TWI756402B

TWI756402B - 基板收納容器

Info

Publication number: TWI756402B
Application number: TW107111612A
Authority: TW
Inventors: 佐藤恭兵
Original assignee: 日商未來兒股份有限公司
Priority date: 2017-04-06
Filing date: 2018-04-02
Publication date: 2022-03-01
Also published as: WO2018185906A1; TW201838069A; KR20190137779A; JP6813667B2; CN110770889B; US11348815B2; JPWO2018185906A1; CN110770889A; KR102605057B1; US20200286749A1

Abstract

本發明提供一種基板收納容器，具備容器主體、蓋體和蓋體側基板支撐部，蓋體側基板支撐部在容器主體開口部被蓋體閉塞時，配置在與基板收納空間對置的蓋體的部分支撐多個基板的邊緣部，蓋體側基板支撐部具備蓋體側基板承受部，在支撐基板時承受基板的邊緣部；框部，是由蓋體的內面側保持的框部並具有朝向蓋體內面側的第一面以及第二面，蓋體具備框部保持部，以插入狀態保持框部並具有與第一面面對的第三面以及與第二面面對的第四面，蓋體側基板支撐部在框部的第一面側具備向第三面側突出的第一凸部，在框部的第二面側具備卡合部。

Description

基板收納容器

本發明涉及基板收納容器，尤其涉及收納多個並列的半導體晶片等基板的基板收納容器。

作為收納半導體晶片等基板的基板收納容器，已知具備容器主體和蓋體的構成。容器主體具有一端部形成有容器主體開口部且另一端部被閉塞的筒狀壁部。容器主體內形成有基板收納空間。基板收納空間由壁部包圍而形成，能夠收納多個基板。容器主體在基板收納空間的內側具備內側基板支撐部。

蓋體相對於容器主體開口部是可裝拆的，在被安裝到容器主體開口部上時閉塞容器主體開口部。蓋體在被安裝到容器主體開口部上時，在面向容器主體的基板收納空間的內側具備蓋體側基板支撐部（也稱為「前止動器」）。在蓋體被安裝到容器主體開口部上時，前止動器與容器主體的內側基板支撐部協同動作來支撐多個基板。前止動器具備基板承受部、框部和腳部，所述腳部為了將基板承受部保持在離開蓋體的內側面規定間隔的位置而連接基板承受部和框部。蓋體在所述內側還具備框部保持部，所述框部保持部用於插入框部並保持框部（進而，保持整個前止動器）（參照專利文獻1）。

現有技術文獻

專利文獻1：日本專利公開公報特開2012-004380號

在專利文獻1所述的技術中，在被插入了框部的框部保持部的部分，框部和框部保持部的對置面彼此大致呈面狀抵接。因此，對置面之間的間隙容易變得微小，清潔液（含有洗滌液）難以浸入對置面之間，另外，清潔液難以從對置面之間去除。其結果，在對置面之間容易產生去汙力不足、清潔液殘留、乾燥不足等問題。

本發明目的在於提供不易在蓋體側基板支撐部的框部和被插入框部的蓋體的框部保持部的對置面之間產生去汙力不足、清潔液殘留、乾燥不足等問題的基板收納容器。

本發明涉及一種基板收納容器，其具備：容器主體，其具備一端部具有形成容器主體開口部的開口周緣部且另一端部被閉塞的筒狀壁部，由所述壁部的內面形成能夠收納多個基板且與所述容器主體開口部連通的基板收納空間；蓋體，其相對於所述容器主體開口部可裝拆且能夠閉塞所述容器主體開口部；蓋體側基板支撐部，其在由所述蓋體閉塞所述容器主體開口部時，配置在與所述基板收納空間對置的所述蓋體的部分，能夠支撐所述多個基板的邊緣部；以及內側基板支撐部，其在所述基板收納空間內以與所述蓋體側基板支撐部配成對的方式配置，且能夠支撐所述多個基板的邊緣部，在由所述蓋體閉塞所述容器主體開口部時，能夠與所述蓋體側基板支撐部協同動作，支撐所述多個基板；所述蓋體側基板支撐部具備：蓋體側基板承受部，其在支撐所述基板時承受所述基板的邊緣部；和框部，其是由所述蓋體的內面側保持的框部且具有朝向所述蓋體的內面側的第一面以及所述第一面的相反面即第二面，所述蓋體具備框部保持部，所述框部保持部是以插入狀態保持所述框部的框部保持部且具有與所述第一面面對面的第三面以及與所述第二面面對面的第四面，所述蓋體側基板支撐部進而在所述框部的所述第一面的側面具備向所述第三面的側面突出的第一凸部，並且在所述框部的所述第二面的側面具備在插入所述框部的狀態下與所述框部保持部卡合的卡合部。

