之際 的昇降動作，因將玻璃基板2朝向運送方向運送之際僅將昇 降動作之順序設成相反故省略說明。又，與第3實施樣態同 樣構成之情形下之L型送風式支撐機構33的姿勢變更，乃以 15第3實施樣態將玻璃基板2朝向正方向運送的情形下之相反 順序來變更。 首先，如第28圖所示，將三個可變風扇過濾器單元14a 之中之排列於第1運送方向X之二個可變風扇過濾器單元 14A之可變送風風扇13a設成高速旋轉速度，以使玻璃基板2 20不會接於第1推進力授予部34Ba，為藉第2推進力授予部 34Bb之第2驅動滾子46對玻璃基板2之前後寬一端側授予充 分的推進力，乃將剩餘之一個可變風扇過濾器單元14A中的 可變送風風扇13a設成等速旋轉速度，而將玻璃基板2朝向 第2運送方向Y之反方向運送。 74 1295659 將三個可變風扇過濾器單元14A之中之排列於第2運送 方向Y之二個可變風扇過濾器單元14A之可變送風風扇13a 設成高速旋轉速度，以使玻璃基板2不會接於第2推進力授 予部34Bb，為藉第1推進力授予部34Ba之第1驅動滾子45對 5玻璃基板2之前後寬一端側授予充分的推進力，乃將剩餘之 一個可變風扇過濾器單元14A中的可變送風風扇13a設成等 速旋轉速度，而將玻璃基板2朝向第1運送方向X之反方向運 2¾ 〇 (2) 可使用帶以取代上述實施樣態的滾子，反之亦可取 10 代帶而使用滾子。 (3) 於上述第1實施樣態及第2實施樣態，亦可如其他實 施樣態（1)將第1單側框體部分建構成自由昇降，又，於上述 第3實施樣態中可如其他實施樣態（1)將可變風扇過濾器單 元建構成具有三個。 15 亦即，僅將玻璃基板朝向運送方向之正方向運送的情 形下，能設成第1推進力授予部不昃接觸玻璃基板之下面的 狀態，而能滑順地開始朝向第2運送方向的運送。 (4) 上述第1、第2實施樣態及各其他實施樣態將中繼運 送部作為L型運送單元1L，用以將從第1運送部丨八接受之玻 20璃基板2的運送方向從第1運送方向X變更為第2運送方向Y 而父接至第2運送部1B，乃必定必換玻璃基板2之運送方 向，然而，玻璃基板2之運送方向並不一定要變更。 例如可取代第1實施樣態之L型運送單元1L而具有如第 29圖所示之τ型運送單元1T。此τ型運送單元1T係構成可越 75 1295659 過已下降至退避位置之第2推進力授予部34Bb而將玻璃基 板2朝向第1運送方向X運送。又，亦可如第2實施樣態將τ 型運送單元IT之整體構成單側驅動式。 亦即，T型運送單元it未設置前述固定側壁42，又，具 5有將越過第2推進力授予部34Bb之玻璃基板2朝向運送部 ic授予推進力之兩側推進力授予部34A。使前述第2片側框 體部分44b下降而將第2推進力授予部34Bbs成退避位置的 狀悲，乃幵降單側框體部分的上端位於比風扇過濾器單元 14所支撐之玻璃基板2的下面更下方的位置。爰此，可將運 10送方向比從第1運送方向X變更至第2運送方向γ之處（第1實 施樣態之第1運送方向終端）更朝第丨運送方向χ越過第2推 進力授予部34Bb而運送。 又，第2單側框體部分44b與位於其兩側之框體部分之 間形成間隙以能設置第1驅動滾子。 15 因此，T型運送單元1T如第圖之箭頭a所示，除了將 從第1運送部1A接受之玻璃基板2的運送方向從第丨運送方 向X變更至第2運送方向γ而交接至第2運送部1B之外，可將 從第1運送部1A接受之玻璃基板2的運送方向保持於第1運 送方向X而不變更地交接至運送部lc。 2〇 藉T型運送單元1T如箭頭6所示進行運送的情形下，使 玻璃基板2不接觸第2推進力授予部34Bb而使玻璃基板2能 超過第2推進力授予部34Bb運送那般地先使第2推進力授予 部34Bb下降至退避位置，而用以穩定的狀態將玻璃基板2 朝向第1運送方向X運送，乃使第！限制滾子47上昇至作用位 76 1295659 置，而先使第2限制滾子48下降至退避位置以使玻璃基板2 朝向第1運送方向X運送之際不會造成阻礙。 