TW201138007A - Substrate processing apparatus and method - Google Patents

Description

201138007 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關從搬送容器取出基板來進行處理的基板 處理裝置、基板處理方法及記憶媒體。 【先前技術】 用以製造半導體裝置的基板處理裝置，例如有藉由設 於裝載機模組內的搬送臂來從搬送容器的FOUP取出基板 例如半導體晶圓（以下稱爲「晶圓」），而搬送至進行真 空處理或光阻劑的塗布處理等之處理部之裝置爲人所知。 在如此的基板處理裝置中，用以載置（連接）FOUP的載 置部（裝載埠（load port))會被並排設成一列。 而且，爲了調查F0UP內的晶圓的有無及收納晶圓的 高度位置，例如在F0UP或裝載埠設置由光感測器所構成 的映射感測器（mapping sensor )。但，此映射感測器是 例如根據作業者的處理錯誤，在一個的槽中收納複數片例 如2片的晶圓時或1片的晶圓跨越上下2個的槽而傾斜地 收納形成所謂的交叉槽（c r 〇 s s s 1 〇 t )時，會有將檢測結 果判斷成是因爲晶圓的厚度誤差或F0UP的傾斜等所造成 者而誤檢測的情形’因此難以檢測出如此的現象。並且， 在每個的裝載埠需要感測器，所以成本提高。而且，爲了 壓低裝置的設置面積（台面面積（footprint ))，例如裝 載機模組的面積會設計成儘可能地變小，所以在該裝載機 模組內（搬送臂）無法設置大型的感測器。 201138007 在專利文獻1、2中是記載有關使用攝影機來檢測出 FOUP內的晶圓的位置之技術，但如此的攝影機因爲視野 窄，所以爲了攝取FOUP內的晶圓的收容區域全體，例如 需要使攝影機移動或搖動於上下方向’因此需要長時間攝 影，造成總處理能力降低，攝取後的畫像處理會變得繁雜 。又，由於此攝影機的焦点距離長，因此若所欲在搬送臂 與FOUP之間設置攝影機，則需要使攝影機與FOUP大幅 度離開，因此裝置的設置面積增大。另外，在裝載機模組 的FOUP的排列的相反側的區域連接有處理部或進行環境 的切換的裝載鎖定室等，因此干擾搬送臂的搬送動作之虞 大，所以贲際上難以將此攝影機設於該區域。 [先行技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1 ]特開2 0 0 5 - 6 4 5 1 5 [專利文獻2]特表2005-520350 【發明內容】 (發明所欲解決的課題） 本發明是有鑑於如此的情事而硏發者，其目的是在於 提供一種藉由基板搬送機構來從並排複數配置之載置部上 的搬送容器取出基板而進行處理時，可正確地求取載置部 上的搬送容器內的基板的高度位置之基板處理裝置、基板 處理方法及記憶此方法的記憶媒體。 6- 201138007 (用以解決課題的手段） 本發明的基板處理裝置的特徵係具備： 複數的載置部，其係用以載置搬送容器的載置部，分 別設成可將前述搬送容器的複數個並排配置於同方向，該 搬送容器係構成可棚架狀地保持複數片的基板，前面成爲 基板的取出口； 基板搬送機構，其係用以從載置於該等載置部的搬送 容器來取出基板； 處理部，其係對於藉由此基板搬送機構所取出的基板 來進行處理； 攝像部，其係於藉由前述基板搬送機構來進行該搬送 容器內的基板的取出之前用以一起攝取前述搬送容器內的 全部的基板保持區域； 移動機構，其係使此攝像部在包含面臨載置部上的搬 送容器的前面的位置之區域中沿著搬送容器的排列來水平 移動； 根據藉由前述攝像部所攝取搬送容器內的結果來取得 基板的高度位置資訊之手段；及 根據所取得的基板的高度位置資訊來控制前述基板搬 送機構之搬送容器內的基板的接收動作之手段， 前述攝像部係至少對於2個的搬送容器共用。 