JP2009238299A - 垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、第１磁気記録層の結晶粒子の間隔を工夫することで、連続層としての機能をも備えさせた連続層を備える垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明にかかる垂直磁気記録媒体１００は、第１磁気記録層１２２ａおよび第２磁気記録層１２２ｂは柱状に成長した結晶粒子の間に非磁性物質からなる粒界部を形成したグラニュラー構造の強磁性層であり、第１磁気記録層１２２ａにおいて結晶粒子と隣接する結晶粒子との粒界部の最短距離の平均により定められる粒子間距離は１ｎｍ以下であることを特徴としている。
【選択図】 図４
【解決手段】本発明にかかる垂直磁気記録媒体１００は、第１磁気記録層１２２ａおよび第２磁気記録層１２２ｂは柱状に成長した結晶粒子の間に非磁性物質からなる粒界部を形成したグラニュラー構造の強磁性層であり、第１磁気記録層１２２ａにおいて結晶粒子と隣接する結晶粒子との粒界部の最短距離の平均により定められる粒子間距離は１ｎｍ以下であることを特徴としている。
【選択図】 図４
Description
本発明は、垂直磁気記録方式のＨＤＤ（ハードディスクドライブ）などに搭載される垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法に関する。
近年の情報処理の大容量化に伴い、各種の情報記録技術が開発されている。特に磁気記録技術を用いたＨＤＤの面記録密度は年率１００％程度の割合で増加し続けている。最近では、ＨＤＤ等に用いられる２．５インチ径磁気ディスクにして、１枚あたり１６０ＧＢを超える情報記録容量が求められるようになってきており、このような要請にこたえるためには１平方インチあたり２５０ＧＢｉｔを超える情報記録密度を実現することが求められる。
ＨＤＤ等に用いられる磁気ディスクにおいて高記録密度を達成するために、近年、垂直磁気記録方式の磁気ディスク（垂直磁気記録ディスク）が提案されている。従来の面内磁気記録方式は磁気記録層の磁化容易軸が基体面の平面方向に配向されていたが、垂直磁気記録方式は磁化容易軸が基体面に対して垂直方向に配向するよう調整されている。垂直磁気記録方式は面内記録方式に比べて、高密度記録時に、より熱揺らぎ現象を抑制することができるので、高記録密度化に対して好適である。
従来、磁気記録層としては、グラニュラー構造を有するＣｏＣｒＰｔ−ＳｉＯ２やＣｏＣｒＰｔ−ＴｉＯ２が広く用いられている。Ｃｏはｈｃｐ構造（六方最密結晶格子）の結晶が柱状に成長し、ＣｒおよびＳｉＯ２（またはＴｉＯ２）が偏析して非磁性の粒界を形成する。かかるグラニュラー構造を用いることにより、物理的に独立した微細な磁性粒子を形成しやすく、高記録密度を達成しやすい。
上記垂直記録方式においては、単磁極型垂直ヘッドが用いられ磁気記録層に対して垂直方向の磁界を生じさせている。しかし、単に単磁極型垂直ヘッドを用いるのみでは、単磁極端部を出た磁束が直ぐに反対側のリターン磁極に戻ろうとするため十分な強度の磁界を磁気記録層に印加することができない。そこで、垂直磁気記録ディスクの磁気記録層の下に軟磁性層を設け、軟磁性層に磁束の通り道（磁路）を形成することで磁気記録層に垂直方向の強い磁界を印加することが可能となる。すなわち軟磁性層は、書き込むときの磁場によって磁化方向が整列し、動的に磁路を形成する層である。
しかし磁気記録層に強い磁界を印加すると、隣接トラックへの漏れ磁場も大きくなることから、ＷＡＴＥ（Wide Area Track Erasure）、すなわち、書込みの対象となるトラックを中心に数μｍにわたって記録情報が消失する現象が問題となる。ＷＡＴＥを低減させる手法として、磁気記録層の逆磁区核形成磁界Ｈｎを負とし、さらにその絶対値を大きくすることが重要といわれている。高い（絶対値の大きい）Ｈｎを得るために、グラニュラー構造を有する磁気記録層の上方又は下方に高い垂直磁気異方性を示す薄膜（連続層）が形成されたＣＧＣ（Coupled Granular Continuous）媒体が考案されている（特許文献１）。
また磁気記録層の保磁力Ｈｃを向上させていくと、高記録密度化が達成できる反面、磁気ヘッドによる書き込みが困難になる傾向にある。そこで連続層は、飽和磁化Ｍｓを向上させることにより、書き込みやすさ、すなわちオーバーライト特性を向上させる役割も有している。
言い換えれば、磁気記録層の上に連続層を設ける目的は、逆磁区核形成磁界Ｈｎを向上させてノイズを低減し、飽和磁化Ｍｓを向上させてオーバーライト特性も向上させることである。なお連続層は補助記録層またはキャップ層とも呼ばれるが、本願では、特に断らない限り、連続層と呼ぶこととする。
特開２００３−３４６３１５号公報
しかし、従来技術では、高い飽和磁化Ｍｓを有する連続層によりオーバーライト特性を改善できる反面、ノイズの増加を招くこととなる。当該連続層は、媒体の上方に位置することになるため、ノイズ増加に対する影響は大きい。
一般に、垂直磁気記録媒体においては、記録ヘッドからの距離が遠ざかるにつれて、記録磁界強度は著しく減少する。発明者は、従来の連続層の機能を第1磁気記録層にも備えさせることにより、媒体の上方(媒体の表層に近い層)でのヘッド磁界強度と比較して弱いヘッド磁界強度においても理想的な磁化反転を達成させる構成が理想的であると想到するに至った。本発明の構成を用いることにより、より効率的に高いオーバーライト特性を達成でき、かつ、第1磁気記録層は、再生ヘッドから十分に離れた部分に位置しているために、ノイズ増加への寄与も小さい。
本発明は、垂直磁気記録媒体に設けられる連続層が有する上記問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、第１磁気記録層の結晶粒子の間隔を工夫することで、第１磁気記録層に連続層としての機能をも備えさせた垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することである。
上記課題を解決するために、本発明の発明者らが鋭意検討したところ、第１磁気記録層の結晶粒子の間隔が所定の値を有することで、オーバーライト特性が向上することを見出し、本発明を完成するに到った。
すなわち上記課題を解決するために、本発明にかかる垂直磁気記録媒体の代表的な構成は、基体上に少なくとも第１磁気記録層、第２磁気記録層をこの順に備える垂直磁気記録媒体であって、第１磁気記録層および第２磁気記録層は柱状に成長した結晶粒子の間に非磁性物質からなる粒界部を形成したグラニュラー構造の強磁性層であり、第１磁気記録層において結晶粒子と隣接する結晶粒子との粒界部の最短距離の平均により定まる粒子間距離は１ｎｍ以下であることを特徴とする。
上記第１磁気記録層の結晶粒子と隣接する結晶粒子との粒子間距離を１ｎｍ以下にする構成により、第１磁気記録層が連続層と同様の機能を有することとなる。したがって、確実に逆磁区核形成磁界Ｈｎの向上、耐熱揺らぎ特性の改善、オーバーライト特性の改善を図ることができる。なお、第１磁気記録層中の結晶粒子と隣接する結晶粒子との粒子間距離が、１ｎｍ以上であると、連続層としての機能を果たさなくなり、オーバーライト特性の向上が見込めなくなる。
上記第２磁気記録層において、結晶粒子と隣接する結晶粒子との粒界部の最短距離の平均により定まる粒子間距離は０．５ｎｍ以上であるとよい。
これにより、最適に高保磁力Ｈｃおよび高ＳＮＲを維持することができる。なお、第２磁気記録層中の結晶粒子の粒子間距離が、０．５ｎｍ以下であると、グラニュラー構造を保つことができなくなり、ＳＮＲが低下する。
第１磁気記録層中の結晶粒子の平均粒径をＡｎｍ、第２磁気記録層中の結晶粒子の平均粒径をＢｎｍとした場合、Ａ＞Ｂであってもよい。
これにより、第１磁気記録層において、連続層としての機能を果たしつつオーバーライト特性を向上させ、第２磁気記録層において、最適に高保磁力Ｈｃおよび高ＳＮＲを維持することができる。
上記第１磁気記録層中の結晶粒子の平均粒径と、第２磁気記録層中の結晶粒子の平均粒径との比が１＜Ａ／Ｂ＜１．２であるとよい。
これにより、最適にオーバーライト特性を向上させることができる。なお、第１磁気記録層中の結晶粒子の平均粒径と第２磁気記録層中の結晶粒子の平均粒径との比Ａ／Ｂが１．２よりも大きいと、オーバーライト特性が低下してしまう。
上記第１磁気記録層と第２磁気記録層の総厚が１５ｎｍ以下であるとよい。
第１磁気記録層の膜厚は５ｎｍ以下が好ましく、望ましくは３ｎｍ〜４ｎｍである。３ｎｍより小さいと第２磁気記録層の組成分離を促進することができないためであり、４ｎｍより大きいとＲ／Ｗ特性（リード・ライト特性）が低下するためである。第２磁気記録層の膜厚は５ｎｍ以上が好ましく、望ましくは７ｎｍ〜１５ｎｍである。７ｎｍより小さいと十分な保磁力が得られなくなるためであり、１５ｎｍより大きいと高いＨｎが得られなくなってしまうためである。したがって、高いＨｎを得るためには、第１磁気記録層と第２磁気記録層の総厚が１５ｎｍ以下であることが好ましい。
上記第１磁気記録層の膜厚は、第２磁気記録層の膜厚の約０．２〜約１倍であってもよい。上記第２磁気記録層より基体から遠い側に、基体面方向に磁気的に連続した連続層を備え、第１磁気記録層の膜厚は、連続層の膜厚の約０．２〜約２倍であるとよい。上記第２磁気記録層より基体から遠い側に、基体面方向に磁気的に連続した連続層を備え、第２磁気記録層の膜厚は、連続層の膜厚の約０．７〜約２倍であるとよい。
これにより、最適に高ＳＮＲを維持しつつ高オーバーライト特性を得ることができる。
上記第１磁気記録層に含まれる非磁性物質は、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５、Ｎｂ２Ｏ５、Ｂ２Ｏ３またはＺｒＯ２の群から選択された、１または複数を含むとよい。非磁性物質とは、結晶粒子（磁性粒もしくは磁性グレイン）間の交換相互作用が抑制、または、遮断されるように、磁性粒の周囲に粒界部を形成しうる物質であって、コバルト（Ｃｏ）と固溶しない非磁性物質であればよい。特に、ＳｉＯ２は磁性粒子の微細化および孤立化（隣接する磁性粒子との分離）を促進し、ＴｉＯ２は結晶粒子の粒径分散を抑制させる効果がある。またＣｒ２Ｏ３は保磁力Ｈｃを増加させることが可能となる。さらに、これらの酸化物を複合させて磁気記録層の粒界に偏析させることにより、双方の利益を享受することができる。
上記第２磁気記録層に含まれる非磁性物質は、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５、Ｎｂ２Ｏ５、Ｂ２Ｏ３またはＺｒＯ２の群から選択された、１または複数を含むとよい。これにより、粒界部を確実に形成し結晶粒子を明確に分離することができる。したがって、ＳＮＲを向上させることができる。
上記課題を解決するために、本発明にかかる垂直磁気記録媒体の製造方法の代表的な構成は、基体上に少なくとも第１磁気記録層、第２磁気記録層をこの順に備える垂直磁気記録媒体の製造方法であって、第１磁気記録層として酸素もしくはＳｉＯ２、ＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５、Ｎｂ２Ｏ５、Ｂ２Ｏ３またはＺｒＯ２の群から選択された、１または複数の酸化物を含む磁性ターゲットを用いて、ガス圧を約０．５〜約５Ｐａ、電力を約１００〜約７００Ｗとすることにより、柱状に成長した結晶粒子の間に非磁性の粒界部を形成したグラニュラー構造の強磁性層を形成し、酸素もしくはＳｉＯ２、ＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５、Ｎｂ２Ｏ５、Ｂ２Ｏ３またはＺｒＯ２の群から選択された、１または複数の酸化物を含む磁性ターゲットを用いて、ガス圧を約０．５〜約５Ｐａ、電力を約１００〜約１０００Ｗとすることにより、第２磁気記録層として柱状に成長した結晶粒子の間に非磁性の粒界部を形成したグラニュラー構造の強磁性層を形成し、第１磁気記録層において、結晶粒子と隣接する結晶粒子との粒界部の最短距離の平均により定まる粒子間距離は１ｎｍ以下であることを特徴とする。
上述した垂直磁気記録媒体の技術的思想に基づく構成要素やその説明は、当該垂直磁気記録媒体の製造方法にも適用可能である。
本発明にかかる垂直磁気記録媒体は、第１磁気記録層の結晶粒子の間隔を工夫することで、第１磁気記録層に連続層としての機能を持たせることができ、ＳＮＲおよびオーバーライト特性を適切に向上させることが可能となる。
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値などは、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。
（実施形態）
本発明にかかる垂直磁気記録媒体の製造方法の実施形態について説明する。図１は本実施形態にかかる垂直磁気記録媒体１００の構成を説明する図である。図１に示す垂直磁気記録媒体１００は、基体としてのディスク基体１１０、付着層１１２、第１軟磁性層１１４ａ、スペーサ層１１４ｂ、第２軟磁性層１１４ｃ、前下地層１１６、第１下地層１１８ａ、第２下地層１１８ｂ、非磁性グラニュラー層１２０、第１磁気記録層１２２ａ、第２磁気記録層１２２ｂ、連続層１２４、媒体保護層１２６、潤滑層１２８で構成されている。なお第１軟磁性層１１４ａ、スペーサ層１１４ｂ、第２軟磁性層１１４ｃは、あわせて軟磁性層１１４を構成する。第１下地層１１８ａと第２下地層１１８ｂはあわせて下地層１１８を構成する。第１磁気記録層１２２ａと第２磁気記録層１２２ｂとはあわせて磁気記録層１２２を構成する。
本発明にかかる垂直磁気記録媒体の製造方法の実施形態について説明する。図１は本実施形態にかかる垂直磁気記録媒体１００の構成を説明する図である。図１に示す垂直磁気記録媒体１００は、基体としてのディスク基体１１０、付着層１１２、第１軟磁性層１１４ａ、スペーサ層１１４ｂ、第２軟磁性層１１４ｃ、前下地層１１６、第１下地層１１８ａ、第２下地層１１８ｂ、非磁性グラニュラー層１２０、第１磁気記録層１２２ａ、第２磁気記録層１２２ｂ、連続層１２４、媒体保護層１２６、潤滑層１２８で構成されている。なお第１軟磁性層１１４ａ、スペーサ層１１４ｂ、第２軟磁性層１１４ｃは、あわせて軟磁性層１１４を構成する。第１下地層１１８ａと第２下地層１１８ｂはあわせて下地層１１８を構成する。第１磁気記録層１２２ａと第２磁気記録層１２２ｂとはあわせて磁気記録層１２２を構成する。
以下に説明するように、本実施形態に示す垂直磁気記録媒体１００は、磁気記録層１２２の第１磁気記録層１２２ａおよび第２磁気記録層１２２ｂのいずれかまたは両方に複数の種類の酸化物（以下、「複合酸化物」という。）を含有させることにより、非磁性の粒界に複合酸化物を偏析させている。
ディスク基体１１０は、アモルファスのアルミノシリケートガラスをダイレクトプレスで円板状に成型したガラスディスクを用いることができる。なおガラスディスクの種類、サイズ、厚さ等は特に制限されない。ガラスディスクの材質としては、例えば、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ソーダアルミノケイ酸ガラス、アルミノボロシリケートガラス、ボロシリケートガラス、石英ガラス、チェーンシリケートガラス、又は、結晶化ガラス等のガラスセラミックなどが挙げられる。このガラスディスクに研削、研磨、化学強化を順次施し、化学強化ガラスディスクからなる平滑な非磁性のディスク基体１１０を得ることができる。
ディスク基体１１０上に、ＤＣマグネトロンスパッタリング法にて付着層１１２から連続層１２４まで順次成膜を行い、媒体保護層１２６はＣＶＤ法により成膜することができる。この後、潤滑層１２８をディップコート法により形成することができる。なお、生産性が高いという点で、インライン型成膜方法を用いることも好ましい。以下、各層の構成および製造方法について説明する。
付着層１１２は非晶質の下地層であって、ディスク基体１１０に接して形成され、この上に成膜される軟磁性層１１４とディスク基体１１０との剥離強度を高める機能を備えている。付着層１１２は、ディスク基体１１０がアモルファスガラスからなる場合、そのアモルファスガラス表面に対応させる為にアモルファスの合金膜とすることが好ましい。
付着層１１２としては、例えばＣｒＴｉ系非晶質層を選択することができる。
軟磁性層１１４は、垂直磁気記録方式において記録層に垂直方向に磁束を通過させるために、記録時に一時的に磁路を形成する層である。軟磁性層１１４は第１軟磁性層１１４ａと第２軟磁性層１１４ｃの間に非磁性のスペーサ層１１４ｂを介在させることによって、ＡＦＣ（Antiferro-magnetic exchange coupling：反強磁性交換結合）を備えるように構成することができる。これにより軟磁性層１１４の磁化方向を高い精度で磁路（磁気回路）に沿って整列させることができ、磁化方向の垂直成分が極めて少なくなるため、軟磁性層１１４から生じるノイズを低減することができる。第１軟磁性層１１４ａ、第２軟磁性層１１４ｃの組成としては、ＣｏＴａＺｒなどのコバルト系合金、ＣｏＣｒＦｅＢなどのＣｏ−Ｆｅ系合金、［Ｎｉ−Ｆｅ／Ｓｎ］ｎ多層構造のようなＮｉ−Ｆｅ系合金などを用いることができる。
前下地層１１６は非磁性の合金層であり、軟磁性層１１４を防護する作用と、この上に成膜される下地層１１８に含まれる六方細密充填構造（ｈｃｐ構造）の磁化容易軸をディスク垂直方向に配向させる機能を備える。前下地層１１６は面心立方構造（ｆｃｃ構造）の（１１１）面、または体心立方構造（ｂｃｃ構造）の（１１０）面がディスク基体１１０の主表面と平行となっていることが好ましい。また前下地層１１６は、これらの結晶構造とアモルファスとが混在した構成としてもよい。前下地層の材質としては、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａから選択することができる。さらにこれらの金属を主成分とし、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗのいずれか１つ以上の添加元素を含む合金としてもよい。例えばｆｃｃ構造としてはＮｉＷ、ＣｕＷ、ＣｕＣｒ、ｂｃｃ構造としてはＴａを好適に選択することができる。
