TWI652211B - Substrate storage container and holding member - Google Patents

Abstract

本發明提供一種基板收納容器，其在半導體工廠內等利用，在收納並支承鍵合晶片等基板的基板收納容器中，能提高基板的支承力，在容器受到衝擊和振動時也能安全地在支承基板。在由能收納基板的容器主體和蓋體構成的基板收納容器中，在蓋體上具有支承基板的邊緣部的保持構件，在蓋體封閉容器主體的容器主體開口部並支承基板的狀態時，以通過基板的厚度方向的中心且垂直於基板的厚度方向的、作為基板收納容器的向後方向的基板水平向後方向為基準，使基板抵接的保持構件的平面(306)的法線方向朝下側傾斜規定的角度。

Description

基板收納容器和保持構件

本發明關於一種收納、保管、搬運、輸送由半導體晶片等構成的基板等時使用的基板收納容器以及用於該基板收納容器的保持構件。

作為用於收納並在工廠內的步驟中搬運由半導體晶片構成的基板的基板收納容器，以往已為公眾所知的有具備容器主體和蓋體的結構的基板收納容器。

容器主體具有在一端部形成有容器主體開口部、另一端部封閉的筒狀的壁部。在容器主體內形成有基板收納空間。基板收納空間由壁部包圍形成，能收納複數個基板。蓋體相對於容器主體開口部可裝拆，並能封閉容器主體開口部。

在作為蓋體的一部分的、封閉容器主體開口部時與基板收納空間相對的部分上，設有前部保持構件。前部保持構件在容器主體開口部被蓋體封閉時能支承複數個基板的邊緣部。此外，以與前部保持構件成對的方式在壁部設有基板支承板狀部，該基板支承板狀部設有用於放置基板的基板放置部。在該基板支承板狀部的後側設有後側基板支承部。該後側基板支承部不僅可以與基板支承板狀部一體形成，也可以作為單獨構件形成。後側基板支承部能支承 複數個基板的邊緣部。

如果為了封閉容器主體的容器主體開口部而在容器主體開口部上安裝蓋體，則放置在基板支承板狀部的基板放置部上的複數個基板，以從基板放置部朝向上方向離開的狀態被前部保持構件和後側基板支承部支承。此時，在支承基板的前部保持構件的部分和後側基板支承部上形成有V形槽形狀，通過該V形槽形狀支承基板的邊緣部。通常這種容器作為基板的發貨容器使用(參照專利文獻1)。

此外還有一種容器，當為了封閉容器主體的容器主體開口部而在容器主體開口部上安裝蓋體時，基板不從基板放置部離開，由前部保持構件和後側基板支承部支承複數個基板。這種容器用作在半導體工廠等的步驟內使用的容器。在該情況下，還研究了一種容器，為了按壓基板的前部、在容器主體內抑制基板的移動並對應於容器和基板的製造上的偏差以及厚度不同的基板，將承接基板的、前部保持構件的平面設置為具有基板厚度的兩倍左右的高度的垂直平面(參照專利文獻2)。

先前技術文獻

專利文獻1：日本專利第4146718號

專利文獻2：日本專利第4153874號

如上所述地，使用前者的V形槽形狀支承基板的容器，儘管能牢固地支承基板，但是與基板的邊緣部的上下表面抵接。於是，在支承作為通過在底基板上固定有薄晶片而構成的基板的、由被稱為鍵合晶片(bonded wafer)的形 成有底基板和器件(device)的薄晶片構成的基板時，存在有底基板上的薄晶片與V形槽形狀接觸的可能性。此外，有時V形槽形狀與底基板上的固定有薄晶片的黏合層接觸，會使薄晶片的邊緣部受損。

因此，當前採用後者的用平面承接基板的邊緣部、且以不使基板從基板放置部離開的狀態保持基板的容器。可是，由於通過前部保持構件和後側基板支承部的垂直平面支承基板的邊緣部，所以基板在向上方向完全沒有被支承。因此，存在有因在上下方向上的衝擊和振動使基板移動，從而招致基板和底基板上表面的薄晶片破損的問題。此外，存在下述問題：由於因前部保持構件和後側基板支承部與基板之間的滑動而產生的顆粒導致產生次品以及次品率增加。

本發明的目的是提供一種基板收納容器和前部保持構件，在收納並支承鍵合晶片等基板的基板收納容器中，在把基板放置在基板放置部上的狀態下通過前部保持構件的平面和後側基板支承部的平面保持基板，並且能夠提高基板的支承力，即使在容器被施加了衝擊和振動時也能夠牢固地支承容器內部的基板。

本發明提供一種基板收納容器，其包括：容器主體，在內部形成有能收納複數個基板的基板收納空間，在一端部具有與該基板收納空間連通的容器主體開口部；蓋體，能封閉該容器主體開口部；保持構件，配置在作為該蓋體 的一部分的、當該容器主體開口部被該蓋體封閉時與該基板收納空間相對一側的部分上，能支承該複數個基板的端部；以及一對基板支承板狀部，以與該保持構件成對的方式配置在該基板收納空間的內表面上，定位並保持該複數個基板的外邊緣部，該基板支承板狀部具有：基板放置部，放置該基板；以及後側基板支承部，與該基板的端部抵接並保持該基板的端部，該保持構件具有：保持構件基板承接部，具有該基板抵接的保持構件基板抵接面；以及臂部，與該保持構件基板承接部連接，在該蓋體封閉了該容器主體開口部的狀態時，以通過該基板的厚度方向的中心且垂直於厚度方向的、作為該基板收納容器的向後方向的基板水平向後方向作為基準，該保持構件基板抵接面的法線方向朝下側傾斜規定的角度。

此外，較佳的是，當以該基板水平向後方向為基準，將該保持構件基板抵接面的法線方向的角度設為保持構件傾斜角並把從該基準朝向下方向轉動的轉動角度設為正的值時，該容器主體開口部被該蓋體封閉了的狀態下的該保持構件傾斜角，大於該容器主體開口部未被該蓋體封閉的狀態下的該保持構件傾斜角。

