JP2018121000A - 発光装置の製造方法 - Google Patents
発光装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018121000A JP2018121000A JP2017012620A JP2017012620A JP2018121000A JP 2018121000 A JP2018121000 A JP 2018121000A JP 2017012620 A JP2017012620 A JP 2017012620A JP 2017012620 A JP2017012620 A JP 2017012620A JP 2018121000 A JP2018121000 A JP 2018121000A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- point
- wire
- moving
- connection
- connection point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10H—INORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
- H10H20/00—Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
- H10H20/80—Constructional details
- H10H20/85—Packages
- H10H20/857—Interconnections, e.g. lead-frames, bond wires or solder balls
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10H—INORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
- H10H20/00—Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
- H10H20/80—Constructional details
- H10H20/85—Packages
- H10H20/852—Encapsulations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45147—Copper (Cu) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45163—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than 1550°C
- H01L2224/45169—Platinum (Pt) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10H—INORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
- H10H20/00—Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
- H10H20/01—Manufacture or treatment
- H10H20/036—Manufacture or treatment of packages
- H10H20/0362—Manufacture or treatment of packages of encapsulations
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10H—INORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
- H10H20/00—Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
- H10H20/01—Manufacture or treatment
- H10H20/036—Manufacture or treatment of packages
- H10H20/0364—Manufacture or treatment of packages of interconnections
-
- H10W72/07173—
-
- H10W72/07521—
-
- H10W72/07553—
-
- H10W72/531—
-
- H10W72/536—
-
- H10W72/5363—
-
- H10W72/537—
-
- H10W72/552—
-
- H10W72/5522—
-
- H10W72/5524—
-
- H10W72/5525—
-
- H10W90/756—
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
Description
基板上に載置された発光素子上の第1接続点と、第1接続点から+X方向に位置する基板上の第2接続点とをワイヤで接続する工程を含む発光装置の製造方法であって、発光素子が載置された前記基板を準備する工程と、キャピラリに挿通されたワイヤにイニシャルボールを形成し、イニシャルボールを発光素子上の第1接続点に当接してボール部を接続する第1接続工程と、キャピラリを、第1接続点の上方の+Z方向に位置する第1点まで移動させる第1移動工程と、キャピラリを、第1点から前記第2接続点と反対側の−X方向に位置する第2点まで移動させる第2移動工程と、キャピラリを、第2点から、基板上の第2接続点の上方を通り超えて+X方向であって、かつ、+Z方向に位置する第3点まで移動する第3移動工程と、キャピラリを、第3点から−X方向に位置する第2接続点まで移動して、ワイヤを第2接続点に接合する第2接続工程と、ワイヤを封止する封止部材を形成する封止部材形成工程と、を備える発光装置の製造方法。
図2に示すように、発光素子20が載置された基板10を準備する。尚、図2では、1つの発光装置となる基板10を例示しているが、工程内において、基板10は、複数の発光装置となる部分を複数備えた集合基板として用いられる。
