1277591 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種設置於例如液晶用玻璃等薄板基板 之搬送線之基板£、基板搬送裝置、具有該基板或該基 板搬送裝置之基板保管搬送裝置、以及具有該基板保管搬 送裝置之基板搬入系統、基板搬出系統以及基板搬入/搬出 糸統。 【先前技術】 、 本申請係對於2003年11月21日申請之日本發明申請鲁 第2003-392708號、別⑽年^月21日申請之日本發明申 請第2003-392709號、2004年8月26日申請之日本發明 申請第2004-247394號、2004年8月26日申請之日本發 明申請第2004-247395號主張優先權，並在此引用其内^。 =種基板保管搬送裝置眾所周知有將用以操作基板之 多關節型機器人（rc)bQt)或水平往返運動機器手（hand)，盘 可將基板多段儲存之£狀板架予以組合，使具有可將基板 任意搬入搬出之功能的裝置。 4 另外，也有將可升降之E狀板架與固定之傳送帶予以 組合’而具有自板架之上段依序將基板搬人 — 基板自下段依序搬出之功能的裝置(例如，參 …曰本專利4寸開2002_289678號公報、日 卜2咖41號公報㈣特開 然而，使用前述多關節型機器人的技術中美 板朝任意的板架搬入搬出，但為避免與機器手發生;= 316503 5 1277591 必=將板架之基板收容間隔擴大，而難以增加基板之收容 數里另，也有為組合機器人與板架，而設置空間較大的 門碭°亥°又置空間之問題在洗淨室（c!ean ^⑽…使用時尤 為顯著。 方面在可使別述匣狀板架升降的技術中，雖沒 有刚：4 的問題’但有不能將基板朝任意的板架搬 入搬出之限制。 —本务明知鑒於上述問題點而開發者，目的在於可將高 密度多段收容之基板任意搬入搬出。 【發明内容】 為解決上述課題’本發明提供一種基板搬送裝置，係 ，、有相對於將複數基板以水平姿勢朝上下方向多段收容之 基板n ’藉由朝與搬送前述基板之方向垂直的方向往返運 動拔出/插人之基板搬人搬出手段，而該基板搬人搬出手段 係具有分別可麟前述基板之下面…輯敎複數對搬送 滾輪。 前述基板搬送裝置中，前述基板搬入搬出手段係呈有 可=非接觸方式㈣前絲板之手部.，料部亦可朝與基 反搬送方向垂直的方向比前述搬送滾輪長。 前述基板搬送裝置中，前述手部之基板支持面亦可開 设有可自送氣源送氣之吹出孔。 為解決上述課題，本發明提供一種基板保管搬送穿 置:係包括有：將複數片基板以水平姿勢朝上下方向^段 收谷之基板前述構成之基板搬人搬出手段；以及使基 316503 1277591 板匣相對於基板搬入搬出手段相對地升降移動之升降機 構。 為解決上述課題，本發明提供一種基板搬入系統，係 包括有：設於基板之搬入路徑上之前述基板保管搬送裝 置；在搬入路徑上，設於基板保管搬送裝置之上游，並將 自外部供給之基板匡内之基板供給至前述基板保管搬送裝 置之基板供給裝置；：以及將自搬入路徑上之基板保管搬送 裝置交出之基板供給至處理裝置之移送裝置。 為解決上述課題，本發明提供一種基板搬出系統，係 包括有：設於基板之搬出路徑上之前述基板保管搬送裝 置，在搬出路徑上’設於基板保官搬送裝置之下游’並將 自前述基板保管搬送裝置供給之基板收容在基板匣内之基 板供給裝置；以及將自處理裝置排出之基板供給至基板保 管搬送裝置之移送裝置。 為解決上述課題，本發明提供一種基板搬入/搬出系 統，係包括有：分別設於基板之搬入路徑上及搬出路徑上 之前述基板保管搬送裝置；在搬人路徑上，設於基板保管 搬送裝置之上游，並將自外部供給之基板匡内供給之基板 供給至前述基板保管搬送裝置之第1基板供給裝置；在搬 出路徑上，設於基板保管搬送裝置之下游，並將自前述基 板保管搬送裝置供給之基板收容在基板匣内之第2基板供 給裝置；以及將自搬入路徑上之基板保管搬送裝置交出之 基板供給至處理裝置之同時，將自處理裝置排出之基板供 給至搬出路徑上之基板保管搬送裝置之移送裝置。 7 316503 1277591 為解決上述課題，本發明提供一種基板臣，係將複數 片基板以水平姿勢朝上下方向多段收容者，其具有在前述 基板搬入搬出時，將前述基板之下面中央部以非接觸方式 支持之基板支持部。 前述基板匣中，亦可在前述基板支持部之基板支持面 開設有可自送氣源送氣之吹出孔。 為解決上述課題，本發明提供一種基板保管搬送裝 置，係包括有：前述基板匣；朝與基板搬送方向垂直的方 7在返運動’以拔出/插入於前述基板匣之基板I入搬出手 段；以及將前述基板匣相對於前述基板搬入搬出手段相對 地升降移動之升降機構。 二、前述基板保管搬送裝置中，各基板支持部亦可具有隨 刎=基板搬入搬出手段之拔出/插入而裝卸，以間歇自前述 送氣源送氣到前述吹出孔之耦合器。 為解決上述課題，本發明提供一種基板搬入系統，係 有。又於基板之板·入路控上之前述基板保管搬送裝 置；在搬入路徑上，設於基板保管搬送裝置之上游，並將 自外部供給之基板11内之基板供給至前述基板保管搬送裝 #置之，板供給裝置；以及將自搬人路徑上之基板保管搬送 I置父出之基板供給至處理裝置之移送裝置。 勺為解決上述課題，本發明提供一種基板搬出系統，係 包括有：設於基板之搬出路徑上之前述基板保管搬送裝 在搬出路佐上，设於基板保管搬送裝置之下游，並將 自前述基板保管搬送裝置供給之基板收容在基板g内之基 316503 1277591 板供給裝置；以及將自處理裝置排出之基板供給至基板保 管搬送裝置之移送裝置。 