前述攝像部係具備廣角透鏡爲理想。 前述搬送容器內的基板的前端與攝像部之間的距離係 1 0cm以下爲理想。 201138007 具備照明部爲理想，其係藉由前述移動機構來與攝像 部一起移動，對前述搬送容器內照射光。 本發明的基板處理方法的特徵係包含： 將構成可棚架狀地保持複數片的基板且前面成爲基板 的取出口之搬送容器的複數個並排於同方向分別載置於複 數的載置部之工程； 使攝像部在包含面臨載置部上的搬送容器的前面之位 置的區域中沿著搬送容器的排列來水平移動，使前述攝像 部停止於面臨攝像對象之一的搬送容器的前面之位置，藉 由攝像部來一起攝取該搬送容器內的全部的基板保持區域 之工程： 根據藉由前述攝像部所攝取前述一搬送容器內的結果 來取得基板的高度位置資訊之工程； 使前述攝像部從面臨前述一搬送容器的前面之位置退 避，根據所取得的基板的高度位置資訊，藉由基板搬送機 構來從該一搬送容器內接受基板之工程； 使攝像部在包含面臨載置部上的搬送容器的前面之位 置的區域中沿著搬送容器的排列來水平移動，使前述攝像 部停止於面臨與前述一搬送容器不同的其他的搬送容器的 前面之位置，藉由攝像部來一起攝取該搬送容器內的全部 的基板保持區域之工程； 根據藉由前述攝像部所攝取前述其他的搬送容器內的 結果來取得基板的高度位置資訊之工程： 使前述攝像部從面臨前述其他的搬送容器的前面之位 -8- 201138007 置退避，根據取得後的基板的高度位置資訊，藉由基板搬 送機構來從該其他的搬送容器內接受基板之工程；及 接著，對於前述基板進行處理之工程。 藉由前述攝像部來攝取搬送容器內的全部的基板保持 區域時，藉由廣角透鏡來攝像爲理想。 在藉由前述攝像部來攝取前述基板保持區域時，前述 搬送容器內的基板的前端與攝像部之間的距離係1 〇cm以 下爲理想。 藉由前述攝像部來攝取搬送容器內的全部的基板保持 區域時，對前述搬送容器內照射光爲理想。 本發明的記憶媒體，係儲存使用於基板處理裝置的電 腦程式，該基板處理裝置係從搬送容器取出基板來進行處 理，其特徵爲： 前述電腦程式係被編成步驟，而使能夠實施前述任一 記載的基板處理方法。 [發明的效果] 本發明是在藉由基板搬送機構來進行搬送容器內的基 板的取出之前，使沿著搬送容器的排列而水平移動自如的 攝像部位置成面對搬送容器的前面開口部，一起攝取前述 搬送容器內的全部的基板保持區域，根據此攝像結果來取 得基板的高度位置資訊。因此，可正確地求取搬送容器內 的基板的高度位置，且與例如在基板搬送機構設置共通的 感測器時，可使總處理能力提升。 -9- 201138007 【實施方式】 參照圖1〜圖6來說明有關本發明的實施形態的基板 處理裝置之一例。 如圖1所示，此基板處理裝置是具備： 載置台11，其係用以載置搬送容器的FOUP1之載置 部，該搬送容器是收納複數片例如25片的基板之半導體 晶圓（以下稱爲「晶圓」）W ; 大氣搬送室（裝載機模組）22，其係設有對於被載置 於此載置台1 1的FOUP 1進行晶圓W的搬出入的基板搬 送機構之第1搬送臂21;及 處理部，其係用以對於藉由此第1搬送臂21來從 FOUP1取出的晶圓W例如進行熱處理或電漿處理等的真 空處理。 