第1接続工程は、ワイヤ30を第1接続点J1に接続させる工程である。そして、第1接続工程は、ワイヤ30のボール部32を形成する工程である。第1接続工程では、まず、図3Aに示すように、キャピラリ50に挿通されたワイヤ30にイニシャルボール31を形成する。詳細には、ワイヤ30の先端を電気放電等によって溶融させることでイニシャルボール31を形成する。電気放電等の条件は、ワイヤ30の組成、径、目的とするイニシャルボール31の大きさ等に応じて適宜選択することができる。
第1移動工程は、キャピラリ50を上方向に移動させる工程である。そして、第1移動工程は、ワイヤ30のネック部331を形成する工程である。第1移動工程は、詳細には、図4B、図5(b)に示すように、キャピラリ50を、第1接続点J1の上方の+Z方向に位置する第1点P1まで移動させる工程である。第1移動工程内において、ボール部32から延伸するワイヤ30は、キャピラリ50の貫通孔内に挿通されており、固定されていない。そのため、第1移動工程によって、キャピラリ50が移動するのに伴い、キャピラリ50の先端からワイヤ30が繰り出されることになる。後述の第2移動工程、及び第3移動工程においても、キャピラリ50は先端からワイヤ30を繰り出しながら移動する。
第2移動工程は、キャピラリ50を第1点P1から第2点P2まで移動させる工程である。そして、第2移動工程は、ワイヤ30の屈曲部332を形成する工程である。第2点P2は、図4Bに示すように、第1点P1からみて−X方向に位置する。この第2移動工程におけるキャピラリの動作は、いわゆるリバース動作と称される動きである。第2移動工程においてキャピラリ50を第2点P2まで移動させることで、図5(c)に示すように、ワイヤ30は、ボール部32から斜め方向に引っ張られる。
第3移動工程は、キャピラリ50を第2点P2から第3点P3まで移動させる工程である。そして、第3移動工程は、ワイヤ30の撓み部333を形成する工程である。第3点P3は、図4に示すように、第2点P2からみて+X方向に位置する。さらに、第3点P3は、基板10上の第2接続点J2の上方を通り超えて+X方向に位置している。詳細には、第3点P3は、第2接続点J2よりも距離D5だけ+X方向に位置した位置にある。つまり、第3点P3は、第2接続点J2よりも遠い位置にある。
第2接続工程は、ワイヤ30を第2接続点J2に接続させる工程である。そして、第2接続工程は、ワイヤ30の接続部34を形成する工程である。第2接続点J2は基板10上の導電部材12上に位置しており、この導電部材12とワイヤ30とを接続させる。第2接続点J2は、図4に示すように、第3点P3からみて−X方向に距離D5の位置に位置している。
尚、第1接続工程、第1移動工程、及び、第2接続工程については、図4A、図4B、図5の説明と重複するため必要な個所以外は省略する。
第2a移動工程は、第2移動工程のあとに行われる工程である。第2a移動工程は、キャピラリ50を第2点P2から第2a点P2aまで移動させる工程である。第2a点P2aは、図9Bに示すように、第2点P2からみて+Z方向に位置する。第2点Pa点の位置によって、第1屈曲部332aと第2屈曲部332bまでの距離が決められる。
キャピラリ50を上方向に移動させる工程である。
第2b移動工程は、キャピラリ50を第2a点P2aから第2b点P2bまで移動させる工程である。そして、第2b移動工程は、ワイヤ30Aの第2屈曲部332bを形成する工程である。第2b点P2bは、図9Bに示すように、第2a点P2aからみて−X方向に位置する。この第2b移動工程におけるキャピラリの動作は、いわゆるリバース動作と称される動きである。第2b移動工程においてキャピラリ50を第2b点P2bまで移動させることで、図10(e)に示すように、ワイヤ30Aは、斜め方向に引っ張られる。
次に、図7に示すように、発光素子20及びワイヤ30を封止する封止部材40を形成する。ここでは、基板10が凹部13を備えている例を示しており、封止部材40は、凹部13内に形成される。封止部材40は、液状又はペースト状の樹脂材料をディスペンスノズル等で供給し、その後、熱又は光で硬化させることで形成することができる。
10…基板
11…基材
12…導電部材
13…凹部
20…発光素子
30、30A…ワイヤ
31…イニシャルボール
32…ボール部
33…ループ部
331…ネック部
332…屈曲部(332a…第1屈曲部、332b…第2屈曲部)
333…撓み部
34…接続部
40…封止部材
50…キャピラリ
60…ノズル
J1…第1接続点
J2…第2接続点
P1…第1点
P2…第2点(P2a…第2a点、P2b…第2b点)
P3…第3点
L1、L2…最短仮想線
T、T‘、T2…移動軌跡
Claims (3)
- 基板上に載置された発光素子上の第1接続点と、前記第1接続点から+X方向に位置する前記基板上の第2接続点とをワイヤで接続する工程を含む発光装置の製造方法であって、
前記発光素子が載置された前記基板を準備する工程と、
キャピラリに挿通されたワイヤにイニシャルボールを形成し、前記イニシャルボールを前記発光素子上の前記第1接続点に当接してボール部を接続する第1接続工程と、
前記キャピラリを、前記第1接続点の上方の+Z方向に位置する第1点まで移動させる第1移動工程と、
前記キャピラリを、前記第1点から前記第2接続点と反対側の−X方向に位置する第2点まで移動させる第2移動工程と、
前記キャピラリを、前記第2点から、前記基板上の前記第2接続点の上方を通り超えて+X方向であって、かつ、+Z方向に位置する第3点まで移動する第3移動工程と、
前記キャピラリを、前記第3点から−X方向に位置する前記第2接続点まで移動して、前記ワイヤを前記第2接続点に接合する第2接続工程と、
前記ワイヤを封止する封止部材を形成する封止部材形成工程と、
を備える発光装置の製造方法。 - 前記第3点と前記第2接続点との上面視における距離は、30μm〜150μmである請求項1記載の発光装置の製造方法。
- 前記第2移動工程の後に、前記前記キャピラリを前記第2点の上方に位置する第2a点まで移動させる第2a移動工程と、
前記キャピラリを、前記第2a点から前記第2接続点と反対側の−X方向に位置する第2b点まで移動させる第2b移動工程と、