為解決上述課題，本發明提供一種基板搬入/搬出系 統，係包括有：分別設於基板之搬入路徑上及搬出路徑上 之耵述基板保管搬送裝置；在搬入路徑上，設於基板保管 搬达裝置之上游；並將自外部供給之基板g内之基板供給 至前述基板保管搬送裝！之第丨基板供給裝澧；在搬出路 徑上，設於基板保管搬送裝置之下游，並將自前述基板保 管搬送裝置供給之基板收容在基板£内之第：2基板供給裝 置，以及將自搬入路徑上之基板保管搬送裝.置交出之基板 供給至處理裝置之同時，將自處理裝置排出之基板供給至 搬出路徑上之基板保管搬送裝置之移送裝置。 根據本發明，以在欲搬入搬出基板之段可將基板搬入 搬出手段拔出/插入之方式，使用升降機構來調整基板匣與 f板搬入搬出手段之高度位置後，藉由將基板搬入搬出手 =向基板匣内外朝水平方向拔出/插入，即使不使用多關節 機器人，也可相對於基板收容'間隔較小之基板匣任意地將 基板搬入搬出。 '此外’由於搬入搬出時對基板之接觸僅有透過搬送滾 輪直接支持之下面兩侧緣部，故可降低基板污染。特別是， 基板不僅籍由搬送滾輪，即使藉由比其更長之手部也以非 接觸的方式支持，故可盡量減短直接接觸基板之搬送滾輪 之長度，而可達成基板污染之極小化。 亚且，該搬入搬出中，始終使基板之下面中央部例如 316503 9 1277591 自基板支持部空氣上浮等，而以非接觸方式支持，.故對基 板之接觸僅為插入基板搬入搬出手段之下面兩側緣部，而 可達成基板污染之極小化。 又，伴隨對基板搬入搬出手段之基板匡之插入動作， 相對於對應於欲搬入搬出基板之段之基板支持部，確實輪 送壓縮空氣而貫現基板之非接觸支持，同時因僅向對應於 该欲搬入搬出之段之基板支持部輸送壓縮空氣，故可實現 裝置整體之小型化。 ' 【實施方式】 說明本發明之最佳實施 以下’參照第1圖至第15圖 形態之一實施例。 β本實施例之基板保管搬送裝置，係適用於例如用於液 晶顯不面板（LCD)、電聚顯示面板（pDp)等之玻璃基板所 示，大型且薄板狀，並且為防止污染等而—邊支持搬送物 之兩侧緣部，-邊進行搬送所要求之搬送，如第^圖及第 2圖所示，具備以下而構成：基板匡丨；具有搬送滾輪 板搬入搬出手段）24及手部26之搬送滾輪單元丄以^ 升降機構（升降機構）3。 ^ 基板£ 1係形成基板搬送方向（第（圖中 之前侧及後侧成為玻璃基板4之搬人σ Ua ^貝^ 之箱形形狀，在其内空部朝上士 ： 口 :欠熱I入舭山 下方向形成多數用於以水平 文勢I入I出及收容玻璃基板4之板架段。 構成各板架段之基板支持部12係' X ° 垂直的方向(即，基板寬度方向)水平延袖板搬送方向 ;水+延伸，例如由線（wlre) 316503 10 1277591 等構成，且每一板架段朝基板搬送方向隔著預定間隔設置 複數個（本貫施例中為5個）。 藉由以上之構成，基板匣丨係形成可利用基板支持部 12將玻璃基板4保持成水平姿勢，且朝上下方向多段收容。 基板匣1係為將玻璃基板4搬入基板£丨内之任意的 板架段，並且自基板g丨内之任意的板.架段搬出玻璃基板 4,而形成相對於朝上下方向支持於固定位置之搬送滾輪 . 24及手部26可相對地升降移動之形態。用於其升降移動 之ϋ升降機構3係具備以下而構成：用以支持基板昆工之鲁 底。卩11c之粍架31 ;藉由伺服驅動使托架31上下動之滾 珠螺針32(第3圖）；導引托架31上下動之導引部33 ;以 及用於基板匣丨之上下方向之位置檢測之感測器。 另外’第3圖中，省略搬送滾輪單元2之圖示。 〜搬送滾輪單元2係具有在作為搬送物之玻璃基板*之 二度方向，換言之在與玻璃基板之搬送方向垂直的方向隔 者間隔相=設置之一對基座2卜而在各基座21之基板搬 ϋ方向隔著間隔固定有複數個（本實施例中為4個 架22。 士在傳輪框架22，透過軸承等軸支架23而旋轉自如地 支持搬运滾輪24之同時，支持有朝與基板搬送方向垂直的 方向（基板寬度方向）比該等搬送滚輪2 4長的平面看為長 板狀之手部2 6。 、—每個傳輸框架22，朝基板搬送方向隔著間隔並排設 置複數個（本實施例中為6個）搬送滾輪24。手部26則以 316503 11 1277591 ί 搬送滚輪24稍低的值置之方式，以單懸臂狀能 又持於傳輪框架22。 心 插入搬送滚輪24及手部26朝基板〶1内之拔出/ 2入“由使-體固定錢輸框架22之基座 返運動機構（未圖示）而得向刖進及後退之滾輪往 本示，搬送滾輪24包括有：圓柱減之滾輪 24h^、奋’人/刀別外插入其前端部及基端部之基板搬送部 /輪驅動齒輪25，來自驅動馬達（未圖示）之旋轉驢 動力係介由該滾輪驅動齒輪2 5傳達到搬送滾輪2 4。由'"於 基板搬送力係藉由該搬送滾輪24於旋轉時產生之基板搬 达部24b與玻璃基板4之摩擦力而產生，故基板搬送部灿 則選擇相對於玻璃基才反4具有預定摩擦力之材質。 另外，基板搬送部24b並不限於.第4圖所示之圓筒狀 者’例如也可如第5圖所示，為朝軸方向隔著間隔配置之 0型環等彈性體24c。 如第1圖及第4圖所示，在手部26的内部形成有在其 上面（基板支持面）26A開設之複數個吹出孔27a、以及連通 該等吹出孔27a之空氣通路27b。吹出孔仏係遍及上面 26A之長度方向（與基板搬送方向垂直的方向）之大致全長 以等間隔形成多個，同時沿該長度方向之1列吹出孔群則 在上面26A之寬度方向（基板搬送方向）並排有複數列（在 本實施例中為5列）。 