TWI713779B

TWI713779B - 容器收納設備

Info

Publication number: TWI713779B
Application number: TW106127787A
Authority: TW
Inventors: 安部健史; 吉本忠浩
Original assignee: 日商大福股份有限公司
Priority date: 2016-09-09
Filing date: 2017-08-16
Publication date: 2020-12-21
Also published as: KR102346977B1; TW201812962A; JP6623988B2; JP2018041926A; KR20180028971A; US20180076055A1; CN107808844B; CN107808844A; US10354897B2

Abstract

在收納容器之複數個收納部的每一個中，對容器的內部供給淨化氣體之容器收納設備具有：吐出部，吐出淨化氣體；氣體供給裝置，控制淨化氣體的供給流量；主配管，讓從氣體供給裝置輸出的淨化氣體流通；及分岐配管，從主配管分歧而與各吐出部連接，無論收納部是否收納有容器，吐出部都會吐出淨化氣體，且氣體供給裝置是將淨化氣體的供給流量控制成：收納於收納部之容器的總數越少，前述供給流量就變得越多。

Description

容器收納設備

發明領域本發明是有關於一種容器收納設備，其具有收納容器的複數個收納部，且在收納部的每一個中向所收納的容器的內部供給淨化氣體。

發明背景國際專利公開WO2015/194255號中揭示有一種收納設備(淨化儲存櫃(purge stocker)(1)，其具備有可藉由非活性氣體或清淨乾燥空氣等淨化氣體(purge gas)來淨化容器的內部的機構(在背景技術的說明中括弧內的符號為先前技術文獻之符號)。淨化儲存櫃(1)中設有以淨化氣體來淨化處理容器(F)的內部的淨化裝置(30)。淨化裝置(30)具備有複數個載置部(31)、連接於各載置部(31)的複數個供給管(33)、複數個供給管(33)所連接之主管(41)、調整主管(41)中的淨化氣體的流量的質量流控制器(43)([0029]、圖1等)。

在如上述的收納設備中，由於不一在在複數個載置部(31)的全部隨時都載置有容器(F)，因此可在上述的淨化裝置(30)中因應載置部(31)的使用率來調整淨化氣體的流量。上述的淨化裝置(30)在以目標供給流量(TF)供給淨化氣體到容器(F)之時，是令質量流控制器(43)將流量調整成將所載置的容器(F)之數目(N)乘以目標供給流量(TF)所得到的流量(=TF×N)([0034]~[0037])。亦即，將調整進行成：成為淨化氣體的供給目的地的容器(F)的數目越多流量就變得越多。

然而，若載置部(31)上未載置有容器(F)時，會成為淨化氣體從該載置部(31)中的供給管(33)漏出去的情形。質量流控制器(43)會將流量(=TF×N)調整成所載置的容器(F)的數目(N)越多，流量就變得越多。但是，由於從未載置有容器(F)的供給管(33)在無容器(F)的阻力的狀態下會吐出淨化空氣，所以會有從該供給管(33)流出相對較多的淨化氣體之情形。其結果，經考慮也有下述情形：對載置於載置部(31)上之容器(F)的供給流量低於目標供給流量(TF)，而無法將淨化空氣充分地供給到容器(F)。例如，如先前技術文獻中所例示的，可以藉由在供給管(33)配備開關閥(39)，以抑制淨化空氣往空著的載置部(31)的流出([0045]~[0046]、圖4等)。但是，若在供給管(33)的每一個中均設置開關閥(39)時，會因構造複雜化，裝置規模也變大而有設備成本增加之傾向。

發明概要有鑒於上述背景，所希望的是提供一種無論收納容器之複數個收納部中有無容器，都能夠以簡單的構造來穩定將淨化氣體供給到收納部所收納的容器的內部的容器收納設備。

作為1個態樣，有鑒於上述之容器收納設備具有收納容器的複數個收納部，且在前述收納部的每一個中，將淨化氣體朝被收納之前述容器的內部供給，該容器收納設備具備：吐出部，在複數個前述收納部的每一個中，連接於被收納之各個前述容器並朝該容器吐出前述淨化氣體；氣體供給裝置，控制前述淨化氣體的供給流量；主配管，連接於前述氣體供給裝置，且讓從前述氣體供給裝置輸出的前述淨化氣體流通；及分歧配管，從前述主配管分歧，而與各自的前述吐出部相連接，無論前述收納部是否收納有前述容器，前述吐出部都會吐出前述淨化氣體，前述氣體供給裝置會取得複數個前述收納部中的前述容器的收納狀態之資訊，並將前述淨化氣體的前述供給流量控制成：收納於前述收納部之前述容器的總數越少，前述供給流量就變得越多。