在大氣搬送室22的側壁面，此例是在圖1中裡側的 側壁面，用以切換大氣環境與真空環境的裝載鎖定室3 2 會並排連接於兩處，包含前述處理部的處理容器之處理模 組3 4是被氣密地連接至設在該等裝載鎖定室3 2、3 2之與 大氣搬送室22相反側的側壁之真空搬送室3 3。此例，處 理模組3 4是設於複數處，例如6處。在前述真空搬送室 33內，爲了在各個的處理模組34與裝載鎖定室32之間 進行晶圆W的交接，而設有兩座第2搬送臂40。在與前 述裝載鎖定室32鄰接的大氣搬送室22的側壁面形成有用 以進行晶圓W的搬送之交接口 22a。另外，圖1中G是 閘閥。 •10- 201138007 在大氣搬送室22的側壁面之與連接前述裝載鎖定室 3 2的面不同的面，此例是在圖1中前側的側壁面，前述 載置台1 1會並排地複數處例如3處設成一列，且在接近 此載置台Π之大氣搬送室2 2的側壁面分別如圖2所示般 形成有用以在FOUP1與大氣搬送室22之間進行晶圓W 的搬送之搬送口 23。另外，配置有該等3台的載置台11 的區域是構成裝載埠。在大氣搬送室22內，如圖1及圖 2所示，設有堵住搬送口 23的同時用以卸下設於FOUP1 的正面的門la之開啓器（opener ) 24。此開啓器24是載 置於載置台11 (詳細是設於載置台11上的載體台11a) 上的F0UP1藉由該載置台1 1來拉近大氣搬送室22側（ 圖1中裡側）而一旦FOUP1的開口部的搬出入口 lb與搬 送口 23接觸，則會與門la —同下降於大氣搬送室22內 ，連通F0UP1的內部區域與大氣搬送室22內。 如圖1及圖2所示，前述第1搬送臂21是在已述的 大氣搬送室22的長度方向（圖1中左右方向）的大致中 央，藉由從地面延伸的昇降支撐軸2 5來昇降自如地支撐 ，構成可藉由對於已述的載置台11上的各個F0UP1及2 個裝載鎖定室32的晶圓W的載置面昇降來交接晶圓W。 並且，第1搬送臂21是構成多關節臂，而使能夠對於該 等的載置台11上的各個FOUP1及2個裝載鎖定室32搬 送晶圓W，具備：被連接至前述昇降支撐軸25的上端側 之基體2 1 a、及用以從下面側來支撐晶圓W而搬送之例如 2個的臂21b、21b、及設於該等的基體21a與臂21b之間 -11 - 201138007 ，以各個的基端側彼此間能夠被連接的方式層疊之2個的 腕部21c。圖2中，25a是用以使昇降支撐軸25昇降的昇 降機。 又，如圖1所示，在大氣搬送室22的側方側設有用 以調整晶圓W的方向或修正偏心的調整（Alignment)裝 置12，例如從FOUP1取出晶圓W後，搬送至裝載鎖定室 32前，以此調整裝置1 2來進行晶圓W的方向調整或偏心 的修正。另外，有關前述第1搬送臂21是模式性地描繪 〇 其次，說明有關爲了分別針對載置於載置台1 1上的 FOUP1來檢測出該等的FOUP1內的晶圓W所被收納的高 度位置，而共通設於該等的FOUP1之攝像單元41。首先 ，參照圖3來簡單地說明有關FOUP1的內部構造。在 FOUP1內，從下方側來支撐晶圓W的周緣部之爪部3會 沿著該FOUP1的內面來多段地設於複數處。 若將爪部3上載置晶圓W的區域（基板保持區域） 稱爲槽（slot) 4，則在FOUP1內是以此槽4能夠在上下 方向層疊成複數處例如2 5處的方式設置爪部3，彼此鄰 接的晶圓W間的離間距離（間距）是例如設定成10mm 程度。因此，在FOUP 1內收納晶圓W的收納區域2的高 度尺寸Η是例如形成2 5 0 m m。 