TWI749205B

TWI749205B - 基板收納容器

Info

Publication number: TWI749205B
Application number: TW107111616A
Authority: TW
Inventors: 佐藤恭兵
Original assignee: 日商未來兒股份有限公司
Priority date: 2017-04-05
Filing date: 2018-04-02
Publication date: 2021-12-11
Also published as: US11101155B2; KR102354123B1; CN110574152A; TW201838042A; JP6854341B2; KR20190137809A; US20200051841A1; JPWO2018185894A1; WO2018185894A1; CN110574152B

Abstract

本發明具有：下側基板引導傾斜面(733)，與下側傾斜面(731)的下端部連接，相比於下側傾斜面(731)的傾斜，以與上下方向(D2)所成的角度更小的方式傾斜，上下方向(D2)與多個基板排列的排列的方向一致；以及上側基板引導傾斜面(734)，與上側傾斜面(732)的上端部連接，相比於上側傾斜面(732)的傾斜，以與上下方向(D2)所成的角度更小的方式傾斜。在容器主體開口部被蓋體封閉時的V形槽(703)延伸的方向上，隨著接近容器主體開口部的中央，下側基板引導傾斜面(733)的上下方向(D2)上的長度變長。

Description

基板收納容器

本發明涉及收納、保管、搬運、輸送由半導體晶片等構成的基板等時使用的基板收納容器。

作為用於收納並搬運由半導體晶片構成的基板的基板收納容器，具備容器主體和蓋體的裝置已被公眾所知（例如參照專利文獻1、專利文獻2、專利文獻3）。

容器主體的一端部具有形成有容器主體開口部的開口周緣部。容器主體的另一端部具有封閉的筒狀的壁部。容器主體內形成有基板收納空間。基板收納空間由壁部包圍形成，能夠收納多個基板。蓋體相對於開口周緣部可裝拆，能夠封閉容器主體開口部。側方基板支承部以在基板收納空間內成對的方式設置在壁部上。當容器主體開口部未被蓋體封閉時，側方基板支承部能夠在使相鄰的基板彼此以規定的間隔分開排列的狀態下支承多個基板的邊緣部。

在作為蓋體一部分的、當封閉容器主體開口部時與基板收納空間相對的部分上，設有前部保持構件。前部保持構件具有：蓋體側基板承接部，與基板直接抵接並支承基板；以及蓋體側腳部，支承蓋體側基板承接部，當容器主體開口部被蓋體封閉時，前部保持構件能夠支承多個基板的邊緣部。此外，後側基板支承部以與前部保持構件成對的方式設置在壁部上。後側基板支承部能夠支承多個基板的邊緣部。當容器主體開口部被蓋體封閉時，後側基板支承部通過與前部保持構件協同動作支承多個基板，由此在使相鄰的基板彼此以規定的間隔分開排列的狀態下保持多個基板。

現有技術文獻

專利文獻1：日本專利公開公報特開2015-135881號

專利文獻2：日本專利公表公報特表2013-540372號

專利文獻3：日本專利公開公報實開平2-106831號

在所述公報記載的基板收納容器中，當容器主體開口部被蓋體封閉時，在前部保持構件容易發生基板的引導不良，即，容易發生基板進入相鄰的多個蓋體側基板承接部之間而成為基板脫落的狀態。

