TWI457265B - 輸送機總成及輸送基材的方法 - Google Patents

Description

輸送機總成及輸送基材的方法

本發明係有關一種適於配合一基材處理系統使用的輸送機總成，包含至少一具有可支撐至少一基材的基材承載表面的基材載具、一處理軌道；一回行軌道、及一可沿處理軌道及回行軌道驅動基材載具的驅動系統。

此種輸送機總成經揭示於例如，申請人的歐洲專利EP1,365,040。

在處理/加工基材時，尤其是處理脆質基材、例如薄(例如250μm或更薄的)玻璃板或半導體晶片時，基材會有斷裂的危機。斷裂基材的發生可例如因為加工條件，例如極端溫度，或在實際處理，或在裝載站及卸載站操縱基材時因基材的機械接觸所導致。上述種類的輸送機系統使用一提供一表面以供基材擱置其上的基材載具，以沿一個以上的處理站輸送基材。當一基材在處理/加工時斷裂，其斷裂片遺留在載具的基材承載表面上。在載具可裝載新的基材前，斷裂基材的殘餘件需先移除。由於一般基材處理者依賴基材的整體性，其等可能無法執行此工作。因此，EP1,365,040所揭示的基材處理總成裝設有特別的站，以將基材殘餘件自載具的表面吸除。

然而，吸除站(hoovering station)是相當複雜、昂貴且大型的裝置，需消耗相當長的時間來清理載具表面。 本發明旨在提供一種改良的輸送機總成，尤其是一種相當精簡且能夠有效的除去斷裂基材及/或其他污染物的殘餘件的總成。

為此，本發明提供一種上述型態的輸送機總成，其特徵為包含一旋轉單元，建構成可沿一大致水平軸線樞轉基材載具，由第一方位樞轉至第二方位，反之亦然。

此種輸送機總成允許一基材載具及其基材承載表面可傾斜，或甚至旋轉，使得任何鬆弛的污染物、例如一斷裂基材的殘餘件或由於寄生沉積所產生的沉積廢料，可自載具掉落。自載具掉落的材料可被收集於一設置於旋轉單元下方的容器內。如下文將詳述者，一旋轉單元可由相當少的機械構件製成，使其成為一簡單、可靠且可經濟製造的裝置。由於旋轉單元可快速作動，其也適於配合一高產量的基材處理系統(生產力為每小時1000晶片以上)使用。

在另一實施例中，輸送機總成，例如旋轉單元，也可建構成對基材載具施加一輔助平移動作，以將基材載具自第一方位傳輸至第二方位。

如有必要，旋轉單元(或該總成的不同部位)可施加一搖擺運動在基材載具上，以將載具表面的任何碎屑摔掉。其也可包含一擋止件，供載具和緩的敲擊，以使例如，由於一先前的加工處理所產生的稍為黏性的殘餘件可 被摔掉。此外，旋轉單元可暴露於一氣體/空氣流或振動下，以將黏性的片斷自載具摔脫。旋轉單元可，例如以基材可能會在軌道沿線的何處斷裂為依據，而設置於處理軌道內、回行軌道內或在處理軌道及回行軌道之間。此外，旋轉單元可自動的或手動的作動。一自動作動的旋轉單元可依據一基材斷裂感測器，例如檢視每一通過的基材載具的載具表面的照相機的輸出而不經意的作動，或是不論載具表面的條件為何，對每一通過的載具均連續的作動。

在此需指出，有關本文所使用的術語方面，片語如「大致上成水平向的」旨在包含任何與一垂直於重力方向的平面所夾的角度為小於45度的銳角，尤其是20度的方向。同樣的，術語「大致上垂直」旨在包含任何與一垂直於重力方向的平面所夾的角度為介於45及90度之間的銳角，尤其是70及90度之間的方向。應了解者，處理軌道及回行軌道可不必完全由分開的軌道構成，而可例如由一及相同的軌道，或是部分相重疊的軌道所構成。

依據本發明的另一型態，第一方位對應於大致上成水平定向的基材載具的基材承載表面。(由第一方位出發的)第二方位可例如藉在70及270度之間，較佳者例如藉在90及270度之間的角度範圍內的樞轉運動所獲得的。