在前述大氣搬送室22的前側的內壁面之面臨搬送口 23的區域的上方側，以能夠沿著3個FOUP 1的排列之方 式設有延伸於水平方向的引導部之軌道2 6。在此軌道2 6 -12- 201138007 ，如圖2所示，以不會干擾已述的門la及開啓器24來嵌 合於該軌道26而能夠移動於左右方向（搬送室22的長度 方向）之方式，僅該等的門1 a及開啓器24的移動區域部 分從大氣搬送室22的內壁面離開至裡側（裝載鎖定室32 側）的位置設有延伸至下方側的支撐部2 7。在此軌道2 6 的側方位置設有與該軌道26平行地在支撐部27內貫通於 左右方向的滾珠螺桿28 ’藉由此滾珠螺桿28的外周面與 支撐部27的內周面螺合來構成支撐部27可沿著軌道26 移動。在大氣搬送室22的外方之滾珠螺桿28的一端側連 接用以使該滾珠螺桿28繞著軸旋轉的移動機構之馬達 2 8a，根據此馬達28a的旋轉量（編碼器値）來求取支撐 部27的位置。另外，在圖4中省略了滾珠螺桿28及第1 搬送臂21的描繪。 在前述支撐部27設有已述的攝像單元41，此攝像單 元41是具備用以攝取FOUP1內的攝像部。如圖5所示， 此攝像部包含CCD攝影機42、及設於CCD.攝影機42的 側面之搬送口 23側的廣角透鏡43，且攝像單元41具備 朝C CD攝影機42的攝像區域（FOUP1內）照射光之LED 等的照明部44。又，如圖3所示，攝像單元41是以能夠 一起（一次）攝取被載置於載置台11上的FOUP1內的各 個收納區域2的全體之方式，以能夠在各個收納區域2的 高度方向位於大致中央的狀態下沿著軌道26移動的方式 設定該攝像單元41的高度尺寸h(支撐部27的長度尺寸 )。然後’藉由此攝像單元41所攝取的攝像結果（畫像 -13- 201138007 資料）是利用未圖示的纜線等來傳送至後述的控制部5 1 。另外’在此例中’前述照明部44是被安裝於廣角透鏡 4 3的上下兩側。 前述廣角透鏡4 3是例如由日東光學股份有限公司所 製造的商品名「Theia」的透鏡（美國專利US7009765B2 )。此廣角透鏡43的移動路（已述的軌道26)最好在比 第1搬送臂21的旋轉中心更靠FOUP1側，攝像單元41 在攝取一 FOUP1內時，對鄰接於該FOUP1的FOUP1之 第1搬送臂21的晶圓W交接不會干擾的位置。在此例中 ，爲了攝取例如420mmx297mm的範圍，而使用必要的設 置距離（攝像對象物與透鏡之問的離間距離）爲1 〇cm的 廣角透鏡43，因此使軌道26接近FOUP1來配置。 又，如圖6所示，此基板處理裝置是具備用以進行裝 置全體的動作的控制之電腦所構成的控制部5 1，此控制 部51是具備CPU52、攝影機移動程式53a、映射程式53b 、搬送臂的動作程式53c及記憶體54。另外，各程式53a 、53b、53c實際上是被儲存於程式記憶部，但在圖8中 是對「程式」附上符號而簡略化。 攝影機移動程式53a是包含：辨識FOUP1的門la的 開放之步驟、及辨識CCD攝影機42的移動目的地之後， 在移動至該移動目的地時判斷第1搬送臂21是否進行干 擾CCD攝影機42的移動路的搬送動作之步驟、及當第1 搬送臂21進行干擾CCD攝影機42的移動的搬送動作時 到干擾消失爲至禁止CCD攝影機42的移動之步驟。 -14- 201138007 又，映射程式53b包含：根據藉由CCD攝影機42所 取得的畫像資料來判定各晶圓W的高度位置的取得及晶 圓W的保持狀態的異常的有無之映射步驟。