根據此構成，由於無論收納部中是否收納有容器，吐出部都會吐出淨化氣體，因此不需要在分歧配管或吐出部中配置控制閥等，而可以將設備構成形成得較簡潔。然而，在收納部中未收納有容器的狀態下，會成為淨化氣體從吐出部洩漏的狀態，恐有變得無法對收納部所收納的容器充分地供給淨化氣體的疑慮。但是，根據本構成，由於氣體供給裝置是在收納部所收納的容器的總數越少時，使淨化氣體的供給流量越增加，所以即使從未連接於容器的吐出部有淨化氣體洩漏，還是可以透過連接於容器的吐出部來對容器供給充分的淨化氣體。像這樣，在本構成中，可以在沒有增設氣體供給裝置或是附加控制閥的情況下，藉由氣體供給裝置的控制，適當地將淨化氣體供給到容器。亦即，根據此構成，可提以供一種容器收納設備，該容器收納設備可以做到：無論收納容器的複數個收納部中有無容器，都能夠以簡單的構造來穩定將淨化氣體供給到收納部所收納的容器的內部。

容器收納設備的進一步的特徵及優點，透過以下之參照圖式來說明的實施形態之記載將變得明確。

用以實施發明之形態以下根據圖式來說明容器收納設備之實施形態。圖1是顯示具備有容器收納架(收納架102)及容器搬送裝置(10、104等)之容器收納設備100的一例。在本實施形態中，作為容器搬送裝置，而例示有堆高式起重機10(SC：Stacker Crane)、天花板搬送車20(參照圖5等，OHV：Overhead Hoist Vehicle)與出入庫輸送帶104。收納架102具備有複數個收納容器W的收納部101。詳情見後述，在本實施形態中，作為容器W而例示有收容倍縮光罩(光罩)的倍縮光罩傳送盒(reticle pod)。如圖4所示，容器收納設備100具有淨化裝置1，該淨化裝置1可供給充填於容器W的淨化氣體(purge gas)。在此，所謂淨化氣體為例如已去除掉塵埃與溼氣的清淨乾燥空氣(clean dry air)或氮氣等非活性氣體。

收納架102是以包夾堆高式起重機10的桅桿13(支柱)移動通路(後述之一對行走軌道15)並相向的狀態而設置有一對。於一對收納架102的每一個上，是以於上下方向及架橫寬方向(與圖1之紙面正交的方向，圖3中的Y方向)上排列的狀態而設置有複數個收納部101。於複數個收納部101的每一個上具備有載置支撐所收納之容器W的架板9。堆高式起重機10具備有沿一對行走軌道15行走的行走台車12，並於行走台車12豎立設置有一對桅桿13。桅桿13上設置有沿桅桿13升降移動的升降體14，於升降體14上支撐有在收納架102的方向(圖示X方向)上進退並載置容器W的叉件16。

如圖1所示，收納架102是設置於被壁體106所覆蓋的設置空間(收納空間)內部。堆高式起重機10是在設置空間的內部搬送容器W，天花板搬送車20在設置空間的外部搬送容器W。出入庫輸送帶104是設置成貫穿壁體106，並在設置空間內部與外部之間搬送容器W。再者，容器收納設備100是設置於無塵室內。於設置空間(收納空間)的正上方設置有例如朝向下方吹送清淨乾燥空氣等氣體的送風扇(圖未示)，而形成氣體從天花板側朝向地板側流動的降流式的無塵室。

無塵室的地板部F，是由下地板部F1以及配設在比下地板部F1更上側的上地板部F2所構成。上地板部F2是形成有複數個朝上下方向貫穿的通氣孔的格子地板。例如，作業者是在這個上地板部F2上通行。下地板部F1是沒有通氣孔的地板，在本實施形態中是由無孔狀的混凝土所構成。堆高式起重機10是在舖設於此下地板部F1、或舖設於相對於下地板部F1而被固定之地板構件上的行走軌道15之上行走。

出入庫輸送帶104是在位於壁體106外側之外部移載地點與位於壁體106內側之內部移載地點之間載置搬送容器W。天花板搬送車20可相對於圖1所示之出入庫輸送帶104的外部移載地點進行容器W的裝載卸下。在本實施形態中，雖然圖未示出，但也可以在較出入庫輸送帶104更低的位置上，以例如被上地板部F2所支撐的形態，來設置貫穿壁體106的下方出入庫輸送帶(此時，出入庫輸送帶104被稱為上方出入庫輸送帶)。作業員可對設置於相對較低的位置上的下方出入庫輸送帶的外部移載地點進行容器W的裝載卸下。