第一方位較佳者是水平向的，與一由下方支撐一個以上基材的基材載具相對應。另一方面，第二方位較佳者是選擇成使得承載表面沒有支撐待除去的碎屑，以允許重力 可藉使用碎屑的完全重量來將其移除。由第一、水平方位的出發是藉將載具樞轉一介於70及270度之間的角度而得。如果基材載具是環繞一較靠近承載表面側邊的軸線轉動，欲旋轉約180度的角度可能需要顯著的空間。例如，將一長方形載具環繞與其一長方形側邊相符的軸線(該軸線沿載具的輸送方向延伸)旋轉180度的角度，將使得輸送軌道的寬度，就其有效覆蓋區(footprint)而言是加倍的。使用在商業生產線的裝置較佳者為保持精簡，使覆蓋區極小化。因此，由第一方位出發的第二方位最好者是藉在70及120度之間的角度範圍內的樞轉運動所獲得的，該角度較佳者是在90及120度之間，尤其是110度。

依據本發明的另一型態，輸送機總成可包含兩個旋轉單元，第一旋轉單元例如是設置於處理軌道一終止點及回行軌道一起始點之間，而第二旋轉單元例如是設置於回行軌道一終止點及處理軌道一起始點之間。

兩旋轉單元可用以執行相反的作用。第一旋轉單元例如是設置於自載具表面卸載基材的卸料站下游，可將載具自其第一、水平位置樞轉入其第二、傾斜位置，以移除任何污染物。仍然在其第二位置中的基材載具可隨後沿回行軌道輸送回處理軌道的起始點，在此其被樞轉回到其第一水平位置，以載入新的基材。此設置的優點為回行軌道的覆蓋區可相當的小，因為基材載具可沿一傾斜、近乎垂直的位置輸送。為執行沿其第一及第二位置輸送一基材載具，處理軌道及回行軌道可設置引導裝置，例如可確保基 材載具在輸送時維持其特定方位的導軌。

依據本發明的另一型態，處理軌道設置於回行軌道的大致上及下方。此不僅使輸送機總成的覆蓋區減至最小，也改良了其在其內執行的各別系統的整體精簡度。例如，在處理軌道是設置於回行軌道的上及下方，而基材載具是在第一、大致水平方位沿處理軌道，及在第二、大致直立方位，沿回行軌道被輸送的情形中，一在處理軌道(及鄰靠回行軌道)上方的下細長空間即可空出，而此空間可用以容納系統的一個以上其他構件，例如真空泵、電力源、控制單元等。與其中軌道及構件係相疊置或並列的系統相較，此輪廓可提供顯著較小的覆蓋區及改良的精簡度。此系統可例如依據申請專利範圍第18項的基材處理系統。

依據本發明的另一型態，輸送機總成包含數個滾輪，例如安裝於基材載具上的輪子，及至少一沿至少一部分處理軌道及/或回行軌道延伸的軌條，該軌條是建構成可與基材載具上的滾輪相配合動作，使得基材載具可沿該軌道的該部分在軌條上滾動的移動。

在一實施例中，例如，至少一部分的處理軌道是由第一導軌所界定，而基材載具包含第一組滾輪，建構成與第一導軌相配合動作，使得基材載具以滾動方式在沿處理軌道的該部分在第一導軌上移動。在另一實施例中，例如至少一部分的回行軌道是由第二導軌所界定，而基材載具包含第二組滾輪，建構成可與第二導軌相配合動作，使得基材載具以滾動方式在沿回行軌道的該部分在第二導軌上移 動。

在該等實施例的一組合中，至少一旋轉單元建構成可沿一介於其第一方位及第二方位之間的大致水平軸線樞轉基材載具，將基材載具由處理軌道的第一導軌傳輸至回行軌道的第二導軌，反之亦然。該至少一旋轉單元可包含第一及第二導軌伸出部，配置成使得當旋轉單元將基材載具固持於其第一方位時，第一導軌伸出部係對準第一導軌，而其中當旋轉單元將基材載具固持於其第二方位時，第二導軌伸出部係對準第二導軌。該至少一旋轉單元可因此，充當處理軌道及回行軌道之間的轉轍器，允許當基材載具對準處理軌道或回行軌道的任一時，基材載具可簡易的移上及移下旋轉單元，依據本發明的一型態，回行軌道至少部分的延伸通過一經調節的環境，例如其中存有惰性氣體及/或強化特定溫度條件的環境、及/或例如與外部環境相隔開密封的內部環境，例如真空環境。

本發明也提供一種輸送一基材載具的方法，包含：提供一基材載具(108)；將該基材載具定位於第一方位；沿第一軌道輸送該基材載具；及沿一大致水平軸線轉動該基材載具至第二方位。