亦即，CCD 攝影機42的高度位置與載置台11的高度位置的關係爲一 定，因此藉由CCD攝影機42所取得之畫像資料上的各部 的高度位置可知，此例是管理第1搬送臂21的位置之座 標系的Z座標位置可知。於是，映射程式53b可根據藉由 C CD攝影機42所取得的畫像資料來檢測出各晶圓W的高 度位置，記憶此檢測結果。另外，藉由求取晶圓 W的高 度位置，亦可得知結果在FO UP 1內的各槽4之晶圓W的 有無。並且，在FOUP1內晶圓W未被正常地收納時，具 體而言，例如在一個的槽4收納複數的晶圓W時或例如 晶圓W跨越上下2個的槽4而傾斜地被收納時，根據前 述畫像資料來檢測出晶圓W的保持狀態的異常。 第1搬送臂21的動作程式53c是包含：在CCD攝影 機42移動時’當第1搬送臂21所欲進行干擾CCD攝影 機42的移動路之搬送動作時，到干擾消失爲止禁止第i 搬送臂21的搬送動作之步驟。 前述記憶體54是用以記憶處方及晶圓w的高度位置 的資訊（晶圓W的高度位置資訊），該處方是記憶有按 照對於各個的晶圓W進行的處理種別之處理條件（例如 電漿處理時所施加的高頻電力、處理氣體的流量、處理壓 力、處理時間等），該晶圓W的高度位置資訊是藉由前 述映射程式53b來對每個FOUP1檢測出。 -15- 201138007 前述程式53是從硬碟、光碟、光磁碟、記憶卡、軟 碟等的記憶媒體56來安裝於控制部51內。 其次，參照圖7〜圖11來說明有關使用前述基板處 理裝置的基板處理方法之一例。此刻，如圖1 0 ( a )所示 ，對於3個載置台Π的其中例如中央的載置台11上的 FOUP1完成映射’且藉由第1搬送臂21來取出晶圓W而 依序搬送至裝載鎖定室32。此時，攝像單元41是在離開 FOUP1的排列之待機位置1 00，依照步驟S 1 1的「NO」 的迴路待機。另外，在此圖10中是省略了處理部的記載 ，且有關第1搬送臂21等是模式性地顯示。 在此狀態下例如在左側的載置台1 1上載置F Ο U P 1， 如圖9所示，一旦門1 a打開，則在步驟S1 1成爲「YES 」’判定第1搬送臂2 1是否進行對於從待機位置1 〇〇往 與移動目的地的該FOUP1對向的位置之攝像單元41的移 動路干擾的搬送動作（步驟S12)。當第1搬送臂21進 行干擾攝像單元4 1的移動路之搬送動作時，如圖1 〇 ( b )所示，例如可舉第1搬送臂21從3個載置台2的其中 中央的FOUP1取出晶圓W時，攝像單元41爲了橫穿過 接近該中央的FOUP1的區域來例如從待機位置1〇〇攝取 右側的FOUP 1而移動時等。如此的情況是到干擾消失爲 止’亦即到第1搬送臂21的搬送動作終了爲止，禁止攝 像單元4 1的移動。 其次，攝像單元41會移動至面臨門1 a被打開的 FOUP1的內部之位置（與FOUP1對向的位置）（步驟 -16- 201138007 S13)，藉由CCD攝影機42來攝取FOUP1內（步驟S14 )。然後’根據藉由CCD攝影機42所攝取的畫像資料， 如已述般進行映射亦即FOUP 1內的各晶圓W的高度位置 的辨識（步驟S 1 5 )、及晶圓w是否被正常地收納的判定 (步驟S 1 6 )。當被檢測出晶圓W的收納狀態異常時，例 如警報5 7會作動（步驟S 1 7 )，停止第1搬送臂2 1的搬 送動作。此情況，例如操作者會進行從載置台1 1上解除 該FOUP1而來確認FOUP1內等的對應。 接著，攝像單元41會退避至已述的待機位置1〇〇。 