在手部26之基端，藉由耦合器（c〇叩ier)等連結手段 316503 1277591 連接有與送氣鼓風機（blower)或壓縮機（送氣源）連接之其 路。 、 g 而且，將送氣鼓風機運轉時，經由管路及轉合哭供认 至各手部2 6之壓縮空氣會通過吹出孔2 7 a而向上；喷身二 且以非接觸的方式支持搬入搬出於基板g工内之美 4之下面兩侧緣部知、4b亦即由搬#乎^ ^ + " I田龜达滾輪24支持之部分 更靠近基板中:央之部分4c。 另外’複數個手部26中任意—個設有輕合器等連姓手 段’亦可在其他的手部26透過自該耦合器延伸之分配管分 配來自送氣鼓風機之壓縮空氣。 ^ 知之’况明在如以上所述之構成之基板保管搬送裝置 中，將玻璃基板4搬人基板£丨之任意的㈣段時之—操 作順序。 弟6A®、第⑽㈣表示將麵基板4搬人基板匡i 前之狀態。基板E i位於最為上升之位置，此外，搬送滾 輪24及手部26位於拔出於基板匣丨外之位置。 自該狀態，首先驅動匣升降機構3，升降基板匣丄以 使欲搬入玻璃基板4之板架段（以下γ、 木仅〈以下％預定搬入段）位於搬 送滾輪24及手部26之前進蒋翻日ΑΑ , — n 、 」連才夕動目的（第7圖）。此時，對 應於預定搬入段之基板支持邱9於+ , 叹又椅12係定位於比搬送滾輪24 稍低之位置。 接著，如第8A圖及» δΒ圖所*，驅動滾輪往返運重 機構’使搬送滾輪24及伽6冑進，以插入基板g丄内 然後，自送氣鼓風機經由管路及為合器，將壓縮空！ 316503 】3 1277591 送氣至手部26時，該壓縮空氣係自開設於手部26之上面 26A之吹出孔27a向上方喷射。由此，所搬入之玻璃基板4 與手部26之上面26A之間形成空氣浮上層，且所搬入之玻 璃基板4係比支持於搬送滾輪24之下面兩侧緣部4a、让 更靠近基板中央之部分4C則透過該空氣浮上層以非接觸 的方式支持。 然後，驅.動驅動馬達，將其旋轉驅動力透過滾輪驅動 齒輪25傳達到搬送滾輪2.4，使搬送滾輪％繞其軸旋轉。 、於是，如第9A圖及第9B圖所示’移送到基板匣i上 流側^玻璃基板4係藉由與相對於其下面兩侧緣部4&、让 =搬廷滾輪24之接觸所產生之摩擦力，賦予朝肖搬送方向 丽方（第9A圖之白色箭頭方向）之搬送力，而搬入基板匣丄 内。 /此時，玻璃基板4之下面兩側緣部如、扑係透過與其 旋表*接觸之搬送滾輪24自下方直接支将。 …相對於此，比搬送滾輪24和與下面兩側緣部仏、^ 心接觸部分還靠近基板中央之部分4e係藉由供給至手部 =之壓縮空氣自吹出孔27a噴射，而透過形成於由搬送淺 輪24之丁貝部，與設於比其位置更低處之手冑26之上面❿ 之段差所產生之間隙之空氣浮上層，而以非接觸的方 持。 田破％基板4兀全破搬入基板£ i内日夺（第ι〇圖），壤 =升降機構3,使基缝i上升，將搬人之玻璃基板4 可存於基錢丨之基板支持部12，同時遮蔽自送氣鼓風相 316503 14 1277591 向手部2 6之送氣。 而且，在玻璃基板4脫離搬送滾輪24時，亦即將玻璃 基板4元全寄存於基板支持部12時，如第11 a圖及第11 b 圖所示，驅動滾輪往返運動機構，使搬送滾輪及手部. 26後退，而自基板匣丨拔出。以上係搬入動作之一個例子。 接著，說明搬出儲存於基板匡丨内之任意板架段之玻 璃基板4時之一操作順序。 首先驅動匣升降機構3，使基板匣1升降以使儲存預 定搬出之玻璃基板4之板架段（以下稱預定搬出段）位於搬 送滾輪24及手部26之前進移動目的。此時，對應於預定 搬出段之基板支持部12係定位於比搬送滾輪24稍高之位 置。 二然後，驅動滾輪往返運動機構，使搬送滾輪24及手奇 26前進’並插入基板£ i内之後（第12圖），開始送氣， 驅動E升降機構3 ’使基板£.丨下降，將預定搬出之玻璃 基板4之下面兩側緣部4a、仙寄存於搬送滾輪24(第η 圖）。 自送氣鼓風機經由營改@知人势 八工田S路及耦合态，將壓縮空氣送氣至 手部％ ’該壓縮空氣自開設於手部別之上面㈣之吹出 孔27a向上方噴射。藉此，在狀搬出之玻璃基板4與手 部2 6之上面2 6 A之間报$六今、、〇 L & 之間形成工乳汙上層，因此比支持於搬堤 滚輪4广下面兩側緣部乜，還靠近基板中央之部分4( 係透過5亥空氣浮上層而以非接觸的方式支持。 之後，當驅動驅動馬達而使搬送滾輪24繞其轴旋轉 3】6503 1277591 J儲存A基板£ !内之預^搬出之破璃基板4，如第Μ 2不’係藉由因與相對於其下面兩側緣部4a、4b之搬送 二4之接觸所產生之摩擦力’賦予朝向搬送方向前方
:广圖之白色箭頭方向)之搬送力，而搬出於基板U 饮此日守，玻璃基板4之下面兩側緣部4a、4b係透過盥苴 疋1接觸之搬送滾輪24自下方直接支持，但比搬送滾輪 立/、下面兩側緣部4a'4b之接觸部分還靠近基板中央之 2分4c係藉由供給至手部26之壓縮空氣自吹出孔^喷 、，透過空氣浮上層，而以非接觸的方式支持。 玻璃基板4完全被搬出基板® 1外時，即遮蔽自送氣 鼓風機向細之送氣，同時，如第15A圖及第则;; 不，驅動滾輪往返運動機構，使搬送滾輪24及手部後 退’以自基板匣1拔出。卩上係搬出動作之一個例子。 如上所述，根據本實施例之基板保管搬送裝置，以可 在欲搬入搬出玻璃基板4之板架段拔出/插入搬送滾輪Μ 及手部26之方式，使用E升降機構3來調整基板厘}與搬 运滾輪24之高度位置後，藉由將搬送滾輪24向基板 之内外以水平方向拔出/插入，而不必使用多關節機器人， 也可任意將玻璃基板4搬入搬出於基板收容間距較小之基 板匣1。 