藉轉動基材載具，尤其是其基材承載表面，可將基材載具的基材承載表面上的污染物有效的除去。該方法可有利的被使用於基材處理系統，例如其中先前較龐大且昂貴的儀器(例如吸除站)需被使用的半導體晶片處理/加工 系統中。

該方法可另包含在第二方位上沿第二軌道輸送基材載具，及沿一大致水平軸線轉動基材載具回到其第一方位；及/或收集由於基材載具方位的改變，或任何其他將污染物自載具逐出的特定作用(例如將其作用於一氣體/空氣流或振動下)所致，而自載具上掉落的材料。

在此需指出，第一軌道及第二軌道可不必完全由分開的軌道構成，而可例如由一及相同的軌道，或是部分相重疊的軌道所構成。在一較佳實施例中，第一及第二軌道係例如藉上述旋轉單元相連接，以形成一基材載具可沿其連續被驅動的循環路徑。第一及第二軌道可上下設置，以將執行該方法的裝置的覆蓋區及佔據空間減至最小。

本發明的上述及其他特點及優點將在參見下文所述本發明特定實施例的詳細說明及附圖後有進一步的認知，惟該等說明及附圖旨在敘述，而非限制本發明。

圖1概意的顯示一依據本發明的輸送機總成100範例。輸送機總成100包含一由兩導軌102、103所構形的上方處理軌道。惟在其他實施例中，輸送機總成100的處理軌道可以是由不同數量的導軌所構形的。另一導軌可例如用以對基材載具108的相當重的部分，例如其上安裝有磁鐵112的區域(容後敘述)提供額外的支撐。處理軌道由其起始點104延伸至終止點106。一般上，起始點104 可以是一與將基材放置在一具有基材承載表面109的基材載具108上的裝載位置相關的，其中基材承載表面109沿處理軌道的導軌102、103被送出。同樣的，處理軌道的終止點106可以是與一用以將經適當處理的基材自基材載具108上移除的卸料或卸載位置相關的。用以執行基材處理的一個以上的處理站可沿處理軌道，在起始點104及終止點106(也參見圖8)之間設置。

為了使經沿單向處理軌道輸送的基材載具108可回到其起始點104，故設有一回行軌道。回行軌道係由一導軌110所構形。處理軌道及回行軌道之間係藉一旋轉單元500連接，旋轉單元500作用如一轉轍器開關，使得一基材載具108可由處理軌道旋轉的傳輸至回行軌道，反之亦然。旋轉單元500及其動作容後詳述。旋轉單元500與處理軌道及回行軌道一起形成一循環路徑，可供輸送基材載具108。在圖1中，回行軌道是大致上配置在處理軌道下方，以使整體上回行軌道及輸送機總成100的覆蓋區(footprint)減至最小。然而，在此需指出，基本上，處理軌道相對於回行軌道的位置是可任意選擇的。在某些情形中，或有需要將處理軌道相對於回行軌道定位成使得一基材載具108無法藉一(單一)旋轉動作而在其等之間交換。在該等情形中，基材載具108可能承受一由旋轉單元500或另一種平移裝置所執行的輔助平移動作。

一驅動系統被提供以驅動一基材載具108，沿由處理軌道及回行軌道所構成的循環路徑行進。揭示於圖1的驅 動系統範例是雙摺(twofold)的。即是，用以沿處理軌道輸送基材載具的驅動機構與用以沿回行軌道輸送基材載具108的驅動機構是不同的。惟在兩種情形中，均是使用安裝於基材載具108底側上的一系列永久磁鐵112(圖1未示；參見圖3)。

為了沿處理軌道驅動一基材載具108，沿導軌102側邊設置電氣線圈114。電氣線圈可被激勵以產生一磁場，與安裝於基材載具上的磁鐵112的磁場交互作用，藉此傳遞能量至載具108，以沿輸送方向118將其移動。此種電磁鐵驅動系統提供可獨立控制各別載具108運動的優點，同時將維護需求維持在最低，因為驅動系統的構件幾乎沒有磨耗。此外，電氣線圈114可設置於經過調節的加工環境(尤其是一真空環境)的外側，當執行可能會污染或傷害線圈的基材處理時，此點特別有利。用以沿處理軌道驅動載具108的驅動系統可與EP 1,365,040所述的輸送機系統相同或相近，該案併此當參考。

