TW201703177A - 基板收納容器 - Google Patents

Abstract

一種基板收納容器具有基板緣部保護部222，其形成有多數保護溝225，且多數保護溝225具有比基板W之緣部的厚度寬而可插入基板W之緣部的開口2231，而至少在容器本體開口部被蓋體封閉時，多數基板W之緣部可逐一插入多數保護溝225。基板W之緣部係在容器本體開口部被蓋體封閉時，在基板W之緣部與形成保護溝225的基板緣部保護部222之溝形成面2221間形成空間，使基板W之緣部不接觸溝形成面2221的非接觸狀態下，可插入保護溝225。

Description

基板收納容器

本發明係關於收納、保管、搬送、輸送等由半導體晶圓等形成之基板時使用的基板收納容器。

用以收納並搬送由半導體晶圓形成之基板的基板收納容器具有容器本體及蓋體之結構在以往是習知的。

容器本體具有在一端部形成容器本體開口部，而另一端部封閉之筒狀壁部。在容器本體內形成有基板收納空間。基板收納空間藉由壁部包圍而形成，且可收納多數基板。蓋體可相對容器本體開口部裝附或脫離，且可封閉容器本體開口部。

在蓋體之部分，即封閉容器本體開口部時與基板收納空間對向之部分設有前扣件。前扣件在容器本體開口部被蓋體封閉時，可支持多數基板之緣部。此外，與前扣件成對地，在壁部設有後扣件。後扣件可支持多數基板之緣部。後扣件在容器本體開口部被蓋體封閉時，在藉由與前扣件互相配合而支持多數基板，使相鄰之基板以預定間隔分開排列的狀態下，保持多數基板。後扣件具有朝遠離基板收納空間之方向凹陷的多數溝(例如，請參照專利文獻1)。此外，雖然形成溝之後扣件部分可彈性變形，但支持基板之後端部的後扣件部分不可彈性變形的結構亦是習知的(請參照專利文獻2)。

在上述公報記載之習知基板收納容器中，在容器本體開口部被蓋體封閉，並搬送收納在基板收納空間中之基板時，基板之端部經常抵接後扣件。因此，基板與後扣件間容易產生粒子。在藉基板收納容器搬送基板時，基板收納容器受到衝擊時，基板之端部相對於後扣件滑動，更容易產生粒子。

因此，具有用以在基板收納容器受到衝擊時保護基板之晶圓保護溝的基板收納容器是習知的，該晶圓保護溝在藉基板收納容器搬送基板時，基板收納容器未受到衝擊時，不與基板之端部抵接，以抑制粒子產生(請參照專利文獻3)。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1] 日本專利第4338617號公報 [專利文獻2] 日本特開2005－5525號公報 [專利文獻3] 國際公開第2013/025629號公報

[發明所欲解決的問題] 近年來，不僅要求抑制粒子之產生，亦要求對作用於基板收納容器之衝擊的進一步基板保護。此外，對於抑制所謂橫向槽之產生，即，由於作用於基板收納容器之衝擊，被後扣件支持在預定位置之基板偏離該預定位置，並朝與該預定位置相鄰之位置移動而插入配置，亦有高要求。

本發明之目的在於提供可抑制粒子產生，並可保護基板不受作用於基板收納容器之衝擊的影響，且可抑制橫向槽產生的基板收納容器。 [解決問題的手段]

本發明係有關於基板收納容器，其包含：容器本體，其具有在一端部形成容器本體開口部而另一端部封閉之筒狀壁部，並藉由前述壁部之內面形成可收納多數基板且連通於前述容器本體開口部的基板收納空間；蓋體，其可相對前述容器本體開口部裝附或脫離且可封閉前述容器本體開口部；蓋體側基板支持部，其配置在前述蓋體之部分，即在前述容器本體開口部被前述蓋體封閉時與前述基板收納空間對向之部分，且在前述容器本體開口部被前述蓋體封閉時可支持前述多數基板之緣部；內側基板支持部，其在前述基板收納空間內與前述蓋體側基板支持部成對地配置，且可支持前述多數基板之緣部，並在前述容器本體開口部被前述蓋體封閉時與前述蓋體側基板支持部互相配合，使前述多數基板之緣部並列的狀態下，支持前述多數基板；及基板緣部保護部，其形成有多數保護溝，該多數保護溝具有比前述基板之緣部的厚度寬而可插入前述基板之緣部的開口，而至少在前述容器本體開口部被前述蓋體封閉時，前述多數基板之緣部可逐一插入該多數保護溝，前述基板之緣部在前述容器本體開口部被前述蓋體封閉時，在前述基板之緣部與形成前述保護溝的前述基板緣部保護部之溝形成面間形成空間，使前述基板之緣部不接觸前述溝形成面的非接觸狀態下，可插入前述保護溝。

此外，最好具有側方基板支持部，其在前述基板收納空間內成對地配置，且在前述容器本體開口部未被前述蓋體封閉時，在使前述多數基板中相鄰之基板以預定間隔分開排列的狀態下，可支持前述多數基板之緣部，且前述保護溝具有一深度，該深度在前述容器本體開口部未被前述蓋體封閉且前述多數基板之緣部被前述側方基板支持部支持時，使前述基板之緣部未插入前述保護溝，而在前述容器本體開口部被前述蓋體封閉時，使前述基板之緣部插入前述保護溝。

另外，最好前述基板具有形成元件之表面及相對前述表面之背面，且前述溝形成面具有：在前述容器本體開口部被前述蓋體封閉時，在連結前述表面與背面之方向上與前述表面對向之表面對向面部；及在前述容器本體開口部被前述蓋體封閉時，在連結前述表面與背面之方向上與前述背面對向之背面對向面部，而由前述表面到前述表面對向面部之最短距離比由前述背面到前述背面對向面部之最短距離長。