此外，較佳的是，在該保持構件基板抵接面上該基板抵接的基板抵接位置，位於比連接該保持構件基板承接部和該臂部的臂部固定位置的中心更靠向下方向的位置。

此外，較佳的是，在該保持構件基板抵接面上該基板抵接的基板抵接位置，位於與連接該保持構件基板承接部 和該臂部的臂部固定位置的中心相同的高度或位於比該臂部固定位置的中心更靠向上方向的位置，並且，在該蓋體未封閉該容器主體開口部的狀態時，以該基板水平向後方向為基準，該保持構件基板抵接面的法線方向朝下側傾斜規定的角度。

此外，本發明還提供一種保持構件，其用於基板收納容器，該基板收納容器包括：容器主體，在內部形成有能收納複數個基板的基板收納空間，在一端部具有與該基板收納空間連通的容器主體開口部；以及蓋體，能封閉該容器主體開口部，該保持構件配置在作為該蓋體的一部分的、當該容器主體開口部被該蓋體封閉時與該基板收納空間相對一側的部分上，能支承該複數個基板的端部，該保持構件具有：保持構件基板承接部，具有該基板抵接的保持構件基板抵接面；以及臂部，與該保持構件基板承接部連接，在該保持構件基板抵接面上該基板抵接的基板抵接位置，位於比連接該保持構件基板承接部和該臂部的臂部固定位置的中心更靠向下方向的位置。

此外，本發明還提供一種保持構件，其用於基板收納容器，該基板收納容器包括：容器主體，在內部形成有能收納複數個基板的基板收納空間，在一端部具有與該基板收納空間連通的容器主體開口部；以及蓋體，能封閉該容器主體開口部，該保持構件配置在作為該蓋體的一部分的、當該容器主體開口部被該蓋體封閉時與該基板收納空間相對一側的部分上，能支承該複數個基板的端部，在保 持構件基板抵接面上該基板抵接的基板抵接位置，位於與連接保持構件基板承接部和臂部的臂部固定位置的中心相同的高度或位於比該臂部固定位置的中心更靠向上方向的位置，並且，在該蓋體未封閉該容器主體開口部的狀態時，以通過該基板的厚度方向的中心且垂直於厚度方向的、作為該基板收納容器的向後方向的基板水平向後方向作為基準，該保持構件基板抵接面的法線方向朝下側傾斜規定的角度。

根據本發明，由於保持構件和後側基板支承部能夠以不接觸鍵合晶片的貼合在底基板上的薄晶片的上表面的方式支承基板，因此能夠提供一種不會使鍵合晶片的形成有器件的薄晶片破損的步驟內容器。

此外，由於設置有使保持構件和後側基板支承部的支承基板的平面的高度充分高於基板的厚度的基板承接部，所以不限於具有特定厚度的基板，能支承厚度在基板承接部的高度以下的基板，而且能用一個基板收納容器收納厚度不同的基板。

此外，能夠把從基板與保持構件和後側基板支承部的接觸部分產生的顆粒降低到極限，能夠提高在基板上製造的器件的成品率。另外，由於用保持構件和後側基板支承部的平面承接並保持基板的邊緣部，所以能夠到基板的上表面的外周附近為止形成器件，能夠增加能形成器件的有效面積，能夠使從一個基板得到的器件的總和增加，從而有助於減少器件的成本。