沿平行於導軌110的一方向延伸的皮帶116被提供以沿回行軌道的一方向120驅動基材載具108。皮帶116係由一可磁化材料，例如鐵所製造，其在安裝於一基材載具108上的磁鐵112下被磁化。一旦磁化之後，皮帶116及一載具108係磁性的相連，而皮帶的移動將驅動載具沿導軌110行進。此外，皮帶116可具有與磁鐵112交互作用的永久性磁性材料。

由圖1可見在處理軌道上的基材載具108的定向與在 回行軌道上的基材載具108的定向是不同的。在處理軌道上的載具108大致上成水平的定向，而在回行軌道上的載具108是大致上成垂直的定向。在處理軌道的起始點104及終止點106處，藉將基材載具108環繞一沿平行於導軌102、110的方向延伸的大致水平軸線加以樞轉而將其等再定向(再定位)。再定位是藉旋轉單元500執行。將一基材載具108自其大致水平位置樞轉至其大致垂直位置，可顯著的將斷裂基材的殘餘件或其他鬆弛污染物由基材載具的基材承載表面109丟掉。

圖1所示的驅動系統只是一範例。多種用以沿一軌道驅動一基材載具的其他驅動系統係屬習知者，因此不在此闡述。例如，驅動系統本質上可不需具磁性：例如，習知的鏈條輸送機可用以沿處理軌道輸送一基材載具108。此外，例如，從動皮帶116或另一種驅動裝置可藉機械摩擦、夾持或握持以耦接基材載具108，或者是以沿回行軌道將其驅動。

圖1顯示依據本發明輸送機總成100一實施例的概觀。下文將敘述一基材載具108及一旋轉單元500較詳盡的實施例。

現參見圖2-4，其等詳細的顯示一基材載具108。基材載具108對達成具有高產量能力的基材處理系統而言扮演極重要的角色。其尺寸選擇較佳者是使得其可支撐大量的晶片、例如10片以上，以能同步加工。揭示的基材載具108包含一長方形載具板200，及一連接至載具板200 一底側204的U形側部面202，靠近且平行於其一長方形側邊。載具板200的頂側206設有數個大致上正方形凹槽208，建構成可容納相同數量的基材。U形側部面的一底側設有系列的永久磁鐵112，其充當驅動系統部分構件的功能經在上文提及。

載具板200的底側204設有兩對相互對準的滾輪210，靠近與U形側部面202相對的載具板200一長方形側設置。U形側部面202本身也設有四個相對應對準的滾輪212。滾輪210,212是建構成與處理軌道的導軌103,102相配合動作，且具有一大致上平行於載具板200延伸的旋轉軸線。當滾輪210,212沿處理軌道移動時，其等支撐基材載具108且使得載具被平順的輸送。

除了滾輪212之外，U形側部面設有另一對滾輪214。此等滾輪214比滾輪210,212具有稍大的直徑，且具有一大致朝向載具板200成垂直延伸的旋轉軸線，且建構成與回行軌道的導軌110相配合動作。滾輪214的旋轉軸線及載具板200旋轉軸線之間所夾的角度係與基材載具108被旋轉單元500所樞轉的角度有關(詳下文)。

現參見圖5及6，其顯示旋轉單元500的一範例，其中圖2-4的基材載具108範例經被插入。

旋轉單元500包含一汽缸活塞總成502,520、其一汽缸末端504係可樞轉的連接至固定端，而其一活塞桿端506是可樞轉的連接至旋轉單元的一罩殼508。罩殼508是藉兩個具有預先組裝軸部510的軸承座512可樞轉的懸 吊。兩軸承座512係設於旋轉單元500的罩殼508之相對側邊，使得僅有一個可見於圖5。旋轉單元500另包含兩軌道伸出部514、516，建構成可分別與滾輪212及210相配合動作，及包含一軌道伸出部518，建構成可與滾輪214相配合動作。軌道伸出部514、516可分別視為處理軌道導軌102及103的延伸件，同時軌道伸出部518可視為回行軌道的導軌110的延伸件。旋轉單元500也包含一嚙合滾輪210的凸緣522。