此外，最好前述表面對向面部及前述背面對向面部構成至少一對傾斜面，該至少一對傾斜面以隨著由前述保護溝之底部接近前述保護溝之開口，前述開口逐漸變寬的方式傾斜，且若設前述基板之表面或背面中之任一面與前述表面對向面部形成之角為a，而設前述基板之前述一面與前述背面對向面部形成之角為b，具有a＞b之關係，並且在前述容器本體開口部被前述蓋體封閉時，前述基板之緣部在前述基板之半徑方向外側與前述保護溝之底部對向。

另外，最好前述蓋體側基板支持部在前述容器本體開口部被前述蓋體封閉時，可往由前述容器本體之另一端部向一端部的方向以預定位移量彈性地位移，而前述保護溝具有一深度，該深度在前述容器本體開口部被前述蓋體封閉時，使前述基板之緣部可往由前述容器本體之一端部向另一端部的方向，以前述預定位移量以上的量插入前述保護溝。再者，前述基板緣部保護部宜具有彈性。 [發明的功效]

依據本發明，可提供可抑制粒子產生，並可保護基板不受作用於基板收納容器之衝擊的影響，且可抑制橫向槽產生的基板收納容器。

以下，一面參照圖式一面說明第一實施形態之基板收納容器1。 圖1係顯示基板W收納於本發明第一實施形態之基板收納容器1中之情形的分解立體圖。圖2係顯示本發明第一實施形態之基板收納容器1與基板W之位置關係的平面剖面圖。圖3係沿圖2之A-A線作成之放大剖面圖。圖4係顯示基板W之緣部抵接於本發明第一實施形態之基板收納容器1的基板緣部保護部222的谷224之情形的放大剖面圖。

在此，為方便說明，定義由後述容器本體2向蓋體3之方向(圖1中由右上向左下之方向)為前方向D11，定義其相反方向為後方向D12，且合併該等方向定義為前後方向D1。此外，定義由後述下壁24向上壁23之方向(圖1中之上方向)為上方向D21，定義其相反方向為下方向D22，且合併該等方向定義為上下方向D2。另外，定義由後述第二側壁26向第一側壁25之方向(圖1中由右下向左上之方向)為左方向D31，定義其相反方向為右方向D32，且合併該等方向定義為左右方向D3。在圖中，圖示顯示該等方向之箭號。

此外，收納於基板收納容器1中之基板W(請參照圖1)係圓盤狀之矽晶圓、玻璃晶圓、藍寶石晶圓等，且係產業中使用之薄基板。本實施形態之基板W係直徑300mm之矽晶圓。基板W之表面W1(圖3所示之基板W的左側面)形成元件。基板W之背面W2(圖3所示之基板W的右側面)未形成元件。

如圖1所示地，基板收納容器1作為用以收納如上所述之由矽晶圓構成之基板W，並藉由陸運手段、空運手段、海運手段等之輸送手段輸送基板的運送容器使用，且由容器本體2及蓋體3構成。容器本體2具有作為側方基板支持部之基板支持板狀部5及內側基板支持部56(請參照圖2等)，而蓋體3具有作為蓋體側基板支持部之前扣件7(請參照圖2等)。

容器本體2具有在一端部形成容器本體開口部21，而另一端部封閉之筒狀壁部20。在容器本體2內形成有基板收納空間27。基板收納空間27係藉由壁部20包圍而形成。壁部20之部分，即形成基板收納空間27之部分配置有基板支持板狀部5。在基板收納空間27中，如圖1所示地，可收納多數基板W。

基板支持板狀部5在基板收納空間27內成對地設於壁部20上。基板支持板狀部5在容器本體開口部21未被蓋體3封閉時，藉由抵接於多數基板W之緣部，可在使相鄰之基板W以預定間隔分開排列的狀態下，支持多數基板W之緣部。基板支持板狀部5之內側設有內側基板支持部56(請參照圖2等)。

內側基板支持部56在基板收納空間27內與後述之前扣件7成對地設於壁部20上。內側基板支持部56在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，藉由抵接於多數基板W之緣部，可支持多數基板W之緣部的後部。

蓋體3可相對於形成容器本體開口部21之開口周緣部28(圖1等)裝附或脫離，並可封閉容器本體開口部21。前扣件7設於蓋體3之部分，即容器本體開口部21被蓋體3封閉時與基板收納空間27對向之部分上。前扣件7在基板收納空間27之內部與內側基板支持部56成對地配置。

前扣件7在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，藉由抵接於多數基板W之緣部，可支持多數基板W之緣部的前部。前扣件7在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，藉由與內側基板支持部56互相配合而支持多數基板W，可在使相鄰之基板W以預定間隔分開排列的狀態下，保持多數基板W。

基板收納容器1係由塑膠材等之樹脂構成，且未特別說明時，該材料之樹脂可舉例如：聚碳酸酯、環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺、聚醚酮、聚對苯二甲酸丁二酯、聚醚醚酮、液晶聚合物之類的熱可塑性樹脂、及其混合物等。在該等成形材料之樹脂中賦予導電性時，可選擇地添加碳纖維、碳粉、奈米碳管、導電性聚合物等之導電物質。此外，為提高剛性，亦可添加玻璃纖維及碳纖維等。

以下，詳細說明各部分。 如圖1等所示地，容器本體2之壁部20具有內壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25及第二側壁26。內壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25及第二側壁26係由上述材料構成，且一體成形地構成。

第一側壁25與第二側壁26對向，且上壁23與下壁24對向。上壁23之後端、下壁24之後端、第一側壁25之後端、及第二側壁26之後端都與內壁22連接。上壁23之前端、下壁24之前端、第一側壁25之前端、及第二側壁26之前端具有與內壁22對向之位置關係，並構成開口周緣部28，而開口周緣部28形成呈大略長方形之容器本體開口部21。