另外，所述蓋體側基板支撐部還可以在所述框部的所述第二面側具備向所述第四面的側面突出的第二凸部。

另外，所述第一凸部和/或所述第二凸部也可以沿著所述基板的面方向延伸。

另外，所述第一凸部和/或所述第二凸部也可以沿著所述多個基板的排列方向延伸。

另外，所述第一凸部或所述第二凸部也可以具有能夠與面對面的所述第三面或者所述第四面點接觸的形狀。

按照本發明，能夠提供不易在蓋體側基板支撐部的框部和被插入框部的蓋體的框部保持部的對置面之間產生去汙力不足、清潔液殘留、乾燥不足等問題的基板收納容器。

（第一實施方式）

以下，邊參照圖1～圖6B邊對本發明的第一實施方式涉及的基板收納容器進行說明。圖1是表示本發明的第一實施方式涉及的基板收納容器1中從容器主體2上卸下蓋體3的狀態的立體圖。圖2A是從內側觀察本發明的第一實施方式涉及的蓋體3的立體圖。圖2B是從內側觀察本發明的第一實施方式涉及的蓋體3的後視圖。圖3A是卸下前止動器7從內側觀察本發明的第一實施方式涉及的蓋體3的立體圖。圖3B是卸下前止動器7從內側觀察本發明的第一實施方式涉及的蓋體3的後視圖。圖4A是從內側（支撐側）觀察本發明的第一實施方式涉及的前止動器7的立體圖。圖4B是從外側觀察本發明的第一實施方式涉及的前止動器7的立體圖。

圖5A是在本發明的第一實施方式涉及的基板收納容器1中前止動器7的框部71插入蓋體3的框部保持部35中的局部放大截面立體圖。圖5B是在本發明的第一實施方式涉及的基板收納容器1中前止動器7的框部71插入到蓋體3的框部保持部35中的局部放大截面圖。圖6A是在本發明的第一實施方式涉及的基板收納容器1中前止動器7的卡合部75卡合到蓋體3的框部保持部35中的局部放大立體圖。圖6B是在本發明的第一實施方式涉及的基板收納容器1中前止動器7的卡合部75卡合到蓋體3的框部保持部35中的局部放大後視圖。

在這裡，為了方便說明起見，將從後述的容器主體2向蓋體3的方向（從圖1中右上向左下的方向）定義為前方D11，將與其相反的方向定義為後方D12，將它們定義為前後方向D1。另外，將從後述的下壁24向上壁23的方向（圖1中的上方）定義為上方D21，將與其相反的方向定義為下方D22，將它們定義為上下方向D2。另外，將從後述的第二側壁26向第一側壁25的方向（從圖1中右下向左上的方向）定義為左方D31，將與其相反的方向定義為右方D32，將它們定義為左右方向D3。在各圖中，標註了表示這些方向的箭頭進行說明。

另外，基板收納容器1中收納的基板W（參照圖1）是圓盤狀矽晶片、玻璃晶片、藍寶石晶片等用於工業的薄片體。本實施方式中的基板W是直徑300mm的矽晶片。

如圖1所示，基板收納容器1具有容器主體2、蓋體3、作為蓋體側基板支撐部的前止動器7（參照圖2A）以及內側基板支撐部（省略圖示）。

（容器主體）

如圖1和圖2A所示，容器主體2具有一端部形成有容器主體開口部21並且另一端部被閉塞的筒狀壁部20。容器主體2內形成有基板收納空間27。基板收納空間27由壁部20包圍而形成。基板支撐板狀部201配置在壁部20的部分且配置形成有基板收納空間27的部分。如圖1所示，基板收納空間27能夠收納多個基板W。

