JP2017034062A - 有機電界発光素子、表示装置、照明装置および有機電界発光素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
や酸素の影響を受け劣化しやすい材料が用いられてきた。したがって、有機電界発光素子をディスプレイ等に応用する際には、厳密な封止が必要であり、低コスト化やフレキシブル化が困難であった。これに対して近年、下部電極表面に大気中で安定かつ仕事関数が小さい金属酸化物を成膜することで、有機層への電子注入が促進され、大気中で安定動作可能な電界発光素子(有機−無機ハイブリッド有機EL素子:Hybrid Organic Inorganic LED:HOILED)が実現できることが報告されている。
し得るとともに、陽極から陰極に移動する正孔を良好にブロックすることができる、有機電界発光素子、表示装置、照明装置および有機電界発光素子の製造方法を提供することを目的とするものである。
陰極である第1の電極膜と陽極である第2の電極膜との間に、複数の層を積層してなる有機電界発光素子であって、前記複数の層は、該第1の電極膜側から順に、少なくとも、電子注入機能を有する電子注入層および発光層を含む複数の層を積層してなり、
前記電子注入層は、Ga2O3を含む層であることを特徴とするものである。
なお、以下の説明では、上記「電子注入層」は第1の金属酸化物層と称する場合もあり、また、「発光層」は他の低分子化合物層とともに順次積層されることも多いので、「発光層」という用語に替えて「発光層を含む低分子化合物層」という用語を用いる場合もある。
また、本発明の照明装置は、上記いずれかの有機電界発光素子を用いて形成されてなることを特徴とするものである。
また、Ga2O3は一般に非晶質構造をとるため、薄膜化等の有用な効果を容易に発揮することができ、素子全体を薄型化したいという要請にも対応することが可能である。
なお、以下において記載する本発明の個々の形態を2つ以上組み合わせたものもまた、本発明の実施形態である。また、本実施形態においては、記載の有無に拘わらず、特に断りのない限り、「部」は「重量部」を、「%」は「質量%」を意味するものとする。
また、本実施形態の有機電界発光素子は、画素電極上に隣接して電子注入用の第1の金属酸化物層が形成された、通常とは逆の積層構造の素子であって、画素電極(陰極)と陽極との間に、第1の金属酸化物層と発光層を有し、第1の金属酸化物層と発光層との間に、必要に応じて電子輸送層を有し、発光層と陽極との間に正孔輸送層および/または正孔注入層を有する構成の素子であることが好ましい。
入層のいずれか一方のみを有する場合には、当該一方の層が発光層と陽極とに隣接して積層されることになり、素子が正孔輸送層と正孔注入層の両方を有する場合には、発光層、正孔輸送層、正孔注入層、陽極の順にこれらの層が隣接して積層されることになる。
なお、本発明において低分子材料とは、高分子材料(重合体)ではない材料を意味し、必ずしも分子量が低い有機化合物を意味するものではない。
なお、各層の平均厚さは、触針式段差計、分光エリプソメトリーを用いて測定することができ、また、発光層を真空蒸着法で形成する場合は水晶振動子膜厚計を用いて製膜時に測定することができる。
物層を含むが、発光層を含む低分子化合物層とは、低分子化合物によって形成される1つの層または低分子化合物によって形成される複数の層が積層されたものであって、その中の1つの層が発光層であるものである。すなわち、発光層を含む低分子化合物層とは、低分子化合物によって形成される発光層、または、低分子化合物によって形成される発光層と低分子化合物によって形成されるその他の層とが積層されたもの、のいずれかである。低分子化合物によって形成されるその他の層は、1層であってもよいし2層以上であってもよい。また、発光層とその他の層の積層される順番は特に制限されない。
第2の電極膜を構成する材料としては、Au、Pt、Ag、Cu、Alまたはこれらを含む合金等が挙げられる。この中でも、Au、Ag、Alが好ましい。
材料を用いる場合でも、例えば平均厚さを10〜30nm程度にすることで、トップエミッション型および透明型の陽極として使用することができる。
第2の電極膜の平均厚さは、水晶振動子膜厚計により成膜時に測定することができる。