1‧‧‧基板收納容器

2‧‧‧容器主體

3‧‧‧蓋體

4‧‧‧密封構件

5‧‧‧基板支承板狀部

20‧‧‧壁部

21‧‧‧容器主體開口部

22‧‧‧後壁

23‧‧‧上壁

24‧‧‧下壁

25‧‧‧第一側壁

26‧‧‧第二側壁

27‧‧‧基板收納空間

28‧‧‧肋

29‧‧‧頂凸緣

30‧‧‧密封面

31‧‧‧開口周緣部

32A‧‧‧上側插銷部

32B‧‧‧上側插銷部

33A‧‧‧下側插銷部

33B‧‧‧下側插銷部

34‧‧‧操作部

35‧‧‧保持構件

36‧‧‧保持構件卡合凸部

37‧‧‧凹部

40A‧‧‧上側插銷卡合凹部

40B‧‧‧上側插銷卡合凹部

41A‧‧‧下側插銷卡合凹部

41B‧‧‧下側插銷卡合凹部

250‧‧‧前側被卡合部

251‧‧‧後側中央被卡合部

252‧‧‧後側被卡合部

253‧‧‧後側被卡合固定部

300‧‧‧保持構件框

301‧‧‧保持構件部

301A‧‧‧保持構件部

301B‧‧‧保持構件部

302‧‧‧臂部

303‧‧‧保持構件基板承接部

303A‧‧‧保持構件基板承接部

303B‧‧‧保持構件基板承接部

304‧‧‧上側凸緣

305‧‧‧下側凸緣

306‧‧‧保持構件基板抵接面

306A‧‧‧保持構件基板抵接面

307‧‧‧基板抵接位置

308‧‧‧臂部固定位置的中心

500‧‧‧前側卡合部

501‧‧‧基板放置部

502‧‧‧前側放置突起

503‧‧‧後側放置部

504‧‧‧後側基板支承部

505‧‧‧後側中央卡合部

506‧‧‧後側卡合部

507‧‧‧後側卡合固定部

801‧‧‧基板水平面

802‧‧‧臂部水平面

803‧‧‧基板水平向後方向

804‧‧‧保持構件基板抵接面的法線方向

805‧‧‧保持構件基板抵接面的初始法線方向

h1、h2‧‧‧高度

θ‧‧‧保持構件傾斜角

θ0‧‧‧保持構件初始傾斜角

BW‧‧‧底基板

TW‧‧‧薄晶片

W‧‧‧基板

圖1是表示基板W收納在本發明第一實施方式的基板收納容器1中的狀況的分解立體圖。

圖2是表示在本發明的第一實施方式的容器主體2中省略了第二側壁26和上壁23的俯視立體圖。

圖3是表示本發明的第一實施方式的容器主體2的基板支承板狀部5的局部放大圖。

圖4是表示本發明的第一實施方式的蓋體3的從基板收納空間27側觀察時的側視立體圖。

圖5是表示將本發明的第一實施方式的保持構件35的一部分放大了的側視立體圖。

圖6是在本發明的第一實施方式的基板收納容器1中，說明基板W、保持構件部301和基板支承板狀部5的位置關係的圖。

圖7A是在本發明的第一實施方式的基板收納容器1中，說明基板W、保持構件部301和基板支承板狀部5的位置關係的圖，表示了保持構件部301與基板W抵接的狀態。

圖7B是在本發明的第一實施方式的基板收納容器1中，說明基板W、保持構件部301和基板支承板狀部5的位置關係的圖，表示用蓋體3封閉了容器主體2的容器主體開口部21的狀態。

圖8A是圖7A中的保持構件部301附近的放大圖。

圖8B是圖7B中的保持構件部301附近的放大圖。

圖9是在本發明的第二實施方式的基板收納容器1中，表示基板W與保持構件部301A抵接的狀態的圖。

圖10A是在本發明的第三實施方式的基板收納容器1中，表示基板W與保持構件部301B抵接的狀態的圖。

圖10B是在本發明的第三實施方式的基板收納容器1中，表示基板W與保持構件部301B抵接、並且用蓋體3封閉了容器主體2的容器主體開口部21的狀態的圖。

[第一實施方式]

以下，邊參照圖式邊說明本發明的第一實施方式的基板收納容器1和保持構件35。圖1是表示基板W收納在本發明第一實施方式的基板收納容器1中的狀況的分解立體圖。圖2是在本發明的第一實施方式的容器主體2中，省略了第二側壁26和上壁23的俯視立體圖。圖3是本發明的第一實施方式的容器主體2的基板支承板狀部5的局部放大圖。圖4是本發明的第一實施方式的蓋體3的從基板收納空間27側觀察時的側視立體圖。圖5是將本發明的第一實施方式的保持構件35的一部分放大了的側視立體圖。

在此，為了便於說明，把從後述的容器主體2朝向蓋體3的方向(圖1中的從右上朝向左下的方向)定義為向前方向，把與其相反的方向定義為向後方向，把這兩個方向合併定義為前後方向。此外，把從後述的下壁24朝向上壁23的方向(圖1中的向上方向)定義為向上方向，把與其相 反的方向定義為向下方向，把這兩個方向合併定義為上下方向。此外，把從後述第二側壁26朝向第一側壁25的方向(圖1中的從右下朝向左上的方向)定義為向左方向，把與其相反的方向定義為向右方向，把這兩個方向合併定義為左右方向。

此外，收納在基板收納容器1中的基板W(參照圖1)為鍵合晶片，是將薄晶片TW固定在底基板BW的上表面上的基板(參照圖6等)。底基板BW可以利用圓盤狀的矽晶片、玻璃晶片等。本實施方式中的底基板BW是直徑300mm~450mm的玻璃晶片。薄晶片TW是在矽晶片的表面形成器件並隨後將其背面研磨為規定的厚度的晶片。

如圖1所示，基板收納容器1用作收納所述的基板W並在工廠內的步驟中搬運的步驟內容器、或用作通過陸地運輸手段、空運手段、海運手段等輸送手段輸送基板的出貨容器，基板收納容器1具有：容器主體2；蓋體3；作為側方基板支承部的基板支承板狀部5；後述的後側基板支承部504，一體地形成在基板支承板狀部5的後部(圖3等)；以及作為蓋體側基板支承部的後述的保持構件35(圖4等)。

容器主體2具有在一端部形成有容器主體開口部21且另一端部封閉的筒狀的壁部20。在容器主體2內形成有基板收納空間27。基板收納空間27由壁部20包圍形成。在作為壁部20的一部分的、形成基板收納空間27的部分上配置有基板支承板狀部5。如圖1所示，在基板收納空 間27中能收納複數個基板W。

如圖2和圖3所示，基板支承板狀部5在基板收納空間27內以與保持構件35成對的方式設置在壁部20上。當容器主體開口部21沒有被蓋體3封閉時，基板支承板狀部5通過用於放置基板的基板放置部501和形成在基板支承板上部的後側的與基板W的邊緣部抵接的後側基板支承部504，能夠在使相鄰的基板W彼此以規定的間隔分開排列的狀態下支承複數個基板W。在基板放置部501上設有：前側放置突起502，形成在基板放置部501上表面的前側以及後側放置部503，在基板放置部501上表面的後側形成在接近後側基板支承部504的前側的位置。基板W被放置在前側放置突起502和後側放置部上。

當容器主體開口部21被蓋體3封閉時，後側基板支承部504通過與複數個基板W的邊緣部抵接，能支承複數個基板W的邊緣部的後部。

蓋體3相對於形成容器主體開口部21的開口周緣部31(圖1等)可裝拆，並能封閉容器主體開口部21。如圖4所示，保持構件35設置在作為蓋體3的一部分的、當容器主體開口部21被蓋體3封閉時與基板收納空間27相對的部分上。保持構件35在基板收納空間27的內部以與基板支承板狀部5成對的方式配置。

當容器主體開口部21被蓋體3封閉時，保持構件35通過與複數個基板W的邊緣部抵接能夠支承複數個基板W的邊緣部的前部。當容器主體開口部21被蓋體3封閉 時，保持構件35通過和基板支承板狀部5協同動作來支承複數個基板W，由此在使相鄰的基板W彼此以規定的間隔分開排列的狀態下保持複數個基板W。

