JP2008159734A - コンテナの搬送システム及び測定用コンテナ - Google Patents

Abstract

【課題】コストを低減し、省スペースを実現する。
【解決手段】ストック１は、収納用フープ２０と複数のパージユニット５０と測定用フープ３０とスタッカクレーン６０とを備えている。収納用フープ２０は、内部に半導体ウェハを収納している。測定用フープ３０は、内部に流量計を備えている。パージユニット５０は、収納用フープ２０が載置される複数のパージ台からなるパージ棚５１を備えており、パージ台上に載置された収納用フープ２０内に窒素ガスを供給する。スタッカクレーン６０は、パージ台へ収納用コンテナ２０を搬送するとともに、複数のパージ台同士の間で測定用フープ３０を搬送する。
【選択図】図１

Description

本発明は、クリーンルームに用いられるコンテナ内をガス雰囲気に置換して、このコンテナを搬送するための、コンテナの搬送システム及び測定用コンテナに関する。

例えば、半導体素子は、内部雰囲気を清浄化したクリーンルーム内で製造されるが、素子が形成される半導体基板の工程間の搬送時には、半導体基板への塵やホコリの付着を防ぐために、半導体基板を収納したカセットを可搬式の密閉コンテナに収納する。そして、半導体基板の自然酸化による酸化膜の成長を防止するために、この密閉コンテナの内部雰囲気を窒素ガスなどの不活性ガスで置換するようにしている。

このように、窒素ガスを充満した密閉コンテナにカセットを入れて搬送・保管しているが、密閉コンテナ内の窒素ガス濃度は、搬送待機中や保管中に規定値以下に低下してしまう場合があり、このような場合、窒素ガスの濃度が低下した密閉コンテナをクリーンルーム内に設けられたガス供給装置へ搬送して、ここで再パージした後、元の場所に戻している。

このようなガス供給システムとして特許文献１には、半導体ウェハを収納する可搬式密閉コンテナとガスを供給／排気するガス供給装置とを備えたものがある。可搬式密閉コンテナには、内部と外部とを連通させる２つのガス通路管が形成されている。ガス供給装置は、一方のガス通路管と気密に接続されるガス供給流路と、他方のガス通路管と気密に接続されるガス排気流路とを備えている。ガス供給流路は、ガスを供給するガス供給源に接続されている。ガス排気流路は、排気を行う処理装置に接続されている。このガス供給システムにおいて、ガスはガス供給源からガス供給流路及びガス通路管を介して、可搬式密閉コンテナ内に供給される。また、密閉コンテナ内が窒素ガスで充満されて、密閉コンテナ内が所定圧力以上になると、ガスはガス排気管及びガス排気流路を介して処理装置に排気される。

近年、このガス供給装置は、複数設けられており、各ガス供給装置においてガス供給源から供給されるガスの流量を制御することが多くなっている。

特開平８−２０３９９３号公報（図１）

これらのガス供給装置において、装置内の制御回路の故障やガス供給流路のつまりなどによって、所望のガスの流量を供給できていない場合がある。そこで、ガスの流量が適切に供給されているか確認するために、各ガス供給装置のガス供給流路に流量計を設けて、ガスの流量を測定することが提案されている。

しかしながら、各ガス供給装置のガス供給流路にそれぞれ流量計を設けるためには、複数の流量計が必要となり、コストがかかってしまう。また、ガス供給装置内において流量計を設けるスペースが必要となる。

本発明の主たる目的は、コストを低減し、省スペースなコンテナの搬送システム及び測定用コンテナを提供することである。

課題を解決するための手段及び発明の効果

本発明のコンテナの搬送システムは、基板を収納する内包空間を画定する筐体と、前記内包空間へと気体が流入する前記筐体に形成された開口とを有する収納用コンテナと、前記収納用コンテナが載置されるパージ台と、前記パージ台に前記収納用コンテナが載置された場合に前記開口と連通して前記開口から前記内包空間へパージ用の気体を流入させる気体流入口とを有する複数のパージユニットと、前記パージ台に載置された場合に前記気体流入口に連通する気体流路と、前記気体流路を通じて前記気体流入口から流入した気体の流量を測定する流量測定ユニットとを有する測定用コンテナと、前記パージ台へと前記収納用コンテナを搬送すると共に、複数の前記パージ台同士の間で前記測定用コンテナを搬送する搬送ユニットとを備えている。