下地層１１８はｈｃｐ構造であって、磁気記録層１２２のＣｏのｈｃｐ構造の結晶をグラニュラー構造として成長させる作用を有している。したがって、下地層１１８の結晶配向性が高いほど、すなわち下地層１１８の結晶の（０００１）面がディスク基体１１０の主表面と平行になっているほど、磁気記録層２２の配向性を向上させることができる。下地層の材質としてはＲｕが代表的であるが、その他に、ＲｕＣｒ、ＲｕＣｏから選択することができる。Ｒｕはｈｃｐ構造をとり、また結晶の格子間隔がＣｏと近いため、Ｃｏを主成分とする磁気記録層を良好に配向させることができる。
下地層１１８をＲｕとした場合において、スパッタ時のガス圧を変更することによりＲｕからなる２層構造とすることができる。具体的には、上層側の第２下地層１１８ｂを形成する際に、下層側の第１下地層１１８ａを形成するときよりもＡｒのガス圧を高くする。ガス圧を高くするとスパッタリングされるＲｕイオンの自由移動距離が短くなるため、成膜速度が遅くなり、結晶分離性を改善することができる。また高圧にすることにより、結晶格子の大きさが小さくなる。Ｒｕの結晶格子の大きさはＣｏの結晶格子よりも大きいため、Ｒｕの結晶格子を小さくすればＣｏのそれに近づき、Ｃｏのグラニュラー層の結晶配向性をさらに向上させることができる。
非磁性グラニュラー層１２０は非磁性のグラニュラー層である。下地層１１８のｈｃｐ結晶構造の上に非磁性のグラニュラー層を形成し、この上に第１磁気記録層１２２ａのグラニュラー層を成長させることにより、磁性のグラニュラー層を初期成長の段階（立ち上がり）から分離させる作用を有している。非磁性グラニュラー層１２０の組成は、Ｃｏ系合金からなる非磁性の結晶粒子の間に、非磁性物質を偏析させて粒界を形成することにより、グラニュラー構造とすることができる。特にＣｏＣｒ−ＳｉＯ２、ＣｏＣｒＲｕ−ＳｉＯ２を好適に用いることができ、さらにＲｕに代えてＲｈ（ロジウム）、Ｐｄ（パラジウム）、Ａｇ（銀）、Ｏｓ（オスミウム）、Ｉｒ（イリジウム）、Ａｕ（金）も利用することができる。また非磁性物質とは、磁性粒（磁性グレイン）間の交換相互作用が抑制、または、遮断されるように、磁性粒の周囲に粒界部を形成しうる物質であって、コバルト（Ｃｏ）と固溶しない非磁性物質であればよい。例えば酸化珪素（ＳｉＯｘ）、クロム（Ｃｒ）、酸化クロム（ＣｒＯ２）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化ジルコン（ＺｒＯ２）、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）を例示できる。
磁気記録層１２２は、Ｃｏ系合金、Ｆｅ系合金、Ｎｉ系合金から選択される硬磁性体の磁性粒の周囲に非磁性物質を偏析させて粒界を形成した柱状のグラニュラー構造を有した強磁性層である。この磁性粒は、非磁性グラニュラー層１２０を設けることにより、そのグラニュラー構造から継続してエピタキシャル成長することができる。本実施形態では組成および膜厚の異なる第１磁気記録層１２２ａと、第２磁気記録層１２２ｂとから構成されている。第１磁気記録層１２２ａと第２磁気記録層１２２ｂは、いずれも非磁性物質としてはＳｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、ＴｉＯ２、Ｂ２Ｏ３、Ｆｅ２Ｏ３等の酸化物や、ＢＮ等の窒化物、Ｂ４Ｃ３等の炭化物を好適に用いることができる。
また本実施形態では、第１磁気記録層１２２ａにおいて、磁性粒（結晶粒子）と隣接する磁性粒との粒界部の最短距離の平均により定まる粒子間距離は１ｎｍ以下としている。第１磁気記録層１２２ａの結晶粒子と隣接する結晶粒子との粒子間距離を１ｎｍ以下にする構成により、第１磁気記録層１２２ａが後述する連続層１２４と同様の機能を有することとなる。したがって、確実に逆磁区核形成磁界Ｈｎの向上、耐熱揺らぎ特性の改善、オーバーライト特性の改善を図ることができる。なお、第１磁気記録層１２２ａ中の結晶粒子と隣接する結晶粒子との粒子間距離が、１ｎｍ以上であると、連続層１２４としての機能を果たさなくなり、オーバーライト特性の向上が見込めなくなる。
さらに本実施形態では、第１磁気記録層１２２ａ中の磁性粒（結晶粒子）の平均粒径をＡｎｍ、第２磁気記録層１２２ｂ中の磁性粒（結晶粒子）の平均粒径をＢｎｍとした場合、Ａ＞Ｂとしている。これにより、第１磁気記録層１２２ａにおいて、連続層１２４としての機能を果たしつつオーバーライト特性を向上させ、第２磁気記録層１２２ｂにおいて、最適に高保磁力Ｈｃおよび高ＳＮＲを維持することができる。
さらに本実施形態では、第１磁気記録層１２２ａまたは第２磁気記録層１２２ｂのいずれかまたは両方において２以上の非磁性物質を複合して用いることもできる。このとき含有する非磁性物質の種類には限定がないが、特にＳｉＯ２およびＴｉＯ２を含むことが好ましく、次にいずれかに代えて／加えてＣｒ２Ｏ３を好適に用いることができる。例えば第１磁気記録層１２２ａは、粒界部に複合酸化物（複数の種類の酸化物）の例としてＣｒ２Ｏ３とＳｉＯ２を含有し、ＣｏＣｒＰｔ−Ｃｒ２Ｏ３−ＳｉＯ２のｈｃｐ結晶構造を形成することができる。また例えば第２磁気記録層１２２ｂは、粒界部に複合酸化物の例としてＳｉＯ２とＴｉＯ２を含有し、ＣｏＣｒＰｔ−ＳｉＯ２−ＴｉＯ２のｈｃｐ結晶構造を形成することができる。
連続層１２４はグラニュラー構造を有する磁気記録層１２２の上に、面内方向に磁気的に連続した層（連続層とも呼ばれる）である。連続層１２４を設けることにより磁気記録層１２２の高密度記録性と低ノイズ性に加えて、逆磁区核形成磁界Ｈｎの向上、耐熱揺らぎ特性の改善、オーバーライト特性の改善を図ることができる。
媒体保護層１２６は、真空を保ったままカーボンをＣＶＤ法により成膜して形成することができる。媒体保護層１２６は、磁気ヘッドの衝撃から垂直磁気記録層を防護するための保護層である。一般にＣＶＤ法によって成膜されたカーボンはスパッタ法によって成膜したものと比べて膜硬度が向上するので、磁気ヘッドからの衝撃に対してより有効に垂直磁気記録層を防護することができる。
潤滑層１２８は、ＰＦＰＥ（パーフロロポリエーテル）をディップコート法により成膜することができる。ＰＦＰＥは長い鎖状の分子構造を有し、媒体保護層１２６表面のＮ原子と高い親和性をもって結合する。この潤滑層１２８の作用により、垂直磁気記録媒体１００の表面に磁気ヘッドが接触しても、媒体保護層１２６の損傷や欠損を防止することができる。
以上の製造工程により、垂直磁気記録媒体１００を得ることができる。以下に、実施例と比較例を用いて本発明の有効性について説明する。
（実施例と評価）
ディスク基体１１０上に、真空引きを行った成膜装置を用いて、ＤＣマグネトロンスパッタリング法にてＡｒ雰囲気中で、付着層１１２から連続層１２４まで順次成膜を行った。付着層１１２は、ＣｒＴｉとした。軟磁性層１１４は、第１軟磁性層１１４ａ、第２軟磁性層１１４ｃの組成はＦｅＣｏＴａＺｒとし、スペーサ層１１４ｂの組成はＲｕとした。前下地層１１６の組成はｆｃｃ構造のＮｉＷ合金とした。下地層１１８は、第１下地層１１８ａは低圧Ａｒ下でＲｕを成膜し、第２下地層１１８ｂは高圧Ａｒ下でＲｕを成膜した。非磁性グラニュラー層１２０の組成は非磁性のＣｏＣｒ−ＳｉＯ２とした。磁気記録層１２２は下記の実施例および比較例の構成で形成した。連続層１２４の組成はＣｏＣｒＰｔＢとした。媒体保護層１２６はＣＶＤ法によりＣ２Ｈ４およびＣＮを用いて成膜し、潤滑層１２８はディップコート法によりＰＦＰＥを用いて形成した。
ディスク基体１１０上に、真空引きを行った成膜装置を用いて、ＤＣマグネトロンスパッタリング法にてＡｒ雰囲気中で、付着層１１２から連続層１２４まで順次成膜を行った。付着層１１２は、ＣｒＴｉとした。軟磁性層１１４は、第１軟磁性層１１４ａ、第２軟磁性層１１４ｃの組成はＦｅＣｏＴａＺｒとし、スペーサ層１１４ｂの組成はＲｕとした。前下地層１１６の組成はｆｃｃ構造のＮｉＷ合金とした。下地層１１８は、第１下地層１１８ａは低圧Ａｒ下でＲｕを成膜し、第２下地層１１８ｂは高圧Ａｒ下でＲｕを成膜した。非磁性グラニュラー層１２０の組成は非磁性のＣｏＣｒ−ＳｉＯ２とした。磁気記録層１２２は下記の実施例および比較例の構成で形成した。連続層１２４の組成はＣｏＣｒＰｔＢとした。媒体保護層１２６はＣＶＤ法によりＣ２Ｈ４およびＣＮを用いて成膜し、潤滑層１２８はディップコート法によりＰＦＰＥを用いて形成した。
本実施例において、連続層１２４の膜厚を７ｎｍと、第１磁気記録層１２２ａの膜厚を３ｎｍと、第２磁気記録層１２２ｂの膜厚を１０ｎｍとした。
図２は、磁気記録層１２２を成膜する際のガス圧とＳＮＲの関係と投入電力とＳＮＲの関係を説明するための説明図であり、特に図２（ａ）は、連続層１２４の膜厚を７ｎｍ、第１磁気記録層１２２ａの膜厚を３ｎｍ、磁性粒の平均粒径を７ｎｍと、平均粒子間距離を０．８ｎｍと固定し第２磁気記録層１２２ｂを成膜する際の条件（ガス圧および投入電力）とＳＮＲの関係を示した図であり、図２（ｂ）は、連続層１２４の膜厚を７ｎｍ、第２磁気記録層１２２ｂの膜厚を１０ｎｍ、磁性粒の平均粒径を６ｎｍと、平均粒子間距離を１．２ｎｍと固定し第１磁気記録層１２２ａを成膜する際の条件（ガス圧および投入電力）とＳＮＲの関係を示した図である。なお、いずれの場合においても投入電力と成膜時間の積が一定となるように成膜時間を調整し、膜厚を一定としている。この際、第１磁気記録層１２２ａは、複合酸化物の例としてＣｒ２Ｏ３とＳｉＯ２を含有させてＣｏＣｒＰｔ―Ｃｒ２Ｏ３―ＳｉＯ２のｈｃｐ結晶構造を形成し、第２磁気記録層１２２ｂは、複合酸化物の例としてＳｉＯ２とＴｉＯ２を含有させてＣｏＣｒＰｔ−ＳｉＯ２−ＴｉＯ２のｈｃｐ結晶構造を形成した。
図２（ａ）に示すように、第２磁気記録層１２２ｂは、ガス圧３Ｐａ、投入電力４００Ｗで成膜を行うと最適なＳＮＲを得ることができる。この際の第２磁気記録層１２２ｂの磁性粒の平均粒径および粒子間距離は、透過型電子顕微鏡（Transmission Electron Microscope：ＴＥＭ）で計測することができ、平均粒径は６．７ｎｍであり、平均粒子間距離は１．４ｎｍであった。
結晶粒子の平均粒径を求める具体例としては、ＴＥＭの測定結果における１００ｎｍ２面積に含まれるすべての結晶粒子を面積を用いて円近似し、円近似した結晶粒子の平均直径を計算することによって結晶粒子の平均粒径を求めることができる。粒子間距離を求める具体例としては、同様にＴＥＭの測定範囲である１００ｎｍ２において、各結晶粒子と粒子に隣接する結晶粒子との最短距離をそれぞれ計測して平均することにより求めることができる。また粒子間距離を求める他の例としては、面積を用いて円近似した結晶粒子の中心間の距離をそれぞれ計測して平均中心間距離を求め、この平均中心間距離から平均直径（半径の２倍）を差し引くことで算出する求めることができる。
図２（ｂ）に示すように、第１磁気記録層１２２ａは、ガス圧２．５Ｐａ、投入電力２００Ｗで成膜を行うと最適なオーバーライト特性を得ることができる。この際の第１磁気記録層１２２ａの磁性粒の平均粒径は、透過型電子顕微鏡で計測することができ、平均粒径は６．３ｎｍであり、平均粒子間距離は０．６ｎｍであった。
以下、磁性粒の平均粒径が７ｎｍ、平均粒子間距離が０．７ｎｍである第１磁気記録層１２２ａおよび磁性粒の平均粒径が６．７ｎｍ、平均粒子間距離が１．３ｎｍである第２磁気記録層１２２ｂすなわち磁性粒の平均粒径が第１磁気記録層１２２ａ＞第２磁気記録層１２２ｂを実施例１とし、磁性粒の平均粒径が６．７ｎｍ、平均粒子間距離が１．３ｎｍである第１磁気記録層１２２ａおよび磁性粒の平均粒径が７ｎｍ、平均粒子間距離が０．７ｎｍである第２磁気記録層１２２ｂすなわち磁性粒の平均粒径が第１磁気記録層１２２ａ＜第２磁気記録層１２２ｂを比較例とする。
図３は、第１磁気記録層１２２ａの磁性粒の平均粒子間距離および第２磁気記録層１２２ｂの磁性粒の平均粒子間距離の関係とオーバーライト特性、ＳＮＲの関係を説明するための説明図である。
図３に示すように、第１磁気記録層１２２ａに含まれる磁性粒の平均粒子間距離が第２磁気記録層１２２ｂに含まれる磁性粒の平均粒子間距離よりも小さい方が、第１磁気記録層１２２ａに含まれる磁性粒の平均粒子間距離が第２磁気記録層１２２ｂに含まれる磁性粒の平均粒子間距離よりも小さい場合と比較して、高オーバーライト特性を得ることができる。
また第１磁気記録層１２２ａ中の磁性粒の平均粒径が、第２磁気記録層１２２ｂ中の磁性粒の平均粒径よりも約０．３ｎｍ大きいことにより、最適にオーバーライト特性を向上させることができる。なお、比較例に示すように、第１磁気記録層１２２ａ中の磁性粒の平均粒径が第２磁気記録層１２２ｂ中の磁性粒の平均粒径よりも約０．３ｎｍ小さいと、オーバーライト特性が低下してしまう。
また第１磁気記録層１２２ａ中の磁性粒の平均粒径を、第２磁気記録層１２２ｂ中の磁性粒の平均粒径よりも約０．３ｎｍ大きくすることにより、容易に第１磁気記録層１２２ａ中の磁性粒の粒子間距離を１ｎｍ以下にすることができ、最適にオーバーライト特性を向上させることができる。なお、第１磁気記録層１２２ａ中の磁性粒の粒子間距離が、１ｎｍ以上であると、オーバーライト特性の向上が見込めなくなる。
さらに第１磁気記録層１２２ａ中の磁性粒の平均粒径を、第２磁気記録層１２２ｂ中の磁性粒の平均粒径よりも約０．３ｎｍ大きくすることにより、容易に第２磁気記録層１２２ｂ中の磁性粒の粒子間距離を、０．５ｎｍ以上にすることができ、最適に高保磁力Ｈｃおよび高ＳＮＲを維持することができる。なお、第２磁気記録層１２２ｂ中の磁性粒の粒子間距離が、０．５ｎｍ以下であると、グラニュラー構造を保つことができなくなり、ＳＮＲが低下する。
高オーバーライト特性を実現したままＳＮＲ向上を目指すために、実施例２では、第１磁気記録層１２２ａを複合酸化物の例としてＣｒ２Ｏ３とＳｉＯ２を含有させてＣｏＣｒＰｔ―Ｃｒ２Ｏ３―ＳｉＯ２のｈｃｐ結晶構造を形成し、第２磁気記録層１２２ｂを複合酸化物（複数の種類の酸化物）の例としてＳｉＯ２とＴｉＯ２を含有させてＣｏＣｒＰｔ−ＳｉＯ２−ＴｉＯ２のｈｃｐ結晶構造を形成した。
図３に示すように、第２磁気記録層１２２ｂをＳｉＯ２とＴｉＯ２の複合酸化物を含有させて形成することにより、複数の酸化物の特性を得ることができ、磁気記録層１２２の磁性粒子のさらなる微細化と孤立化を図ることによりノイズを低減し、高オーバーライト特性を維持したままＳＮＲを向上させることができた。
特に、ＳｉＯ２は磁性粒子の微細化および孤立化を促進し、ＴｉＯ２は結晶粒子の粒径分散を抑制させる効果がある。そしてこれらの酸化物を複合させて磁気記録層１２２の粒界に偏析させることにより、双方の利益を享受することができる。
図４は、本実施形態にかかる垂直磁気記録媒体の製造方法を用いて製造した垂直磁気記録媒体１００を説明するための説明図である。
図４に示すように、本実施形態にかかる垂直磁気記録媒体の製造方法を用いて製造した垂直磁気記録媒体１００は、第１磁気記録層１２２ａ中の磁性粒（結晶粒子）と隣接する磁性粒（結晶粒子）の粒子間距離は、第２磁気記録層１２２ｂ中の磁性粒（結晶粒子）と隣接する磁性粒（結晶粒子）の粒子間距離よりも小さくなるように成膜される。したがって、第１磁気記録層１２２ａが連続層１２４と同様の機能を有することとなる。したがって、確実にオーバーライト特性を向上させることが可能となる。
上記構成によれば、第２磁気記録層を連続層としての機能を持たせることができる。したがって、媒体の上方と比較して弱いヘッド磁界が加えられた場合であっても理想的な磁化反転が達成され、その機能を適切に発揮させることができる。これにより、ＳＮＲおよびオーバーライト特性を適切に向上させることが可能となる。
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
例えば、上記実施形態および実施例においては、磁気記録層を第１磁気記録層と第２磁気記録層の２層からなると説明した。しかし磁気記録層がさらに３以上の層からなる場合であっても、少なくとも下層の磁気記録層の磁性粒の平均粒径を上層の磁気記録層の磁性粒の平均粒径よりも大きくすることにより、上記と同様に本発明の利益を得ることができる。
本発明は、垂直磁気記録方式のＨＤＤなどに搭載される垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法として利用可能である。
１００ …垂直磁気記録媒体
１１０ …ディスク基体
１１２ …付着層
１１４ …軟磁性層
１１４ａ …第１軟磁性層
１１４ｂ …スペーサ層
１１４ｃ …第２軟磁性層
１１６ …前下地層
１１８ …下地層
１１８ａ …第１下地層
１１８ｂ …第２下地層
１２０ …非磁性グラニュラー層
１２２ …磁気記録層
１２２ａ …第１磁気記録層
１２２ｂ …第２磁気記録層
１２４ …連続層
１２６ …媒体保護層
１２８ …潤滑層
１１０ …ディスク基体
１１２ …付着層
１１４ …軟磁性層
１１４ａ …第１軟磁性層
１１４ｂ …スペーサ層
１１４ｃ …第２軟磁性層
１１６ …前下地層
１１８ …下地層
１１８ａ …第１下地層
１１８ｂ …第２下地層
１２０ …非磁性グラニュラー層
１２２ …磁気記録層
１２２ａ …第１磁気記録層
１２２ｂ …第２磁気記録層
１２４ …連続層
１２６ …媒体保護層
１２８ …潤滑層
Claims (11)
- 基体上に少なくとも第１磁気記録層、第２磁気記録層をこの順に備える垂直磁気記録媒体であって、