由於圖7所示的流程是簡略，所以若針對動作來補充記載 ’則在此時的攝像單元41的移動也是如步驟S12那樣， 當其移動路與第1搬送臂21的搬送動作干擾時，到搬送 動作終了爲止，攝像單元41的移動會被禁止。而且，根 據前述映射結果，若晶圓W的收納狀態未檢測出異常， 則藉由第1搬送臂21來進行晶圓W的搬出動作（步驟 S18 )。此時，辨識進行晶圓w的取出之FOUP1的位置 (步驟S21 )，且判定攝像單元41是否爲移動中（步驟 S 22)，判斷攝像單元41的移動路與第1搬送臂21的搬 送動作是否干擾（步驟S23 )。然後，在干擾時，到攝像 單元41的移動完了爲止，第1搬送臂2 1會待機，然後藉 由第1搬送臂21來從FOUP1取出晶圓W。更詳細，第1 搬送臂21是依據在FOUP1、調整裝置12及裝載鎖定室 3 2之間所被決定的規則來進行晶圓W的搬送，參照記億 體54，對於進行新的映射之F0UP1’按照前述規格來對 201138007 FOUP 1進行存取，根據記億體54內的晶圓W的高度位置 資訊來進行晶圓w的取出。有關晶圓~的取出動作是根 據晶圓W的高度位置資訊來使臂21b進入FOUP1內而撈 起晶圓W，使臂21b後退（步驟S24) ° 其次，經由已述的調整裝置12、裝載鎖定室32及真 空搬送室3 3來將晶圓W搬入至處理模組3 4。如此將 FOUP 1內的晶圓W依序搬入處理模組3 4的同時，有關處 理終了的晶圓W是隨時回到FOUP1內。 若根據上述的實施形態’則在藉由第1搬送臂2 1來 進行F Ο U P 1內的晶圓W的取出之前，使沿著F Ο U P 1的排 列來水平移動自如的攝像單元41位置成面臨FOUP1的搬 出入口 lb，將FOUP1內的全部的槽4予以一起攝像’根 據此攝像結果來取得晶圓W的高度位置資訊。因此’可 正確地求取F0UP1之晶圓W的高度位置’例如與在第1 搬送臂2 1設置共通的感測器時作比較’可使總處理能力 提升。 因此，例如圖1 1 ( a ) 、 （ b )所示’即使是例如因 爲作業者的處理錯誤而1片的晶圓…跨越上下2個的槽4 傾斜地收納形成所謂的交叉槽時或在一個的槽4中收納複 數片例如2片的晶圓W時’甚至使用例如隨時間的經過 各槽4的高度位置歪斜的F Ο ϋ P 1時’照樣可例如不仰賴 紅外線的透過或遮断等’以該等的晶圓w所被收納的收 納區域2作爲畫像來直接攝像’所以可容易判別如此的不 良情形。因此，當第1搬送臂21 (臂21b)從F0UP1搬 -18- 201138007 出晶圓W時，可避免晶圓W的接收錯誤或與晶圓W的衝 突等事故。 又’由於使用可一次攝取收納區域2的廣角透鏡43 ’所以不需要例如使攝像區域窄的攝影機在上下方向移動 或搖動等的機構，因此攝像時間短，且畫像資料的處理也 容易。又，例如相較於魚眼透鏡等，由於畫像的周緣部的 變形小，因此可正確地求取晶圓W的高度位置。 又，由於CCD攝影機42對於攝像對象物（FOUP1內 的收納區域2)可在接近10 cm的位竄攝像，因此不會造 成對其他的FOUP1之第1搬送臂21的搬送動作的妨礙， 可抑制總處理能力的降低。 又，由於使攝像單元41對於複數的FOUP1共通化， 因此與在F Ο U P 1或載置台1 1設置映射感測器時作比較， 可降低成本。 在前述實施形態是藉由多關節臂來構成第1搬送臂 21，可藉由此第1搬送臂21的轉動及伸縮動作來對3個 的FOUP1、調整裝置12及2個的裝載鎖定室32進行存 取，但亦可例如圖12所示，在可移動於大氣搬送室22的 長度方向（圖1中左右方向）的移動基體21a上設置旋轉 自如及伸縮自如的臂21b，使移動基體21a移動至各 FOUP1之前，對FOUP1內進行存取。