又，如其他實施樣態（1)，能將玻璃基板2朝向與第1運 送方向X反方向運送或將玻璃基板2朝向與第2運送方向γ 5 反方向運送，而且能如第30圖之箭頭b、c、d、f所示運送 玻璃基板2。 又，運送部1C如箭頭e、f所示運送玻璃基板2的情形 下，構成對於第1運送部1A之下游側即第2運送部，運送部 1C如箭頭c、d所示運送玻璃基板2的情形下，構成對於第2 10 運送部1B之上游側即第1運送部。 而且，例如可取代第1實施樣態之L型運送單元1L而具 有如第31圖所示之+型運送單元lG。此+型運送單元1〇係 構成可將玻璃基板2越過第1推進力授予部34Ba而朝向第2 運送方向Y運送，且，可越過第2推進力授予部34Bb而朝向 15第1運送方向X運送。此情形下，如其他實施樣態（1)所示構 成可將玻璃基板2朝向與第1運送方向X反方向運送，或是能 將玻璃基板2朝向與第2運送方向Y反方向運送，藉此，能如 第32圖之箭頭a〜i所示那般地交接玻璃基板2。 又，亦可如第2實施樣態將+型運送單元1G之整體構成 2〇 單側驅動式。 ⑸上述各實施樣態例示了將除塵i慮器與送風機構安 裝成—體的送風單元，惟，不-定必要將除塵過遽器與送 風風扇安裝成一體，可設置將送風風扇所送風之空氣導引 至除塵過遽器的導引路而另外設置除塵過渡器與送風風扇 77 1295659 來構成並實施。 (6)上述實施樣態係以液晶用玻璃基板為前述運送物， 惟，亦可為半導體晶圓等，而前述運送物之形狀及大小非 限定於實施樣態者。 5 ⑺上述第4、第5貫施樣態係將輔助推進機構6A建構成 具有正時皮帶第2運送部1B等而接觸支撐玻璃基板2之下面 2a並授予推進力，然而，亦可財頂接_基板2之橫寬方 向之一方側的側面，亦即具有以頂接第2運送方向之運送上 方側之側面的狀態朝向第2運送方向移動，以對於玻璃基板 10 2授予第2運送方向之推進力的推押構件乃。 若是要舉出採用上述第4實施樣態的情形為例，則如第 47圖所示建構成具有使殼體7輕送風式支_構3之上方 的蓋體76，於該蓋體％ ’藉驅動機構將輔助推進機構从沿 著第2運达方向支私可料操作。該辅助推進機構如第 15 48圖所示具有朝第2運送方向移動的本體部74、被支撐於此 本體部74之前述推押構件乃、同樣被支樓於本體部％且以 頂接於基板2前後側面的狀態來限制玻璃基板2向前後方向 位置偏移的限制構件75、使限制構件乃沿著第2運送方向而 移動的前述驅動機構77。 如第48圖所不’於整風板15形成有沿著第2運送方向形 成的凹入部…，於第2運送方向建構成推押構件73之下端 比整風板15之上面更下方的位置，輔助推進機構从朝第2 運送方向移動之際，推押構件73之-部分以進入凹入部15c 的狀態來移動，而建構成確實地頂接在第2運送狀態之送風 78 1295659 式支撐機構3所支撐之玻璃基板2的運送上方側的側面。 (8) 第4與第5實施樣態係於中繼運送部1D之第i運送方 向的運送上方側與運送下方側之兩側設置第丨運送部1A，於 中繼運送部1D之第2運送方向的運送上方側與運送下方側 5之中的一側設置第2運送部1B，惟，如第49圖所示，可不在 第1運送方向之運送下方側設置第丨運送部1A，或是如第5〇 圖所不’可在第2運送方向之運送上方側與運送下方側之兩 側設置第2運送部1B等適當的變更。 (9) 第4與第5貫施樣態係建構成將設於中繼運送部工D 之前述推進力授予機構4沿著第！運送方向授予用以使玻璃 基板2正移動的推進力，而將輔助推進機構6A建構成沿著第 2運送方向授予用以使玻璃基板2正移動的推進力，惟，亦 可將設於中繼運送部1D之推進力授予機構4沿著第i運送方 向授予用錢玻璃基板2正反移動的推進力，而將輔助推進 15機構从建構成沿著第2運送方向授相以使玻縣板2正反 移動的推進力。 亦即，舉例說明第4實施樣態肖，則係可建構成將玻璃 基板2朝向與第33圖所示之箭頭A或箭頭b、^c所示之方 =呈反方向運送。又’可建構成於—個中繼運送部⑴進行 2〇箭頭B所示之分岐運送與箭抓所示之合流運送之雙方。 ()第第5只施樣悲係建構成將中繼運送部之送 風式支«構3財料送部1D之推進力授予機構4之中任 可-中彳予以幵降知作所造成之相對昇降，而將中繼運 送部胸魅帛啦狀態與細如態，惟，亦可建構 79 1295659 成藉著昇降操作中繼運送部ID之送風式支撐機構3與中繼 運送部1D之推進力授予機構4之雙方而使其相對昇降，以將 中繼運送部1D切換至第丨運送狀態與第2運送狀態。