本發明的目的是提供能夠抑制前部保持構件的基板的引導不良的基板收納容器。

本發明的基板收納容器，其包括：容器主體，具備筒狀的壁部，所述壁部在一端部具有形成容器主體開口部的開口周緣部，另一端部封閉，由所述壁部的內表面形成基板收納空間，所述基板收納空間能夠收納多個基板並與所述容器主體開口部連通；蓋體，相對於所述容器主體開口部可裝拆，能夠封閉所述容器主體開口部；側方基板支承部，在所述基板收納空間內以成對的方式配置，當所述容器主體開口部未被所述蓋體封閉時，能夠在將所述多個基板中的相鄰的基板彼此以規定的間隔分開排列的狀態下，支承所述多個基板的邊緣部；蓋體側基板支承部，當所述容器主體開口部被所述蓋體封閉時，配置在與所述基板收納空間相對的所述蓋體部分上，能夠支承所述多個基板的邊緣部；以及後側基板支承部，在所述基板收納空間內以與所述蓋體側基板支承部成對的方式配置，能夠支承所述多個基板的邊緣部，當所述容器主體開口部被所述蓋體封閉時，與所述蓋體側基板支承部協同動作，能夠支承所述多個基板，所述蓋體側基板支承部具備：蓋體側基板承接部，與所述基板直接抵接，支承所述基板；以及蓋體側腳部，支承所述蓋體側基板承接部，所述蓋體側基板承接部具有：下側傾斜面，以從所述基板收納空間的中心離開的方式傾斜延伸；上側傾斜面，以接近所述基板收納空間的中心的方式從所述下側傾斜面的上端部傾斜延伸；下側基板引導傾斜面，與所述下側傾斜面的下端部連接，相比於所述下側傾斜面的傾斜，以與上下方向所成的角度更小的方式傾斜，所述上下方向與所述多個基板排列的排列方向一致；以及上側基板引導傾斜面，與所述上側傾斜面的上端部連接，相比於所述上側傾斜面的傾斜，以與所述上下方向所成的角度更小的方式傾斜，當所述容器主體開口部被所述蓋體封閉時，所述下側傾斜面和所述上側傾斜面與所述基板抵接，在由所述下側傾斜面和所述上側傾斜面形成的槽中支承所述基板，在所述容器主體開口部被所述蓋體封閉時的所述槽延伸的方向上，隨著接近所述容器主體開口部的中央，所述下側基板引導傾斜面的所述上下方向上的長度變長。

此外，優選的是，在從所述容器主體的一端部朝向另一端部的方向上觀察時，所述蓋體側基板承接部具有平行四邊形的形狀。

按照本發明，能夠提供能抑制發生前部保持構件的基板引導不良的基板收納容器。

以下，參照附圖說明本實施方式的基板收納容器1。

圖1是表示本發明實施方式的基板收納容器1中收納有多個基板W的狀態的分解立體圖。圖2是表示本發明實施方式的基板收納容器1的容器主體2的立體圖。圖3是表示本發明實施方式的基板收納容器1的蓋體3的立體圖。

在此，為了便於說明，將從後述的容器主體2朝向蓋體3的方向（從圖1中的右上朝向左下的方向）定義為向前方向D11，將向前方向D11相反的方向定義為向後方向D12，將向前方向D11和向後方向D12合起來定義為前後方向D1。此外，將從後述的下壁24朝向上壁23的方向（圖1中的向上方向）定義為向上方向D21，將向上方向D21的相反的方向定義為向下方向D22，將向上方向D21和向下方向D22合起來定義為上下方向D2。此外，將從後述的第二側壁26朝向第一側壁25的方向（從圖1中的右下朝向左上的方向）定義為向左方向D31，將向左方向D31的相反的方向定義為向右方向D32，將向左方向D31和向右方向D32合起來定義為左右方向D3。在主要的附圖中，圖示了表示這些方向的箭頭。

此外，基板收納容器1中收納的基板W（參照圖1）是圓盤狀的矽晶片、玻璃晶片、藍寶石晶片等，是用於工業的薄晶片。本實施方式中的基板W是直徑300mm的矽晶片。

如圖1所示，基板收納容器1收納由所述的矽晶片構成的基板W，用作通過陸地運輸手段、空運手段、海運手段等輸送手段輸送基板W的發貨容器，基板收納容器1包括容器主體2和蓋體3。容器主體2具備作為側方基板支承部的基板支承板狀部5和後側基板支承部6（參照圖2等），蓋體3具備作為蓋體側基板支承部的前部保持構件7（參照圖3等）。

容器主體2具有在一端部形成有容器主體開口部21、另一端部封閉的筒狀的壁部20。在容器主體2內形成基板收納空間27。基板收納空間27由壁部20包圍形成。在作為壁部20一部分的、形成基板收納空間27的部分，配置有基板支承板狀部5。如圖1所示，基板收納空間27能夠收納多個基板W。