此情況，如圖η所 示，可將攝像單元41的引導部之軌道2 6設於第1搬送臂 21的基體21a’利用第1搬送臂21的移動行程來縮短軌 道26的長度尺寸。另外，有關圖12及圖13是省略處理 -19- 201138007 部的記載。 並且，使攝像單元41在3個的載置台11共通化使用 ，但亦可在該等的載置台11的其中2個的載置台11共通 化，有關剩下的載置台1 1是例如個別地設置攝像單元4 1 。又，當3個以上例如5個的載置台11被連接至大氣搬 送室22時，亦可在該等的載置台11全部設置共通的攝像 單元41，或例如圖14所示，在該等的載置台11的其中 至少2個例如3個的載置台11設置共通的攝像單元41的 同時，在剩下的2個的載置台11另外設置共通的攝像單 元41。此情況，有關2個的攝像單元41，各個的攝像單 元41可固定接受攝像的載置台11，或2個的攝像單元41 可彼此獨立對於全部的載置台1 1攝取收納區域2。亦即 ，在大氣搬送室22的前側並排成一列5個載置台1 1的其 中右側的2個載置台1 1設置共通的攝像單元4 1，左側的 3個載置台11設置共通的攝像單元41，或從右端的載置 台1 1到左端的載置台1 1分別設置2個攝像單元4 1的各 個軌道26，各個的攝像單元41可分別攝取5個載置台11 上的FOUP1內。 前述基板處理裝置是說明有關在此裝置的外側連接 FOUP1的例子，但亦可爲例如將複數的FOUP1依序搬入 裝置的內部，在此裝置內從FOUP1依序取出晶圓W，分 別將FOUP1保管於裝置內部的縱型熱處理裝置。又，本 案說明書的基板處理亦包含進行對於晶圓w所形成的電 路或外觀的檢查時。並且，針對具備複數的處理模組34 -20- 201138007 的多腔室模組的基板處理裝置來進行說明，但亦可將本發 明適用於例如塗佈、顯像裝置等。又，收納晶圓w的收 納容器是舉密閉型的FOUP 1爲例來進行說明，但亦可爲 在前面附有蓋之所謂開放型的卡匣（載體）構成的搬送容 器。 【圖式簡單說明】 圖1是表示本發明的基板處理裝置之一例的平面圖。 圖2是表示前述基板處理裝置之一部分的側面圖。 圖3是表示前述FOUP的內部區域的槪略圖。 圖4是由搬送臂側來看被連接至前述基板處理裝置的 複數個FOUP的正面圖。 圖5是表示設於前述基板處理裝置的攝像單元之一例 的側面圖。 圖6是表示前述基板處理裝置的控制部之一例的槪略 圖。 圖7是表示前述基板處理裝置的作用之一例的流程圖 〇 圖8是表示前述基板處理裝置的作用之一例的流程圖 〇 圖9是表示在前述基板處理裝置連接FOUP的狀態的 模式圖。 圖10是表示前述基板處理方法的作用之一例的平面 圖。 -21 - 201138007 圖11是表示在前述基板處理方法中進行映射的 FOUP之一例的模式圖。 圖1 2是表示本發明的其他實施形態的基板處理裝置 的平面圖。 圖1 3是表示本發明的其他實施形態的基板處理裝置 的平面圖。 圖1 4是表示本發明的其他實施形態的基板處理裝置 的平面圖。 【主要元件符號說明】 w :晶圆

1 : FOUP 2 :收容區域 11 :載置台 21 :第1搬送臂 22 :大氣搬送室 22a :交接口 23 :搬送口 26 :軌道 34 :處理模組 4 1 :攝像單元 5 1 :控制部 5 3 :程式 -22-

Claims (1)