基板收納容器1由塑膠材料等樹脂構成，在沒有特別說明的情況下，作為所述材料的樹脂，可以列舉聚碳酸酯、環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺、聚醚酮、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、液晶聚合物等熱塑性樹脂及其合金等。在對這些成形材料的樹脂賦予導電性的情況下，選擇性地添加碳纖維、碳粉末、碳奈米管、導電性聚合物等導電性物質。此外，為了提高剛性，也可以添加玻璃纖維和碳纖維等。特別是由於保持構件35在保持基板W時需要某種程度的彈性，所以作為保持構件35的材料的樹脂，可以使用聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚酯彈性體和聚醚醚酮等。

以下，具體說明各部分。

如圖1等所示，容器主體2的壁部20具有後壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25和第二側壁26。後壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25和第二側壁26，由所述材料構成並一體成形。

第一側壁25和第二側壁26相對，上壁23和下壁24相對。上壁23的後端、下壁24的後端、第一側壁25的後端和第二側壁26的後端，全都與後壁22連接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一側壁25的前端和第二側壁26的前端構成開口周緣部31，該開口周緣部31形成容器主體開口部21，該容器主體開口部21具有與後壁22相對 的位置關係並呈大致長方形狀。

開口周緣部31設置在容器主體2的一端部，後壁22位於容器主體2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主體2的外形為箱狀。壁部20的內表面亦即後壁22的內表面、上壁23的內表面、下壁24的內表面、第一側壁25的內表面和第二側壁26的內表面，形成被它們包圍的基板收納空間27。形成於開口周緣部31的容器主體開口部21與被壁部20包圍而形成在容器主體2的內部的基板收納空間27連通。在基板收納空間27中最多能收納26個基板W。

如圖1所示，作為上壁23和下壁24的一部分的、開口周緣部31的附近的部分上，形成有朝向基板收納空間27的外側凹陷的上側插銷卡合凹部40A、40B和下側插銷卡合凹部41A、41B。上側插銷卡合凹部40A、40B及下側插銷卡合凹部41A、41B，在上壁23和下壁24的左右兩端部附近各形成有一個，合計形成有四個。

如圖1所示，在上壁23的外表面上，肋28和上壁23一體成形設置。該肋28用於提高容器主體的剛性。

此外，在上壁23的中央部固定有頂凸緣29。在AMHS(自動晶片輸送系統)、PGV(晶片基板輸送台車)等上懸掛基板收納容器1時，頂凸緣29是在基板收納容器1上成為懸掛部分的構件。

如圖1和圖2所示，在容器主體2的基板收納空間27的第一側壁25和第二側壁26的內表面上，形成有基板支 承板狀部5。如圖3所示，在本實施方式中，基板支承板狀部5以相對於第一側壁25可拆卸的方式固定在第一側壁25上。為了在第一側壁25上固定基板支承板狀部5，在第一側壁25的前側形成有圓柱狀的前側被卡合部250，在後側形成有後側中央被卡合部251、後側被卡合部252和後側被卡合固定部253。在基板支承板狀部5上形成有：孔形的前側卡合部500，與前側被卡合部250卡合；後側中央卡合部505，與後側中央被卡合部251卡合；後側卡合部506，與後側被卡合部252卡合；以及後側卡合固定部507，與後側被卡合固定部253卡合並固定基板支承板狀部5。

在基板支承板狀部5上形成有複數個大致板狀的基板放置部501，這些基板放置部501在上下方向上連接。在本實施方式中，形成有26個基板放置部501。在本實施方式中，基板放置部501每隔10mm設置。由於該值與放置的基板W在上下方向上收納時的間距高度對應，所以可以適當變更。

各個基板放置部501具有用於放置基板W的前側放置突起502和後側放置部503。此外，在後側放置部503的後側形成有後側基板支承部504，該後側基板支承部504是用於支承基板W的端部的平面。作為該後側基板支承部504的、支承基板W的平面的高度，需要為放置在前側放置突起502和後側放置部503上的基板W的厚度以上的高度。在本實施方式中，將該平面的高度設為5mm。作為該 平面的高度，需要為可能收納在基板收納容器1中的基板的厚度以上的高度，在收容鍵合晶片等的情況下，需要為2.5mm以上。此外，在本實施方式中，由於基板的放置間距為10mm，所以如果考慮基板放置部501的厚度，則後側基板支承部504的、用於支承基板W的平面的高度，即使最大也就是9mm。

如下所述地將基板支承板狀部5固定到第一側壁25上。將基板支承板狀部5從容器主體開口部21側沿第一側壁25朝向後方向移動，使作為基板支承板狀部5的卡合部的前側卡合部500以滑動的方式與第一側壁25的作為對應的被卡合部的前側被卡合部250卡合，以滑動的方式使作為基板支承板狀部5的卡合部的後側中央卡合部505與第一側壁25的作為對應的被卡合部的後側中央被卡合部251卡合，並以滑動的方式使作為基板支承板狀部5的卡合部的後側卡合部506與第一側壁25的作為對應的被卡合部的後側被卡合部252卡合。此後，將基板支承板狀部5的後側卡合固定部507固定在第一側壁25的後側被卡合固定部253上。

相反，在從第一側壁25取下基板支承板狀部5的情況下，解除後側卡合固定部507與後側被卡合固定部253的卡合，以使基板支承板狀部5朝向前方向滑動的方式移動基板支承板狀部5，以解除其他卡合部與被卡合部的卡合。