基板支承板狀部5在基板收納空間27內以成對的方式設置在壁部20上。當容器主體開口部21未被蓋體3封閉時，基板支承板狀部5通過與多個基板W的邊緣部抵接，能夠在使相鄰的基板W彼此以規定的間隔分開排列的狀態下支承多個基板W的邊緣部。在基板支承板狀部5的後側，與基板支承板狀部5一體成形地設有後側基板支承部6。

後側基板支承部6（參照圖2等）在基板收納空間27內以與後述的前部保持構件7（參照圖3等）成對的方式設置在壁部20上。當容器主體開口部21被蓋體3封閉時，後側基板支承部6通過與多個基板W的邊緣部抵接，能夠支承多個基板W的邊緣部的後部。

蓋體3相對於形成容器主體開口部21的開口周緣部28（圖1等）可裝拆，能夠封閉容器主體開口部21。前部保持構件7設置在作為蓋體3一部分的、當容器主體開口部21被蓋體3封閉時與基板收納空間27相對的部分上。前部保持構件7在基板收納空間27的內部以與後側基板支承部6成對的方式配置。

當容器主體開口部21被蓋體3封閉時，前部保持構件7通過與多個基板W的邊緣部抵接，能夠支承多個基板W的邊緣部的前部。當容器主體開口部21被蓋體3封閉時，前部保持構件7通過與後側基板支承部6協同動作支承多個基板W，在使相鄰的基板W彼此以規定的間隔分開排列的狀態下保持基板W。

基板收納容器1由塑膠材質等樹脂構成，在沒有特別說明的情況下，作為其材料的樹脂，例如可以列舉聚碳酸酯、環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺、聚醚酮、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、液晶聚合物等熱塑性樹脂及它們的合金等。在對所述的成形材料的樹脂賦予導電性的情況下，選擇性地添加碳纖維、碳粉末、碳奈米管、導電性聚合物等導電性物質。此外，為了提高剛性，還可以添加玻璃纖維和碳纖維等。

以下，具體說明各部分。

圖4是表示本發明實施方式的基板收納容器1的前部保持構件7的立體圖。圖5是表示本發明實施方式的基板收納容器1的前部保持構件7的主視圖。圖6是表示本發明實施方式的基板收納容器1的前部保持構件7的側視斷面圖。圖7是表示本發明實施方式的基板收納容器1的前部保持構件基板承接部73的放大斷面圖。

如圖1所示，容器主體2的壁部20具有後壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25和第二側壁26。後壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25和第二側壁26由所述的材料構成並一體成形。

第一側壁25和第二側壁26相對，上壁23和下壁24相對。上壁23的後端、下壁24的後端、第一側壁25的後端和第二側壁26的後端全都與後壁22連接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一側壁25的前端和第二側壁26的前端構成開口周緣部28，開口周緣部28形成具有與後壁22相對的位置關係且呈大體長方形的容器主體開口部21。

開口周緣部28設置在容器主體2的一端部，後壁22位於容器主體2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主體2的外形為箱形。壁部20的內表面亦即後壁22的內表面、上壁23的內表面、下壁24的內表面、第一側壁25的內表面和第二側壁26的內表面形成被它們包圍的基板收納空間27。由開口周緣部28形成的容器主體開口部21，與由壁部20包圍並形成在容器主體2的內部的基板收納空間27連通。基板收納空間27中最多能夠收納25個基板W。

如圖1所示，在作為上壁23和下壁24一部分的、開口周緣部28附近的部分上形成有朝向基板收納空間27的外側凹入的插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B。插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B在上壁23和下壁24的左右兩端部附近各形成有1個，合計形成有4個。

如圖1所示，在上壁23的外表面上，與上壁23一體成形地設置有肋235。肋235提高了容器主體2的剛性。此外，在上壁23的中央部固定有頂部凸緣236。當在自動晶片輸送系統（AMHS）、晶片基板輸送台車（PGV）等中懸掛基板收納容器1時，頂部凸緣236在基板收納容器1中成為被懸掛的部分。

基板支承板狀部5分別設在第一側壁25和第二側壁26上，是在左右方向D3上以成對的方式配置在基板收納空間27內的內置件。具體地說，如圖2所示，基板支承板狀部5具有板部51和作為板部支承部的支承壁52。板部51和支承壁52由樹脂材料一體成形，板部51被支承壁52支承。