當將容器W裝載於出入庫輸送帶104(也包含下方出入庫輸送帶)的外部移載地點時，該容器W是藉由出入庫輸送帶104而從外部移載地點被載置搬送到內部移載地點。堆高式起重機10可將容器W從內部移載地點搬送到收納部101，並將容器W載置於收納部101的架板9(入庫)。相反地，堆高式起重機10可從收納部101的架板9取出容器W，搬送到出入庫輸送帶104(也包含下方出入庫輸送帶)的內部移載地點。該容器W是藉由出入庫輸送帶104而從內部移載地點載置搬送到外部移載地點，並藉由天花板搬送車20或作業員從外部移載地點卸下(出庫)。亦即，堆高式起重機10是在內部移載地點與收納部101之間搬送容器W。

如上述，在本實施形態中，容器W為倍縮光罩傳送盒。如圖2及圖3所示，容器W具有收容倍縮光罩的容器本體部60、位於比容器本體部60更上方並設置於容器W上端部的凸緣部65。天花板搬送車20是藉由抓住凸緣部65來懸吊支撐容器W，並搬送容器W。又，堆高式起重機10是以藉由叉件16(容器支撐部)載置支撐容器本體部60的底面61的狀態來搬送容器W(參照圖1)。

如圖2及圖3所示，於容器本體部60的底面61(容器W的底面61)，是將朝向鉛直方向Z的上方凹陷之底面凹部62設置於3個地點。底面凹部62是形成為越上方越細的頭細形狀，且底面凹部62的內面是成為傾斜面。於此底面凹部62，是使設於收納部101之架板9的架板側定位銷9p、及設於堆高式起重機10之叉件16上的叉件側定位銷(圖未示)從下方卡合。將容器W載置於架板9之時、或是被叉件16拾取之時，即使在容器W的位置偏離水平方向的情況下，仍可藉由底面凹部62的內表面來引導這些定位銷。藉此，可將容器W相對於叉件16或架板9的水平方向的位置修正到適當的位置。

如圖2及圖3所示，收納架102的架板9是以將一端側固定支撐並將另一側開放的懸臂姿勢被固定於收納架102的框架上。架板9並非矩形，而是形成U字形，以支撐矩形的容器W之底面61的3邊。於架板9上，是將架板側定位銷9p配置於U字的底部以及兩側部的3個地點。如上述，將容器W載置於架板9之時，於容器W之3個地點的底面凹部62各自與3個架板側定位銷9p相卡合，而可將容器W適當地載置於架板9。

本實施形態之容器收納設備100是在複數個收納部101的每一個中，均具備有淨化裝置1，以將淨化氣體供給至所收納之容器W的內部。以下，也參照圖4及圖5來說明。淨化裝置1具備有將淨化氣體吐出至容器W的吐出部2、控制淨化氣體的供給流量的氣體供給裝置3、讓從氣體供給裝置3輸出的淨化氣體流通的主配管4、以及從主配管4分歧來與各自的吐出部2相連接的分歧配管5。氣體供給裝置3如圖5等所示，具備有質量流控制器31(MFC：Mass Flow Controller)與淨化控制器33(PC：Purge Controller)。質量流控制器31是透過主管40來從氣體供給源41(GS：Gas Source)供給淨化氣體。再者，圖5等雖未圖示，但也可以具備有統合管理複數個淨化控制器33的上位淨化控制器。

吐出部2是在複數個收納部101的每一個中連接到所收納之各個容器W並將淨化氣體吐出至容器W。如圖4所示，於容器W中設有供氣口7與排氣口8。於圖2及圖3中雖未圖示，但供氣口7與排氣口8是例如形成於容器W的底面61。參照圖2及圖3並如上所述，於設置於各個收納部101之架板9中設有3個架板側定位銷9p，藉由將其等分別卡合於容器W之3個地點的底面凹部62，可將容器W適當地載置於架板9上。如圖2及圖3所示，吐出部2也和架板側定位銷9p同樣地設置成從架板9朝上方突出。吐出部2是在將容器W相對於架板9適當地載置支撐於規定位置的狀態下，連接於容器W的供氣口7。

從吐出部2吐出的淨化氣體是從供氣口7流入容器W的內部。於供氣口7具備有供氣用開關閥(圖未示)，且於排氣口8中設有排氣用開關閥(圖未示)。供氣用開關閥以及排氣用開關閥，是藉由彈簧等的賦與勢能體而被賦與勢能成關閉狀態。在已將吐出部2連接到供氣口7的狀態下，當從吐出部2吐出淨化氣體時，會因其壓力而打開供氣用開關閥，而將淨化氣體從供氣口7供給到容器W的內部。又，當被供給淨化氣體而使容器W的內部的壓力變高時，會藉由其壓力打開排氣用開關閥，將容器W的內部的氣體(空氣或潮濕的空氣、已經充填的淨化氣體等)從排氣口8排出。此外，容器W是構成為具有氣密性。亦即，構成為可在將吐出部2與供氣口7的連接解除，且將容器W以容器搬送裝置(10、20、104)搬送之時難以使容器W內部的淨化氣體洩漏。