對於形成在第二側壁26上的基板支承板狀部5，也能夠同樣地卡合固定在第二側壁26上或從第二側壁26取下。

如圖1等所示，蓋體3具有與容器主體2的開口周緣部31的形狀大致一致的長方形狀。蓋體3相對於容器主體2的開口周緣部31可裝拆。通過在開口周緣部31上安裝蓋體3，蓋體3能封閉容器主體開口部21。如圖4所示，在作為蓋體3的內表面的、與形成在蓋體3封閉容器主體開口部21時緊靠開口周緣部31的向後方向的位置的臺階部分的面(密封面30)相對的、蓋體3的內表面上，安裝有環狀的密封構件4。密封構件4由能彈性變形的聚酯系、聚烯烴系等各種熱塑性彈性體、氟橡膠製品、矽橡膠製品等構成。密封構件4以環繞蓋體3的外周邊緣部一周的方式配置。

當蓋體3安裝到開口周緣部31上時，密封構件4被密封面30和蓋體3的內表面夾持而彈性變形，蓋體3以密封的狀態封閉容器主體開口部21。通過從開口周緣部31取下蓋體3，可以使基板W進出容器主體2內的基板收納空間27。

在蓋體3上設有插銷機構。如圖4所示，插銷機構設置在蓋體3的左右兩端部附近，具有能從蓋體3的上邊朝向上方向突出的兩個上側插銷部32A、32B以及能從蓋體3的下邊朝向下方向突出的兩個下側插銷部33A、33B。兩個上側插銷部32A、32B配置在蓋體3的上邊的左右兩端附近，兩個下側插銷部33A、33B配置在蓋體3的下邊的左右兩端附近。

如圖1所示，在蓋體3的外表面上設有操作部34。通 過從蓋體3的前側操作操作部34，能夠使上側插銷部32A、32B及下側插銷部33A、33B分別從蓋體3的上邊及下邊突出、或能夠使上側插銷部32A、32B及下側插銷部33A、33B成為不分別從上邊及下邊突出的狀態。通過使上側插銷部32A、32B從蓋體3的上邊朝向上方向突出並與容器主體2的上側插銷卡合凹部40A、40B卡合，並且通過使下側插銷部33A、33B從蓋體3的下邊朝向下方向突出並與容器主體2的下側插銷卡合凹部41A、41B卡合，蓋體3被固定在容器主體2的開口周緣部31。

如圖4所示，在蓋體3的內側形成有向基板收納空間27的外側凹陷的凹部37。在凹部37的部分設有與保持構件35的保持構件卡合凸部36卡合的保持構件被卡合部(未圖示)，保持構件35以可裝拆的方式固定於蓋體3的凹部37。

如圖5所示，保持構件35的複數個保持構件部301以規定的間隔以左右成對的方式配置在上下方向上。該保持構件部301固定在長方形狀的保持構件框300的內側。保持構件部301具有：保持構件基板承接部303，用於支承基板W的前側端；以及具有彈性的臂部302，將保持構件基板承接部303與保持構件框300連接。此外，保持構件基板承接部303具有：作為平面的保持構件基板抵接面306，用於與基板W的邊緣部的端緣抵接並支承基板W的邊緣部的端緣；以及上側凸緣304及下側凸緣305，以與該保持構件基板抵接面306相鄰的方式分別形成在該保持 構件基板抵接面306的上下。這種保持構件基板承接部303以在左右方向上以規定的間隔分開並成對的方式配置。26對這種成對配置的保持構件基板承接部303，以在上下方向上排列的狀態設置。通過在基板收納空間27內收納基板W並關閉蓋體3，保持構件基板承接部303夾持並支承基板W的邊緣部的端緣。

在如上所述的基板收納容器1中，以如下的方式進行基板W的支承。

當基板收納容器1在工廠內的步驟中作為步驟內容器使用時，在容器主體2中，下壁24位於下部且上壁23位於上部。在向該基板收納容器1收納、保持基板W的情況下，首先，使蓋體3成為從容器主體2取下的狀態。

接著，把基板W在維持水平的狀態下從容器主體開口部21插入基板收納空間27，將基板W放置在基板支承板狀部5上。如圖6所示，在本實施方式中使用的基板W，是在底基板BW的上表面固定有薄基板TW的基板。薄基板TW是在矽晶片基板的上表面形成器件後背面被研磨而成為極薄的基板。由於薄基板TW的直徑比底基板BW的直徑小1~2mm左右，所以薄基板TW不會從底基板BW的外形伸出。這種基板W被稱為鍵合晶片。此外，作為在本實施方式中能夠收納的鍵合晶片，可以是在底基板BW上層疊有複數個薄基板TW的基板。當然，作為基板W，除了鍵合晶片以外，也可以是被收納的通常的矽晶片。

如圖6所示，從容器主體開口部21收納且薄基板TW 固定在底基板BW上的基板W，放置在基板支承板狀部5的所希望的基板放置部501上。此時，基板W(嚴格地講是底基板BW)的下表面的前部放置在前側放置突起502上，該下表面的後部放置在後側放置部503的上部，並且基板W(嚴格地講是底基板BW)的後側(後側)的邊緣部的端緣與後側基板支承部504抵接。此時，基板W(嚴格地講是底基板BW)的邊緣部的端緣有時不與後側基板支承部504抵接。在該情況下，在接著說明的用蓋體3封閉容器主體2的容器主體開口部21時，通過用保持構件部301推壓基板W(嚴格地講是底基板BW)的邊緣部的端緣的前側，使基板W(嚴格地講是底基板BW)的邊緣部的端緣與後側基板支承部504抵接。

接著，說明用蓋體3封閉容器主體2的容器主體開口部21時的基板W的支承狀況。

圖7A和圖8A表示了在基板W放置於基板放置部501的狀態下，將蓋體3安裝到容器主體2上並使容器主體開口部21被封閉的狀態。在蓋體3完全封閉容器主體2的容器主體開口部21之前，保持構件基板抵接面306與基板W的邊緣部的端緣的前側抵接。在圖7A和圖8A的狀態下，因臂部302的彈性，基板W與保持構件基板抵接面306僅僅抵接，並沒有將基板W朝向後方向推。此時，把保持構件基板抵接面306與基板W的前側的邊緣部的端緣抵接的部位設為基板抵接位置307，把與保持構件基板承接部303連接的臂部302的中心定義為臂部固定位置的中心308。 此外，將通過基板抵接位置307且與基板W水平的面設為基板水平面801，並把通過臂部固定位置的中心308且與基板水平的面定義為臂部水平面802。基板水平面801和臂部水平面802彼此平行，其方向與基板W的中心軸方向垂直。