板部51為板狀的大體弧形。板部51在第一側壁25、第二側壁26上，在上下方向D2上各設置有25個，合計設置有50個。相鄰的板部51在上下方向D2上以10mm～12mm間隔彼此分開且以平行的位置關係配置。另外，在位於最上部的板部51的上方還配置有一個與板部51平行的未圖示的板狀構件，該構件對於位於最上方向基板收納空間27內插入的基板W而言，發揮插入時的引導作用。

此外，設置在第一側壁25上的25個板部51以及設置在第二側壁26上的25個板部51，彼此具有在左右方向D3上相對的位置關係。此外，50個板部51以及與板部51平行的板狀的發揮引導作用的未圖示的構件，具有與下壁24的內表面平行的位置關係。如圖2等所示，在板部51的上表面設有凸部511、512。支承在板部51上的基板W，僅接觸凸部511、512的突出端，不與板部51面接觸。

支承壁52具有在上下方向D2和大致前後方向D1上延伸的板狀。支承壁52在板部51的長邊方向上具有規定的長度，與板部51的側端部邊緣連接。板狀的支承壁52沿板部51的外側端部邊緣向基板收納空間27彎曲。

即，設置在第一側壁25上的25個板部51與設置在第一側壁25側上的支承壁52連接。同樣地，設置在第二側壁26上的25個板部51與設置第二側壁26側上的支承壁52連接。支承壁52分別固定在第一側壁25、第二側壁26上。

這樣構成的基板支承板狀部5能夠在將多個基板W中的相鄰的基板W彼此以規定的間隔分開的狀態下且成為彼此平行的位置關係的狀態下，支承多個基板W的邊緣部。

如圖2所示，後側基板支承部6具有後側端部邊緣支承部60。後側端部邊緣支承部60在基板支承板狀部5的板部51的後端部，與板部51和支承壁52一體成形。因此，作為側方基板支承部的基板支承板狀部5和後側基板支承部6，在容器主體2的內部構成與容器主體2固定結合的一個內置件。

後側端部邊緣支承部60的個數與基板收納空間27中能夠收納的每一個基板W對應，具體地說，設有25個後側端部邊緣支承部60。配置在第一側壁25和第二側壁26上的後側端部邊緣支承部60，在前後方向D1上具有與後述的前部保持構件7成對的位置關係。

後側端部邊緣支承部60具有下側傾斜面611和上側傾斜面612，由此形成大體V形槽。當容器主體開口部21被蓋體3封閉時，基板W相對於下側傾斜面611滑動並逐漸升高，當基板W的邊緣部與上側傾斜面612抵接時，基板W的邊緣部被後側端部邊緣支承部60支承。

如圖1等所示，蓋體3具有與容器主體2的開口周緣部28的形狀大體一致的大體長方形形狀。蓋體3相對於容器主體2的開口周緣部28可裝拆，通過將蓋體3安裝到開口周緣部28，蓋體3能夠封閉容器主體開口部21。在作為蓋體3的內表面（圖1所示的蓋體3的裡側的面）的、與形成在蓋體3封閉容器主體開口部21時在向後方向D12上緊靠開口周緣部28的位置處的臺階部分的面（密封面281）相對的面上，安裝有環狀的密封構件4。密封構件4由能夠彈性變形的聚酯系、聚烯烴系等各種熱塑性彈性體、氟橡膠製品、矽橡膠製品等構成。密封構件4以環繞蓋體3的外周緣部一周的方式配置。

當蓋體3安裝在開口周緣部28時，密封構件4被密封面281和蓋體3的內表面夾持而彈性變形，蓋體3以密閉的狀態封閉容器主體開口部21。通過從開口周緣部28取下蓋體3，能夠相對於容器主體2內的基板收納空間27取放基板W。

在蓋體3上設有插銷機構。如圖1所示，插銷機構設置在蓋體3的左右兩端部附近，具備：兩個上側插銷部32A，能夠從蓋體3的上邊朝向上方向D21突出；以及兩個下側插銷部32B，能夠從蓋體3的下邊朝向下方向D22突出。兩個上側插銷部32A配置在蓋體3的上邊的左右兩端附近，兩個下側插銷部32B配置在蓋體3的下邊的左右兩端附近。