本実施形態の主要ポイントは、第1の金属酸化物層として、Ga2O3(酸化ガリウム)を用いたことにある。すなわち、ITOからなる電極(陰極、第1の電極膜)を備えた有機電界発光素子においては、ITOからの電子注入があまり起こらず、高輝度とするためには高い駆動電圧が必要である。これに対し、本実施形態の有機電界発光素子のように、電極(陰極、第1の電極膜)の表面にGa2O3を含む電子注入層(Ga2O3からなる電子注入層を含む:以下同じ)を成膜した場合には、低い駆動電圧で高い輝度が得られる。これは、ITOの仕事関数は約5eVであり電子注入に不適切であるのに対し、Ga2O3の伝導バンドのエネルギー準位は約3.5eV程度であり、酸化亜鉛等の電子注入性金属酸化物層と比べても、Ga2O3の電子注入力は同等以上に高いものである。
なお、本発明において低分子材料とは、高分子材料(重合体)ではない材料を意味し、分子量が低い有機化合物を必ずしも意味するものではない。
ドロキシキノリン 亜鉛(Znq2)、(1,10−フェナントロリン)−トリス−(4,4,4−トリフルオロ−1−(2−チエニル)−ブタン−1,3−ジオネート)ユーロピウム(III)(Eu(TTA)3(phen))、2,3,7,8,12,13,17
,18−オクタエチル−21H,23H−ポルフィン プラチナム(II)のような各種金属錯体;ジスチリルベンゼン(DSB)、ジアミノジスチリルベンゼン(DADSB)のようなベンゼン系化合物、ナフタレン、ナイルレッドのようなナフタレン系化合物、フェナントレンのようなフェナントレン系化合物、クリセン、6−ニトロクリセンのようなクリセン系化合物、ペリレン、N,N’−ビス(2,5−ジ−t−ブチルフェニル)−3,4,9,10−ペリレン−ジ−カルボキシイミド(BPPC)のようなペリレン系化合物、コロネンのようなコロネン系化合物、アントラセン、ビススチリルアントラセンのようなアントラセン系化合物、ピレンのようなピレン系化合物、4−(ジ−シアノメチレン)−2−メチル−6−(パラ−ジメチルアミノスチリル)−4H−ピラン(DCM)のようなピラン系化合物、アクリジンのようなアクリジン系化合物、スチルベンのようなスチルベン系化合物、4,4’−ビス[9−ジカルバゾリル]−2,2’−ビフェニル(CBP)、4、4’−ビス(9−エチルー3−カルバゾビニレン)−1,1’−ビフェニル(BCzVBi)のようなカルバゾール系化合物、2,5−ジベンゾオキサゾールチオフェンのようなチオフェン系化合物、ベンゾオキサゾールのようなベンゾオキサゾール系化合物、ベンゾイミダゾールのようなベンゾイミダゾール系化合物、2,2’−(パラ−フェニレンジビニレン)−ビスベンゾチアゾールのようなベンゾチアゾール系化合物、ビスチリル(1,4−ジフェニル−1,3−ブタジエン)、テトラフェニルブタジエンのようなブタジエン系化合物、ナフタルイミドのようなナフタルイミド系化合物、クマリンのようなクマリン系化合物、ペリノンのようなペリノン系化合物、オキサジアゾールのようなオキサジアゾール系化合物、アルダジン系化合物、1,2,3,4,5−ペンタフェニル−1,3−シクロペンタジエン(PPCP)のようなシクロペンタジエン系化合物、キナクリ
ドン、キナクリドンレッドのようなキナクリドン系化合物、ピロロピリジン、チアジアゾロピリジンのようなピリジン系化合物、2,2’,7,7’−テトラフェニル−9,9’−スピロビフルオレンのようなスピロ化合物、フタロシアニン(H2Pc)、銅フタロシアニンのような金属または無金属のフタロシアニン系化合物、さらには特開2009−155325号公報および特願2010−28273号明細書に記載のホウ素化合物材料等が挙げられ、これらの1種または2種以上を用いることができる。
を表す。Zは、炭素原子または窒素原子を表す。窒素原子からMへの矢印は、窒素原子がM原子へ配位していることを表す。R0は、1価の置換基または2価の連結基を表す。mはR0の数を表し、0または1の数である。nは、金属原子Mの価数を表す。rは、1または2の数である。)で表される金属錯体、下記式(2);
下記式(3);
し、XaとXbとともに環構造を形成していてもよい。また少なくとも1つの他の原子を介したXaとXbとの結合の中に配位結合を含んでいてもよい。Xa、Xbは、同一または異なって、酸素原子、窒素原子、炭素原子のいずれかを表す。XbからMへの矢印は、XbがM原子へ配位していることを表す。m’は、1〜3の数である。)で表される金属錯体が挙げられ、これらの1種または2種以上を用いることができる。