第１磁気記録層および第２磁気記録層は柱状に成長した結晶粒子の間に非磁性物質からなる粒界部を形成したグラニュラー構造の強磁性層であり、
前記第１磁気記録層において、前記結晶粒子と隣接する結晶粒子との最短距離の平均により定まる粒子間距離は１ｎｍ以下であることを特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 前記第２磁気記録層において、前記結晶粒子と隣接する結晶粒子との粒界部の最短距離の平均により定まる粒子間距離は０．５ｎｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第１磁気記録層中の前記結晶粒子の平均粒径をＡｎｍ、前記第２磁気記録層中の前記結晶粒子の平均粒径をＢｎｍとした場合、Ａ＞Ｂであることを特徴とする請求項１または２に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第１磁気記録層中の前記結晶粒子の平均粒径と、前記第２磁気記録層中の前記結晶粒子の平均粒径との比が１＜Ａ／Ｂ＜１．２であることを特徴とする請求項１から３いずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第１磁気記録層と第２磁気記録層の総厚が１５ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第１磁気記録層の膜厚は、第２磁気記録層の膜厚の約０．２〜約１倍であることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第２磁気記録層より基体から遠い側に、基体面方向に磁気的に連続した連続層を備え、
前記第１磁気記録層の膜厚は、前記連続層の膜厚の約０．２〜約２倍であることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。 - 前記第２磁気記録層より基体から遠い側に、基体面方向に磁気的に連続した連続層を備え、
前記第２磁気記録層の膜厚は、前記連続層の膜厚の約０．７〜約２倍であることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。 - 前記第１磁気記録層に含まれる非磁性物質は、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５、Ｎｂ２Ｏ５、Ｂ２Ｏ３またはＺｒＯ２の群から選択された、１または複数の酸化物を含むことを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第２磁気記録層に含まれる非磁性物質は、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５、Ｎｂ２Ｏ５、Ｂ２Ｏ３またはＺｒＯ２の群から選択された、１または複数の酸化物を含むことを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の垂直磁気媒体。
- 基体上に少なくとも第１磁気記録層、第２磁気記録層をこの順に備える垂直磁気記録媒体の製造方法であって、
前記第１磁気記録層として酸素もしくはＳｉＯ２、ＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５、Ｎｂ２Ｏ５、Ｂ２Ｏ３またはＺｒＯ２の群から選択された、１または複数の酸化物を含む磁性ターゲットを用いて、ガス圧を約０．５〜約５Ｐａ、電力を約１００〜約７００Ｗとすることにより、柱状に成長した結晶粒子の間に非磁性の粒界部を形成したグラニュラー構造の強磁性層を形成し、
酸素もしくはＳｉＯ２、ＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５、Ｎｂ２Ｏ５、Ｂ２Ｏ３またはＺｒＯ２の群から選択された、１または複数の酸化物を含む磁性ターゲットを用いて、ガス圧を約０．５〜約５Ｐａ、電力を約１００〜約１０００Ｗとすることにより、前記第２磁気記録層として柱状に成長した結晶粒子の間に非磁性の粒界部を形成したグラニュラー構造の強磁性層を形成し、
前記第１磁気記録層において、前記結晶粒子と隣接する結晶粒子との粒界部の最短距離の平均により定まる粒子間距離は１ｎｍ以下であることを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
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|---|---|
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9959895B2 (en) | 2013-08-05 | 2018-05-01 | Showa Denko K.K. | Method for manufacturing magnetic recording medium, magnetic recording medium and magnetic recording and reproducing apparatus |
| US10056103B2 (en) | 2013-01-23 | 2018-08-21 | Showa Denko K.K. | Method of manufacturing magnetic recording medium, magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing apparatus |
| WO2019187226A1 (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-03 | Ｊｘ金属株式会社 | 垂直磁気記録媒体 |
Families Citing this family (70)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5117895B2 (ja) | 2008-03-17 | 2013-01-16 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| JP2009238299A (ja) | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Hoya Corp | 垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法 |
| JP2009238298A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Hoya Corp | 垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法 |
| JP5453666B2 (ja) * | 2008-03-30 | 2014-03-26 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 磁気ディスク及びその製造方法 |
| WO2010038773A1 (ja) | 2008-09-30 | 2010-04-08 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク及びその製造方法 |
| US8877359B2 (en) | 2008-12-05 | 2014-11-04 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd. | Magnetic disk and method for manufacturing same |
| WO2010116908A1 (ja) | 2009-03-28 | 2010-10-14 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用潤滑剤化合物及び磁気ディスク |
| JP2010257567A (ja) | 2009-03-30 | 2010-11-11 | Wd Media Singapore Pte Ltd | 垂直磁気記録媒体およびその製造方法 |
| US20100300884A1 (en) | 2009-05-26 | 2010-12-02 | Wd Media, Inc. | Electro-deposited passivation coatings for patterned media |
| US9330685B1 (en) | 2009-11-06 | 2016-05-03 | WD Media, LLC | Press system for nano-imprinting of recording media with a two step pressing method |
| US8496466B1 (en) | 2009-11-06 | 2013-07-30 | WD Media, LLC | Press system with interleaved embossing foil holders for nano-imprinting of recording media |
| JP5643516B2 (ja) | 2010-01-08 | 2014-12-17 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 垂直磁気記録媒体 |
| JP5574414B2 (ja) | 2010-03-29 | 2014-08-20 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 磁気ディスクの評価方法及び磁気ディスクの製造方法 |
| JP5634749B2 (ja) | 2010-05-21 | 2014-12-03 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 垂直磁気ディスク |
| JP5645476B2 (ja) | 2010-05-21 | 2014-12-24 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 垂直磁気ディスク |
| JP2011248967A (ja) | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd | 垂直磁気ディスクの製造方法 |
| JP2011248968A (ja) | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd | 垂直磁気ディスク |
| JP2011248969A (ja) | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd | 垂直磁気ディスク |
| JP2012009086A (ja) | 2010-06-22 | 2012-01-12 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
| US8889275B1 (en) | 2010-08-20 | 2014-11-18 | WD Media, LLC | Single layer small grain size FePT:C film for heat assisted magnetic recording media |
| US8743666B1 (en) | 2011-03-08 | 2014-06-03 | Western Digital Technologies, Inc. | Energy assisted magnetic recording medium capable of suppressing high DC readback noise |
| US8711499B1 (en) | 2011-03-10 | 2014-04-29 | WD Media, LLC | Methods for measuring media performance associated with adjacent track interference |
| US8491800B1 (en) | 2011-03-25 | 2013-07-23 | WD Media, LLC | Manufacturing of hard masks for patterning magnetic media |
| US9028985B2 (en) | 2011-03-31 | 2015-05-12 | WD Media, LLC | Recording media with multiple exchange coupled magnetic layers |
| US9058831B2 (en) | 2011-12-14 | 2015-06-16 | HGST Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic recording medium with grain boundary controlling layers |
| US8565050B1 (en) | 2011-12-20 | 2013-10-22 | WD Media, LLC | Heat assisted magnetic recording media having moment keeper layer |
| US9029308B1 (en) | 2012-03-28 | 2015-05-12 | WD Media, LLC | Low foam media cleaning detergent |
| US9269480B1 (en) * | 2012-03-30 | 2016-02-23 | WD Media, LLC | Systems and methods for forming magnetic recording media with improved grain columnar growth for energy assisted magnetic recording |
| US8941950B2 (en) | 2012-05-23 | 2015-01-27 | WD Media, LLC | Underlayers for heat assisted magnetic recording (HAMR) media |
| US8993134B2 (en) | 2012-06-29 | 2015-03-31 | Western Digital Technologies, Inc. | Electrically conductive underlayer to grow FePt granular media with (001) texture on glass substrates |
| US8614862B1 (en) * | 2012-12-21 | 2013-12-24 | HGST Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic recording media having a cap layer above a granular layer |
| US9034492B1 (en) | 2013-01-11 | 2015-05-19 | WD Media, LLC | Systems and methods for controlling damping of magnetic media for heat assisted magnetic recording |
| US10115428B1 (en) | 2013-02-15 | 2018-10-30 | Wd Media, Inc. | HAMR media structure having an anisotropic thermal barrier layer |
| US9153268B1 (en) | 2013-02-19 | 2015-10-06 | WD Media, LLC | Lubricants comprising fluorinated graphene nanoribbons for magnetic recording media structure |
| US9183867B1 (en) | 2013-02-21 | 2015-11-10 | WD Media, LLC | Systems and methods for forming implanted capping layers in magnetic media for magnetic recording |
| US9196283B1 (en) | 2013-03-13 | 2015-11-24 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for providing a magnetic recording transducer using a chemical buffer |
| US9190094B2 (en) | 2013-04-04 | 2015-11-17 | Western Digital (Fremont) | Perpendicular recording media with grain isolation initiation layer and exchange breaking layer for signal-to-noise ratio enhancement |
| US9093122B1 (en) | 2013-04-05 | 2015-07-28 | WD Media, LLC | Systems and methods for improving accuracy of test measurements involving aggressor tracks written to disks of hard disk drives |