在蓋體3的外表面上設有操作部33。通過從蓋體3的前側操作操作部33，能夠使上側插銷部32A、下側插銷部32B分別從蓋體3的上邊、下邊突出，此外可以使上側插銷部32A、下側插銷部32B成為不從上邊、下邊突出的狀態。使上側插銷部32A從蓋體3的上邊朝向上方向D21突出並與容器主體2的插銷卡合凹部231A、231B卡合，並且使下側插銷部32B從蓋體3的下邊朝向下方向D22突出並與容器主體2的插銷卡合凹部241A、241B卡合，由此將蓋體3固定在容器主體2的開口周緣部28。

如圖3所示，在蓋體3的內側，形成有向基板收納空間27的外側凹入的凹部34。在凹部34內側的蓋體3的部分上，固定設有前部保持構件7。

前部保持構件7具有作為蓋體側基板承接部的前部保持構件基板承接部73。前部保持構件基板承接部73在左右方向D3上以按規定的間隔分開成對的方式兩個兩個地配置。以成對的方式兩個兩個配置的前部保持構件基板承接部73，在上下方向D2上以排列有25對的狀態設置，並分別由能夠彈性變形的作為蓋體側腳部的腳部72支承。在腳部72的端部，與腳部72一體成形地設有沿上下方向D2平行延伸的縱框體71。通過在基板收納空間27內收納基板W並關閉蓋體3，前部保持構件基板承接部73利用腳部72的彈性力，以向基板收納空間27的中心施加作用力的狀態夾持並支承基板W的邊緣部的端部邊緣。

具體地說，如圖7所示，前部保持構件基板承接部73具有下側傾斜面731和上側傾斜面732。

當容器主體開口部21被蓋體3封閉時，下側傾斜面731與基板W的背面的端部邊緣抵接。上側傾斜面732與基板W的表面的端部邊緣抵接。具體地說，下側傾斜面731由以隨著朝向上方向D21前進在前後方向D1上遠離基板收納空間27的中心的方式傾斜延伸的傾斜面構成。上側傾斜面732由以隨著朝向上方向D21上前進在前後方向D1上接近基板收納空間27的中心的方式傾斜延伸的傾斜面構成。下側傾斜面731和上側傾斜面732形成V形槽703，V形槽703是以從基板收納空間27的中心離開的方式凹陷的凹槽，並在左右方向D3上延伸。

此外，前部保持構件基板承接部73具有下側基板引導傾斜面733和上側基板引導傾斜面734。下側基板引導傾斜面733與下側傾斜面731的下端部連接，朝向大體向下方向傾斜延伸。相比於下側傾斜面731的傾斜，下側基板引導傾斜面733以與上下方向D2所成的角度更小的方式傾斜。即，如圖7所示，下側基板引導傾斜面733以隨著遠離V形槽703的頂點使V形槽703擴展的方式傾斜。

上側基板引導傾斜面734與上側傾斜面732的上端部連接，朝向大體向上方向傾斜延伸，相比於上側傾斜面732的傾斜，上側基板引導傾斜面734以與上下方向D2所成的角度更小的方式傾斜。即，如圖7所示，上側基板引導傾斜面734以隨著遠離V形槽703的頂點使V形槽703擴展的方式傾斜。

如圖5等所示，當從容器主體2的一端部朝向另一端部的方向觀察時亦即當後視觀察時，前部保持構件基板承接部73具有平行四邊形形狀。即，具有一對短邊和一對長邊。在圖5所示的後視圖中，一對短邊具有與上下方向D2平行的位置關係。此外，在圖5所示的後視圖中，一對長邊具有與左右方向D3成規定的角度的位置關係，在作為容器主體開口部21被蓋體3封閉時的V形槽703延伸的方向的左右方向D3上，隨著接近容器主體開口部21的中央亦即隨著接近圖5中的前部保持構件7的中央，下側基板引導傾斜面733的上下方向D2的長度朝向下方向D22變長。

