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TWD230594S - 處理腔室淨洗板 - Google Patents

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Publication number
TWD230594S
TWD230594S TW111305355F TW111305355F TWD230594S TW D230594 S TWD230594 S TW D230594S TW 111305355 F TW111305355 F TW 111305355F TW 111305355 F TW111305355 F TW 111305355F TW D230594 S TWD230594 S TW D230594S
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
view
dimensional
purge plate
chamber purge
process chamber
Prior art date
Application number
TW111305355F
Other languages
English (en)
Inventor
漢斯 彼得 尼格倫
Original Assignee
美商蘭姆研究公司 (美國)
美商蘭姆研究公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Publication of TWD230594S publication Critical patent/TWD230594S/zh

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Abstract

【設計說明】;立體圖1為處理腔室淨洗板之裝飾性設計的視圖。;立體圖2為立體圖1之處理腔室淨洗板的視圖。;右側視圖為立體圖1之處理腔室淨洗板的視圖。;左側視圖為立體圖1之處理腔室淨洗板的視圖。;後視圖為立體圖1之處理腔室淨洗板的視圖。;前視圖為立體圖1之處理腔室淨洗板的視圖。;俯視圖為立體圖1之處理腔室淨洗板的視圖。;仰視圖為立體圖1之處理腔室淨洗板的視圖。;虛線顯示不構成主張設計之部分的環境與邊界。;如同顯示與說明，本設計係主張處理腔室淨洗板的裝飾性設計。

Description

處理腔室淨洗板
立體圖1為處理腔室淨洗板之裝飾性設計的視圖。
立體圖2為立體圖1之處理腔室淨洗板的視圖。
右側視圖為立體圖1之處理腔室淨洗板的視圖。
左側視圖為立體圖1之處理腔室淨洗板的視圖。
後視圖為立體圖1之處理腔室淨洗板的視圖。
前視圖為立體圖1之處理腔室淨洗板的視圖。
俯視圖為立體圖1之處理腔室淨洗板的視圖。
仰視圖為立體圖1之處理腔室淨洗板的視圖。
虛線顯示不構成主張設計之部分的環境與邊界。
如同顯示與說明，本設計係主張處理腔室淨洗板的裝飾性設計。
TW111305355F 2022-05-02 2022-10-31 處理腔室淨洗板 TWD230594S (zh)

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US29/792,965 2022-05-02

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TWD230594S true TWD230594S (zh) 2024-04-01

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TW112304968F TWD234282S (zh) 2022-05-02 2022-10-31 處理腔室淨洗板
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