| US8947987B1 (en) | 2013-05-03 | 2015-02-03 | WD Media, LLC | Systems and methods for providing capping layers for heat assisted magnetic recording media |
| US8867322B1 (en) | 2013-05-07 | 2014-10-21 | WD Media, LLC | Systems and methods for providing thermal barrier bilayers for heat assisted magnetic recording media |
| US9296082B1 (en) | 2013-06-11 | 2016-03-29 | WD Media, LLC | Disk buffing apparatus with abrasive tape loading pad having a vibration absorbing layer |
| US9406330B1 (en) | 2013-06-19 | 2016-08-02 | WD Media, LLC | Method for HDD disk defect source detection |
| US9607646B2 (en) | 2013-07-30 | 2017-03-28 | WD Media, LLC | Hard disk double lubrication layer |
| US9389135B2 (en) | 2013-09-26 | 2016-07-12 | WD Media, LLC | Systems and methods for calibrating a load cell of a disk burnishing machine |
| US9177585B1 (en) | 2013-10-23 | 2015-11-03 | WD Media, LLC | Magnetic media capable of improving magnetic properties and thermal management for heat-assisted magnetic recording |
| US9581510B1 (en) | 2013-12-16 | 2017-02-28 | Western Digital Technologies, Inc. | Sputter chamber pressure gauge with vibration absorber |
| US9382496B1 (en) | 2013-12-19 | 2016-07-05 | Western Digital Technologies, Inc. | Lubricants with high thermal stability for heat-assisted magnetic recording |
| US9824711B1 (en) | 2014-02-14 | 2017-11-21 | WD Media, LLC | Soft underlayer for heat assisted magnetic recording media |
| US9447368B1 (en) | 2014-02-18 | 2016-09-20 | WD Media, LLC | Detergent composition with low foam and high nickel solubility |
| US9431045B1 (en) | 2014-04-25 | 2016-08-30 | WD Media, LLC | Magnetic seed layer used with an unbalanced soft underlayer |
| US9042053B1 (en) | 2014-06-24 | 2015-05-26 | WD Media, LLC | Thermally stabilized perpendicular magnetic recording medium |
| US9159350B1 (en) | 2014-07-02 | 2015-10-13 | WD Media, LLC | High damping cap layer for magnetic recording media |
| US10054363B2 (en) | 2014-08-15 | 2018-08-21 | WD Media, LLC | Method and apparatus for cryogenic dynamic cooling |
| US9082447B1 (en) | 2014-09-22 | 2015-07-14 | WD Media, LLC | Determining storage media substrate material type |
| US9685184B1 (en) | 2014-09-25 | 2017-06-20 | WD Media, LLC | NiFeX-based seed layer for magnetic recording media |
| US8995078B1 (en) | 2014-09-25 | 2015-03-31 | WD Media, LLC | Method of testing a head for contamination |
| US9227324B1 (en) | 2014-09-25 | 2016-01-05 | WD Media, LLC | Mandrel for substrate transport system with notch |
| US9449633B1 (en) | 2014-11-06 | 2016-09-20 | WD Media, LLC | Smooth structures for heat-assisted magnetic recording media |
| US9818442B2 (en) | 2014-12-01 | 2017-11-14 | WD Media, LLC | Magnetic media having improved magnetic grain size distribution and intergranular segregation |
| US9401300B1 (en) | 2014-12-18 | 2016-07-26 | WD Media, LLC | Media substrate gripper including a plurality of snap-fit fingers |
| US9218850B1 (en) | 2014-12-23 | 2015-12-22 | WD Media, LLC | Exchange break layer for heat-assisted magnetic recording media |
| US9257134B1 (en) | 2014-12-24 | 2016-02-09 | Western Digital Technologies, Inc. | Allowing fast data zone switches on data storage devices |
| US9990940B1 (en) | 2014-12-30 | 2018-06-05 | WD Media, LLC | Seed structure for perpendicular magnetic recording media |
| US9280998B1 (en) | 2015-03-30 | 2016-03-08 | WD Media, LLC | Acidic post-sputter wash for magnetic recording media |
| US9275669B1 (en) | 2015-03-31 | 2016-03-01 | WD Media, LLC | TbFeCo in PMR media for SNR improvement |
| US9822441B2 (en) | 2015-03-31 | 2017-11-21 | WD Media, LLC | Iridium underlayer for heat assisted magnetic recording media |
| US11074934B1 (en) | 2015-09-25 | 2021-07-27 | Western Digital Technologies, Inc. | Heat assisted magnetic recording (HAMR) media with Curie temperature reduction layer |
| US10236026B1 (en) | 2015-11-06 | 2019-03-19 | WD Media, LLC | Thermal barrier layers and seed layers for control of thermal and structural properties of HAMR media |
| US9406329B1 (en) | 2015-11-30 | 2016-08-02 | WD Media, LLC | HAMR media structure with intermediate layer underlying a magnetic recording layer having multiple sublayers |
| US10121506B1 (en) | 2015-12-29 | 2018-11-06 | WD Media, LLC | Magnetic-recording medium including a carbon overcoat implanted with nitrogen and hydrogen |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006309922A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-11-09 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体及び磁気記録装置 |
| WO2007114402A1 (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-11 | Hoya Corporation | 垂直磁気記録ディスク及びその製造方法 |
Family Cites Families (278)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60239916A (ja) * | 1984-05-11 | 1985-11-28 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
| JPH0814889B2 (ja) * | 1987-02-18 | 1996-02-14 | 株式会社日立製作所 | 垂直磁気記録媒体 |
| JP2874298B2 (ja) | 1990-07-24 | 1999-03-24 | 日本板硝子株式会社 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
| US6287429B1 (en) | 1992-10-26 | 2001-09-11 | Hoya Corporation | Magnetic recording medium having an improved magnetic characteristic |
| US6099981A (en) | 1993-12-28 | 2000-08-08 | Hoya Corporation | Magnetic recording medium having a lubricant film coated on optimum conditions and method of evaluating the lubricant film |
| JPH0850715A (ja) | 1994-01-28 | 1996-02-20 | Komag Inc | 低ノイズ，高い保磁力および優れた方形度を有する磁気記録媒体および磁気記録媒体形成方法 |
| US6156404A (en) | 1996-10-18 | 2000-12-05 | Komag, Inc. | Method of making high performance, low noise isotropic magnetic media including a chromium underlayer |
| US5855746A (en) | 1996-02-28 | 1999-01-05 | Western Digital Corporation | Buffered nitrogenated carbon overcoat for data recording disks and method for manufacturing the same |
| US6309765B1 (en) | 1996-03-25 | 2001-10-30 | Asahi Komag Co., Ltd. | Magnetic recording medium and process for its production |
| US6103404A (en) | 1996-06-03 | 2000-08-15 | Komag, Inc. | Laser textured magnetic disk comprising NiNb |
| US6117499A (en) | 1997-04-09 | 2000-09-12 | Komag, Inc. | Micro-texture media made by polishing of a selectively irradiated surface |
| JP3867351B2 (ja) * | 1997-07-08 | 2007-01-10 | 株式会社日立製作所 | 垂直磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記録再生装置 |
| US6068891A (en) | 1997-08-15 | 2000-05-30 | Komag, Inc. | Method for laser texturing a glass ceramic substrate and the resulting substrate |
| US6200441B1 (en) | 1997-08-27 | 2001-03-13 | Western Digital Corporation | Multiple station vacuum deposition apparatus for texturing a substrate using a scanning beam |
| US6149696A (en) | 1997-11-06 | 2000-11-21 | Komag, Inc. | Colloidal silica slurry for NiP plated disk polishing |
| JP3099790B2 (ja) | 1997-11-17 | 2000-10-16 | 日本電気株式会社 | 垂直磁気記録媒体 |
| US6150015A (en) | 1997-12-04 | 2000-11-21 | Komag, Incorporated | Ultra-thin nucleation layer for magnetic thin film media and the method for manufacturing the same |
| US6387483B1 (en) | 1997-12-18 | 2002-05-14 | Nec Corporation | Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing process therefor |
| JP3087715B2 (ja) | 1998-02-19 | 2000-09-11 | 日本電気株式会社 | 磁気ディスク装置 |
| US6261681B1 (en) | 1998-03-20 | 2001-07-17 | Asahi Komag Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
| US6683754B2 (en) | 1998-05-21 | 2004-01-27 | Komag, Inc. | Hard disk drive head-media system having reduced stiction and low fly height |
| US6381090B1 (en) | 1998-05-21 | 2002-04-30 | Komag, Incorporated | Hard disk drive head-media system having reduced stiction and low fly height |
| US6159076A (en) | 1998-05-28 | 2000-12-12 | Komag, Inc. | Slurry comprising a ligand or chelating agent for polishing a surface |
| US6210819B1 (en) | 1998-07-24 | 2001-04-03 | Hmt Technology Corporation | Magnetic recording media having a CrTi underlayer deposited under a substrate bias |