在壁部20，按照在基板收納空間27的內部於左右方向D3上配成對的方式設置有基板支撐板狀部201、201。在容器主體開口部21未被蓋體3閉塞時，基板支撐板狀部201能夠以將鄰接的基板W彼此在上下方向D2上隔開規定的間隔並列的狀態，支撐多個基板W的邊緣部。基板支撐板狀部201的內側設有內側基板支撐部（未圖示）。在容器主體開口部21被蓋體3閉塞時，內側基板支撐部（未圖示）能夠支撐多個基板W的邊緣部的後部。

蓋體3相對於形成容器主體開口部21的開口周緣部28可裝拆。蓋體3能夠以被開口周緣部28包圍的位置關係，即以嵌入到由開口周緣部28形成的容器主體開口部21中的狀態，閉塞容器主體開口部21。前止動器7（參照圖2A）設置在蓋體3的部分且在容器主體開口部21被蓋體3閉塞時與基板收納空間27對置的一側，即，設置在蓋體3的內側（後方D12的一側）。前止動器7（參照圖2A）在基板收納空間27的內部，按照與內側基板支撐部（未圖示）在前後方向D1上配成對的方式配置。

在容器主體開口部21被蓋體3閉塞時，前止動器7（參照圖2A）能夠支撐多個基板W的邊緣部的前部。在容器主體開口部21被蓋體3閉塞時，通過前止動器7與內側基板支撐部（未圖示）協同動作對多個基板W進行支撐，以在使相鄰的基板W彼此離開規定的間隔並列的狀態下保持多個基板W。

如圖1所示，容器主體2的壁部20具有內壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25以及第二側壁26。內壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25以及第二側壁26由塑膠材料等構成，在第一實施方式中，由聚碳酸酯一體成型而構成。

第一側壁25與第二側壁26對置，上壁23與下壁24在左右方向D3上對置。上壁23的後端、下壁24的後端、第一側壁25的後端、以及第二側壁26的後端都與內壁22連接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一側壁25的前端以及第二側壁26的前端，具有與內壁22對置的位置關係，構成呈大致長方形狀的形成容器主體開口部21的開口周緣部28。

開口周緣部28設置在容器主體2的一端部，內壁22位於容器主體2的另一端部。由壁部20的外面形成的容器主體2的外形是箱狀。壁部20的內面，即內壁22的內面、上壁23的內面、下壁24的內面、第一側壁25的內面以及第二側壁26的內面，形成由它們包圍的基板收納空間27。形成於開口周緣部28的容器主體開口部21，與由壁部20包圍形成於容器主體2的內部的基板收納空間27相連通。基板收納空間27最多能夠收納21張基板W。

如圖1所示，下壁24的外面設置有容器主體腳部243。容器主體腳部243一體成型在下壁24的左右兩端緣，沿下壁24的左右兩端緣在前後方向D1上延伸。在將下壁24作為下側（下方D22的一側）並將容器主體2放置在水準的平坦面上時，容器主體腳部243與該平坦面相抵接，穩定容器主體2並加以支撐。

（蓋體、前止動器）

以下，參照圖2A～圖6B，對蓋體3、前止動器7進行詳細的說明。

如圖2A～圖6B所示，作為蓋體側基板支撐部的前止動器7固定在蓋體3的內側。前止動器7具備在上下方向D2上延伸的框部71、止動器腳部72和蓋體側基板承受部73。框部71、止動器腳部72以及蓋體側基板承受部73由樹脂一體成型而相互連接。

前止動器7具有圖4A和圖4B所示的形狀。即，框部71在左方D31側的端部以及右方D32側的端部，沿上下方向D2平行地延伸。

前止動器7的左方D31側的框部71以及右方D32側的框部71分別具有突出片部715。突出片部715向左右方向D3的外側延伸，並向後方D12突出，另外，在上下方向D2上分開設置有多個突出片部715。

整體看，左方D31側的止動器腳部72從左方D31側的框部71向右後面延伸。並且，左方D31側的止動器腳部72在其前端部，與蓋體側基板承受部73的左方D31側的端部相連接。

另一方面，右方D32側的止動器腳部72從右方D32側的框部71向左後面延伸。並且，右方D32側的止動器腳部72在其前端部，與蓋體側基板承受部73的右方D32側的端部相連接。

因此，蓋體側基板承受部73配置在從蓋體3的內側面沿後方D12隔開規定間隔的位置。

左右兩側的止動器腳部72成為易於彈性變形的結構。因此，在蓋體側基板承受部73在靠近蓋體3的內側面的方向（前方D11）受到外力時，由於止動器腳部72隨該外力而彈性變形，能夠使蓋體側基板承受部73移位。