このコンテナの搬送システムによれば、搬送ユニットによってそれぞれのパージ台に測定用コンテナを順次搬送させることにより、各パージユニットから収納用コンテナ内に流入している気体の流量を測定することができる。これにより、流量測定ユニットを各パージユニットに設ける必要がないため、コストを低減することができる。また、省スペースとなる。

本発明の測定用コンテナは、基板を収納する収納用コンテナと、前記収納用コンテナが載置されるパージ台及び前記収納用コンテナの形成する内包空間へ気体を流入させる気体流入口を備えた複数のパージユニットと、測定用コンテナと、前記収納用コンテナ及び前記測定用コンテナを搬送する搬送ユニットとを有するコンテナの搬送システムにおける測定用コンテナであって、前記パージ台に載置された場合に前記気体流入口に連通する気体流路と、前記気体流路を通じて前記気体流入口から流入した気体の流量を測定する流量測定ユニットとを有している。

この測定用コンテナによれば、それぞれのパージ台に測定用コンテナを順次移動させることにより、各パージユニットから収納用コンテナ内に流入している気体の流量を測定することができる。これにより、流量測定ユニットを各パージユニットに設ける必要がないため、コストを低減することができる。また、省スペースとなる。

また、前記流量測定ユニットによって測定された気体の流量を記憶する記憶手段をさらに備えていることが好ましい。この構成によれば、流量測定ユニットによって測定された気体の流量が記憶されているので、後日においてもガスの流量を把握することができる。

さらに、前記記憶手段によって記憶された気体の流量を外部機器に伝送する伝送手段をさらに備えていてもよい。この構成によれば、ユーザは外部機器によってパージユニットから収納用コンテナ内に流入している気体の流量を把握することができる。

加えて、前記流量測定ユニットによって測定された気体の流量を表示する表示手段と、前記表示手段による流量表示を撮像して画像データに変換する撮像変換手段と、前記撮像変換手段によって変換された画像データを外部機器に伝送する伝送手段とをさらに備えていてもよい。この構成によれば、パージユニットから流入した気体の流量を画像データに基づいて画像表示することにより、流量測定ユニットが気体の流量の記憶手段や気体の流量データの伝送手段を備えていなくても、ユーザは外部機器によってパージユニットから収納用コンテナ内に流入している気体の流量を把握することができる。

＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態について図面を参照して説明する。まず、第１実施形態に係るコンテナの搬送システムであるストックについて図１及び図２を参照して説明する。図１は、第１実施形態に係るストックの概略斜視図である。図２は、第１実施形態に係るストックの概略縦断面図である。

図１及び図２に示すように、ストック１は、筐体１０を備えており、その内部に多段の保管棚４０と、複数のパージユニット５０と、スタッカクレーン（搬送ユニット）６０とを備えている。また、ストック１は、制御装置８０と、パソコン１００と、流量コントローラ１５０と、窒素ガス供給源２００とを備えている。

保管棚４０は、高さ方向に５段並んで配設されている。それぞれの保管棚４０には、長手方向（図２中左右方向）に沿って等間隔に凹部４０ａが形成されており、その凹部４０ａの上部に、収納用フープ（収納用コンテナ）２０が長手方向に並んで載置されている。

パージユニット５０は、長手方向（図２中左右方向）に複数並んで配置されており、パージを行う複数の収納用フープ２０が載置される複数のパージ台５４からなるパージ棚５１を備えている。そして、各パージユニット５０は、パージ台５４の下部に供給配管５２及び排気配管５３を備えている。

パージ棚５１は、複数のパージ台５４を長手方向に並べたものであり、高さ方向に並んで配設された保管棚４０の下部に配設されている。パージ棚５１には、保管棚４０と同様に、長手方向に沿って等間隔に凹部５１ａが形成されている。すなわち、各パージ台５４に凹部５１ａが形成されており、その凹部５１ａの上部に、収納用フープ２０及び測定用フープ（測定用コンテナ）３０が載置されている。

供給配管５２の一端は、収納用フープ２０内に供給する気体である窒素ガスの流量を制御する流量コントローラ１５０を介して窒素ガス供給源２００に接続されている。他端（気体流入口）は、パージ台５４の下面から上面に突出している。これにより、窒素ガス供給源２００から供給される窒素ガスは、流量コントローラ１５０によって流量を制御されて、供給配管５２を介してパージ台５４の上面から流出する。

排気配管５３の一端は、パージ台５４の下面から上面に突出している。他端は、窒素ガスを排気する排気装置（図示せず）に接続されている。これにより、パージ台５４の上面から排気配管５３に流入した窒素ガスは排気装置によって排気される。