土而且，該搬入搬出中，始終以手部26使玻璃基板4 之罪近基板中央之部分4c空氣浮上而以非接觸的方式支 持，故對玻璃基板4之接觸僅為插入搬送滾輪24之下面兩 侧％部4a、4b。再者，玻璃基板4不僅透過搬送滾輪24， 316503 16 1277591 亦可透過比其長之手部26以非接觸的方式 減短直接接觸玻璃基板4之搬送滾輪24之長户 &里 因而，可達成基板污染之極小化。 只要不脫雜其主 另外，本發明並不限於上述實施例 可做多種變更。 1列如 丞敉孤八拖出乎奴亦可為具有用以把持破璃美 板4之兩側緣部之夾子、以及使該夾子往基板搬送方向ς 動之⑺動機構之外部驅動裝置，取代如搬送滾輪Μ 裝置。 〜丨寻箱’】 另’藉由作成使基板匣1内之各板架段為可裝卸之 匣’也可將其作為玻璃基板4之匣重裝裝置使用。 [追加技術事項] 一再者，麥照第1 6圖至第18圖，說明使用上述基板保 管搬送裝置之基板搬入/搬出系統。另外，在以下的說明 中，與已經說明之構成元件相同之構成元件，使用相同元 件符號。 ' 第16圖係本基板搬入/搬出系統之系統構成圖。本基 板搬入/搬出系統係配置於AGV(Aut⑽ateci Guided
Vehicle，無人搬運車）等基板搬送裝置與對玻璃基板4施 加預定過程處理之處理裝置之間，進行由基板搬送裝置搬 送而來之基板匣1交給（基板搬入）處理裝置，與自處理裝 置回收之基板匣1交給（基板搬出）基板搬送裝置。本基板 搬入/搬出系統，如第16圖所示，係由起重機K ;先入後 出裝置FI、F2(基板供給裝置）；基板保管搬送裝置{π、H2 ; 17 316503 1277591 以及移达裝置p所構成。該等構成要素中，先入後出裝置 π及基板保管搬送裝置H1係設置於基板搬人路徑上，另 方面先入後出I置F2及基板保管搬送裝置H2係設置 於基板搬岀路徑上。 起重機K係將自基板搬送裝置取出之基板g i供給至 先入後f裝置F1，同時，將自先入後出裝置_收之基 2 [ 1又付給基板搬运裝置。在起重機Κ/ί共給至先入後出： 衣置F1之基板匣1收容有過程處理前之玻璃基板4，另一· 方面，在起重機先入後出裝置F2取出之基板匡1收容修 有過程處理後之玻璃基板4。 先入k出衣置F1係將收容於基板匣1之複數片玻璃基 板4中冑之後收谷之玻璃基板4先交給基板保管搬送裝 置H1。相對於此，基板保管搬送裝置H1係作為將玻璃基 板4交付至移送裝置p之隨機存取緩衝器（rand〇m咖⑽ buff:)使用者，自先入後出裝置η供給之玻璃基板‘依 ^收谷於自己之基板匣1，同時，收容於前述基板匣1之 複數片玻璃基板4中，按照移送裝置p之要求之任意玻.璃· 基板4父付給移送裝置p。移送裝置p係為透過移動於執 迢上而移送玻璃基板4之移送裝置，將自基板保管搬送裝 置Η1供給之玻璃基板4 (處理前）移送到處理裝置，同時， 自處理裝置回收玻璃基板4(處理完成），而交付給先入後 出裝置F2 〇 基板保管搬送裝置Η2係作為將玻璃基板4交付至先入 後出裝置F2之隨機存取缓衝器使用者，自移送裝置ρ供給 316503 1277591 之玻璃基板4(處理完成）依序收容於自己之基板厘1，同 時，收容於前述基板昆1之複數片玻璃基板4中，按照先 入俊出裝置F2之要求之任意玻璃基板4交付給先入後出裝 置F2。先入後出裝置F2係將自基板保管搬送裝置们供給 之玻璃基板4依序收容於自己之基板昆1。 第17圖係表示如上述本基板搬入/搬出系統之基板搬 入流程之說明圖。如上段部分（1)所示，先入後出裝置Η 之收容於基板匣.1内之複數片玻璃基板4係自後收容之玻 璃基板4中先取出，並暫時緩衝（收容）於基板保管搬送裝 置H1之基板匣1内。然後，按照移送裝置p或處理裝置之 要求，將收容於耵述基板保管搬送裝置H1之基板匣1内之 任意玻璃基板4，透過移送裝置p供給至處理裝置。 在此先入後出裝置f? 1將自己的基板匣1内之全部玻 璃基板4供給至基板保管搬送裝置H1完成後，如中段部分 (11)所不，先入後出裝置F1之空狀態之基板匣}係由起重 機K加以去除，而交換為收容有玻璃基板4之基板匡工。 在此更換期間，基板保管搬送裝置H1係將在自己的基板便 1内緩衝之玻璃基板4繼續供給至處理裝置。然後，如下 段部分（ill)所示，藉由起重機κ將下一基板匣丨移載至先 入後出4置F1時，先入後出裝置F1即重新開始向基板保 管搬送裝置H1供給破璃基板4。亦即，由於存在基板保管 搬送裝置H1，即使中斷自先入後出裝置η供給玻璃基板 4，也會不間斷地連續對處理裝置供給玻璃基板4。 弟18圖係表示如上述本基板搬入/搬出系統之基板搬 316503 19 1277591 出流程之說明圖。首先說明左側之基板搬出流程（1)。在基 板搬出時，如上段部分（1)所示，處理完成之玻璃基板4 ίτ自處理I置藉由移送裝置p依次收容於基板保管搬送| 置Η2之基板邑丨内。而且，基板保管搬送裝置Η2係將自 己的基板[£ 1内之玻璃基板4依次供給至先入後出裝置 F2 ° 在此’先入後出裝置F2之基板匣1充滿玻璃基板4 守士下^又邛勿G i)所示，前述基板匣1係透過起重機Κ 加以去除，而更換為空狀態之基板匣1，但在此更換期間， 基板保管搬送裝置H2亦繼續領取自處理裝置回收之玻璃 基板4 ’故得以不間斷地連續自處理裝置回收玻璃基板4。 接下來，說明右侧之基板搬出流程（2)。 、、，狀自處理裝置（例如檢查裝置）回收而收容於基板保管搬 il衣置H2之基板匣j之玻璃基板4有良品與不良品。不良 #系由處理衣置在任意時序予以排出，故在基板保管搬送 衣置Η2之基板匣i無秩序地收容有良品與不良品。在此， f板保管搬送裝置交忠任意的玻璃基板4,故如上段 (口）所不，僅廷擇良品而供給至先入後出裝置F2，而 :=口口則暫日讀持在基板保管搬送裝置似。然後，如中段 ::(1二)所不’良品之交付完成後，就收集不良品而供給 ::出裝置F2。然後，如下段部分。⑴所示，在先 =更^置F2·内充滿基㈣1時，藉由起重機^以去除 Η…收广態之基板^ 1之期間，基板保管搬送裝置 HZ、、fe績收谷良品與不良品。 316503 20 1277591 根據如上述之基板搬入/搬出系統，由於基板保管搬送 裝置H1、H2作為暫時收容玻璃基板4之同時，將所收容之 玻璃基板4任意交出之隨機存取緩衝器使用，故可實現玻
璃基板4之連續的搬入及搬出，同時還可將良品|不 分別排出。 〇D 另外，必要時可僅設置基板保管搬送裝置们、们中之 任-個。又，在前述基板搬入,:/搬出系統中，使用先入後出 裝置F卜F2作為基板供給裝置，但基板供給裝置並不限於 先入後出裝置F1、F2。亦可將與基板保管搬送裝置hi、h2 相同之裝置作為基板供給裝置使用。 /接著，參照第19圖至第21圖，說明本發明之另一形 恶之貫施例。 本實施例之基板保管搬送裝置係適用於例如用於液晶 顯示面板（LCD)、電漿顯示面板（PDp)等之玻璃基板所示， 大型且薄板狀，並且為防止污染等而一邊支持搬送物之兩 侧緣部’ 一邊進行搬送所要求之搬送，如第19圖及第2〇 圖所示，具備以下而構成：基板厘1〇1 ;具有..搬送滾輪（基 板搬入搬出手段）124之搬送滾輪單元1〇2 :以及g升降機 構（升降機構）1〇3。 基板匣101係形成基板搬送方向（第丨9圖中白色箭頭 方向）之前側及後側成為玻璃基板104之搬入口 lila及搬 出口 lllb之箱形形狀，在其内空部朝上下方向形成多個用 於以水平姿勢搬入搬出及收容玻璃基板104之板架段。 構成各板架段之基板支持部112係形成為朝與基板搬 316503 1277591 送方向垂直的方向(即’基板寬度方向)水平延伸之自平面 看為長板狀，且每-板架段朝基板搬送方向隔著預定間隔 设置複數個（本實施例中為5個）。 藉由以上之構.成’基板E 1Q1係以基板支持部.ιΐ2將 玻璃基板104保持成水平姿勢，並可朝上下方向多段收容。 基板支持部112之内部係形成有在其上面（基板支持 面)112“’設之吹出孔114。吹出孔114係遍及上面心 之長度方向（與基板搬送方向垂直的方向）之大致全長以等 2隔形成多個’同時沿該長度方向之i列吹出孔群並列於 基板搬送方·向前侧及後侧。 支持部112中之位於基板搬送方向中央之基板支 寺# U2a之兩端連接有耦合器115。該耦合器ία可連 成於基板支持部112之吹出孔114，與透過管路向 氣源）。出114供給壓&空氣之送氣鼓風機或壓縮機（送 亦即，在具有多個搬送滾輪124之搬送滾輪單元1〇2 、=裝設於前述管路前端之噴嘴(未圖示）。而且，將搬 合124插入基板匣101内時，伴隨該插入動作，喷嘴 合器115之一端侧’可自送氣鼓風機向各基板支 ~。卩112供給壓縮空氣。 此外，將搬达滾輪124拔出到基板匣101外時，伴隨 動作’喷嘴會脫離輕合器115，而遮蔽自送氣鼓風 機向各基板支持部112之送氣。 在。耦合為11 5連接有朝基板搬送方向前侧及後側延 316503 1277591 伸之分配管116。該分配管116係分別連接 115連接之基板支持部⑴樹卜之基板支持部112的端。 L寺自爾風機供給之壓縮空氣分配至該等基板 然後，驅動送氣鼓風機時，經由管路、喷嘴、輕合哭 =及屮分配管116供給至各基板支持部⑴之壓縮空氣。 人幻14而向上方喷射，因此搬入搬出基板匿1内 之玻璃基板104之下面中央部⑽係以非接觸方式支持。 基板H10H系以將玻璃基板】⑷般入基板gi〇i内之 段，以及自基板E 1〇1内之任意板架段搬出玻璃 、、方式’形成相對於朝上下方向支持於固定位置 之搬达滾輪124可相對地升降移動之形態。 、.用於其升降移動之E升降機構103係具備以下而構 成用乂支持基板g i 〇 j之底部⑴c之托架1 31 ;藉由飼 服驅動餘架131上下動之滾珠螺釘；導引托架i3i上下 動之導引部132;以及用於基板s 101之上下方向之值置 檢測之感測器。 彳置 A搬运康輪單兀102具有：在作為搬送物之玻璃基板i 之寬度方向，換言之朝與玻璃基板搬送方向垂直的方向隔 者間隔相對向配置之一對基座m，而在各基座i2i朝基 板搬&方向隔著間隔固定有複數（本實施例中為4個）之傳 輸框架122。 在傳輸框架122透過軸承等軸支架123可旋轉自如地 支持有搬送滾輪124。 316503 23 1277591 每们傳知框架1 22，朝基板搬送方向隔著間隔並排 认置稷數個（本實施例中為6個）該搬送滾輪丨24。 在搬送滾輪124之基端設有滾輪驅動齒輪125，來自 驅動馬達（未圖示）之旋轉驅動力係透過該滾輪驅動齒輪 125傳達到搬送滾輪124。 此外’搬送滾輪124對基板E 101内之拔出/插入係藉 由使一體固定各:傳輸框架122之基座121朝水平方向，且 朝與基板搬送方向垂直的方向前進及後退之滾輪往返運動 機構（未圖示）得以實現。 