設置於處理軌道一終止點106的旋轉單元500動作如下所示。在旋轉單元500的第一方位中，軌道伸出部514、516係與處理軌道的導軌102及103相對準。一基材載具108沿導軌102及103被驅動，且抵達處理軌道的終止點106，因此，自動的被驅動進入旋轉單元500內。當一基材載具108被插入時，滾輪212,210將嚙合軌道伸出部514、516。同樣的，滾輪214將嚙合軌道伸出部518。此時，基材載具108仍然被滾輪212,210所支撐。當一基材載具108完全被插入時，即可作動汽缸活塞總成502,520以將活塞桿520收回入汽缸502內，藉此導致罩殼508，進而使被插入其中的基材108環繞軸510旋轉向下。罩殼508及載具108轉動的確切最終角度係取決於活塞桿520收回的距離，而在所顯示的實施例係設定為大約是110度。在此需指出，活塞桿520非一定得以單一流暢的動作收回。其可例如，間歇性的滑移進出汽缸502，以對施加一搖擺運動在基材載具108上。在該情形中，凸 緣522可維持旋轉單元500及基材載具108之間適當的接觸。當旋轉單元500結束其旋轉動作時，罩殼508及載具108經抵達其等的第二方位。基材載具108現由擱置於軌道伸出部518上的滾輪214所支撐，基材載具108由於旋轉而對準回行軌道的導軌110。該再定位也使得設於U形側部面202的底側上的磁鐵112，落入皮帶116可抵達的範圍。皮帶116的移動將基材載具108自旋轉單元500拉至回行軌道的導軌110上，且將其輸送至處理軌道的起始點。當沿回行軌道輸送時，較佳者是將一基材載具設計成保持其方位。若此方位受到例如重力而無效，則可設置一額外的導軌，例如對準凸緣522的導軌。

圖7概意的顯示一非必須的載具交換單元700(見圖8)的動作，其可併入依據本發明的輸送機總成100內。一載具交換單元700在不需停止總成100行進的情形下，使得一位在處理或回行軌道上的基材載具108被側轉(side-tracked)，或使得一新的基材載具108被插入位在任一軌道上的一連串的載具。當例如一個以上的基材載具108需徹底檢視或維護時，基材載具的側轉(side-tracking)是有其必要性的，而載具108的插入可允許一所謂的「模擬載具」(dummy carrier)可滑入基材一連串的載具內。該模擬載具可嵌設有測量儀器，例如熱電偶(thermocouple)及溫度數據記錄器，以評估基材在加工時所承受的確切條件。

併入圖1所示的輸送機總成100回行軌道內的載具交 換單元700可如下所述般作動。在情形A中，揭示回行軌道的概意頂視圖，顯示正常的動作條件。現分割成兩區段的皮帶116沿回行軌道在方向120上，輸送大致上成垂直定向的基材載具108。交換單元700是設置於皮帶116的兩區段之間，且包含兩皮帶702,704。在交換單元700的生產狀態中，皮帶704是對準皮帶116的兩區段，使得一沿回行軌道被輸送的基材載具108由皮帶116的第一區段自動的送交至皮帶704，及至皮帶116的第二區段。易言之，皮帶116及704作用如單一的連續皮帶。當一需要調換的基材載具108進入交換單元700時，可安裝於一可滑移框架內的皮帶702及704可被一作動器，例如液壓汽缸快速的移向前。此係如情形B所顯示的。皮帶702藉此取代皮帶704，而皮帶704與待調換的基材載具108則被移出沿回行軌道移動的基材一連串的載具外。各別的基材載具現可被檢視、維修、更換等，如情形C所顯示者。顯然的，當載具交換單元700被置放於一真空環境內時，可能得先取消真空，而會導致生產線的停工。這是為何載具交換單元700較佳者應設置於回行軌道的大氣部分內的原因。欲將一基材載具插入基材的流動流時，可反向的執行上述步驟。一旦皮帶702暫時性的沒有輸送一基材載具108時(如情形D所顯示者)，兩皮帶702,704可向後移動，以將皮帶704與皮帶116的兩區段相對齊，如此，可將由皮帶704所固持的基材載具插入流動流內，如情形E所顯示者。在此需指出，為了清晰顯示起見，圖7並沒有 顯示任何導軌，尤其是導軌110。然而，事實上他們是可能存在的；在該情形中，他們是如皮帶116一般的分段的。基材載具交換單元700也可如皮帶702,704一般的設有安裝於交換單元的框架上的交換器導軌部分。其後，當該等交換器導軌部分各別的相關交換器皮帶702,704對準皮帶116的區段時，各交換器導軌部分被移成對準回行軌道的導軌110的主區段。