收納架102雖然具備有複數個收納部101，但並非經常在所有的收納部101中均收納有容器W。設置於各自的收納部101的吐出部2，在未收納有容器W而未被連接於容器W的供氣口7的狀態下是開放的，且成為淨化氣體會從吐出部2流出去之情形(參照圖4)。當淨化氣體從開放狀態的吐出部2流出之時的阻力，相較於將淨化氣體從供氣口7送入容器W內部之時的阻力更小時，會使更多的淨化氣體從開放狀態的吐出部2被吐出。其結果，會有用於送入容器W內部的淨化氣體的流量不足，而使容器W的淨化變得不充分的情況。

於是，在本實施形態中，是令氣體供給裝置3取得複數個收納部101中的容器W的收納狀態資訊，並因應於收納部101所收納之容器W的總數“n”，來控制淨化氣體的供給流量。具體而言，氣體供給裝置3是將淨化氣體的供給流量“FL”控制成：收納於收納部101之容器W的總數“n”越少，亦即收納部101之使用率越低，供給流量會變得越多。再者，如圖4所示，有時會將相同的質量流控制器31、由主配管4供給淨化氣體的一群分歧配管5、吐出部2各自稱為「分歧配管群」、「吐出部群」，並將具備有該吐出部群的一群收納部101稱為「收納部群」。此時，氣體供給裝置3是將淨化氣體的供給流量“FL”控制成：收納於收納部群中之容器W的總數“n”越少，亦即收納部群之使用率越低，供給流量會變得越多。

如圖1所示，在本實施形態中，複數個收納部101(收納部群)是於鉛直方向Z上排列配置成於沿著鉛直方向Z的方向看是重疊的。質量流控制器31是在沿鉛直方向Z的方向來看與收納部101(收納部群)不重疊的情形下，在鉛直方向Z上配置在比收納部101(收納部群)更下方。在本實施形態中，質量流控制器31是配置在比作為淨化氣體之供給對象的所有的收納部101更下方。換言之，質量流控制器31是配置在從水平方向(X方向以及Y方向)來看與收納部101不重疊的位置上。如上述，無塵室的地板部F是由下地板部F1、及配設於比下地板部F1更上側之上地板部F2所構成。在位於鉛直方向Z最下方之收納部101也未配置於比上地板部F2更下方的情形下，將複數個收納部101全部(所有的收納部群)均從上地板部F2朝上方配置。亦即，質量流控制器31亦考量裝置的重量、氣體供給源41與主管40的配置，而配置於比上地板部F2更下方。此外，雖然氣體供給裝置3具備有質量流控制器31與淨化控制器33，但至少將質量流控制器31被配置於比上地板部F2更下方。

將淨化氣體向主配管4輸出的質量流控制器31，大多為發熱量較大的控制器。在此，在收容於容器W中的收容物是半導體材料(晶圓)或半導體製造材料(倍縮光罩(光罩))時，宜抑制加熱。特別是已發展到微細化的先進製程的半導體製造材料(例如EUV遮罩：超紫外線平版印刷術(Extreme Ultraviolet Lithography))容易受到熱的影響。當排列配置成沿著鉛直方向Z的方向來看重疊的收納部101(收納部群)的正下方的位置配置有質量流控制器31時，會有因帶有熱的空氣上升，而將收納部101和收納於收納部101之容器W、還有收容於容器W中之倍縮光罩(光罩)等加熱的情形。如本實施形態，可以藉由將質量流控制器31配置於脫離收納部101的正下方的位置上，以抑制該類的加熱。

如上述，雖然本實施形態之容器收納設備100是作為氣體從天花板側朝向地板側流動的降流式無塵室而被構成，但有時會產生下降氣流(降流)變弱的區域。當設置質量流控制器31的場所的上方的下降氣流變弱時，會使帶有熱的空氣變得容易上升，恐有將容器W及容器W的收容物加熱之虞。從而，較理想的是，不將質量流控制器31配置於下降氣流較弱的區域。由於收納部101排列的鉛直方向Z會因為下降氣流被收納部101阻礙，因而容易使下降氣流變弱。從而，宜將質量流控制器31配置於脫離收納部101正下方的位置。

圖5是示意地顯示包含淨化裝置1之容器收納設備100的系統構成。容器收納設備100中的容器W之搬送以及收納，是由堆高式起重機控制器110(STK-C：Stacker Crane Controller)及物料控制處理器112(MCP：Material Control Processor)所控制。再者，如上述，在具備有統合管理複數個淨化控制器33的上位淨化控制器的情況下，亦可藉由物料控制處理器112與該上位淨化控制器的協同合作、或是藉由相當於物料控制處理器112之上位的搬送管理裝置與該上位淨化控制器的協同合作，來控制容器收納設備100中的容器W之搬送、收納以及淨化氣體的供給。

在本實施形態中，如圖5所示，在1個收納架102中設置有1個氣體供給裝置3。各個質量流控制器31是連接於圖4例示之主管40以及配設於各收納架102之主配管4，以調整送出至各個主配管4之淨化氣體的供給流量。對於各個主配管4的供給流量，是對各個質量流控制器31來設置之淨化控制器33決定。容器W的搬送及收納是由堆高式起重機控制器110及物料控制處理器112等的管理裝置來管理。特別是在本實施形態中，由於是堆高式起重機10進行容器W對收納部101的出入庫，所以收納部101的使用狀態是由堆高式起重機控制器110來掌握。因此，在本實施形態中，是透過內部網路等來令淨化控制器33從堆高式起重機控制器110取得各收納架102中的收納部101(收納部群)的使用率(於收納部101所收納之容器W的總數“n”)。

淨化控制器33是將淨化氣體的供給流量“FL”控制成收納於收納部101之容器W的總數“n”越少就變得越多。作為1個態樣，將淨化控制器33透過分歧配管5(分歧配管群)連接於主配管4的吐出部2(吐出部群)的總數設為“N”，將收納於收納部101(收納部群)之容器W的總數設為“n”，將從質量流控制器31(氣體供給裝置3)輸出的淨化氣體的基準流量設為“Fa”，將表示從質量流控制器31(氣體供給裝置3)輸出之淨化氣體之偏差值(offset value)的偏差流量設為“Fb”，將從質量流控制器31(氣體供給裝置3)輸出的淨化氣體的供給流量設為“FL”，而令淨化控制器33(氣體供給裝置3)將供給流量“FL”控制成為“FL=(N/n)．Fa+Fb”。

如圖6的流程圖所例示，淨化控制器33是將儲存於程式記憶體或參數暫存器之基本參數(基準流量“Fa”、偏差流量“Fb”、吐出部2之總數“N”)設定到運算用暫存器中(＃1)。再者，基本參數也可以從堆高式起重機控制器110(管理裝置)取得。其次，淨化控制器33是從堆高式起重機控制器110取得收納於收納部101之容器W的總數“n”(＃2)。所取得之總數“n”也被設定到運算用暫存器中。淨化控制器33會使用已設定到運算用暫存器中之參數，並根據預先程式編寫之演算法“FL=(N/n)．Fa+Fb”來連算供給流量“FL”。

再者，在上述中，雖然是參照圖5而例示了於質量流控制器31中具備有淨化控制器33的形態，但亦可為如圖7所示，對複數個質量流控制器31配備有1個淨化控制器33的形態。亦即，亦可為令1個淨化控制器33運算複數個質量流控制器31的供給流量“FL”，並傳達到質量流控制器31的形態。

然而，將淨化空氣供給到容器W之時的阻力值並非是固定的，有時會因容器W種類及製造商而異。又，即使是相同種類的容器W也會因固體差與經年變化而有例如在供氣開關閥或排氣開關閥的賦與勢能之力上產生差異、或在氣密性上產生差異，導致阻力值不同之情形。當因應於容器W的阻力值之差異較大時，即使如上述地因應容器W的收納數“n”來控制供給流量“FL”，還是會產生無法將淨化氣體充分地供給至容器W的情況。於是，若將通過各個分歧配管5而使淨化氣體從吐出部2吐出之時的阻力值先控制在一定的範圍內時，就可以抑制容器W的阻力值所帶來的影響，並將來自各個吐出部2的吐出量形成均一化。

圖8及圖9所例示的是，在分歧配管5中設置作為流體阻力體的孔口55的形態。此外，於圖8及圖9所顯示的是，也設置有可將淨化氣體中所包含之塵埃去除的塵埃過濾器51的例子。因為塵埃過濾器51也會妨礙淨化氣體的流動，所以塵埃過濾器51也可以作為流體阻力體。可用塵埃過濾器51代替孔口55作為流體阻力體，亦可用孔口55與塵埃過濾器51來構成流體阻力體。流體阻力體的阻力值宜為比流入阻力更大的阻力值，前述流入阻力是使淨化氣體從前述供氣口7往前述容器W流入之時的阻力成分。

再者，在圖8中所例示的是，在比孔口55更上游側設置塵埃過濾器51的形態，在圖9中所例示的是，在比孔口55更下游側設置塵埃過濾器51的形態。當設置孔口55時，會藉由文土里效應(Venturi effect)而使流速變快，並有在孔口55的下游側產生噪音之情形。當如圖9地在孔口55的下游測設置塵埃過濾器51時，會有藉由塵埃過濾器51抑制噪音的可能性。雖然孔口55和塵埃過濾器51的設置順序無論為何均可，但以也考量到噪音等來設定為宜。

[其他的實施形態] 以下，針對其他的實施形態進行說明。再者，以下說明的各實施形態之構成，並不限於以各自單獨的方式被應用之構成，只要沒有發生矛盾，也可與其他實施形態之構成組合來應用。

(1)在上述中，例示了倍縮光罩傳送盒，作為淨化氣體之供給對象的容器W。但是，容器W也可以是收納複數片半導體晶圓的FOUP(前開式晶圓傳送盒，Front Opening Unified Pod)。又，容器W的收納物亦可為食品等。

(2)在上述中例示了下述形態：令堆高式起重機控制器110管理收納部群中的使用率(收納於收納部101之容器W的總數“n”)，且令淨化控制器33從堆高式起重機控制器110中取得此總數“n”。但是，也可以是下述形態：具備在各收納部101檢測容器W的存在與否之庫存感測器(圖未示)，並令淨化控制器33根據這些庫存感測器的檢測結果來取得總數“n”(計數)。在上述中例示了下述形態：考量因設置庫存感測器所形成的成本的提高、或因庫存感測器的發熱而造成容器W的溫度上升，而在不設置庫存感測器的情形下從堆高式起重機控制器110取得總數“n”。但是，並非排除庫存感測器的利用。

(3)在上述中例示了下述形態：質量流控制器31在鉛直方向Z上配置於比全部的收納部101都更下方。但是，亦可將質量流控制器31配置於比一部分的收納部101更下方。亦即，收納部101亦可為在鉛直方向Z上排列配置成於沿著鉛直方向Z的方向來看是重疊的，且質量流控制器31是在從沿著鉛直方向Z的方向來看與收納部101不重疊的情形下，在鉛直方向Z上至少配置於比一部分的收納部101更下方。

(4)在上述中例示了將質量流控制器31配置於脫離收納部101的正下方位置之形態。但是，在不需要考慮到容器W及容器W的收容物之溫度上升之類的情況下、或可以遮蔽熱之類的情況下，亦可將質量流控制器31配置於收納部101的正下方。

(5)在上述中例示了將複數個收納部101在鉛直方向Z上排列配置成在沿著鉛直方向Z的方向來看是形成重疊之形態。但是，亦可將收納部101排列配置成如圖10所示之第2收納部101B，在沿著水平方向的方向來看為重疊。第2收納部101B是沿著經由複數個半導體處理裝置120而在水平方向舖設的天花板軌道108，在水平方向上排列配置。天花板搬送車20是沿著天花板軌道108而移動，並在與半導體處理裝置120之出入庫站121之間、第2收納部101B之間，移載並搬送容器W。

[實施形態之概要] 以下，針對在上述所說明之容器收納設備的概要簡單地進行說明。

作為1個態樣，一種容器收納設備具有收納容器的複數個收納部，且在前述收納部的每一個中，對所收納之前述容器的內部供給淨化氣體，該容器收納設備具備：吐出部，在複數個前述收納部的每一個中，連接於所收納之各個前述容器來對該容器吐出前述淨化氣體；氣體供給裝置，控制前述淨化氣體的供給流量；主配管，連接於前述氣體供給裝置，且讓從前述氣體供給裝置輸出的前述淨化氣體流通；及分歧配管，從前述主配管分歧，而與各自的前述吐出部相連接，無論前述收納部是否收納有前述容器，前述吐出部都會吐出前述淨化氣體，前述氣體供給裝置會取得複數個前述收納部中的前述容器的收納狀態之資訊，而將前述淨化氣體的前述供給流量控制成收納於前述收納部之前述容器的總數越少就變得越多。

根據此構成，由於無論收納部中是否收納有容器，吐出部都會吐出淨化氣體，因此不需要在分歧配管或吐出部中配置控制閥等，而可以將設備構成形成得較簡潔。然而，在收納部中未收納有容器的狀態下，會成為淨化氣體從吐出部洩漏的狀態，恐有變得無法對收納部所收納的容器充分地供給淨化氣體的疑慮。但是，根據本構成，由於氣體供給裝置是在收納部所收納的容器的總數越少時，使淨化氣體的供給流量越增加，所以即使從未連接於容器的吐出部有淨化氣體洩漏，仍然可以透過連接於容器的吐出部來對容器供給充分的淨化氣體。像這樣，在本構成中，可以在沒有增設氣體供給裝置或是附加控制閥的情況下，藉由氣體供給裝置的控制，適當地將淨化氣體供給到容器。亦即，根據此構成，可以提供一種容器收納設備，該容器收納設備可以做到：無論收納容器的複數個收納部中有無容器，都能夠以簡單的構造來穩定將淨化氣體供給到收納部所收納的容器的內部。