前記第3移動工程として、前記キャピラリを、前記第2b点から、前記基板上の前記第2接続点の上方を通り超えて+X方向に位置する第3点まで移動する第3移動工程と、
を備える、請求項1又は請求項2記載の発光装置の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017012620A JP6519599B2 (ja) | 2017-01-27 | 2017-01-27 | 発光装置の製造方法 |
| US15/877,846 US10181452B2 (en) | 2017-01-27 | 2018-01-23 | Method for manufacturing light-emitting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017012620A JP6519599B2 (ja) | 2017-01-27 | 2017-01-27 | 発光装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018121000A true JP2018121000A (ja) | 2018-08-02 |
| JP6519599B2 JP6519599B2 (ja) | 2019-05-29 |
Family
ID=62980691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017012620A Active JP6519599B2 (ja) | 2017-01-27 | 2017-01-27 | 発光装置の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10181452B2 (ja) |
| JP (1) | JP6519599B2 (ja) |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS558085A (en) * | 1978-07-03 | 1980-01-21 | Nec Corp | Wire bonding method |
| JPS62108533A (ja) * | 1985-11-06 | 1987-05-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ワイヤボンデイング方法 |
| JPH04155843A (ja) * | 1990-10-19 | 1992-05-28 | Kaijo Corp | ワイヤボンディング方法 |
| JPH10256297A (ja) * | 1997-03-06 | 1998-09-25 | Shinkawa Ltd | ワイヤボンディング方法 |
| US6457235B1 (en) * | 2000-06-09 | 2002-10-01 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Method of wire-bonding circuit chip to bonding pad |
| JP2003273150A (ja) * | 2002-03-15 | 2003-09-26 | Shibaura Mechatronics Corp | ワイヤボンディング方法及び装置 |
| WO2008069204A1 (ja) * | 2006-12-04 | 2008-06-12 | Alps Electric Co., Ltd. | 発光装置およびプロジェクタ |
| JP2009503822A (ja) * | 2005-07-26 | 2009-01-29 | マイクロボンズ・インコーポレイテッド | 絶縁ワイヤボンドを用いてパッケージ集積回路を組み立てるためのシステムおよび方法 |
| JP2012204558A (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-22 | Citizen Electronics Co Ltd | ワイヤーボンディング構造 |
| JP2016201456A (ja) * | 2015-04-09 | 2016-12-01 | 豊田合成株式会社 | 発光装置 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5458352A (en) | 1977-10-19 | 1979-05-11 | Shinkawa Seisakusho Kk | Method of bonding wire |
| JP2977990B2 (ja) | 1992-02-13 | 1999-11-15 | 株式会社カイジョー | ワイヤボンディング方法 |
| JP3595386B2 (ja) | 1995-09-12 | 2004-12-02 | 田中電子工業株式会社 | 半導体装置 |
| JP4106039B2 (ja) | 2003-06-27 | 2008-06-25 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング方法 |
| JP4879923B2 (ja) | 2003-06-27 | 2012-02-22 | 株式会社新川 | 半導体装置 |
| JP3830485B2 (ja) | 2003-11-06 | 2006-10-04 | 株式会社カイジョー | ワイヤループ形状、そのワイヤループ形状を備えた半導体装置、ワイヤボンディング方法 |
| DE102006011352A1 (de) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Unaxis International Trading Ltd. | Verfahren zur Herstellung einer Drahtverbindung |
-
2017
- 2017-01-27 JP JP2017012620A patent/JP6519599B2/ja active Active
-
2018
- 2018-01-23 US US15/877,846 patent/US10181452B2/en active Active