圖8顯示基材處理系統800一範例，其可使用一依據本發明的輸送機總成100。例如，該系統可包含第一負荷閘(load lock)804及第二負荷閘810，該等負荷閘是建構成可將一個以上處理站的經調節的(內部)環境(例如真空環境)與外部環境相密封。基材處理系統800包含一裝載站802，基材載具108在此可承載一個以上需加以處理的基材。基材可藉一基材處理器，例如白努利(Bernoulli)夾持器，由供應卡匣取出，而置放於基材載具108的一大致上成水平定向的基材承載表面109上。其後，基材載具108可移動通過第一負荷閘804，進入經調節的(例如真空)環境內。經調節的環境可容納數個處理站，例如加熱站806及/或一個以上的沉積站808，以對基材施予例如濺鍍、CVD、PECVD或微影處理等。基材可隨後通過第二負荷閘810輸送入一大氣外部環境，而輸送至一卸料位置812，經處理的基材可在此被檢視。經適當處理且未斷裂的基材可由基材載具108卸下，並置放入輸送卡匣內。其後，卸載的基材載具108可進一步的輸送 至旋轉單元500，其沿一大致水平軸線樞轉基材載具108，以將在卸載位置812故意遺留在載具108上的任何材料逐出。其次，基材載具可經一具有基材載具交換單元700的回行軌道輸送回其等的出發點。萬一基材載具108沿回行軌道被輸送的方位與其等沿處理軌道行進的方位不同的話，可在裝載站802前設置第二旋轉單元500，以將載具108樞轉回到其等所需的方位。

雖然本發明是以特定實施例來敘述，精於本藝的人士可知能在不脫離本發明的精神及範疇的情形下，對該等實例加以修飾或變更，且可以等效物來取代其中的構件或元件。尤其是，顯示於一個以上實施例內的元件可與其他顯示的實施例或其元件相組合，以獲得未脫離本發明申請專利範圍範疇的新實施例。因此，片語如「一實施例」及「另一實施例」並非一定是指不同的實施例。一般上，以該等片語稱呼的實施例可相互的組合以形成另外的實施例。因此，本發明不侷限於任何經揭示的可執行本發明的獨特實施例，而本發明應包含所有未脫離本發明申請專利範圍範疇的實施例。

100‧‧‧輸送機總成

102,103‧‧‧處理軌道的導軌

104‧‧‧處理軌道的起始點

106‧‧‧處理軌道的終止點

108‧‧‧基材載具

109‧‧‧基材承載表面

110‧‧‧回行軌道的導軌

112‧‧‧永久磁鐵

114‧‧‧電氣線圈

116‧‧‧皮帶

118‧‧‧沿處理軌道的輸送方向

120‧‧‧沿回行軌道的輸送方向

200‧‧‧載具板

202‧‧‧U形側部面

204‧‧‧載具板底表面

206‧‧‧載具板頂表面

208‧‧‧可容納一基材的凹槽

210‧‧‧與處理軌道導軌102相配合動作的滾輪

212‧‧‧與處理軌道導軌103相配合動作的滾輪

214‧‧‧與回行軌道導軌110相配合動作的滾輪

500‧‧‧旋轉單元

502‧‧‧汽缸

504‧‧‧汽缸末端

506‧‧‧活塞桿末端

508‧‧‧罩殼

510‧‧‧軸部

512‧‧‧軸承座

514‧‧‧導軌102的軌道伸出部

516‧‧‧導軌103的軌道伸出部

518‧‧‧導軌110的軌道伸出部

520‧‧‧活塞桿

522‧‧‧凸緣

700‧‧‧基材載具交換單元

702,704‧‧‧基材載具交換單元的皮帶

800‧‧‧基材處理系統

802‧‧‧裝載站

804‧‧‧第一真空閘

806‧‧‧加熱站

808‧‧‧沉積站

810‧‧‧第二真空閘

812‧‧‧卸載站

圖1是輸送機總成範例的概意立體圖。

圖2是可被使用在依據本發明的輸送機總成內的基材載具範例的側視圖。

圖3是圖2所示的基材載具底側的立體圖。

圖4是圖2所示的基材載具頂側的立體圖。

圖5是圖2所示的基材載具插入其中的旋轉單元的側視圖。

圖6是圖2所示的基材載具插入其中的旋轉單元的側視圖，且由一不同的角度顯示圖5所示的情形。

圖7概意的顯示一選擇性載具交換單元的動作。

圖8概意的顯示其中可併入依據本發明的輸送機總成的基材處理系統。

100‧‧‧輸送機總成

102‧‧‧處理軌道的導軌

103‧‧‧處理軌道的導軌

104‧‧‧處理軌道的起始點

106‧‧‧處理軌道的終止點

108‧‧‧基材載具

109‧‧‧基材承載表面

110‧‧‧回行軌道的導軌

114‧‧‧電氣線圈

116‧‧‧皮帶

118‧‧‧沿處理軌道的輸送方向

120‧‧‧沿回行軌道的輸送方向

500‧‧‧旋轉單元

Claims (23)