此外，由於所述的前部保持構件基板承接部73具有平行四邊形形狀，所以上側基板引導傾斜面734隨著遠離前部保持構件7的中央朝向上方向D21延伸，但是左側（圖5所示的右側）的前部保持構件基板承接部73的上側基板引導傾斜面734的左端部具有實施有倒角735的形狀，所述倒角735隨著從規定的位置進一步朝向左方向D31去上下方向D2上的寬度變短。同樣地，右側（圖5所示的左側）的前部保持構件基板承接部73的上側基板引導傾斜面734的右端部具有實施有倒角735的形狀，所述倒角735隨著從規定的位置進一步朝向右方向D32去上下方向D2上的寬度變短。

接下來，說明在所述的基板收納容器1中，向基板收納空間27收納基板W，並用蓋體3封閉容器主體開口部21時的動作。圖8是表示在本發明實施方式的基板收納容器1的前部保持構件基板承接部73的V形槽703中插入基板W的狀態的示意圖。

首先，如圖1所示，以使前後方向D1和左右方向D3成為與水平面平行的位置關係的方式配置容器主體2。接著，將多個基板W分別承載在基板支承板狀部5的板部51的凸部511、512上。

接下來，使蓋體3靠近容器主體開口部21，使基板W與前部保持構件7的前部保持構件基板承接部73抵接。而後，如圖8所示，如果使蓋體3進一步靠近容器主體開口部21，則由於基板W的邊緣部的背面的端部邊緣，與在上下方向D2上較長地形成的下側基板引導傾斜面733相對，所以與下側基板引導傾斜面733抵接，向圖8中用箭頭表示的方向滑動並被引導。而後，如果到達下側傾斜面731，則基板W的邊緣部的背面的端部邊緣與下側傾斜面731抵接，相對於下側傾斜面731滑動並逐漸升高。同樣地，在後側端部邊緣支承部60中，如果基板W到達未圖示的下側傾斜面611，則基板W的邊緣部的背面的端部邊緣與後側端部邊緣支承部60的下側傾斜面611抵接，並相對於下側傾斜面611滑動並逐漸升高。

而後，當基板W到達V形槽703的頂點位置時，基板W的背面的端部邊緣、表面的端部邊緣，分別與下側傾斜面731、上側傾斜面732抵接，基板W的邊緣部被V形槽703支承。同樣地，基板W的背面的端部邊緣、表面的端部邊緣，分別與後側端部邊緣支承部60的下側傾斜面611、上側傾斜面612抵接，由此被後側端部邊緣支承部60支承。

按照所述結構的本實施方式的基板收納容器1，能夠得到下述效果。

如上所述，基板收納容器1包括：容器主體2，具有筒狀的壁部20，所述壁部20在一端部具有形成容器主體開口部21的開口周緣部28，另一端部封閉，由壁部20的內表面形成基板收納空間27，所述基板收納空間27能夠收納多個基板W並與容器主體開口部21連通；蓋體3，相對於容器主體開口部21可裝拆，能夠封閉容器主體開口部21；作為側方基板支承部的基板支承板狀部5，在基板收納空間27內以成對的方式配置，當容器主體開口部21未被蓋體3封閉時，能夠在將多個基板W中的相鄰的基板W彼此以規定的間隔分開排列的狀態下，支承多個基板W的邊緣部；作為蓋體側基板支承部的前部保持構件7，當容器主體開口部21被蓋體3封閉時，配置在與基板收納空間27相對的蓋體3部分上，能夠支承多個基板W的邊緣部；以及後側基板支承部6，在基板收納空間27內以與前部保持構件7成對的方式配置，能夠支承多個基板W的邊緣部，當容器主體開口部21被蓋體3封閉時，與前部保持構件7協同動作，能夠支承多個基板W。

前部保持構件7具備：作為蓋體側基板承接部的前部保持構件基板承接部73，與基板W直接抵接並支承基板W；以及作為蓋體側腳部的腳部72，支承前部保持構件基板承接部73。