| JP3090128B2 (ja) | 1998-08-28 | 2000-09-18 | 日本電気株式会社 | 垂直磁気記録媒体 |
| US6216709B1 (en) | 1998-09-04 | 2001-04-17 | Komag, Inc. | Method for drying a substrate |
| US6571806B2 (en) | 1998-09-04 | 2003-06-03 | Komag, Inc. | Method for drying a substrate |
| US6146737A (en) | 1998-09-18 | 2000-11-14 | Hmt Technology Corporation | Magnetic recording medium having a nitrogen-containing barrier layer |
| US6408677B1 (en) | 1998-09-30 | 2002-06-25 | Komag Corporation | Calibration disk having discrete bands of composite roughness |
| US6164118A (en) | 1998-09-30 | 2000-12-26 | Komag Incorporated | Calibration disk having discrete bands of calibration bumps |
| US6303217B1 (en) | 1998-10-02 | 2001-10-16 | Hmt Technology, Corporation | Longitudinal recording medium with a dual underlayer |
| US6358636B1 (en) | 1998-11-05 | 2002-03-19 | Hmt Technology Corporation | Thin overlayer for magnetic recording disk |
| US6274063B1 (en) | 1998-11-06 | 2001-08-14 | Hmt Technology Corporation | Metal polishing composition |
| US6063248A (en) | 1998-11-12 | 2000-05-16 | Hmt Technology Corporation | Process chamber isolation system in a deposition apparatus |
| US6145849A (en) | 1998-11-18 | 2000-11-14 | Komag, Incorporated | Disk processing chuck |
| US6299947B1 (en) | 1999-01-20 | 2001-10-09 | Komag, Inc. | Method of forming a magnetic hard disk with elliptical shaped laser bumps |
| US6143375A (en) | 1999-01-28 | 2000-11-07 | Komag, Incorporated | Method for preparing a substrate for a magnetic disk |
| US6362452B1 (en) | 1999-02-04 | 2002-03-26 | Komag, Inc. | Patterned laser zone texture |
| US6403919B1 (en) | 1999-03-01 | 2002-06-11 | Komag, Incorporated | Disk marking system |
| SG87096A1 (en) | 1999-03-31 | 2002-03-19 | Hoya Corp | Magnetic recording medium, and thermal stability measuring method and apparatus of magnetic recording medium |
| US6086730A (en) | 1999-04-22 | 2000-07-11 | Komag, Incorporated | Method of sputtering a carbon protective film on a magnetic disk with high sp3 content |
| US6248395B1 (en) | 1999-05-24 | 2001-06-19 | Komag, Inc. | Mechanical texturing of glass and glass-ceramic substrates |
| US6395349B1 (en) | 1999-05-25 | 2002-05-28 | Komag, Inc. | Method of marking disks |
| US6548821B1 (en) | 1999-06-21 | 2003-04-15 | Komag, Inc. | Method and apparatus for inspecting substrates |
| US6566674B1 (en) | 1999-06-21 | 2003-05-20 | Komag, Inc. | Method and apparatus for inspecting substrates |
| US6221119B1 (en) | 1999-07-14 | 2001-04-24 | Komag, Inc. | Slurry composition for polishing a glass ceramic substrate |
| US6363599B1 (en) | 1999-08-04 | 2002-04-02 | Komag, Inc. | Method for manufacturing a magnetic disk including a glass substrate |
| US6429984B1 (en) | 1999-08-06 | 2002-08-06 | Komag, Inc | Circuit and method for refreshing data recorded at a density sufficiently high to undergo thermal degradation |
| US6206765B1 (en) | 1999-08-16 | 2001-03-27 | Komag, Incorporated | Non-rotational dresser for grinding stones |
| US6290573B1 (en) | 1999-08-23 | 2001-09-18 | Komag, Incorporated | Tape burnish with monitoring device |
| US6664503B1 (en) | 1999-09-07 | 2003-12-16 | Asahi Glass Company, Ltd. | Method for manufacturing a magnetic disk |
| US6795274B1 (en) | 1999-09-07 | 2004-09-21 | Asahi Glass Company, Ltd. | Method for manufacturing a substantially circular substrate by utilizing scribing |
| US6391213B1 (en) | 1999-09-07 | 2002-05-21 | Komag, Inc. | Texturing of a landing zone on glass-based substrates by a chemical etching process |
| US20020060883A1 (en) | 1999-09-21 | 2002-05-23 | Shoji Suzuki | Hard disk drive with load/unload capability |
| US6482330B1 (en) | 1999-10-01 | 2002-11-19 | Komag, Inc. | Method for manufacturing a data storage card |
| US6283838B1 (en) | 1999-10-19 | 2001-09-04 | Komag Incorporated | Burnishing tape handling apparatus and method |
| US6381092B1 (en) | 2000-01-10 | 2002-04-30 | Komag, Inc. | Spacer rings to compensate for disk warpage |
| US6482505B1 (en) | 2000-05-11 | 2002-11-19 | Komag, Inc. | Multi-layer texture layer |
| US6565719B1 (en) | 2000-06-27 | 2003-05-20 | Komag, Inc. | Magnetic disk comprising a first carbon overcoat having a high SP3 content and a second carbon overcoat having a low SP3 content |
| JP2002056522A (ja) | 2000-08-14 | 2002-02-22 | Hoya Corp | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| US6730420B1 (en) | 2000-10-31 | 2004-05-04 | Komag, Inc. | Magnetic thin film recording media having extremely low noise and high thermal stability |
| US6528124B1 (en) | 2000-12-01 | 2003-03-04 | Komag, Inc. | Disk carrier |
| US7019924B2 (en) | 2001-02-16 | 2006-03-28 | Komag, Incorporated | Patterned medium and recording head |
| SG108859A1 (en) | 2001-07-03 | 2005-02-28 | Hoya Corp | Magnetic recording medium |
| US6778353B1 (en) | 2001-07-25 | 2004-08-17 | Komag, Inc. | Balance ring |
| US7099112B1 (en) | 2001-07-25 | 2006-08-29 | Komag, Inc. | Balance ring |
| SG108888A1 (en) | 2001-12-14 | 2005-02-28 | Hoya Corp | Magnetic recording medium |
| US6899959B2 (en) | 2002-02-12 | 2005-05-31 | Komag, Inc. | Magnetic media with improved exchange coupling |
| JP3912497B2 (ja) | 2002-02-25 | 2007-05-09 | Ｈｏｙａ株式会社 | 磁気記録媒体 |
| JP4515690B2 (ja) | 2002-05-29 | 2010-08-04 | 昭和電工株式会社 | 垂直多層磁気記録媒体 |
| US7119990B2 (en) | 2002-05-30 | 2006-10-10 | Komag, Inc. | Storage device including a center tapped write transducer |
| US6857937B2 (en) | 2002-05-30 | 2005-02-22 | Komag, Inc. | Lapping a head while powered up to eliminate expansion of the head due to heating |
| CA2436249C (en) | 2002-08-02 | 2010-03-09 | Communications Systems, Inc. | Wall mounted dsl adapter jack with latches for attachment |
| SG130014A1 (en) | 2002-09-03 | 2007-03-20 | Hoya Corp | Magnetic recording disk and process for manufacturing thereof |
| US6939120B1 (en) | 2002-09-12 | 2005-09-06 | Komag, Inc. | Disk alignment apparatus and method for patterned media production |
| US20040132301A1 (en) | 2002-09-12 | 2004-07-08 | Harper Bruce M. | Indirect fluid pressure imprinting |
| US6972135B2 (en) | 2002-11-18 | 2005-12-06 | Komag, Inc. | Texturing of magnetic disk substrates |
| US20050036223A1 (en) | 2002-11-27 | 2005-02-17 | Wachenschwanz David E. | Magnetic discrete track recording disk |
| US7147790B2 (en) | 2002-11-27 | 2006-12-12 | Komag, Inc. | Perpendicular magnetic discrete track recording disk |
| JP3651681B2 (ja) | 2003-01-29 | 2005-05-25 | Ｈｏｙａ株式会社 | 磁気ディスクおよびその製造方法 |
| JP2004247010A (ja) | 2003-02-17 | 2004-09-02 | Hoya Corp | 磁気ディスク |
| US7016154B2 (en) | 2003-03-05 | 2006-03-21 | Komag, Inc. | Magnetic recording disk having a safe zone |
| DE102004010336A1 (de) | 2003-03-05 | 2004-09-16 | Komag, Inc., San Jose | Magnetische Aufzeichnungsplatte mit Übergangszone |
| JP2004319058A (ja) | 2003-03-31 | 2004-11-11 | Hoya Corp | 磁気ディスクの製造方法及び磁気ディスク |
| WO2004090874A1 (en) * | 2003-04-07 | 2004-10-21 | Showa Denko K. K. | Magnetic recording medium, method for producing thereof, and magnetic recording and reproducing apparatus. |
| US20040202865A1 (en) | 2003-04-08 | 2004-10-14 | Andrew Homola | Release coating for stamper |
| US20040202793A1 (en) | 2003-04-08 | 2004-10-14 | Harper Bruce M. | Dip-spin coater |
| US20040209123A1 (en) | 2003-04-17 | 2004-10-21 | Bajorek Christopher H. | Method of fabricating a discrete track recording disk using a bilayer resist for metal lift-off |
| US6893748B2 (en) | 2003-05-20 | 2005-05-17 | Komag, Inc. | Soft magnetic film for perpendicular recording disk |
| US7166319B2 (en) | 2003-05-28 | 2007-01-23 | Hoya Corporation | Magnetic disk and method of producing the same |
| US7006323B1 (en) | 2003-07-18 | 2006-02-28 | Komag, Inc. | Magnetic head for proximity recording |
| JP4169663B2 (ja) | 2003-07-25 | 2008-10-22 | Ｈｏｙａ株式会社 | 垂直磁気記録媒体 |
| JP4247535B2 (ja) | 2003-11-11 | 2009-04-02 | Ｈｏｙａ株式会社 | ロードアンロード方式用磁気ディスク、ロードアンロード方式用磁気ディスクの製造方法及びロードアンロード方式用磁気ディスクの評価方法 |