1. 一種適於配合基材處理系統使用的輸送機總成，包含：至少一基材載具，其具有基材承載表面，建構成支撐其上至少一基材；處理軌道；回行軌道；驅動系統，建構成沿該處理軌道及該回行軌道驅動該基材載具；第一和第二旋轉單元，兩者建構成在約70至120度的角度範圍內繞大致水平的軸線將該基材載具由大致水平的第一方位樞轉至第二方位，反之亦然；其中該處理軌道設置於該回行軌道的大致上方或下方；其中該第一旋轉單元設置於該處理軌道的終止點和該回行軌道的起始點之間，而該第二旋轉單元設置於該回行軌道的終止點和該處理軌道的起始點之間，藉由該第一或第二旋轉單元在其第一方位和其第二方位之間樞轉該基材載具，使得該基材載具由該處理軌道傳輸至該回行軌道，反之亦然；其中該輸送機總成建構成在其第一方位上沿該處理軌道移動該基材載具，並在其第二方位上沿該回行軌道移動該基材載具。
2. 如申請專利範圍第1項的輸送機總成，其中該處 理軌道的至少一部分是由第一導軌所界定，且其中該基材載具包含數個建構成與該第一導軌相配合動作的第一滾輪，使得該基材載具沿著該處理軌道的該部分，以可滾動方式移動於該第一導軌上。
3. 如申請專利範圍第2項的輸送機總成，其中該回行軌道的至少一部分是由第二導軌所界定，且其中該基材載具包含數個建構成與該第二導軌相配合動作的第二滾輪，使得該基材載具沿該回行軌道的該部分，以可滾動方式移動於該第二導軌上。
4. 如申請專利範圍第3項的輸送機總成，其中至少一旋轉單元建構成可藉由將一基材載具繞在其第一方位及其第二方位之間的一大致水平軸線加以樞轉，而將該基材載具由該處理軌道的該第一導軌傳輸至該回行軌道的該第二導軌上，反之亦然。
5. 如申請專利範圍第4項的輸送機總成，其中該至少一旋轉單元建構成可將一基材載具由該處理軌道的該第一導軌傳輸至該回行軌道的該第二導軌上，反之亦然，其包含：第一及第二導軌伸出部，配置成使得當該旋轉單元將該基材載具固持於其第一方位時，該第一導軌伸出部對準該第一導軌，且其中當該旋轉單元將該基材載具固持於其第二方位時，該第二導軌伸出部對準該第二導軌。
6. 如申請專利範圍第3項的輸送機總成，其中該驅動系統包含：安裝於該基材載具上的至少一磁鐵。
7. 如申請專利範圍第6項的輸送機總成，其中該驅動系統另包含：數個電氣線圈，沿該第一或第二導軌，及該基材載具的該至少一磁鐵可沿其移動的鄰近位置設置，該線圈可被供電以沿該第一或第二導軌推動該基材載具。
8. 如申請專利範圍第6項的輸送機總成，其中該驅動系統另包含：一可驅動皮帶，沿該第一或第二導軌，及該基材載具的至少一磁鐵可沿其移動的鄰近位置設置，該皮帶係建構成與設於該基材載具上的至少一磁鐵交互作用，以例如藉磁交互作用，沿該第一或第二導軌拖曳該基材載具。
9. 如申請專利範圍第3項的輸送機總成，另包含一基材載具交換單元，設置於該處理軌道或該回行軌道上，且建構成可將一基材載具自沿該軌道輸送的一連串載具移出，及/或將一基材載具插入該一連串載具內而不中斷該流動流。
10. 如申請專利範圍第9項的輸送機總成，其中該基材載具交換單元包含：一框架，可在第一位置及第二位置之間滑動；第一交換器導軌部分及第二交換器導軌部分，均安裝於該框架上；其中當該基材載具交換單元設置於該處理軌道上時，該第一導軌包含兩區段，分別在該基材載具交換單元的上游及下游延伸，且其中當該框架在其第一位置時，該第一 交換器導軌部分係對準該第一導軌的兩區段，且其中當該框架在其第二位置時，該第二交換器導軌部分係對準該第一導軌的兩區段，使得在該框架的兩位置中，存在有一連續的處理軌道，該處理軌道係由該第一導軌的兩區段及該第一及/或第二交換器導軌部分所界定；或其中當該基材載具交換單元設置於該回行軌道上時，該第二導軌包含兩區段，分別在該基材載具交換單元的上游及下游延伸，且其中當該框架在其第一位置時，該第一交換器導軌部分係對準該第二導軌的兩區段，且其中當該框架在其第二位置時，該第二交換器導軌部分係對準該第二導軌的兩區段，使得在該框架的兩位置中，存在有一連續的回行軌道，該回行軌道係由該第二導軌的兩區段及該第一及/或第二交換器導軌部分所界定。