開口周緣部28設於容器本體2之一端部，而內壁22位於容器本體2之另一端部。由壁部20之外面形成之容器本體2的外形呈箱狀。壁部20之內面，即，內壁22之內面、上壁23之內面、下壁24之內面、第一側壁25之內面、及第二側壁26之內面形成被該等內面包圍之基板收納空間27。形成在開口周緣部28之容器本體開口部21連通於被壁部20包圍而形成在容器本體2內部的基板收納空間27。在基板收納空間27中最多可收納25片基板W。

如圖1所示地，上壁23及下壁24之部分，即開口周緣部28附近之部分形成有向基板收納空間27之外側凹陷的閂鎖卡合凹部40A、40B、41A、41B。閂鎖卡合凹部40A、40B、41A、41B在上壁23及下壁24之左右兩端部附近各形成一個，共計4個。

如圖1所示地，在上壁23之外面，與上壁23一體成形地設有肋部235。肋部235可提高容器本體2之剛性。

此外，頂凸緣236固定在上壁23之中央部。在AMHS(自動晶圓搬送系統)、PGV(晶圓基板搬送台車)等中懸吊基板收納容器1時，頂凸緣236係成為在基板收納容器1中被鉤掛吊起之部份的構件。

肋狀部221設在內壁22上。肋狀部221在內壁22之內面，朝基板收納空間27之內側突出。肋狀部221之突出端部上，與肋狀部221一體成形地設有由與肋狀部221相同材質構成之基板緣部保護部222。基板緣部保護部222不限於與肋狀部221一體成形之結構，亦可由與肋狀部221不同之材質構成，並藉由嵌入等相對於肋狀部221固定。

基板緣部保護部222，如圖3所示地，與基板收納空間27對向之表面具有波狀，且在基板緣部保護部222中，沿上下方向D2，交互地存在山223及谷224。因此，藉由該山223及谷224，沿大略左右方向D3延伸之保護溝225在上下方向D2上形成有25條。相鄰之山223的頂部形成保護溝225之開口2231，而谷224之底的部分形成保護溝225之底部2241。在藉由前扣件7及內側基板支持部56支持基板W之狀態，即，基板W之表面W1及背面W2呈平行於前後方向D1及左右方向D3之位置關係的狀態下，保護溝225具有比在上下方向D2之基板W之緣部厚度寬的開口2231，使基板W之緣部可插入保護溝225。在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，基板W之緣部可逐一地插入保護溝225中。換言之，在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，如圖3所示地，基板W之緣部可逐一地進入比連結保護溝225之開口2231之假想線L1靠近底部2241之保護溝225中。

在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，保護溝225之底部2241具有基板W之緣部在基板W之半徑方向外側與保護溝225之底部2241對向的位置關係。如圖3所示地，保護溝225在上下方向D2上(圖3之左右方向上)，具有以保護溝225之底部2241為中心對稱的形狀。因此，插入保護溝225之基板W之緣部在上下方向D2上位於保護溝225之中央，藉此，與各保護溝225中最深之部分(保護溝225之底部2241)對向。

保護溝225具有預定深度。具體而言，容器本體開口部21未被蓋體3封閉，因此，多數基板W之緣部被作為側方基板支持部之基板支持板狀部5支持時，基板之緣部未插入保護溝225中。容器本體開口部21被蓋體3封閉，且基板W被前扣件7及內側基板支持部56支持時，如圖3所示地，成為基板W之緣部插入保護溝225的狀態。此外，在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，後述前扣件7之扣件基板承接部73及基板W以預定位移量朝由容器本體2之一端部向另一端部的方向，即前方向D11位移時(朝前方向D11之扣件基板承接部73及基板W的位移最大時)，基板W之緣部維持插入保護溝225之狀態。即，在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，基板W之緣部以預定位移量以上的量插入保護溝225。保護溝225具有如呈如此狀態之預定深度。

此外，在容器本體開口部21被蓋體3封閉，且基板W之緣部插入保護溝225的狀態時，基板W之緣部未抵接於形成保護溝225之基板緣部保護部222。即，如圖3所示地，在基板W之緣部與形成保護溝225的基板緣部保護部222之溝形成面2221間形成有空間，藉此，在基板W之緣部不接觸溝形成面2221之非接觸狀態下，基板W插入保護溝225。保護溝225具有如呈如此狀態之預定深度。

如圖2所示地，基板支持板狀部5分別設於第一側壁25及第二側壁26上，並在左右方向D3上成對地配置在基板收納空間27內。具體而言，基板支持板狀部5具有板部51及板部支持部52。板部51及板部支持部52由樹脂一體成形地構成。板部51具有板狀之弧形。板部51在第一側壁25、第二側壁26上各設有25片，共計50片。相鄰之板部51在上下方向D2上以10mm至12mm間隔互相分開並平行之位置關係配置。此外，在位於最上方之板部51的上方，配置有與板部51大略同一形狀的構件，但這構件具有插入時切割位於最上方並插入基板收納空間27內之基板W的功能。

此外，設於第一側壁25上之25片板部51及設於第二側壁26上之25片板部51具有在左右方向D3上互相對向之位置關係。另外，與50片之板部51及板部51大略同形狀之2片具引導功能的構件具有平行於下壁24之內面的位置關係。如圖2等所示地，在板部51之上面設有凸部511、512。板部51支持之基板W只接觸凸部511、512之突出端，未以面接觸板部51。

板部支持部52沿上下方向D2延伸。設於第一側壁25上之25片板部51連接於設於第一側壁25側之板部支持部52。同樣地，設於第二側壁26上之25片板部51連接於設於第二側壁26側之板部支持部52。藉由板部支持部52分別固定在第一側壁25、第二側壁26上，基板支持板狀部5可分別固定在第一側壁25、第二側壁26上。