前部保持構件基板承接部73具有：下側傾斜面731，以從基板收納空間27的中心離開的方式傾斜延伸；上側傾斜面732，以接近基板收納空間27的中心的方式從下側傾斜面731的上端部傾斜延伸；下側基板引導傾斜面733，與下側傾斜面731的下端部連接，相比於下側傾斜面731的傾斜，以與上下方向D2所成的角a更小的方式傾斜，所述上下方向D2與多個基板W排列的排列方向一致；以及上側基板引導傾斜面734，與上側傾斜面732的上端部連接，相比於上側傾斜面732的傾斜，以與上下方向D2所成的角b更小的方式傾斜。

當容器主體開口部21被蓋體3封閉時，下側傾斜面731和上側傾斜面732與基板W抵接，在由下側傾斜面731和上側傾斜面732形成的V形槽703中支承基板W。

在容器主體開口部21被蓋體3封閉時的V形槽703延伸的方向上，隨著接近容器主體開口部21的中央，下側基板引導傾斜面733的上下方向D2上的長度變長。

按照該結構，下側基板引導傾斜面733朝向下方向D22擴大。由此，當封閉蓋體3時，容易使基板W的邊緣部的背面的端部邊緣與下側基板引導傾斜面733抵接。其結果，能夠使蓋體3通過下側基板引導傾斜面733容易地成為與下側傾斜面731抵接的狀態，能夠可靠地將基板W向V形槽703引導。由此，能夠降低在前部保持構件7中基板W的引導不良，即，能夠降低基板W進入相鄰的多個前部保持構件基板承接部73之間而成為基板脫落的狀態。因此，在用手動封閉蓋體3時，無需擔心基板W的引導不良，能夠提高作業性。

此外，在作為從容器主體2的一端部朝向另一端部的方向（向前方向D11）的後視觀察時，前部保持構件基板承接部73具有平行四邊形的形狀。按照該結構，能夠在不擴展在上下方向D2上相鄰的V形槽703與V形槽703的間隔的情況下，朝向下方向D22擴大下側基板引導傾斜面733。因此，當用蓋體3封閉容器主體開口部21時，能夠使V形槽703中被支承的基板W的位置成為與未擴大下側基板引導傾斜面733的以往的結構相同的位置。

本發明不限於所述的實施方式，在權利要求的技術範圍內可以進行各種變形。

例如，容器主體和蓋體的形狀、容器主體中能夠收納的基板W的個數和尺寸，不限於本實施方式中的容器主體2和蓋體3的形狀、容器主體2中能夠收納的基板W的個數和尺寸。即，側方基板支承部、蓋體側基板支承部和後側基板支承部的結構，不限於基板支承板狀部5、前部保持構件7和後側基板支承部6的結構。此外，本實施方式中的基板W為直徑300mm的矽晶片，但是不限於該值。

例如，蓋體側基板承接部的結構不限於前部保持構件基板承接部73的結構。因此，左側（圖5所示的右側）的前部保持構件基板承接部73的上側基板引導傾斜面734的左端部、以及右側（圖5所示的左側）的前部保持構件基板承接部73的上側基板引導傾斜面734的右端部，具有實施了倒角735的形狀，但是也可以具有不實施這種倒角的形狀。

此外，後側基板支承部在本實施方式中由後側基板支承部6構成，但是不限於該結構。例如，可以利用與容器主體一體成形的後部保持構件來構成後側基板支承部。

1‧‧‧基板收納容器2‧‧‧容器主體3‧‧‧蓋體4‧‧‧密封構件5‧‧‧基板支承板狀部（側方基板支承部）6‧‧‧後側基板支承部7‧‧‧前部保持構件（蓋體側基板支承部）20‧‧‧壁部21‧‧‧容器主體開口部22‧‧‧後壁23‧‧‧上壁24‧‧‧下壁25‧‧‧第一側壁26‧‧‧第二側壁27‧‧‧基板收納空間28‧‧‧開口周緣部32A‧‧‧上側插銷部32B‧‧‧下側插銷部33‧‧‧操作部34‧‧‧凹部51‧‧‧板部52‧‧‧支承壁60‧‧‧後側端部邊緣支承部71‧‧‧縱框體72‧‧‧腳部（蓋體側腳部）73‧‧‧前部保持構件基板承接部（蓋體側基板承接部）235‧‧‧肋236‧‧‧頂部凸緣231A、231B、241A、241B‧‧‧插銷卡合凹部281‧‧‧密封面511、512‧‧‧凸部611‧‧‧下側傾斜面612‧‧‧上側傾斜面703‧‧‧V形槽731‧‧‧下側傾斜面732‧‧‧上側傾斜面733‧‧‧下側基板引導傾斜面734‧‧‧上側基板引導傾斜面735‧‧‧倒角W‧‧‧基板