11. 如申請專利範圍第1項的輸送機總成，其中該處理軌道至少部分地延伸通過調節環境，例如真空環境。
12. 如申請專利範圍第1項的輸送機總成，其中該回行軌道至少部分地延伸通過一大氣環境，例如與一處理軌道的環境，相隔開。
13. 如申請專利範圍第1項的輸送機總成，其中：在該第一方位上，該基材載具建構並配置成在大致水平的方位上支撐該至少一基材；且在該第二方位上，該基材載具建構並配置成在大致垂直的方位上支撐該至少一基材。
14. 一種基材處理系統，包含： 裝載站，用以將至少一基材裝載於該基材載具上；一個以上的處理站；卸料站，用以將基材自該基材載具移除；及如申請專利範圍第1項所述的輸送機總成。
15. 如申請專利範圍第14項的基材處理系統，另包含：第一負荷閘；及第二負荷閘；該第一及第二負荷閘建構成可將一其中設有一個以上處理站的調節環境，例如真空環境，加以密封。
16. 一種用以輸送基材載具的方法，包含下列步驟：提供基材載具，其建構成承載至少一大致平坦的基材；沿處理軌道輸送該基材載具；沿回行軌道輸送該基材載具；繞一大致水平的軸線將該基材載具從第一方位轉動至第二方位；及在該第二方位上，沿該回行軌道輸送該基材載具；繞大致水平的軸線將該基材載具從該第二方位旋轉回該第一方位；在該第一方位上，沿該處理軌道輸送該基材載具；其中該基材載具從大致水平的該第一方位至該第二方位的旋轉涉及約70至120度之角度範圍的旋轉，反之亦然； 其中該處理軌道設置於該回行軌道的大致上方或下方；其中該基材載具介於該回行軌道的終止點和該處理軌道的起始點之間從該第一方位旋動至該第二方位；且其中該基材載具介於該回行軌道的終止點和該處理軌道的起始點之間從其該第二方位轉動至其該第一方位，藉由介於該第一和第二方位之間的該轉動，使得該基材從該處理軌道傳輸至該回行軌道，反之亦然。
17. 如申請專利範圍第16項的方法，其中將該基材載具由該第一方位轉動至該第二方位涉及將該基材載具在該第一及第二方位之間，及/或一個以上的中間方位之間來回轉動，以搖擺該基材載具。
18. 如申請專利範圍第16項的方法，另包含對該基材載具施予一氣體流，例如空氣流，的步驟。
19. 如申請專利範圍第16項的方法，另包含對該基材載具施予振動，以將任何污染物自該基材載具逐出。
20. 如申請專利範圍第16項的方法，另包含將尤其是由於該基材載具方位的改變，或由於另一種將材料自該基材載具逐出的特定作用所致，而自其上掉落的任何材料加以收集的步驟。
21. 如申請專利範圍第16項的方法，另包含處理設置於該基材載具上的一個以上的基材，其中將該基材載具自其第一方位轉動至其第二方位的作用，是在經適當處理的基材已自該基材載具移除之後才執行的。
22. 如申請專利範圍第16項的方法，其中該處理軌道及/或該回行軌道至少部分地延伸通過調節環境，例如真空環境。
23. 如申請專利範圍第16項的方法，其中沿處理軌道輸送該基材載具包含在大致水平的方位上輸送該基材的步驟，且其中沿回行軌道輸送該基材載具包含在大致垂直的方位上輸送該基材的步驟。