| US6967798B2 (en) | 2003-12-19 | 2005-11-22 | Komag, Inc. | Magnetic recording disk having DTR patterned CSS zone |
| US7632087B2 (en) | 2003-12-19 | 2009-12-15 | Wd Media, Inc. | Composite stamper for imprint lithography |
| JP4812254B2 (ja) * | 2004-01-08 | 2011-11-09 | 富士電機株式会社 | 垂直磁気記録媒体、および、その製造方法 |
| US20050151283A1 (en) | 2004-01-08 | 2005-07-14 | Bajorek Christopher H. | Method and apparatus for making a stamper for patterning CDs and DVDs |
| US20050151300A1 (en) | 2004-01-13 | 2005-07-14 | Harper Bruce M. | Workpiece isothermal imprinting |
| US20050151282A1 (en) | 2004-01-13 | 2005-07-14 | Harper Bruce M. | Workpiece handler and alignment assembly |
| US20050150862A1 (en) | 2004-01-13 | 2005-07-14 | Harper Bruce M. | Workpiece alignment assembly |
| JPWO2005068589A1 (ja) | 2004-01-14 | 2007-12-27 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用潤滑剤及びその製造方法、並びに、磁気ディスク及びその製造方法 |
| US20050155554A1 (en) | 2004-01-20 | 2005-07-21 | Saito Toshiyuki M. | Imprint embossing system |
| US7686606B2 (en) | 2004-01-20 | 2010-03-30 | Wd Media, Inc. | Imprint embossing alignment system |
| US7329114B2 (en) | 2004-01-20 | 2008-02-12 | Komag, Inc. | Isothermal imprint embossing system |
| US7179549B2 (en) | 2004-01-21 | 2007-02-20 | Komag, Inc. | Magnetic recording medium having novel underlayer structure |
| JP4214522B2 (ja) * | 2004-01-28 | 2009-01-28 | 富士電機デバイステクノロジー株式会社 | 垂直磁気記録媒体、および、その製造方法 |
| JP4078317B2 (ja) | 2004-02-06 | 2008-04-23 | Ｈｏｙａ株式会社 | 固体表面の評価方法、磁気ディスクの評価方法、磁気ディスクおよびその製造方法 |
| JP4407904B2 (ja) | 2004-02-06 | 2010-02-03 | Ｈｏｙａ株式会社 | 磁気ディスクの製造方法 |
| US7004827B1 (en) | 2004-02-12 | 2006-02-28 | Komag, Inc. | Method and apparatus for polishing a workpiece |
| US7229266B2 (en) | 2004-03-23 | 2007-06-12 | Komag, Inc. | Press die alignment |
| US7498062B2 (en) | 2004-05-26 | 2009-03-03 | Wd Media, Inc. | Method and apparatus for applying a voltage to a substrate during plating |
| CN101777354A (zh) | 2004-06-30 | 2010-07-14 | Hoya株式会社 | 垂直磁记录盘以及其制造方法 |
| US7320584B1 (en) | 2004-07-07 | 2008-01-22 | Komag, Inc. | Die set having sealed compliant member |
| US7684152B2 (en) | 2004-09-24 | 2010-03-23 | Wd Media, Inc. | Method of mitigating eccentricity in a disk drive with DTR media |
| JP4375617B2 (ja) | 2004-09-27 | 2009-12-02 | Ｈｏｙａ株式会社 | 磁気ディスク用潤滑剤の製造方法、磁気ディスク用潤滑剤、磁気ディスクおよび磁気ディスクの製造方法 |
| JP4044546B2 (ja) | 2004-09-29 | 2008-02-06 | Ｈｏｙａ株式会社 | 磁気ディスク及びその製造方法 |
| US7301726B1 (en) | 2004-11-04 | 2007-11-27 | Komag, Inc. | Banded LZT CSS zone |
| US20060147758A1 (en) | 2005-01-06 | 2006-07-06 | Hong-Sik Jung | Perpendicular magnetic recording medium with magnetically resetable single domain soft magnetic underlayer |
| US7292329B2 (en) | 2005-01-13 | 2007-11-06 | Komag, Inc. | Test head for optically inspecting workpieces comprising a lens for elongating a laser spot on the workpieces |
| US7305119B2 (en) | 2005-01-13 | 2007-12-04 | Komag, Inc. | Test head for optically inspecting workpieces |
| US7425719B2 (en) | 2005-01-13 | 2008-09-16 | Wd Media, Inc. | Method and apparatus for selectively providing data from a test head to a processor |
| US7375362B2 (en) | 2005-01-13 | 2008-05-20 | Wd Media, Inc. | Method and apparatus for reducing or eliminating stray light in an optical test head |
| US20060181697A1 (en) | 2005-01-13 | 2006-08-17 | Komag, Inc. | Circularly polarized light for optically inspecting workpieces |
| US7302148B2 (en) | 2005-01-13 | 2007-11-27 | Komag, Inc. | Test head for optically inspecting workpieces |
| US7184139B2 (en) | 2005-01-13 | 2007-02-27 | Komag, Inc. | Test head for optically inspecting workpieces |
| US7239970B2 (en) | 2005-01-13 | 2007-07-03 | Komag, Inc. | Robotic system for optically inspecting workpieces |
| US7161753B2 (en) | 2005-01-28 | 2007-01-09 | Komag, Inc. | Modulation of sidewalls of servo sectors of a magnetic disk and the resultant disk |
| US7569490B2 (en) | 2005-03-15 | 2009-08-04 | Wd Media, Inc. | Electrochemical etching |
| US20060207890A1 (en) | 2005-03-15 | 2006-09-21 | Norbert Staud | Electrochemical etching |
| JP2006268972A (ja) | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Hoya Corp | 垂直磁気記録ディスク及びその製造方法 |
| US7281920B2 (en) | 2005-03-28 | 2007-10-16 | Komag, Inc. | Die set utilizing compliant gasket |
| JP2006309919A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-11-09 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録媒体、その製造方法および磁気記憶装置 |
| US7955723B2 (en) | 2005-03-31 | 2011-06-07 | WD Media (Singapore) Pte.Ltd. | Magnetic recording medium substrate and perpendicular magnetic recording medium |
| US20060222900A1 (en) | 2005-03-31 | 2006-10-05 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic recording device |
| US7910159B2 (en) | 2005-06-03 | 2011-03-22 | Wd Media, Inc. | Radial magnetic field reset system for producing single domain soft magnetic underlayer on perpendicular magnetic recording medium |
| JP4928751B2 (ja) | 2005-07-14 | 2012-05-09 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 垂直磁気記録媒体 |
| JP2007095234A (ja) | 2005-09-30 | 2007-04-12 | Hoya Corp | 磁気記録ディスクおよびその製造方法 |
| JP4410747B2 (ja) | 2005-09-30 | 2010-02-03 | Ｈｏｙａ株式会社 | 磁気記録ディスク用潤滑剤の成分比測定方法および磁気記録ディスクの製造方法 |
| US7993497B2 (en) | 2005-11-21 | 2011-08-09 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd. | Magnetic disk and magnetic disk manufacturing method |
| JP4654339B2 (ja) | 2006-01-23 | 2011-03-16 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 磁気ディスク |
| US7314404B2 (en) | 2006-02-13 | 2008-01-01 | Komag, Inc. | Burnishing head |
| JP2007257756A (ja) | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Hoya Corp | 磁気ディスクの製造方法及び磁気ディスク |
| JPWO2007116812A1 (ja) | 2006-03-29 | 2009-08-20 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク及びその製造方法 |
| JPWO2007116813A1 (ja) | 2006-03-30 | 2009-08-20 | Hoya株式会社 | 垂直磁気記録ディスクの製造方法及び垂直磁気記録ディスク |
| JP2007265586A (ja) | 2006-03-30 | 2007-10-11 | Hoya Corp | 磁気ディスク及びその製造方法 |
| US20090311557A1 (en) | 2006-03-31 | 2009-12-17 | Takahiro Onoue | Perpendicular magnetic recording disk and method of manufacturing the same |
| US20090191331A1 (en) | 2006-03-31 | 2009-07-30 | Hoya Corporation | Perpendicular magnetic recording medium manufacturing method |
| SG174816A1 (en) | 2006-09-27 | 2011-10-28 | Wd Media Singapore Pte Ltd | Magnetic recording medium manufacturing method and laminate manufacturing method |
| JP4993677B2 (ja) | 2006-09-27 | 2012-08-08 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JP2008084432A (ja) | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Hoya Corp | 磁気記録媒体、及び磁気記録媒体の製造方法 |
| WO2008038664A1 (en) | 2006-09-29 | 2008-04-03 | Hoya Corporation | Magnetic recording medium |
| WO2008038799A1 (fr) | 2006-09-29 | 2008-04-03 | Hoya Corporation | Lubrifiant pour disque magnétique, procédé de fabrication afférent et disque magnétique |
| JP2008108395A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-08 | Hoya Corp | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
| WO2008099859A1 (ja) | 2007-02-13 | 2008-08-21 | Hoya Corporation | 磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法、及び磁気ディスク |
| JP2008269764A (ja) | 2007-03-28 | 2008-11-06 | Hoya Corp | 磁気記録媒体、及び磁気記録媒体の製造方法 |
| US8309239B2 (en) | 2007-03-30 | 2012-11-13 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd. | Perpendicular magnetic recording medium and method of manufacturing the same |
| WO2008123446A1 (ja) | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Hoya Corporation | 磁気記録媒体 |
| JP5260510B2 (ja) | 2007-05-30 | 2013-08-14 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法 |
| US8298689B2 (en) | 2007-05-31 | 2012-10-30 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd. | Method of manufacturing a perpendicular magnetic recording medium |