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS558085A (en) * | 1978-07-03 | 1980-01-21 | Nec Corp | Wire bonding method |
| JPS62108533A (ja) * | 1985-11-06 | 1987-05-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ワイヤボンデイング方法 |
| JPH04155843A (ja) * | 1990-10-19 | 1992-05-28 | Kaijo Corp | ワイヤボンディング方法 |
| JPH10256297A (ja) * | 1997-03-06 | 1998-09-25 | Shinkawa Ltd | ワイヤボンディング方法 |
| US6457235B1 (en) * | 2000-06-09 | 2002-10-01 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Method of wire-bonding circuit chip to bonding pad |
| JP2003273150A (ja) * | 2002-03-15 | 2003-09-26 | Shibaura Mechatronics Corp | ワイヤボンディング方法及び装置 |
| JP2009503822A (ja) * | 2005-07-26 | 2009-01-29 | マイクロボンズ・インコーポレイテッド | 絶縁ワイヤボンドを用いてパッケージ集積回路を組み立てるためのシステムおよび方法 |
| WO2008069204A1 (ja) * | 2006-12-04 | 2008-06-12 | Alps Electric Co., Ltd. | 発光装置およびプロジェクタ |
| JP2012204558A (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-22 | Citizen Electronics Co Ltd | ワイヤーボンディング構造 |
| JP2016201456A (ja) * | 2015-04-09 | 2016-12-01 | 豊田合成株式会社 | 発光装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP6519599B2 (ja) | 2019-05-29 |
| US10181452B2 (en) | 2019-01-15 |
| US20180218995A1 (en) | 2018-08-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6290380B2 (ja) | 発光装置用基板、発光装置、及び、発光装置用基板の製造方法 | |
| CN102593333B (zh) | 发光装置封装及其制造方法 | |
| US10967588B2 (en) | Method of manufacturing light emitting device | |
| JP2008060344A (ja) | 半導体発光装置 | |
| JP6090680B2 (ja) | 発光モジュール | |
| JP2008300694A (ja) | 発光装置、発光装置を構成する樹脂成形体及びそれらの製造方法 | |
| WO2008143201A1 (ja) | 半導体発光装置 | |
| US11171274B2 (en) | Light emitting element and light emitting device | |
| TW201724554A (zh) | 發光裝置、整合式發光裝置、及發光模組 | |
| CN107275301A (zh) | 发光装置 | |
| JP6947995B2 (ja) | 発光装置 | |
| JP2007066939A (ja) | 半導体発光装置 | |
| JP4815843B2 (ja) | 発光装置 | |
| JP2021039976A (ja) | 発光モジュール及びその製造方法 | |
| US20190123247A1 (en) | Light emitting device | |
| KR20100028115A (ko) | 발광장치 | |
| JP2020092251A (ja) | 発光装置及びその製造方法 | |
| JP6519599B2 (ja) | 発光装置の製造方法 | |
| US11677054B2 (en) | Light-emitting device | |
| JP2007300021A (ja) | 発光装置 | |
| JP2020115584A (ja) | 発光装置およびその製造方法 | |
| US20220223763A1 (en) | Light-emitting device and method of manufacturing the same | |
| JP2018137280A (ja) | 発光装置の製造方法 | |
| JP6947964B2 (ja) | 発光装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181120 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181121 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190117 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190326 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190408 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6519599 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |