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TWD239110S - 基板處理系統用台座 - Google Patents

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Publication number
TWD239110S
TWD239110S TW113300028F TW113300028F TWD239110S TW D239110 S TWD239110 S TW D239110S TW 113300028 F TW113300028 F TW 113300028F TW 113300028 F TW113300028 F TW 113300028F TW D239110 S TWD239110 S TW D239110S
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
pedestal
view
stereoscopic
top view
enlarged
Prior art date
Application number
TW113300028F
Other languages
English (en)
Inventor
嬈斯麗沙尤吉斯
斯麗沙 尤吉斯 嬈
比魯克里希那
克里希那 比魯
科撒帕里維杰
維杰 科撒帕里
陳希同
許偉峰
Original Assignee
美商蘭姆研究公司 (美國)
美商蘭姆研究公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 美商蘭姆研究公司 (美國), 美商蘭姆研究公司 filed Critical 美商蘭姆研究公司 (美國)
Publication of TWD239110S publication Critical patent/TWD239110S/zh

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Abstract

【物品用途】;(略)。;【設計說明】;立體圖1為用於基板處理系統之台座的立體圖，其中台座係傾斜以顯示出台座之頂部；立體圖2為立體圖1所示之台座的立體圖，其中台座係傾斜以顯示出台座之底部；立體圖3為立體圖1所示之台座的立體圖，其中台座係垂直並顯示出台座之頂部；立體圖4為立體圖1所示之台座的立體圖，其中台座係垂直並顯示出台座之底部；俯視圖為立體圖1-4所示之台座的俯視圖；仰視圖為立體圖1-4及俯視圖所示之台座的仰視圖；前視圖為立體圖1-4及俯視圖所示之台座的前視圖；後視圖為立體圖1-4及俯視圖所示之台座的後視圖；左側視圖為立體圖1-4及俯視圖所示之台座的左側視圖；右側視圖為立體圖1-4及俯視圖所示之台座的右側視圖；放大立體圖為立體圖3所示之台座之一部分的放大立體圖(細節11)；放大俯視圖1為俯視圖所示之台座之一部分的放大俯視圖(細節12)；俯視立體圖為放大立體圖所示之台座之該部分的俯視立體圖；放大俯視圖2為俯視圖所示之台座之一部分的放大俯視圖(細節14)；以及放大橫剖面圖為俯視圖所示之台座之一部分的放大橫剖面圖(細節15)。;以包含虛線的斷線所顯示的元件僅用於說明目的，並不構成所要求保護的設計的一部分。

Description

基板處理系統用台座
立體圖1為用於基板處理系統之台座的立體圖，其中台座係傾斜以顯示出台座之頂部；立體圖2為立體圖1所示之台座的立體圖，其中台座係傾斜以顯示出台座之底部；立體圖3為立體圖1所示之台座的立體圖，其中台座係垂直並顯示出台座之頂部；立體圖4為立體圖1所示之台座的立體圖，其中台座係垂直並顯示出台座之底部；俯視圖為立體圖1-4所示之台座的俯視圖；仰視圖為立體圖1-4及俯視圖所示之台座的仰視圖；前視圖為立體圖1-4及俯視圖所示之台座的前視圖；後視圖為立體圖1-4及俯視圖所示之台座的後視圖；左側視圖為立體圖1-4及俯視圖所示之台座的左側視圖；右側視圖為立體圖1-4及俯視圖所示之台座的右側視圖；放大立體圖為立體圖3所示之台座之一部分的放大立體圖(細節11)； 放大俯視圖1為俯視圖所示之台座之一部分的放大俯視圖(細節12)；俯視立體圖為放大立體圖所示之台座之該部分的俯視立體圖；放大俯視圖2為俯視圖所示之台座之一部分的放大俯視圖(細節14)；以及放大橫剖面圖為俯視圖所示之台座之一部分的放大橫剖面圖(細節15)。
以包含虛線的斷線所顯示的元件僅用於說明目的，並不構成所要求保護的設計的一部分。
TW113300028F 2023-07-07 2024-01-04 基板處理系統用台座 TWD239110S (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US29/896,804 2023-07-07
US202329896804 2023-07-07

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TWD239110S true TWD239110S (zh) 2025-07-01

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TW113300028F TWD239110S (zh) 2023-07-07 2024-01-04 基板處理系統用台座

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JP (1) JP1796048S (zh)
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWD201038S (zh) 2018-05-18 2019-11-21 日商國際電氣股份有限公司 半導體製造裝置用密封蓋護罩

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWD201038S (zh) 2018-05-18 2019-11-21 日商國際電氣股份有限公司 半導體製造裝置用密封蓋護罩

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Publication number Publication date
JP1796048S (ja) 2025-04-14

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