藉由如此結構之基板支持板狀部5，可在多數基板W中相鄰基板W以預定間隔分開之狀態下且呈互相平行之位置關係的狀態下，支持多數基板W之緣部。

蓋體3，如圖1等所示地，具有與容器本體2之開口周緣部28形狀大略一致的大略長方形。蓋體3可相對容器本體2之開口周緣部28裝附或脫離，且藉由將蓋體3安裝在開口周緣部28上，蓋體3可封閉容器本體開口部21。在與蓋體3之內面(圖1所示之蓋體3的背側面)，即蓋體3封閉容器本體開口部21時在開口周緣部28之正後方向D12之位置形成段差部分的面(密封面281)對向的面上，安裝有環狀之密封構件4。密封構件4係由可彈性變形之聚酯系、聚烯烴系等各種熱可塑性彈性體、氟橡膠製品、矽橡膠製品等構成。密封構件4配置成環繞蓋體3之外周緣部一周。

蓋體3安裝在開口周緣部28上時，密封構件4因被密封面281與蓋體3之內面夾住而彈性變形，且蓋體3以密閉之狀態封閉容器本體開口部21。藉由從開口周緣部28取下蓋體3，基板W可相對於容器本體2內之基板收納空間27進出。

在蓋體3中，設有閂鎖機構。閂鎖機構設於蓋體3之左右兩端部附近，如圖1所示地，具有可由蓋體3之上邊朝上方向D21突出的2個上側閂鎖部32A、32B，及可由蓋體3之下邊朝下方向D22突出的2個下側閂鎖部32C、32D。2個上側閂鎖部32A、32B配置在蓋體3之上邊的左右兩端附近，而2個下側閂鎖部32C、32D配置在蓋體3之下邊的左右兩端附近。

在蓋體3之外面設有操作部33。藉由從蓋體3之前側操作操作部33，可使上側閂鎖部32A、32B、下側閂鎖部32C、32D由蓋體3之上邊、下邊突出，或者，可成為不由上邊、下邊突出之狀態。上側閂鎖部32A、32B由蓋體3之上邊朝上方向D21突出，並卡合於容器本體2之閂鎖卡合凹部40A、40B，且下側閂鎖部32C、32D由蓋體3之下邊朝下方向D22突出，並卡合於容器本體2之閂鎖卡合凹部41A、41B，藉此蓋體3可固定在容器本體2之開口周緣部28上。

在蓋體3之內側(圖1所示之蓋體3外面的相反側)形成有朝基板收納空間27之外側凹陷的凹部(未圖示)。在凹部(未圖示)及凹部外側之蓋體3的部分，如圖2所示地，設有扣件卡止部341。扣件卡止部341上固定設有前扣件7。

如圖2所示地，前扣件7具有縱框體71、扣件腳部72及扣件基板承接部73。縱框體71設有一對，且具有沿上下方向D2延伸之板狀，並分別固定在扣件卡止部341上。左方向D31側之扣件腳部72由左方向D31側之縱框體71沿右方向D32稍微朝後方向D12延伸。接著，左方向D31側之扣件腳部72在中途彎曲並大致沿後方向D12延伸。然後，左方向D31側之扣件腳部72在後方向D12側之端部朝右方向D32彎曲。接著，左方向D31側之扣件腳部72在其前端部連接於扣件基板承接部73之左方向D31側的端部。

左方向D31側之扣件腳部72，在中途之彎曲部中，特別構成彈性變形部721。該彈性變形部721在扣件基板承接部73接近蓋體3內側之面的方向(前方向D11)上受到外力時，可因應該外力彈性變形而使扣件基板承接部73位移。

另一方面，右方向D32側之扣件腳部72由右方向D32側沿右方向D32之縱框體71稍微朝後方向D12延伸。接著，右方向D32側之扣件腳部72在中途彎曲並大致沿後方向D12延伸。然後，右方向D32側之扣件腳部72在後方向D12側之端部朝左方向D31彎曲。接著，右方向D32側之扣件腳部72在其前端部連接於扣件基板承接部73之右方向D32側的端部。

右方向D32側之扣件腳部72，在中途之彎曲部中，與左方向D31側之扣件腳部72中的中途彎曲部同樣地構成彈性變形部721。該彈性變形部721在扣件基板承接部73接近蓋體3內側之面的方向(前方向D11)上受到外力時，可因應該外力彈性變形而使扣件基板承接部73位移。

左方向D31側之扣件基板承接部73的右方向D32側端部及右方向D32側之扣件基板承接部73的左方向D31側端部藉由連接部74互相連接。連接部74由連接於左方向D31側之扣件基板承接部73之右方向D32側端部的左方向D31側端部，立即朝前方向D11彎曲並大致沿前方向D11延伸。接著，連接部74彎曲並大致沿右方向D32延伸。然後，連接部74再彎曲但這次大致沿後方向D12延伸。接著，連接部74在其前端部大致朝右方向D32彎曲而連接於右方向D32側之扣件基板承接部73的左方向D31側端部。連接部74構成彈性變形部741。即，連接部74在扣件基板承接部73接近蓋體3內側之面的方向(前方向D11)上受到外力時，可因應該外力彈性變形而使扣件基板承接部73位移。

如上所述，在左右方向D3上成對地各配置2個之扣件基板承接部73係以沿上下方向D2排列25對之狀態設置。藉由將基板W收納於基板收納空間27內，並關閉蓋體3，扣件基板承接部73可往由容器本體2之另一端部向一端部之方向的前方向D11以預定位移量彈性地位移，以夾持並支持基板W之緣部的端緣。即，若基板W收納於基板收納空間27內，並關閉蓋體3，藉由前扣件7之彈性變形部721、741的彈性變形，扣件基板承接部73成為朝前方向D11稍微位移的狀態，但亦可由該狀態進一步朝前方向D11以預定位移量以下，換言之，以至多預定位移量，彈性地變形。因此，衝擊作用於容器本體2上時，基板W可與扣件基板承接部73一起朝前方向D11以預定位移量位移。預定位移量為大約1mm。

在上述結構之基板收納容器1中收納並搬送基板W時，基板緣部保護部222如以下地作用。 在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，並在衝擊作用於基板收納容器1之容器本體2或蓋體3上時，使基板緣部保護部222形成波狀之山223及谷224中的山223部分進入在上下方向D2上相鄰的基板W之緣部與基板W之緣部間，且，基板W之緣部遠離基板緣部保護部222，在基板W之緣部與基板緣部保護部222之間形成空間。因此，由於呈基板W之緣部與基板緣部保護部222未抵接之非接觸狀態，在基板W之緣部與基板緣部保護部222之間未產生粒子。

上下方向D2之衝擊主要作用在基板收納容器1之容器本體2或蓋體3上時，基板W之緣部抵接於該山223的部分，可阻止基板W由對向之谷224部分朝相鄰之谷224部分移動，以抑制所謂橫向槽之產生。

此外，前後方向D1之衝擊主要作用在基板收納容器1之容器本體2或蓋體3上時，基板W之緣部抵接該谷224之部分，即，形成保護溝225之底部2241的基板緣部保護部222部分，如圖4所示地，基板W之緣部沿溝形成面2221滑動地移動而吸收衝擊。藉此，可抑制基板W之緣部破損。

依據上述結構之實施形態的基板收納容器1，可獲得如下之效果。 如上所述，基板收納容器1包含：容器本體2，其具有在一端部形成容器本體開口部21而另一端部封閉之筒狀壁部20，並藉由壁部20之內面形成可收納多數基板W且連通於容器本體開口部21的基板收納空間27；蓋體3，其可相對容器本體開口部21裝附或脫離且可封閉容器本體開口部21；作為蓋體側基板支持部之前扣件7，其配置在蓋體3之部分，即在容器本體開口部21被蓋體3封閉時與基板收納空間27對向之部分，且在容器本體開口21部被蓋體3封閉時可支持多數基板W之緣部；內側基板支持部56，其在基板收納空間27內與前扣件7成對地配置，且可支持多數基板W之緣部，並在容器本體開口部21被蓋體3封閉時與前扣件7互相配合，使多數基板W之緣部並列的狀態下，支持多數基板W；及基板緣部保護部222，其形成有多數保護溝225，多數保護溝225具有比基板W之緣部的厚度寬而可插入基板W之緣部的開口，而至少在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，多數基板W之緣部可逐一插入多數保護溝225。基板W之緣部在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，在基板W之緣部與形成保護溝225的基板緣部保護部222之溝形成面2221間形成空間，使基板W之緣部不接觸溝形成面2221的非接觸狀態下，可插入保護溝225。

藉該結構，在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，可配置基板W之緣部，使形成基板緣部保護部222之保護溝225之山223部分及谷224部分中的山223部分配置在收納於基板收納空間27中之多數基板W中的相鄰基板W間。因此，衝擊作用在基板收納容器1之容器本體2或蓋體3上時，基板W之緣部可抵接於該山223之部分。藉此，可防止基板W之緣部強力地抵接於內壁22而抑制基板W之緣部的破損，且，可阻止一基板W朝與該一基板W對向之谷224部分相鄰的谷224部分移動，可抑制所謂橫向槽之產生。

此外，非常強之衝擊作用在基板收納容器1之容器本體2或蓋體3上時，基板W之緣部抵接於谷224之部分，並沿溝形成面2221滑動地移動而吸收並緩和衝擊。藉此，可抑制基板W之緣部之破損。

另外，基板W之緣部在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，在基板W之緣部與形成保護溝225的基板緣部保護部222之溝形成面2221間形成空間，使基板W之緣部不接觸溝形成面2221的非接觸狀態下，可插入保護溝225中，因此可抑制因基板緣部保護部222與基板W之緣部抵接而發生產生粒子之情形。

此外，基板收納容器1具有作為側方基板支持部之基板支持板狀部5，該基板支持板狀部5在基板收納空間27內成對地配置，且在容器本體開口部21未被蓋體3封閉時，在使多數基板W中相鄰之基板W以預定間隔分開排列的狀態下，可支持多數基板W之緣部。保護溝225具有一深度，該深度在容器本體開口部21未被蓋體3封閉且多數基板W之緣部被基板支持板狀部5支持時，使基板W之緣部未插入保護溝225，而在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，使基板W之緣部插入保護溝225。

藉由該結構，在容器本體開口部21未被蓋體3封閉時，可使基板緣部保護部222由基板W之緣部分開，且使基板W容易進出基板收納空間27，並可在基板W進出基板收納空間27時抑制粒子產生。

此外，作為蓋體側基板支持部之前扣件7在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，可往由容器本體2之另一端部向一端部的方向以預定位移量彈性地位移。保護溝225具有一深度，該深度在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，使基板W之緣部可往由容器本體2之一端部向另一端部的方向，以預定位移量以上的量插入保護溝225。

藉該結構，在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，在衝擊作用在基板收納容器1之容器本體2或蓋體3上時，藉由作為蓋體側基板支持部之前扣件7的彈性變形部721、741的彈性變形，扣件基板承接部73朝前方向D11位移，但即使以最大位移量之預定位移量位移時，如圖3所示地，亦可維持基板W之緣部插入保護溝225的狀態。結果，可有效地抑制所謂橫向槽之產生。

接著，一面參照圖5一面說明本發明第二實施形態之基板收納容器。圖5係顯示本發明第二實施形態之基板收納容器的保護溝225A與基板W之位置關係的放大剖面圖。

在第二實施形態之基板收納容器中，基板緣部保護部222A之結構與第一實施形態之基板收納容器1的基板緣部保護部222不同。基板緣部保護部222A與第一實施形態之基板收納容器1的基板緣部保護部222不同的是由具有彈性之構件構成。除此以外之結構與第一實施形態之基板收納容器1的結構相同，因此與第一實施形態之各結構相同的結構賦予相同之符號並省略說明。

基板緣部保護部222A宜由PP(聚丙烯)、POM(聚縮醛)、PBT(聚對苯二甲酸丁二酯)、彈性體等構成，而在本實施形態中使用POM。因此，基板緣部保護部222A比容器本體2更具有彈性。基板緣部保護部222A由與肋狀部221(請參照圖2)不同之材質構成，且藉由嵌入等相對於肋狀部221固定。

如圖5所示地，基板緣部保護部222A之保護溝225A具有大略矩形。即，形成保護溝225A之溝形成面2221A具有表面對向面部2222A、背面對向面部2223A及底面部2224A。表面對向面部2222A在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，具有大略平行於基板W之表面W1的位置關係，而表面對向面部2222A之一部分在連結表面W1與背面W2之方向的上下方向D2上與表面W1對向。

背面對向面部2223A在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，具有大略平行於基板W之背面W2的位置關係，而背面對向面部2223A之一部分在連結表面W1與背面W2之方向的上下方向D2上與背面W2對向。底面部2224A形成保護溝225A之底部2241A，且分別連接表面對向面部2222A及背面對向面部2223A。表面對向面部2222A及背面對向面部2223A，如圖5所示地，構成一對傾斜面，該對傾斜面以隨著由保護溝225A之底部2241A接近保護溝225A之開口2231A，開口2231A逐漸稍微變寬的方式稍微傾斜。

依據上述結構之實施形態的基板收納容器，可獲得如下之效果。 如上所述，溝形成面2221A具有：在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，在連結表面W1及背面W2之方向上與表面W1對向之表面對向面部2222A；及在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，在連結表面W1及背面W2之方向上與背面W2對向之背面對向面部2223A。而且，保護溝225A具有大略矩形，且表面對向面部2222A及背面對向面部2223A構成一對傾斜面，該對傾斜面以隨著由保護溝225A之底部2241A接近保護溝225A之開口2231A，開口2231A逐漸變寬的方式傾斜。藉該結構，可容易維持基板W插入大略矩形之保護溝225A的狀態，而更有效地抑制所謂橫向槽之產生。

此外，基板緣部保護部222A具有彈性。藉該結構，基板W之緣部抵接於基板緣部保護部222A時，基板緣部保護部222A可彈性變形而擋住基板W之緣部以緩和衝擊，可抑制基板W之緣部的破損。另外，基板W之緣部抵接於基板緣部保護部222A時，可成為基板W之緣部咬入基板緣部保護部222A的狀態。結果，可更有效地抑制所謂橫向槽之產生。 再者，本實施形態之保護溝225A，除了彈性體以外，亦可在申請專利範圍內進行由與如第一實施形態之容器本體相同之材質一體形成、安裝相同材質之另一構件、由與容器本體不同之材質作成等的適當變更。

接著，一面參照圖6一面說明本發明第三實施形態之基板收納容器。圖6係顯示本發明第三實施形態之基板收納容器的保護溝225B與基板W之位置關係的放大剖面圖。

在第三實施形態之基板收納容器中，基板緣部保護部222B之結構與第二實施形態之基板收納容器的基板緣部保護部222A不同。除此以外之結構與第二實施形態之基板收納容器的結構相同，因此與第二實施形態之各結構相同的結構賦予相同之符號並省略說明。

如圖6所示地，形成保護溝225B之溝形成面2221B的表面對向面部2222B構成一對傾斜面，且相較於背面對向面部2223B，該對傾斜面以隨著由保護溝225B之底部2241B(底面部2224B)接近保護溝225B之開口2231B，開口2231B逐漸變得更寬的方式傾斜。若設基板W之表面W1與表面對向面部2222B形成之角為a，而設基板W之表面W1與背面對向面部2223B形成之角為b，具有a＞b之關係。因此，由形成元件之基板W之表面W1到表面對向面部2222B的最短距離M1比由背面W2到背面對向面部2223B的最短距離N1長。

依據上述結構之實施形態的基板收納容器，可獲得如下之效果。 如上所述，若設基板W之表面W1與表面對向面部2222B形成之角為a，而設基板W之表面W1與背面對向面部2223B形成之角為b，具有a＞b之關係。而且，由表面W1到表面對向面部2222B的最短距離M1比由背面W2到背面對向面部2223B的最短距離N1長。藉該結構，可使表面對向面部2222B由形成元件之表面W1儘量分開。結果，可抑制因由表面對向面部2222B釋出之粒子，對形成元件之基板W之表面W1產生不良影響。 此外，本實施形態之保護溝225B，除了第二實施形態之彈性體以外，亦可在申請專利範圍內進行由與如第一實施形態之容器本體相同之材質一體形成、安裝相同材質之另一構件、由與容器本體不同之材質作成等的適當變更。

接著，一面參照圖7一面說明本發明第四實施形態之基板收納容器。圖7係顯示本發明第四實施形態之基板收納容器的保護溝225C與基板W之位置關係的放大剖面圖。

在第四實施形態之基板收納容器中，基板緣部保護部222C之結構與第三實施形態之基板收納容器的基板緣部保護部222B不同。除此以外之結構與第三實施形態之基板收納容器的結構相同，因此與第三實施形態之各結構相同的結構賦予相同之符號並省略說明。