スタッカクレーン６０は、フレーム６１と、支持柱６２と、支持台６３と、載置台６４とを備えている。

フレーム６１は、左右両端部に回転自在に設けられた４つの走行輪６５を有する。走行輪６５は、ストック１の底面に設けられたレール６６上を回転して往復移動する。支持柱６２は、フレーム６１の上面から高さ方向に延在している。支持台６３は、支持柱６２に沿って高さ方向にスライド可能に支持されている。載置台６４は、支持台６３上を図１中左右方向にスライド可能に載置されている。

ここで、スタッカクレーン６０の動作について説明する。まず、スタッカクレーン６０は、レール６６上を搬送したい収納用フープ２０と対向する位置まで移動する。そして、搬送したい収納用フープ２０の下部近傍まで支持台６３を高さ方向にスライドする。次に、搬送したい収納用フープ２０の下方の凹部４０ａに載置台６４をスライドする。そして、支持台６３を上方にスライドすることにより、搬送したい収納用フープ２０を載置台６４上に載置する。

搬送したい収納用フープ２０を載置台６４上に載置すると、載置台６４を元の位置まで戻す。次に、支持台６３をスライドして、収納用フープ２０を搬送させたい保管棚４０の高さまで移動しながら、走行輪６５によってレール６６上を移動して、収納用フープ２０を搬送させたい保管棚４０の位置まで移動する。そして、収納用フープ２０を搬送させたい保管棚４０の凹部４０ａに、載置台６４をスライドし、支持台６３を下方にスライドすることにより、搬送させたい保管棚４０の位置に収納用フープ２０を載置する。

制御部８０は、スタッカクレーン６０及び流量コントローラ１５０を制御する。制御部８０は、スタッカクレーン６０を制御して、窒素パージを行う必要のある収納用フープ２０を保管棚４０からパージ台５４まで搬送させる。そして、パージ台５４に収納用フープ２０が載置されると、制御部８０は、流量コントローラ１５０を制御して、所望の窒素ガスの流量を収納用フープ２０内に供給させる。収納用フープ２０内の窒素ガスパージが終了すると、制御部８０は、スタッカクレーン６０を制御することによって、収納用フープ２０を保管棚４０に戻させる。そして、同様の動作を各収納用フープ２０に対して行う。

また、制御部８０は、収納用フープ２０の搬送と並行して、測定用フープ３０をスタッカクレーン６０によって各パージ棚５４間を搬送して、各パージユニット５０が供給している窒素ガスの流量を後述する流量計７０に測定させる。

パソコン１００は、後述する流量計７０によって測定された窒素ガスの流量データを無線通信によって受信した場合に、その流量データをパソコン１００のディスプレイに表示する。

次に、収納用フープ２０について図３を参照して説明する。図３は、収納用フープの縦断面図である。

収納用フープ２０は、筐体となるカバー２１と底面部２２とを備えており、カバー２１と底面部２２とで密閉空間２３を形成している。密閉空間２３内には、カセット２４が配置されており、このカセット２４には、複数の半導体ウェハ２５が高さ方向に沿って収納されている。

底面部２２の下面には、左右両端近傍に凹部２２ａ、２２ｂが形成されている。凹部２２ａは、パージユニット５０の供給配管５２と嵌合可能に構成されており、凹部２２ｂは、パージユニット５０の排気配管５３と嵌合可能に構成されている。凹部２２ａ、２２ｂの上面には、供給配管５２及び排気配管５３の内径と同等の径の凹部２２ｃ、２２ｄが形成されている。凹部２２ｃ、２２ｄの上面には、密閉空間２３内と外部とを連通させる複数の開口２２ｅ、２２ｆが形成されている。そして、底面部２２には、開口２２ｅを上面から覆い、外部から密閉空間２３内へのみ気体を流入させる逆支弁２６及び開口２２ｆを下面から覆い、密閉空間２３内から外部へのみ気体を流出させる逆支弁２７が固設されている。

