TWI294336B - - Google Patents

Description

1294336 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域] 本發明有關於一種轉谨她ΠΤ7 得連^ ^、人，使例如液晶面板用的 玻璃基板的工件保持於水孚，、，W 上 並攸既定的處所移交至其他 處所。 【先前技術】 此種轉運機器人伤如直Μ ^ & 係如專利文獻1所揭露者。揭示於該 專利文獻1的轉運機器人， 一 八如本祝明書之第13圖及第14 圖所示，包括使板狀工件保持於水平的手狀台、使該手 狀台4 0 0沿既定的水平亩么♦ / 直線移動行程S前進或後退的直線 移動機構3〇0、使包含於該直線移動機構3。。的支持基座 310於上下方向上移動的升降機構2〇。。直線移動機構3⑽ 除了支持基座310之外’還包括底部連接於該支持基座310 的第-二平連結臂32〇以及底部連接於該第一水平連結臂 i20的前端部且可使上料狀台_沿垂絲旋轉而支持於

如立而部的第二水;皇壯辟Q Q 十連…# 3 3 0。升降機構2 〇 〇包括底部連接 ::疋基i 100的第一直立連結臂21〇以及底部連結於該 弟一直立連結臂210的前端部且使上述基座可繞水平軸旋 轉而f持於前端部的第二直立連結臂220。支持基座310係 ——…”第—直立連結臂2 1 0、2 2 0繞水平軸旋轉而保持 々一方勢並於上下友向上移動。手狀台400係藉由第一 與第二水平連結臂320、330繞垂直軸旋轉而保持一定的姿 座3 1 0上，设有繞垂直軸旋轉的旋轉構件3丨丨，經由該旋轉 2215 -72 〇4 ~pp 5 Ί294336 構件3 11 ’支持基座3丨〇與第—水 如第13圖所示，為了收容：結臂被連結。 經由緩衝部W故工件w，這樣的轉軍固：件W並從卡匠部C 接於緩衝部B的機器人部R。在、機益人X係設置於鄰 在垂直方向上相隔一定間隔，在二部C上’多數個… 降台ci上。當升降台π朝下方：：的狀態下被保持於升 工件W被載置於卡…的 、動時，保持在最下段的 上，沿滾子輸送HC2的搬運寬度；^器㈡上。在升降台C1 W下方的複數條線（圖示略） ° ’架設有支持於工件 的間隙中。藉此，升降台Π朝 C2下方的線會移動，由該等 夕日”滾子輸送器 輸送器Μ上而成為被載置的狀態持m落下至滾子 之後，工件W從卡1^部C的滾子輸送器C2搬運至緩衝 4的滾子輸送H B1上。在緩衝部βό々滚子輸送哭幻 4如：14圖所示，設有空隙部B2,使轉運機器人乂手狀」 二可：送入。轉運機器人Χ藉由使升降機構2。〇及直線； 動機構_作動，使手狀台侧進人滾子輪送部^ = 部Β2’甚至手狀台400在滾子輸送器以上 工隙 態。藉此，位於緩衝部“滾子輪送哭βι^為舉起的狀 、 、1上的工件 載至手狀台400上。之後，轉運機器手 Λ從于狀台4 ο η你 二至機器…的既定位置，使旋轉構件3ιι做 度或90度的旋轉，在手狀台4〇〇以朝向圖 將自卡匣w C經由缓衝部β所接受的工件------------------- 的工件處理部。 件^轉运至移送前 2215-7204-PF 6 1294336 報 [專利文獻1 ]特開2 〇 〇 3 - 2 7 5 9 8 0號公 【發明内容】 [發明所欲解決的問題] _ 3而’在上述的轉運機器人X中，為了將工件-從萍 :輪迗态Β1的下方向上舉起，必須載置於手狀台4〇〇上， 口此必須设有將工件w在機器人部R與卡匣部c之間傳贫 用的緩衝部β。也就是說，為了缓衝部的設備及其設置的3 門包含轉運機器人的工件搬運系統會變得报魔大。 又，如弟13圖所示，滾子輸送器B卜C2必須將工 搬運從卡匣部C到缕倫加· J綾衝邛B的距離LO，另一方面轉運機器 人X必須使手狀台4 0 〇前推+祕$德抑，^ ^ ° 月J進或後退機為人部r到缓衝部] 之間的距離L1，兩者φ 丁# Ώ 4y , 件及丁狀口必須移動比較長的距 離。特別是對於轉運播、哭 ^ 、。人，若手狀台移動的距離L1變長， 貝J k確保動作穩定的勸 嬈點而言，大型的設備是有其固難。 而且，由於工件W/ 9下面係直接接觸於滾子輪 C2，對於工件W而令，办 展子輸迗益B1、 " 谷易附著雜質，工件W&卜e 損傷。從此觀點而言，為 、下面奋易 在工件W傳送之際，滾子輪 C2以及手狀台400動 輪B1、 勒侍比較慢，因此工件 送。 T w無击順利地傳 有鑑於此，本發明扭 a k供一種轉運機哭 運系統的規模變小而且 °。 可使工件搬 於工件上並順利地進行工丛 冋日守防止雜質附著 堤仃工件的轉運。 ss_—____ ' 為解決上述的問顳 本發明係揭露以下的技術手段。