在本實施方式中，臂部水平面802位於比基板水平面801高高度h1的上方。換句話說，基板抵接位置307位於比臂部固定位置的中心308低高度h1的下方。

接著，通過將蓋體3完整安裝到容器主體2上並操作蓋體3的操作部34，把蓋體3以可裝拆的方式固定在容器主體2上，基板收納容器1的容器主體開口部21被封閉。於是，如圖7B和圖8B所示，利用臂部302的彈力，保持構件部301將基板W沿基板水平面801朝作為向後方向的基板水平向後方向803推。於是，基板W被保持構件部301的保持構件基板抵接面306和後側基板支承部504的平面支承。可以根據臂部302的材質和形狀恰當地調整該支承力。

此時，由於臂部固定位置的中心308與基板抵接位置307的上下方向的高度錯開，所以保持構件基板承接部303上作用有轉矩，保持構件基板承接部303略微轉動。即，在本實施方式中，以基板水平向後方向803為基準，保持構件基板抵接面的法線方向804朝向下方向傾斜規定的角度。嚴格地講，該傾斜由於保持構件基板抵接面306與基板W的抵接的位置也朝上下方向以外的方向傾斜，但是只 要僅考慮成為本發明中有用的推壓基板W的力的方向上的傾斜成分即可。因此，作為保持構件基板承接部303的轉動造成的傾斜，僅考慮上下方向的成分，該傾斜角度意味著僅是上下方向的傾斜成分。

設保持構件基板抵接面的法線方向804與基板水平向後方向803所成的角度為保持構件傾斜角θ。對於保持構件傾斜角θ，以圖8B等的基板抵接位置307作為中心並以基板水平向後方向803為基準，將順時針(向下方向)定義為正的值，將與其相反的方向定義為負的值。本實施方式的情況在作為沒有通過蓋體3完全封閉容器主體開口部21的狀態的、圖7A和圖8A所示的狀態的情況下，保持構件傾斜角為0(零)度。此外，在作為由蓋體3完全封閉容器主體開口部21的狀態的、圖7B和圖8B所示的狀態的情況下，保持構件傾斜角為正1度左右。即，容器主體開口部21被蓋體3完全封閉的狀態下的保持構件傾斜角，大於容器主體開口部21未被蓋體3完全封閉的狀態下的保持構件傾斜角。

在圖8B中，為了便於理解保持構件基板承接部303的轉動(傾斜)，保持構件基板承接部303的轉動(傾斜量)被強調表示(以下，圖10B也是同樣的)。

如上所述地，通過用蓋體3將容器主體開口部21完全封閉，保持構件基板承接部303發生輕微的轉動。用蓋體3封閉容器主體2的容器主體開口部21時，作用於保持構件部301的、將基板W向基板水平向後方向803推的力的 一部分，由於該保持構件基板承接部303的輕微的轉動，轉變為將基板W的邊緣部的端緣朝向下方向按壓的力。因此，將基板W向基板放置部501推壓的力的成分作用於基板W。由此，基板W被保持構件部301的基板抵接位置307和基板支承板狀部5的後側基板支承部504支承。

按照所述結構的第一實施方式的基板收納容器1，可以得到以下的效果。

根據本發明，將通過保持構件部的保持構件基板抵接面的平面和後側基板支承部的平面支承基板作為基礎，通過使保持構件基板抵接面的平面以規定的角度略微朝向下方向轉動，將基板向基板放置部推壓的力起作用。因此，在對底基板上貼合有薄晶片的鍵合晶片這種基板進行支承時，能夠以保持構件和後側基板支承部不接觸該基板的上表面的方式保持基板。

此外，由於將基板向基板的基板放置部按壓的力起作用，所以即使在基板收納容器在上下方向上振動或受到衝擊的情況下，也能夠防止基板從基板放置部浮起，能夠防止基板與保持構件和後側基板支承部的接觸部互相摩擦，從而能夠將因這些接觸部互相摩擦而產生的顆粒降低到極限。通過降低顆粒的發生，可以改善基板上製造的器件的成品率和次品率。

此外，由於用保持構件部和後側基板支承部的平面承接並保持基板的邊緣部，所以這些基板的支承部不會與基板的上表面接觸，能夠到基板上表面外周的極限附近為止 形成器件，能夠增加能形成器件的有效面積和從一個基板得到的器件的總和，從而有助於降低器件的成本。

此外，通過使保持構件部的保持構件基板抵接面和後側基板支承部的平面高於基板的厚度，不限於具有特定厚度的基板，能夠支承厚度在保持構件基板抵接面的高度或後側基板支承部的平面的高度以下的基板，而且也能夠用一個基板收納容器收納厚度不同的基板。

在此，本實施方式的保持構件基板抵接面306垂直於基板水平向後方向803(相對於保持構件基板抵接面306的法線成為水平的面)，但是不限於此，保持構件基板抵接面306也可以相對於基板水平向後方向朝向上方向或者向下方向略微傾斜。在本實施方式中，在蓋體3封閉容器主體2的容器主體開口部21的狀態下，保持構件基板抵接面306的法線只要相對於基板水平向後方向朝向下方向傾斜即可，在蓋體3未封閉容器主體2的容器主體開口部21的狀態下，保持構件基板抵接面306的法線方向不限於本實施方式。

[第二實施方式]