在此，較理想的是，將透過前述分歧配管而連接於前述主配管的前述吐出部的總數設為N，將收納於前述收納部之前述容器的總數設為n，將從前述氣體供給裝置輸出的前述淨化氣體的基準流量設為Fa，將表示從前述氣體供給裝置輸出之前述淨化氣體偏差值的偏差流量設為Fb，將從前述氣體供給裝置輸出的前述淨化氣體的前述供給流量設為FL，而令前述氣體供給裝置將前述供給流量控制成形成為FL=(N/n)．Fa+Fb。

根據此構成，連接於主配管的所有的收納部中都有容器的情況下，會形成為“n=N”。此時，氣體供給裝置可以藉由以基準流量以及偏差流量為依據之供給流量來輸出淨化氣體，以適當地將淨化氣體供給至容器。另一方面，在連接於主配管的複數個收納部中存在未收納有容器之收納部的情況下，容器的收納數變得越少，“N/n”的分母變得越小，且相對於基準流量的乘法係數變得越大。亦即，容器的收納數變得越少，供給流量變得越多。因此，即使淨化氣體從未連接於容器之吐出部洩漏，還是能夠透過連接於容器之吐出部將淨化氣體充分地供給至容器。根據此構成，無論複數個收納部中有無容器，都可以藉由這種簡易的線形運算來穩定將淨化氣體供給到容器。

作為1個態樣，較理想的是，前述吐出部是連接於前述容器的供氣口，且在前述分歧配管的每一個，設置有流體阻力體，該流體阻力體具有比流入阻力更大的阻力值，前述流入阻力是使前述淨化氣體從前述供氣口往前述容器流入時的阻力成分。

將淨化氣體供給到容器之時的阻力值並非是固定的，有時會因容器種類及製造商而異。又，即使是相同種類的容器也會因固體差與經年變化等而有阻力值不同的情形。當每個容器的阻力值之差異較大時，即使因應容器的收納數來控制供給流量，有時也無法充分地將淨化氣體供給至容器。如本構成之形式，藉由在各自的分歧配管中設置具有阻力值比流入阻力更大的流體阻力體，可以抑制容器的阻力值所帶來的影響，並將來自各個吐出部的吐出量形成均一化。其結果，因應容器的收納數之供給流量的控制可有效地發揮功能，且無論複數個收納部中有無容器，都能夠穩定將淨化氣體供給到容器。

作為1個態樣，較理想的是，將複數個前述收納部於鉛直方向上排列配置成在沿著鉛直方向的方向來看是重疊的，且將前述氣體供給裝置在沿著鉛直方向的方向來看與前述收納部不重疊的情形下，在鉛直方向上配置於比前述收納部更下方。

將淨化氣體向主配管輸出的氣體供給裝置，由於具有壓縮機等而為發熱量大的裝置。在此，當收容於容器中之收容物是例如半導體材料或半導體製造材料時，其等會容易受到熱的影響。又，氣體供給裝置大多也會在考量到氣體供給裝置的重量、淨化氣體的供給源、及與供給源的連接配管之配置時，而有設置於容器收納設備的下方，例如地板側之作法。在此，經考慮有下述情形：當將氣體供給裝置配置在排列配置成於沿鉛直方向之方向來看是形成重疊之收納部的正下方之位置時，會使帶有熱的空氣上升，而將收納部和收納於收納部之容器加熱。如本構成之形式，可以藉由將氣體供給裝置配置於脫離收納部的正下方之位置上，以抑制該類的加熱。

1‧‧‧淨化裝置2‧‧‧吐出部3‧‧‧氣體供給裝置4‧‧‧主配管5‧‧‧分歧配管7‧‧‧供氣口8‧‧‧排氣口9‧‧‧架板9p‧‧‧架板側定位銷10‧‧‧堆高式起重機12‧‧‧行走台車13‧‧‧桅桿(支柱)14‧‧‧升降體15‧‧‧行走軌道16‧‧‧叉件20‧‧‧天花板搬送車31‧‧‧質量流控制器(氣體供給裝置)33‧‧‧淨化控制器(氣體供給裝置)40‧‧‧主管41‧‧‧氣體供給源51‧‧‧塵埃過濾器(流體阻力體)55‧‧‧孔口(流體阻力體)60‧‧‧容器本體部61‧‧‧底面62‧‧‧底面凹部65‧‧‧凸緣部100‧‧‧容器收納設備101‧‧‧收納部101B‧‧‧第2收納部(收納部)102‧‧‧容器收納架104‧‧‧出入庫輸送帶106‧‧‧壁體108‧‧‧天花板軌道110‧‧‧堆高式起重機控制器112‧‧‧物料控制處理器120‧‧‧半導體處理裝置121‧‧‧出入庫站F1‧‧‧下地板部F2‧‧‧上地板部W‧‧‧容器X、Y‧‧‧水平方向Z‧‧‧鉛直方向