2215-7204-PF 7 '1294336 本發明所提供的轉運機器人係將板狀的工件保持於水 平並從既定的處所接受之同時，提交至其他處所，其包 基座構件；框架構件，由上述基座構件可上下移動地支持 者，複數個滑臂機構，設於上述框架構件之同時，支持工 件的下面並於水平方向伸縮；以及氣孔台，與上述複數個 滑臂機構於上下方向上不干涉而對應於上述基座構件被支 持之同時，上述框架構件-p降# h ^ 木再仟卜降私動，位在既定位置的狀態 下’藉由空氣壓力使工件上浮。 2上述之較佳實施例中’上述氣孔台係由上述基座構 件可水平移動地支持著。 在如此的構造中，例如從既 ^ n k既疋的處所接收工件的情況 下，I運機器人將氣孔台橫放i 邊處所。此時，框架構件 下降私動至既定的位置。因此，# 虱孔台相對地位於框架構

件上方的位置。藉此，氣孔A Μ ^ ^ 〇不_擋住框架構件及滑臂機 構而可於水平方向上移動 牙狨 次轨 取為取接近上述既定處所的 文勢。之後，從既定處所搬運 上-欠篦孩說—门士各 件。此時，工件在氣孔台 上-人弟移動之同時，在氣孔台 — ，、、拿 e0 上’错由空氣壓力使工件上 汙。即，工件相對於氣孔台 义1干上 動茲山 非接觸的狀態在氣孔台上移 動。猎此，可具有防止雜質 σ上私 ρ, ί|7- .. , I、工件的效果，同日卑又 从順利地接收工件。之後， 丨」％又了 狁Θ 了丨Α丄 错由框架構件上升移動，工件 々乳孔σ由複數個滑臂機構 臂嬙媸丨、，, 得而轉運。然後，複數個滑 f桟構以工件的狀態於水平方 1 ^ 其他處所。 —— σ伸出’藉此將工件移轉至 因此，本發明之轉運機器人〜S~一------------------------ ——_-------- A m 7/ u, At 由於在既定處所使翁 〇 k置的狀態下接收工件， 心吓使乱 …、〃、4知技術中的缓衝部的

2215-72 04-PF 1294336 備及其設置空間，工件搬運系統的規模變小。又，轉運機 裔人’其氣孔台及滑臂機構的水平移動距離縮短而可達到 小型化。甚至，工件藉由空氣壓力而浮在氣孔台上，由於 保持在非接觸的狀態，可防止雜質的附著同時又 ^ 順利地轉移。 件 在上述之較佳實施例中，在上述的氣孔台上，設有支 持工件下面並使該工件於水平方向移動的複數個驅^滾 或驅動皮帶。在此構造中，例如在氣孔台上搬運工件之際， 使工件上浮並經由驅動滾子或驅動皮帶順利地接收工件。 在上述之較佳實施例中，上述基座構件係可繞垂 =轉’在該基座構件上，具有將空氣送至氣孔台的供氣# 給源。在如此的構造中，例如即使將工件保持在氣孔台，、 可使基座構件無障礙地旋轉。 ， —在上述之較佳實施例中，上述滑臂機構包括：

疋於上述框架構件的導執· Q 第一滑臂。又由该導執可滑動地支持的 , ，上述滑臂機構更包括由該第一滑臂可严 地支持之同時，亩垃姑 ’月動 的構造中，例如在韓運禪技於外 #在如此 由第-及第二严ί:持於弟二滑臂上的工件之際，藉 月 申張，可保持工件於水平又可將工| 至目的地的處所。 十又了將工件移 在上述之較佳實施例中，在上述框羞半 夾持工件的對角邻 〃、冓件上，设有可 月$或兩側部的夾持機構。 中，保持於氣孔台上及取臂擔播l 苒在如此的構造 機構作矯正，適卷妯 千的文勢課由夾持 、田地進仃工件的位置調整.〇 在上述之較佳實施例中，上 f木稱件以及上述複數

2215-7204-PF 9 1294336 月#機才冓’保持工件並構成於上下方向及水平方向上移 σ古手狀σ ( hand stage)，該手狀台包括上下相互鄰接而 二低不同狀的第—及第二手狀台。在如此的構造中，兩 、，且手狀台可交互使用而進行很有效率的工件的轉運。 上述之較佳實施例更包括使上述基座構件於上下方向 =動的升降機構。在此構造中，使氣孔台及滑臂機構的 :-配合各處所的高度，可在各處所之間對工件作適 轉運。 ^月之其他的特徵及I點係參照以下的附加圖式而 做砰細的說明。 【實施方式】 # 乂下斤茶恥圖式具體地說明本發明的較佳實施型態。 :1圖〜第10圖係表示本發明之轉運機器人的一實施型 :而且，在各圖中，構成要素以及其-部份係適當地省 •:第！圖〜第4圖所示’本實施型態之轉運機器人Μ ^槿I括升降機構2、由升降機構2於上下方向上移動的 ;口構件3、由基座構件3可上下移動地支持的框架構件 = 梁狀而設於框架構件4上的複數個滑臂機構5 t:數個滑臂機構5於上下方向上干涉且收納於框架構件4 空間4〇内的複數個氣孔台6。框架構件4以及複數 =跑構成保持…並同時於既定的方向上 的手狀…手狀台包括上段手狀台“以及下段手狀a 化，相互上下鄰接而呈不同高度狀。氣孔台6由基座構件口3

2215-7204-PF 10 Ί294336 可水平移動地支持著。 工件”… 在以下的說明及各圖中，令 為ϋχ轴及Γ 轴正交的水平方向 如第QV 方向正交的上下方向為Ζ軸。 弟9圖所示，升p条满 基座！上的笛也固定基座】、設於固定 厂1上的弟_升降用 結於固定基座古 ㈣底部20已連 社劈9η 的弟-直立連結臂2〇、内藏於第一直立遠 …是20的前端部2〇b的 連 於第-直立連結臂2。〜 底部❿連結 鲁q沾广 勺刖％部2 〇b且支持後述之基座構株 罾3的底部3〇的台 K丞压構件 臂v 21c支持於丽端部21b的第二直立連处 第:連動於第一及第二直立連結臂2。、21的二 弟一輔助臂22、23。 及 略)藉“減速機構(圖示 第二直立連結臂η的底部=Γ!力而繞7軸旋轉。 從第二升降用馬達M2傳遞旋轉：二減速機首構（圖示略） 的前端部20b為支點而繞" 立連結臂20 立連結臂2。、21具有同一角度而/而且，第-及第二直 第二輔助臂22、23，在第一 相反方向旋轉。第一及 第二直立連結臂21的底部2u立連：臂20的前端部隱與 中間構…連結。該等第—及；：：由可繞y轴旋轉的 與第-及第二直立連結臂2。、21::辅助臂22、23’為了 個別之一端相對於固定基座i #而形成平行四邊形， 藉此，第一瓦第二直立連結臂2 〇座21C可旋轉地連結。 軸於既定的方向.旋轉，第二亩* 、21的底部2〇a、21^繞y 體上沿z軸方向位移，因此台座：結臂21的前端部W大 1及基座構件3保持水平

2215-7204-PF 1294336 姿勢並於Z軸方向移動。 如第2圖〜第4圖所示，基座構件3包括固定於台座 21c的底部30、固定於該底部上並在y軸方向的雨端上 具有直立部31a的本體塊31、於直立部3ia的内壁矸上下 移動地支持的滑動件3 3、以及於本體塊3丨的中央上部可水 平移動支持的水平滑動件3 3。 如第4圖所示，基座構件3的底部3〇具有可上下分割 的上部3〇a及下部30b。下部3〇b係直接固定於台座21。， 另一方面，上部30a相對於下部3〇b可繞2轴旋轉而被保 持在該底部30的内部，設有旋轉驅動用馬達^3。該旋轉 驅動用馬達M3的旋轉力經由減速機構（圖示略）傳遞至上 部30a，藉此上部30a連同本體塊31繞2轴旋轉。一方面， 如第3圖所示，在本體塊31的直立部…上，經由沿2轴 的一對執道31b，上下滑動件32被支持著。在該直立部仏 =’設有使上下滑動件32移動的馬達M4。該馬達M4的 旋轉軸Μ 4 a，經由驅動虔帶q 9 、& π的心， 連結於内藏在上下滑動件 32的球螺旋軸32b。在上 動件3 2的内壁側，框架構件 4的兩側部被固定。藉此，者 千 叙杜q 9 田馬達M4旋轉驅動時，上下滑 動件32沿執道31b於轴 成為-體，框竿構养“ Γ動。與該上下滑動件32 的中央上邱 ,τ 移動。又，在本體塊31 7 f天上冲，水平滑動件 所支持著。在水平滑動件以卜Χ軸方向的一對軌道以C 2軸方向貫穿框加』杜 設有複數根支柱部33a於 的上部，支捭右益：加广 -_ 在遠專支柱部33a 叉符有禝數個氣孔台6。在該 地〇 部與水平滑動# q q 體鬼31的中央上 丁 π動件33之間，設有使水平滑 向移動的球螺旌媳播QQU ώ 月動塊33於χ軸方