逆支弁２６は、密閉空間２３内の気圧が外部の気圧よりも所定気圧だけ低いときにのみ開き、外部から密閉空間２３内に気体を流入させる。逆支弁２７は、外部の気圧が密閉空間２３内の気圧よりも所定気圧だけ低いときにのみ開き、密閉空間２３内から外部に気体を流出させる。ここで、パージ台５４上に収納用フープ２０を載置させることにより、凹部２２ａと供給配管５２とが嵌合され、凹部２２ｂと排気配管５３とが嵌合される。この状態で窒素ガス供給源２００から所定圧力以上で窒素ガスを供給することにより、供給配管５２を介して供給された窒素ガスの圧力により逆支弁２６が開き、密閉空間２３内に窒素ガスが供給される。そして、密閉空間２３内が窒素ガスで充満し、内部圧力が所定気圧以上になると、逆支弁２７が開き、窒素ガスは排気配管５３を介して、排気装置によって排気される。このように、密閉空間２３を窒素ガス雰囲気にすることにより、半導体ウェハ２５の自然酸化による酸化膜の成長を防止している。

次に、測定用フープ３０について図４を参照して説明する。図４は、第１実施形態に係る測定用フープの縦断面図である。

測定用フープ３０は、収納用フープ２０と同様に、カバー２１と底面部２２とを備えており、密閉空間２３を形成している。密閉空間２３内には、流量計（流量測定ユニット）７０が配置されている。

流量計７０は、図示しない流入口及び流出口を備えており、この流入口から気体を流入し、流出口から気体を流出することにより、その気体の流量を測定するものである。流入口は、配管３２（気体流路）の一端に接続されており、配管３２の他端は、逆支弁２６を上面から覆うように、底面部２２の上面に接続されている。流出口は、配管３３の一端に接続されており、配管３３の他端は、逆支弁２７を上面から覆うように、底面部２２の上面に接続されている。したがって、パージ台５４上に測定用フープ３０を載置させて、窒素ガス供給源２００から所定圧力以上で窒素ガスを供給することにより、供給配管５２を介して供給された窒素ガスの圧力により逆支弁２６が開き、配管３２を介して流量計７０の流入口に窒素ガスが流入される。そして、流量計７０の流出口から配管３３に流出した窒素ガスの圧力が所定圧力以上になると、逆支弁２７が開き、窒素ガスは排気配管５３を介して、排気装置に排気される。これにより、窒素ガス供給源２００から供給される窒素ガスの流量を測定することができる。

流量計７０の電気的構成について図５を参照して説明する。図５は、第１実施形態に係る流量計の電気的構成を示すブロック図である。

流量計７０は、制御部７１、電池７２及び無線通信部（伝送手段）７３を備えている。ここで、制御部７１には、各種動作を制御するプログラムやデータなどが格納されたハードディスク、各種動作を制御する信号を生成するために各種演算を実行するＣＰＵ、ＣＰＵでの演算結果などのデータを一時保管するＲＡＭなどが含まれている。

制御部７１は、流量測定部７４及び流量記憶部（記憶手段）７５を備えている。流量測定部７４は、流入口から流入した気体の流量を測定する。流量記憶部７５は、流量測定部７４によって測定された気体の流量を記憶する。

電池７２は、制御部７１及び無線通信部７３を起動する。無線通信部７３は、流量記憶部７５に記憶された気体の流量を無線通信によって、パソコン１００に伝送する。

次に、ストック１における測定用フープ３０の用途について説明する。保管棚４０に載置された複数の収納用フープ２０の密閉空間２３内は、窒素ガスで充満しているが、時間の経過とともに、窒素ガスの濃度が低下し、水分やアンモニウムガスなどが混入してしまう。これにより、収納用フープ２０内の半導体ウェハ２５の表面が酸化したり、分子汚染したりしてしまう。これらを防止するために、一定時間経過するごとに、収納用フープ２０内に対して窒素ガスによるパージを行い、水分やアンモニウムガスを除去して、収納用フープ２０内に窒素ガスを充満する必要がある。このため、スタッカクレーン６０によって、順次収納用フープ２０をパージユニット５０に搬送し、収納用フープ２０内に窒素ガスパージを行う。

このとき、収納用フープ２０は、ストック１内に多数載置されているため、１台のパージユニット５０では全ての収納用フープ２０に順次窒素ガスパージを行うことは困難であるため、ストック１内にパージユニット５０を複数設けている。ここで、それぞれのパージユニット５０による窒素ガスの供給流量は、それぞれ流量コントローラ１５０によって制御されているが、流量コントローラ１５０の故障や供給配管５２のつまりなどによって所望の窒素ガスの流量を供給できていないパージユニット５０が存在する場合がある。この場合、十分に窒素ガスパージを行えていない収納用フープ２０が存在することになるため、測定用フープ３０によって、パージユニット５０から供給されている窒素ガスの流量を測定する必要がある。したがって、スタッカクレーン６０によって、測定用フープ３０をパージユニット５０に搬送し、順次パージユニット５０から供給されている窒素ガスの流量を測定する。そして、それぞれのパージユニット５０で測定した窒素ガスの流量をクリーンルームの外部のパソコン１００に伝送することにより、ユーザにそれぞれのパージユニット５０から供給されている窒素ガスの流量を報知する。