如圖7所示地，形成保護溝225C之溝形成面2221C的表面對向面部2222C由曲面構成。表面對向面部2222C以隨著由底面部2224C(保護溝225C之底部2241C)緩緩地上升並接近水平面(平行於前後方向D1及左右方向D3之面)的方式，慢慢地彎曲上去，並延伸到保護溝225C之開口2231C。由於表面對向面部2222C具有如此之形狀，由形成元件之基板W之表面W1到表面對向面部2222C的最短距離M2比由背面W2到背面對向面部2223C的最短距離N2長。

依據上述結構之實施形態的基板收納容器，可獲得如下之效果。 形成保護溝225C之溝形成面2221C的表面對向面部2222C由曲面構成，且以隨著由底面部2224C緩緩地上升並接近水平的方式慢慢地彎曲上去，並延伸到保護溝225C之開口2231C。藉該結構，可確保由形成元件之基板W之表面W1到表面對向面部2222C的最短距離M2比較長。 此外，本實施形態之保護溝225C，除了第二實施形態或第三實施形態之彈性體以外，亦可在申請專利範圍內進行由與如第一實施形態之容器本體相同之材質一體形成、安裝相同材質之另一構件、由與容器本體不同之材質作成等的適當變更。

本發明不限於上述實施形態，可在申請專利範圍記載之技術範圍內變形。 例如，在本實施形態中，雖然組配成在容器本體開口部21未被蓋體3封閉時，基板W之緣部不插入保護溝225，而在容器本體開口部21被蓋體3封閉時，基板W之緣部插入保護溝225的狀態，但不限於此，只要至少在容器本體開口部被蓋體封閉時，可逐一插入多數基板之緣部即可。

此外，在第二實施形態、第三實施形態中，雖然表面對向面部2222A、2222B及背面對向面部2223A、2223B構成一對傾斜面，而該對傾斜面以隨著由保護溝225A、225B之底部2241A、2241B接近保護溝225A、225B之開口2231A、2231B，開口2231A、2231B逐漸變寬的方式傾斜，但不限於該結構。只要表面對向面部與背面對向面部構成至少一對傾斜面，而該對傾斜面以隨著由保護溝之底部接近保護溝之開口，開口逐漸變寬的方式傾斜即可。

此外，在第三實施形態中，雖然若設基板W之表面W1與表面對向面部2222B形成之角為a，而設基板之表面與背面對向面部2223B形成之角為b，具有a＞b之關係，但不限於該結構。例如，亦可在設基板之背面與表面對向面部形成之角為a，而設基板之背面與背面對向面部形成之角為b時，具有a＞b之關係。

此外，在本實施形態中，雖然形成元件之基板W的表面W1為上面，且未形成元件之基板W的背面W2為下面，但不限於此。例如，亦可形成元件之基板W的表面W1為下面，且未形成元件之基板W的背面W2為上面。但是，在此情形中，組配成在保護溝中具有表面對向面部相對於背面對向面部位於下方之位置關係(例如，圖6、圖7所示之保護溝225B、225C具有在圖6、圖7中左右相反的位置關係，使表面對向面部2222B、2222C在圖6、圖7中位於背面對向面部2223B、2223C右側)。

此外，容器本體及蓋體之形狀、可收納於容器本體之基板W片數及尺寸等不限於本實施形態之容器本體2及蓋體3之形狀、可收納於容器本體2之基板W片數及尺寸等。例如，在本實施形態中，本實施形態之基板W雖然是直徑300mm之矽晶圓，但不限於此。基板亦可為直徑450mm之矽晶圓。

1‧‧‧基板收納容器
2‧‧‧容器本體
3‧‧‧蓋體
4‧‧‧密封構件
5‧‧‧基板支持板狀部
7‧‧‧前扣件
20‧‧‧壁部
21‧‧‧容器本體開口部
22‧‧‧內壁
23‧‧‧上壁
24‧‧‧下壁
25‧‧‧第一側壁
26‧‧‧第二側壁
27‧‧‧基板收納空間
28‧‧‧開口周緣部
32A‧‧‧上側閂鎖部
32B‧‧‧上側閂鎖部
32C‧‧‧下側閂鎖部
32D‧‧‧下側閂鎖部
33‧‧‧操作部
40A‧‧‧閂鎖卡合凹部
40B‧‧‧閂鎖卡合凹部
41A‧‧‧閂鎖卡合凹部
41B‧‧‧閂鎖卡合凹部
51‧‧‧板部
52‧‧‧板部支持部
56‧‧‧內側基板支持部
71‧‧‧縱框體
72‧‧‧扣件腳部
73‧‧‧扣件基板承接部
74‧‧‧連接部
221‧‧‧肋狀部
222‧‧‧基板緣部保護部
222A‧‧‧基板緣部保護部
222B‧‧‧基板緣部保護部
222C‧‧‧基板緣部保護部
2221‧‧‧溝形成面
2221A‧‧‧溝形成面
2221B‧‧‧溝形成面
2221C‧‧‧溝形成面
2222A‧‧‧表面對向面部
2222B‧‧‧表面對向面部
2222C‧‧‧表面對向面部
2223A‧‧‧背面對向面部
2223B‧‧‧背面對向面部
2223C‧‧‧背面對向面部
2224A‧‧‧底面部
2224B‧‧‧底面部
2224C‧‧‧底面部
223‧‧‧山
2231‧‧‧開口
2231A‧‧‧開口
2231B‧‧‧開口
2231C‧‧‧開口
224‧‧‧谷
2241‧‧‧底部
2241A‧‧‧底部
2241B‧‧‧底部
2241C‧‧‧底部
225‧‧‧保護溝
225A‧‧‧保護溝
225B‧‧‧保護溝
225C‧‧‧保護溝
235‧‧‧肋部
236‧‧‧頂凸緣
281‧‧‧密封面
341‧‧‧扣件卡止部
511‧‧‧凸部
512‧‧‧凸部
721‧‧‧彈性變形部
741‧‧‧彈性變形部
D1‧‧‧前後方向
D11‧‧‧前方向
D12‧‧‧後方向
D2‧‧‧上下方向
D21‧‧‧上方向
D22‧‧‧下方向
D3‧‧‧左右方向
D31‧‧‧左方向
D32‧‧‧右方向
L1‧‧‧假想線
M1‧‧‧由表面到表面對向部之最短距離
M2‧‧‧由表面到表面對向部之最短距離
N1‧‧‧由背面到背面對向部之最短距離
N2‧‧‧由背面到背面對向部之最短距離
W‧‧‧基板
W1‧‧‧表面
W2‧‧‧背面