2215-7204-PP 構3b及驅動此機構的馬達（圖示略）。 12 ^294336 =向= 時，水平滑動件33沿執道…於χ 轴方：。：:!動件33成唯-體，氣孔台… 疋氣孔台β在水平滑動件3 3 #古4 不干涉，架構件4的範圍内可於χ軸方二移的動支一 如弟2圖所示，框架構件4 面看為矩形的開放空間40。如’放於2轴方向從平 的框架構“與下段手狀“BV:二上 …孔"進入該兩者之間的::構V二? 下：兩者一起固定於上下滑動件”。在二=:狀態 上4，沿X軸方向，設有複數個滑臂機 4的 40。又，複數個氣孔台6，在框架，“開放空間 由滑臂機構5配置成佔右χ厂 ㈣放空間40中， 所示，氣…广不％越的區域。藉此，如第4圖 件4與上下、:動件Γ既定㈣點的狀態下’即使框架構 構氣孔16也成為一體而於2軸方向移動，滑臂機 乳札台6也不會相互千爷 示，框架構件4在最低位置時：氣孔：^二圖以實線所 空間4。上方的位置。藉此，氣孔：二相"也位於開放

而且，如f 2圖所示，在框架構件4的對角I:向：動。 持機構7,可夾持保持於滑臂機構$或氣孔夾 的對角部。該夹持機構7，如第？圖所：、工件W 向外側延伸的水平桿73a、固 I的水千方向) 觀—[為ΐ字形的接0 ζ軸可旋轉地支持的一對導引滚3c接頭7 3 b的^前端繞 的内部，設有使水 C又，在框架構件4 干a朝對角方向移動的致動器74。

2215-7204-PF 13 1294336 導引滾子73c起初係位於不與工件w接觸的位置上，另一 方面工件"皮保持在滑臂機構5及氣孔台6的狀能下，當 工件到達既定的原點時，水平桿73a由致動器74拉進框架 構件4内。藉此，導引滚子73c成為抵接於工件界的對角 部的狀態。該夾持機構7用於適當地墙正工件w保持於滑 臂機構5及氣孔台6上的姿勢。 如第8圖所#，滑臂機構5包括沿X軸方向直接固定 於框架構件4 (第8圖中省略）的導執5〇、由導軌5〇可滑 > =地支持並直接支持工件W的下面的第二滑臂52、以及使 第及第一滑臂5 1、5 2朝X軸方向滑動的滑動用馬達M 5。 導執5 0係跨越框架構件4的前後兩端部而固定，在該 滑軌50的後端部附近，設有滑動用馬達Μ5(參照第4圖）。 如第8圖所示，在導執50的内部，設有由滑動用馬達Μ5 所旋轉驅動的第一滑輪齒輪5 0 a、以及經由第一滑輪齒輪 5 0a於X軸方向行走的第一滑輪皮帶5〇b。在該第一滑輪皮 帶50b上’連結有第一滑臂51。又，在導執5〇的内部，設 >有鎖扣齒輪50c，另一方面在第一滑臂51的内部，設有與 上述鎖扣齒輪5 0 c嚙合的小齒輪51 a。而且，在第一滑臂 51的内部，設有經由惰輪51b連結於小齒輪51a的第二滑 輪齒輪51 c、以及經由苐一滑輪齒輪5 1 c於X轴方向行走的 弟"一滑輪皮在弟一滑輪皮帶51 d上，連結有第二滑 臂52。藉此，當滑動用馬達M5於既定方向上旋轉驅動時， 例如第一滑臂51沿導軌50移動而伸出，同時與其連動的 弟二滑臂5 2也吕弟一滑臂5 1移動而伸出，第一及第二滑 臂51、5 2係同時伸出。相反地，在縮回的情況下，第一及 2215-7204-PF 14 Ί294336 第一滑臂5 1、5 2也同時縮回。 如第5圖所示，氣孔么R勹 ，、σ 6匕括在上面6 〇 a設有複數個 開口 60b的矩形本體6〇、後 卜 於各開口 6Ob的多孔質狀的 圓板體61等。各太，— 子谷本體60係固定於上述水平滑動件33的支 柱部3 3 a (在第5圖省畋f漁卜丁、 曰 亚〃、水平滑動件3 3 一體化。特 別是’在位於7軸方向兩端的本體60的外側部上，設有支 持工件W的側部的下面开盐在，认/± 下面亚強制地使工件评於X軸方向移動 的複數個驅動滾子6 2 (參昭第 ^ ^ 、>'、、、弟2圖及弟6圖）。在該兩端的 本體6 0的適當部位卜 上内臧有使複數個驅動滾子02旋轉 的滾子旋轉用馬達以、楂册 斤β固、 傳動皮τ 66及滑輪齒輪67 (參照 第6圖）。該等驅動沪 _ 1動滾子62以一定間隔排列著。又，如第6 圖所示，驅動滾子6 2 4I & 匕括在本體6〇的上面60a的略上方