接著，邊參照圖9邊說明本發明的第二實施方式的基板收納容器1。圖9表示了在本發明的第二實施方式的基板收納容器1中基板W和保持構件部301A抵接的狀態。在本發明的第二實施方式的基板收納容器1的保持構件中，臂部302和保持構件基板承接部303A的安裝位置、以及保持構件基板承接部303A的形狀與第一實施方式的 保持構件不同。由於除此以外的結構和第一實施方式的基板收納容器1的結構相同，所以對和第一實施方式中的各結構同樣的結構，標注同樣的附圖標記並省略說明。

如圖9所示，在本實施方式的保持構件部301A中，臂部302的臂部固定位置的中心308與、保持構件基板承接部303A的保持構件基板抵接面306A與基板W的邊緣部的端緣抵接的基板抵接位置307，在上下方向上處於相同的高度。即，本實施方式是基板水平面801和臂部水平面802成為同一平面的實施方式。此外，在未由蓋體3封閉容器主體2的容器主體開口部21的狀態下，保持構件基板抵接面306A的法線不是基板水平向後方向803，而是相對於基板水平向後方向803朝向下方向傾斜。該傾斜的傾斜角非常小，在本實施方式中為朝向下方向1度。該值能適當地進行設計變更。

在使用了保持構件部301A的本實施方式中，即使從未由蓋體3封閉容器主體2的容器主體開口部21的狀態成為由蓋體3封閉容器主體2的容器主體開口部21且基板W被臂部302的彈性力朝基板水平向後方向推壓的狀態，保持構件基板承接部303A也不會像第一實施方式那樣轉動。可是，由於保持構件部301A的保持構件基板抵接面306A朝向下方向傾斜，即相對於垂直方向傾斜，所以和第一實施方式同樣地，當用後側基板支承部504的平面和保持構件基板抵接面306A支承基板W時，將基板W向基板放置部501按壓的力的成分起作用。

按照所述結構的第二實施方式的基板收納容器1，可以得到和第一實施方式同樣的效果。

[第三實施方式]

接著，參照圖10A和圖10B說明本發明的第三實施方式的基板收納容器1。圖10A是與第一實施方式的圖8A對應的圖，表示了在本發明的第三實施方式的基板收納容器1中，基板W和保持構件部301B抵接的狀態。圖10B是和第一實施方式的圖8B對應的圖，表示了在本發明的第三實施方式的基板收納容器1中，基板W和保持構件部301B抵接且容器主體2的容器主體開口部21被蓋體3封閉的狀態。

本發明的第三實施方式的基板收納容器1的保持構件，臂部302和保持構件基板承接部303A的安裝位置與第二實施方式的保持構件不同。由於除此以外的結構和第二實施方式的基板收納容器1的結構相同，所以對於和第一實施方式或者第二實施方式中的各結構同樣的結構，標注同樣的圖式標記並省略說明。

如圖10A所示，本實施方式的保持構件部301B，臂部302的臂部固定位置的中心308與、保持構件基板承接部303B的保持構件基板抵接面306A與基板W的邊緣部的端緣抵接的基板抵接位置307，在上下方向上不處於相同的高度。和第一實施方式的情況相反，在上下方向上，基板抵接位置307位於比臂部固定位置的中心308更靠向上方向的位置。即，在本實施方式中，臂部水平面802位 於比基板水平面801低高度h2的下方。保持構件基板承接部303B的形狀和第二實施方式相同。

接著，說明用蓋體3封閉容器主體2的容器主體開口部21時的基板W的支承狀況。

在蓋體3完全封閉容器主體2的容器主體開口部21之前，保持構件基板抵接面306A略微傾斜地與基板W的邊緣部的端緣的前側抵接。在圖10A的狀態下，基板W和保持構件基板抵接面306A僅僅抵接，並沒有通過臂部302的彈性將基板W朝向後方向推壓。

此時，將保持構件基板抵接面306A的法線方向設為保持構件基板抵接面的法線方向805，其與基板水平向後方向803所成的角度為保持構件初始傾斜角θ 0。在本實施方式中，將保持構件初始傾斜角θ 0設為正2度。

接著，將蓋體3完整安裝到容器主體2上並通過操作蓋體3的操作部34，把蓋體3以可裝拆的方式固定在容器主體2上，由此，基板收納容器1的容器主體開口部21被封閉。於是，如圖10B所示，保持構件基板承接部303B利用臂部302的彈性力，將基板W沿基板水平面801朝作為向後方向的基板水平向後方向803推壓。於是，基板W被保持構件基板承接部303B的保持構件基板抵接面306A和後側基板支承部504的平面支承。此時，由於臂部固定位置的中心308與基板抵接位置307的上下方向的高度錯開，所以轉矩作用於保持構件基板承接部303B，使保持構件基板承接部303B略微轉動。該轉動方向是和實施方式1 的情況相反的方向，即朝向上方向(逆時針方向)轉動。即使在該情況下，在本實施方式中，以基板水平向後方向803為基準轉動後的保持構件基板抵接面306A的保持構件基板抵接面的法線方向804也朝向下方向傾斜規定的角度。具體地說，以傾斜所述規定的角度的方式，設計作為保持構件基板抵接面的傾斜角的保持構件初始傾斜角、以及作為臂部固定位置的中心與基板抵接位置在上下方向上的差的高度h2。

作為保持構件轉動後的保持構件基板抵接面的法線方向804與基板水平向後方向803所成的角度的保持構件傾斜角θ，和第一實施方式相同，保持構件傾斜角θ為正1度左右。即，在用蓋體3封閉容器主體2的容器主體開口部21前後，封閉後的保持構件傾斜角θ比封閉前的保持構件初始傾斜角θ 0變小。