| JP5183134B2 (ja) | 2007-09-21 | 2013-04-17 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 磁気ディスク及び磁気ディスクの製造方法 |
| US8057926B2 (en) | 2007-09-28 | 2011-11-15 | WD Media(Singapore) Pte. Ltd. | Perpendicular magnetic recording medium |
| US8795857B2 (en) | 2007-09-28 | 2014-08-05 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd. | Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing method of the same |
| US8551627B2 (en) | 2007-09-28 | 2013-10-08 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd. | Magnetic disk and method of manufacturing the same |
| WO2009048045A1 (ja) | 2007-10-07 | 2009-04-16 | Hoya Corporation | 垂直磁気記録媒体 |
| WO2009051090A1 (ja) | 2007-10-15 | 2009-04-23 | Hoya Corporation | 垂直磁気記録媒体 |
| US7944643B1 (en) | 2007-12-05 | 2011-05-17 | Wd Media, Inc. | Patterns for pre-formatted information on magnetic hard disk media |
| US7755861B1 (en) | 2007-12-06 | 2010-07-13 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing a magnetic recording media |
| US8597723B1 (en) | 2008-03-14 | 2013-12-03 | WD Media, LLC | Perpendicular magnetic recording medium with single domain exchange-coupled soft magnetic underlayer and device incorporating same |
| JP5117895B2 (ja) | 2008-03-17 | 2013-01-16 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| WO2009116412A1 (ja) | 2008-03-17 | 2009-09-24 | Hoya株式会社 | 磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法 |
| JP2009238298A (ja) | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Hoya Corp | 垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法 |
| JP2009238299A (ja) | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Hoya Corp | 垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法 |
| JP2009245478A (ja) | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Hoya Corp | 垂直磁気記録媒体の製造方法および垂直磁気記録媒体 |
| JP2009245490A (ja) | 2008-03-29 | 2009-10-22 | Hoya Corp | 垂直磁気記録媒体の製造方法および垂直磁気記録媒体 |
| JP5134413B2 (ja) | 2008-03-30 | 2013-01-30 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 磁気ディスク及びその製造方法 |
| WO2009123043A1 (ja) | 2008-03-30 | 2009-10-08 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク及びその製造方法 |
| JP2011034603A (ja) | 2008-03-31 | 2011-02-17 | Hoya Corp | 垂直磁気記録媒体 |
| US7944165B1 (en) | 2008-05-02 | 2011-05-17 | Wd Media, Inc. | Inspection system with dual encoders |
| US8394243B1 (en) | 2008-07-24 | 2013-03-12 | Wd Media, Inc. | Sputtered cobalt oxide for perpendicular magnetic recording medium with low media noise |
| US8871368B2 (en) | 2008-09-16 | 2014-10-28 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd. | Perpendicular magnetic recording medium and process for manufacture thereof |
| US9064518B2 (en) | 2008-09-16 | 2015-06-23 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd. | Perpendicular magnetic recording medium |
| US7924519B2 (en) | 2008-09-29 | 2011-04-12 | Wd Media, Inc. | Eccentricity determination for a disk |
| US8488276B1 (en) | 2008-09-30 | 2013-07-16 | WD Media, LLC | Perpendicular magnetic recording medium with grain isolation magnetic anistropy layer |
| WO2010038773A1 (ja) | 2008-09-30 | 2010-04-08 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク及びその製造方法 |
| US8877359B2 (en) | 2008-12-05 | 2014-11-04 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd. | Magnetic disk and method for manufacturing same |
| WO2010067830A1 (ja) | 2008-12-09 | 2010-06-17 | Hoya株式会社 | 磁気記録媒体および磁気記録媒体の製造方法 |
| US8002901B1 (en) | 2009-01-15 | 2011-08-23 | Wd Media, Inc. | Temperature dependent pull speeds for drying of a wet cleaned workpiece |
| US8562748B1 (en) | 2009-01-30 | 2013-10-22 | WD Media, LLC | Multiple cleaning processes in a single tank |
| US8137517B1 (en) | 2009-02-10 | 2012-03-20 | Wd Media, Inc. | Dual position DC magnetron assembly |
| US8163093B1 (en) | 2009-02-11 | 2012-04-24 | Wd Media, Inc. | Cleaning operations with dwell time |
| JP5631604B2 (ja) | 2009-02-19 | 2014-11-26 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 磁気ディスクの製造方法 |
| JP2012069173A (ja) | 2009-02-19 | 2012-04-05 | Hoya Corp | 磁気記録媒体 |
| JP5638814B2 (ja) | 2009-02-23 | 2014-12-10 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 片面垂直磁気記録媒体 |
| US8171949B1 (en) | 2009-03-06 | 2012-05-08 | Wd Media, Inc. | Fluid flow management |
| JP2010250929A (ja) | 2009-03-27 | 2010-11-04 | Wd Media Singapore Pte Ltd | 磁気ディスク用潤滑剤化合物、磁気ディスク及びその製造方法 |
| WO2010116908A1 (ja) | 2009-03-28 | 2010-10-14 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用潤滑剤化合物及び磁気ディスク |
| JP2010257567A (ja) | 2009-03-30 | 2010-11-11 | Wd Media Singapore Pte Ltd | 垂直磁気記録媒体およびその製造方法 |
| JP5583997B2 (ja) | 2009-03-30 | 2014-09-03 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 垂直磁気記録媒体 |
| SG165302A1 (en) | 2009-03-31 | 2010-10-28 | Wd Media Singapore Pte Ltd | Perpendicular magnetic recording medium and method of manufacturing the same |
| JP5645443B2 (ja) | 2009-03-31 | 2014-12-24 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 垂直磁気記録媒体 |
| JP5360892B2 (ja) | 2009-05-24 | 2013-12-04 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
| US20100300884A1 (en) | 2009-05-26 | 2010-12-02 | Wd Media, Inc. | Electro-deposited passivation coatings for patterned media |
| US8404056B1 (en) | 2009-05-27 | 2013-03-26 | WD Media, LLC | Process control for a sonication cleaning tank |
| US8101054B2 (en) | 2009-05-28 | 2012-01-24 | Wd Media, Inc. | Magnetic particle trapper for a disk sputtering system |
| JP5360894B2 (ja) | 2009-06-30 | 2013-12-04 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JP2011018426A (ja) | 2009-07-10 | 2011-01-27 | Wd Media Singapore Pte Ltd | 垂直磁気記録媒体の評価方法及び垂直磁気記録媒体の製造方法 |
| JP2011021165A (ja) | 2009-07-21 | 2011-02-03 | Wd Media Singapore Pte Ltd | 磁気ディスク用潤滑剤及び磁気ディスク |
| US8247095B2 (en) | 2009-08-21 | 2012-08-21 | Western Digital Technologies, Inc. | Energy assisted discrete track media with heat sink |
| US8492009B1 (en) | 2009-08-25 | 2013-07-23 | Wd Media, Inc. | Electrochemical etching of magnetic recording layer |
| US7998912B2 (en) | 2009-09-14 | 2011-08-16 | Wd Media, Inc. | Composite lubricant for hard disk media |
| US8206789B2 (en) | 2009-11-03 | 2012-06-26 | Wd Media, Inc. | Glass substrates and methods of annealing the same |
| US8402638B1 (en) | 2009-11-06 | 2013-03-26 | Wd Media, Inc. | Press system with embossing foil free to expand for nano-imprinting of recording media |
| US8496466B1 (en) | 2009-11-06 | 2013-07-30 | WD Media, LLC | Press system with interleaved embossing foil holders for nano-imprinting of recording media |
| US8173282B1 (en) | 2009-12-11 | 2012-05-08 | Wd Media, Inc. | Perpendicular magnetic recording medium with an ordering temperature reducing layer |
| US8406918B2 (en) | 2009-12-21 | 2013-03-26 | WD Media, LLC | Master teaching jig |
| JP5643508B2 (ja) | 2009-12-28 | 2014-12-17 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
| US8399809B1 (en) | 2010-01-05 | 2013-03-19 | Wd Media, Inc. | Load chamber with heater for a disk sputtering system |
| JP5643516B2 (ja) | 2010-01-08 | 2014-12-17 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 垂直磁気記録媒体 |
| JP5617112B2 (ja) | 2010-01-14 | 2014-11-05 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
| US8596287B1 (en) | 2010-03-01 | 2013-12-03 | WD Media, LLC | Cross flow tank |
| US8125723B1 (en) | 2010-03-05 | 2012-02-28 | Wd Media, Inc. | Predictive characterization of adjacent track erasure in recording media |
| US8218260B2 (en) | 2010-03-05 | 2012-07-10 | Wd Media, Inc. | Processing disks on a spin stand |
| US8331056B2 (en) | 2010-03-05 | 2012-12-11 | Wd Media, Inc. | Spin stand comprising a dual disk clamp |
| US8125724B1 (en) | 2010-03-11 | 2012-02-28 | Wd Media, Inc. | Predictive characterization of adjacent track erasure in recording media |
| US8608147B1 (en) | 2010-03-19 | 2013-12-17 | WD Media, LLC | Workpiece carrier |
| JP5574414B2 (ja) | 2010-03-29 | 2014-08-20 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 磁気ディスクの評価方法及び磁気ディスクの製造方法 |