犬出並接觸於工件W fi9 6Wk,f 千1下面的小徑部62a，以及在該小徑部 62a的外侧、限制工朱 / i ^ ^ „ 件评的大徑部62b，兩者成為一體的構 造。滾子旋轉用馬逵^ β7 . 達64的碇轉力經由傳動皮帶66及滑輪 齒輪6 7傳遞至滿叙 62 Π 驅動滾子62，藉此複數個驅動滾子 δ 2冋時轉動。而且，# 虱孔口的開口及圓板體的形狀不一定 要特別的圓形，例如橢 疋 隋圓形或矩形也可以。又，使工件w 於X軸方向上移動的 用驅動皮帶的輪送器亦^了驅動滾子62以外，例如使 上述開口 11: : : : 6:、各本體6 °的内部，設有將空氣 氣的*氣隹中考 § c以及將從送氣管60c送來的空 乱的工亂木中處形成 辨4 6〇b下部的隔壁6〇d。在該各本 撓性的空氣::給源丄(在第5圖中省略)經由可 、工乳。工氣供給源8，如第2圖所示，

2215-7204-PF 1294336 女叙於基座構件3的適當部位。藉此，即使基座構件3繞z :轉各本胜6 0與空氣供給源8的相對位置關係也不會 :紜’圍繞本體60的τ部周邊的空氣管8〇的姿勢保持一 疋即，可從空氣供給源8經由空氣管80將空氣送至本體 6。、同時使基座構件3無障礙地旋轉。 的位3纟6的本體I如上所述，當框體構件4在最低 、τ ’相對地位於開放空間40的上方。此時，如第2 圖及第10圖所示，莛山/ ^ ζ 雕Rn興 错由從既定的原點沿X軸方向前進，本 脰6 0 置於卡厘部「 c。然後，從卡匣部c將工件 際，將空氣從空氣供 ，噴到本體6。的上面fifi本體6°。空乳通過圓形板 燒結體所構成，從門 该圓形板61係由例如陶曼的 過微小孔二;開：6°:的下部往本體6。的上一 61之外，名> ^ 上汙。而且，除了該圓形板 〇 1 i外，在後數個 工件w i π L 、上面设置小孔徑的孔，也可使 上，予。此時，你#於Λ 子62旋it .. °又、“ ％之本體6〇的複數個驅動滾 丁 w万疋轉。猎此，從 60的上面60a，而— 運迗的工件W不接觸於本體 浮，作是由广鏟#由與上面_之間極薄的空氣層而上 仁疋由％轉的驅動滾子62強 一 此，工件ψ ^ X軸方向移動。藉 仵W成為保持於氣孔台6 的本體60，從γ f ^ 1 上的狀恶。之後，氣孔台e 攸k置於卡匣部c的肛…t 態，回到原點 狀悲，以保持工件W的狀 ” ”，、。之後，藉由框架部4 位於氣孔台k + 丨4上升移動，滑臂機構5 飞札口 6上方的狀態。藉此 件W的下面忐ϋ 破保持於氣孔台—6的工 曲成為接觸於滑臂機構5 工件W從氣A D 勺弟一臂5 2的狀態， 攸乳孔台6轉载至滑臂機構5 〇 、、庇 藉由基座構件3 後，π臂機構5， %轉’轉向至工件w的移送前方，之後， 2215 -72 〇4 ~pp 1294336 :由:吏滑臂機構5的第一及第二滑臂5卜52伸長，將來自 c的工件w成為移送前端而轉運至其他處所。 接針對上述轉運機器人A1的動作做說明。 〜1 〇圖所7F ’轉運機器、人A1係設置用於將例如作 為液^面板用的玻璃基板的工件w從卡匿部c成為圖外的 移送前端而轉運至工#的虛审 、 锊逆主仟的處理邓。具體而言，轉運機器人 A1為構成工件搬運系統的主樣設備，而設置於與卡匡部〔 鄰接的機器人部R。而且’轉運機器人係搭載於可在地板上 1水平移動的載運基座上。 卡S ^ C具有與習知技術大體上相同的構造，本實施 型態的卡昆部c係採用與轉運機器人A1 _部份類似的構 造。即，如第π圖及第12圖所示，在升降台C1的工件w 下降至既定高度的處所上，設置有與轉運機器人A1的氣孔 台6相同構造的複數個上浮單元90。該等上浮單元9〇，如 第12圖所示，與支持工件w下面而架設於升降台上的 丨線（圖示省略）不相互交錯，而沿工件w送出方向（搬運 I方向）以既定間隔而設置。又，在沿工件w的搬出方向的 上浮單元90的兩側，以既定間隔設置有用來強制地將工件 w送出的複數個搬運滾子9 1或搬運皮帶。在各上浮單元9 〇 上’具有與氣孔台6相同的開口 90a及圓板體6〇b，空氣從 圖外的空氣供給源送入上浮單元90内。在該上浮單 1元+ = 與搬運滾子91中，從升降台C1下降的工件w，不接觸於上 浮單元9 0的上面7而是經由極薄的空氣層上浮，妙、

件W藉由於既定方向旋轉的搬運滾子91強制地^移動。胃 此’工件W從卡匣部C的上浮單元90上往設置轉運機器I 2215-7204-PF 17 1294336 A1的機器人部r送ψ 。山士 91的1八& # 吩，工件W除了接觸於搬運滾子 y 1白0 #刀以外，相對於 送出。又，相心 90是以幾乎非接觸的狀態 、山 入，相對於工件w .,,, 的下面，藉由空氣的吹拂，可右 效地防止雜質附著於工件w上。 有 在卡…中，設於最前列的上浮 · 位於設在卡ϋ部C與機器 …係 工件W係越過上浮單元 ，間的工件接…附近， 即，在卡…：的1^端，由搬運滾子91搬運。 示的距離L0，。 板運的距離大體上如帛10圖所 一方面，如第1 〇圖所示 先接受工件W，在最寸心：人°"的轉運機器人A1， 6 b ^ 刖、上汙早元90的前端橫置氣孔台 因Γ 手狀台4A與下段手狀台4B下拉至最低位置。 了，/:孔台6位於框架構件4的開放空間4。上方，同時 可/口 X軸方向容易地前進至比 达杜☆ , 兀疋的原點刖方的位置。即， 為接X工件W氣孔台6於水平 闰说-αα Θ移動的距離大體上如第1 圖所不的距離L1，。之後，開妒枷、雷上 ^ L 開始叛運卡匣部C中的工件w， 將工件W移至氣孔台6上。 W:工tw移至氣孔台6上時’工件w的下面兩側部係 由方疋轉的複數個驅動滾子6 2所支 ’、 ψ ^ ψ ^ η η 、 件W由該等複數個 驅動滾子62移至氣孔台6的正 絲w椒π 方該驅動滾子62的旋 轉伙搬運工件W開始經過既定時 a沾始# κ1夂|了止。而且，在氣孔 口的後為可设置限制工件移動， 力1n μ 勒件，遷可設置使驅動 滾子的》疋轉經過既定時間後停止， 檢測出I件W的感測器，由該感測哭，:乳孔台的後端 間點’使驅動滾子停止轉動。如此Γ在工在:測出工件的時 在工件W移載至氣孔 2215-7204-PF 18 U^336 口 ，工件w除了與驅動滾 與氣孔台6幾乎不接觸 L 2接觸的部分以外，在 氣孔台6的空氣吹拂工#说：’噴利地被接收。又，來自 質附著於工件W。 、下面’藉此可有效地防止雜