このストック１及び測定用フープ３０によれば、スタッカクレーン６０によってそれぞれのパージ台５４に測定用フープ３０を随時搬送させることにより、各パージユニット５０から供給している窒素ガスの流量を測定することができる。これにより、流量計７０を各パージユニット５０に設ける必要がないため、コストを低減することができる。また、省スペースとなる。

さらに、測定用フープ３０が、流量記憶部７５によって記憶された窒素ガスの流量をパソコン１００に伝送する無線通信部７３を備えていることにより、ユーザはパソコン１００によってパージユニット５０から供給されている窒素ガスの流量を把握することができる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について、図６及び図７を参照して説明する。図６は、第２実施形態に係る測定用フープの縦断面図である。図７は、第２実施形態に係る流量計の電気的構成を示すブロック図である。なお、第１実施形態と実質的に同じ機能を有するものは同一の符号を付してその説明を省略する。

測定用フープ１３０は、収納用フープ２０と同様に、カバー２１と底面部２２とを備えており、密閉空間２３を形成している。密閉空間２３内には、無線カメラ１６０及び流量計（流量測定ユニット）１７０が配置されている。

無線カメラ１６０は、密閉空間２３内におけるカバー２１の上面に配置しており、後述する流量計１７０のディスプレイ１７３に表示される窒素ガスの流量を撮像して、パソコン１００に伝送する。

流量計１７０は、図６中上面においてディスプレイ（表示手段）１７３を備えており、このディスプレイ１７３に流入口から流入した窒素ガスの流量を表示する。その他の構成は流量計７０と同様である。

無線カメラ１６０及び流量計１７０の電気的構成について説明する。図７に示すように、無線カメラ１６０は、撮像変換部（撮像変換手段）１６２及び無線通信部（伝送手段）１６１を備えている。撮像変換部１６２は、ディスプレイ１７３に表示された窒素ガスの流量を撮像して、デジタル画像データに変換する。無線通信部１６１は、撮像変換部１６２によって変換されたデジタル画像データを無線通信によって、パソコン１００に伝送する。

流量計１７０は、制御部１７１、電池７２及びディスプレイ（伝送手段）１７３を備えている。ここで、制御部１７１には、各種動作を制御するプログラムやデータなどが格納されたハードディスク、各種動作を制御する信号を生成するために各種演算を実行するＣＰＵ、ＣＰＵでの演算結果などのデータを一時保管するＲＡＭなどが含まれている。

制御部１７１は、流量測定部７４及び表示制御部１７５を備えている。流量測定部７４は、流入口から流入した気体の流量を測定する。表示制御部１７５は、流量測定部７４によって測定された窒素ガスの流量をディスプレイ１７３に表示する。

これによれば、流量計１７０によって測定された窒素ガスの流量を表示するディスプレイ１７３と、ディスプレイ１７３による流量表示を撮像して画像データに変換する撮像変換部１６２と、撮像変換部１６２によって変換された画像データをパソコン１００に伝送する無線通信部１６１とを備えていることにより、パージユニット５０から流入した窒素ガスの流量を画像データに基づいて画像表示することにより、流量計１７０が窒素ガスの流量の記憶手段や窒素ガスの流量データの伝送手段を備えていなくても、ユーザはパソコン１００によってパージユニット５０から収納用フープ２０内に流入している窒素ガスの流量を把握することができる。また、パージユニット５０から流入した窒素ガスの流量を画像データに基づいて画像表示することにより、ユーザは窒素ガスの流量を視覚的に把握することができる。

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、本実施形態において、流量計７０は、流量記憶部７５に記憶された窒素ガスの流量を無線通信部７３によってパソコン１００に伝送していたが、無線通信部７３を備えずに、ユーザが直接流量計７０を取り外して、流量記憶部７５から窒素ガスの流量をパソコンなどに読み出して把握してもよい。

また、本実施の形態においては、収納用フープ２０の密閉空間２３内のパージを行うための気体として窒素ガスを用いたが、窒素ガスに限らずＣＤＡ（クリーンドライエアー）など、酸化防止、分子汚染防止及び水分除去を行える気体であればいかなる気体でもよい。

さらに、本実施の形態においては、ストック１を例に挙げて説明したが、ストック１のように保管棚４０が設置されておらずに、複数のパージユニット５０のみがクリーンルーム内に設置されていればよい。すなわち、収納用フープ２０を保管する装置内にパージユニット５０が設けてあるのではなく、例えば、半導体ウェハの製造工程間の搬送通路などにパージユニット５０が設けてあり、搬送過程において収納用フープ２０内に窒素パージを行う場合においても本発明は適用される。

加えて、本実施の形態において、収納用フープ２０は、窒素ガスが流入する開口２２ｃ及び窒素ガスを流出する開口２２ｄを備えていたが、例えば、水分除去のみを行うため、もしくは収納用フープ２０内の圧力の低下を防止するためにのみ窒素ガスを供給するなどの場合には、窒素ガスを流出する開口２２ｄを備えていなくてもよい。

また、本実施の形態においては、収納用フープ２０内には、半導体ウェハ２５が収納されていたが、半導体ウェハ２５に限らず、ディスク基板、液晶基板及び電子基板などいかなるものが収納されていてもよい。

さらに、本実施の形態においては、半導体ウェハ２５を収納するために収納用フープ２０を用いていたが、収納用フープ２０ではなく、レチクルポッドやＳＭＩＦポッドなどを用いてもよい。

加えて、本実施の形態においては、窒素ガスの流量を制御するために、流量コントローラ１５０を備えていたが、流量コントローラ１５０に限らず、ニードルバルブなどで窒素ガスの流量を制御してもよい。

第１実施形態に係るストックの概略斜視図である。 第１実施形態に係るストックの概略縦断面図である。 収納用フープの縦断面図である。 第１実施形態に係る測定用フープの縦断面図である。 第１実施形態に係る流量計の電気的構成を示すブロック図である。 第２実施形態に係る測定用フープの縦断面図である。 第２実施形態に係る流量計の電気的構成を示すブロック図である。

符号の説明

１ ストッカ
２０ 収納用フープ
２１ カバー
２２ 底面部
２２ｃ 開口
２５ 半導体ウェハ
３０ 測定用フープ
５０ パージユニット
５１ パージ棚
６０ スタッカクレーン
７０ 流量計
１００ パソコン

Claims (5)

1. 基板を収納する内包空間を画定する筐体と、前記内包空間へと気体が流入する前記筐体に形成された開口とを有する収納用コンテナと、
   前記収納用コンテナが載置されるパージ台と、前記パージ台に前記収納用コンテナが載置された場合に前記開口と連通して前記開口から前記内包空間へパージ用の気体を流入させる気体流入口とを有する複数のパージユニットと、
   前記パージ台に載置された場合に前記気体流入口に連通する気体流路と、前記気体流路を通じて前記気体流入口から流入した気体の流量を測定する流量測定ユニットとを有する測定用コンテナと、
   前記パージ台へと前記収納用コンテナを搬送すると共に、複数の前記パージ台同士の間で前記測定用コンテナを搬送する搬送ユニットとを備えていることを特徴とするコンテナの搬送システム。
2. 基板を収納する収納用コンテナと、前記収納用コンテナが載置されるパージ台及び前記収納用コンテナの形成する内包空間へ気体を流入させる気体流入口を備えた複数のパージユニットと、測定用コンテナと、前記収納用コンテナ及び前記測定用コンテナを搬送する搬送ユニットとを有するコンテナの搬送システムにおける測定用コンテナであって、
   前記パージ台に載置された場合に前記気体流入口に連通する気体流路と、
   前記気体流路を通じて前記気体流入口から流入した気体の流量を測定する流量測定ユニットとを有することを特徴とする測定用コンテナ。
3. 前記流量測定ユニットによって測定された気体の流量を記憶する記憶手段をさらに備えていることを特徴とする請求項２に記載の測定用コンテナ。
4. 前記記憶手段によって記憶された気体の流量を外部機器に伝送する伝送手段をさらに備えていることを特徴とする請求項３に記載の測定用コンテナ。
5. 前記流量測定ユニットによって測定された気体の流量を表示する表示手段と、
   前記表示手段による流量表示を撮像して画像データに変換する撮像変換手段と、
   前記撮像変換手段によって変換された画像データを外部機器に伝送する伝送手段とをさらに備えていることを特徴とする請求項２に記載の測定用コンテナ。

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