| JP5485770B2 (ja) | 2010-03-31 | 2014-05-07 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 磁気ディスク装置 |
| JP5646199B2 (ja) | 2010-03-31 | 2014-12-24 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 垂直磁気ディスク |
| JP2011216141A (ja) | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Wd Media Singapore Pte Ltd | 垂直磁気ディスクの製造方法 |
| JP5916985B2 (ja) | 2010-03-31 | 2016-05-11 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 熱アシスト記録用磁気ディスクへの磁気記録方法 |
| US8524052B1 (en) | 2010-04-02 | 2013-09-03 | WD Media, LLC | Cooling shower plate for disk manufacture |
| US8397751B1 (en) | 2010-04-15 | 2013-03-19 | Wd Media, Inc. | Vortex reducer |
| JP5638281B2 (ja) | 2010-04-30 | 2014-12-10 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 垂直磁気ディスク |
| US8591709B1 (en) | 2010-05-18 | 2013-11-26 | WD Media, LLC | Sputter deposition shield assembly to reduce cathode shorting |
| JP5645476B2 (ja) | 2010-05-21 | 2014-12-24 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 垂直磁気ディスク |
| JP5634749B2 (ja) | 2010-05-21 | 2014-12-03 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 垂直磁気ディスク |
| JP2011248969A (ja) | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd | 垂直磁気ディスク |
| JP2011248967A (ja) | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd | 垂直磁気ディスクの製造方法 |
| JP2011248968A (ja) | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd | 垂直磁気ディスク |
| JP2011248966A (ja) | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
| JP2011253597A (ja) | 2010-06-03 | 2011-12-15 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
| US8298609B1 (en) | 2010-06-14 | 2012-10-30 | Wd Media, Inc. | Method and system for interrogating the thickness of a carbon layer |
| JP2012003805A (ja) | 2010-06-16 | 2012-01-05 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd | 垂直磁気記録媒体及び磁気ディスク装置 |
| JP2012009086A (ja) | 2010-06-22 | 2012-01-12 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
| JP5807944B2 (ja) | 2010-06-22 | 2015-11-10 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
| JP5835874B2 (ja) | 2010-06-22 | 2015-12-24 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 磁気ディスクの製造方法 |
| JP5743438B2 (ja) | 2010-06-22 | 2015-07-01 | ダブリュディ・メディア・シンガポール・プライベートリミテッド | 磁気ディスク用潤滑剤、磁気ディスク及びその製造方法 |
| US8584687B1 (en) | 2010-06-25 | 2013-11-19 | WD Media, LLC | Sonication cleaning system |
| US8551253B2 (en) | 2010-06-29 | 2013-10-08 | WD Media, LLC | Post polish disk cleaning process |
| US8354618B1 (en) | 2010-06-30 | 2013-01-15 | Wd Media, Inc. | Load chamber with dual heaters |
| US8517657B2 (en) | 2010-06-30 | 2013-08-27 | WD Media, LLC | Corner chamber with heater |
| US8404369B2 (en) | 2010-08-03 | 2013-03-26 | WD Media, LLC | Electroless coated disks for high temperature applications and methods of making the same |
| US8530065B1 (en) | 2010-08-10 | 2013-09-10 | WD Media, LLC | Composite magnetic recording medium |
| US8316668B1 (en) | 2010-09-23 | 2012-11-27 | Wd Media, Inc. | Composite magnetic recording medium |
| US8517364B1 (en) | 2010-10-07 | 2013-08-27 | WD Media, LLC | Disk holder with replaceable inserts to retain springs |
| US8668953B1 (en) | 2010-12-28 | 2014-03-11 | WD Media, LLC | Annealing process for electroless coated disks for high temperature applications |
| US8570844B1 (en) | 2011-02-01 | 2013-10-29 | Western Digital (Fremont), Llc | Absorption enhanced media for energy assisted magnetic recording |
| US8743666B1 (en) | 2011-03-08 | 2014-06-03 | Western Digital Technologies, Inc. | Energy assisted magnetic recording medium capable of suppressing high DC readback noise |
| US8711499B1 (en) | 2011-03-10 | 2014-04-29 | WD Media, LLC | Methods for measuring media performance associated with adjacent track interference |
| US8491800B1 (en) | 2011-03-25 | 2013-07-23 | WD Media, LLC | Manufacturing of hard masks for patterning magnetic media |
| US20120251842A1 (en) | 2011-03-31 | 2012-10-04 | Wd Media, Inc. | Low roughness heatsink design for heat assisted magnetic recording media |
| US9028985B2 (en) | 2011-03-31 | 2015-05-12 | WD Media, LLC | Recording media with multiple exchange coupled magnetic layers |
| US8609263B1 (en) | 2011-05-20 | 2013-12-17 | WD Media, LLC | Systems and methods for forming magnetic media with an underlayer |
| US8619381B2 (en) | 2011-05-25 | 2013-12-31 | WD Media, LLC | System and method for improving head positioning |
| US8834962B2 (en) | 2011-06-03 | 2014-09-16 | WD Media, LLC | Methods for improving the strength of glass substrates |
| US8658292B1 (en) | 2011-06-10 | 2014-02-25 | Western Digital Technologies, Inc. | Systems and methods for controlling damping of magnetic media for assisted magnetic recording |
| US8758912B2 (en) | 2011-09-16 | 2014-06-24 | WD Media, LLC | Interlayers for magnetic recording media |
| US8685214B1 (en) | 2011-09-30 | 2014-04-01 | WD Media, LLC | Magnetic shunting pads for optimizing target erosion in sputtering processes |
| US8556566B1 (en) | 2011-09-30 | 2013-10-15 | WD Media, LLC | Disk stacking method and apparatus |
| US8565050B1 (en) | 2011-12-20 | 2013-10-22 | WD Media, LLC | Heat assisted magnetic recording media having moment keeper layer |
| US8696404B2 (en) | 2011-12-21 | 2014-04-15 | WD Media, LLC | Systems for recycling slurry materials during polishing processes |
| US8605555B1 (en) | 2012-04-19 | 2013-12-10 | WD Media, LLC | Recording media with multiple bi-layers of heatsink layer and amorphous layer for energy assisted magnetic recording system and methods for fabricating the same |
| US8674327B1 (en) | 2012-05-10 | 2014-03-18 | WD Media, LLC | Systems and methods for uniformly implanting materials on substrates using directed magnetic fields |
| US8941950B2 (en) | 2012-05-23 | 2015-01-27 | WD Media, LLC | Underlayers for heat assisted magnetic recording (HAMR) media |
| US20140050843A1 (en) | 2012-08-17 | 2014-02-20 | Wd Media, Inc. | Dual single sided sputter chambers with sustaining heater |
| US20140151360A1 (en) | 2012-11-30 | 2014-06-05 | Wd Media, Inc. | Heater assembly for disk processing system |
| US8787130B1 (en) | 2013-03-15 | 2014-07-22 | WD Media, LLC | Systems and methods for providing heat assisted magnetic recording media configured to couple energy from a near field transducer |
| US8787124B1 (en) | 2013-07-30 | 2014-07-22 | WD Media, LLC | Systems and methods for extracting Curie temperature distribution in heat assisted magnetic recording media |
-
2008
- 2008-03-26 JP JP2008082251A patent/JP2009238299A/ja active Pending
-
2009
- 2009-03-26 US US12/934,953 patent/US9047903B2/en active Active
- 2009-03-26 WO PCT/JP2009/056051 patent/WO2009119709A1/ja not_active Ceased
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006309922A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-11-09 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体及び磁気記録装置 |
| WO2007114402A1 (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-11 | Hoya Corporation | 垂直磁気記録ディスク及びその製造方法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10056103B2 (en) | 2013-01-23 | 2018-08-21 | Showa Denko K.K. | Method of manufacturing magnetic recording medium, magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing apparatus |
| US9959895B2 (en) | 2013-08-05 | 2018-05-01 | Showa Denko K.K. | Method for manufacturing magnetic recording medium, magnetic recording medium and magnetic recording and reproducing apparatus |
| WO2019187226A1 (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-03 | Ｊｘ金属株式会社 | 垂直磁気記録媒体 |
| JPWO2019187226A1 (ja) * | 2018-03-28 | 2021-05-27 | Ｊｘ金属株式会社 | 垂直磁気記録媒体 |
| JP7116782B2 (ja) | 2018-03-28 | 2022-08-10 | Ｊｘ金属株式会社 | 垂直磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20110097603A1 (en) | 2011-04-28 |
| US9047903B2 (en) | 2015-06-02 |
| WO2009119709A1 (ja) | 2009-10-01 |
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