蓋體側基板承受部73也可以從與左方D31側的止動器腳部72的前端部連接的左方D31側的端部至與右方D32側的止動器腳部72的前端部連接的右方D32側的端部連續地構成（未圖示）。

但是，在本實施方式中，蓋體側基板承受部73被左方D31側的端部和右方D32側的端部的中央部分二分割。即，蓋體側基板承受部73被分割為從左方D31側的端部至中央附近的左方D31側的蓋體側基板承受部73、和從右方D32側的端部至中央附近的右方D32側的蓋體側基板承受部73。

左方D31側的蓋體側基板承受部73的右方D32側的端部、和右方D32側的蓋體側基板承受部73的左方D31側的端部，通過連接部74相互連接。整體看連接部74沿左右方向D3延伸。

（框部保持部）

蓋體3的框部保持部35以插入狀態保持前止動器7的框部71。具體而言，在蓋體3的內面（後方D12側的面）設置有沿上下方向D2延伸且被分割為多個（例如3個）的左方D31側的框部保持部35、以及沿上下方向D2延伸且被分割為多個（例如5個）的右方D32側的框部保持部35。

左方D31側的框部保持部35以及右方D32側的框部保持部35，夾著通過蓋體3的左右方向D3的中央並沿上下方向D2虛擬的中心線位於其左右兩側，彼此距該虛擬的中心線等距離。

如圖2A～圖3B所示，左方D31側的框部保持部35具有從蓋體3的內面向後方D12稍微延伸且從其頂端向右方D32延伸的L角的截面形狀。因此，左方D31側的框部保持部35在蓋體3的內面上，具有向右方D32開口的長槽351。前止動器7的左方D31側的框部71插入到左方D31側的框部保持部35的長槽351中。

右方D32側的框部保持部35具有從蓋體3的內面的表面向後方D12稍微延伸且從其頂端向左方D31延伸的L角的截面形狀。因此，右方D32側的框部保持部35在蓋體3的內面上，具有向左方D31開口的長槽351。前止動器7的右方D32側的框部71插入到右方D32側的框部保持部35的長槽351中。

與被分割為多個（例如5個）的左方D31側的框部保持部35在同一直線上且不與框部保持部35重疊的部分，成為切口部36。當將框部71插入到框部保持部35的長槽351中時，前止動器7的框部71由蓋體3的內面側保持，以使前止動器7的框部71的突出片部715配置到切口部36。

（本發明的主要特徵部分）

前止動器7除了框部71、止動器腳部72以及蓋體側基板承受部73之外，還具備第一凸部76、第二凸部77以及卡合部75。與第一凸部76、第二凸部77以及卡合部75相關聯，框部71以及蓋體3的框部保持部35具有以下詳述的特徵性構成。

框部71具有朝向蓋體3的內面側的第一面711以及第一面711的相反面即第二面712。即，第一面711是框部71的前方D11側的面，第二面712是框部71的後方D12側的面。

框部保持部35具有在框部71的插入狀態（框部71插入到框部保持部35的狀態）下與前止動器7的第一面711面對面的第三面353、以及與前止動器7的第二面712面對面的第四面354。

第一面711、第二面712、第三面353以及第四面354的面形狀沒有限定，可以是例如直平面、二次曲面、三次曲面。

前止動器7在框部71的第一面711一側具有向第三面353一側突出的第一凸部76。前止動器7在框部71的第二面712側具有向第四面354側突出的第二凸部77。在第一實施方式中，第一凸部76和第二凸部77沿著基板W的面方向D1－D3（D1－D3平面）延伸。詳細地說，第一凸部76和第二凸部77延伸的方向是左右方向D3。第一凸部76和第二凸部77分別在上下方向D2隔開間隔排列多個。第一凸部76以及第二凸部77設置在與框部保持部35對置的位置，不設置在與切口部36對應的位置。

第一凸部76的前方D11側的面與框部保持部35的第三面353對置，能夠與框部保持部35的第三面353抵接。第二凸部77的後方D12側的面與框部保持部35的第四面354對置，能夠與框部保持部35的第四面354相抵接。

另一方面，由於具有第一凸部76，所以框部71的第一面711不會與框部保持部35的第三面353相抵接。同樣，由於具有第二凸部77，所以框部71的第二面712不會與框部保持部35的第四面354相抵接。