、ハロゲン原子、炭素数1〜20、好ましくは炭素数1〜10のアルキル基、炭素数1〜20、好ましくは炭素数1〜10のアラルキル基、炭素数1〜20、好ましくは炭素数1〜10のアルケニル基、炭素数1〜20、好ましくは炭素数1〜10のアリール基、アリールアミノ基、シアノ基、アミノ基、アシル基、炭素数1〜20、好ましくは炭素数1〜10のアルコキシカルボニル基、カルボキシル基、炭素数1〜20、好ましくは炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数1〜20、好ましくは炭素数1〜10のアルキルアミノ基、炭素数1〜20、好ましくは炭素数1〜10のジアルキルアミノ基、炭素数1〜20、好ましくは炭素数1〜10のアラルキルアミノ基、炭素数1〜20、好ましくは炭素数1〜10のハロアルキル基、水酸基、アリールオキシ基、カルバゾール基等が挙げられる。
なお、X’、X’’で表される環構造が有する置換基がアリール基、アリールアミノ基である場合、アリール基、アリールアミノ基に含まれる芳香環がさらに置換基を有していてもよく、その場合の置換基としては、上記X’、X’’で表される置換基の具体例と同じものが挙げられる。
芳香環又は複素環の置換基の具体例としては、上記式(1)において点線の円弧で表される環構造の芳香環又は複素環の置換基の具体例と同様のものを挙げることができる。
またXaとXbとを結ぶ実線の円弧は、Xa、Xbを含んで形成される環構造以外の環構造を1つまたは2つ以上含んでいてもよく、その場合の環構造としては、上記式(1)、式(3)において点線の円弧で表される環構造と同様のものや、ピラゾール環が挙げられる。
おける点線、X’、X’’、M、Z、n、m’は、上記式(3)と同様である。
上記式(7)のR1〜R3の1価の置換基としては、上記式(1)〜(3)においてX’、X’’で表される環構造が有する置換基と同様のものが挙げられる。
される構造の化合物等が挙げられる。
2−(2−ヒドロキシフェニル)−ピリジン]ベリリウム(Bepp2)が好ましい。
また、リン光発光材料としては、下記式(11)、(12)のいずれかで表される化合物を好適に用いることができる。
上記式(11)および上記式(12)において、点線の円弧で表される2つの環構造が有する置換基同士が結合して点線の円弧で表される2つの環構造の一部とともに新たな環構造を形成している場合、点線の円弧で表される2つの環構造と新たな環構造を合わせた環構造としては、例えば、上記式(5−1)、(5−2)のような構造が挙げられる。
が挙げられる。
R1〜R3の1価の置換基としては、上記式(1)〜(3)においてX’、X’’で表される環構造が有する置換基と同様のものが挙げられる。
また、発光層の平均厚さは、低分子化合物の場合は水晶振動子膜厚計により、高分子化合物の場合は接触式段差計により測定することができる。
ェニル−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン(α−NPD)、TPTEのようなアリールアミン系化合物、N,N,N’,N’−テトラフェニル−パラ−フェニレンジアミン、N,N,N’,N’−テトラ(パラ−トリル)−パラ−フェニレンジアミン、N,N,N’,N’−テトラ(メタ−トリル)−メタ−フェニレンジアミン(PDA)のようなフェニレンジアミン系化合物、カルバゾール、N−イソプロピルカルバゾール、N−フェニルカルバゾールのようなカルバゾール系化合物、スチルベン、4−ジ−パラ−トリルアミノスチルベンのようなスチルベン系化合物、OxZのようなオキサゾール系化合物、
トリフェニルメタン、m−MTDATAのようなトリフェニルメタン系化合物、1−フェニル−3−(パラ−ジメチルアミノフェニル)ピラゾリンのようなピラゾリン系化合物、ベンジン(シクロヘキサジエン)系化合物、トリアゾールのようなトリアゾール系化合物、イミダゾールのようなイミダゾール系化合物、1,3,4−オキサジアゾール、2,5−ジ(4−ジメチルアミノフェニル)−1,3,4,−オキサジアゾールのようなオキサジアゾール系化合物、アントラセン、9−(4−ジエチルアミノスチリル)アントラセンのようなアントラセン系化合物、フルオレノン、2,4,7,−トリニトロ−9−フルオレノン、2,7−ビス(2−ヒドロキシ−3−(2−クロロフェニルカルバモイル)−1−ナフチルアゾ)フルオレノンのようなフルオレノン系化合物、ポリアニリンのようなアニリン系化合物、シラン系化合物、1,4−ジチオケト−3,6−ジフェニル−ピロロ−(3,4−c)ピロロピロールのようなピロール系化合物、フルオレンのようなフルオレン系化合物、ポルフィリン、金属テトラフェニルポルフィリンのようなポルフィリン系化合物、キナクリドンのようなキナクリドン系化合物、フタロシアニン、銅フタロシアニン、テトラ(t−ブチル)銅フタロシアニン、鉄フタロシアニンのような金属または無金属のフタロシアニン系化合物、銅ナフタロシアニン、バナジルナフタロシアニン、モノクロロガリウムナフタロシアニンのような金属または無金属のナフタロシアニン系化合物、N,N’−ジ(ナフタレン−1−イル)−N,N’−ジフェニル−ベンジジン、N,N,N’,N’−テトラフェニルベンジジンのようなベンジジン系化合物等が挙げられ、これらの1種または2種以上を用いることができる。
これらの中でも、α−NPD、TPTEのようなアリールアミン系化合物が好ましい。
正孔輸送層の平均厚さは、水晶振動子膜厚計により成膜時に測定することができる。
2−ヒドロキシフェニル)ベンゾチアゾラト]亜鉛(Zn(BTZ)2)、トリス(8−ヒドロキシキノリナト)アルミニウム(Alq3)等に代表される各種金属錯体、2,5−ビス(6’−(2’,2’’−ビピリジル))−1,1−ジメチル−3,4−ジフェニルシロール(PyPySPyPy)等のシロール誘導体に代表される有機シラン誘導体等が挙げられ、これらの1種または2種以上を用いることができる。
これらの中でも、Alq3のような金属錯体、TmPyPhBのようなピリジン誘導体が好ましい。
電子輸送層の平均厚さは、水晶振動子膜厚計により成膜時に測定することができる。
バッファ層を塗布成膜することで、第1の金属酸化物層表面に存在する凹凸が平滑化されるため、次にバッファ層上に成膜する低分子化合物の結晶化が抑制される。
ることの効果を充分に発揮することができないおそれがある。また、バッファ層の平均厚さが100nmより厚いと、駆動電圧が上昇し実用上好ましくない。また、有機化合物として、後述する本実施形態における好ましい構造の化合物を用いた場合には、バッファ層は電子輸送層としての機能も充分に発揮することができる。上記バッファ層の平均厚さは、より好ましくは、10〜60nmである。
基板の平均厚さはデジタルマルチメーター、ノギスにより測定することができる。
ポリアミン類等が挙げられる。これらは1種を用いてもよく、2種以上を用いてもよい。
本実施例に係る有機電界発光素子は、上述した図1に示す構成とされている。
すなわち、この有機電界発光素子10は、ガラスからなる透明基板1上に陰極であるITO電極膜2と、Ga2O3からなる電子注入層3と、バッファ層4と、電子輸送層4a、有機層からなる発光層5と、正孔輸送層6と、HAT−CNからなる正孔注入層7と、陽極であるAlの電極膜8とから構成されている。
以下の実施例および比較例において、有機電界発光素子を構成する各層の平均厚さは触針式段差計(製品名「アルファステップIQ」、KLAテンコール社製)を用いて測定した。
[1]市販されている平均厚さ0.7mmのITO電極膜2付きで、ガラス製の透明基板(以下、単に基板とも称する)1を用意し、この基板1を、ITOターゲットを有するミラートロンスパッタ装置のチャンバー内の基板ホルダーに固定した。この時、基板1上のITO電極膜2は幅3mmにパターニングできるよう、メタルマスクを併設した。チャンバー内を約1×10−4Paまで減圧した後、アルゴンと酸素を導入した状態でスパッタリング処理を実行した。これにより、膜厚が90nmであるITO電極膜2を形成した。
せ、UVオゾン洗浄を20分間行った。
)(ZnBTZ2、化学式16(化16))、トリス[1-フェニルイソキノリン-C2,N]イ
リジウム(III)(Ir(piq)3、化学式17(化17))、N,N’−ジ(1−ナフ