以保持著II 位於框架構件4的開放空間的狀態後退移動，並 手狀口 4A上升移動至氣孔台6的上方《後’例如上段 台6上的工件界由滑臂機構5上兴…。此時，保持於氣孔 移载至氣孔台6上此^ 牛 將工件W從氣孔台6 面，藉由此時的衝擊導：工第-滑臂52抵接於工件、的下 件f載置於第二滑 $ 件不適萄的姿勢。因此，當工 作動。結果，第二2上時，轉運機器人A1使夾持機構7 __丨丨_ 丨丨、/骨^ 5 2 t_ aa 置由夹持機構7所夹持，而，正：=，其對角部的二個位 而且，對於失持機構7，例：仗平面觀看適正的姿勢。 孔台6上，並使X件w 件w從卡&部c移動至氣 牛w保持於氣孔台6上。 <俊，轉運機哭 的旋轉，將裴载工‘ w A1使基座構件“乍180度或9。度 面向工件處理部的次的上敫手狀台4A的滑臂機構5成為 機構2及滑臂機^ 然後，轉運機器人Μ藉由使升降 W往工件處理部移動。作動？保持於上段手狀台4A的工件 機器人A1將卫件 貫施以上的-連串的動作’轉運 件處理部。而且，…從卡匣部C有效地轉送至移送前端的工 轉運至工件處理切部C接收U的高度與將工件W A1每次使升播的焉度差異很大的情況下，轉運機器人 即使卡匣部C蛊2作動而調整基座構件3的高度。藉此， 、工件處理部之間有相當的高度差，亦可無

2215-72 04-PF 19 Ί294336 障礙地將工件w從卡匣部c轉運 王 #你 4 牛免理部。而且，使 牛攸工件處理部移動至卡匣部C之際， 4B iih τ ’、 使用下段手狀台 “工件處理部取出…，之後，使 以 相反的順序作動。如此，通常使用上段手狀 ”上或 從卡E部C朝工件處理部移動之 ^注工4 1 向移動時是使用下段手狀台4Β，κ反^件w在相反方 tL σ 4β仁疋反過來使用亦可。 口此，在本實施型態的轉運機器人Αι中， 橫置於卡匣C的狀態下，由於 ，* 口 界，無須習知技術中工件搬運手H 接接收工件 葬"、#， 搬運糸統的緩衝部及其設置空間， 猎此可達到縮小工件搬運系統的規模。 哭人：，，：！是t盡量靠近卡…的位置上設置轉運機 離短t,「Γ使風孔台6水平移動得距離Lr t匕習知的距 離紐很…照第13圖）。因此，在接收工件w…可 僅於水平方向稍微移動即可，以使氣孔“穩 升降機構2及氣孔台6,其作動範圍比 “技術小，彳盡量採用小型的裝置，藉此機器人可達到 小型化的目的。 而且，由空U力使工在氣孔台6上浮起，藉此 以幾乎非接觸的狀態保持工件’幾乎沒有對工件、產生不 良影響的靜電，防止雜質附著而順利地接受工件。 而且，本發明並不限於上述的實施型態。 轉運機器人也可具有一個手狀台。 彳义卡匣邛接文工件之際的高度，與將工件轉運至 工件處理部之際的高度幾乎不變的情況下，沒有升降機構 亦可。

2215-7204_PF 20 I294336 升降機構並不限於上述實施型態的連結機構，例如可 使其於上下方向及水平方向上移動的其他機構亦可。 △除了上述實施型態的氣孔台’可設置具滾子機構的機 台’也可解決本發明的問題。 【圖式簡單說明】 第1圖為本發明之轉運機器人的一實施型態的全體立 體圖。 第2圖為第1圖所示之轉運機器人的全體上視圖。 第3圖為第1圖所示之轉運機器人的部分正視圖。 第4圖為第1圖所示之轉運機哭人的八触y t 义啊人的全體側視圖。 第5圖為第1圖所示之轉運機哭人所且版尸 成σσ人所具備的氣孔台的 部分立體圖。 第6圖為第1圖所示之轉運機器人所具備的氣孔台的 部分剖視圖。 第7圖為第1圖所示之轉運機哭人所且选a丄 人所具備的夾持機榻 _的剖視圖。 第8圖為第1圖所示之轉運機哭人邮θ & 成益人所具備的滑臂機摘 的内部構造圖。 第9圖為第！圖所示之轉運機器人所具備的 的内部構造圖。 、 第10圖為第1圖所示之轉運機哭人沾氣^ t 成态人的動作的說明圖。 第11圖為策」0圖所示的卡匣的一邱於从丁、 J -♦伤的正視圖。 第12圖為第10圖所示的卡匣的内部平面圖。 第13圖為說明習知的轉運機器人的說明圖。 2215-72 04-PF 21 1294336 第1 4圖為說明習知的轉運機器人的說明圖 2〜升降機構； 4〜框架構件； 主要元件符號說明 1〜固定基座， 3〜基座構件， 4A- /上段手狀台； 4B- 〃下段手狀台； 5〜 滑臂機構； 6〜 氣孔台； 7〜 夾持機構； 8〜 空氣供給源； 2 0〜第一直立連結臂； 20a 〜底部； 20b 〜前端部； 21〜第二直立連結臂 21a 〜底部； 21b 〜前端部； 21c 〜台座； 22〜第一輔助臂； 24- "中間構件； 3 0〜底部； 3 0s 〜上部； 30b 〜下部； 3卜 /本體塊； 31a 〜直立部； 31b 〜軌道； 31c 〜執道； 32- /上下滑動件； 32a 〜驅動皮帶； 32b 〜球螺旋轴； 3 3〜水平滑動件； 3 3a 〜支柱部； 33b 〜球螺旋機構； 33b 〜球螺旋機構； 40〜開放空間； 50- >導執； 5 0a 〜第一滑輪齒輪； 50b 〜第一滑輪皮帶； 50c 〜鎖扣齒輪； 51〜第一滑臂；—_____________ 51a 〜小齒輪； 51b 〜惰輪； 51c 〜第二滑輪齒輪； 51d 〜第二滑輪皮帶； 60a 〜上面 ；

2215-7204-PF 22 Ί294336 60b〜開口； 60c 6 0 d〜隔壁； 6 1〜 6 2〜驅動滾子； 62a 62b〜大徑部； 64〜 66〜傳動皮帶； 6 7〜 73a〜水平桿； 73b 73c〜導引滾子； 74〜 80〜空氣管； 90- • 90a〜開口； 91- 100〜固定基座； 200 210〜第一直立連結臂； 220 3 0 0〜直線移動機構； 310 3 11〜旋轉構件； 320 3 3 0〜第二水平連結臂； 400 A1〜轉運機器人； B〜 B1〜滚子輸送器； B2- Φ C〜卡E部； Cl^ C2〜滾子輸送器； Ml- M2〜第二升降用馬達； M3, M4〜馬達； M5^ R〜機器人部； W〜 X〜轉運機器人。

2215-7204-PF 〜送氣管； /圓板體； 〜小徑部； "滾子旋轉用馬達； /滑輪齒輪； 〜接頭； v致動器； v上浮單元； y搬運滾子； 〜升降機構； 〜第二直立連結臂； 〜支持基座； 〜第一水平連結臂； 〜手狀台； 缓衝部； -空隙部； i升降台； v第一升降用馬達； -旋轉驅動用馬達； v滑動用馬達； 工件； 23

Claims (1)

1. Ί294336 十、申請專利範圍： 1· 一種轉運機器人，將板狀的工件保持於水平並從既 定的處所接受之同時，提交至其他處所，包括： 基座構件； 框架構件，由上述基座構件可上下移動地支持著· 複數個滑臂機構，設於上述框架構件之同時，支持工 件的下面並於水平方向伸縮；以及 氣孔台，與上述複數個滑臂機構於上下方、 v —CL ~J—* yjpr :對應於上述基座構件被支持之同時，上述框架構件下降 移動，位在既定位置的狀態下，藉由空氣壓力使工件上浮。 、2·如申請專利範圍第1項所述之轉運機器人，其中于上 述氣孔台係由上述基座構件可水平移動地支持著。 3 ·如申μ專利範圍第丨項所述之轉運機器人，其中 上述的氣孔台上，設有支持工件下面並使該工件於水平方 向移動的複數個驅動滾子或驅動皮帶。 、 、、4·如申請專利範圍第1項所述之轉運機器人，直上 迷基座構件係可繞垂直軸旋轉，在該基座構件 空氣送至氣孔台的供氣供給源。 -有將 5·如申請專利範圍帛1項所述之轉運機器人 迹滑臂機槿白姓·.古私 -、τ工 由”勒 直接固定於上述框架構件的導軌；以及 由忒導軌可滑動地支持的第一滑臂。 过二如申请專利範圍帛5項所述之轉運機器人，盆中上 二Γ更包括由該第一滑臂可滑動地支持之同時，直 接接觸於工件下面的第二滑臂。 1 7·如申請專利範圍第1、2、3、4、5 $ β ^ 1 Ζ ^ 4 5或6項所述之轉 22l5~72〇4-pp Ϊ294336 運機器人，其中在上述框株 外右π十枝 木構件上，设有可夾持工件的對 用邛或兩侧部的失持機構。 、8·如申請專利範圍第b 2、3、4、5或6項所 、卯’其中上述框架構件以及上述複數個滑臂機構， 保持工件並構成於上下方向及水平方向上移動的手狀台 (hand stage) ’該手狀台包括上下相互鄰接而呈高低不同 狀的第一及第二手狀台。 9 ·如申请專利範圍第1、2、3、4、5或6項所述之轉 •運機器人，其更包括使上述基座構件於上下方向上移動的 升降機構。 2215-7204-PF 25