[圖1]係顯示基板W收納於本發明第一實施形態之基板收納容器1中之情形的分解立體圖。 [圖2]係顯示本發明第一實施形態之基板收納容器1與基板W之位置關係的平面剖面圖。 [圖3]係沿圖2之A-A線作成之放大剖面圖。 [圖4]係顯示基板W之緣部抵接於本發明第一實施形態之基板收納容器1的基板緣部保護部222的谷224之情形的放大剖面圖。 [圖5]係顯示本發明第二實施形態之基板收納容器的保護溝225A與基板W之位置關係的放大剖面圖。 [圖6]係顯示本發明第三實施形態之基板收納容器的保護溝225B與基板W之位置關係的放大剖面圖。 [圖7]係顯示本發明第四實施形態之基板收納容器的保護溝225C與基板W之位置關係的放大剖面圖。

222‧‧‧基板緣部保護部

2221‧‧‧溝形成面

223‧‧‧山

2231‧‧‧開口

224‧‧‧谷

2241‧‧‧底部

225‧‧‧保護溝

D1‧‧‧前後方向

D11‧‧‧前方向

D12‧‧‧後方向

D2‧‧‧上下方向

D21‧‧‧上方向

D22‧‧‧下方向

L1‧‧‧假想線

W‧‧‧基板

W1‧‧‧表面

W2‧‧‧背面

Claims (6)

1. 一種基板收納容器，包含： 容器本體，其具有在一端部形成容器本體開口部而另一端部封閉之筒狀壁部，並藉由該壁部之內面形成可收納多數基板且連通於該容器本體開口部的基板收納空間； 蓋體，其可相對於該容器本體開口部裝附或脫離，且可封閉該容器本體開口部； 蓋體側基板支持部，其為該蓋體之一部分，在該容器本體開口部被該蓋體封閉時配置在與該基板收納空間對向之部分，且在該容器本體開口部被該蓋體封閉時可支持該多數基板之緣部； 內側基板支持部，其在該基板收納空間內與該蓋體側基板支持部成對地配置，且可支持該多數基板之緣部，並於該容器本體開口部被該蓋體封閉時，與該蓋體側基板支持部協同，在使該多數基板之緣部並列的狀態下，支持該多數基板；及 基板緣部保護部，其形成有多數保護溝，該多數保護溝具有比該基板之緣部的厚度更寬而可插入該基板之緣部的開口，而至少在該容器本體開口部被該蓋體封閉時，該多數基板之緣部可逐一插入該多數保護溝， 該基板之緣部在該容器本體開口部被該蓋體封閉時，在該基板之緣部與形成該保護溝的該基板緣部保護部的溝形成面之間形成空間，使該基板之緣部不接觸該溝形成面的非接觸狀態下，可插入該保護溝。
2. 如申請專利範圍第1項之基板收納容器，其中更具有側方基板支持部，該側方基板支持部在該基板收納空間內成對地配置，且在該容器本體開口部未被該蓋體封閉時，可在使該多數基板中相鄰之基板以預定間隔分開排列的狀態下，支持該多數基板之緣部， 該保護溝具有一深度，該深度在該容器本體開口部未被該蓋體封閉且該多數基板之緣部被該側方基板支持部支持時，使該基板之緣部未插入該保護溝；而在該容器本體開口部被該蓋體封閉時，使該基板之緣部插入該保護溝。
3. 如申請專利範圍第1或2項之基板收納容器，其中， 該基板具有形成元件之表面及相對於該表面之背面， 該溝形成面具有： 表面對向面部，其在該容器本體開口部被該蓋體封閉時，在連結該表面與背面之方向上與該表面對向；及 背面對向面部，其在該容器本體開口部被該蓋體封閉時，在連結該表面與背面之方向上與該背面對向， 由該表面到該表面對向面部之最短距離比由該背面到該背面對向面部之最短距離更長。
4. 如申請專利範圍第3項之基板收納容器，其中該表面對向面部及該背面對向面部構成至少一對傾斜面，該至少一對傾斜面以自該保護溝之底部越接近該保護溝之開口該開口越變寬的方式傾斜， 若令該基板之表面或背面中之任一面與該表面對向面部形成之角為a，且令該基板之該一面與該背面對向面部形成之角為b，則具有a＞b之關係， 在該容器本體開口部被該蓋體封閉時，該基板之緣部在該基板之半徑方向外側，與該保護溝之底部對向。
5. 如申請專利範圍第1或2項之基板收納容器，其中該蓋體側基板支持部在該容器本體開口部被該蓋體封閉時，可朝由該容器本體之該另一端部向該一端部的方向以預定位移量彈性地位移， 該保護溝具有一深度，該深度在該容器本體開口部被該蓋體封閉時，使該基板之緣部可朝由該容器本體之該一端部向該另一端部的方向，以該預定位移量以上的量插入該保護溝。
6. 如申請專利範圍第1或2項之基板收納容器，其中該基板緣部保護部具有彈性。