(11)第4與第5實施樣態係建構成將設於中繼運送部1D 之推進力授予機構4之一方的推進力授予部如設成自由昇 降操作，惟，可建構成自由昇降操作一對推進力授予部4a 雙方。 2)弟4貫施樣態係將輔助推進機構6A降構成具有正 時皮帶66 ’惟，亦可建構成具有複數滾子。 10 (13)第6實施樣態係建構成將第1運送部1A與第2運送 部1B分別設置，惟·，亦可建構成以—個運送部來兼用第i 運送部1A與第2運送部1B。 亦即，例如第58圖所示，第2運送部乃可具有兼用將玻 土板2以第1運送安勢及第2運送姿勢來運送之第1運送 15與第2運送部的兼用運送部1E。 ° 設用Γ部’如第59圖所示，兼用運送部ie具有 授：=:=::機構3,基- 力 2。機構4之中繼運送部1R的殼 牙:構3:推進力授予 同構造者乃料録他❹W 有關與其他運送部相 1 、其他私部相同標^省略說明。 玻璃ΐΖΓ❹料部^推進力料機構4,乃以授予 玻离基板2與第！運送部1A相同方 杈予 之-對第1推進力授予部从、授則運^向推進力 T坡耦基板2與中繼運送部 1295659 1R相同方向之第2運送方向之 部撕構成，第！推進力授予部4脑^對第2推進力授予 予部蝴㈣造，崎進力授侧吵 = 予部4b同樣構造。 π刀抆 5 10 15 20 如第60圖所示，一對第1推進力授予部从之第2運送方 向下方側之第1推進力授予部4Α建構成自由昇降操作’―對 第2推進力射部辦構成雙方自由㈣ 並用運送部1Ε上昇操作第1推進力授予部从之單側， 而下降操作第2純力授料蝴㈣，叫狀支撑 3非接觸狀態支樓之玻璃基板2之下面以以一對第〗推進力 授予部4A接觸支樓的第丨運送狀態，乃從運送上方側之幻 運送部1A運入玻璃基板2，以及將該運入之玻璃基板2運出 至運送下方側之第i運送部1A。下昇操作第】推進力授予部 4A之單側，而上降操作第2推進力授予部4b的雙方，以1 風式支撐機構3非接觸狀態支撐之玻璃基板2之下面以以2 對第2推進力授予部4B接觸支撐的第2運送狀態，將前述運 入之玻璃基板2運出至運送下方側之第2運送部1B。 因此，兼用運送部1E在第1運送狀態具有第工運送部的 機能，在第1運送狀態具有第2運送部的機能。 (14) 上述弟6實施樣態藉建構成昇降操作推進力授予機 構4來切換運送用狀態與旋轉用狀態，惟，亦可藉昇降操作 送風式支撐機構3而進行切換，又，亦可昇降操作送風式支 揮機構3與推進力授予機構4之雙方而進行切換。 (15) 上述第6實施樣態將中繼運送部建構成從第i運送 81 1295659 部1A運入玻璃基板2，而將該運入之玻璃基板2運出至第2 運送部1B，或是建構成從兼用運送部（第2運送部）運入玻璃 基板2,而將該運入之玻璃基板2運出至第1運送部1A，惟， 亦可進行此等運送之雙方。 5 (16)上述第7實施樣態係建構成可進行第1運送與分岐 運送，惟，亦可僅進行第67圖所示之分岐運送。 (17) 上述苐7貫施樣態係建構成可進行第1運送與分岐 運送，惟，亦可在第i運送與分岐運送外，另如第砧圖所示 於中繼運送部1S之第2運送方向兩側設置第2運送部1B，如 10前頭C所不，亦可進行從運送上方側之第2運送部1B運入玻 璃基板2而將該運入之玻璃基板2運出至運送下方側之第i 運迗部1A的合流運送。此情形下，以移送構機6c從第二運 送部1B將玻璃基板2運入中繼運送部1S，而以設於中繼運送 部1S之推進力授予機構4將該運入之玻璃基板2運出至第工 15運运部1A。又，亦可建構成進行以移送機構6C將運送上方 側之第2運送部1B之破璃基板2越過中繼運送部以而運出至 運送下方側之第2運送部1B(運入用第2運送部1Ba)的第二運 送。 (18) 上述第7實施樣態亦可將移送機構6C建構成將從 20中繼運送部1S運出至第2運送部1β之際所吸著保持之^ 基板2能以預定驗⑽。)旋轉於縱心關，岐成對於 1運送部1A之第1運送方向之玻璃基板2的姿勢與對於第 送部1B之第2運送方向之玻璃基板2的姿勢相同，而能兼用 運送部。 82 丄295659 (19)上述第7實施㈣舰構成 1β之推進力授予機祕將第2運送部1β=72運送部 、糊切換為運送狀態 、避狀4，惟，亦可建構成藉著 之送周彳π啐铢作第2運迗部13 <几式支撐機構3,或是昇降操作第 支撐機構3與第2運逆立plB之施、隹七匕 風式 、弟2運以1Β之推進力㈣ 苐2運送部^切換為運送狀態與退避狀態。 、 10

又，不僅第2運送部1B，亦可建構成昇降操作中繼運送 部1S之送風式支撐機構3及推進力授予機構4之_方或雙方 而將中繼運送部1S切換為運送狀態與退避狀態，將吸著塾 6Ca押頂於玻璃基板2之上面2b之際，先將中繼運送部^切 換為退避狀態。 【圖式簡單說明】 第1圖係第1實施樣態之運送裝置的俯視圖。 第2圖係第1實施樣態之第1運送部的立體圖。 第3圖係第1實施樣態之運送單元的前視剝面圖。

第4圖係第1實施樣態之運送單元之前視剝面的一部分 放大圖。 第5圖係第1實施樣態之運送單元的側面剝面圖。 第6圖係第1實施樣態之運送單元的俯視圖。 弟7圖係第1貫施樣恶之收納框架的剝面圖。 弟8圖係第1實施樣態之推進力授予機構的前視制面 第9圖係第1實施樣態之推進力授予機構之一部分放大 側面圖。 83 1295659 第10圖係第1實施樣態之L型運送單元的立體圖。 第11圖係第1實施樣態之L型運送單元的右側面圖。 第12圖係第1實施樣態之L型運送單元的一部分放大右 側面圖。 5 第13圖係第1實施樣態之L型運送單元的背面剝面圖。 第14圖係第1實施樣態之L型運送單元的俯視圖。 第15(A)、（B)圖係第1實施樣態之L型運送單元的作用 圖。 第16圖係第1實施樣態之第2推進力授予部的剝面圖。 10 第17圖表示第1實施樣態之限制部的位置調節構造。 第18圖係第2實施樣態之運送裝置的俯視圖。 第19圖係第2實施樣態之運送單元的前視剝面圖。 第20圖係第2實施樣態之L型運送單元的右側面圖。 第21圖係第2實施樣態之L型運送單元的俯視圖。 15 第22圖係第2實施樣態之L型運送單元的立體圖。 第23(A)、（B)圖係第2實施樣態之L型運送單元的作用 圖。 第24(A)、（B)圖係第2實施樣態之L型運送單元的作用 圖。 20 第25圖係第3實施樣態之L型運送單元的立體圖。 第26(A)、（B)圖表示第3實施樣態之玻璃基板的支撐狀 態。 第27(A)、（B)圖係其他實施樣態⑴之L型運送單元的作 用圖。 84 1295659 第28圖係其他實施樣態（1)之L型運送單元的作用圖。 第29圖係其他實施樣態(4)之L型運送單元的俯視圖。 第30圖係其他實施樣態(4)之L型運送單元的作用圖。 第31圖係其他實施樣態(4)之十型運送單元的俯視圖。 5 第32圖係其他實施樣態(4)之十型運送單元的俯視圖。 第33圖係第4實施樣態之運送裝置的俯視圖。 第34圖係第4實施樣態之中繼運送部的立體圖。 第35圖係第4實施樣態之中繼運送部的前視圖。 第36圖係第4實施樣態之中繼運送部的一部分放大圖。 10 第37(A)、（B)圖係第4實施樣態之中繼運送部的側面 圖。 第38圖係第4實施樣態之輔助推進機構的側面圖。 第39圖係第4實施樣態之第1運送部的立體圖。 第40(A)、（B)圖表示第4實施樣態之中繼運送部之第1 15 運送狀態與第2運送狀態的側面圖。 第41(A)、（B)圖表示第4實施樣態之中繼運送部之第1 運送狀態與第2運送狀態的前視圖。 第42(A)、（B)圖係第5實施樣態之中繼運送部的側面 圖。 20 第43圖係第5實施樣態之推進力授予機構的前視圖。 第44(A)、（B)圖表示第5實施樣態之中繼運送部之第1 運送狀態與第2運送狀態的側面圖。 