チル)−N,N’−ジフェニル−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン(α−NPD、化学式18(化18))、N4,N4’−ビス(ジベンゾ[b,d]チオフェン-4-イル)-N4,N4’−ジフェニルビフェニルー4,4’-ジアミン(DBTPB、化学式19(化19))、1,4,5,8,9,12−ヘキサアザトリフェニレン−2,3,6,7,10,11−ヘキサカルボニトリル(HATCN、化学式20(化20))、Alをそれぞれルツボに入れて蒸着源にセットした。真空蒸着装置内を約1×10−5Paまで減圧し、ZnBTZ2を10nm成膜し電子輸送層6とした。さらにZnBTZ2をホスト、(Ir(piq)3)をドーパントとして25nm共蒸着し、発光層を製膜した。この時、ドープ濃度は(Ir(piq)3)が発光層全体に対して6%となるようにした。次に、DBTPBを10nm、α−NPDを30nm蒸着し、正孔輸送層を製膜した。次に、HATCNを膜厚10nmになるように蒸着した。最後に、Al(陽極)を膜厚100nmになるように蒸着し、有機電界発光素子3を作製した。第2の電極を蒸着する時、ステンレス製の蒸着マスクを用いて蒸着面が幅3mmの帯状になるようにした。すなわち、作製した有機電界発光素子の発光面積は、9mm2とした。
Ga2O3膜の代わりにZnOを成膜したこと以外は、上記実施例と同様にして、有機電界発光素子10を作製した。実施例[1]と同様にITOを成膜し、次に、この基板1を、メタルマスクを併設したままZnOターゲットを有するマグネトロンスパッタ装置のチャンバー内の基板ホルダーに固定した。チャンバー内を約1×10−4Paまで減圧した後、アルゴンと酸素を導入した状態でZnOをITOと同様のパターンでスパッタリング処理を実行した。これにより、膜厚が10nmである電子注入層(ZnO膜)3を形成した。
ケースレー社製の「2400型ソースメーター」により、素子への電圧印加と、電流測定を行った。また、コニカミノルタ社製の「LS−110」により、発光輝度を測定した。
実施例および比較例で作製した有機電界発光素子各々の印加電圧−電流密度特性を図2に示す。両デバイスで類似の特性が得られているが、5V以下の低電圧領域に注目すると、
電子注入層としてZnOを成膜した比較例に比べ、Ga2O3により電子注入層を形成した実施例の方が同じ駆動電圧で低い電流密度となっている。これに対し、図3には印加電圧−輝度特性を示すが、実施例の方が低い印加電圧で高い輝度が得られている。これはつまり、図2の比較例で観測されていた高い電流値は、陽極から注入された正孔が陰極側へ抜けることで観測された漏れ電流によるものであると言える。図4に示す通りGa2O3は価電子帯のエネルギーがZnOに比べ大きく正孔ブロック性が高いため、図5に示す通り実施例では漏れ電流が抑制されている。
2 電極膜(陰極、ITO膜)
3 電子注入層(第1の金属酸化物層、Ga2O3膜)
4 バッファ層
4a 電子輸送層
5 発光層
6 正孔輸送層
7 正孔注入層
8 電極膜
10 有機電界発光素子
Claims (6)
- 陰極である第1の電極膜と陽極である第2の電極膜との間に、複数の層を積層してなる有機電界発光素子であって、前記複数の層は、該第1の電極膜側から順に、少なくとも、電子注入機能を有する電子注入層および発光層を含む複数の層を積層してなり、
前記電子注入層は、Ga2O3を含む層であることを特徴とする有機電界発光素子。 - 前記複数の層は、該第1の電極膜側から順に、少なくとも、電子注入機能を有する電子注入層、発光層、および正孔注入機能を有する正孔注入層であることを特徴とする請求項1に記載の有機電界発光素子。
- 前記複数の層は、該第1の電極膜側から順に、少なくとも、電子注入機能を有する電子注入層、バッファ層、発光層、正孔輸送層、および正孔注入機能を有する正孔注入層を積層してなることを特徴とする請求項1に記載の有機電界発光素子。
- 請求項1〜3のうちいずれか1項に記載の有機電界発光素子を用いて形成されてなることを特徴とする表示装置。
- 請求項1〜3のうちいずれか1項に記載の有機電界発光素子を用いて形成されてなることを特徴とする照明装置。
- 基板上に、陰極である第1の電極膜と陽極である第2の電極膜を、この順または逆の順で該基板側から配列形成するとともに、これら2つの電極膜の間において、該第1の電極膜側から順に、少なくとも、電子注入機能を有するGa2O3からなる電子注入層および発光層を含む複数の層が配設されるように積層することを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。
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