接著，說明在如以上構成之基板保管搬送裝置中，將 玻璃基板104搬入基板g 101之任意板架段時之一操作順 序。 首先驅動匣升降機構103，升降基板匣1〇1以使欲搬 入玻璃基板104之板架段（以下稱預定搬入段）位於搬送滾 輪124之前進移動目的。此時，對應於預定搬入段之基板 支持部112之上面112A係定位於比搬送滾輪124稍低之位 置。 然後，驅動滚輪往返運動機構，使搬送滾輪124前進， 並插入基板匣ιοί内。此時，固定於傳輸框架122之噴嘴 係連結於對應於預定搬入段之基板支持部1 1 之轉合界 115。 — 而且，自送氣鼓風機經由管路及噴嘴向耦合器115供 給壓縮空氣時，該壓縮空氣通過基板支持部112&與分配管 116分配給其他的基板支持部112,且自對應於預定搬入1 316503 24 1277591 之基板支持部112之吹出孔114向上方噴射。 由此’使得在所搬入之玻璃基板1〇4與基板支持部U2 之上面112A之間得以形成空氣浮上層，而使所搬入之玻璃 基板104之下面中央部1〇4c，亦即除去支持於搬送滾輪124 之下兩側緣部1 〇4a、1 〇4b之部分透過該空氣浮上層而以非 接觸的方式支持。 去/、後驅動驅動馬達，將其旋轉驅動力透過滾輪驅動 w輪125傳達到搬送滾輪12,4，使搬送滾輪124繞其軸旋 轉。 二於疋，移运到基板匣101之上游側的玻璃基板104係 藉由因與相對於其下面兩側緣部l〇4a、l〇4b之搬送滾輪 之接觸所產生之摩擦力，賦予朝向搬送方向前方之搬 送力，而搬入基板E 101内。此時，玻璃基板104之下面 -側、彖。卩l〇4a、l〇4b係藉由與其旋轉接觸之搬送滾輪124 自下方直接支持。 \相對於此，除去搬送滾輪124與下面兩側緣部1〇4a、 lti4b之接觸部分之玻璃基板1〇4之下面 由透過叙合器115自吹出孔114喷射供給至基板支持;;错 112之I縮空氣’而透過形成於由搬送滾輪24之頂部與設 於比其位置猶低處之基板支持部112之上面⑽間之段差 所產生之間隙之空氣浮上層，以非接觸的方式支持。 如上所述，向基板H 101搬入基板時，始終使玻璃基 f 104之下面中央部104c自基板支持部112浮起，故對玻 ㈤基板1 04之接觸僅為相對於下面兩側緣部〗、1 〇处 316503 1277591 之搬送滾輪1 24，而可達成基板污染之極小化。 將玻璃基板104搬入基板{£ 1 〇 1内時，遮蔽自送氣鼓 風機向基板支持部112之送氣，同時，驅動匣升降機構 103 ’使基板匣ιοί上升，將搬入之玻璃基板丨之下面中 央部104c寄存於基板支持部112。 然後，玻璃基板104自搬送滾輪124浮起時，亦即將 玻璃基板1 0 4元全寄存於基板支持部112時，驅動滾輪往 返運動機構.而使搬送滾輪124後退，而將搬送滾輪124自 基板匣1拔出。如上述，搬入操作即完成。 繼之，說明搬出儲存於基板匣丨〇丨内之任意板架段之 玻璃基板1 〇 4時之一操作順序。 首先驅動匣升降機構103，升降基板£ 1〇1以使儲存 ^搬出之玻璃基板104之板架段（以下稱預定搬出段）位於 搬运滾輪124之前進移動目白勺。此日夺，對應於預定搬出段 之基板支持部112之上面112A係定位於比搬送滾輪124 稍高之位置。 然後，驅動滾輪往返運動機構，使搬送滾輪丨24前進 而插入基板匣101,内之後’驅動匣升降機構1〇3，使基板 匣101下降，而將預定搬出之玻璃基板1〇4之下面兩側續 部l〇4a、l〇4b寄存於搬送滾輪124。 —此時，固定於傳輸框架122之噴嘴係連結於對應於 疋搬出段之基板支持部！ j 2a之耦合器1 i 5。故，自：J ^ 風機經由管路及噴嘴向輕合器115供給壓縮空氣時，、：; ‘空氣通過基板支持部心與分配f 116分配、給其他的基 316503 26 1277591 板支持部112,並自對應於預定搬出段之各基板支持部112 之吹出孔114向上方喷射。 藉此，使得預定搬出之玻璃基板1〇4之下面中央部 自基板支持部112之上面U2a浮起.，而以非接觸的 方式支持於基板支持部112。 士其後，當驅動驅動馬達而使搬送滾輪124繞其軸旋轉 2，儲存於基板匣101内之預定搬出之玻璃基板1〇4，係 藉由因與相對於其下面兩側緣部104a、之搬送滾輪 124之接觸所產生之摩擦力，賦予朝向搬丨送方向前方之搬 送力，而搬出基板匣1 01外。 此％，玻璃基板104之下面兩側緣部1〇4a、1〇4b係透 過與其旋轉接觸之搬送滾輪124自下方直接支持，但除去 ^接觸部分之玻璃基板1Q4之下面中央部齡係透過空氣 浮上層而以非接觸的方式支持。 如上所述，自基板匣101搬出基板時，始終使破璃基 板104之下面中央部1G4c自基板支持部112浮起，故對^ 璃基板104之接觸僅為相對於下面兩側 之搬送滾輪124，而可達成基板污染之極小化。 如上所述，根據本實施例之基板保管搬送裝置，為可 在欲搬入搬出玻璃基板1〇4之板架段拔出/插入搬送滾輪 124 ’使用匿升降機構1〇3來調整基板g ι〇ι與搬送滾= 124之南度位置後’藉由將搬送滾輪向基板歴之 内外朝水平方向拔出/插人，而不必❹多關節機器人，亦 可對於基板收容間距較小之基錢1〇1任意搬人搬出破璃 316503 27 1277591 基板10 4。 並且，該搬入搬出中，始終使玻璃基板1〇4之下面 央部l〇4c自基板支持部112空氣浮起而以非接觸 持，故對玻璃基板104之接觸.僅為插入搬送滾輪124之 面兩侧緣部1G4a、1G4b，而可達成基板污染之極小化。 此外，伴隨基板滾輪124對基板匣1G1之插入動作， 相對二對應於欲搬入搬出之板架段之基板支持冑"2確實 =ill鈿二氣，而可貫現玻璃基板1 之非接觸支持，同 時因僅向對應於該欲搬入搬出之板架段之基板支持部 輸送壓縮空氣，故可實現裝置整體之小型化。 匕另外本鲞明並不限於上述實施例者，只要不脫離其 主曰，可做多種變更。 例如，基板搬入搬出手段亦可為具有用以把持玻璃基 t 104之兩侧緣部之夾子、以及使該夾子往基板搬送方向 矛夕動之滑動機構之外部驅動裝置，取代如搬送滾輪1之 傳輸裝置。 此外’搞合器115亦可設於並列於1個板架段之2個 以上的基板支持部112。此時，可按照耦合器11 5之尺寸 與各基板支持部Π2間之水平方向及上下方向之間距，取 適當間距來配置耦合器1丨5。 例如’第21圖係表示相對於基板支持部11 2之輕合器 115 之 口口 配置例之模式圖，如該圖所示，每隔1個連設於 k平方向及上下方向之基板支持部112設1個耦合器115 亦可。 316503 1277591 [追加技術事項] 笑几再者$知、第22圖至帛24 11，說明使用上述基板保 吕搬送衣置之基板搬入/搬出系統。另外，在以下的說明 中，與已經說明之構成元件相同之構成元件，使用相同元 件符號。 弟22圖係本基板搬入/搬出系統之系統構成圖。本基 板搬入/搬出系統係配置於Κν等基板搬送裝置與對玻璃 基板104施加預定過程處理之處理裝置之間，進行將由基 板搬送裝置搬送來之基板匣1〇1交給（基板搬入）處理裝置 與，自處理裝置回收之基板g 101交給（基板搬出）基板搬 送衣置。本基板搬入/搬出系統，如第2 2圖所示，係由起 重機K2 ;先入後出裝置Fu、F12(基板供給裝置）；基板保 管搬送裝置Hll、H12 ;以及移送裝置P2所構成。該等構 成要素中，先入後出裝置F11及基板保管搬送裝置H11係 叹置於基板搬入路徑上，另一方面，先入後出裝置F12及 基板保管搬送裝置H12係設置於基板搬出路徑上。 起重機K2係將自基板搬送裝置取出之基板匣1 〇 1供給 至先入後出裝置F11，同時，將|自先入後出裝置F丨2回收 之基板匣1 01交付至基板搬送裝置。起重機K2供給至先入 後出裝置F11之基板E 101中收容有過程處理前之玻j离其 板104,另一方面，起重機K2自先入後出裝置F12取出之 基板匣101中收容有過程處理後之玻璃基板104。 先入後出裝置F11係將收容於基板匣1〇1之複數片玻 璃基板104中，將之後收容之玻璃基板104先交給基彳反# 316503 29 Ϊ277591 μ奴送衣置Η11。相對於此，基板保管搬送裝置η 11係作 =關方、將玻璃基板1 〇4交付至移送裝置Ρ2之隨機存取缓衝 為，用者，自先入後出裝置供給之玻璃基板104依序 收:於自己的基板匣1〇1，同時，收容於前述基板匣101 =後數片玻璃基板104中，將按照移送裝置Ρ2的要求之任 螭基板104交付給移送裝置ρ2。移送裝置ρ2係為藉 由移動於執道上而移送玻璃基板1〇4之移送裝置，將自基 板保官搬送裝置Η11供給之玻璃基板1〇4移送到處理裝 置同日守，自處理裝置回收破璃基板1〇4(處理完成）而交 付給先入後出裝置F12。 基板保管搬送裝置Η12係作為關於將玻璃基板1〇4交 付至先入後出裝置F12之隨機存取緩衝器使用者，將自移 达裝置P2供給之玻璃基板1〇4(處理完成）依序收容於自己 的基板匣1，同時，將收容於基板匣1〇1之複數片玻璃基 板104中，將按照先入後出裝置η2的要求之任意玻璃基 板104交付給先入後出裝置F12。先入後出裝置n2係將 自基板保管搬送裝置H12供給之玻璃基板1〇4依序收容於 自己的基板匣1 〇 1。 第23圖备、表不如上述本基板搬入/搬出系統之基板搬 入流程之說明圖。如上段部分（1)所示，先入後出裝置 之收容於基板£ 101内之複數片玻璃基板1〇4係自後收容 之玻璃基板m中先取出，並暫時緩衝（收容）於基板保管 搬送裝置fm之基板£ 1()1内。然後，按照移送裝置p2 或處理裝置之要求’將收容於前述基板保管搬送裝置犯 316503 30 1277591 104,透過移送裝置？2供 之基板E 101内之任意玻璃基板 給至處理裝置。 人在此，當先入後出裳置F11將自己的基板£101内之 :4破璃基板104供給基板保管搬送裝置Hn完成時，如 ^ Fll 1 ί丁、透過起重機K2予以去除，而更換為收容有玻璃基板 之基板£ ιοί，但在此更換期間，基板保管搬送裝置 丁將在自己的基板匣丨〇丨内緩衝之玻璃基板1 繼續 供給至處理裝置1後，如下段部分（111)所示，透過起重 機Κ2將下-基板£ 1〇1 #載至先入後出裝置F11時，先入 後出^置F11係重新開始將玻璃基板1〇4供給至基板保管 搬运I置H11。亦即，由於存在基板保管搬送裝置Ηΐι，即 ^中斷自先入後出裝置F11供給玻璃基板1〇4，也會不間 斷地連績對處理裝置供給玻璃基板1 。 第24圖係表示如上述本基板搬入/搬出系統之基板搬 出极私之況明圖。首先說明左側之基板搬出流程（丨）。在基 板搬出日寸，如上段部分所示，處理完成之玻璃基板ι〇4 自處理裝置透過移送裝置P2依序收容於基板保管搬送裝 置H12之基板E 101内。然後，基板保管搬送裝置H12係 將自己的基板匣1〇1内之玻璃基板1〇4依序供給至先入後 出裝置F12。 在此先入後出衷置F12之基板匣1 〇 1充滿玻璃基板 104時’如下段部分（ii)所示，前述基板匣101係透過起 重機K2予以去除而更換為空狀態之基板匣1 01，但在此更 31 316503 1277591 換期間’基板保管搬送裝置Η12亦繼續領取自處理裝置回 收之玻璃基板104,故自處理裝置之玻璃基板1〇4之回收 得以不間斷地連續進行。 接下來，說明右側之基板搬出流程（2)。 、、自處理裝置（例如檢查裝置）回收而收容於基板保管搬 运^置Η12之基板g 1〇1之玻璃基板1〇4冑良品與不& 品。不良品係由處理裝置在任意時序予以排出，故在基板. 保管搬送裝置H12之基板£ 1〇1無秩序地收容有良品*不. 良品。在此，基板保管搬送裝置H12可交出任意的玻璃基籲 板104,故如上段部分⑴所示，僅選擇良品而供給至先入 後出#置F12，而不良品則暫時保持在基板保管搬送裝置 犯。然後’如中段部分（⑴所示，良品之交付完成後就 =集不良品而供給至先入後出裝置F12。然後，如下段部 ^(111)所示，在先入後出裝置以2内充滿基板匿1〇1而進 打更換時，如下段部分（lii)所示，基板保管搬送裝置Η〗 繼續收容良品與不良品。 根據如上述之基板搬人，m由於絲絲搬送春 裝置Hl i、H12作為暫時收容玻璃基板i 〇4之同時，將收容 之玻璃基板104任意交出之隨機存取緩衝器使用，故可實 現玻璃基板104之連續的搬入及搬出，同時還可將良品與 不良品分別排出。 另外，必要時可僅設置基板保管搬送裝置、Η” 中之任一個。又，在前述基板搬入/搬出系統中，使用先入 後出衣置Fn、F12作為基板供給裝置，但基板供給裝置並 316503 32 1277591 不限於先入後出裝置FI 1、F12。亦可將與基板保管搬送裝 置Η11、Η12相同之裝置作為基板供給裝置使用。 以上，雖說明本發明之較佳實施例，但本發明並不限 於該等實施例。在不.脫離本發明主旨範圍内，可進行種種 結構附加、省略、置換、以及其他變更。本發明不限於前 述說明’而僅以申請專利範圍加以限定。 【圖式簡單說明】 第1圖係表示本發明一實施例之基板保管搬送裝置之 主要部位之俯視圖。 第2圖係第1圖所示之基板保管搬送裝置之前視圖。 =3圖係第丨圖所示之基板保管搬送裝置之側視圖。 第4圖係表示第丨圖所示之搬送滾輪之—實施例之主 要部位放大剖視圖。 第5圖係表示第1圖所示之搬送滾輪 主要部位放大剖視圖。 昂6Α圖係表示欲將玻璃基板搬入第丨圖所示之基板 的狀^之俯視圖，第⑽圖係同狀態之前視圖。 第7圖係表示在基板搬入動作中，使第丨 升降裝置下降的狀態之前視圖。 、^ί 8Α圖係表示在基板搬人動作中，將第1圖所示七 口輪及手部插入基板昆内的狀態之前視 狀恶之主要部位放大剖視圖。 ⑽ ^第9Α圖係、表示將玻璃基板搬人第1圖所示之Α板序ό 狀恶之俯視圖，第R 土才反匣ύ η弟9Β圖仏同狀癌之主要部位放大剖視圖 316503 33 1277591 第10圖係表不將玻璃基板搬入第丨圖所示之基板匣的 狀態之俯視圖。 &第11A圖係表示繼續第1〇圖所示之狀態，自基板匣拔 出搬送滾輪及手部的狀態之俯視圖，f RB圖係同狀態之 前視圖。 第12圖係表示在基板搬出動作中，將第1圖所示之搬 送滾輪及手部插人基板£内的狀態之主要部位放大剖視 圖。 第13圖係表示繼續第12圖所示之狀態，使基板匣下 降的狀悲之主要部位放大剖視圖。 第14圖係表示自第丨圖所示之基板匣搬出玻璃基板的 狀態之俯視圖。 第15A圖係表示自第丨圖所示之基板匣搬出玻璃基板 後，將搬送滾輪及手部自基板g拔出的狀態之俯視圖，第 15B圖係同狀態之前視圖。 第1 6圖係本發明一實施例之基板搬入/搬出系統之系 統構成圖。. 第17圖係表示前述基板搬入/搬出系統之基板搬入流 程之說明圖。 第18圖係表示前述基板搬入/搬出系統之基板搬出流 程之說明圖。 第19圖係表示本發明另一實施例之基板保管搬送裝 置之主要部位之俯視圖。 第20圖係第19圖所示之基板保管搬送裝置之前視圖。 34 316503 1277591 第2i圖係本發明另一實施例之基板保管搬送裝置之 主要部位放大模式圖。 第22圖係本發明一實施例之基板搬入/搬出系統之系 統構成圖。 第23圖係表示前述基板搬入/搬出系統之基板搬入流 程之說明圖。 第24圖係表示前述基板 程之說明圖。 【主要元件符號說明】 搬入/搬出系統之基板搬出流 卜101 基板E 2 > 102 3 ^ 103 ®升降機構（升降機構） 4、104 玻璃基板 4a 、 4b 、 1 0 4 a、1 〇 4 b下面兩侧緣部 4c 搬送滾輪單元 罪近基板中央之部分 11a、111a 搬入口 11 c、111 c 底部 21、121 基座 23 、 123 24 、 124 24a 24c 26 26A 27a 11 b、111 b 搬出口 12、112 基板支持部 22、122 傳輸框架 轴支架 搬送滚輪（基板搬入搬出手段） 基板搬送部 滾輪驅動]^輪 滾輪本體 24b 彈性體 25、125 手部 112A上面（基板支持面） 空氣通路 114吹出孔 2几 空氣通路 316503 35 1277591 31、131 托架 33、132 104c 下面中央部 115 11δ 分配管 Κ、Κ2
Fi、F2、Fll、F12先入後出裝置 HI、H2、Hll、H12基板保管搬送裝置 P、P2 移送裝置 導引部 耦合器 起重機 36 316503