第45(A)、（B)圖表示第5實施樣態之中繼運送部之第1 運送狀態與第2運送狀態的前視圖。 1295659 第46圖係其他實施樣態(7)之運送裝置的俯視圖。 第47(A)、（B)圖表示其他實施樣態（7)之中繼運送部之 第1運送狀態與第2運送狀態的前視圖。 第48圖表示其他實施樣態（7)之輔助推進機構與整風板 5 之高度關係。 第49圖係其他實施樣態（8)之運送裝置的俯視圖。 第50圖係其他實施樣態（8)之運送裝置的俯視圖。 第51圖係依據實施樣態6所構成之運送裝置的俯視圖。 第52圖係依據實施樣態6所構成之中繼運送部的立體 10 圖。 第53圖係依據實施樣態6所構成之中繼運送部的前視 圖。 第54圖係依據實施樣態6所構成之中繼運送部之一部 分放大前視圖。 15 第55圖係依據實施樣態6所構成之中繼運送部的側面 圖。 第56圖係依據實施樣態6所構成之帶式推進力授予部 的側面圖。 第57(A)、（B)圖係依據實施樣態6所構成之運送用狀態 20 與旋轉用狀態的側面圖。 第58圖係其他實施樣態（13)之運送裝置的俯視圖。 第59圖係其他實施樣態（13)之兼用運送部的立體圖。 第60(A)、（B)圖表示其他實施樣態（13)之第1運送狀態 與第2運送狀態的前視圖。 1295659 第61圖係依據實施樣態7所構成之運送裝置的俯視圖。 第62圖係依據實施樣態7所構成之中繼運送部的立體 圖。 第63圖係依據實施樣態7所構成之中繼運送部的前視 5 圖。 第64圖係依據實施樣態7所構成之運入用運送部之一 部分放大前視圖。 第65(A)〜（D)圖係依據實施樣態7所構成之運送裝置 之分岐運送的作用圖。 10 第66圖係依據實施樣態7所構成之運送裝置的控制方 塊圖。 第67圖係其他實施樣態（16)所構成之運送裝置的俯視 圖。 第68圖係其他實施樣態（17)所構成之運送裝置的俯視 15 圖。 【主要元件符號說明】 Η 運送裝置 1 運送單元 1Α 第1運送部 1Β 第2運送部 1ΒΑ 運入用第2運送部 1C 運送部 ID 中繼運送部 IE 兼用運送部 1G +型運送單元 1L L型運送單元 1295659 1R 中繼運送部 IS 中繼運送部 2 玻璃基板 2a 下面 3 送風式支撐機構 4 推進力授予機構 4a 推進力授予部 4b 帶式推進力授予部 X 第1運送方向 Y 第2運送方向 _ A 運送空間 B 收納空間 6 A 輔助推進機構 6B 姿勢變更機構 6C 移送機構 6Ca 吸著墊 6Cb 支撐部 7 殼體 8 收納框架 4 8a 内壁 8b 下壁 8c 收納覆罩 9 單元用框體 9a 支樓框部分 9b 板狀框部分 12 除塵過濾器 13 送風風扇 14 風扇過濾器單元 15 整風板 88 1295659 15a 通氣孔 15b 昇降用孔 15c 凹入部 17 伸縮部 17a 氣缸機構 18 旋轉部 18a 旋轉用馬達 S 吸著墊 19 水平支撐框 20 運送覆罩 P 橫軸心 21 外部排出口 23 副送風單元 24 驅動滾子 24a 大徑部 25 電動馬達 26 輸出軸 27 傳動軸 28 平齒輪 29 輸出齒輪 30 輸入齒輪 Q 橫軸 31 框架用馬達 31a 輸出齒輪 32 驅動馬達 33 L型送風式支撐機構 33a 凹部 33b 貫穿孔 34 L型推進力授予機構

89 兩側推進力授予部 單側推進力授予部 第1推進力授予部 第2推進力授予部 L型殼體 L型收納框架 L型單元用框體 L型運送覆罩 L型整風板 通氣孔 固定側壁 齒輪溝 兩側框體部分 單側框體部分 第1單側框體部分 第2單側框體部分 第1運送用驅動滾子 第1驅動滾子 第2運送用驅動滾子 第2驅動滾子 第2大徑部 第1限制滾子 第2限制滾子 滾子支撐框 電動式馬達 傾斜用支撐框 單側殼體 殼體側壁 L型單側收納框架 90 L型殼體側壁 傾斜姿勢變更用框體 伸縮部 驅動輪 從動輪 正時皮帶 内支撐輪 推進機構用馬達 昇降用馬達 輸出齒輪 支撐框 姿勢修正機構 修正機構 押壓構件 本體部 限制構件 驅動機構 驅動機構 T型運送單元 在物感測器 控制裝置 91

Claims (1)

1295659 十、申請專利範圍： 1. 一種運送裝置，係具有： 送風式支撐機構，其係朝向運送物下面供給清淨空 氣而將前述運送物支撐成非接觸狀態者； 5 第1運送部與第2運送部，其係分別具有對前述運送 物授予運送方向之推進力的推進力授予機構者；及 中繼運送部，其係配置於連接前述第1運送部與前述 第2運送部之位置者， 其特徵在於： 10 前述推進力授予機構藉接觸前述送風式支撐機構所 支撐之前述運送物下面而授予前述推進力， 且具有變更已到達前述中繼運送部之運送物的運送 方向或運送姿勢之至少其中任何一方，而將前述運送物 交付至下游側之運送部的機構。 15 2.如申請專利範圍第1項之運送裝置，其中前述第1運送部 將前述運送物朝第1運送方向運送，前述第2運送部將前 述運送物朝與第1運送方向交叉之第2運送方向運送，前 述中繼運送部將從前述第1運送部接收之前述運送物的 運送方向從第1運送方向變更至第2運送方向而交接至前 20 述第2運送部，前述變更之機構設於前述中繼運送部，前 述變更之機構具有構成對離開與前述運送物之前述第1 運送方向正交之橫寬方向之前述第2運送部之側之橫寬 一端部，授予前述第1運送方向之推進力的單側驅動式的 第1推進力授予部、構成對離開與前述運送物之前述第2 1295659 運送方向正交之前後寬方向之前述第1運送部之側之前 後寬一端部，授予前述第2運送方向之推進力的單側驅動 式的第2推進力授予部，變更前述運送物之運送方向，以 秦 使藉前述第1推進力授予部而授予推進力並朝前述第1運 5 送方向運送之前述運送物，藉前述第2推進力授予部授予 ^ 推進力而朝前述第2運送方向運送。 3. 如申請專利範圍第2項之運送裝置，其中前述第2推進力 授予部之構成具有接觸支撐前述運送物下面而授予推進 φ 力之接觸式之2驅動部，且自由昇降於將前述運送物藉前 10 述第2驅動部接觸支撐的支撐位置、用以避免前述運送物 與前述第2驅動部之接觸而退避於下方的退避位置。 4. 如申請專利範圍第3項之運送裝置，其中前述第1推進力 授予部可對前述運送物授予與第1運送方向反方向之推 進力，前述第2推進力授予部可對前述運送物授予與第2 15 運送方向反方向之推進力，藉此，前述中繼運送部構成 將從前述第2運送部接受之前述運送物之運送方向從第2 φ 運送方向變更成第1運送方向而交接至前述第1運送部， 前述第1推進力授予部構成具有接觸支撐前述運送物下 面而授予推進力之接觸式之第1驅動部，且自由昇降於將 ’ 20 前述運送物藉前述第1驅動部接觸支撐的支撐位置、用以 . 避免前述運送物與前述第1驅動部之接觸而退避於下方 的退避位置。 5. 如申請專利範圍第2項之運送裝置，其中具有第1阻擋 部，該第1阻擋部頂接於藉前述運送物之前述第1推進力 93 1295659 5 10 15 20

授予:而授予推進力之前述橫寬_端部側之側面，而阻 擋向w述橫寬方向㈣的前述運祕、第2阻播部該 2阻擋部頂接於藉前述運送物之前述以推進力授予=而 授:推進力之前述前後寬_端部側之側面，而阻撞向前 述前«方向移動的前料職。前述送風式支撐機構 可將前述運送物變更姿勢為第1運送料勢與第2運送用 安勢，該第1運送用姿勢係呈前述橫寬方向之橫寬另―端 側比藉前述第1推進力授予部授予推進力之前述橫寬— 立於上方的傾斜姿勢、該第2運送用姿勢係呈前述 則^見方向之前後寬另一端側比藉前述第〗推進力授予 勢P枚予推進力之前述前後寬—端側更位於上方的傾斜姿 範圍第2項之運送裝置，其中具有第m 力β + Α _部頂接於與藉前述運送物之前述第1推 ^二授予推進力之前述橫寬_端部側呈反對側

寬ί向#、部側之側面，而阻擔前述運送物朝向前述 運送物2、第2限制部’該第2限制部頂接於與藉前 後寬1==：：力授予部而授予推進力之前述 阻指前述料物朝向前側之侧面， 部位於運、、，、， 玫引後見方向移動，前述第1限 過路徑，==第2運送方向之前述運送物的運送 側之側面Γ 變更位置於頂接前述橫寬另一端 述運送物的2='^運送於前述第2運送方向之 運V!過路徑退避的退避位置，前述第2限 94 1295659 部位於運送於前诫筮〗、w、、， 以131$方向之前料送物的運送麵 :路徑，而構成自由變更位置於頂接前 = 5 10 15 20 部側之側面的作用位置、及從運送於前述第ι運送^ 前述運送物的運送經過路徑退避的退避位置。。之 7·如申請專利範圍第6項 菸筮止丨如… 异r刖述弟1限制部 义構成藉從前述作用位置下降而變更位置於 前述退避位置，前述送風式讀機構具有位於前述退避

位置’前述第i限制部及前述第2限制部進入的凹部^避 申明專利圍第2項之運送裝置，其中前述送風式支 撐_，去除塵埃之除塵過渡器、及透過該除塵過 I.朝剛述運$物下面供給清淨空氣之送風式機構予以 體也、、且裝的适風式單元，並列於前述第}運送 述第2運送方向。 夂月J

申:專利範圍第1項之運送裝置，其中前述第1運送部 將運k物朝向第1運送方向運送，前述第2運送部將運送 ⑭朝向”第1運送方向交又之第2運送方向運送，前述中 f運运相沿著前述第1運送方向運送運送物而在前述 第運之間運送運送物，並以沿著前述第2運送方向 運送運送物而在前述第2運送部之間雜運送物，前述中 繼運=部具有前述推進力授予機構與前述送風式支撐機 構則述中繼運送部之前述推進力授予機構構成具有接 觸2與運送物之前述第1運送方向正交之橫寬方向之 七P之_推進力授予部的兩側驅動式，前述要變更 之機構設於前述中繼運送部，前述要變更之機構藉著前 95 1295659 V進力授予機構與前述送風式支撐機構的相對昇降， &換使運送物接觸前述推進力授予機構的第1運送狀 使運达物對前述推進力授予機構呈非接觸狀態的第 ' ^ ^於别述第1運送狀態藉前述推進力授予機構 成之推進力而在前述第1運送部與前述中繼運送部 =運$運$物’且於前述第2運送狀態藉授予前述第2 2方向之推進力的輔助推進機構而在前述第2運送部 與前述中繼運送部之間運送運送物，藉此變更運送物的 運送方向。 10 A月專彻IL1J第9項之運送裝置，其中前述中繼運送 成將前述送風式支撑機構設置成，以設於前述第丄 、、卩之送風式支撐機構及設於前述第2運送部之送風 ^支撑機構相同或略同高度支撐運送物的高度 ，且將前 15

述#進力授予機構構成於前述第1運送狀態中與設於前 :弟1運达部之推進力授予機構相同或略同高度位置之 、、:位置’且構成前述第2運送狀態中比設於前述第2運 =之推進力授予機構更下方位置之下方位置，而設成 目由昇降操作。 20 係捲月專利1a圍第9項之運送裝置，其中前述中繼運送部 運成將前述送風式支撐機構設置成，以與設於前述第i =、之推進力授予機構相同或略同高度且比設於前述 運适部之推進力授予機構低之高度的固定狀態，且將 二式支撐機構構成於前述第1運送狀態中以與設 、則返第1運送部之送風式支撑機構彳目同或略同高度支 96 1295659 撐運送物的下方位置，且構成前述第2運送狀態中以與設 於前述第2運送部之前述送風式支撐機構相同或略同高 度支撐運送物的上方位置，而設成自由昇降操作。门 12·如申請專利範圍第9項之運送裝置，其中前述輔助推進 5 機構構成於前述第2運送狀態中接觸支撐運送物下面並 授:推進力的驅動旋轉體，以接觸支撐前述以運送 狀悲之運送物下面的接觸支撐的自由昇降操作。 13·如申請專利範圍第9項之運送裝置，其中前述輔助推進 機構具有押壓機構，該押壓機構以頂接運送物之前述運 C方向之運送上方側之側面的狀態而向第2運送方向移 動，藉此對運送物授予於前述第2運送方向之推進力者。 14. 如申請專利範圍第9項之運送裝置，其中設於前述中繼 運送部之前述推進力授予機構構成可授予推進力以沿著 月ίι述第1運送方向使運送物正反移動，前述輔助推進機構 構成了授予推進力以沿著前述第2運送方向使運送物正 反移動。 15. 