圖1是示意地顯示容器收納設備的構成之圖。圖2是收納部的側面圖。圖3是收納部的頂視圖。圖4是示意地顯示淨化裝置的淨化氣體的流路之圖。圖5是示意地顯示包含淨化裝置的容器收納設備的構成之方塊圖。圖6是顯示供給流量的控制例之流程圖。圖7是顯示氣體供給裝置之其他構成例的示意方塊圖。圖8是示意地顯示分歧配管之其他構成例的圖。圖9是示意地顯示分歧配管之其他構成例的圖。圖10是示意地顯示收納部的其他配置例的平面圖。

1‧‧‧淨化裝置

2‧‧‧吐出部

3‧‧‧氣體供給裝置

4‧‧‧主配管

5‧‧‧分歧配管

7‧‧‧供氣口

8‧‧‧排氣口

31‧‧‧質量流控制器(氣體供給裝置)

40‧‧‧主管

41‧‧‧氣體供給源

51‧‧‧塵埃過濾器(流體阻力體)

55‧‧‧孔口(流體阻力體)

W‧‧‧容器

Claims

一種容器收納設備，具有收納容器的複數個收納部，且在前述收納部的每一個中，將淨化氣體朝被收納之前述容器的內部供給，該容器收納設備的特徵在於以下：具備：吐出部，在複數個前述收納部的每一個中，連接於被收納之各個前述容器並朝該容器吐出前述淨化氣體；氣體供給裝置，控制前述淨化氣體的供給流量；主配管，連接於前述氣體供給裝置，且讓從前述氣體供給裝置輸出的前述淨化氣體流通；及分歧配管，從前述主配管分歧，而與各自的前述吐出部相連接，無論前述收納部是否收納有前述容器，前述吐出部都會吐出前述淨化氣體，前述氣體供給裝置會取得複數個前述收納部中的前述容器的收納狀態之資訊，並將前述淨化氣體的前述供給流量控制成：收納於前述收納部之前述容器的總數越少，前述供給流量就變得越多。
如請求項1之容器收納設備，其中，將透過前述分歧配管而連接於前述主配管的前述吐出部的總數設為N，將收納於前述收納部之前述容器的總數設為n，將從前述氣體供給裝置輸出的前述淨化氣體的基準流量設為Fa，將表示從前述氣體供給裝置輸出之前述淨化氣體之偏差值的偏差流量設為Fb，將從前述氣體供給裝置輸出的前述淨化氣體的前述供給流量設為FL，而令前述氣體供給裝置將前述供給流量控制成為FL=(N/n)．Fa+Fb。
如請求項1之容器收納設備，其中，前述吐出部是連接於前述容器的供氣口，且在前述分歧配管的每一個，設置有流體阻力體，前述流體阻力體具有比流入阻力更大的阻力值，前述流入阻力是使前述淨化氣體從前述供氣口往前述容器流入時的阻力成分。
如請求項2之容器收納設備，其中，前述吐出部是連接於前述容器的供氣口，且在前述分歧配管的每一個，設置有流體阻力體，前述流體阻力體具有比流入阻力更大的阻力值，前述流入阻力是使前述淨化氣體從前述供氣口往前述容器流入時的阻力成分。
如請求項1之容器收納設備，其中，將複數個前述收納部於鉛直方向上排列配置成在沿著鉛直方向的方向來看是重疊的，且將前述氣體供給裝置在沿著鉛直方向的方向來看與前述收納部不重疊的情形下，在鉛直方向上配置於比前述收納部更下方。
如請求項2之容器收納設備，其中，將複數個前述收納部於鉛直方向上排列配置成在沿著鉛直方向的方向來看是重疊的，且將前述氣體供給裝置在沿著鉛直方向的方向來看與前述收納部不重疊的情形下，在鉛直方向上配置於比前述收納部更下方。
如請求項3之容器收納設備，其中，將複數個前述收納部於鉛直方向上排列配置成在沿著鉛直方向的方向來看是重疊的，且將前述氣體供給裝置在沿著鉛直方向的方向來看與前述收納部不重疊的情形下，在鉛直方向上配置於比前述收納部更下方。
如請求項4之容器收納設備，其中，將複數個前述收納部於鉛直方向上排列配置成在沿著鉛直方向的方向來看是重疊的，且將前述氣體供給裝置在沿著鉛直方向的方向來看與前述收納部不重疊的情形下，在鉛直方向上配置於比前述收納部更下方。