在圖10A和圖10B中，為了便於理解保持構件基板承接部303B的轉動(傾斜)，把保持構件基板承接部303B的傾斜量和轉動量進行了強調表示。

如上所述地，通過用蓋體3完全封閉容器主體開口部21，保持構件部301發生輕微的轉動。用蓋體3封閉容器主體2的容器主體開口部21時，作用於保持構件部301的、將基板W朝基板水平向後方向803推壓的力的一部分，儘管弱於第二實施方式的將基板W的邊緣部的端緣朝向下方向按壓的力，但是通過該保持構件部301B的輕微的轉動，將基板W向基板放置部501按壓的力的成分起作 用。由此，由保持構件部301B的保持構件基板抵接面306A和基板支承板狀部5的後側基板支承部504支承基板W。

按照所述結構的第三實施方式的基板收納容器1，可以得到和第一實施方式同樣的效果。

本發明不限於所述的複數個實施方式，可以在申請專利範圍所述的技術範圍內進行變形。

例如，保持構件部的臂部、保持構件基板承接部、基板支承板狀部的形狀，不限於本實施方式的形狀。此外，容器主體和蓋體的形狀、容器主體中能收納的基板W的個數和尺寸，也不限於本實施方式的容器主體和蓋體的形狀、容器主體中能收納的基板W的個數和尺寸。

在此，保持構件35以可裝拆的方式固定在蓋體3上，基板支承板狀部5以可裝拆的方式固定在容器主體2上。因此，保持構件和基板支承板狀部能夠根據基板收納容器的目的更換為合適的部件。因此，通過安裝了適合用途的保持構件和基板支承板狀部的發貨容器搬運基板後，通過將所述發貨容器的保持構件和基板支承板狀部更換為本發明的保持構件和基板支承板狀部，可以將發貨容器容易地變更為步驟內容器。在該情況下，具有能將發貨容器的容器主體和蓋體再利用的優點。

此外，在所述的複數個實施方式中，對於基板支承板狀部，說明了將基板放置部和後側基板支承部一體形成的情況。可是，不限於此，可以將基板放置部和後側基板支承部作為單個部件分別形成，並分別固定在第一側壁和第 二側壁上。此外，基板支承板狀部不限於相對於第一側壁和第二側壁可裝拆的結構，也可以與第一側壁及第二側壁一體形成。

Claims (6)

1. 一種基板收納容器，其包括：容器主體，在內部形成有能收納複數個基板的基板收納空間，在一端部具有與該基板收納空間連通的容器主體開口部；蓋體，能封閉該容器主體開口部；保持構件，配置在作為該蓋體的一部分的、當該容器主體開口部被該蓋體封閉時與該基板收納空間相對一側的部分上，能支承該複數個基板的端部；以及一對基板支承板狀部，以與該保持構件成對的方式配置在該基板收納空間的內表面上，定位並保持該複數個基板的外邊緣部；該基板支承板狀部具有：基板放置部，放置該基板；以及後側基板支承部，與該基板的端部抵接並保持該基板的端部；該保持構件具有：保持構件基板承接部，具有該基板抵接的保持構件基板抵接面；以及臂部，與該保持構件基板承接部連接；在該蓋體封閉了該容器主體開口部的狀態時，以通過該基板的厚度方向的中心且垂直於厚度方向的、作為該基板收納容器的向後方向的基板水平向後方向作為基準，該保持構件基板抵接面的法線方向朝下側傾斜規定的角度。
2. 如請求項1所記載的基板收納容器，其中當以該基板水平向後方向為基準，將該保持構件基板抵接面的法線方向的角度設為保持構件傾斜角並把從該基準朝向下方向轉動的轉動角度設為正的值時，該容器主體開口部被該蓋體封閉了的狀態下的該保持構件傾斜角，大於該容器主體開口部未被該蓋體封閉的狀態下的該保持構件傾斜角。
3. 如請求項1或2所記載的基板收納容器，其中在該保持構件基板抵接面上該基板抵接的基板抵接位置，位於比連接該保持構件基板承接部和該臂部的臂部固定位置的中心更靠向下方向的位置。
4. 如請求項1所記載的基板收納容器，其中在該保持構件基板抵接面上該基板抵接的基板抵接位置，位於與連接該保持構件基板承接部和該臂部的臂部固定位置的中心相同的高度或位於比該臂部固定位置的中心更靠向上方向的位置；在該蓋體未封閉該容器主體開口部的狀態時，以該基板水平向後方向為基準，該保持構件基板抵接面的法線方向朝下側傾斜規定的角度。
5. 一種保持構件，其用於基板收納容器，該基板收納容器包括：容器主體，在內部形成有能收納複數個基板的基板收納空間，在一端部具有與該基板收納空間連通的容器主體開口部；以及蓋體，能封閉該容器主體開口部； 該保持構件配置在作為該蓋體的一部分的、當該容器主體開口部被該蓋體封閉時與該基板收納空間相對一側的部分上，能支承該複數個基板的端部；該保持構件具有：保持構件基板承接部，具有該基板抵接的保持構件基板抵接面；以及臂部，與該保持構件基板承接部連接；在該保持構件基板抵接面上該基板抵接的基板抵接位置，位於比連接該保持構件基板承接部和該臂部的臂部固定位置的中心更靠向下方向的位置。
6. 一種保持構件，其用於基板收納容器，該基板收納容器包括：容器主體，在內部形成有能收納複數個基板的基板收納空間，在一端部具有與該基板收納空間連通的容器主體開口部；以及蓋體，能封閉該容器主體開口部；該保持構件配置在作為該蓋體的一部分的、當該容器主體開口部被該蓋體封閉時與該基板收納空間相對一側的部分上，能支承該複數個基板的端部；在保持構件基板抵接面上該基板抵接的基板抵接位置，位於與連接保持構件基板承接部和臂部的臂部固定位置的中心相同的高度或位於比該臂部固定位置的中心更靠向上方向的位置；在該蓋體未封閉該容器主體開口部的狀態時，以通過該基板的厚度方向的中心且垂直於厚度方向的、作為該基板收納容器的向後方向的基板水平向後方向作為基 準，該保持構件基板抵接面的法線方向朝下側傾斜規定的角度。