如申明專利乾圍第9項之運送裝置，其中前述送風式支 撲機構構成將去除塵埃之除塵過濾H、及透過該除塵過 2〇 冑器朝冑述運送物了面供給清淨空氣之送風式機構予以 體地組裝的送風式單元，並列於前述第1運送方向及前 述第2運送方向。 16·如申請專利範圍第1項之運送裝置，其中前述第1運送部 以第1運送姿勢運送運送物，前述第2運送部從第i運送姿 勢以預定角度旋轉於縱軸周圍之第2運送姿勢來運送運 97 Ϊ295659 送物，前述中繼運送部在與前述第^運送部之間以及與前 述第2運送狀間運送奴物，前料«之機構設於前 述中繼運送部，前述要變更之機構藉設於前述中繼運送 部之前述推進力授予機構與前述送風式支_構之相對 昇降，而切減使魏物接㈣述推進力授予機構的運 送用狀態與使運送物相對於前奸、格^ ^ 觸狀態的旋轉狀態，於前述運授讀構呈非接 授予機構所造成之推進力而«進力 J仕則迷弟1運送部與前 10 15 =運送狀間、以及^述中繼運送部與前述幻運送部之 :運达運达物’且於前述旋轉狀態，藉著用以使運送物 :縱軸=圍旋轉的姿勢變更機構而對運送物授予旋轉 ί::將運送物切換成前述第1運送姿勢與前述第2 17=請專職圍第16奴運送裝置，其切《勢變更 為構將用以自由吸著保持運送物下面之吸著部 操作於縱軸心周圍，且構忐 疋轉 用狀能以t… 升降操作，於前述旋轉 ^大悲一叙耆部吸著保持前述運送物並旋轉= :述運送綠_除對於前料送物之前倾著部的接 心申請專·_16奴運送裝置，其 迗部設置姿勢修正施接 ^ ^ 』H、、k運 接於運送物’觀料^紅_錄橫側方頂 料勢之運送物二=:第前!姿勢或前述第2運 第2運送姿勢。 ]’'弟]運适安勢或前述 20 1295659 10 15 20 9.如申％專利範圍第闕之運送裝置，其中 部之前述送風式支撐機構以與設於前述以運、=運= :式支撐機構、以及設於前述第2運送 = 同的高綱運送物的高度來設置= 機構、以及設===述第1運送部之推進力授予 略㈣力授讀構相同或 略同回度接觸支撐運送物的上方位置相门1 運送狀態⑽比設置於前述第i運送部之推^=第2 於前述第2運送部之推進力授予機構更下方又的下20. 如申請專利範圍第16項之運送裝置，其中==去除塵埃之除塵·及透過= .核送物T面供給清淨空氣之送風式機構予以 -體地組裝的送風式單元，並列於料運送方向 21. 如申請專利範圍第i項之運送裝置，其中前軸運 將運送物朝向第1運送方向運送，前述第2運送部將運; 物朝向與第i運送方向交又之第2運送方向運送，以言、、 前述中繼運送部之前述推進力授予機構從前述第^於 部將運送物運人前述巾繼運送部，吸著保持已二 中繼運送部之運送物上面而以可將運送物予叫降= 向丽述第2運送方向移送之移送機構，將前述已運入之月 送物運出至前述第2運送部，藉此進行前述分岐運送運 22. 如申請專利範圍第21項之運送裝置，其中前述第

99 1295659 部藉著其所具有之推進力授 5 10 15 20 相對昇降而能切換成使前述推二=風式支撑機構的 运風式支撐機構支撐之運送物下&冑構接觸以前述 述推進力料機構對前述送風式支態、及使前 物呈非接接觸狀態的退避狀態。* #所支擇之運送 23·如㈣專·_21項之運钱置， 從前述第2料部料送物^移送機構 述中繼運送部之前述推進力授予機構將适士亚以則 運出至前述第1運送部，藉此 ^ A之運达物 運入、^ 構成可從前述第2運送部 運入運迗物而將經運入之 延、f 的合流運送。 、運出至前述第1運送部 2(如申請專利範圍第21項之運 邱Μ芏甘私曰+ 、置其中丽述中繼運送 :曰/、，、有之推進力授讀構與送風式支擇機構的 、、…. ⑴返推進力授予機構接觸以前述 送風式支撐機構支撐之運择彡 述推進力授予機構對前述態、及使前 V風式支揮機構所支撐之運送 物王非接接觸狀態的退避狀熊。 25·如申請專利範圍第21項之運i震置，其中前述送風式支 ，機構建構成將-體性地紅裝可去除塵埃之除塵過滤 盗、及透職除塵過心而朝向運祕下面供給清淨空 氣的送風麟料風式單元，並顺m述第丨運送方向 及第2運送方向。 I 100