蓋體側基板支撐部7在框部71的第二面712一側具備卡合部75。卡合部75在框部71的插入狀態下與框部保持部35卡合。具體而言，卡合部75作為向後方D12突出且沿左右方向D3的外側延伸的鍵發揮作用。框部保持部35具備在前後方向D1貫通且在左右方向D3的內側敞開的被卡合部355。被卡合部355發揮與作為鍵的卡合部75卡合的鍵槽的作用。

如上所述，在按照使前止動器7的框部71的突出片部715配置到切口部36中的方式將框部71插入到框部保持部35的長槽351時，前止動器7的框部71由蓋體3的內面側保持，僅憑此會在蓋體3和前止動器7之間產生鬆動（尤其是上下方向D2的鬆動）。但是，在該保持狀態下，蓋體側基板支撐部7的卡合部75還與框部保持部35的被卡合部355卡合。由此，幾乎不會產生鬆動（特別是上下方向D2的鬆動）。

如上構成的基板收納容器1如下地動作，能夠實現如下效果。

在第一實施方式的基板收納容器1中，前止動器7具備：蓋體側基板承受部73，其在支撐基板W時承受基板W的邊緣部；和框部71，其是由蓋體3的內面側保持的框部71且具有朝向蓋體3的內面側的第一面711以及第一面711的相反面即第二面712。蓋體3具備框部保持部35，所述框部保持部35是以插入狀態保持框部71的框部保持部35且具有與第一面711面對面的第三面353以及與第二面712面對面的第四面354。蓋體側基板支撐部7還在框部71的第一面711側具備向第三面353側突出的第一凸部76，並且在框部71的第二面712側具備在框部71的插入狀態下與框部保持部35卡合的卡合部75。

因此，通過第一實施方式，在框部71的插入狀態下，框部71的第一面711不會與框部保持部35的第三面353面狀抵接。因此，第一面711和第三面353之間（對置面之間）的間隙形成得比較大，清潔液（含有洗滌液）容易浸入到對置面之間，另外，清潔液容易從對置面之間去除。另外，與卡合部75設置在框部71的第二面712側時相比，卡合部75設置在框部71的第一面711側更容易使清潔液浸入對置面之間，另外，清潔液也容易從對置面之間去除。其結果，對於對置面之間，不易產生去汙力不足、清潔液殘留和乾燥不足等問題。

（第二實施方式）

接著，邊參照圖7A～圖8邊對本發明的第二實施方式涉及的基板收納容器進行說明。圖7A是從內側（支撐側）觀察本發明的第二實施方式涉及的前止動器7A的立體圖（對應圖4A的圖）。圖7B是從外側觀察本發明的第二實施方式涉及的前止動器7A的立體圖（對應圖4B的圖）。圖8是在本發明的第二實施方式涉及的基板收納容器中前止動器7A的框部71插入到蓋體3的框部保持部35中的局部放大截面立體圖（對應圖5A的圖）。

第二實施方式涉及的基板收納容器與第一實施方式涉及的基板收納容器1的主要不同點在於，前止動器的第一凸部以及第二凸部的形狀。由於除此之外的結構與第一實施方式的結構相同，所以省略說明。相同的結構採用相同的符號進行說明。

在第一實施方式涉及的前止動器7中，第一凸部76以及第二凸部77沿基板W的面方向（D1－D3平面）延伸。對此，如圖7A～圖8所示，在第二實施方式涉及的前止動器7A中，第一凸部76以及第二凸部77沿多個基板W的排列方向（上下方向D2）延伸。第一凸部76以及第二凸部77設置在與框部保持部35對置的位置，不設置在與切口部36對應的位置。

此外，在第二實施方式中，第一凸部76以及第二凸部77分別沿左右方向D3只設置一個，但不限定於此，也可以沿左右方向D3設置多個。

利用第二實施方式，除了第一實施方式的效果之外，還能夠起到如下的效果。在第二實施方式中，第一凸部76以及第二凸部77沿多個基板W的排列方向（上下方向D2）延伸。因此，在框部71的插入狀態下，第一凸部76以及第二凸部77在第一面711和第三面353之間（對置面之間）以及第二面712和第四面354之間（對置面之間），不易阻礙（作為框部保持部35的長槽351延伸的方向的）上下方向D2的清潔液的流動。因此，進一步提高「不易產生去汙力不足、清潔液殘留和乾燥不足等問題」這樣的效果。