圖1是表示本發明實施方式的基板收納容器1中收納有多個基板W的狀態的分解立體圖。圖2是表示本發明實施方式的基板收納容器1的容器主體2的立體圖。圖3是表示本發明實施方式的基板收納容器1的蓋體3的立體圖。圖4是表示本發明實施方式的基板收納容器1的前部保持構件7的立體圖。圖5是表示本發明實施方式的基板收納容器1的前部保持構件7的主視圖。圖6是表示本發明實施方式的基板收納容器1的前部保持構件7的側視斷面圖。圖7是表示本發明實施方式的基板收納容器1的前部保持構件基板承接部73的放大斷面圖。圖8是表示基板W插入本發明實施方式的基板收納容器1的前部保持構件基板承接部73的V形槽703中的狀態的示意圖。

7:前部保持構件(蓋體側基板支承部)

71:縱框體

72:腳部(蓋體側腳部)

73:前部保持構件基板承接部(蓋體側基板承接部)

703:V形槽

731:下側傾斜面

732‧‧‧上側傾斜面

733‧‧‧下側基板引導傾斜面

734‧‧‧上側基板引導傾斜面

735‧‧‧倒角

Claims

一種基板收納容器，其特徵在於：所述基板收納容器包括：一容器主體，具備筒狀的一壁部，所述壁部在一端部具有形成一容器主體開口部的一開口周緣部，另一端部封閉，由所述壁部的一內表面形成一基板收納空間，所述基板收納空間能夠收納多個基板並與所述容器主體開口部連通；一蓋體，相對於所述容器主體開口部可裝拆，能夠封閉所述容器主體開口部；一側方基板支承部，在所述基板收納空間內以成對的方式配置，當所述容器主體開口部未被所述蓋體封閉時，能夠在將所述多個基板中的相鄰的基板彼此以一規定的間隔分開排列的狀態下，支承所述多個基板的一邊緣部；一蓋體側基板支承部，當所述容器主體開口部被所述蓋體封閉時，配置在與所述基板收納空間相對的所述蓋體部分上，能夠支承所述多個基板的所述邊緣部；以及一後側基板支承部，在所述基板收納空間內以與所述蓋體側基板支承部成對的方式配置，能夠支承所述多個基板的所述邊緣部，當所述容器主體開口部被所述蓋體封閉時，與所述蓋體側基板支承部協同動作，能夠支承所述多個基板；所述蓋體側基板支承部具備：一蓋體側基板承接部，與所述基板直接抵接，支承所述基板；以及一蓋體側腳部，支承所述蓋體側基板承接部；所述蓋體側基板承接部具有：一下側傾斜面，以從所述基板收納空間的中心離開的方式傾斜延伸；一上側傾斜面，以接近所述基板收納空間的中心的方式從所述下側傾斜面的一上端部傾斜延伸；一下側基板引導傾斜面，與所述下側傾斜面的一下端部連接，相比於所述下側傾斜面的傾斜，以與上下方向所成的角度更小的方式傾斜，所述上下方向與所述多個基板排列的排列方向一致；以及一上側基板引導傾斜面，與所述上側傾斜面的一上端部連接，相比於所述上側傾斜面的傾斜，以與所述上下方向所成的角度更小的方式傾斜；其中當所述容器主體開口部被所述蓋體封閉時，所述下側傾斜面和所述上側傾斜面與所述基板抵接，在由所述下側傾斜面和所述上側傾斜面形成的一槽中支承所述基板；在所述容器主體開口部被所述蓋體封閉時的所述槽延伸的方向上，隨著接近所述容器主體開口部的中央，所述下側基板引導傾斜面的所述上下方向上的長度變長；以及在從所述容器主體的一端部朝向另一端部的方向上觀察時，所述蓋體側基板承接部具有一平行四邊形的形狀。