1. 201138007 七、申請專利範圍： 1 . 一種基板處理裝置，其特徵係具備： 複數的載置部，其係用以載置搬送容器的載置部’分 別設成可將前述搬送容器的複數個並排配置於同方向，該 搬送容器係構成可棚架狀地保持複數片的基板，前面成爲 基板的取出口； 基板搬送機構，其係用以從載置於該等載置部的搬送 容器來取出基板； 處理部，其係對於藉由此基板搬送機構所取出的基板 來進行處理； 攝像部，其係於藉由前述基板搬送機構來進行該搬送 容器內的基板的取出之前用以一起攝取前述搬送容器內的 全部的基板保持區域； 移動機構，其係使此攝像部在包含面臨載置部上的搬 送容器的前面的位置之區域中沿著搬送容器的排列來水平 移動； 根據藉由前述攝像部所攝取搬送容器內的結果來取得 基板的高度位置資訊之手段；及 根據所取得的基板的高度位置資訊來控制前述基板搬 送機構之搬送容器內的基板的接收動作之手段， 前述攝像部係至少對於2個的搬送容器共用。 2_如申請專利範圍第1項之基板處理裝置，其中，前 述攝像部係具備廣角透鏡。 3 ·如申請專利範圍第1或2項之基板處理裝置，其中 -23- 201138007 ’前述搬送容器內的基板的前端與攝像部之間的距離爲 1 0cm以下。 4 ·如申請專利範圍第1〜3項中的任一項所記載之基 板處理裝置，其中，具備照明部，其係藉由前述移動機構 來與攝像部一起移動，對前述搬送容器內照射光。 5·—種基板處理方法，其特徵係包含： 將構成可棚架狀地保持複數片的基板且前面成爲基板 的取出口之搬送容器的複數個並排於同方向分別載置於複 數的載置部之工程； 使攝像部在包含面臨載置部上的搬送容器的前面之位 置的區域中沿著搬送容器的排列來水平移動，使前述攝像 部停止於面臨攝像對象之一的搬送容器的前面之位置，藉 由攝像部來一起攝取該搬送容器內的全部的基板保持區域 之工程； 根據藉由前述攝像部所攝取前述一搬送容器內的結果 來取得基板的高度位置資訊之工程； 使前述攝像部從面臨前述一搬送容器的前面之位置退 避，根據所取得的基板的高度位置資訊，藉由基板搬送機 構來從該一搬送容器內接受基板之工程； 使攝像部在包含面臨載置部上的搬送容器的前面& β 置的區域中沿著搬送容器的排列來水平移動，使前述攝像 部停止於面臨與前述一搬送容器不同的其他的搬送容胃@ 前面之位置，藉由攝像部來一起攝取該搬送容器內的全部 的基板保持區域之工程； -24- 201138007 根據藉由前述攝像部所攝取前述其他的搬送容器內的 結果來取得基板的高度位置資訊之工程； 使前述攝像部從面臨前述其他的搬送容器的前面之位 置退避，根據取得的基板的高度位置資訊，藉由基板搬送 機構來從該其他的搬送容器內接受基板之工程；及 接著，對於前述基板進行處理之工程。 6. 如申請專利範圍第5項之基板處理方法，其中，藉 由前述攝像部來攝取搬送容器內的全部的基板保持區域時 ，係藉由廣角透鏡來攝像。 7. 如申請專利範圍第5或6項之基板處理方法，其中 ，在藉由前述攝像部來攝取前述基板保持區域時，前述搬 送容器內的基板的前端與攝像部之間的距離爲1 0cm以下 〇 8. 如申請專利範圍第5〜7項中的任一項所記載之基 板處理方法，其中，藉由前述攝像部來攝取搬送容器內的 全部的基板保持區域時，對前述搬送容器內照射光。 9. 一種記憶媒體，係儲存使用於基板處理裝置的電腦 程式，該基板處理裝置係從搬送容器取出基板來進行處理 ，其特徵爲： 前述電腦程式係被編成步驟，而使能夠實施如申請專 利範圍第5〜8項中的任一項所記載之基板處理方法。 -25-