（第三實施方式）

接著，邊參照圖9A～圖10邊對本發明的第三實施方式涉及的基板收納容器進行說明。圖9A是從內側（支撐側）觀察本發明的第三實施方式涉及的前止動器7B的立體圖（對應圖4A的圖）。圖9B是從外側觀察本發明的第三實施方式涉及的前止動器7B的立體圖（對應圖4B的圖）。圖10是在本發明的第三實施方式涉及的基板收納容器中前止動器7B的框部71插入到蓋體3的框部保持部35中的局部放大截面立體圖（對應圖5A的圖）。

第三實施方式涉及的基板收納容器與第二實施方式涉及的基板收納容器的主要不同點在於，前止動器的第一凸部以及第二凸部的形狀。由於除此之外的結構與第二實施方式的結構相同，所以省略說明。相同的結構採用相同的符號進行說明。

如圖9A～圖10所示，在第三實施方式的前止動器7B中，第一凸部76以及第二凸部77分別具有能夠與面對面的第三面353以及第四面354點接觸的形狀。作為能夠點接觸的形狀，可以例舉例如向第三面353或者第四面354隆起的三維曲面形狀、或在第三面353或者第四面354側具有頂點且由多個平面構成的多面體形狀。第一凸部76以及第二凸部77設置在與框部保持部35對置的位置，不設置與切口部36對應的位置。

此外，在第三實施方式中，第一凸部76以及第二凸部77分別配置在上下方向D2上延伸的直線上，且在上下方向D2上隔開間隔排列多個，但不限定於此。第一凸部76和第二凸部77可以採用任意的配置，例如，也可以沿上下方向D2排列成鋸齒狀。

按照第三實施方式，除了第二實施方式的效果之外，還能夠起到如下效果。在第三實施方式中，第一凸部76以及第二凸部77分別具有能夠與面對面的第三面353以及第四面354點接觸的形狀。因此，在框部71的插入狀態下，第一凸部76以及第二凸部77在第一面711和第三面353之間（對置面之間）以及第二面712和第四面354之間（對置面之間），不易阻礙清潔液在上下方向D2以及左右方向D3的流動。因此，能夠進一步提高「不易產生去汙力不足、清潔液的殘留和乾燥不足等問題」這樣的效果。

本發明並不限定於上述實施方式，能夠在技術方案所記載的技術範圍內進行各種變形。

也可以不設置第二凸部77。能夠適當地組合各實施方式的構成。

另外，容器主體以及蓋體的形狀、容器主體中能夠收納的基板的張數或者尺寸不限定於本實施方式中的容器主體2以及蓋體3的形狀、張數、尺寸。

1‧‧‧基板收納容器2‧‧‧容器主體3‧‧‧蓋體7、7A、7B‧‧‧前止動器(蓋體側基板支撐部)20‧‧‧壁部21‧‧‧容器主體開口部22‧‧‧內壁23‧‧‧上壁24‧‧‧下壁25‧‧‧第一側壁26‧‧‧第二側壁27‧‧‧基板收納空間28‧‧‧開口周緣部35‧‧‧框部保持部36‧‧‧切口部71‧‧‧框部72‧‧‧止動器腳部73‧‧‧蓋體側基板承受部74‧‧‧連接部75‧‧‧卡合部76‧‧‧第一凸部77‧‧‧第二凸部201‧‧‧基板支撐板狀部243‧‧‧容器主體腳部351‧‧‧長槽353‧‧‧第三面354‧‧‧第四面355‧‧‧被卡合部711‧‧‧第一面712‧‧‧第二面715‧‧‧突出片部

圖1是表示本發明的第一實施方式涉及的基板收納容器1中從容器主體2上卸下蓋體3的狀態的立體圖。圖2A是從內側觀察本發明的第一實施方式涉及的蓋體3的立體圖。圖2B是從內側觀察本發明的第一實施方式涉及的蓋體3的後視圖。圖3A是卸下前止動器7從內側觀察本發明的第一實施方式涉及的蓋體3的立體圖。圖3B是卸下前止動器7從內側觀察本發明的第一實施方式涉及的蓋體3的後視圖。圖4A是從內側（支撐側）觀察本發明的第一實施方式涉及的前止動器7的立體圖。圖4B是從外側觀察本發明的第一實施方式涉及的前止動器7的立體圖。圖5A是在本發明的第一實施方式涉及的基板收納容器1中前止動器7的框部71插入到蓋體3的框部保持部35中的局部放大截面立體圖。圖5B是在本發明的第一實施方式涉及的基板收納容器1中前止動器7的框部71插入到蓋體3的框部保持部35中的局部放大截面圖。圖6A是在本發明的第一實施方式涉及的基板收納容器1中前止動器7的卡合部75卡合到蓋體3的框部保持部35中的局部放大立體圖。圖6B是在本發明的第一實施方式涉及的基板收納容器1中前止動器7的卡合部75卡合到蓋體3的框部保持部35中的局部放大後視圖。圖7A是從內側（支撐側）觀察本發明的第二實施方式涉及的前止動器7A的立體圖（對應圖4A的圖）。圖7B是從外側觀察本發明的第二實施方式涉及的前止動器7A的立體圖（對應圖4B的圖）。圖8是在本發明的第二實施方式涉及的基板收納容器中前止動器7A的框部71插入到蓋體3的框部保持部35中的局部放大截面立體圖（對應圖5A的圖）。圖9A是從內側（支撐側）觀察本發明的第三實施方式涉及的前止動器7B的立體圖（對應圖4A的圖）。圖9B是從外側觀察本發明的第三實施方式涉及的前止動器7B的立體圖（對應圖4B的圖）。圖10是在本發明的第三實施方式的基板收納容器中前止動器7B的框部71插入到蓋體3的框部保持部35中的局部放大截面立體圖（對應圖5A的圖）。

3‧‧‧蓋體

7‧‧‧前止動器(蓋體側基板支撐部)

35‧‧‧框部保持部

71‧‧‧框部

72‧‧‧止動器腳部

75‧‧‧卡合部

76‧‧‧第一凸部

77‧‧‧第二凸部

353‧‧‧第三面

354‧‧‧第四面

711‧‧‧第一面

712‧‧‧第二面

715‧‧‧突出片

Claims

一種基板收納容器，其特徵在於，具備：一容器主體，其具備一端部具有形成一容器主體開口部的一開口周緣部且另一端部被閉塞的筒狀的一壁部，由所述壁部的一內面形成能夠收納多個基板且與所述容器主體開口部連通的一基板收納空間；一蓋體，其相對於所述容器主體開口部可裝拆，能夠閉塞所述容器主體開口部；一蓋體側基板支撐部，其在所述容器主體開口部被所述蓋體閉塞時，配置在與所述基板收納空間對置的所述蓋體的部分，能夠支撐所述多個基板的一邊緣部；以及一內側基板支撐部，其在所述基板收納空間內以與所述蓋體側基板支撐部配成對的方式配置，能夠支撐所述多個基板的所述邊緣部，在所述容器主體開口部被所述蓋體閉塞時，能夠與所述蓋體側基板支撐部協同動作，支撐所述多個基板；其中所述蓋體側基板支撐部具備：一蓋體側基板承受部，其在支撐所述基板時，承受所述基板的所述邊緣部；以及一框部，其是由所述蓋體的一內面側保持的所述框部且具有朝向所述蓋體的所述內面側的一第一面以及所述第一面的相反面即一第二面；所述蓋體具備一框部保持部，其是以插入狀態保持所述框部的所述框部保持部且具有與所述第一面面對面的一第三面以及與所述第二面面對面的一第四面；以及所述蓋體側基板支撐部還在所述框部的所述第一面側具備向所述第三面側突出的一第一凸部，並且在所述框部的所述第二面側具備在插入所述框部的狀態下與所述框部保持部卡合的一卡合部。
如請求項1所述的基板收納容器，其特徵在於：所述蓋體側基板支撐部還在所述框部的所述第二面側具備向所述第四面側突出的一第二凸部。
如請求項2所述的基板收納容器，其特徵在於：所述第一凸部和/或所述第二凸部沿著所述基板的面方向延伸。
如請求項2所述的基板收納容器，其特徵在於：所述第一凸部和/或所述第二凸部沿著所述多個基板的一排列方向延伸。
如請求項2所述的基板收納容器，其特徵在於：所述第一凸部或所述第二凸部具有能與面對面的所述第三面或所述第四面點接觸的一形狀。